KR20170052341A - Susceptor and Vaccum chamber including the same - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a susceptor with improved thermal uniformity of a body in which a heating wire is embedded inside the body, and a heat blocking unit is installed in a bar connected to a lower surface of the body, and a vacuum chamber having the same.

Description

서셉터 및 이를 포함하는 진공챔버{ Susceptor and Vaccum chamber including the same }[0001] Susceptor and Vacuum Chamber Including the Susceptor and Vaccum Chamber [0003]

본 발명은 몸체 내부에 열선이 매설되고 상면에 글라스가 올려지는 서셉터 및 이를 포함하는 진공챔버에 관한 것이다.The present invention relates to a susceptor in which a heating wire is embedded in a body and a glass is mounted on a top surface, and a vacuum chamber including the susceptor.

액정표시장치(LCD)는 어레이 기판과 컬러 필터 기판 사이에 액정을 주입하여, 그 특성을 이용해 영상효과를 얻는 비발광 소자를 뜻한다. 이러한 어레이 기판과 컬러 필터 기판은 각각 유리등의 재질로 이루어지는 투명 기판 상에 수차례에 걸친 박막의 증착, 패터닝 및 식각 공정을 통해 제조되는데, 진공챔버 내부로 반응 및 소스물질이 가스상으로 유입되어 증착 공정을 진행하고자 하는 경우 진공챔버 내부에는, 기판이 안착되며 증착에 적절한 온도로 가열시킬 수 있도록 히터가 내부에 매설되는 서셉터가 설치된다.A liquid crystal display (LCD) refers to a non-luminous element that injects liquid crystal between an array substrate and a color filter substrate and obtains a visual effect by using the characteristics of the liquid crystal. The array substrate and the color filter substrate are manufactured through deposition, patterning, and etching processes of a thin film several times on a transparent substrate made of a material such as glass. The reaction and the source material are introduced into the vacuum chamber, When a process is to be carried out, a susceptor in which a heater is embedded is installed inside the vacuum chamber so that the substrate can be heated and heated to a temperature suitable for deposition.

종래의 서셉터로는 한국등록특허 제0945441호에 기재된 것이 있다(도 1 참고) .A conventional susceptor is disclosed in Korean Patent No. 0945441 (see FIG. 1).

박막 증착 반응이 진행되는 진공챔버는, 상부 리드와 챔버 바디로 구분된다. 상기 상부 리드의 내부에는 백킹 플레이트와 샤워헤드로 구성되는 가스분산부가 진공챔버의 상단을 가로질러 형성되는데, 외부의 가스저장부로부터 공급된 소스가스는 가스라인을 경유하여 상기 가스분산부로 유입된 뒤, 상기 가스분산부에 다수 설치되는 관통홀을 통하여 기판의 상면으로 분사된다. 특히, PECVD 장치에서 상기 가스분산부는 외부의 RF 전원과 연결되어 상기 기판 상에 분사된 소스가스를 플라즈마 상태로 활성화시키는 상부전극으로 기능한다.The vacuum chamber in which the thin film deposition reaction proceeds is divided into an upper lead and a chamber body. A gas dispersion unit consisting of a backing plate and a showerhead is formed across the upper end of the vacuum chamber. The source gas supplied from an external gas storage unit flows into the gas dispersion unit via a gas line Through the plurality of through holes formed in the gas dispersion portion. Particularly, in the PECVD apparatus, the gas dispersion unit functions as an upper electrode connected to an external RF power source to activate the source gas injected onto the substrate into a plasma state.

한편, 상기 챔버 바디의 내부에는 상기 가스분산부와 소정간격 이격되는 서셉터 바디가 설치되어 그 상면으로 상기 기판이 안착된다. 상기 서셉터 바디의 중앙 하단으로는 서셉터 샤프트가 챔버 하단부를 관통하면서 결합되어 상기 서셉터 바디를 지지한다. 상기 서셉터 바디의 내면에는 히터가 매설되어 서셉터 상면으로 안치되는 상기 기판을 소정의 온도로 가열시켜 소스가스가 상기 기판의 상면으로 증착될 수 있도록 한다. 이때, 공급되는 소스가스를 플라즈마 처리하여 여기시키는 경우 상기 서셉터 바디는 전기적으로 접지되어 있다. 즉, 상기 서셉터 바디는 그 상면에 안치되는 상기 기판으로 적절한 온도의 열을 공급함과 동시에 상기 상부전극으로 기능하는 상기 가스분산부에 대응되는 하부전극으로 기능한다.Meanwhile, a susceptor body spaced apart from the gas dispersion unit is provided in the chamber body, and the substrate is seated on the upper surface thereof. A susceptor shaft is coupled to the lower end of the susceptor body through the lower end of the chamber to support the susceptor body. A heater is buried in the inner surface of the susceptor body to heat the substrate, which is placed on the upper surface of the susceptor, to a predetermined temperature so that the source gas can be deposited on the upper surface of the substrate. At this time, when the supplied source gas is plasma-processed and excited, the susceptor body is electrically grounded. That is, the susceptor body functions as a lower electrode corresponding to the gas dispersing unit functioning as the upper electrode while supplying heat of a proper temperature to the substrate placed on the upper surface of the susceptor body.

상기 서셉터 샤프트는 상기 서셉터 바디의 상면으로 상기 기판의 로딩/언로딩에 따라 상하로 승하강하여 그 상단에 결합된 서셉터 바디를 수직 방향으로 연동시킨다. 이와 같은 승하강 운동을 위해서 상기 서셉터 바디의 외주변으로는 구동부가 설치되어 모터 등의 구동수단과 연결되어 있다. 다시 말하면 상기 서셉터 샤프트는 서셉터 바디가 수평을 유지하면서 승강할 수 있도록 지지하는 역할 외에 상기 구동부를 통하여 외부로부터 전달된 동력을 전달하는 축의 역할을 수행한다.The susceptor shaft vertically moves up and down in accordance with loading / unloading of the substrate onto the upper surface of the susceptor body, and vertically interlocks the susceptor body coupled to the upper end of the susceptor body. In order to move up and down, a driving unit is provided around the outer periphery of the susceptor body and is connected to driving means such as a motor. In other words, the susceptor shaft serves to support the susceptor body so that the susceptor body can move up and down while keeping the susceptor body horizontal, and also serves as a shaft for transmitting the power transmitted from the outside through the driving unit.

