KR20170052329A - 기판 처리 장치 및 검사 방법 - