KR20170052338A - Susceptor and Vaccum chamber including the same - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a susceptor with improved thermal uniformity of a body in which a heating wire is embedded inside the body, and a heat blocking unit is installed, and a vacuum chamber having the same.

Description

서셉터 및 이를 포함하는 진공챔버{ Susceptor and Vaccum chamber including the same }[0001] Susceptor and Vacuum Chamber Including the Susceptor and Vaccum Chamber [0003]

본 발명은 몸체 내부에 열선이 매설되고 상면에 글라스가 올려지는 서셉터 및 이를 포함하는 진공챔버에 관한 것이다.The present invention relates to a susceptor in which a heating wire is embedded in a body and a glass is mounted on a top surface, and a vacuum chamber including the susceptor.

액정표시장치(LCD)는 어레이 기판과 컬러 필터 기판 사이에 액정을 주입하여, 그 특성을 이용해 영상효과를 얻는 비발광 소자를 뜻한다. 이러한 어레이 기판과 컬러 필터 기판은 각각 유리등의 재질로 이루어지는 투명 기판 상에 수차례에 걸친 박막의 증착, 패터닝 및 식각 공정을 통해 제조되는데, 진공챔버 내부로 반응 및 소스물질이 가스상으로 유입되어 증착 공정을 진행하고자 하는 경우 진공챔버 내부에는, 기판이 안착되며 증착에 적절한 온도로 가열시킬 수 있도록 히터가 내부에 매설되는 서셉터가 설치된다.A liquid crystal display (LCD) refers to a non-luminous element that injects liquid crystal between an array substrate and a color filter substrate and obtains a visual effect by using the characteristics of the liquid crystal. The array substrate and the color filter substrate are manufactured through deposition, patterning, and etching processes of a thin film several times on a transparent substrate made of a material such as glass. The reaction and the source material are introduced into the vacuum chamber, When a process is to be carried out, a susceptor in which a heater is embedded is installed inside the vacuum chamber so that the substrate can be heated and heated to a temperature suitable for deposition.

종래의 서셉터로는 한국등록특허 제0945441호에 기재된 것이 있다(도 1 참고) .A conventional susceptor is disclosed in Korean Patent No. 0945441 (see FIG. 1).

박막 증착 반응이 진행되는 진공챔버는, 상부 리드와 챔버 바디로 구분된다. 상기 상부 리드의 내부에는 백킹 플레이트와 샤워헤드로 구성되는 가스분산부가 진공챔버의 상단을 가로질러 형성되는데, 외부의 가스저장부로부터 공급된 소스가스는 가스라인을 경유하여 상기 가스분산부로 유입된 뒤, 상기 가스분산부에 다수 설치되는 관통홀을 통하여 기판의 상면으로 분사된다. 특히, PECVD 장치에서 상기 가스분산부는 외부의 RF 전원과 연결되어 상기 기판 상에 분사된 소스가스를 플라즈마 상태로 활성화시키는 상부전극으로 기능한다.The vacuum chamber in which the thin film deposition reaction proceeds is divided into an upper lead and a chamber body. A gas dispersion unit consisting of a backing plate and a showerhead is formed across the upper end of the vacuum chamber. The source gas supplied from an external gas storage unit flows into the gas dispersion unit via a gas line Through the plurality of through holes formed in the gas dispersion portion. Particularly, in the PECVD apparatus, the gas dispersion unit functions as an upper electrode connected to an external RF power source to activate the source gas injected onto the substrate into a plasma state.

한편, 상기 챔버 바디의 내부에는 상기 가스분산부와 소정간격 이격되는 서셉터 바디가 설치되어 그 상면으로 상기 기판이 안착된다. 상기 서셉터 바디의 중앙 하단으로는 서셉터 샤프트가 챔버 하단부를 관통하면서 결합되어 상기 서셉터 바디를 지지한다. 상기 서셉터 바디의 내면에는 히터가 매설되어 서셉터 상면으로 안치되는 상기 기판을 소정의 온도로 가열시켜 소스가스가 상기 기판의 상면으로 증착될 수 있도록 한다. 이때, 공급되는 소스가스를 플라즈마 처리하여 여기시키는 경우 상기 서셉터 바디는 전기적으로 접지되어 있다. 즉, 상기 서셉터 바디는 그 상면에 안치되는 상기 기판으로 적절한 온도의 열을 공급함과 동시에 상기 상부전극으로 기능하는 상기 가스분산부에 대응되는 하부전극으로 기능한다.Meanwhile, a susceptor body spaced apart from the gas dispersion unit is provided in the chamber body, and the substrate is seated on the upper surface thereof. A susceptor shaft is coupled to the lower end of the susceptor body through the lower end of the chamber to support the susceptor body. A heater is buried in the inner surface of the susceptor body to heat the substrate, which is placed on the upper surface of the susceptor, to a predetermined temperature so that the source gas can be deposited on the upper surface of the substrate. At this time, when the supplied source gas is plasma-processed and excited, the susceptor body is electrically grounded. That is, the susceptor body functions as a lower electrode corresponding to the gas dispersing unit functioning as the upper electrode while supplying heat of a proper temperature to the substrate placed on the upper surface of the susceptor body.

상기 서셉터 샤프트는 상기 서셉터 바디의 상면으로 상기 기판의 로딩/언로딩에 따라 상하로 승하강하여 그 상단에 결합된 서셉터 바디를 수직 방향으로 연동시킨다. 이와 같은 승하강 운동을 위해서 상기 서셉터 바디의 외주변으로는 구동부가 설치되어 모터 등의 구동수단과 연결되어 있다. 다시 말하면 상기 서셉터 샤프트는 서셉터 바디가 수평을 유지하면서 승강할 수 있도록 지지하는 역할 외에 상기 구동부를 통하여 외부로부터 전달된 동력을 전달하는 축의 역할을 수행한다.The susceptor shaft vertically moves up and down in accordance with loading / unloading of the substrate onto the upper surface of the susceptor body, and vertically interlocks the susceptor body coupled to the upper end of the susceptor body. In order to move up and down, a driving unit is provided around the outer periphery of the susceptor body and is connected to driving means such as a motor. In other words, the susceptor shaft serves to support the susceptor body so that the susceptor body can move up and down while keeping the susceptor body horizontal, and also serves as a shaft for transmitting the power transmitted from the outside through the driving unit.

서셉터 샤프트의 상단은 서셉터 바디의 저면 중앙과 결합한 뒤에 용접처리를 통하여 밀폐되어 있다. 상기 서셉터 바디 저면의 중앙에 인접한 영역과 주변에 인접한 영역 각각에는 서로 대칭적으로 매설홈이 형성되어 그 내부로 히터가 수용된다. 상기 매설홈으로 상기 히터가 내삽되면 그 저면으로 알루미늄 재질의 커버가 매설홈의 하단으로부터 부설된다.The upper end of the susceptor shaft is coupled with the bottom center of the susceptor body and is sealed through a welding process. In the region adjacent to the center of the bottom surface of the susceptor and the region adjacent to the periphery, buried grooves are symmetrically formed to accommodate the heater therein. When the heater is inserted into the buried grooves, a cover made of aluminum is laid on the bottom surface from the bottom of the buried grooves.

한편, 상기 기판이 올려지는 상기 서셉터 바디는 상부 테두리 부분이 그 내측부보다 온도가 낮아지는 온도 편차가 발생한다. 상기 서셉터 바디의 상부의 온도 편차로 인해, 상기 기판의 테두리부와 그 내측부에 형성되는 막질의 특성이 서로 상이하게 된다. 소형 기판의 경우에는 위와 같은 온도 편차에 따른 막질의 특성차이가 완제품 품질에 크게 영향을 미치지 않았으나, 최근의 대형 기판에서는 온도편차에 따른 막질의 특성 변화를 줄인 고품질의 막질 형성의 필요성이 대두되었다. 그러나 종래기술로는 서셉터 바디의 온도편차를 줄이는데 한계가 있다.On the other hand, the susceptor body on which the substrate is mounted has a temperature deviation in which the temperature of the upper rim portion is lower than that of the inner rim portion. Due to the temperature deviation of the upper portion of the susceptor body, the film quality formed at the rim portion of the substrate and the inner portion thereof are different from each other. In the case of small substrates, the difference in film quality due to the above temperature variation did not significantly affect the quality of the final product. However, in recent large-sized substrates, there has been a need to form a high-quality film with less variation in film quality due to temperature variations. However, the prior art has a limitation in reducing the temperature deviation of the susceptor body.

