KR20180000429A - 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터 및 그 작동방법 - Google Patents

캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터 및 그 작동방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터 및 그 작동방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터는 제 1 필름체(1)를 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되게 하프커팅하여, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되는 제 2 필름체(2)를 형성하는 커팅장치(100); 상기 제 2 필름체(2)를 상기 커팅장치(10)로부터 분리하여, 진공챔버(200)의 내부로 이송하는 로봇이송장치(300); 및 상기 진공챔버(200)의 내부에서, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면에 상기 제 2 필름체(2)를 부착시켜 중간 조립체(3)를 형성하는 프레스장치(400);를 포함한다. 본 발명에 따르면, 접착필름의 양면에 보호필름이 부착된 접착필름체를 캐리어 웨이퍼에 진공 접착하는 공정이 하나의 라인으로 연속적으로 이루어지도록 하여 생산성을 향상시킬 수 있다.

Description

캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터 및 그 작동방법{A VACUUM LAMINATOR FOR BONDING ADHESIVE FILM TO CARRIER WAFER AND A METHOD FOR OPERATING THE SAME}
본 발명은 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터 및 그 작동방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 접착필름의 양면에 보호필름이 부착된 접착필름체를 캐리어 웨이퍼에 진공 접착하는 공정이 하나의 라인으로 연속적으로 이루어지도록 하는, 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터 및 그 작동방법에 관한 것이다.
최근에 반도체 패키징 공정은 3D 적층 기술을 적용한 TSV(through silicon via)가 주로 이용되고 있고, 상기 TSV은 디바이스 웨이퍼(DEVICE WAFER, D/W)의 뒷면을 그라인딩 한 후 캐리어 웨이퍼(CARRIER WAFER, C/W)와 본딩으로 접착하는 공정을 포함한다.
그리고 상기 디바이스 웨이퍼와 상기 캐리어 웨이퍼는 통상 진공 챔버 내에서 상기 캐리어 웨이퍼의 크기에 맞게 절단된 접착필름을 이용하여 접착되고 있다.
상기 접착필름은 양면에 각각 보호필름이 부착된 상태에서 레이저 또는 커터로 양면의 보호필름과 함께 캐리어 웨이퍼의 크기에 맞게 절단되어 진공 챔버 내에서 상기 캐리어 웨이퍼에 1차로 접착된다.
그러나 상기 접착필름은 레이저 또는 커터에 의한 타발 방법으로 양면의 보호필름과 함께 절단되므로, 절단 후 상기 캐리어 웨이퍼에 접착시키기 위해 하나의 보호필름을 분리하는 데 어려움이 있어 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.
특히, 상기 접착필름과 상기 보호필름은 레이저로 절단 시 절단면에서 열에 의해 일부가 융착되는 부분이 발생하여 서로 분리하기가 더 어려우며, 상기 보호필름이 분리된 후 상기 접착필름의 절단면에서 상기 보호필름과 융착된 부분이 불규칙하게 형성되어 상기 캐리어 웨이퍼와 정확하게 일치되어 접착되기 어려운 문제점이 있었다.
또한, 현재 캐리어 웨이퍼와 디바이스 웨이퍼의 접착 공정은 접착필름과 보호필름을 절단하는 공정과, 상기 접착필름을 캐리어 웨이퍼에 부착하는 공정이 각각 별개로 이루어져 생산성이 낮고, 제조원가가 많이 소요되는 문제점이 있었다.
등록특허공보 제10-0226027호 (1999.10.15)
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 양면에 보호필름이 부착된 접착필름을 상부에서 하프커팅하여 캐리어 웨이퍼의 크기로 정확히 절단한 후, 로봇핸드에 의해 상기 접착필름을 캐리어 웨이퍼 측으로 이송함과 동시에 하부의 보호필름을 제거하는, 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터 및 그 작동방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터는 제 1 필름체(1)를 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되게 하프커팅하여, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되는 제 2 필름체(2)를 형성하는 커팅장치(100); 상기 제 2 필름체(2)를 상기 커팅장치(10)로부터 분리하여, 진공챔버(200)의 내부로 이송하는 로봇이송장치(300); 및 상기 진공챔버(200)의 내부에서, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면에 상기 제 2 필름체(2)를 부착시켜 중간 조립체(3)를 형성하는 프레스장치(400);를 포함한다.
상기 제 1 필름체(1)는, 접착필름(1b); 상기 접착필름(1b)의 하면에 접착된 제 1 보호필름(1a); 및 상기 접착필름(1b)의 상면에 접착된 제 2 보호필름(1c);을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 접착필름(1b)은 접착필름 역할을 하는 필름 또는 반도체 PHOTO 공정에서 적용되는 PR 필름(Photo Resist film)인 것을 특징으로 한다.
