KR20180021527A - A developer supply system - Google Patents

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KR20180021527A
KR20180021527A KR1020160106217A KR20160106217A KR20180021527A KR 20180021527 A KR20180021527 A KR 20180021527A KR 1020160106217 A KR1020160106217 A KR 1020160106217A KR 20160106217 A KR20160106217 A KR 20160106217A KR 20180021527 A KR20180021527 A KR 20180021527A
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권혁인
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주식회사 다움이엔지
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Abstract

The present invention relates to a developer supply system which comprises: an undiluted solution storage tank for storing an undiluted solution of a developer; a distilled water storage tank storing distilled water; a dosage feeder for individually receiving the undiluted solution of the developer in the undiluted solution storage tank and the distilled water of the distilled water storage tank, and then supplying the undiluted solution of the developer and the distilled water to a tank supply means at a ratio of 2:8; the tank supply means composed of at least two supply tanks, and receiving and storing the undiluted solution of the developer and the distilled water supplied from the dosage feeder; an operation pump means for stirring the undiluted solution of the developer and the distilled water stored in the supply tank of the tank supply means to form a developer; and a transfer pipe connected to the tank supply means, and supplying the stirred developer to a process. According to the present invention, a developer having a uniform concentration formed by stirring the undiluted solution of the developer and the distilled water can be stably supplied, and the quality of a product related to the developer can be improved as well.

Description

현상액 공급시스템{A developer supply system}A developer supply system

본 발명은 현상액 공급시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 포토레지스트가 도포된 웨이퍼의 전면에 현상액을 공급하는 현상액 공급시스템에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a developer supply system, and more particularly, to a developer supply system that supplies a developer to a front surface of a wafer to which a photoresist is applied.

일반적으로 액정기판이나 프린트 기판을 제조할 때의 포토레지스트의 현상 프로세스에서는 테트라메틸암모늄 하이드록사이드(TMAH) 등의 알칼리 수용액이 현상액으로서 사용된다. Generally, in the development process of a photoresist when a liquid crystal substrate or a printed substrate is manufactured, an aqueous alkali solution such as tetramethylammonium hydroxide (TMAH) is used as a developer.

이러한 현상액은 현재 기판 사이즈의 대형화 및 프로세스의 진보에 의해 다량으로 사용되기 때문에 비용 절감의 관점에서 현상 프로세스에 대하여 재이용하는 것이 바람직하지만, 재이용을 반복하는 동안 수지 중의 산과 반응, 공기 중의 탄산 가스나 산소와 반응하는 것에 의해 알칼리 농도가 저하되고 또 레지스트용 수지의 용해에 의해 수지 농도가 상승하며 이것에 의해 레지스트 패턴의 치수 정밀도나 미노광부의 막두께 정밀도가 저하되기 때문에 알칼리 농도 및 용해 수지 농도를 가능한한 일정하게 관리할 필요가 있다.Such a developer is preferably reused for the developing process from the viewpoint of cost reduction because it is used in a large amount due to the enlargement of the substrate size and the progress of the process. However, the reaction with acid in the resin during repetition of reuse, The alkali concentration decreases and the resin concentration increases due to dissolution of the resist resin. As a result, the dimensional accuracy of the resist pattern and the precision of the film thickness of the unexposed portion are lowered, so that the alkali concentration and the dissolved resin concentration are made possible It is necessary to manage it constantly.

현상 프로세스로부터 배출되는 사용한 현상액을 재생하여 재이용하는 현상액의 공급장치로서 공급해야할 현상액을 조제하는 공급저장조(조제조), 사용한 현상액을 일단 회수액 저장조에 수용하여 상기 공급저장조로 송액하는 회수액 공급기구, 새로운 현상액 원액을 공급저장조에 공급하는 원액 공급기구, 희석수를 공급저장조에 공급하는 희석수 공급 기구를 구비하고 있고, 공급 저장조의 현상액의 알칼리 농도 및 수지 농도에 기본으로 하여 원액공급기구에 의한 현상액 원액의 송액 및 희석수 공급기구에 의한 희석수의 송액을 제어가능하게된 것이 알려져 있다.A supply reservoir (preparation) for preparing a developer to be supplied as a developer supply device for regenerating and reusing the used developer discharged from the developing process, a collection liquid supply mechanism for once storing the used developer in the recovery liquid storage tank and delivering the developer to the supply storage tank, And a diluting water supplying mechanism for supplying the diluting water to the supply reservoir. The developing solution supply unit supplies the developer solution with the undiluted solution supply unit to the developer supply unit, based on the alkali concentration and the resin concentration of the developer in the supply reservoir, And the feeding of the diluted water by the diluting water supply mechanism can be controlled.