한국등록특허 제0945441호Korean Patent No. 0945441

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 몸체의 열균일성이 향상된 서셉터 및 이를 포함하는 진공챔버를 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a susceptor having improved thermal uniformity of a body and a vacuum chamber including the susceptor.

전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 서셉터는, 몸체; 상기 몸체의 내부에 매설되는 열선; 일단이 상기 몸체의 하면에 연결된 봉; 및 상기 몸체에 설치되는 열차단부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.To achieve the above object, the present invention provides a susceptor comprising: a body; A heating wire embedded in the body; A rod having one end connected to the lower surface of the body; And a train end mounted on the body; And a control unit.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 내부에 설치되는 것을 특징으로 한다.Further, the end of the train is installed inside the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 측면과 상기 열선 사이에 배치된 것을 특징으로 한다.Further, the end of the heat is disposed between the side surface of the body and the heat line.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체에 형성된 공간에 공기가 채워진 에어갭인 것을 특징으로 한다.Further, the end portion of the train is an air gap filled with air in the space formed in the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체에 형성된 공간과, 상기 공간의 내부에 채워진 열차단물질을 포함하는 것을 특징으로 한다.Also, the end portion of the train may include a space formed in the body and a heat shield material filled in the space.

또한, 상기 공간은 상기 몸체의 하면에 개구부가 형성된 홈과, 상기 개구부를 덮는 커버로 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the space is formed by a groove having an opening formed in a lower surface of the body, and a cover covering the opening.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 하면에 개구부가 형성된 홈인 것을 특징으로 한다.Further, the end portion of the train is a groove having an opening formed in the lower surface of the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 상, 하면을 관통한 슬롯인 것을 특징으로 한다.Further, the end portion of the train is a slot penetrating the upper and lower surfaces of the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 것을 특징으로 한다.Further, the end of the train is disposed adjacent to an edge of the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 변에 인접하여 배치된 것을 특징으로 한다.Further, the end of the train is disposed adjacent to the side of the body.

또한, 상기 열선은 상기 몸체의 일측 측면 둘레를 따라 배치되고 상기 몸체의 중심부로 연장된 제1열선부와, 상기 몸체의 타측 측면 둘레를 따라 배치되고 상기 몸체의 중심부로 연장된 제2열선부를 포함하되, 상기 열차단부는 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 상기 몸체의 변부측에 배치된 것을 특징으로 한다.The heating wire may include a first heating wire extending along one side of the body and extending to the center of the body and a second heating wire extending along the other side of the body and extending to the center of the body Wherein the end portion of the heat is disposed on a side of the body at a position where the first heat ray portion and the second heat ray portion are opposed to each other.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 제1열차단부와, 상기 제1열차단부 사이에 배치된 제2열차단부를 포함하되, 상기 제1열차단부와 상기 제2열차단부는 서로 이격되어 불연속적으로 배치된 것을 특징으로 한다.The end of the train also includes a first heat end disposed adjacent an edge of the body and a second heat end disposed between the first heat end and the second heat end, Are arranged so as to be spaced apart from each other and arranged discontinuously.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 제1열차단부와, 상기 제1열차단부 사이에 배치된 제2열차단부를 포함하되, 상기 제2열차단부는 인접하는 상기 제1열차단부 사이에 복수 개가 이격되어 불연속적으로 배치된 것을 특징으로 한다.The end of the train also includes a first heat end disposed adjacent an edge of the body and a second heat end disposed between the first heat end and the second heat end, And a plurality of heat exchangers are disposed discontinuously between the train end portions.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 측면 테두리를 따라 연속적으로 형성된 것을 특징으로 한다.Further, the end of the train is formed continuously along the side edge of the body.

또한, 상기 열차단부의 일측은 상기 몸체의 측면 외측에 결합된 것을 특징으로 한다.Further, one side of the end portion of the train is coupled to the outside of the side of the body.

또한, 상기 열차단부는 일측이 상기 몸체의 측면에 결합된 연결부와, 상기 연결부의 타측에 연결되어 절곡된 수직부를 포함하되, 상기 수직부는 상기 몸체의 측면에 대해 이격된 것을 특징으로 한다.In addition, the end portion of the train includes a connection portion having one side coupled to a side surface of the body, and a vertical portion bent to connect to the other side of the connection portion, wherein the vertical portion is spaced apart from the side surface of the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 측면 둘레를 따라 배치된 것을 특징으로 한다.Also, the end portion of the train is disposed along the circumference of the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 것을 특징으로 한다.Further, the end of the train is disposed adjacent to an edge of the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 변에 인접하여 배치된 것을 특징으로 한다.Further, the end of the train is disposed adjacent to the side of the body.

또한, 상기 열선은 상기 몸체의 일측 측면 둘레를 따라 배치되고 상기 몸체의 중심부로 연장된 제1열선부와, 상기 몸체의 타측 측면 둘레를 따라 배치되고 상기 몸체의 중심부로 연장된 제2열선부를 포함하되, 상기 열차단부는 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 상기 몸체의 변부측에 배치된 것을 특징으로 한다.The heating wire may include a first heating wire extending along one side of the body and extending to the center of the body and a second heating wire extending along the other side of the body and extending to the center of the body Wherein the end portion of the heat is disposed on a side of the body at a position where the first heat ray portion and the second heat ray portion are opposed to each other.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 제3열차단부와, 상기 제3열차단부 사이에 배치된 제4열차단부를 포함하되,상기 제3열차단부와 상기 제4열차단부는 서로 이격되어 불연속적으로 배치된 것을 특징으로 한다.The end of the train also includes a third heat end disposed adjacent an edge of the body and a fourth heat end disposed between the third heat ends, wherein the third heat end and the fourth heat end Are arranged so as to be spaced apart from each other and arranged discontinuously.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 제3열차단부와, 상기 제3열차단부 사이에 배치된 제4열차단부를 포함하되, 상기 제4열차단부는 인접하는 상기 제3열차단부 사이에 복수 개가 이격되어 불연속적으로 배치된 것을 특징으로 한다.The end of the train further includes a third heat end disposed adjacent an edge of the body and a fourth heat end disposed between the third heat end and the fourth heat end, And a plurality of heat exchangers are disposed discontinuously between the train end portions.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 한다.Also, the end of the train is formed of a metal thermal insulator having a thermal conductivity lower than that of the metal forming the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 비금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 한다.Further, the end portion of the train is formed of a non-metallic thermal insulation material having a thermal conductivity lower than that of the metal forming the body.

또한, 상기 열차단부는 열전도율이 0.03 W/mK 이상 35 W/mK 이하인 것을 특징으로 한다.Further, the end portion of the train is characterized by a thermal conductivity of 0.03 W / mK or more and 35 W / mK or less.

또한, 상기 열차단부는 유리 세라믹, 산화알루미늄(Al2O3), 산화마그네슘(MgO), 또는 스테인레스 스틸 재질로 이루어진 것을 특징으로 한다.Further, the end of the train is made of glass ceramic, aluminum oxide (Al 2 O 3 ), magnesium oxide (MgO), or stainless steel.

본 발명의 진공챔버는, 몸체; 상기 몸체의 내부에 매설되는 열선; 일단이 상기 몸체의 하면에 연결된 봉; 및 상기 몸체에 설치되는 열차단부; 를 포함하는 서셉터를 포함한다.A vacuum chamber of the present invention comprises: a body; A heating wire embedded in the body; A rod having one end connected to the lower surface of the body; And a train end mounted on the body; And a susceptor.

본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.The present invention has the following effects.

몸체의 열균일성이 향상됨으로, 글라스의 온도 편차를 줄일 수 있어, 고품질의 막질을 형성할 수 있다.The thermal uniformity of the body is improved, the temperature deviation of the glass can be reduced, and a high-quality film quality can be formed.

몸체 중 글라스의 테두리에 인접한 부분과 그 내측 부분의 온도 편차를 줄일 수 있다.The temperature deviation between the portion of the body adjacent to the rim of the glass and the inner portion thereof can be reduced.

몸체 중 글라스의 모서리에 인접한 부분과 그 내측 부분의 온도 편차를 줄일 수 있다.It is possible to reduce the temperature deviation between the portion of the body adjacent to the edge of the glass and the inner portion thereof.

