KR20170133081A - System for mask cleaning process using 6 axis robot and method thereof - Google Patents

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KR20170133081A
KR20170133081A KR1020160064070A KR20160064070A KR20170133081A KR 20170133081 A KR20170133081 A KR 20170133081A KR 1020160064070 A KR1020160064070 A KR 1020160064070A KR 20160064070 A KR20160064070 A KR 20160064070A KR 20170133081 A KR20170133081 A KR 20170133081A
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장대환
황태섭
안두호
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장대환
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Abstract

The present invention relates to a mask cleaning process system using a six-axis robot, and a method thereof. The mask cleaning process method performed by the mask cleaning process system including the six-axis robot comprises: a step of enabling an input side six-axis robot to input a jig and a mask, which are respectively stacked in a jig holder and a mask holder, to a combining device, respectively; a step of enabling the input side six-axis robot to input the jig and the mask, which are combined through the combining device, to an input unit of a cleaning device; a step of enabling a return side six-axis robot to return transferred jig and mask when the jig and the mask passing the cleaning device are transferred to a return unit of the cleaning device after cleaning; a step of enabling the return side six-axis robot to input the returned jig and mask to a separating device; and a step of enabling the return side six-axis robot to stack a separated mask on a buffer when the combined jig and mask are separated through the separating device, respectively. The present invention is provided to perform a cleaning process of a mask for OLED deposition with the six-axis robot capable of being controlled in all directions, thereby simplifying a process and improving productivity.

Description

6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 시스템 및 그 방법{SYSTEM FOR MASK CLEANING PROCESS USING 6 AXIS ROBOT AND METHOD THEREOF}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a mask cleaning process system using a six-axis robot,

본 발명은 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 시스템 및 그 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 6축 로봇을 이용하여 OLED 증착용 마스크를 세정하기 위한 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a mask cleaning process system and a method thereof using a six-axis robot, and more particularly, to a mask cleaning process system and a method thereof using a six-axis robot for cleaning an OLED deposition mask using a six- .

일반적으로 평판디스플레이 장치의 종류는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Luminescent Emission Diode), VFD(Vacuum Fluorescent Display)로 크게 분류할 수 있다.In general, the types of flat panel display devices can be broadly divided into LCD (Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel), OLED (Organic Luminescent Emission Diode) and VFD (Vacuum Fluorescent Display).

이러한 LCD와 PDP의 제조는 일반적인 반도체 제조공정과 같이 포토리소그래피 기술을 사용하여 박막의 증착 후 소정 형상의 패턴을 형성하여, 디스플레이를 구현하는 소자들을 제조하게 된다.The LCD and the PDP are manufactured by forming a pattern of a predetermined shape after depositing a thin film by using a photolithography technique like a general semiconductor manufacturing process, thereby manufacturing devices for implementing a display.

그러나 콘트라스트 비(Contrast Ratio)와 응답 속도(response time) 등의 표시 특성이 우수하며, 플렉서블 디스플레이(Flexible Display)의 구현이 용이하여 가장 이상적인 차세대 디스플레이로 주목받고 있는 OLDE는 다른 평판 디스플레이와는 다른 공정방법을 사용하여 제조하고 있다.However, OLDE, which has excellent display characteristics such as contrast ratio and response time and is attracting attention as the most ideal next generation display due to easy implementation of flexible display, Method.

자세하게는 OLED는 다수의 화소 영역이 매트릭스 형태로 배열되어 구성되며, 각각의 화소 영역에는 각 화소를 구동하기 위한 구동 소자와 같은 마이크로 패턴이 형성되어 있다.In detail, an OLED is formed by arranging a plurality of pixel regions in a matrix form, and a micropattern, such as a driving element for driving each pixel, is formed in each pixel region.

이때, 빛을 발광하는 유기 발광층의 경우, 내화학성이 취약한 유기 물질로 이루어지기 때문에 종래와 같은 노광 및 식각을 이용하는 포토리소그래피 방법이 아닌 유기 물질을 기화시킨 후, OLED 증착용 마스크(mask)를 이용하여 선택적으로 기판에 증착하여 형성한다.In this case, since the organic light emitting layer that emits light is made of an organic material having weak chemical resistance, the organic material is vaporized rather than the conventional photolithography method using exposure and etching, and then an OLED deposition mask is used And selectively depositing on the substrate.

이와 같은 증착 과정에서 기판을 선택적으로 스크리닝(screening)하는 OLED 증착용 마스크의 표면에도 유기 물질이 증착되기 때문에, 일정한 공정 횟수가 지난 이후에는 OLED 증착용 마스크를 세정하는 것이 필수적으로 요구된다.Since the organic material is deposited on the surface of the OLED deposition mask selectively screening the substrate during the deposition process, it is essential to clean the OLED deposition mask after a certain number of processes.