상기와 같은 현상액의 공급장치에 있어서 현상 프로세스로부터 회수한 사용한 현상액의 알칼리 농도가 목표 농도보다 낮은 경우에는 고농도의 현상액 원료(예컨대 25 질량%의 TMAH)를 추가 공급하고, 사용한 현상액의 수지 농도가 목표 농도보다 높은 경우에는 상기 현상액 원액 및 희석용 순수를 추가 공급하는 것에 의해 적절한 농도의 현상액을 조제하고 있다.When the alkaline concentration of the used developer recovered from the developing process in the above-described developer supply apparatus is lower than the target concentration, a high concentration developer liquid (for example, 25 mass% TMAH) is further supplied, If the concentration is higher than the concentration, the developer solution and the pure water for dilution are additionally supplied to prepare an appropriate concentration of the developer.

따라서 현상액의 초음파 전파속도나 전자도전율에 기초하여 알칼리 농도 및 수지 농도를 고순도로 검출하는 것에 의해 정확하게 농도 조절된 현상액을 프로세스 측에 공급할 수 있다.Therefore, by accurately detecting the alkali concentration and the resin concentration on the basis of the ultrasonic wave propagation speed and the electronic conductivity of the developer, it is possible to supply the developer with the concentration-adjusted concentration accurately.

그런데 전술한 현상액의 공급장치에 있어서 현상 프로세스로부터 조제조로의 사용한 현상액의 회수량이 조제조로부터 현상 프로세스의 공급량보다 많게 되거나, 현상액 원액이나 새로운 현상액의 추가 공급양이 예정 이상으로 많아진 경우, 조제되는 현상액의 전체량이 공급저장조(조제조)의 수용량을 초과하기 때문에 과잉 현상액을 조제조로부터 폐기하지 않으면 안된다. 이것에 의해 추가 공급된 현상액 원액이나 새로운 현상액의 일부도 폐기되기 때문에 비용 손실이 증가하는 문제점이 있었다. However, when the amount of the developer used in the development process from the developing process to the preparation tank is greater than the supply amount of the developing process from the preparation of the developing solution, or when the amount of the developer stock solution or fresh developer is further increased beyond the predetermined amount, The excess developer must be discarded from the preparation because the total amount of the developer exceeds the capacity of the supply reservoir (manufactured by the manufacturer). As a result, there is a problem in that cost loss is increased since the original developer solution or a part of the new developer solution is also discarded.

대한민국 등록특허공보 제10-0126915호Korean Patent Registration No. 10-0126915 대한민국 공개특허공보 제10-2007-0065209호Korean Patent Publication No. 10-2007-0065209

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 현상액원액과 증류수를 교반하여 형성되는 균일한 농도를 가지는 현상액을 안정적으로 공급할 수 있는 현상액 공급시스템을 제공하는데 그 목적이 있다. It is an object of the present invention to provide a developer supply system capable of stably supplying a developer having a uniform concentration formed by stirring developer stock solution and distilled water.

또한, 탱크 공급수단을 구성하는 공급탱크의 내부에 수용되는 현상액원액과 증류수를 교반시키는 작동펌프의 개수를 줄일 수 있도록 하는 현상액 공급시스템을 제공하는데 그 목적이 있다. It is also an object of the present invention to provide a developer supply system that can reduce the number of developer pumps, which are housed in a supply tank constituting tank supply means, and operation pumps, which stir distilled water.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명인 현상액 공급시스템은 현상액원액이 저장되는 원액 저장탱크; 증류수가 저장되는 증류수 저장탱크; 상기 원액 저장탱크의 현상액원액과 증류수 저장탱크의 증류수를 각각 공급받은 후 현상액원액과 증류수를 2:8 비율로 탱크 공급수단에 공급하는 정량투입기; 적어도 두 개 이상의 공급탱크로 구성되고 상기 정량투입기에서 공급되는 현상액원액과 증류수를 공급받아 저장하는 탱크 공급수단; 상기 탱크 공급수단의 공급탱크에 저장되는 현상액원액과 증류수를 교반시켜 현상액을 형성하는 작동 펌프수단; 상기 탱크 공급수단과 연결되고 교반된 현상액을 공정에 공급하는 이송배관;을 포함하여 이루어진다. According to an aspect of the present invention, there is provided a developer supply system including: a stock solution storage tank in which a developer solution is stored; A distilled water storage tank in which distilled water is stored; A metering doser for supplying the developer solution and the distilled water from the developer tank and the distilled water storage tank to the tank supply means at a 2: 8 ratio; A tank supply means which is composed of at least two supply tanks and receives and stores developer solution and distilled water supplied from the quantitative charging device; An operation pump means for stirring developer solution and distilled water stored in a supply tank of said tank supply means to form a developer; And a transfer pipe connected to the tank supplying means and supplying the stirred developer to the process.

