KR20170082927A - 시트-투-롤 방식의 라미네이팅 장치 및 라미네이팅 방법 - Google Patents

시트-투-롤 방식의 라미네이팅 장치 및 라미네이팅 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20170082927A
KR20170082927A KR1020160002265A KR20160002265A KR20170082927A KR 20170082927 A KR20170082927 A KR 20170082927A KR 1020160002265 A KR1020160002265 A KR 1020160002265A KR 20160002265 A KR20160002265 A KR 20160002265A KR 20170082927 A KR20170082927 A KR 20170082927A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
sheet substrates
roller
pressing
dry film
laser
Prior art date
Application number
KR1020160002265A
Other languages
English (en)
Inventor
백승열
곽해용
허재국
이형규
이수진
Original Assignee
주식회사 리텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 리텍 filed Critical 주식회사 리텍
Priority to KR1020160002265A priority Critical patent/KR20170082927A/ko
Publication of KR20170082927A publication Critical patent/KR20170082927A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/0046—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by constructional aspects of the apparatus
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/0046—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by constructional aspects of the apparatus
    • B32B37/0053—Constructional details of laminating machines comprising rollers; Constructional features of the rollers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/06—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the heating method
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/0004—Cutting, tearing or severing, e.g. bursting; Cutter details
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
    • B32B38/0036—Heat treatment
    • B32B38/004—Heat treatment by physically contacting the layers, e.g. by the use of heated platens or rollers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B41/00—Arrangements for controlling or monitoring lamination processes; Safety arrangements
    • B32B2041/04—Detecting wrong registration, misalignment, deviation, failure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2310/00—Treatment by energy or chemical effects
    • B32B2310/08—Treatment by energy or chemical effects by wave energy or particle radiation
    • B32B2310/0806—Treatment by energy or chemical effects by wave energy or particle radiation using electromagnetic radiation
    • B32B2310/0843—Treatment by energy or chemical effects by wave energy or particle radiation using electromagnetic radiation using laser

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

라미네이팅 장치는 로딩부, 압착부 및 절단부를 포함한다. 로딩부는 롤(roll) 형태의 드라이 필름을 압착 위치에 연속적으로 공급하고, 복수의 시트(sheet) 기판들을 압착 위치에 순차적으로 공급한다. 압착부는 열을 생성하는 압착 롤러를 포함하고, 압착 롤러에 기초하여 압착 위치에서 시트 기판들에 드라이 필름을 압착시킴으로써 압착물을 연속적으로 생성한다. 절단부는 연속적으로 생성된 압착물을 레이저에 기초하여 소정의 크기로 절단한다.

Description

시트-투-롤 방식의 라미네이팅 장치 및 라미네이팅 방법{LAMINATING DEVICE AND METHOD OF LAMINATING OBJECT}
본 발명은 회로 기판 제조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 인쇄 회로 기판 제조에 사용되는 라미네이팅 장치 및 라미네이팅 방법에 관한 것이다.
튼튼하고 저렴하며 높은 신뢰성을 갖고 있는 인쇄 배선 회로 기판(Printed Circuit Board; PCB)은 많은 분야에 사용되고 있고, 최근에는 특히 소형 전자 제품에 많이 사용되고 있다.
인쇄 배선 회로 기판을 제조하는데 있어서, 일반적으로 자외선으로 노광(exposing) 처리를 한 기판을 현상(develop)하는 방법이 널리 사용되고 있다. 즉, 포토 마스크를 이용해 선택적으로 노광 처리를 한 다음, 현상 과정에서 노광 처리된 부분 또는 노광 처리되지 않은 부분을 제거함으로써, 배선 회로가 인쇄될 수 있다.
여기서, 기판이 노광 시에 반응하기 위해서는 자외선에 반응하는 드라이 필름이 기판 상에 라미네이팅(laminating)되어야 한다. 그러나 분할된 각 기판 상에 드라이 필름을 라미네이팅 할 경우, 라미네이팅이 완료된 각 기판의 가장자리 부분에 기포 또는 주름과 같은 불량이 발생될 수 있다는 문제점이 있다.
한국 공개특허 10-2015-0129523(공개일자 2015년 11월 20일)
본 발명의 일 목적은 자동 라미네이팅에 의해 발생하는 기포 또는 주름과 같은 문제점을 감소시키는 라미네이팅 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 수동 라미네이팅에 의해 발생하는 인건비 증가 및 정밀성 감소와 같은 문제점을 감소시키는 라미네이팅 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
다만, 본 발명의 목적은 상기 목적들로 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 라미네이팅 장치는 롤(roll) 형태의 드라이 필름을 압착 위치에 연속적으로 공급하고, 복수의 시트(sheet) 기판들을 상기 압착 위치에 순차적으로 공급하는 로딩부, 열을 생성하는 압착 롤러를 포함하고, 상기 압착 롤러에 기초하여 상기 압착 위치에서 상기 시트 기판들에 상기 드라이 필름을 압착시킴으로써 압착물을 연속적으로 생성하는 압착부 및 상기 연속적으로 생성된 압착물을 레이저에 기초하여 소정의 크기로 절단하는 절단부를 포함한다.
일 실시예에 의하면, 상기 압착부는 상기 압착 롤러에 변형 방지 압력을 가함으로써 상기 압착 롤러의 휨을 방지하는 백업 롤러를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 압착부는 상기 백업 롤러에 상기 변형 방지 압력을 전달하는 보조 롤러를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 압착 롤러는 중심축과 평행한 방향으로 형성된 가열기 및 상기 가열기와 바깥 표면 사이에 중심축과 평행한 방향으로 형성된 하나 이상의 히트파이프(heat pipe)를 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 히트파이프는 원주 방향으로 배열될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 절단부는 빛의 간섭 현상에 기초하여 전체 열 전달 면적에 대한 유효 절단 면적의 비율을 증가시킨 레이저를 생성할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 절단부는 액시콘(axicon) 렌즈에 기초하여 전체 열 전달 면적에 대한 유효 절단 면적의 비율을 증가시킨 레이저를 생성할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 로딩부는 상기 시트 기판들의 상부에서 상기 시트 기판들을 촬영하는 카메라, 상기 촬영된 영상에 기초하여 상기 시트 기판들 각각의 기판 위치를 인식하고, 상기 인식된 기판 위치에 기초하여 위치 보정 제어신호를 생성하는 위치 제어부 및 상기 위치 보정 제어신호에 기초하여 상기 기판 위치를 보정하는 위치 보정부를 포함할 수 있고, 상기 위치 제어부는 검사용 패턴을 갖는 포토 마스크에 대한 모의 보정이 실시된 후 측정된 상기 검사용 패턴에 기초하여 초기 오차를 계산할 수 있고, 상기 계산된 초기 오차를 상쇄하는 초기 보상값을 저장할 수 있으며, 상기 저장된 초기 보상값에 기초하여 상기 위치 보정 제어신호를 보상할 수 있다.
본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 라미네이팅 방법은 롤 형태의 드라이 필름을 압착 위치에 연속적으로 공급하는 단계, 복수의 시트 기판들을 상기 압착 위치에 순차적으로 공급하는 단계, 열을 생성하는 압착 롤러에 기초하여 상기 압착 위치에서 상기 시트 기판들에 상기 드라이 필름을 압착시킴으로써 압착물을 연속적으로 생성하는 단계 및 상기 연속적으로 생성된 압착물을 레이저에 기초하여 소정의 크기로 절단하는 단계를 포함한다.