서셉터 샤프트의 상단은 서셉터 바디의 저면 중앙과 결합한 뒤에 용접처리를 통하여 밀폐되어 있다. 상기 서셉터 바디 저면의 중앙에 인접한 영역과 주변에 인접한 영역 각각에는 서로 대칭적으로 매설홈이 형성되어 그 내부로 히터가 수용된다. 상기 매설홈으로 상기 히터가 내삽되면 그 저면으로 알루미늄 재질의 커버가 매설홈의 하단으로부터 부설된다.The upper end of the susceptor shaft is coupled with the bottom center of the susceptor body and is sealed through a welding process. In the region adjacent to the center of the bottom surface of the susceptor and the region adjacent to the periphery, buried grooves are symmetrically formed to accommodate the heater therein. When the heater is inserted into the buried grooves, a cover made of aluminum is laid on the bottom surface from the bottom of the buried grooves.

한편, 상기 서셉터 바디는 상기 서셉터 바디의 저면 중앙에 연결된 상기 서셉터 샤프트를 통해 열이 전달되므로, 상기 서셉터 바디의 중앙부가 그 주변부보다 온도가 낮아지는 온도 편차가 발생한다. 상기 서셉터 바디의 중앙부와 그 주변부의 온도편차로 인해, 상기 기판의 중앙부와 그 주변부에 형성되는 막질의 특성이 서로 상이하게 된다. 소형 기판의 경우에는 위와 같은 온도 편차에 따른 막질의 특성차이가 완제품 품질에 크게 영향을 미치지 않았으나, 최근의 대형 기판에서는 온도편차에 따른 막질의 특성 변화를 줄인 고품질의 막질 형성의 필요성이 대두되었다. 그러나 종래기술로는 서셉터 바디의 중앙부와 그 주변부의 온도편차를 줄이는데 한계가 있다.Meanwhile, since the susceptor body is transferred with heat through the susceptor shaft connected to the center of the bottom of the susceptor body, a temperature deviation occurs in which the central portion of the susceptor body is lower in temperature than its peripheral portion. Due to the temperature deviation between the central portion of the susceptor body and the peripheral portion thereof, film characteristics formed at the central portion and the peripheral portion of the substrate differ from each other. In the case of small substrates, the difference in film quality due to the above temperature variation did not significantly affect the quality of the final product. However, in recent large-sized substrates, there has been a need to form a high-quality film with less variation in film quality due to temperature variations. However, the prior art has a limitation in reducing the temperature deviation between the central portion and the peripheral portion of the susceptor body.

한국등록특허 제0945441호Korean Patent No. 0945441

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 몸체의 열균일성이 향상된 서셉터 및 이를 포함하는 진공챔버를 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a susceptor having improved thermal uniformity of a body and a vacuum chamber including the susceptor.

전술한 목적을 해결하기 위하여, 본 발명의 서셉터는, 몸체; 상기 몸체의 내부에 매설되는 열선; 일단이 상기 몸체의 하면에 연결된 봉; 및 상기 봉에 설치되는 열차단부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-mentioned object, the present invention provides a susceptor comprising: a body; A heating wire embedded in the body; A rod having one end connected to the lower surface of the body; And a train end mounted on the rod; And a control unit.

또한, 상기 열차단부는 상기 봉의 내부에 설치되어 상기 봉의 상, 하부로의 열대류를 차단하는 것을 특징으로 한다.Further, the end of the train is installed inside the rod to block the heat flow to the upper and lower portions of the rod.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 하면에 인접하여 설치되는 것을 특징으로 한다.Further, the end of the train is installed adjacent to a lower surface of the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 봉과 이종재질로 형성되고 상기 봉의 일부 영역을 이루어, 상기 봉의 상, 하부로의 열전도를 차단하는 것을 특징으로 한다.In addition, the end of the heat is formed of a material different from that of the rod, and forms a partial region of the rod, thereby blocking heat conduction to the upper and lower portions of the rod.

또한, 상기 몸체와 상기 봉은 제1금속재질로 이루어지고, 상기 열차단부는 제2금속재질로 이루어지되, 상기 제2금속재질은 상기 제1금속재질보다 열전도율이 낮은 것을 특징으로 한다.In addition, the body and the rod may be made of a first metal material, and the end of the train may be made of a second metal material, and the second metal material may have a lower thermal conductivity than the first metal material.

또한, 상기 봉은 제1금속재질로 이루어진 제1봉 및 제2봉을 포함하고, 상기 열차단부는 상기 제1봉과 상기 제2봉 사이에 위치하는 것을 특징으로 한다.Further, the bar may include a first rod and a second rod made of a first metal material, and the end of the train may be positioned between the first rod and the second rod.

또한, 상기 열차단부는 상기 봉과 이종재질로 형성되고 상기 봉의 일부 영역을 이루어, 상기 봉의 상, 하부로의 열전도를 차단하는 제1열차단부와, 상기 봉의 내부에 설치되어 상기 봉의 상, 하부로의 열대류를 차단하는 제2열차단부를 포함하되, 상기 제2열차단부는 상기 제1열차단부보다 상기 몸체의 하면에 인접하게 위치하는 것을 특징으로 한다.In addition, the end of the train is formed of a material different from that of the rod, and includes a first heat end portion which partially covers the rod and blocks heat conduction to the upper and lower portions of the rod, and a second heat end portion provided inside the rod, Wherein the second end of the heat shield is located adjacent to a lower surface of the body than the first end of the heat.

또한, 상기 봉은 적어도 2개의 봉이 접착제로 접착된 것을 특징으로 한다.Further, the rods are characterized in that at least two rods are bonded with an adhesive.

또한, 상기 접착제는 무기접착제인 것인 특징으로 한다.Further, the adhesive is an inorganic adhesive.

또한, 상기 무기접착제는 세라믹 또는 글라스를 포함하는 것을 특징으로 한다.Further, the inorganic adhesive includes ceramic or glass.

또한, 상기 봉들이 접합되는 영역에 요철이 형성된 것을 특징으로 한다.Further, the present invention is characterized in that unevenness is formed in the region where the rods are bonded.

또한, 상기 접착제는 상기 봉들 사이의 열전도를 차단하는 것을 특징으로 한다.Further, the adhesive is characterized by blocking heat conduction between the rods.

또한, 단부로 갈수록 직경이 작아지는 축경부를 갖는 제3봉, 단부로 갈수록 직경이 커지는 확경부를 갖는 제4봉을 포함하되, 상기 접착제는 상기 축경부의 외면과, 상기 확경부의 내면 사이에 배치되는 것을 특징으로 한다.The third rod includes a third rod having a reduced diameter portion that becomes smaller toward the end portion and a fourth rod having a diameter enlarged toward the end portion. The adhesive has a gap between the outer surface of the reduced diameter portion and the inner surface of the enlarged diameter portion As shown in Fig.