제2열차단부가 복수 개가 이격되어 불연속을 이루어, 제2열차단부 사이에 별도의 구성을 배치하기 용이한 장점이 있다.There is an advantage that a plurality of second train end portions are separated from each other to facilitate disposition of a separate structure between the second train end portions.

몸체의 측면 외측에 열차단부가 결합되어 제조가 용이하다.It is easy to manufacture because the end of the train is coupled to the outside of the side of the body.

도 1은 종래의 서셉터를 나타낸 단면도.
도 2는 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 서셉터를 나타낸 단면도(정면 방향)
도 3은 도 2의 저면 사시도(리프트 핀 및 승강부재 제외).
도 4는 히터부 및 열차단부의 분리 상태도.
도 5는 열차단부 내부에 열차단물질이 채워진 단면도
도 6은 열차단부 내부에 공기가 채워진 단면도.
도 7은 열차단부가 하면이 개방된 홈으로 형성된 단면도.
도 8은 열차단부가 슬롯으로 형성된 단면도.
도 9는 도 2의 글라스가 상승된 서셉터의 단면도.
도 10은 본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 몸체의 저면도.
도 11은 본 발명의 바람직한 제2실시예에 따른 몸체의 저면도.
도 12는 본 발명의 바람직한 제3실시예에 따른 몸체의 저면도.
도 13은 본 발명의 바람직한 제4실시예에 따른 몸체의 저면도.
도 14는 본 발명의 바람직한 제5실시예에 따른 서셉터를 나타낸 단면도(정면 방향)
도 15는 본 발명의 바람직한 제5실시예에 따른 몸체의 저면도.
도 16은 본 발명의 바람직한 제6실시예에 따른 몸체의 저면도.
도 17는 본 발명의 바람직한 제7실시예에 따른 몸체의 저면도.
도 18는 본 발명의 바람직한 제8실시예에 따른 몸체의 저면도.1 is a sectional view showing a conventional susceptor;
2 is a cross-sectional view (front view) showing a susceptor according to a first preferred embodiment of the present invention;
3 is a bottom perspective view (excluding a lift pin and an elevating member) of Fig. 2;
Fig. 4 is a view showing a state in which the heater portion and the end portion of the train are separated. Fig.
5 is a cross-sectional view
6 is a cross-sectional view of the interior of a train end filled with air;
7 is a cross-sectional view in which the end portion of the train is formed into a groove with a bottom opened;
8 is a cross-sectional view in which a train end is formed as a slot;
9 is a cross-sectional view of the susceptor with the glass of FIG. 2 raised.
10 is a bottom view of a body according to a first preferred embodiment of the present invention.
11 is a bottom view of a body according to a second preferred embodiment of the present invention.
12 is a bottom view of a body according to a third preferred embodiment of the present invention.
13 is a bottom view of a body according to a fourth preferred embodiment of the present invention.
14 is a cross-sectional view (front view) showing a susceptor according to a fifth preferred embodiment of the present invention;
15 is a bottom view of a body according to a fifth preferred embodiment of the present invention.
16 is a bottom view of a body according to a sixth preferred embodiment of the present invention.
17 is a bottom view of a body according to a seventh preferred embodiment of the present invention.
18 is a bottom view of a body according to an eighth embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부한 도면들과 함께 상세히 후술된 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명하는 실시 예에 한정된 것이 아니라 서로 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Brief Description of the Drawings The advantages and features of the present invention, and how to achieve them, will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in different forms. Rather, the embodiments disclosed herein are provided so that the disclosure can be thorough and complete, and will fully convey the concept of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 또한, 바람직한 실시 예에 따른 것이기 때문에, 설명의 순서에 따라 제시되는 참조 부호는 그 순서에 반드시 한정되지는 않는다. The terminology used herein is for the purpose of illustrating embodiments and is not intended to be limiting of the present invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. As used herein, the terms 'comprises' and / or 'comprising' mean that the stated element, step, operation and / or element does not imply the presence of one or more other elements, steps, operations and / Or additions. In addition, since they are in accordance with the preferred embodiment, the reference numerals presented in the order of description are not necessarily limited to the order.

본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시 도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.The embodiments described herein will be described with reference to cross-sectional views and / or plan views which are ideal illustrations of the present invention. In the drawings, the thicknesses of the films and regions are exaggerated for an effective description of the technical content. Thus, the shape of the illustrations may be modified by manufacturing techniques and / or tolerances. Accordingly, the embodiments of the present invention are not limited to the specific forms shown, but also include changes in the shapes that are generated according to the manufacturing process. Thus, the regions illustrated in the figures have schematic attributes, and the shapes of the regions illustrated in the figures are intended to illustrate specific types of regions of the elements and are not intended to limit the scope of the invention.

참고적으로, 이하에서 설명될 본 발명의 구성들 중 종래기술과 동일한 구성은 전술한 종래기술을 비롯하여 종래에 많이 공지되어 있으므로, 별도의 상세한 설명은 생략한다.For reference, the same configurations as those of the prior art among the configurations of the present invention to be described below are well known in the art including the above-described conventional techniques, and therefore, a detailed description thereof will be omitted.

본 발명의 바람직한 제1실시예에 따른 서셉터는, 도 2 내지 도 10에 도시한 바와 같이, 몸체(100);와, 몸체(100)의 내부에 매설되는 열선(114);과, 일단이 몸체(100)의 하면에 연결된 봉(300); 및 몸체(100)에 설치되는 열차단부(130);를 포함하는 것을 특징으로 한다. 열차단부(130)는 도 2와 같이, 몸체(100)의 내부에 설치된다.2 to 10, a susceptor according to a first preferred embodiment of the present invention includes a body 100, a heat ray 114 embedded in the body 100, A rod 300 connected to the lower surface of the body 100; And a heat-receiving end 130 installed on the body 100. As shown in FIG. 2, the heat-conducting end 130 is installed inside the body 100.

몸체(100)의 상면에는 글라스(500)가 올려지고, 글라스(500)를 들어올리는 리프트 핀(400)이 몸체(100)를 관통하여 배치된다.A glass 500 is mounted on the upper surface of the body 100 and a lift pin 400 for lifting the glass 500 is disposed through the body 100.

몸체(100)는 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 직육면체 형상으로 형성된다. 몸체(100)의 상면에는 직육면체 형상의 글라스(500)가 올려진다. 몸체(100)는 알루미늄 재질이 바람직할 수 있고, 표면이 아노다이징처리 될 수 있다.The body 100 is formed in a rectangular parallelepiped shape as shown in Figs. A rectangular parallelopiped glass 500 is mounted on the upper surface of the body 100. The body 100 may be made of an aluminum material, and the surface may be anodized.

몸체(100)는 몸체(100)의 내부에 매설되는 열선(114)을 포함하는 히터부(110)와, 몸체(100)의 측면(170)과 열선(114) 사이에 배치되는 열차단부(130)와, 리프트 핀(400)이 삽입되는 관통구(150)를 포함하여 이루어진다.The body 100 includes a heater unit 110 including a heat ray 114 buried in the body 100 and a heat source unit 130 disposed between the side surface 170 of the body 100 and the heat ray 114 And a through hole 150 into which the lift pin 400 is inserted.

히터부(110)는 도 3에 도시한 바와 같이, 몸체(100)의 하면에 형성된다. 특별히, 도 3과 같이, 몸체(100)의 하면 중에서 중앙부에 인접한 부분과, 테두리에 인접한 부분에 형성될 수 있다.The heater unit 110 is formed on the lower surface of the body 100 as shown in FIG. In particular, as shown in Fig. 3, it may be formed at a portion of the lower surface of the body 100 that is adjacent to the center portion and a portion that is adjacent to the rim.

히터부(110)는, 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 몸체(100)의 하면에 형성된 홈(112)과, 홈(112)의 내부에 삽입된 열선(114)과, 열선(114)의 하측에 배치된 지지부재(116)와, 지지부재(116)의 하측에 배치되어 홈(112)의 개구를 덮는 커버(118)를 포함하여 이루어진다.2 to 4, the heater unit 110 includes a groove 112 formed in a lower surface of the body 100, a heat line 114 inserted into the groove 112, a heat line 114 And a cover 118 which is disposed below the support member 116 and covers the opening of the groove 112. The cover 116 is provided on the lower side of the support member 116,

홈(112)은 도 4와 같이, 몸체(100)의 하면에서 상측으로 볼록하게 형성된다. 그리고 홈(112)의 내부를 따라 열선(114)이 삽입된다. 도 4에 도시한 바와 같이, 홈(112)은 개구의 폭이, 상기 개구의 상측부의 폭보다 크다.The groove 112 is formed to be convex upward from the lower surface of the body 100, as shown in FIG. And the hot wire 114 is inserted along the inside of the groove 112. As shown in Fig. 4, the width of the opening of the groove 112 is larger than the width of the upper portion of the opening.