상기 제 2 필름체(2)는, 상기 하프커팅에 의해 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되도록 커팅된 상기 접착필름(1b); 및 상기 하프커팅에 의해 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되도록 커팅된 상기 제 2 보호필름(1c);을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터는 상기 중간 조립체(3)에서 상기 제 2 보호필름(1c)을 제거하여, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)에 상기 접착필름(1b)이 접착된 최종 조립체(4)를 형성하는 보호필름 제거장치(500);를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 커팅장치(100)는, 상기 제 1 필름체(1)의 일단이 감겨있는 롤러(110); 상기 제 1 필름체(1)의 타단을 감도록 회전하는 와인더(120); 상기 롤러(110) 및 상기 와인더(120) 사이에 감겨있는 상기 제 1 필름체(1)의 장력을 조절하는 장력조절기(130); 및 상기 제 1 필름체(1)를 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되게 하프커팅하는 커팅기(140);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 커팅기(140)는, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되는 형상의 하프커터날(141)이 하면에 장착되어, 상기 제 1 필름체(1)의 상부에서 상하로 이동하면서 상기 제 1 필름체(1)를 하프커팅하는 펀치부(142); 및 상기 펀치부(142)에 의해 상기 제 1 필름체(1)가 하프커팅될 때, 상기 제 1 필름체(1)의 하부에서 상기 제 1 필름체(1)를 지지하는 지지부(143);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 커팅기(140)는, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되는 형상의 하프커터날(141)이 외주면에 장착되어, 상기 제 1 필름체(1)의 상부에서 회전하면서 상기 제 1 필름체(1)를 하프커팅하는 커팅롤부(144); 및 상기 커팅롤부(144)에 의해 상기 제 1 필름체(1)가 하프커팅될 때, 상기 제 1 필름체(1)의 하부에서 회전하면서 상기 제 1 필름체(1)를 지지하는 지지롤부(145);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 로봇이송장치(300)는, 하프커팅된 상기 제 1 필름체(1)에서 상기 제 2 필름체(2)를 분리하도록, 상기 제 2 필름체(2)의 상면에 접착될 수 있는 척(chuck, 310); 상기 제 2 필름체(2)가 접착된 상기 척(310)을 상기 커팅장치(100)로부터 상기 진공챔버(200) 내부로 이송시키는 로봇핸드(320); 및 상기 로봇핸드(320)에 장착되어, 상기 척(310)과 결합되거나 상기 척(310)을 분리시키는 지그(jig, 330);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 척(310)은, 상기 지그(330)와 결합되도록 양단이 돌출된, 원판형태의 베이스 플레이트(311); 및 상기 베이스 플레이트(311)의 하면에 장착되어, 상기 제 2 필름체(2)의 상면이 직접 접착되는 원판형태의 패드(312);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 패드(312)는, 원판형태인 베이스패드(312-1); 및 상기 베이스패드(312-1)에 삽입되며, 상기 제 2 필름체(2)의 상면이 접착되도록 접착력을 가지는 복수 개의 접착패드(312-2);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 접착패드(312-2)에는 상하방향으로 관통된 복수 개의 관통공(312-3)이 형성되고, 상기 접착패드(312-2)는 변형가능한 탄성재질인 것을 특징으로 한다.
상기 접착패드(312-2)는 상기 베이스패드(312-1)의 중심에 대해 동일한 원주상에 배치되고, 서로 동일한 거리만큼 이격되도록 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 프레스장치(400)는, 상기 진공챔버(200) 내부의 상측에 배치되고, 상기 제 2 필름체(2)가 접착된 척(310)이 장착되며, 상기 제 2 필름체(2)와 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 외주면이 일치하도록 상기 척(310)을 전, 후, 좌, 우로 이동시키는 척 그래버(chuck grabber, 410); 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)가 안착되며, 상방으로 이동하여 상기 제 2 필름체(2)의 접착필름(1b)의 하면과 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면을 부착하여 중간 조립체(3)를 형성하는 프레스부(420); 및 상기 프레스부(420)가 상방으로 이동하기 전에, 상기 제 2 필름체(2)와 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 외주면이 일치하는지 여부를 확인하는 복수 개의 카메라(430);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 보호필름 제거장치(500)는, 척(310)에서 분리된 상기 중간 조립체(3)를 상기 진공챔버(200)의 내부에서 상기 진공챔버(200)의 외부로 이송하는 이송로봇(510); 및 상기 중간 조립체(3)에서 상기 제 2 보호필름(1c)을 제거하여, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)에 상기 접착필름(1b)이 접착된 최종 조립체(4)를 형성하는 보호필름 제거부(520);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터의 작동방법은 제 1 필름체(1)를 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되게 하프커팅하여, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되는 제 2 필름체(2)를 형성하는 커팅단계(S100); 상기 제 2 필름체(2)를 상기 제 1 필름체(1)로부터 분리하여, 진공챔버(200)의 내부로 이송하는 이송단계(S200); 상기 진공챔버(200)의 내부에서, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면에 상기 제 2 필름체(2)를 부착하여 중간 조립체(3)를 형성하는 부착단계(S300); 및 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면에 상기 제 2 필름체(2)가 부착된 중간 조립체(4)에서, 상기 제 2 보호필름(1c)을 제거하여 최종 조립체(4)를 형성하는 보호필름 제거단계(S400);를 포함한다.
상기 이송단계(S200)는, 지그(330)를 매개로 로봇핸드(320)에 장착된 척(310)을, 상기 제 2 필름체(2)의 상면에 접촉시키는 단계(S210); 관통공(312-3)을 통해 석션(suction)을 수행하여, 상기 제 2 필름체(2)를 흡입하여 상기 척(310)의 접착패드(312-2)에 접착시키는 단계(S220); 상기 로봇핸드(320)에 의해, 상기 척(310)이 상기 진공챔버(200)의 내부로 이송되는 단계(S230); 및 상기 척(310)이 상기 진공챔버(200) 내부의 척 그래버(410)에 장착되고, 상기 지그(330)에서 상기 척(310)이 분리되며, 상기 로봇핸드(320)는 상기 진공챔버(200) 외부로 이동하는 단계(S240);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
접착필름(1b)은 PR 필름(Photo Resist film)이고, 상기 접착시키는 단계(S220)에서 PR 필름(Photo Resist film)인 상기 접착필름(1b)에 형성된 패턴에 따라 상기 접착패드(312-2)가 변형되면서, 상기 제 2 필름체(2)가 상기 접착패드(312-2)에 접착되는 것을 특징으로 한다.
상기 부착단계(S300)는, EFEM(Equipment Front End Module) 장치로부터 상기 진공챔버(200) 내부의 프레스부(420) 상면에 공급된 캐리어 웨이퍼(C/W)의 외주면과, 상기 척(310)에 접착된 상기 제 2 필름체(2)의 외주면을 일치시키는 단계(S310); 및 상기 프레스부(420)가 상승하여, 상기 제 2 필름체(2)의 하면에 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면을 부착하여 중간 조립체(3)를 형성하는 단계(S320);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 보호필름 제거단계(S400)는, 상기 진공챔버(200) 내부의 상기 중간 조립체(3)의 하면에 이송로봇(510)이 접하도록, 상기 이송로봇(510)을 제어하는 제 1 제어단계(S410); 상기 관통공(312-3)을 통해 N2 퍼징(Purging)을 수행하여, 상기 중간 조립체(3)를 상기 척(310)의 접착패드(312-2)로부터 분리시키는 단계(S420); 상기 중간 조립체(3)가 상기 진공챔버(200) 외부로 이동하도록, 상기 이송로봇(510)을 제어하는 제 2 제어단계(S430); 및 보호필름 제거부(520)에 의해, 상기 중간 조립체(3)에서 상기 제 2 보호필름(1c)을 제거하여, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면에 상기 접착필름(1b)이 접착된 최종 조립체(4)를 생성하는 단계(S440);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따르면, 접착필름의 양면에 보호필름이 부착된 접착필름체를 캐리어 웨이퍼에 진공 접착하는 공정이 하나의 라인으로 연속적으로 이루어지도록 하여 생산성을 향상시킬 수 있다.
