KR101515882B1 - The susceptor - Google Patents

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KR101515882B1
KR101515882B1 KR1020130154118A KR20130154118A KR101515882B1 KR 101515882 B1 KR101515882 B1 KR 101515882B1 KR 1020130154118 A KR1020130154118 A KR 1020130154118A KR 20130154118 A KR20130154118 A KR 20130154118A KR 101515882 B1 KR101515882 B1 KR 101515882B1
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susceptor
heater
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metal foam
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KR1020130154118A
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이철원
김광식
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(주)유니버셜스탠다드테크놀러지
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Abstract

The present invention relates to a susceptor. The susceptor is installed inside a chamber of a device to manufacture a semiconductor or a display wherein a plate metal foam heater and a substrate sagging preventing support are inserted in order to improve temperature uniformity and prevent the susceptor from sagging to increase the usage of the susceptor, and improve the temperature uniformity to enhance productivity and minimize defects. According to the present invention, the susceptor includes: a susceptor main body where the substrate is mounted on an upper surface; the plate metal foam heater installed in an entire area inside the susceptor main body generating heat by electricity supplied from the outside; and an electricity supply unit supplying electricity to the metal foam heater.

Description

서셉터{THE SUSCEPTOR}Susceptor {THE SUSCEPTOR}

본 발명은 서셉터에 관한 것으로 보다 상세하게는, 반도체 또는 디스플레이 제조용 장치의 챔버 내부에 설치되며 내부에 판형 메탈폼 히터와 기판 처짐 방지 지지대를 삽입함으로써 온도 균일도를 향상시키고 서셉터의 처짐을 방지하여 서셉터의 사용 주기를 늘리고 기판의 온도 균일도를 향상시켜 생산성 향상 및 불량 발생을 최소화시킬 수 있도록 한 서셉터에 관한 것이다.The present invention relates to a susceptor, and more particularly, to a susceptor which is installed inside a chamber of a semiconductor or a device for manufacturing a display, and includes a plate-shaped metal mold heater and a substrate deflection prevention support inserted therein to improve temperature uniformity and prevent deflection of the susceptor The present invention relates to a susceptor capable of increasing the use period of the susceptor and improving the temperature uniformity of the substrate, thereby improving the productivity and minimizing the occurrence of defects.

반도체 및 디스플레이를 제조하기 위해서는 공정 순서에 맞게 박막의 증착, 패터닝 및 식각 공정을 통해 제조되는데, 공정챔버 내부로 반응 및 소스물질이 가스상으로 유입되어 증착 공정을 진행하고자 하는 경우, 공정챔버 내부에는 기판이 안착되며, 증착에 적절한 온도로 가열시킬 수 있도록 히터가 내부에 매설되는 서셉터가 설치된다.In order to manufacture a semiconductor and a display, a thin film is deposited, patterned, and etched according to a process order. When a reaction and a source material are introduced into the process chamber to perform a deposition process, And a susceptor in which a heater is embedded is installed so as to be heated to a temperature suitable for deposition.

이와 같이 반도체 및 디스플레이 장치용 공정챔버의 내부에 설치되는 서셉터의 구조를 설명하면 다음과 같다.The structure of the susceptor installed in the process chamber for semiconductor and display devices will be described as follows.

도 1은 종래 반도체, 디스플레이 소자의 제조를 위한 공정챔버 내부에 설치되는 서셉터(1)를 도시한 단면도로서, 서셉터(1)는 상면으로 기판이 안착될 수 있도록 수평 설치되는 서셉터 바디(10)와 그 저면에서 하향 수직방향으로 연결되며 상기 서셉터 바디(10)를 지지하는 서셉터 샤프트(20)로 구성된다. FIG. 1 is a cross-sectional view of a susceptor 1 installed in a process chamber for manufacturing a conventional semiconductor and a display device. The susceptor 1 includes a susceptor body (not shown) 10 and a susceptor shaft 20 connected to the susceptor body 10 in a downward vertical direction at the bottom thereof to support the susceptor body 10.

