KR20170080853A

KR20170080853A - 손떨림 보정코일유닛과 손떨림 보정코일유닛의 제조방법, 그리고 이것을 이용한 손떨림 보정용 액츄에이터

Info

Publication number: KR20170080853A
Application number: KR1020150190182A
Authority: KR
Inventors: 여인재
Original assignee: 주식회사 액트로
Priority date: 2015-12-30
Filing date: 2015-12-30
Publication date: 2017-07-11
Also published as: KR101790950B1

Abstract

본 발명은 손떨림 보정용 액츄에이터에서 광학렌즈모듈 또는 이미지센서의 위치를 변경하기 위해 전원의 인가에 따른 전자기력으로 영구자석의 위치를 변경시킬 때, 손떨림 보정코일유닛을 변경함으로써, 전자기력에 의해 영구자석의 위치를 감지하기 위한 홀센서에 미치는 자속의 크기를 줄이고, 영구자석의 움직임에 따른 동작제어성능을 향상시킬 수 있는 손떨림 보정코일유닛과 손떨림 보정코일유닛의 제조방법, 그리고 이것을 이용한 손떨림 보정용 액츄에이터에 관한 것이다.
이를 위해 손떨림 보정코일유닛은 바닥을 형성하는 바닥층과, 바닥층에 적층되는 절연층과, 2 이상이 상호 이격 적층된 상태로 접속되어 절연층에 내장되는 구동코일을 포함한다.

Description

손떨림 보정코일유닛과 손떨림 보정코일유닛의 제조방법, 그리고 이것을 이용한 손떨림 보정용 액츄에이터{IMAGE STABILIZING COIL UNIT AND MANUFACTURING METHOD OF THIS, AND ACTUATOR FOR STABILIZING IMAGE}

본 발명은 손떨림 보정코일유닛과 손떨림 보정코일유닛의 제조방법, 그리고 이것을 이용한 손떨림 보정용 액츄에이터에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 손떨림 보정용 액츄에이터에서 광학렌즈모듈 또는 이미지센서의 위치를 변경하기 위해 전원의 인가에 따른 전자기력으로 영구자석의 위치를 변경시킬 때, 손떨림 보정코일유닛을 변경함으로써, 전자기력에 의해 영구자석의 위치를 감지하기 위한 홀센서에 미치는 자속의 크기를 줄이고, 영구자석의 움직임에 따른 동작제어성능을 향상시킬 수 있는 손떨림 보정코일유닛과 손떨림 보정코일유닛의 제조방법, 그리고 이것을 이용한 손떨림 보정용 액츄에이터에 관한 것이다.

일반적으로, 이동통신 단말기에 카메라 장치를 채용하는 것이 보편화되고 있는 추세이다. 이동통신 단말기를 이용한 촬영은 이동 중에 많이 이루어지고 있어, 고품질의 영상을 얻기 위하여 이동통신 단말기의 카메라 장치는 손 떨림 등의 진동을 보정하기 위한 손 떨림 보정장치를 필수적으로 요구하고 있다.

특히, 카메라 장치는 손 떨림 보정장치를 구비함에 따라 어두운 실내나 야간에서와 같이 빛의 부족으로 인하여 느린 셔터 속도를 갖는 환경에서 선명한 영상을 획득할 수 있다.

일예로, 손 떨림 보정유닛 중 광학식 손 떨림 보정유닛(OIS;Optical Image Stabilizer)은 구동부를 통해 광학렌즈모듈 또는 이미지 센서의 위치를 변경함으로써, 촬영장치의 떨림이 발생하더라도 이미지 센서상에 형성된 피사체의 영상은 흔들림이 없도록 보정하는 역할을 수행한다.

하지만, 종래 기술에 따른 손 떨림 보정용 액츄에이터를 살펴보면, 전원의 인가에 따른 전자기력으로 영구자석의 위치를 변경시킴으로써, 영구자석에 결합된 광학렌즈모듈 또는 이미지 센서의 위치를 변경할 수 있다. 이때, 영구자석의 위치를 감지하는 홀센서는 전자기력에 의해 발생되는 유도자기장의 영향을 받게 되므로, 상술한 전자기력은 홀센서에서 노이즈(noise)로 작용하게 되고, 홀센서의 감도를 저하시키게 된다.

대한민국 등록특허공보 제10-1075710호(발명의 명칭 : 광학식 손 떨림 보정장치 및 이의 제조 방법, 2011. 10. 21. 공고)

본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 손떨림 보정용 액츄에이터에서 광학렌즈모듈 또는 이미지센서의 위치를 변경하기 위해 전원의 인가에 따른 전자기력으로 영구자석의 위치를 변경시킬 때, 손떨림 보정코일유닛을 변경함으로써, 전자기력에 의해 영구자석의 위치를 감지하기 위한 홀센서에 미치는 자속의 크기를 줄이고, 영구자석의 움직임에 따른 동작제어성능을 향상시킬 수 있는 손떨림 보정코일유닛과 손떨림 보정코일유닛의 제조방법, 그리고 이것을 이용한 손떨림 보정용 액츄에이터를 제공함에 있다.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 바람직한 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법은 베이스에 바닥층을 형성하기 위한 바닥부재가 도포되는 바닥형성단계; 접착력 강화를 위해 상기 바닥형성단계를 거친 상기 바닥부재를 표면 처리하는 바닥표면처리단계; 상기 바닥부재에 절연층을 형성하기 위한 절연부재를 적층한 상태에서 상기 절연부재에 전면코일과 한 쌍이 상호 이격된 상태로 상기 전면코일에 이격 적층되는 분할코일을 포함하는 구동코일을 상기 절연부재에 내장시키는 구동코일형성단계; 및 상기 구동코일에 대응하여 상기 바닥부재와 상기 절연부재를 재단하는 형상재단단계; 상기 구동코일형성단계에 앞서, 상기 구동코일에 대응하여 상기 구동코일형성단계의 작업순서를 결정하는 반복제어단계; 및 상기 반복제어단계에 따른 작업순서의 종료 여부를 선택하는 반복마감단계;를 포함하고, 상기 반복마감단계의 선택에 따라 상기 구동코일형성단계를 실시하거나, 상기 형상재단단계를 실시한다.

여기서, 상기 구동코일이, 전면중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 전면코일과, 상기 전면중심영역에 형성되는 제1코일접속부와, 한 쌍이 분할된 상태로 상기 전면코일에 이격 적층되되 각각의 분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 분할코일과, 한 쌍의 상기 분할코일 중 어느 하나의 가장자리에 형성되는 제2코일접속부와, 상기 전면코일과 상기 제1코일접속부와 한 쌍의 상기 분할코일과 상기 제2코일접속부를 상호 연결하는 연결전극과, 한 쌍의 상기 분할코일 중 다른 하나와 상기 제2코일접속부에 각각 연결되는 구동전극을 포함할 때, 상기 구동코일형성단계는, 상기 바닥부재에 전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재를 적층한 상태에서 전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 상기 전면코일과 상기 제1코일접속부를 내장시키는 전면코일형성단계; 상기 전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재를 이격 적층한 상태에서 분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 한 쌍의 상기 분할코일과 상기 제2코일접속부를 내장시키는 분할코일형성단계; 상기 전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재와 상기 분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재 사이에 층간절연층을 형성하기 위한 층간절연부재를 적층하거나, 상기 분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 마감층을 형성하기 위한 마감절연부재를 적층하는 절연층형성단계; 및 상기 층간절연부재에 상기 연결전극을 형성하고, 상기 마감절연부재에 상기 구동전극을 형성하는 코일간접속단계;를 포함하고, 상기 반복마감단계는, 상기 마감절연부재에 구동전극을 형성함에 따라 상기 형상재단단계를 실시하도록 한다.

여기서, 상기 구동코일이, 전면중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 전면코일과, 한 쌍이 분할된 상태로 상기 전면코일에 이격 적층되되 각각의 제1분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제1분할코일과, 한 쌍의 상기 제1분할코일에 대응하도록 한 쌍이 분할된 상태로 상기 제1분할코일에 이격 적층되되 각각의 제2분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제2분할코일과, 상기 전면코일과 상기 제1분할코일과 상기 제2분할코일을 상호 연결하는 연결전극과, 한 쌍의 상기 제2분할코일에 각각 연결되는 구동전극을 포함할 때, 상기 구동코일형성단계는, 상기 바닥부재에 전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재를 적층한 상태에서 전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 상기 전면코일을 내장시키는 전면코일형성단계; 상기 전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 제1분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재를 이격 적층한 상태에서 제1분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 한 쌍의 상기 제1분할코일을 내장시키거나, 상기 제1분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 제2분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재를 이격 적층한 상태에서 제2분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 한 쌍의 상기 제2분할코일을 내장시키는 분할코일형성단계; 상기 코일절연부재들 사이에 제1층간절연층과 제2층간절연층을 형성하기 위한 층간절연부재를 각각 적층하거나, 상기 제2분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 마감층을 형성하기 위한 마감절연부재를 적층하는 절연층형성단계; 및 상기 층간절연부재에 상기 연결전극을 형성하고, 상기 마감절연부재에 상기 구동전극을 형성하는 코일간접속단계;를 포함하고, 상기 반복마감단계는, 상기 마감절연부재에 구동전극을 형성함에 따라 상기 형상재단단계를 실시하도록 한다.

여기서, 상기 구동코일이, 제1전면중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제1전면코일과, 상기 제1전면코일에 이격 적층되되 제2전면중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제2전면코일과, 한 쌍이 분할된 상태로 상기 제2전면코일에 이격 적층되되 각각의 제1분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제1분할코일과, 한 쌍의 상기 제1분할코일에 대응하도록 한 쌍이 분할된 상태로 상기 제1분할코일에 이격 적층되되 각각의 제2분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제2분할코일과, 상기 제2전면코일의 가장자리에 형성되는 관통전극과, 상기 제1전면코일과 상기 제2전면코일과 상기 관통전극과 한 쌍의 상기 제1분할코일과 한 쌍의 상기 제2분할코일을 상호 연결하는 연결전극과, 한 쌍의 상기 제2분할코일에 각각 연결되는 구동전극을 포함할 때, 상기 구동코일형성단계는, 상기 바닥부재에 제1전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재를 적층한 상태에서 제1전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 상기 제1전면코일을 내장시키거나, 상기 제1전면절연층을 형성하기 위한 코일부재에 제2전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재를 이격 적층한 상태에서 제2전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 상기 제2전면코일과 상기 관통전극을 내장시키는 전면코일형성단계; 상기 제2전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 제1분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재를 이격 적층한 상태에서 제1분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 한 쌍의 상기 제1분할코일을 내장시키거나, 상기 제1분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 제2분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재를 이격 적층한 상태에서 제2분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 한 쌍의 상기 제2분할코일을 내장시키는 분할코일형성단계; 상기 코일절연부재들 사이에 제1층간절연층과 제2층간절연층과 제3층간절연층을 형성하기 위한 층간절연부재를 각각 적층하거나, 상기 제2분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 마감층을 형성하기 위한 마감절연부재를 적층하는 절연층형성단계; 및 상기 층간절연부재에 상기 연결전극을 형성하고, 상기 마감절연부재에 상기 구동전극을 형성하는 코일간접속단계;를 포함하고, 상기 반복마감단계는, 상기 마감절연부재에 구동전극을 형성함에 따라 상기 형상재단단계를 실시하도록 한다.

본 발명에 따른 손떨림 보정코일유닛은 바닥을 형성하기 위한 바닥층; 상기 바닥층에 적층되는 전면절연층; 상기 전면절연층에 적층되는 층간절연층; 상기 층간절연층에 적층되는 분할절연층; 상기 분할절연층에 적층되는 마감절연층; 상기 전면절연층에 삽입되고, 전면중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 전면코일; 상기 전면절연층에서 상기 전면중심영역에 삽입되는 제1코일접속부; 상기 분할절연층에 한 쌍이 상호 이격된 상태로 삽입되고, 각각의 분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 분할코일; 상기 분할절연층에서 한 쌍의 상기 분할코일 중 어느 하나의 가장자리에 삽입되는 제2코일접속부; 상기 층간절연층에 삽입되고, 상기 전면코일과 상기 제1코일접속부와 한 쌍의 상기 분할코일과 상기 제2코일접속부를 상호 연결하는 연결전극; 및 상기 마감절연층에 삽입되고, 한 쌍의 상기 분할코일 중 다른 하나와 상기 제2코일접속부에 각각 연결되는 구동전극;을 포함한다.

본 발명에 따른 손떨림 보정코일유닛은 바닥을 형성하기 위한 바닥층; 상기 바닥층에 적층되는 전면절연층; 상기 전면절연층에 적층되는 제1층간절연층; 상기 제1층간절연층에 적층되는 제1분할절연층; 상기 제1분할절연층에 적층되는 제2층간절연층; 상기 제2층간절연층에 적층되는 제2분할절연층; 상기 제2분할절연층에 적층되는 마감절연층; 상기 전면절연층에 삽입되고, 전면중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 전면코일; 상기 제1분할절연층에 한 쌍이 상호 이격된 상태로 삽입되고, 각각의 제1분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제1분할코일과, 한 쌍의 상기 제1분할코일에 대응하도록 상기 제2분할절연층에 한 쌍이 상호 이격된 상태로 삽입되고, 각각의 제2분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제2분할코일을 포함하는 분할코일; 상기 제1층간절연층과 상기 제2층간절연층에 각각 삽입되고, 상기 전면코일과 한 쌍의 상기 제1분할코일과 한 쌍의 상기 제2분할코일을 상호 연결하는 연결전극; 및 상기 마감절연층에 삽입되고, 한 쌍의 상기 제2분할코일에 각각 연결되는 구동전극;을 포함한다.