또한, 접착필름의 양면에 보호필름이 부착된 접착필름체를 캐리어 웨이퍼의 크기로 정확하게 커팅하여, 캐리어 웨이퍼와 정확하게 일치되게 용이하게 접착시키며 보호 필름을 용이하게 분리할 수 있다. 따라서, 접착 공정의 편의성을 향상시키고 접착 공정의 불량률을 크게 낮출 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터의 개념도.
도 2는 본 발명의 커팅장치의 개념도.
도 3 및 도 4는 본 발명의 커팅기의 제 1 실시 예의 개념도.
도 5는 본 발명의 커팅기의 제 2 실시 예의 개념도.
도 6 및 도 7은 본 발명의 로봇이송장치의 개념도 및 사시도.
도 8은 본 발명의 척의 저면사시도.
도 9는 본 발명의 진공챔버 및 프레스장치의 개념도.
도 10은 본 발명의 보호필름 제거장치의 개념도.
도 11은 본 발명에 따른 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터의 작동방법의 순서도.
본 명세서 및 청구범위에서 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 실시 예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다. 또한, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다. 이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터의 개념도이다. 도 1을 참조할 때, 본 발명에 따른 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터는 커팅장치(100), 진공챔버(200), 로봇이송장치(300), 프레스장치(400), 보호필름 제거장치(500)를 포함한다.
커팅장치(100)는 제 1 필름체(1)를 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되게 하프커팅하여, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되는 제 2 필름체(2)를 형성하는 역할을 한다. 이때, 상기 제 1 필름체(1)는 접착필름(1b), 상기 접착필름(1b)의 하면에 접착된 제 1 보호필름(1a) 및 상기 접착필름(1b)의 상면에 접착된 제 2 보호필름(1c)을 포함한다. 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)는 글라스 웨이퍼(grass wafer)일 수도 있고, 실리콘 웨이퍼(silicon wafer)일 수도 있다.
또한, 상기 제 2 필름체(2)는 상기 하프커팅에 의해 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되도록 커팅된 상기 접착필름(1b) 및 상기 하프커팅에 의해 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되도록 커팅된 상기 제 2 보호필름(1c)을 포함한다.
이때, 상기 접착필름(1b)은 반도체 PHOTO 공정에서 적용되는 PR 필름(Photo Resist film)일 수도 있다. 즉, 본 발명은 캐리어 웨이퍼(C/W)에 접착되는 통상의 접착필름(1b) 뿐만 아니라, 특수한 패턴이 형성된 PR 필름(Photo Resist film)의 경우에도 용이하게 커팅 및 분리이송할 수 있는 것이다.
이를 위해, 후술할 패드(312)는 부타디엔 재질로 형성되어, 상기 PR 필름(Photo Resist film)의 패턴형태에 따라 탄성 변형된다. 따라서, 상기 접착필름(1b)이 특수한 패턴이 형성된 PR 필름(Photo Resist film)인 경우에도, 충분한 흡착력을 확보하여, 상기 제 2 필름체(2)를 상기 제 1 필름체(1)로부터 용이하게 분리할 수 있는 것이다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.
로봇이송장치(300)는 상기 제 2 필름체(2)를 상기 커팅장치(10)로부터 분리하여, 진공챔버(200)의 내부로 이송하는 역할을 한다. 또한, 프레스장치(400)는 상기 진공챔버(200)의 내부에서, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면에 상기 제 2 필름체(2)를 부착시켜 중간 조립체(3)를 형성하는 역할을 한다.
보호필름 제거장치(500)는 상기 중간 조립체(3)에서 상기 제 2 보호필름(1c)을 제거하여, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)에 상기 접착필름(1b)이 접착된 최종 조립체(4)를 형성하는 역할을 한다. 상기 최종 조립체(4)는 별도의 장치에 의해 이송되어, 디바이스 웨이퍼(Device Wafer)와 접합될 수 있다.
도 2는 본 발명의 커팅장치의 개념도이다. 도 2를 참조할 때, 본 발명의 상기 커팅장치(100)는 롤러(110), 와인더(120), 장력조절기(130) 및 커팅기(140)를 포함한다. 롤러(110)에는 상기 제 1 필름체(1)의 일단이 감겨있으며, 와인더(120)는 상기 제 1 필름체(1)의 타단을 감도록 회전한다.
또한, 장력조절기(130)는 상기 롤러(110) 및 상기 와인더(120) 사이에 감겨있는 상기 제 1 필름체(1)의 장력을 조절하는 역할을 한다. 즉, 장력조절기(130)에 의해 상기 제 1 필름체(1)의 장력을 조절하여, 상기 제 1 필름체(1)를 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)에 대응되도록 정확하게 하프커팅 하기 위함이다.
커팅기(140)는 상기 제 1 필름체(1)를 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되게 하프커팅하는 역할을 한다. 이때 상기 하프커팅은 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되도록 상기 제 1 필름체(1)를 커팅하는 것으로써, 특히 상기 제 1 필름체(1) 중 상기 제 2 보호필름(1c) 및 상기 접착필름(1b)만을 커팅하고, 상기 제 1 보호필름(1a)은 커팅하지 않는 것을 의미한다.
따라서, 후술할 로봇이송장치(300)에 의해, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되도록 커팅된 상기 제 2 보호필름(1c) 및 상기 접착필름(1b)만이 진공챔버(200) 내부로 이송되고, 커팅되지 않은 상기 제 1 보호필름(1a) 및 상기 제 2 보호필름(1c), 상기 접착필름(1b)의 나머지 부분은 상기 와인더(120)에 감겨지게 되는 것이다.
