KR20170122538A

KR20170122538A - 양분형 탐침 장치

Info

Publication number: KR20170122538A
Application number: KR1020160051647A
Authority: KR
Inventors: 정영배
Original assignee: 주식회사 아이에스시
Priority date: 2016-04-27
Filing date: 2016-04-27
Publication date: 2017-11-06
Also published as: KR101841108B1

Abstract

본 발명은 중공 실린더 형상으로 형성되고, 제1 개구부와 제2 개구부를 갖도록 양단이 개방되는 배럴, 상기 배럴의 내부를 구획하는 구획부, 상기 배럴의 길이 방향을 따라 상기 제1 개구부로부터 일부가 돌출되도록 배치되는 제1 플런저, 상기 배럴의 길이 방향을 따라 상기 제2 개구부로부터 일부가 돌출되도록 배치되는 제2 플런저, 상기 제1 플런저와 상기 구획부의 사이에 배치되어 탄성 지지하는 제1 탄성 부재 및 상기 제2 플런저와 상기 구획부의 사이에 배치되어 탄성 지지하는 제2 탄성 부재를 포함하는 양분형 탐침 장치를 제공한다.

Description

양분형 탐침 장치{BIFURCATED PROBE APPARATUS}

본 발명은 양분형 탐침 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있는 양분형 탐침 장치에 관한 것이다.

최근, IC 패키지 또는 집적 회로를 위한 웨이퍼의 시험 장치에는 테스트를 위한 IC 패키지나 웨이퍼의 접속 단자와 테스트 회로 기판 측의 접속 단자 사이에 복수의 컨택트 프로브를 구비한 시험용 장치 및 검사용 소켓이 사용되고 있고, 특히 상기 컨택트 프로브에는 양단의 접촉부 사이에 탄성 부재를 설치함으로써 필요한 접촉압 부여 및 접촉 위치의 충격 흡수가 가능하게 하는 양단 슬라이드형 프로브(probe)가 사용되고 있다.

상기와 같은 양단 슬라이드형 프로브는 일 예로, 배럴(barrel) 내의 플런저(plunger) 중 헤드 부분을 슬라이드 가능하도록 지지함과 동시에 플런저 헤드 부분과 배럴 내주면 사이에 압축 코일 스프링을 개재시키는 구성이 공지되어 있다.

하지만, 종래의 양단 슬라이드형 프로브는 전기적 접촉 부재인 플런저 및 배럴이 배럴과 동일 직선 상에 배치되어 전기적 연결을 원활하게 하여야 함에도 불구하고, 플런저로부터 전달되는 전기신호가 상기 압축 코일 스프링으로 일부 전달되거나, 플런저를 경유하여 배럴로 전달되는 전기 신호가 배럴의 축 길이만큼 통과하는 과정에서 많은 임피던스(impedance) 성분이 발생되어 전기 신호의 손실 및 왜곡이 발생되므로 검사 신뢰도가 감소한다.

일본공개특허 특개2000-346872(2000. 12. 15. 공개)

이에, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 검사 신뢰도를 향상시킬 수 있는 양분형 탐침 장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 양분형 탐침 장치는 중공 실린더 형상으로 형성되고, 제1 개구부와 제2 개구부를 갖도록 양단이 개방되는 배럴, 상기 배럴의 내부를 구획하는 구획부, 상기 배럴의 길이 방향을 따라 상기 제1 개구부로부터 일부가 돌출되도록 배치되는 제1 플런저, 상기 배럴의 길이 방향을 따라 상기 제2 개구부로부터 일부가 돌출되도록 배치되는 제2 플런저, 상기 제1 플런저와 상기 구획부의 사이에 배치되어 탄성 지지하는 제1 탄성 부재 및 상기 제2 플런저와 상기 구획부의 사이에 배치되어 탄성 지지하는 제2 탄성 부재를 포함할 수 있다.

상기 제1 플런저의 제1 탄성 부재와 마주보는 일면에는 원추 형상으로 돌출되는 탄성 지지부가 형성되고, 반대측면에는 반도체 패키지의 단자에 접촉하는 제1 접촉부가 형성될 수 있다.

상기 제2 플런저의 제2 탄성 부재와 마주보는 일면에는 원추 형상으로 돌출되는 탄성 지지부가 형성되고, 반대측면에는 테스트 보드 상에 위치하는 컨택트 패드에 접촉하는 제2 접촉부가 형성될 수 있다.