열선(114)은 홈(112)을 따라 삽입되고, 도 2와 같이, 몸체(100)의 하면 중앙에 결합된 봉(300)의 내부를 관통하여 연장 형성된다. 열선(114)을 통해 몸체(100)를 가열되고, 열전도를 통해 몸체(100) 상면의 글라스(500)가 가열된다.The heat ray 114 is inserted along the groove 112 and extends through the inside of the rod 300 coupled to the center of the lower surface of the body 100 as shown in FIG. The body 100 is heated through the heating wire 114 and the glass 500 on the upper surface of the body 100 is heated by the heat conduction.

도 2, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 열선(114)의 하측에는 지지부재(116)가 배치된다. 지지부재(116)는 열선(114)과 커버(118) 사이에 위치한다. 도 5에 도시한 바와 같이, 지지부재(116)의 상면은 하측으로 볼록한 포물선 형상을 이룬다. 지지부재(116)의 상면에 열선(114)이 올려져, 열선(114)을 지지한다.As shown in Figs. 2, 4, and 5, a support member 116 is disposed below the heat ray 114. As shown in Fig. The support member 116 is positioned between the heating wire 114 and the cover 118. As shown in Fig. 5, the upper surface of the support member 116 has a parabolic shape convex downward. A heat ray 114 is mounted on the upper surface of the support member 116 to support the heat ray 114.

지지부재(116)의 하측에는 커버(118)가 배치된다. 커버(118)는 홈(112)의 상기 개구에 삽입되어 홈(112)의 상기 개구를 덮는다. 커버(118)는 몸체(100)의 하면에 용접(특별히, 마찰교반용접)으로 결합될 수 있다. 커버(118)의 폭은 지지부재(116)보다 크다. A cover 118 is disposed below the support member 116. The cover 118 is inserted into the opening of the groove 112 to cover the opening of the groove 112. The cover 118 may be welded (specifically, friction stir welding) to the lower surface of the body 100. The width of the cover 118 is larger than the support member 116.

도 2 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 히터부(110)와 몸체(100)의 측면(170) 사이에는 열차단부(130)가 형성된다. 열차단부(130)는 열선(114)과 몸체(100)의 측면(170) 사이에 배치된다. 제1실시예에 따른 열차단부(130)는 도 3과 같이, 몸체(100)의 하면에서, 몸체(100)의 측면(170) 테두리를 따라 연속적으로 형성된다.2 to 5, the end portion 130 of the heat is formed between the heater portion 110 and the side surface 170 of the body 100. The heat end 130 is disposed between the heat line 114 and the side 170 of the body 100. The end portion 130 according to the first embodiment is formed continuously along the rim of the side surface 170 of the body 100 at the lower surface of the body 100 as shown in Fig.

열차단부(130)는 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 몸체(100)의 하면에 개구부(137)가 형성된 홈(136)와, 개구부(137)를 덮는 커버(139)로 형성되는 공간(134)을 포함한다.4 and 5, the end portion 130 includes a groove 136 formed with an opening 137 in a lower surface of the body 100 and a space 139 formed by a cover 139 covering the opening 137. [ (134).

홈(136)는 몸체(100)의 하면에서 상측을 향해 볼록하게 형성된다. 홈(136)의 내부 상면은 몸체(100)의 하면보다 몸체(100)의 상면에 인접할 수 있다. 홈(136)은 개구부(137)의 폭이, 개구부(137)의 상측에 위치하는 부분보다 크다.The groove 136 is formed to be convex upward from the lower surface of the body 100. The inner surface of the groove 136 may be adjacent to the upper surface of the body 100 than the lower surface of the body 100. The groove 136 is larger in width than the portion of the opening 137 located on the upper side of the opening 137.

홈(136)의 개구부(137)를 덮도록 커버(139)가 개구부(137)에 삽입되어 결합될 수 있다. 커버(139)는 개구부(137), 즉 몸체(100)에 용접(특별히, 마찰교반용접)으로 결합될 수 있다. 홈(136)의 개구부(137)를 커버(139)가 막아서 공간(134)이 형성된다. 커버(139)는 단면이 사각형상일 수 있다. 커버(139)는 에어투과성 재질로서, 발포알루미늄 또는 다공질 세라믹으로 형성될 수 있다.The cover 139 may be inserted into and engaged with the opening 137 so as to cover the opening 137 of the groove 136. [ The cover 139 may be joined to the opening 137, i.e., the body 100, by welding (particularly, friction stir welding). The opening 139 of the groove 136 is closed by the cover 139, and the space 134 is formed. The cover 139 may have a rectangular cross section. The cover 139 may be formed of foamed aluminum or porous ceramics as an air-permeable material.

열차단부(130)는 도 5에 도시한 바와 같이, 전술한 공간(134)과, 공간(134)의 내부에 채워진 열차단물질(135)을 포함하여 형성될 수 있다. 공간(134)은 몸체(100)의 내부에 형성된다.The heat terminal 130 may be formed to include the space 134 described above and the heat shield material 135 filled in the space 134 as shown in FIG. The space 134 is formed inside the body 100.

열차단부(130)의 열차단물질(135)은 몸체(100)를 이루는 금속(바람직하게는, 알루미늄일 수 있다)보다 열전도율이 낮은 금속 단열재 또는 비금속 단열재일 수 있다. 열차단물질(135)은 유리 세라믹, 산화알루미늄(Al2O3), 산화마그네슘(MgO) 또는 스테인레스 스틸 재질이 바람직할 수 있고, 열전도율은 0.03 W/mK 이상 35 W/mK 이하가 바람직할 수 있다. The heat shield material 135 of the heat terminal 130 may be a metal thermal insulator or a non-metal thermal insulator having a thermal conductivity lower than that of the metal (preferably aluminum) constituting the body 100. The heat shield material 135 may be made of glass ceramic, aluminum oxide (Al 2 O 3 ), magnesium oxide (MgO) or stainless steel and may have a thermal conductivity of 0.03 W / mK or more and 35 W / mK or less have.

한편, 열차단부(130)는 공간(134)과 커버(139)를 포함하지 않고, 몸체(100)의 내부에 설치되어, 몸체(100)를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 금속 단열재 또는 비금속 단열재일 수 있다. 열차단부(130)는 유리 세라믹, 산화알루미늄(Al2O3), 산화마그네슘(MgO) 또는 스테인레스 스틸 재질이 바람직할 수 있고, 열전도율은 0.03 W/mK 이상 35 W/mK 이하가 바람직할 수 있다.The heat end 130 does not include the space 134 and the cover 139 but is installed inside the body 100 and may be a metal thermal insulator or a non-metal thermal insulator having a thermal conductivity lower than that of the metal forming the body 100 have. The heat-conducting end 130 may be made of glass ceramic, aluminum oxide (Al 2 O 3 ), magnesium oxide (MgO) or stainless steel and may have a thermal conductivity of 0.03 W / mK or more and 35 W / mK or less .

한편, 도 6에 도시한 바와 같이, 열차단부(130a)는 몸체(100)에 형성된 공간(134)에 공기가 채워진 에어갭일 수 있다. 6, the end portion 130a may be an air gap filled with air in the space 134 formed in the body 100. In this case,

또한, 도 7에 도시한 바와 같이, 열차단부(130b)는 몸체(100)의 하면에 개구부(141)가 형성된 홈(140)일 수 있다. 도 7의 열차단부(130b)는 일면이 개방되어 있다. 도 7의 홈(140) 내부는 진공이므로, 열전도 및 열대류가 차단된다.7, the heat-conducting end 130b may be a groove 140 having an opening 141 formed in a lower surface of the body 100. As shown in FIG. The heat-conducting end 130b of Fig. 7 is open on one side. Since the inside of the groove 140 in FIG. 7 is a vacuum, the heat conduction and the heat flow are blocked.