상기 서셉터 샤프트(20)는 챔버와 외부의 진공을 형성할 수 있도록 실링 역할을 하며, 외부의 모터 또는 실린더 등과 연결되는 구동부(미도시)와 연결되어 상승 또는 하강할 수 있어 웨이퍼 또는 유리기판 로딩과 언로딩을 할 수 있는 기능을 한다. 이와 같이 서셉터(1)는 기판이 원하는 공정온도에 올라갈 수 있도록 기판의 온도를 상승시켜주는 역할, 그리고 공정온도에서 온도 균일도에 맞추어 온도를 유지하는 기능, 기판의 로딩과 언로딩 기능을 할 수 있게 한다.The susceptor shaft 20 is connected to a driving unit (not shown) connected to an external motor or a cylinder so as to be lifted or lowered. The susceptor shaft 20 can be mounted on a wafer or a glass substrate And unloading function. As described above, the susceptor 1 functions to raise the substrate temperature so that the substrate can be heated to a desired process temperature, to maintain the temperature according to the temperature uniformity at the process temperature, and to load and unload the substrate Let's do it.

이때 상기 서셉터 바디(10)의 저면으로는 도 3과 같은 패턴으로 선형 히터(30)가 삽입되어 상기 서셉터 바디(10)의 중앙부를 통하여 연결되는 서셉터 샤프트(20)로 연장된 후, 외부의 전원(미도시)과 연결되는 라인과 연결되는데, 이와 같이 서셉터 바디(10)의 내부에 삽입되어 서셉터 샤프트(20)로 연장되는 히터(30)의 구체적인 구성은 도 2와 같다.3, a linear heater 30 is inserted into a bottom surface of the susceptor body 10 and is extended to a susceptor shaft 20 connected to the susceptor body 10 through the center of the susceptor body 10, 2, a specific structure of the heater 30 inserted into the susceptor body 10 and extending to the susceptor shaft 20 is connected to a line connected to an external power source (not shown).

먼저 서셉터 바디(10)의 저면으로 매설홈(12)이 형성되어 그 내부로 히터(30)가 내장된다. 상기 히터(30)는 통상 독립적인 2층으로 구성되는데, 히터가 매설된 상태를 절단하여 표시하면, 도 2에 도시된 바와 같이 그 중심으로부터 히터(31), 절연코어(32), 금속쉬스(33)로 구성되어 있다. 상기 매설홈(12)으로 히터(30)가 수용된 뒤에는 그 저면으로 알루미늄 재질의 커버(14)가 매설홈(12)을 폐쇄시키고 최종적으로 용접처리(16)를 통하여 매설홈(12)의 내부 공간을 외부와 완전히 격리시켜 진공상태를 유지시킨다.First, a buried groove 12 is formed on the bottom surface of the suscepter body 10, and a heater 30 is embedded therein. The heater 30 is usually constructed of two independent layers. When the heater 30 is cut and displayed, the heater 31, the insulating core 32, and the metal sheath 33). After the heater 30 is received in the buried groove 12, the aluminum cover 14 closes the buried groove 12 and finally passes through the welding process 16 to the inner space of the buried groove 12, Is completely isolated from the outside to maintain the vacuum state.

특히, 상기 서셉터 바디(10)의 매설홈(12)에 삽입된 히터(30)는 서셉터 바디(10) 전 영역을 균일한 온도로 가열하여야 하는데, 도 3에 도시한 바와 같이 온도 시뮬레이션을 통하여 열선을 배치하고 제작하여 온도 균일도를 맞추려고 하지만 고온, 진공영역, 플라즈마 노출, 압력의 변화 등이 수시로 변하는 챔버 내부 환경으로 인하여 균일한 온도 분포를 갖추는 서셉터의 제작은 매우 어렵다.Particularly, the heater 30 inserted in the buried grooves 12 of the susceptor body 10 must heat the entire region of the susceptor body 10 to a uniform temperature. As shown in FIG. 3, However, it is very difficult to fabricate a susceptor having a uniform temperature distribution due to the internal environment of the chamber where the temperature, the vacuum region, the plasma exposure, and the pressure change are changed frequently.

디스플레이 제조라인의 8세대 서셉터의 경우, 일반적으로 서셉터상의 온도 편차는 20도 이상 나타나며 이는 기판의 온도 균일도에 영향을 주어 제품의 불량 및 서셉터 수명의 단축되는 문제와 이로인한 비용 상승 및 생산성에 문제를 일으키고 있다.In the case of the 8th generation susceptor of the display manufacturing line, the temperature deviation of the susceptor is generally 20 degrees or more, which affects the temperature uniformity of the substrate, thereby reducing the defects of the product and the life of the susceptor, .

