KR20170111036A - 기립형 기판 로딩 또는 언로딩장치 - Google Patents

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Abstract

기립형 기판 로딩/언로딩장치 및 그 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기립형 기판 로딩/언로딩장치는, 로딩/언로딩 본체; 및 로딩/언로딩 본체에 업/다운(up/down) 이동 가능하게 마련되며, 상공의 설비에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상공의 설비로 로딩(loading)시키는 업/다운식 기판 핸들링 유닛을 포함한다.

Description

기립형 기판 로딩/언로딩장치 및 그 방법{Vertical type glass loading/unloading apparatus and method}
본 발명은, 기립형 기판 로딩/언로딩장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 상공의 설비에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상공의 설비로 로딩(loading)시킬 수 있으며, 이로 인해 기판의 처짐 문제, 대형 기판의 이송을 위한 장치 적용의 한계 문제, 장치의 풋 프린트(foot print) 증가 문제, 카세트의 적용 문제 등 수평 방식으로 기판을 로딩 또는 언로딩시키는 데 따른 다양한 문제를 해소할 수 있고, 나아가 세워진 기판을 안정적으로 핸들링할 수 있을 뿐만 아니라 심플한 구조를 가지면서도 물동량 처리효율에 전혀 지장을 초래하지 않아 실질적인 설비 적용이 가능해질 수 있는 기립형 기판 로딩/언로딩장치 및 그 방법에 관한 것이다.
기판(glass)은 LCD(Liquid Crystal Display) 기판, OLED(Organic Light Emitting Diodes) 기판 등의 평판표시소자(FPD, Flat Panel Display)를 가리킨다.
이러한 평판표시소자로서의 기판은 그 종류에 약간의 차이가 있기는 하지만 일련의 처리 공정, 예를 들어 노광, 현상, 에칭, 스트립, 린스, 세정 등의 처리 공정을 거쳐 제품으로 출시될 수 있다.
평판표시소자 중에서 LCD 기판을 예로 들면 LCD 기판은 크게 TFT 공정, Cell 공정 및 Module 공정을 통해 제품으로 출시될 수 있다.
TFT 공정은 반도체 제조 공정과 매우 유사한데, 증착(Deposition), 사진식각(Photo lithography), 식각(Etching)을 반복하여 유리기판 위에 박막 트랜지스터를 배열하는 공정이다.
Cell 공정은 TFT 공정에 의해 제조된 TFT 하판과, 칼라 필터(Color Filter)인 상판에 액정이 잘 정렬될 수 있도록 배향막을 형성하고 실(Seal) 인쇄를 하여 상하판을 합착하는 공정이다.
그리고 Module 공정은 완성된 LCD 패널에 편광판을 부착하고 집적 회로(Drive-IC)를 실장한 후, PCB(Printed Circuit Board)와 조립한 다음, 그 배면으로 백라이트 유닛(Back-light Unit)과 기구물을 조립하는 일련의 단계를 가리킨다.
이러한 공정들 또는 이들 공정 내의 각 공정들이 연속적으로 진행될 수 있도록 각 공정들을 연결하는 라인(line) 간에는 전 공정으로부터 기판을 전달 받아 후 공정으로 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치가 마련될 수 있다.
한편, 기존에 널리 알려진 기판 이송장치의 대부분은 기판을 수평상태로 눕혀 기판을 이송시키는 수평형 기판 이송장치(OHS Type Vehicle)이다.
특히, 클린룸 내의 상공에서 주행 중인 상공의 설비로서 수평형 기판 이송장치를 통해 이송되는 기판을 클린룸 내의 하부 바닥 영역에 위치되는 반송부 등의 하부의 설비로 인계할 때는 기판이 수평상태로 적재된 카세트(cassette)를 서로 주고받는 방식을 적용하여 왔다. 즉 박스(box) 형태의 카세트를 별도로 준비하여 카세트 내에 기판을 수평상태로 적재한 다음, 상부의 수평형 기판 이송장치가 카세트를 이송시켜 하부의 설비로 인계하는 방식을 취하였다.
하지만, 이와 같이 카세트를 이용하여 수평상태로 기판을 이송하는 경우, 기판이 대형화됨에 따른 기판의 처짐 문제, 대형 기판의 이송을 위한 장치 적용의 한계 문제, 장치의 풋 프린트(foot print) 증가 문제 등 다양한 문제 및 한계사항에 부딪힐 수밖에 없다.
특히, 최근에는 가로/세로의 길이가 대략 3 미터(m) 내외의 대형 기판을 제조하는 다양한 설비가 현장에 적용되거나 적용 예정에 있는 점을 감안할 때, 이러한 대형 기판을 해당 설비로 이송하기 위한 수평형 기판 이송장치를 제작해야 하는 경우에는 앞서 기술한 것처럼 기판의 처짐 문제, 대형 기판의 이송을 위한 장치 적용의 한계 문제, 장치의 풋 프린트 증가 문제 등 다양한 문제 발생이 예상된다.
따라서 이와 같은 수평형 기판 이송장치가 갖는 문제를 해소하기 위한 방안으로서 기판을 지면에 대해 세워서(90도 또는 90도보다 작은 각도) 이송시키는 기립형 기판 이송장치에 대한 적용을 고려해볼 수 있다.
상공의 설비로서 기립형 기판 이송장치가 적용될 경우, 설사 기판이 대형화되더라도 기판이 처지지 않고 이송될 수 있음은 물론 장치 적용이 수평식보다는 용이해질 수 있으며, 또한 장치의 풋 프린트를 감소시킬 수 있어 주변 장치와 연계된 시스템의 구축이 가능해질 수 있을 것이라 예상된다. 특히, 기판을 세워서 이송시킬 수 있기 때문에 카세트의 적용이 필요치 않을 수 있다는 장점이 예상된다.
