KR102408404B1 - Susceptor and vacuum chamber having the same - Google Patents

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Abstract

본 발명은 서셉터 및 이를 구비한 진공챔버에 관한 것으로서, 특히, 몸체와, 상기 몸체의 하면에 연결된 봉과, 상기 몸체의 내부에서 상기 몸체의 수평방향으로 배치된 수평부와 상기 봉을 관통하는 수직부를 갖는 열선, 및 상기 수평부 하부에 설치된 열차단부를 포함하는 것을 특징으로 하여, 몸체 상면의 열균일성을 향상시킬 수 있는 서셉터 및 이를 구비한 진공챔버에 관한 것이다.The present invention relates to a susceptor and a vacuum chamber having the same, and more particularly, to a body, a rod connected to the lower surface of the body, a horizontal portion disposed in the horizontal direction of the body inside the body, and a vertical portion penetrating the rod It relates to a susceptor capable of improving thermal uniformity of an upper surface of a body, characterized in that it includes a heating wire having a portion, and a heat blocking portion installed under the horizontal portion, and a vacuum chamber having the same.

Description

서셉터 및 이를 구비한 진공챔버{Susceptor and vacuum chamber having the same}Susceptor and vacuum chamber having the same

본 발명은 서셉터 및 이를 구비한 진공챔버에 관한 것이다.The present invention relates to a susceptor and a vacuum chamber having the same.

보다 상세하게는 몸체에 설치된 열차단부에 의해 몸체 상면의 열균일성을 향상시킬 수 있는 서셉터 및 이를 구비한 진공챔버에 관한 것이다.More particularly, it relates to a susceptor capable of improving the thermal uniformity of the upper surface of the body by a heat-blocking part installed on the body, and a vacuum chamber having the same.

일반적으로 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등의 평판표시소자(FPD, Flat Panel Display)는 여러 가지 공정을 거쳐 제조되는데, 이러한 제조 공정에는 기판에 소정의 박막을 형성시키는 박막증착공정이 포함된다.In general, flat panel displays (FPDs) such as LCD (Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel) and OLED (Organic Light Emitting Diodes) are manufactured through various processes. A thin film deposition process for forming a predetermined thin film is included.

박막증착공정은 진공으로 이루어진 진공챔버 내에서 가열된 기판에 증기압이 높은 반응가스를 보내어 그 반응가스의 막을 기판에 성장시키도록 하는 공정이다.The thin film deposition process is a process in which a reaction gas having a high vapor pressure is sent to a substrate heated in a vacuum chamber made of vacuum to grow a film of the reaction gas on the substrate.

진공챔버 내에는 기판을 지지하며, 상부면에 안착되는 기판에 열을 전달하기 위해 내부에 히터를 구비한 서셉터가 설치되는데 이러한 서셉터는 대한민국 공개특허공보 제2005-0001918호에 게재된 것이 있다.A susceptor having a heater therein is installed to support the substrate in the vacuum chamber and transfer heat to the substrate seated on the upper surface. Such a susceptor is disclosed in Korean Patent Application Laid-Open No. 2005-0001918. .

종래의 서셉터는, 커버로 밀폐되는 매설홈과 관통홀이 형성되는 서셉터 바디와, 상기 서셉터 바디와 연결되는 서셉터 샤프트를 포함하는 서셉터에 있어서, 상기 매설홈을 통하여 상기 서셉터 바디에 수용되고 상기 관통홀을 통하여 상기 서셉터 샤프트의 내측면을 따라 연장되어 상기 서셉터 샤프트의 하단부를 관통하는 히터를 포함한다.A conventional susceptor is a susceptor comprising a susceptor body having a buried groove and a through hole sealed by a cover, and a susceptor shaft connected to the susceptor body, wherein the susceptor body is passed through the buried groove. and a heater accommodated in and extending along the inner surface of the susceptor shaft through the through hole and penetrating the lower end of the susceptor shaft.

하지만, 이러한 종래의 서셉터는 서셉터 바디 중앙부의 열이 서셉터 샤프트를 통해 외부로 빠져나가 온도 편차가 생기므로 서셉터 바디 상면의 열균일성이 저하된다는 문제점이 있다. 상기 서셉터 바디 상부의 온도 편차로 인해, 상기 기판의 테두리부와 그 내측부에 형성되는 막질의 특성이 서로 상이하게 된다. 소형 기판의 경우에는 위와 같은 온도 편차에 따른 막질의 특성차이가 완제품 품질에 크게 영향을 미치지 않았으나, 최근의 대형 기판에서는 온도편차에 따른 막질의 특성 변화를 줄인 고품질의 막질 형성의 필요성이 대두되었다. 그러나 종래기술로는 서셉터 바디의 온도편차를 줄이는데 한계가 있다.However, the conventional susceptor has a problem in that the heat uniformity of the upper surface of the susceptor body is deteriorated because the heat of the central portion of the susceptor body escapes to the outside through the susceptor shaft and a temperature deviation occurs. Due to the temperature deviation of the upper portion of the susceptor body, properties of the film formed on the edge portion of the substrate and the inner portion thereof are different from each other. In the case of small substrates, the difference in film quality according to the above temperature deviation did not significantly affect the quality of the finished product, but in recent large substrates, the need for high-quality film formation with reduced film quality characteristics change due to temperature deviation has emerged. However, there is a limit in reducing the temperature deviation of the susceptor body in the prior art.

KRKR 2005-00019182005-0001918 AA

본 발명은 전술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 몸체 상면의 열균일성이 향상된 서셉터 및 이를 구비한 진공챔버를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a susceptor having improved thermal uniformity of the upper surface of the body and a vacuum chamber having the same.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명의 서셉터는, 몸체와, 상기 몸체의 하면에 연결된 봉과, 상기 몸체의 내부에서 상기 몸체의 수평방향으로 배치된 수평부와 상기 봉을 관통하는 수직부를 갖는 열선, 및 상기 수평부 하부에 설치된 열차단부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The susceptor of the present invention for solving the above problems has a body, a rod connected to the lower surface of the body, a horizontal portion disposed in the horizontal direction of the body inside the body, and a vertical portion penetrating the rod It is characterized in that it comprises a heat wire, and a heat shield installed below the horizontal part.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체의 하면 중앙부에 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking part is characterized in that it is installed in the central portion of the lower surface of the body.

또한, 상기 열선의 상기 수평부는 발열부와 비발열부를 갖고, 상기 열차단부는 상기 비발열부 하부에 위치하는 것을 특징으로 한다.In addition, the horizontal portion of the heating wire has a heating portion and a non-heating portion, it characterized in that the heat blocking portion is located below the non-heating portion.

또한, 상기 열선의 상기 수평부는 발열부와 비발열부를 갖고, 상기 열차단부는 상기 발열부 및 상기 비발열부 하부에 위치하는 것을 특징으로 한다. In addition, the horizontal part of the heating wire has a heating part and a non-heating part, and the heat blocking part is located below the heating part and the non-heating part.

또한, 상기 열차단부는, 상기 몸체의 하부로 개구된 개구부를 갖는 홈과, 상기 홈의 개구부를 덮는 덮개를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the heat blocking portion, it characterized in that it comprises a groove having an opening opened to the lower portion of the body, and a cover covering the opening of the groove.

또한, 상기 홈에는 열차단부재가 설치되는 것을 특징으로 한다. In addition, the groove is characterized in that the heat blocking member is installed.

또한, 상기 홈은 상기 몸체의 하면 중앙부에 위치하고, 상기 덮개의 하부에 상기 봉이 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the groove is located in the central portion of the lower surface of the body, characterized in that the rod is installed under the cover.

또한, 상기 홈은 상기 몸체의 하면 중앙부에 위치하고, 상기 봉은 상기 덮개의 내측으로 상기 몸체의 하면에 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the groove is located in the central portion of the lower surface of the body, the rod is characterized in that it is installed on the lower surface of the body inside the cover.

또한, 상기 홈의 개구부에는 단턱이 형성되고, 상기 덮개는 상기 단턱에 배치되는 것을 특징으로 한다.In addition, a step is formed in the opening of the groove, and the cover is disposed on the step.

또한, 상기 열차단부는 상기 수직부를 둘러싸는 위치에 배치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking portion is characterized in that it is disposed at a position surrounding the vertical portion.

또한, 상기 홈은 도넛 형상인 것을 특징으로 한다.In addition, the groove is characterized in that the donut shape.

