KR20180023739A - Tilting stage system - Google Patents

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Abstract

According to the present invention, disclosed is a tilting stage system, which comprises: a first supporting unit; a second supporting unit disposed to be distanced from the first supporting unit; a movement unit disposed to be moved between the first supporting unit and the second supporting unit; a securing stage disposed in the second supporting unit to be connected to be rotated to the movement unit at a center thereof; a driving unit connected to the movement unit to move the movement unit in the first direction; a first tilting driving unit installed in the movement unit to force a first portion of the securing stage which is eccentric from the center of the securing stage to move in the first direction; and a second tilting driving unit installed in the movement unit to have a predetermined angle with the first tilting driving unit, and forcing a second portion of the securing stage which is eccentric from the center of the securing stage to move in the first direction.

Description

틸팅 스테이지 시스템{Tilting stage system}[0001] The present invention relates to a tilting stage system,

본 발명은 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 틸팅 스테이지 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus, and more particularly to a tilting stage system.

틸팅 스테이지 시스템은 다양한 산업장비에 설치될 수 있다. 예를 들면, 틸팅 스테이지는 다이 본더 장비, 플립치 마운터 장비, 플립칩 본더 장비, 팬 아웃 웨이퍼 레벨 패키징용 장비, CVD, 노광장비 등 전공정 장비 등에 사용될 수 있다. The tilting stage system can be installed in various industrial equipment. For example, tilting stages can be used for die bonder equipment, flip chip mounter equipment, flip chip bonder equipment, fan-out wafer level packaging equipment, CVD, and exposure equipment.

이러한 티팅 스테이지 시스템은 척(Chuck)의 종류는 방식에 따라 vacuum을 이용한 진공 척과 정전척을 이용하는 방식으로 나눌 수 있으며, 척의 소재에 따라 알류미늄 및 스틸을 이용한 메탈 척, 세라믹을 이용한 세라믹 척으로 나눌 수 있다. 세라믹은 주로 알루미나 다공질 세라믹, 질화 알류미늄 세라믹(AlN), Si/SiC 세라믹 등이 주로 사용된다.Such a titling stage system can be classified into a vacuum chuck using an electrostatic chuck and a vacuum chuck using a vacuum chuck according to a method, and can be divided into a metal chuck using aluminum and steel and a ceramic chuck using ceramics according to the material of the chuck have. The ceramics mainly include alumina porous ceramics, aluminum nitride ceramics (AlN), and Si / SiC ceramics.

이러한 척 스테이지의 경우는 heating기능을 포함 할 수 있으며, 이러한 경우 세락믹을 이용하여 열변형을 최소화 시킨다. 그 이유는 열에 의한 변형이 스테이지의 평면도 등 제조 공정상에 제시된 사양을 만족 시키지 못하거나 제품자체에 불량 요소로 작용하기 때문이다.Such a chuck stage may include a heating function, in which case the thermal distortion is minimized by using a ceramic. This is because the deformation caused by heat does not satisfy the specifications given in the manufacturing process such as the flatness of the stage or acts as a defective component in the product itself.

정밀 장비의 경우 틸팅 스테이지 시스템의 기계적 특성, 예를 들어 척의 평면도나 진직도, 평행도, 틸트, 변형 등이 고생산성 고정밀성과 바로 연결되기 때문에 설비 제작 시 또는 초기 설비 셋업 시 셋팅된 값을 지속적으로 보정하거나 모니터링하여 품질을 유지하는 것이 중요하다 In the case of precision equipment, the mechanical characteristics of the tilting stage system, such as the flatness, straightness, parallelism, tilt, and deformation of the chuck, are directly connected to highly productive high precision. It is important to monitor or maintain quality

이러한 틸팅 스테이지 시스템은 대한민국공개특허공보 제2016-0011354호(발명의 명칭: 스테이지 수평 조절 장치, 출원인: 세메스 주식회사)에 구체적으로 개시되어 있다. Such a tilting stage system is specifically disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 2016-0011354 (entitled "Stage Leveling Apparatus, Applicant: Semesu Co., Ltd.)".

대한민국공개특허공보 제2016-0011354호Korean Patent Laid-Open Publication No. 2016-0011354

본 발명의 실시예들은 틸팅 스테이지 시스템을 제공하고자 한다. Embodiments of the present invention seek to provide a tilting stage system.

본 발명의 일 측면은, 제1 지지부와, 상기 제1 지지부로부터 이격되도록 배치되는 제2 지지부와, 상기 제1 지지부와 상기 제2 지지부 사이에 운동 가능하도록 배치되는 운동부와, 상기 제2 지지부의 내부에 배치되며, 중심에서 상기 운동부와 회전 가능하도록 연결되는 안착스테이지와, 상기 운동부와 연결되어 상기 운동부를 제1 방향으로 이동시키는 구동부와, 상기 운동부에 설치되어 상기 안착스테이지의 중심으로부터 편심된 상기 안착스테이지 제1 부분을 상기 제1 방향으로 가력하는 제1 틸팅구동부와, 상기 제1 틸팅구동부와 일정 각도를 형성하도록 상기 운동부에 설치되며, 상기 안착스테이지의 중심으로부터 편심된 상기 안착스테이지 제2 부분을 상기 제1 방향으로 가력하는 제2 틸팅구동부를 포함하는 틸팅 스테이지 시스템을 제공할 수 있다. According to an aspect of the present invention, there is provided a portable terminal comprising: a first support portion; a second support portion disposed so as to be spaced apart from the first support portion; a motion portion movably disposed between the first support portion and the second support portion; A driving unit connected to the moving unit and configured to move the moving unit in a first direction; and a driving unit mounted on the moving unit and eccentric from the center of the seating stage, A first tilting driving part for moving the first part of the seating stage in the first direction and a second tilting driving part for moving the first and second tilting driving parts in the seating part, And a second tilting drive unit for moving the tilting stage in the first direction.

또한, 상기 제1 틸팅구동부에 설치되며, 상기 제1 부분의 상기 제1 방향으로의 이동양을 측정하는 제1 틸팅감지부와, 상기 제2 틸팅구동부에 설치되며, 상기 제2 부분의 상기 제2 방향으로의 이동양을 측정하는 제2 틸팅감지부를 더 포함할 수 있다. A first tilting detection unit installed at the first tilting drive unit and measuring an amount of movement of the first portion in the first direction; a second tilting detection unit installed at the second tilting drive unit, And a second tilting detection unit for measuring an amount of movement in two directions.

또한, 상기 제1 틸팅구동부 및 상기 제2 틸팅구동부는 각각 상기 제1 틸팅감지부 및 상기 제2 틸팅감지부에서 측정된 값을 근거로 상기 안착스테이지를 틸팅시키도록 작동할 수 있다. The first tilting driving unit and the second tilting driving unit may operate to tilt the seating stage based on the values measured by the first tilting sensing unit and the second tilting sensing unit, respectively.

또한, 상기 제1 틸팅구동부와 대향하도록 상기 운동부에 배치되는 제1 스토퍼부를 더 포함할 수 있다. The apparatus may further include a first stopper portion disposed in the motion portion so as to face the first tilting drive portion.

또한, 상기 제2 틸팅구동부와 대향하도록 상기 운동부에 배치되는 제2 스토퍼부를 더 포함할 수 있다. The apparatus may further include a second stopper portion disposed in the motion portion so as to face the second tilting drive portion.

본 발명의 실시예들은 하나의 중심으로 회전한 안착스테이지를 구비함으로써 간단한 구조를 통하여 안착스테이지의 평형도를 조절할 수 있다. Embodiments of the present invention can adjust the balance degree of the seating stage through a simple structure by having the seating stage rotated by one center.

또한, 본 발명의 실시예들은 실시간으로 안착스테이지의 틸팅 정도를 감지함으로써 부재를 안정적으로 고정시키는 것이 가능하고, 시스템의 정밀도를 향상시킬 수 있다.Further, the embodiments of the present invention can stably fix the member by sensing the degree of tilting of the seating stage in real time, and improve the accuracy of the system.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 틸팅 스테이지 시스템을 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 제1 지지부 및 구동부를 보여주는 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 제1 지지부 및 구동부를 보여주는 정면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 이동부, 제1 틸팅구동부, 제2 틸팅구동부, 제1 스토퍼부 및 제2 스토퍼부를 보여주는 사시도이다.
도 5는 도 4에 도시된 제1 틸팅구동부를 보여주는 사시도이다.
도 6은 도 4에 도시된 제1 스토퍼부를 보여주는 사시도이다.
도 7은 도 1에 도시된 안착스테이지를 보여주는 사시도이다.
도 8은 도 7에 도시된 안착스테이지를 보여주는 단면도이다. 1 is a perspective view illustrating a tilting stage system according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view showing the first supporting part and the driving part shown in FIG.
3 is a front view showing the first supporting part and the driving part shown in Fig.
4 is a perspective view showing the moving unit, the first tilting driving unit, the second tilting driving unit, the first stopper unit, and the second stopper unit shown in FIG.
5 is a perspective view illustrating the first tilting driving unit shown in FIG.
6 is a perspective view showing the first stopper portion shown in FIG.
FIG. 7 is a perspective view showing the seating stage shown in FIG. 1; FIG.
8 is a cross-sectional view showing the seating stage shown in Fig.