상기 제1 탄성 부재와 제2 탄성 부재는 코일 스프링일 수 있다.

상기 제1 탄성 부재와 제2 탄성 부재는 동일한 코일 피치를 가질 수 있다.

상기 제1 탄성 부재와 제2 탄성 부재의 외경은 상기 배럴의 내경보다 작게 형성되고, 상기 제1 탄성 부재와 제2 탄성 부재의 표면에는 절연 부재가 형성될 수 있다.

상기 제1 탄성 부재와 제2 탄성 부재는 각각 탄성 고무를 포함할 수 있다.

상기 배럴의 제1 개구부 및 제2 개구부에는 상기 제1 플런저와 제2 플런저의 외주면에 밀착되도록 절곡된 실링부가 형성될 수 있다.

상기 제1 플런저와 제2 플런저의 상기 배럴 내부에 위치하는 대경부의 직경은 배럴 외부에 위치하는 소경부의 직경보다 크게 형성될 수 있다.

상기 구획부는 상기 제1 탄성 부재와 제2 탄성 부재의 마주보는 각각의 일단면이 상기 배럴 내부에서 고정되도록 반경 방향 내측으로 돌출되는 환형 돌기를 포함할 수 있다.

상기 환형 돌기의 내경은 상기 제1 탄성 부재와 제2 탄성 부재의 외경보다 작게 형성될 수 있다.

상기 환형 돌기는 롤코킹 공정으로 형성될 수 있다.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.

즉, 본 발명의 실시예들에 따른 양분형 탐침 장치는 고주파 전기 신호를 왜곡 없이 전달할 수 있도록 전달 경로가 안정적이고, 전달 경로 상의 임피던스가 최소화될 수 있다.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 양분형 탐침 장치의 단면도이다.
도 2 내지 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 양분형 탐침 장치의 작동 과정을 도시한 것이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 양분형 탐침 장치의 단면도를 도시한 것이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 양분형 탐침 장치의 단면도를 도시한 것이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 포함한다(comprises) 및/또는 포함하는(comprising)은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자 이외의 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는 의미로 사용한다. 그리고, "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.

또한, 본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 개략도들을 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 또한 본 발명에 도시된 각 도면에 있어서 각 구성 요소들은 설명의 편의를 고려하여 다소 확대 또는 축소되어 도시된 것일 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 양분형 탐침 장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대하여 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 양분형 탐침 장치의 단면도이다.

도 1에 도시한 바와 같이 본 발명의 제1 실시예에 따른 양분형 탐침 장치는 배럴(100), 구획부(200), 제1 플런저(210), 제2 플런저(220), 제1 탄성 부재(310) 및 제2 탄성 부재(320)를 포함할 수 있다.

배럴(100)은 내부가 빈 중공 형상이고, 횡단면 형상이 원형으로 형성될 수 있으며, 배럴(100)의 길이 방향을 따른 양단이 개방되어 제1 개구부(101)와 제2 개구부(102)를 갖도록 형성될 수 있다. 이때, 제1 개구부(101)와 제2 개구부(102)에는 후술하는 바와 같이 제1 플런저(210)와 제2 플런저(220)가 배럴(100)로부터 완전히 이탈되지 않도록 절곡될 수 있다.

즉, 제1 개구부(101) 및 제2 개구부(102)의 단부를 제1 플런저(210) 및 제2 플런저(220)의 노출된 외주면에 접촉하여 감싸도록 절곡된 실링부(100a, 100b)를 형성할 수 있다. 이때 제1 플런저(210)와 제2 플런저(220)의 배럴(100) 내부에 위치하는 대경부(210b, 220b)의 직경은 실링부(100a, 100b)를 기준으로 배럴(100)의 외부에 위치하는 소경부(210c, 220c)의 직경보다 크게 형성됨으로써 제1 플런저(210) 및 제2 플런저(220)가 배럴(100)의 내부로부터 길이 방향으로 이동하는 중에 완전히 이탈되는 것을 방지할 수 있다.

배럴(100)은 전기 전도성을 갖는 금속 재질로 형성될 수 있다. 일 예로, 전기 전도성이 있는 금속 판재로 소정의 연신성이 있고, 열처리를 통하여 탄성 및 강도가 우수하고, 전기적 저항이 낮은 재질이 적용될 수 있다. 특히 베릴륨 동 25 합금 ASTM C17200 등이 적용될 수 있으나, 기계적, 전기적 물성을 만족하는 어떠한 소재도 적용될 수 있으므로 이에 한정되지 않는다.

