KR20170077786A - Scribing device and scribing method - Google Patents

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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

미리 설정된 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 억제하는 것이 가능한 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법을 제공한다.
(해결수단) 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 휠(41)이 하단에 장착된 스크라이브 헤드(10)와, 스크라이브 라인을 형성하기 위하여 설정된 기준 직선에 평행하게 스크라이브 헤드를 이동시키는 이동 기구를 구비한다. 스크라이빙 휠(41)은, 스크라이브 헤드(10)의 하부에 회전 가능하게 지지된 회전부(12)에 장착된다. 회전부(12)의 회전축(Ra)이, 기판(F)의 표면에 수직인 방향에 대하여 스크라이브 헤드(10)의 진행 방향 전측으로 기울어 있다.A scribe device and a scribe method capable of suppressing a deviation of a scribe line with respect to a preset reference straight line are provided.
A scribing head (10) having a scribing wheel (41) for forming a scribing line on the surface of a substrate. The scribing head (10) moves a scribing head parallel to a reference straight line . The scribing wheel 41 is mounted on the rotary part 12 rotatably supported on the lower part of the scribe head 10. [ The rotation axis Ra of the rotation section 12 is inclined forward to the advancing direction of the scribe head 10 in a direction perpendicular to the surface of the substrate F. [

Figure P1020160167421
Figure P1020160167421

Description

스크라이브 장치 및 스크라이브 방법 {SCRIBING DEVICE AND SCRIBING METHOD}[0001] SCRIBING DEVICE AND SCRIBING METHOD [0002]

본 발명은, 기판에 스크라이브 라인(scribing line)을 형성하기 위한 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing apparatus and a scribing method for forming a scribing line on a substrate.

종래, 유리 기판 등의 취성 재료 기판의 분단은, 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 형성된 스크라이브 라인을 따라서 기판 표면에 소정의 힘을 부가하는 브레이크 공정에 의해서 행해진다. 스크라이브 공정에서는, 스크라이빙 휠의 날끝이, 기판 표면에 밀어붙여지면서, 소정 라인을 따라서 이동된다. 스크라이브 라인의 형성에는, 스크라이브 헤드를 구비한 스크라이브 장치가 이용된다.Conventionally, breaking of a brittle material substrate such as a glass substrate is performed by a scribing step of forming a scribing line on the substrate surface and a breaking step of applying a predetermined force to the surface of the substrate along the scribe line formed. In the scribing step, the edge of the scribing wheel is moved along a predetermined line while being pressed against the surface of the substrate. For forming the scribe line, a scribe apparatus having a scribe head is used.

이하의 특허 문헌 1에는, 롤러날의 진동의 방향을, 유리판의 표면에 수직인 방향에 대하여, 롤러날의 진행 방향의 뒤쪽으로 기울인 구성의 스크라이브 장치가 기재되어 있다. 특허 문헌 1에는, 이 구성이, 스크라이브 홈을 깊게 하는데 유효하다고 기재되어 있다.The following Patent Document 1 discloses a scribing device in which the direction of vibration of the roller blade is inclined rearward in the advancing direction of the roller blade with respect to the direction perpendicular to the surface of the glass plate. Patent Document 1 discloses that this configuration is effective for deepening the scribe groove.

일본공개특허공보 2003-2675호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-2675

스크라이브 장치에서는, 미리 설정된 직선(이하, 「기준 직선」이라고 함)에 대하여 스크라이브 라인이 어긋나지 않는 것이 바람직하다. 예를 들면, 액정 패널에서는, 액정을 시일(seal)하는 시일재의 외측에 남는 소위 액연(額緣) 영역을 최대한 삭감하고 싶다는 요청이 있다. 특히, 모바일용 액정 패널에서는, 액연 영역을 극한까지 좁게 하는 것이 주류가 되고 있고, 예를 들면, 시일재의 바로 위 위치를 시일재를 따라서 스크라이브하는 것이 행해진다. 이 경우, 미리 설정된 기준 직선에 대하여 스크라이브 라인이 어긋나면, 스크라이브 라인이 시일재의 위치로부터 벗어나, 액정 패널을 적정하게 절출할 수 없게 되어 버린다.In the scribing apparatus, it is preferable that the scribe line does not deviate from a preset straight line (hereinafter referred to as " reference straight line "). For example, in a liquid crystal panel, there is a demand to reduce the so-called frame area remaining outside the sealing material for sealing the liquid crystal as much as possible. Particularly, in the mobile liquid crystal panel, it is mainstream that the liquid crystal region is narrowed to the extreme limit, and for example, scribing is performed along the seal material just above the sealing material. In this case, if the scribe line deviates from the predetermined reference straight line, the scribe line deviates from the position of the seal material, and the liquid crystal panel can not be adequately cut out.

이러한 과제를 감안하여, 본 발명은, 미리 설정된 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 억제하는 것이 가능한 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.In view of these problems, it is an object of the present invention to provide a scribe apparatus and scribe method capable of suppressing deviation of a scribe line with respect to a preset reference straight line.

본 발명의 제1의 실시 형태는, 스크라이브 장치에 관한 것이다. 이 실시 형태에 관련된 스크라이브 장치는, 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 휠이 하단에 장착된 스크라이브 헤드와, 상기 스크라이브 라인을 형성하기 위하여 설정된 기준 직선에 평행하게 상기 스크라이브 헤드를 이동시키는 이동 기구를 구비한다. 상기 스크라이빙 휠은, 상기 스크라이브 헤드의 하부에 회전 가능하게 지지된 회전부에 장착되고, 상기 회전부의 회전축이, 상기 기판 표면에 수직인 방향에 대하여 상기 스크라이브 헤드의 진행 방향 전측(前側)으로 기울어 있다.A first embodiment of the present invention relates to a scribe apparatus. The scribing apparatus according to this embodiment includes a scribe head on which a scribing wheel for forming a scribe line on the surface of the substrate is mounted at a lower end thereof and a scribing head for moving the scribe head in parallel with a reference straight line set for forming the scribe line And a moving mechanism. Wherein the scribing wheel is mounted on a rotating portion rotatably supported on a lower portion of the scribing head and the rotating shaft of the rotating portion is inclined forward toward the forward direction of the scribe head with respect to a direction perpendicular to the surface of the substrate have.

본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치에 의하면, 이하의 실시 형태에서 검증하는 바와 같이, 미리 설정된 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 억제할 수 있다.According to the scribing apparatus according to the present embodiment, it is possible to suppress the displacement of the scribe line with respect to the preset reference straight line as verified in the following embodiments.

본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치에 있어서, 예를 들면, 상기 스크라이브 헤드는, 상기 스크라이빙 휠을 상기 기판 표면에 밀어 붙이기 위한 하중을 부여하기 위하여 상기 회전부를 구동하는 구동부를 구비하고, 상기 구동부가 상기 회전부를 구동하는 방향이 상기 회전축에 평행하게 되도록 구성될 수 있다. 이 경우, 상기 회전부의 회전축이 상기 기판 표면에 수직인 방향에 대하여 상기 스크라이브 헤드의 진행 방향 전측으로 기울도록, 상기 스크라이브 헤드가, 상기 기판 표면에 수직인 방향에 대하여 상기 스크라이브 헤드의 진행 방향 전측으로 기울어진 상태에서, 상기 이동 기구에 설치된다. 이와 같이, 스크라이브 헤드를 기울여 이동 기구에 설치함으로써, 스크라이브 헤드의 구성을 크게 변경하는 일 없이, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 억제할 수 있다.In the scribing apparatus according to the present embodiment, for example, the scribe head includes a driving unit for driving the rotating unit to apply a load for pushing the scribing wheel against the surface of the substrate, And a direction in which the rotation unit is driven is parallel to the rotation axis. In this case, the scribe head is moved in a direction perpendicular to the surface of the substrate so that the rotation axis of the rotating portion is inclined forward of the advancing direction of the scribe head with respect to the direction perpendicular to the surface of the substrate, And is installed in the moving mechanism in an inclined state. By inclining the scribe head in the moving mechanism in this manner, it is possible to suppress the displacement of the scribe line with respect to the reference straight line without largely changing the configuration of the scribe head.

이 구성 외, 상기 스크라이브 헤드는, 예를 들면, 상기 스크라이빙 휠을 상기 기판 표면에 밀어 붙이기 위한 하중을 부여하기 위하여 상기 회전부를 구동하는 구동부를 구비하고, 상기 구동부가 상기 회전부를 구동하는 방향이 상기 기판 표면에 수직이 되도록 구성될 수 있다. 이 경우, 상기 회전부의 회전축이 상기 기판 표면에 수직인 방향에 대하여 상기 스크라이브 헤드의 진행 방향 전측으로 기울도록, 상기 회전부가 상기 스크라이브 헤드에 설치된다. 이 구성에 의해서도, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 억제할 수 있다.The scribe head further includes a driving unit for driving the rotating unit to apply a load for pushing the scribing wheel to the surface of the substrate. The driving unit drives the rotating unit in a direction May be perpendicular to the surface of the substrate. In this case, the rotating portion is provided on the scribe head so that the rotation axis of the rotating portion is inclined forward of the advancing direction of the scribe head with respect to the direction perpendicular to the surface of the substrate. This configuration also makes it possible to suppress the displacement of the scribe line relative to the reference straight line.

본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치에 있어서, 상기 기판 표면에 대한 상기 회전축의 각도는, 82도 이상 90도 미만인 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 이하의 실시 형태에서 검증하는 바와 같이, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 효과적으로 억제할 수 있다.In the scribing apparatus according to the present embodiment, the angle of the rotation axis with respect to the substrate surface is preferably 82 degrees or more and less than 90 degrees. In this way, as will be verified in the following embodiments, the displacement of the scribe line relative to the reference straight line can be effectively suppressed.

또한, 상기 기판 표면에 대한 상기 회전축의 각도는, 86도 이상 89.5도 이하인 것이 더욱 바람직하다. 이렇게 하면, 이하의 실시 형태에서 검증하는 바와 같이, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 한층 효과적으로 억제할 수 있다.Further, the angle of the rotation axis with respect to the surface of the substrate is more preferably 86 degrees or more and 89.5 degrees or less. In this way, as will be verified in the following embodiments, the displacement of the scribe line relative to the reference straight line can be more effectively suppressed.

본 발명의 제2 실시 형태는, 회전 가능하게 지지된 회전부에 스크라이빙 휠이 장착된 스크라이브 헤드를 이용하여 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법에 관한 것이다. 이 실시 형태에 따른 스크라이브 방법은, 상기 회전부의 회전축이, 상기 기판 표면에 수직인 방향에 대하여 상기 스크라이브 헤드의 진행 방향 전측으로 기울도록, 상기 스크라이브 헤드를 직진시켜, 상기 기판 표면에 상기 스크라이브 라인을 형성한다.A second embodiment of the present invention relates to a scribe method for forming a scribe line on a surface of a substrate by using a scribe head having a scribing wheel mounted on a rotatably supported rotary part. The scribing method according to this embodiment is characterized in that the scribe head is straightened so that the rotation axis of the rotating portion is inclined forward in the advancing direction of the scribe head with respect to the direction perpendicular to the surface of the substrate, .

본 실시 형태에 따른 스크라이브 방법에 의하면, 제1 실시 형태와 동일하게, 미리 설정된 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 억제할 수 있다.According to the scribing method according to the present embodiment, as in the first embodiment, it is possible to suppress the displacement of the scribe line with respect to the preset reference straight line.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 미리 설정된 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 억제하는 것이 가능한 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법을 제공할 수 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to provide a scribe apparatus and scribe method capable of suppressing a deviation of a scribe line with respect to a preset reference straight line.

본 발명의 효과 내지 의의는, 이하에 나타내는 실시 형태의 설명에 의해 더욱 명백해질 것이다. 다만, 이하에 나타내는 실시 형태는, 어디까지나, 본 발명을 실시화할 때의 하나의 예시이며, 본 발명은, 이하의 실시 형태에 기재된 것에 전혀 제한되는 것이 아니다.The effect or significance of the present invention will become more apparent from the description of the embodiments described below. It should be noted, however, that the embodiments described below are merely examples for practicing the present invention, and the present invention is not limited to what is described in the following embodiments.