또한, 상기 몸체는, 상기 열선이 매설되는 상부몸체, 및 상기 상부몸체와 분리 결합되고 상기 봉이 연결되는 하부몸체를 포함하되, 상기 열차단부는 상기 상부몸체와 상기 하부몸체 사이의 공간에 배치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the body includes an upper body in which the heating wire is embedded, and a lower body separately coupled to the upper body and connected to the rod, wherein the heat-blocking part is disposed in a space between the upper body and the lower body characterized.

또한, 상기 상부몸체의 테두리와 상기 하부몸체의 테두리가 용접되어 일체로 결합되는 것을 특징으로 한다.In addition, the rim of the upper body and the rim of the lower body are welded and integrally coupled.

또한, 상기 상부몸체에 형성되는 복수 개의 제1관통공과, 상기 하부몸체에 형성되고 각각의 상기 제1관통공에 수직하게 배치되는 복수 개의 제2관통공, 및 각각의 서로 수직하게 배치된 상기 제1관통공과 상기 제2관통공에 설치되는 복수 개의 리프트핀을 더 포함하되, 복수 개의 상기 제1관통공과 복수 개의 상기 제2관통공은 상기 공간과 밀폐되는 것을 특징으로 한다.In addition, a plurality of first through-holes formed in the upper body, a plurality of second through-holes formed in the lower body and disposed perpendicular to each of the first through-holes, and each of the first through-holes disposed perpendicular to each other It further comprises a plurality of lift pins installed in the first through-hole and the second through-hole, wherein the plurality of the first through-hole and the plurality of the second through-hole are sealed with the space.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속의 열전도율보다 낮은 열전도율을 갖는 금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking part is characterized in that it is made of a metal insulating material having a lower thermal conductivity than the thermal conductivity of the metal constituting the body.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속의 열전도율보다 낮은 열전도율을 갖는 비금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking part is characterized in that it is made of a non-metallic insulating material having a lower thermal conductivity than the thermal conductivity of the metal constituting the body.

또한, 상기 열차단부는 열전도율이 0.03W/mk 이상 35W/mk 이하인 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking portion is characterized in that the thermal conductivity is 0.03W/mk or more and 35W/mk or less.

또한, 상기 열차단부는 유리세라믹 또는 산화알루미늄(Al2O3) 또는 산화마그네슘(MgO)으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking part is characterized in that it is made of glass ceramic or aluminum oxide (Al 2 O 3 ) or magnesium oxide (MgO).

또한, 상기 열차단부는 스테인레스 스틸 재질로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the heat blocking portion is characterized in that made of a stainless steel material.

또한, 상기 열차단부는 상기 몸체에서 온도 편차가 있는 곳에 국부적으로 설치되는 것을 특징으로 한다.In addition, the heat-blocking portion is characterized in that it is installed locally in the body where there is a temperature deviation.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명의 진공챔버는, 몸체와, 상기 몸체의 하면에 연결된 봉과, 상기 몸체의 내부에서 상기 몸체의 수평방향으로 배치된 수평부와 상기 봉을 관통하는 수직부를 갖는 열선, 및 상기 수평부 하부에 설치된 열차단부를 포함하는 서셉터를 구비한 것을 특징으로 한다.The vacuum chamber of the present invention for solving the above problems has a body, a rod connected to the lower surface of the body, a horizontal portion disposed in the horizontal direction of the body inside the body, and a vertical portion penetrating the rod It is characterized in that it is provided with a susceptor comprising a heat wire, and a heat-blocking portion installed under the horizontal portion.

본 발명에 따른 서셉터 및 이를 구비한 진공챔버는 다음과 같은 장점이 있다.The susceptor and the vacuum chamber having the same according to the present invention have the following advantages.

몸체 중앙부의 열이 봉을 통해 외부로 빠져나가는 것을 방지할 수 있다는 장점이 있다.There is an advantage in that the heat of the central part of the body can be prevented from escaping to the outside through the rod.

또한, 몸체 중앙부의 열이 봉을 통해 외부로 빠져나가는 것을 방지할 수 있으므로 몸체 상면의 열균일성을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다.In addition, since it is possible to prevent the heat of the central portion of the body from escaping to the outside through the rod, there is an advantage that the thermal uniformity of the upper surface of the body can be improved.

또한, 몸체 상면의 열균일성으로 인해 기판에도 균일한 열 전달이 이루어져 기판에 증착되는 박막의 두께를 고르게 할 수 있다는 장점이 있다.In addition, due to the thermal uniformity of the upper surface of the body, there is an advantage that the thickness of the thin film deposited on the substrate can be made uniform by uniform heat transfer to the substrate.

또한, 대형 기판에서도 온도편차에 따른 막질의 특성 변화를 줄인 고품질의 막질을 형성할 수 있다는 장점이 있다.In addition, there is an advantage in that it is possible to form a high-quality film with reduced change in characteristics of the film quality due to a temperature deviation even on a large substrate.

또한, 몸체 상면의 국부적인 온도 편차를 줄일 수 있다는 장점이 있다.In addition, there is an advantage that the local temperature deviation of the upper surface of the body can be reduced.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 서셉터를 도시한 저면사시도.
도 2는 도 1의 A부분을 뒤집어서 도시한 분해사시도.
도 3은 도 1의 A부분에 대한 제1변형예를 뒤집어서 도시한 분해사시도.
도 4는 도 1의 A부분에 대한 제2변형예를 뒤집어서 도시한 분해사시도.
도 5는 도 1의 A부분에 대한 제3변형예를 뒤집어서 도시한 분해사시도.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 서셉터의 열차단부가 국부적으로 설치될 때를 뒤집어서 도시한 분해사시도.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 서셉터의 승강부재가 하강한 상태를 개략적으로 도시한 단면도.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 서셉터의 승강부재가 상승한 상태를 개략적으로 도시한 단면도.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 서셉터를 도시한 저면분해사시도.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 서셉터의 승강부재가 하강한 상태를 개략적으로 도시한 단면도.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 서셉터의 승강부재가 상승한 상태를 개략적으로 도시한 단면도.1 is a bottom perspective view showing a susceptor according to a preferred embodiment of the present invention.
Figure 2 is an exploded perspective view showing the part A of Figure 1 turned over.
3 is an exploded perspective view showing the first modified example of the part A of FIG. 1 upside down;
4 is an exploded perspective view showing the second modified example of the part A of FIG. 1 upside down;
5 is an exploded perspective view showing a third modified example of the part A of FIG. 1 upside down;
Figure 6 is an exploded perspective view showing the reverse when the heat blocking portion of the susceptor according to the preferred embodiment of the present invention is installed locally.
7 is a cross-sectional view schematically illustrating a state in which the elevating member of the susceptor is lowered according to a preferred embodiment of the present invention.
Figure 8 is a cross-sectional view schematically showing a state in which the lifting member of the susceptor according to a preferred embodiment of the present invention is raised.
Figure 9 is a bottom exploded perspective view showing a susceptor according to another embodiment of the present invention.
10 is a cross-sectional view schematically showing a state in which the elevating member of the susceptor is lowered according to another embodiment of the present invention.
11 is a cross-sectional view schematically showing a state in which the lifting member of the susceptor is raised according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부한 도면들과 함께 상세히 후술된 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명하는 실시 예에 한정된 것이 아니라 서로 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시 예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록, 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Advantages and features of the present invention, and a method for achieving them will become apparent with reference to the detailed description below in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described herein, and may be embodied in different forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosed content may be thorough and complete, and the spirit of the present invention may be sufficiently conveyed to those skilled in the art, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 또한, 바람직한 실시 예에 따른 것이기 때문에, 설명의 순서에 따라 제시되는 참조 부호는 그 순서에 반드시 한정되지는 않는다. The terminology used herein is for the purpose of describing the embodiments and is not intended to limit the present invention. In this specification, the singular also includes the plural unless specifically stated otherwise in the phrase. As used herein, 'comprises' and/or 'comprising' means that a referenced component, step, operation and/or element is the presence of one or more other components, steps, operations and/or elements. or addition is not excluded. In addition, since it is according to a preferred embodiment, reference signs provided in the order of description are not necessarily limited to the order.

