KR101877770B1 - 포크 로더 - Google Patents

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Abstract

포크 로더가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 포크 로더는, 상호간 이격배치되며, 상부에서 기판이 안착되는 다수의 기판 핸드; 기판 핸드들에 각각 다수 개씩 마련되며, 진공압에 의해 기판을 흡착하여 지지하는 다수의 진공 패드; 및 진공 패드들 각각에 개별적으로 마련되며, 해당하는 진공 패드로 향하는 진공 흐름을 개폐하는 다수의 개별 진공 밸브를 포함한다.

Description

포크 로더{Fork loader}
본 발명은, 포크 로더에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 진공 패드들의 목표 음압 도달시간이 동일해질 수 있어 기판의 핸들링 효율을 향상시킬 수 있고, 진공 파기 시 별도의 공압 라인 없이 대기 방출을 통해 진공이 급속히 파기될 수 있도록 하여 제어 진공 체적을 최소화할 수 있으며, 나아가 문제가 발생된 진공 패드가 이웃된 다른 진공 패드에 영향을 미치지 않도록 한 포크 로더에 관한 것이다.
기판(glass)은 LCD(Liquid Crystal Display) 기판, OLED(Organic Light Emitting Diodes) 기판 등의 평판표시소자(FPD, Flat Panel Display)를 가리킨다.
이러한 평판표시소자로서의 기판은 그 종류에 약간의 차이가 있기는 하지만 일련의 처리 공정, 예를 들어 노광, 현상, 에칭, 스트립, 린스, 세정 등의 처리 공정을 거쳐 제품으로 출시될 수 있다.
평판표시소자 중에서 LCD 기판을 예로 들면 LCD 기판은 크게 TFT 공정, Cell 공정 및 Module 공정을 통해 제품으로 출시될 수 있다.
TFT 공정은 반도체 제조 공정과 매우 유사한데, 증착(Deposition), 사진식각(Photo lithography), 식각(Etching)을 반복하여 유리기판 위에 박막 트랜지스터를 배열하는 공정이다.
Cell 공정은 TFT 공정에 의해 제조된 TFT 하판과, 칼라 필터(Color Filter)인 상판에 액정이 잘 정렬될 수 있도록 배향막을 형성하고 실(Seal) 인쇄를 하여 상하판을 합착하는 공정이다.
그리고 Module 공정은 완성된 LCD 패널에 편광판을 부착하고 집적 회로(Drive-IC)를 실장한 후, PCB(Printed Circuit Board)와 조립한 다음, 그 배면으로 백라이트 유닛(Back-light Unit)과 기구물을 조립하는 일련의 단계를 가리킨다.
이러한 공정들 또는 이들 공정 내의 각 공정들이 연속적으로 진행될 수 있도록 각 공정들을 연결하는 라인(line) 간에는 전 공정으로부터 기판을 전달 받아 후 공정으로 기판을 이송하기 위한 수단으로서 포크 로더(Fork loader)가 마련된다.
포크 로더(10)는 도 1에 도시된 바와 같이, 로더 바디(20)와, 로더 바디(20)로부터 연장되고 기판이 안착되는 다수의 기판 핸드(30)를 포함한다. 도 1은 측면도이기 때문에 하나의 기판 핸드(30)가 도시되어 있으나 도 1을 평면에서 도시하면 기판 핸드(30)가 다수 개로 적용될 수 있다.
기판 핸드(30)에는 기판이 진공압에 의해 실질적으로 안착되는 다수의 진공 패드(40)가 마련된다. 진공 패드(40)들은 기판 핸드(30)의 길이 방향을 따라 상호간 이격되게 다수 개로 배치된다.
그리고 로더 바디(20)에는 진공 패드(40)들로 진공을 제공하기 위한 공용 진공 밸브(50)가 갖춰진다. 공용 진공 밸브(50) 하나가 다수의 진공 패드(40)들과 상호작용한다.
한편, 도 1과 같은 구조가 포크 로더(10)의 일반적인 구조인데, 도 1과 같은 구조가 적용될 경우, 아래와 같은 문제점이 발생된다.
첫째, 공용 진공 밸브(50)의 개방 시 각 진공 패드(40)들의 목표 음압 도달시간이 상이해질 수밖에 없는 문제점이 있다. 즉 종래기술의 경우에는 하나의 공용 진공 밸브(50)로 다수의 진공 패드(40)를 제어하는 방식이기 때문에 공용 진공 밸브(50)에 대한 진공 패드(40)들의 거리, 즉 L1 내지 L5가 달라서 제어되는 진공 체적이 상이할 수밖에 없으며, 이로 인해 공용 진공 밸브(50)의 개방 시 각 진공 패드(40)들의 목표 음압 도달시간이 상이해져 기판 핸들링에 어려움이 발생될 수 있다. 예컨대, 공용 진공 밸브(50)에 가까운 진공 패드(40a)들에 걸리는 음압과 제일 먼 진공 패드(40b)에 걸리는 음압은 차이가 발생될 수밖에 없기 때문에 기판 핸들링에 어려움이 발생될 수밖에 없다. 특히, 최근에는 가로/세로의 길이가 대략 3 미터(m) 내외에 이르는 대형 기판을 핸들링하는 경우가 많은데, 이처럼 대형 기판을 핸들링할 경우, 진공 패드(40)들의 목표 음압 도달시간이 상이해짐에 따른 핸들링의 어려움이 예상된다.
