KR20170112814A - Flexible printed circuit board, manufacturing method of the same, and touch panel comprising the same - Google Patents

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Abstract

실시예에 따른 연성인쇄회로기판은, 관통홀을 포함하는 기판; 상기 기판의 상면, 하면 및 상기 관통홀의 내측면 상에 배치되는 제 1 금속층; 및 상기 제 1 금속층의 상면, 하면 및 상기 관통홀의 내측면 상에 배치되는 제 2 금속층을 포함한다.
실시예에 따른 연성회로기판의 제조방법은, 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 상에 관통홀을 형성하는 단계; 상기 관통홀이 형성된 상기 기판 상에 제 1 금속층을 형성하는 단계; 및 상기 제 1 금속층 상에 제 2 금속층을 형성하는 단계를 포함한다.
실시예에 따른 터치 패널은, 연성인쇄회로기판을 포함하고, 상기 연성회로기판은 관통홀을 포함하는 기판; 상기 기판의 상부에 배치되는 제 1 배선층; 및 상기 기판의 하부에 배치되는 제 2 배선층을 포함하고, 상기 제 1 배선층 및 상기 제 2 배선층은 상기 기판의 상부에 배치되는 구동칩과 전기적으로 연결된다.
A flexible printed circuit board according to an embodiment includes: a substrate including a through hole; A first metal layer disposed on an upper surface, a lower surface, and an inner surface of the through hole of the substrate; And a second metal layer disposed on an upper surface, a lower surface, and an inner surface of the through hole of the first metal layer.
A method of manufacturing a flexible circuit board according to an embodiment of the present invention includes: preparing a substrate; Forming a through hole on the substrate; Forming a first metal layer on the substrate on which the through hole is formed; And forming a second metal layer on the first metal layer.
A touch panel according to an embodiment includes a flexible printed circuit board, the flexible printed circuit board including a through hole; A first wiring layer disposed on the substrate; And a second wiring layer disposed under the substrate, wherein the first wiring layer and the second wiring layer are electrically connected to a driving chip disposed on the substrate.

Description

연성인쇄회로기판, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 터치 패널{FLEXIBLE PRINTED CIRCUIT BOARD, MANUFACTURING METHOD OF THE SAME, AND TOUCH PANEL COMPRISING THE SAME} TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a flexible printed circuit board, a method of manufacturing the same, and a touch panel including the flexible printed circuit board,

본 기재는 터치 패널 및 이를 포함하는 터치 디바이스에 관한 것이다.The present disclosure relates to a touch panel and a touch device including the touch panel.

다양한 전자 제품에서 터치 디바이스에 표시된 화상에 손가락 또는 스타일러스(stylus) 등의 입력 장치를 접촉하는 방식으로 입력을 하는 터치 패널이 적용되고 있다.A touch panel which inputs an image by touching an input device such as a finger or a stylus to an image displayed on the touch device in various electronic products has been applied.

이러한 터치 패널에 신호를 인가하는 회로 기판은 별도로 구비된다. A circuit board for applying a signal to the touch panel is separately provided.

최근에는 다양한 전자 제품에서 곡면 디스플레이나 플렉서블 디스플레이 등이 사용되고 있고, 이에 적용할 수 있는 연성회로기판이 개발되었다.In recent years, a curved surface display or a flexible display has been used in various electronic products, and a flexible circuit board that can be applied thereto has been developed.

또한, 크기가 작고, 슬림한 터치 디바이스가 요구됨에 따라, 양면이 관통홀 및 관통홀 내부에 채워진 도전물질을 통해 통전될 수 있는 다층형 연성회로기판이 각광받고 있다.In addition, since a small and slim touch device is required, a multi-layer flexible circuit board on both sides can be energized through the conductive material filled in the through hole and the through hole.

이러한 다층형 연성회로기판은 양면에 동박이 적층되어 있는 폴리이미드 기재를 준비한 후, 드릴을 통해 관통홀을 형성한다. 다음으로, 도금을 통해 관통홀의 내측면에 도전성 물질이 배치되도록 할 수 있다. 이로써, 기재의 상면과 하면이 관통홀에 배치된 도전성 물질을 통해 전기적으로 연결될 수 있다. 다음으로, 드라이필름을 라미네이션한 다음, 노광, 현상 및 에칭 공정을 통해, 연성회로기판의 양면, 즉 상면과 하면에 패턴화된 배선층을 형성할 수 있다. In such a multilayer flexible circuit board, a polyimide substrate having copper foils laminated on both surfaces thereof is prepared, and a through hole is formed through a drill. Next, the conductive material may be disposed on the inner surface of the through hole through plating. As a result, the upper surface and the lower surface of the substrate can be electrically connected through the conductive material disposed in the through hole. Next, a patterned wiring layer can be formed on both surfaces of the flexible circuit board, that is, on the upper and lower surfaces through the exposure, development and etching steps after laminating the dry film.

상기와 같은 다층형 연성회로기판은 폴리이미드 기재 상에 무전해 도금에 의한 동박 및 전해도금에 의한 동박이 차례로 배치되며, 전체적인 두께가 두꺼워질 수 있고, 공정이 복잡한 문제점이 있다. In such a multilayer flexible circuit board, a copper foil by electroless plating and a copper foil by electrolytic plating are sequentially disposed on a polyimide substrate, the overall thickness thereof may become thick, and the process is complicated.

또한, 관통홀의 내측면에 무전해 도금에 의한 동박이 배치될 경우, 밀착력이 낮을 수 있어, 관통홀 내부의 영역에 보이드가 발생할 수 있는 문제점을 가진다.Further, when the copper foil by electroless plating is disposed on the inner surface of the through hole, the adhesion may be low, and voids may be generated in the region inside the through hole.

실시예는 두께가 슬림한 연성회로 기판 및 이의 제조방법과 신뢰성이 향상된 터치 패널을 제공하고자 한다. Embodiments provide a flexible circuit board having a slim thickness, a manufacturing method thereof, and a touch panel having improved reliability.

실시예에 따른 연성인쇄회로기판은, 관통홀을 포함하는 기판; 상기 기판의 상면, 하면 및 상기 관통홀의 내측면 상에 배치되는 제 1 금속층; 및 상기 제 1 금속층의 상면, 하면 및 상기 관통홀의 내측면 상에 배치되는 제 2 금속층을 포함한다. A flexible printed circuit board according to an embodiment includes: a substrate including a through hole; A first metal layer disposed on an upper surface, a lower surface, and an inner surface of the through hole of the substrate; And a second metal layer disposed on an upper surface, a lower surface, and an inner surface of the through hole of the first metal layer.

실시예에 따른 연성회로기판의 제조방법은, 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 상에 관통홀을 형성하는 단계; 상기 관통홀이 형성된 상기 기판 상에 제 1 금속층을 형성하는 단계; 및 상기 제 1 금속층 상에 제 2 금속층을 형성하는 단계를 포함한다. A method of manufacturing a flexible circuit board according to an embodiment of the present invention includes: preparing a substrate; Forming a through hole on the substrate; Forming a first metal layer on the substrate on which the through hole is formed; And forming a second metal layer on the first metal layer.

실시예에 따른 터치 패널은, 연성인쇄회로기판을 포함하고, 상기 연성회로기판은 관통홀을 포함하는 기판; 상기 기판의 상부에 배치되는 제 1 배선층; 및 상기 기판의 하부에 배치되는 제 2 배선층을 포함하고, 상기 제 1 배선층 및 상기 제 2 배선층은 상기 기판의 상부에 배치되는 구동칩과 전기적으로 연결된다.A touch panel according to an embodiment includes a flexible printed circuit board, the flexible printed circuit board including a through hole; A first wiring layer disposed on the substrate; And a second wiring layer disposed under the substrate, wherein the first wiring layer and the second wiring layer are electrically connected to a driving chip disposed on the substrate.