그러나 종래에는 LED 증착용 마스크 세정 공정의 자동화를 실현하기 위해 세정기기의 시작과 종료 지점에 지그 및 마스크를 핸들링하기 위한 3축 또는 4축 로봇을 각각 3대씩 배치시켜 총 6대의 로봇이 구비되어야 하므로 세정 공정이 복잡해질 뿐만 아니라 제조 비용이 증가되는 문제점이 있었다.Conventionally, in order to realize the automation of the washing process of the LED evaposition mask, three 3-axis or 4-axis robots for handling the jig and the mask must be arranged at the start and end points of the cleaning apparatus, The cleaning process is complicated and the manufacturing cost is increased.

본 발명의 배경이 되는 기술은 대한민국 공개특허공보 제10-2016-0006073호(2016.01.18. 공개)에 개시되어 있다.The technique which is the background of the present invention is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2016-0006073 (published on Jan. 18, 2016).

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 6축 로봇을 이용하여 OLED 증착용 마스크를 세정하기 위한 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 시스템 및 그 방법을 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a mask cleaning process system and a method thereof using a six-axis robot for cleaning an OLED deposition mask using a six-axis robot.

이러한 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명의 실시예에 따른 마스크 세정 공정 방법은, 투입 측 6축 로봇은 지그보관대와 마스크보관대에 각각 적층된 지그와 마스크를 결합기기에 각각 투입하는 단계; 상기 결합기기를 통해 상기 지그와 마스크가 결합되면, 상기 투입 측 6축 로봇은 상기 결합된 지그와 마스크를 세정기기의 투입부에 투입하는 단계; 상기 세정기기를 통과한 상기 지그와 마스크가 세정이 완료되어 상기 세정기기의 회수부로 이송되면, 회수 측 6축 로봇은 상기 이송된 지그와 마스크를 회수하는 단계; 상기 회수 측 6축 로봇은 회수된 지그와 마스크를 분리기기에 투입하는 단계; 및 상기 분리기기를 통해 상기 결합된 지그와 마스크가 각각 분리되면, 상기 회수 측 6축 로봇은 상기 분리된 마스크를 버퍼에 적층하는 단계를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method for cleaning a mask, the method comprising: inputting a jig and a mask, which are respectively stacked in a jig holder and a mask holder, When the jig and the mask are coupled through the coupling device, the input side six-axis robot injects the combined jig and mask into the input portion of the cleaning device; When the jig and the mask that have passed through the cleaning device are cleaned and transferred to the recovery unit of the cleaning device, the recovery side 6-axis robot collects the transferred jig and mask; Wherein the recovery-side six-axis robot includes a step of injecting the recovered jig and the mask into a separation device; And when the combined jig and mask are separated through the separation device, the recovery side 6-axis robot includes stacking the separated mask in a buffer.

또한, 상기 회수 측 6축 로봇은 분리된 지그를 지그 이송기기에 투입하는 단계; 및 상기 지그 이송기기를 통해 상기 지그가 상기 투입부로 이송되면, 상기 투입 측 6축 로봇은 이송된 상기 지그를 상기 지그보관대에 적층하는 단계를 더 포함한다.In addition, the recovery side six-axis robot may include a step of injecting the separated jig into the jig transfer device; And when the jig is transferred to the input unit through the jig transfer device, the input side 6-axis robot further includes stacking the transferred jig on the jig holder.

또한, 상기 투입 측 6축 로봇 및 상기 회수 측 6축 로봇은 말단부에 상기 지그 및 마스크를 얹거나 들어올리기 위한 핸드가 각각 구비되며, 상기 세정기기의 투입부 측 및 회수부 측에 각각 배치될 수 있다.The six-axis robot on the input side and the six-axis robot on the recovery side are each provided with a hand for placing or lifting the jig and the mask on the distal end, respectively, have.

또한, 상기 분리기기는 상기 지그에 결합된 마스크를 부상시켜 상기 지그와 상기 마스크를 분리시킬 수 있다.In addition, the separation device may separate the jig and the mask by floating the mask coupled to the jig.