여기서, 상기 탱크 공급수단과 작동 펌프수단의 사이에는 교반된 현상액의 농도를 측정한 후 상기 현상액을 탱크 공급수단에 공급하는 회수라인이 장착되고, 상기 회수라인은 작동 펌프수단에 일 측이 결합되고 반대 측은 탱크 공급수단에 결합되는 회수 배관과 상기 회수 배관의 도중에 장착되고 현상액의 농도를 측정하는 농도 측정기로 구성될 수 있다. Here, a recovery line is provided between the tank supply means and the operation pump means for measuring the concentration of the stirred developer and then supplying the developer to the tank supply means, and the recovery line is connected to the operation pump means at one side And the opposite side may be constituted of a recovery pipe coupled to the tank supply means and a concentration meter mounted in the middle of the recovery pipe and measuring the concentration of the developer.

그리고 상기 탱크 공급수단은 제 1, 2, 3, 4 공급탱크로 구성되고, 상기 작동펌프수단은 제 1, 3 공급탱크를 교반시키는 제 1 작동펌프와 제 2, 4 공급탱크를 교반시키는 제 2 작동펌프 및 제 1 작동펌프 또는 제 2 작동펌프의 고장 또는 정지시 대체되는 비상 작동펌프로 구성될 수 있다. And said tank supply means comprises first, second, third and fourth supply tanks, said operating pump means comprising a first operating pump for agitating the first and third supply tanks and a second operating pump for agitating the second and fourth supply tanks, An operation pump and an emergency operation pump which is replaced when the first operation pump or the second operation pump breaks or stops.

본 발명에 따르면, 현상액원액과 증류수를 교반하여 형성되는 균일한 농도를 가지는 현상액을 안정적으로 공급할 수 있을 뿐만 아니라 그에 따른 제품의 질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. According to the present invention, it is possible to stably supply a developer having a uniform concentration formed by stirring a developer solution and distilled water, and to improve the quality of the resulting product.

또한, 탱크 공급수단을 구성하는 공급탱크의 내부에 수용되는 현상액원액과 증류수를 교반시키는 작동펌프의 개수를 줄일 수 있을 뿐만 아니라 그에 따른 설치비용과 설치공간을 축소하여 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다. In addition, it is possible to reduce the number of operation pumps for stirring the developer liquid and the distilled water, which are contained in the supply tank constituting the tank supply means, as well as the installation cost and the installation space, have.

도 1은 본 발명에 따른 현상액 공급시스템을 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명에 따른 현상액 공급시스템을 나타낸 구성도이다.1 is a schematic view showing a developer supply system according to the present invention.
2 is a configuration diagram showing a developer supply system according to the present invention.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시 예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Like parts are designated with like reference numerals throughout the specification.

이하, 본 발명의 구성을 첨부된 도면을 참조로 설명하면, 도 1은 본 발명에 따른 현상액 공급시스템을 나타낸 개략도이고, 도 2는 본 발명에 따른 현상액 공급시스템을 나타낸 구성도이다. FIG. 1 is a schematic view showing a developer supply system according to the present invention, and FIG. 2 is a configuration diagram showing a developer supply system according to the present invention. Referring to FIG.

본원발명인 현상액 공급시스템(100)은 원액 저장탱크(200), 증류수 저장탱크(300), 정량 투입기(400), 탱크 공급수단(500), 작동 펌프수단(600), 이송배관(700), 회수 라인(800)을 포함하여 이루어진다. The developer supply system 100 of the present invention includes a raw liquid storage tank 200, a distilled water storage tank 300, a quantitative doser 400, a tank supply means 500, an operation pump means 600, a transfer pipe 700, Line 800. < / RTI >

여기서, 상기 원액 저장탱크(200), 증류수 저장탱크(300), 정량 투입기(400), 탱크 공급수단(500), 작동 펌프수단(600), 이송배관(700)은 간격을 두고 배치되고 공지된 배관이나 파이프를 통해 연결되며 도중에는 공지된 펌프와 밸브 등이 장착될 수 있음을 밝힌다. Here, the raw liquid storage tank 200, the distilled water storage tank 300, the quantitative injector 400, the tank supply means 500, the operation pump means 600, and the transfer pipe 700 are disposed at intervals, It is connected through pipes or pipes, and it can be known that pumps and valves can be installed on the way.