한편 기존의 서셉터 재질은 알루미늄이 많이 사용되며 고온 상태를 유지하고 기판을 수용하기 위한 대면적 평판 형태의 구조로 인하여 처짐현상이 발생한다. 이를 방지하고자 서셉터 하면에 세라믹 플레이트로 처짐 예상부위를 지지하여 처짐을 방지하려 하지만, 비용상승, 세라믹 플레이트의 깨짐현상, 챔버내 구조물의 삽입으로 인한 공정 변화 등 많은 문제점이 발생한다.On the other hand, conventional susceptor materials have a large amount of aluminum and sag due to the structure of a large-area flat plate for holding the substrate at a high temperature and accommodating the substrate. In order to prevent this, there are many problems such as cost increase, cracking of the ceramic plate, process change due to insertion of the structure in the chamber, and so on.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 반도체 또는 디스플레이 제조용 장치의 챔버 내부에 설치되며 내부에 판형 메탈폼 히터와 기판 처짐 방지 지지대를 삽입함으로써 온도 균일도를 향상시키고 서셉터의 처짐을 방지하여 서셉터의 사용 주기를 늘리고 기판의 온도 균일도를 향상시켜 생산성 향상 및 불량 발생을 최소화시킬 수 있도록 한 서셉터를 제공하는 것이다. Disclosure of Invention Technical Problem [8] The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a semiconductor or a display device, The present invention provides a susceptor which can increase the cycle and improve the temperature uniformity of the substrate to improve the productivity and minimize the occurrence of defects.

전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 서셉터는, 상면에 기판이 장착되는 서셉터 본체; 상기 서셉터 본체의 내부 전영역에 설치되며, 외부에서 공급되는 전기에 의하여 발열하는 판형 메탈폼 히터; 및 상기 메탈폼 히터에 전기를 공급하는 전기 공급부;를 포함한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a susceptor including: a susceptor body having a substrate mounted on an upper surface thereof; A plate-shaped metal mold heater installed in the entire inner region of the susceptor body and generating heat by electricity supplied from the outside; And an electricity supply unit for supplying electricity to the metal foam heater.

본 발명에서 상기 메탈폼 히터는, 상기 서셉터 본체의 외곽 부분에 설치되는 외곽히터; 상기 서셉터 본체 중 상기 외곽히터의 내측에 설치되는 중앙 히터; 및 상기 서셉터 본체 중 상기 중앙 히터의 내측에 설치되는 중심 히터;를 포함하는 것이 바람직하다. The metal foam heater according to the present invention may further include: an outer heater installed at an outer portion of the susceptor body; A central heater installed inside the outer heater of the susceptor main body; And a central heater disposed on the inner side of the central heater among the susceptor main bodies.

그리고 본 발명에서 상기 전기 공급부는 상기 외곽히터, 중앙히터 및 중심 히터 별로 독립되어 설치되는 것이 바람직하다. In the present invention, it is preferable that the electric supply unit is provided independently for each of the outer heater, the central heater, and the center heater.

또한 상기 전기 공급부는, 상기 메탈폼 히터의 마주 보는 양 측면에 연결되되, 상기 메탈폼 히터의 다수 지점에 연결되어 상기 메탈폼 히터의 다수 지점에 대하여 동시에 전기를 공급하는 것이 바람직하다. It is preferable that the electric supply unit is connected to opposite sides of the metal foam heater and is connected to a plurality of points of the metal foam heater to simultaneously supply electricity to a plurality of points of the metal foam heater.

또한 본 발명에서 상기 메탈폼 히터는, Ni, Fe, Cr, Al, Mo 중 어느 하나로 이루어지는 것이 바람직하다. In the present invention, the metal foam heater is preferably made of any one of Ni, Fe, Cr, Al, and Mo.

한편 상기 메탈폼 히터는, Fe, Ni, Cr, Al 합금 또는 Fe, Cr, Al 합금이며, 합금 성분 중 Fe의 성분 비율이 60% 이상인 재질로 이루어질 수도 있다. On the other hand, the metal foam heater may be made of Fe, Ni, Cr, Al alloy, Fe, Cr, Al alloy, and the composition ratio of Fe in the alloy component is 60% or more.

또한 본 발명의 서셉터에는, 상기 서셉터 본체의 하측에 결합되어 설치되며, 상기 서셉터 본체의 처짐을 방지하는 처짐 방지 수단이 더 구비되는 것이 바람직하다. It is preferable that the susceptor of the present invention is further provided with a sag preventing unit which is coupled to the lower side of the susceptor main body and prevents sag of the susceptor main body.