배럴(100)의 양단에는 각각의 일단에 전기적 접촉부(210d, 220d)를 구비하는 제1 플런저(210) 및 제2 플런저(220)가 형성될 수 있다. 여기서, 제1 플런저(210)와 제2 플런저(220)의 사이에 형성되는 구획부(200)에 의해서 배럴(100) 내부가 완전히 구획될 수 있다.

즉, 배럴(100)의 내부에서 길이 방향을 따라 제1 플런저(210), 구획부(200) 및 제2 플런저(220)가 직렬로 배치되어 피검사 대상물의 전극 및 패드 간의 전기적 연결이 가능하도록 한다.

전기적 연결을 위해, 제1 플런저(210)의 배럴(100)로부터 노출된 제1 접촉부(210d) 및 제2 플런저(220)의 배럴(100)로부터 노출된 제2 접촉부(220d)가 각각 피검사 대상물의 전극 및 패드와 적절한 압력으로 접촉되도록 한다. 여기서, 제1 플런저(210)의 제1 접촉부(210d)는 피검사 대상물의 반도체 패키지(10)의 단자(11)에 접촉하는 부분을 의미할 수 있고, 제2 플런저(220)의 제2 접촉부(220d)는 테스트 보드(20)의 컨택트 패드(21)에 접촉하는 부분을 의미할 수 있다.

다시 말해, 제1 플런저(210)의 상단면에 형성되는 제1 접촉부(210d) 및 제2 플런저(220)의 하단면에 형성되는 제2 접촉부(220d)는 각각 단자 및 컨택트 패드 등에 접촉되는 부분으로서, 단자 또는 컨택트 패드 등과의 상호 접촉 면적을 확보하기 위한 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 반도체 패키지의 단자에 접촉하는 경우에는 단자를 감싸기 용이하도록 중앙부가 움푹 패고, 그 주변부가 돌출되는 크라운 형상으로 형성될 수 있고, 테스트 보드의 컨택트 패드에 접촉하는 경우에는 돔 형상으로 돌출 형성될 수 있다.

각각의 접촉부(210d, 220d)는 반도체 패키지 등과 같은 피검사 대상물과 반복적으로 접촉되더라도 테스트 기판의 단자 또는 패드와 안정적인 전기 접촉을 유지하기 위하여 우수한 경도의 도전 재료로 만들어지는 것이 바람직하다.

구획부(200)의 길이 방향을 따른 양단에는 제1 플런저(210)와 제2 플런저(220)의 각각의 제1, 2 탄성 지지부(210a, 220a)의 형상에 대응되는 형상의 안착부(201, 202)가 형성될 수 있다.

제1 플런저(210)와 제2 플런저(220)의 각각의 제1, 2 탄성 지지부(210a, 220a)가 구획부(200)를 향하여 과도하게 접근하는 경우 충돌 및 간섭을 방지하기 위하여 각각의 접촉부가 안착할 수 있는 형상으로 형성될 수 있다.

또한, 제1 플런저(210) 및 제 2플런저(220)의 압축 시 제1 탄성 부재(310) 및 제2 탄성 부재(320)의 중심 정렬 기능의 효과도 갖게 된다.

구획부(200)는 배럴(100)의 내부를 제1 플런저(210)와 제2 플런저(220) 사이에서 내부 공간을 완전히 차단시키되, 제1 플런저(210), 배럴(100), 제2 플런저(220)를 경유하여 전기적으로 연결될 수 있도록 한다. 이때, 제1 플런저(210)의 배럴(100)로부터 노출된 접촉부(210d) 및 제2 플런저(220)의 배럴(100)로부터 노출된 접촉부(220d)가 각각 반도체 패키지의 전극 및 테스트 보드의 패드와 적절한 접촉 압력으로 접촉되도록 한다.

제1 플런저(210)와 구획부(200)의 사이에 배치되는 제1 탄성 부재(310)는 압축 코일 스프링일 수 있다. 아울러, 후술하는 제2 탄성 부재(320)도 압축 코일 스프링일 수 있다.

제1 탄성 부재(310)가 압축 코일 스프링인 경우 전술한 바와 같이 제1 플런저(210)의 제1 탄성 부재(310)와 마주보는 일면에는 원추 형상으로 돌출되는 제1 탄성 지지부(210a)가 형성될 수 있다. 제1 탄성 지지부(210a)는 제1 탄성 부재(310)의 일단이 안정적으로 지지될 수 있도록 제1 탄성 부재(310)의 중공 부분으로 삽입될 수 있는 어떠한 형상이든 적용될 수 있으므로 이에 한정되지 않는다.