실시예는 관통홀을 포함하는 기판, 상기 기판의 상면, 하면 및 상기 관통홀의 내측면 상에 배치되는 제 1 금속층 및 상기 제 1 금속층의 상면, 하면 및 상기 관통홀의 내측면 상에 배치되는 제 2 금속층을 포함한다. A second embodiment of the present invention provides a semiconductor device comprising a substrate including a through hole, a first metal layer disposed on an upper surface, a lower surface, and an inner surface of the through hole of the substrate, a second metal layer disposed on the upper surface, Metal layer.

실시예에 따른 제 1 금속층은 기판의 상면, 하면 및 상기 관통홀의 내측면에서 일체로 배치될 수 있어, 상기 관통홀의 내측면에서, 상기 제 1 금속층의 밀착력을 향상시킬 수 있다.The first metal layer according to the embodiment can be integrally disposed on the upper surface and the lower surface of the substrate and the inner surface of the through hole so that the adhesion of the first metal layer can be improved on the inner surface of the through hole.

또한, 실시예에 따른 제 2 금속층은 기판의 상면, 하면 및 상기 관통홀의 내측면에서 일체로 배치될 수 있어, 상기 관통홀의 내측면에서, 상기 제 2 금속층의 밀착력을 향상시킬 수 있다. In addition, the second metal layer according to the embodiment can be integrally disposed on the upper surface, the lower surface, and the inner surface of the through hole of the substrate, and the adhesion of the second metal layer can be improved on the inner surface of the through hole.

또한, 상기 기판의 상면 및 하면과 동시에 관통홀의 내측면에 금속층이 배치됨에 따라, 단차가 발생하는 것을 방지할 수 있고, 슬림한 연성회로기판을 형성할 수 있다. In addition, since the metal layer is disposed on the inner surface of the through hole at the same time as the top and bottom surfaces of the substrate, it is possible to prevent a step from being generated, and a slim and flexible circuit board can be formed.

또한, 실시예에 따른 연성회로기판의 제조 방법은 상기 관통홀의 내측면에 별도로 도전성 물질을 채우기 위한 공정을 생략할 수 있어, 공정 효율성을 향상시킬 수 있다. In addition, in the method of manufacturing a flexible circuit board according to the embodiment, it is possible to omit the step of filling the inner surface of the through hole with a conductive material separately, thereby improving the process efficiency.

또한, 실시예에 따른 연성회로기판은 관통홀의 내측면에 배치될 수 있는 금속층의 보이드 발생을 방지할 수 있음에 따라, 이를 포함하는 터치 패널의 신뢰성을 향상시킬 수 있다. In addition, since the flexible circuit board according to the embodiment can prevent the occurrence of voids in the metal layer that can be disposed on the inner side of the through hole, the reliability of the touch panel including the same can be improved.

도 1은 비교예에 따른 연성회로기판의 제조 공정에 관한 도면이다.
도 2는 비교예에 따른 연성회로기판의 단면도이다.
도 3 내지 도 7은 실시예에 따른 연성회로기판의 단면도들이다.
도 8 내지 도 12는 실시예에 따른 연성회로기판의 제조 공정을 도시한 도면들이다.
1 is a view showing a manufacturing process of a flexible circuit board according to a comparative example.
2 is a cross-sectional view of a flexible circuit board according to a comparative example.
3 to 7 are sectional views of a flexible circuit board according to an embodiment.
8 to 12 are views showing a manufacturing process of a flexible circuit board according to an embodiment.

실시예들의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 “상/위(on)”에 또는 “하/아래(under)”에 형성된다는 기재는, 직접(directly) 또는 다른 층을 개재하여 형성되는 것을 모두 포함한다. 각 층의 상/위 또는 하/아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다. In the description of the embodiments, it is to be understood that each layer (film), area, pattern or structure may be referred to as being "on" or "under / under" Quot; includes all that is formed directly or through another layer. The criteria for top / bottom or bottom / bottom of each layer are described with reference to the drawings.

도면에서 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들의 두께나 크기는 설명의 명확성 및 편의를 위하여 변형될 수 있으므로, 실제 크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다. The thickness or the size of each layer (film), region, pattern or structure in the drawings may be modified for clarity and convenience of explanation, and thus does not entirely reflect the actual size.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1을 참조하여, 비교예에 따른 연성회로기판의 제조 공정을 설명한다. 비교예에 따른 연성회로 기판은 기재(100), 기재(100)의 양면 상에 배치되는 제 1 금속층(110) 및 제 1 금속층(110)의 양면 상에 배치되는 제 2 금속층(120)을 포함할 수 있다. The manufacturing process of the flexible circuit board according to the comparative example will be described with reference to Fig. The flexible circuit board according to the comparative example includes a substrate 100, a first metal layer 110 disposed on both surfaces of the substrate 100, and a second metal layer 120 disposed on both surfaces of the first metal layer 110 can do.

상기 제 1 금속층(110)은 스퍼터링에 의해 형성된 금속 시드층일 수 있다. The first metal layer 110 may be a metal seed layer formed by sputtering.

상기 제 2 금속층(120)은 금속층, 예를 들어 동박일 수 있다. 상기 제 2 금속층(120)은 상기 시드층 상에 먼저 배치되는 스퍼터링에 의한 Cu 제 1층 및 전해도금에 의한 Cu 제 2층으로 이루어질 수 있다. The second metal layer 120 may be a metal layer, for example, a copper foil. The second metal layer 120 may be composed of a first Cu layer formed by sputtering and a second Cu layer formed by electrolytic plating disposed on the seed layer.

다음으로, 드릴링 또는 식각 공정을 통해 관통홀이 형성될 수 있다.Next, a through hole may be formed through a drilling or etching process.

그 다음, 관통홀의 내측면을 도전화시키기 위한 공정이 진행될 수 있다. Then, a process for electrically conducting the inner surface of the through hole may be performed.

예를 들어, 관통홀에 의하여 노출된 상기 기재(100)의 측면은 Pd 이 흡착될 수 있다. 이때, 상기 Pd 은 관통홀의 측면에 도전성을 부여하기 위한 것이나, Cu 상에 배치될 경우, 얼룩이 발생할 수 있다. 습식 공정으로 상기 관통홀의 측면 상에 Pd 흡착을 시키는 경우에는, 기판의 측면에만 선택적으로 Pd 을 흡착시기기 어려울 수 있다. 예를 들어, Pd 을 포함하는 액상에, 상기 관통홀을 포함하는 기재 및 금속층을 담그는 공정에 의하여, 상기 기판의 측면에 Pd 을 흡착시키는 경우에는, 기판의 측면을 제외한 영역에 부착된 Pd를 제거하기 위해서 별도의 식각 공정을 거칠 수 있다. For example, the side surface of the substrate 100 exposed by the through hole can be adsorbed on Pd. At this time, the Pd is for imparting conductivity to the side surface of the through hole, but when placed on Cu, unevenness may occur. In the case where Pd adsorption is performed on the side surface of the through hole by a wet process, it may be difficult to selectively adsorb Pd only on the side surface of the substrate. For example, in the case of adsorbing Pd on the side surface of the substrate by the step of immersing the substrate including the through hole and the metal layer on the liquid phase containing Pd, the Pd adhered to the region except for the side surface of the substrate is removed A separate etching process can be performed.

그 다음, 전도성 물질(M)이 관통홀의 내부에 채워질 수 있다. 한편 상기 전도성 물질(M)은 관통홀의 내측면 및 상기 내측면으로부터 연장되는 상기 제2 금속층(120)의 상면 및 하면의 일 영역 또는 전 영역에 배치될 수 있다.Then, the conductive material M may be filled in the inside of the through-hole. The conductive material M may be disposed on one or all of the upper surface and the lower surface of the second metal layer 120 extending from the inner surface and the inner surface of the through hole.