또한, 상기 봉은 아노다이징처리된 것을 특징으로 한다.Further, the rod is anodized.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 한다.Also, the end of the train is formed of a metal thermal insulator having a thermal conductivity lower than that of the metal forming the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 비금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 한다.Further, the end portion of the train is formed of a non-metallic thermal insulation material having a thermal conductivity lower than that of the metal forming the body.

또한, 상기 열차단부는 열전도율이 0.03 W/mK 이상 35 W/mK 이하인 것을 특징으로 한다.Further, the end portion of the train is characterized by a thermal conductivity of 0.03 W / mK or more and 35 W / mK or less.

또한, 상기 열차단부는, 유리 섬유, 에어로겔, 또는 산화알루미늄(Al2O3)의 재질로 이루어진 것을 특징으로 한다.Further, the end of the train is made of glass fiber, aerogel, or aluminum oxide (Al 2 O 3 ).

또한, 상기 열차단부는, 스테인레스 스틸 재질로 이루어진 것을 특징으로 한다.Further, the end of the train is made of a stainless steel material.

본 발명의 진공챔버는, 몸체; 상기 몸체의 내부에 매설되는 열선; 일단이 상기 몸체의 하면에 연결된 봉; 및 상기 봉에 설치되는 열차단부; 를 포함하는 서셉터를 포함한다.A vacuum chamber of the present invention comprises: a body; A heating wire embedded in the body; A rod having one end connected to the lower surface of the body; And a train end mounted on the rod; And a susceptor.

본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.The present invention has the following effects.

몸체의 열균일성이 향상됨으로, 글라스의 온도 편차를 줄일 수 있어, 고품질의 막질을 형성할 수 있다.The thermal uniformity of the body is improved, the temperature deviation of the glass can be reduced, and a high-quality film quality can be formed.

몸체에서 봉을 통해 열전도되어 빠져나가는 열을 줄일 수 있어, 몸체의 중앙부와 그 주변부의 온도 편차가 줄어든다.Heat conduction through the rod from the body reduces the heat escaping, reducing the temperature deviation between the center and the periphery of the body.

몸체에서 봉의 내부를 통해 열대류되어 빠져나가는 열을 줄일 수 있어, 몸체의 중앙부와 그 주변부의 온도 편차가 줄어든다.Heat can be reduced from the body through the inside of the rod through the tropics, reducing the temperature deviation between the center and the periphery of the body.

세라믹으로 이루어진 열차단부를 이용하여 제3봉 및 제4봉을 결합하기 용이하다.It is easy to join the third rod and the fourth rod by using the end of the train made of ceramic.

도 1은 종래의 서셉터를 나타낸 단면도.
도 2는 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 서셉터를 나타낸 단면도(정면 방향)
도 3은 도 2의 저면 사시도(리프트 핀 및 승강부재 제외).
도 4는 히터부의 분리 상태도.
도 5는 도 2의 봉을 확대 도시한 단면도.
도 6은 도 2의 글라스가 상승된 서셉터의 단면도.
도 7은 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 봉의 확대 단면도.1 is a sectional view showing a conventional susceptor;
2 is a cross-sectional view (front view) showing a susceptor according to a first preferred embodiment of the present invention;
3 is a bottom perspective view (excluding a lift pin and an elevating member) of Fig. 2;
Fig. 4 is a view showing a state in which the heater portion is separated. Fig.
Fig. 5 is an enlarged cross-sectional view of the rod of Fig. 2; Fig.
6 is a cross-sectional view of the glass elevated susceptor of Fig. 2;
7 is an enlarged cross-sectional view of a rod according to a second preferred embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부한 도면들과 함께 상세히 후술된 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명하는 실시 예에 한정된 것이 아니라 서로 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Brief Description of the Drawings The advantages and features of the present invention, and how to achieve them, will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in different forms. Rather, the embodiments disclosed herein are provided so that the disclosure can be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 또한, 바람직한 실시 예에 따른 것이기 때문에, 설명의 순서에 따라 제시되는 참조 부호는 그 순서에 반드시 한정되지는 않는다. The terminology used herein is for the purpose of illustrating embodiments and is not intended to be limiting of the present invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. As used herein, the terms 'comprises' and / or 'comprising' mean that the stated element, step, operation and / or element does not imply the presence of one or more other elements, steps, operations and / Or additions. In addition, since they are in accordance with the preferred embodiment, the reference numerals presented in the order of description are not necessarily limited to the order.

본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시 도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.The embodiments described herein will be described with reference to cross-sectional views and / or plan views which are ideal illustrations of the present invention. In the drawings, the thicknesses of the films and regions are exaggerated for an effective description of the technical content. Thus, the shape of the illustrations may be modified by manufacturing techniques and / or tolerances. Accordingly, the embodiments of the present invention are not limited to the specific forms shown, but also include changes in the shapes that are generated according to the manufacturing process. Thus, the regions illustrated in the figures have schematic attributes, and the shapes of the regions illustrated in the figures are intended to illustrate specific types of regions of the elements and are not intended to limit the scope of the invention.

참고적으로, 이하에서 설명될 본 발명의 구성들 중 종래기술과 동일한 구성은 전술한 종래기술을 비롯하여 종래에 많이 공지되어 있으므로, 별도의 상세한 설명은 생략한다.For reference, the same configurations as those of the prior art among the configurations of the present invention to be described below are well known in the art including the above-described conventional techniques, and therefore, a detailed description thereof will be omitted.

본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 서셉터는, 도 2 내지 도 6에 도시한 바와 같이, 몸체(100);와, 몸체(100)의 내부에 매설되는 열선(114);과, 일단이 몸체(100)의 하면에 연결된 봉(300); 및 봉(300)에 설치되는 열차단부(130);를 포함하는 것을 특징으로 한다.2 to 6, a susceptor according to a first preferred embodiment of the present invention includes a body 100, a heat ray 114 embedded in the body 100, A rod 300 connected to the lower surface of the body 100; And a heat-generating end 130 installed on the rod 300.

몸체(100)의 상면에는 글라스(500)가 올려지고, 글라스(500)를 들어올리는 리프트 핀(400)이 몸체(100)를 관통하여 배치된다.A glass 500 is mounted on the upper surface of the body 100 and a lift pin 400 for lifting the glass 500 is disposed through the body 100.