본 발명에 따른 손떨림 보정코일유닛은 바닥을 형성하기 위한 바닥층; 상기 바닥층에 적층되는 제1전면절연층; 상기 제1전면절연층에 적층되는 제1층간절연층; 상기 제1층간절연층에 적층되는 제2전면절연층; 상기 제2전면절연층에 적층되는 제2층간절연층; 상기 제2층간절연층에 적층되는 제1분할절연층; 상기 제1분할절연층에 적층되는 제3층간절연층; 상기 제3층간절연층에 적층되는 제2분할절연층; 상기 제2분할절연층에 적층되는 마감절연층; 상기 제1전면절연층에 삽입되고, 제1전면중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제1전면코일과, 상기 제2전면절연층에 삽입되고, 제2전면중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제2전면코일을 포함하는 전면코일; 상기 제1분할절연층에 한 쌍이 상호 이격된 상태로 삽입되고, 각각의 제1분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제1분할코일과, 한 쌍의 상기 제1분할코일에 대응하도록 상기 제2분할절연층에 한 쌍이 상호 이격된 상태로 삽입되고, 각각의 제2분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제2분할코일을 포함하는 분할코일; 상기 제2전면절연층에 삽입되고, 상기 제2전면코일의 가장자리에 형성되는 관통전극; 상기 제1층간절연층과 상기 제2층간절연층과 상기 제3층간절연층에 각각 삽입되고, 상기 제1전면코일과 상기 제2전면코일과 상기 관통전극과 한 쌍의 상기 제1분할코일과 한 쌍의 상기 제2분할코일을 상호 연결하는 연결전극; 및 상기 마감절연층에 삽입되고, 한 쌍의 상기 제2분할코일에 각각 연결되는 구동전극;을 포함한다.

여기서, 상기 전면코일의 나선 방향은 한 쌍의 상기 분할코일 중 어느 하나의 나선 방향과 서로 동일하게 형성된다.

여기서, 한 쌍의 상기 분할코일의 나선 방향은 서로 반대로 형성된다.

본 발명에 따른 손떨림 보정용 액츄에이터는 카메라의 떨림에 따라 상기 카메라에 내장된 광학렌즈모듈 또는 이미지센서를 이동시키는 손떨림 보정용 액츄에이터이고, 상기 광학렌즈모듈 또는 상기 이미지센서가 결합되는 영구자석; 상기 영구자석의 바닥에 이격 배치되고, 상기 영구자석의 바닥에 평행한 가상의 평면에 대한 상기 영구자석의 수평 이동에 따른 자속의 변화를 감지하는 손떨림홀센서; 상기 영구자석과 상기 손떨림홀센서 사이에 배치되고, 상기 광학렌즈모듈 또는 상기 이미지센서가 상기 가상의 평면에서 수평 이동되도록 떨림전자기력을 발생시키는 상술한 손떨림 보정코일유닛; 및 상기 손떨림 보정코일유닛에 전원을 인가하는 손떨림구동부;를 포함한다.

본 발명에 따른 손떨림 보정용 액츄에이터는 상기 손떨림홀센서에서 전달되는 신호를 통해 상기 손떨림구동부를 제어하는 구동제어유닛;을 더 포함한다.

본 발명에 따른 손떨림 보정용 액츄에이터는 상기 영구자석의 측면에 이격 배치되고, 상기 가상의 평면에서 승강 이동되도록 초점전자기력을 발생시키는 초점보정코일; 상기 초점보정코일에 전원을 인가하는 초점구동부; 및 상기 영구자석의 바닥 또는 상기 영구자석의 측면에 이격 배치되고, 상기 가상의 평면에 대한 상기 영구자석의 승강 이동에 따른 자속의 변화를 감지하는 초점홀센서;를 더 포함하고, 상기 구동제어유닛은, 상기 손떨림홀센서에서 전달되는 신호를 통해 상기 손떨림구동부를 제어함은 물론, 상기 초점홀센서에서 전달되는 신호를 통해 상기 초점구동부를 제어한다.

여기서, 상기 영구자석의 바닥 중심은, 상기 손떨림 보정코일유닛의 중심과 상기 손떨림홀센서의 중심에 일치된다.

본 발명에 따른 손떨림 보정코일유닛과 손떨림 보정코일유닛의 제조방법, 그리고 이것을 이용한 손떨림 보정용 액츄에이터에 따르면, 손떨림 보정용 액츄에이터에서 광학렌즈모듈 또는 이미지센서의 위치를 변경하기 위해 전원의 인가에 따른 전자기력으로 영구자석의 위치를 변경시킬 때, 손떨림 보정코일유닛을 변경함으로써, 전자기력에 의해 영구자석의 위치를 감지하기 위한 홀센서에 미치는 자속의 크기를 줄이고, 영구자석의 움직임에 따른 동작제어성능을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 구동코일을 2단으로 적층하여 전면코일과 한 쌍의 분할코일로 분리하고, 구동코일에 인가되는 전원에 의해 전자기력을 발생시킬 수 있다. 이때, 전면코일과 한 쌍의 분할코일을 간편하게 직렬로 연결할 수 있고, 직류전원의 방향을 안정화시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 구동코일을 3단으로 적층하여 전면코일과 한 쌍의 제1분할코일과 한 쌍의 제2분할코일로 분리하고, 구동코일에 인가되는 전원에 의해 전자기력을 발생시킬 수 있다. 이때, 전면코일과 한 쌍의 제1분할코일과 한 쌍의 제2분할코일을 직렬로 연결할 수 있고, 직류전원의 방향을 안정화시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 구동코일을 4단으로 적층하여 제1전면코일과 제2전면코일과 한 쌍의 제1분할코일과 한 쌍의 제2분할코일로 분리하고, 인가되는 전원에 의해 전자기력을 발생시킬 수 있다. 이때, 제1전면코일과 제2전면코일과 한 쌍의 제1분할코일과 한 쌍의 제2분할코일을 직렬로 연결할 수 있고, 직류전원의 방향을 안정화시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 전면코일과 분할코일 간의 나선 방향에 따라 전자기력에 의한 자속의 크기를 상쇄시키고, 전자기력이 홀센서에 미치는 자속의 크기를 줄일 수 있다.

또한, 본 발명은 손떨림에 의해 영상이 흔들리는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명은 손떨림에 의한 영상의 흔들림을 방지함은 물론 영상의 초점을 자동으로 조절할 수 있다.

또한, 본 발명은 손떨림 보정코일유닛의 제조를 간소화시키고, 이에 따른 제조비용을 절감하며, 불량발생을 원천적으로 제거하여 코일 간의 전기적 접속을 안정화시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 홀센서의 감도를 향상시키고, 영구자석의 움직임에 따라 발생되는 자속의 변화를 홀센서에서 민감하게 감지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛을 도시한 요부 전개도이다.
도 2는 본 발명의 제2실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛을 도시한 요부 전개도이다.
도 3은 본 발명의 제3실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛을 도시한 요부 전개도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법을 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법에서 각 단계에 따른 상태를 표시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 손떨림 보정용 액츄에이터를 도시한 사시도이다.
도 7은 도 6의 정면도이다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 손떨림 보정코일유닛과 손떨림 보정코일유닛의 제조방법, 그리고 이것을 이용한 손떨림 보정용 액츄에이터의 일 실시예를 설명한다. 이때, 본 발명은 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 공지된 기능 혹은 구성에 대해 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 명확하게 하기 위해 생략될 수 있다.

본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 일 실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛은 본 발명의 일 실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법에 의해 제조되고, 본 발명의 일 실시예에 따른 손떨림 보정용 액츄에이터에 적용되는 것으로 설명한다.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛을 도시한 요부 전개도이고, 도 2는 본 발명의 제2실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛을 도시한 요부 전개도이며, 도 3은 본 발명의 제3실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛을 도시한 요부 전개도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법을 도시한 도면이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법에서 각 단계에 따른 상태를 표시한 도면이다.

도 1 과 도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛은 바닥을 형성하는 바닥층(10)과, 상기 바닥층(10)에 적층되는 절연층과, 2 이상이 상호 이격 적층된 상태로 접속되어 상기 절연층에 내장되는 구동코일(50)을 포함한다.

여기서, 본 발명의 제1실시예에 따른 절연층은 상기 바닥층(10)에 적층되는 전면절연층(21)과, 상기 전면절연층(21)에 적층되는 층간절연층(30)과, 상기 층간절연층(30)에 적층되는 분할절연층(22)과, 상기 분할절연층(22)에 적층되는 마감절연층(40)을 포함한다. 여기서, 상기 전면절연층(21)과 상기 분할절연층(22)은 코일절연층(20)을 형성한다.

또한, 본 발명의 제1실시예에 따른 구동코일(50)은 상기 전면절연층(21)에 삽입되고, 전면중심영역(601)으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 전면코일(60)과, 상기 전면절연층(21)에서 상기 전면중심영역(601)에 삽입되는 제1코일접속부(63)와, 상기 분할절연층(22)에 한 쌍이 상호 이격된 상태로 삽입되고, 각각의 분할중심영역(701)으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 분할코일(70)과, 상기 분할절연층(22)에서 한 쌍의 상기 분할코일(70) 중 어느 하나의 가장자리에 삽입되는 제2코일접속부(73)와, 상기 층간절연층(30)에 삽입되고, 상기 전면코일(60)과 상기 제1코일접속부(63)와 한 쌍의 상기 분할코일(70)과 상기 제2코일접속부(73)를 상호 연결하는 연결전극(90)과, 상기 마감절연층(40)에 삽입되고, 한 쌍의 상기 분할코일(70) 중 다른 하나와 상기 제2코일접속부(73)에 각각 연결되는 구동전극(80)을 포함한다. 여기서, 상기 구동전극(80)은 각각 상기 마감절연층(40) 상에서 노출되어 전원이 인가되도록 한다.

여기서, 상기 전면절연층(21)에는 상기 전면코일(60)과 상기 제1코일접속부(63)가 삽입 지지되는 전면코일홀(211)이 관통 형성된다. 또한, 상기 층간절연층(30)에는 상기 연결전극(90)이 삽입 지지되는 2개의 층간비아홀(30a) 및 제1접속비아홀(30c)과 제2접속비아홀(30d)이 각각 관통 형성된다. 또한, 상기 분할절연층(22)에는 상기 분할코일(70)이 삽입 지지되는 분할코일홀(221)이 관통 형성된다. 또한, 상기 마감절연층(40)에는 상기 구동전극(80)이 삽입 지지되는 제1구동비아홀(41)과 제2구동비아홀(42)이 각각 관통 형성된다.

이때, 상기 연결전극(90)은 상기 층간비아홀(30a) 중 어느 하나에 삽입 지지되어 상기 전면코일(60)의 일단부와 한 쌍의 상기 분할코일(70) 중 다른 하나의 일단부를 연결하는 제1연결전극(91)과, 상기 층간비아홀(30a) 중 다른 하나에 삽입 지지되어 상기 전면코일(60)의 타단부와 한 쌍의 상기 분할코일(70) 중 어느 하나의 일단부를 연결하는 제2연결전극(92)과, 상기 제1접속비아홀(30c)에 삽입 지지되어 한 쌍의 상기 분할코일(70) 중 어느 하나의 타단부와 상기 제1코일접속부(63)의 일단부를 연결하는 제7연결전극(97)과, 상기 제2접속비아홀(30d)에 삽입 지지되어 상기 제1코일접속부(63)의 타단부와 상기 제2코일접속부(73)의 일단부를 연결하는 제8연결전극(98)을 포함한다.

또한, 상기 구동전극(80)은 상기 제1구동비아홀(41)에 삽입 지지되어 한 쌍의 상기 분할코일(70) 중 다른 하나의 타단부에 연결되는 제1구동전극(81)과, 상기 제2구동비아홀(42)에 삽입 지지되어 상기 제2코일접속부(73)의 타단부에 연결되는 제2구동전극(82)을 포함한다. 상기 제1구동전극(81)과 상기 제2구동전극(82)은 각각 상기 마감절연층(40)에서 노출된다.

이에 따라, 상기 전면코일(60)과 상기 분할코일(70)은 상기 제1코일접속부(63)와 상기 제2코일접속부(73) 그리고 상기 연결전극(90)과 상기 구동전극(80)을 통해 직렬로 연결될 수 있다.

본 발명의 제1실시예에서 한 쌍의 상기 분할코일(70)의 나선 방향은 서로 동일하게 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 한 쌍의 상기 분할코일(70)의 나선 방향은 서로 반대로 형성될 수 있다.

또한, 상기 전면코일(60)의 나선 방향은 한 쌍의 상기 분할코일(70) 중 어느 하나의 나선 방향과 동일하게 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 전면코일(60)의 나선 방향은 한 쌍의 상기 분할코일(70) 중 어느 하나의 나선 방향과 반대로 형성될 수 있다.

본 발명의 제1실시예에 따라 나선 방향을 조합하여 다양한 형태로 나선 방향을 변경할 수 있다. 그러면, 전자기력에 의한 자속이 증폭 또는 상쇄됨으로써, 후술하는 홀센서의 중심에서 후술하는 영구자석(130)의 위치 변화에 따른 자속의 감도를 향상시킬 수 있다.

본 발명의 제1실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법을 살펴보면, 본 발명의 제1실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법은 베이스(B)에 상기 바닥층(10)을 형성하기 위한 바닥부재(10a)가 도포되는 바닥형성단계(S1)와, 접착력 강화를 위해 상기 바닥형성단계(S1)를 거친 상기 바닥부재(10a)를 표면 처리하는 바닥표면처리단계(S2)와, 상기 바닥부재(10a)에 절연층을 형성하기 위한 절연부재를 적층한 상태에서 상기 절연부재에 전면코일(60)과 한 쌍이 상호 이격된 상태로 상기 전면코일(60)에 이격 적층되는 분할코일(70)을 포함하는 구동코일(50)을 상기 절연부재에 내장시키는 구동코일형성단계(S3)와, 상기 구동코일(50)에 대응하여 상기 바닥부재(10a)와 상기 절연부재를 재단하는 형상재단단계(S4)를 포함하고, 상기 구동코일형성단계(S3)에 앞서, 상기 구동코일(50)에 대응하여 상기 구동코일형성단계(S3)의 작업순서를 결정하는 반복제어단계(S10)와, 상기 반복제어단계(S10)에 따른 작업순서의 종료 여부를 선택하는 반복마감단계(S11)를 더 포함한다. 여기서, 상기 바닥표면처리단계(S2)는 상기 바닥부재(10a)를 산소 플라즈마 영역에서 표면 처리할 수 있다.

또한, 본 발명의 제1실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법은 상기 바닥부재(10a)가 적층되는 베이스(B)를 정위치시키는 베이스준비단계(S6)와, 상기 바닥부재(10a)의 접착력을 강화하기 위해 상기 베이스(B)를 표면 처리하는 베이스표면처리단계(S7)를 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 베이스표면처리단계(S7)는 상기 베이스(B)를 육플루오린화황(SF6) 플라즈마 영역에서 표면 처리할 수 있다.