다음으로, 상기 금속층들은 패턴화됨에 따라 배선층을 형성할 수 있다. 이때, 상기 기재(100)의 하부에 배치된 배선층은 상기 기재(100)의 상부에 배치된 배선층과 상기 관통홀을 따라 전기적으로 연결될 수 있다.Next, the metal layers may be patterned to form a wiring layer. At this time, the wiring layer disposed under the substrate 100 may be electrically connected to the wiring layer disposed above the substrate 100 along the through holes.

이때, 패턴화된 배선층은 상기 동박의 두께가 2㎛ 이상이기 때문에, 선폭이 큰 문제점을 가진다.At this time, the patterned wiring layer has a problem that the line width is large because the thickness of the copper foil is 2 mu m or more.

또한, 상기 기재(100) 상에 도금에 의하여 제 1 및 제 2 금속층을 배치할 경우, 연성회로기판의 전체적인 두께가 증가할 수 있고, 이에 따라, 슬림한 연성회로기판을 제조하는 것이 어려우며, 상기 연성회로 기판의 제조 비용이 증가할 수 있다.In addition, when the first and second metal layers are disposed on the substrate 100 by plating, the overall thickness of the flexible circuit board can be increased, making it difficult to manufacture a slim flexible circuit board, The manufacturing cost of the flexible circuit board may increase.

즉, 비교예에 따른 연성회로기판의 제조 방법은 기재 상에 제 1 및 제 2 금속층을 배치한 후에 관통홀을 형성하기 때문에, 관통홀을 형성하는 단계에서, 관통홀의 내측면인 기재(100)의 측면에 도전성 물질이 접촉하지 않게 된다. 따라서, 관통홀의 내측면에 별도의 도전성 물질을 배치하는 공정을 거칠 수 있다. 또한, 기재(100)의 내측면을 제외한 나머지 영역에 도전성 물질이 배치될 경우, 식각 공정이 추가로 진행될 수 있다.That is, in the manufacturing method of the flexible circuit board according to the comparative example, since the through holes are formed after the first and second metal layers are disposed on the substrate, in the step of forming the through holes, The conductive material does not come into contact with the side surface of the substrate. Therefore, a process of disposing a separate conductive material on the inner surface of the through hole can be performed. In addition, when the conductive material is disposed in the remaining region except for the inner surface of the substrate 100, the etching process may further proceed.

또한, 공정 효율을 향상시키기 위하여, 상기 관통홀의 내측면에 동 도금을 배치할 수 있으나, 상기 관통홀의 내측면과 상기 동 도금의 밀착력이 낮은 문제점을 가진다. In addition, copper plating may be disposed on the inner surface of the through hole to improve process efficiency, but the adhesion between the inner surface of the through hole and the copper plating is low.

도 2를 참조하면, 비교예에 따른 연성회로기판은 관통홀의 내측면에 보이드(V)가 발생할 수 있다. 이에 따라, 상기 연성회로기판의 전기적인 특성이 저하될 수 있고, 이를 포함하는 터치 패널의 신뢰성이 저하될 수 있다. Referring to FIG. 2, in the flexible circuit board according to the comparative example, voids (V) may be generated on the inner surface of the through hole. Accordingly, the electrical characteristics of the flexible circuit board may be deteriorated, and the reliability of the touch panel including the flexible circuit board may be deteriorated.

도 3 내지 도 7에 따른 실시예에 따른 연성회로 기판은, 상기 비교예에 따른 연성회로기판의 문제점을 해결하기 위한 것이다.The flexible circuit board according to the embodiment of FIGS. 3 to 7 solves the problem of the flexible circuit board according to the comparative example.

실시예에 따른 연성회로기판은 기재(100), 제 1 금속층(110) 및 제 2 금속층(120)을 포함할 수 있다.The flexible circuit board according to an embodiment may include a substrate 100, a first metal layer 110, and a second metal layer 120.

상기 기재(100)는 플라스틱을 포함할 수 있다. 일례로, 상기 기재(100)는 폴리 에틸렌 테레프탈레이트(poly (ethylene terephthalate), PET), 폴리 카보네이트(polycarbonate, PC), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA) 또는 폴리이미드(polyimide) 등을 포함할 수 있다.The substrate 100 may comprise plastic. For example, the substrate 100 may include poly (ethylene terephthalate), PET, polycarbonate (PC), polymethylmethacrylate (PMMA), or polyimide. have.

바람직하게, 상기 기재(100)는 폴리이미드일 수 있다. Preferably, the substrate 100 may be polyimide.

상기 기재(100)는 상기 플라스틱 필름을 포함함으로써, 실시예에 따른 연성회로기판을 플렉서블(flexible) 하게 구현될 수 있다. 예를 들어, 상기 기재(100)는 180도로 벤딩 또는 구부러질 수 있는 고 플렉서블 기재일 수 있다. 또한, 상기 기재(100)는 절연성을 가질 수 있다.The substrate 100 includes the plastic film so that the flexible circuit board according to the embodiment can be flexibly realized. For example, the substrate 100 may be a highly flexible substrate that can be bent or bent at 180 degrees. Further, the base material 100 may have insulating properties.

상기 기재(100)는 10㎛ 내지 200㎛의 두께(T1)를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 기재(100)는 10㎛ 내지 100㎛의 두께(T1)를 가질 수 있다. 상기 기재(100)는 10㎛ 내지 50㎛의 두께(T1)를 가질 수 있다.The substrate 100 may have a thickness (T1) of 10 mu m to 200 mu m. For example, the substrate 100 may have a thickness (T1) of 10 mu m to 100 mu m. The base material 100 may have a thickness (T1) of 10 [mu] m to 50 [mu] m.

상기 기재(100)의 두께(T1)가 200㎛ 초과인 경우에는, 상기 기재(100)의 플렉서블 특성이 저하될 수 있다. 또한, 상기 기재(100)의 두께에 의하여, 연성회로기판의 전체적인 두께가 증가할 수 있다.When the thickness (T1) of the base material 100 is more than 200 mu m, the flexible characteristics of the base material 100 may be deteriorated. Further, depending on the thickness of the base material 100, the overall thickness of the flexible circuit board may increase.

상기 기재(100)는 관통홀에 의한 오픈 영역을 포함할 수 있다. The substrate 100 may include an open area by a through hole.

상기 기재(100) 상에는 제 1 금속층(110)이 배치될 수 있다. A first metal layer 110 may be disposed on the substrate 100.

상기 제 1 금속층(110)은 상기 기재(100)의 상면, 하면 및 상기 관통홀의 내측면 상에 배치될 수 있다.The first metal layer 110 may be disposed on the upper and lower surfaces of the substrate 100, and on the inner surfaces of the through holes.

상기 제 1 금속층(110)은 상기 기재(100)의 상면에 배치되는 제 1 서브 제 1 금속층(110a), 상기 기재(100)의 하면에 배치되는 제 2 서브 제 1 금속층(110b) 및 상기 제 1 서브 제 1 금속층(110a) 및 상기 제 2 서브 제 1 금속층(110b)을 서로 연결하는 제 3 서브 제 1 금속층(110c)을 포함할 수 있다.The first metal layer 110 includes a first sub first metal layer 110a disposed on the upper surface of the substrate 100, a second sub first metal layer 110b disposed on the lower surface of the substrate 100, And a third sub first metal layer 110c connecting the first sub first metal layer 110a and the second sub first metal layer 110b to each other.

상기 제 1 서브 제 1 금속층(110a) 및 상기 제 2 서브 제 1 금속층(110b) 및 상기 제 3 서브 제 1 금속층(110c)은 서로 일체로 연결될 수 있다.The first sub first metal layer 110a, the second sub first metal layer 110b, and the third sub first metal layer 110c may be integrally connected to each other.