본 발명은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 한편, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings, in which: FIG. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. It is to be understood that the terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. It is noted that the terms "comprises" and / or "comprising" used in the specification are intended to be inclusive in a manner similar to the components, steps, operations, and / Or additions. The terms first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by terms. Terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 틸팅 스테이지 시스템을 보여주는 사시도이다.1 is a perspective view illustrating a tilting stage system according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참고하면, 틸팅 스테이지 시스템(100)은 제1 지지부(111), 제2 지지부(112), 이동부(120), 구동부(130), 안착스테이지(140), 제1 틸팅구동부(150a), 제2 틸팅구동부(미도시), 제1 스토퍼부(미도시), 제2 스토퍼부(160b), 제1 틸팅감지부(미도시), 제2 틸팅감지부(미도시), 탄성부(미도시), 센서부(182) 및 리프트부(190)를 포함할 수 있다. 1, the tilting stage system 100 includes a first supporting part 111, a second supporting part 112, a moving part 120, a driving part 130, a seating stage 140, a first tilting driving part 150a A second tilting detection unit (not shown), a second tilting detection unit (not shown), a second tilting unit (not shown), a second tilting unit (not shown), a first stopper unit (Not shown), a sensor unit 182, and a lift unit 190.

제1 지지부(111)는 틸팅 스테이지 시스템(100) 전체를 지지할 수 있다. 제2 지지부(112)는 제1 지지부(111)로부터 이격되도록 배치될 수 있다. 이때, 제1 지지부(111)와 제2 지지부(112) 사이에는 이동부(120)의 이동 시 이동부(120)를 가이드하는 승하강선형가이드부(113)가 배치될 수 있다. The first support part 111 can support the entire tilting stage system 100. The second support 112 may be spaced apart from the first support 111. An elevating and lowering guide part 113 may be disposed between the first supporting part 111 and the second supporting part 112 to guide the moving part 120 when the moving part 120 moves.

제2 지지부(112)는 중앙 부분에 홀이 형성될 수 있다. 이때, 제2 지지부(112)의 홀에는 안착스테이지(140)가 배치될 수 있다. 제2 지지부(112)에는 센서부(182)가 배치될 수 있다. 이때, 센서부(182)는 안착스테이지(140) 상에 배치되는 헤드부(미도시)에 부착된 부품 또는 외부에서 공급되어 안착스테이지(140) 상에 배치되는 웨이퍼 등을 감지할 수 있다. The second support portion 112 may have a hole at a central portion thereof. At this time, the seating stage 140 may be disposed in the hole of the second support portion 112. A sensor portion 182 may be disposed on the second support portion 112. At this time, the sensor unit 182 can detect a part attached to a head part (not shown) disposed on the seating stage 140 or a wafer supplied from the outside and placed on the seating stage 140.

이하에서는 제1 지지부(111) 및 구동부(130)에 대해서 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, the first supporting part 111 and the driving part 130 will be described in detail.

도 2는 도 1에 도시된 제1 지지부, 구동부 및 리프트부를 보여주는 사시도이다. 도 3은 도 2에 도시된 제1 지지부, 구동부 및 리프트부를 보여주는 정면도이다. 2 is a perspective view showing the first supporting part, the driving part and the lift part shown in FIG. 3 is a front view showing the first supporting part, the driving part and the lift part shown in FIG.

도 2 및 도 3을 참고하면, 제1 지지부(111)는 플레이트 형태로 형성될 수 있다. 제1 지지부(111)는 외부의 장치 등에 설치될 수 있다. 2 and 3, the first support portion 111 may be formed in a plate shape. The first support part 111 may be installed in an external device or the like.

제1 지지부(111) 상에는 구동부(130)가 설치될 수 있다. 이때, 구동부(130)는 이동부(120)와 연결되어 이동부(120)를 제1 방향(예를 들면, 도 2의 Z방향)으로 선형 운동시킬 수 있다. 특히 구동부(130)는 이동부(120)를 제1 방향으로 왕복 운동시킬 수 있다. The driving part 130 may be installed on the first supporting part 111. At this time, the driving unit 130 is connected to the moving unit 120 to move the moving unit 120 linearly in a first direction (e.g., the Z direction in FIG. 2). In particular, the driving unit 130 can reciprocate the moving unit 120 in the first direction.

구동부(130)는 동력생성부(131), 선형가이드부(132), 제1 이동블록(133), 연결브라켓(134), 제2 이동블록(135) 및 승하강블록(136)을 포함할 수 있다. 동력생성부(131)는 모터 또는 실린더를 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 동력생성부(131)가 모터인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.The driving unit 130 includes a power generating unit 131, a linear guide unit 132, a first moving block 133, a connecting bracket 134, a second moving block 135, and an elevating and lowering block 136 . The power generation section 131 may include a motor or a cylinder. Hereinafter, the power generation unit 131 will be described in detail with reference to the motor for convenience of explanation.

선형가이드부(132)는 제1 이동블록(133)이 안착되어 제1 이동블록(133)의 운동을 가이드할 수 있다. 이때, 선형가이드부(132)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 선형가이드부(132)는 리니어 모션 가이드를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 선형가이드부(132)는 볼스크류를 포함할 수 있다. 이러한 경우 선형가이드부(132)는 동력생성부(131)와 연결되어 동력생성부(131)의 작동에 따라 회전할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 선형가이드부(132)가 볼스크류를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The linear guide part 132 can guide the movement of the first moving block 133 by seating the first moving block 133. At this time, the linear guide portion 132 may be formed in various shapes. For example, the linear guide portion 132 may include a linear motion guide. As another example, the linear guide portion 132 may include a ball screw. In this case, the linear guide part 132 is connected to the power generating part 131 and can rotate according to the operation of the power generating part 131. Hereinafter, for convenience of explanation, the linear guide portion 132 includes a ball screw will be described in detail.

제1 이동블록(133)은 선형가이드부(132)에 선형 운동하도록 설치될 수 있다. 이때, 제1 이동블록(133)은 선형가이드부(132)가 회전하거나 위치가 가변함에 따라서 이동할 수 있다. The first moving block 133 may be installed to linearly move in the linear guide portion 132. At this time, the first moving block 133 can move as the linear guide part 132 rotates or changes its position.

연결브라켓(134)은 제1 이동블록(133)과 제2 이동블록(135)을 연결할 수 있다. 이때, 연결브라켓(134)은 제1 이동블록(133)의 양 측면에 복수개 구비될 수 있다. The connection bracket 134 may connect the first moving block 133 and the second moving block 135. [ At this time, a plurality of connection brackets 134 may be provided on both sides of the first moving block 133.

제2 이동블록(135)은 연결브라켓(134)에 연결되어 제1 이동블록(133)의 운동 시 이동할 수 있다. 이때, 제2 이동블록(135)은 제1 지지부(111)에 이동 가능하도록 배치될 수 있다. 특히 제2 이동블록(135)과 제1 지지부(111) 사이에는 별도의 가이드가 설치될 수 있다. 예를 들면, 제2 이동블록(135)과 제1 지지부(111) 사이에는 리니어 모션 가이드가 설치될 수 있다. The second movement block 135 may be connected to the connection bracket 134 and may move during movement of the first movement block 133. At this time, the second moving block 135 may be arranged to be movable to the first supporting portion 111. Particularly, a separate guide may be provided between the second moving block 135 and the first supporting portion 111. For example, a linear motion guide may be provided between the second moving block 135 and the first supporting portion 111. [

제2 이동블록(135) 상에는 승하강블록(136)이 배치될 수 있다. 이때, 승하강블록(136)은 제2 이동블록(135)과 접촉하는 면이 경사지게 형성될 수 있다. 또한, 승하강블록(136)과 제2 이동블록(135) 사이에는 별도의 가이드가 설치될 수 있다. 이러한 경우 제2 이동블록(135)이 선형 운동하면, 승하강블록(136)은 제2 이동블록(135)의 경사면을 따라 승강하거나 하강할 수 있다. 특히 승하강블록(136)은 이동부(120)와 연결되어 이동부(120)를 승하강시킬 수 있다. 뿐만 아니라 이동부(120)는 제1 지지부(111)와 제2 지지부(112) 사이에 설치된 별도의 승하강선형가이드부(113)를 따라 이동할 수 있다. 이때, 승하강블록(136)은 이동부(120)에 구속됨으로써 승하강 운동만을 수행할 수 있다. The ascending / descending block 136 may be disposed on the second moving block 135. At this time, the surface of the ascending / descending block 136 contacting the second moving block 135 may be formed to be inclined. Further, a separate guide may be provided between the ascending / descending block 136 and the second moving block 135. In this case, when the second moving block 135 linearly moves, the ascending / descending block 136 can move up and down along the inclined surface of the second moving block 135. In particular, the ascending / descending block 136 may be connected to the moving part 120 to move the moving part 120 up and down. In addition, the moving part 120 may move along a separate elevating and lowering linear guide part 113 provided between the first supporting part 111 and the second supporting part 112. At this time, the ascending / descending block 136 is constrained to the moving part 120 so that it can perform only the ascending and descending motion.