일 실시예에 의하면, 상기 시트 기판들을 순차적으로 공급하는 단계는 상기 시트 기판들의 상부에서 상기 시트 기판들을 촬영하는 단계, 상기 촬영된 영상에 기초하여 상기 시트 기판들 각각의 기판 위치를 인식하는 단계, 상기 인식된 기판 위치에 기초하여 위치 보정 제어신호를 생성하는 단계 및 상기 위치 보정 제어신호에 기초하여 상기 기판 위치를 보정하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 라미네이팅 장치 및 라미네이팅 방법은 연속적으로 생성된 압착물을 절단함으로써 자동 라미네이팅에서 발생할 수 있는 가장자리 부분의 기포 또는 주름과 같은 불량이 감소될 수 있다.
나아가, 레이저로 자동 절단하는 일련의 공정을 거침으로써, 수작업 절단에 따른 인건비 발생을 최소화시킬 수 있고, 정밀성이 증가하여 기계적인 절단에 따라 발생할 수 있는 부정확한 단면에 의한 불량이 방지될 수 있다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 효과들로 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 라미네이팅 장치를 나타내는 블록도이다.
도 2는 도 1의 라미네이팅 장치에 포함된 로딩부의 일 예를 나타내는 블록도이다.
도 3은 도 1의 라미네이팅 장치에 포함된 압착부의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 4는 도 3의 압착부에 포함된 압착 롤러의 일 예를 나타내는 단면도이다.
도 5는 도 1의 라미네이팅 장치에 포함된 절단부가 생성하는 레이저의 이상적인 강도분포를 레이저의 단면을 따라 나타내는 도면이다.
도 6은 도 1의 라미네이팅 장치에 포함된 절단부가 생성하는 레이저의 실제적인 강도분포를 레이저의 단면을 따라 나타내는 도면이다.
도 7는 도 1의 라미네이팅 장치의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 8은 도 7의 라미네이팅 장치에 의해 시트 형태의 기판이 생성되는 일 예를 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시예들에 따른 라미네이팅 방법을 나타내는 순서도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 라미네이팅 장치를 나타내는 블록도이다.
도 1을 참조하면, 라미네이팅 장치(100)는 로딩부(120), 압착부(140) 및 절단부(160)를 포함할 수 있다.
로딩부(120)는 드라이 필름(DFR) 및 시트(sheet) 기판들(SS)을 공급할 수 있다. 드라이 필름(DFR)은 롤(roll) 형태일 수 있고, 지지층(base layer) 및 감광층(photosensitive layer)을 포함할 수 있다. 드라이 필름(DFR)은 보호층(cover layer)을 더 포함할 수 있다.
지지층은 감광층 일 면 상에 형성될 수 있다. 지지층은 감광층을 보호할 수 있고, 점착성이 상대적으로 큰 감광층이 노광시 마스크 패턴과의 접촉에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다. 예를 들어, 지지층은 폴리에틸렌 테레프탈레이트와 같은 폴리에스테르 필름일 수 있다. 이러한 폴리에스테르 필름은 감광층을 보호함으로써 감광층이 노광시 마스크 패턴과의 접촉에 의해 손상되는 것을 방지할 수 있다.
감광층은 노광시 광에 의해 반응이 일어날 수 있다. 감광층은 반응 메커니즘에 따라 빛과 반응하여 광가교 반응을 일으킴으로써 현상(develop) 중에 노광되지 않은 부분이 알칼리에 씻겨 나가는 네거티브형 감광물질 또는 빛과 반응하여 광분해 반응을 일으킴으로써 현상 중에 노광된 부분이 알칼리에 씻겨 나가는 포지티브형 감광물질 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 예를 들어, 감광층은 광중합성 단량체, 바인더 폴리머, 광중합개시제 중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다.
보호층은 감광층의 다른 면 상에 형성될 수 있다. 보호층은 외부 화학 물질 또는 사용자의 취급에 의해 감광층이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 보호층은 드라이 필름(DFR)이 시트 기판들(SS)에 라미네이팅될 때 제거될 수 있다. 다시 말해, 시트 기판들(SS) 상에는 보호층이 아닌 감광층이 라미네이팅될 수 있다.
시트 기판들(SS)은 금속층으로 덮일 수 있다. 예를 들어, 시트 기판들(SS)은 구리층으로 덮일 수 있다. 일 실시예에서, 시트 기판들(SS)의 일면 상에 금속층이 형성될 수 있다. 이 경우, 드라이 필름(DFR)은 금속층이 형성된 시트 기판들(SS)의 일면 상에 라미네이팅될 수 있다. 다른 실시예에서, 시트 기판들(SS)의 양면 상에 금속층이 함께 형성될 수 있다. 이 경우, 드라이 필름(DFR)은 금속층이 형성된 시트 기판들(SS)의 양면 상에 함께 라미네이팅될 수 있다.
로딩부(120)는 드라이 필름(DFR) 및 시트 기판들(SS)을 압착 위치에 공급할 수 있다. 로딩부(120)는 압착부(140)가 불량이 없는 압착물(PO)을 생성하도록 정확한 압착 위치에 드라이 필름(DFR) 및 시트 기판들(SS)을 공급할 수 있다. 이를 위해, 로딩부(120)는 카메라, 위치 제어부 및 위치 보정부를 포함할 수 있다.
카메라는 시트 기판들(SS)의 상부에서 시트 기판들(SS)을 촬영할 수 있다. 카메라는 드라이 필름(DFR)을 촬영할 수 있다. 실시예에 따라, 적어도 하나 이상의 카메라가 시트 기판들(SS) 및 드라이 필름(DFR)을 촬영할 수 있다.
위치 제어부는 촬영된 영상에 기초하여 시트 기판들(SS) 각각의 기판 위치를 인식할 수 있고, 인식된 기판 위치에 기초하여 위치 보정 제어신호를 생성할 수 있다. 위치 제어부는 시트 기판들(SS)에 표시된 표지 및 시트 기판들(SS)의 모서리 중 적어도 하나에 기초하여 기판 위치를 인식할 수 있다.
위치 보정부는 위치 보정 제어신호에 기초하여 기판 위치를 보정할 수 있다. 위치 보정부는 모터 및 볼 스크류를 포함할 수 있다. 모터는 위치 보정 제어신호에 기초하여 회전할 수 있다. 예를 들어, 모터는 제어에 사용되는 서보 모터(servo motor)일 수 있다. 볼 스크류는 모터의 회전수에 기초하여 기 설정된 방향으로 이동할 수 있다. 볼 스크류의 이동에 의해 볼 스크류 상에 위치한 시트 기판들(SS)이 이동함으로써, 기판 위치가 보정될 수 있다.