본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시 도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.Embodiments described herein will be described with reference to cross-sectional and/or plan views, which are ideal illustrative views of the present invention. In the drawings, thicknesses of films and regions are exaggerated for effective description of technical content. Accordingly, the shape of the illustrative drawing may be modified due to manufacturing technology and/or tolerance. Accordingly, embodiments of the present invention are not limited to the specific form shown, but also include changes in the form generated according to the manufacturing process. Accordingly, the regions illustrated in the drawings have a schematic nature, and the shapes of the illustrated regions in the drawings are intended to illustrate specific shapes of regions of the device and not to limit the scope of the invention.

참고적으로, 이하에서 설명될 본 발명의 구성들 중 종래기술과 동일한 구성과, 서셉터 외측에 배치되는 진공챔버에 대해서는 전술한 종래기술을 비롯하여 종래에 많이 공지되어 있으므로, 별도의 상세한 설명은 생략한다.For reference, among the configurations of the present invention to be described below, the same configuration as in the prior art and the vacuum chamber disposed outside the susceptor are well known in the prior art, including the prior art, so a separate detailed description will be omitted. do.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 서셉터를 도시한 저면사시도이고, 도 2는 도 1의 A부분을 뒤집어서 도시한 분해사시도이고, 도 3은 도 1의 A부분에 대한 제1변형예를 뒤집어서 도시한 분해사시도이고, 도 4는 도 1의 A부분에 대한 제2변형예를 뒤집어서 도시한 분해사시도이고, 도 5는 도 1의 A부분에 대한 제3변형예를 뒤집어서 도시한 분해사시도이고, 도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 서셉터의 열차단부가 국부적으로 설치될 때를 뒤집어서 도시한 분해사시도이고, 도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 서셉터의 승강부재가 하강한 상태를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 서셉터의 승강부재가 상승한 상태를 개략적으로 도시한 단면도이다.1 is a bottom perspective view showing a susceptor according to a preferred embodiment of the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view showing part A of FIG. 1 upside down, and FIG. 3 is a first modification of part A of FIG. is an exploded perspective view showing the part A of FIG. 1 upside down, FIG. 4 is an exploded perspective view showing the second modified example of the part A of FIG. 1 upside down, and FIG. 6 is an exploded perspective view showing the susceptor heat-blocking unit according to a preferred embodiment of the present invention inverted when installed locally, and FIG. 7 is an elevating member of the susceptor according to a preferred embodiment of the present invention descending It is a cross-sectional view schematically showing a state, and FIG. 8 is a cross-sectional view schematically showing a state in which the elevating member of the susceptor is raised according to a preferred embodiment of the present invention.

도 1, 도 2 및 도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 서셉터는, 몸체(100)와, 몸체(100)의 하면에 연결된 봉(200)과, 몸체(100)의 내부에서 몸체(100)의 수평방향으로 배치된 수평부(310)와 봉(200)을 관통하는 수직부(320)를 갖는 열선(300), 및 수평부(310) 하부에 설치된 열차단부(400)를 포함한다. 1, 2 and 6 to 8, the susceptor according to a preferred embodiment of the present invention includes a body 100, a rod 200 connected to the lower surface of the body 100, and the body The heating wire 300 having a vertical portion 320 penetrating through the horizontal portion 310 and the rod 200 disposed in the horizontal direction of the body 100 in the interior of the body 100, and the horizontal portion 310 installed below the It includes a heat block 400 .

몸체(100)는 전체적으로 직육면체 형상으로 형성된 직사각판으로써 알루미늄 재질로 제작됨이 바람직하다. 몸체(100)의 표면은 아노다이징처리 될 수 있다. 몸체(100)는 기판(700)을 지지하는 역할을 하며, 기판(700)은 몸체(100)의 상면에 위치하게 된다.The body 100 is preferably made of aluminum as a rectangular plate formed in a rectangular parallelepiped shape as a whole. The surface of the body 100 may be anodized. The body 100 serves to support the substrate 700 , and the substrate 700 is positioned on the upper surface of the body 100 .

몸체(100)에는 봉(200)이 연결된다. 봉(200)은 종방향으로 길게 형성된 원형 파이프 형상이다. 봉(200)은 몸체(100)의 하면 중앙에 연결되어 용접에 의해 몸체(100)에 고정된다. 보다 구체적으로 봉(200)은 몸체(100)의 하면 중앙부에 고정되는 후술할 덮개(403)의 하부에 용접된다. 봉(200)은 내부에 중공(210)이 형성되며, 봉(200)의 하단측에 설치되는 후술할 히터(미도시)의 열선(300)이 중공(210)을 통해 인입되어 몸체(100)에 매설될 수 있다.A rod 200 is connected to the body 100 . The rod 200 has a circular pipe shape elongated in the longitudinal direction. The rod 200 is connected to the center of the lower surface of the body 100 and fixed to the body 100 by welding. More specifically, the rod 200 is welded to the lower portion of the cover 403 to be described later fixed to the central portion of the lower surface of the body 100 . The rod 200 has a hollow 210 formed therein, and a heating wire 300 of a heater (not shown) to be described later installed on the lower side of the rod 200 is drawn in through the hollow 210 to the body 100 . can be buried in

몸체(100)의 하면 중앙에는 하부로 개구된 개구부를 갖는 수용홈(110)이 형성된다. 수용홈(110)은 몸체(100)의 하면에 형성된 원형홈이다. 수용홈(110)은 몸체(100)의 하면에 대해 상측으로 오목하게 형성된다. 수용홈(110)은 봉(200)에 형성된 중공(210)과 종방향으로 연통된다. A receiving groove 110 having an opening opening downward is formed in the center of the lower surface of the body 100 . The receiving groove 110 is a circular groove formed on the lower surface of the body 100 . The receiving groove 110 is concave upwardly with respect to the lower surface of the body 100 . The receiving groove 110 communicates with the hollow 210 formed in the rod 200 in the longitudinal direction.

수용홈(110)의 반경방향 외측으로는 하부로 개구된 개구부를 갖는 홈(120)이 이격되어 형성된다. 홈(120)은 몸체(100)의 하면에 형성된 도넛형홈이다. 홈(120)은 몸체(100)의 하면에 대해 상측으로 오목하게 형성된다. 홈(120)은 단차지게 형성되어 개구된 하부 일부의 횡폭이 그 상부 횡폭보다 크게 형성된다. 홈(120)은 수용홈(110)의 직경보다 큰 내측 및 외측 직경을 가진 채 수용홈(110)과 이격되도록 형성되며, 수용홈(110)을 둘러싼 형태로 형성된다.In the radial direction of the receiving groove 110, the groove 120 having an opening opening downward is formed to be spaced apart. The groove 120 is a donut-shaped groove formed on the lower surface of the body 100 . The groove 120 is concave upwardly with respect to the lower surface of the body 100 . The groove 120 is formed to be stepped so that the lateral width of the opened lower portion is greater than the upper lateral width. The groove 120 is formed to be spaced apart from the receiving groove 110 while having inner and outer diameters greater than the diameter of the receiving groove 110 , and is formed in a shape surrounding the receiving groove 110 .

홈(120)과 수용홈(110)의 사이에는 몸체(100)의 상면 일부가 홈(120)과 수용홈(110)에 대해 하측으로 볼록하게 형성된 도넛형상의 볼록부(130)가 형성되어 있다.Between the groove 120 and the receiving groove 110, a portion of the upper surface of the body 100 is formed to be convex downward with respect to the groove 120 and the receiving groove 110, a donut-shaped convex portion 130 is formed. .

홈(120)의 개구부측에는 제1단턱(121)이 형성된다. 제1단턱(121)은 볼록부(130)의 둘레면 하단측과, 볼록부(130)의 둘레면과 마주하는 둘레면 하단측에 각각 형성된다. 즉, 제1단턱(121)은 홈(120)의 내부에 서로 마주하도록 형성된 두 둘레면 하단측에 각각 형성되는 것이다.A first step 121 is formed at the opening side of the groove 120 . The first step 121 is formed on the lower side of the circumferential surface of the convex portion 130 and the lower side of the circumferential surface facing the circumferential surface of the convex portion 130 , respectively. That is, the first step 121 is formed on the lower side of the two circumferential surfaces formed to face each other inside the groove 120 .