상기와 같은 구동부(130)의 작동을 살펴보면, 동력생성부(131)가 작동하는 경우 선형가이드부(132)가 회전하면서 제1 이동블록(133)을 선형 운동시킬 수 있다. 이때, 제1 이동블록(133)이 동력생성부(131)와 근접하는 경우 이동부(120)는 하강할 수 있다. 반면, 제1 이동블록(133)이 동력생성부(131)로부터 이격되는 경우 이동부(120)는 승강할 수 있다. When the power generating unit 131 is operated, the linear guide unit 132 may be rotated to move the first moving block 133 linearly. At this time, when the first moving block 133 is close to the power generating unit 131, the moving unit 120 can descend. On the other hand, when the first moving block 133 is separated from the power generating unit 131, the moving unit 120 can move up and down.

구체적으로 이동부(120)를 승강시키는 경우 동력생성부(131)가 작동하여 선형가이드부(132)를 회전시키고, 제1 이동블록(133)은 동력생성부(131)로부터 이격될 수 있다. Specifically, when the moving part 120 is moved up and down, the power generating part 131 operates to rotate the linear guide part 132, and the first moving block 133 can be separated from the power generating part 131.

제1 이동블록(133)의 이동에 따라서 연결브라켓(134) 및 제2 이동블록(135)이 제1 이동블록(133)과 같은 방향으로 동시에 움직일 수 있다. 이때, 제2 이동블록(135)은 제1 지지부(111)의 저면을 따라 선형 운동할 수 있다. The connecting bracket 134 and the second moving block 135 can simultaneously move in the same direction as the first moving block 133 as the first moving block 133 moves. At this time, the second moving block 135 can linearly move along the bottom surface of the first supporting portion 111.

제2 이동블록(135)이 움직이는 경우 제2 이동블록(135)은 승하강블록(136)을 상측으로 가력할 수 있다. 이때, 승하강블록(136)은 이동부(120)와 연결될 수 있으며, 이동부(120)는 승하강선형가이드부(113)에 구속된 상태이므로 승하강블록(136)은 제2 이동블록(135)의 운동방향과 수직한 방향으로만 움직일 수 있다. When the second moving block 135 moves, the second moving block 135 can move the ascending / descending block 136 upward. Since the up and down movement block 136 can be connected to the movement part 120 and the movement part 120 is constrained to the up and down linear guide part 113, 135 in a direction perpendicular to the direction of motion.

상기와 같이 이동부(120)를 승강시키는 경우 이동부(120)에 연결된 안착스테이지(140)가 상승할 수 있다. When the moving unit 120 is moved up and down as described above, the seating stage 140 connected to the moving unit 120 can be raised.

한편, 이동부(120)를 하강시키는 경우 동력생성부(131)는 상기와 반대로 작동할 수 있다. 구체적으로 동력생성부(131)가 작동하면, 선형가이드부(132)가 회전하여 제1 이동블록(133)을 동력생성부(131) 측으로 근접시킬 수 있다. 이때, 제1 이동블록(133)과 함께 연결브라켓(134) 및 제2 이동블록(135)이 제1 이동블록(133)의 이동 방향으로 이동할 수 있다. 이러한 경우 제2 이동블록(135) 상의 승하강블록(136)은 하강할 수 있다. 또한, 이동부(120) 및 안착스테이지(140)는 승하강블록(136)과 함께 하강할 수 있다. On the other hand, when the moving unit 120 is lowered, the power generation unit 131 can operate in the reverse order. Specifically, when the power generating unit 131 operates, the linear guide unit 132 rotates to bring the first moving block 133 closer to the power generating unit 131 side. At this time, the connection bracket 134 and the second moving block 135 together with the first moving block 133 can move in the moving direction of the first moving block 133. [ In this case, the ascending / descending block 136 on the second moving block 135 can descend. In addition, the moving part 120 and the seating stage 140 can be lowered together with the ascending / descending block 136.

리프트부(190)는 이동부(120)에 승하강 가능하도록 연결될 수 있다. 이때, 리프트부(190)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 리프트부(190)는 리피트핀과 리프트핀과 연결되는 리프트핀구동부(예를 들면, 모터 또는 실린더 등)를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 리프트부(190)는 리프트핀과, 리프트핀과 연결되는 벨트, 벨트와 연결되는 모터, 리프트핀과 벨트 사이, 모터와 벨트 사이에 배치되는 풀리를 포함하는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 리프트부(190)는 모터와, 모터와 연결되는 기어, 기어와 연결되는 리프트핀을 포함하는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 리프트부(190)는 제1 리프트바디부(191), 제2 리프트바디부(192) 및 리프트핀부(193)를 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 리프트부(190)는 제1 리프트바디부(191), 제2 리프트바디부(192) 및 리프트핀부(193)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The lift part 190 may be connected to the moving part 120 so as to be able to move up and down. At this time, the lift portion 190 may be formed in various shapes. For example, the lift portion 190 may include a lift pin driver (e.g., a motor or a cylinder) connected to the lift pin and the lift pin. As another example, the lift portion 190 may include a lift pin, a belt connected to the lift pin, a motor connected to the belt, a lift pin and a belt, and a pulley disposed between the motor and the belt. As another embodiment, the lift portion 190 may include a motor, a gear connected to the motor, and a lift pin connected to the gear. In yet another embodiment, the lift portion 190 may include a first lift body portion 191, a second lift body portion 192, and a lift pin portion 193. Hereinafter, the lift unit 190 will be described in detail with reference to a case including a first lift body part 191, a second lift body part 192, and a lift fin part 193 for convenience of explanation.

제1 리프트바디부(191)는 안착스테이지(140)가 내부에 배치되도록 홈이 형성될 수 있다. 제2 리프트바디부(192)는 제1 리프트바디부(191)의 하면으로 절곡되도록 제1 리프트바디부(191)와 연결될 수 있다. 이때, 제2 리프트바디부(192)는 일부가 절곡되어 이동부(120)와 평행하도록 형성될 수 있다. 리프트핀부(193)는 제2 리프트바디부(192)에 배치될 수 있다. 이때, 리프트핀부(193)는 제2 리프트바디부(192)로부터 안착스테이지(140)의 하측면으로 돌출되어 안착스테이지(140)를 관통하도록 배치될 수 있다. 상기와 같은 제2 리프트바디부(192)와 리프트핀부(193)는 복수개 구비될 수 있다. 이때, 복수개의 리프트핀부(193)는 서로 동일한 각도를 형성하도록 배치될 수 있다. The first lift body part 191 may be formed with a groove such that the seating stage 140 is disposed therein. The second lift body part 192 may be connected to the first lift body part 191 to be bent to the lower surface of the first lift body part 191. At this time, the second lift body part 192 may be partially bent and formed to be parallel to the moving part 120. The lift pin portion 193 may be disposed on the second lift body portion 192. At this time, the lift pin portion 193 may protrude from the second lift body portion 192 to the lower side of the seating stage 140, and may be arranged to pass through the seating stage 140. The second lift body portion 192 and the lift pin portion 193 may be provided in plurality. At this time, the plurality of lift pin portions 193 may be arranged to form the same angle with each other.

상기와 같은 리프트핀부(193)에는 리프트핀부(193)에 부재가 안착되는 경우 감지하도록 센서를 구비할 수 있다. 이때, 센서는 직접 접촉에 따라 신호를 발생할 수 있으며, 도그 센서 형태로 구성되어 부재를 감지하는 것도 가능하다. The lift pin 193 may be provided with a sensor for sensing when a member is mounted on the lift pin 193. [ At this time, the sensor can generate a signal according to the direct contact, and it is also possible to detect the member composed of a dog sensor type.