또한, 본 발명의 제1실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법은 상기 형상재단단계(S4)와 상기 반복마감단계(S11) 사이에서 상기 베이스(B)를 상기 바닥부재(10a)로부터 분리하는 베이스분리단계(S8)를 더 포함함으로써, 완성된 손떨림 보정코일유닛의 부피를 감소시키고, 상기 형상재단단계(S4)에서 상기 베이스(B)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 제1실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법은 상기 바닥부재(10a)로부터 분리된 상기 베이스(B)를 표면 처리하는 베이스세정단계(S9)를 더 포함할 수 있다. 상기 베이스분리단계(S8) 또는 상기 베이스세정단계(S9)를 거침에 따라 상기 베이스준비단계(S6)에서 상기 베이스(B)를 재사용할 수 있다. 여기서, 상기 베이스세정단계(S9)는 상기 베이스(B)를 육플루오린화황(SF6) 플라즈마 영역에서 표면 처리할 수 있다.

상술한 추가 구성에 의해 상기 베이스(B)가 구비됨에 따라 상기 바닥부재(10a)와 절연부재의 적층을 용이하게 하고, 각 부재에서 평탄도를 유지시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 제1실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법은 상기 형상재단단계(S4)를 거쳐 재단에 의해 완성된 상기 손떨림 보정코일유닛을 포장하는 포장단계(S5)를 더 포함할 수 있다.

여기서, 상기 구동코일형성단계(S3)는 본 발명의 제1실시예에 따라 절연부재 내부에 상기 구동코일(50)을 형성할 수 있다. 이에 따라. 상기 구동코일(50)은 상술한 바와 같이 상기 전면중심영역(601)으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 전면코일(60)과, 상기 전면중심영역(601)에 형성되는 제1코일접속부(63)와, 한 쌍이 분할된 상태로 상기 전면코일(60)에 이격 적층되되 각각의 분할중심영역(701)으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 분할코일(70)과, 한 쌍의 상기 분할코일(70) 중 어느 하나의 가장자리에 형성되는 제2코일접속부(73)와, 상기 전면코일(60)과 상기 제1코일접속부(63)와 한 쌍의 상기 분할코일(70)과 상기 제2코일접속부(73)를 상호 연결하는 연결전극(90)과, 한 쌍의 상기 분할코일(70) 중 다른 하나와 상기 제2코일접속부(73)에 각각 연결되는 구동전극(80)을 포함하게 된다.

상기 구동코일형성단계(S3)는 전면코일형성단계(S31)와, 분할코일형성단계(S32)와, 절연층형성단계(S34)와, 코일간접속단계(S33)를 포함한다.

그러면, 상기 반복제어단계(S10)는 1회의 전면코일형성단계(S31)와, 1회의 분할코일형성단계(S32)와, 2회의 절연층형성단계(S34)와, 2회의 코일간접속단계(S33)에 대한 작업순서를 결정한다. 좀더 자세하게는, 상기 반복제어단계(S10)의 작업순서 결정에 따라 상기 구동코일형성단계(S3)는 전면코일형성단계(S31)와, 1회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)와, 1회차로 실시되는 코일간접속단계(S33)와, 분할코일형성단계(S32)와, 2회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)와, 2회차로 실시되는 코일간접속단계(S33)를 순차적으로 진행하게 된다.

상기 전면코일형성단계(S31)는 상기 바닥부재(10a)에 상기 전면절연층(21)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 적층한 상태에서 전면절연층(21)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 전면코일(60)과 상기 제1코일접속부(63)를 내장시킨다. 상기 전면코일형성단계(S31)는 제1식각단계(S311)와, 제1표면처리단계(S315)와, 제1전극형성단계(S316)를 순차적으로 실시한다.

상기 제1식각단계(S311)는 상기 바닥부재(10a)에 상기 전면절연층(21)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 도포하는 제1도포단계(S312)와, 상기 전면코일(60)과 상기 제1코일접속부(63)가 삽입되도록 상기 전면절연층(21)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)의 일부 제거하여 상기 전면코일(60)과 상기 제1코일접속부(63)가 삽입되는 전면코일홀(211)을 관통 형성하는 제1현상단계(S314)를 포함하고, 상기 전면절연층(21)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 제1마스크(M1)를 적층하고 상기 전면절연층(21)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 노광시키는 제1노광단계(S313)를 더 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1식각단계(S311)는 레이저 또는 식각액 중 어느 하나를 이용할 수 있다.

상기 제1표면처리단계(S315)는 접착력 강화를 위해 상기 전면코일홀(211)이 관통 형성된 코일절연부재(20a)를 표면 처리한다. 상기 제1표면처리단계(S315)는 상기 전면코일홀(211)이 관통 형성된 코일절연부재(20a)를 산소 플라즈마 영역에서 표면 처리할 수 있다. 이에 따라 상기 전면코일홀(211)에서 상기 전면코일(60)과 상기 제1코일접속부(63)를 안정되게 고정시킬 수 있다.

상기 제1전극형성단계(S316)는 상기 전면코일홀(211)에 상기 전면코일(60)과 상기 제1코일접속부(63)를 형성한다. 상기 제1전극형성단계(S316)는 상기 전면코일홀(211)에 상기 전면코일(60)과 상기 제1코일접속부(63)의 재료가 되는 전면시드부재(60b)를 도포하는 제1시드도포단계(S317)와, 상기 제1시드도포단계(S317)를 거친 상기 전면시드부재(60b)를 성장시켜 전면코일부재(60a)를 형성하는 제1시드성장단계(S318)와, 상기 전면절연층(21)의 상부가 노출되도록 상기 제1시드성장단계(S318)를 거쳐 형성된 전면코일부재(60a)의 상부를 제거하여 상기 전면코일(60)과 상기 제1코일접속부(63)를 형성하는 제1표면제거단계(S319)를 포함한다.

상기 제1시드성장단계(S318)에서는 도금을 위한 정방향 전류와 도금을 위한 역방향 전류를 순차적으로 1회 이상 조합하여 전류를 인가하는 전류인가방식(전류의 조합시 각 순차적인 전류 인가마다 전류밀도는 달라질 수 있음)을 사용할 수 있다. 또한, 상기 제1시드성장단계(S318)에서는 도금억제제를 사용하는 방식을 사용할 수 있다. 또한, 상기 제1시드성장단계(S318)에서는 도금촉진제를 사용하는 방식을 사용할 수 있다.

상기 제1표면제거단계(S319)에서는 최상부를 세정하여 상기 층간절연층(30)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)를 안정되게 고정시킬 수 있다.

1회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)는 상기 전면절연층(21)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 층간절연층(30)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)를 적층한다. 1회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)는 상기 제1전극형성단계(S316)를 마친 다음, 상기 전면절연층(21)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 층간절연층(30)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)를 도포한다. 여기서, 층간절연부재(30a)는 상기 전면절연층(21)에 내장되는 상기 전면코일(60)과 상기 제1코일접속부(63)가 상기 분할절연층(22)에 내장되는 상기 분할코일(70)과 상기 제2코일접속부(73)에서 절연되도록 한다.

1회차로 실시되는 코일간접속단계(S33)는 상기 층간절연층(30)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)에 상기 연결전극(90)을 형성하는 것으로, 1회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)를 거쳐 도포되는 층간절연부재(30a)에 2개의 상기 층간비아홀(30a)과 상기 제1접속비아홀(30c)과 상기 제2접속비아홀(30d)을 관통 형성하는 비아형성단계(S331)와, 상기 비아형성단계(S331)를 거쳐 형성된 2개의 상기 층간비아홀(30a)과 상기 제1접속비아홀(30c)과 상기 제2접속비아홀(30d)에 각각 상기 제1연결전극(91)과 상기 제2연결전극(92)과 상기 제7연결전극(97)과 상기 제8연결전극(98)을 형성하는 연결전극형성단계(S332)를 포함한다. 여기서, 상기 비아형성단계(S331)는 레이저 또는 식각액 중 어느 하나를 이용할 수 있다.

상기 분할코일형성단계(S32)는 상기 층간절연층(30)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)에 분할절연층(22)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 적층한 상태에서 분할절연층(22)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 한 쌍의 상기 분할코일(70)과 상기 제2코일접속부(73)를 내장시킨다. 상기 분할코일형성단계(S32)는 제2식각단계(S321)와, 제2표면처리단계(S325)와, 제2전극형성단계(S326)를 순차적으로 실시한다.

상기 제2식각단계(S321)는 상기 층간절연부재(30a)에 상기 분할절연층(22)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 도포하는 제2도포단계(S322)와, 상기 분할코일(70)과 상기 제2코일접속부(73)가 삽입되도록 상기 분할절연층(22)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)의 일부를 제거하여 상기 분할코일(70)과 상기 제2코일접속부(73)가 삽입되는 분할코일홀(221)을 관통 형성하는 제2현상단계(S324)를 포함하고, 상기 분할절연층(22)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 제2마스크(M2)를 적층하고 상기 분할절연층(22)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 노광시키는 제2노광단계(S323)를 더 포함할 수 있다. 이에 따라 상기 제2식각단계(S321)는 레이저 또는 식각액 중 어느 하나를 이용할 수 있다.

상기 제2표면처리단계(S325)는 접착력 강화를 위해 상기 분할코일홀(221)이 관통 형성된 코일절연부재(20a)를 표면 처리한다. 이에 따라 상기 분할코일홀(221)에서 상기 분할코일(70)과 상기 제2코일접속부(73)를 안정되게 고정시킬 수 있다.

상기 제2전극형성단계(S326)는 상기 분할코일홀(221)에 상기 분할코일(70)과 상기 제2코일접속부(73)를 형성한다. 상기 제2전극형성단계(S326)는 상기 분할코일홀(221)에 상기 분할코일(70)과 상기 제2코일접속부(73)의 재료가 되는 분할시드부재(70b)를 도포하는 제2시드도포단계(S327)와, 상기 제2시드도포단계(S327)를 거친 상기 분할시드부재(70b)를 성장시켜 분할코일부재(70a)를 형성하는 제2시드성장단계(S328)와, 상기 분할절연층(22)의 상부가 노출되도록 상기 제2시드성장단계(S328)를 거쳐 형성된 분할코일부재(70a)의 상부를 제거하여 상기 분할코일(70)과 상기 제2코일접속부(73)를 형성하는 제2표면제거단계(S329)를 포함한다.

상기 제2시드성장단계(S328)에서는 도금을 위한 정방향 전류와 도금을 위한 역방향 전류를 순차적으로 1회 이상 조합하여 전류를 인가하는 전류인가방식(전류의 조합시 각 순차적인 전류 인가마다 전류밀도는 달라질 수 있음)을 사용할 수 있다. 또한, 상기 제2시드성장단계(S328)에서는 도금억제제를 사용하는 방식을 사용할 수 있다. 또한, 상기 제2시드성장단계(S328)에서는 도금촉진제를 사용하는 방식을 사용할 수 있다.

상기 제2표면제거단계(S329)에서는 최상부를 세정하여 상기 마감절연층(40)을 형성하기 위한 마감절연부재(40a)를 안정되게 고정시킬 수 있다.

2회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)는 상기 분할절연층(22)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 마감절연층(40)을 형성하기 위한 마감절연부재(40a)를 적층한다. 2회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)는 상기 제2전극형성단계(S326)를 마친 다음, 상기 분할절연층(22)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 마감절연층(40)을 형성하기 위한 마감절연부재(40a)를 도포한다. 여기서, 마감절연부재(40a)는 상기 분할코일(70)과 상기 제2코일접속부(73)가 노출되는 것을 방지할 수 있다.

2회차로 실시되는 코일간접속단계(S33)는 상기 마감절연층(40)을 형성하기 위한 마감절연부재(40a)에 상기 구동전극(80)을 형성하는 것으로, 2회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)를 거쳐 도포되는 마감절연부재(40a)에 상기 제1구동비아홀(41)과 상기 제2구동비아홀(42)을 관통 형성하는 비아형성단계(S331)와, 상기 비아형성단계(S331)를 거쳐 형성된 상기 제1구동비아홀(41)과 상기 제2구동비아홀(42)에 각각 상기 제1구동전극(81)과 상기 제2구동전극(82)을 형성하는 연결전극형성단계(S332)를 포함한다. 여기서, 상기 비아형성단계(S331)는 레이저 또는 식각액 중 어느 하나를 이용할 수 있다.

상기 구동코일형성단계(S3)를 실시한 다음에는, 상기 반복마감단계(S11)의 선택에 따라 작업순서가 종료되면, 상기 형상재단단계(S4) 또는 상기 베이스분리단계(S8)를 실시하고, 상기 반복마감단계(S11)의 선택에 따라 작업순서가 종료되지 않으면, 상기 구동코일형성단계(S3)로 복귀하여 작업순서에 대응되는 세부 단계를 진행하게 된다.

도 2와 도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛은 바닥을 형성하는 바닥층(10)과, 상기 바닥층(10)에 적층되는 절연층과, 상호 이격 적층된 상태로 접속되어 절연층에 내장되는 구동코일(50)을 포함한다.

여기서, 본 발명의 제2실시예에 따른 절연층은 상기 바닥층(10)에 적층되는 전면절연층(21)과, 상기 전면절연층(21)에 적층되는 제1층간절연층(31)과, 상기 제1층간절연층(31)에 적층되는 제1분할절연층(24)과, 상기 제1분할절연층(24)에 적층되는 제2층간절연층(32)과, 상기 제2층간절연층(32)에 적층되는 제2분할절연층(26)과, 상기 제2분할절연층(26)에 적층되는 마감절연층(40)을 포함한다. 여기서, 상기 전면절연층(21)과 상기 제1분할절연층(24)과 상기 제2분할절연층(26)은 코일절연층(20)을 형성한다.