둘째, 진공 패드(40)이 진공 파기 시 별도의 공압 공급라인(미도시)이 필요한 문제점이 있다. 즉 도 1과 같은 종래기술의 포크 로더(10)에 기판을 내려놓아 개방된 공용 진공 밸브(50)가 닫히더라도 공용 진공 밸브(50)와 진공 패드(40) 사이에는 음압이 유지되고 있어서 별도의 공압 공급라인(미도시)을 통해 공압을 공급해야만 비로소 진공이 파기될 수 있다. 물론, 기판과 진공 패드(40) 사이의 기밀이 완벽하지는 않기 때문에 서서히 진공이 파기될 수는 있으나 그 속도가 매우 느리기 때문에 별도의 공압 공급라인(미도시)이 필요할 수밖에 없다.
셋째, 종래기술의 경우에는 하나의 공용 진공 밸브(50)로 다수의 진공 패드(40)를 제어하는 방식이기 때문에 어느 하나의 진공 패드(40)에서 진공 파기 등의 문제가 발생되면 이웃된 다른 모든 진공 패드(40)들에도 영향을 미칠 수밖에 없는 문제점이 있다.
대한민국특허청 출원번호 제10-2005-0071531호
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 진공 패드들의 목표 음압 도달시간이 동일해질 수 있어 기판의 핸들링 효율을 향상시킬 수 있고, 진공 파기 시 별도의 공압 라인 없이 대기 방출을 통해 진공이 급속히 파기될 수 있도록 하여 제어 진공 체적을 최소화할 수 있으며, 나아가 문제가 발생된 진공 패드가 이웃된 다른 진공 패드에 영향을 미치지 않도록 한 포크 로더를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 상호간 이격배치되며, 상부에서 기판이 안착되는 다수의 기판 핸드; 상기 기판 핸드들에 각각 다수 개씩 마련되며, 진공압에 의해 상기 기판을 흡착하여 지지하는 다수의 진공 패드; 및 상기 진공 패드들 각각에 개별적으로 마련되며, 해당하는 진공 패드로 향하는 진공 흐름을 개폐하는 다수의 개별 진공 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 포크 로더가 제공될 수 있다.
상기 기판이 안착되는 방향을 따라 상기 진공 패드와 연결되며, 진공 또는 공기의 흐름이 형성되는 메인 파이프; 및 일단부는 상기 메인 파이프와 연결되는 연결 라인을 형성하고, 타단부는 분기되는 제1 및 제2 분기 라인을 형성하는 분기 파이프를 더 포함할 수 있다.
상기 개별 진공 밸브는 상기 분기 파이프의 제1 분기 라인에 연결될 수 있다.
상기 제1 분기 라인과 상기 개별 진공 밸브 사이에는 제1 커넥터가 마련될 수 있다.
상기 분기 파이프의 제2 분기 라인에 연결되며, 상기 기판을 흡착하던 진공이 파기될 때 상기 메인 파이프, 상기 연결 라인 및 상기 제2 분기 라인을 통해 공기가 대기 중으로 방출되도록 상기 제2 분기 라인을 개폐하는 개별 대기 밸브를 더 포함할 수 있다.
상기 제2 분기 라인과 상기 개별 대기 밸브 사이에는 제2 커넥터가 마련될 수 있다.
상기 개별 진공 밸브와 상기 개별 대기 밸브 중 적어도 어느 하나는 솔레노이드 타입 또는 피에조 타입의 밸브일 수 있다.
상기 개별 진공 밸브와 상기 개별 대기 밸브의 개폐 동작을 컨트롤하는 컨트롤러를 더 포함할 수 있다.
상기 컨트롤러는 상기 기판이 흡착될 때, 상기 개별 진공 밸브가 온(on)되고 상기 개별 대기 밸브가 오프(off)되도록 컨트롤하고, 상기 기판이 흡착해제될 때, 상기 개별 진공 밸브가 오프(off)되고 상기 개별 대기 밸브가 온(on)되도록 컨트롤할 수 있다.
상기 메인 파이프에 연결되고 상기 메인 파이프를 보강하는 파이프 보강대를 더 포함할 수 있다.
상기 파이프 보강대의 주변에 배치되어 상기 파이프 보강대를 지지하는 지지부재를 더 포함할 수 있다.
상기 파이프 보강대와 상기 지지부재는 쐐기 형상으로 배치될 수 있다.
상기 진공 패드를 제외한 주변 구조물을 탄성적으로 보호하는 탄성 하우징을 더 포함할 수 있다.