다만, 기판을 세워서 이송시키기 위한 소위, 기립형 기판 이송장치가 적용될 경우에는 기립형 기판 이송장치의 하부 영역에 배치된 상태에서 기립형 기판 이송장치로부터 세워진 기판을 받아 반송부나 설비로 인계, 즉 언로딩시키거나(unloading) 혹은 반송부 등의 하부의 설비로부터의 기판을 세워진 상태로 기립형 기판 이송장치로 인계, 즉 로딩시켜야(loading) 할 것인데, 이러한 일련의 시스템이 구현되려면 세워진 기판을 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)하기 위한 장치, 예컨대 기립형 기판 로딩/언로딩장치의 필요성이 대두된다.
특히, 이와 같은 기립형 기판 로딩/언로딩장치가 개발되기 위해서는 세워진 기판을 안정적으로 핸들링할 수 있어야 함은 물론 심플한 구조를 가져야만 장치의 구현이 가능해질 수 있으며, 나아가 수평 이송과 동일한 혹은 그보다 높은 물동량 처리효율이 나타나야만 실질적인 설비 적용이 가능해질 수 있다는 고려해볼 때, 이러한 사항들이 실현될 수 있는 기립형 기판 로딩/언로딩장치에 대한 기술개발이 필요한 실정이다.
대한민국특허청 출원번호 제10-2011-0086262호
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 상공의 설비에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상공의 설비로 로딩(loading)시킬 수 있으며, 이로 인해 기판의 처짐 문제, 대형 기판의 이송을 위한 장치 적용의 한계 문제, 장치의 풋 프린트(foot print) 증가 문제, 카세트의 적용 문제 등 수평 방식으로 기판을 로딩 또는 언로딩시키는 데 따른 다양한 문제를 해소할 수 있고, 나아가 세워진 기판을 안정적으로 핸들링할 수 있을 뿐만 아니라 심플한 구조를 가지면서도 물동량 처리효율에 전혀 지장을 초래하지 않아 실질적인 설비 적용이 가능해질 수 있는 기립형 기판 로딩/언로딩장치 및 그 방법를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 로딩/언로딩 본체; 및 상기 로딩/언로딩 본체에 업/다운(up/down) 이동 가능하게 마련되며, 상공의 설비에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 상기 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상기 상공의 설비로 로딩(loading)시키는 업/다운식 기판 핸들링 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩장치가 제공될 수 있다.
상기 업/다운식 기판 핸들링 유닛은, 상기 세워진 기판의 양측 사이드(side)에 배치되어 상기 기판의 사이드를 그립핑(gripping)하는 다수의 제1 사이드 그립핑 유닛; 상기 다수의 제1 사이드 그립핑 유닛을 지지하는 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부; 및 상기 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부와 연결되며, 상기 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부를 업/다운(up/down) 구동시키는 유닛 업/다운 구동부를 포함할 수 있다.
상기 유닛 업/다운 구동부는 이중 리니어 가이드(linear guide)를 포함할 수 있다.
상기 로딩/언로딩 본체에 결합되되 수평 방향을 따라 상기 업/다운식 기판 핸들링 유닛에 접근 또는 이격 가능하며, 상기 업/다운식 기판 핸들링 유닛으로부터 기판을 전달받거나 상기 업/다운식 기판 핸들링 유닛으로 기판을 전달하는 수평구동식 기판 핸들링 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 수평구동식 기판 핸들링 유닛은, 상기 세워진 기판의 양측 사이드에 배치되어 상기 기판의 사이드를 그립핑(gripping)하는 다수의 제2 사이드 그립핑 유닛; 상기 다수의 제2 사이드 그립핑 유닛을 지지하는 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부; 및 상기 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부와 연결되며, 상기 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부를 수평 구동시키는 유닛 수평 구동부를 포함할 수 있다.
상기 제1 사이드 그립핑 유닛과 상기 제2 사이드 그립핑 유닛의 구조는 모두 동일할 수 있으며, 상기 제1 사이드 그립핑 유닛과 상기 제2 사이드 그립핑 유닛 서로 엇갈리게 배치될 수 있다.
상기 제1 사이드 그립핑 유닛과 상기 제2 사이드 그립핑 유닛은, 상호간 접근 또는 이격 가능하며, 상호간 접근되면서 상기 기판의 사이드를 그립핑하는 한 쌍의 사이드 그립퍼; 및 상기 한 쌍의 사이드 그립퍼와 연결되며, 상기 한 쌍의 사이드 그립퍼를 상호간 접근 또는 이격 가능하게 구동시키는 사이드 그립퍼 구동부를 포함할 수 있다.
상기 제1 사이드 그립핑 유닛과 상기 제2 사이드 그립핑 유닛은, 상기 기판을 기준으로 상기 한 쌍의 사이드 그립퍼를 전진 또는 후진시키는 그립퍼 전후진 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 그립퍼 전후진 구동부는, 고정 브래킷에 위치 고정되는 실린더; 상기 한 쌍의 사이드 그립퍼와 연결되며, 상기 실린더의 동작에 의해 전진 또는 후진되는 슬라이딩 블록; 및 상기 고정 브래킷에 마련되며, 상기 슬라이딩 블록의 슬라이딩 동작을 가이드하는 슬라이딩 레일을 포함할 수 있다.
상기 그립퍼 전후진 구동부는, 상기 기판의 피로 파괴를 방지하는 피로 파괴 방지부를 더 포함할 수 있다.