또한, 본 발명의 제2실시예에 따른 구동코일(50)은 상기 전면절연층(21)에 삽입되고, 전면중심영역(601)으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 전면코일(60)과, 상기 제1분할절연층(24)에 한 쌍이 상호 이격된 상태로 삽입되고, 각각의 제1분할중심영역(711)으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제1분할코일(71)과, 한 쌍의 상기 제1분할코일(71)에 대응하도록 상기 제2분할절연층(26)에 한 쌍이 상호 이격된 상태로 삽입되고, 각각의 제2분할중심영역(721)으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제2분할코일(72)을 포함하는 분할코일(70)과, 상기 제1층간절연층(31)과 상기 제2층간절연층(32)에 각각 삽입되고, 상기 전면코일(60)과 한 쌍의 상기 제1분할코일(71)과 한 쌍의 상기 제2분할코일(72)을 상호 연결하는 연결전극(90) 및 상기 마감절연층(40)에 삽입되고, 한 쌍의 상기 제2분할코일(72)에 각각 연결되는 구동전극(80)을 포함한다. 여기서, 상기 구동전극(80)은 각각 상기 마감절연층(40) 상에서 노출되어 전원이 인가되도록 한다.

여기서, 상기 전면절연층(21)에는 상기 전면코일(60)이 삽입 지지되는 전면코일홀(211)이 관통 형성된다. 또한, 상기 제1층간절연층(31)에는 상기 연결전극(90)이 삽입 지지되는 2개의 제1층간비아홀(31a)이 각각 관통 형성된다. 또한, 상기 제2층간절연층(32)에는 상기 연결전극(90)이 삽입 지지되는 2개의 제2층간비아홀(32a)이 각각 관통 형성된다. 또한, 상기 제1분할절연층(24)에는 상기 제1분할코일(71)이 삽입 지지되는 분할코일홀(221)이 관통 형성된다. 또한, 상기 제2분할절연층(26)에도 상기 제2분할코일(72)이 삽입 지지되는 분할코일홀(221)이 관통 형성된다. 또한, 상기 마감절연층(40)에는 상기 구동전극(80)이 삽입 지지되는 제1구동비아홀(41)과 제2구동비아홀(42)이 각각 관통 형성된다.

이때, 상기 연결전극(90)은 상기 제1층간비아홀(31a) 중 어느 하나에 삽입 지지되어 상기 전면코일(60)의 일단부와 한 쌍의 상기 제1분할코일(71) 중 어느 하나의 일단부를 연결하는 제1연결전극(91)과, 상기 제1층간비아홀(31a) 중 다른 하나에 삽입 지지되어 상기 전면코일(60)의 타단부와 한 쌍의 상기 제1분할코일(71) 중 다른 하나의 일단부를 연결하는 제2연결전극(92)과, 상기 제2층간비아홀(32a) 중 어느 하나에 삽입 지지되어 한 쌍의 상기 제1분할코일(71) 중 어느 하나의 타단부와 한 쌍의 상기 제2분할코일(72) 중 어느 하나의 일단부를 연결하는 제3연결전극(93)과, 상기 제2층간비아홀(32a) 중 다른 하나에 삽입 지지되어 한 쌍의 상기 제1분할코일(71) 중 다른 하나의 타단부와 한 쌍의 상기 제2분할코일(72) 중 다른 하나의 일단부를 연결하는 제4연결전극(94)을 포함한다.

또한, 상기 구동전극(80)은 상기 제1구동비아홀(41)에 삽입 지지되어 한 쌍의 상기 제2분할코일(72) 중 어느 하나의 타단부에 연결되는 제1구동전극(81)과, 한 쌍의 제2분할코일(72) 중 다른 하나의 타단부에 연결되는 제2구동전극(82)을 포함한다. 상기 제1구동전극(81)과 상기 제2구동전극(82)은 각각 상기 마감절연층(40)에서 노출된다.

이에 따라 상기 전면코일(60)과 상기 제1분할코일(71)과 상기 제2분할코일(72)은 상기 연결전극(90)과 상기 구동전극(80)을 통해 직렬로 연결될 수 있다.

본 발명의 제2실시예에서 한 쌍의 상기 제1분할코일(71)의 나선 방향은 서로 반대로 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 한 쌍의 상기 제1분할코일(71)의 나선 방향은 서로 동일하게 형성될 수 있다.

또한, 한 쌍의 상기 제2분할코일(72)의 나선 방향은 서로 반대로 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 한 쌍의 상기 제2분할코일(72)의 나선 방향은 서로 동일하게 형성될 수 있다.

또한, 높이 방향으로 대응되는 상기 제1분할코일(71)의 나선 방향과 상기 제2분할코일(72)의 나선 방향은 반대로 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 높이 방향으로 대응되는 상기 제1분할코일(71)의 나선 방향과 상기 제2분할코일(72)의 나선 방향은 서로 동일하게 형성될 수 있다.

또한, 상기 전면코일(60)의 나선 방향은 한 쌍의 상기 제1분할코일(71)과 한 쌍의 제2분할코일(72) 중 어느 하나의 나선 방향과 동일하게 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 전면코일(60)의 나선 방향은 한 쌍의 상기 제1분할코일(71)과 한 쌍의 제2분할코일(72) 중 어느 하나의 나선 방향과 반대로 형성될 수 있다.

본 발명의 제2실시예에 따라 나선 방향을 조합하여 다양한 형태로 나선 방향을 변경할 수 있다. 그러면, 전자기력에 의한 자속이 증폭 또는 상쇄됨으로써, 후술하는 홀센서의 중심에서 후술하는 영구자석(130)의 위치 변화에 따른 자속의 감도를 향상시킬 수 있다.

본 발명의 제2실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법을 살펴보면, 본 발명의 제2실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법은 베이스(B)에 상기 바닥층(10)을 형성하기 위한 바닥부재(10a)가 도포되는 바닥형성단계(S1)와, 접착력 강화를 위해 상기 바닥형성단계(S1)를 거친 상기 바닥부재(10a)를 표면 처리하는 바닥표면처리단계(S2)와, 상기 바닥부재(10a)에 절연층을 형성하기 위한 절연부재를 적층한 상태에서 상기 절연부재에 전면코일(60)과 한 쌍이 상호 이격된 상태로 상기 전면코일(60)에 이격 적층되는 분할코일(70)을 포함하는 구동코일(50)을 상기 절연부재에 내장시키는 구동코일형성단계(S3)와, 상기 구동코일(50)에 대응하여 상기 바닥부재(10a)와 상기 절연부재를 재단하는 형상재단단계(S4)를 포함하고, 상기 구동코일형성단계(S3)에 앞서, 상기 구동코일(50)에 대응하여 상기 구동코일형성단계(S3)의 작업순서를 결정하는 반복제어단계(S10)와, 상기 반복제어단계(S10)에 따른 작업순서의 종료 여부를 선택하는 반복마감단계(S11)를 더 포함한다. 여기서, 상기 바닥표면처리단계(S2)는 상기 바닥부재(10a)를 산소 플라즈마 영역에서 표면 처리할 수 있다.

또한, 본 발명의 제2실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법은 상기 바닥부재(10a)가 적층되는 베이스(B)를 정위치시키는 베이스준비단계(S6)와, 상기 바닥부재(10a)의 접착력을 강화하기 위해 상기 베이스(B)를 표면 처리하는 베이스표면처리단계(S7)를 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 베이스표면처리단계(S7)는 상기 베이스(B)를 육플루오린화황(SF6) 플라즈마 영역에서 표면 처리할 수 있다.

또한, 본 발명의 제2실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법은 상기 형상재단단계(S4)와 상기 반복마감단계(S11) 사이에서 상기 베이스(B)를 상기 바닥부재(10a)로부터 분리하는 베이스분리단계(S8)를 더 포함함으로써, 완성된 손떨림 보정코일유닛의 부피를 감소시키고, 상기 형상재단단계(S4)에서 상기 베이스(B)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 제2실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법은 상기 바닥부재(10a)로부터 분리된 상기 베이스(B)를 표면 처리하는 베이스세정단계(S9)를 더 포함할 수 있다. 상기 베이스분리단계(S8) 또는 상기 베이스세정단계(S9)를 거침에 따라 상기 베이스준비단계(S6)에서 상기 베이스(B)를 재사용할 수 있다. 여기서, 상기 베이스세정단계(S9)는 상기 베이스(B)를 육플루오린화황(SF6) 플라즈마 영역에서 표면 처리할 수 있다.

또한, 본 발명의 제2실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법은 상기 형상재단단계(S4)를 거쳐 재단에 의해 완성된 상기 손떨림 보정코일유닛을 포장하는 포장단계(S5)를 더 포함할 수 있다.

여기서, 상기 구동코일형성단계(S3)는 본 발명의 제2실시예에 따라 절연부재 내부에 상기 구동코일(50)을 형성할 수 있다. 이에 따라. 상기 구동코일(50)은 상술한 바와 같이 상기 전면중심영역(601)으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 전면코일(60)과, 한 쌍이 분할된 상태로 상기 전면코일(60)에 이격 적층되되 각각의 상기 제1분할중심영역(711)으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제1분할코일(71)과, 한 쌍의 상기 제1분할코일(71)에 대응하도록 한 쌍이 분할된 상태로 상기 제1분할코일(71)에 이격 적층되되 각각의 상기 제2분할중심영역(721)으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제2분할코일(72)과, 상기 전면코일(60)과 상기 제1분할코일(71)과 상기 제2분할코일(72)을 상호 연결하는 연결전극(90)과, 한 쌍의 상기 제2분할코일(72)에 각각 연결되는 구동전극(80)을 포함하게 된다.

그러면, 상기 반복제어단계(S10)는 1회의 전면코일형성단계(S31)와, 2회의 분할코일형성단계(S32)와, 3회의 절연층형성단계(S34)와, 3회의 코일간접속단계(S33)에 대한 작업순서를 결정한다. 좀더 자세하게는, 상기 반복제어단계(S10)의 작업순서 결정에 따라 상기 구동코일형성단계(S3)는 전면코일형성단계(S31)와, 1회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)와, 1회차로 실시되는 코일간접속단계(S33)와, 1회차로 실시되는 분할코일형성단계(S32)와, 2회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)와, 2회차로 실시되는 코일간접속단계(S33)와, 2회차로 실시되는 분할코일형성단계(S32)와, 3회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)와, 3회차로 실시되는 코일간접속단계(S33)를 순차적으로 진행하게 된다.

상기 전면코일형성단계(S31)는 상기 바닥부재(10a)에 상기 전면절연층(21)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 적층한 상태에서 전면절연층(21)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 전면코일(60)을 내장시킨다. 상기 전면코일형성단계(S31)는 제1식각단계(S311)와, 제1표면처리단계(S315)와, 제1전극형성단계(S316)를 순차적으로 실시한다.

상기 제1식각단계(S311)는 상기 바닥부재(10a)에 상기 전면절연층(21)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 도포하는 제1도포단계(S312)와, 상기 전면코일(60)이 삽입되도록 상기 전면절연층(21)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)의 일부 제거하여 상기 전면코일(60)이 삽입되는 전면코일홀(211)을 관통 형성하는 제1현상단계(S314)를 포함하고, 상기 전면절연층(21)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 제1마스크(M1)를 적층하고 상기 전면절연층(21)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 노광시키는 제1노광단계(S313)를 더 포함할 수 있다. 이에 따라 상기 제1식각단계(S311)는 레이저 또는 식각액 중 어느 하나를 이용할 수 있다.

상기 제1전극형성단계(S316)는 상기 전면코일홀(211)에 상기 전면코일(60)을 형성한다. 상기 제1전극형성단계(S316)는 상기 전면코일홀(211)에 상기 전면코일(60)의 재료가 되는 전면시드부재(60b)를 도포하는 제1시드도포단계(S317)와, 상기 제1시드도포단계(S317)를 거친 상기 전면시드부재(60b)를 성장시켜 전면코일부재(60a)를 형성하는 제1시드성장단계(S318)와, 상기 전면절연층(21)의 상부가 노출되도록 상기 제1시드성장단계(S318)를 거쳐 형성된 전면코일부재(60a)의 상부를 제거하여 상기 전면코일(60)을 형성하는 제1표면제거단계(S319)를 포함한다.

상기 제1표면제거단계(S319)에서는 최상부를 세정하여 상기 제1층간절연층(31)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)를 안정되게 고정시킬 수 있다.

1회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)는 상기 전면절연층(21)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 제1층간절연층(31)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)를 적층한다. 1회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)는 상기 제1전극형성단계(S316)를 마친 다음, 상기 전면절연층(21)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 제1층간절연층(31)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)를 도포한다. 여기서, 층간절연부재(30a)는 상기 전면절연층(21)에 내장되는 상기 전면코일(60)이 상기 제1분할절연층(24)에 내장되는 상기 제1분할코일(71)에서 절연되도록 한다.

1회차로 실시되는 코일간접속단계(S33)는 상기 제1층간절연층(31)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)에 상기 연결전극(90)을 형성하는 것으로, 1회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)를 거쳐 도포되는 층간절연부재(30a)에 2개의 상기 제1층간비아홀(31a)을 관통 형성하는 비아형성단계(S331)와, 상기 비아형성단계(S331)를 거쳐 형성된 2개의 상기 제1층간비아홀(31a)에 각각 상기 제1연결전극(91)과 상기 제2연결전극(92)을 형성하는 연결전극형성단계(S332)를 포함한다. 여기서, 상기 비아형성단계(S331)는 레이저 또는 식각액 중 어느 하나를 이용할 수 있다.

1회차로 실시되는 분할코일형성단계(S32)는 상기 제1층간절연층(31)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)에 상기 제1분할절연층(24)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 이격 적층한 상태에서 제1분할절연층(24)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 한 쌍의 상기 제1분할코일(71)을 내장시킨다. 1회차로 실시되는 분할코일형성단계(S32)는 제2식각단계(S321)와, 제2표면처리단계(S325)와, 제2전극형성단계(S326)를 순차적으로 실시한다.

1회차로 실시되는 제2식각단계(S321)는 상기 제1층간절연층(31)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)에 상기 제1분할절연층(24)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 도포하는 제2도포단계(S322)와, 상기 제1분할코일(71)이 삽입되도록 상기 제1분할절연층(24)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)의 일부 제거하여 상기 제1분할코일(71)이 삽입되는 분할코일홀(221)을 관통 형성하는 제2현상단계(S324)를 포함하고, 상기 제1분할절연층(24)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 제2마스크(M2)를 적층하고 상기 제1분할절연층(24)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 노광시키는 제2노광단계(S323)를 더 포함할 수 있다. 이에 따라 1회차로 실시되는 제2식각단계(S321)는 레이저 또는 식각액 중 어느 하나를 이용할 수 있다.