상기 다수의 기판 핸드를 일체로 지지하는 로더 바디; 및 상기 로더 바디가 탑재되며, 레일을 따라 이동되는 로더 무버(loader mover)를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 진공 패드들의 목표 음압 도달시간이 동일해질 수 있어 기판의 핸들링 효율을 향상시킬 수 있고, 진공 파기 시 별도의 공압 라인 없이 대기 방출을 통해 진공이 급속히 파기될 수 있도록 하여 제어 진공 체적을 최소화할 수 있으며, 나아가 문제가 발생된 진공 패드가 이웃된 다른 진공 패드에 영향을 미치지 않도록 할 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 포크 로더의 부분 구조도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 포크 로더가 적용되는 기립형 기판 이송시스템의 평면 구조도이다.
도 3은 도 2를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 4는 도 2의 요부 확대도로서 본 발명의 일 실시예에 따른 포크 로더의 확대도이다.
도 5는 기판 핸드 영역의 확대도이다.
도 6은 진공 패드 영역의 단면 구조도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 포크 로더의 제어블록도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 포크 로더가 적용되는 기립형 기판 이송시스템의 평면 구조도이고, 도 3은 도 2를 개략적으로 도시한 사시도이다.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 포크 로더(600)는 진공 패드(640)들의 목표 음압 도달시간이 동일해질 수 있어 기판의 핸들링 효율을 향상시킬 수 있고, 진공 파기 시 별도의 공압 라인 없이 대기 방출을 통해 진공이 급속히 파기될 수 있도록 하여 제어 진공 체적을 최소화할 수 있으며, 나아가 문제가 발생된 진공 패드(640)가 이웃된 다른 진공 패드(640)에 영향을 미치지 않도록 한 것으로서, 도 2 및 도 3과 같은 시스템, 즉 기립형 기판 이송시스템에 적용될 수 있다. 물론, 이러한 사항에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다. 즉 본 실시예에 따른 포크 로더(600)는 도 2 및 도 3과는 상이한 별도의 공정 혹은 시스템에서 기판을 핸들링하는 용도로 사용될 수도 있다.
본 실시예에 따른 포크 로더(600)가 적용될 수 있는 기립형 기판 이송시스템은 기판을 세워서(90도 또는 90도보다 작은 각도) 이송시키는 일련의 시스템으로서, 기존에 널리 적용되고 있는 수평형 기판 이송시스템보다는 많은 부분에서 장점을 갖는다.
도 2 및 도 3을 참조하여 기립형 기판 이송시스템의 구조와 기판이 이송되는 과정을 설명하도록 한다.
참고로, 도 2 및 도 3의 기립형 기판 이송시스템은 설비 적용의 한 예일 뿐이다. 즉 기립형 기판 이송시스템은 도 2 및 도 3과 다른 형태로 얼마든지 설계될 수 있다. 따라서 도면의 형상에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.
다만, 도 2 및 도 3과 같은 형태로 기립형 기판 이송시스템을 구축한 경우, 기판에 대한 실질적인 공정을 진행하는 A 또는 B 챔버(chamber)와 함께 효율적인 이송시스템을 구축할 수 있다는 점에서 유리한 효과를 제공할 수 있다.
도 2 및 도 3에 도시된 기립형 기판 이송시스템은, 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)와, 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)와 각각 연계하여 동작되는 제1 및 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a,200b)와, 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)에 이웃하게 배치되어 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)와 인터페이스(interface)되는 비접촉식 기판 틸팅장치(300)와, 제1 및 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a)에 이웃하게 배치되어 제1 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a)와 인터페이스되는 비접촉식 기판 이송장치(400)와, 비접촉식 기판 이송장치(400)와 연결되는 기판 이송 컨베이어(500)와, 레일(610)을 따라 이동되면서 비접촉식 기판 틸팅장치(300) 및 비접촉식 기판 이송장치(400)와 상호작용하면서 기판을 핸들링(handling)하는 본 실시예에 따른 포크 로더(600)를 포함할 수 있다.
참고로, 도 2 및 도 3에서는 설명의 편의를 위해 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)의 참조부호를 달리 부여하면서 각각을 제1 및 제2로 구분하였으나 이들은 동일한 구조를 갖는 하나의 장치로서 각기 그 역할만이 상이할 뿐이다. 제1 및 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a,200b) 역시, 도 2 및 도 3에서 설명의 편의를 위해 참조부호를 달리 부여하면서 구분하고 있지만 이들 역시 동일한 장치가 그 역할별로 2개 사용된 것이다.
이들 구조에 대해 간략하게 먼저 설명하면 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)는 예컨대, 클린 룸(cleam room)의 상공에 배치되는 상공의 설비이다. 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)는 기판을 세워진 상태로 그립핑(gripping)하여 원하는 장소, 예컨대 제1 및 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a,200b)의 위치로 이송시키는 역할을 한다.
제1 및 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a,200b)는 상공의 설비인 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)와 달리 클린 룸의 바닥 영역에 위치 고정되는 하부의 설비 중 하나를 이룬다.
이러한 제1 및 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a,200b)는 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)와 상호작용하면서 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)에서 세워진 기판을 받아 하부의 설비로 언로딩(unloading)시키거나 하부의 설비에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)로 로딩(loading)시키는 역할을 한다.