몸체(100)는 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 직육면체 형상으로 형성된다. 몸체(100)의 상면에는 직육면체 형상의 글라스(500)가 올려진다. 몸체(100)는 알루미늄 재질이 바람직할 수 있고, 표면이 양극산화처리 될 수 있다.The body 100 is formed in a rectangular parallelepiped shape as shown in Figs. A rectangular parallelopiped glass 500 is mounted on the upper surface of the body 100. The body 100 may be made of an aluminum material, and the surface may be anodized.

몸체(100)는 몸체(100)의 내부에 매설되는 열선(114)을 포함하는 히터부(110)와, 리프트 핀(400)이 삽입되는 관통구(150)를 포함하여 이루어진다.The body 100 includes a heater 110 including a heat ray 114 buried in the body 100 and a through hole 150 into which the lift pin 400 is inserted.

히터부(110)는 도 3에 도시한 바와 같이, 몸체(100)의 하면에 형성된다. 특별히, 도 3과 같이, 몸체(100)의 하면 중에서 중앙부에 인접한 부분과, 테두리에 인접한 부분에 형성될 수 있다.The heater unit 110 is formed on the lower surface of the body 100 as shown in FIG. In particular, as shown in Fig. 3, it may be formed at a portion of the lower surface of the body 100 that is adjacent to the center portion and a portion that is adjacent to the rim.

히터부(110)는, 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 몸체(100)의 하면에 형성된 홈(112)과, 홈(112)의 내부에 삽입된 열선(114)과, 열선(114)의 하측에 배치된 지지부재(116)와, 지지부재(116)의 하측에 배치되어 홈(112)의 개구를 덮는 커버(118)를 포함하여 이루어진다.2 to 4, the heater unit 110 includes a groove 112 formed in a lower surface of the body 100, a heat line 114 inserted into the groove 112, a heat line 114 And a cover 118 which is disposed below the support member 116 and covers the opening of the groove 112. The cover 116 is provided on the lower side of the support member 116,

홈(112)은 도 4와 같이, 몸체(100)의 하면에서 상측으로 볼록하게 형성된다. 그리고 홈(112)의 내부를 따라 열선(114)이 삽입된다. 도 4에 도시한 바와 같이, 홈(112)은 개구의 폭이, 상기 개구의 상측부의 폭보다 크다.The groove 112 is formed to be convex upward from the lower surface of the body 100, as shown in FIG. And the hot wire 114 is inserted along the inside of the groove 112. As shown in Fig. 4, the width of the opening of the groove 112 is larger than the width of the upper portion of the opening.

열선(114)은 홈(112)을 따라 삽입되고, 도 2와 같이, 몸체(100)의 하면 중앙에 결합된 봉(300)의 내부를 관통하여 연장 형성된다. 열선(114)을 통해 몸체(100)가 가열되고, 열전도를 통해 몸체(100) 상면의 글라스(500)가 가열된다.The heat ray 114 is inserted along the groove 112 and extends through the inside of the rod 300 coupled to the center of the lower surface of the body 100 as shown in FIG. The body 100 is heated through the heating wire 114 and the glass 500 on the upper surface of the body 100 is heated through the heat conduction.

도 2 및 도 4에 도시한 바와 같이, 열선(114)의 하측에는 지지부재(116)가 배치된다. 지지부재(116)는 열선(114)과 커버(118) 사이에 위치한다. 지지부재(116)의 상면은 하측으로 볼록한 포물선 형상을 이룬다. 지지부재(116)의 상면에 열선(114)이 올려져, 열선(114)을 지지한다.As shown in Figs. 2 and 4, a support member 116 is disposed below the heat ray 114. Fig. The support member 116 is positioned between the heating wire 114 and the cover 118. The upper surface of the support member 116 has a parabolic shape convex downward. A heat ray 114 is mounted on the upper surface of the support member 116 to support the heat ray 114.

지지부재(116)의 하측에는 커버(118)가 배치된다. 커버(118)는 홈(112)의 상기 개구에 삽입되어 홈(112)의 상기 개구를 덮는다. 커버(118)는 몸체(100)의 하면에 용접(특별히, 마찰교반용접)으로 결합될 수 있다. 커버(118)의 폭은 지지부재(116)보다 크다. A cover 118 is disposed below the support member 116. The cover 118 is inserted into the opening of the groove 112 to cover the opening of the groove 112. The cover 118 may be welded (specifically, friction stir welding) to the lower surface of the body 100. The width of the cover 118 is larger than the support member 116.

한편, 몸체(100)에는 도 3과 같이, 다수 개의 관통구(150)가 형성된다. 관통구(150)는 도 2와 같이, 몸체(100)의 상, 하면을 관통하여 형성된다. 관통구(150)의 내부에는 리프트 핀(400)이 배치되어 상하로 이동하며 글라스(500)를 들어올리게 된다.3, the body 100 has a plurality of through-holes 150 formed therein. As shown in FIG. 2, the through-hole 150 is formed through the upper and lower surfaces of the body 100. A lift pin 400 is disposed in the through hole 150 to move up and down to lift the glass 500.

글라스(500)는 몸체(100)의 상면에 올려진 후, 막질의 형성, 패터닝 및 식각 공정 등을 거치게 되며, 도 6과 같이, 리프트 핀(400)에 의해 들어올려지게 된다. 글라스(500)가 들어올려지면, 몸체(100)의 상면과 글라스(500) 사이의 공간으로 이동부재가 삽입되어 글라스(500)를 이동시키게 된다.After the glass 500 is placed on the upper surface of the body 100, the film is subjected to a film forming process, a patterning process and an etching process, and is lifted by the lift pins 400 as shown in FIG. When the glass 500 is lifted, the moving member is inserted into the space between the upper surface of the body 100 and the glass 500 to move the glass 500.

리프트 핀(400)은 막대 형상으로 형성되며, 상부의 단면이 역삼각형 형상으로 형성된다. 리프트 핀(400)의 하단은 승강부재(405)에 연결된다. 리프트 핀(400)은 몸체(100)에 형성된 관통구(150)의 내부를 왕복하며 글라스(500)를 들어올리거나, 내리게 된다.The lift pins 400 are formed in a bar shape, and the upper section is formed in an inverted triangular shape. The lower end of the lift pin 400 is connected to the lift member 405. The lift pin 400 reciprocates inside the through hole 150 formed in the body 100 to lift or lower the glass 500.