도 1(a)는, 실시 형태 1에 따른 스크라이브 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 1(b)는, 실시 형태 1에 따른 스크라이브 헤드의 외관 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2(a), (b)는, 각각, 실시 형태 1에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 3(a), (b)는, 각각, 실시 형태 1에 따른 회전부에 대한 홀더의 부착 방법을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 4(a), (b)는, 각각, 비교예 및 실시 형태 1에 따른 이동 부재에 대한 스크라이브 헤드의 설치 상태를 나타내는 측면도이다.
도 5는, 검증 실험에 있어서의 스크라이브 라인의 피치의 취득 방법을 설명하는 도면이다.
도 6(a)∼(d)는, 각각, 스크라이브 헤드의 경사각을 변화시켰을 때의 스크라이브 라인의 피치의 실험 결과를 나타내는 도면이다.
도 7(a)∼(d)는, 각각, 스크라이브 헤드의 경사각을 변화시켰을 때의 스크라이브 라인의 피치의 실험 결과를 나타내는 도면이다.
도 8(a)는, 실시 형태 1의 변경예에 따른 이동 부재에 대한 스크라이브 헤드의 설치 상태를 나타내는 측면도이다. 도 8(b)는, 당해 변경예에 따른 회전부의 설치 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 9(a), (b)는, 각각, 비교예 및 실시 형태 2에 따른 이동 부재에 대한 스크라이브 헤드의 설치 상태를 나타내는 측면도이다.
도 10(a)는, 실시 형태 2에 따른 회전부의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 10(b)는, 실시 형태 2의 변경예에 따른 회전부의 설치 상태를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 11(a)∼(f)는, 각각, 스크라이브 헤드의 경사각을 변화시켰을 때의 스크라이브 라인의 피치의 실험 결과를 나타내는 도면이다.
도 12(a), (b)는, 각각, 스크라이브 헤드의 경사각을 변화시켰을 때의 스크라이브 라인의 형성 상태를 나타내는 사진이다.
도 13(a), (b)는, 각각, 실시 형태 2 및 비교예에 따른 스크라이브 라인의 형성 상태의 실험 결과를 나타내는 사진이다.Fig. 1 (a) schematically shows the structure of a scribing apparatus according to the first embodiment. Fig. 1 (b) is a perspective view showing the external structure of the scribe head according to the first embodiment.
2 (a) and 2 (b) are cross-sectional views schematically showing the structure of a scribe head according to the first embodiment.
Figs. 3 (a) and 3 (b) schematically show a method of attaching a holder to a rotating portion according to the first embodiment. Fig.
4 (a) and 4 (b) are side views showing the installation state of the scribe head with respect to the moving member according to the comparative example and the first embodiment, respectively.
Fig. 5 is a view for explaining a method of obtaining a pitch of a scribe line in a verification experiment. Fig.
Figs. 6 (a) to 6 (d) are diagrams showing experimental results of the pitch of the scribe lines when the inclination angle of the scribe head was changed. Fig.
Figs. 7 (a) to 7 (d) are diagrams showing experimental results of the pitch of the scribe lines when the inclination angle of the scribe head was changed, respectively. Fig.
Fig. 8 (a) is a side view showing the installation state of the scribe head with respect to the movable member according to the modification of the first embodiment. Fig. Fig. 8 (b) is a view schematically showing the installation state of the rotation part according to the modification example.
9 (a) and 9 (b) are side views showing the installation state of the scribe head with respect to the movable member according to the comparative example and the second embodiment, respectively.
10 (a) is a view schematically showing a configuration of a rotating portion according to the second embodiment. 10 (b) is a view schematically showing the installation state of the rotation portion according to the modification of the second embodiment.
Figs. 11 (a) to 11 (f) are diagrams showing experimental results of the pitch of the scribe lines when the inclination angle of the scribe head was changed, respectively.
12 (a) and 12 (b) are photographs each showing the state of formation of the scribe line when the inclination angle of the scribe head is changed.
Figs. 13 (a) and 13 (b) are photographs showing the experimental results of the state of formation of the scribe line according to the second embodiment and the comparative example, respectively.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Mode for carrying out the invention)

이하, 본 발명의 실시의 형태에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 각 도면에는, 편의 상, 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축이 부기되어 있다. X-Y 평면은 수평면에 평행하고, Z축 방향은 연직 방향이다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings, the X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to each other for convenience. The X-Y plane is parallel to the horizontal plane, and the Z-axis direction is the vertical direction.

(1) 실시 형태 1(1) Embodiment 1

도 1(a)는, 실시 형태 1에 따른 스크라이브 장치(1)의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 1(a)는, Y축 정면측으로부터 스크라이브 장치(1)를 본 측면도이다.Fig. 1 (a) is a view schematically showing the construction of a scribing apparatus 1 according to the first embodiment. Fig. 1 (a) is a side view of the scribe device 1 viewed from the front side of the Y-axis.

도 1(a)를 참조하고, 스크라이브 장치(1)는, 스크라이브 헤드(10)와, 이동 기구(20)와, 지지 기구(30)를 구비한다. 스크라이브 헤드(10)는, 지지 기구(30)에 지지된 기판(F)에 스크라이브 라인을 형성한다. 이동 기구(20)는, 스크라이브 헤드(10)를 스크라이브 방향(X축 정방향)으로 이동시킨다. 지지 기구(30)는, 상면에 기판(F)이 실리고, 기판(F)을 지지한다. 또한, 지지 기구(30)는, 지지한 기판(F)을 스크라이브 라인의 형성 피치로 Y축 방향으로 이송한다. 기판(F)은, 예를 들면, 액정 패널의 마더(mother) 기판이다.1 (a), the scribe apparatus 1 includes a scribe head 10, a moving mechanism 20, and a support mechanism 30. As shown in Fig. The scribe head (10) forms a scribe line on the substrate (F) supported by the support mechanism (30). The moving mechanism 20 moves the scribe head 10 in the scribe direction (X-axis normal direction). The support mechanism 30 has a substrate F on its upper surface and supports the substrate F. [ Further, the support mechanism 30 transports the supported substrate F in the Y-axis direction at the formation pitch of the scribe line. The substrate F is, for example, a mother substrate of a liquid crystal panel.

이동 기구(20)는, 이동 부재(21)와, 이송부(22)와, 지지부(23a, 23b)와, 구동부(24)를 구비한다. 이동 부재(21)는, 판상의 부재로 이루어지고, 스크라이브 헤드(10)를 지지한다. 이송부(22)는, 이동 부재(21)를 X축 방향으로 안내하는 레일 등을 구비하고, 이동 부재(21)를 X축 방향으로 이송한다. 지지부(23a, 23b)는, 이송부(22)를 지지한다. 구동부(24)는, 이송부(22)의 구동원으로, 모터로 이루어져 있다.The moving mechanism 20 includes a moving member 21, a transporting unit 22, supporting units 23a and 23b, and a driving unit 24. [ The movable member 21 is made of a plate-shaped member and supports the scribe head 10. The transfer unit 22 has a rail or the like for guiding the movable member 21 in the X axis direction and transfers the movable member 21 in the X axis direction. The support portions 23a and 23b support the transfer portion 22. [ The driving unit 24 is a driving source for the conveying unit 22 and is composed of a motor.

지지 기구(30)는, 테이블(31)과, 가이드 레일(32a, 32b)과, 구동축(33)을 구비한다. 테이블(31)은, 상면에 기판(F)이 실리고, 기판(F)을 지지한다. 가이드 레일(32a, 32b)은, 테이블(31)을 Y축 방향으로 이송한다. 구동축(33)은, 외주에 기어 이(teeth)를 갖는 축으로, 테이블(31)에 형성된 구멍의 기어 홈과 서로 맞물려 있다. 도시하지 않는 모터에 의해 구동축(33)이 회전됨으로써, 테이블(31)이 Y축 방향으로 구동된다.The support mechanism 30 includes a table 31, guide rails 32a and 32b, and a drive shaft 33. [ The table 31 holds the substrate F on the upper surface thereof. The guide rails 32a and 32b feed the table 31 in the Y-axis direction. The drive shaft 33 is meshed with the gear groove of the hole formed in the table 31 by a shaft having gear teeth on the outer periphery. The drive shaft 33 is rotated by a motor (not shown), whereby the table 31 is driven in the Y-axis direction.

도 1(a)에 개략적으로 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드(10)는, 기판(F)의 표면에 수직인 방향(Z축 방향)에 대하여 스크라이브 헤드(10)의 진행 방향(X축 정방향) 전측으로 기울어진 상태에서, 이동 기구(20)의 이동 부재(21)에 설치되어 있다. 이에 따라, 후술하는 바와 같이, 스크라이브 헤드(10)의 회전부(12)의 회전축(Ra)(예를 들면, 도 2(a) 참조)이, 기판(F)의 표면에 수직인 방향(Z축 방향)에 대하여 스크라이브 헤드(10)의 진행 방향(X축 정방향) 전측으로 기울어 있다.1 (a), the scribe head 10 is moved in the direction (Z-axis direction) perpendicular to the surface of the substrate F in the advancing direction of the scribe head 10 And is provided on the moving member 21 of the moving mechanism 20 in a state of being inclined toward the side of the moving mechanism 20. 2 (a)) of the rotating portion 12 of the scribe head 10 is moved in the direction perpendicular to the surface of the substrate F Direction) of the scribe head 10 with respect to the moving direction of the scribe head 10 (X-axis normal direction).

도 1(b)는 실시예 1에 따른 스크라이브 헤드(10)의 외관 구성을 나타내는 사시도이다.1 (b) is a perspective view showing the external structure of the scribe head 10 according to the first embodiment.

도 1(b)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드(10)는, 구동부(11)와, 회전부(12)를 구비하고 있다. 구동부(11)는 공기를 공급하기 위한 조인트(111)를 구비하고, 조인트(111)를 통하여 공기압이 인가됨으로써, 회전부(12)에 하방향의 하중을 부여한다. 회전부(12)는 스크라이브 헤드(10)의 하부에, 스크라이브 헤드(10)의 상하 방향에 평행한 축의 둘레로 회전 가능하게, 또한, 스크라이브 헤드(10)의 상하 방향에 평행한 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 또한 회전부(12)는, 하단에 스크라이빙 휠(41)(예를 들면, 도 2(a) 참조)을 지지한다.As shown in Fig. 1 (b), the scribe head 10 includes a driving unit 11 and a rotation unit 12. [ The driving unit 11 has a joint 111 for supplying air and applies a downward load to the rotating unit 12 by applying air pressure through the joint 111. [ The rotating portion 12 is rotatably disposed at a lower portion of the scribe head 10 around an axis parallel to the vertical direction of the scribe head 10 and movable in a direction parallel to the vertical direction of the scribe head 10 Is installed. The rotating portion 12 also supports the scribing wheel 41 (see Fig. 2 (a), for example) at the lower end.

도 2(a), (b)는, 각각, 실시 형태 1에 따른 스크라이브 헤드(10)의 구성을 개략적으로 나타내는 단면도이다. 도 2(a), (b)에는, 도 1(b)의 A－A＇선의 위치에서 상하로 스크라이브 헤드(10)를 절단한 단면도가 나타나 있다.2 (a) and 2 (b) are cross-sectional views schematically showing the structure of the scribe head 10 according to the first embodiment. 2A and 2B are sectional views of the scribe head 10 taken along the line A-A 'in Fig. 1B.

스크라이브 헤드(10)의 구동부(11)는, 도 1(b)에 나타내는 조인트(111) 외, 실린더(112), 지지 부재(113), 승강 부재(114), 슬라이더(115), 베어링(116), 중계 부재(117), 피스톤(118) 및 압압 부재(119)를 구비하고 있다.The driving unit 11 of the scribe head 10 includes a cylinder 112, a supporting member 113, an elevating member 114, a slider 115, a bearing 116 ), A relay member (117), a piston (118), and a pressing member (119).

실린더(112)는, 내부에 원기둥 형상의 공간(112a)을 구비하고, 이 공간(112a)에 피스톤(118)이 상하 방향으로 이동 가능하게 끼워져 있다. 피스톤(118)의 상측의 공간(112a)에, 도 1(b)의 조인트(111)를 통하여 공기가 공급된다. 이에 따라, 피스톤(118)이 하방향으로 눌러내려진다. 실린더(112)는, 지지 부재(113)의 상면에 설치되어 있다.The cylinder 112 has a cylindrical space 112a therein and a piston 118 is movably inserted in the space 112a. Air is supplied to the space 112a on the upper side of the piston 118 through the joint 111 of Fig. 1 (b). As a result, the piston 118 is pushed downward. The cylinder 112 is provided on the upper surface of the support member 113.