또한, 상기 마스크는 상기 지그의 상단에 적층되어 상기 지그에 의해 프레임이 고정되며, OLED 증착용 마스크일 수 있다.Further, the mask may be an OLED deposition mask, which is stacked on the top of the jig and the frame is fixed by the jig.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 시스템은, 지그보관대와 마스크보관대에 각각 적층된 지그와 마스크가 투입 측 6축 로봇에 의해 각각 투입되면, 상기 투입된 지그의 결합부를 제어하여 상기 지그와 마스크를 결합시키는 결합기기; 세정전 지그와 마스크가 투입되는 투입부와, 세정이 완료된 지그와 마스크가 회수되는 회수부로 구분되며, 상기 결합된 지그와 마스크가 상기 투입 측 6축 로봇에 의해 상기 투입부에 투입되면, 상기 결합된 지그와 마스크를 상기 회수부 방향으로 이송시키면서 상기 마스크를 세정하는 세정기기; 및 상기 세정이 완료되어 상기 회수부로 이송된 상기 지그와 마스크가 회수 측 6축 로봇에 의해 투입되면 상기 투입된 지그와 마스크를 각각 분리하는 분리기기를 포함하고, 상기 회수 측 6축 로봇은 상기 분리된 마스크를 버퍼에 적층할 수 있다.In the mask cleaning process system using the six-axis robot according to the embodiment of the present invention, when the jig and the mask stacked in the jig holder and the mask holder are respectively inserted by the inputting six-axis robot, A coupling device for coupling the jig and the mask by controlling the coupling device; The jig and the mask are separated into a cleaning unit and a recovery unit in which the cleaning jig and the mask are recovered. When the cleaning jig and the mask are put into the cleaning unit by the closing-side 6-axis robot, A cleaning device for cleaning the mask while transferring the jig and the mask toward the collection part; And a separation device for separating the inserted jig and the mask from each other when the jig and the mask transferred to the recovery unit are completed by the recovery side six-axis robot, and the recovery side six- The mask can be laminated to the buffer.

이와 같이 본 발명에 따르면, 다방향으로의 제어가 가능한 6축 로봇을 이용하여 OLED 증착용 마스크의 세정 공정을 진행함에 따라 공정 간소화를 실현하고 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the present invention, the cleaning process of the OLED deposition mask is performed using a six-axis robot capable of controlling in multiple directions, thereby realizing process simplification and improving productivity.

또한 본 발명에 따르면, 두 대의 6축 로봇을 이용하여 OLED 증착용 마스크 세정 공정을 진행함으로써 정확도가 향상되고 제조 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.Further, according to the present invention, the accuracy of the OLED deposition mask cleaning process is improved by using two six-axis robots, and the manufacturing cost can be reduced.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 시스템을 나타낸 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 6축 로봇을 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 지그와 마스크를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 방법의 동작 흐름을 도시한 순서도이다.1 is a block diagram of a mask cleaning process system using a six-axis robot according to an embodiment of the present invention.
2 is a view illustrating a six-axis robot according to an embodiment of the present invention.
3 is a view illustrating a jig and a mask according to an embodiment of the present invention.
4 is a flowchart illustrating an operation flow of a mask cleaning process using a six-axis robot according to an embodiment of the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 시스템 및 그 방법을 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a mask cleaning process system and a method thereof using a six-axis robot according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In this process, the thicknesses of the lines and the sizes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation.

또한 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서, 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.Further, the terms described below are defined in consideration of the functions of the present invention, which may vary depending on the intention or custom of the user, the operator. Therefore, definitions of these terms should be made based on the contents throughout this specification.

먼저, 도 1 내지 도 3을 통해 본 발명의 실시예에 따른 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 시스템에 대하여 설명한다.First, a mask cleaning process system using a six-axis robot according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3. FIG.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 시스템을 나타낸 구성도이다.1 is a block diagram of a mask cleaning process system using a six-axis robot according to an embodiment of the present invention.

각각의 구성요소를 설명하기에 앞서, 도 1에 도시된 지그보관대(100)와 마스크보관대(200)는 각각 지그(110)와 마스크(210)를 보관하기 위한 일종의 선반이며, 이때, 마스크보관대(200)에 적층된 마스크(210)는 세정 전의 마스크(210)이다.Before describing the respective components, the jig holder 100 and the mask holder 200 shown in Fig. 1 are a kind of shelf for storing the jig 110 and the mask 210, respectively, 200 are the masks 210 before cleaning.

도 1에서와 같이 본 발명의 실시예에 따른 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 시스템은, 결합기기(300), 투입 측 6축 로봇(400a), 회수 측 6축 로봇(400b), 세정기기(500), 분리기기(600) 및 지그 이송기기(800)를 포함한다.1, a mask cleaning process system using a six-axis robot according to an embodiment of the present invention includes a coupling device 300, a closing-side six-axis robot 400a, a recovery-side six-axis robot 400b, 500, a separation device 600, and a jig transfer device 800.

먼저 결합기기(300)는 투입 측 6축 로봇(400a)에 의해 각각 투입된 지그(110)와 마스크(210)를 결합시킨다.First, the coupling device 300 couples the jig 110 inserted by the input side six-axis robot 400a with the mask 210.

그리고 투입 측 6축 로봇(400a)과 회수 측 6축 로봇(400b)은 도 1에서와 같이 투입 측 및 회수 측에 각각 배치되어 기 설정된 제어에 따라 지그(110) 및 마스크(210)의 운반 작업을 수행한다.The input side six-axis robot 400a and the recovery side six-axis robot 400b are disposed on the input side and the recovery side, respectively, as shown in FIG. 1, and are connected to the transfer operation of the jig 110 and the mask 210 .