승강부재(405)는 도 2 및 도 6에 도시한 바와 같이, 봉(300)의 외주에 인접하여 배치된 원통부와, 상기 원통부의 상단에 연결된 평판부를 포함하여 이루어진다. 리프트 핀(400)은 상기 평판부의 상면에 연결된다.As shown in FIGS. 2 and 6, the elevating member 405 includes a cylindrical portion disposed adjacent to the outer periphery of the rod 300, and a flat plate portion connected to the upper end of the cylindrical portion. The lift pins 400 are connected to the upper surface of the flat plate portion.

승강부재(405)는 도 2 및 도 6에 도시한 바와 같이, 상하로 이동하며 리프트 핀(400)을 통해 글라스(500)를 들어올리거나 내리는 역할을 한다.As shown in FIGS. 2 and 6, the lifting member 405 moves upward and downward to lift or lower the glass 500 through the lift pins 400.

한편, 몸체(100)의 하면 중앙에는 도 2, 도 3 및 도 5에 도시한 바와 같이, 원통 형상의 봉(300)이 결합된다. 봉(300)은 중공으로 형성되고, 봉(300)의 상단은 몸체(100)의 하면 중앙에 용접(특별히, 마찰교반용접)될 수 있다. 봉(300)의 내부에는 몸체(100)에 매설된 열선(114)이 연장되어 배치된다. 봉(300)은 몸체(100)를 지지하고, 외측에 승강부재(405)가 배치된다.2, 3, and 5, a cylindrical rod 300 is coupled to the bottom center of the body 100. As shown in FIGS. The rod 300 may be hollow and the top of the rod 300 may be welded (specifically, friction stir welding) to the bottom center of the body 100. In the inside of the rod 300, a heat ray 114 buried in the body 100 is extended. The rod 300 supports the body 100, and the elevating member 405 is disposed on the outer side.

봉(300)에는 열차단부(330,340)가 설치되되, 열차단부(330,340)는 봉(300)의 일부 영역을 이루는 제1열차단부(330)와, 봉(300)의 내부에 설치되는 제2열차단부(340)를 포함한다.The bar 300 is provided with the train end portions 330 and 340. The train end portions 330 and 340 include a first train end portion 330 forming a part of the rod 300 and a second train end portion 330 disposed inside the rod 300. [ And an end portion 340.

봉(300)은 몸체(100)의 하면에 결합되는 제1봉(310)과, 제1봉(310)의 하단에 결합된 제1열차단부(330)와, 제1열차단부(330)의 하단에 결합된 제2봉(320)을 포함하여 이루어진다. 몸체(100), 제1봉(310) 및 제2봉(320)은 제1금속재질로 이루어질 수 있고, 제1열차단부(330)는 제2금속재질로 이루어질 수 있다. The rod 300 includes a first rod 310 coupled to a lower surface of the body 100, a first heat end 330 coupled to a lower end of the first rod 310, And a second rod 320 coupled to the lower end. The body 100, the first rod 310 and the second rod 320 may be formed of a first metal material, and the first end portion 330 may be formed of a second metal material.

전술한 바와 같이, 제1열차단부(330)는 제1봉(310) 및 제2봉(320)과 이종재질로 형성되고, 제1봉(310)과 제2봉(320) 사이에 위치하여 봉(300)의 일부 영역을 이룬다. 제1열차단부(330)는 제1봉(310) 및 제2봉(320)과 일체로 형성된다. 제1열차단부(330)는 제1봉(310) 및 제2봉(320)에 용접(바람직하게는, 마찰교반용접일 수 있다) 결합으로 연결될 수 있다. As described above, the first heat terminal 330 is formed of a different material from the first rod 310 and the second rod 320, and is positioned between the first rod 310 and the second rod 320 And forms a partial area of the rod 300. The first heat end 330 is formed integrally with the first rod 310 and the second rod 320. The first heat end 330 can be connected to the first rod 310 and the second rod 320 by welding (preferably, friction stir welding).

몸체(100), 제1봉(310) 및 제2봉(320) 모두 상기 제1금속재질로 이루어져 재질이 동일하다. 상기 제1금속재질은 열전도율이 좋은 알루미늄이 바람직할 수 있다. 제1열차단부(330)의 재질인 상기 제2금속재질은, 상기 제1금속재질보다 열전도율이 낮다.The body 100, the first rod 310, and the second rod 320 are made of the first metal material and have the same material. The first metal may be aluminum having a high thermal conductivity. The second metal material, which is the material of the first thermal end 330, has a lower thermal conductivity than the first metal material.

제1열차단부(330)는 몸체(100)를 이루는 금속(바람직하게는, 알루미늄일 수 있다)인 상기 제1금속재질보다 열전도율이 낮은 금속 단열재일 수 있다. The first heat terminal 330 may be a metal thermal insulator whose thermal conductivity is lower than that of the first metal material, which is a metal (preferably, aluminum) forming the body 100.

또는 전술한 바와 달리, 제1열차단부(330)는 상기 제1금속재질보다 열전도율이 낮은 비금속 단열재일 수 있다.Or unlike the above, the first heat end 330 may be a non-metallic thermal insulation material having a thermal conductivity lower than that of the first metal material.

제1열차단부(330)는 스테인레스 스틸 재질이 바람직할 수 있고, 열전도율은 0.03 W/mK 이상 35 W/mK 이하가 바람직할 수 있다.The first heat terminal 330 may be made of stainless steel, and the thermal conductivity may be preferably 0.03 W / mK to 35 W / mK or less.

이상과 같은 제1열차단부(330)를 통해 봉(300)의 상, 하부로의 열전도를 차단할 수 있다. 다시 말해, 제1봉(310)과 제2봉(320) 사이의 열전도를 차단하여, 몸체(100)에서 봉(300)을 통해 열전도되어 빠져나가는 열을 줄일 수 있다. 이로 인해, 몸체(100)의 중앙부와 그 주변부의 온도 편차를 줄일 수 있다.The heat conduction to the upper and lower portions of the rod 300 can be blocked through the first heat end portion 330 as described above. In other words, heat conduction between the first rod 310 and the second rod 320 is cut off, and the heat that is externally transferred through the rod 300 from the body 100 can be reduced. Thus, the temperature deviation between the central portion of the body 100 and the peripheral portion thereof can be reduced.