지지 부재(113)는, 측면이 도 1(a)의 이동 부재(21)에 고착된다. 지지 부재(113)는, 슬라이더(115)를 통하여 승강 부재(114)를 상하 방향으로 이동 가능하게 지지한다. 승강 부재(114)는, 도시하지 않는 탄성 지지 수단(코일 스프링 등)에 의해서, 상방향으로 탄성 지지되어 있다.The side surface of the support member 113 is fixed to the moving member 21 of Fig. 1 (a). The support member 113 supports the lift member 114 movably in the vertical direction through the slider 115. The elevating member 114 is elastically supported in an upward direction by an elastic supporting means (coil spring or the like) not shown.

승강 부재(114)는, 베어링(116)을 통하여, 회전부(12)를 회전 가능하게 지지하고 있다. 회전부(12)는, 원기둥 형상의 부재로 이루어져 있고, 상면에 축부(121)가 일체 형성되어 있다. 회전부(12)는, 축부(121)가 베어링(116)에 장착됨으로써, 상하 방향에 평행한 회전축(Ra)의 둘레로 회전 가능하게, 승강 부재(114)에 지지되어 있다. 회전부(12)는, 회전축(Ra)에 대하여 축 대칭인 형상을 갖고 있다.The elevating member 114 rotatably supports the rotating portion 12 via the bearing 116. [ The rotating portion 12 is formed of a cylindrical member, and a shaft portion 121 is integrally formed on the upper surface. The rotating portion 12 is supported by the elevating member 114 so as to be rotatable about the rotation axis Ra parallel to the up and down direction by the shaft portion 121 being mounted on the bearing 116. [ The rotary part 12 has a shape that is axisymmetric with respect to the rotation axis Ra.

회전부(12)의 하면에는, 상방으로 연장되는 원형의 구멍(122)이 형성되어 있다. 이 구멍(122)의 바닥에 자석(123)이 장착되어 있다. 홀더(40)가, 구멍(122)에 끼워져 있다. 홀더(40)는, 자성체로 이루어져 있고, 구멍(122)에 끼우는 원기둥 형상을 갖는다. 홀더(40)는, 하단에 스크라이빙 휠(41)이 회전 가능하게 설치되어 있다. 홀더(40)를 구멍(122)에 끼움으로써, 홀더(40)가 자석(123)에 흡인되어 회전부(12)에 장착된다.On the lower surface of the rotating portion 12, a circular hole 122 extending upward is formed. A magnet 123 is mounted on the bottom of the hole 122. A holder (40) is fitted in the hole (122). The holder 40 is made of a magnetic material and has a cylindrical shape sandwiched by the hole 122. In the holder 40, a scribing wheel 41 is rotatably provided at the lower end. By fitting the holder 40 into the hole 122, the holder 40 is attracted to the magnet 123 and mounted on the rotary part 12. [

도 3(a), (b)는, 회전부(12)에 대한 홀더(40)의 부착 방법을 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 3(a), (b)에서는, 회전부(12)의 내부가 투시된 상태가 나타나 있다.Figs. 3A and 3B are views schematically showing a method of attaching the holder 40 to the rotating portion 12. Fig. 3 (a) and 3 (b) show a state in which the inside of the rotation part 12 is viewed.

도 3(a), (b)에 나타내는 바와 같이, 구멍(122)의 바닥에 자석(123)이 설치되고, 추가로 구멍(122)의 내부에 핀(124)이 설치되어 있다. 또한, 홀더(40)는, 외측면이 절결됨으로써 경사면(40a)이 형성되어 있다. 또한, 홀더(40)의 하단에, 샤프트(40b)에 의해, 스크라이빙 휠(41)이 회전 가능하게 지지되어 있다. 홀더(40)의 하면에는, 전후 방향에 평행하게 홈이 형성되고, 추가로 이 홈을 수직으로 관통하는 구멍이 형성되어 있다. 스크라이빙 휠(41)은, 샤프트(40b)가 삽입되는 구멍을 갖는다. 스크라이빙 휠(41)을 홀더(40) 하면의 홈에 삽입한 상태에서, 샤프트(40b)를 홀더(40)의 구멍과 스크라이빙 휠(41)의 구멍에 삽입함으로써, 스크라이빙 휠(41)이, 회전 가능하게 홀더(40)에 장착된다.As shown in Figs. 3 (a) and 3 (b), a magnet 123 is provided at the bottom of the hole 122, and a pin 124 is further provided inside the hole 122. Fig. In addition, the holder 40 has an inclined surface 40a formed by cutting out the outer surface. A scribing wheel 41 is rotatably supported by a shaft 40b at the lower end of the holder 40. [ On the lower surface of the holder 40, a groove is formed parallel to the front-rear direction, and further, a hole penetrating through the groove is formed vertically. The scribing wheel 41 has a hole into which the shaft 40b is inserted. By inserting the shaft 40b into the hole of the holder 40 and the hole of the scribing wheel 41 in a state where the scribing wheel 41 is inserted into the groove of the lower surface of the holder 40, (41) is rotatably mounted on the holder (40).

회전부(12)에 홀더(40)를 부착할 경우, 홀더(40)가 구멍(122)에 삽입된다. 홀더(40)의 상단이 자석(123)에 접근하면 홀더(40)가 자석(123)에 흡착된다. 이 때, 홀더(40)의 경사면(40a)이 핀(124)에 맞닿고, 홀더(40)가 정규 위치에 위치 결정된다. 이와 같이, 도 3(b)에 나타내는 바와 같이, 홀더(40)가 회전부(12)의 하단에 장착된다.When the holder 40 is attached to the rotating portion 12, the holder 40 is inserted into the hole 122. When the upper end of the holder 40 approaches the magnet 123, the holder 40 is attracted to the magnet 123. At this time, the inclined surface 40a of the holder 40 comes into contact with the pin 124, and the holder 40 is positioned at the normal position. 3 (b), the holder 40 is attached to the lower end of the rotation part 12. [

도 2(a), (b)로 되돌아가, 승강 부재(114)의 상면에는, 나사형상의 중계 부재(117)가 나사 고정되어 있다. 또한, 피스톤(118)의 하단에 장착된 압압 부재(119)가 중계 부재(117)의 상면에 맞닿아 있다. 지지 부재(113)는, 도 1(a)의 이동 부재(21)에 고착된다.Returning to Figs. 2 (a) and 2 (b), on the upper surface of the elevation member 114, a screw-shaped relay member 117 is screwed. Further, the pressing member 119 mounted on the lower end of the piston 118 abuts against the upper surface of the relay member 117. The supporting member 113 is fixed to the moving member 21 of Fig. 1 (a).

상기와 같이, 승강 부재(114)는, 도시하지 않는 탄성 지지 수단에 의해서, 상방향으로 탄성 지지되어 있다. 따라서, 도 2(a)의 상태에서는, 이 탄성 지지에 의해, 승강 부재(114)의 상면이 지지 부재(113)에 가압되어 있다. 도 2(a)의 상태에 있어서, 도 1(b)의 조인트(111)를 통하여 실린더(112)의 공간(112a)에 공기압이 인가되면, 도 2(b)에 의해, 피스톤(118)이 하방향으로 눌러내려진다. 이에 따라, 압압 부재(119)와 중계 부재(117)를 통하여 승강 부재(114)가 하방향으로 눌러내려지고, 이에 수반하여, 회전부(12)가 하방향으로 눌러내려진다. 이와 같이 하여, 스크라이빙 휠(41)이 하방향으로 하중되고, 스크라이빙 휠(41)이 기판(F)의 표면에 눌려져 닿는다.As described above, the elevating member 114 is elastically supported in an upward direction by an elastic supporting means (not shown). 2 (a), the upper surface of the elevation member 114 is pressed against the support member 113 by the elastic support. 2 (b), when the air pressure is applied to the space 112a of the cylinder 112 through the joint 111 shown in Fig. 1 (b), the piston 118 Down direction. As a result, the elevating member 114 is pushed downward through the pressing member 119 and the relay member 117, and the rotating portion 12 is pushed down in accordance therewith. In this manner, the scribing wheel 41 is loaded in the downward direction, and the scribing wheel 41 is pressed against the surface of the substrate F and contacts.

또한, 도 2(a), (b)에는, 공기압으로 스크라이빙 휠(41)에 하중을 부여하는 구성의 스크라이브 헤드(10)를 나타냈지만, 이에 한정되지 않고, 서보 모터에 의해 스크라이빙 휠(41)에 하중을 부여하는 구성의 스크라이브 헤드(10)라도 좋다.2 (a) and 2 (b) show a scribe head 10 configured to apply a load to the scribing wheel 41 by pneumatic pressure. However, the scribe head 10 is not limited to this, The scribe head 10 may be configured to apply a load to the wheel 41. [

또한, 도 2(a), (b)에 있어서, Ra는, 상기와 같이 회전부(12)의 회전축이다. Rb는, 실린더(112) 및 피스톤(118)의 중심축이다. 실시 형태 1에서는, 회전축(Ra)과 중심축(Rb)이 서로 평행하고 또한 일치하고 있다. 따라서, 구동부(11)가 회전부(12)를 구동하는 방향이, 회전축(Ra)에 대하여 평행하게 되어 있다.2 (a) and 2 (b), Ra is the rotation axis of the rotation section 12 as described above. Rb is the central axis of the cylinder 112 and the piston 118. In Embodiment 1, the rotation axis Ra and the central axis Rb are parallel to and coincide with each other. Therefore, the direction in which the driving section 11 drives the rotation section 12 is parallel to the rotation axis Ra.

도 4(a), (b)는, 각각, 비교예 및 실시 형태 1에 따른 이동 부재(21)에 대한 스크라이브 헤드(10)의 설치 상태를 나타내는 측면도이다.4 (a) and 4 (b) are side views showing the installation state of the scribe head 10 with respect to the moving member 21 according to the comparative example and the first embodiment, respectively.

도 4(a)에 나타내는 바와 같이, 비교예에서는, 회전부(12)의 회전축(Ra)과 구동부(11)의 중심축(Rb)이, Z축에 평행하게 되어 있다. 즉, 비교예에서는, 회전축(Ra)과 중심축(Rb)이 기판(F)의 표면에 대하여 수직이 되도록, 스크라이브 헤드(10)가 이동 부재(21)에 설치되어 있다.As shown in Fig. 4 (a), in the comparative example, the rotation axis Ra of the rotation section 12 and the central axis Rb of the drive section 11 are parallel to the Z axis. That is, in the comparative example, the scribe head 10 is provided on the movable member 21 such that the rotation axis Ra and the central axis Rb are perpendicular to the surface of the substrate F.

도 4(b)에 나타내는 바와 같이, 실시 형태 1에서는, 회전부(12)의 회전축(Ra)과 구동부(11)의 중심축(Rb)이, Z축에 평행한 방향으로부터 X축에 근접하는 방향으로 기울어 있다. 즉, 실시 형태 1에서는, 회전축(Ra)과 중심축(Rb)이, 기판(F)의 표면에 수직인 방향에 대하여 스크라이브 헤드(10)의 진행 방향(스크라이브 방향：X축 정방향) 전측으로 기울어 있다. 구체적으로는, 도 4(b)의 구성에서는, 회전축(Ra)과 기판(F)의 표면이 이루는 각이, 88°로 되어 있다. 실시 형태 1의 스크라이브 헤드(10)와 비교예의 스크라이브 헤드(10)는 동일한 구성이며, 이동 부재(21)에 대한 설치 상태만이 상위하다.The rotation axis Ra of the rotation section 12 and the center axis Rb of the drive section 11 are shifted from the direction parallel to the Z axis to the direction close to the X axis . That is, in Embodiment 1, the rotation axis Ra and the central axis Rb are inclined forward in the advancing direction (scribe direction: X-axis normal direction) of the scribe head 10 with respect to the direction perpendicular to the surface of the substrate F have. Specifically, in the configuration of Fig. 4 (b), the angle formed by the rotation axis Ra and the surface of the substrate F is 88 degrees. The scribe head 10 of the first embodiment and the scribe head 10 of the comparative example have the same structure and differ only in the installation state with respect to the movable member 21.