또한, 도 8에 도시한 바와 같이, 열차단부(130c)는 몸체(100)의 상, 하면을 관통한 슬롯(145)일 수 있다. 도 8과 같이, 열차단부(130c)가 슬롯(145)일 경우에는, 전술한 바와 달리, 몸체(100)의 측면 테두리를 따라 불연속적으로 형성된다(도 11 내지 도 13 참고). 도 8의 슬롯(145) 내부는 진공이므로, 열전도 및 열대류가 차단된다. As shown in FIG. 8, the heat-conducting end 130c may be a slot 145 passing through the upper and lower surfaces of the body 100. FIG. As shown in FIG. 8, when the end portion 130c is the slot 145, it is discontinuously formed along the side edge of the body 100 (refer to FIG. 11 to FIG. 13), unlike the above. Since the inside of the slot 145 in FIG. 8 is a vacuum, thermal conduction and heat flow are blocked.

이상과 같이, 열차단부(130,130a,130b,130c)가 몸체(100)의 측면(170)과 열선(114) 사이에 배치됨으로써, 몸체(100) 중에서 글라스(500)의 외측 테두리에 인접한 부분(165)의 열이 열전달에 의해 몸체(100)의 외측으로 빠져나가는 것을 차단할 수 있다. 그래서 몸체(100) 상면 중 글라스(500)의 테두리에 인접한 부분(165)과, 그 내측 부분의 온도편차를 줄일 수 있다. 몸체(100)의 열균일성이 향상됨으로써, 결과적으로 글라스(500)의 테두리 부분과 그 내측부의 온도 편차가 줄어, 글라스(500)에 고품질의 막질을 형성할 수 있다.As described above, since the heat ends 130, 130a, 130b, and 130c are disposed between the side surface 170 of the body 100 and the heat ray 114, a portion of the body 100 adjacent to the outer rim of the glass 500 165 can be prevented from escaping to the outside of the body 100 by heat transfer. Therefore, the temperature deviation between the portion 165 adjacent to the rim of the glass 500 and the inner portion of the upper surface of the body 100 can be reduced. As a result, the thermal uniformity of the body 100 is improved, and as a result, the temperature deviation between the rim portion of the glass 500 and the inner portion thereof is reduced, and a high-quality film quality can be formed in the glass 500.

제1실시예에 따른 열차단부(130,130a,130b)는 도 10에 도시한 바와 같이, 열선(114)을 포함하는 히터부(110)와 몸체(100)의 측면(170) 사이에 배치되어, 몸체(100)의 측면(170) 테두리를 따라 연속적으로 형성된다. 즉, 히터부(110)의 둘레 전체를 둘러서 형성되어 열방출을 차단한다.The heat end portions 130, 130a and 130b according to the first embodiment are disposed between the heater portion 110 including the heat ray 114 and the side surface 170 of the body 100, And is formed continuously along the rim of the side surface 170 of the body 100. That is, it is formed so as to surround the entire circumference of the heater unit 110 to block heat emission.

또한, 제2실시예로서, 열차단부(130,130a,130b,130c)는 도 11에 도시한 바와 같이, 열선(114)을 포함하는 히터부(110)와, 몸체(100)의 측면(170) 사이에 배치되되, 몸체(100)의 모서리부에 인접하여 배치될 수 있다. 도 11과 같이 저면도 상에서 볼 때, 각각의 열차단부(130,130a,130b,130c)는 수직으로 절곡된 곡선 형태이다. 몸체(100)의 모서리부는, 몸체(100) 외측과의 접촉면적이 넓어서 열전달이 더 빠르게 이루어지는 부분이다. 열차단부(130,130a,130b,130c)를 통해 몸체(100) 중에서 글라스(500)의 모서리에 인접한 부분과 그 내측 부분의 온도 편차를 줄일 수 있다.11, the heat-conducting end portions 130, 130a, 130b and 130c of the second embodiment include a heater portion 110 including a heat ray 114 and a side surface 170 of the body 100, And may be disposed adjacent to an edge portion of the body 100. As shown in FIG. As shown in FIG. 11, when viewed from the bottom view, each of the train end portions 130, 130a, 130b, and 130c is curved in a vertically bent shape. The corner portion of the body 100 is a portion where the contact area with the outside of the body 100 is large and the heat transfer is performed more quickly. The temperature deviation between the portion of the body 100 adjacent to the edge of the glass 500 and the inner portion thereof can be reduced through the heat ends 130, 130a, 130b, and 130c.

또한, 제3실시예로서, 열차단부(130,130a,130b,130c)는 도 12에 도시한 바와 같이, 몸체(100)의 모서리부에 인접하여 배치된 제1열차단부(131)와, 제1열차단부(131) 사이에 배치된 제2열차단부(132)를 포함할 수 있다. 도 12와 같이 저면도 상에서 볼 때, 각각의 제1열차단부(131)는 수직으로 절곡된 곡선 형태이고, 제2열차단부(132)는 몸체(100)의 변을 따라 배치되어 직선 형태를 이룬다. 제1열차단부(131)와 제2열차단부(132)는 서로 이격되어 불연속적으로 배치된다.As shown in FIG. 12, the heat-conducting ends 130, 130a, 130b, and 130c of the third embodiment include a first heat-conducting end 131 disposed adjacent to an edge of the body 100, And a second heat end 132 disposed between the heat ends 131. As shown in FIG. 12, each of the first heat ends 131 and the second heat ends 132 are curved in a vertically curved shape, and the second heat ends 132 are disposed along the sides of the body 100 to form a straight line . The first heat end 131 and the second heat end 132 are spaced apart from each other and disposed discontinuously.

또한, 제4실시예로서, 열차단부(130,130a,130b,130c)는 도 13에 도시한 바와 같이, 몸체(100)의 모서리부에 인접하여 배치된 제1열차단부(131)와, 제1열차단부(131) 사이에 배치된 제2열차단부(132)를 포함하되, 제2열차단부(132)는 인접하는 제1열차단부(131) 사이에 복수 개가 이격되어 불연속으로 배치될 수 있다. 제2열차단부(132)가 복수 개가 이격되어 불연속을 이루기 때문에, 제2열차단부(132) 사이에 별도의 구성을 배치하기 용이한 장점이 있다.As shown in FIG. 13, the train end portions 130, 130a, 130b, and 130c of the fourth embodiment include a first train end portion 131 disposed adjacent to an edge portion of the body 100, And a second heat end 132 disposed between the heat ends 131. The plurality of second heat ends 132 may be discontinuously disposed between the adjacent first heat ends 131. [ Since a plurality of the second heat ends 132 are separated from each other, it is easy to dispose a separate structure between the second heat ends 132. [

또한, 도면에 도시하지 않은 또 다른 실시예로서, 몸체의 내부에 설치된 열차단부(130,130a,130b,130c)는 몸체(100)의 변에 인접하여 배치될 수 있다. 특별히 몸체(100)의 변 중앙 부분의 온도가 낮으므로, 열차단부(130,130a,130b,130c)는 몸체(100)의 변 중앙에 인접하여 배치함으로써, 몸체(100)의 열균일성을 향상시킬 수 있다.Further, as another embodiment not shown in the drawings, the end portions 130, 130a, 130b, and 130c provided inside the body may be disposed adjacent to the side of the body 100. [ Particularly, since the temperature of the center portion of the body 100 is low, the heat ends 130, 130a, 130b, and 130c are disposed adjacent to the center of the side of the body 100 to improve thermal uniformity of the body 100 .

또한, 도면에 도시하지 않은 또 다른 실시예로서, 열선(114)은 몸체(100)의 일측 측면 둘레를 따라 배치되고, 몸체(100)의 중심부로 연장된 제1열선부와, 몸체(100)의 타측 측면 둘레를 따라 배치되고 몸체(100)의 중심부로 연장된 제2열선부를 포함하되, 열차단부(130,130a,130b,130c)는 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 몸체(100)의 변부측에 배치될 수 있다. 상기 제1열선부와 상기 제2열선부는 서로 이격되어 대칭을 이루고 있으므로, 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 몸체(100)의 변부측에는 열선(114)이 배치되지 않아, 온도가 낮게 된다. 따라서, 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 몸체(100)의 변부측에 인접하여 열차단부(130,130a,130b,130c)를 배치함으로써 몸체(100)의 열균일성을 향상시킬 수 있다.The heating wire 114 is disposed along one side of the side of the body 100 and includes a first heating wire extending to the center of the body 100, And a second heat wire portion disposed along the other side surface of the body 100 and extending to a central portion of the body 100. The heat wire end portions 130, 130a, 130b, and 130c are located at positions where the first heat wire portion and the second heat wire portion are opposed to each other And may be disposed on the side of the body 100. Since the first hot wire portion and the second hot wire portion are spaced apart from and symmetrical to each other, the hot wire 114 is not disposed at the side of the body 100 at the position where the first hot wire portion and the second hot wire portion are opposed, The temperature is lowered. Accordingly, the heat uniformity of the body 100 can be improved by disposing the heat-conducting ends 130, 130a, 130b, and 130c adjacent to the sides of the body 100 at positions where the first heat-conducting portions and the second heat- .