즉, 본 발명은 상기와 같은 하프커팅 및 로봇이송장치(300)에 의한 분리이송에 의해, 이송과 동시에 제 1 보호필름(1a)의 제거를 수행하게 되는 것이다. 따라서, 중간 조립체(3) 및 최종 조립체(4)의 생산공정의 효율을 크게 향상시킬 수 있는 것이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 커팅기의 제 1 실시 예의 개념도이다. 도 3 및 도 4를 참조할 때, 본 발명의 커팅기(140)의 제 1 실시 예는 펀치부(142) 및 지지부(143)를 포함한다. 즉, 상기 제 1 실시 예는 펀치(Punch) 형태의 커팅기(140)이다.
펀치부(142)의 하면에는 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되는 형상의 하프커터날(141)이 장착된다. 즉, 상기 펀치부(142)는 상기 제 1 필름체(1)의 상부에서 상하로 이동하면서 상기 제 1 필름체(1)를 하프커팅하는 것이다.
지지부(143)는 상기 펀치부(142)에 의해 상기 제 1 필름체(1)가 하프커팅될 때, 상기 제 1 필름체(1)의 하부에서 상기 제 1 필름체(1)를 지지하는 역할을 한다.
즉, 상기 제 1 필름체(1)가 상기 펀치부(142)와 상기 지지부(143)의 사이를 통과하는 과정에서, 상기 펀치부(142)가 하강하여 상기 제 1 필름체(1)를 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되도록 하프커팅하는 것이다. 이때, 상기 제 1 필름체(1) 중 상기 제 2 보호필름(1c) 및 상기 접착필름(1b)만 커팅되고, 상기 제 1 보호필름(1a)은 커팅되지 않는다.
도 5는 본 발명의 커팅기의 제 2 실시 예의 개념도이다. 도 5를 참조할 때, 본 발명의 커팅기(140)의 제 2 실시 예는 커팅롤부(144) 및 지지롤부(145)를 포함한다. 즉, 상기 제 2 실시 예는 피나클(Pinacle) 형태의 커팅기(140)이다.
커팅롤부(144)의 외주면에는 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되는 형상의 하프커터날(141)이 장착된다. 즉, 상기 커팅롤부(144)는 상기 제 1 필름체(1)의 상부에서 회전하면서 상기 제 1 필름체(1)를 하프커팅하는 것이다.
지지롤부(145)는 상기 커팅롤부(144)에 의해 상기 제 1 필름체(1)가 하프커팅될 때, 상기 제 1 필름체(1)의 하부에서 회전하면서 상기 제 1 필름체(1)를 지지하는 역할을 한다.
즉, 상기 제 1 필름체(1)가 커팅롤부(144)와 상기 지지롤부(145)의 사이를 통과하면서, 상기 하프커터날(141)에 의해 상기 제 1 필름체(1)가 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되도록 하프커팅되는 것이다. 이때, 상기 제 1 필름체(1) 중 상기 제 2 보호필름(1c) 및 상기 접착필름(1b)만 커팅되고, 상기 제 1 보호필름(1a)은 커팅되지 않는다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 로봇이송장치의 개념도 및 사시도이다. 도 6 및 도 7을 참조할 때, 본 발명의 로봇이송장치(300)는 척(chuck, 310), 로봇핸드(320) 및 지그(jig, 330)를 포함한다.
척(chuck, 310)은 하프커팅된 상기 제 1 필름체(1)에서 상기 제 2 필름체(2)를 분리하도록, 상기 제 2 필름체(2)의 상면에 접착된다. 따라서, 상기 제 2 필름체(2)의 상면에 접착된 후, 상기 로봇핸드(320)의 작동에 의해 상방으로 이동하면서, 상기 제 1 필름체(1)에서 상기 제 2 필름체(2)를 분리시키는 것이다. 상기 척(310)의 상세한 구조에 대해서는 후술하기로 한다.
로봇핸드(320)는 상기 제 2 필름체(2)가 접착된 상기 척(310)을 상기 커팅장치(100)로부터 상기 진공챔버(200) 내부로 이송시키는 역할을 한다. 또한, 지그(jig, 330)는 상기 로봇핸드(320)에 장착되어, 상기 척(310)과 결합되거나 상기 척(310)을 분리시키는 역할을 한다.
예를 들어, 상기 척(310)이 상기 제 2 필름체(2)의 상면에 접착되거나, 상기 척(310)이 상기 진공챔버(200) 내부로 이송될 때에는 상기 지그(330)가 상기 척(310)과 결합되어, 상기 로봇핸드(320)의 작동에 의해 상기 척(310)을 이동시키는 역할을 한다.
또한, 상기 척(310)을 상기 진공챔버(200)의 내부의 척 그래버(410)에 장착한 이후에는 상기 지그(330)가 상기 척(310)과 분리되며, 상기 로봇핸드(320)가 상기 진공챔버(200) 외부로 이동하더라도 상기 척(310)은 상기 진공챔버(200) 내부에 장착된 상태로 유지된다.
도 8은 본 발명의 척의 저면사시도이다. 이하, 도 8을 참조하여 상기 척(310)의 상세 구조에 대해 설명한다. 상기 척(310)은 베이스 플레이트(311) 및 패드(312)를 포함한다.
베이스 플레이트(311)는 상기 지그(330)와 결합되도록 양단이 돌출된, 원판형태일 수 있다. 또한, 상기 베이스 플레이트(311)는 금속 재질, 특히 스테인리스 스틸(SUS) 재질로 설정될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 설계자의 의도에 따라 달리 설정될 수도 있다.
패드(312)는 상기 베이스 플레이트(311)의 하면에 장착되어, 상기 제 2 필름체(2)의 상면이 직접 접착되는 구성요소로써, 원판형태일 수 있다. 상기 패드(312)는 원판형태인 베이스패드(312-1) 및 복수 개의 접착패드(312-2)를 포함한다.
상기 접착패드(312-2)는 상기 베이스패드(312-1)에 삽입된다. 따라서, 상기 패드(312)의 하면은 전체적으로 편평하게 형성된다. 또한, 상기 접착패드(312-2)는 상기 제 2 필름체(2)의 상면이 접착되도록 접착력을 가진다. 이를 위해, 상기 접착패드(312-2)의 재질은 부타디엔 재질일 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 접착력을 가지면서 변형가능한 탄성재질이면 족하다.