또한, 비교예 및 실시 형태 1에서는, 어느 쪽이나, 스크라이빙 휠(41)의 회전 중심이, 회전축(Ra) 및 중심축(Rb)에 대하여, 스크라이브 방향과 반대 방향, 즉 X축 부방향으로, 편심량 Δd만큼 시프트하고 있다. 즉, 회전부(12)에 대한 홀더(40)의 설치 위치(구멍(122)의 위치)가, 회전축(Ra)에 대하여, 스크라이브 방향과 반대 방향으로, 편심량 Δd만큼 시프트하고 있다. 비교예 및 실시 형태 1의 어느 쪽이나, Y축 방향에 있어서, 스크라이빙 휠(41)과, 회전축(Ra) 및 중심축(Rb)의 사이에 위치 어긋남은 없다.In both the comparative example and the first embodiment, the rotation center of the scribing wheel 41 rotates in the direction opposite to the scribe direction, that is, in the X axis direction with respect to the rotation axis Ra and the center axis Rb , And is shifted by the amount of eccentricity? D. That is, the mounting position (the position of the hole 122) of the holder 40 with respect to the rotating portion 12 is shifted by the amount of eccentricity? D in the direction opposite to the scribing direction with respect to the rotating shaft Ra. In both of the comparative example and the first embodiment, there is no positional deviation between the scribing wheel 41 and the rotation axis Ra and the center axis Rb in the Y-axis direction.

실시 형태 1에서는, 도 4(b)와 같이, 회전축(Ra)을, 기판(F)의 표면에 수직인 방향에 대하여 스크라이브 헤드(10)의 진행 방향(스크라이브 방향：X축 정방향) 전측으로 기울어짐으로써, 스크라이브 동작시에 있어서의 스크라이빙 휠(41)의 직진성을 높일 수 있다. 이에 따라, 실시 형태 1에서는, 미리 설정된 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 억제할 수 있다. 이하, 이 효과를 검증한 실험 결과에 대하여 설명한다.In Embodiment 1, the rotation axis Ra is inclined forward in the advancing direction (scribe direction: X-axis forward direction) of the scribe head 10 with respect to the direction perpendicular to the surface of the substrate F as shown in Fig. 4 (b) It is possible to enhance the straightness of the scribing wheel 41 in the scribing operation. Thus, in Embodiment 1, it is possible to suppress the displacement of the scribe line with respect to the preset reference straight line. Hereinafter, experimental results obtained by verifying this effect will be described.

＜실험＞<Experiment>

본원 발명자는, 회전축(Ra)과 기판(F)의 표면이 이루는 각을 다양하게 변경하여, 스크라이브 라인의 형성 상태를 검증했다. 실험에서는, 기판(F)에 50㎛ 피치로 스크라이브 라인을 형성하고, 도 5에 나타내는 바와 같이, 실제로 형성된 스크라이브 라인의 피치(P)를 계측했다. 피치(P)는, 스크라이브 라인의 계측 위치(Lo)에 있어서 계측했다.The present inventors varied the angle formed by the rotation axis Ra and the surface of the substrate F to verify the formation state of the scribe line. In the experiment, a scribe line was formed on the substrate F at a pitch of 50 mu m, and the pitch P of the actually formed scribe line was measured as shown in Fig. The pitch P was measured at the measurement position Lo of the scribe line.

실험은, 원판의 외주에 V자 형상의 날끝이 형성됨과 함께 날끝의 능선에 소정의 간격으로 홈을 갖는 구조의 스크라이빙 휠(41), 즉, 미쯔보시다이아몬드공업 주식회사 제, APIO(미쯔보시다이아몬드 공업 주식회사의 등록상표)를 이용하여 행했다. 스크라이빙 휠(41)의 외경, 두께, 내경은, 각각, 2㎜, 0.65㎜, 0.8㎜였다. 또한, 스크라이빙 휠(41)의 날끝 각도는 115°였다. 날끝의 능선에 형성된 홈의 피치 및 깊이는, 각각, 31.4㎛, 3㎛였다. 도 4(a)에 나타내는 편심량 Δd는, 0.5㎜였다.In the experiment, a scribing wheel 41 having a structure in which a V-shaped edge was formed on the outer periphery of the original plate and a groove was formed at a predetermined interval on the ridge line of the edge, that is, APIO (manufactured by Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Manufactured by Diamond Industrial Co., Ltd.). The outer diameter, thickness, and inner diameter of the scribing wheel 41 were 2 mm, 0.65 mm, and 0.8 mm, respectively. The angle of the blade edge of the scribing wheel 41 was 115 °. The pitch and the depth of the groove formed in the ridgeline of the edge were 31.4 탆 and 3 탆, respectively. The eccentric amount? D shown in Fig. 4 (a) was 0.5 mm.

도 6(a)∼(d)는, 각각, 스크라이브 헤드(10)의 경사각(회전축(Ra)과 기판(F)의 표면이 이루는 각)을 변화시켰을 때의 스크라이브 라인의 피치(P)의 계측 결과를 나타내는 도면(히스토그램)이다. 도 6(a)∼(d)의 종축의 스케일은 동일하다.6 (a) to 6 (d) are graphs showing the measurement of the pitch P of the scribe line when the inclination angle of the scribe head 10 (the angle formed by the rotation axis Ra and the surface of the substrate F) (Histogram) showing the result. The scales on the ordinate of Figs. 6 (a) to 6 (d) are the same.

이 실험에 있어서, 구동부(11)에 의해서 부여되는 스크라이빙 휠(41)의 하중은, 2.7N으로 설정했다. 도 6(a)∼(d)에 부기된 화살표는, 적정한 피치(P)의 값인 50㎛를 나타내고 있다. 또한, 도 6(a)∼(d)에 있어서, 파선은 피치(P)의 분산을 나타내고 있고, 일점 쇄선은 피치(P)의 평균값을 나타내고 있다.In this experiment, the load of the scribing wheel 41 imparted by the driving unit 11 was set to 2.7N. The arrows shown in Figs. 6 (a) to 6 (d) indicate the value of the appropriate pitch P of 50 m. 6 (a) to 6 (d), the dashed line represents the dispersion of the pitch P, and the one-dot chain line represents the average value of the pitch P.

도 6(c)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드(10)의 경사각(회전축(Ra)과 기판(F)의 표면이 이루는 각)을 90°로 설정한 경우, 형성된 스크라이브 라인에는, 피치(P)가 적정값(50㎛)으로부터 크게 벗어난 것이 다수 존재했다. 따라서, 이 경사각에서는, 기준 직선으로부터 크게 벗어난 상태에서 스크라이브 라인이 형성되는 것이 상정될 수 있다. 도 6(c)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드(10)의 경사각을 90°로 설정한 경우, 적정값(50㎛)에 대한 피치(P)의 최대 편차량은 20㎛ 정도였다. 이 때문에, 적어도 기준 직선으로부터 20㎛ 정도 어긋난 상태에서 스크라이브 라인이 형성되는 것이 상정될 수 있다. 최대 편차량의 피치(P)를 계측한 서로 이웃하는 2개의 스크라이브 라인의 한쪽이, 기준 직선에 대하여 어긋나 있는 경우, 다른 한쪽의 스크라이브 라인은, 20㎛를 더욱 웃도는 양으로, 기준 직선으로부터 어긋나는 경우가 일어날 수 있다.6 (c), when the inclination angle of the scribe head 10 (the angle formed by the rotation axis Ra and the surface of the substrate F) is set to 90 degrees, (50 [micro] m). Therefore, at this inclination angle, it can be assumed that a scribe line is formed in a state deviated from the reference straight line. As shown in Fig. 6 (c), when the inclination angle of the scribe head 10 was set at 90 deg., The maximum deviation of the pitch P with respect to the optimum value (50 m) was about 20 m. For this reason, it can be assumed that a scribe line is formed in a state of being displaced at least about 20 mu m from the reference straight line. When one of two neighboring scribe lines measuring the pitch P of the maximum deviation vehicle deviates from the reference straight line and the other scribe line is deviated from the reference straight line in an amount exceeding 20 占 퐉 Can happen.

도 6(d)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드(10)의 경사각(회전축(Ra)과 기판(F)의 표면이 이루는 각)을 90°를 초과하는 92°로 설정한 경우, 도 6(c)의 경우와 동일하게, 형성된 스크라이브 라인에는, 피치(P)가 적정값(50㎛)으로부터 크게 벗어난 것이 다수 존재했다. 따라서, 경사각을 92°로 설정한 경우도, 경사각을 90°로 설정한 경우와 동일하게, 기준 직선으로부터 크게 벗어난 상태에서, 스크라이브 라인이 형성되는 것이 상정될 수 있다.6 (d), when the inclination angle (angle between the rotation axis Ra and the surface of the substrate F) of the scribe head 10 is set to 92 degrees, which is greater than 90 degrees, , There were many scribe lines formed in which the pitch P deviated significantly from the appropriate value (50 m). Therefore, even when the inclination angle is set to 92 °, it is possible to assume that a scribe line is formed in a state in which it is largely deviated from the reference straight line, as in the case of setting the inclination angle to 90 °.

이에 대하여, 도 6(a), (b)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드(10)의 경사각(회전축(Ra)과 기판(F)의 표면이 이루는 각)을 90°보다도 작은 86° 및 88°로 설정한 경우, 형성된 스크라이브 라인의 피치(P)는 적정값인 50㎛ 부근에 모이고, 피치(P)가 적정값으로부터 크게 벗어나는 것이 억제되었다. 경사각을 86°로 설정한 경우, 적정값에 대한 피치(P)의 편차량이 4㎛까지 억제되고, 경사각을 88°로 설정한 경우도, 적정값에 대한 피치(P)의 편차량이 5㎛까지 억제되었다. 또한, 경사각을 86° 및 88°로 설정한 경우는, 적정값보다도 큰 피치의 도수와 적정값보다도 작은 피치의 도수의 차가 작고, 피치(P)의 평균값은 적정값의 근방에 수속했다. 특히, 경사각을 88°로 설정한 경우는, 피치(P)가 적정값에 대하여 증감 방향으로 대략 균등하게 분산하고, 피치(P)의 평균값은 적정값에 대략 정합했다.6 (a) and 6 (b), the inclination angle (the angle formed between the rotation axis Ra and the surface of the substrate F) of the scribe head 10 is 86 degrees and 88 degrees , The pitch P of the formed scribe line was collected at an appropriate value of about 50 mu m, and the pitch P was prevented from deviating significantly from the appropriate value. When the inclination angle is set to 86 degrees, the amount of deviation of the pitch P with respect to the appropriate value is suppressed to 4 mu m, and even when the inclination angle is set to 88 degrees, Mu m. When the inclination angles were set to 86 deg. And 88 deg., The difference between the power of a pitch larger than the appropriate value and the power of a pitch smaller than the proper value was small, and the average value of the pitch P was converged in the vicinity of the proper value. Particularly, when the inclination angle is set to 88 °, the pitch P is dispersed substantially evenly in the increasing and decreasing direction with respect to the appropriate value, and the average value of the pitch P is approximately matched to the appropriate value.

이와 같이, 경사각을 86° 및 88°로 설정한 경우, 피치(P)가 적정값 부근에 모이기 때문에, 기준 직선으로부터 크게 벗어나 스크라이브 라인이 형성되는 일이 없다. 또한, 피치(P)가, 적정값에 대하여 증감 방향으로 밸런스 좋게 분산되어 있기 때문에, 적정값에 대한 피치(P)의 편차량이 인접하는 스크라이브 라인간에서 누적되는 일이 일어나기 어렵다. 따라서, 각각의 스크라이브 라인은, 대응하는 기준 직선에 대략 정합하도록 형성될 수 있다.In this way, when the inclination angle is set to 86 deg. And 88 deg., Since the pitch P converges near the appropriate value, the scribe line is not formed beyond the reference straight line. In addition, since the pitch P is well balanced in the increasing and decreasing direction with respect to the optimum value, it is difficult for the deviation of the pitch P with respect to the optimum value to accumulate in the adjacent scribe human. Thus, each scribe line can be formed to approximately match the corresponding reference straight line.

이상의 실험 결과로부터, 스크라이브 헤드(10)의 경사각을 90° 미만으로 설정하는 것, 즉, 회전부(12)의 회전축(Ra)을 기판(F)의 표면에 수직인 방향에 대하여 상기 스크라이브 헤드(10)의 진행 방향(스크라이브 방향) 전측으로 기울임으로써, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 억제할 수 있는 것을 확인할 수 있었다. 특히, 경사각을 86° 이상 88° 이하로 설정한 경우는, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 효과적으로 억제할 수 있는 것을 확인할 수 있었다.It can be seen from the above experimental results that the inclination angle of the scribe head 10 is set to less than 90 degrees, that is, the rotation axis Ra of the rotary part 12 is inclined with respect to the direction perpendicular to the surface of the substrate F (Scribe direction) of the scribe line of the scribe line, it is confirmed that the displacement of the scribe line with respect to the reference straight line can be suppressed. In particular, it was confirmed that, when the inclination angle is set to 86 ° or more and 88 ° or less, the displacement of the scribe line relative to the reference straight line can be effectively suppressed.