상기 제 1 서브 제 1 금속층(110a) 및 상기 제 2 서브 제 1 금속층(110b) 및 상기 제 3 서브 제 1 금속층(110c)은 동시에 형성될 수 있다. 따라서, 공정 시간을 단축할 수 있고, 공정을 단순화할 수 있다.The first sub first metal layer 110a, the second sub first metal layer 110b, and the third sub first metal layer 110c may be formed at the same time. Therefore, the process time can be shortened and the process can be simplified.

상기 제 1 서브 제 1 금속층(110a) 및 상기 제 2 서브 제 1 금속층(110b) 및 상기 제 3 서브 제 1 금속층(110c)은 서로 대응되는 물질을 포함할 수 있다.The first sub first metal layer 110a, the second sub first metal layer 110b, and the third sub first metal layer 110c may include materials corresponding to each other.

상기 제 1 금속층(110)은 Ni, Cr, Cu, Ti, Pd 및 이들의 합금 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 금속층(110)은 Ni과 Cr의 합금일 수 있다. 즉, 상기 제 1 금속층(110)은 Ni과 Cr의 합금을 사용함에 따라, 관통홀과의 밀착력이 향상될 수 있다. 상기 제 1 금속층(110)은 상기 제 2 금속층(120)과 상기 기재(100)의 사이에 배치되어, 시드층의 역할을 할 수 있다. 즉, 상기 제 1 금속층은 상기 기재(100)와의 밀착력이 우수한 동시에, 상기 제 1 금속층(110) 상에 상기 제 2 금속층(120)의 밀착 특성을 향상시킬 수 있어, 전기적 특성이 우수한 연성회로기판을 제조할 수 있다.The first metal layer 110 may include any one of Ni, Cr, Cu, Ti, Pd, and alloys thereof. For example, the first metal layer 110 may be an alloy of Ni and Cr. That is, since the first metal layer 110 uses an alloy of Ni and Cr, adhesion with the through holes can be improved. The first metal layer 110 may be disposed between the second metal layer 120 and the substrate 100 to serve as a seed layer. That is, the first metal layer is excellent in adhesion to the substrate 100, and the adhesion characteristic of the second metal layer 120 can be improved on the first metal layer 110, Can be prepared.

상기 제 1 금속층(110)은 상기 관통홀의 내측면과 직접 접촉할 수 있다. 자세하게, 상기 제 3 서브 제 1 금속층(110c)은 Ni과 Cr의 합금을 포함함에 따라, 관통홀이 배치되는 폴리이미드 기재(100)과의 부착력 내지 밀착력이 향상될 수 있다. The first metal layer 110 may be in direct contact with the inner surface of the through hole. In detail, since the third sub first metal layer 110c includes an alloy of Ni and Cr, the adhesion or adhesion between the third sub first metal layer 110c and the polyimide substrate 100 on which the through holes are disposed can be improved.

즉, 폴리이미드 기재의 관통홀이 형성되는 측면에 직접 Cu 가 도금에 의하여 배치되는 경우에는, 유기물질인 폴리이미드와 Cu 의 물성차이로 인하여, 밀착력이 저하될 수 있다. That is, when Cu is directly deposited on the side surface of the polyimide substrate through which the through holes are formed, the adhesiveness may be lowered due to the difference in physical properties between the organic material polyimide and Cu.

또는, 폴리이미드 기재의 관통홀이 형성되는 측면에 직접 Pd 와 같은 도전성 물질이 배치되는 경우에는, 관통홀 내측면에 도전 물질이 접촉하게 배치하는 공정, 관통홀의 내측면을 제외한 영역에 배치되는 Pd 을 제거하는 공정 및 관통홀의 일측면에 배치된 Pd와 관통홀의 상기 일측면과 마주보는 타측면에 배치된 Pd 사이에 Cu와 같은 도전물질을 배치하는 공정이 별도로 요구됨에 따라, 공정 효율성이 저하될 수 있고, 연성회로기판의 제조 수율이 감소할 수 있다. Alternatively, when a conductive material such as Pd is directly disposed on the side surface of the polyimide base through which the through hole is formed, a step of disposing a conductive material in contact with the inner side surface of the through hole, a step of providing Pd And a process for disposing a conductive material such as Cu between the step of removing Pd and the Pd disposed on one side of the through hole and the Pd disposed on the opposite side of the one side of the through hole are separately required, And the manufacturing yield of the flexible circuit board can be reduced.

따라서, 폴리이미드와의 밀착특성이 우수한 Ni 및 Cr의 합금을 폴리이미드의 관통홀의 내측면에 직접 배치함에 따라, 공정 효율을 향상시킬 수 있고, 신뢰성이 향상된 연성회로기판을 형성할 수 있다.Therefore, by arranging an alloy of Ni and Cr having excellent adhesion properties with polyimide directly on the inner surface of the through hole of the polyimide, the process efficiency can be improved and a flexible circuit board with improved reliability can be formed.

상기 제 1 금속층(110)은 0.01㎛ 내지 0.5㎛의 두께를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 금속층(110)은 0.01㎛ 내지 0.3㎛의 두께를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 금속층(110)은 0.01㎛ 내지 0.25㎛의 두께를 가질 수 있다.The first metal layer 110 may have a thickness of 0.01 탆 to 0.5 탆. For example, the first metal layer 110 may have a thickness of 0.01 탆 to 0.3 탆. For example, the first metal layer 110 may have a thickness of 0.01 to 0.25 μm.

상기 제 1 금속층(110)의 두께가 0.01㎛ 미만인 경우에는, 상기 기재(100) 상에 상기 제 1 금속층(110)이 배치됨에 따른 밀착력 향상 효과가 저하될 수 있다.When the thickness of the first metal layer 110 is less than 0.01 탆, the effect of improving adhesion due to the placement of the first metal layer 110 on the substrate 100 may be degraded.

상기 제 1 금속층(110)의 두께가 0.5㎛의 초과인 경우에는, 연성회로기판의 두께가 증가할 수 있다. 또한, 상기 제 1 금속층(110)은 스퍼터링 공정에 의하여 형성될 수 있기 때문에, 상기 제 1 금속층(110)의 두께가 0.5㎛의 초과인 경우에는 연성회로기판의 제조 비용이 증가할 수 있다. If the thickness of the first metal layer 110 is more than 0.5 占 퐉, the thickness of the flexible circuit board may increase. In addition, since the first metal layer 110 can be formed by a sputtering process, if the thickness of the first metal layer 110 is more than 0.5 탆, the manufacturing cost of the flexible circuit board may increase.

상기 기재(100)의 상면에서의 상기 제 1 금속층(110)의 두께(T2a)는 상기 기재(100)의 하면에서의 상기 제 1 금속층(110)의 두께(T2b)와 대응될 수 있다. 예를 들어, 상기 기재(100)의 상면에서의 상기 제 1 금속층(110)의 두께(T2a) 및 상기 기재(100)의 하면에서의 상기 제 1 금속층(110)의 두께(T2b)는 각각 0.01㎛ 내지 0.5㎛일 수 있다. 즉, 상기 기재(100)의 양면 및 측면에서 동시에 상기 제 1 금속층(110)이 배치됨에 따라, 두께가 균일할 수 있고, 공정 효율성이 향상될 수 있다.The thickness T2a of the first metal layer 110 on the upper surface of the base 100 may correspond to the thickness T2b of the first metal layer 110 on the lower surface of the base 100. [ For example, the thickness (T2a) of the first metal layer 110 on the upper surface of the substrate 100 and the thickness T2b of the first metal layer 110 on the lower surface of the substrate 100 are 0.01 Mu] m to 0.5 [mu] m. That is, as the first metal layer 110 is disposed on both sides and side surfaces of the substrate 100 at the same time, the thickness can be uniform and the process efficiency can be improved.

상기 기재(100) 상에는 상기 제 1 금속층(110)이 배치될 수 있고, 상기 제 1 금속층(110) 상에 제 2 금속층(120)이 배치될 수 있다.The first metal layer 110 may be disposed on the substrate 100 and the second metal layer 120 may be disposed on the first metal layer 110.