한편, 몸체(100)의 하면 테두리를 따라 복수 개의 그라운드 스트립(미도시)이 이격되어 형성될 수 있다. 상기 그라운드 스트립은 몸체(100)를 접지시키기 위한 구성으로서, 몸체(100)의 하면에서 상측으로 볼록한 홈과, 그 내부에 접지핀을 포함할 수 있다. 상기 그라운드 스트립은, 제3 또는 제4실시예의, 제1열차단부(131) 및 제2열차단부(132) 사이, 또는 이격된 제2열차단부(132) 사이에 배치될 수 있다. 상기 그라운드 스트립의 상기 홈은, 열차단부(130,130a,130b,130c)의 홈(136,140,145)과 연결되어 형성될 수 있다.Meanwhile, a plurality of ground strips (not shown) may be formed along the bottom edge of the body 100. The ground strip may include a groove projected upward from a lower surface of the body 100 and a ground pin within the ground strip. The ground strip may be disposed between the first and third heat ends 131 and 132 or between the second and third heat ends 132 and 132 of the third or fourth embodiment. The grooves of the ground strip may be connected to the grooves 136, 140 and 145 of the end portions 130, 130a, 130b and 130c.

한편, 제5실시예로서, 도 14에 도시한 바와 같이, 열차단부(146)는 몸체(100)의 측면 외측에 결합될 수 있다. 열차단부(146)는 일측이 몸체(100)의 측면에 결합된 연결부(146a)와, 연결부(146a)의 타측에 연결되어 절곡된 수직부(146b)를 포함한다.On the other hand, in the fifth embodiment, as shown in Fig. 14, the heat-conducting end 146 can be joined to the outside of the side surface of the body 100. Fig. The train end 146 includes a connecting portion 146a having one side connected to the side surface of the body 100 and a vertical portion 146b connected to the other side of the connecting portion 146a.

연결부(146a)의 일단은 몸체(100)의 측면 상부에 결합될 수 있다. 연결부(146a)는 몸체(100)의 측면에 용접(바람직하게는, 마찰교반용접) 결합될 수 있다. 연결부(146a)는 몸체(100)의 측면 외측에 수평으로 형성된다. One end of the connection portion 146a may be coupled to the upper side of the body 100. The connection portion 146a may be welded (preferably, friction stir welding) to the side surface of the body 100. [ The connection portion 146a is formed horizontally outside the side surface of the body 100.

연결부(146a)의 타단에는 수직부(146b)가 연결된다. 수직부(146b)는 연결부(146a)의 타단에서 수직으로 절곡되어 하측으로 연장되어 있다. 수직부(146b)는 몸체(100)의 측면에 대해 이격되어 있다. 그래서 수직부(146b)와 몸체(100)의 측면 사이에는 이격공간(149)이 형성된다.A vertical portion 146b is connected to the other end of the connection portion 146a. The vertical portion 146b is vertically bent at the other end of the connection portion 146a and extends downward. The vertical portion 146b is spaced apart from the side surface of the body 100. Thus, a space 149 is formed between the vertical portion 146b and the side surface of the body 100.

연결부(146a) 및 수직부(146b)로 이루어진 열차단부(146)는 몸체(100)를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 금속 단열재 또는 비금속 단열재로 이루어진다. 열차단부(146)는 열전도율이 0.03 W/mK 이상 35 W/mK 이하일 수 있고, 유리 세라믹, 산화알루미늄(Al2O3), 산화마그네슘(MgO) 또는 스테인레스 스틸 재질로 이루어질 수 있다.The heat end 146 formed of the connecting portion 146a and the vertical portion 146b is made of a metal thermal insulator or a non-metal thermal insulator having a thermal conductivity lower than that of the metal forming the body 100. [ The thermal end 146 may have a thermal conductivity of 0.03 W / mK or more and 35 W / mK or less and may be made of glass ceramic, aluminum oxide (Al 2 O 3 ), magnesium oxide (MgO), or stainless steel.

제5실시예에 따른 열차단부(146)는, 도 15에 도시한 바와 같이, 몸체(100)의 측면 둘레를 따라 배치되어 몸체(100)의 측면 외측을 커버한다. 열차단부(146)는 몸체(100)의 내부에 홈을 형성하는 등의 공정이 필요없이 몸체(100)의 측면에 직접 결합할 수 있어 제조가 용이하다.As shown in Fig. 15, the heat-conducting end 146 according to the fifth embodiment is disposed along the side surface of the body 100 to cover the lateral side of the body 100. As shown in Fig. The end portion 146 of the heat shield 146 can be directly coupled to the side surface of the body 100 without requiring a process such as forming a groove in the body 100,

열차단부(146)를 통해, 몸체(100)의 측면에서 외측으로 열이 전달되는 것을 차단할 수 있다. 다시 말해, 몸체(100) 중에서 글라스(500)의 외측 테두리에 인접한 부분(165)의 열이 열전달에 의해 몸체(100)의 외측으로 빠져나가는 것을 차단할 수 있다. 그래서 몸체(100) 상면 중 글라스(500)의 테두리에 인접한 부분(165, 도 2 참고)과, 그 내측 부분의 온도편차를 줄일 수 있다. 몸체(100)의 열균일성이 향상됨으로써, 결과적으로 글라스(500)의 테두리 부분과 그 내측부의 온도 편차가 줄어, 글라스(500)에 고품질의 막질을 형성할 수 있다.Heat can be prevented from being transmitted from the side surface of the body 100 to the outside through the heat-conducting end 146. In other words, the heat of the portion 165 adjacent to the outer edge of the glass 500 in the body 100 can be prevented from escaping to the outside of the body 100 by heat transfer. Therefore, the temperature deviation between the portion 165 (see FIG. 2) adjacent to the rim of the glass 500 on the upper surface of the body 100 and the inner portion thereof can be reduced. As a result, the thermal uniformity of the body 100 is improved, and as a result, the temperature deviation between the rim portion of the glass 500 and the inner portion thereof is reduced, and a high-quality film quality can be formed in the glass 500.

한편, 제5실시예에 따른 열차단부(146)는, 제6실시예 내지 제8실시예와 같이 변형하여 실시할 수 있다(도 16 내지 도 18 참고).On the other hand, the heat-conducting end 146 according to the fifth embodiment can be modified as in the sixth to eighth embodiments (see Figs. 16 to 18).

도 16과 같이, 제6실시예에 따른 열차단부(146)는 몸체(100)의 모서리부에 인접하여 배치된다. 열차단부(146)는 도 16과 같이 저면도 상에서 볼 때, 수직으로 절곡된 형상으로 형성되어, 몸체(100)의 모서리부 외측을 커버한다.As shown in FIG. 16, the heat-conducting end 146 according to the sixth embodiment is disposed adjacent to the corner of the body 100. As shown in FIG. 16, the end portion 146 is formed in a vertically bent shape when viewed from the bottom view, and covers the outside of the corner of the body 100.

도 17과 같이, 제7실시예에 따른 열차단부(146)는 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 제3열차단부(147)와, 제3열차단부(147) 사이에 배치된 제4열차단부(148)를 포함한다. 17, the heat end 146 according to the seventh embodiment includes a third heat end 147 disposed adjacent an edge of the body and a third heat end 147 disposed between the third heat end 147, (148).