원액 저장탱크(200)는 소정의 크기를 가지며 내부에는 순수 현상액원액이 저장된다. The undiluted solution storage tank 200 has a predetermined size and a pure developer solution is stored therein.

여기서 상기 원액 저장탱크(200)는 여러 가지 형상으로 형성되고 현상액원액이 수용되는 내부에는 이물질을 제거할 수 있도록 공지된 필터가 선택적으로 장착될 수 있다. Here, the undiluted solution storage tank 200 may be formed in various shapes, and a known filter may be selectively installed in the interior of the developer solution reservoir to remove foreign substances.

더불어 현상액원액이 배출되는 원액 저장탱크(200)에는 상기 현상액원액의 배출량을 조절할 수 있도록 공지된 밸브가 장착될 수 있다. In addition, a known valve may be mounted on the undiluted solution storage tank 200 for discharging the developer solution to control the discharge amount of the developer solution.

즉, 상기 원액 저장탱크(200)는 내부에 수용되는 현상액원액을 공급신호에 맞춰 상기 현상액원액을 정량투입기(400)에 공급할 수 있도록 한 것이다. That is, the undiluted solution storage tank 200 can supply the developer solution to the quantitative applicator 400 in accordance with the supply signal.

증류수 저장탱크(300)는 소정의 크기를 가지며 내부에는 순수 증류수가 저장된다. The distilled water storage tank 300 has a predetermined size and pure distilled water is stored therein.

여기서 상기 증류수 저장탱크(300)는 여러 가지 형상으로 형성되고 증류수가 수용되는 내부에는 이물질을 제거할 수 있도록 공지된 필터가 선택적으로 장착될 수 있다. Here, the distilled water storage tank 300 may be formed in various shapes, and a known filter may be selectively installed in the interior of the housing where the distilled water is received.

더불어 증류수가 배출되는 증류수 저장탱크(300)에는 상기 증류수의 배출량을 조절할 수 있도록 공지된 밸브가 장착될 수 있다. In addition, the distilled water storage tank 300 through which the distilled water is discharged may be equipped with a known valve so as to control the discharge amount of the distilled water.

즉, 상기 증류수 저장탱크(300)는 내부에 수용되는 증류수를 공급신호에 맞춰 상기 증류수를 정량투입기(400)에 공급할수 있도록 한 것이다. That is, the distilled water storage tank 300 can supply the distilled water accommodated therein to the quantitative injector 400 in accordance with the supply signal.

정량투입기(400)는 원액 저장탱크(200)와 증류수 저장탱크(300)와 각각 결합되고 현상액원액과 증류수를 각각 저장한 후 공급하게 된다. The quantitative dispenser 400 is connected to the undiluted solution storage tank 200 and the distilled water storage tank 300, respectively, and is supplied after storing the developer solution and the distilled water.

여기서, 상기 정량투입기(400)는 현상액원액이 수용되는 원액 투입기(420)와 증류수가 수용되는 증류수 투입기(440)로 구성되고, 현상액원액과 증류수의 공급유량은 공지된 밸브 등을 이용하여 조절한다. The quantitative dispenser 400 includes a raw liquid dispenser 420 containing a developer liquid and a distilled water dispenser 440 containing distilled water. The supply flow rate of the developer liquid and the distilled water is adjusted using a known valve or the like .

즉, 상기 정량투입기(400)는 원액 저장탱크(200)에서 공급되는 현상액원액을 원액 투입기(420)에 수용한 후 탱크 공급수단(500)에 공급하고, 증류수 저장탱크(300)에서 공급되는 증류수를 증류수 투입기(440)에 수용한 후 탱크 공급수단(500)에 공급하도록 한 것이다. That is, the quantitative dispenser 400 receives the developer solution supplied from the undiluted solution storage tank 200 into the undiluted solution dispenser 420 and supplies it to the tank supply means 500, and the distilled water supplied from the distilled water storage tank 300 Is supplied to the tank supplying means (500) after being received in the distilled water injector (440).

이때, 상기 정량투입기(400)는 원액 투입기(420)에 공급되는 현상액원액과 증류수 투입기(440)에 공급되는 증류수를 탱크 공급수단(500)에 2:8 비율로 공급하게 된다.At this time, the quantitative dispenser 400 supplies the developer solution supplied to the raw liquid injector 420 and the distilled water supplied to the distilled water dispenser 440 to the tank dispenser 500 at a ratio of 2: 8.