도 4는 도 1에 도시된 이동부, 제1 틸팅구동부, 제2 틸팅구동부, 제1 스토퍼부 및 제2 스토퍼부를 보여주는 사시도이다. 도 5는 도 4에 도시된 제1 틸팅구동부를 보여주는 사시도이다. 도 6은 도 4에 도시된 제1 스토퍼부를 보여주는 사시도이다. 도 7은 도 1에 도시된 안착스테이지를 보여주는 사시도이다. 도 8은 도 7에 도시된 안착스테이지를 보여주는 단면도이다.4 is a perspective view showing the moving unit, the first tilting driving unit, the second tilting driving unit, the first stopper unit, and the second stopper unit shown in FIG. 5 is a perspective view illustrating the first tilting driving unit shown in FIG. 6 is a perspective view showing the first stopper portion shown in FIG. FIG. 7 is a perspective view showing the seating stage shown in FIG. 1; FIG. 8 is a cross-sectional view showing the seating stage shown in Fig.

도 4 내지 도 8을 참고하면, 이동부(120)는 제1 지지부(111)와 제1 지지부(111) 사이에 승하강 운동하도록 배치될 수 있다. 이동부(120)는 안착스테이지(140)와 한점에서 연결될 수 있다. 예를 들면, 이동부(120)는 안착스테이지(140)의 중심에서 안착스테이지(140)와 연결될 수 있다. 이러한 경우 이동부(120)와 안착스테이지(140) 사이에는 제1 틸팅구동부(150a), 제2 틸팅구동부(150b), 제1 스토퍼부(160a), 제2 스토퍼부(160b) 및 리프트구동부(183)가 배치될 수 있다.4 to 8, the moving part 120 may be arranged to move up and down between the first support part 111 and the first support part 111. [ The moving part 120 can be connected to the seating stage 140 at one point. For example, the moving part 120 may be connected to the seating stage 140 at the center of the seating stage 140. In this case, a first tilting driving part 150a, a second tilting driving part 150b, a first stopper part 160a, a second stopper part 160b and a lift driving part 150b are provided between the moving part 120 and the seating stage 140 183 may be disposed.

이동부(120)에는 리프트부(190)를 승하강시키는 리프트구동부(183)가 설치될 수 있다. 이때, 리프트구동부(183)는 모터 또는 실린더를 포함할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 리프트구동부(183)가 모터를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.The moving part 120 may be provided with a lift driving part 183 for moving the lift part 190 up and down. At this time, the lift driving unit 183 may include a motor or a cylinder. Hereinafter, for the sake of convenience of description, the case where the lift driving unit 183 includes a motor will be described in detail.

리프트구동부(183)가 모터를 포함하는 경우 모터와 리프트부(190)는 볼스크류 또는 기어유닛을 통하여 연결될 수 있다. 이때, 기어유닛은 모터에 연결되는 스퍼기어와, 리프트부(190) 및 스퍼기어에 연결되는 랙기어를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 리프트구동부(183)가 모터를 포함하는 경우 리프트구동부(183)는 리프트부(190)와 연결되는 리니어모터를 포함하는 것도 가능하다. When the lift driving portion 183 includes a motor, the motor and the lift portion 190 may be connected through a ball screw or a gear unit. At this time, the gear unit may include a spur gear connected to the motor, and a rack gear connected to the lift portion 190 and the spur gear. In another embodiment, when the lift driving unit 183 includes a motor, the lift driving unit 183 may include a linear motor connected to the lift unit 190.

제1 틸팅구동부(150a)와 제2 틸팅구동부(150b)는 안착스테이지(140)를 틸팅(Tilting)시킬 수 있다. 이때, 제1 틸팅구동부(150a)와 제2 틸팅구동부(150b)는 안착스테이지(140)와 이동부(120)가 연결되는 지점을 중심으로 서로 일정 각도를 형성할 수 있다. 특히 제1 틸팅구동부(150a)와 제2 틸팅구동부(150b)는 안착스테이지(140)와 이동부(120)가 연결되는 지점을 중심으로 직각을 형성할 수 있다. 이때, 제1 틸팅구동부(150a)와 제2 틸팅구동부(150b)는 서로 동일 또는 유사하므로 이하에서는 제1 틸팅구동부(150a)를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The first tilting driving part 150a and the second tilting driving part 150b can tilting the seating stage 140. [ At this time, the first tilting driving part 150a and the second tilting driving part 150b may form a certain angle with respect to a point where the seating stage 140 and the moving part 120 are connected. Particularly, the first tilting driving part 150a and the second tilting driving part 150b can form a right angle around a point where the seating stage 140 and the moving part 120 are connected. Here, the first tilting driver 150a and the second tilting driver 150b are the same or similar to each other. Therefore, the first tilting driver 150a will be described in detail below.

제1 틸팅구동부(150a)는 제1 틸팅동력생성부(151a), 제1 틸팅기어유닛(152a), 제1 틸팅커플링(153a), 제1 틸팅캠(154a) 및 제1 틸팅캠조절부(155a)를 포함할 수 있다. The first tilting drive unit 150a includes a first tilting power generating unit 151a, a first tilting gear unit 152a, a first tilting coupling 153a, a first tilting cam 154a, Lt; RTI ID = 0.0 > 155a. ≪ / RTI >

제1 틸팅구동부(150a)는 모터 또는 로터리 실린더를 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 틸팅구동부(150a)가 모터를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The first tilting driving part 150a may include a motor or a rotary cylinder. Hereinafter, the first tilting drive unit 150a includes a motor for convenience of explanation.

상기와 같은 제1 틸팅구동부(150a)는 브레이크를 포함할 수 있다. 이때, 제1 틸팅구동부(150a)는 동작을 하지 않을 경우 브레이크를 사용함으로써 반대로 작동하는 것을 방지할 수 있으며, 일정한 상태를 유지할 수 있다. The first tilting driving unit 150a may include a brake. At this time, if the first tilting driving part 150a does not operate, the brake can be used to prevent the first tilting driving part 150a from operating in reverse, and the first tilting driving part 150a can maintain a constant state.

제1 틸팅기어유닛(152a)은 제1 틸팅동력생성부(151a)와 연결되어 외부로 동력을 전달하거나 회전수(또는 토크 등)를 변경할 수 있다. 이때, 제1 틸팅기어유닛(152a)은 감속기를 포함할 수 있으며, 복수개의 기어를 포함하는 것도 가능하다. The first tilting gear unit 152a may be connected to the first tilting power generating unit 151a to transmit power to the outside or change the number of revolutions (or torque). At this time, the first tilting gear unit 152a may include a speed reducer, and may include a plurality of gears.

제1 틸팅커플링(153a)은 제1 틸팅기어유닛(152a)과 제1 틸팅캠(154a)을 연결할 수 있다. 제1 틸팅캠(154a)은 회전 중심이 편심되어 제1 틸팅커플링(153a)에 연결될 수 있다. 예를 들면, 제1 틸팅캠(154a)은 중심과 회전 중심은 대략 수mm 정도 이격된 상태일 수 있다. The first tilting coupling 153a may connect the first tilting gear unit 152a and the first tilting cam 154a. The first tilting cam 154a may be connected to the first tilting coupling 153a by eccentric rotation. For example, the first tilting cam 154a may have a center and a center of rotation spaced by about several millimeters.

제1 틸팅캠조절부(155a)는 제1 틸팅캠(154a)과 연결될 수 있다. 이때, 제1 틸팅캠조절부(155a)는 제1 틸팅캠(154a)의 초기 위치를 수동으로 조절할 수 있다. The first tilting cam adjusting portion 155a may be connected to the first tilting cam 154a. At this time, the first tilting cam adjusting portion 155a can manually adjust the initial position of the first tilting cam 154a.

제1 틸팅감지부(171)는 안착스테이지(140)의 하면의 위치를 감지할 수 있다. 이때, 제1 틸팅감지부(171)는 다양한 형태일 수 있다. 예를 들면, 제1 틸팅감지부(171)는 레이저, 빛 등을 통하여 안착스테이지(140)의 하면까지의 거리를 측정하는 센서를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 제1 틸팅감지부(171)는 안착스테이지(140)와 접촉하는 접촉센서를 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 틸팅감지부(171)는 접촉센서를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The first tilting detection unit 171 can detect the position of the bottom surface of the seating stage 140. At this time, the first tilting detection unit 171 may have various forms. For example, the first tilting detection unit 171 may include a sensor for measuring a distance to a bottom surface of the seating stage 140 through a laser, light, or the like. In another embodiment, the first tilting sensing portion 171 may include a contact sensor that contacts the seating stage 140. Hereinafter, for the sake of convenience, the first tilting sensor 171 will be described in detail with reference to a case including a touch sensor.