그 역할을 좀 더 나누어 설명하면, 도 2 및 도 3에서 제1 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a)는 제1 기립형 기판 이송장치(100a)에서 세워진 기판을 받아 비접촉식 기판 이송장치(400)로 언로딩(unloading)시키고, 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)는 비접촉식 기판 틸팅장치(300)에서 공급되는 기판을 세워진 상태로 받아 세워진 상태 그대로 제2 기립형 기판 이송장치(100b)로 로딩(loading)시킨다.
물론, 도면과 달리 기립형 기판 이송시스템에 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200)가 한 개 적용된 경우라면 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200)는 상부의 설비에서 기판을 받는 언로딩 과정과, 상부의 설비로 기판을 전달하는 로딩 과정을 한 장비에서 순차적으로 진행할 수 있다.
하지만, 이처럼 로딩 및 언로딩 과정을 한 장비에서 진행할 경우, 택트 타임(tact time)이 증가할 수 있다. 때문에 본 실시예에서는 물류 이송의 속도를 높이기 위해 다수 개의 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)와 제1 및 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a,200b)를 배치하여 사용하고 있는 것이다. 참고로, 제1 및 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a,200b)는 2개일 수 있지만 상공의 설비인 제1 및 제2 기립형 기판 이송장치(100a,100b)은 2대보다 많은 여러 대일 수 있다.
비접촉식 기판 틸팅장치(300)는 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)에 이웃하게 배치되어 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)와 인터페이스된다. 즉 A 또는 B 챔버를 통해 공정이 완료된 기판, 즉 수평상태의 기판을 포크 로더(600)로부터 받아서 기판을 틸팅시켜 세운 후, 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)로 전달한다. 여기서, 수평상태라 함은 지면에 대한 가로 방향으로 반드시 지면과 수평이 되어야 하는 것은 아니라 할 것이다.
비접촉식 기판 이송장치(400)는 제1 및 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a)에 이웃하게 배치되어 제1 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a)와 인터페이스된다. 즉 제1 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a) 상의 세워진 기판을 전달받아 수평상태로 눕힌 후, 기판 이송 컨베이어(500)로 전달하는 역할을 한다. 도면과 달리, 비접촉식 기판 이송장치(400) 대신에 비접촉식 기판 틸팅장치(300)가 배치될 수도 있다.
기판 이송 컨베이어(500)는 통상의 기판 이송용 컨베이어이다. 롤러식일 수도 있고, 벨트식일 수도 있으며, 경우에 따라서는 공기 부상식일 수도 있다.
아래에서 자세히 후술하겠지만 본 실시예에 따른 포크 로더(600)는 레일(610)을 따라 이동되면서 비접촉식 기판 틸팅장치(300) 및 비접촉식 기판 이송장치(400)와 상호작용한다.
예컨대, 포크 로더(600)는 비접촉식 기판 이송장치(400) 상의 기판을 받아 A 또는 B 챔버로 공급하여 해당 챔버 기능에 따른 공정이 진행되도록 하는 한편 A 또는 B 챔버에서 공정이 완료된 기판을 비접촉식 기판 틸팅장치(300)로 전달할 수 있다. 이때는 도 2처럼 수평상태의 기판을 포킹(forking)하여 전달하게 되는데, 이때의 기판은 예컨대, 가로/세로의 길이가 대략 3 미터(m) 내외에 이르는 대형 기판일 수 있다.
이하, 도 2 및 도 3의 시스템에 대한 동작을 연속적으로 설명하면 다음과 같다.
우선, 상공의 설비인 제1 기립형 기판 이송장치(100a)가 이송되어 ①번 위치에 도달되면 ②번 위치의 제1 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a)가 동작되어 제1 기립형 기판 이송장치(100a)에 의해 이송된 세워진 기판을 세워진 상태 그대로 전달받는다(unloading).
이어, ③번 위치의 비접촉식 기판 이송장치(400)가 제1 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200a)와 상호작용하여 세워진 기판을 수평상태로 눕힌다(tilting). 비접촉식 기판 이송장치(400)에 의해 수평상태로 배치된 기판은 ④번 위치의 기판 이송 컨베이어(500)를 따라 다른 공정으로 이송될 수도 있고, 혹은 ⑤번 위치에 있는 포크 로더(600)를 통해 포킹되어 예컨대, A 또는 B 챔버로 이송되어 공정을 수행할 수도 있다.
한편, A 또는 B 챔버에서 해당 공정이 완료된 기판은 포크 로더(600)를 통해 포킹된 후, 포크 로더(600)에 의해 ⑥번 위치의 비접촉식 기판 틸팅장치(300)로 전달된다. 이때의 기판은 수평 배치상태이다.
이어, 비접촉식 기판 틸팅장치(300)는 ⑦번 위치의 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)와 상호작용하여 수평상태의 기판을 틸팅(tilting)시켜 세운 후 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)로 전달한다. 제2 기립형 기판 로딩/언로딩장치(200b)는 세워진 기판을 ⑧번 위치의 제2 기립형 기판 이송장치(100b)로 전달, 즉 로딩(loading)시킨다.