또한 상기 처짐 방지 수단은, 상기 서셉터 본체와 동일한 재질로 이루어지며, 상면에 설치홈이 형성되는 처짐 방지 본체; 상기 설치홈 내에 삽입되어 설치되며, 상기 서셉터 본체의 재질보다 강성이 강한 소재로 이루어지는 처짐 방지부재;를 포함하는 것이 바람직하다. The deflection preventing means may include a sag preventing main body made of the same material as the susceptor main body and having an installation groove formed on an upper surface thereof; And a sag preventing member inserted in the installation groove and made of a material having a stiffness higher than that of the susceptor main body.

그리고 본 발명에서 상기 처짐 방지부재는 스테인레스 스틸 또는 티타늄으로 이루어지는 것이 바람직하다. In the present invention, the deflection preventing member is preferably made of stainless steel or titanium.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 반도체 및 디스플레이 장치에 장착되는 서셉터는 다음과 같은 여러 가지 뛰어난 효과가 있다.As described above, the susceptor mounted on the semiconductor and display device according to the present invention has various excellent effects as follows.

첫째, 서셉터에 장착되는 히터를 판상 형태의 메탈폼 히터를 사용함으로써 온도 균일도를 향상시키고 온도 차이에 의한 제품의 공정 불량 발생을 최소화함은 물론, 생산성을 극대화시킬 수 있다는 장점이 있다.First, the use of a plate-shaped metal foam heater for the heater mounted on the susceptor improves the temperature uniformity, minimizes the occurrence of process defects due to temperature differences, and maximizes productivity.

둘째, 서셉터 내부에 서셉터 소재와 이종의 변형방지 구조물을 매립함으로써 서셉터 처짐현상을 최소화 할 수 있으며 기존의 서셉터 처점 방지 목적으로 서셉터 하부에 지지대로 사용되는 세라믹 판을 제거하여 장비 제조비용을 줄이고 챔버 내부 부품을 단순화 시켜 고장율을 줄이고 서셉터의 수명을 2배 이상 연장시킬 수 있어 비용절감과 생산성 향상이 가능하다.Second, the susceptor deflection phenomenon can be minimized by embedding the susceptor material and the different types of deformation preventing structures in the susceptor, and the ceramic plate used as a support for the susceptor under the susceptor is removed for the purpose of preventing the susceptor Reducing costs and simplifying internal components of the chamber reduces the failure rate and extends the life of the susceptor by more than two times, resulting in cost savings and improved productivity.

셋째, 판상 형태의 메탈폼 히터를 사용함으로 제조 공정이 단순하여 서셉터 제작 기간을 줄일 수 있어 비용절감과 생산성 향상이 가능하다 Third, the use of plate-shaped metal foam heater can simplify the manufacturing process, thus reducing cost and productivity

도 1은 종래의 서셉터 절단면을 도시하는 도면이다.
도 2는 종래의 선형 히터가 내장된 서셉터 절단면을 도시하는 도면이다.
도 3은 종래의 서셉터 선형 히터 패턴을 도시하는 도면이다.
도 4은 본 발명의 일 실시예에 따른 서셉터에서 판형 메탈폼 히터가 설치되는 구조를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 처짐 방지수단이 설치된 구조를 도시하는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 처짐 방지수단이 설치된 구조를 도시하는 평면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 처짐 방지수단을 제조하는 과정을 도시하는 도면들이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 서셉터의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 서셉터의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 서셉터를 제조하는 과정을 도시하는 도면들이다. 1 is a view showing a conventional susceptor cut surface.
2 is a view showing a cross-section of a conventional susceptor having a linear heater incorporated therein.
3 is a view showing a conventional susceptor linear heater pattern.
4 is a view illustrating a structure in which a plate-shaped metal foam heater is installed in a susceptor according to an embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view showing a structure in which a deflection preventing means according to an embodiment of the present invention is installed.
6 is a plan view showing a structure in which deflection preventing means according to an embodiment of the present invention is installed.
7 is a view showing a process of manufacturing the deflection preventing means according to an embodiment of the present invention.
8 is a cross-sectional view showing a structure of a susceptor according to an embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional view showing the structure of a susceptor according to another embodiment of the present invention.
10 is a view illustrating a process of manufacturing a susceptor according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
Hereinafter, a specific embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 실시예에 따른 서셉터(100)는, 도 4, 8에 도시된 바와 같이, 서셉터 본체(110), 판형 메탈폼 히터(120), 전기 공급부(130) 및 처짐 방지수단(140)을 포함하여 구성될 수 있다. 4 and 8, the susceptor 100 according to the present embodiment includes the susceptor body 110, the plate-shaped metal foam heater 120, the electric power supply unit 130, and the sag prevention unit 140 And the like.