제1 틸팅감지부(171)는 안착스테이지(140)와 접촉할 수 있다. 이때, 제1 틸팅감지부(171)는 안착스테이지(140)가 가압하는 상태일 수 있다. 이러한 경우 안착스테이지(140)가 움직이더라도 제1 틸팅감지부(171)와 접촉이 분리되지 않아 안착스테이지(140)의 틸팅 여부, 움직임 등을 감지할 수 있다. The first tilting sensing portion 171 can contact the seating stage 140. At this time, the first tilting detection unit 171 may be in a state in which the seating stage 140 is pressed. In this case, even if the seating stage 140 moves, the contact with the first tilting sensing unit 171 is not separated, so that it is possible to detect whether the seating stage 140 is tilted or moved.

제1 스토퍼부(160a)와 제2 스토퍼부(160b)는 각각 제1 틸팅구동부(150a) 및 제2 틸팅구동부(150b)와 대향하도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 제1 스토퍼부(160a)는 제1 틸팅구동부(150a)와 나란히 배열될 수 있으며, 제2 스토퍼부(160b)는 제2 틸팅구동부(150b)와 나란히 배열될 수 있다. The first stopper portion 160a and the second stopper portion 160b may be arranged to face the first tilting driving portion 150a and the second tilting driving portion 150b, respectively. For example, the first stopper portion 160a may be arranged side by side with the first tilting driving portion 150a, and the second stopper portion 160b may be arranged side by side with the second tilting driving portion 150b.

제1 스토퍼부(160a) 및 제2 스토퍼부(160b)는 안착스테이지(140)가 움직이는 것을 방지시킬 수 있다. 이때, 제1 스토퍼부(160a)는 제1 틸팅구동부(150a)의 작동에 따라 제1 틸팅구동부(150a)가 안착스테이지(140)에 가하는 힘과 반대 방향으로 안착스테이지(140)에 힘을 가할 수 있다. 또한, 제2 스토퍼부(160b)는 제2 틸팅구동부(150b)의 작동에 따라 제2 틸팅구동부(150b)가 안착스테이지(140)에 가하는 힘과 반대 방향으로 안착스테이지(140)에 힘을 가할 수 있다.The first stopper portion 160a and the second stopper portion 160b can prevent the seating stage 140 from moving. At this time, the first stopper part 160a applies a force to the seating stage 140 in a direction opposite to the force applied to the seating stage 140 by the first tilting driving part 150a according to the operation of the first tilting driving part 150a . The second stopper portion 160b applies a force to the seating stage 140 in a direction opposite to a force applied to the seating stage 140 by the second tilting driving portion 150b according to the operation of the second tilting driving portion 150b .

상기와 같은 제1 스토퍼부(160a)와 제2 스토퍼부(160b)는 서로 동일 또는 유사하게 형성되므로 제1 스토퍼부(160a)를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. Since the first stopper portion 160a and the second stopper portion 160b are formed to be the same or similar to each other, the first stopper portion 160a will be described in detail.

제1 스토퍼부(160a)는 제1 스토퍼구동부(161a), 제1 스토퍼커플링(162a), 제1 스토퍼편심캠(163a), 제1 스토퍼브레이크(164a) 및 제1 스토퍼캠팔로워가이드부(165a)를 포함할 수 있다. The first stopper portion 160a includes a first stopper driving portion 161a, a first stopper coupling 162a, a first stopper eccentric cam 163a, a first stopper brake 164a and a first stopper cam follower guide portion 165a.

제1 스토퍼구동부(161a)는 모터 또는 로터리 실린더를 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 스토퍼구동부(161a)가 로터리 실린더를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로한다. The first stopper driving portion 161a may include a motor or a rotary cylinder. Hereinafter, the first stopper driving unit 161a includes a rotary cylinder for convenience of explanation.

제1 스토퍼커플링(162a)은 제1 스토퍼구동부(161a) 및 제1 스토퍼편심캠(163a)과 연결될 수 있다. 제1 스토퍼편심캠(163a)는 제1 스토퍼커플링(162a)에 편심되도록 연결될 수 있다. 이때, 제1 스토퍼편심캠(163a)의 회전 중심과 제1 스토퍼편심캠(163a)의 중심은 수mm정도 이격된 상태일 수 있다. 또한, 제1 스토퍼편심캠(163a)의 회전 중심은 제1 스토퍼커플링(162a)과 연결될 수 있다. The first stopper coupling 162a may be connected to the first stopper driving portion 161a and the first stopper eccentric cam 163a. The first stopper eccentric cam 163a may be eccentrically connected to the first stopper coupling 162a. At this time, the center of rotation of the first stopper eccentric cam 163a and the center of the first stopper eccentric cam 163a may be spaced apart by several mm. In addition, the center of rotation of the first stopper eccentric cam 163a can be connected to the first stopper coupling 162a.

제1 스토퍼브레이크(164a)는 제1 스토퍼편심캠(163a)의 회전 중심과 연결될 수 있다. 이때, 제1 스토퍼브레이크(164a)는 제1 스토퍼편심캠(163a)이 더 이상 회전하지 않도록 할 수 있다. 특히 제1 스토퍼브레이크(164a)는 전자 브레이크, 유압식 블레이크, 공압식 브레이크, 패드형 브레이크 등 다양한 형태일 수 있다. The first stopper brake 164a may be connected to the rotation center of the first stopper eccentric cam 163a. At this time, the first stopper brake 164a can prevent the first stopper eccentric cam 163a from rotating further. Particularly, the first stopper brake 164a may be in various forms such as an electromagnetic brake, a hydraulic brake, a pneumatic brake, a pad type brake, and the like.

제1 스토퍼캠팔로워가이드부(165a)는 이동부(120)에 고정되도록 설치될 수 있다. 이때, 제1 스토퍼캠팔로워가이드부(165a)의 내부에는 제1 스토퍼캠팔로워(147)가 배치될 수 있다. 제1 스토퍼캠팔로워가이드부(165a)는 제1 스토퍼캠팔로워(147)의 운동을 가이드하면서 제1 스토퍼캠팔로워(147)의 운동을 제한할 수 있다. 예를 들면, 제1 스토퍼캠팔로워(147)는 제1 스토퍼캠팔로워가이드부(165a)의 내부 측면 중 하나에 접촉할 수 있다. 이러한 경우 제1 스토퍼캠팔로워(147)는 제1 틸팅구동부(150a) 및 제1 스토퍼구동부(161a)의 작동에 따라 제1 스토퍼캠팔로워가이드부(165a)를 따라 상하로 움직일 수 있다. 제1 스토퍼캠팔로워(147)가 상기와 같이 운동하는 동안 제1 스토퍼캠팔로워(147)는 제1 스토퍼캠팔로워가이드부(165a)로 인하여 상하 운동만 할 수 있다. 특히 상기와 같은 경우 안착스테이지(140)는 제1 스토퍼캠팔로워(147)와 연결됨으로써 도 4의 Z축을 중심으로 회전하지 못할 수 있다. The first stopper cam follower guide portion 165a may be fixed to the moving portion 120. [ At this time, the first stopper cam follower 147 may be disposed inside the first stopper cam follower guide portion 165a. The first stopper cam follower portion 165a can limit the movement of the first stopper cam follower 147 while guiding the movement of the first stopper cam follower 147. [ For example, the first stopper cam follower 147 may contact one of the inner side surfaces of the first stopper cam follower guide portion 165a. In this case, the first stopper cam follower 147 can be moved up and down along the first stopper cam follower guide portion 165a according to the operation of the first tilting drive portion 150a and the first stopper drive portion 161a. While the first stopper cam follower 147 is moving as described above, the first stopper cam follower 147 can only move up and down due to the first stopper cam follower guide portion 165a. In particular, in the above case, the seating stage 140 may not rotate about the Z axis of FIG. 4 by being connected to the first stopper cam follower 147.

안착스테이지(140)는 안착판(141), 안착스테이지바디부(142), 온도측정부(143), 연결부(144), 제1 틸팅캠팔로워(145), 제2 틸팅캠팔로워(146), 제1 스토퍼캠팔로워(147) 및 제2 스토퍼캠팔로워(148)를 포함할 수 있다. The seating stage 140 includes a seating plate 141, a seating stage body portion 142, a temperature measuring portion 143, a connecting portion 144, a first tilting cam follower 145, a second tilting cam follower 146, A first stopper cam follower 147 and a second stopper cam follower 148.