한편, 이와 같은 시스템 구축을 위해서는 레일(610)을 따라 이동되면서 비접촉식 기판 틸팅장치(300) 및 비접촉식 기판 이송장치(400)와 상호작용하면서 기판을 핸들링(handling)하는 포크 로더(600)가 요구된다.
이하, 도 4 내지 도 7을 참조하여 본 실시예에 따른 비접촉식 기판 틸팅장치(300)에 대해 자세히 설명한다.
도 4는 도 2의 요부 확대도로서 본 발명의 일 실시예에 따른 포크 로더의 확대도이고, 도 5는 기판 핸드 영역의 확대도이며, 도 6은 진공 패드 영역의 단면 구조도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 포크 로더의 제어블록도이다.
이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 포크 로더(600)는 전술한 것처럼 진공 패드(640)들의 목표 음압 도달시간이 동일해질 수 있어 기판의 핸들링 효율을 향상시킬 수 있고, 진공 파기 시 별도의 공압 라인 없이 대기 방출을 통해 진공이 급속히 파기될 수 있도록 하여 제어 진공 체적을 최소화할 수 있으며, 나아가 문제가 발생된 진공 패드(640)가 이웃된 다른 진공 패드(640)에 영향을 미치지 않도록 한 것이다. 이러한 포크 로더(600)는 로더 무버(615, loader mover)와, 로더 무버(615)에 탑재되는 로더 바디(620)와, 로더 바디(620)에 지지되는 다수의 기판 핸드(630)와, 기판 핸드(630)들에 마련되는 다수의 진공 패드(640)와, 진공 패드(640)들 각각에 개별적으로 마련되며, 해당하는 진공 패드(640)로 향하는 진공 흐름을 개폐하는 다수의 개별 진공 밸브(650)를 포함할 수 있다.
로더 무버(615)는 본 실시예에 따른 포크 로더(600)의 외관 구조를 이룬다. 즉 로더 무버(615)는 로더 바디(620)이 탑재되는 부분으로서, 레일(610)을 따라 이동된다.
로더 무버(615)가 레일(610)을 따라 이동될 수 있도록 로더 무버(615) 내에는 이동을 위한 각종 구성들, 예컨대 전기 공급장치를 비롯하여 이동장치 등이 탑재될 수 있는데, 이러한 구성들에 대해서는 편의상 생략하기로 한다.
로더 바디(620)는 다수의 기판 핸드(630)를 일체로 지지하는 부분이다. 본 실시예의 경우, 로더 바디(620)에 다수의 기판 핸드(630)가 일체로 지지된다.
도 2를 통해 설명한 것처럼 본 실시예에 따른 포크 로더(600)는 기판을 포킹(forking)한 상태에서 비접촉식 기판 틸팅장치(300) 및 비접촉식 기판 이송장치(400)와 상호작용하여 이들로 기판을 전달하거나 전달받을 수 있고, 또한 A 또는 B 챔버와 상호작용하여 이들로 기판을 전달하거나 전달받을 수 있다. 따라서 로더 바디(620)는 로더 무버(615)에 대해 상대적이 회전이 가능하다. 즉 로더 바디(620)는 마치 로봇 팔처럼 다축으로 이동이 가능하다.
기판 핸드(630)는 로더 바디(620) 상에서 상호간 이격배치되는 구조물로서, 상부에서 기판이 안착되는 장소를 이룬다. 전술한 것처럼 본 실시예에서 핸들링되는 기판은 예컨대, 가로/세로의 길이가 대략 3 미터(m) 내외에 이르는 대형 기판이기 때문에 다수의 기판 핸드(630)가 로더 바디(620) 상에서 상호간 이격배치될 수 있다. 본 실시예의 경우, 로더 바디(620)에 7개의 기판 핸드(630)가 일체로 지지된다. 물론, 이의 수치에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.
진공 패드(640)는 기판 핸드(630)들에 각각 다수 개씩 마련되며, 진공압에 의해 기판을 흡착하여 지지하는 역할을 한다. 즉 진공 패드(640)들은 하나의 기판 핸드(630) 상에서 그 길이 방향을 따라 다수 개가 상호간 이격배치되며, 해당 위치에서 진공압을 형성한다.
따라서 기판 핸드(630) 상에 놓인 기판은 진공 패드(640)들에 형성되는 진공압에 의해 흔들리지 않고 견고하게 흡착 지지될 수 있다. 실제, 대형 기판은 상당한 고가이기 때문에 이러한 대형 기판을 핸들링할 때, 기판을 파손 없이 잘 전달하는 것이 무엇보다도 중요하다.
한편, 개별 진공 밸브(650)는 진공 패드(640)들 각각에 개별적으로 마련되며, 해당하는 진공 패드(640)로 향하는 진공 흐름을 개폐하는 역할을 한다.