상기 피로 파괴 방지부는 상기 슬라이딩 블록 내에 마련되는 비틀림 코일 압축스프링일 수 있으며, 상기 비틀림 코일 압축스프링의 일단부는 상기 슬라이딩 블록 내의 일측 벽면에 배치되고, 타단부는 상기 실린더의 로드에 결합되는 스프링 지지용 캡에 배치될 수 있다.
상기 로딩/언로딩 본체의 일측 단부에 결합되며, 상기 수평구동식 기판 핸들링 유닛에 그립핑된 기판을 바깥쪽에서부터 하나씩 인출하기 위해 그립핑하는 기판 인출용 그립핑 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 기판 인출용 그립핑 유닛은, 상기 기판의 상단부를 그립핑하는 다수의 기판 상단부 그립퍼; 및 상기 다수의 기판 상단부 그립퍼와 연결되어 상기 기판 상단부 그립퍼를 구동시키는 기판 상단부 그립퍼 구동부를 포함할 수 있다.
상기 상공의 설비는 세워진 기판을 그립핑하여 원하는 장소로 이송하는 기립형 기판 이송장치일 수 있으며, 상기 하부의 설비는 세워진 상기 기판을 수평상태로 눕히는 비접촉식 기판 틸팅장치 또는 비접촉식 기판 이송장치일 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 업/다운식 기판 핸들링 유닛을 통해 상공의 설비에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 상기 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상기 상공의 설비로 로딩(loading)시키는 업/다운식 기판 핸들링 단계; 및 수평구동식 기판 핸들링 유닛이 상기 업/다운식 기판 핸들링 유닛에 접근 또는 이격되면서 업/다운식 기판 핸들링 유닛으로부터 기판을 전달받거나 전달하는 수평구동식 기판 핸들링 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩방법이 제공될 수 있다.
기판 인출용 그립핑 유닛이 상기 수평구동식 기판 핸들링 유닛에 그립핑된 기판을 바깥쪽에서부터 하나씩 인출하기 위해 그립핑하는 기판 인출용 그립핑 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 기판 인출용 그립핑 유닛에 그립핑된 기판을 전달받아 수평방향으로 틸팅시키는 기판 틸팅 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 업/다운식 기판 핸들링 유닛 및 상기 수평구동식 기판 핸들링 유닛은 상기 기판의 양측 사이드(side)를 그립핑할 수 있으며, 상기 기판 인출용 그립핑 유닛은 상기 기판의 상단부를 그립핑할 수 있다.
본 발명에 따르면, 상공의 설비에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상공의 설비로 로딩(loading)시킬 수 있으며, 이로 인해 기판의 처짐 문제, 대형 기판의 이송을 위한 장치 적용의 한계 문제, 장치의 풋 프린트(foot print) 증가 문제, 카세트의 적용 문제 등 수평 방식으로 기판을 로딩 또는 언로딩시키는 데 따른 다양한 문제를 해소할 수 있고, 나아가 세워진 기판을 안정적으로 핸들링할 수 있을 뿐만 아니라 심플한 구조를 가지면서도 물동량 처리효율에 전혀 지장을 초래하지 않아 실질적인 설비 적용이 가능해질 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기립형 기판 로딩/언로딩장치가 적용되는 기립형 기판 이송시스템의 평면 구조도이다.
도 2는 도 1을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기립형 기판 로딩/언로딩장치의 사시도이다.
도 4는 도 3의 평면도이다.
도 5는 도 3의 정면도이다.
도 6은 도 3의 측면도이다.
도 7은 제1 및 제2 사이드 그립핑 유닛의 사시도이다.
도 8은 도 7의 측면도이다.
도 9는 도 8의 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기립형 기판 로딩/언로딩방법의 순서도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기립형 기판 로딩/언로딩장치가 적용되는 기립형 기판 이송시스템의 평면 구조도이고, 도 2는 도 1을 개략적으로 도시한 사시도이다.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a,200b)는 상공의 설비에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상공의 설비로 로딩(loading)시킬 수 있으며, 이로 인해 기판의 처짐 문제, 대형 기판의 이송을 위한 장치 적용의 한계 문제, 장치의 풋 프린트(foot print) 증가 문제, 카세트의 적용 문제 등 수평 방식으로 기판을 로딩 또는 언로딩시키는 데 따른 다양한 문제를 해소할 수 있도록 한 것으로서, 도 1 및 도 2와 같은 시스템, 즉 기립형 기판 이송시스템에 적용될 수 있다.
도 1 및 도 2와 같은 시스템 적용 시 상공의 설비는 세워진 기판을 그립핑하여 원하는 장소로 이송하는 기립형 기판 이송장치(100a,100b)일 수 있고, 하부의 설비는 세워진 기판을 수평상태로 눕히는 비접촉식 기판 틸팅장치(300) 또는 비접촉식 기판 이송장치(400)일 수 있다. 여기서, 수평상태라 함은 지면에 대한 가로 방향으로 반드시 지면과 수평이 되어야 하는 것은 아니라 할 것이다.
이하, 도 1 및 도 2를 참조하되 상공의 설비를 기립형 기판 이송장치(100a,100b)로, 하부의 설비를 비접촉식 기판 틸팅장치(300) 또는 비접촉식 기판 이송장치(400)로 하여 기립형 기판 이송시스템의 구조와 기판이 이송되는 과정을 설명하도록 한다.
참고로, 도 1 및 도 2의 기립형 기판 이송시스템은 설비 적용의 한 예일 뿐이다. 즉 기립형 기판 이송시스템은 도 1 및 도 2와 다른 형태로 얼마든지 설계될 수 있다. 따라서 도면의 형상에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.
다만, 도 1 및 도 2와 같은 형태로 기립형 기판 이송시스템을 구축한 경우, 기판에 대한 실질적인 공정을 진행하는 A 또는 B 챔버(chamber)와 함께 효율적인 이송시스템을 구축할 수 있다는 점에서 유리한 효과를 제공할 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 기립형 기판 이송시스템은, 상공의 설비로서 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)와, 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)와 각각 연계하여 동작되는 본 실시예에 따른 제1 및 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a,200b)와, 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)에 이웃하게 배치되어 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)와 인터페이스(interface)되는 비접촉식 기판 틸팅장치(300)와, 제1 및 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a)에 이웃하게 배치되어 제1 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a)와 인터페이스되는 비접촉식 기판 이송장치(400)와, 비접촉식 기판 이송장치(400)와 연결되는 기판 이송 컨베이어(500)와, 레일(610)을 따라 이동되면서 비접촉식 기판 틸팅장치(300) 및 비접촉식 기판 이송장치(400)와 상호작용하는 포크 로더(600)를 포함할 수 있다.
참고로, 도 1 및 도 2에서는 설명의 편의를 위해 제1 및 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a,200b)의 참조부호를 달리 부여하면서 각각을 제1 및 제2로 구분하였으나 이들은 동일한 구조를 갖는 하나의 장치로서 각기 그 역할만이 상이할 뿐이다. 따라서 아래의 도 3부터는 제1 및 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a,200b)를 구분하지 않고 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200)라 하여 설명한다. 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b) 역시, 도 1 및 도 2에서 설명의 편의를 위해 참조부호를 달리 부여하면서 구분하고 있지만 이들 역시 동일한 장치가 그 역할별로 2개 사용된 것이다.
이들 구조에 대해 간략하게 먼저 설명하면 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)는 예컨대, 클린 룸(cleam room)의 상공에 배치되는 상공의 설비이다. 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)는 기판을 세워진 상태로 그립핑(gripping)하여 원하는 장소, 예컨대 제1 및 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a,200b)의 위치로 이송시키는 역할을 한다.
제1 및 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a,200b)는 상공의 설비인 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)와 달리 클린 룸의 바닥 영역에 위치 고정되는 하부의 설비 중 하나를 이룬다.
이러한 제1 및 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a,200b)는 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)와 상호작용하면서 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)로 로딩(loading)시키는 역할을 한다.
그 역할을 좀 더 나누어 설명하면, 도 1 및 도 2에서 제1 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a)는 제1 기립형 기판 이송장치(100a)에서 세워진 기판을 받아 비접촉식 기판 이송장치(400)로 언로딩(unloading)시키고, 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)는 비접촉식 기판 틸팅장치(300)에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 받아 세워진 상태 그대로 제2 기립형 기판 이송장치(100b)로 로딩(loading)시킨다.
물론, 도면과 달리 기립형 기판 이송시스템에 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200)가 한 개 적용된 경우라면 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200)는 상부의 설비에서 기판을 받는 언로딩 과정과, 상부의 설비로 기판을 전달하는 로딩 과정을 한 장비에서 순차적으로 진행할 수 있다.
하지만, 이처럼 로딩 및 언로딩 과정을 한 장비에서 진행할 경우, 택트 타임(tact time)이 증가할 수 있다. 때문에 본 실시예에서는 물류 이송의 속도를 높이기 위해 다수 개의 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)와 제1 및 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a,200b)를 배치하여 사용하고 있는 것이다. 참고로, 제1 및 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a,200b)는 2개일 수 있지만 상공의 설비인 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)은 2대보다 많은 여러 대일 수 있다.
비접촉식 기판 틸팅장치(300)는 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)에 이웃하게 배치되어 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)와 인터페이스된다. 즉 A 또는 B 챔버를 통해 공정이 완료된 기판, 즉 수평상태의 기판을 포크 로더(600)로부터 받아서 기판을 틸팅시켜 세운 후, 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)로 전달한다.
비접촉식 기판 이송장치(400)는 제1 및 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a)에 이웃하게 배치되어 제1 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a)와 인터페이스된다. 즉 제1 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a) 상의 세워진 기판을 전달받아 수평상태로 눕힌 후, 기판 이송 컨베이어(500)로 전달하는 역할을 한다. 도면과 달리, 비접촉식 기판 이송장치(400) 대신에 비접촉식 기판 틸팅장치(300)가 배치될 수도 있다.
기판 이송 컨베이어(500)는 통상의 기판 이송용 컨베이어이다. 롤러식일 수도 있고, 벨트식일 수도 있으며, 경우에 따라서는 공기 부상식일 수도 있다.
포크 로더(600)는 레일(610)을 따라 이동되면서 비접촉식 기판 틸팅장치(300) 및 비접촉식 기판 이송장치(400)와 상호작용한다. 예컨대, 포크 로더(600)는 비접촉식 기판 이송장치(400) 상의 기판을 받아 A 또는 B 챔버로 공급하여 공정이 진행되도록 하는 한편 A 또는 B 챔버에서 공정이 완료된 기판을 비접촉식 기판 틸팅장치(300)로 전달할 수 있다.
이하, 도 1 및 도 2의 시스템에 대한 동작을 연속적으로 설명하면 다음과 같다.
우선, 상공의 설비인 제1 기립형 기판 이송장치(100a)가 이송되어 ①번 위치에 도달되면 ②번 위치의 제1 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a)가 동작되어 제1 기립형 기판 이송장치(100a)에 의해 이송된 세워진 기판을 세워진 상태 그대로 전달받는다(unloading).
이어, ③번 위치의 비접촉식 기판 이송장치(400)가 제1 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a)와 상호작용하여 세워진 기판을 수평상태로 눕힌다(tilting). 비접촉식 기판 이송장치(400)에 의해 수평상태로 배치된 기판은 ④번 위치의 기판 이송 컨베이어(500)를 따라 다른 공정으로 이송될 수도 있고, 혹은 ⑤번 위치에 있는 포크 로더(600)를 통해 포킹되어 예컨대, A 또는 B 챔버로 이송되어 공정을 수행할 수도 있다.