안착판(141)은 웨이퍼 등과 같은 물체가 안착되도록 플레이트 형태로 형성될 수 있다. 이때, 안착판(141)은 원형으로 형성될 수 있다. 상기와 같은 안착판(141)에는 웨이퍼 등을 고정시키는 흡입홀(141a)이 형성될 수 있다. 이때, 흡입홀(141a)은 외부의 진공펌프(미도시)와 연결될 수 있으며, 선택적으로 흡입홀(141a) 내부를 진공으로 유지시킴으로써 웨이퍼 등을 안착판(141)에 고정시킬 수 있다. The seating plate 141 may be formed in a plate shape so that an object such as a wafer is seated. At this time, the seating plate 141 may be formed in a circular shape. A suction hole 141a for fixing a wafer or the like may be formed on the seating plate 141 as described above. At this time, the suction hole 141a can be connected to an external vacuum pump (not shown), and the wafer or the like can be fixed to the seating plate 141 by selectively holding the inside of the suction hole 141a in vacuum.

안착스테이지바디부(142)는 안착판(141)과 연결될 수 있다. 안착스테이지바디부(142) 내부에는 별도의 히터(미도시)가 구비될 수 있다. 이때, 상기 히터는 안착스테이지바디부(142) 및 안착판(141) 중 적어도 하나를 가열할 수 있다. The seating stage body 142 can be connected to the seating plate 141. A separate heater (not shown) may be provided inside the seating stage body 142. At this time, the heater can heat at least one of the seating stage body 142 and the seating plate 141.

온도측정부(143)는 안착스테이지바디부(142)의 내부에 삽입되도록 설치될 수 있다. 이때, 온도측정부(143)는 안착스테이지바디부(142) 및 안착판(141) 중 적어도 하나의 온도를 측정할 수 있다. The temperature measuring unit 143 may be installed to be inserted into the seating stage body 142. At this time, the temperature measuring unit 143 can measure the temperature of at least one of the seating stage body 142 and the seating plate 141.

연결부(144)는 이동부(120)와 안착스테이지바디부(142)를 연결할 수 있다. 이때, 연결부(144)는 자동 조심 베어링을 포함할 수 있다. The connection part 144 can connect the moving part 120 and the seating stage body part 142. At this time, the connecting portion 144 may include a self-aligning bearing.

제1 틸팅캠팔로워(145)는 제1 틸팅구동부(150a)와 대응되도록 배치될 수 있다. 이때, 제1 틸팅캠팔로워(145)는 제1 틸팅캠(154a)과 접촉할 수 있으며, 제1 틸팅캠(154a)의 동작 시 제1 틸팅캠(154a)의 회전 방향의 반대 방향으로 회전할 수 있다. The first tilting cam follower 145 may be arranged to correspond to the first tilting driving part 150a. At this time, the first tilting cam follower 145 may contact the first tilting cam 154a and rotate in a direction opposite to the first tilting cam 154a in the direction of rotation of the first tilting cam 154a .

제2 틸팅캠팔로워(146), 제1 스토퍼캠팔로워(147) 및 제2 스토퍼캠팔로워(148) 각각은 제2 틸팅캠(154b), 제1 스토퍼편심캠(163a) 및 제2 스토퍼편심캠(미도시)에 대응되도록 배치될 수 있다. 이때, 제2 틸팅캠팔로워(146), 제1 스토퍼캠팔로워(147) 및 제2 스토퍼캠팔로워(148) 각각은 제2 틸팅캠(154b), 제1 스토퍼편심캠(163a) 및 상기 제2 스토퍼편심캠의 회전 시 회전할 수 있다. Each of the second tilting cam follower 146, the first stopper cam follower 147 and the second stopper cam follower 148 includes a second tilting cam 154b, a first stopper eccentric cam 163a, (Not shown). At this time, the second tilting cam follower 146, the first stopper cam follower 147, and the second stopper cam follower 148 each include the second tilting cam 154b, the first stopper eccentric cam 163a, And can rotate when the stopper eccentric cam rotates.

탄성부(181)는 이동부(120)와 안착스테이지바디부(142) 사이에 배치되어 이동부(120)와 안착스테이지바디부(142)를 연결할 수 있다. 이때, 탄성부(181)는 이동부(120)와 안착스테이지바디부(142)를 서로 잡아 당기도록 인장력이 가해진 상태일 수 있다. The elastic part 181 may be disposed between the moving part 120 and the seating stage body part 142 to connect the moving part 120 and the seating stage body part 142. At this time, the elastic part 181 may be in a state in which a tensile force is applied to pull the moving part 120 and the seating stage body part 142 together.

탄성부(181)는 복수개 구비될 수 있다. 이때, 복수개의 탄성부(181)는 한쌍을 이룰 수 있으며, 한쌍을 구성하는 2개의 탄성부(181)는 서로 마주보도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 2개의 탄성부(181) 사이에는 제1 틸팅캠팔로워(145), 제2 틸팅캠팔로워(146), 제1 스토퍼캠팔로워(147) 및 제2 스토퍼캠팔로워(148)가 각각 배치될 수 있다. 이러한 경우 탄성부(181)는 제1 틸팅캠(154a)과 제1 틸팅캠팔로워(145)의 접촉을 항상 유지시킬 수 있다. 또한, 탄성부(181)는 제2 틸팅캠(154b)과 제2 틸팅캠팔로워(146), 제1 스토퍼편심캠(163a)과 제1 스토퍼캠팔로워(147) 및 상기 제2 스토퍼편심캠과 제2 스토퍼캠팔로워(148) 각각의 접촉을 항상 유지시킬 수 있다. A plurality of elastic portions 181 may be provided. At this time, the plurality of elastic portions 181 may be formed as a pair, and the two elastic portions 181 constituting a pair may be arranged to face each other. In this case, a first tilting cam follower 145, a second tilting cam follower 146, a first stopper cam follower 147, and a second stopper cam follower 148 are disposed between the two elastic portions 181, respectively . In this case, the elastic portion 181 can maintain the contact between the first tilting cam 154a and the first tilting cam follower 145 at all times. The elastic portion 181 is connected to the second tilting cam 154b and the second tilting cam follower 146, the first stopper eccentric cam 163a and the first stopper cam follower 147, The contact of each of the second stopper cam followers 148 can be maintained at all times.

한편, 상기와 같은 안착스테이지(140)의 작동을 살펴보면, 안착스테이지(140)는 초기 위치를 설정할 수 있다. 구체적으로 센서부(182) 등을 통하여 안착스테이지(140)의 기 설정된 위치가 맞는지 확인할 수 있다. 이때, 안착스테이지(140)의 위치가 기 설정된 위치가 아닌 것으로 판단되면, 제1 틸팅구동부(150a)의 제1 틸팅캠조절부(155a) 및 제2 틸팅구동부(150b)의 제2 틸팅캠조절부(155b)를 통하여 안착스테이지(140)의 위치를 미세 조정할 수 있다. 특히 상기와 같은 작업을 통하여 안착스테이지바디부(142)의 하면이 제1 틸팅감지부(171) 및 제2 틸팅감지부(172)를 완전히 누른 상태를 유지하도록 할 수 있다. Meanwhile, as for the operation of the seating stage 140 as described above, the seating stage 140 can set the initial position. Specifically, it is possible to confirm whether the predetermined position of the seating stage 140 is correct through the sensor unit 182 or the like. When it is determined that the position of the seating stage 140 is not the preset position, the first tilting cam adjusting portion 155a of the first tilting driving portion 150a and the second tilting cam adjusting portion 150b of the second tilting driving portion 150b The position of the seating stage 140 can be finely adjusted through the portion 155b. Particularly, the bottom surface of the seating stage body part 142 can maintain the first tilting sensing part 171 and the second tilting sensing part 172 fully pressed through the above operation.

상기의 과정이 완료되면, 이동부(120)를 승하강시키거나 리프트부(190)를 승하강시키켜 웨이퍼를 안착판(141)에 안착시킬 수 있다. 이후 흡입홀(141a)을 통하여 웨이퍼(미도시)를 안착판(141)에 고정시킬 수 있다. When the above process is completed, the moving part 120 may be moved up and down or the lift part 190 may be moved up and down to seat the wafer on the seating plate 141. Thereafter, the wafer (not shown) can be fixed to the seating plate 141 through the suction hole 141a.

상기와 같이 웨이퍼의 고정 후 웨이퍼 상의 부품을 픽업하는 등의 작업을 진행할 수 있다. 특히 이러한 작업이 진행되는 동안 안착스테이지(140)는 초기에 설정된 평평도를 갖지 못할 수 있다. The work such as picking up the parts on the wafer after fixing the wafer can be performed. The seating stage 140 may not have an initial flatness level, especially during such operation.