먼저 상기 서셉터 본체(110)는 그 상면에 공정 처리될 기판이 장착되는 구성요소로서, 기판에 효과적으로 열을 전달하기 위하여 열전도성이 우수한 금속 소재로 이루어지며, 예를 들어 알루미늄으로 이루어질 수 있다. 상기 서셉터 본체(110)의 하면에는 후술하는 판형 메탈폼 히터(120) 등의 설치를 위하여 설치홈(112)이 가공되어 형성된다. First, the susceptor body 110 is a component for mounting a substrate to be processed on the upper surface of the susceptor body 110. The susceptor body 110 is made of a metal material having excellent thermal conductivity for effectively transmitting heat to the substrate, for example, aluminum. A mounting groove 112 is formed on the lower surface of the susceptor body 110 for mounting a plate-shaped metal mold heater 120 and the like.

다음으로 상기 판형 메탈폼 히터(120)는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 서셉터 본체(110)의 내부 전영역에 설치되며, 외부에서 공급되는 전기에 의하여 발열하는 구성요소이다. 본 실시예에서는 열선 형태의 히터를 매립하는 것이 아니라, 넓은 면적을 가지면서도 그 면적에 대하여 동일한 온도로 가열할 수 있는 판형 메탈폼 히터(120)를 서셉터 본체(110)의 전영역에 걸쳐서 설치하므로, 대면적 기판을 장착하기 위한 서셉터에 대해서도 각 부분별로 온도편차 발생없이 균일하게 가열할 수 있는 장점이 있다. Next, as shown in FIG. 4, the plate-shaped metal foam heater 120 is installed in the entire interior region of the susceptor body 110, and is a component that generates heat by electricity supplied from the outside. In this embodiment, instead of embedding a heater in the form of a hot wire, a plate-shaped metal form heater 120 having a large area and capable of heating at the same temperature with respect to its area is installed over the entire area of the susceptor main body 110 Therefore, the susceptor for mounting a large area substrate can also be uniformly heated without generating a temperature deviation for each part.

본 실시예에서 상기 판형 메탈폼 히터(120)는 구체적으로 도 4에 도시된 바와 같이, 외곽 히터(122), 중앙 히터(124) 및 중심 히터(126)로 구분되어 설치될 수 있다. 이는 가열 과정에서 서셉터(110)의 외곽 부분, 중앙 부분 및 중심 부분에서 필연적으로 발생하는 온도 편차를 보정하기 위한 것이다. 4, the plate-shaped metal mold heater 120 may be divided into an outer heater 122, a central heater 124, and a center heater 126. In this embodiment, This is for correcting temperature deviations inevitably occurring in the outer portion, central portion and central portion of the susceptor 110 during the heating process.

즉, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 외곽 히터(122), 중앙 히터(124) 및 중심 히터(126)를 분리하여 설치하고, 각 히터별로 독립하여 전기 공급부(130)를 설치하여, 각 히터를 독립적으로 제어하는 것이다. 이러한 영역별 독립 온도 제어를 통하여 대면적 서셉터(100)의 전 영역에 대하여 온도 편차 발생을 최소화한 상태에서 기판을 균일하게 가열할 수 있는 것이다. 4, the outer heater 122, the central heater 124, and the center heater 126 are separately provided, and the electric supply unit 130 is provided independently for each heater, Respectively. The substrate can be uniformly heated in a state in which the occurrence of temperature variation is minimized over the entire area of the large area susceptor 100 through the independent temperature control for each area.

한편 본 실시예에서 상기 전기 공급부(130)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 메탈폼 히터(120)의 마주 보는 양 측면에 각각 연결되어 설치되되, 상기 메탈폼 히터(120)의 다수 지점에 연결되어 상기 메탈폼 히터(120)의 다수 지점에 대하여 동시에 전기를 공급하는 것이 바람직하다. 즉, 넓은 면적을 가지는 판상의 메탈폼 히터(120)의 한 지점에만 전기를 인가하면 부하가 집중되어 효율이 낮아지고, 가열 속도가 낮은 문제점을 발생시키므로, 도 4에 도시된 바와 같이, 메탈폼 히터(120)의 마주보는 양 측면 전 영역에 걸쳐서 각각 전기 공급부(130)를 설치하고, 양 측면의 다수 지점에서 동시에 전기를 공급하여 효율과 속도를 향상시키는 것이다. 4, the electric supply unit 130 is connected to both opposite sides of the metal foam heater 120, and the metal foam heater 120 is connected to a plurality of points of the metal foam heater 120, So that electricity is simultaneously supplied to a plurality of points of the metal foam heater 120. That is, when electricity is applied only to one point of the plate-shaped metal foam heater 120 having a large area, the load is concentrated and the efficiency is lowered and the heating speed is low. As shown in FIG. 4, The electric power supply unit 130 is provided over the entire area of both opposite sides of the heater 120 and electric power is supplied simultaneously to a plurality of points on both sides to improve efficiency and speed.