그리고 세정기기(500)는 마스크(210)를 세정하기 위한 기기로서, 양측이 세정전 지그(110)와 마스크(210)를 투입하는 투입부(510)와 세정이 완료된 지그(110)와 마스크(210)를 회수하는 회수부(520)로 각각 구분되어 결합기기(300)를 통해 결합된 지그(110)와 마스크(210)를 투입부(510)에서 회수부(520) 방향으로 이송시키면서 다수 단계에 거쳐 세정작업을 진행한다.The cleaning device 500 is a device for cleaning the mask 210. The cleaning device 500 includes a charging unit 510 for charging the cleaning pre-jig 110 and the mask 210, a jig 110 having been cleaned, The jig 110 and the mask 210 coupled to each other through the coupling device 300 are separated from the input unit 510 in the direction of the recovery unit 520, And then the cleaning operation is carried out.

그리고 분리기기(600)는 세정기기(500)로부터 세정이 완료되어 회수부(520)로 이송된 지그(110)와 마스크(210)를 각각 분리시킨다.The separating device 600 separates the jig 110 and the mask 210, which have been cleaned from the cleaning device 500 and transferred to the collecting part 520, respectively.

마지막으로 지그 이송기기(800)는 세정기기(500)의 상단에 구비되며, 지그(110)를 이송 운반하기 위한 기기로서 분리기기(600)로부터 분리된 지그(110)가 회수 측 6축 로봇(400b)에 의해 투입되면 지그 이송기기(800)는 투입된 지그(110)를 세정기기(500)의 투입부(510) 방향으로 이송시킨다.The jig transfer device 800 is provided at the upper end of the cleaning device 500 and the jig 110 separated from the separation device 600 as a device for transferring and transporting the jig 110 is connected to the recovery side six- The jig transfer device 800 transfers the inserted jig 110 toward the charging unit 510 of the cleaning apparatus 500. [

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 6축 로봇을 나타낸 도면이다.2 is a view illustrating a six-axis robot according to an embodiment of the present invention.

도 2에 도시한 6축 로봇은 투입 측 6축 로봇(400a)과 회수 측 6축 로봇(400b)를 포함하며, 배치되는 위치만 다를 뿐 실질적으로 동일한 6축 로봇을 나타낸다. The six-axis robot shown in Fig. 2 includes a six-axis robot 400a on the input side and a six-axis robot 400b on the take-back side, and shows substantially the same six-axis robot only in a different position.

자세히는, 6축 로봇(400a, 400b)은 세정기기(500)의 투입부(510) 측과 회수부(520) 측에 각각 배치되며, 말단부에 지그(110) 및 마스크(210)를 얹거나 들어올리기 위한 핸드(410)가 구비되고, 핸드(410)의 양측에는 얹어진 지그(110)의 움직임을 제한하기 위한 한 쌍의 클립부(411)가 구비된다.More specifically, the six-axis robots 400a and 400b are respectively disposed on the loading section 510 side and the return section 520 side of the cleaning apparatus 500, and the jig 110 and the mask 210 are placed on the distal end portion A pair of clip portions 411 for restricting the movement of the jig 110 placed on both sides of the hand 410 are provided.

여기서, 6축 로봇(400a, 400b)은 팬/틸트 동작이 가능한 연결수단을 통하여 연결되며, 6축으로 회전 가능하도록 사람의 어깨, 팔, 팔꿈치, 손목과 같은 관절을 가지고 있어서 사람과 비슷하게 운동할 수 있도록 제작된 로봇이다.Here, the six-axis robots 400a and 400b are connected through connecting means capable of a pan / tilt operation and have joints such as shoulders, arms, elbows, and wrists to be rotatable in six axes, It is a robot made to be able to do.

이를 참고하여 더욱 상세하게 설명하면, 투입 측 6축 로봇(400a)은 기 설정된 제어에 따라 말단부에 구비되는 핸드(410)를 이용하여 지그보관대(100)에 적층된 다수의 지그(110) 중 어느 하나의 지그(110)를 꺼내어 결합기기(300) 내부에 투입한다. 그리고 투입 측 6축 로봇(400a)은 마스크보관대(200)에 적층된 다수의 마스크(210) 중 어느 하나의 마스크(210)를 꺼내어 결합기기(300) 내부에 투입하되 기 투입된 지그(110) 위에 적층한다.The input side six-axis robot 400a may be provided with a hand 410 provided at a distal end portion of the jig 110 in the jig storage box 100 according to predetermined control, One jig 110 is taken out and put into the combined device 300. The input side six-axis robot 400a takes out one of the masks 210 among the plurality of masks 210 stacked on the mask holder 200 and inserts the mask 210 into the coupling device 300, Laminated.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 지그와 마스크를 나타낸 도면이다.3 is a view illustrating a jig and a mask according to an embodiment of the present invention.