한편, A 또는 B 챔버에서 해당 공정이 완료된 기판은 포크 로더(600)를 통해 포킹된 후, 포크 로더(600)에 의해 ⑥번 위치의 비접촉식 기판 틸팅장치(300)로 전달된다. 이때의 기판은 수평 배치상태이다.
이어, 비접촉식 기판 틸팅장치(300)는 ⑦번 위치의 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)와 상호작용하여 수평상태의 기판을 틸팅(tilting)시켜 세운 후 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)로 전달한다. 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)는 세워진 기판을 ⑧번 위치의 제2 기립형 기판 이송장치(100b)로 전달, 즉 로딩(loading)시킨다.
한편, 이와 같은 시스템 구축을 위해서는 본 실시예에 따른 제1 및 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a,200b)가 요구된다.
앞서 기술한 것처럼 제1 및 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a,200b)는 도 1 및 도 2와 같은 시스템의 설명 시 그 역할을 구별하기 위해 제1 및 제2, 그리고 참조부호를 나누어 설명한 것일 뿐 모두 동일한 장치이다.
따라서 이하의 설명에서는 이들을 제1 및 제2로 나누어 구별하지 않고 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200)라 하여 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기립형 기판 로딩/언로딩장치의 사시도이고, 도 4는 도 3의 평면도이며, 도 5는 도 3의 정면도이고, 도 6은 도 3의 측면도이며, 도 7은 제1 및 제2 사이드 그립핑 유닛의 사시도이고, 도 8은 도 7의 측면도이며, 도 9는 도 8의 단면도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기립형 기판 로딩/언로딩방법의 순서도이다.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200)는 상공의 설비(100a,100b, 도 2 참조)에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상공의 설비(100a,100b, 도 2 참조)로 로딩(loading)시킬 수 있도록 한 것으로서, 로딩/언로딩 본체(210)와, 로딩/언로딩 본체(210)에 위치별로 마련되는 업/다운식 기판 핸들링 유닛(220), 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230) 및 기판 인출용 그립핑 유닛(260)을 포함할 수 있다.
로딩/언로딩 본체(210)는 본 실시예에 따른 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200)의 외관을 이룬다.
업/다운식 기판 핸들링 유닛(220), 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230) 및 기판 인출용 그립핑 유닛(260)을 지지해야 하기 때문에 로딩/언로딩 본체(210)는 강성이 우수한 금속 프레임으로 이루어질 수 있다
또한 상공의 설비(100a,100b, 도 2 참조)에서 세워진 기판을 그대로 받아 세워진 상태로 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)로 언로딩시켜야 하기 때문에 로딩/언로딩 본체(210)의 내부는 대형 기판이 세워진 상태로 배치되거나 이송될 수 있을 정도의 공간(space)을 갖는다. 도 1 및 도 2를 통해 전술한 것처럼 상공의 설비(100a,100b, 도 2 참조)는 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)일 수 있고, 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)는 비접촉식 기판 틸팅장치(300) 및 비접촉식 기판 이송장치(400)일 수 있으나 이러한 사항에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.
업/다운식 기판 핸들링 유닛(220)은 로딩/언로딩 본체(210)에 업/다운(up/down) 이동 가능하게 마련된다.
이러한 업/다운식 기판 핸들링 유닛(220)은 상공의 설비(100a,100b, 도 2 참조)에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상공의 설비(100a,100b, 도 2 참조)로 로딩(loading)시키는 업/다운식 기판 핸들링 단계(S10, 도 10 참조)를 진행한다. 즉 업/다운식 기판 핸들링 유닛(220)은 예컨대, 도 1 및 도 2의 제1 기립형 기판 이송장치(100a)에서 세워진 기판을 받거나 제2 기립형 기판 이송장치(100b)로 세워진 기판을 전달하는 역할을 한다.
업/다운식 기판 핸들링 유닛(220)은 세워진 기판의 양측 사이드(side, 측단부)에 배치되어 기판의 사이드를 그립핑(gripping)하는 다수의 제1 사이드 그립핑 유닛(221)과, 다수의 제1 사이드 그립핑 유닛(221)을 지지하는 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부(223)와, 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부(223)와 연결되며 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부(223)를 업/다운(up/down) 구동시키는 유닛 업/다운 구동부(225)를 포함할 수 있다.
제1 사이드 그립핑 유닛(221)은 기판의 사이드 영역에 다수 개 배치되어 기판의 사이드를 그립핑하는 역할을 한다.
기판의 사이즈에 따라 제1 사이드 그립핑 유닛(221)의 개수는 적절하게 선택될 수 있는데, 본 실시예의 경우에는 한 번에 5장의 기판을 그립핑할 수 있을 정도의 개수로 적용된다. 물론, 이의 수치에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.
제1 사이드 그립핑 유닛(221)은 후술할 제2 사이드 그립핑 유닛(231)과 마찬가지로 집게 방식으로 기판의 사이드를 그립핑한다. 제1 사이드 그립핑 유닛(221)에 대한 구체적인 구조는 제2 사이드 그립핑 유닛(231)의 설명 시 함께 하도록 한다.
제1 사이드 그립핑 유닛 지지부(223)은 다수의 제1 사이드 그립핑 유닛(221)을 일체로 지지한다. 따라서 제1 사이드 그립핑 유닛(221)들은 함께 움직일 수 있다.
유닛 업/다운 구동부(225)는 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부(223)를 업/다운 구동시키는 역할을 한다. 본 실시예에서 유닛 업/다운 구동부(225)는 이중 리니어 가이드(linear guide)로 적용된다. 따라서 설치공간은 줄어들지만 업/다운 거리는 더욱 늘어날 수 있다.