즉, 상기 정량투입기(400)는 현상액원액과 증류수를 2:8 비율로 탱크 공급수단(500)을 구성하는 공급탱크에 각각 공급하게 되는 것이다. That is, the quantitative dispenser 400 supplies the developer liquid and the distilled water to the supply tanks constituting the tank supplying means 500 at a ratio of 2: 8.

탱크 공급수단(500)은 적어도 두 개 이상의 공급탱크로 구성되고 상기 정량투입기(400)에서 공급되는 현상액원액과 증류수를 공급받아 저장하고 교반된 현상액은 공정에 공급하게 된다. The tank supply means 500 is composed of at least two supply tanks, receives the developer solution and the distilled water supplied from the quantitative injector 400, stores the developer solution, and supplies the stirred developer solution to the process.

이때, 상기 탱크 공급수단(500)을 구성하는 공급탱크의 크기는 환경 및 목적 등에 달라질 수 있음은 당연한 것이다. At this time, it is a matter of course that the size of the supply tank constituting the tank supply means 500 can be changed to environment, purpose, and the like.

또한, 상기 탱크 공급수단(500)을 구성하는 공급탱크는 다수개수로 이루어질 수 있으며, 본원발명에서 탱크 공급수단(500)은 제 1, 2, 3, 4 공급탱크(522, 524, 526, 528)으로 구성되는 예를 들어 설명하기로 한다. In the present invention, the tank supplying means 500 includes first, second, third and fourth supply tanks 522, 524, 526 and 528 ) Will be described as an example.

즉, 상기 탱크 공급수단(500)은 제 1, 2, 3, 4 공급탱크(522, 524, 526, 528)으로 구성되고, 정량투입기(400)의 원액 투입기(420)와 증류수 투입기(440)를 통해 현상액원액과 증류수를 2:8비율로 각각 공급받은 후 작동 펌프수단(600)의 작동시 현상액원액과 증류수를 교반하여 형성된 현상액을 공정에 공급하게 되는 것이다. That is, the tank supplying means 500 is composed of first, second, third and fourth supply tanks 522, 524, 526 and 528, and the raw liquid injector 420 and the distilled water injector 440 of the quantitative injector 400, The developer solution and the distilled water are supplied at a ratio of 2: 8, respectively, and then the developing solution is supplied to the process by stirring the developer solution and the distilled water during the operation of the operation pump means 600. [

작동 펌프수단(600)은 탱크 공급수단(500)의 공급탱크(522, 524, 526, 528)에 저장되는 현상액원액과 증류수를 교반시켜 현상액을 형성하게 된다. The operation pump means 600 stirs the developer solution and the distilled water stored in the supply tanks 522, 524, 526 and 528 of the tank supply means 500 to form a developer.

여기서 상기 작동 펌프수단(600)을 구성하는 다수개수로 이루어질 수 있으며, 본원발명에서 상기 작동 펌프수단(600)은 제 1, 3 공급탱크(522, 526)를 교반시키는 제 1 작동펌프(620)와 제 2, 4 공급탱크(524, 528)를 교반시키는 제 2 작동펌프(640) 및 제 1 작동펌프(620) 또는 제 2 작동펌프(640)의 고장 또는 정지시 대체되는 비상 작동펌프(660)으로 구성된다. In the present invention, the operation pump means 600 may include a first operation pump 620 for stirring the first and third supply tanks 522 and 526, A second operation pump 640 for agitating the second and fourth supply tanks 524 and 528 and an emergency operation pump 660 which is replaced when the first operation pump 620 or the second operation pump 640 fails or stops. ).

즉, 상기 작동 펌프수단(600)은 제 1 작동펌프(620)가 제 1, 3 공급탱크(522, 526)의 내부에 수용된 현상액원액과 증류수를 교반시키고, 제 2 작동펌프(640)가 제 2, 4 공급탱크(524, 528)가 제 1, 3 공급탱크(522, 526)의 내부에 수용된 현상액원액과 증류수를 교반시키게 되는 것이다. That is, the operation pump means 600 is configured such that the first operation pump 620 stirs the developer solution and the distilled water contained in the first and third supply tanks 522 and 526, and the second operation pump 640 The second and fourth supply tanks 524 and 528 stir the stock solution and the distilled water contained in the first and third supply tanks 522 and 526.