지그(110)는 마스크(210)를 지지하기 위한 것으로서, 도 3에서와 같이 마스크(210)의 하단에 적층되어 복수개의 결합부(111)를 이용하여 마스크(210)의 프레임(210)을 고정한다.3, the jig 110 is stacked on the lower end of the mask 210 and fixed to the frame 210 of the mask 210 by using a plurality of engaging portions 111, do.

여기서, 마스크(210)는 OLED 증착용 마스크(210)가 적용되는 것이 바람직하지만 이에 한정하는 것은 아니다.Here, the mask 210 is preferably, but not limited to, an OLED deposition mask 210.

바람직하게는 결합기기(300)에 의해 지그(110)의 결합부(110)가 제어되어 지그(110)와 마스크(210)가 결합된다.The engagement portion 110 of the jig 110 is controlled by the coupling device 300 so that the jig 110 and the mask 210 are coupled.

그리고 투입 측 6축 로봇(400a)이 결합기기(300)를 통해 결합된 지그(110)와 마스크(210)를 세정기기(500)의 투입부(510)로 투입하면, 세정기기(500)는 결합된 지그(110)와 마스크(210)를 회수부(520) 방향으로 이송시키면서 마스크(210)를 세정한다.When the input side six-axis robot 400a inserts the jig 110 and the mask 210 coupled to each other through the coupling device 300 into the input portion 510 of the cleaning device 500, the cleaning device 500 The mask 210 is cleaned while conveying the combined jig 110 and the mask 210 in the direction of the recovery unit 520. [

그리고 회수 측 6축 로봇(400b)이 세정기기(500)에 의해 세정이 완료된 지그(110)와 마스크(210)를 분리기기(600)에 투입하면, 분리기기(600)는 지그(110)에 결합된 마스크(210)를 부상시켜 지그(110)와 마스크(210)를 각각 분리시킨다.When the recovery side six-axis robot 400b inserts the jig 110 and the mask 210 which have been cleaned by the cleaning device 500 into the separation device 600, the separation device 600 is moved to the jig 110 The combined mask 210 is lifted to separate the jig 110 and the mask 210 from each other.

이때, 회수 측 6축 로봇(400b)은 분리기기(600)로부터 분리된 마스크(210)를 핸드(410)에 얹어 버퍼(700)에 적층한다.At this time, the recovery-side six-axis robot 400b places the mask 210 separated from the separation device 600 on the hand 410 and stacks the mask 210 on the buffer 700.

여기서, 버퍼(700)는 세정이 완료된 마스크(210)가 적층되는 일종의 선반이다.Here, the buffer 700 is a kind of shelf in which the cleaned mask 210 is stacked.

마지막으로 투입 측 6측 로봇(400b)은 지그 이송기기(800)로부터 이송된 지그(110)를 지그보관대(100)에 적층한다.Finally, the input side 6-side robot 400b stacks the jig 110 transferred from the jig transfer device 800 in the jig holder 100.

즉, 본 발명의 실시예는 마스크(210)를 세정하기 위한 공정 시스템으로서 세정이 완료된 마스크(210)는 버퍼(700)에 적층하지만 세정이 완료된 지그(110)는 지그 이송기기(800)를 통해 반복 사용되도록 한다.That is, the embodiment of the present invention is a process system for cleaning the mask 210, wherein the cleaned mask 210 is stacked on the buffer 700, but the cleaned jig 110 is transferred through the jig transfer device 800 Let it be used repeatedly.

이하에서는 도 4를 통해 본 발명의 실시예에 따른 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 방법에 대하여 설명한다.Hereinafter, a mask cleaning process using a six-axis robot according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 방법의 동작 흐름을 도시한 순서도로서, 이를 참조하여 본 발명의 구체적인 동작을 설명한다.FIG. 4 is a flowchart illustrating an operation flow of a method for cleaning a mask using a six-axis robot according to an embodiment of the present invention, and a specific operation of the present invention will be described with reference to FIG.

본 발명의 실시예에 따른 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 방법에 따르면, 먼저 투입 측 6축 로봇(400a)은 지그보관대(100)와 마스크보관대(200)에 각각 적층된 지그(110)와 마스크(210)를 결합기기(300)에 각각 투입한다(S410).According to the mask cleaning process using the six-axis robot according to the embodiment of the present invention, the input side six-axis robot 400a includes the jig 110 stacked on the jig holder 100 and the mask holder 200, (210) to the coupling device 300 (S410).

자세히는, 투입 측 6축 로봇(400a)이 기 설정된 제어에 따라 말단부에 구비되는 핸드(410)를 이용하여 지그보관대(100)에 적층된 다수의 지그(110) 중 어느 하나의 지그(110)를 꺼내어 결합기기(300) 내부에 투입한다. More specifically, the input side six-axis robot 400a controls a jig 110 of a plurality of jigs 110 stacked on the jig holder 100 using a hand 410 provided at a distal end according to a predetermined control, And puts it into the inside of the combined device 300.