제3열차단부(147)와 제4열차단부(148)는 몸체(100)의 측면에 결합되며, 제3열차단부(147)와 제4열차단부(148)는 서로 이격되어 불연속적으로 배치된다. 제3열차단부(147)는 도 16과 같이 저면도 상에서 볼 때, 수직으로 절곡된 형상으로서 몸체(100)의 모서리부 외측을 커버하고, 제4열차단부(148)는 몸체(100)의 변을 따라 직선 형상으로 형성되어 몸체(100)의 측면 외측을 커버한다.The third and fourth heat ends 147 and 148 are coupled to the sides of the body 100 and the third and fourth heat ends 147 and 148 are spaced apart and disposed discontinuously . As shown in FIG. 16, the third end 147 of the body 100 is bent vertically to cover the outer side of the edge of the body 100 and the fourth end 148 covers the side of the body 100 So as to cover the lateral side of the body 100.

도 18과 같이, 제8실시예에 따른 열차단부(146)는 몸체(100)의 모서리부에 인접하여 배치된 제3열차단부(147)와 제3열차단부(147) 사이에 배치된 제4열차단부(148)를 포함하되, 제4열차단부(148)는 인접하는 제3열차단부(147) 사이에 복수 개가 이격되어 불연속적으로 배치된다. 제3열차단부(147)와 제4열차단부(148)는 몸체(100)의 측면 외측을 커버한다.18, the heat end 146 according to the eighth embodiment includes a third heat end 147 disposed adjacent the corner of the body 100 and a fourth heat end 147 disposed between the third heat end 147. [ And the fourth heat end 148 is disposed discontinuously apart from the adjacent third heat ends 147 by a plurality of spaced apart. The third and fourth heat ends 147 and 148 cover the lateral side of the body 100.

또한, 도면에 도시하지 않은 또 다른 실시예로서, 몸체(100)의 측면 외측에 결합된 열차단부(146)는 몸체(100)의 변에 인접하여 배치될 수 있다. 특별히 몸체(100)의 변 중앙 부분의 온도가 낮으므로, 열차단부(146)는 몸체(100)의 변 중앙에 인접하여 배치함으로써, 몸체(100)의 열균일성을 향상시킬 수 있다.Further, as another embodiment not shown in the drawing, a heat-conducting end 146 coupled to the outside of the side of the body 100 may be disposed adjacent to the side of the body 100. [ Particularly, since the temperature of the side central portion of the body 100 is low, the heat end 146 can be disposed adjacent to the center of the side of the body 100, thereby improving the thermal uniformity of the body 100.

또한, 도면에 도시하지 않은 또 다른 실시예로서, 열선(114)은 몸체(100)의 일측 측면 둘레를 따라 배치되고, 몸체(100)의 중심부로 연장된 제1열선부와, 몸체(100)의 타측 측면 둘레를 따라 배치되고 몸체(100)의 중심부로 연장된 제2열선부를 포함하되, 몸체(100)의 측면 외측에 결합된 열차단부는 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 몸체(100)의 변부측에 배치될 수 있다. 상기 제1열선부와 상기 제2열선부는 서로 이격되어 대칭을 이루고 있으므로, 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 몸체(100)의 변부측에는 열선(114)이 배치되지 않아, 온도가 낮게 된다. 따라서, 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 몸체(100)의 변부측에 인접하여 열차단부(146)를 배치함으로써 몸체(100)의 열균일성을 향상시킬 수 있다.The heating wire 114 is disposed along one side of the side of the body 100 and includes a first heating wire extending to the center of the body 100, And a second heat wire portion that is disposed along the other side surface of the body 100 and extends to the center of the body 100. The heat wire end portion coupled to the outside of the side surface of the body 100 has a shape in which the first heat wire portion and the second heat wire portion are opposed to each other Position on the side of the body 100. Since the first hot wire portion and the second hot wire portion are spaced apart from and symmetrical to each other, the hot wire 114 is not disposed at the side of the body 100 at the position where the first hot wire portion and the second hot wire portion are opposed, The temperature is lowered. Therefore, the heat uniformity of the body 100 can be improved by disposing the heat-conducting end 146 adjacent to the side of the body 100 at a position where the first heat-conducting part and the second heat-conducting part face each other.

한편, 몸체(100)에는 도 3과 같이, 다수 개의 관통구(150)가 형성된다. 관통구(150)는 도 2와 같이, 몸체(100)의 상하면을 관통하여 형성된다. 관통구(150)의 내부에는 리프트 핀(400)이 배치되어 상하로 이동하며 글라스(500)를 들어올리게 된다.3, the body 100 has a plurality of through-holes 150 formed therein. As shown in FIG. 2, the through-hole 150 is formed through the upper and lower surfaces of the body 100. A lift pin 400 is disposed in the through hole 150 to move up and down to lift the glass 500.

글라스(500)는 몸체(100)의 상면에 올려진 후, 막질의 형성, 패터닝 및 식각 공정 등을 거치게 되며, 도 9와 같이, 리프트 핀(400)에 의해 들어올려지게 된다. 글라스(500)가 들어올려지면, 몸체(100)의 상면과 글라스(500) 사이의 공간으로 이동부재가 삽입되어 글라스(500)를 이동시키게 된다.After the glass 500 is mounted on the upper surface of the body 100, the film is subjected to a film forming process, a patterning process and an etching process, and is lifted by the lift pins 400 as shown in FIG. When the glass 500 is lifted, the moving member is inserted into the space between the upper surface of the body 100 and the glass 500 to move the glass 500.

리프트 핀(400)은 막대 형상으로 형성되며, 상부의 단면이 역삼각형 형상으로 형성된다. 리프트 핀(400)의 하단은 승강부재(405)에 연결된다. 리프트 핀(400)은 몸체(100)에 형성된 관통구(150)의 내부를 왕복하며 글라스(500)를 들어올리거나, 내리게 된다.The lift pins 400 are formed in a bar shape, and the upper section is formed in an inverted triangular shape. The lower end of the lift pin 400 is connected to the lift member 405. The lift pin 400 reciprocates inside the through hole 150 formed in the body 100 to lift or lower the glass 500.

승강부재(405)는 도 2 및 도 9에 도시한 바와 같이, 봉(300)의 외주에 인접하여 배치된 원통부와, 상기 원통부의 상단에 연결된 평판부를 포함하여 이루어진다. 리프트 핀(400)은 상기 평판부의 상면에 연결된다.As shown in FIGS. 2 and 9, the elevating member 405 includes a cylindrical portion disposed adjacent to the outer periphery of the rod 300, and a flat plate portion connected to the upper end of the cylindrical portion. The lift pins 400 are connected to the upper surface of the flat plate portion.

승강부재(405)는 도 2 및 도 9에 도시한 바와 같이, 상하로 이동하며 리프트 핀(400)을 통해 글라스(500)를 들어올리거나 내리는 역할을 한다.As shown in FIGS. 2 and 9, the elevating member 405 moves upward and downward to lift or lower the glass 500 through the lift pins 400.

한편, 몸체(100)의 하면 중앙에는 원통 형상의 봉(300)이 결합된다. 봉(300)의 상단은 몸체(100)의 하면 중앙에 용접(특별히, 마찰교반용접)될 수 있다. 봉(300)의 내부에는 몸체(100)에 매설된 열선(114)이 연장되어 배치된다. 봉(300)은 몸체(100)를 지지한다.Meanwhile, a cylinder-shaped rod 300 is coupled to the bottom center of the body 100. The upper end of the rod 300 may be welded (specifically, friction stir welding) to the bottom center of the body 100. In the inside of the rod 300, a heat ray 114 buried in the body 100 is extended. The rod (300) supports the body (100).

본 발명의 진공챔버(미도시)는 전술한 바와 같은 몸체(100)와, 몸체(100)의 내부에 매설되는 열선(114)과, 일단이 몸체(100)의 하면에 연결된 봉(300)과, 몸체(100)에 설치되는 열차단부(130,131,132,147,148)를 포함하는 서셉터를 포함한다. 진공챔버에 대해서는 전술한 종래기술을 비롯하여 종래에 많이 공지되어 있으므로, 별도의 상세한 설명은 생략한다.A vacuum chamber (not shown) of the present invention includes a body 100 as described above, a heat ray 114 embedded in the body 100, a rod 300 having one end connected to the lower surface of the body 100, And a susceptor including the heat ends 130, 131, 132, 147, and 148 installed in the body 100. The vacuum chamber is well known in the prior art including the above-described conventional techniques, and a detailed description thereof will be omitted.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention as defined by the following claims .