몸체(100)의 하면에는 수용홈(110) 내의 둘레면에서부터 볼록부(130) 및 홈(120)을 거쳐 몸체(100) 내의 수평방향 여러 갈래로 갈라지는 매설홈(140)이 형성된다. 매설홈(140)은 하부로 개구된 개구부를 갖는다. 매설홈(140)은 몸체(100)의 하면에 대해 상측으로 오목하게 형성된다. 매설홈(140)은 단차지게 형성되어 개구된 하부 일부의 횡폭이 그 상부 횡폭보다 크게 형성된다. 매설홈(140)에는 후술할 열선(300)이 매설되며, 매설홈(140)의 형상은 열선(300)에 의해 가해지는 열이 몸체(100) 상면에 균일하게 전달될 수 있는 다양한 패턴으로 형성될 수 있다. 매설홈(140)은 홈(120)의 깊이보다 깊게 형성되고, 수용홈(110)의 깊이와 동일하게 형성됨이 바람직하다. 매설홈(140)은 수용홈(110) 및 홈(120)과 연통된다.On the lower surface of the body 100, from the circumferential surface in the receiving groove 110, through the convex portion 130 and the groove 120, the buried groove 140 is formed in the horizontal direction in the body 100 is divided into several. The buried groove 140 has an opening opened downward. The buried groove 140 is concave upwardly with respect to the lower surface of the body 100 . The buried groove 140 is formed to be stepped so that the lateral width of the opened lower portion is greater than the upper lateral width. A heating wire 300 to be described later is embedded in the buried groove 140 , and the shape of the buried groove 140 is formed in various patterns in which heat applied by the heating wire 300 can be uniformly transmitted to the upper surface of the body 100 . can be The buried groove 140 is formed to be deeper than the depth of the groove 120 , and is preferably formed to be the same as the depth of the receiving groove 110 . The buried groove 140 communicates with the receiving groove 110 and the groove 120 .

매설홈(140)의 개구부측에는 제2단턱(141)이 형성된다. 제2단턱(141)은 매설홈(140)의 내부에 서로 마주하도록 형성된 두 면의 하단측에 각각 형성된다.A second step 141 is formed at the opening side of the buried groove 140 . The second step 141 is formed on the lower side of the two surfaces formed to face each other in the interior of the buried groove 140, respectively.

몸체(100) 및 봉(200)에는 복수의 열선(300)이 설치된다. 열선(300)은 봉(200)의 하단측에 설치된 히터(미도시)에 전원을 인가함에 따라 발열하여 열전도를 통해 몸체(100)의 상면에 열이 전달되도록 하는 역할을 한다. 몸체(100)에 전달된 열은 열전도를 통해 몸체(100)의 상면에 올려진 기판(700)에 전달되어 진다. 열선(300)은 몸체(100)의 내부에서 몸체(100)의 수평방향으로 배치된 수평부(310)와, 수용홈(110)으로부터 봉(200)의 중공(210)을 관통하는 수직부(320)를 갖는다. 수평부(310)는 매설홈(140)과 평면상 동일한 패턴을 가지고 형성되어 매설홈(140)의 하단측에 형성된 개구부를 통해 매설홈(140) 내에 매설된다. A plurality of heating wires 300 are installed in the body 100 and the rod 200 . The heating wire 300 generates heat as power is applied to a heater (not shown) installed on the lower side of the rod 200 , and serves to transfer heat to the upper surface of the body 100 through heat conduction. The heat transferred to the body 100 is transferred to the substrate 700 mounted on the upper surface of the body 100 through heat conduction. The heating wire 300 includes a horizontal portion 310 disposed in the horizontal direction of the body 100 inside the body 100 and a vertical portion penetrating the hollow 210 of the rod 200 from the receiving groove 110 ( 320). The horizontal portion 310 is formed to have the same pattern as that of the buried groove 140 in plan view, and is embedded in the buried groove 140 through an opening formed at the lower end of the buried groove 140 .

이때, 수평부(310)는 매설홈(140)의 바닥(상단)까지 삽입되어 매설되며, 수평부(310)의 하부에는 제2매설홈덮개(145)와 제1매설홈덮개(143)가 설치된다. 제1매설홈덮개(143)는 제2단턱(141)에 설치되고, 제2매설홈덮개(145)는 제1매설홈덮개(143)와 수평부(310) 사이에 설치된다. 즉, 수평부(310)의 하부는 제2매설홈덮개(145)의 상부에 의해 덮이고, 제2매설홈덮개(145)의 하부는 제1매설홈덮개(143)의 상부에 의해 덮인다. 제1매설홈덮개(143)는 상면은 제2매설홈덮개(145)의 하부 형상에 대응하도록 평평하게 형성되어 제2매설홈덮개(145)의 하부를 지지하고, 제2매설홈덮개(145)의 상면은 열선(300)의 하부 형상에 대응하도록 하측으로 오목하게 라운드지게 형성되어 열선(300)의 하부를 지지한다. 제1매설홈덮개(143)와 제2매설홈덮개(145)는 전체적으로 수평부(310) 및 매설홈(140)과 평면상 동일한 패턴을 갖지만 홈(120)이 형성된 구간에서 제1매설홈덮개(143)는 일부분이 끊어져 있고, 제2매설홈덮개(145)는 일부분이 절개되어 있다. 제1매설홈덮개(143)는 열선(300) 및 제2매설홈덮개(145)가 매설홈(140)에 차례대로 매설된 다음, 매설홈(140)의 제2단턱(141)에 배치된 채 폭 방향 테두리를 따라 몸체(100)와 서로 용접되어 고정되며, 이로 인해 매설홈(140)은 외부로부터 밀폐된다. 이때, 사용되는 용접은 마찰교반용접인 것이 가장 바람직하다.At this time, the horizontal part 310 is inserted up to the bottom (upper part) of the buried groove 140 and is buried, and the second buried groove cover 145 and the first buried groove cover 143 are the lower part of the horizontal part 310 . is installed The first buried groove cover 143 is installed on the second step 141 , and the second buried groove cover 145 is installed between the first buried groove cover 143 and the horizontal part 310 . That is, the lower portion of the horizontal portion 310 is covered by the upper portion of the second buried groove cover 145 , and the lower portion of the second buried groove cover 145 is covered by the upper portion of the first buried groove cover 143 . The upper surface of the first buried groove cover 143 is formed flat to correspond to the lower shape of the second buried groove cover 145 to support the lower portion of the second buried groove cover 145, and the second buried groove cover 145 ) is formed to be rounded concave downward to correspond to the lower shape of the heating wire 300 to support the lower portion of the heating wire 300 . The first buried groove cover 143 and the second buried groove cover 145 have the same planar pattern as the horizontal portion 310 and the buried groove 140 as a whole, but the first buried groove cover in the section where the groove 120 is formed. 143 is partially cut off, and the second buried groove cover 145 is partially cut out. The first buried groove cover 143 is disposed on the second step 141 of the heating wire 300 and the second buried groove cover 145 is sequentially buried in the buried groove 140, and then the buried groove (140). The body 100 and the body 100 are welded to each other along the widthwise rim and fixed, whereby the buried groove 140 is sealed from the outside. In this case, it is most preferable that the welding used is friction stir welding.

수평부(310)는 전원의 인가에 따라 열이 발생하는 발열부(미도시)와, 전원의 인가에도 열이 발생하지 않는 비발열부(미도시)를 가진다. The horizontal part 310 has a heating part (not shown) that generates heat according to the application of power and a non-heating part (not shown) that does not generate heat even when power is applied.

수평부(310)의 수용홈(110)측 단부 각각에는 수직부(320)가 각각 형성된다. 수직부(320)는 수평부(310)의 수용홈(110)측 단부 각각에서 상측으로 각각 절곡되어 연장된다. 수직부(320)는 수용홈(110) 및 봉(200)의 중공 내에 배치된다. 수직부(320)는 수용홈(110)에서부터 봉(200)의 중공(210)을 통해 외부로 인출된다. 외부로 인출된 수직부(320)의 단부는 봉(200)의 하단측에 배치되어 열선(300)에 전원을 인가하는 히터부(미도시)에 연결된다.A vertical portion 320 is formed at each end of the horizontal portion 310 on the receiving groove 110 side. The vertical portion 320 is bent upward from each end of the receiving groove 110 side of the horizontal portion 310 to extend. The vertical part 320 is disposed in the hollow of the receiving groove 110 and the rod 200 . The vertical portion 320 is drawn out from the receiving groove 110 through the hollow 210 of the rod 200 . The end of the vertical portion 320 drawn out is disposed on the lower end of the rod 200 and connected to a heater unit (not shown) for applying power to the heating wire 300 .