그리고 투입 측 6축 로봇(400a)은 마스크보관대(200)에 적층된 다수의 마스크(210) 중 어느 하나의 마스크(210)를 꺼내어 결합기기(300) 내부에 투입하되 기 투입된 지그(110) 위에 적층하여 투입한다.The input side six-axis robot 400a takes out one of the masks 210 among the plurality of masks 210 stacked on the mask holder 200 and inserts the mask 210 into the coupling device 300, And then laminated.

그 다음, S410 단계에서 투입된 지그(110)와 마스크(210)가 결합기기(300)를 통해 결합되면, 투입 측 6축 로봇(400a)은 결합된 지그(110)와 마스크(210)를 세정기기(500)의 투입부(510)에 투입한다(S420).When the inserted jig 110 and the mask 210 are coupled through the coupling device 300 in the step S410, the input side six-axis robot 400a moves the combined jig 110 and the mask 210 to the cleaning device Into the input unit 510 of the controller 500 (S420).

자세히는, 투입 측 6축 로봇(400a)이 결합기기(300)를 통해 결합된 지그(110)와 마스크(210)를 세정기기(500)의 투입부(510)로 투입하면, 세정기기(500)는 결합된 지그(110)와 마스크(210)를 회수부(520) 방향으로 이송시키면서 마스크(210)를 세정한다.More specifically, when the input side six-axis robot 400a inserts the jig 110 and the mask 210 coupled to each other through the coupling device 300 into the input portion 510 of the cleaning device 500, the cleaning device 500 Transfers the jig 110 and the mask 210 in the direction of the recovery unit 520 while cleaning the mask 210.

그 다음, S420 단계에서 투입된 지그(100)와 마스크(210)가 세정기기(500)를 통과하여 세정이 완료되고, 세정기기(500)의 회수부(520)로 이송되면(S430), 회수 측 6축 로봇(400b)은 회수부(520)로 이송된 지그(110)와 마스크(210)를 회수한다(S440).Then, in step S420, the jig 100 and the mask 210 are passed through the cleaning device 500 to be cleaned and transferred to the recovery part 520 of the cleaning device 500 (S430) The six-axis robot 400b recovers the jig 110 and the mask 210 transferred to the collecting unit 520 (S440).

그 다음, 회수 측 6축 로봇(400b)이 S440 단계에서 회수된 지그(110)와 마스크(210)를 분리기기(600)에 투입한다(S450).Then, the recovery-side six-axis robot 400b puts the jig 110 and the mask 210 recovered in step S440 into the separation device 600 (S450).

이때, 분리기기(600)는 세정기기(500)로부터 세정이 완료되어 회수부(520)로 이송된 지그(110)와 마스크(210)를 각각 분리시킨다.At this time, the separating device 600 separates the jig 110 and the mask 210, which have been cleaned from the cleaning device 500 and transferred to the collecting part 520, respectively.

자세히는, 회수 측 6축 로봇(400b)이 세정기기(500)에 의해 세정이 완료된 지그(110)와 마스크(210)를 분리기기(600)에 투입하면, 분리기기(600)는 지그(110)에 결합된 마스크(210)를 부상시켜 지그(110)와 마스크(210)를 각각 분리시킨다.More specifically, when the recovering six-axis robot 400b inserts the jig 110 and the mask 210, which have been cleaned by the cleaning device 500, into the separating device 600, the separating device 600 separates the jig 110 (Not shown) to separate the jig 110 and the mask 210 from each other.

그 다음, 결합된 지그(110)와 마스크(210)가 분리기기(600)에 의해 각각 분리되면, 회수 측 6축 로봇(400b)은 분리된 마스크(210)를 버퍼(700)에 적층한다(S460).Then, when the combined jig 110 and the mask 210 are separated by the separation device 600, the recovery side six-axis robot 400b laminates the separated mask 210 to the buffer 700 S460).

그 다음, 회수 측 6축 로봇(400b)은 분리기기(600)로부터 분리된 지그(110)를 지그 이송기기(800)에 투입한다(S470).Then, the recovery-side six-axis robot 400b inserts the jig 110 separated from the separation device 600 into the jig transfer device 800 (S470).

그 다음, 지그 이송기기(800)는 투입된 지그(110)를 세정기기(500)의 투입부(510) 방향으로 이송시킨다(S480).Then, the jig transfer device 800 transfers the inserted jig 110 toward the insertion portion 510 of the cleaning device 500 (S480).