위치 제어부는 검사용 패턴을 갖는 포토 마스크에 대한 모의 보정이 실시된 후 측정된 검사용 패턴에 기초하여 초기 오차를 계산할 수 있다. 위치 제어부가 이상적인 상황을 가정하여 위치 보정 제어신호를 생성하지만, 위치 보정부에 포함된 구성이 이상적으로 행동하지 않을 수 있다. 따라서, 라미네이팅 실시 전에 모의 보정을 실시함으로써 이러한 미세한 초기 오차를 계산할 수 있다. 예를 들어, 위치 제어부가 기 설정된 위치 제어 신호를 생성함으로써 위치 보정부가 포토 마스크에 대한 모의 보정을 실시하도록 할 수 있다. 이 때, 위치 제어부는 모의 보정 후 측정된 검사용 패턴에 기초하여 모의 보정에서 발생한 미세한 초기 오차를 계산할 수 있다.
위치 제어부는 계산된 초기 오차를 상쇄하는 초기 보상값을 저장할 수 있다. 위치 제어부는 모의 보정으로부터 발생한 미세한 초기 오차에 기초하여 이를 상쇄하는 초기 보상값을 계산할 수 있다. 또한, 위치 제어부는 계산된 초기 보상값을 저장공간에 저장할 수 있다.
위치 제어부는 저장된 초기 보상값에 기초하여 위치 보정 제어신호를 보상할 수 있다. 결과적으로, 위치 제어부는 저장공간에 저장된 초기 보상값을 참고함으로써, 인식된 기판 위치를 더 정확히 보정할 수 있는 위치 보정 제어신호를 생성할 수 있다. 예를 들어, 모의 보정으로부터 제1 방향으로 1 마이크로 미터, 제2 방향으로 2 마이크로 미터의 초기 오차가 계산될 경우, 위치 제어부는 제1 방향 및 제2 방향 각각에 대한 오차를 상쇄할 수 있는 초기 보상값을 계산하여 저장할 수 있다. 위치 제어부는 저장된 초기 보상값을 참고함으로써, 인식된 기판 위치를 더 정확히 보정할 수 있는 위치 보정 제어신호를 생성할 수 있다.
로딩부(120)는 드라이 필름(DFR)을 연속적으로 공급할 수 있다. 여기서, 연속성이라 함은 실질적인 연속성 개념을 포함할 수 있다. 예를 들어, 라미네이팅 장치(100)가 실질적으로 동작하는 중에 드라이 필름(DFR)이 연속적으로 공급될 수 있다. 드라이 필름(DFR)이 실질적인 연속성을 가짐으로써, 압착부(140)가 생성하는 압착물(PO)이 실질적인 연속성을 가질 수 있다.
로딩부(120)는 시트 기판들(SS)을 순차적으로 공급할 수 있다. 여기서, 순차성이라 함은 시트 기판들(SS)이 차례대로 계속 공급된다는 개념을 포함할 수 있으나, 시트 기판들(SS)이 반드시 특정 순서로 공급되어야 한다는 것으로 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 라미네이팅 장치(100)가 실질적으로 동작하는 중에 시트 기판들(SS)이 차례대로 계속 공급될 수 있다. 시트 기판들(SS)이 순차적으로 공급됨으로써, 압착부(140)가 생성하는 압착물(PO)이 실질적인 연속성을 가질 수 있다.
로딩부(120)는 드라이 필름(DFR) 및 시트 기판들(SS)을 세척할 수 있다. 세척 과정을 통해 드라이 필름(DFR)과 시트 기판들(SS) 사이에 이물질이 포함되지 않을 수 있으므로, 불량이 방지될 수 있다. 예를 들어, 드라이 필름(DFR) 및 시트 기판들(SS)은 증류수에 의해 세척될 수 있다.
압착부(140)는 열을 생성하는 압착 롤러를 포함할 수 있다. 또한, 압착부(140)는 압착 롤러에 기초하여 압착 위치에서 시트 기판들(SS)에 드라이 필름(DFR)을 압착시킬 수 있다. 그 결과, 압착부(140)는 압착물(PO)을 연속적으로 생성할 수 있다.
압착 롤러는 서로 인접하는 한 쌍의 롤러일 수 있다. 예를 들어, 압착 롤러는 실질적으로 서로 평행한 회전축을 갖는 제1 롤러 및 제2 롤러일 수 있고, 제1 롤러의 회전축은 고정 회전축일 수 있으며, 제2 롤러의 회전축은 제1 롤러의 고정 회전축과의 거리가 조절될 수 있는 유동 회전축일 수 있다. 이 때, 유동 회전축과 고정 회전축 사이의 거리가 감소할수록 압착 롤러의 압착력이 증가할 수 있다.
압착부(140)는 백업 롤러를 더 포함할 수 있다. 백업 롤러는 압착 롤러에 변형 방지 압력을 가함으로써 압착 롤러의 휨을 방지할 수 있다. 압착 롤러가 압착물을 생성하는 중에 압착물(PO)에 의한 지렛대 효과가 발생하여 압착 롤러가 변형될 수 있고, 이에 따라 압착 롤러가 압착물(PO)에 가하는 압력이 불균일해질 수 있다. 예를 들어, 압착 롤러의 가운데 부분에서 압착물(PO)이 생성될 경우 압착 롤러의 가운데 부분이 압착물(PO)에 의한 지렛대 효과에 의해 변형될 수 있고, 그 결과 압착 롤러의 가운데 부분에서 압착물(PO)에 가해지는 압력과 압착 롤러의 끝단에서 압착물(PO)에 가해지는 압력이 상이할 수 있다.
백업 롤러는 압착 롤러에 변형 방지 압력을 가할 수 있다. 예를 들어, 백업 롤러는 압착 롤러의 변형이 가장 많은 부분에 다른 부분보다 상대적으로 더 많은 변형 방지 압력을 가할 수 있다. 변형 방지 압력에 의해 압착 롤러의 휨이 방지될 수 있으므로, 압착 롤러가 가하는 압력이 실질적으로 균일해질 수 있다.
압착부(140)는 보조 롤러를 더 포함할 수 있다. 보조 롤러는 백업 롤러에 변형 방지 압력을 전달할 수 있다. 보조 롤러는 공기압 또는 유압 실린더로부터 힘을 받을 수 있고, 보조 롤러는 백업 롤러에 인접할 수 있다. 그 결과, 보조 롤러는 공기압 또는 유압 실린더로부터 받은 힘을 백업 롤러에 변형 방지 압력으로써 전달할 수 있다. 예를 들어, 보조 롤러는 압착 롤러의 변형이 가장 많은 부분에 상대적으로 더 많은 변형 방지 압력이 가해질 수 있도록 백업 롤러에 인접함으로써, 압착 롤러가 압착물에 가하는 압력을 균일화할 수 있다.
압착 롤러는 가열기 및 히트파이프(heat pipe)를 포함할 수 있다. 가열기는 중심축과 평행한 방향으로 형성될 수 있다. 가열기는 열을 생성하는 장착 히터(cartridge heater)일 수 있다. 가열기는 압착 롤러의 중심축에서 바깥 표면 방향으로 이동하는 열의 흐름을 생성할 수 있다.
하나 이상의 히트파이프는 가열기와 바깥 표면 사이에 중심축과 평행한 방향으로 형성될 수 있고, 히트파이프는 원주 방향으로 배열될 수 있다. 이 때, 열을 효율적으로 전달하는 히트파이프가 압착 롤러의 중심축에서 바깥 표면 방향으로 이동하는 열의 이동을 도움으로써 열이 균일하게 분산될 수 있다.