수평부(310)의 하부에는 열차단부(400)가 설치된다. 열차단부(400)는 몸체(100)의 하면 중앙부에 설치된다. 열차단부(400)는 수평부(310)의 비발열부(미도시) 하부에 위치하는 것이 바람직하나, 수평부(310)의 발열부(미도시) 및 비발열부(미도시)의 하부에 위치할 수도 있다. 열차단부(400)는 수용홈(110)에 위치하는 수직부(320)를 둘러싸는 위치에 배치된다. 열차단부(400)는 열차단부(400)의 상부측 몸체(100)의 열이 열차단부(400)의 하부측으로 빠져나가지 못하게 하기 위해 몸체(100)를 이루는 금속인 알루미늄의 열전도율보다 낮은 열전도율을 갖는 금속 단열재 또는 비금속 단열재로 이루어지는 것이 바람직하다. 예컨대, 열차단부(400)는 유리세라믹 또는 산화알루미늄(Al2O3) 또는 산화마그네슘(MgO)으로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 열차단부(400)는 스테인레스 스틸 재질로 이루어질 수 있다. 또한, 열차단부(400)는 열전도율이 0.03W/mk 이상 35W/mk 이하인 것이 바람직하다. The lower portion of the horizontal portion 310 is provided with a heat-blocking portion 400 . The heat-blocking part 400 is installed in the central part of the lower surface of the body 100 . The heat-blocking unit 400 is preferably located below the non-heating part (not shown) of the horizontal part 310, but is located below the heating part (not shown) and the non-heating part (not shown) of the horizontal part 310. may be The heat-blocking part 400 is disposed at a position surrounding the vertical part 320 positioned in the receiving groove 110 . The heat-blocking part 400 has a lower thermal conductivity than the thermal conductivity of aluminum, which is a metal constituting the body 100, in order to prevent the heat of the upper body 100 of the heat-blocking part 400 from escaping to the lower side of the heat-blocking part 400. It is preferably made of a metal heat insulating material or a non-metal heat insulating material. For example, the heat shield 400 is preferably made of glass ceramic or aluminum oxide (Al 2 O 3 ) or magnesium oxide (MgO). In addition, the heat blocking unit 400 may be made of a stainless steel material. In addition, it is preferable that the heat-blocking unit 400 has a thermal conductivity of 0.03 W/mk or more and 35 W/mk or less.

열차단부(400)는 실질적으로 전술했던 홈(120)을 포함하며, 홈(120)에 삽입되어 설치되는 열차단부재(401)와 덮개(403)도 포함한다. 열차단부재(401)는 도넛형상으로써 홈(120)에 삽입되어 설치된다. 열차단부재(401)는 홈(120)에서 횡폭이 작게 형성된 부분 내에 삽입된다. 열차단부재(401)의 높이는 홈(120)의 바닥(상단)에서 제1단턱(121) 사이의 높이와 동일하여, 홈(120)에 열차단부재(401)가 삽입될 경우, 제1단턱(121) 하부로 열차단부재(401)가 돌출되지 않는다. 즉, 열차단부재(401)의 높이는 홈(120)에서 횡폭이 작게 형성된 부분의 높이와 동일하다.The heat-blocking part 400 substantially includes the aforementioned groove 120 , and also includes the heat-blocking member 401 and the cover 403 inserted and installed in the groove 120 . The heat blocking member 401 is installed in a donut shape by being inserted into the groove 120 . The heat-blocking member 401 is inserted into the portion in which the lateral width is formed small in the groove 120 . The height of the heat-blocking member 401 is the same as the height between the bottom (top) of the groove 120 and the first step 121 , and when the heat-blocking member 401 is inserted into the groove 120 , the first step (121) The heat blocking member 401 does not protrude downward. That is, the height of the heat-blocking member 401 is the same as the height of the portion in which the lateral width is formed to be small in the groove 120 .

열차단부재(401)는 열차단부재(401)의 상부측 몸체(100) 중앙 부근의 열이 열차단부재(401)의 하부를 거쳐 후술할 봉(200)을 통해 빠져나가는 것을 막아주는 역할을 한다.The heat blocking member 401 serves to prevent heat near the center of the upper body 100 of the heat blocking member 401 from escaping through the rod 200 to be described later through the lower portion of the heat blocking member 401 . do.

열차단부재(401)의 하부에는 덮개(403)가 설치된다. 덮개(403)는 홈(120)의 개구부를 덮어 열차단부재(401)가 외부로 노출되지 않게 한다. 덮개(403)는 제1단턱(121)에 배치되도록 홈(120)의 개구부측 횡폭이 크게 형성된 부분 내에 삽입된다. 덮개(403)는 제1단턱(121)에 배치되도록 홈(120)에 삽입된 채 하면 내측 테두리와 하면 외측 테두리가 몸체(100)와 용접되어 고정되며, 홈(120)을 외부로부터 밀폐한다. 이때, 사용되는 용접은 마찰교반용접인 것이 가장 바람직하다.A cover 403 is installed under the heat blocking member 401 . The cover 403 covers the opening of the groove 120 so that the heat blocking member 401 is not exposed to the outside. The cover 403 is inserted into a portion in which the width of the opening side of the groove 120 is large to be disposed on the first step 121 . While the cover 403 is inserted into the groove 120 so as to be disposed on the first step 121, the lower inner rim and the lower outer rim are welded to the body 100 and fixed, and the groove 120 is sealed from the outside. In this case, it is most preferable that the welding used is friction stir welding.

또한, 봉(200)은 덮개(403)의 내측으로 몸체(100)의 하면에 설치되는데, 보다 구체적으로 봉(200)의 외주면 상단은 몸체(100)와 용접되어 고정된 덮개(403)의 하면에 용접되어 고정되는 것이다. 봉(200)의 외주면의 직경은 덮개(403)의 외측 테두리의 직경보다 작게 형성되는 것이 바람직하고, 덮개(403)의 내측 테두리의 직경보다 크게 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the rod 200 is installed on the lower surface of the body 100 inside the cover 403 , more specifically, the upper end of the outer peripheral surface of the rod 200 is welded to the body 100 and fixed to the lower surface of the cover 403 . It is welded to and fixed to The diameter of the outer peripheral surface of the rod 200 is preferably formed smaller than the diameter of the outer edge of the cover 403, it is preferably formed larger than the diameter of the inner edge of the cover (403).

도 6에 도시된 바와 같이, 열차단부(400')는 필요에 따라 몸체(100)의 하면 중앙부 외에 몸체(100)에서 온도 편차가 있는 곳에 국부적으로 설치될 수도 있다. 이때, 열차단부(400')는 도 6에 도시된 바와 같이, 몸체(100)의 하부로 개구된 개구부를 갖는 원형의 홈(120')과, 홈(120') 내에 설치되는 원형의 열차단부재(401')와, 열차단부재(401')을 덮은 채 몸체(100)에 용접되어 고정되는 원형의 덮개(403')를 포함하며, 이러한 열차단부(400')는 전술했던 몸체(100)의 하면 중앙부에 설치되는 열차단부(400)의 홈(120), 열차단부재(401) 및 덮개(403)와 형상 및 설치위치만 다를 뿐 고정설치되는 방법은 동일하다. 이때, 사용되는 용접은 마찰교반용접인 것이 가장 바람직하다.As shown in FIG. 6 , the heat-blocking unit 400 ′ may be locally installed where there is a temperature deviation in the body 100 other than the central portion of the lower surface of the body 100 if necessary. At this time, as shown in FIG. 6 , the heat blocking unit 400 ′ includes a circular groove 120 ′ having an opening opened to the lower portion of the body 100 , and a circular heat blocking portion installed in the groove 120 ′. It includes a member 401' and a circular cover 403' that is welded and fixed to the body 100 while covering the heat-blocking member 401', and this heat-blocking part 400' is the body 100 described above. ), the groove 120, the heat-blocking member 401, and the cover 403 of the heat-blocking part 400 installed in the central part of the lower surface are different only in shape and installation location, but the fixed installation method is the same. In this case, it is most preferable that the welding used is friction stir welding.

몸체(100)에는 몸체(100)의 테두리 부근을 따라 형성되는 복수 개의 관통공(150)이 서로 이격되어 형성된다. 관통공(150)은 몸체(100)의 상면에서 하면까지 수직하게 관통되어 있다. In the body 100 , a plurality of through-holes 150 formed along the edge of the body 100 are formed to be spaced apart from each other. The through hole 150 penetrates vertically from the upper surface to the lower surface of the body 100 .