한편, 제2열차단부(340)는 도 2 및 도 5에 도시한 바와 같이, 봉(300)의 내부에 설치된다. 특별히, 제2열차단부(340)는 제1봉(310)의 내부에 설치되되, 몸체(100)의 하면에 인접하여 설치되는 것이 바람직할 수 있다.Meanwhile, as shown in FIGS. 2 and 5, the second heat terminal 340 is installed inside the rod 300. Particularly, it is preferable that the second end portion 340 is installed inside the first rod 310, and is disposed adjacent to the lower surface of the body 100.

제2열차단부(340)는 제1봉(310)의 내부 중 적어도 일부를 채울 수 있다. 제2열차단부(340)는 열선(114)을 감싸면서 제1봉(310)의 내부 공간을 채워, 봉(300)의 상, 하부로의 열대류를 차단한다.The second heat end 340 may fill at least a portion of the interior of the first rod 310. The second end portion 340 surrounds the heating wire 114 and fills the inner space of the first rod 310 to block the upward flow of the rod 300.

제2열차단부(340)도 제1열차단부(330)와 마찬가지로 상기 제2금속재질로 이루어질 수 있다. 제2열차단부(340)는 몸체(100)를 이루는 금속(바람직하게는, 알루미늄일 수 있다)인 상기 제1금속재질보다 열전도율이 낮은 금속 단열재일 수 있다. The second heat end 340 may also be made of the second metal as in the first heat end 330. The second thermal end 340 may be a metal thermal insulator having a thermal conductivity lower than that of the first metal material, which is a metal (preferably, aluminum) constituting the body 100.

또는 전술한 바와 달리, 제2열차단부(340)는 상기 제1금속재질보다 열전도율이 낮은 비금속 단열재일 수 있다.Or unlike the above, the second heat end 340 may be a non-metallic thermal insulation material having a thermal conductivity lower than that of the first metal material.

제2열차단부(340)는 유리 섬유, 에어로겔, 또는 산화알루미늄(Al2O3)의 재질이 바람직할 수 있고, 열전도율은 0.03 W/mK 이상 35 W/mK 이하가 바람직할 수 있다.The second heat terminal 340 may be made of glass fiber, airgel, or aluminum oxide (Al 2 O 3 ) material, and the thermal conductivity may preferably be 0.03 W / mK or more and 35 W / mK or less.

이상과 같은 제2열차단부(340)를 통해, 봉(300)의 상, 하부로의 열대류를 차단하여, 몸체(100)의 하면에서 열대류를 통해 봉(300)의 내부로 빠져나가는 열을 줄일 수 있다. 그래서 몸체(100)의 중앙부와 그 주변부의 온도 편차가 줄어든다.The heat transmitted from the lower surface of the body 100 to the inside of the rod 300 through the tropopause is blocked by blocking the thermal flow to the upper and lower portions of the rod 300 through the second heat- . Thus, the temperature deviation between the central portion of the body 100 and the peripheral portion thereof is reduced.

제2열차단부(340)는 제1열차단부(330)보다 몸체(100)의 하면에 인접하게 위치한다.The second heat end 340 is positioned adjacent to the lower surface of the body 100 than the first heat end 330.

글라스(500)는 몸체(100)와의 열전도에 의해 가열된 상태에서 막질이 형성되므로, 몸체(100)의 온도 편차는 글라스(500)의 온도 편차를 유발하게 된다. Since the glass 500 is formed in a state of being heated by the thermal conduction with the body 100, the temperature deviation of the body 100 causes a temperature deviation of the glass 500.

몸체(100)의 중앙부는 봉(300)과의 열전달로 인해, 그 주변부보다 온도가 낮아지는 특성이 있다. 본 발명은 봉(300)에 열차단부(330,340)가 설치되어, 몸체(100)의 하면 중앙에 결합된 봉(300)으로 열전도 및 열대류를 통해 열이 빠져나가는 것을 차단할 수 있기 때문에, 몸체(100)의 중앙부와 그 주변부 사이의 온도 편차를 줄일 수 있다. 다시 말해, 몸체(100)의 중앙부와 그 주변부의 열균일성이 향상됨으로써, 결과적으로 글라스(500)의 중앙부와 그 주변부의 온도 편차가 줄어 고품질의 막질을 형성할 수 있다.The central portion of the body 100 has a characteristic that the temperature is lower than the peripheral portion due to the heat transfer with the rod 300. [ The present invention can prevent heat from escaping through the thermal conduction and the thermal flow through the rod 300 coupled to the bottom center of the body 100 by providing the heat ends 330 and 340 in the rod 300, The temperature deviation between the central portion and the peripheral portion thereof can be reduced. In other words, the thermal uniformity of the central portion and the peripheral portion of the body 100 is improved, and as a result, the temperature deviation between the central portion of the glass 500 and the peripheral portion thereof is reduced, and a high-quality film quality can be formed.

한편, 제2실시예에 따른 봉(360)은, 도 7에 도시한 바와 같이, 적어도 2개의 봉(362,364)이 접착제(370)로 접착된 것이다. 도 7과 같이, 제3봉(362)과 제4봉(364)이 접착제(370)로 접착된다. 접착제(370)는 무기접착제가 바람직할 수 있고, 세라믹 또는 글라스를 포함할 수 있다. 접착제(370)는 제3봉(362)과 제4봉(364) 사이에 위치한다. 또한, 봉(360)은 제4봉(364)의 하단에 결합되는 제5봉(366)을 더 포함한다. 봉(360)의 내부에는 열선(114)이 배치된다. 접착제(370)는 제3봉(362)과 제4봉(364) 사이의 열전도를 차단하는 것일 수 있다.On the other hand, in the rod 360 according to the second embodiment, at least two rods 362 and 364 are bonded with an adhesive 370 as shown in Fig. As shown in FIG. 7, the third rod 362 and the fourth rod 364 are bonded together with an adhesive 370. The adhesive 370 may be an inorganic adhesive, and may include a ceramic or a glass. The adhesive 370 is positioned between the third rod 362 and the fourth rod 364. Further, the rod 360 further includes a fifth rod 366 coupled to the lower end of the fourth rod 364. A heat ray 114 is disposed inside the rod 360. The adhesive 370 may block heat conduction between the third rod 362 and the fourth rod 364.

제3봉(362)은 중공인 원통 형상으로 형성되고, 상단이 몸체의 하면에 결합된다. 제3봉(362)은 몸체의 하면에 용접(바람직하게는 마찰교반용접) 결합될 수 있다. 제3봉(362)의 상부는 확경되어 있다. The third rod 362 is formed into a hollow cylindrical shape, and the upper end is coupled to the lower surface of the body. The third rod 362 may be welded (preferably friction stir welding) to the lower surface of the body. The upper portion of the third rod 362 is enlarged.