절단부(160)는 연속적으로 생성된 압착물(PO)을 레이저에 기초하여 소정의 크기로 절단할 수 있다. 절단부(160)는 압착물(PO)에 포함된 시트 기판들(SS) 사이를 절단할 수 있다. 즉, 절단부(160)는 압착물(PO) 중 시트 기판들(SS)이 압착되지 않은 드라이 필름(DFR) 부분만을 절단할 수 있다. 그 결과, 절단부(160)는 로딩부(120)가 공급한 시트 기판들(SS)과 실질적으로 동일한 면적을 갖는 라미네이팅 완료 기판들(SHEET)을 생성할 수 있다. 실시예에 따라, 절단부(160)는 연속적으로 생성된 압착물(PO)을 필요에 따라 상이한 크기로 절단할 수 있다. 절단부(160)는 로딩부(120)가 공급하는 시트 기판들(SS)의 면적에 따라 압착물(PO)을 상이한 크기로 절단할 수 있다.
절단부(160)는 빛의 간섭 현상에 기초하여 전체 열 전달 면적에 대한 유효 절단 면적의 비율을 증가시킨 레이저를 생성할 수 있다. 절단부(160)가 압착물(PO)의 절단을 위해 생성하는 레이저는 이상적인 경우에서 전체 열 전달 면적과 유효 절단 면적이 실질적으로 동일할 수 있다. 그러나, 현실적으로 절단부(160)가 생성하는 레이저는 전체 열 전달 면적이 유효 절단 면적보다 상대적으로 더 클 수 있다. 이 경우 전체 열 전달 면적 중 유효 절단 면적이 아닌 부분에 그을음이 발생할 수 있고, 이러한 그을음은 불량의 원인이 될 수 있다. 따라서 전체 열 전달 면적에 대한 유효 절단 면적의 비율을 증가시킬 필요성이 있다.
절단부(160)는 회절 격자를 이용한 빛의 간섭 현상에 기초하여 전체 열 전달 면적에 대한 유효 절단 면적의 비율을 증가시킬 수 있다. 또한, 절단부(160)는 복수의 거울들에 의해 분리된 레이저를 서로 간섭시킴으로써 전체 열 전달 면적에 대한 유효 절단 면적의 비율을 증가시킬 수 있다.
한편, 절단부(160)는 액시콘(axicon) 렌즈에 기초하여 전체 열 전달 면적에 대한 유효 절단 면적의 비율을 증가시킨 레이저를 생성할 수 있다. 액시콘 렌즈는 빛의 굴절 현상에 기초하여 가우스 형태를 갖는 빛의 강도 분포를 조절함으로써 전체 열 전달 면적에 대한 유효 절단 면적의 비율을 증가시킬 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 라미네이팅 장치(100)는 연속적으로 생성된 압착물(PO)을 레이저로 절단함으로써 가장자리 부분에서 발생하는 기포 또는 주름과 같은 불량이 감소될 수 있고, 수작업 절단에 따라 발생할 수 있는 택 타임 증가 및 기계적인 절단에 따라 발생할 수 있는 부정확한 단면에 의한 불량이 방지될 수 있다.
도 2는 도 1의 라미네이팅 장치에 포함된 로딩부의 일 예를 나타내는 블록도이다.
도 2를 참조하면, 로딩부(220)는 카메라(222), 위치 제어부(224) 및 위치 보정부(226)을 포함할 수 있다.
카메라(222)는 기판(SS)의 상부에서 시트 기판들(SS)을 촬영할 수 있다. 카메라(222)는 드라이 필름(DFR)을 촬영할 수 있다. 실시예에 따라, 적어도 하나 이상의 카메라(222)가 시트 기판들(SS) 및 드라이 필름(DFR)을 촬영할 수 있다.
위치 제어부(224)는 촬영된 영상(IMG)에 기초하여 시트 기판들(SS) 각각의 위치를 인식할 수 있고, 인식된 기판 위치에 기초하여 위치 보정 제어신호(CTRL)를 생성할 수 있다. 위치 제어부(224)는 시트 기판들(SS)에 표시된 표지 및 시트 기판들(SS)의 모서리 중 적어도 하나에 기초하여 기판 위치를 인식할 수 있다.
위치 보정부(224)는 위치 보정 제어신호(CTRL)에 기초하여 시트 기판들(SS)의 위치를 보정할 수 있다. 위치 보정부(224)는 모터 및 볼 스크류를 포함할 수 있다. 모터는 위치 보정 제어신호(CTRL)에 기초하여 회전할 수 있다. 예를 들어, 모터는 제어에 사용되는 서보 모터일 수 있다. 볼 스크류는 모터의 회전수에 기초하여 기 설정된 방향으로 이동할 수 있다. 볼 스크류의 이동에 의해 볼 스크류 상에 위치한 시트 기판들(SS)이 이동함으로써, 기판 위치가 보정될 수 있다.
위치 제어부(224)는 검사용 패턴을 갖는 포토 마스크에 대한 모의 보정이 실시된 후 측정된 검사용 패턴에 기초하여 초기 오차를 계산할 수 있다. 위치 제어부(224)가 이상적인 상황을 가정하여 위치 보정 제어신호(CTRL)를 생성하지만, 위치 보정부(226)에 포함된 구성이 이상적으로 행동하지 않을 수 있다. 따라서, 라미네이팅 실시 전에 모의 보정을 실시함으로써 이러한 미세한 초기 오차를 계산할 수 있다. 예를 들어, 위치 제어부(224)가 기 설정된 위치 제어 신호(CTRL)를 생성함으로써 위치 보정부(226)가 포토 마스크에 대한 모의 보정을 실시하도록 할 수 있다. 이 때, 위치 제어부(224)는 모의 보정 후 측정된 검사용 패턴에 기초하여 모의 보정에서 발생한 미세한 초기 오차를 계산할 수 있다.
위치 제어부(224)는 계산된 초기 오차를 상쇄하는 초기 보상값을 저장할 수 있다. 위치 제어부(224)는 모의 보정으로부터 발생한 미세한 초기 오차에 기초하여 이를 상쇄하는 초기 보상값을 계산할 수 있다. 또한, 위치 제어부(224)는 계산된 초기 보상값을 저장공간에 저장할 수 있다.
위치 제어부(224)는 저장된 초기 보상값에 기초하여 위치 보정 제어신호(CTRL)를 보상할 수 있다. 결과적으로, 위치 제어부(224)는 저장공간에 저장된 초기 보상값을 참고함으로써, 인식된 기판 위치를 더 정확히 보정할 수 있는 위치 보정 제어신호(CTRL)를 생성할 수 있다. 예를 들어, 모의 보정으로부터 제1 방향으로 1 마이크로 미터, 제2 방향으로 2 마이크로 미터의 초기 오차가 계산될 경우, 위치 제어부(224)는 제1 방향 및 제2 방향 각각에 대한 오차를 상쇄할 수 있는 초기 보상값을 계산하여 저장할 수 있다. 위치 제어부(224)는 저장된 초기 보상값을 참고함으로써, 인식된 기판 위치를 더 정확히 보정할 수 있는 위치 보정 제어신호(CTRL)를 생성할 수 있다.