그 다음, 투입 측 6측 로봇(400b)은 지그 이송기기(800)에 의해 투입부(510) 방향으로 이송된 지그(110)를 지그보관대(100)에 적층한다(S490).The input side 6 robot 400b then stacks the jig 110 transferred to the loading unit 510 by the jig transfer device 800 in the jig holder 100 (S490).

바람직하게는 마스크보관대(200)에 적층된 마스크(210)가 버퍼(700)로 모두 이동될 때까지 즉, 모든 마스크(210)의 세정이 완료될 때까지 S410 단계에서 S490 단계를 반복 수행한다.Preferably, steps S410 to S490 are repeated until all the masks 210 stacked on the mask holder 200 are moved to the buffer 700, that is, until the cleaning of all the masks 210 is completed.

상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 시스템 및 그 방법은 다방향으로의 제어가 가능한 6축 로봇을 이용하여 OLED 증착용 마스크의 세정 공정을 진행함에 따라 공정 간소화를 실현하고 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, the mask cleaning process system using the six-axis robot according to the embodiment of the present invention and the method thereof include a process of cleaning the mask for OLED deposition using a six-axis robot capable of controlling in multiple directions, It is possible to realize the simplification and improve the productivity.

또한 본 발명의 실시예에 따르면, 두 대의 6축 로봇을 이용하여 OLED 증착용 마스크 세정 공정을 진행함으로써 정확도가 향상되고 제조 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.Also, according to the embodiment of the present invention, the accuracy of the OLED deposition mask cleaning process is improved by using two 6-axis robots, and the manufacturing cost can be reduced.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 아래의 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the scope of the invention as defined by the appended claims. will be. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the following claims.

100 : 지그보관대 110 : 지그
111 : 결합부 200 : 마스크보관대
210 : 마스크 211 : 프레임
300 : 결합기기 400a : 투입 측 6축 로봇
400b : 회수 측 6축 로봇 410 : 핸드
411 : 클립부 500 : 세정기기
510 : 투입부 520 : 회수부
600 : 분리기기 700 : 버퍼
800 : 지그 이송기기100: jig holder 110: jig
111: coupling portion 200: mask holder
210: mask 211: frame
300: Coupling device 400a: Input side 6-axis robot
400b: Reciprocating six-axis robot 410: Hand
411: Clip part 500: Cleaning device
510: input unit 520:
600: Separation device 700: Buffer
800: Jig conveying machine

Claims (10)