1회차로 실시되는 제2표면처리단계(S325)는 접착력 강화를 위해 1회차로 실시되는 제2식각단계(S321)를 거쳐 형성된 상기 분할코일홀(221)이 관통 형성된 코일절연부재(20a)를 표면 처리한다. 이에 따라 상기 분할코일홀(221)에서 상기 제1분할코일(71)을 안정되게 고정시킬 수 있다.

1회차로 실시되는 제2전극형성단계(S326)는 상기 분할코일홀(221)에 상기 제1분할코일(71)을 형성한다. 1회차로 실시되는 제2전극형성단계(S326)는 상기 분할코일홀(221)에 상기 제1분할코일(71)의 재료가 되는 분할시드부재(70b)를 도포하는 제2시드도포단계(S327)와, 상기 제2시드도포단계(S327)를 거친 상기 분할시드부재(70b)를 성장시켜 분할코일부재(70a)를 형성하는 제2시드성장단계(S328)와, 상기 제1분할절연층(24)의 상부가 노출되도록 상기 제2시드성장단계(S328)를 거쳐 형성된 분할코일부재(70a)의 상부를 제거하여 상기 제1분할코일(71)을 형성하는 제2표면제거단계(S329)를 포함한다.

1회차로 실시되는 제2시드성장단계(S328)에서는 도금을 위한 정방향 전류와 도금을 위한 역방향 전류를 순차적으로 1회 이상 조합하여 전류를 인가하는 전류인가방식(전류의 조합시 각 순차적인 전류 인가마다 전류밀도는 달라질 수 있음)을 사용할 수 있다. 또한, 1회차로 실시되는 제2시드성장단계(S328)에서는 도금억제제를 사용하는 방식을 사용할 수 있다. 또한, 1회차로 실시되는 제2시드성장단계(S328)에서는 도금촉진제를 사용하는 방식을 사용할 수 있다.

1회차로 실시되는 제2표면제거단계(S329)에서는 최상부를 세정하여 상기 제2층간절연층(32)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)를 안정되게 고정시킬 수 있다.

2회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)는 상기 제1분할절연층(24)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 제2층간절연층(32)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)를 적층한다. 2회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)는 1회차로 실시되는 제2전극형성단계(S326)를 마친 다음, 상기 제1분할절연층(24)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 제2층간절연층(32)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)를 도포한다. 여기서, 층간절연부재(30a)는 상기 제1분할절연층(24)에 내장되는 상기 제1분할코일(71)이 상기 제2분할절연층(26)에 내장되는 상기 제2분할코일(72)에서 절연되도록 한다.

2회차로 실시되는 코일간접속단계(S33)는 상기 제2층간절연층(32)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)에 상기 연결전극(90)을 형성하는 것으로, 2회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)를 거쳐 도포되는 층간절연부재(30a)에 2개의 상기 제2층간비아홀(32a)을 관통 형성하는 비아형성단계(S331)와, 상기 비아형성단계(S331)를 거쳐 형성된 2개의 상기 제2층간비아홀(32a)에 각각 상기 제3연결전극(93)과 상기 제4연결전극(94)을 형성하는 연결전극형성단계(S332)를 포함한다. 여기서, 상기 비아형성단계(S331)는 레이저 또는 식각액 중 어느 하나를 이용할 수 있다.

2회차로 실시되는 분할코일형성단계(S32)는 상기 제2층간절연층(32)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)에 상기 제2분할절연층(26)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 적층한 상태에서 제2분할절연층(26)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 한 쌍의 상기 제2분할코일(72)을 내장시킨다. 2회차로 실시되는 분할코일형성단계(S32)는 제2식각단계(S321)와, 제2표면처리단계(S325)와, 제2전극형성단계(S326)를 순차적으로 실시한다.

2회차로 실시되는 제2식각단계(S321)는 상기 제2층간절연층(32)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)에 상기 제2분할절연층(26)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 도포하는 제2도포단계(S322)와, 상기 제2분할코일(72)이 삽입되도록 상기 제2분할절연층(26)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)의 일부 제거하여 상기 제2분할코일(72)이 삽입되는 분할코일홀(221)을 관통 형성하는 제2현상단계(S324)를 포함하고, 상기 제2분할절연층(26)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 제2마스크(M2)를 적층하고 상기 제2분할절연층(26)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 노광시키는 제2노광단계(S323)를 더 포함할 수 있다. 이에 따라 2회차로 실시되는 상기 제2식각단계(S321)는 레이저 또는 식각액 중 어느 하나를 이용할 수 있다.

2회차로 실시되는 제2표면처리단계(S325)는 접착력을 강화하기 위해 2회차로 실시되는 제2식각단계(S321)를 거쳐 형성된 상기 분할코일홀(221)이 관통 형성된 코일절연부재(20a)를 표면 처리한다. 이에 따라 상기 분할코일홀(221)에서 상기 제2분할코일(72)을 안정되게 고정시킬 수 있다.

2회차로 실시되는 제2전극형성단계(S326)는 상기 분할코일홀(221)에 상기 제2분할코일(72)을 형성한다. 2회차로 실시되는 제2전극형성단계(S326)는 상기 분할코일홀(221)에 상기 제2분할코일(72)의 재료가 되는 분할시드부재(70b)를 도포하는 제2시드도포단계(S327)와, 상기 제2시드도포단계(S327)를 거친 상기 분할시드부재(70b)를 성장시켜 분할코일부재(70a)를 형성하는 제2시드성장단계(S328)와, 상기 제2분할절연층(26)의 상부가 노출되도록 상기 제2시드성장단계(S328)를 거쳐 형성된 분할코일부재(70a)의 상부를 제거하여 상기 제2분할코일(72)을 형성하는 제2표면제거단계(S329)를 포함한다.

2회차로 실시되는 상기 제2시드성장단계(S328)에서는 도금을 위한 정방향 전류와 도금을 위한 역방향 전류를 순차적으로 1회 이상 조합하여 전류를 인가하는 전류인가방식(전류의 조합시 각 순차적인 전류 인가마다 전류밀도는 달라질 수 있음)을 사용할 수 있다. 또한, 2회차로 실시되는 상기 제2시드성장단계(S328)에서는 도금억제제를 사용하는 방식을 사용할 수 있다. 또한, 2회차로 실시되는 상기 제2시드성장단계(S328)에서는 도금촉진제를 사용하는 방식을 사용할 수 있다.

2회차로 실시되는 상기 제2표면제거단계(S329)에서는 최상부를 세정하여 상기 마감절연층(40)을 형성하기 위한 마감절연부재(40a)를 안정되게 고정시킬 수 있다.

3회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)는 상기 제2분할절연층(26)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 마감절연층(40)을 형성하기 위한 마감절연부재(40a)를 적층한다. 3회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)는 2회차로 실시되는 상기 제2전극형성단계(S326)를 마친 다음, 상기 제2분할절연층(26)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 마감절연층(40)을 형성하기 위한 마감절연부재(40a)를 도포한다. 여기서, 마감절연부재(40a)는 상기 제2분할코일(72)이 노출되는 것을 방지할 수 있다.

3회차로 실시되는 코일간접속단계(S33)는 상기 마감절연부재(40a)에 상기 구동전극(80)을 형성하는 것으로, 상기 2회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)를 거쳐 도포되는 마감절연부재(40a)에 상기 제1구동비아홀(41)과 상기 제2구동비아홀(42)을 관통 형성하는 비아형성단계(S331)와, 상기 비아형성단계(S331)를 거쳐 형성된 상기 제1구동비아홀(41)과 상기 제2구동비아홀(42)에 각각 상기 제1구동전극(81)과 상기 제2구동전극(82)을 형성하는 연결전극형성단계(S332)를 포함한다. 여기서, 상기 비아형성단계(S331)는 레이저 또는 식각액 중 어느 하나를 이용할 수 있다.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 제3실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛은 바닥을 형성하는 바닥층(10)과, 상기 바닥층(10)에 적층되는 절연층과, 상호 이격 적층된 상태로 접속되어 절연층에 내장되는 구동코일(50)을 포함한다.

여기서, 본 발명의 제3실시예에 따른 절연층은 상기 바닥층(10)에 적층되는 제1전면절연층(23)과, 상기 제1전면절연층(23)에 적층되는 제1층간절연층(31)과, 상기 제1층간절연층(31)에 적층되는 제2전면절연층(25)과, 상기 제2전면절연층(25)에 적층되는 제2층간절연층(32)과, 상기 제2층간절연층(32)에 적층되는 제1분할절연층(24)과, 상기 제1분할절연층(24)에 적층되는 제3층간절연층(33)과, 상기 제3층간절연층(33)에 적층되는 제2분할절연층(26)과, 상기 제2분할절연층(26)에 적층되는 마감절연층(40)을 포함한다. 여기서, 상기 제1전면절연층(23)과 상기 제2전면절연층(25)과 상기 제1분할절연층(24)과 상기 제2분할절연층(26)은 코일절연층(20)을 형성한다.

또한, 본 발명의 제3실시예에 따른 구동코일(50)은 상기 제1전면절연층(23)에 삽입되고, 제1전면중심영역(611)으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제1전면코일(61)과, 상기 제2전면절연층(25)에 삽입되고, 제2전면중심영역(621)으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제2전면코일(62)을 포함하는 전면코일(60)과, 상기 제1분할절연층(24)에 한 쌍이 상호 이격된 상태로 삽입되고, 각각의 제1분할중심영역(711)으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제1분할코일(71)과, 한 쌍의 상기 제1분할코일(71)에 대응하도록 상기 제2분할절연층(26)에 한 쌍이 상호 이격된 상태로 삽입되고, 각각의 제2분할중심영역(721)으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제2분할코일(72)을 포함하는 분할코일(70)과, 상기 제2전면절연층(25)에 삽입되고, 상기 제2전면코일(62)의 가장자리에 형성되는 관통전극(95)과, 상기 제1층간절연층(31)과 상기 제2층간절연층(32)과 상기 제3층간절연층(33)에 각각 삽입되고, 상기 제1전면코일(61)과 상기 제2전면코일(62)과 상기 관통전극(95)과 한 쌍의 상기 제1분할코일(71)과 한 쌍의 상기 제2분할코일(72)을 상호 연결하는 연결전극(90) 및 상기 마감절연층(40)에 삽입되고, 한 쌍의 상기 제2분할코일(72)에 각각 연결되는 구동전극(80)을 포함한다. 여기서, 상기 구동전극(80)은 각각 상기 마감절연층(40) 상에서 노출되어 전원이 인가되도록 한다.

여기서, 상기 제1전면절연층(23)에는 상기 제1전면코일(61)이 삽입 지지되는 전면코일홀(211)이 관통 형성된다. 또한, 상기 제2전면절연층(25)에도 상기 제2전면코일(62)과 상기 관통전극(95)이 삽입 지지되는 전면코일홀(211)과 관통비아홀(30b)이 관통 형성된다. 또한, 상기 제1층간절연층(31)에는 상기 연결전극(90)이 삽입 지지되는 2개의 제1층간비아홀(31a)이 각각 관통 형성된다. 또한, 상기 제2층간절연층(32)에는 상기 연결전극(90)이 삽입 지지되는 2개의 제2층간비아홀(32a)이 각각 관통 형성된다. 또한, 상기 제3층간절연층(33)에는 상기 연결전극(90)이 삽입 지지되는 2개의 제3층간비아홀(33a)이 각각 관통 형성된다. 또한, 상기 제1분할절연층(24)에는 상기 제1분할코일(71)이 삽입 지지되는 분할코일홀(221)이 관통 형성된다. 또한, 상기 제2분할절연층(26)에도 상기 제2분할코일(72)이 삽입 지지되는 분할코일홀(221)이 관통 형성된다. 또한, 상기 마감절연층(40)에는 상기 구동전극(80)이 삽입 지지되는 제1구동비아홀(41)과 제2구동비아홀(42)이 각각 관통 형성된다.

이때, 상기 연결전극(90)은 상기 제1층간비아홀(31a) 중 어느 하나와 상기 제2층간비아홀(32a) 중 어느 하나에 삽입 지지되어 상기 관통전극(95)을 매개로 상기 제1전면코일(61)의 일단부와 한 쌍의 상기 제1분할코일(71) 중 어느 하나의 일단부를 연결하는 제1연결전극(91)과, 상기 제1층간비아홀(31a) 중 다른 하나에 삽입 지지되어 상기 제1전면코일(61)의 타단부와 상기 제2전면코일(62)의 일단부를 연결하는 제6연결전극(96)과, 상기 제2층간비아홀(32a) 중 다른 하나에 삽입 지지되어 상기 제2전면코일(62)의 타단부와 한 쌍의 상기 제1분할코일(71) 중 다른 하나의 일단부를 연결하는 제2연결전극(92)과, 상기 제3층간비아홀(33a) 중 어느 하나에 삽입 지지되어 한 쌍의 상기 제1분할코일(71) 중 어느 하나의 타단부와 한 쌍의 상기 제2분할코일(72) 중 어느 하나의 일단부를 연결하는 제3연결전극(93)과, 상기 제3층간비아홀(33a) 중 다른 하나에 삽입 지지되어 한 쌍의 상기 제1분할코일(71) 중 다른 하나의 타단부와 한 쌍의 상기 제2분할코일(72) 중 다른 하나의 일단부를 연결하는 제4연결전극(94)을 포함한다.

이에 따라 상기 제1전면코일(61)과 상기 제2전면코일(62)과 상기 제1분할코일(71)과 상기 제2분할코일(72)은 상기 관통전극(95)과 상기 연결전극(90)과 상기 구동전극(80)을 통해 직렬로 연결될 수 있다.

본 발명의 제3실시예에서 한 쌍의 상기 제1분할코일(71)의 나선 방향은 서로 반대로 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 한 쌍의 상기 제1분할코일(71)의 나선 방향은 서로 동일하게 형성될 수 있다.

또한, 상기 제1전면코일(61) 또는 상기 제2전면코일(62)의 나선 방향은 한 쌍의 상기 제1분할코일(71)과 한 쌍의 제2분할코일(72) 중 어느 하나의 나선 방향과 동일하게 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1전면코일(61) 또는 상기 제2전면코일(62)의 나선 방향은 한 쌍의 상기 제1분할코일(71)과 한 쌍의 제2분할코일(72) 중 어느 하나의 나선 방향과 반대로 형성될 수 있다.