도 1을 참조하여 전술한 것처럼 종래에는 하나의 공용 진공 밸브(50)로 다수의 진공 패드(40)를 제어하는 방식을 적용하여 왔기 때문에 공용 진공 밸브(50)에 대한 진공 패드(40)들의 거리, 즉 L1 내지 L5가 달라서 제어되는 진공 체적이 상이할 수밖에 없으며, 이로 인해 공용 진공 밸브(50)의 개방 시 각 진공 패드(40)들의 목표 음압 도달시간이 상이해져 기판 핸들링에 어려움이 발생될 수밖에 없었다. 뿐만 아니라 종래기술의 경우에는 진공 패드(40)들이 서로 묶여 함께 동작되는 방식이기 때문에 어느 하나의 진공 패드(40)에서 진공 파기 등의 문제가 발생되면 이웃된 다른 모든 진공 패드(40)들에도 영향을 미칠 수밖에 없었다.
하지만, 본 실시예의 경우에는 종전 방식과 달리 개별 진공 밸브(650)를 진공 패드(640)들 각각에 개별적으로 마련하여 해당하는 진공 패드(640)로 향하는 진공 흐름을 개폐하도록 함으로써, 전술한 종래기술의 문제점을 해결하고 있는 것이다.
개별 진공 밸브(650)의 구체적인 설명에 앞서, 진공 패드(640)의 주변 구조에 대해 도 6을 참조하여 먼저 설명한다.
진공 패드(640)에 진공이 형성되기 위해, 진공 패드(640)에는 메인 파이프(671)가 연결된다. 메인 파이프(671)는 기판이 안착되는 방향을 따라 진공 패드(640)의 센터(center) 영역에서 연결되며, 진공 또는 공기의 흐름이 형성한다.
메인 파이프(671)로 진공 또는 공기의 흐름이 형성되기 위해 메인 파이프(671)에는 분기 파이프(672)가 연결된다. 분기 파이프(672)는 그 일단부가 메인 파이프(671)와 연결되는 연결 라인(672a)을 형성하고, 타단부는 분기되는 제1 및 제2 분기 라인(672b,672c)을 형성한다. 제1 및 제2 분기 라인(672b,672c)에는 제1 커넥터(673)와 제2 커넥터(674)가 각각 마련된다.
메인 파이프(671)의 보강을 위해 포크 로더(600)에는 파이프 보강대(681)에 연결된다. 그리고 파이프 보강대(681)의 주변에는 파이프 보강대(681)를 지지하는 지지부재(682)가 마련된다. 이때, 파이프 보강대(681)와 지지부재(682)는 한 몸체는 아니며, 상호간 쐐기 형상으로 배치된다. 이는 진공 패드(640)에 가해지는 하중에 의해 진공 패드(640)가 약간 업/다운(up/down)되더라도 이를 보상할 수 있도록 하기 위함이다.
이와 같은 구조물, 즉 파이프 보강대(681), 지지부재(682) 등의 구조물들은 탄성 하우징(683)에 의해 감싸지지된다. 고무로 적용될 수 있는 탄성 하우징(683)은 진공 패드(640)를 제외한 주변 구조물을 탄성적으로 보호하는 역할을 한다. 따라서 외부에서 볼 때는 진공 패드(640)가 노출된 탄성 하우징(683)만 보일 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 실시예에 따른 포크 로더(600)에는 진공 패드(640)들 각각에 개별적으로 마련되며, 해당하는 진공 패드(640)로 향하는 진공 흐름을 개폐(on/off)하는 다수의 개별 진공 밸브(650)가 마련된다.
개별 진공 밸브(650)는 진공 패드(640)와 일대일 대응되기 되기 때문에 이들의 개수는 동일하다. 본 실시예에서 개별 진공 밸브(650)는 분기 파이프(672)의 제1 분기 라인(672b)에 제1 커넥터(673)를 매개로 하여 연결될 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 포크 로더(600)에는 개별 대기 밸브(660)가 더 갖춰질 수 있다.
개별 대기 밸브(660)는 분기 파이프(672)의 제2 분기 라인(672c)에 연결되며, 기판을 흡착하던 진공이 파기될 때 메인 파이프(671), 연결 라인(672a) 및 제2 분기 라인(672c)을 통해 공기가 대기 중으로 방출될 수 있도록 제2 분기 라인(672c)을 개폐하는 역할을 한다.
전술한 것처럼 종래기술의 경우에는 도 1을 통해 설명한 것처럼 기판을 흡착해제하고자 할 때, 즉 진공 패드(40)이 진공 파기 시 별도의 공압 공급라인(미도시)이 필요한 문제점이 제기되어 왔다. 하지만, 본 실시예의 경우에는 기판을 흡착하던 진공이 파기될 때 개별 대기 밸브(660)의 개방되어 메인 파이프(671), 연결 라인(672a) 및 제2 분기 라인(672c)을 통해 공기가 대기 중으로 방출될 수 있도록 함으로써, 종전처럼 별도의 공압 공급라인(미도시)을 갖출 필요가 없어 간단하면서도 콤팩트한 구조를 구현할 수 있다.
이러한 개별 대기 밸브(660)는 본 실시예에서 분기 파이프(672)의 제2 분기 라인(672c)에 제2 커넥터(674)를 매개로 하여 연결될 수 있다.