본 실시예에서 상기 메탈폼 히터(120)는, Ni, Fe, Cr, Al, Mo 중 어느 하나로 이루어지는 것이 바람직하다. 한편 상기 메탈폼 히터(120)는, Fe, Ni, Cr, Al 합금 또는 Fe, Cr, Al 합금으로 이루어질 수도 있으며, 합금으로 이루어지는 경우에는, 합금 성분 중 Fe의 성분 비율이 60% 이상인 것이 바람직하다. In this embodiment, the metal foam heater 120 is preferably made of one of Ni, Fe, Cr, Al, and Mo. The metal foam heater 120 may be made of Fe, Ni, Cr, Al alloy, Fe, Cr, or Al alloy. When the alloy is made of an alloy, the composition ratio of Fe is preferably 60% .

다음으로 상기 처짐 방지 수단(140)은, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 서셉터 본체(110)의 하측에 결합되어 설치되며, 상기 서셉터 본체(110)의 처짐 현상을 방지하는 구성요소이다. 이를 위하여 본 실시예에서는 상기 처짐 방지 수단(140)을 도 5에 도시된 바와 같이, 처짐 방지 본체(142)와 처짐 방지부재(144)로 구성할 수 있다. Next, as shown in FIG. 8, the deflection preventing means 140 is a component that is coupled to the lower side of the susceptor main body 110 and prevents sagging phenomenon of the susceptor main body 110 . For this purpose, in the present embodiment, the deflection preventing means 140 may be composed of a deflection preventing body 142 and a deflection preventing member 144 as shown in FIG.

상기 처짐 방지 본체(142)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 서셉터 본체(110)의 하면에 설치되는 것으로서, 상면에 설치홈(141)이 형성되는 구성요소이며, 상기 서셉터 본체(110)와 동일한 소재로 이루어지는 것이 바람직하다. As shown in FIG. 8, the droop preventing main body 142 is a component provided on the lower surface of the susceptor main body 110 and having a mounting groove 141 formed on the upper surface thereof, and the susceptor main body 110 are preferably made of the same material.

그리고 상기 처짐 방지부재(144)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 설치홈(141) 내에 삽입되어 설치되어 상기 서셉터 본체(110)의 처짐을 방지하는 구성요소이다. 이를 위해 본 실시예에서 상기 처짐 방지부재(144)는 상기 서셉터 본체(110)의 재질보다 강성이 강한 소재로 이루어지는 것이 바람직하며, 예를 들어 스테인레스스틸이나 티타늄으로 이루어지는 것이 바람직하다. 5, the deflection preventing member 144 is inserted into the mounting groove 141 to prevent deflection of the susceptor main body 110. As shown in FIG. For this, the sag preventing member 144 is preferably made of a material having higher rigidity than the material of the susceptor main body 110, and is preferably made of, for example, stainless steel or titanium.

한편 본 실시예에서는 상기 처짐 방지수단(140)의 중간 부분이 하측으로 처지는 것을 방지하기 위하여 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 처짐 방지수단(140)의 중간 부위에 고정 볼트(150)를 더 구비할 수도 있다. 상기 고정 볼트(150)는 상기 처짐 방지수단(140)을 상기 서셉터 본체(110)의 하면에 견고하게 고정하여 하측으로 처지는 것을 방지한다.
9, in order to prevent the middle portion of the sagging preventing unit 140 from being sagged downward, the fixing bolt 150 is further provided at an intermediate portion of the sagging preventing unit 140 as shown in FIG. You may. The fixing bolt 150 firmly fixes the sag prevention unit 140 on the lower surface of the susceptor main body 110 to prevent sagging downward.

이하에서는 전술한 서셉터(100)의 제조 과정을 간단하게 설명한다. Hereinafter, a manufacturing process of the susceptor 100 will be briefly described.