이러한 경우 제1 틸팅감지부(171) 및 제2 틸팅감지부(172)는 안착스테이지(140)의 평평도를 감지할 수 있다. 구체적으로 제1 틸팅감지부(171) 및 제2 틸팅감지부(172)는 안착스테이지(140)가 누르는 정도를 측정할 수 있다. 예를 들면, 제1 틸팅감지부(171)가 초기에 안착스테이지(140)가 누르는 양을 영으로 설정한 경우 안착스테이지(140)가 초기보다 더 누르는 경우 음의 값을 나타내고, 안착스테이지(140)가 초기보다 덜 누르는 경우 양의 값을 나타낼 수 있다.In this case, the first tilting sensing unit 171 and the second tilting sensing unit 172 can sense the flatness of the seating stage 140. Specifically, the first tilting sensing unit 171 and the second tilting sensing unit 172 can measure the degree of the seating stage 140 being pressed. For example, when the first tilting sensing unit 171 initially sets the amount of the seating stage 140 pressed to zero, the seating stage 140 indicates a negative value when the seating stage 140 is pressed further than the initial stage, ) Can represent a positive value if you press less than the initial.

상기와 같이 측정된 제1 틸팅감지부(171) 및 제2 틸팅감지부(172)의 값을 근거로 안착스테이지(140)의 틸팅된 정도를 판단할 수 있다. 이때, 안착스테이지(140)의 틸팅된 정도의 판단은 별도의 제어부(미도시)가 구비되어 상기 제어부에 산출할 수 있다. 예를 들면, 상기 제어부는 제1 틸팅감지부(171)에서 측정된 값과 제2 틸팅감지부(172)에서 측정된 값 사이의 차를 근거로 안착스테이지(140)의 틸팅 정도를 기 설정된 수식에 대입하여 연산하거나 기 저장된 테이블에서 비교하여 산출할 수 있다. The degree of tilting of the seating stage 140 can be determined based on the values of the first tilting sensing unit 171 and the second tilting sensing unit 172 measured as described above. At this time, the judgment of the degree of the tilting of the seating stage 140 may be performed by a separate control unit (not shown). For example, the control unit may calculate a tilting degree of the seating stage 140 based on a difference between the measured value of the first tilting sensing unit 171 and the measured value of the second tilting sensing unit 172, And can be calculated and compared in a pre-stored table.

상기와 같이 안착스테이지(140)의 틸팅 정도가 산출된 후 제1 틸팅구동부(150a) 및 제2 틸팅구동부(150b) 중 적어도 하나를 작동시켜 안착스테이지(140)의 상면을 평평하게 조절할 수 있다. 이때, 제1 틸팅구동부(150a) 또는 제2 틸팅구동부(150b)가 구동하는 경우 이에 대응하는 제1 스토퍼부(160a) 또는 제2 스토퍼부(160b)도 구동할 수 있다. 이때, 제1 틸팅구동부(150a)가 작동하는 경우와 제2 틸팅구동부(150b)가 작동하는 경우가 동일 또는 유사하므로 제1 틸팅구동부(150a)가 작동하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. After the tilting degree of the seating stage 140 is calculated as described above, at least one of the first tilting driving part 150a and the second tilting driving part 150b may be operated to adjust the upper surface of the seating stage 140 to be flat. At this time, when the first tilting driving part 150a or the second tilting driving part 150b is driven, the corresponding first stopper part 160a or the second stopper part 160b may be driven. Here, the first tilting driver 150a operates and the second tilting driver 150b operates in the same or similar manner. Therefore, the first tilting driver 150a operates in detail.

제1 틸팅동력생성부(151a)가 작동하면, 제1 틸팅동력생성부(151a)의 회전력이 제1 틸팅기어유닛(152a) 및 제1 틸팅커플링(153a)으로 순차적으로 전달되어 제1 틸팅캠(154a)을 회전시킬 수 있다. 이러한 경우 제1 틸팅캠(154a)의 운동에 따라 제1 틸팅캠팔로워(145)가 회전하면서 제1 틸팅캠팔로워(145)가 배치된 안착스테이지바디부(142)의 높이가 가변할 수 있다. When the first tilting power generating portion 151a is operated, the rotational force of the first tilting power generating portion 151a is sequentially transmitted to the first tilting gear unit 152a and the first tilting coupling 153a, The cam 154a can be rotated. In this case, the first tilting cam follower 145 rotates according to the movement of the first tilting cam 154a, and the height of the seating stage body 142 in which the first tilting cam follower 145 is disposed can be varied.

상기와 같이 작동하는 경우 제1 스토퍼구동부(161a)도 작동하여 제1 스토퍼커플링(162a)을 회전시켜 제1 스토퍼편심캠(163a)을 회전시킬 수 있다. 이때, 제1 스토퍼편심캠(163a)의 회전 방향, 회전 정도 등은 제1 틸팅동력생성부(151a)의 작동에 대응하여 기 설정된 제1 스토퍼구동부(161a)의 작동 정도에 의해 결정될 수 있다. In the above operation, the first stopper driving portion 161a also operates to rotate the first stopper coupling 162a to rotate the first stopper eccentric cam 163a. At this time, the rotational direction, degree of rotation, and the like of the first stopper eccentric cam 163a may be determined by the degree of operation of the first stopper driving portion 161a, which is set in correspondence with the operation of the first tilting power generating portion 151a.

상기와 같이 제1 틸팅동력생성부(151a)와 제1 스토퍼구동부(161a)의 작동이 기 설정된 값 만큼 완료된 후 제1 틸팅동력생성부(151a) 및 제1 스토퍼구동부(161a)의 작동이 중지될 수 있다. 이때, 제1 틸팅동력생성부(151a)에 구비된 브레이크를 통하여 제1 틸팅동력생성부(151a)가 작동하는 것을 방지할 수 있다. After the operation of the first tilting power generating unit 151a and the first stopper driving unit 161a is completed by a predetermined value, the operation of the first tilting power generating unit 151a and the first stopper driving unit 161a is stopped . At this time, it is possible to prevent the first tilting power generation unit 151a from operating through the brakes provided in the first tilting power generation unit 151a.

상기와 같이 제1 틸팅동력생성부(151a)의 작동이 중지되면, 제1 스토퍼구동부(161a)를 작동하여 제1 스토퍼편심캠(163a)으로 안착스테이지바디부(142)를 제1 틸팅캠(154a) 측으로 약간 회전하도록 힘을 가할 수 있다. When the operation of the first tilting power generating portion 151a is stopped as described above, the first stopper driving portion 161a is operated to move the seating stage body portion 142 to the first tilting cam 163a as the first stopper eccentric cam 163a 154a.

구체적으로 제1 스토퍼구동부(161a)를 통하여 제1 스토퍼편심캠(163a)이 회전하여 제1 스토퍼편심캠(163a)이 제1 스토퍼캠팔로워(147)를 가력하도록 할 수 있다. 이때, 제1 스토퍼캠팔로워(147)가 가력되면서 안착스테이지바디부(142)가 상측으로 가력될 수 있다. 이러한 경우 제1 틸팅동력생성부(151a)는 작동이 중지된 상태이므로 제1 틸팅캠(154a)은 더 이상 움직이지 않고, 제1 틸팅캠(154a)이 안착스테이지바디부(142)를 상측으로 가력하고, 제1 스토퍼편심캠(163a)이 안착스테이지바디부(142)를 상측으로 가력함으로써 안착스테이지바디부(142)가 연결부(144)를 중심으로 회전하지 않도록 고정될 수 있다. Specifically, the first stopper eccentric cam 163a rotates through the first stopper driving portion 161a so that the first stopper eccentric cam 163a can force the first stopper cam follower 147 to move. At this time, the first stopper cam follower 147 is engaged and the seating stage body portion 142 can be moved upward. In this case, since the first tilting power generating unit 151a is in a stopped state, the first tilting cam 154a does not move any more, and the first tilting cam 154a moves the seating stage body unit 142 upward The first stage stopper eccentric cam 163a may be fixed to the seating stage body 142 so that the seating stage body 142 does not rotate about the connecting portion 144 by pressing the seating stage body 142 upward.

상기와 같이 제1 스토퍼편심캠(163a)을 미세 조정한 후 제1 스토퍼구동부(161a)의 작동을 중지시킬 수 있다. 또한, 제1 스토퍼구동부(161a)의 작동이 중지되면, 제1 스토퍼브레이크(164a)를 작동하여 제1 스토퍼편심캠(163a)의 위치를 고정시킬 수 있다. As described above, after the first stopper eccentric cam 163a is finely adjusted, the operation of the first stopper driving portion 161a can be stopped. In addition, when the operation of the first stopper driving portion 161a is stopped, the position of the first stopper eccentric cam 163a can be fixed by operating the first stopper brake 164a.