즉, 상기 접착패드(312-2)는 부타디엔 재질과 같은 접착력을 가지면서 변형가능한 탄성재질로 형성되어, 상기 접착필름(1b)이 PR 필름(Photo Resist film)인 경우에는 상기 PR 필름(Photo Resist film)의 패턴형태에 따라 탄성 변형될 수 있다. 따라서, 상기 접착필름(1b)이 특수한 패턴이 형성된 PR 필름(Photo Resist film)인 경우에도, 충분한 흡착력을 확보하여, 상기 제 2 필름체(2)를 상기 제 1 필름체(1)로부터 용이하게 분리할 수 있는 것이다.
상기 접착패드(312-2)는 상기 베이스패드(312-1)의 중심에 대해 동일한 원주상에 배치되고, 서로 동일한 거리만큼 이격되도록 배치될 수 있다. 즉, 상기 제 2 필름체(2)를 상기 접착패드(312-2)에 용이하게 접착하면서도, 상기 제 2 필름체(2)를 상기 접착패드(312-2)에 용이하게 분리하기 위해, 상기와 같은 형태로 상기 접착패드(312-2)를 배치하는 것이다.
즉, 상기와 같이 접착력을 가지면서 변형가능한 탄성재질로 상기 베이스패드(312-1) 전체를 형성하여 실험한 결과, 상기 제 2 필름체(2)와 상기 접착패드(312-2) 사이의 접착력이 지나치게 강하여, 후술할 S420 단계 등에서 상기 접착패드(312-2)로부터 상기 제 2 필름체(2)를 분리하기 어려운 문제점이 있었다. 따라서, 상기와 같은 문제점을 해소하기 위해, 상기와 같은 형태로 상기 접착패드(312-2)를 배치하는 것이다.
상기 접착패드(312-2)에는 상하방향으로 관통된 복수 개의 관통공(312-3)이 형성된다. 상기 관통공(312-3)과 연통된 흡입장치(미도시, EX: 에어펌프 등)가 석션(Suction)을 수행하여, 상기 제 2 필름체(2)를 상기 척(310)의 접착패드(312-2)에 접착시킨다. 또한, 상기 관통공(312-3)과 연통된 N2 탱크(미도시)가 N2 퍼징(Purging)을 수행하여, 상기 중간 조립체(3)를 상기 척(310)의 접착패드(312-2)로부터 분리시킬 수도 있다.
도 9는 본 발명의 진공챔버 및 프레스장치의 개념도이다. 도 9를 참조할 때, 상기 진공챔버(200)는 상기 프레스장치(400)가 내부에 장착되며, 입구를 개방 또는 폐쇄할 수 있고, 입구를 폐쇄한 후에는 내부를 진공상태로 형성할 수 있는 챔버이다. 상기 진공챔버(200) 내부에서 상기 제 2 필름체(2)와 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)가 부착된 중간 조립체(3)가 형성된다.
또한, 상기 프레스장치(400)는 척 그래버(chuck grabber, 410), 프레스부(420) 및 카메라(430)를 포함한다. 척 그래버(chuck grabber, 410)는 상기 진공챔버(200) 내부의 상측에 배치된다. 이때, 상기 제 2 필름체(2)가 접착된 척(310)이 상기 척 그래버(chuck grabber, 410)에 장착된다.
또한, 척 그래버(chuck grabber, 410)는 상기 제 2 필름체(2)와 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 외주면이 일치하도록 상기 척(310)을 전, 후, 좌, 우로 이동시켜, 상기 제 2 필름체(2)와 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)를 정렬하는 역할을 한다.
상기 캐리어 웨이퍼(C/W)는 EFEM(Equipment Front End Module) 장치(미도시)로부터 공급되어, 상기 프레스부(420)의 상면에 안착된다. 상기 프레스부(420)는 상방으로 이동하여 상기 제 2 필름체(2)의 접착필름(1b)의 하면과 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면을 부착하여 중간 조립체(3)를 형성하는 역할을 한다. 즉, 상기 척 그래버(410)에 장착된 척(310)과 상기 프레스부(420) 사이에서, 상기 제 2 필름체(2) 및 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)가 가압되어, 상기 제 2 필름체(2)의 접착필름(1b)의 하면에 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면이 견고하게 접착되는 것이다.
카메라(430)는 상기 프레스부(420)가 상방으로 이동하기 전에, 상기 제 2 필름체(2)과 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 외주면이 일치하는지 여부를 확인하는 역할을 하며, 복수 개일 수 있다. 즉, 제 2 필름체(2)가 접착된 척(310)이 상기 척 그래버(chuck grabber, 410)에 장착된 후, 상기 카메라(430)에 의해 상기 제 2 필름체(2)와 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 정렬여부를 확인하는 것이다. 이후, 정렬된 것을 확인한 경우에는, 상기 프레스부(420)가 상방으로 이동하여 중간 조립체(3)를 형성하는 것이다.
이에 따라, 상기 제 2 필름체(2)과 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)가 정확하게 일치되도록 용이하게 접착시킬 수 있는 것이다. 따라서, 본 발명은 접착 공정의 편의성을 향상시키고 접착 공정의 불량률을 크게 낮추는 효과를 발휘한다.
도 10은 본 발명의 보호필름 제거장치의 개념도이다. 도 10을 참조할 때, 상기 보호필름 제거장치(500)는 이송로봇(510) 및 보호필름 제거부(520)를 포함한다.
이송로봇(510)은 척(310)에서 분리된 상기 중간 조립체(3)를 상기 진공챔버(200)의 내부에서 상기 진공챔버(200)의 외부로 이송하는 역할을 한다.
또한, 보호필름 제거부(520)는 상기 중간 조립체(3)에서 상기 제 2 보호필름(1c)을 제거하여, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)에 상기 접착필름(1b)이 접착된 최종 조립체(4)를 형성하는 역할을 한다. 상기 보호필름 제거부(520)는 상기 제 2 보호필름(1c)의 일단을 파지한 후, 상기 제 2 보호필름(1c)의 타단으로 이동하면서, 상기 제 2 보호필름(1c)을 제거할 수도 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 상기 제 2 보호필름(1c)을 제거할 수 있는 수단이면 족하다.
상기와 같이 형성된 최종 조립체(4)는 별도의 장치에 의해 이송되어, 디바이스 웨이퍼(Device Wafer)와 접합될 수 있다.