수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)은 로딩/언로딩 본체(210)에 결합되되 수평 방향을 따라 업/다운식 기판 핸들링 유닛(220)에 접근 또는 이격 가능한 이동식 구조물이다. 즉 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)은 업/다운식 기판 핸들링 유닛(220)에 접근 또는 이격되면서 업/다운식 기판 핸들링 유닛(220)으로부터 기판을 전달받거나 전달하는 수평구동식 기판 핸들링 단계(S20, 도 10 참조)를 진행한다. 여기서, 수평방향이라 함은 지면에 대한 가로 방향으로 반드시 지면과 수평이 되어야 하는 것은 아니라 할 것이다.
이러한 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)은 업/다운식 기판 핸들링 유닛(220)으로부터 기판을 전달받거나 업/다운식 기판 핸들링 유닛(220)을 기판을 전달하는 역할을 한다.
예컨대, 상공의 설비(100a,100b, 도 2 참조)에서 기판이 업/다운식 기판 핸들링 유닛(220)으로 전달된 경우에는 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)이 업/다운식 기판 핸들링 유닛(220)으로부터 기판을 전달받지만 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)에서 기판이 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)으로 전달된 경우에는 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)이 업/다운식 기판 핸들링 유닛(220)으로 기판을 전달한다.
이처럼 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)은 업/다운식 기판 핸들링 유닛(220)으로부터 기판을 전달받거나 업/다운식 기판 핸들링 유닛(220)을 기판을 전달하는 역할을 하는데, 이때 역시 기판은 세워진 상태로 전달될 수 있다.
이러한 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)은 업/다운식 기판 핸들링 유닛(220)과 실질적으로 유사한 구성을 갖는다. 즉 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)은 세워진 기판의 양측 사이드에 배치되어 기판의 사이드를 그립핑하는 다수의 제2 사이드 그립핑 유닛(231)과, 다수의 제2 사이드 그립핑 유닛(231)을 지지하는 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부(233)와, 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부(233)와 연결되며, 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부(233)를 수평 구동시키는 유닛 수평 구동부(235)를 포함한다.
다시 말해, 업/다운식 기판 핸들링 유닛(220)은 기판의 사이드를 그립핑한 제1 사이드 그립핑 유닛(221)을 수직방향으로 업/다운 구동시키는 반면, 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)은 기판의 사이드를 그립핑한 제2 사이드 그립핑 유닛(231)을 수평방향으로 구동시키기 때문에 그 방향만 상이할 뿐 양자의 구조는 동일하다.
따라서 업/다운식 기판 핸들링 유닛(220)과 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)에 적용되는 제1 사이드 그립핑 유닛(221)과 제2 사이드 그립핑 유닛(231)의 구조는 모두 동일하다.
그리고 제1 사이드 그립핑 유닛(221)들과 제2 사이드 그립핑 유닛(231)들은 서로 엇갈리게 배치된다. 따라서 제2 사이드 그립핑 유닛(231)들이 수평방향으로 이동될 때, 제1 사이드 그립핑 유닛(221)들에 충돌하지 않는다.
도 7 내지 도 9를 참조하면, 본 실시예에서 제1 사이드 그립핑 유닛(221)과 제2 사이드 그립핑 유닛(231)은 기판의 사이드를 그립핑하는 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)와, 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)를 구동시키는 사이드 그립퍼 구동부(242)를 포함한다.
한 쌍의 사이드 그립퍼(241)는 상호간 접근 또는 이격 가능하며, 상호간 접근되면서 기판의 사이드를 그립핑하는 역할을 한다.
제1 사이드 그립핑 유닛(221)과 제2 사이드 그립핑 유닛(231)에 적용되는 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)는 위치별로 그 길이가 다를 뿐 구조와 기능은 모두 동일하다.
사이드 그립퍼 구동부(242)는 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)와 연결되며, 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)를 상호간 접근 또는 이격 가능하게 구동시키는 역할을 한다. 이러한 사이드 그립퍼 구동부(242)는 모터나 실린더 구조로 적용될 수 있다.
한편, 본 실시예에서 제1 사이드 그립핑 유닛(221)과 제2 사이드 그립핑 유닛(231)에는 그립퍼 전후진 구동부(243)가 더 갖춰진다. 그립퍼 전후진 구동부(243)는 기판을 기준으로 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)를 전진 또는 후진시키는 역할을 한다.
대형 기판의 경우에는 그 사이즈가 크기 때문에 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)로 기판의 사이드를 그립핑한 경우, 기판이 평평하게 펴지지 않고 굴곡질 수 있다. 이처럼 기판이 평평하게 펴지지 않고 굴곡지면 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)로 기판을 이송시키기 어렵기 때문에 이를 보정하기 위해 그립퍼 전후진 구동부(243)가 마련된다.
그립퍼 전후진 구동부(243)는 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)가 기판의 양 사이드를 그립핑한 경우, 사이드 그립퍼(241)들을 서로 반대 방향으로 당겨줌으로써 기판이 평평하게 펴질 수 있게끔 한다.
이러한 그립퍼 전후진 구동부(243)는 고정 브래킷(B)에 위치 고정되는 실린더(243a)와, 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)와 연결되며, 실린더(243a)의 동작에 의해 전진 또는 후진되는 슬라이딩 블록(243b)과, 고정 브래킷(B)에 마련되며, 슬라이딩 블록(243b)의 슬라이딩 동작을 가이드하는 슬라이딩 레일(243c)을 포함할 수 있다. 한 쌍의 사이드 그립퍼(241)가 실린더(243a)에 연결되기 때문에 실린더(243a)를 구동시키면 사이드 그립퍼(241)들이 서로 반대 방향으로 이동될 수 있고, 이로 인해 기판이 평평하게 펴질 수 있다.