도 3은 도 1의 라미네이팅 장치에 포함된 압착부의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 3을 참조하면, 압착부(340)는 열을 생성하는 압착 롤러(342-1, 342-2)를 포함할 수 있다. 또한, 압착부(340)는 압착 롤러(342-1, 342-2)에 기초하여 압착 위치에서 시트 기판들에 드라이 필름을 압착시킬 수 있다. 그 결과, 압착부(340)는 압착물을 연속적으로 생성할 수 있다.
압착 롤러(342-1, 342-2)는 서로 인접하는 한 쌍의 롤러일 수 있다. 예를 들어, 압착 롤러(342-1, 342-2)는 실질적으로 서로 평행한 회전축을 갖는 제1 롤러(342-1) 및 제2 롤러(342-2)일 수 있고, 제1 롤러(342-1)의 회전축은 고정 회전축일 수 있으며, 제2 롤러(342-2)의 회전축은 제1 롤러(342-1)의 고정 회전축과의 거리가 조절될 수 있는 유동 회전축일 수 있다. 이 때, 유동 회전축과 고정 회전축 사이의 거리가 감소할수록 압착 롤러(342-1, 342-2)의 압착력이 증가할 수 있다.
압착부(340)는 백업 롤러(344-1, 344-2) 및 보조 롤러(346-1, 346-2)를 더 포함할 수 있다. 백업 롤러(344-1, 344-2)는 압착 롤러(342-1, 342-2)에 변형 방지 압력을 가함으로써 압착 롤러(342-1, 342-2)의 휨을 방지할 수 있다. 보조 롤러(346-1, 346-2)는 백업 롤러(344-1, 344-2)에 변형 방지 압력을 전달할 수 있다.
압착 롤러(342-1, 342-2)가 압착물을 생성하는 중에 압착물에 의한 지렛대 효과가 발생하여 압착 롤러(342-1, 342-2)가 변형될 수 있고, 이에 따라 압착 롤러(342-1, 342-2)가 압착물에 가하는 압력이 불균일해질 수 있다. 예를 들어, 압착 롤러(342-1, 342-2)의 가운데 부분에서 압착물이 생성될 경우 압착 롤러(342-1, 342-2)의 가운데 부분이 압착물에 의한 지렛대 효과에 의해 변형될 수 있고, 그 결과 압착 롤러(342-1, 342-2)의 가운데 부분에서 압착물에 가해지는 압력과 압착 롤러(342-1, 342-2)의 끝단에서 압착물에 가해지는 압력이 상이할 수 있다.
백업 롤러(344-1, 344-2)는 압착 롤러(342-1, 342-2)에 변형 방지 압력을 가할 수 있다. 예를 들어, 백업 롤러(344-1, 344-2)는 압착 롤러(342-1, 342-2)의 변형이 가장 많은 부분에 다른 부분보다 상대적으로 더 많은 변형 방지 압력을 가할 수 있다. 변형 방지 압력에 의해 압착 롤러(342-1, 342-2)의 휨이 방지될 수 있으므로, 압착 롤러(342-1, 342-2)가 가하는 압력이 실질적으로 균일해질 수 있다.
보조 롤러(346-1, 346-2)는 백업 롤러(344-1, 344-2)에 변형 방지 압력을 전달할 수 있다. 보조 롤러(346-1, 346-2)는 공기압 또는 유압 실린더(348-1, 348-2)로부터 힘을 받을 수 있고, 보조 롤러(346-1, 346-2)는 백업 롤러(344-1, 344-2)에 인접할 수 있다. 그 결과, 보조 롤러(346-1, 346-2)는 공기압 또는 유압 실린더(348-1, 348-2)로부터 받은 힘을 백업 롤러(344-1, 344-2)에 변형 방지 압력으로써 전달할 수 있다. 예를 들어, 보조 롤러(346-1, 346-2)는 압착 롤러(342-1, 342-2)의 변형이 가장 많은 부분에 상대적으로 더 많은 변형 방지 압력이 가해질 수 있도록 백업 롤러(344-1, 344-2)에 인접함으로써, 압착 롤러(342-1, 342-2)가 압착물에 가하는 압력을 균일화할 수 있다.
도 4는 도 3의 압착부에 포함된 압착 롤러의 일 예를 나타내는 단면도이다.
도 4를 참조하면, 압착 롤러(442)는 가열기(443) 및 히트파이프(445)를 포함할 수 있다. 가열기(443)는 중심축과 평행한 방향으로 형성될 수 있다. 가열기(443)는 열을 생성하는 장착 히터일 수 있다. 가열기(443)는 압착 롤러의 중심축에서 바깥 표면 방향으로 이동하는 열의 흐름을 생성할 수 있다.
하나 이상의 히트파이프(445)는 가열기(443)와 바깥 표면 사이에 중심축과 평행한 방향으로 형성될 수 있고, 히트파이프(445)는 원주 방향으로 배열될 수 있다. 이 때, 열을 효율적으로 전달하는 히트파이프(445)가 압착 롤러(442)의 중심축에서 바깥 표면 방향으로 이동하는 열의 이동을 도움으로써 열이 균일하게 분산될 수 있다.
도 5는 도 1의 라미네이팅 장치에 포함된 절단부가 생성하는 레이저의 이상적인 강도분포를 레이저의 단면을 따라 나타내는 도면이고, 도 6은 도 1의 라미네이팅 장치에 포함된 절단부가 생성하는 레이저의 실제적인 강도분포를 레이저의 단면을 따라 나타내는 도면이다.
도 5를 참조하면, 절단부가 생성하는 이상적인 레이저의 강도는 전체 열 전달 면적(A)과 유효 절단 면적(B)이 실질적으로 동일하도록 분포할 수 있다. 다시 말해, 유효한 절단이 발생하기 위해서는 절단부가 문턱 강도(TH) 이상의 강도를 갖는 레이저를 생성해야 하는데, 이상적인 레이저는 전체 열 전달 면적(A)에서 레이저의 강도가 문턱 강도와 실질적으로 동일하므로, 전체 열 전달 면적(A)과 유효 절단 면적(B)이 실질적으로 동일할 수 있다.
그러나, 도 6을 참조하면, 절단부가 생성하는 실제적인 레이저의 강도는 전체 열 전달 면적(A')이 유효 절단 면적(B')보다 상대적으로 더 크도록 분포할 수 있다. 다시 말해, 실제적인 레이저는 전체 열 전달 면적(A') 중 일부에서만 레이저의 강도가 문턱 강도보다 크므로, 전체 열 전달 면적(A')이 유효 절단 면적(B')보다 상대적으로 더 클 수 있다.
전체 열 전달 면적(A') 중 유효 절단 면적(B')이 아닌 부분에서는 그을음이 발생할 수 있고, 이러한 그을음은 불량의 원인이 될 수 있다. 따라서 전체 열 전달 면적(A')에 대한 유효 절단 면적(B')의 비율을 증가시킬 필요성이 있다. 또한, 레이저의 강도가 문턱 강도보다 클 경우(S) 에너지 효율이 낮아질 수 있으므로, 유효 절단 면적(B') 내에서 레이저의 강도는 문턱 강도의 값과 실질적으로 동일하게 할 필요성이 있다.