도 7(a)∼(d)는, 각각, 스크라이브 헤드(10)의 경사각(회전축(Ra)과 기판(F)의 표면이 이루는 각)을 변화시켰을 때의 스크라이브 라인의 피치(P)의 계측 결과를 나타내는 도면(히스토그램)이다.7A to 7D are diagrams showing measurement of the pitch P of the scribe line when the inclination angle of the scribe head 10 (the angle formed by the rotation axis Ra and the surface of the substrate F) (Histogram) showing the result.

이 실험에 있어서, 구동부(11)에 의해서 부여되는 스크라이빙 휠(41)의 하중은, 5.5N으로 설정했다. 즉, 도 6(a)∼(d)에 나타낸 상기 실험에 비해, 스크라이빙 휠(41)의 하중을 약 2배로 높였다. 도 7(a)∼(d) 중의 화살표는, 적정한 피치(P)의 값인 50㎛를 나타내고 있다. 또한, 도 7(a)∼(d)에 있어서, 파선은 피치(P)의 분산을 나타내고 있고, 일점 쇄선은 피치(P)의 평균값을 나타내고 있다.In this experiment, the load of the scribing wheel 41 imparted by the driving unit 11 was set to 5.5N. That is, the load of the scribing wheel 41 is increased by about two times as compared with the experiment shown in Figs. 6 (a) to 6 (d). The arrows in Figs. 7 (a) to 7 (d) show 50 mu m, which is a proper pitch P value. 7A to 7D, the broken line indicates the dispersion of the pitch P, and the dash-dotted line indicates the average value of the pitch P. In Figs.

도 7(c)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드(10)의 경사각(회전축(Ra)과 기판(F)의 표면이 이루는 각)을 90°로 설정한 경우, 형성된 스크라이브 라인의 피치(P)는 적정값(50㎛)으로부터 크게 벗어난 것이 존재했다. 따라서, 이 경사각에서는, 스크라이브 라인을 형성하고자 하는 기준 직선으로부터 크게 벗어난 상태에서, 스크라이브 라인이 형성되는 것이 상정될 수 있다.7 (c), when the inclination angle (the angle formed by the rotation axis Ra and the surface of the substrate F) of the scribe head 10 is set to 90 degrees, the pitch P of the scribe lines formed is There was a large deviation from the proper value (50 탆). Therefore, at this inclination angle, it can be assumed that a scribe line is formed in a state where the scribe line is largely deviated from the reference straight line to be formed.

또한, 도 7(d)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드(10)의 경사각(회전축(Ra)과 기판(F)의 표면이 이루는 각)을 90°를 초과하는 92°로 설정한 경우는, 형성된 스크라이브 라인의 피치(P)가 적정값(50㎛)으로부터 크게 벗어나는 것이 억제되었다. 그러나, 이 경사각에서는, 형성된 스크라이브 라인의 피치(P)가, 어느 쪽이나, 적정값보다도 커져 있어, 피치(P)의 편중이 보여졌다. 이 때문에, 스크라이브 라인의 형성 공정에 있어서는, 스크라이브 라인의 형성 대상을 이웃하는 스크라이브 라인으로 전환할 때마다, 적정값에 대한 피치(P)의 오차가 누적하고, 기준 직선과 스크라이브 라인의 사이의 위치 어긋남이 커져 간다. 따라서, 이 경사각에 의해서도, 스크라이브 라인을 형성하고자 하는 기준 직선으로부터 크게 벗어난 상태에서, 스크라이브 라인이 형성되는 것이 상정될 수 있다.7 (d), when the inclination angle of the scribe head 10 (the angle formed by the rotation axis Ra and the surface of the substrate F) is set to 92 degrees, which is greater than 90 degrees, The pitch P of the scribe line was prevented from deviating significantly from the appropriate value (50 mu m). However, at this inclination angle, the pitch P of the formed scribe line was larger than the appropriate value, and the bias of the pitch P was seen. Therefore, in the scribing line forming step, every time the scribing line forming object is switched to the neighboring scribing line, the error of the pitch P with respect to the appropriate value accumulates, and the position between the reference straight line and the scribing line The discrepancy grows. Accordingly, it is also possible to assume that the scribe line is formed even with this inclination angle, with the scribe line largely deviated from the reference straight line to be formed.

이에 대하여, 도 7 (a), (b)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드(10)의 경사각(회전축(Ra)과 기판(F)의 표면이 이루는 각)을 90°보다 작은 86° 및 88°로 설정한 경우, 형성된 스크라이브 라인의 피치(P)가 적정값인 50㎛ 부근에 모이고, 피치(P)가 적정값으로부터 크게 벗어나는 것이 억제되었다. 또한, 이들 경사각에서는, 피치(P)가 적정값에 대하여 증감 방향으로 균등하게 분산했기 때문에, 피치(P)의 평균값이 적정값에 대략 일치하고 있다. 이 때문에, 도 7(d)의 경우와 같이, 스크라이브 라인의 형성 대상을 인접하는 스크라이브 라인으로 전환할 때마다, 적정값에 대한 피치의 오차가 누적되는 일이 일어나기 어렵다.7 (a) and 7 (b), the inclination angle of the scribe head 10 (angle between the rotation axis Ra and the surface of the substrate F) is 86 ° and 88 ° smaller than 90 ° , The pitch P of the formed scribe line was collected in the vicinity of 50 mu m which was an appropriate value, and the pitch P was prevented from deviating significantly from the appropriate value. At these inclination angles, the average value of the pitch P substantially coincides with the appropriate value since the pitch P is evenly distributed in the increasing and decreasing direction with respect to the appropriate value. Therefore, as in the case of Fig. 7 (d), it is difficult for the pitch error to be accumulated to an appropriate value every time the scribing line formation target is switched to the adjacent scribe line.

이 실험 결과로부터도, 스크라이브 헤드(10)의 경사각을 90° 미만으로 설정하는 것, 즉, 회전부(12)의 회전축(Ra)을 기판(F)의 표면에 수직인 방향에 대하여 상기 스크라이브 헤드(10)의 진행 방향(스크라이브 방향) 전측으로 기울임으로써, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 억제할 수 있는 것을 확인할 수 있었다. 특히, 이 실험 결과에서는, 경사각을 88° 부근에 설정한 경우에, 피치의 편차량을 2㎛ 미만으로 억제할 수 있어, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 현저하게 억제할 수 있는 것을 확인할 수 있었다.It is also confirmed from this experimental result that the inclination angle of the scribe head 10 is set to less than 90 degrees, that is, the rotation axis Ra of the rotary part 12 is inclined with respect to the direction perpendicular to the surface of the substrate F 10 in the direction of advance (scribe direction) of the scribe line, it can be confirmed that the displacement of the scribe line with respect to the reference straight line can be suppressed. Particularly, in this experimental result, it is confirmed that the deviation of the pitch can be suppressed to less than 2 mu m when the inclination angle is set to about 88 DEG, and the shift of the scribe line with respect to the reference straight line can be remarkably suppressed there was.

＜변경예＞<Example of change>

상기 실시 형태 1에서는, 스크라이브 헤드(10) 전체를 기울임으로써, 회전부(12)의 회전축(Ra)을 기판(F)의 표면에 수직인 방향에 대하여 스크라이브 헤드(10)의 진행 방향 전측으로 기울였지만, 도 8(a)에 나타내는 바와 같이, 구동부(11)의 중심축(Rb)이 기판(F)의 표면에 수직이 되도록 스크라이브 헤드(10)를 이동 부재(21)에 설치하고, 회전축(Ra)이 기판(F)의 표면에 수직인 방향에 대하여 스크라이브 헤드(10)의 진행 방향 전측으로 기울도록, 회전부(12)를 스크라이브 헤드(10)에 설치하는 구성으로 해도 좋다.The rotation axis Ra of the rotary section 12 is tilted toward the front side of the scribe head 10 in the direction perpendicular to the surface of the substrate F by tilting the entire scribe head 10 The scribe head 10 is mounted on the movable member 21 so that the central axis Rb of the drive portion 11 is perpendicular to the surface of the substrate F as shown in Fig. May be provided on the scribe head 10 so that the rotary part 12 is inclined forward in the advancing direction of the scribe head 10 with respect to the direction perpendicular to the surface of the substrate F. [

이 경우, 회전부(12)는, 예를 들면, 도 8(b)에 나타내는 바와 같이 하여, 승강 부재(114)에 설치된다. 이 구성에서는, 승강 부재(114)의 부착부(114a)에 회전부(12)가 설치된다. 부착부(114a)는, 예를 들면, 플랜지 형상의 부재로 이루어져 있고, 미리, 수평 방향으로부터 소정의 각도만큼 기울도록 형성되어 있다. 부착부(114a)는, 반드시, 플랜지 형상의 부재가 아니어도 좋고, 회전부(12)의 축부(121)가 연직 방향으로부터 소정 각도만큼 기울도록 회전부(12)를 승강 부재(114)에 부착할 수 있으면, 다른 구성이라도 좋다. 회전부(12)는, 베어링(116)을 통하여 부착부(114a)에 설치된다.In this case, the rotating portion 12 is provided on the elevating member 114, for example, as shown in Fig. 8 (b). In this configuration, the rotation portion 12 is provided in the attachment portion 114a of the elevation member 114. [ The attachment portion 114a is formed of, for example, a flange-shaped member, and is formed so as to be inclined by a predetermined angle in advance from the horizontal direction. The attachment portion 114a may not necessarily be a flange-like member and the rotation portion 12 may be attached to the elevation member 114 such that the shaft portion 121 of the rotation portion 12 is inclined by a predetermined angle from the vertical direction Otherwise, other configurations may be used. The rotary part 12 is installed in the attachment part 114a through the bearing 116. [

이 변경예의 구성에 의해서도, 상기 실시 형태 1과 동일한 효과가 발휘될 수 있다. 본원 발명자는, 이 변경예의 구성에 대해서도, 상기 실시 형태 1과 동일한 실험을 행했다. 그 결과, 이 구성에 의해서도, 상기 실시 형태 1과 동일하게, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 억제할 수 있는 것을 확인할 수 있었다.With the configuration of this modification example, the same effect as that of the first embodiment can be obtained. The inventors of the present invention conducted the same experiment as the first embodiment with respect to the configuration of this modified example. As a result, it was confirmed that this configuration can also suppress the displacement of the scribe line with respect to the reference straight line as in the first embodiment.

(2) 실시 형태 2(2) Embodiment 2

상기 실시 형태 1에서는, 회전부(12)에 홀더(40)를 장착함으로써, 스크라이빙 휠(41)이 스크라이브 헤드(10)에 장착되었다. 이에 대하여, 실시 형태 2에서는, 회전부(12)에 직접, 스크라이빙 휠(41)이 장착된다.In the first embodiment, the scribing wheel 41 is attached to the scribe head 10 by attaching the holder 40 to the rotating portion 12. [ On the other hand, in Embodiment 2, the scribing wheel 41 is mounted directly on the rotating portion 12.

도 9(a), (b)는, 각각, 비교예 및 실시 형태 2에 따른 이동 부재(21)에 대한 스크라이브 헤드(10)의 설치 상태를 나타내는 측면도이다.9 (a) and 9 (b) are side views showing the installation state of the scribe head 10 with respect to the moving member 21 according to the comparative example and the second embodiment, respectively.

도 9(a), (b)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드(10)의 회전부(12)에 직접, 스크라이빙 휠(41)이 장착된다. 스크라이빙 휠(41)의 구멍에 통과된 축의 양단을, 회전부(12)의 내벽과 지지판(125)으로 지지함으로써, 스크라이빙 휠(41)이 회전부(12)에 장착된다. 지지판(125)은, 나사(126)에 의해, 회전부(12)에 고착된다. 스크라이브 헤드(10)의 그 외의 구성은, 실시 형태 1과 동일하다.The scribing wheel 41 is mounted directly on the rotating portion 12 of the scribe head 10 as shown in Figs. 9 (a) and 9 (b). The scribing wheel 41 is mounted on the rotating portion 12 by supporting both ends of the shaft passed through the hole of the scribing wheel 41 by the inner wall of the rotating portion 12 and the supporting plate 125. [ The support plate 125 is fixed to the rotation portion 12 by a screw 126. [ The other configuration of the scribe head 10 is the same as that of the first embodiment.