다만, 기판의 양 사이드를 단순히 당기면 당기는 힘에 의해 기판에 피로 파괴가 발생될 소지가 있다. 따라서 피로 파괴가 일어나지 전까지만 기판을 당겨 평평한 상태가 되도록 하는 것이 무엇보다도 중용하다.
이를 위해, 그립퍼 전후진 구동부(243)에는 기판의 피로 파괴를 방지하는 피로 파괴 방지부(243d)가 마련된다. 본 실시예에서 피로 파괴 방지부(243d)는 상기 슬라이딩 블록(243b) 내에 마련되는 비틀림 코일 압축스프링(243d)으로 적용된다.
이때, 비틀림 코일 압축스프링(243d)의 일단부는 슬라이딩 블록(243b) 내의 일측 벽면에 배치되고, 타단부는 실린더(243a)의 로드에 결합되는 스프링 지지용 캡(243e)에 배치될 수 있다.
이에, 실린더(243a)가 일정 거리 구동된 이후에는 비틀림 코일 압축스프링(243d)의 스프링력이 작용하게 됨으로써 기판은 평평하게 펴지는 반면 기판에 피로 파괴는 일어나지 않게 된다.
마지막으로, 기판 인출용 그립핑 유닛(260)은 로딩/언로딩 본체(210)의 일측 단부에 결합되며, 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)에 그립핑된 다수의 기판을 바깥쪽에서부터 하나씩 인출하기 위해 그립핑하는 역할을 한다. 즉 기판 인출용 그립핑 유닛(260)은 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)에 그립핑된 기판을 바깥쪽에서부터 하나씩 인출하기 위해 그립핑하는 기판 인출용 그립핑 단계(S30, 도 10 참조)를 진행한다. 다시 말해, 기판 인출용 그립핑 유닛(260)은 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)와 상호작용하여 수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)으로부터의 기판이 하부의 설비(300,400)로 전달되도록 하는 중간 매개체의 역할을 한다. 기판 인출용 그립핑 단계(S30) 이후에는 기판 인출용 그립핑 유닛(260)에 의해 그립핑된 기판을 전달받아 수평방향으로 틸팅시키는 기판 틸팅 단계(미도시)가 진행될 수 있다.
이러한 기판 인출용 그립핑 유닛(260)은 기판의 상단부를 그립핑하는 다수의 기판 상단부 그립퍼(261)와, 다수의 기판 상단부 그립퍼(261)와 연결되어 기판 상단부 그립퍼(261)를 구동시키는 기판 상단부 그립퍼 구동부(262)를 포함한다.
수평구동식 기판 핸들링 유닛(230)의 제2 사이드 그립핑 유닛(231)은 기판의 사이드를 그립핑한 상태이기 때문에 기판을 보다 원활하게 하부의 설비(300,400)로 전달하기 위해서는 기판의 상단부를 그립핑하는 편이 바람직하다. 이를 위해, 기판 인출용 그립핑 유닛(260)의 기판 상단부 그립퍼(261)가 적용되는 것이다.
기판 상단부 그립퍼(261)가 기판의 상단부를 그립핑하면 기판이 평평하게 펴질 수 있기 때문에 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)가 기판을 전달받기에 유리하다. 앞서 기술한 것처럼 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)는 틸팅(tilting)되면서 기판 상단부 그립퍼(261)에 그립핑된 기판을 전달받는다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 의하면, 예컨대 도 2처럼 ②번 위치의 제1 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a)가 동작되어 제1 기립형 기판 이송장치(100a)에 의해 이송된 세워진 기판을 세워진 상태 그대로 전달받거나(unloading), ⑦번 위치의 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)는 세워진 기판을 ⑧번 위치의 제2 기립형 기판 이송장치(100b)로 전달시킬 수 있다(loading).
이상 설명한 바와 같은 구조와 작용을 갖는 본 실시예에 따르면, 상공의 설비(100a,100b, 도 2 참조)에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비(300,400, 도 2 참조)에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상공의 설비(100a,100b, 도 2 참조)로 로딩(loading)시킬 수 있으며, 이로 인해 기판의 처짐 문제, 대형 기판의 이송을 위한 장치 적용의 한계 문제, 장치의 풋 프린트(foot print) 증가 문제, 카세트의 적용 문제 등 수평 방식으로 기판을 로딩 또는 언로딩시키는 데 따른 다양한 문제를 해소할 수 있고, 나아가 세워진 기판을 안정적으로 핸들링할 수 있을 뿐만 아니라 심플한 구조를 가지면서도 물동량 처리효율에 전혀 지장을 초래하지 않아 실질적인 설비 적용이 가능해질 수 있게 된다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
200 : 기립형 기판 로딩/언로딩장치 210 : 로딩/언로딩 본체
220 : 업/다운식 기판 핸들링 유닛 221 : 제1 사이드 그립핑 유닛
223 : 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부 225 : 유닛 업/다운 구동부
230 : 수평구동식 기판 핸들링 유닛 231 : 제2 사이드 그립핑 유닛
233 : 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부 235 : 유닛 수평 구동부
241 : 사이드 그립퍼 242 : 사이드 그립퍼 구동부
243 : 그립퍼 전후진 구동부 243a : 실린더
243b : 슬라이딩 블록 243c : 슬라이딩 레일
243d : 피로 파괴 방지부 243e : 스프링 지지용 캡
260 : 기판 인출용 그립핑 유닛 261 : 기판 상단부 그립퍼
262 : 기판 상단부 그립퍼 구동부

Claims (18)

  1. 로딩/언로딩 본체; 및
    상기 로딩/언로딩 본체에 업/다운(up/down) 이동 가능하게 마련되며, 상공의 설비에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 상기 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상기 상공의 설비로 로딩(loading)시키는 업/다운식 기판 핸들링 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 업/다운식 기판 핸들링 유닛은,
    상기 세워진 기판의 양측 사이드(side)에 배치되어 상기 기판의 사이드를 그립핑(gripping)하는 다수의 제1 사이드 그립핑 유닛;