먼저 도 7을 참조하여 처짐 방지수단(140)을 제조하는 과정을 도시한다. First, the process of manufacturing the deflection preventing means 140 will be described with reference to FIG.

본 실시예에 따른 처짐 방지수단(140)은 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 서셉터 본체(110) 하면의 설치홈(112)에 삽입될 수 있는 크기로 준비된 처짐 방지 본체(142)의 상면에 처짐 방지부재(144)의 삽입을 위한 삽입홈(141)을 형성하는 단계로 시작된다. 삽입홈(141)을 형성한 후에는, 상기 삽입홈(141) 내에 처짐 방지부재(144)를 삽입한다. 이때 상기 처짐 방지부재(144)는 상기 삽입홈(141)의 크기보다 약간 작은 크기로 준비되는 것이, 열팽창 계수의 차이에 의한 변형을 수용할 수 있어서 바람직하다. 7, the deflection preventing means 140 according to the present embodiment includes an upper surface of the sag preventing main body 142 prepared to be inserted into the mounting groove 112 of the lower surface of the susceptor main body 110, And the insertion groove 141 for insertion of the deflection preventing member 144 into the insertion groove 141. [ After the insertion groove 141 is formed, the anti-sag preventing member 144 is inserted into the insertion groove 141. At this time, it is preferable that the deflection preventing member 144 is prepared to have a size slightly smaller than the size of the insertion groove 141, because deformation due to a difference in thermal expansion coefficient can be accommodated.

이 상태에서 상기 삽입홈(141) 중 상기 처짐 방지 부재(144)의 상측에 덮개(146)를 덮고, 용접(148)을 하여 처짐 방지 부재(144) 및 덮개(146)를 고정한다. 이때 상기 덮개(146)는 상기 처짐 방지 본체(142)와 동일한 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.
In this state, the lid 146 is covered on the upper side of the sagging preventing member 144 of the insertion groove 141, and the sagging preventing member 144 and the lid 146 are fixed by welding 148. At this time, it is preferable that the lid 146 is made of the same material as the slack preventing main body 142.

다음으로는 도 10을 참조하여 본 실시예에 따른 서셉터(100)의 조립 과정을 설명한다. Next, an assembling process of the susceptor 100 according to the present embodiment will be described with reference to FIG.

먼저 서셉터 본체(110)를 준비하되, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 서셉터 본체(110)의 하면에 상기 처짐 방지수단(140)과 면상 메탈폼 히터(120)가 삽입될 수 있는 크기의 설치홈(112)을 형성한다. 이 상태에서 전술한 제조과정에서 제조된 처짐 방지수단(140)의 상면에 하부 절연판(160)을 설치한다. 이 하부 절연판(160)은 상기 면상 메탈폼 히터(120)와 처짐 방지수단(140)을 전기적으로 절연하는 역할을 한다. 10, the susceptor main body 110 is prepared, and the sagging preventing means 140 and the surface metal mold heater 120 can be inserted into the lower surface of the susceptor main body 110 Thereby forming an installation groove 112 of the base plate 110. [ In this state, the lower insulation plate 160 is installed on the upper surface of the deflection preventing means 140 manufactured in the manufacturing process described above. The lower insulating plate 160 electrically insulates the surface metal foam heater 120 from the sag prevention unit 140.

그리고 상기 하부 절연판(160) 상에 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 면상 메탈폼 히터(120)를 설치하고, 그 상면에 상부 절연판(170)을 설치한다. 이렇게 조립된 처짐 방지수단(140)과 히터(120)의 조립체를 상기 서셉터 본체(110)의 설치홈(112)에 삽입하고, 상기 서셉터 본체(110)와 처짐 방지 본체(142) 사이의 경계면을 용접(180) 등을 통하여 밀봉 및 결합시킨다. As shown in FIG. 10, the planar metal mold heater 120 is disposed on the lower insulating plate 160, and an upper insulating plate 170 is provided on the upper surface thereof. The assembly of the assembled deflection preventing means 140 and the heater 120 is inserted into the mounting groove 112 of the susceptor main body 110 and the assembly between the susceptor main body 110 and the sag prevention main body 142 And the interface is sealed and bonded through welding 180 or the like.