이를 좀 더 구체적으로 설명하면, 상기 제 1 작동펌프(620)는 제 1, 3 공급탱크(522, 526)의 내부에 수용된 현상액원액과 증류수를 동시에 교반시키는 것이 아니라 제 1 공급탱크(522)의 내부에 수용된 현상액원액과 증류수를 교반시킨 후 제 3 공급탱크(526)의 내부에 수용된 현상액원액과 증류수를 교반시키는 것이다. More specifically, the first operation pump 620 does not stir developer stock solution and distilled water contained in the first and third supply tanks 522 and 526, And the developer solution and the distilled water contained in the third supply tank 526 are stirred.

또한, 상기 제 2 작동펌프(640)도 제 2, 4 공급탱크(524, 528)의 내부에 수용된 현상액원액과 증류수를 동시에 교반시키는 것이 아니라 제 2 공급탱크(524)의 내부에 수용된 현상액원액과 증류수를 교반시킨 후 제 4 공급탱크(528)의 내부에 수용된 현상액원액과 증류수를 교반시키는 것이다. Also, the second operation pump 640 is not used to simultaneously stir the developer solution and the distilled water contained in the second and fourth supply tanks 524 and 528, but also the developer solution contained in the second supply tank 524 The distilled water is stirred, and then the developer stock solution and the distilled water contained in the fourth supply tank 528 are stirred.

이때, 상기 제 1 작동펌프(620) 또는 제 2 작동펌프(640)가 고장이나 손상시에는 비상 작동펌프(660)가 제 1 작동펌프(620) 또는 제 2 작동펌프(640)의 역할을 수행하게 된다. At this time, when the first operation pump 620 or the second operation pump 640 fails or is damaged, the emergency operation pump 660 functions as the first operation pump 620 or the second operation pump 640 .

이송배관(700)은 탱크 공급수단(500)을 구성하는 제 1, 2, 3, 4 공급탱크(522, 524, 526, 528)와 각각 연결되고 현상액원액과 증류수를 교반하여 형성된 현상액을 공정에 공급하게 된다. The transfer piping 700 is connected to the first, second, third and fourth supply tanks 522, 524, 526 and 528 constituting the tank supplying means 500, .

즉, 상기 이송배관(700)은 농도가 균일한 현상액을 공정에 공급할 수 있도록 한 것이다.That is, the transfer pipe 700 is capable of supplying a developing solution having a uniform concentration to the process.

이때, 상기 이송배관(700)에는 현상액의 이동 또는 차단과 함께 유량을 조절할 수 있도록 조절밸브가 장착됨은 당연한 것이다. At this time, it is a matter of course that a control valve is installed in the transfer pipe 700 so as to control the flow rate with the movement or interruption of the developer.

회수 라인(800)은 탱크 공급수단(500)과 작동 펌프수단(600)의 사이에 장착되고 교반된 현상액의 농도를 측정한 후 상기 현상액을 탱크 공급수단에 공급하게 된다. The recovery line 800 is installed between the tank supply means 500 and the operation pump means 600 and measures the concentration of the stirred developer and then supplies the developer to the tank supply means.

즉, 상기 회수 라인(800)은 작동 펌프수단(600)의 작동에 따른 탱크 공급수단(500)을 구성하는 제 1, 2, 3, 4 공급탱크(522, 524, 526, 528)의 내부에 수용된 현상액을 공급받아 각각의 농도를 측정한 후 제 1, 2, 3, 4 공급탱크(522, 524, 526, 528)에 다시 공급하게 되는 것이다. That is, the recovery line 800 is disposed inside the first, second, third, and fourth supply tanks 522, 524, 526, 528 constituting the tank supply means 500 according to the operation of the operation pump means 600 2, 3, and 4 supply tanks 522, 524, 526, and 528 after measuring the respective concentrations of the developing solution supplied thereto.

이러한 역할을 수행하는 회수라인(800)은 작동 펌프수단(600)에 일 측이 결합되고 반대 측은 탱크 공급수단(500)에 결합되는 회수 배관(820)과 상기 회수 배관(820)의 도중에 장착되고 현상액의 농도를 측정하는 농도 측정기(840)로 구성된다. The recovery line 800 performing this role is installed in the middle of the recovery pipe 820 and the recovery pipe 820 where one side is coupled to the operation pump means 600 and the opposite side is coupled to the tank supply means 500 And a concentration meter 840 for measuring the concentration of the developing solution.