도 11은 본 발명에 따른 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터의 작동방법의 순서도이다. 도 11을 참조할 때, 본 발명에 따른 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터의 작동방법은 커팅단계(S100), 이송단계(S200), 부착단계(S300) 및 보호필름 제거단계(S400)를 포함한다.
커팅단계(S100)는 제 1 필름체(1)를 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되게 하프커팅하여, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되는 제 2 필름체(2)를 형성하는 단계이다. 이때 상기 하프커팅은 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되도록 상기 제 1 필름체(1)를 커팅하는 것으로써, 특히 상기 제 1 필름체(1) 중 상기 제 2 보호필름(1c) 및 상기 접착필름(1b)만을 커팅하고, 상기 제 1 보호필름(1a)은 커팅하지 않는 것을 의미한다.
이송단계(S200)는 상기 제 2 필름체(2)를 상기 제 1 필름체(1)로부터 분리하여, 진공챔버(200)의 내부로 이송하는 단계이다. 이때, 상기 이송단계(S200)는 접촉시키는 단계(S210), 접착시키는 단계(S220), 이송되는 단계(S230) 및 이동하는 단계(S240)를 포함한다.
접촉시키는 단계(S210)에서는 지그(330)를 매개로 로봇핸드(320)에 장착된 척(310)을, 상기 제 2 필름체(2)의 상면에 접촉시킨다. 또한, 접착시키는 단계(S220)에서는 관통공(312-3)을 통해 석션(suction)을 수행하여, 상기 제 2 필름체(2)를 흡입하여 상기 척(310)의 접착패드(312-2)에 접착시킨다. 즉, 상기 관통공(312-3)과 연통된 흡입장치(미도시, EX: 에어펌프 등)가 석션(Suction)을 수행하여, 상기 제 2 필름체(2)를 상기 척(310)의 접착패드(312-2)에 접착시키는 것이다.
또한, 상기 접착필름(1b)은 PR 필름(Photo Resist film)일 수 있으며, 이 경우 상기 접착시키는 단계(S220)에서는 PR 필름(Photo Resist film)인 상기 접착필름(1b)에 형성된 패턴에 따라 상기 접착패드(312-2)가 변형되면서, 상기 제 2 필름체(2)가 상기 접착패드(312-2)에 접착될 수 있다.
즉, 상기 접착패드(312-2)는 부타디엔 재질과 같은 접착력을 가지면서 변형가능한 탄성재질로 형성되어, 상기 PR 필름(Photo Resist film)의 패턴형태에 따라 탄성변형된다. 따라서, 상기 접착필름(1b)이 특수한 패턴이 형성된 PR 필름(Photo Resist film)인 경우에도, 충분한 흡착력을 확보하여, 상기 제 2 필름체(2)를 상기 제 1 필름체(1)로부터 용이하게 분리할 수 있는 것이다.
이송되는 단계(S230)에서는 상기 로봇핸드(320)에 의해, 상기 척(310)이 상기 진공챔버(200)의 내부로 이송된다. 즉, 이송되는 단계(S230)에서는 상기 제 2 필름체(2)를 상기 제 1 필름체(1)로부터 분리하여, 상기 제 2 필름체(2)가 부착된 상기 척(310)을 진공챔버(200) 내부로 이송하는 것이다. 따라서, 이송과 동시에 제 1 보호필름(1a)의 제거를 수행하게 되므로, 중간 조립체(3) 및 최종 조립체(4)의 생산공정의 효율을 크게 향상시킬 수 있는 것이다.
또한, 이동하는 단계(S240)에서는 상기 척(310)이 상기 진공챔버(200) 내부의 척 그래버(410)에 장착되고, 상기 지그(330)에서 상기 척(310)이 분리되며, 상기 로봇핸드(320)는 상기 진공챔버(200) 외부로 이동한다.
부착단계(S300)는 상기 진공챔버(200)의 내부에서, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면에 상기 제 2 필름체(2)를 부착하여 중간 조립체(3)를 형성하는 단계이다. 상기 부착단계(S300)는, 일치시키는 단계(S310) 및 형성하는 단계(S320)를 포함한다.
일치시키는 단계(S310)에서는 EFEM(Equipment Front End Module) 장치로부터 상기 진공챔버(200) 내부의 프레스부(420) 상면에 공급된 캐리어 웨이퍼(C/W)의 외주면과, 상기 척(310)에 접착된 상기 제 2 필름체(2)의 외주면을 일치시킨다. 즉, 복수 개의 카메라(430)에 의해 상기 제 2 필름체(2)의 외주면과 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 외주면이 일치하는지 여부를 확인하고, 불일치시에는 상기 척 그래버(410)를 전, 후, 좌, 우로 이동시켜, 상기 제 2 필름체(2)의 외주면과 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 외주면을 일치시키는 것이다.
이에 따라, 상기 제 2 필름체(2)과 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)가 정확하게 일치되도록 용이하게 접착시킬 수 있다. 따라서, 본 발명은 접착 공정의 편의성을 향상시키고 접착 공정의 불량률을 크게 낮추는 효과를 발휘하는 것이다.
형성하는 단계(S320)에서는 상기 프레스부(420)가 상승하여, 상기 제 2 필름체(2)의 하면에 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면을 부착하여 중간 조립체(3)를 형성한다. 즉, 상기 카메라(430)에 의해 상기 제 2 필름체(2)과 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 정렬여부를 확인한 후, 정렬된 경우에는 상기 프레스부(420)가 상방으로 이동하여 중간 조립체(3)를 형성하는 것이다.
즉, 상기 척 그래버(410)에 장착된 척(310)과 상기 프레스부(420) 사이에서, 상기 제 2 필름체(2) 및 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)가 가압되어, 상기 제 2 필름체(2)의 접착필름(1b)의 하면에 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면이 견고하게 잡착되는 것이다.
보호필름 제거단계(S400)는 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면에 상기 제 2 필름체(2)가 부착된 중간 조립체(4)에서, 상기 제 2 보호필름(1c)을 제거하여 최종 조립체(4)를 형성하는 단계이다. 상기 보호필름 제거단계(S400)는, 제 1 제어단계(S410), 분리시키는 단계(S420), 제 2 제어단계(S430), 생성하는 단계(S440)를 포함한다.