각각의 관통공(150)에는 기판(700)을 승강시키기 위한 리프트핀(500)이 각각 몸체(100)를 관통되도록 삽입되어 설치된다. 리프트핀(500)은 상단부 일부가 상광하협의 원추형상이다. 각각의 리프트핀(500)은 하단이 몸체(100)의 하부에 위치하는 승강부재(600)에 고정되어 승강부재(600)의 상승 시 함께 상승하여 몸체(100)의 상면 위로 돌출되고, 승강부재(600)의 하강 시 함께 하강하여 몸체(100)에 형성된 관통공(150)에 완전히 삽입된다. 기판(700)은 승강부재(600)가 상승하면 각각의 리프트핀(500)에 의해 몸체(100)의 상면과 이격되도록 들어올려 지고, 승강부재(600)가 하강하면 각각의 리프트핀(500)에 의해 몸체(100)의 상면에 올려지게 된다.Lift pins 500 for elevating the substrate 700 are inserted into each of the through-holes 150 and installed so as to penetrate the body 100, respectively. The lift pin 500 has a conical shape of the upper part of the upper part. Each of the lift pins 500 has a lower end fixed to the elevating member 600 positioned at the lower portion of the body 100 and rises together when the elevating member 600 rises to protrude above the upper surface of the body 100, and the elevating member When descending of 600 , it descends and is completely inserted into the through hole 150 formed in the body 100 . When the elevating member 600 rises, the substrate 700 is lifted to be spaced apart from the upper surface of the body 100 by each lift pin 500 , and when the elevating member 600 is lowered, each lift pin 500 . is placed on the upper surface of the body 100 by the

이하, 도 1의 A부분에 대한 변형예들을 설명하며, 본 발명의 바람직한 실시예와 실질적으로 동일한 구성은 설명을 생략하고, 동일한 부호를 부여한다.Hereinafter, modified examples of the portion A of FIG. 1 will be described, and components substantially the same as those of the preferred embodiment of the present invention will be omitted, and the same reference numerals will be given.

도 3은 도 1의 A부분에 대한 제1변형예를 뒤집어서 도시한 분해사시도이다.3 is an exploded perspective view showing the first modified example of the part A of FIG. 1 upside down.

도 3에 도시된 바와 같이, 제1매설홈덮개(143)와 제2매설홈덮개(미도시)는 홈(120)의 하단 외측 테두리까지만 형성될 수 있고, 볼록부(130)의 하면에는 제2단턱(미도시)이 형성되지 않을 수 있으며, 열차단부재(401)의 내주면에는 볼록부(130)에 형성된 매설홈(140) 내의 열선(300)을 덮는 지지부재(405)가 형성될 수 있다.As shown in FIG. 3 , the first buried groove cover 143 and the second buried groove cover (not shown) may be formed only up to the lower outer edge of the groove 120 , and the lower surface of the convex part 130 has the first buried groove cover. Two steps (not shown) may not be formed, and a support member 405 covering the heating wire 300 in the buried groove 140 formed in the convex part 130 may be formed on the inner circumferential surface of the heat blocking member 401 . have.

지지부재(405)는 볼록부(130)에 형성된 매설홈(140)에 대응하는 형상을 가진다. 지지부재(405)는 열선(300)을 고정하는 동시에, 볼록부(130)를 보강하는 역할을 한다.The support member 405 has a shape corresponding to the buried groove 140 formed in the convex portion 130 . The support member 405 serves to fix the heating wire 300 and reinforce the convex portion 130 .

도 4는 도 1의 A부분에 대한 제2변형예를 뒤집어서 도시한 분해사시도이다.4 is an exploded perspective view showing the second modified example of the part A of FIG. 1 upside down.

도 4에 도시된 바와 같이, 제1매설홈덮개(143)와 제2매설홈덮개(미도시)는 홈(120)의 하단 외측 테두리까지만 형성될 수 있고, 볼록부(130)의 하면에는 제2단턱(미도시)이 형성되지 않을 수 있다.As shown in Figure 4, the first buried groove cover 143 and the second buried groove cover (not shown) can be formed only up to the lower outer edge of the groove 120, the lower surface of the convex portion 130 is Two steps (not shown) may not be formed.

즉, 제2변형예는 도 3에 도시된 제1변형예에서 지지부재(405)만이 없는 상태이다.That is, in the second modified example, only the support member 405 is absent in the first modified example shown in FIG. 3 .

도 5는 도 1의 A부분에 대한 제3변형예를 뒤집어서 도시한 분해사시도이다.5 is an exploded perspective view showing the third modified example of the part A of FIG. 1 inverted.

도 5에 도시된 바와 같이, 제1매설홈덮개(143)는 홈(120)의 하단 외측 테두리까지만 형성될 수 있고, 도 2 또는 도 3 또는 도 4에서 볼록부(130)를 제거하여 홈(120)과 수용홈(110)이 이어지도록 형성될 수 있으며, 제2매설홈덮개(145)는 수용홈(110) 내의 둘레면까지 형성되어 열선(300)을 덮는다.As shown in Figure 5, the first buried groove cover 143 can be formed only up to the lower outer edge of the groove 120, and remove the convex portion 130 in Figure 2 or Figure 3 or Figure 4, the groove ( 120 and the accommodating groove 110 may be formed to be connected, and the second buried groove cover 145 is formed up to the circumferential surface in the accommodating groove 110 to cover the heating wire 300 .

도 5에서 홈(120)의 횡폭은 도 2 또는 도 3 또는 도 4에서 볼록부(130)와 홈(120)의 횡폭을 합한 것과 같다.In FIG. 5 , the lateral width of the groove 120 is equal to the sum of the convex portion 130 and the lateral width of the groove 120 in FIG. 2 or 3 or 4 .

홈(120)에는 홈(120)의 횡폭에 대응하는 도넛형상의 열차단부재(401)가 삽입되고, 열차단부재(401)의 하부에는 열차단부재(401)의 횡폭에 제1단턱(121)의 횡폭을 더한 크기의 덮개(403)가 덮어진다.A donut-shaped heat-blocking member 401 corresponding to the lateral width of the groove 120 is inserted into the groove 120 , and a first step 121 is disposed in the lower portion of the thermal-blocking member 401 to the lateral width of the heat-blocking member 401 . ) is covered with a cover 403 of a size plus the horizontal width.

이하에서는, 본 발명의 다른 실시예에 따른 서셉터를 설명한다.Hereinafter, a susceptor according to another embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 다른 실시예에 따른 서셉터를 설명함에 있어서, 본 발명의 바람직한 실시예와 실질적으로 동일한 구성은 설명을 생략하고, 동일한 부호를 부여한다.In describing the susceptor according to another embodiment of the present invention, substantially the same configuration as the preferred embodiment of the present invention is omitted, and the same reference numerals are given.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 서셉터를 도시한 저면분해사시도이고, 도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 서셉터의 승강부재가 하강한 상태를 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 서셉터의 승강부재가 상승한 상태를 개략적으로 도시한 단면도이다.9 is a bottom exploded perspective view showing a susceptor according to another embodiment of the present invention, and FIG. 11 is a cross-sectional view schematically illustrating a state in which the elevating member of the susceptor is raised according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 다른 실시예에 따른 서셉터는, 열선(300)이 매설되는 상부몸체(100a) 및 상부몸체(100a)와 분리 결합되고 봉(200)이 연결되는 하부몸체(100b)를 포함하는 몸체(100)와, 상부몸체(100a)와 하부몸체(100b) 사이의 공간(105)에 배치되는 열차단부(400)를 포함한다.The susceptor according to another embodiment of the present invention includes an upper body 100a in which the heating wire 300 is embedded, and a lower body 100b that is separately coupled to the upper body 100a and to which the rod 200 is connected. (100), and a heat-blocking portion 400 disposed in the space 105 between the upper body (100a) and the lower body (100b).