상기 제 2 금속층(120)은 상기 제 1 금속층(110)의 상면, 하면 및 상기 관통홀의 내측면 상에 배치될 수 있다.The second metal layer 120 may be disposed on the upper and lower surfaces of the first metal layer 110 and the inner surfaces of the through holes.

상기 제 2 금속층(120)은 상기 제 1 금속층(110)의 상면에 배치되는 제 1 서브 제 2 금속층(120a), 상기 제 1 금속층(110)의 하면에 배치되는 제 2 서브 제 2 금속층(120b) 및 상기 제 1 서브 제 2 금속층(120a) 및 상기 제 2 서브 제 2 금속층(120b)을 서로 연결하는 제 3 서브 제 2 금속층(120c)을 포함할 수 있다.The second metal layer 120 includes a first sub second metal layer 120a disposed on an upper surface of the first metal layer 110 and a second sub second metal layer 120b disposed on a lower surface of the first metal layer 110 And a third sub second metal layer 120c connecting the first sub second metal layer 120a and the second sub second metal layer 120b to each other.

상기 제 1 서브 제 2 금속층(120a) 및 상기 제 2 서브 제 2 금속층(120b) 및 상기 제 3 서브 제 2 금속층(120c)은 서로 일체로 연결될 수 있다.The first sub-second metal layer 120a, the second sub-second metal layer 120b, and the third sub-second metal layer 120c may be integrally connected to each other.

상기 제 1 서브 제 2 금속층(120a) 및 상기 제 2 서브 제 2 금속층(120b) 및 상기 제 3 서브 제 2 금속층(120c)은 동시에 형성될 수 있다. 따라서, 공정 시간을 단축할 수 있고, 공정을 단순화할 수 있다.The first sub-second metal layer 120a, the second sub-second metal layer 120b, and the third sub-second metal layer 120c may be formed at the same time. Therefore, the process time can be shortened and the process can be simplified.

상기 제 1 서브 제 2 금속층(120a) 및 상기 제 2 서브 제 2 금속층(120b) 및 상기 제 3 서브 제 2 금속층(120c)은 대응되는 물질을 포함할 수 있다.The first sub-second metal layer 120a, the second sub-second metal layer 120b, and the third sub-second metal layer 120c may include corresponding materials.

상기 제 2 금속층(120)은 Cu, Ag, Au, Ni, Pt, Zn 및 Pb 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 금속층(120)은 Cu일 수 있다. 즉, 상기 제 2 금속층(120)은 도전성이 우수하면서도 Ag, Au에 비하여 제조 비용이 저렴한 Cu를 사용할 수 있다.The second metal layer 120 may include any one of Cu, Ag, Au, Ni, Pt, Zn and Pb. For example, the second metal layer 120 may be Cu. That is, the second metal layer 120 may be made of Cu having a high conductivity and a lower manufacturing cost than Ag and Au.

상기 제 2 금속층(120)은 0.1㎛ 내지 0.5㎛의 두께를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 금속층(120)은 0.1㎛ 내지 0.3㎛의 두께를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 금속층(120)은 0.1㎛ 내지 0.25㎛의 두께를 가질 수 있다.The second metal layer 120 may have a thickness of 0.1 탆 to 0.5 탆. For example, the second metal layer 120 may have a thickness of 0.1 탆 to 0.3 탆. For example, the second metal layer 120 may have a thickness of 0.1 μm to 0.25 μm.

상기 제 2 금속층(120)의 두께가 0.1㎛ 미만인 경우에는, 벤딩에 의한 단선 또는 크랙이 발생할 수 있어, 패턴화된 배선층의 전기적 연결 특성이 저하될 수 있다. If the thickness of the second metal layer 120 is less than 0.1 탆, breakage or cracking may occur due to bending, and electrical connection characteristics of the patterned wiring layer may be deteriorated.

상기 제 2 금속층(120)의 두께가 0.5㎛ 초과인 경우에는, 연성회로기판의 두께가 증가할 수 있다. 또한, 상기 제 2 금속층(120)은 스퍼터링 공정에 의하여 형성될 수 있기 때문에, 상기 제 2 금속층(120)의 두께가 0.5㎛ 초과인 경우에는 연성회로기판의 제조 비용이 증가할 수 있다. If the thickness of the second metal layer 120 is more than 0.5 mu m, the thickness of the flexible circuit board may increase. In addition, since the second metal layer 120 may be formed by a sputtering process, if the thickness of the second metal layer 120 is more than 0.5 μm, the manufacturing cost of the flexible circuit board may increase.

또한, 상기 제 2 금속층(120)의 두께가 0.5㎛ 초과인 경우에는, Cu 와 같은 상기 제 2 금속층(120)의 식각 시간이 증가함에 따라, 식각 팩터가 저하될 수 있고, 측면 방향으로 식각이 진행될 수 있어, 미세한 크기의 패턴화된 배선층을 구현하기 어려울 수 있다. In addition, when the thickness of the second metal layer 120 is more than 0.5 mu m, the etching factor may be decreased as the etching time of the second metal layer 120 such as Cu increases, And it may be difficult to realize a patterned wiring layer having a minute size.

상기 기재(100)의 상면에서의 상기 제 2 금속층(120)의 두께(T3a)는 상기 기재(100)의 하면에서의 상기 제 2 금속층(120)의 두께(T3b)와 대응될 수 있다. 예를 들어, 상기 기재(100)의 상면에서의 상기 제 2 금속층(120)의 두께(T3a) 및 상기 기재(100)의 하면에서의 상기 제 2 금속층(120)의 두께(T3b)는 각각 0.1㎛ 내지 0.5㎛일 수 있다. 즉, 상기 기재(100)의 양면 및 측면에서 동시에 상기 제 2 금속층(120)이 배치됨에 따라, 두께가 균일할 수 있고, 공정 효율성이 향상될 수 있다.The thickness T3a of the second metal layer 120 on the upper surface of the substrate 100 may correspond to the thickness T3b of the second metal layer 120 on the lower surface of the substrate 100. [ For example, the thickness T3a of the second metal layer 120 on the upper surface of the substrate 100 and the thickness T3b of the second metal layer 120 on the lower surface of the substrate 100 are 0.1 Mu] m to 0.5 [mu] m. That is, since the second metal layer 120 is disposed on both sides and side surfaces of the substrate 100 at the same time, the thickness can be uniform and the process efficiency can be improved.

즉, 실시에에 따른 연성회로 기판은 상기 제 2 금속층의 두께가 0.1㎛ 내지 0.5㎛일 수 있어, 신뢰성이 우수한 동시에, 미세한 크기의 패턴화된 배선층을 구현할 수 있다. That is, in the flexible circuit board according to the embodiment, the thickness of the second metal layer can be 0.1 탆 to 0.5 탆, which is excellent in reliability and can realize a patterned wiring layer having a minute size.

한편, 도 7을 참조하면, 상기 제 1 금속층(110) 상에 복수 개의 제 2 금속층(120)이 형성될 수 있다.Referring to FIG. 7, a plurality of second metal layers 120 may be formed on the first metal layer 110.

상기 제 2 금속층(120)은 제 2 하부 금속층(121) 및 제 2 상부 금속층(122)을 포함할 수 있다. 여기에서, “하부”, “상부”는 상기 금속층을 보는 위치에 따라 달라질 수 있으므로, 제 2 하부 금속층(121)은 제 2 상부 금속층(121)보다 먼저 형성됨에 따라, 상기 제 1 금속층(110)과 가까이 위치한 제 2 금속층을 의미하고, 제 2 상부 금속층(122)은 제 2 하부 금속층 다음으로 형성됨에 따라, 상기 제 1 금속층(110)과 상기 제 2 하부 금속층(121)보다 더 멀리 위치한 제 2 금속층을 의미할 수 있다.The second metal layer 120 may include a second lower metal layer 121 and a second upper metal layer 122. Since the second lower metal layer 121 is formed earlier than the second upper metal layer 121, the first metal layer 110 may be formed on the first lower metal layer 121, And the second upper metal layer 122 is formed next to the second lower metal layer so that the second metal layer 122 is located closer to the second metal layer 121 than the first metal layer 110 and the second lower metal layer 121, Metal layer.