    상기 다수의 제1 사이드 그립핑 유닛을 지지하는 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부; 및
    상기 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부와 연결되며, 상기 제1 사이드 그립핑 유닛 지지부를 업/다운(up/down) 구동시키는 유닛 업/다운 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 유닛 업/다운 구동부는 이중 리니어 가이드(linear guide)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 로딩/언로딩 본체에 결합되되 수평 방향을 따라 상기 업/다운식 기판 핸들링 유닛에 접근 또는 이격 가능하며, 상기 업/다운식 기판 핸들링 유닛으로부터 기판을 전달받거나 상기 업/다운식 기판 핸들링 유닛으로 기판을 전달하는 수평구동식 기판 핸들링 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 수평구동식 기판 핸들링 유닛은,
    상기 세워진 기판의 양측 사이드에 배치되어 상기 기판의 사이드를 그립핑(gripping)하는 다수의 제2 사이드 그립핑 유닛;
    상기 다수의 제2 사이드 그립핑 유닛을 지지하는 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부; 및
    상기 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부와 연결되며, 상기 제2 사이드 그립핑 유닛 지지부를 수평 구동시키는 유닛 수평 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 사이드 그립핑 유닛과 상기 제2 사이드 그립핑 유닛의 구조는 모두 동일하며,
    상기 제1 사이드 그립핑 유닛과 상기 제2 사이드 그립핑 유닛 서로 엇갈리게 배치되는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 사이드 그립핑 유닛과 상기 제2 사이드 그립핑 유닛은,
    상호간 접근 또는 이격 가능하며, 상호간 접근되면서 상기 기판의 사이드를 그립핑하는 한 쌍의 사이드 그립퍼; 및
    상기 한 쌍의 사이드 그립퍼와 연결되며, 상기 한 쌍의 사이드 그립퍼를 상호간 접근 또는 이격 가능하게 구동시키는 사이드 그립퍼 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1 사이드 그립핑 유닛과 상기 제2 사이드 그립핑 유닛은,
    상기 기판을 기준으로 상기 한 쌍의 사이드 그립퍼를 전진 또는 후진시키는 그립퍼 전후진 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 그립퍼 전후진 구동부는,
    고정 브래킷에 위치 고정되는 실린더;
    상기 한 쌍의 사이드 그립퍼와 연결되며, 상기 실린더의 동작에 의해 전진 또는 후진되는 슬라이딩 블록; 및
    상기 고정 브래킷에 마련되며, 상기 슬라이딩 블록의 슬라이딩 동작을 가이드하는 슬라이딩 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 그립퍼 전후진 구동부는,
    상기 기판의 피로 파괴를 방지하는 피로 파괴 방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 피로 파괴 방지부는 상기 슬라이딩 블록 내에 마련되는 비틀림 코일 압축스프링이며,
    상기 비틀림 코일 압축스프링의 일단부는 상기 슬라이딩 블록 내의 일측 벽면에 배치되고, 타단부는 상기 실린더의 로드에 결합되는 스프링 지지용 캡에 배치되는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩장치.
  12. 제4항에 있어서,
    상기 로딩/언로딩 본체의 일측 단부에 결합되며, 상기 수평구동식 기판 핸들링 유닛에 그립핑된 기판을 바깥쪽에서부터 하나씩 인출하기 위해 그립핑하는 기판 인출용 그립핑 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 기판 인출용 그립핑 유닛은,
    상기 기판의 상단부를 그립핑하는 다수의 기판 상단부 그립퍼; 및
    상기 다수의 기판 상단부 그립퍼와 연결되어 상기 기판 상단부 그립퍼를 구동시키는 기판 상단부 그립퍼 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 상공의 설비는 세워진 기판을 그립핑하여 원하는 장소로 이송하는 기립형 기판 이송장치이며,
    상기 하부의 설비는 세워진 상기 기판을 수평상태로 눕히는 비접촉식 기판 틸팅장치 또는 비접촉식 기판 이송장치인 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩장치.
  15. 업/다운식 기판 핸들링 유닛을 통해 상공의 설비에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 상기 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 상기 상공의 설비로 로딩(loading)시키는 업/다운식 기판 핸들링 단계; 및
    수평구동식 기판 핸들링 유닛이 상기 업/다운식 기판 핸들링 유닛에 접근 또는 이격되면서 업/다운식 기판 핸들링 유닛으로부터 기판을 전달받거나 전달하는 수평구동식 기판 핸들링 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩방법.
  16. 제15항에 있어서,
    기판 인출용 그립핑 유닛이 상기 수평구동식 기판 핸들링 유닛에 그립핑된 기판을 바깥쪽에서부터 하나씩 인출하기 위해 그립핑하는 기판 인출용 그립핑 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 기판 인출용 그립핑 유닛에 그립핑된 기판을 전달받아 수평방향으로 틸팅시키는 기판 틸팅 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩방법.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 업/다운식 기판 핸들링 유닛 및 상기 수평구동식 기판 핸들링 유닛은 상기 기판의 양측 사이드(side)를 그립핑하며,
    상기 기판 인출용 그립핑 유닛은 상기 기판의 상단부를 그립핑하는 것을 특징으로 하는 기립형 기판 로딩/언로딩방법.
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