상부몸체(100a)는 하부가 개구된 직육면체 형상이고, 하부몸체(100b)는 직사각판 형상이다. 상부몸체(100a)에는 테두리를 따라 하측으로 돌출된 돌출부(160)가 형성되어 있다. 상부몸체(100a)의 테두리, 즉, 돌출부(160)는 하부몸체(100b)의 상면 테두리와 용접되어 일체로 결합된다. 이때, 사용되는 용접은 마찰교반용접인 것이 가장 바람직하다. The upper body 100a has a rectangular parallelepiped shape with an open lower portion, and the lower body 100b has a rectangular plate shape. The upper body 100a is formed with a protrusion 160 protruding downward along the edge. The rim of the upper body 100a, that is, the protrusion 160, is welded to the upper rim of the lower body 100b and integrally coupled thereto. In this case, it is most preferable that the welding used is friction stir welding.

하부몸체(100b)의 중앙에는 제1구멍(170)이 형성된다.A first hole 170 is formed in the center of the lower body 100b.

하부몸체(100b)의 하면에는 중공(210)이 형성된 봉(200)이 연결된다. 봉(200)은 하부몸체(100b)의 하면 중앙부에 용접되어 고정된다.A rod 200 in which a hollow 210 is formed is connected to the lower surface of the lower body 100b. The rod 200 is welded and fixed to the central portion of the lower surface of the lower body 100b.

상부몸체(100a)와 하부몸체(100b) 사이에는 공간(105)이 형성된다. 공간(105)은 상부몸체(100a)의 하면, 하부몸체(100b)의 상면 및 돌출부(160)의 내면으로 둘러싸여 있다. A space 105 is formed between the upper body 100a and the lower body 100b. The space 105 is surrounded by the lower surface of the upper body 100a, the upper surface of the lower body 100b, and the inner surface of the protrusion 160 .

공간(105)에는 열차단부(400)가 배치된다. 열차단부(400)는 공간(105)에 대응하는 직육면체 형상으로써 공간 내에 설치된다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 서셉터에서 열차단부(400)는 공간(105) 전체에 걸쳐 설치되어 있지만 공간(105) 내에 국부적으로 설치될 수도 있다. 열차단부(400)는 상부몸체(100a) 상면의 열, 특히, 상부몸체(100a) 상면 중앙부의 열이 봉(200)을 통해 외부로 유출되지 않도록 하는 역할을 한다.The space 105 is provided with a heat-blocking unit 400 . The heat-blocking part 400 is installed in the space in a rectangular parallelepiped shape corresponding to the space 105 . In the susceptor according to another embodiment of the present invention, the heat block 400 is installed over the entire space 105 , but may be installed locally in the space 105 . The heat blocking unit 400 serves to prevent the heat of the upper surface of the upper body 100a, in particular, the heat of the central portion of the upper surface of the upper body 100a from leaking to the outside through the rod 200 .

열차단부(400)의 중앙에는 제2구멍(407)이 형성된다. 제2구멍(407)은 봉(200)에 형성된 중공(210)과 하부몸체(100b)에 형성된 제1구멍(170)과 서로 연통된다.A second hole 407 is formed in the center of the heat-blocking part 400 . The second hole 407 communicates with the hollow 210 formed in the rod 200 and the first hole 170 formed in the lower body 100b.

상부몸체(100a)에는 하부로 개구된 개구부를 갖는 매설홈(140)이 형성되고, 매설홈(140) 내에는 열선(300)의 수평부(310)가 매설되어 제2매설홈덮개(145) 및 제1매설홈덮개(143)가 차례로 덮어져 고정된다.A buried groove 140 having an opening opening downward is formed in the upper body 100a, and the horizontal part 310 of the heating wire 300 is buried in the buried groove 140, so that the second buried groove cover 145 is embedded. And the first buried groove cover 143 is covered and fixed in turn.

매설홈(140)에 매설된 열선(300)의 수평부(310) 단부에는 수직부(320)가 하측으로 절곡되어 제2구멍(407)에서부터 제1구멍(170)을 거쳐 중공(210)을 통해 외부로 인출된다.At the end of the horizontal portion 310 of the heating wire 300 embedded in the buried groove 140 , the vertical portion 320 is bent downward to form a hollow 210 from the second hole 407 through the first hole 170 . is drawn out through

상부몸체(100a)에는 상부몸체(100a)의 테두리 부근을 따라 형성되는 복수 개의 제1관통공(151)이 서로 이격되어 형성되고, 하부몸체(100b)에는 하부몸체(100b)의 테두리 부근을 따라 형성되는 복수 개의 제2관통공(153)이 서로 이격되어 형성되며, 열차단부(400)에는 열차단부(400)의 테두리 부근을 따라 형성되는 복수 개의 제3관통공(409)이 서로 이격되어 형성된다. 각각의 제1관통공(151), 제2관통공(153) 및 제3관통공(409)의 개수는 동일하다. 각각의 제1관통공(151)의 하부에는 각각의 제3관통공(409)이 수직하게 배치되고, 각각의 제3관통공(409)의 하부에는 각각의 제2관통공(153)이 수직하게 배치된다. 즉, 각각 서로 가장 인접한 제1관통공(151), 제3관통공(409) 및 제2관통공(153)은 상측에서부터 하측으로 차례대로 배치되어 서로 연통된다. A plurality of first through-holes 151 formed along the rim of the upper body 100a are spaced apart from each other in the upper body 100a, and in the lower body 100b, along the rim of the lower body 100b. A plurality of second through-holes 153 are formed to be spaced apart from each other, and a plurality of third through-holes 409 formed along an edge of the heat-blocking unit 400 are formed in the heat-blocking part 400 to be spaced apart from each other. do. The number of each of the first through hole 151 , the second through hole 153 , and the third through hole 409 is the same. Each of the third through-holes 409 is vertically disposed under each of the first through-holes 151 , and each of the second through-holes 153 are vertically disposed below each of the third through-holes 409 . is laid out That is, the first through-hole 151 , the third through-hole 409 and the second through-hole 153 closest to each other are sequentially arranged from the upper side to the lower side to communicate with each other.

각각 서로 가장 인접한 제1관통공(151), 제3관통공(409) 및 제2관통공(153)에는 각각 밀폐부재(410)가 설치된다. 밀폐부재(410)는 각각의 제1관통공(151), 제2관통공(153) 및 제3관통공(409)의 개수와 동일한 개수가 설치된다. 밀폐부재(410)는 상단 중앙에서 하단 중앙까지 관통된 원통형상이다. 밀폐부재(410)는 상단부가 제1관통공(151) 하단 테두리의 상부몸체(100a) 하면에 용접되어 고정되고, 상부가 제3관통공(409)에 삽입되며, 하부가 제2관통공(153)에 삽입되어 하부몸체(100b)와 용접되어 고정된다. 이때, 밀폐부재(410)의 하면은 하부몸체(100b)의 하면과 수평하게 배치된다. 밀폐부재(410)는 복수 개의 제1관통공(151)과 복수 개의 제2관통공(153)이 공간(105)과 밀폐되도록 하여 봉(200)의 중공(210)을 통해 들어오는 공기가 제1관통공(151) 및 제2관통공(153)을 통해 진공챔버(미도시) 내로 유입되는 것을 막아주는 역할을 한다.A sealing member 410 is installed in the first through-hole 151, the third through-hole 409, and the second through-hole 153 closest to each other, respectively. The sealing member 410 is provided with the same number as the number of each of the first through-hole 151, the second through-hole 153, and the third through-hole 409. The sealing member 410 has a cylindrical shape penetrating from the center of the upper end to the center of the lower end. The sealing member 410 has an upper end welded to the lower surface of the upper body 100a of the lower edge of the first through-hole 151 and fixed, the upper portion is inserted into the third through-hole 409, and the lower portion is the second through-hole ( 153) and is welded to the lower body 100b and fixed. At this time, the lower surface of the sealing member 410 is disposed horizontally with the lower surface of the lower body (100b). The sealing member 410 is such that the plurality of first through-holes 151 and the plurality of second through-holes 153 are sealed with the space 105 so that the air entering through the hollow 210 of the rod 200 is first It serves to prevent inflow into the vacuum chamber (not shown) through the through hole 151 and the second through hole 153 .

각각 수직하게 배치된, 즉, 각각 서로 가장 인접한 제1관통공(151)과 제3관통공(409)과 제2관통공(153)에는 리프트핀(500)이 설치된다. 보다 구체적으로 리프트핀(500)은 제1관통공(151)과, 제3관통공(409) 및 제2관통공(153)에 삽입된 밀폐부재(410)를 관통하여 승강부재(600)의 상승 또는 하강 작동에 따라 기판(700)을 상승 또는 하강시킨다. The lift pins 500 are installed in the first through-holes 151, the third through-holes 409, and the second through-holes 153 arranged vertically, that is, each closest to each other. More specifically, the lift pin 500 passes through the sealing member 410 inserted into the first through hole 151, the third through hole 409, and the second through hole 153, and the The substrate 700 is raised or lowered according to the raising or lowering operation.