따라서 절단부는 빛의 간섭 현상에 기초하여 전체 열 전달 면적(A')에 대한 유효 절단 면적(B')의 비율을 증가시킨 레이저를 생성할 수 있다. 예를 들어, 절단부는 회절 격자를 이용한 빛의 간섭 현상에 기초하여 전체 열 전달 면적(A')에 대한 유효 절단 면적(B')의 비율을 증가시킬 수 있다. 또한, 절단부는 복수의 거울들에 의해 분리된 레이저를 서로 간섭시킴으로써 전체 열 전달 면적(A')에 대한 유효 절단 면적(B')의 비율을 증가시킬 수 있다.
한편, 절단부는 액시콘 렌즈에 기초하여 전체 열 전달 면적(A')에 대한 유효 절단 면적(B')의 비율을 증가시킨 레이저를 생성할 수 있다. 액시콘 렌즈는 빛의 굴절 현상에 기초하여 가우스 형태를 갖는 빛의 강도 분포를 조절함으로써 전체 열 전달 면적(A')에 대한 유효 절단 면적(B')의 비율을 증가시킬 수 있다.
도 7는 도 1의 라미네이팅 장치의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 7을 참조하면, 라미네이팅 장치(500)는 로딩부(520), 압착부(540) 및 절단부(560)를 포함할 수 있다.
로딩부(520)는 드라이 필름 및 시트 기판들을 공급할 수 있다. 드라이 필름은 지지층 및 감광층을 포함할 수 있다. 드라이 필름은 보호층을 더 포함할 수 있다.
시트 기판들은 금속층으로 덮일 수 있다. 예를 들어, 시트 기판들은 구리층으로 덮일 수 있다. 일 실시예에서, 시트 기판들의 일면 상에 금속층이 형성될 수 있다. 이 경우, 드라이 필름은 금속층이 형성된 시트 기판들의 일면 상에 라미네이팅될 수 있다. 다른 실시예에서, 시트 기판들의 양면 상에 금속층이 함께 형성될 수 있다. 이 경우, 드라이 필름은 금속층이 형성된 시트 기판들의 양면 상에 함께 라미네이팅될 수 있다.
로딩부(520)는 드라이 필름 및 시트 기판들을 압착 위치에 공급할 수 있다. 로딩부(520)는 압착부(540)가 불량이 없는 압착물을 생성하도록 정확한 압착 위치에 드라이 필름 및 시트 기판들을 공급할 수 있다. 이를 위해, 로딩부(520)는 카메라, 위치 제어부 및 위치 보정부를 포함할 수 있다.
카메라는 시트 기판들의 상부에서 시트 기판들을 촬영할 수 있다. 카메라는 드라이 필름을 촬영할 수 있다. 위치 제어부는 촬영된 영상에 기초하여 시트 기판들 각각의 기판 위치를 인식할 수 있고, 인식된 기판 위치에 기초하여 위치 보정 제어신호를 생성할 수 있다. 위치 제어부는 시트 기판들에 표시된 표지 및 시트 기판들의 모서리 중 적어도 하나에 기초하여 시트 기판들의 위치를 인식할 수 있다. 위치 보정부는 위치 보정 제어신호에 기초하여 기판 위치를 보정할 수 있다. 위치 보정부는 모터 및 볼 스크류를 포함할 수 있다. 모터는 위치 보정 제어신호에 기초하여 회전할 수 있다. 볼 스크류는 모터의 회전수에 기초하여 기 설정된 방향으로 이동할 수 있다. 볼 스크류의 이동에 의해 볼 스크류 상에 위치한 시트 기판들이 이동함으로써, 기판 위치가 보정될 수 있다.
위치 제어부는 검사용 패턴을 갖는 포토 마스크에 대한 모의 보정이 실시된 후 측정된 검사용 패턴에 기초하여 초기 오차를 계산할 수 있다. 위치 제어부는 계산된 초기 오차를 상쇄하는 초기 보상값을 저장할 수 있다. 위치 제어부는 저장된 초기 보상값에 기초하여 위치 보정 제어신호를 생성할 수 있다. 위치 제어부는 저장공간에 저장된 초기 보상값을 참고함으로써, 인식된 기판 위치를 더 정확히 보정할 수 있는 위치 보정 제어신호를 생성할 수 있다.
로딩부(520)는 드라이 필름을 연속적으로 공급할 수 있다. 여기서, 연속성이라 함은 실질적인 연속성 개념을 포함할 수 있다. 드라이 필름이 실질적인 연속성을 가짐으로써, 압착부(540)가 생성하는 압착물이 실질적인 연속성을 가질 수 있다.
로딩부(520)는 시트 기판들을 순차적으로 공급할 수 있다. 여기서, 순차성이라 함은 시트 기판들이 차례대로 계속 공급된다는 개념을 포함할 수 있으나, 시트 기판들이 반드시 특정 순서로 공급되어야 한다는 것으로 한정되는 것은 아니다. 시트 기판들이 순차적으로 공급됨으로써, 압착부(540)가 생성하는 압착물이 실질적인 연속성을 가질 수 있다.
로딩부(520)는 드라이 필름 및 시트 기판들을 세척하는 세척부(580)를 포함할 수 있다. 세척부(580)의 세척 과정을 통해 드라이 필름과 시트 기판들 사이에 이물질이 포함되지 않을 수 있고, 불량이 방지될 수 있다.
압착부(540)는 열을 생성하는 압착 롤러를 포함할 수 있다. 또한, 압착부(540)는 압착 롤러에 기초하여 압착 위치에서 시트 기판들에 드라이 필름을 압착시킬 수 있다. 그 결과, 압착부(540)는 압착물을 연속적으로 생성할 수 있다.
압착부(540)는 백업 롤러 및 보조 롤러를 더 포함할 수 있다. 백업 롤러는 압착 롤러에 변형 방지 압력을 가함으로써 압착 롤러의 휨을 방지할 수 있다. 보조 롤러는 백업 롤러에 변형 방지 압력을 전달할 수 있다.
백업 롤러는 압착 롤러에 변형 방지 압력을 가할 수 있다. 변형 방지 압력에 의해 압착 롤러의 휨이 방지될 수 있으므로, 압착 롤러가 가하는 압력이 실질적으로 균일해질 수 있다.
보조 롤러는 백업 롤러에 변형 방지 압력을 전달할 수 있다. 보조 롤러는 공기압 또는 유압 실린더로부터 힘을 받을 수 있고, 보조 롤러는 백업 롤러에 인접할 수 있다. 그 결과, 보조 롤러는 공기압 또는 유압 실린더로부터 받은 힘을 백업 롤러에 변형 방지 압력으로써 전달할 수 있다.
압착 롤러는 가열기 및 히트파이프를 포함할 수 있다. 가열기는 중심축과 평행한 방향으로 형성될 수 있다. 가열기는 열을 생성하는 장착 히터일 수 있다. 가열기는 압착 롤러의 중심축에서 바깥 표면 방향으로 이동하는 열의 흐름을 생성할 수 있다.
하나 이상의 히트파이프는 가열기와 바깥 표면 사이에 중심축과 평행한 방향으로 형성될 수 있고, 히트파이프는 원주 방향으로 배열될 수 있다. 이 때, 열을 효율적으로 전달하는 히트파이프가 압착 롤러의 중심축에서 바깥 표면 방향으로 이동하는 열의 이동을 도움으로써 열이 균일하게 분산될 수 있다.