상기 제 2 하부 금속층(121) 및 상기 제 2 상부 금속층(122)은 서로 다른 공정에 의하여 형성될 수 있다. The second lower metal layer 121 and the second upper metal layer 122 may be formed by different processes.

상기 제 2 하부 금속층(121)은 0.1㎛ 내지 0.5㎛ 두께의 Cu를 스퍼터링하여 형성될 수 있다. 이때, 상기 제 2 하부 금속층(121)의 두께가 얇기 때문에, 약 20㎛ 크기의 관통홀의 내측면은 서로 이격될 수 있다.The second lower metal layer 121 may be formed by sputtering Cu with a thickness of 0.1 탆 to 0.5 탆. At this time, since the thickness of the second lower metal layer 121 is thin, the inner surfaces of the through holes having a size of about 20 mu m may be spaced from each other.

다음으로, 상기 제 2 상부 금속층(122)은 상기 제 2 하부 금속층(121)의 상면, 측면 및 관통홀의 내측면에 배치될 수 있다. 이때, 상기 제 2 상부 금속층(122)은 도금에 의하여 관통홀의 내부에 전체적으로 채워질 수 있다. 상기 제 2 상부 금속층(122)의 두께는 관통홀의 폭에 따라 달라질 수 있다. 한편, 관통홀의 폭은 5㎛ 내지 30㎛, 10㎛ 내지 20㎛일 수 있다. Next, the second upper metal layer 122 may be disposed on an upper surface, a side surface, and an inner surface of the through hole of the second lower metal layer 121. At this time, the second upper metal layer 122 may be entirely filled in the through hole by plating. The thickness of the second upper metal layer 122 may vary depending on the width of the through hole. On the other hand, the width of the through holes may be 5 탆 to 30 탆 and 10 탆 to 20 탆.

즉, 상기 제 2 하부 금속층(121)은 스퍼터링에 의하여 형성되기 때문에, 상기 제 1 금속층(110)과의 밀착력이 우수한 장점을 가지지만, 제조 비용이 높기 때문에, 상기 제 2 하부 금속층(121) 상에 다시, 도금에 의한 상기 제 2 상부 금속층(122)을 형성함으로써, 제조 비용을 저감시킬 수 있다.That is, since the second lower metal layer 121 is formed by sputtering, the second lower metal layer 121 has a good adhesion with the first metal layer 110, By forming the second upper metal layer 122 by plating, the manufacturing cost can be reduced.

도 4 및 도 6을 참조하면, 상기 관통홀의 내측면은 상기 기재(100)의 상면 및 하면보다 표면 조도가 클 수 있다. 예를 들어, 상기 기재(100)의 관통홀이 형성되는 내측면은 드릴 공정 및 디스미어 공정에 의하여, 상기 기재(100)의 상면 및 하면보다 표면 조도가 클 수 있다. 이에 따라, 상기 관통홀의 내측면에 접촉하는 상기 제 3 서브 제 1 금속층(110c)의 밀착력을 증가시킬 수 있어, 연성회로기판의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.4 and 6, the inner surface of the through hole may have a surface roughness greater than that of the upper surface and the lower surface of the substrate 100. For example, the inner surface of the substrate 100 on which the through holes are formed may have a higher surface roughness than the upper and lower surfaces of the substrate 100 by a drilling process and a desmear process. Accordingly, it is possible to increase the adhesion of the third sub first metal layer 110c that contacts the inner surface of the through hole, thereby improving the reliability of the flexible circuit board.

도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 관통홀은 상기 기재(100)의 상면에서의 폭과 하면에서의 폭이 서로 대응될 수 있다.Referring to FIGS. 3 and 4, the width of the through hole may correspond to the width of the upper surface of the substrate 100 and the width of the lower surface of the substrate 100.

즉, 상기 관통홀이 형성되는 기재(100)의 측면은 상기 기재(100)의 상면과 90도 및 이의 유사한 경사각을 가질 수 있다. 또한, 상기 관통홀이 형성되는 기재(100)의 측면은 상기 기재(100)의 하면과 90도 및 이의 유사한 경사각을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 기재(100)의 상면에서 하면으로 갈수록 서로 일정한 거리로 이격되는 관통홀을 가질 수 있다. 예를 들어, 식각 공정으로 관통홀이 형성되는 경우에는 관통홀의 이격 폭이 일정한 형태를 가질 수 있다. That is, the side surface of the base material 100 on which the through holes are formed may have a similar inclination angle with the upper surface of the base material 100 by 90 degrees. In addition, the side surface of the substrate 100 on which the through holes are formed may have an inclination angle of 90 degrees with the lower surface of the substrate 100, and a similar inclination angle thereof. Accordingly, the through holes may be spaced apart from each other by a predetermined distance from the upper surface to the lower surface of the substrate 100. For example, when the through hole is formed by the etching process, the through hole may have a constant spacing width.

도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 관통홀은 상기 기재(100)의 상면에서의 폭과 하면에서의 폭이 서로 다를 수 있다.5 and 6, the through holes may have different widths on the upper surface and the lower surface of the substrate 100, respectively.

즉, 상기 관통홀이 형성되는 기재(100)의 측면은 상기 기재(100)의 상면과 90도 초과의 경사각, 즉 둔각을 가질 수 있다. 또한, 상기 관통홀이 형성되는 기재(100)의 측면은 상기 기재(100)의 하면과 90도 미만의 경사각, 즉 예각을 가질 수 있다. 이에 따라, 상기 기재(100)의 상면에서 하면으로 갈수록 폭이 작아질 수 있다. 예를 들어, 레이저 공정으로 관통홀이 형성되는 경우에는 관통홀의 이격 폭이 서로 다르며, 관통홀이 형성되는 기재의 내측면은 경사면을 가질 수 있다. That is, the side surface of the substrate 100 on which the through holes are formed may have an inclination angle of 90 degrees or more with respect to the upper surface of the substrate 100, that is, an obtuse angle. The side surface of the substrate 100 on which the through holes are formed may have an inclination angle of less than 90 degrees with respect to the lower surface of the substrate 100, that is, an acute angle. As a result, the width from the upper surface to the lower surface of the substrate 100 can be reduced. For example, when the through holes are formed by the laser process, the through holes have different spacing widths, and the inner surface of the substrate on which the through holes are formed may have an inclined surface.

도 8 내지 도 12를 참조하여, 실시예에 따른 연성회로기판의 제조방법을 설명한다.A method of manufacturing a flexible circuit board according to an embodiment will be described with reference to Figs. 8 to 12. Fig.

실시예에 따른 연성회로기판의 제조방법은 기재를 준비하는 단계; 상기 기재 상에 관통홀을 형성하는 단계; 상기 관통홀이 형성된 상기 기재 상에 제 1 금속층을 형성하는 단계; 및 상기 제 1 금속층 상에 제 2 금속층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.A method of manufacturing a flexible circuit board according to an embodiment includes: preparing a substrate; Forming a through hole on the substrate; Forming a first metal layer on the substrate on which the through hole is formed; And forming a second metal layer on the first metal layer.

도 8은 기재(100)을 준비하는 단계를 나타낸다. 예를 들어, 플렉서블 특성이 우수한 폴리이미드 기재를 준비할 수 있다.Fig. 8 shows a step of preparing the substrate 100. Fig. For example, a polyimide substrate having excellent flexible characteristics can be prepared.