100: 몸체 110: 히터부
112: 홈 114: 열선
116: 지지부재 118: 커버
130,130a,130b,130c: 열차단부 131: 제1열차단부
132: 제2열차단부 134: 공간
135: 열차단물질 136: 홈
137: 개구부 139: 커버
140: 홈 141: 개구부
145: 슬롯 146: 열차단부
146a: 연결부 146b: 수직부
147: 제3열차단부 148: 제4열차단부
149: 이격공간 150: 관통구
165: 글라스의 외측 테두리에 인접한 부분
170: 측면 300: 봉
400: 리프트 핀 405: 승강부재
500: 글라스100: Body 110:
112: Home 114: Heat line
116: support member 118: cover
130, 130a, 130b, 130c: train end 131: first train end
132: second train end 134: space
135: heat shield material 136: groove
137: opening 139: cover
140: groove 141: opening
145: Slot 146: Train end
146a: connection part 146b: vertical part
147: third train end 148: fourth train end
149: spacing space 150: through hole
165: a portion adjacent to the outer edge of the glass
170: side 300: rod
400: lift pin 405: lift member
500: Glass

Claims (27)

몸체;
상기 몸체의 내부에 매설되는 열선;
일단이 상기 몸체의 하면에 연결된 봉; 및
상기 몸체에 설치되는 열차단부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터.
Body;
A heating wire embedded in the body;
A rod having one end connected to the lower surface of the body; And
A train end disposed on the body; ≪ / RTI >
청구항 1에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
And the end of the train is installed inside the body.
청구항 2에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 측면과 상기 열선 사이에 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 2,
And the end of the heat is disposed between the side of the body and the heat line.
청구항 3에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체에 형성된 공간에 공기가 채워진 에어갭인 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 3,
Wherein the end of the train is an air gap filled with air in a space formed in the body.
청구항 3에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체에 형성된 공간과, 상기 공간의 내부에 채워진 열차단물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 3,
Wherein the end of the train comprises a space formed in the body and a thermal barrier material filled in the space.
청구항 4 또는 청구항 5에 있어서,
상기 공간은 상기 몸체의 하면에 개구부가 형성된 홈과, 상기 개구부를 덮는 커버로 형성되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 4 or 5,
Wherein the space is formed by a groove having an opening formed in a lower surface of the body, and a cover covering the opening.
청구항 3에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 하면에 개구부가 형성된 홈인 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 3,
And the end portion of the train is a groove having an opening formed in the lower surface of the body.
청구항 3에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 상, 하면을 관통한 슬롯인 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 3,
And the end of the train is a slot penetrating the upper and lower surfaces of the body.
청구항 2에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 2,
Wherein the end of the train is disposed adjacent an edge of the body.
청구항 2에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 변에 인접하여 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 2,
Wherein the end of the train is disposed adjacent a side of the body.
청구항 2에 있어서,
상기 열선은 상기 몸체의 일측 측면 둘레를 따라 배치되고 상기 몸체의 중심부로 연장된 제1열선부와, 상기 몸체의 타측 측면 둘레를 따라 배치되고 상기 몸체의 중심부로 연장된 제2열선부를 포함하되,
상기 열차단부는 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 상기 몸체의 변부측에 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 2,
The heating wire includes a first heating wire extending along one side of the body and extending to the center of the body and a second heating wire extending along the other side of the body and extending to the center of the body,
And the heat-conducting end is disposed on a side of the body at a position where the first heat-conducting portion and the second heat-conducting portion are opposed to each other.
청구항 2에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 제1열차단부와, 상기 제1열차단부 사이에 배치된 제2열차단부를 포함하되,
상기 제1열차단부와 상기 제2열차단부는 서로 이격되어 불연속적으로 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 2,
The end of the train including a first end of the train adjacent the edge of the body and a second end of the train disposed between the first end of the train,
Wherein the first heat end and the second heat end are spaced apart from each other and disposed discontinuously.
청구항 2에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 제1열차단부와, 상기 제1열차단부 사이에 배치된 제2열차단부를 포함하되,
상기 제2열차단부는 인접하는 상기 제1열차단부 사이에 복수 개가 이격되어 불연속적으로 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 2,
The end of the train including a first end of the train adjacent the edge of the body and a second end of the train disposed between the first end of the train,
And a plurality of the second heat ends are disposed discretely apart from each other between the adjacent first heat ends.
청구항 2에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 측면 테두리를 따라 연속적으로 형성된 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method of claim 2,
Wherein the end of the train is continuously formed along a side edge of the body.
청구항 1에 있어서,
상기 열차단부의 일측은 상기 몸체의 측면 외측에 결합된 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
And one side of the end portion of the train is coupled to the outside of the side surface of the body.
청구항 15에 있어서,
상기 열차단부는 일측이 상기 몸체의 측면에 결합된 연결부와, 상기 연결부의 타측에 연결되어 절곡된 수직부를 포함하되,
상기 수직부는 상기 몸체의 측면에 대해 이격된 것을 특징으로 하는 서셉터.
16. The method of claim 15,
Wherein the end portion of the train includes a connection portion having one side connected to a side surface of the body and a vertical portion connected to the other side of the connection portion,
Wherein the vertical portion is spaced apart from a side surface of the body.
청구항 15에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 측면 둘레를 따라 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
16. The method of claim 15,
Wherein the end of the train is disposed along a side of the body.
청구항 15에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
16. The method of claim 15,
Wherein the end of the train is disposed adjacent an edge of the body.
청구항 15에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 변에 인접하여 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
16. The method of claim 15,
Wherein the end of the train is disposed adjacent a side of the body.
청구항 15에 있어서,
상기 열선은 상기 몸체의 일측 측면 둘레를 따라 배치되고 상기 몸체의 중심부로 연장된 제1열선부와, 상기 몸체의 타측 측면 둘레를 따라 배치되고 상기 몸체의 중심부로 연장된 제2열선부를 포함하되,
상기 열차단부는 상기 제1열선부와 상기 제2열선부가 대향되는 위치에서 상기 몸체의 변부측에 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
16. The method of claim 15,
The heating wire includes a first heating wire extending along one side of the body and extending to the center of the body and a second heating wire extending along the other side of the body and extending to the center of the body,
And the heat-conducting end is disposed on a side of the body at a position where the first heat-conducting portion and the second heat-conducting portion are opposed to each other.
청구항 15에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 제3열차단부와, 상기 제3열차단부 사이에 배치된 제4열차단부를 포함하되,
상기 제3열차단부와 상기 제4열차단부는 서로 이격되어 불연속적으로 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
16. The method of claim 15,
The train end including a third train end disposed adjacent a corner of the body and a fourth train end disposed between the third train end,
Wherein the third and fourth heat ends are spaced apart from each other and disposed discontinuously.
청구항 15에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 모서리부에 인접하여 배치된 제3열차단부와, 상기 제3열차단부 사이에 배치된 제4열차단부를 포함하되,
상기 제4열차단부는 인접하는 상기 제3열차단부 사이에 복수 개가 이격되어 불연속적으로 배치된 것을 특징으로 하는 서셉터.
16. The method of claim 15,
The train end including a third train end disposed adjacent a corner of the body and a fourth train end disposed between the third train end,
And the fourth heat ends are spaced apart from each other and disposed discontinuously between the adjacent third heat ends.
청구항 1에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the end of the train is made of a metal thermal insulator having a thermal conductivity lower than that of the metal forming the body.
청구항 1에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속보다 열전도율이 낮은 비금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the heat-conducting end portion is made of a non-metallic heat insulating material having a thermal conductivity lower than that of the metal forming the body.
청구항 1에 있어서,
상기 열차단부는 열전도율이 0.03 W/mK 이상 35 W/mK 이하인 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the heat conduction portion has a thermal conductivity of 0.03 W / mK or more and 35 W / mK or less.
청구항 1에 있어서,
상기 열차단부는 유리 세라믹, 산화알루미늄(Al2O3), 산화마그네슘(MgO), 또는 스테인레스 스틸 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 서셉터.
The method according to claim 1,
Wherein the end of the train is made of glass ceramic, aluminum oxide (Al 2 O 3 ), magnesium oxide (MgO), or stainless steel.
몸체; 상기 몸체의 내부에 매설되는 열선; 일단이 상기 몸체의 하면에 연결된 봉; 및 상기 몸체에 설치되는 열차단부; 를 포함하는 서셉터를 포함하는 진공챔버.

Body; A heating wire embedded in the body; A rod having one end connected to the lower surface of the body; And a train end mounted on the body; And a susceptor.

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