또한, 상기 제1전면코일(61)의 나선 방향은 상기 제2전면코일(62)의 나선 방향과 반대로 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1전면코일(61)의 나선 방향은 상기 제2전면코일(62)의 나선 방향과 서로 동일하게 형성될 수 있다.

본 발명의 제3실시예에 따라 나선 방향을 조합하여 다양한 형태로 나선 방향을 변경할 수 있다. 그러면, 전자기력에 의한 자속이 증폭 또는 상쇄됨으로써, 후술하는 홀센서의 중심에서 후술하는 영구자석(130)의 위치 변화에 따른 자속의 감도를 향상시킬 수 있다.

본 발명의 제3실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법을 살펴보면, 본 발명의 제3실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법은 베이스(B)에 상기 바닥층(10)을 형성하기 위한 바닥부재(10a)가 도포되는 바닥형성단계(S1)와, 접착력 강화를 위해 상기 바닥형성단계(S1)를 거친 상기 바닥부재(10a)를 표면 처리하는 바닥표면처리단계(S2)와, 상기 바닥부재(10a)에 절연층을 형성하기 위한 절연부재를 적층한 상태에서 상기 절연부재에 전면코일(60)과 한 쌍이 상호 이격된 상태로 상기 전면코일(60)에 이격 적층되는 분할코일(70)을 포함하는 구동코일(50)을 상기 절연부재에 내장시키는 구동코일형성단계(S3)와, 상기 구동코일(50)에 대응하여 상기 바닥부재(10a)와 상기 절연부재를 재단하는 형상재단단계(S4)를 포함하고, 상기 구동코일형성단계(S3)에 앞서, 상기 구동코일(50)에 대응하여 상기 구동코일형성단계(S3)의 작업순서를 결정하는 반복제어단계(S10)와, 상기 반복제어단계(S10)에 따른 작업순서의 종료 여부를 선택하는 반복마감단계(S11)를 더 포함한다. 여기서, 상기 바닥표면처리단계(S2)는 상기 바닥부재(10a)를 산소 플라즈마 영역에서 표면 처리할 수 있다.

또한, 본 발명의 제3실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법은 상기 바닥부재(10a)가 적층되는 베이스(B)를 정위치시키는 베이스준비단계(S6)와, 상기 바닥부재(10a)의 접착력을 강화하기 위해 상기 베이스(B)를 표면 처리하는 베이스표면처리단계(S7)를 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 베이스표면처리단계(S7)는 상기 베이스(B)를 육플루오린화황(SF6) 플라즈마 영역에서 표면 처리할 수 있다.

또한, 본 발명의 제3실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법은 상기 형상재단단계(S4)와 상기 반복마감단계(S11) 사이에서 상기 베이스(B)를 상기 바닥부재(10a)로부터 분리하는 베이스분리단계(S8)를 더 포함함으로써, 완성된 손떨림 보정코일유닛의 부피를 감소시키고, 상기 형상재단단계(S4)에서 상기 베이스(B)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 제3실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법은 상기 바닥부재(10a)로부터 분리된 상기 베이스(B)를 표면 처리하는 베이스세정단계(S9)를 더 포함할 수 있다. 상기 베이스분리단계(S8) 또는 상기 베이스세정단계(S9)를 거침에 따라 상기 베이스준비단계(S6)에서 상기 베이스(B)를 재사용할 수 있다. 여기서, 상기 베이스세정단계(S9)는 상기 베이스(B)를 육플루오린화황(SF6) 플라즈마 영역에서 표면 처리할 수 있다.

또한, 본 발명의 제3실시예에 따른 손떨림 보정코일유닛의 제조방법은 상기 형상재단단계(S4)를 거쳐 재단에 의해 완성된 상기 손떨림 보정코일유닛을 포장하는 포장단계(S5)를 더 포함할 수 있다.

여기서, 상기 구동코일형성단계(S3)는 본 발명의 제3실시예에 따라 절연부재 내부에 상기 구동코일(50)을 형성할 수 있다. 이에 따라. 상기 구동코일(50)은 상술한 바와 같이 상기 제1전면중심영역(611)으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제1전면코일(61)과, 상기 제1전면코일(61)에 이격 적층되되 제2전면중심영역(621)으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제2전면코일(62)과, 한 쌍이 분할된 상태로 상기 제2전면코일(62)에 이격 적층되되 각각의 제1분할중심영역(711)으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제1분할코일(71)과, 한 쌍의 상기 제1분할코일(71)에 대응하도록 한 쌍이 분할된 상태로 상기 제1분할코일(71)에 이격 적층되되 각각의 제2분할중심영역(721)으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제2분할코일(72)과, 상기 제2전면코일(62)의 가장자리에 형성되는 관통전극(95)과, 상기 제1전면코일(61)과 상기 제2전면코일(62)과 상기 관통전극(95)과 한 쌍의 상기 제1분할코일(71)과 한 쌍의 상기 제2분할코일(72)을 상호 연결하는 연결전극(90)과, 한 쌍의 상기 제2분할코일(72)에 각각 연결되는 구동전극(80)을 포함하게 된다.

그러면, 상기 반복제어단계(S10)는 2회의 전면코일형성단계(S31)와, 2회의 분할코일형성단계(S32)와, 4회의 절연층형성단계(S34)와, 4회의 코일간접속단계(S33)에 대한 작업순서를 결정한다. 좀더 자세하게는, 상기 반복제어단계(S10)의 작업순서 결정에 따라 상기 구동코일형성단계(S3)는 1회차로 실시되는 전면코일형성단계(S31)와, 1회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)와, 1회차로 실시되는 코일간접속단계(S33)와, 2회차로 실시되는 전면코일형성단계(S31)와, 2회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)와, 2회차로 실시되는 코일간접속단계(S33)와, 1회차로 실시되는 분할코일형성단계(S32)와, 3회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)와, 3회차로 실시되는 코일간접속단계(S33)와, 2회차로 실시되는 분할코일형성단계(S32)와, 4회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)와, 4회차로 실시되는 코일간접속단계(S33)를 순차적으로 진행하게 된다.

1회차로 실시되는 전면코일형성단계(S31)는 상기 바닥부재(10a)에 상기 제1전면절연층(23)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 적층한 상태에서 제1전면절연층(23)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 제1전면코일(61)을 내장시킨다. 1회차로 실시되는 전면코일형성단계(S31)는 제1식각단계(S311)와, 제1표면처리단계(S315)와, 제1전극형성단계(S316)를 순차적으로 실시한다.

1회차로 실시되는 제1식각단계(S311)는 상기 바닥부재(10a)에 상기 제1전면절연층(23)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 도포하는 제1도포단계(S312)와, 상기 제1전면코일(61)이 삽입되도록 상기 제1전면절연층(23)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)의 일부 제거하여 상기 제1전면코일(61)이 삽입되는 전면코일홀(211)을 관통 형성하는 제1현상단계(S314)를 포함하고, 상기 제1전면절연층(23)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 제1마스크(M1)를 적층하고 상기 제1전면절연층(23)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 노광시키는 제1노광단계(S313)를 더 포함할 수 있다. 이에 따라 1회차로 실시되는 제1식각단계(S311)는 레이저 또는 식각액 중 어느 하나를 이용할 수 있다.

1회차로 실시되는 제1표면처리단계(S315)는 접착력 강화를 위해 1회차로 실시되는 제1식각단계(S311)를 거쳐 형성된 상기 전면코일홀(211)이 관통 형성된 코일절연부재(20a)를 표면처리한다. 상기 제1표면처리단계(S315)는 상기 전면코일홀(211)이 관통 형성된 코일절연부재(20a)를 산소 플라즈마 영역에서 표면 처리할 수 있다. 이에 따라 상기 전면코일홀(211)에서 상기 제1전면코일(61)을 안정되게 고정시킬 수 있다.

1회차로 실시되는 제1전극형성단계(S316)는 상기 전면코일홀(211)에 상기 제1전면코일(61)을 형성한다. 1회차로 실시되는 제1전극형성단계(S316)는 상기 전면코일홀(211)에 상기 제1전면코일(61)의 재료가 되는 전면시드부재(60b)를 도포하는 제1시드도포단계(S317)와, 상기 제1시드도포단계(S317)를 거친 상기 전면시드부재(60b)를 성장시켜 전면코일부재(60a)를 형성하는 제1시드성장단계(S318)와, 상기 제1전면절연층(23)의 상부가 노출되도록 상기 제1시드성장단계(S318)를 거쳐 형성된 전면코일부재(60a)의 상부를 제거하여 상기 제1전면코일(61)을 형성하는 제1표면제거단계(S319)를 포함한다.

1회차로 실시되는 제1시드성장단계(S318)에서는 도금을 위한 정방향 전류와 도금을 위한 역방향 전류를 순차적으로 1회 이상 조합하여 전류를 인가하는 전류인가방식(전류의 조합시 각 순차적인 전류 인가마다 전류밀도는 달라질 수 있음)을 사용할 수 있다. 또한, 1회차로 실시되는 제1시드성장단계(S318)에서는 도금억제제를 사용하는 방식을 사용할 수 있다. 또한, 1회차로 실시되는 제1시드성장단계(S318)에서는 도금촉진제를 사용하는 방식을 사용할 수 있다.

1회차로 실시되는 제1표면제거단계(S319)에서는 최상부를 세정하여 상기 제1층간절연층(31)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)를 안정되게 고정시킬 수 있다.

1회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)는 상기 제1전면절연층(23)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 제1층간절연층(31)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)를 적층한다. 1회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)는 1회차로 실시되는 제1전극형성단계(S316)를 마친 다음, 상기 제1전면절연층(23)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 제1층간절연층(31)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)를 도포한다. 여기서, 층간절연부재(30a)는 상기 제1전면절연층(23)에 내장되는 상기 전면코일(60)이 상기 제2전면절연층(25)에 내장되는 상기 제2전면코일(62)과 상기 관통전극(95)에서 절연되도록 한다.

1회차로 실시되는 코일간접속단계(S33)는 상기 제1층간절연층(31)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)에 상기 연결전극(90)을 형성하는 것으로, 1회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)를 거쳐 도포되는 층간절연부재(30a)에 2개의 상기 제1층간비아홀(31a)을 관통 형성하는 비아형성단계(S331)와, 상기 비아형성단계(S331)를 거쳐 형성된 2개의 상기 제1층간비아홀(31a)에 각각 상기 제1연결전극(91)과 상기 제6연결전극(96)을 형성하는 연결전극형성단계(S332)를 포함한다. 여기서, 상기 비아형성단계(S331)는 레이저 또는 식각액 중 어느 하나를 이용할 수 있다.

2회차로 실시되는 전면코일형성단계(S31)는 상기 제1층간절연층(31)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)에 상기 제2전면절연층(25)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 적층한 상태에서 제2전면절연층(25)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 제2전면코일(62)과 상기 관통전극(95)을 내장시킨다. 2회차로 실시되는 전면코일형성단계(S31)는 제1식각단계(S311)와, 제1표면처리단계(S315)와, 제1전극형성단계(S316)를 순차적으로 실시한다.

2회차로 실시되는 제1식각단계(S311)는 상기 제1층간절연층(31)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)에 상기 제2전면절연층(25)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 도포하는 제1도포단계(S312)와, 상기 제2전면코일(62)과 상기 관통전극(95)이 삽입되도록 상기 제2전면절연층(25)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)의 일부 제거하여 상기 제2전면코일(62)과 상기 관통전극(95)이 삽입되는 전면코일홀(211)과 관통비아홀(30b)을 관통 형성하는 제1현상단계를 포함하고, 상기 제2전면절연층(25)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 제1마스크(M1)를 적층하고 상기 제2전면절연층(25)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 노광시키는 제1노광단계(S313)를 더 포함할 수 있다. 이에 따라 2회차로 실시되는 제1식각단계(S311)는 레이저 또는 식각액 중 어느 하나를 이용할 수 있다.

2회차로 실시되는 제1표면처리단계(S315)는 접착력 강화를 위해 2회차로 실시되는 제1식각단계(S311)를 거쳐 상기 전면코일홀(211)과 상기 관통비아홀(30b)이 관통 형성된 코일절연부재(20a)를 표면 처리한다. 이에 따라 상기 전면코일홀(211)과 상기 관통비아홀(30b)에서 에서 상기 제2전면코일(62)과 상기 관통전극(95)을 안정되게 고정시킬 수 있다.

2회차로 실시되는 제1전극형성단계(S316)는 상기 전면코일홀(211)과 상기 관통비아홀(30b)에 상기 제2전면코일(62)과 상기 관통전극(95)을 형성한다. 2회차로 실시되는 제1전극형성단계(S316)는 상기 전면코일홀(211)과 상기 관통비아홀(30b)에 상기 제2전면코일(62)과 상기 관통전극(95)의 재료가 되는 전면시드부재(60b)를 도포하는 제1시드도포단계(S317)와, 상기 제1시드도포단계(S317)를 거친 상기 전면시드부재(60b)를 성장시켜 전면코일부재(60a)를 형성하는 제1시드성장단계(S318)와, 상기 제2전면절연층(25)의 상부가 노출되도록 상기 제1시드성장단계(S318)를 거쳐 형성된 전면코일부재(60a)의 상부를 제거하여 상기 전면코일(60)과 상기 관통전극(95)을 형성하는 제1표면제거단계(S319)를 포함한다.

2회차로 실시되는 제1시드성장단계(S318)에서는 도금을 위한 정방향 전류와 도금을 위한 역방향 전류를 순차적으로 1회 이상 조합하여 전류를 인가하는 전류인가방식(전류의 조합시 각 순차적인 전류 인가마다 전류밀도는 달라질 수 있음)을 사용할 수 있다. 또한, 2회차로 실시되는 제1시드성장단계(S318)에서는 도금억제제를 사용하는 방식을 사용할 수 있다. 또한, 2회차로 실시되는 제1시드성장단계(S318)에서는 도금촉진제를 사용하는 방식을 사용할 수 있다.

2회차로 실시되는 제1표면제거단계(S319)에서는 최상부를 세정하여 상기 제2층간절연층(32)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)를 안정되게 고정시킬 수 있다.