참고로, 본 실시예의 경우, 개별 진공 밸브(650)와 개별 대기 밸브(660)는 후술할 컨트롤러(690)에 의해 원거리에서 혹은 무선으로 컨트롤되어야 하기 때문에 개별 진공 밸브(650)와 개별 대기 밸브(660) 중 적어도 어느 하나는 솔레노이드 타입 또는 피에조 타입의 밸브로 적용될 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 포크 로더(600)에는 컨트롤러(690)가 더 갖춰진다. 컨트롤러(690)는 개별 진공 밸브(650)와 개별 대기 밸브(660)의 개폐 동작을 컨트롤할 수 있다.
구체적으로 살펴보면, 컨트롤러(690)는 기판이 흡착될 때, 개별 진공 밸브(650)가 온(on)되고 개별 대기 밸브(660)가 오프(off)되도록 컨트롤하고, 기판이 흡착해제될 때, 개별 진공 밸브(650)가 오프(off)되고 개별 대기 밸브(660)가 온(on)되도록 컨트롤할 수 있다.
이러한 역할을 수행하는 컨트롤러(690)는 중앙처리장치(691, CPU), 메모리(692, MEMORY), 그리고 서포트 회로(693, SUPPORT CIRCUIT)를 포함할 수 있다.
중앙처리장치(691)는 본 실시예에서 개별 진공 밸브(650)와 개별 대기 밸브(660)의 개폐 동작을 컨트롤하기 위해서 산업적으로 적용될 수 있는 다양한 컴퓨터 프로세서들 중 하나일 수 있다.
메모리(692, MEMORY)는 중앙처리장치(691)과 연결된다. 메모리(692)는 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체로서 로컬 또는 원격지에 설치될 수 있으며, 예를 들면 랜덤 액세스 메모리(RAM), ROM, 플로피 디스크, 하드 디스크 또는 임의의 디지털 저장 형태와 같이 쉽게 이용가능한 적어도 하나 이상의 메모리일 수 있다.
서포트 회로(693, SUPPORT CIRCUIT)는 중앙처리장치(691)와 결합되어 프로세서의 전형적인 동작을 지원한다. 이러한 서포트 회로(693)은 캐시, 파워 서플라이, 클록 회로, 입/출력 회로, 서브시스템 등을 포함할 수 있다.
본 실시예에서 컨트롤러(690)는 개별 진공 밸브(650)와 개별 대기 밸브(660)의 개폐 동작을 컨트롤한다. 이때, 컨트롤러(690)가 기판이 흡착될 때, 개별 진공 밸브(650)가 온(on)되고 개별 대기 밸브(660)가 오프(off)되도록 컨트롤하고, 기판이 흡착해제될 때, 개별 진공 밸브(650)가 오프(off)되고 개별 대기 밸브(660)가 온(on)되도록 컨트롤하는 일련의 프로세스 등은 메모리(692)에 저장될 수 있다. 전형적으로는 소프트웨어 루틴이 메모리(692)에 저장될 수 있다. 소프트웨어 루틴은 또한 다른 중앙처리장치(미도시)에 의해서 저장되거나 실행될 수 있다.
본 발명에 따른 프로세스는 소프트웨어 루틴에 의해 실행되는 것으로 설명하였지만, 본 발명의 프로세스들 중 적어도 일부는 하드웨어에 의해 수행되는 것도 가능하다. 이처럼, 본 발명의 프로세스들은 컴퓨터 시스템 상에서 수행되는 소프트웨어로 구현되거나 또는 집적 회로와 같은 하드웨어로 구현되거나 또는 소프트웨어와 하드웨어의 조합에 의해서 구현될 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 의하면, 도 3에서 비접촉식 기판 이송장치(400)에 의해 수평상태로 배치된 기판, 예컨대 대형 기판이 ⑤번 위치에 있는 포크 로더(600)를 통해 포킹되어 예컨대, A 또는 B 챔버로 이송되어 해당 공정을 수행하도록 할 수도 있고, A 또는 B 챔버에서 해당 공정이 완료된 기판이 포크 로더(600)를 통해 포킹된 후, ⑥번 위치의 비접촉식 기판 틸팅장치(300)로 전달되도록 할 수 있다.