도 9는 상기 기재(100) 상에 관통홀(H)을 형성하는 단계를 나타낸다. 이때, 상기 관통홀(H)은 레이저 드릴에 의하여 형성할 수 있다.Fig. 9 shows a step of forming a through-hole H on the substrate 100. Fig. At this time, the through hole H can be formed by a laser drill.

비교예와 달리, 실시예에 따른 연성회로 기판의 제조방법은 기재(100)의 상, 하부에 별도의 금속물질을 포함하지 않을 수 있다. 즉, 관통되는 기재(100)는 단일 소재이므로, 원하는 형상으로 정밀한 가공이 가능할 수 있다.Unlike the comparative example, the manufacturing method of the flexible circuit board according to the embodiment may not include a separate metal material on the upper and lower sides of the substrate 100. That is, since the penetrating substrate 100 is a single material, it is possible to perform precise processing in a desired shape.

또한, 상기 레이저 드릴의 레이저 소스를 UV 레이저 대신, CO2 레이저를 사용할 수 있다. 이를 통해, 연성회로기판의 제조 효율을 향상시킬 수 있고, 제조 비용을 절감할 수 있다. In addition, a CO 2 laser can be used instead of the UV laser as the laser source of the laser drill. As a result, the manufacturing efficiency of the flexible circuit board can be improved and the manufacturing cost can be reduced.

한편, 상기 관통홀(H)이 형성된 상기 폴리이미드 기판의 내측면은 상기 레이저에 의하여 변형된 폴리이미드의 스미어를 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 폴리이미드 기판의 내측면은 불규칙한 형상을 가질 수 있다.The inner surface of the polyimide substrate on which the through holes H are formed may include a smear of polyimide modified by the laser. Accordingly, the inner surface of the polyimide substrate may have an irregular shape.

도 10은 디스미어 단계를 나타낸다. 상기 레이저 드릴에 의한 관통홀을 형성한 다음에, 디스미어 공정을 더 포함할 수 있다.Figure 10 shows the desmear step. And a through hole formed by the laser drill is formed, followed by a desmear process.

상기 디스미어 공정은 상기 관통홀의 내측면에 부착된 폴리이미드 스미어를 제거하는 공정일 수 있다. 상기 디스미어 공정에 의해, 상기 폴리이미드 기판의 내측면은 직선과 유사한 경사면을 가질 수 있다. The desmearing step may be a step of removing the polyimide smear attached to the inner surface of the through hole. By the desmearing process, the inner surface of the polyimide substrate may have a slope similar to a straight line.

상기 관통홀의 내측면에서 상기 기재(100)과 상기 제 1 금속층(110)의 접촉면적을 증가시킴에 따라, 상기 기재(100)과 상기 제 1 금속층(110)의 밀착력을 향상시킬 수 있다. 또한, 관통홀의 내측면 영역에서 보이드가 발생하는 것을 방지할 수 있다.The adhesion between the substrate 100 and the first metal layer 110 can be improved by increasing the contact area between the substrate 100 and the first metal layer 110 on the inner surface of the through hole. In addition, it is possible to prevent voids from being generated in the inner surface area of the through hole.

또는, 상기 드릴링 및 디스미어 공정에 의하여 형성되는 상기 관통홀의 내측면의 표면조도는 드릴링 및 디스미어 공정을 거치지 않은 상기 기재(100)의 상면 및 하면보다 클 수 있다. 이에 따라, 상기 관통홀의 내측면에 대한 상기 제 1 금속층(110)의 밀착력이 향상될 수 있다. Alternatively, the surface roughness of the inner surface of the through-hole formed by the drilling and desmearing process may be larger than the upper surface and the lower surface of the substrate 100 not subjected to the drilling and desmearing process. Accordingly, the adhesion of the first metal layer 110 to the inner surface of the through hole can be improved.

다음으로, 도 11을 참조하면, 상기 관통홀(H)이 형성된 상기 기재(100) 상에 제 1 금속층(110)을 형성하는 단계에 대해서 설명한다.11, the step of forming the first metal layer 110 on the substrate 100 on which the through holes H are formed will be described.

상기 기재(100)의 상면, 하면 및 측면, 즉 관통홀의 내측면에 상기 제 1 금속층(110)이 배치될 수 있다. 상기 기재(100)의 상면, 하면 및 측면, 즉 관통홀의 내측면에 배치되는 상기 제 1 금속층(110)은 증착(evaporation), 도금(plating), 스퍼터링(sputtering) 중 어느 하나의 방법으로 형성될 수 있다The first metal layer 110 may be disposed on the upper surface, the lower surface and the side surface of the substrate 100, that is, the inner surface of the through hole. The first metal layer 110 disposed on the upper surface, the lower surface and the side surface of the substrate 100, that is, the inner surface of the through hole may be formed by any one of evaporation, plating, and sputtering Can

예를 들어, 상기 제 1 금속층(110)은 스퍼터링에 의하여 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 기재(100)의 상면, 하면 및 측면에서의 상기 기재(100)과 상기 제 1 금속층(110)의 밀착력이 향상될 수 있다.For example, the first metal layer 110 may be formed by sputtering. Accordingly, adhesion between the substrate 100 and the first metal layer 110 on the top, bottom, and side surfaces of the substrate 100 can be improved.

실시예는 기재의 내측면에 별도로 도전성 Pd를 배치하는 공정이 요구되지 않기 때문에, 공정 효율성을 향상시킬 수 있다. Since the embodiment does not require the step of disposing the conductive Pd on the inner surface of the substrate separately, it is possible to improve the process efficiency.

그 다음으로, 도 12를 참조하면, 상기 제 1 금속층(110) 상에 제 2 금속층(120)이 형성될 수 있다.Next, referring to FIG. 12, a second metal layer 120 may be formed on the first metal layer 110.

상기 제 1 금속층(110)의 상면, 하면 및 측면, 즉 관통홀의 내측면에 상기 제 2 금속층(120)이 배치될 수 있다. 상기 제 1 금속층(110)의 상면, 하면 및 측면, 즉 관통홀의 내측면에 배치되는 상기 제 2 금속층(120)은 증착(evaporation), 도금(plating), 스퍼터링(sputtering) 중 어느 하나의 방법으로 형성될 수 있다The second metal layer 120 may be disposed on the upper surface, the lower surface and the side surface of the first metal layer 110, that is, the inner surface of the through hole. The second metal layer 120 disposed on the upper surface, the lower surface and the side surface of the first metal layer 110, that is, the inner surface of the through hole may be formed by any one of evaporation, plating, and sputtering Can be formed

예를 들어, 상기 제 2 금속층(120)은 스퍼터링에 의하여 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제 1 금속층(110)의 상면, 하면 및 측면에서의 상기 제 1 금속층(110)과 상기 제 2 금속층(120)의 밀착력이 향상될 수 있다.For example, the second metal layer 120 may be formed by sputtering. Accordingly, the adhesion between the first metal layer 110 and the second metal layer 120 on the top, bottom, and side surfaces of the first metal layer 110 can be improved.

또는, 상기 제 2 금속층(120)은 스퍼터링 후 도금에 의하여 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제 1 금속층(110)의 상면, 하면 및 측면에서의 상기 제 1 금속층(110)과 상기 제 2 금속층(120)의 밀착력이 향상될 수 있는 동시에, 제조 비용을 저감시킬 수 있다.Alternatively, the second metal layer 120 may be formed by plating after sputtering. Accordingly, the adhesion between the first metal layer 110 and the second metal layer 120 on the upper surface, the lower surface, and the side surface of the first metal layer 110 can be improved, and the manufacturing cost can be reduced.