즉, 상기 회수라인(800)은 작동 펌프수단(600)을 구성하는 제 1 작동펌프(620)와 제 2 작동펌프(640) 또는 비상 작동펌프(660)의 작동에 따른 각각의 공급탱크(522, 524, 526, 528)에서 공급되는 현상액을 회수 배관(820)을 통해 순환시키면서 농도 측정기(840)를 통해 공급탱크(522, 524, 526, 528)의 현상액의 농도를 연속적으로 측정할 수 있도록 한 것이다. That is, the recovery line 800 is connected to each of the supply tanks 522 (corresponding to the operation of the first operation pump 620 and the second operation pump 640 or the emergency operation pump 660) 524, 526, and 528 through the concentration meter 840 while circulating the developer supplied from the supply pipes 524, 526, and 528 through the recovery pipe 820, It is.

상기와 같은 현상액 공급시스템(100)의 작동상태를 살펴보면 다음과 같다. The operation state of the developer supply system 100 will be described below.

먼저, 원액 저장탱크(200)의 내부로 현상액원액을 공급하고, 증류수 저장탱크(300)의 내부로 증류수를 공급한다. First, the developer liquid is supplied into the undiluted solution storage tank 200, and distilled water is supplied into the distilled water storage tank 300.

이후, 상기 원액 저장탱크(200)에 저장된 현상액원액과 증류수 저장탱크(300)에 저장된 증류수를 정량투입기(400)의 원액 투입기(420)와 증류수 투입기(440)에 각각 공급한다. The developer solution stored in the stock solution tank 200 and the distilled water stored in the distilled water storage tank 300 are supplied to the solution injector 420 and the distilled water injector 440 of the quantitative injector 400, respectively.

그리고 상기 정량투입기(400)는 원액 투입기(420)에 수용된 현상액원액과 증류수 투입기(440)에 수용된 증류수를 2:8 비율로 탱크 공급수단(500)을 구성하는 제 1, 2, 3, 4 공급탱크(522, 524, 526, 528)에 순차적으로 공급한다. The quantitative dispenser 400 dispenses the developer solution contained in the raw liquid injector 420 and the distilled water received in the distilled water dispenser 440 into the first, second, third, and fourth supplies To the tanks 522, 524, 526, 528 in sequence.

이후, 제 1, 2, 3, 4 공급탱크(522, 524, 526, 528)에 수용된 현상액원액과 증류수는 작동 펌프수단(600)을 구성하는 제 1 작동펌프(620)와 제 2 작동펌프(640)에 작동에 따라 교반되면서 현상액을 형성하게 된다. The developer liquid and the distilled water contained in the first, second, third and fourth supply tanks 522, 524, 526 and 528 are supplied to the first operation pump 620 and the second operation pump 640) with stirring according to the operation.

여기서, 상기 제 1 작동펌프(620)는 제 1 공급탱크(522)의 내부에 수용된 현상액원액과 증류수를 교반시킨 후 제 3 공급탱크(526)의 내부에 수용된 현상액원액과 증류수를 교반시키고, 상기 제 2 작동펌프(640)는 제 2 공급탱크(524)의 내부에 수용된 현상액원액과 증류수를 교반시킨 후 제 4 공급탱크(528)의 내부에 수용된 현상액원액과 증류수를 교반시키게 된다. The first operation pump 620 stirs the developer solution and the distilled water stored in the first supply tank 522, stirs the developer solution and distilled water stored in the third supply tank 526, The second operation pump 640 agitates the developer solution and the distilled water stored in the second supply tank 524 and then stirs the developer solution and distilled water stored in the fourth supply tank 528.

이때, 제 1, 2, 3, 4 공급탱크(522, 524, 526, 528)에 교반된 현상액 중 일부는 제 1 작동펌프(620) 또는 제 2 작동펌프(640)의 작동시 회수 라인(800)에 공급되고, 상기 회수 라인(800)은 회수 배관(820)을 따라 제 1, 2, 3, 4 공급탱크(522, 524, 526, 528)에 회수되는 현상액의 농도를 농도 측정기(840)를 통해 실시간으로 확인하게 된다. At this time, a portion of the developer stirred in the first, second, third and fourth supply tanks 522, 524, 526 and 528 is supplied to the recovery line 800 And the concentration of the developer recovered in the first, second, third and fourth supply tanks 522, 524, 526 and 528 along the recovery pipe 820 is measured by the concentration meter 840, In real time.

이후, 제 1, 2, 3, 4 공급탱크(522, 524, 526, 528)의 내부에 수용되는 설정된 농도를 가지는 현상액을 밸브(720)가 구비되는 이송배관(700)을 통해 공정에 공급하면 된다. Thereafter, when a developer having a preset concentration stored in the first, second, third and fourth supply tanks 522, 524, 526 and 528 is supplied to the process through the transfer pipe 700 provided with the valve 720 do.