2회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)는 상기 제2전면절연층(25)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 제2층간절연층(32)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)를 적층한다. 2회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)는 2회차로 실시되는 제1전극형성단계(S316)를 마친 다음, 상기 제2전면절연층(25)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 제2층간절연층(32)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)를 도포한다. 여기서, 층간절연부재(30a)는 상기 제2전면절연층(25)에 내장되는 상기 전면코일(60)과 상기 관통전극(95)이 상기 제1분할절연층(24)에 내장되는 상기 제1분할코일(71)에서 절연되도록 한다.

2회차로 실시되는 코일간접속단계(S33)는 상기 제2층간절연층(32)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)에 상기 연결전극(90)을 형성하는 것으로, 2회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)를 거쳐 도포되는 층간절연부재(30a)에 2개의 상기 제2층간비아홀(32a)을 관통 형성하는 비아형성단계(S331)와, 상기 비아형성단계(S331)를 거쳐 형성된 2개의 제2층간비아홀(32a)에 각각 상기 제1연결전극(91)과 상기 제2연결전극(92)을 형성하는 연결전극형성단계(S332)를 포함한다. 여기서, 상기 비아형성단계(S331)는 레이저 또는 식각액 중 어느 하나를 이용할 수 있다.

1회차로 실시되는 분할코일형성단계(S32)는 상기 제2층간절연층(32)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)에 상기 제1분할절연층(24)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 적층한 상태에서 제1분할절연층(24)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 한 쌍의 상기 제1분할코일(71)을 내장시킨다. 1회차로 실시되는 분할코일형성단계(S32)는 제2식각단계(S321)와, 제2표면처리단계(S325)와, 제2전극형성단계(S326)를 순차적으로 실시한다.

1회차로 실시되는 제2식각단계(S321)는 상기 제2층간절연층(32)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)에 상기 제1분할절연층(24)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 도포하는 제2도포단계(S322)와, 상기 제1분할코일(71)이 삽입되도록 상기 제1분할절연층(24)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)의 일부 제거하여 상기 제1분할코일(71)이 삽입되는 분할코일홀(221)을 관통 형성하는 제2현상단계(S324)를 포함하고, 상기 제1분할절연층(24)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 제2마스크(M2)를 적층하고 상기 제1분할절연층(24)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 노광시키는 제2노광단계(S323)를 더 포함할 수 있다. 이에 따라 1회차로 실시되는 제2식각단계(S321)는 레이저 또는 식각액 중 어느 하나를 이용할 수 있다.

1회차로 실시되는 제2표면처리단계(S325)는 접착력 강화를 위해 1회차로 실시되는 제2식각단계를 거쳐 형성된 상기 분할코일홀(221)이 관통 형성된 코일절연부재(20a)를 표면 처리한다. 이에 따라 상기 분할코일홀(221)에서 상기 제1분할코일(71)을 안정되게 고정시킬 수 있다.

3회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)는 상기 제1분할절연층(24)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 제3층간절연층(33)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)를 적층한다. 3회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)는 1회차로 실시되는 제2전극형성단계(S326)를 마친 다음, 상기 제1분할절연층(24)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 제3층간절연층(33)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)를 도포한다. 여기서, 층간절연부재(30a)는 상기 제1분할절연층(24)에 내장되는 상기 제1분할코일(71)이 상기 제2분할절연층(26)에 내장되는 상기 제2분할코일(72)에서 절연되도록 한다.

3회차로 실시되는 코일간접속단계(S33)는 상기 제3층간절연층(33)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)에 상기 연결전극(90)을 형성하는 것으로, 3회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)를 거쳐 도포되는 층간절연부재(30a)에 2개의 상기 제3층간비아홀(33a)을 관통 형성하는 비아형성단계(S331)와, 상기 비아형성단계(S331)를 거쳐 형성된 2개의 상기 제3층간비아홀(33a)에 각각 상기 제3연결전극(93)과 상기 제4연결전극(94)을 형성하는 연결전극형성단계(S332)를 포함한다. 여기서, 상기 비아형성단계(S331)는 레이저 또는 식각액 중 어느 하나를 이용할 수 있다.

2회차로 실시되는 분할코일형성단계(S32)는 상기 제3층간절연층(33)을 형성하기 위한 층간절연부재(30a)에 상기 제2분할절연층(26)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)를 적층한 상태에서 제2분할절연층(26)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 한 쌍의 상기 제2분할코일(72)을 내장시킨다. 2회차로 실시되는 분할코일형성단계(S32)는 제2식각단계(S321)와, 제2표면처리단계(S325)와, 제2전극형성단계(S326)를 순차적으로 실시한다.

2회차로 실시되는 제2표면처리단계(S325)는 접착력 강화를 위해 2회차로 실시되는 제2식각단계(S321)를 거쳐 형성된 상기 분할코일홀(221)이 관통 형성된 코일절연부재(20a)를 표면 처리한다. 이에 따라 상기 분할코일홀(221)에서 상기 제2분할코일(72)을 안정되게 고정시킬 수 있다.

2회차로 실시되는 제2전극형성단계(S326)는 2회차로 실시되는 제2식각단계(S321)를 거쳐 분할코일홀(221)에 상기 제2분할코일(72)을 형성한다. 상기 제2전극형성단계(S326)는 상기 분할코일홀(221)에 상기 제2분할코일(72)의 재료가 되는 분할시드부재(70b)를 도포하는 제2시드도포단계(S327)와, 상기 제2시드도포단계(S327)를 거친 상기 분할시드부재(70b)를 성장시켜 분할코일부재(70a)를 형성하는 제2시드성장단계(S328)와, 상기 제2분할절연층(26)의 상부가 노출되도록 상기 제2시드성장단계(S328)를 거쳐 형성된 분할코일부재(70a)의 상부를 제거하여 상기 제2분할코일(72)을 형성하는 제2표면제거단계(S329)를 포함한다.

2회차로 실시되는 제2시드성장단계(S328)에서는 도금을 위한 정방향 전류와 도금을 위한 역방향 전류를 순차적으로 1회 이상 조합하여 전류를 인가하는 전류인가방식(전류의 조합시 각 순차적인 전류 인가마다 전류밀도는 달라질 수 있음)을 사용할 수 있다. 또한, 2회차로 실시되는 제2시드성장단계(S328)에서는 도금억제제를 사용하는 방식을 사용할 수 있다. 또한, 2회차로 실시되는 제2시드성장단계(S328)에서는 도금촉진제를 사용하는 방식을 사용할 수 있다.

4회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)는 상기 제2분할절연층(26)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 마감절연층(40)을 형성하기 위한 마감절연부재(40a)를 적층한다. 4회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)는 2차로 실시되는 상기 제2전극형성단계(S326)를 마친 다음, 상기 제2분할절연층(26)을 형성하기 위한 코일절연부재(20a)에 상기 마감절연층(40)을 형성하기 위한 마감절연부재(40a)를 도포한다. 여기서, 마감절연부재(40a)는 상기 제2분할코일(72)이 노출되는 것을 방지할 수 있다.

4회차로 실시되는 코일간접속단계(S33)는 상기 마감절연부재(40a)에 상기 구동전극(80)을 형성하는 것으로, 상기 4회차로 실시되는 절연층형성단계(S34)를 거쳐 도포되는 마감절연부재(40a)에 상기 제1구동비아홀(41)과 상기 제2구동비아홀(42)을 관통 형성하는 비아형성단계(S331)와, 상기 비아형성단계(S331)를 거쳐 형성된 상기 제1구동비아홀(41)과 상기 제2구동비아홀(42)에 각각 상기 제1구동전극(81)과 상기 제2구동전극(82)을 형성하는 연결전극형성단계(S332)를 포함한다. 여기서, 상기 비아형성단계(S331)는 레이저 또는 식각액 중 어느 하나를 이용할 수 있다.

지금부터는 본 발명의 일 실시예에 따른 손떨림 보정용 액츄에이터에 대하여 설명한다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 손떨림 보정용 액츄에이터를 도시한 사시도이고, 도 7은 도 6의 정면도이다.

도 1 내지 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 손떨림 보정용 액츄에이터는 카메라의 떨림에 따라 상기 카메라에 내장된 광학렌즈모듈 또는 이미지센서를 이동시키는 것으로, 상기 광학렌즈모듈 또는 상기 이미지센서가 결합되는 영구자석(130)과, 상기 영구자석(130)의 바닥에 이격 배치되고, 상기 영구자석(130)의 바닥에 평행한 가상의 평면에 대한 상기 영구자석(130)의 수평 이동에 따른 자속의 변화를 감지하는 손떨림홀센서(160)와, 상기 영구자석(130)과 상기 손떨림홀센서(160) 사이에 배치되고, 상기 광학렌즈모듈 또는 상기 이미지센서가 상기 가상의 평면에서 수평 이동되도록 떨림전자기력을 발생시키는 본 발명의 손떨림 보정코일유닛(110)과, 상기 손떨림 보정코일유닛(110)에 전원을 인가하는 손떨림구동부(120)를 포함한다.

그러면, 상기 손떨림구동부(120)는 카메라의 떨림에 대응하여 상기 카메라에 내장된 광학렌즈모듈 또는 이미지센서를 화상이 입사되는 방향과 직교하는 평면에 대하여 수평 이동시킬 수 있다.

여기서, 상기 손떨림 보정코일유닛(110)은 본 발명의 제1실시예 내지 제3실시예 중 어느 하나에 기재된 손떨림 보정코일유닛으로 구성될 수 있다. 또한, 상기 손떨림 보정코일유닛(110)은 본 발명의 제1실시예 내지 제3실시예 중 어느 하나에 기재된 손떨림 보정코일유닛의 제조방법으로 제조될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 손떨림 보정용 액츄에이터는 상기 손떨림홀센서(160)에서 전달되는 신호를 통해 상기 손떨림구동부(120)를 제어하는 구동제어유닛(180)을 더 포함한다. 상기 구동제어유닛(180)은 상기 영구자석(130)의 위치 변화를 정확하게 제어할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 손떨림 보정용 액츄에이터는 상기 영구자석(130)의 측면에 이격 배치되고, 상기 가상의 평면에서 승강 이동되도록 초점전자기력을 발생시키는 초점보저코일(140)과, 상기 초점보저코일(140)에 전원을 인가하는 초점구동부(150)와, 상기 영구자석(130)의 바닥 또는 상기 영구자석(130)의 측면에 이격 배치되고, 상기 가상의 평면에 대한 상기 영구자석(130)의 승강 이동에 따른 자속의 변화를 감지하는 초점홀센서(170)를 더 포함한다. 이때, 상기 구동제어유닛(180)은 상기 손떨림홀센서(160)에서 전달되는 신호를 통해 상기 손떨림구동부(120)를 제어함은 물론 상기 초점홀센서(170)에서 전달되는 신호를 통해 상기 초점구동부(150)를 제어할 수 있다.

그러면, 카메라의 떨림에 대응하여 상기 카메라에 내장된 광학렌즈모듈 또는 이미지센서를 화상이 입사되는 방향과 직교하는 평면에 대하여 수직 이동시킬 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 손떨림 보정용 액츄에이터에서 상기 영구자석(130)의 바닥 중심은 상기 손떨림 보정코일유닛(110)의 중심과 상기 손떨림홀센서(160)의 중심에 일치되도록 한다. 또한, 상기 영구자석(130)의 바닥 중심은 상기 손떨림 보정코일유닛(110)의 중심과 상기 초점홀센서(170)의 중심에 일치되도록 한다. 이에 따라, 상기 손떨림 보정코일유닛(110)에서는 전자기력에 의한 자속이 증폭 또는 상쇄되고, 상기 홀센서의 중심에서 상기 영구자석(130)의 위치 변화에 따른 자속의 감도를 향상시킬 수 있다.

상술한 손떨림 보정코일유닛과 손떨림 보정코일유닛의 제조방법, 그리고 이것을 이용한 손떨림 보정용 액츄에이터에 따르면, 손떨림 보정용 액츄에이터에서 광학렌즈모듈 또는 이미지센서의 위치를 변경하기 위해 전원의 인가에 따른 전자기력으로 상기 영구자석(130)의 위치를 변경시킬 때, 손떨림 보정코일유닛을 변경함으로써, 전자기력에 의해 상기 영구자석(130)의 위치를 감지하기 위한 홀센서에 미치는 자속의 크기를 줄이고, 상기 영구자석(130)의 움직임에 따른 동작제어성능을 향상시킬 수 있다.

상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.