1 : 종래의 서셉터 10 : 종래의 서셉터 바디
20 : 종래의 서셉터 샤프트 30 : 종래의 열선 히터
100 : 본 발명의 일 실시예에 따른 서셉터
110 : 서셉터 본체 120 : 판상 메탈폼 히터
130 : 전기 공급부 140 : 처짐 방지수단
150 : 고정 볼트 160 : 하부 절연판
170 : 상부 절연판 180 : 용접 부분 1: conventional susceptor 10: conventional susceptor body
20: Conventional susceptor shaft 30: Conventional heat wire heater
100: A susceptor according to an embodiment of the present invention
110: susceptor body 120: plate-shaped metal foam heater
130: electric power supply unit 140: means for preventing sag
150: fixing bolt 160: lower insulating plate
170: upper insulating plate 180: welding portion

Claims (9)

상면에 기판이 장착되는 서셉터 본체;
상기 서셉터 본체의 내부 전영역에 설치되며, 외부에서 공급되는 전기에 의하여 발열하는 판형 메탈폼 히터;
상기 메탈폼 히터에 전기를 공급하는 전기 공급부;를 포함하며,
상기 전기 공급부는,
상기 메탈폼 히터의 마주 보는 양 측면에 연결되되, 상기 메탈폼 히터의 다수 지점에 연결되어 상기 메탈폼 히터의 다수 지점에 대하여 동시에 전기를 공급하는 것을 특징으로 하는 서셉터.A suscepter body to which a substrate is mounted;
A plate-shaped metal mold heater installed in the entire inner region of the susceptor body and generating heat by electricity supplied from the outside;
And an electric supply unit for supplying electricity to the metal foam heater,
The electric power supply unit includes:
Wherein the susceptor is connected to opposite sides of the metal foam heater and connected to a plurality of points of the metal foam heater to simultaneously supply electricity to a plurality of points of the metal foam heater. 제1항에 있어서, 상기 메탈폼 히터는,
상기 서셉터 본체의 외곽 부분에 설치되는 외곽히터;
상기 서셉터 본체 중 상기 외곽히터의 내측에 설치되는 중앙 히터;
상기 서셉터 본체 중 상기 중앙 히터의 내측에 설치되는 중심 히터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터.The metal mold heater according to claim 1,
An outer heater installed at an outer portion of the susceptor main body;
A central heater installed inside the outer heater of the susceptor main body;
And a central heater disposed inside the central heater among the susceptor main bodies. 제2항에 있어서, 상기 전기 공급부는,
상기 외곽히터, 중앙히터 및 중심 히터 별로 독립되어 설치되는 것을 특징으로 하는 서셉터.The electric power supply system according to claim 2,
Wherein the outer heater, the central heater, and the center heater are independently provided for each of the outer heater, the central heater, and the center heater. 삭제delete 제2항에 있어서, 상기 메탈폼 히터는,
Ni, Fe, Cr, Al, Mo 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 서셉터.The metal mold heater according to claim 2,
Ni, Fe, Cr, Al, and Mo. 제2항에 있어서, 상기 메탈폼 히터는,
Fe, Ni, Cr, Al 합금 또는 Fe, Cr, Al 합금이며, 합금 성분 중 Fe의 성분 비율이 60% 이상인 것을 특징으로 하는 서셉터.The metal mold heater according to claim 2,
Fe, Ni, Cr, an Al alloy or an Fe, Cr, Al alloy, and the composition ratio of Fe in the alloy component is 60% or more. 제1항에 있어서,
상기 서셉터 본체의 하측에 결합되어 설치되며, 상기 서셉터 본체의 처짐을 방지하는 처짐 방지 수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 서셉터.The method according to claim 1,
And a sag preventing unit coupled to a lower side of the susceptor main body to prevent deflection of the susceptor main body. 제7항에 있어서, 상기 처짐 방지 수단은,
상기 서셉터 본체와 동일한 재질로 이루어지며, 상면에 설치홈이 형성되는 처짐 방지 본체;
상기 설치홈 내에 삽입되어 설치되며, 상기 서셉터 본체의 재질보다 강성이 강한 소재로 이루어지는 처짐 방지부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 서셉터.8. The apparatus according to claim 7,
A sag preventing main body made of the same material as the susceptor main body and having an installation groove formed on an upper surface thereof;
And a sag preventing member inserted in the installation groove and made of a material having a higher rigidity than the material of the susceptor main body. 제8항에 있어서, 상기 처짐 방지부재는,
스테인레스 스틸 또는 티타늄으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 서셉터.9. The apparatus according to claim 8, wherein the deflection-
Wherein the susceptor is made of stainless steel or titanium.
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