도 9(a)에 나타내는 바와 같이, 비교예에서는, 회전부(12)의 회전축(Ra)과 구동부(11)의 중심축(Rb)이, Z축에 평행하게 되어 있다. 즉, 비교예에서는, 회전축(Ra)과 중심축(Rb)이 기판(F)의 표면에 대하여 수직이 되도록, 스크라이브 헤드(10)가 이동 부재(21)에 설치되어 있다.9A, in the comparative example, the rotation axis Ra of the rotation section 12 and the central axis Rb of the drive section 11 are parallel to the Z axis. That is, in the comparative example, the scribe head 10 is provided on the movable member 21 such that the rotation axis Ra and the central axis Rb are perpendicular to the surface of the substrate F.

도 9(b)에 나타내는 바와 같이, 실시 형태 2에서는, 회전부(12)의 회전축(Ra)과 구동부(11)의 중심축(Rb)이, Z축에 평행한 방향으로부터 X축에 근접하는 방향으로 기울어 있다. 즉, 실시 형태 2에서는, 회전축(Ra)과 중심축(Rb)이, 기판(F)의 표면에 수직인 방향에 대하여 스크라이브 헤드(10)의 진행 방향(스크라이브 방향：X축 정방향) 전측으로 기울어 있다. 구체적으로는, 도 9(b)의 구성에서는, 회전축(Ra)과 기판(F)의 표면이 이루는 각이, 88°로 되어 있다. 실시 형태 2의 스크라이브 헤드(10)와 비교예의 스크라이브 헤드(10)는 동일한 구성이고, 이동 부재(21)에 대한 설치 상태만이 상위하다.The rotational axis Ra of the rotating portion 12 and the central axis Rb of the driving portion 11 are shifted from the direction parallel to the Z axis to the direction close to the X axis . That is, in Embodiment 2, the rotation axis Ra and the central axis Rb are inclined forward in the advancing direction (scribe direction: X-axis normal direction) of the scribe head 10 with respect to the direction perpendicular to the surface of the substrate F have. Specifically, in the configuration of Fig. 9 (b), the angle formed by the rotation axis Ra and the surface of the substrate F is 88 degrees. The scribe head 10 of the second embodiment and the scribe head 10 of the comparative example have the same structure and differ only in the installation state with respect to the movable member 21.

또한, 비교예 및 실시 형태 2에서는, 어느 쪽이나, 스크라이빙 휠(41)의 회전 중심이, 회전축(Ra) 및 중심축(Rb)에 대하여, 스크라이브 방향과 반대 방향, 즉 X축 부방향으로, 편심량 Δd만큼 시프트하고 있다. 비교예 및 실시 형태 2의 어느쪽이나, Y축 방향에 있어서, 스크라이빙 휠(41)과, 회전축(Ra) 및 중심축(Rb)의 사이에 위치 어긋남은 없다.In both of the comparative example and the second embodiment, the rotation center of the scribing wheel 41 rotates in the opposite direction to the scribing direction, i.e., in the X axis direction, with respect to the rotation axis Ra and the center axis Rb , And is shifted by the amount of eccentricity? D. In both of the comparative example and the second embodiment, there is no positional deviation between the scribing wheel 41 and the rotation axis Ra and the center axis Rb in the Y-axis direction.

도 10(a)는, 회전부(12)의 구성을 개략적으로 나타내는 측면도이다. 도 10(a)에는, 도 9(a)에 나타내는 바와 같이 회전부(12)의 회전축(Ra)이 Z축에 평행해지도록 회전부(12)가 배치된 경우의 상태가 나타나 있다.Fig. 10 (a) is a side view schematically showing the configuration of the rotation section 12. Fig. 10A shows a state in which the rotation section 12 is arranged such that the rotation axis Ra of the rotation section 12 is parallel to the Z axis as shown in Fig. 9A.

도 10(a)에 나타내는 바와 같이, 회전부(12)의 축부(121)는, 회전부(12)의 중심축(Rc)에 대하여 X축 정방향으로 편심량 Δd만큼 시프트한 위치에 형성되어 있다. 스크라이빙 휠(41)은, 회전 중심이 회전부(12)의 중심축(Rc)의 위치에 일치하도록 배치되어 있다. 이에 따라, 스크라이빙 휠(41)의 회전 중심이, 회전축(Ra) 및 중심축(Rb)에 대하여, 스크라이브 방향과 반대 방향, 즉 X축 부방향으로, 편심량 Δd만큼 시프트하고 있다.The shaft portion 121 of the rotation portion 12 is formed at a position shifted by the eccentric amount? D in the positive X-axis direction with respect to the central axis Rc of the rotation portion 12 as shown in Fig. 10 (a). The scribing wheel 41 is arranged such that its center of rotation coincides with the position of the center axis Rc of the rotating portion 12. [ The rotational center of the scribing wheel 41 is shifted by the amount of eccentricity? D in the direction opposite to the scribing direction, i.e., the X axis direction, with respect to the rotational axis Ra and the center axis Rb.

실시 형태 2에서는, 도 9(b)와 같이, 회전축(Ra)을, 기판(F)의 표면에 수직인 방향에 대하여 스크라이브 헤드(10)의 진행 방향(스크라이브 방향：X축 정방향) 전측으로 기울임으로써, 스크라이브 동작시에 있어서의 스크라이빙 휠(41)의 직진성을 높일 수 있다. 이에 따라, 실시 형태 2에서는, 미리 설정된 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 억제할 수 있다. 이하, 이 효과를 검증한 실험 결과에 대하여 설명한다.9 (b), the rotation axis Ra is tilted forward in the advancing direction (scribe direction: X-axis forward direction) of the scribe head 10 with respect to the direction perpendicular to the surface of the substrate F , It is possible to enhance the straightness of the scribing wheel 41 in the scribing operation. Thus, in the second embodiment, it is possible to suppress the displacement of the scribe line with respect to the preset reference straight line. Hereinafter, experimental results obtained by verifying this effect will be described.

＜실험＞<Experiment>

본원 발명자는, 회전축(Ra)과 기판(F)의 표면이 이루는 각을 다양하게 변경하여, 스크라이브 라인의 형성 상태를 검증했다. 실험에서는, 기판(F)에 50㎛ 피치로 스크라이브 라인을 형성하고, 도 5(a)에 나타내는 바와 같이, 실제로 형성된 스크라이브 라인의 피치(P)를 계측했다. 피치(P)는, 스크라이브 라인의 계측 위치(Lo)에 있어서 계측했다.The present inventors varied the angle formed by the rotation axis Ra and the surface of the substrate F to verify the formation state of the scribe line. In the experiment, a scribe line was formed on the substrate F at a pitch of 50 占 퐉, and the pitch P of the scribe line actually formed was measured as shown in Fig. 5 (a). The pitch P was measured at the measurement position Lo of the scribe line.

실험은, 원판의 외주에 V자 형상의 날끝이 일정하게 형성된 구조의 스크라이빙 휠(41)을 이용하여 행했다. 본 실험에서는, 날끝의 능선에 홈이 형성되어 있지 않은 구조의 스크라이빙 휠(41)을 이용했다. 스크라이빙 휠(41)의 외경, 두께, 내경은, 각각, 2.0㎜, 0.65㎜, 0.8㎜였다. 또한, 스크라이빙 휠(41)의 날끝 각도는 120°였다. 도 4(a)에 나타내는 편심량 Δd는 2.5㎜였다.The experiment was carried out using a scribing wheel 41 having a structure in which a V-shaped blade edge was uniformly formed on the outer periphery of the original plate. In this experiment, a scribing wheel 41 of a structure in which a groove is not formed in the ridge line of the blade edge was used. The outer diameter, thickness, and inner diameter of the scribing wheel 41 were 2.0 mm, 0.65 mm, and 0.8 mm, respectively. The angle of the blade of the scribing wheel 41 was 120 deg. The amount of eccentricity? D shown in Fig. 4 (a) was 2.5 mm.

도 11(a)∼(f)는, 각각, 스크라이브 헤드(10)의 경사각(회전축(Ra)과 기판(F)의 표면이 이루는 각)을 변화시켰을 때의 스크라이브 라인의 피치(P)의 계측 결과를 나타내는 도면(히스토그램)이다. 도 11(a)∼(f)의 세로축의 스케일은 동일하다.11 (a) to 11 (f) show measurement of the pitch P of the scribe line when the inclination angle (the angle formed between the rotation axis Ra and the surface of the substrate F) of the scribe head 10 is changed (Histogram) showing the result. The scales on the vertical axis in Figs. 11 (a) to 11 (f) are the same.

이 실험에 있어서, 구동부(11)에 의해서 부여되는 스크라이빙 휠(41)의 하중은, 5.5N으로 설정했다. 도 11(a)∼(d)에 부기된 화살표는, 적정한 피치(P)의 값인 50㎛를 나타내고 있다. 또한, 도 11(a)∼(d)에 있어서, 파선은 피치(P)의 분산을 나타내고 있고, 일점 쇄선은 피치(P)의 평균값을 나타내고 있다.In this experiment, the load of the scribing wheel 41 imparted by the driving unit 11 was set to 5.5N. The arrows shown in Figs. 11 (a) to 11 (d) show a value of 50 탆 which is a proper pitch P value. 11 (a) to 11 (d), the dashed line represents the dispersion of the pitch P, and the one-dot chain line represents the average value of the pitch P.

도 11(a)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드(10)의 경사각(회전축(Ra)과 기판(F)의 표면이 이루는 각)을 90°로 설정한 경우(비교예), 형성된 스크라이브 라인의 피치(P)의 평균값은, 적정값(50㎛)에 대략 정합했다. 그러나, 적정값(50㎛) 부근에 있어서의 피치(P)의 도수가 적고, 적정값으로부터 떨어진 피치(P)의 도수가 많아졌다. 따라서, 이 경사각에서는, 기준 직선으로부터 벗어난 상태에서 스크라이브 라인이 형성되기 쉬운 경향이 상정될 수 있다.11A, when the inclination angle of the scribe head 10 (angle formed by the rotation axis Ra and the surface of the substrate F) is set to 90 degrees (comparative example), the pitch of the scribe lines 10 (P) was approximately matched to an appropriate value (50 mu m). However, the frequency of the pitch P in the vicinity of the appropriate value (50 mu m) was small and the frequency of the pitch P away from the optimum value increased. Therefore, at this inclination angle, a scribe line tends to be easily formed in a state deviated from the reference straight line.

이에 대하여, 도 11(b)∼(e)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드(10)의 경사각(회전축(Ra)과 기판(F)의 표면이 이루는 각)을 90°보다도 작은 88°, 86°, 84° 및 82°로 설정한 경우(실시 형태 2), 형성된 스크라이브 라인의 피치(P)의 평균값은, 적정값(50㎛)에 대략 정합했다. 또한, 형성된 스크라이브 라인의 피치(P)는, 경사각이 90°인 경우에 비해, 적정값(50㎛) 부근에 있어서의 피치(P)의 도수가 현저하게 높아졌다. 따라서, 이들 경사각에서는, 기준 직선으로부터 그다지 어긋나는 일 없이 스크라이브 라인이 형성되기 쉬운 것이 상정될 수 있다.On the other hand, as shown in Figs. 11 (b) to 11 (e), the inclination angle of the scribe head 10 (angle between the rotation axis Ra and the surface of the substrate F) , 84 ° and 82 ° (Embodiment 2), the average value of the pitch P of the scribe lines formed was approximately matched to the optimum value (50 μm). In addition, the pitch P of the formed scribe lines significantly increased in the frequency of the pitch P in the vicinity of the optimum value (50 mu m) as compared with the case where the inclination angle was 90 DEG. Therefore, at these inclination angles, a scribe line is likely to be easily formed without deviating from the reference straight line.

또한, 도 11(f)에 나타내는 바와 같이, 경사각을 80°로 설정한 경우(실시 형태 2)는, 경사각이 90°인 경우에 비하여 적정값(50㎛) 부근에 있어서의 피치(P)의 도수를 높일 수 있었지만, 경사각이 88°∼82°인 경우인 정도까지는, 적정값(50㎛) 부근에 있어서의 피치(P)의 도수가 높아지지 않았다.As shown in Fig. 11 (f), when the inclination angle is set to 80 degrees (Embodiment 2), the pitch P in the vicinity of the optimum value (50 mu m) The frequency was increased, but the frequency of the pitch P in the vicinity of the optimum value (50 mu m) was not increased until the inclination angle was 88 DEG to 82 DEG.