그리고 제3봉(362)의 하부는 하단부로 갈수록 직경이 작아지는 축경부(363)를 포함한다. 제3봉(362)의 하측에는 제4봉(364)이 이격되어 배치되고, 제3봉(362)과 제4봉(364)의 사이에는 접착제(370)가 배치된다.The lower portion of the third rod 362 includes a reduced diameter portion 363 whose diameter decreases toward the lower end. A fourth rod 364 is disposed on the lower side of the third rod 362 and an adhesive 370 is disposed between the third rod 362 and the fourth rod 364.

제4봉(364)은 중공인 원통 형상으로 형성되고, 제4봉(364)의 상부는 상단부로 갈수록 직경이 커지는 확경부(365)를 포함한다. The fourth rod 364 is formed in a hollow cylindrical shape, and the upper portion of the fourth rod 364 includes a diameter enlarged portion 365 having a larger diameter toward the upper end.

접착제(370)는 축경부(363)의 외면과, 확경부(365)의 내면 사이에 배치된다. The adhesive 370 is disposed between the outer surface of the reduced diameter portion 363 and the inner surface of the enlarged diameter portion 365.

접착제(370)의 일면은 축경부(363)의 외면에 접하고, 타면은 확경부(365)의 내면에 접한다. 접착제(370)는 제3봉(362)과 제4봉(364)을 서로 결합시킨다. 제3봉(362) 및 제4봉(364)은 접착제(370)에 의해 본딩된다. 접착제(370)는 제3봉(362) 및 제4봉(364)을 이루는 재질보다 열전도율이 낮아서 그 사이의 열전도를 차단하게 된다. One surface of the adhesive 370 is in contact with the outer surface of the reduced diameter portion 363 and the other surface is in contact with the inner surface of the enlarged diameter portion 365. The adhesive 370 bonds the third rod 362 and the fourth rod 364 to each other. The third rod 362 and the fourth rod 364 are bonded by an adhesive 370. The adhesive 370 is lower in thermal conductivity than the material constituting the third rod 362 and the fourth rod 364 so as to block the heat conduction therebetween.

제3봉(362)의 축경부(363)는 제4봉(364)의 확경부(365)의 내부로 삽입된다. 그리고 축경부(363)의 외면과 확경부(365)의 내면은 나란히 배치되고, 그 사이에 위치하는 접착제(370)를 통해 서로 결합된다. The reduced diameter portion 363 of the third rod 362 is inserted into the enlarged diameter portion 365 of the fourth rod 364. [ The outer surface of the reduced diameter portion 363 and the inner surface of the enlarged diameter portion 365 are arranged side by side and are coupled to each other through an adhesive 370 located therebetween.

제3봉과 제4봉이 접합되는 영역인, 축경부(363)의 외면과, 확경부(365)의 내면에는 요철(미도시)이 형성될 수 있다. 요철로 인해 축경부(363)의 외면과 확경부(365)의 내면사이의 인접하는 면적이 넓어져 더 견고히 접합될 수 있다.(Not shown) may be formed on the outer surface of the reduced diameter portion 363, which is an area where the third rod and the fourth rod are joined, and the inner surface of the enlarged diameter portion 365. The adjacent area between the outer surface of the reduced diameter portion 363 and the inner surface of the enlarged diameter portion 365 is widened due to the unevenness and can be more firmly bonded.

전술한 바와 같이, 제3봉(362) 및 제4봉(364)이 각각 축경부(363) 및 확경부(365)를 포함하여 둘 사이에 넓은 면적이 인접하도록 배치하기 용이하다. 따라서, 접착제(370)를 이용하여 제3봉(362) 및 제4봉(346)을 결합하기 용이하다.As described above, it is easy to dispose the third rod 362 and the fourth rod 364 including the reduced diameter portion 363 and the enlarged diameter portion 365 so that a large area is adjacent to each other. Therefore, it is easy to join the third rod 362 and the fourth rod 346 by using the adhesive 370.

또한, 제3봉(362) 및 제4봉(364)은 표면이 아노다이징처리될 수 있다. 아노다이징처리된 제3봉(362) 및 제4봉(364)의 표면은 제3봉(362) 및 제4봉(364)을 이루는 재질보다 열전도율이 낮다. In addition, the surface of the third rod 362 and the fourth rod 364 can be anodized. The surface of the third rods 362 and the fourth rods 364 subjected to the anodizing treatment has lower thermal conductivity than the material constituting the third rods 362 and the fourth rods 364. [

아노다이징처리된 제3봉(362) 및 제4봉(364)의 표면과, 제3봉(362) 및 제4봉(364) 사이의 접착제(370)를 통해 제3봉(362) 및 제4봉(364) 사이의 열전도가 이중으로 차단되는 효과가 있다.The third rods 362 and the fourth rods 362 are bonded to the surfaces of the third rods 362 and the fourth rods 364 subjected to the anodizing treatment and the adhesive 370 between the third rods 362 and the fourth rods 364. [ There is an effect that the heat conduction between the rods 364 is blocked twice.

또한, 제4봉(364)의 하단에는 제5봉(366)이 결합될 수 있다. 제4봉(364)의 하단과 제5봉(366)의 상단은 서로 용접(바람직하게는 마찰교반용접) 결합될 수 있다. 제5봉(366)은 중공인 원통 형상이고, 아노다이징처리될 수 있다.Further, a fifth rod 366 may be coupled to the lower end of the fourth rod 364. The lower end of the fourth rod 364 and the upper end of the fifth rod 366 may be welded (preferably friction stir welding) to each other. The fifth rod 366 is hollow cylindrical and can be anodized.

본 발명의 진공챔버(미도시)는 전술한 바와 같은 몸체(100)와, 몸체(100)의 내부에 매설되는 열선(114)과, 일단이 몸체(100)의 하면에 연결된 봉(300,360)과, 봉(300,360)에 설치되는 열차단부(330,340,370)를 포함하는 서셉터를 포함한다. 진공챔버에 대해서는 전술한 종래기술을 비롯하여 종래에 많이 공지되어 있으므로, 별도의 상세한 설명은 생략한다.A vacuum chamber (not shown) of the present invention includes a body 100 as described above, a heat ray 114 embedded in the body 100, rods 300 and 360 having one end connected to the lower surface of the body 100, And a susceptor including heat ends 330, 340, and 370 installed on the rods 300 and 360. The vacuum chamber is well known in the prior art including the above-described conventional techniques, and a detailed description thereof will be omitted.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the following claims .