10a: 바닥부재 10: 바닥층 20a: 코일절연부재
20: 코일절연층 21: 전면절연층 211: 전면코일홀
22: 분할절연층 221: 분할코일홀 23: 제1전면절연층
24: 제1분할절연층 25: 제2전면절연층 26: 제2분할절연층
301: 층간절연부재 30: 층간절연층 31: 제1층간절연층
32: 제2층간절연층 33: 제3층간절연층 30a: 층간비아홀
30b: 관통비아홀 30c: 제1접속비아홀 30d: 제2접속비아홀
31a: 제1층간비아홀 32a: 제2층간비아홀 33a: 제3층간비아홀
40a: 마감절연부재 40: 마감절연층 41: 제1구동비아홀
42: 제2구동비아홀 60a: 전면코일부재 60b: 전면시드부재
60: 전면코일 61: 제1전면코일 62: 제2전면코일
63: 제1코일접속부 601: 전면중심영역 611: 제1전면중심영역
621: 제2전면중심영역 70a: 분할코일부재 70b: 분할시드부재
70: 분할코일 71: 제1분할코일 72: 제2분할코일
701: 분할중심영역 711: 제1분할중심영역 721: 제2분할중심영역
80: 구동전극 81: 제1구동전극 82: 제2구동전극
90: 연결전극 91: 제1연결전극 92: 제2연결전극
93: 제3연결전극 94: 제4연결전극 96: 제6연결전극
97: 제7연결전극 98: 제8연결전극 95: 관통전극
M1: 제1마스크 M2: 제2마스크 B: 베이스
110: 손떨림 보정코일유닛120: 손떨림구동부 130: 영구자석
140: 초점보정코일 150: 초점구동부 160: 손떨림홀센서
170: 초점홀센서 180: 구동제어유닛
S1: 바닥형성단계 S2: 바닥표면처리단계 S3: 구동코일형성단계
S31: 전면코일형성단계 S311: 제1식각단계 S312: 제1도포단계
S313: 제1노광단계 S314: 제1현상단계 S315: 제1표면처리단계
S316: 제1전극형성단계 S317: 제1시드도포단계 S318: 제1시드성장단계
S319: 제1표면제거단계 S32: 분할코일형성단계 S321: 제2식각단계
S322: 제2도포단계 S323: 제2노광단계 S324: 제2현상단계
S325: 제2표면처리단계 S326: 제2전극형성단계 S327: 제2시드도포단계
S328: 제1시드성장단계 S329: 제2표면제거단계 S33: 코일간접속단계
S331: 비아형성단계 S332: 연결전극형성단계 S34: 절연층형성단계
S4: 형상재단단계 S5: 포장단계 S6: 베이스준비단계
S7: 베이스표면처리단계 S8: 베이스분리단계 S9: 베이스세정단계
S10: 반복제어단계 S11: 반복마감단계

Claims

베이스에 바닥층을 형성하기 위한 바닥부재를 적층하는 바닥형성단계;
접착력 강화를 위해 상기 바닥형성단계를 거친 상기 바닥부재를 표면 처리하는 바닥표면처리단계;
상기 바닥부재에 절연층을 형성하기 위한 절연부재를 적층한 상태에서 상기 절연부재에 전면코일과 한 쌍이 상호 이격된 상태로 상기 전면코일에 이격 적층되는 분할코일을 포함하는 구동코일을 상기 절연부재에 내장시키는 구동코일형성단계; 및
상기 구동코일에 대응하여 상기 바닥부재와 상기 절연부재를 재단하는 형상재단단계;
상기 구동코일형성단계에 앞서, 상기 구동코일에 대응하여 상기 구동코일형성단계의 작업순서를 결정하는 반복제어단계; 및
상기 반복제어단계에 따른 작업순서의 종료 여부를 선택하는 반복마감단계;를 포함하고,
상기 반복마감단계의 선택에 따라 상기 구동코일형성단계를 실시하거나, 상기 형상재단단계를 실시하는 것을 특징으로 하는 손떨림 보정코일유닛의 제조방법.
제1항에 있어서,
상기 구동코일이, 전면중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 전면코일과, 상기 전면중심영역에 형성되는 제1코일접속부와, 한 쌍이 분할된 상태로 상기 전면코일에 이격 적층되되 각각의 분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 분할코일과, 한 쌍의 상기 분할코일 중 어느 하나의 가장자리에 형성되는 제2코일접속부와, 상기 전면코일과 상기 제1코일접속부와 한 쌍의 상기 분할코일과 상기 제2코일접속부를 상호 연결하는 연결전극과, 한 쌍의 상기 분할코일 중 다른 하나와 상기 제2코일접속부에 각각 연결되는 구동전극을 포함할 때,
상기 구동코일형성단계는,
상기 바닥부재에 전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재를 적층한 상태에서 상기 전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 상기 전면코일과 상기 제1코일접속부를 내장시키는 전면코일형성단계;
상기 전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재를 이격 적층한 상태에서 상기 분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 한 쌍의 상기 분할코일과 상기 제2코일접속부를 내장시키는 분할코일형성단계;
상기 전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재와 상기 분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재 사이에 층간절연층을 형성하기 위한 층간절연부재를 적층하거나, 상기 분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 마감층을 형성하기 위한 마감절연부재를 적층하는 절연층형성단계; 및
상기 층간절연부재에 상기 연결전극을 형성하거나, 상기 마감절연부재에 상기 구동전극을 형성하는 코일간접속단계;를 포함하고,
상기 반복마감단계는, 상기 마감절연부재에 구동전극을 형성함에 따라 상기 형상재단단계를 실시하도록 하는 것을 특징으로 하는 손떨림 보정코일유닛의 제조방법.
제1항에 있어서,
상기 구동코일이, 전면중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 전면코일과, 한 쌍이 분할된 상태로 상기 전면코일에 이격 적층되되 각각의 제1분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제1분할코일과, 한 쌍의 상기 제1분할코일에 대응하도록 한 쌍이 분할된 상태로 상기 제1분할코일에 이격 적층되되 각각의 제2분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제2분할코일과, 상기 전면코일과 상기 제1분할코일과 상기 제2분할코일을 상호 연결하는 연결전극과, 한 쌍의 상기 제2분할코일에 각각 연결되는 구동전극을 포함할 때,
상기 구동코일형성단계는,
상기 바닥부재에 전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재를 적층한 상태에서 상기 전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 상기 전면코일을 내장시키는 전면코일형성단계;
상기 전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 제1분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재를 이격 적층한 상태에서 상기 제1분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 한 쌍의 상기 제1분할코일을 내장시키거나, 상기 제1분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 제2분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재를 이격 적층한 상태에서 상기 제2분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 한 쌍의 상기 제2분할코일을 내장시키는 분할코일형성단계;
상기 코일절연부재들 사이에 제1층간절연층과 제2층간절연층을 형성하기 위한 층간절연부재를 각각 적층하거나, 상기 제2분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 마감층을 형성하기 위한 마감절연부재를 적층하는 절연층형성단계; 및
상기 층간절연부재에 상기 연결전극을 형성하거나, 상기 마감절연부재에 상기 구동전극을 형성하는 코일간접속단계;를 포함하고,
상기 반복마감단계는, 상기 마감절연부재에 구동전극을 형성함에 따라 상기 형상재단단계를 실시하도록 하는 것을 특징으로 하는 손떨림 보정코일유닛의 제조방법.
제1항에 있어서,
상기 구동코일이, 제1전면중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제1전면코일과, 상기 제1전면코일에 이격 적층되되 제2전면중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제2전면코일과, 한 쌍이 분할된 상태로 상기 제2전면코일에 이격 적층되되 각각의 제1분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제1분할코일과, 한 쌍의 상기 제1분할코일에 대응하도록 한 쌍이 분할된 상태로 상기 제1분할코일에 이격 적층되되 각각의 제2분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제2분할코일과, 상기 제2전면코일의 가장자리에 형성되는 관통전극과, 상기 제1전면코일과 상기 제2전면코일과 상기 관통전극과 한 쌍의 상기 제1분할코일과 한 쌍의 상기 제2분할코일을 상호 연결하는 연결전극과, 한 쌍의 상기 제2분할코일에 각각 연결되는 구동전극을 포함할 때,
상기 구동코일형성단계는,
상기 바닥부재에 제1전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재를 적층한 상태에서 상기 제1전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 상기 제1전면코일을 내장시키거나, 상기 제1전면절연층을 형성하기 위한 코일부재에 제2전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재를 이격 적층한 상태에서 상기 제2전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 상기 제2전면코일과 상기 관통전극을 내장시키는 전면코일형성단계;
상기 제2전면절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 제1분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재를 이격 적층한 상태에서 상기 제1분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 한 쌍의 상기 제1분할코일을 내장시키거나, 상기 제1분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 제2분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재를 이격 적층한 상태에서 상기 제2분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 한 쌍의 상기 제2분할코일을 내장시키는 분할코일형성단계;
상기 코일절연부재들 사이에 제1층간절연층과 제2층간절연층과 제3층간절연층을 형성하기 위한 층간절연부재를 각각 적층하거나, 상기 제2분할절연층을 형성하기 위한 코일절연부재에 마감층을 형성하기 위한 마감절연부재를 적층하는 절연층형성단계; 및
상기 층간절연부재에 상기 연결전극을 형성하거나, 상기 마감절연부재에 상기 구동전극을 형성하는 코일간접속단계;를 포함하고,
상기 반복마감단계는, 상기 마감절연부재에 구동전극을 형성함에 따라 상기 형상재단단계를 실시하도록 하는 것을 특징으로 하는 손떨림 보정코일유닛의 제조방법.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 제조방법에 의해 제조된 손떨림 보정코일유닛.
바닥을 형성하는 바닥층;
상기 바닥층에 적층되는 전면절연층;
상기 전면절연층에 적층되는 층간절연층;
상기 층간절연층에 적층되는 분할절연층;
상기 분할절연층에 적층되는 마감절연층;
상기 전면절연층에 삽입되고, 전면중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 전면코일;
상기 전면절연층에서 상기 전면중심영역에 삽입되는 제1코일접속부;
상기 분할절연층에 한 쌍이 상호 이격된 상태로 삽입되고, 각각의 분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 분할코일;
상기 분할절연층에서 한 쌍의 상기 분할코일 중 어느 하나의 가장자리에 삽입되는 제2코일접속부;
상기 층간절연층에 삽입되고, 상기 전면코일과 상기 제1코일접속부와 한 쌍의 상기 분할코일과 상기 제2코일접속부를 상호 연결하는 연결전극; 및
상기 마감절연층에 삽입되고, 한 쌍의 상기 분할코일 중 다른 하나와 상기 제2코일접속부에 각각 연결되는 구동전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 손떨림 보정코일유닛.
바닥을 형성하는 바닥층;
상기 바닥층에 적층되는 전면절연층;
상기 전면절연층에 적층되는 제1층간절연층;
상기 제1층간절연층에 적층되는 제1분할절연층;
상기 제1분할절연층에 적층되는 제2층간절연층;
상기 제2층간절연층에 적층되는 제2분할절연층;
상기 제2분할절연층에 적층되는 마감절연층;
상기 전면절연층에 삽입되고, 전면중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 전면코일;
상기 제1분할절연층에 한 쌍이 상호 이격된 상태로 삽입되고, 각각의 제1분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제1분할코일과, 한 쌍의 상기 제1분할코일에 대응하도록 상기 제2분할절연층에 한 쌍이 상호 이격된 상태로 삽입되고, 각각의 제2분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제2분할코일을 포함하는 분할코일;
상기 제1층간절연층과 상기 제2층간절연층에 각각 삽입되고, 상기 전면코일과 한 쌍의 상기 제1분할코일과 한 쌍의 상기 제2분할코일을 상호 연결하는 연결전극; 및
상기 마감절연층에 삽입되고, 한 쌍의 상기 제2분할코일에 각각 연결되는 구동전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 손떨림 보정코일유닛.
바닥을 형성하는 바닥층;
상기 바닥층에 적층되는 제1전면절연층;
상기 제1전면절연층에 적층되는 제1층간절연층;
상기 제1층간절연층에 적층되는 제2전면절연층;
상기 제2전면절연층에 적층되는 제2층간절연층;
상기 제2층간절연층에 적층되는 제1분할절연층;
상기 제1분할절연층에 적층되는 제3층간절연층;
상기 제3층간절연층에 적층되는 제2분할절연층;
상기 제2분할절연층에 적층되는 마감절연층;
상기 제1전면절연층에 삽입되고, 제1전면중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제1전면코일과, 상기 제2전면절연층에 삽입되고, 제2전면중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제2전면코일을 포함하는 전면코일;
상기 제1분할절연층에 한 쌍이 상호 이격된 상태로 삽입되고, 각각의 제1분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제1분할코일과, 한 쌍의 상기 제1분할코일에 대응하도록 상기 제2분할절연층에 한 쌍이 상호 이격된 상태로 삽입되고, 각각의 제2분할중심영역으로부터 가장자리를 향해 나선 형태로 확장되는 제2분할코일을 포함하는 분할코일;
상기 제2전면절연층에 삽입되고, 상기 제2전면코일의 가장자리에 형성되는 관통전극;
상기 제1층간절연층과 상기 제2층간절연층과 상기 제3층간절연층에 각각 삽입되고, 상기 제1전면코일과 상기 제2전면코일과 상기 관통전극과 한 쌍의 상기 제1분할코일과 한 쌍의 상기 제2분할코일을 상호 연결하는 연결전극; 및
상기 마감절연층에 삽입되고, 한 쌍의 상기 제2분할코일에 각각 연결되는 구동전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 손떨림 보정코일유닛.
제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 전면코일의 나선 방향은 한 쌍의 상기 분할코일 중 어느 하나의 나선 방향과 서로 동일하게 형성되는 것을 특징으로 하는 손떨림 보정코일.
제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
한 쌍의 상기 분할코일의 나선 방향은 서로 반대로 형성되는 것을 특징으로 하는 손떨림 보정코일유닛.
카메라의 떨림에 따라 상기 카메라에 내장된 광학렌즈모듈 또는 이미지센서를 이동시키는 손떨림 보정용 액츄에이터이고,
상기 광학렌즈모듈 또는 상기 이미지센서가 결합되는 영구자석;
상기 영구자석의 바닥에 이격 배치되고, 상기 영구자석의 바닥에 평행한 가상의 평면에 대한 상기 영구자석의 수평 이동에 따른 자속의 변화를 감지하는 손떨림홀센서;
상기 영구자석과 상기 손떨림홀센서 사이에 배치되고, 상기 광학렌즈모듈 또는 상기 이미지센서가 상기 가상의 평면에서 수평 이동되도록 떨림전자기력을 발생시키는 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 손떨림 보정코일유닛; 및
상기 손떨림 보정코일유닛에 전원을 인가하는 손떨림구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 손떨림 보정용 액츄에이터.
제11항에 있어서,
상기 손떨림홀센서에서 전달되는 신호를 통해 상기 손떨림구동부를 제어하는 구동제어유닛;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 손떨림 보정용 액츄에이터.
제12항에 있어서,
상기 영구자석의 측면에 이격 배치되고, 상기 가상의 평면에서 승강 이동되도록 초점전자기력을 발생시키는 초점보정코일;
상기 초점보정코일에 전원을 인가하는 초점구동부; 및
상기 영구자석의 바닥 또는 상기 영구자석의 측면에 이격 배치되고, 상기 가상의 평면에 대한 상기 영구자석의 승강 이동에 따른 자속의 변화를 감지하는 초점홀센서;를 더 포함하고,
상기 구동제어유닛은,
상기 손떨림홀센서에서 전달되는 신호를 통해 상기 손떨림구동부를 제어함은 물론, 상기 초점홀센서에서 전달되는 신호를 통해 상기 초점구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 손떨림 보정용 액츄에이터.
제11항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 영구자석의 바닥 중심은, 상기 손떨림 보정코일유닛의 중심과 상기 손떨림홀센서의 중심에 일치되는 것을 특징으로 하는 손떨림 보정용 액츄에이터.