마찬가지로, 제2 플런저(220)의 제2 탄성 부재(320)와 마주보는 일면에는 원추 형상으로 돌출되는 제2 탄성 지지부(220a)가 형성될 수 있다. 제2 탄성 지지부(220a)는 제2 탄성 부재(320)의 일단을 안정적으로 지지하게 된다.

제1 탄성 부재(310)와 제2 탄성 부재(320)는 동일한 코일 피치(pitch)를 갖도록 형성될 수 있다. 여기서, 구획부(200)가 배럴(100) 총 길이의 중간에 배치되는 경우에는 제1 탄성 부재(310)와 제2 탄성 부재(320)가 동일한 코일 피치로 형성되어서 상호 왕복 이동 거리가 동일하도록 하는 것이 바람직하지만, 구획부(200)가 조립 공차 또는 설계 상 배럴(100) 총 길이의 중간에 배치되지 않는 경우에는 제1 탄성 부재(310)와 제2 탄성 부재(320)의 상호 왕복이동 거리가 변동되어야 하므로 상호 코일 피치가 달라질 수도 있다.

제1 탄성 부재(310)와 제2 탄성 부재(320)의 외경은 배럴(100)의 내경보다 작게 형성되고, 제1 탄성 부재(310)와 제2 탄성 부재(320)의 각각의 표면에는 절연 부재(미도시)가 더 포함될 수 있다. 절연 부재는 제1 탄성 부재(310)와 제2 탄성 부재(320)의 표면에 부착, 증착 또는 코팅 등의 방법에 의해 형성될 수 있다.

이와 같이 제1 탄성 부재(310)와 제2 탄성 부재(320)의 표면에 절연 부재가 형성되면 배럴(100)을 통하여 전달되는 전기적 신호가 불필요하게 제1 탄성 부재(310) 및 제2 탄성 부재(320)로 전달되어 임피던스가 발생되는 것을 방지할 수 있게 된다.

아울러, 제1 플런저(210) 및 제2 플런저(220)의 조립 시 필요 이상의 공차에 의해 동축 상에 직렬로 배치되지 않는 경우 제1 플런저(210) 및 제2 플런저(220)가 배럴(100)의 내주면으로부터 일정한 틈새를 유지한 상태로 안정적으로 축방향을 따라 이동되지 못하여 배럴(100)의 내주면과의 불규칙한 접촉이 발생되어도 임피던스가 발생될 수 있으므로, 적절한 조립 공차가 요구된다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 양분형 탐침 장치의 작동 과정을 도면을 참조하여 설명한다.

도 2 내지 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 양분형 탐침 장치의 작동 과정을 도시한 것이다.

도 2에 도시한 바와 같이 반도체 패키지 검사를 위하여 배럴(100)의 상측에는 반도체 패키지(10)의 외부 단자(11)들이 이격되어 위치하고, 배럴(100)의 하측에는 테스트 보드(20)의 컨택트 패드(21)가 위치할 수 있다.

이후, 도 3에 도시한 바와 같이 반도체 패키지 검사를 위하여 반도체 패키지(10)의 외부 단자(11) 및 테스트 보드(20)의 컨택트 패드(21)를 배럴(100)의 제1 플런저(210) 및 제2 플런저(220)를 향하여 샌드위치(sandwich)시키면, 반도체 패키지의 외부 단자(11)들이 제1 플런저(210)의 제1 접촉부(210d)에 접촉되고, 제2 플런저(220)의 제2 접촉부(220d)에 테스트 보드(20)의 컨택트 패드(21)가 각각 접촉된다.

이때, 배럴(100) 내부의 제1 탄성 부재(310) 및 제2 탄성 부재(320)에 의해 제1 플런저(210)와 제2 플런저(220)가 탄성 지지되도록 함으로써 접촉 시의 충격을 흡수하게 되며, 도 4에 도시한 바와 같이 반도체 패키지(10)와 테스트 보드(20)가 전기적으로 연결되어 화살표를 따라 전기 신호의 연결이 이루어지게 된다.

도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 양분형 탐침 장치의 단면도를 도시한 것이다.