절단부(560)는 연속적으로 생성된 압착물을 레이저에 기초하여 소정의 크기로 절단할 수 있다. 그 결과, 절단부(560)는 로딩부(520)가 공급한 시트 기판들과 실질적으로 동일한 면적을 갖는 라미네이팅 완료 기판들을 생성할 수 있다.
절단부(560)는 빛의 간섭 현상에 기초하여 전체 열 전달 면적에 대한 유효 절단 면적의 비율을 증가시킨 레이저를 생성할 수 있다. 절단부(560)는 회절 격자를 이용한 빛의 간섭 현상에 기초하여 전체 열 전달 면적에 대한 유효 절단 면적의 비율을 증가시킬 수 있다. 또한, 절단부(560)는 복수의 거울들에 의해 분리된 레이저를 서로 간섭시킴으로써 전체 열 전달 면적에 대한 유효 절단 면적의 비율을 증가시킬 수 있다.
한편, 절단부(560)는 액시콘 렌즈에 기초하여 전체 열 전달 면적에 대한 유효 절단 면적의 비율을 증가시킨 레이저를 생성할 수 있다. 액시콘 렌즈는 빛의 굴절 현상에 기초하여 가우스 형태를 갖는 빛의 강도 분포를 조절함으로써 전체 열 전달 면적에 대한 유효 절단 면적의 비율을 증가시킬 수 있다.
도 8은 도 7의 라미네이팅 장치에 의해 시트 형태의 기판이 생성되는 일 예를 나타내는 도면이다.
도 8을 참조하면, 로딩부는 드라이 필름(DFR) 및 시트 기판들(SS)을 공급할 수 있다.
로딩부는 드라이 필름(DFR)을 연속적으로 공급할 수 있다. 여기서, 연속성이라 함은 실질적인 연속성 개념을 포함할 수 있다. 드라이 필름(DFR)이 실질적인 연속성을 가짐으로써, 압착부가 생성하는 압착물(PO)이 실질적인 연속성을 가질 수 있다.
로딩부는 시트 기판들(SS)을 순차적으로 공급할 수 있다. 여기서, 순차성이라 함은 시트 기판들(SS)이 차례대로 계속 공급된다는 개념을 포함할 수 있으나, 시트 기판들(SS)이 반드시 특정 순서로 공급되어야 한다는 것으로 한정되는 것은 아니다. 시트 기판들(SS)이 순차적으로 공급됨으로써, 압착부가 생성하는 압착물(PO)이 실질적인 연속성을 가질 수 있다.
압착부는 열을 생성하는 압착 롤러(642-1, 642-2)를 포함할 수 있다. 또한, 압착부는 압착 롤러(642-1, 642-2)에 기초하여 압착 위치에서 시트 기판들(SS)에 드라이 필름(DFR)을 압착시킬 수 있다. 그 결과, 압착부는 압착물(PO)을 연속적으로 생성할 수 있다.
절단부(660)는 연속적으로 생성된 압착물(PO)을 레이저(LASER)에 기초하여 소정의 크기로 절단할 수 있다. 그 결과, 절단부(660)는 로딩부가 공급한 시트 기판들(SS)과 실질적으로 동일한 면적을 갖는 라미네이팅 완료 기판들(SHEET)을 생성할 수 있다.
도 9는 본 발명의 실시예들에 따른 라미네이팅 방법을 나타내는 순서도이다.
도 9를 참조하면, 라미네이팅 방법은 롤 형태의 드라이 필름을 압착 위치에 연속적으로 공급(S120)할 수 있고, 복수의 시트 기판들을 압착 위치에 순차적으로 공급(S140)할 수 있으며, 열을 생성하는 압착 롤러에 기초하여 압착 위치에서 시트 기판들에 드라이 필름을 압착시킴으로써 압착물을 연속적으로 생성(S160)할 수 있고, 연속적으로 생성된 압착물을 레이저에 기초하여 소정의 크기로 절단(S180)할 수 있다.
롤 형태의 드라이 필름이 압착 위치에 연속적으로 공급(S120)될 수 있다. 불량이 없는 압착물이 생성되도록 정확한 압착 위치에 드라이 필름이 공급될 수 있다. 여기서, 연속성이라 함은 실질적인 연속성 개념을 포함할 수 있다.
복수의 시트 기판들이 압착 위치에 순차적으로 공급(S140)될 수 있다. 불량이 없는 압착물이 생성되도록 정확한 압착 위치에 시트 기판들이 공급될 수 있다. 여기서, 순차성이라 함은 시트 기판들이 차례대로 계속 공급된다는 개념을 포함할 수 있으나, 시트 기판들이 반드시 특정 순서로 공급되어야 한다는 것으로 한정되는 것은 아니다.
이를 위해, 시트 기판들의 상부에서 시트 기판들이 촬영될 수 있고, 촬영된 영상에 기초하여 시트 기판들 각각의 기판 위치가 인식될 수 있으며, 인식된 기판 위치에 기초하여 위치 보정 제어신호가 생성될 수 있고, 위치 보정 제어신호에 기초하여 기판 위치가 보정될 수 있다.
열을 생성하는 압착 롤러에 기초하여 압착 위치에서 시트 기판들에 드라이 필름을 압착시킴으로써 압착물이 연속적으로 생성(S140)될 수 있다. 압착 롤러는 서로 인접하는 한 쌍의 롤러일 수 있다. 압착 롤러는 가열기 및 히트파이프를 포함할 수 있다. 가열기는 중심축과 평행한 방향으로 형성될 수 있다. 가열기는 압착 롤러의 중심축에서 바깥 표면 방향으로 이동하는 열의 흐름을 생성할 수 있다. 하나 이상의 히트파이프는 가열기와 바깥 표면 사이에 중심축과 평행한 방향으로 형성될 수 있고, 히트파이프는 원주 방향으로 배열될 수 있다. 이 때, 열을 효율적으로 전달하는 히트파이프가 압착 롤러의 중심축에서 바깥 표면 방향으로 이동하는 열의 이동을 도움으로써 열이 균일하게 분산될 수 있다.
연속적으로 생성된 압착물은 레이저에 기초하여 소정의 크기로 절단(S160)될 수 있다. 그 결과, 공급된 시트 기판들과 실질적으로 동일한 면적을 갖는 라미네이팅 완료 기판들이 생성될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 라미네이팅 방법은 연속적으로 생성된 압착물을 레이저로 절단함으로써 가장자리 부분에서 발생하는 기포 또는 주름과 같은 불량이 감소될 수 있고, 수작업 절단에 따라 발생할 수 있는 택 타임 증가 및 기계적인 절단에 따라 발생할 수 있는 부정확한 단면에 의한 불량이 방지될 수 있다.
이상, 본 발명의 실시예들에 따른 라미네이팅 장치 및 라미네이팅 방법에 대하여 도면을 참조하여 설명하였지만, 상기 설명은 예시적인 것으로서 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 수정 및 변경될 수 있을 것이다.
본 발명은 인쇄 배선 회로 기판을 구비한 전자 기기에 다양하게 적용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명은 인쇄 배선 회로 기판을 구비한 컴퓨터, 노트북, 디지털 카메라, 비디오 캠코더, 휴대폰, 스마트폰, 스마트패드, 피엠피(PMP), 피디에이(PDA), MP3 플레이어, 차량용 네비게이션, 비디오폰, 감시 시스템, 추적 시스템, 동작 감지 시스템, 이미지 안정화 시스템 등에 적용될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 것이다.