100: 몸체 110: 히터부
112: 홈 114: 열선
116: 지지부재 118: 커버
150: 관통구 170: 측면
300: 봉 310: 제1봉
320: 제2봉 330, 340: 열차단부
330: 제1열차단부 340: 제2열차단부
360: 봉 362: 제3봉
363: 축경부 364: 제4봉
365: 확경부 366: 제5봉
370: 접착제,열차단부 400: 리프트 핀
405: 승강부재 500: 글라스100: Body 110:
112: Home 114: Heat line
116: support member 118: cover
150: through hole 170: side
300: Rod 310: 1st rod
320: second rod 330, 340: end of train
330: first train end 340: second train end
360: Rod 362: Third Rod
363: Shaft portion 364: Fourth rod
365: diameter portion 366: fifth rod
370: Adhesive, train end 400: Lift pin
405: lifting member 500: glass

Claims (20)

몸체;
상기 몸체의 내부에 매설되는 열선;
일단이 상기 몸체의 하면에 연결된 봉; 및
상기 봉에 설치되는 열차단부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터.
Body;
A heating wire embedded in the body;
A rod having one end connected to the lower surface of the body; And
A train end disposed in the bar; ≪ / RTI >
청구항 1에 있어서,
상기 열차단부는 상기 봉의 내부에 설치되어 상기 봉의 상, 하부로의 열대류를 차단하는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
And the end of the heat shield is installed inside the rod to block the heat flow to the upper and lower portions of the rod.
청구항 2에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 하면에 인접하여 설치되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 2,
And the end of the train is installed adjacent to a lower surface of the body.
청구항 1에 있어서,
상기 열차단부는 상기 봉과 이종재질로 형성되고 상기 봉의 일부 영역을 이루어, 상기 봉의 상, 하부로의 열전도를 차단하는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the heat terminal is formed of a material different from that of the rod, and forms a part of the rod, thereby blocking heat conduction to the upper and lower portions of the rod.
청구항 4에 있어서,
상기 몸체와 상기 봉은 제1금속재질로 이루어지고,
상기 열차단부는 제2금속재질로 이루어지되,
상기 제2금속재질은 상기 제1금속재질보다 열전도율이 낮은 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 4,
Wherein the body and the rod are made of a first metal material,
The end of the train is made of a second metal material,
Wherein the second metal material has a lower thermal conductivity than the first metal material.
청구항 5에 있어서,
상기 봉은 제1금속재질로 이루어진 제1봉 및 제2봉을 포함하고,
상기 열차단부는 상기 제1봉과 상기 제2봉 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 5,
The rod includes a first rod and a second rod made of a first metal material,
And the end of the train is positioned between the first rod and the second rod.
청구항 1에 있어서,
상기 열차단부는 상기 봉과 이종재질로 형성되고 상기 봉의 일부 영역을 이루어, 상기 봉의 상, 하부로의 열전도를 차단하는 제1열차단부와,
상기 봉의 내부에 설치되어 상기 봉의 상, 하부로의 열대류를 차단하는 제2열차단부를 포함하되,
상기 제2열차단부는 상기 제1열차단부보다 상기 몸체의 하면에 인접하게 위치하는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
A first end of the heat shield is formed of a material different from the first end of the rod and blocks heat conduction to the upper and lower portions of the rod,
And a second heat terminal installed inside the rod to block the heat flow to the upper and lower portions of the rod,
Wherein the second end of the train is positioned adjacent to a lower surface of the body than the first end of the train.
청구항 1에 있어서,
상기 봉은 적어도 2개의 봉이 접착제로 접착된 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Characterized in that the rods are glued with at least two rods.
청구항 8에 있어서,
상기 접착제는 무기접착제인 것인 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 8,
Wherein the adhesive is an inorganic adhesive.
청구항 9에 있어서,
상기 무기접착제는 세라믹 또는 글라스를 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 9,
Wherein the inorganic adhesive includes ceramics or glass.
청구항 8에 있어서,
상기 봉들이 접합되는 영역에 요철이 형성된 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 8,
And concave and convex portions are formed in regions where the rods are bonded.
청구항 8에 있어서,
상기 접착제는 상기 봉들 사이의 열전도를 차단하는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 8,
Wherein the adhesive intercepts heat conduction between the rods.
청구항 8에 있어서,
단부로 갈수록 직경이 작아지는 축경부를 갖는 제3봉,
단부로 갈수록 직경이 커지는 확경부를 갖는 제4봉을 포함하되,
상기 접착제는 상기 축경부의 외면과, 상기 확경부의 내면 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 8,
A third rod having a reduced diameter portion that becomes smaller toward the end portion,
And a fourth rod having a diameter enlarging portion that becomes larger toward the end portion,
Wherein the adhesive is disposed between an outer surface of the reduced diameter portion and an inner surface of the enlarged diameter portion.
청구항 8에 있어서,
상기 봉은 아노다이징처리된 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 8,
≪ / RTI > wherein said rod is anodized.
청구항 1에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the end of the train is made of a metal thermal insulator having a thermal conductivity lower than that of the metal forming the body.
청구항 1에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 비금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the heat-conducting end portion is made of a non-metallic heat insulating material having a thermal conductivity lower than that of the metal forming the body.
청구항 1에 있어서,
상기 열차단부는 열전도율이 0.03 W/mK 이상 35 W/mK 이하인 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the heat conduction portion has a thermal conductivity of 0.03 W / mK or more and 35 W / mK or less.
청구항 2에 있어서,
상기 열차단부는, 유리 섬유, 에어로겔, 또는 산화알루미늄(Al2O3)의 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 2,
Wherein the end of the train is made of glass fiber, airgel, or aluminum oxide (Al 2 O 3 ) material.
청구항 4에 있어서,
상기 열차단부는, 스테인레스 스틸 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 4,
Wherein the end of the train is made of a stainless steel material.
몸체; 상기 몸체의 내부에 매설되는 열선; 일단이 상기 몸체의 하면에 연결된 봉; 및 상기 봉에 설치되는 열차단부; 를 포함하는 서셉터를 포함하는 진공챔버.
Body; A heating wire embedded in the body; A rod having one end connected to the lower surface of the body; And a train end mounted on the rod; And a susceptor.
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KR20190080594A (en) * 2017-12-28 2019-07-08 (주)보부하이테크 Components of susceptor for semiconductor by friction diffusion welding and manufacturing method thereof

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