도 5을 참조하여, 본 발명의 제1 실시예에 따른 구성과 비교하여 보면, 제1 실시예에 따른 구성은 제1 탄성 부재 및 제2 탄성 부재가 비도전성 고무로 이루어지는 점이 상이하고, 그 외의 구성 및 작동 원리는 모두 동일하므로 중복된 설명은 생략한다.

도 5에 도시한 바와 같이 본 발명의 제2 실시예에 따른 양분형 탐침 장치는 배럴(100) 내부에는 제1 플런저(210)와 구획부(200) 사이에 제1 탄성 고무(330)가 배치되고, 제2 플런저(220)와 구획부(200) 사이에는 제2 탄성 고무(340)가 배치될 수 있다. 제1 탄성 고무(330)와 제2 탄성 고무(340)는 배럴(100)의 단면 형상과 동일하게 원기둥 형상으로 형성될 수 있고, 배럴(100)의 내경보다 작은 지름을 갖도록 형성된다.

또한, 제1 탄성 고무(330)의 일단은 제1 플런저(210)의 일면과 면접촉하고, 타단은 구획부(200)의 일면과 면접촉하도록 배치될 수 있다. 마찬가지로, 제2 탄성 고무(330)의 일단은 제2 플런저(220)의 일면과 면접촉하고, 타단은 구획부(200)의 일면에 면접촉하도록 배치됨으로써 제1 플런저(210)와 제2 플런저(220)가 배럴(100) 내부에서 길이 방향을 따라 제1 탄성 고무(330)와 제2 탄성 고무(340)에 의해 탄성 지지되면서 슬라이딩되도록 한다.

이와 같이 제1 플런저(210)와 구획부(200) 사이에 제1 탄성 고무(330)가 배치되고, 제2 플런저(220)와 구획부(200) 사이에 제2 탄성 고무(340)가 배치되면, 제1 플런저(210) 및 제2 플런저(220)의 각각의 접촉부(210d, 220d)를 통하여 전기적 연결이 이루어지는 과정에서 도 4에서 도시한 제1 실시예와 동일한 도통 경로를 이루게 된다.

도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 양분형 탐침 장치의 단면도를 도시한 것이다.

도 6을 참조하면, 제1 실시예에 따른 구성과 비교하여 볼 때 구획부(100e)가 배럴의 길이 방향을 따라 소정 거리 이격되어 외주면에 형성되는 환형 돌기(100c, 100d)에 의해 내부 공간이 마련되는 점이 상이하고, 그 외의 구성은 모두 동일하므로 중복되는 설명은 생략한다.

구체적으로, 배럴(100)의 외주면에는 제1 탄성 부재(310)와 제2 탄성 부재(320)의 마주보는 각각의 일단면이 고정되도록 반경 반향 내측으로 환형 돌기(100c, 100d)가 형성될 수 있다. 즉, 구획부(100e)는 배럴(100)의 반경 방향 내측을 향하여 제1 탄성 부재(310) 및 제2 탄성 부재(320)의 지름보다 작은 지름을 이루도록 함몰되는 환형 돌기(100c, 100d)를 포함하고, 제1 탄성 부재(310)와 제2 탄성 부재(320)의 마주보는 단부가 상기 환형 돌기(100c, 100d)에 걸림 고정됨으로써 배럴(100)의 길이 방향에 따른 이동이 제한되도록 할 수 있다.

본 실시예에서는 배럴(100)의 외주면에 환형 돌기(100c, 100d)가 형성되고, 배럴(100)의 외측면으로부터 배럴(100)의 반경 방향 내측을 향하여 롤코킹(roll-caulking) 공정이 수행될 수 있다. 즉, 롤 코킹 공정에 의해 배럴(100)의 외주면에는 환형 돌기(100c, 100d)가 반경 방향 내측으로 돌출되어 제1 탄성 부재(310) 및 제2 탄성 부재(320)의 마주보는 단부에 걸림 고정되도록 할 수 있다. 이와 같이 제1 탄성 부재(310) 및 제2 탄성 부재(320)가 배럴(100)의 내주면에 고정되도록 하는 방법은 배럴(100)의 내주면에 스냅핏(snap-fit)이 형성되는 등의 방법으로도 가능하므로 이에 한정되지 않는다.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따르면 제1 탄성 부재 및 제2 탄성 부재가 압축되는 과정에서 제1 탄성 부재 또는 제2 탄성 부재에 휨이 발생되더라도 구획부가 배럴의 내주면을 구획한 상태로 제1 탄성 부재 및 제2 탄성 부재를 안정적으로 지지하여 배럴과 평행을 유지하도록 함으로써 안정적인 전기적 연결을 유지할 수 있게 된다. 또한, 종래와 같이 배럴 전체 길이에 상응하는 길이의 플런저 및 탄성 부재를 형성하는 경우와 비교하여 볼 때, 제1 플런저 및 제2 플런저로 양분되는 구성이므로 소량의 조립 공차가 발생하더라도 구획부에 의한 짧은 길이의 제1 탄성 부재 및 제2 탄성 부재로 인한 스프링의 안정성, 내구성 및 탐침 장치의 압축 범위의 증대 측면에서 효과적이다. (본 발명의 제1, 3 실시예의 경우 제1 탄성 부재 및 제2 탄성 부재는 압축 코일 스프링일 수 있고, 제2 실시예의 경우 제1 탄성 부재 및 제2 탄성 부재는 탄성 고무일 수 있다.)