그 다음, 상기 제 2 금속층(120) 상에 드라이필름을 라미네이션한 다음, 노광, 현상 및 에칭 공정을 통해, 연성회로기판의 양면, 즉 상면과 하면에 패턴화된 배선층을 형성할 수 있다. Next, a patterned wiring layer may be formed on both sides of the flexible circuit board, that is, on the upper and lower surfaces of the flexible circuit board through the exposure, development, and etching processes after laminating the dry film on the second metal layer 120.

이에 따라, 상기 기재(100)는 상부 및 하부에 각각 패턴화된 배선층을 포함할 수 있다. Accordingly, the substrate 100 may include patterned wiring layers on the upper and lower sides.

한편, 상기 기재(100)의 상부에는 구동칩이 배치될 수 있다.On the other hand, a driving chip may be disposed on the substrate 100.

즉, 상기 기재(100)는 배선층 및 구동칩의 지지기판일 수 있다.That is, the substrate 100 may be a wiring layer and a supporting substrate of a driving chip.

연성인쇄회로기판은, 관통홀을 포함하는 기재(100), 상기 기재(100)의 상부에 배치되는 제 1 배선층 및 상기 기재(100)의 하부에 배치되는 제 2 배선층을 포함할 수 있다.The flexible printed circuit board may include a substrate 100 including through holes, a first wiring layer disposed on the substrate 100, and a second wiring layer disposed on the bottom of the substrate 100.

상기 제 1 배선층 및 상기 제 2 배선층은 상기 기재(100)의 상부에 배치되는 구동칩과 전기적으로 연결될 수 있다. 자세하게, 상기 제 2 배선층은 상기 관통홀의 내부에 배치된 제 2 금속층(120)을 통해 상기 구동칩과 연결될 수 있다.The first wiring layer and the second wiring layer may be electrically connected to a driving chip disposed on the substrate 100. In detail, the second wiring layer may be connected to the driving chip through a second metal layer 120 disposed inside the through hole.

즉, 기재(100)의 양면에 제 1 및 제 2 배선층을 각각 배치할 수 있어, 연성회로기판의 두께를 감소시킬 수 있다. 또한, 서로 다른 배선층은 하나의 구동칩으로, 상기 기재(100)의 일면 상에서 연결될 수 있어, 실시예에 따른 연성회로기판을 포함하는 터치 패널은 슬림한 두께를 가질 수 있다.That is, the first and second wiring layers can be disposed on both sides of the substrate 100, and the thickness of the flexible circuit board can be reduced. In addition, the different wiring layers may be connected to one side of the substrate 100 by one driving chip, and the touch panel including the flexible circuit board according to the embodiment may have a slim thickness.

상기 터치 패널의 일면 상에는 상기 연성회로기판의 일단이 배치될 수 있다. 이때, 상기 터치 패널의 일면과 상기 연성회로기판의 일단은 본딩부를 사이에 두고 배치될 수 있다. 즉, 상기 터치 패널과 상기 연성회로기판은 본딩부를 통해 연결 및 고정될 수 있다. One end of the flexible circuit board may be disposed on one surface of the touch panel. At this time, one surface of the touch panel and one end of the flexible circuit board may be disposed with the bonding unit interposed therebetween. That is, the touch panel and the flexible circuit board can be connected and fixed through the bonding portion.

상술한 실시예에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의하여 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다. The features, structures, effects and the like described in the foregoing embodiments are included in at least one embodiment of the present invention and are not necessarily limited to one embodiment. Further, the features, structures, effects, and the like illustrated in the embodiments may be combined or modified in other embodiments by those skilled in the art to which the embodiments belong. Therefore, it should be understood that the present invention is not limited to these combinations and modifications.

또한, 이상에서 실시예들을 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예들에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부한 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limiting the scope of the present invention. It can be seen that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments may be modified and implemented. It is to be understood that the present invention may be embodied in many other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof.

Claims (13)

관통홀을 포함하는 기재;
상기 기재의 상면, 하면 및 상기 관통홀의 내측면 상에 배치되는 제 1 금속층; 및
상기 제 1 금속층의 상면, 하면 및 상기 관통홀의 내측면 상에 배치되는 제 2 금속층을 포함하는 연성인쇄회로기판.
A substrate including a through hole;
A first metal layer disposed on an upper surface, a lower surface, and an inner surface of the through hole of the substrate; And
And a second metal layer disposed on an upper surface, a lower surface, and an inner surface of the through hole of the first metal layer.
제 1항에 있어서,
상기 제 1 금속층은 상기 관통홀과 접촉하는 것을 포함하는 연성회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the first metal layer is in contact with the through hole.
제 1항에 있어서,
상기 관통홀의 내측면은 상기 기재의 상면 및 하면보다 표면 조도가 큰 것을 포함하는 연성회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the inner surface of the through hole includes a surface roughness higher than that of the upper surface and the lower surface of the substrate.
제 1항에 있어서,
상기 관통홀의 폭은 상기 기재의 상면에서 하면으로 갈수록 작아지는 것을 포함하는 연성회로기판.
The method according to claim 1,
And the width of the through-hole is reduced from the upper surface to the lower surface of the substrate.
제 1항에 있어서,
상기 기재은 플렉서블 기재인 것을 포함하는 연성회로 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the substrate is a flexible substrate.
제 1항에 있어서,
상기 제 1 금속층은 Ni, Cr, Cu, Ti, Pd 및 이들의 합금 중 어느 하나를 포함하는 연성회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the first metal layer comprises any one of Ni, Cr, Cu, Ti, Pd and alloys thereof.
제 1항에 있어서,
상기 제 2 금속층은 Cu, Ag, Au, Ni, Pt, Zn 및 Pb 중 어느 하나를 포함하는 연성회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the second metal layer comprises any one of Cu, Ag, Au, Ni, Pt, Zn, and Pb.
제 1항에 있어서,
상기 제 1 금속층은 0.01㎛ 내지 0.5㎛인 것을 포함하는 연성회로기판.
The method according to claim 1,
Wherein the first metal layer comprises 0.01 占 퐉 to 0.5 占 퐉.
기재을 준비하는 단계;
상기 기재 상에 관통홀을 형성하는 단계;
상기 관통홀이 형성된 상기 기재 상에 제 1 금속층을 형성하는 단계; 및
상기 제 1 금속층 상에 제 2 금속층을 형성하는 단계를 포함하는 연성회로기판의 제조방법.
Preparing a substrate;
Forming a through hole on the substrate;
Forming a first metal layer on the substrate on which the through hole is formed; And
And forming a second metal layer on the first metal layer.
제 9항에 있어서,
상기 제 1 금속층은 증착, 스퍼터링, 도금 중 어느 하나의 방법으로 형성되는 것을 포함하는 연성회로기판의 제조방법.
10. The method of claim 9,
Wherein the first metal layer is formed by any one of vapor deposition, sputtering, and plating.
연성인쇄회로기판은,
관통홀을 포함하는 기재;
상기 기재의 상부에 배치되는 제 1 배선층; 및
상기 기재의 하부에 배치되는 제 2 배선층을 포함하고,
상기 제 1 배선층 및 상기 제 2 배선층은 상기 기재의 상부에 배치되는 구동칩과 전기적으로 연결되는 터치 패널.
In the flexible printed circuit board,
A substrate including a through hole;
A first wiring layer disposed on the substrate; And
And a second wiring layer disposed under the substrate,
Wherein the first wiring layer and the second wiring layer are electrically connected to a driving chip disposed on an upper portion of the substrate.
제11항에 있어서,
상기 제 2 배선층은 상기 관통홀의 내부에 배치된 제 2 금속층을 통해 상기 구동칩과 연결되는 것을 포함하는 터치 패널.
12. The method of claim 11,
And the second wiring layer is connected to the driving chip through a second metal layer disposed inside the through hole.
제11항에 있어서,
상기 터치 패널의 일면 상에 상기 연성회로기판의 일단이 배치되는 것을 포함하는 터치 패널.
12. The method of claim 11,
And one end of the flexible circuit board is disposed on one surface of the touch panel.
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