이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. This is possible.

그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Therefore, the scope of the present invention should not be limited by the illustrated embodiments, but should be determined by the equivalents of the claims, as well as the following claims.

100 : 현상액 공급시스템, 200 : 원액 저장탱크,
300 : 증류수 저장탱크, 400 : 정량 투입기,
420 : 원액 투입기, 440 : 증류수 투입기,
500 : 탱크 공급수단, 522 : 제 1 공급탱크,
524 : 제 2 공급탱크, 526 : 제 3 공급탱크,
528 : 제 4 공급탱크, 600 : 작동 펌프수단,
620 : 제 1 작동펌프, 640 : 제 2 작동펌프,
660 : 비상 작동펌프, 700 : 이송배관,
800 : 회수 라인, 820 : 회수 배관,
840 : 농도 측정기.100: developer supply system, 200: undiluted solution storage tank,
300: distilled water storage tank, 400: constant volume dispenser,
420: raw liquid dispenser, 440: distilled water dispenser,
500: tank supply means, 522: first supply tank,
524: second supply tank, 526: third supply tank,
528: fourth supply tank, 600: operation pump means,
620: first operation pump, 640: second operation pump,
660: Emergency operation pump, 700: Transfer piping,
800: recovery line, 820: recovery piping,
840: Concentration meter.

Claims (3)

현상액원액이 저장되는 원액 저장탱크;
증류수가 저장되는 증류수 저장탱크;
상기 원액 저장탱크의 현상액원액과 증류수 저장탱크의 증류수를 각각 공급받은 후 현상액원액과 증류수를 2:8 비율로 탱크 공급수단에 공급하는 정량투입기;
적어도 두 개 이상의 공급탱크로 구성되고 상기 정량투입기에서 공급되는 현상액원액과 증류수를 공급받아 저장하는 탱크 공급수단;
상기 탱크 공급수단의 공급탱크에 저장되는 현상액원액과 증류수를 교반시켜 현상액을 형성하는 작동 펌프수단;
상기 탱크 공급수단과 연결되고 교반된 현상액을 공정에 공급하는 이송배관;을 포함하는 현상액 공급시스템.
An undiluted solution storage tank for storing developer solution;
A distilled water storage tank in which distilled water is stored;
A metering doser for supplying the developer solution and the distilled water from the developer tank and the distilled water storage tank to the tank supply means at a 2: 8 ratio;
A tank supply means which is composed of at least two supply tanks and receives and stores developer solution and distilled water supplied from the quantitative charging device;
An operation pump means for stirring developer solution and distilled water stored in a supply tank of said tank supply means to form a developer;
And a conveying line connected to the tank supplying means and supplying the stirred developer to the process.
제1항에 있어서,
상기 탱크 공급수단과 작동 펌프수단의 사이에는 교반된 현상액의 농도를 측정한 후 상기 현상액을 탱크 공급수단에 공급하는 회수라인이 장착되고,
상기 회수라인은 작동 펌프수단에 일 측이 결합되고 반대 측은 탱크 공급수단에 결합되는 회수 배관과 상기 회수 배관의 도중에 장착되고 현상액의 농도를 측정하는 농도 측정기로 구성되는 현상액 공급시스템.
The method according to claim 1,
A recovery line is mounted between the tank supply means and the operation pump means for measuring the concentration of the stirred developer and then supplying the developer to the tank supply means,
Wherein the recovery line is composed of a recovery pipe connected at one side to the operation pump means and at the opposite side to the tank supply means and a concentration meter mounted at the middle of the recovery pipe and measuring the concentration of the developer.
제1항에 있어서,
상기 탱크 공급수단은 제 1, 2, 3, 4 공급탱크로 구성되고,
상기 작동펌프수단은 제 1, 3 공급탱크를 교반시키는 제 1 작동펌프와 제 2, 4 공급탱크를 교반시키는 제 2 작동펌프 및 제 1 작동펌프 또는 제 2 작동펌프의 고장 또는 정지시 대체되는 비상 작동펌프로 구성되는 현상액 공급시스템.The method according to claim 1,
Wherein the tank supply means comprises first, second, third and fourth supply tanks,
The operating pump means comprises a first operating pump for agitating the first and third supply tanks and a second operating pump for agitating the second and fourth supply tanks and a second operating pump for agitating the first operating pump or the second operating pump, A developer supply system comprising an actuation pump.
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