상기와 같이 제1 틸팅구동부(150a) 및 제1 스토퍼부(160a)가 작동하는 동안 제2 틸팅구동부(150b) 및 제2 스토퍼부(160b)도 상기와 동일 또는 유사하게 작동할 수 있다. The second tilting driving part 150b and the second stopper part 160b may operate in the same or similar manner as described above while the first tilting driving part 150a and the first stopper part 160a are operated.

제1 틸팅감지부(171)와 제2 틸팅감지부(172)는 지속적으로 안착스테이지(140)의 틸팅 정도를 감지할 수 있으며, 감지된 값을 근거로 제1 틸팅구동부(150a), 제1 스토퍼부(160a), 제2 틸팅구동부(150b) 및 제2 스토퍼부(160b)가 지속적으로 작동할 수 있다. 이후 제1 틸팅감지부(171) 및 제2 틸팅감지부(172)에서 감지된 값이 기 설정된 값에 도달할 때까지 제1 틸팅구동부(150a) 및 제2 틸팅구동부(150b)를 작동시킬 수 있다. 또한, 제1 틸팅감지부(171) 및 제2 틸팅감지부(172)에서 감지된 값이 기 설정된 값에 도달하면 제1 스토퍼부(160a) 및 제2 스토퍼부(160b)를 상기와 같이 작동시켜 안착스테이지(140)를 고정시킬 수 있다. The first tilting sensing unit 171 and the second tilting sensing unit 172 can continuously sense the tilting degree of the seating stage 140. Based on the sensed values, the first tilting driving unit 150a, The stopper portion 160a, the second tilting drive portion 150b, and the second stopper portion 160b can be continuously operated. The first tilting drive unit 150a and the second tilting drive unit 150b can be operated until the value detected by the first tilting detection unit 171 and the second tilting detection unit 172 reaches a preset value have. When the values detected by the first tilting sensing unit 171 and the second tilting sensing unit 172 reach a preset value, the first stopper unit 160a and the second stopper unit 160b are operated as described above So that the seating stage 140 can be fixed.

상기와 같은 작업이 진행되는 동안 탄성부(181)는 제1 틸팅캠(154a)과 제1 틸팅캠팔로워(145), 제2 틸팅캠(154b)과 제2 틸팅캠팔로워(146), 제1 스토퍼편심캠(163a)과 제1 스토퍼캠팔로워(147) 및 상기 제2 스토퍼편심캠과 제2 스토퍼캠팔로워(148)가 각각 서로 떨어지는 것을 방지할 수 있다. During the above operation, the elastic portion 181 is rotated by the first tilting cam 154a and the first tilting cam follower 145, the second tilting cam 154b and the second tilting cam follower 146, The stopper eccentric cam 163a and the first stopper cam follower 147 and the second stopper eccentric cam and the second stopper cam follower 148 can be prevented from falling off from each other.

틸팅 스테이지 시스템(100)은 상기의 경우 이외에도 안착스테이지(140)가 기 설정된 틸팅 정도와 상이한 것으로 판단되면, 외부로 알람을 표시하는 알람부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 알람부는 빛, 이미지, 소리 등을 통하여 외부로 알람을 표시할 수 있다. The tilting stage system 100 may further include an alarm unit (not shown) for displaying an alarm to the outside if it is determined that the seating stage 140 is different from the predetermined tilting degree. At this time, the alarm unit can display an alarm to the outside through light, image, sound, or the like.

따라서 틸팅 스테이지 시스템(100)은 하나의 중심으로 회전한 안착스테이지(140)를 구비함으로써 간단한 구조를 통하여 안착스테이지(140)의 평형도를 조절할 수 있다. Accordingly, the tilting stage system 100 can adjust the balance degree of the seating stage 140 through a simple structure by having the seating stage 140 rotated around one center.

또한, 틸팅 스테이지 시스템(100)은 실시간으로 안착스테이지(140)의 틸팅 정도를 감지함으로써 부재를 안정적으로 고정시키는 것이 가능하고, 시스템의 정밀도를 향상시킬 수 있다. Further, the tilting stage system 100 can stably fix the member by sensing the degree of tilting of the seating stage 140 in real time, and can improve the accuracy of the system.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위에는 본 발명의 요지에 속하는 한 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, it is possible to make various modifications and variations without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, it is intended that the appended claims cover all such modifications and variations as fall within the true spirit of the invention.

100: 틸팅 스테이지 시스템
111: 제1 지지부
112: 제2 지지부
113: 승하강선형가이드부
120: 이동부
130: 구동부
140: 안착스테이지
150a: 제1 틸팅구동부
150b: 제2 틸팅구동부
160a: 제1 스토퍼부
160b: 제2 스토퍼부
171: 제1 틸팅감지부
172: 제2 틸팅감지부
181: 탄성부
182: 센서부
183: 리프트구동부
190: 리프트부 100: tilting stage system
111: first support portion
112: second support portion
113: ascending / descending linear guide portion
120:
130:
140: seating stage
150a: a first tilting drive
150b: a second tilting drive
160a: first stopper portion
160b: second stopper portion
171: a first tilting detection unit
172: second tilting detection unit
181:
182:
183:
190: Lift section

Claims (5)

제1 지지부;
상기 제1 지지부로부터 이격되도록 배치되는 제2 지지부;
상기 제1 지지부와 상기 제2 지지부 사이에 운동 가능하도록 배치되는 운동부;
상기 제2 지지부의 내부에 배치되며, 중심에서 상기 운동부와 회전 가능하도록 연결되는 안착스테이지;
상기 운동부와 연결되어 상기 운동부를 제1 방향으로 이동시키는 구동부;
상기 운동부에 설치되어 상기 안착스테이지의 중심으로부터 편심된 상기 안착스테이지 제1 부분을 상기 제1 방향으로 가력하는 제1 틸팅구동부; 및
상기 제1 틸팅구동부와 일정 각도를 형성하도록 상기 운동부에 설치되며, 상기 안착스테이지의 중심으로부터 편심된 상기 안착스테이지 제2 부분을 상기 제1 방향으로 가력하는 제2 틸팅구동부;를 포함하는 틸팅 스테이지 시스템. A first support portion;
A second support portion disposed to be spaced apart from the first support portion;
A moving part arranged to be movable between the first supporting part and the second supporting part;
A seating stage disposed inside the second support portion and rotatably connected to the motion portion at a center;
A driving unit connected to the moving unit to move the moving unit in a first direction;
A first tilting driving unit installed in the motion unit and configured to move the first part of the seating stage eccentric from the center of the seating stage in the first direction; And
And a second tilting drive system installed in the motion unit to form a predetermined angle with the first tilting drive unit and configured to move the second part of the seating stage eccentric from the center of the seating stage in the first direction, . 제 1 항에 있어서,
상기 제1 틸팅구동부에 설치되며, 상기 제1 부분의 상기 제1 방향으로의 이동양을 측정하는 제1 틸팅감지부; 및
상기 제2 틸팅구동부에 설치되며, 상기 제2 부분의 상기 제2 방향으로의 이동양을 측정하는 제2 틸팅감지부;를 더 포함하는 틸팅 스테이지 시스템.The method according to claim 1,
A first tilting detection unit installed at the first tilting driving unit and measuring an amount of movement of the first part in the first direction; And
And a second tilting detection unit installed at the second tilting driving unit and measuring an amount of movement of the second part in the second direction. 제 2 항에 있어서,
상기 제1 틸팅구동부 및 상기 제2 틸팅구동부는 각각 상기 제1 틸팅감지부 및 상기 제2 틸팅감지부에서 측정된 값을 근거로 상기 안착스테이지를 틸팅시키도록 작동하는 틸팅 스테이지 시스템.3. The method of claim 2,
Wherein the first tilting driving unit and the second tilting driving unit are operated to tilt the seating stage based on the values measured by the first tilting sensing unit and the second tilting sensing unit, respectively. 제 1 항에 있어서,
상기 제1 틸팅구동부와 대향하도록 상기 운동부에 배치되는 제1 스토퍼부;를 더 포함하는 틸팅 스테이지 시스템.The method according to claim 1,
And a first stopper portion disposed on the motion portion so as to face the first tilting drive portion. 제 1 항에 있어서,
상기 제2 틸팅구동부와 대향하도록 상기 운동부에 배치되는 제2 스토퍼부;를 더 포함하는 틸팅 스테이지 시스템. The method according to claim 1,
And a second stopper portion disposed in the movement portion so as to face the second tilting drive portion.
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