제 1 제어단계(S410)는 상기 진공챔버(200) 내부의 상기 중간 조립체(3)의 하면에 이송로봇(510)이 접하도록, 상기 이송로봇(510)을 제어하는 단계이다. 즉, 상기 중간 조립체(3)가 상기 척(310)에 부착된 상태로써, 상기 중간 조립체(3)를 이송로봇(510)에 안착시켜 상기 진공챔버(200) 외부로 이동시키기 위함이다.
분리시키는 단계(S420)는 상기 관통공(312-3)을 통해 N2 퍼징(Purging)을 수행하여, 상기 중간 조립체(3)를 상기 척(310)의 접착패드(312-2)로부터 분리시키는 단계이다. 즉, 상기 관통공(312-3)과 연통된 N2 탱크(미도시)가 N2 퍼징(Purging)을 수행하여, 상기 중간 조립체(3)를 상기 척(310)의 접착패드(312-2)로부터 분리시키는 것이다.
상기한 바와 같이, 상기 접착패드(312-2)는 상기 베이스패드(312-1)의 중심에 대해 동일한 원주상에 배치되고, 서로 동일한 거리만큼 이격되도록 배치된다. 따라서, 상기 관통공(312-3)을 통해 질소(N2)가 분사되면, 상기 척(310)으로부터 상기 중간 조립체(3)가 용이하게 분리되어, 상기 이송로봇(510)에 안착되는 것이다.
제 2 제어단계(S430)는 상기 중간 조립체(3)가 상기 진공챔버(200) 외부로 이동하도록, 상기 이송로봇(510)을 제어하는 단계이다. 또한, 생성하는 단계(S440)는 보호필름 제거부(520)에 의해, 상기 중간 조립체(3)에서 상기 제 2 보호필름(1c)을 제거하여, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면에 상기 접착필름(1b)이 접착된 최종 조립체(4)를 생성하는 단계이다.
이때 상기 생성하는 단계(S440)에서는 상기 제 2 보호필름(1c)의 일단을 파지한 후, 상기 제 2 보호필름(1c)의 타단으로 이동하면서, 상기 제 2 보호필름(1c)을 제거할 수도 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 상기 제 2 보호필름(1c)을 제거할 수 있는 수단이면 족하다.
상기와 같이 형성된 최종 조립체(4)는 별도의 장치에 의해 이송되어, 디바이스 웨이퍼(Device Wafer)와 접합될 수 있다.
앞서 살펴본 실시 예는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자(이하 '당업자'라 한다)가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하는 바람직한 실시 예일 뿐, 전술한 실시 예 및 첨부한 도면에 한정되는 것은 아니므로 이로 인해 본 발명의 권리범위가 한정되는 것은 아니다. 따라서, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 당업자에게 있어 명백할 것이며, 당업자에 의해 용이하게 변경 가능한 부분도 본 발명의 권리범위에 포함됨은 자명하다.
1 제 1 필름체
1a 제 1 보호필름
1b 접착필름
1c 제 2 보호필름
2 제 2 필름체
3 중간 조립체
4 최종 조립체
100 커팅장치
110 롤러
120 와인더
130 장력조절기
140 커팅기
141 하프커터날
142 펀치부
143 지지부
144 커팅롤부
145 지지롤부
200 진공챔버
300 로봇이송장치
310 척
311 베이스 플레이트
312 패드
312-1 베이스패드
312-2 접착패드
312-3 관통공
320 로봇핸드
330 지그
400 프레스장치
400 척 그래버
420 프레스부
430 카메라
500 보호필름 제거장치
510 이송로봇
520 보호필름 제거부
C/W 캐리어 웨이퍼

Claims (20)

  1. 제 1 필름체(1)를 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되게 하프커팅하여, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되는 제 2 필름체(2)를 형성하는 커팅장치(100);
    상기 제 2 필름체(2)를 상기 커팅장치(10)로부터 분리하여, 진공챔버(200)의 내부로 이송하는 로봇이송장치(300); 및
    상기 진공챔버(200)의 내부에서, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면에 상기 제 2 필름체(2)를 부착시켜 중간 조립체(3)를 형성하는 프레스장치(400);
    를 포함하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 필름체(1)는,
    접착필름(1b);
    상기 접착필름(1b)의 하면에 접착된 제 1 보호필름(1a); 및
    상기 접착필름(1b)의 상면에 접착된 제 2 보호필름(1c);
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 접착필름(1b)은 PR 필름(Photo Resist film)인 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 제 2 필름체(2)는,
    상기 하프커팅에 의해 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되도록 커팅된 상기 접착필름(1b); 및
    상기 하프커팅에 의해 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되도록 커팅된 상기 제 2 보호필름(1c);
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 중간 조립체(3)에서 상기 제 2 보호필름(1c)을 제거하여, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)에 상기 접착필름(1b)이 접착된 최종 조립체(4)를 형성하는 보호필름 제거장치(500);
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 커팅장치(100)는,
    상기 제 1 필름체(1)의 일단이 감겨있는 롤러(110);
    상기 제 1 필름체(1)의 타단을 감도록 회전하는 와인더(120);
    상기 롤러(110) 및 상기 와인더(120) 사이에 감겨있는 상기 제 1 필름체(1)의 장력을 조절하는 장력조절기(130); 및
    상기 제 1 필름체(1)를 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되게 하프커팅하는 커팅기(140);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 커팅기(140)는,
    상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되는 형상의 하프커터날(141)이 하면에 장착되어, 상기 제 1 필름체(1)의 상부에서 상하로 이동하면서 상기 제 1 필름체(1)를 하프커팅하는 펀치부(142); 및
    상기 펀치부(142)에 의해 상기 제 1 필름체(1)가 하프커팅될 때, 상기 제 1 필름체(1)의 하부에서 상기 제 1 필름체(1)를 지지하는 지지부(143);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 커팅기(140)는,
    상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되는 형상의 하프커터날(141)이 외주면에 장착되어, 상기 제 1 필름체(1)의 상부에서 회전하면서 상기 제 1 필름체(1)를 하프커팅하는 커팅롤부(144); 및
    상기 커팅롤부(144)에 의해 상기 제 1 필름체(1)가 하프커팅될 때, 상기 제 1 필름체(1)의 하부에서 회전하면서 상기 제 1 필름체(1)를 지지하는 지지롤부(145);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 로봇이송장치(300)는,
    하프커팅된 상기 제 1 필름체(1)에서 상기 제 2 필름체(2)를 분리하도록, 상기 제 2 필름체(2)의 상면에 접착될 수 있는 척(chuck, 310);
    상기 제 2 필름체(2)가 접착된 상기 척(310)을 상기 커팅장치(100)로부터 상기 진공챔버(200) 내부로 이송시키는 로봇핸드(320); 및
    상기 로봇핸드(320)에 장착되어, 상기 척(310)과 결합되거나 상기 척(310)을 분리시키는 지그(jig, 330);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 척(310)은,
    상기 지그(330)와 결합되도록 양단이 돌출된, 원판형태의 베이스 플레이트(311); 및
    상기 베이스 플레이트(311)의 하면에 장착되어, 상기 제 2 필름체(2)의 상면이 직접 접착되는 원판형태의 패드(312);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 패드(312)는,
    원판형태인 베이스패드(312-1); 및
    상기 베이스패드(312-1)에 삽입되며, 상기 제 2 필름체(2)의 상면이 접착되도록 접착력을 가지는 복수 개의 접착패드(312-2);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 접착패드(312-2)에는 상하방향으로 관통된 복수 개의 관통공(312-3)이 형성되고,
    상기 접착패드(312-2)는 변형가능한 탄성재질인 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터.