100, 500: 라미네이팅 장치
120, 220, 520: 로딩부
140, 340, 540: 압착부
160, 560, 660: 절단부
222: 카메라
224: 위치 제어부
226: 위치 보정부
342, 442, 642: 압착 롤러
344: 백업 롤러
346: 보조 롤러
443: 가열기
445: 히트파이프

Claims (10)

  1. 롤(roll) 형태의 드라이 필름을 압착 위치에 연속적으로 공급하고, 복수의 시트(sheet) 기판들을 상기 압착 위치에 순차적으로 공급하는 로딩부;
    열을 생성하는 압착 롤러를 포함하고, 상기 압착 롤러에 기초하여 상기 압착 위치에서 상기 시트 기판들에 상기 드라이 필름을 압착시킴으로써 압착물을 연속적으로 생성하는 압착부; 및
    상기 연속적으로 생성된 압착물을 레이저에 기초하여 소정의 크기로 절단하는 절단부;를 포함하는 라미네이팅 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 압착부는 상기 압착 롤러에 변형 방지 압력을 가함으로써 상기 압착 롤러의 휨을 방지하는 백업 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 라미네이팅 장치.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 압착부는 상기 백업 롤러에 상기 변형 방지 압력을 전달하는 보조 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 라미네이팅 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 압착 롤러는 중심축과 평행한 방향으로 형성된 가열기; 및 상기 가열기와 바깥 표면 사이에 중심축과 평행한 방향으로 형성된 하나 이상의 히트파이프(heat pipe);를 포함하는 것을 특징으로 하는 라미네이팅 장치.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 히트파이프는 원주 방향으로 배열되는 것을 특징으로 하는 라미네이팅 장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 절단부는 빛의 간섭 현상에 기초하여 전체 열 전달 면적에 대한 유효 절단 면적의 비율을 증가시킨 레이저를 생성하는 것을 특징으로 하는 라미네이팅 장치.
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 절단부는 액시콘(axicon) 렌즈에 기초하여 전체 열 전달 면적에 대한 유효 절단 면적의 비율을 증가시킨 레이저를 생성하는 것을 특징으로 하는 라미네이팅 장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 로딩부는 상기 시트 기판들의 상부에서 상기 시트 기판들을 촬영하는 카메라;
    상기 촬영된 영상에 기초하여 상기 시트 기판들 각각의 기판 위치를 인식하고, 상기 인식된 기판 위치에 기초하여 위치 보정 제어신호를 생성하는 위치 제어부; 및
    상기 위치 보정 제어신호에 기초하여 상기 기판 위치를 보정하는 위치 보정부;를 포함하고,
    상기 위치 제어부는 검사용 패턴을 갖는 포토 마스크에 대한 모의 보정이 실시된 후 측정된 상기 검사용 패턴에 기초하여 초기 오차를 계산하고, 상기 계산된 초기 오차를 상쇄하는 초기 보상값을 저장하며, 상기 저장된 초기 보상값에 기초하여 상기 위치 보정 제어신호를 보상하는 것을 특징으로 하는 라미네이팅 장치.
  9. 롤 형태의 드라이 필름을 압착 위치에 연속적으로 공급하는 단계;
    복수의 시트 기판들을 상기 압착 위치에 순차적으로 공급하는 단계;
    열을 생성하는 압착 롤러에 기초하여 상기 압착 위치에서 상기 시트 기판들에 상기 드라이 필름을 압착시킴으로써 압착물을 연속적으로 생성하는 단계; 및
    상기 연속적으로 생성된 압착물을 레이저에 기초하여 소정의 크기로 절단하는 단계;를 포함하는 라미네이팅 방법.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 시트 기판들을 순차적으로 공급하는 단계는
    상기 시트 기판들의 상부에서 상기 시트 기판들을 촬영하는 단계;
    상기 촬영된 영상에 기초하여 상기 시트 기판들 각각의 기판 위치를 인식하는 단계;
    상기 인식된 기판 위치에 기초하여 위치 보정 제어신호를 생성하는 단계; 및
    상기 위치 보정 제어신호에 기초하여 상기 기판 위치를 보정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 라미네이팅 방법.
KR1020160002265A 2016-01-07 2016-01-07 시트-투-롤 방식의 라미네이팅 장치 및 라미네이팅 방법 KR20170082927A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160002265A KR20170082927A (ko) 2016-01-07 2016-01-07 시트-투-롤 방식의 라미네이팅 장치 및 라미네이팅 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160002265A KR20170082927A (ko) 2016-01-07 2016-01-07 시트-투-롤 방식의 라미네이팅 장치 및 라미네이팅 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20170082927A true KR20170082927A (ko) 2017-07-17

Family

ID=59442980

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160002265A KR20170082927A (ko) 2016-01-07 2016-01-07 시트-투-롤 방식의 라미네이팅 장치 및 라미네이팅 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20170082927A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210059189A (ko) * 2019-11-15 2021-05-25 주식회사 리텍 임프린트 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210059189A (ko) * 2019-11-15 2021-05-25 주식회사 리텍 임프린트 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7802598B2 (en) Lamination device method for flexographic plate manufacturing
CN100575076C (zh) 改进型柔印处理机
US6709962B2 (en) Process for manufacturing printed circuit boards
TWI381252B (zh) A focal length adjustment method for an exposure apparatus of a belt-like workpiece and an exposure apparatus for a belt-like workpiece
US20050170291A1 (en) Process and apparatus for manufacturing printed circuit boards
CN101203805B (zh) 热显影系统及使用它的方法
CN1989009A (zh) 用于热显影柔性版印刷部件的装置和方法
CN106933066A (zh) 曝光装置、利用该曝光装置的器件制造系统和器件制造方法以及图案曝光方法
KR20040100870A (ko) 띠 형상 워크의 양면 투영 노광 장치
KR20170082927A (ko) 시트-투-롤 방식의 라미네이팅 장치 및 라미네이팅 방법
JP6320548B2 (ja) フレキソ印刷要素上の表面テクスチャの形成方法
JP5499399B2 (ja) 露光装置及び露光方法
JP6913248B2 (ja) 印刷装置
US9459541B2 (en) Substrate processing apparatus, lithography apparatus, and method of manufacturing article
JP2005148531A (ja) 基板伸縮に対応したプリント配線基板用露光装置
JP4407333B2 (ja) 帯状ワークの露光装置
JP2022018203A (ja) 情報処理装置、判定方法、検査装置、成形装置、および物品の製造方法
KR102267473B1 (ko) 실시간 장력제어를 이용한 미세패턴 롤 제작시스템, 및 이를 이용한 미세패턴 롤 제작방법
CN86107270A (zh) 把光掩膜定位在印刷线路板上的装置
JP3345178B2 (ja) 露光における位置合わせ装置
US11624983B2 (en) Method and system for thermal processing of flexo printing elements
JP4775076B2 (ja) 露光方法及び装置
JP4481048B2 (ja) 感光性樹脂印刷原版の製造方法
JP2000062024A (ja) ラミネートロールおよびヒートラミネータ
US20140101915A1 (en) Loading/Unloading System for Printing Plates

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application
E801 Decision on dismissal of amendment