이상 설명한 바와 같은 구조와 작용을 갖는 본 실시예에 따르면, 진공 패드(640)들의 목표 음압 도달시간이 동일해질 수 있어 기판의 핸들링 효율을 향상시킬 수 있고, 진공 파기 시 별도의 공압 라인 없이 대기 방출을 통해 진공이 급속히 파기될 수 있도록 하여 제어 진공 체적을 최소화할 수 있으며, 나아가 문제가 발생된 진공 패드(640)가 이웃된 다른 진공 패드(640)에 영향을 미치지 않게 된다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
600 : 포크 로더 610 : 레일
615 : 로더 무버 620 : 로더 바디
630 : 기판 핸드 640 : 진공 패드
650 : 개별 진공 밸브 660 : 개별 대기 밸브
671 : 메인 파이프 672 : 분기 파이프
672a : 연결 라인 672b : 제1 분기 라인
672c : 제2 분기 라인 673 : 제1 커넥터
674 : 제2 커넥터 681 : 파이프 보강대
682 : 지지부재 683 : 탄성 하우징
690 : 컨트롤러

Claims (14)

  1. 상호간 이격배치되며, 상부에서 기판이 안착되는 다수의 기판 핸드;
    상기 기판 핸드들에 각각 다수 개씩 마련되며, 진공압에 의해 상기 기판을 흡착하여 지지하는 다수의 진공 패드;
    상기 기판이 안착되는 방향을 따라 상기 진공 패드와 연결되며, 진공 또는 공기의 흐름이 형성되는 메인 파이프;
    일단부는 상기 메인 파이프와 연결되는 연결 라인을 형성하고, 타단부는 분기되는 제1 및 제2 분기 라인을 형성하는 분기 파이프;
    상기 진공 패드들 각각에 개별적으로 마련되되 상기 분기 파이프의 제1 분기 라인에 연결되며, 해당하는 진공 패드로 향하는 진공 흐름을 개폐하는 다수의 개별 진공 밸브;
    상기 제1 분기 라인과 상기 개별 진공 밸브 사이에 마련되는 제1 커넥터;
    상기 분기 파이프의 제2 분기 라인에 연결되며, 상기 기판을 흡착하던 진공이 파기될 때 상기 메인 파이프, 상기 연결 라인 및 상기 제2 분기 라인을 통해 공기가 대기 중으로 방출되도록 상기 제2 분기 라인을 개폐하는 개별 대기 밸브;
    상기 제2 분기 라인과 상기 개별 대기 밸브 사이에 마련되는 제2 커넥터;
    상기 개별 진공 밸브와 상기 개별 대기 밸브의 개폐 동작을 컨트롤하는 컨트롤러;
    상기 메인 파이프에 연결되고 상기 메인 파이프를 보강하는 파이프 보강대;
    상기 파이프 보강대의 주변에 배치되어 상기 파이프 보강대를 지지하되 상기 파이프 보강대와 서로 쐐기 형상으로 배치되는 지지부재;
    상기 파이프 보강대와 상기 지지부재를 탄성적으로 보호하는 탄성 하우징;
    상기 다수의 기판 핸드를 일체로 지지하는 로더 바디; 및
    상기 로더 바디가 탑재되며, 레일을 따라 이동되는 로더 무버(loader mover)를 포함하며,
    상기 컨트롤러는 상기 기판이 흡착될 때, 상기 개별 진공 밸브가 온(on)되고 상기 개별 대기 밸브가 오프(off)되도록 컨트롤하고, 상기 기판이 흡착해제될 때, 상기 개별 진공 밸브가 오프(off)되고 상기 개별 대기 밸브가 온(on)되도록 컨트롤하는 것을 특징으로 하는 포크 로더.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 개별 진공 밸브와 상기 개별 대기 밸브 중 적어도 어느 하나는 솔레노이드 타입 또는 피에조 타입의 밸브인 것을 특징으로 하는 포크 로더.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 삭제
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0624909U (ja) * 1992-09-02 1994-04-05 黒崎窯業株式会社 吸着パッド装置
JPH11188681A (ja) * 1997-12-24 1999-07-13 Canon Inc 基板搬送用ハンド及びその吸着機構
KR100243993B1 (ko) * 1996-02-29 2000-04-01 시마자키 기요시 로봇 핸드
JP2005046959A (ja) * 2003-07-30 2005-02-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 部品装着ヘッド
JP3970125B2 (ja) * 2002-08-06 2007-09-05 松下電器産業株式会社 部品実装装置の未吸着部品実装防止方法及びこれを用いた部品実装装置
JP2013129037A (ja) * 2011-12-22 2013-07-04 Amada Co Ltd 吸着搬送方法及び板材吸着搬送装置
KR101610272B1 (ko) * 2009-04-15 2016-04-08 한화테크윈 주식회사 진공 노즐 제어 장치 및 이를 갖는 부품 실장기용 헤드 어셈블리

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0624909U (ja) * 1992-09-02 1994-04-05 黒崎窯業株式会社 吸着パッド装置
KR100243993B1 (ko) * 1996-02-29 2000-04-01 시마자키 기요시 로봇 핸드
JPH11188681A (ja) * 1997-12-24 1999-07-13 Canon Inc 基板搬送用ハンド及びその吸着機構
JP3970125B2 (ja) * 2002-08-06 2007-09-05 松下電器産業株式会社 部品実装装置の未吸着部品実装防止方法及びこれを用いた部品実装装置
JP2005046959A (ja) * 2003-07-30 2005-02-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd 部品装着ヘッド
KR101610272B1 (ko) * 2009-04-15 2016-04-08 한화테크윈 주식회사 진공 노즐 제어 장치 및 이를 갖는 부품 실장기용 헤드 어셈블리
JP2013129037A (ja) * 2011-12-22 2013-07-04 Amada Co Ltd 吸着搬送方法及び板材吸着搬送装置

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