이상에서 설명한 본 발명의 서셉터는 진공챔버(미도시)에 구비될 수 있다. 상기 서셉터는 진공상태에서 박막증착공정이 이루어질 수 있도록 진공챔버(미도시) 내부에 배치되어 기판(700)을 지지하는 것이 바람직하다.The susceptor of the present invention described above may be provided in a vacuum chamber (not shown). The susceptor is preferably disposed inside a vacuum chamber (not shown) to support the substrate 700 so that the thin film deposition process can be performed in a vacuum state.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당기술분야의 당업자는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변형하여 실시할 수 있다.As described above, although described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify or modify the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims. can do.

100 : 몸체 100a : 상부몸체
100b : 하부몸체 105 : 공간
110 : 수용홈 120, 120' : 홈
121 : 제1단턱 130 : 볼록부
140 : 매설홈 141 : 제2단턱
143 : 제1매설홈덮개 145 : 제2매설홈덮개
150 : 관통공 151 : 제1관통공
153 : 제2관통공 160 : 돌출부
170 : 제1구멍 200 : 봉
210 : 중공 300 : 열선
310 : 수평부 320 : 수직부
400, 400' : 열차단부 401, 401' : 열차단부재
403, 403' : 덮개 405 : 지지부재
407 : 제2구멍 409 : 제3관통공
410 : 밀폐부재 500 : 리프트핀
600 : 승강부재 700 : 기판100: body 100a: upper body
100b: lower body 105: space
110: receiving groove 120, 120': groove
121: first step 130: convex portion
140: buried groove 141: second step
143: first buried groove cover 145: second buried groove cover
150: through hole 151: first through hole
153: second through hole 160: protrusion
170: first hole 200: rod
210: hollow 300: hot wire
310: horizontal part 320: vertical part
400, 400': heat-blocking part 401, 401': heat-blocking member
403, 403': cover 405: support member
407: second hole 409: third through hole
410: sealing member 500: lift pin
600: elevating member 700: substrate

Claims (21)

몸체;
상기 몸체의 하면에 연결된 봉;
상기 몸체의 내부에서 상기 몸체의 수평방향으로 배치된 수평부와 상기 봉을 관통하는 수직부를 갖는 열선; 및
상기 수평부 하부에 설치된 열차단부;를 포함하고,
상기 열차단부는,
상기 몸체의 하면에 상측으로 오목하게 형성되어 상기 몸체의 하부로 개구된 개구부를 갖는 홈;
상기 홈에 삽입되어 설치되는 열차단부재;
상기 홈을 외부로부터 밀폐하기 위해 상기 홈의 개구부를 덮는 덮개;를 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터.
body;
a rod connected to the lower surface of the body;
a heating wire having a horizontal portion disposed in a horizontal direction of the body and a vertical portion penetrating the rod within the body; and
Including;
The heat barrier is
a groove formed to be concave upwardly on a lower surface of the body and having an opening opened to a lower portion of the body;
a heat blocking member inserted into the groove and installed;
Susceptor comprising a; a cover covering the opening of the groove to seal the groove from the outside.
 제1항에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체의 하면 중앙부에 설치되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
According to claim 1,
The susceptor, characterized in that the heat-blocking portion is installed in the central portion of the lower surface of the body.
 제1항에 있어서,
상기 열선의 상기 수평부는 발열부와 비발열부를 갖고, 상기 열차단부는 상기 비발열부 하부에 위치하는 것을 특징으로 하는 서셉터.
According to claim 1,
The horizontal part of the heating wire has a heating part and a non-heating part, and the heat blocking part is located below the non-heating part.
 제1항에 있어서,
상기 열선의 상기 수평부는 발열부와 비발열부를 갖고, 상기 열차단부는 상기 발열부 및 상기 비발열부 하부에 위치하는 것을 특징으로 하는 서셉터.
According to claim 1,
The horizontal part of the heating wire has a heating part and a non-heating part, and the heat blocking part is located below the heating part and the non-heating part.
 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 홈은 상기 몸체의 하면 중앙부에 위치하고,
상기 덮개의 하부에 상기 봉이 설치되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
According to claim 1,
The groove is located in the center of the lower surface of the body,
Susceptor, characterized in that the rod is installed under the cover.
 제1항에 있어서,
상기 홈은 상기 몸체의 하면 중앙부에 위치하고,
상기 봉은 상기 덮개의 내측으로 상기 몸체의 하면에 설치되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
According to claim 1,
The groove is located in the center of the lower surface of the body,
The rod is a susceptor, characterized in that installed on the lower surface of the body inside the cover.
 제1항에 있어서,
상기 홈의 개구부에는 단턱이 형성되고,
상기 덮개는 상기 단턱에 배치되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
According to claim 1,
A step is formed in the opening of the groove,
The cover is a susceptor, characterized in that disposed on the step.
 제1항에 있어서,
상기 열차단부는 상기 수직부를 둘러싸는 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
According to claim 1,
The susceptor, characterized in that the heat-blocking portion is disposed at a position surrounding the vertical portion.
 제1항에 있어서,
상기 홈은 도넛 형상인 것을 특징으로 하는 서셉터.
According to claim 1,
The groove is a susceptor, characterized in that the donut shape.
 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속의 열전도율보다 낮은 열전도율을 갖는 금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 하는 서셉터.
According to claim 1,
The heat-blocking portion is a susceptor, characterized in that made of a metal insulating material having a lower thermal conductivity than the thermal conductivity of the metal constituting the body.
 제1항에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체를 이루는 금속의 열전도율보다 낮은 열전도율을 갖는 비금속 단열재로 이루어진 것을 특징으로 하는 서셉터.
According to claim 1,
The heat-blocking portion is a susceptor, characterized in that made of a non-metallic insulator having a lower thermal conductivity than the thermal conductivity of the metal constituting the body.
 제1항에 있어서,
상기 열차단부는 열전도율이 0.03W/mk 이상 35W/mk 이하인 것을 특징으로 하는 서셉터.
According to claim 1,
The thermal barrier susceptor, characterized in that the thermal conductivity of 0.03W / mk or more and 35W / mk or less.
 제1항에 있어서,
상기 열차단부는 유리세라믹 또는 산화알루미늄(Al2O3) 또는 산화마그네슘(MgO)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 서셉터.
According to claim 1,
The heat-blocking part is a susceptor, characterized in that made of glass ceramic or aluminum oxide (Al 2 O 3 ) or magnesium oxide (MgO).
 제1항에 있어서,
상기 열차단부는 스테인레스 스틸 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 서셉터.
According to claim 1,
The heat-blocking portion is a susceptor, characterized in that made of a stainless steel material.
 제1항에 있어서,
상기 열차단부는 상기 몸체에서 온도 편차가 있는 곳에 국부적으로 설치되는 것을 특징으로 하는 서셉터.
According to claim 1,
The susceptor, characterized in that the heat-blocking portion is installed locally in a place where there is a temperature deviation in the body.
 몸체;
상기 몸체의 하면에 연결된 봉;
상기 몸체의 내부에서 상기 몸체의 수평방향으로 배치된 수평부와 상기 봉을 관통하는 수직부를 갖는 열선; 및
상기 수평부 하부에 설치된 열차단부;를 포함하고,
상기 열차단부는,
상기 몸체의 하면에 상측으로 오목하게 형성되어 상기 몸체의 하부로 개구된 개구부를 갖는 홈;
상기 홈에 삽입되어 설치되는 열차단부재;
상기 홈을 외부로부터 밀폐하기 위해 상기 홈의 개구부를 덮는 덮개;를 포함하는 서셉터를 구비한 진공챔버.
body;
a rod connected to the lower surface of the body;
a heating wire having a horizontal portion disposed in a horizontal direction of the body and a vertical portion penetrating the rod within the body; and
Including;
The heat barrier is
a groove formed to be concave upwardly on a lower surface of the body and having an opening opened to a lower portion of the body;
a heat blocking member inserted into the groove and installed;
A vacuum chamber having a susceptor comprising a; a cover covering the opening of the groove to seal the groove from the outside.
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