  13. 제 11항에 있어서,
    상기 접착패드(312-2)는 상기 베이스패드(312-1)의 중심에 대해 동일한 원주상에 배치되고, 서로 동일한 거리만큼 이격되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터.
  14. 제 10항에 있어서,
    상기 프레스장치(400)는,
    상기 진공챔버(200) 내부의 상측에 배치되고, 상기 제 2 필름체(2)가 접착된 척(310)이 장착되며, 상기 제 2 필름체(2)와 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 외주면이 일치하도록 상기 척(310)을 전, 후, 좌, 우로 이동시키는 척 그래버(chuck grabber, 410);
    상기 캐리어 웨이퍼(C/W)가 안착되며, 상방으로 이동하여 상기 제 2 필름체(2)의 접착필름(1b)의 하면과 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면을 부착하여 중간 조립체(3)를 형성하는 프레스부(420); 및
    상기 프레스부(420)가 상방으로 이동하기 전에, 상기 제 2 필름체(2)과 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 외주면이 일치하는지 여부를 확인하는 복수 개의 카메라(430);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터.
  15. 제 5항에 있어서,
    상기 보호필름 제거장치(500)는,
    척(310)에서 분리된 상기 중간 조립체(3)를 상기 진공챔버(200)의 내부에서 상기 진공챔버(200)의 외부로 이송하는 이송로봇(510); 및
    상기 중간 조립체(3)에서 상기 제 2 보호필름(1c)을 제거하여, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)에 상기 접착필름(1b)이 접착된 최종 조립체(4)를 형성하는 보호필름 제거부(520);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터.
  16. 제 1항 내지 제 15항 중 어느 한 항의 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터의 작동방법에 있어서,
    제 1 필름체(1)를 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되게 하프커팅하여, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 형상과 대응되는 제 2 필름체(2)를 형성하는 커팅단계(S100);
    상기 제 2 필름체(2)를 상기 제 1 필름체(1)로부터 분리하여, 진공챔버(200)의 내부로 이송하는 이송단계(S200);
    상기 진공챔버(200)의 내부에서, 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면에 상기 제 2 필름체(2)를 부착하여 중간 조립체(3)를 형성하는 부착단계(S300); 및
    상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면에 상기 제 2 필름체(2)가 부착된 중간 조립체(4)에서, 상기 제 2 보호필름(1c)을 제거하여 최종 조립체(4)를 형성하는 보호필름 제거단계(S400);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터의 작동방법.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 이송단계(S200)는,
    지그(330)를 매개로 로봇핸드(320)에 장착된 척(310)을, 상기 제 2 필름체(2)의 상면에 접촉시키는 단계(S210);
    관통공(312-3)을 통해 석션(suction)을 수행하여, 상기 제 2 필름체(2)를 흡입하여 상기 척(310)의 접착패드(312-2)에 접착시키는 단계(S220);
    상기 로봇핸드(320)에 의해, 상기 척(310)이 상기 진공챔버(200)의 내부로 이송되는 단계(S230); 및
    상기 척(310)이 상기 진공챔버(200) 내부의 척 그래버(410)에 장착되고, 상기 지그(330)에서 상기 척(310)이 분리되며, 상기 로봇핸드(320)는 상기 진공챔버(200) 외부로 이동하는 단계(S240);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터의 작동방법.
  18. 제 17항에 있어서,
    접착필름(1b)은 PR 필름(Photo Resist film)이고,
    상기 접착시키는 단계(S220)에서 PR 필름(Photo Resist film)인 상기 접착필름(1b)에 형성된 패턴에 따라 상기 접착패드(312-2)가 변형되면서, 상기 제 2 필름체(2)가 상기 접착패드(312-2)에 접착되는 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터의 작동방법.
  19. 제 16항에 있어서,
    상기 부착단계(S300)는,
    EFEM(Equipment Front End Module) 장치로부터 상기 진공챔버(200) 내부의 프레스부(420) 상면에 공급된 캐리어 웨이퍼(C/W)의 외주면과, 상기 척(310)에 접착된 상기 제 2 필름체(2)의 외주면을 일치시키는 단계(S310); 및
    상기 프레스부(420)가 상승하여, 상기 제 2 필름체(2)의 하면에 상기 캐리어 웨이퍼(C/W)의 상면을 부착하여 중간 조립체(3)를 형성하는 단계(S320);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터의 작동방법.
  20. 제 19항에 있어서,
    상기 보호필름 제거단계(S400)는,
    상기 진공챔버(200) 내부의 상기 중간 조립체(3)의 하면에 이송로봇(510)이 접하도록, 상기 이송로봇(510)을 제어하는 제 1 제어단계(S410);
    상기 관통공(312-3)을 통해 N2 퍼징(Purging)을 수행하여, 상기 중간 조립체(3)를 상기 척(310)의 접착패드(312-2)로부터 분리시키는 단계(S420);
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    를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 웨이퍼와 접착필름을 부착하는 진공 라미네이터의 작동방법.
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