이상의 실험 결과로부터, 스크라이브 헤드(10)의 경사각을 90° 미만으로 설정하는 것, 즉, 회전부(12)의 회전축(Ra)을 기판(F)의 표면에 수직인 방향에 대하여 상기 스크라이브 헤드(10)의 진행 방향(스크라이브 방향) 전측으로 기울임으로써, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 억제할 수 있는 것을 확인할 수 있었다. 경사각을 82° 이상 89.5° 이하로 설정한 경우는, 적정값(50㎛) 부근에 있어서의 피치(P)의 도수를 현저하게 높일 수 있어, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 효과적으로 억제할 수 있다. 특히, 경사각을 88° 부근에 설정한 경우는, 적정값(50㎛) 부근에 있어서의 피치(P)의 도수를 보다 현저하게 높일 수 있어, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 한층 효과적으로 억제할 수 있다.It can be seen from the above experimental results that the inclination angle of the scribe head 10 is set to less than 90 degrees, that is, the rotation axis Ra of the rotary part 12 is inclined with respect to the direction perpendicular to the surface of the substrate F (Scribe direction) of the scribe line of the scribe line, it is confirmed that the displacement of the scribe line with respect to the reference straight line can be suppressed. When the inclination angle is set to 82 degrees or more and 89.5 degrees or less, the diopter of the pitch P in the vicinity of the appropriate value (50 mu m) can be remarkably increased, and the displacement of the scribe line relative to the reference straight line can be effectively suppressed have. In particular, when the inclination angle is set to be close to 88 占 the dioptric power of the pitch P in the vicinity of the appropriate value (50 占 퐉) can be remarkably increased and the displacement of the scribe line with respect to the reference straight line can be suppressed more effectively .

도 12(a), (b)는, 각각, 스크라이브 헤드(10)의 경사각(회전축(Ra)과 기판(F)의 표면이 이루는 각)을, 88°로 설정한 경우와 92°로 설정한 경우의 스크라이브 라인의 형성 상태를 촬상한 사진이다. 또한, 도 12(a), (b)의 사진은, 스크라이브 라인의 중앙 부근의 동일한 위치를 촬상한 것이다.12 (a) and 12 (b) show the case where the inclination angle of the scribe head 10 (angle between the rotation axis Ra and the surface of the substrate F) is set to 88 degrees and 92 degrees In which the scribe line is formed. The photographs of Figs. 12 (a) and 12 (b) are images of the same position near the center of the scribe line.

도 12(b)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드(10)의 경사각을 92°로 설정한 경우는, 스크라이브 라인의 피치에 편차가 크다. 이에 대하여, 스크라이브 헤드(10)의 경사각을 88°로 설정한 경우는, 도 12(a)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 라인의 피치가 대략 일정한다. 이와 같이, 스크라이브 헤드(10)의 경사각을 88도로 설정한 경우는, 스크라이브 라인의 피치의 편차를 억제할 수 있다. 그 결과, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남이 효과적으로 억제될 수 있다.As shown in Fig. 12 (b), when the inclination angle of the scribe head 10 is set to 92 deg., The pitch of the scribe line is largely deviated. On the other hand, when the inclination angle of the scribe head 10 is set at 88 degrees, the pitch of the scribe lines is substantially constant as shown in Fig. 12 (a). In this way, when the inclination angle of the scribe head 10 is set to 88 degrees, the deviation of the pitch of the scribe line can be suppressed. As a result, the displacement of the scribe line relative to the reference straight line can be effectively suppressed.

도 13(a), (b)는, 각각, 스크라이브 헤드(10)의 경사각(회전축(Ra)과 기판(F)의 표면이 이루는 각)을, 88°로 설정한 경우(실시 형태 2)와 92°로 설정한 경우(비교예)의 스크라이브 라인의 형성 상태를 촬상한 사진이다. 또한, 도 13(a), (b)의 사진은, 스크라이브 라인의 시단 부근을 촬상한 것이다.13A and 13B show the case where the inclination angle of the scribe head 10 (the angle formed by the rotation axis Ra and the surface of the substrate F) is set to 88 degrees (Embodiment 2) And 92 DEG (Comparative Example). Fig. 13 (a) and 13 (b) are images taken near the start of the scribe line.

도 13(b)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드(10)의 경사각을 92°로 설정한 비교예에서는, 스크라이브 라인의 피치에 편차가 크다. 이에 대하여, 스크라이브 헤드(10)의 경사각을 88°로 설정한 실시 형태 2에서는, 도 13(a)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 라인의 피치가 대략 일정하다. 이와 같이, 스크라이브 헤드(10)의 경사각을 88도로 설정한 경우는, 스크라이브 라인의 시단에 있어서도, 스크라이브 라인의 피치의 편차를 억제할 수 있다.As shown in Fig. 13 (b), in the comparative example in which the inclination angle of the scribe head 10 is set to 92 deg., The pitch of the scribe line is largely deviated. On the other hand, in Embodiment 2 in which the inclination angle of the scribe head 10 is set at 88 degrees, the pitch of the scribe lines is substantially constant as shown in Fig. 13 (a). In this way, when the inclination angle of the scribe head 10 is set to 88 degrees, the deviation of the pitch of the scribe line can be suppressed even at the beginning of the scribe line.

또한, 도 13(a), (b)의 실험 결과에서는, 또한, 스크라이브 공정에 있어서의 스크라이빙 휠(41)의 방향의 안정성을 평가할 수 있다.13 (a) and 13 (b), the stability of the direction of the scribing wheel 41 in the scribing step can be evaluated.

스크라이브 헤드(10)의 경사각을 92°로 설정한 비교예에서는, 스크라이브 라인 종단에 있어서 스크라이빙 휠(41)이 기판(F)으로부터 떨어질 때에, 기판(F)으로부터 받는 반력에 의해, 회전부(12)가 회전하고, 스크라이빙 휠(41)의 방향이 바뀌기 쉽다. 이 때문에, 다음의 스크라이브 라인의 절입시에 있어서, 스크라이빙 휠(41)의 방향이 스크라이브 방향에 대하여 기울게 되고, 그 결과, 도 13(b)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 라인의 시단의 피치에 편차가 발생한다.In the comparative example in which the inclination angle of the scribe head 10 is set to 92 degrees, when the scribing wheel 41 is separated from the substrate F at the end of the scribe line, 12 are rotated, and the direction of the scribing wheel 41 is likely to change. Therefore, at the time of inserting the next scribe line, the direction of the scribe wheel 41 is inclined with respect to the scribe direction. As a result, as shown in Fig. 13 (b) Deviation occurs.

이에 대하여, 스크라이브 헤드(10)의 경사각을 88°로 설정한 실시 형태에서는, 스크라이브 라인 종단에 있어서 스크라이빙 휠(41)이 기판(F)으로부터 떨어질 때에, 회전부(12)가 회전하는 일 없이 스크라이빙 휠(41)의 방향이 스크라이브 방향에 평행한 상태로 유지된다. 이 때문에, 다음의 스크라이브 라인의 절입시에 있어서, 스크라이빙 휠(41)의 방향이 스크라이브 방향에 대하여 평행하게 되고, 그 결과, 도 13(a)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 라인의 시단의 피치가 대략 일정해진다.On the other hand, in the embodiment in which the inclination angle of the scribe head 10 is set at 88 degrees, when the scribing wheel 41 is separated from the substrate F at the end of the scribe line, The direction of the scribing wheel 41 is kept parallel to the scribing direction. Therefore, at the time of inserting the next scribe line, the direction of the scribe wheel 41 becomes parallel to the scribe direction. As a result, as shown in Fig. 13 (a) Becomes approximately constant.

이 평가로부터, 스크라이브 헤드(10)의 경사각을 90° 미만으로 설정하는 것, 즉, 회전부(12)의 회전축(Ra)을 기판(F)의 표면에 수직인 방향에 대하여 상기 스크라이브 헤드(10)의 진행 방향(스크라이브 방향) 전측으로 기울임으로써, 스크라이브 공정에 있어서, 스크라이빙 휠(41)의 방향이 스크라이브 방향으로부터 벗어나기 어려워져, 스크라이빙 휠(41)의 직진성을 높일 수 있는 것이 상정될 수 있다.This evaluation indicates that the inclination angle of the scribe head 10 is set to less than 90 degrees, that is, the rotation axis Ra of the rotary part 12 is inclined relative to the scribe head 10 in the direction perpendicular to the surface of the substrate F, It is assumed that the direction of the scribing wheel 41 is difficult to deviate from the scribe direction in the scribing step and the straightness of the scribing wheel 41 can be enhanced .

즉, 회전부(12)의 회전축(Ra)을 기판(F)의 표면에 수직인 방향에 대하여 상기 스크라이브 헤드(10)의 진행 방향(스크라이브 방향) 전측으로 기울임으로써, 스크라이브 동작시에 기판(F)으로부터 스크라이빙 휠(41)에 작용하는 반력이, 스크라이빙 휠(41)의 위치를 안정시키도록 작용한다. 이에 따라, 스크라이빙 휠(41)의 방향이 스크라이브 방향으로부터 벗어나기 어려워진다. 그 결과, 도 11(a)∼(f)의 실험 결과, 및, 도 12(a), (b)의 실험 결과에 나타낸 바와 같이, 스크라이브 라인의 피치가 대략 일정하게 되어, 안정된 스크라이브 동작을 실현할 수 있다. 이는, 상기 실시 형태 1에 대해서도 동일하다. 이와 같이 하여, 실시 형태 2에서는, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 억제할 수 있다.That is to say, the rotation axis Ra of the rotary part 12 is tilted forward in the advancing direction (scribe direction) of the scribe head 10 with respect to the direction perpendicular to the surface of the substrate F, A reaction force acting on the scribing wheel 41 serves to stabilize the position of the scribing wheel 41. [ This makes it difficult for the direction of the scribing wheel 41 to deviate from the scribing direction. As a result, as shown in the experimental results of Figs. 11A to 11F and the experimental results of Figs. 12A and 12B, the pitch of the scribe lines becomes substantially constant and a stable scribe operation can be realized . This also applies to the first embodiment. Thus, in Embodiment 2, the displacement of the scribe line with respect to the reference straight line can be suppressed.

＜변경예＞<Example of change>

실시 형태 2에서는, 스크라이브 헤드(10) 전체를 기울임으로써, 회전부(12)의 회전축(Ra)을 기판(F)의 표면에 수직인 방향에 대하여 스크라이브 헤드(10)의 진행 방향 전측으로 기울였지만, 구동부(11)의 중심축(Rb)이 기판(F)의 표면에 수직이 되도록 스크라이브 헤드(10)를 이동 부재(21)에 설치하고, 회전축(Ra)이 기판(F)의 표면에 수직인 방향에 대하여 스크라이브 헤드(10)의 진행 방향 전측으로 기울도록, 회전부(12)를 스크라이브 헤드(10)에 설치하는 구성이라도 된다.The rotation axis Ra of the rotation section 12 is tilted toward the front side of the scribe head 10 in the direction perpendicular to the surface of the substrate F by tilting the entire scribe head 10 in the second embodiment, The scribe head 10 is mounted on the movable member 21 such that the center axis Rb of the driving unit 11 is perpendicular to the surface of the substrate F and the rotational axis Ra is perpendicular to the surface of the substrate F The scribing head 10 may be provided with the rotary part 12 so as to be inclined to the front side in the advancing direction of the scribe head 10 with respect to the direction.

이 경우, 회전부(12)는, 도 8(b)의 경우와 동일하게, 예를 들면, 도 10(b)에 나타내는 바와 같이 하여, 승강 부재(114)에 설치된다. 부착부(114a)는, 미리, 수평 방향으로부터 소정의 각도만큼 기울도록 형성되고, 회전부(12)는, 베어링(116)을 통하여 부착부(114a)에 설치된다. 이 변경예의 구성에 의해서도, 상기 실시 형태 2와 동일한 효과가 발휘될 수 있다.In this case, the rotating portion 12 is provided to the elevating member 114, for example, as shown in Fig. 10 (b), as in the case of Fig. 8 (b). The mounting portion 114a is previously formed to be inclined by a predetermined angle from the horizontal direction and the rotating portion 12 is provided to the mounting portion 114a through the bearing 116. [ The same effect as in the second embodiment can also be obtained by the configuration of this modification.