6축 로봇을 포함하는 마스크 세정 공정 시스템에 의해 수행되는 마스크 세정 공정 방법에 있어서,
투입 측 6축 로봇은 지그보관대와 마스크보관대에 각각 적층된 지그와 마스크를 결합기기에 각각 투입하는 단계;
상기 결합기기를 통해 상기 지그와 마스크가 결합되면, 상기 투입 측 6축 로봇은 상기 결합된 지그와 마스크를 세정기기의 투입부에 투입하는 단계;
상기 세정기기를 통과한 상기 지그와 마스크가 세정이 완료되어 상기 세정기기의 회수부로 이송되면, 회수 측 6축 로봇은 상기 이송된 지그와 마스크를 회수하는 단계;
상기 회수 측 6축 로봇은 회수된 지그와 마스크를 분리기기에 투입하는 단계; 및
상기 분리기기를 통해 상기 결합된 지그와 마스크가 각각 분리되면, 상기 회수 측 6축 로봇은 상기 분리된 마스크를 버퍼에 적층하는 단계를 포함하는 마스크 세정 공정 방법.A mask cleaning process performed by a mask cleaning process system comprising a six-axis robot,
The input side six-axis robot includes a jig and a mask stacked in a jig holder and a mask holder, respectively, into a coupling device;
When the jig and the mask are coupled through the coupling device, the input side six-axis robot injects the combined jig and mask into the input portion of the cleaning device;
When the jig and the mask that have passed through the cleaning device are cleaned and transferred to the recovery unit of the cleaning device, the recovery side 6-axis robot collects the transferred jig and mask;
Wherein the recovery-side six-axis robot includes a step of injecting the recovered jig and the mask into a separation device; And
Wherein when the combined jig and mask are separated through the separation device, the recovery side six-axis robot includes stacking the separated mask in a buffer. 제1항에 있어서,
상기 회수 측 6축 로봇은 분리된 지그를 지그 이송기기에 투입하는 단계; 및
상기 지그 이송기기를 통해 상기 지그가 상기 투입부로 이송되면, 상기 투입 측 6축 로봇은 이송된 상기 지그를 상기 지그보관대에 적층하는 단계를 더 포함하는 마스크 세정 공정 방법.The method according to claim 1,
Wherein the recovery side six-axis robot includes a step of injecting a separated jig into a jig transfer device; And
Wherein when the jig is transferred to the input unit through the jig transfer device, the input side 6-axis robot further includes the step of stacking the transferred jig in the jig holder. 제1항에 있어서,
상기 투입 측 6축 로봇 및 상기 회수 측 6축 로봇은,
말단부에 상기 지그 및 마스크를 얹거나 들어올리기 위한 핸드가 각각 구비되며, 상기 세정기기의 투입부 측 및 회수부 측에 각각 배치되는 마스크 세정 공정 방법.The method according to claim 1,
Wherein the input side six-axis robot and the recovery side six-
And a hand for placing or lifting the jig and the mask on the distal end, respectively, and disposed on the side of the charging unit and the side of the charging unit, respectively. 제1항에 있어서,
상기 분리기기는,
상기 지그에 결합된 마스크를 부상시켜 상기 지그와 상기 마스크를 분리시키는 마스크 세정 공정 방법.The method according to claim 1,
Wherein the separation device comprises:
And the jig and the mask are separated by floating the mask coupled to the jig. 제1항에 있어서,
상기 마스크는,
상기 지그의 상단에 적층되어 상기 지그에 의해 프레임이 고정되며, OLED 증착용 마스크인 마스크 세정 공정 방법.The method according to claim 1,
Wherein,
Wherein the mask is an OLED deposition mask, wherein the mask is stacked on top of the jig and the frame is fixed by the jig. 지그보관대와 마스크보관대에 각각 적층된 지그와 마스크가 투입 측 6축 로봇에 의해 각각 투입되면, 상기 투입된 지그의 결합부를 제어하여 상기 지그와 마스크를 결합시키는 결합기기;
세정전 지그와 마스크가 투입되는 투입부와, 세정이 완료된 지그와 마스크가 회수되는 회수부로 구분되며, 상기 결합된 지그와 마스크가 상기 투입 측 6축 로봇에 의해 상기 투입부에 투입되면, 상기 결합된 지그와 마스크를 상기 회수부 방향으로 이송시키면서 상기 마스크를 세정하는 세정기기; 및
상기 세정이 완료되어 상기 회수부로 이송된 상기 지그와 마스크가 회수 측 6축 로봇에 의해 투입되면 상기 투입된 지그와 마스크를 각각 분리하는 분리기기를 포함하고,
상기 회수 측 6축 로봇은 상기 분리된 마스크를 버퍼에 적층하는 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 시스템.A coupling device for coupling the jig and the mask by controlling the engagement part of the inserted jig when the jig and the mask stacked in the jig holder and the mask holder are respectively inserted by the input side 6-axis robot;
The jig and the mask are separated into a cleaning unit and a recovery unit in which the cleaning jig and the mask are recovered. When the cleaning jig and the mask are put into the cleaning unit by the closing-side 6-axis robot, A cleaning device for cleaning the mask while transferring the jig and the mask toward the collection part; And
And a separation device for separating the inserted jig and the mask from each other when the jig and the mask transferred to the collection unit are completed by the recovery side six-axis robot,
Wherein the recovery side six-axis robot is a six-axis robot for stacking the separated mask in a buffer. 제6항에 있어서,
상기 회수 측 6축 로봇에 의해 상기 분리된 지그가 투입되면, 상기 지그를 상기 투입부 측으로 이송시키는 지그 이송기기를 더 포함하고,
상기 투입 측 6측 로봇은 이송된 상기 지그를 상기 지그보관대에 적층하는 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 시스템.The method according to claim 6,
Further comprising a jig transfer device for transferring the jig to the charging unit side when the separated jig is charged by the recovery side 6-axis robot,
And the input side 6-side robot laminates the jig transferred to the jig holder in a mask cleaning process system using a six-axis robot. 제6항에 있어서,
상기 투입 측 6축 로봇 및 상기 회수 측 6축 로봇은,
말단부에 상기 지그 및 마스크를 얹거나 들어올리기 위한 핸드가 각각 구비되며, 상기 세정기기의 투입부 측 및 회수부에 측에 각각 배치되는 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 시스템.The method according to claim 6,
Wherein the input side six-axis robot and the recovery side six-
And a hand for putting or lifting the jig and the mask on the distal end, respectively, and disposed on the side of the charging unit and the side of the cleaning unit, respectively. 제6항에 있어서,
상기 분리기기는,
상기 지그에 결합된 마스크를 부상시켜 상기 지그와 상기 마스크를 분리시키는 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 시스템.The method according to claim 6,
Wherein the separation device comprises:
A mask cleaning process system using a six-axis robot for separating the jig from the mask by floating the mask coupled to the jig. 제6항에 있어서,
상기 마스크는,
상기 지그의 상단에 적층되어 상기 지그에 의해 프레임이 고정되며, OLED 증착용 마스크인 6축 로봇을 이용한 마스크 세정 공정 시스템.The method according to claim 6,
Wherein,
A mask cleaning process system using a six-axis robot, which is an OLED deposition mask, and which is stacked on the top of the jig and the frame is fixed by the jig.
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