따라서, 고주파 전기 신호를 왜곡 없이 전달할 수 있도록 전달 경로가 안정적이고, 전달 경로 상의 임피던스가 최소화될 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

100: 배럴
200: 구획부
210: 제1 플런저
220: 제2 플런저
310: 제1 탄성 부재
320: 제2 탄성 부재

Claims

중공 실린더 형상으로 형성되고, 제1 개구부와 제2 개구부를 갖도록 양단이 개방되는 배럴;
상기 배럴의 내부를 구획하는 구획부;
상기 배럴의 길이 방향을 따라 상기 제1 개구부로부터 일부가 돌출되도록 배치되는 제1 플런저;
상기 배럴의 길이 방향을 따라 상기 제2 개구부로부터 일부가 돌출되도록 배치되는 제2 플런저;
상기 제1 플런저와 상기 구획부의 사이에 배치되어 탄성 지지하는 제1 탄성 부재; 및
상기 제2 플런저와 상기 구획부의 사이에 배치되어 탄성 지지하는 제2 탄성 부재를 포함하는 양분형 탐침 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 플런저의 제1 탄성 부재와 마주보는 일면에는 원추 형상으로 돌출되는 탄성 지지부가 형성되고, 반대측면에는 반도체 패키지의 단자에 접촉하는 제1 접촉부가 형성되는 것을 특징으로 하는 양분형 탐침 장치.
제1항에 있어서,
상기 제2 플런저의 제2 탄성 부재와 마주보는 일면에는 원추 형상으로 돌출되는 탄성 지지부가 형성되고, 반대측면에는 테스트 보드 상에 위치하는 컨택트 패드에 접촉하는 제2 접촉부가 형성되는 것을 특징으로 하는 양분형 탐침 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 탄성 부재와 제2 탄성 부재는 코일 스프링인 것을 특징으로 하는 양분형 탐침 장치.
제4항에 있어서,
상기 제1 탄성 부재와 제2 탄성 부재는 동일한 코일 피치를 갖는 것을 특징으로 하는 양분형 탐침 장치.
제4항에 있어서,
상기 제1 탄성 부재와 제2 탄성 부재의 외경은 상기 배럴의 내경보다 작게 형성되고, 상기 제1 탄성 부재와 제2 탄성 부재의 표면에는 절연 부재가 형성되는 것을 특징으로 하는 양분형 탐침 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 탄성 부재와 제2 탄성 부재는 각각 탄성 고무를 포함하는 것을 특징으로 하는 양분형 탐침 장치.
제1항에 있어서,
상기 배럴의 제1 개구부 및 제2 개구부에는 상기 제1 플런저와 제2 플런저의 외주면에 밀착되도록 절곡된 실링부가 형성되는 것을 특징으로 하는 양분형 탐침 장치.
제8항에 있어서,
상기 제1 플런저와 제2 플런저의 상기 배럴 내부에 위치하는 대경부의 직경은 배럴 외부에 위치하는 소경부의 직경보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 양분형 탐침 장치.
제1항에 있어서,
상기 구획부는 상기 제1 탄성 부재와 제2 탄성 부재의 마주보는 각각의 일단면이 상기 배럴 내부에서 고정되도록 반경 방향 내측으로 돌출되는 환형 돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 하는 양분형 탐침 장치.
제10항에 있어서,
상기 환형 돌기의 내경은 상기 제1 탄성 부재와 제2 탄성 부재의 외경보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 양분형 탐침 장치.
제10항에 있어서,
상기 환형 돌기는 롤코킹 공정으로 형성되는 것을 특징으로 하는 양분형 탐침 장치.