이 변경예에 있어서도, 부착부(114a)는, 반드시, 플랜지 형상의 부재가 아니어도 좋고, 회전부(12)의 축부(121)가 연직 방향으로부터 소정 각도만큼 기울도록 회전부(12)를 승강 부재(114)에 부착할 수 있으면, 다른 구성이라도 좋다.The mounting portion 114a does not necessarily have to be a flange-like member and the rotating portion 12 may be provided on the elevation member (the lower portion) so that the shaft portion 121 of the rotation portion 12 is inclined by a predetermined angle from the vertical direction 114, as long as it can be attached to any other structure.

＜실시 형태의 효과＞&Lt; Effect of Embodiment &gt;

본 실시의 형태에 의하면, 이하의 효과가 발휘된다.According to the present embodiment, the following effects are exhibited.

회전부(12)의 회전축(Ra)을, 기판(F)의 표면에 수직인 방향에 대하여 스크라이브 헤드(10)의 진행 방향 전측으로 기울임으로써, 스크라이빙 휠(41)의 벗어남을 억제할 수 있고, 스크라이빙 휠(41)의 직진성을 높일 수 있다. 이에 따라, 미리 설정된 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 억제할 수 있다.The deviation of the scribing wheel 41 can be suppressed by tilting the rotation axis Ra of the rotary part 12 toward the front side in the advancing direction of the scribe head 10 with respect to the direction perpendicular to the surface of the substrate F , The straightness of the scribing wheel 41 can be enhanced. This makes it possible to suppress the displacement of the scribe line with respect to the preset reference straight line.

도 4(b) 및 도 9(b)에 나타내는 바와 같이, 스크라이브 헤드(10) 전체를 기울여 이동 기구(20)(이동 부재(21))에 설치함으로써, 스크라이브 헤드(10)의 구성을 크게 변경하는 일 없이, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 억제할 수 있다.As shown in Figs. 4 (b) and 9 (b), by arranging the entire scribe head 10 on the moving mechanism 20 (moving member 21), the configuration of the scribe head 10 is largely changed The displacement of the scribe line with respect to the reference straight line can be suppressed.

기판(F)의 표면에 대한 회전축(Ra)의 각도를, 82도 이상 90도 미만으로 설정함으로써, 도 11(a)∼(f)의 실험 결과로 검증한 바와 같이, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 효과적으로 억제할 수 있다.By setting the angle of the rotation axis Ra with respect to the surface of the substrate F to be 82 degrees or more and less than 90 degrees as shown in the experimental results of Figs. 11 (a) to 11 (f), the scribe line Can be effectively suppressed.

기판(F)의 표면에 대한 회전축(Ra)의 각도를, 86도 이상 88도 이하로 설정함으로써, 도 7(a)∼(d)의 실험 결과 및 도 11(a)∼(f)의 실험 결과로 검증한 바와 같이, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 한층 효과적으로 억제할 수 있다.By setting the angle of the rotation axis Ra with respect to the surface of the substrate F to 86 degrees or more and 88 degrees or less, the experimental results of Figs. 7 (a) to 7 (d) As a result, it is possible to more effectively suppress the displacement of the scribe line with respect to the reference straight line.

또한, 도 7(a)∼(d)의 실험 결과 및 도 11(a)∼(f)의 실험 결과로 검증한 바와 같이, 기판(F)의 표면에 대한 회전축(Ra)의 각도를 88° 부근에 설정함으로써 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 현저하게 억제할 수 있다. 예를 들면, 기판(F)의 표면에 대한 회전축(Ra)의 각도를 88°±1°정도로 설정함으로써, 스크라이빙 휠(41)의 직진성을 현저하게 높일 수 있어, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 보다 효과적으로 억제할 수 있다.11 (a) to Fig. 11 (f), the angle of the rotation axis Ra with respect to the surface of the substrate F is 88 deg. The deviation of the scribe line with respect to the reference straight line can be remarkably suppressed. For example, it is possible to remarkably increase the straightness of the scribing wheel 41 by setting the angle of the rotation axis Ra with respect to the surface of the substrate F to about 88 DEG +/- 1 DEG, Can be suppressed more effectively.

이상, 본 발명의 실시예 및 변경예에 대하여 설명했지만, 본 발명은 상기 실시예 및 변경예에 전혀 제한되는 것은 아니고, 본 발명의 실시 형태도 상기 이외에 다양한 변경이 가능하다.While the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention.

예를 들면, 상기 실시 형태 1의 실험에서는, 날끝의 능선에 일정 간격으로 홈이 형성된 스크라이빙 휠(41)이 이용되었지만, 능선에 홈이 형성되어 있지 않은 스크라이빙 휠을 이용해도 동일한 효과가 발휘되는 것이 상정될 수 있다. 동일하게, 상기 실시 형태 2의 실험에서는, 날끝의 능선에 홈이 형성되어 있지 않은 스크라이빙 휠(41)이 이용되었지만, 능선에 홈이 형성된 스크라이빙 휠을 이용해도 동일한 효과가 발휘되는 것이 상정될 수 있다.For example, in the experiment of the first embodiment, a scribing wheel 41 having a groove formed at a predetermined interval on a ridge line of a blade edge is used. However, even if a scribing wheel having no groove on a ridge line is used, Can be assumed to be exerted. Similarly, in the experiment of the second embodiment, the scribing wheel 41 having no groove formed on the ridge line of the blade edge is used, but the same effect can be obtained by using a scribing wheel having grooves formed on the ridge line Can be assumed.

또한, 스크라이빙 휠의 외경, 내경 및 두께는, 상기 실시 형태 1, 2의 실험으로 나타낸 것에 한정되는 것이 아니라, 다른 외경, 내경 및 두께의 스크라이빙 휠을 적절히 이용할 수 있다.The outer diameter, inner diameter and thickness of the scribing wheel are not limited to those shown in the experiments of the first and second embodiments, but scribing wheels having different outer diameters, inner diameters and thickness can be suitably used.

또한, 스크라이브 헤드(10)의 구성이나, 스크라이브 장치(1)의 구성도, 적절히, 변경 가능하다. 도 1(a)에는, 기판(F)의 편면에만 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치가 나타났지만, 본 발명은, 기판(F)의 양면에 병행하여 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치에도 적용 가능하다.Further, the configuration of the scribe head 10 and the configuration of the scribe device 1 can be appropriately changed. 1 (a) shows a scribing apparatus for forming a scribe line only on one side of the substrate F, the present invention is also applicable to a scribing apparatus for forming scribe lines in parallel on both sides of the substrate F.

이 외, 스크라이브 라인을 형성하는 기판(F)은, 액정 패널의 마더 기판에 한정되지 않고, 다른 기판이라도 좋다. 상기 실험에서 나타낸 스크라이브 라인의 피치는, 기준 직선에 대한 스크라이브 라인의 어긋남을 평가하기 위해서 설정된 것으로서, 스크라이브 동작시에 설정되는 스크라이브 라인의 피치는, 대응하는 기판의 종류에 따라서 다양하게 변경될 수 있다.In addition, the substrate F on which the scribe lines are formed is not limited to the mother substrate of the liquid crystal panel, and may be another substrate. The pitch of the scribe lines shown in the above experiment is set for evaluating the deviation of the scribe line with respect to the reference straight line and the pitch of the scribe lines set at the scribe operation can be variously changed depending on the type of the corresponding substrate .

본 발명의 실시의 형태는, 특허 청구의 범위에 나타난 기술적 사상의 범위 내에 있어서, 적절히, 다양한 변경이 가능하다.The embodiments of the present invention can appropriately and variously be modified within the scope of the technical idea shown in the claims.

1 : 스크라이브 장치
10 : 스크라이브 헤드
11 : 구동부
12 : 회전부
20 : 이동 기구
41 : 스크라이빙 휠
F : 기판
Ra : 회전축1: scribe device
10: Scribe head
11:
12:
20:
41: Scraping wheel
F: substrate
Ra:

Claims (6)

기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 휠이 하단에 장착된 스크라이브 헤드와,
상기 스크라이브 라인을 형성하기 위하여 설정된 기준 직선에 평행하게 상기 스크라이브 헤드를 이동시키는 이동 기구를 구비하고,
상기 스크라이빙 휠은, 상기 스크라이브 헤드의 하부에 회전 가능하게 지지된 회전부에 장착되고,
상기 회전부의 회전축이, 상기 기판 표면에 수직인 방향에 대하여 상기 스크라이브 헤드의 진행 방향 전측(前側)으로 기울어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.A scribe head on which a scribing wheel for forming a scribe line is mounted on a lower surface of the substrate,
And a moving mechanism for moving the scribe head in parallel to a reference straight line set for forming the scribe line,
Wherein the scribing wheel is mounted on a rotating portion rotatably supported on a lower portion of the scribe head,
Wherein the rotary shaft of the rotary part is inclined toward the forward direction of the scribe head in the direction perpendicular to the surface of the substrate. 제1항에 있어서,
상기 스크라이브 헤드는, 상기 스크라이빙 휠을 상기 기판 표면에 밀어 붙이기 위한 하중을 부여하기 위하여 상기 회전부를 구동하는 구동부를 구비하고,
상기 구동부가 상기 회전부를 구동하는 방향이 상기 회전축에 평행하게 되어 있고,
상기 회전부의 회전축이 상기 기판 표면에 수직인 방향에 대하여 상기 스크라이브 헤드의 진행 방향 전측으로 기울도록, 상기 스크라이브 헤드가, 상기 기판 표면에 수직인 방향에 대하여 상기 스크라이브 헤드의 진행 방향 전측으로 기울어진 상태에서, 상기 이동 기구에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.The method according to claim 1,
The scribing head includes a driving unit for driving the rotating unit to apply a load for pushing the scribing wheel against the surface of the substrate,
Wherein a direction in which the driving unit drives the rotation unit is parallel to the rotation axis,
Wherein the scribe head is inclined toward the front side of the scribe head in the direction perpendicular to the surface of the substrate so that the rotation axis of the rotary part is inclined toward the front side of the scribe head in the direction perpendicular to the surface of the substrate And the scribing device is provided in the moving mechanism. 제1항에 있어서,
상기 스크라이브 헤드는, 상기 스크라이빙 휠을 상기 기판 표면에 밀어 붙이기 위한 하중을 부여하기 위하여 상기 회전부를 구동하는 구동부를 구비하고,
상기 구동부가 상기 회전부를 구동하는 방향이 상기 기판 표면에 수직으로 되어 있고,
상기 회전부의 회전축이 상기 기판 표면에 수직인 방향에 대하여 상기 스크라이브 헤드의 진행 방향 전측으로 기울도록, 상기 회전부가 상기 스크라이브 헤드에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.The method according to claim 1,
The scribing head includes a driving unit for driving the rotating unit to apply a load for pushing the scribing wheel against the surface of the substrate,
Wherein a direction in which the driving unit drives the rotation unit is perpendicular to a surface of the substrate,
Wherein the rotating portion is provided on the scribe head so that the rotation axis of the rotating portion is inclined forward of the advancing direction of the scribe head with respect to a direction perpendicular to the surface of the substrate. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기판 표면에 대한 상기 회전축의 각도가, 82도 이상 90도 미만인 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein an angle of the rotation axis with respect to the surface of the substrate is 82 degrees or more and less than 90 degrees. 제4항에 있어서,
상기 기판 표면에 대한 상기 회전축의 각도가, 86도 이상 89.5도 이하인 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.5. The method of claim 4,
Wherein the angle of the rotation axis with respect to the surface of the substrate is 86 degrees or more and 89.5 degrees or less. 회전 가능하게 지지된 회전부에 스크라이빙 휠이 장착된 스크라이브 헤드를 이용하여 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법으로서,
상기 회전부의 회전축이, 상기 기판 표면에 수직인 방향에 대하여 상기 스크라이브 헤드의 진행 방향 전측으로 기울도록, 상기 스크라이브 헤드를 직진시켜, 상기 기판 표면에 상기 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법.A scribe method for forming a scribe line on a surface of a substrate using a scribe head having a scribing wheel mounted on a rotatably supported rotary part,
Wherein the scribe line is formed on the surface of the substrate by advancing the scribe head so that the rotation axis of the rotation section is inclined forward in the advancing direction of the scribe head with respect to a direction perpendicular to the surface of the substrate.
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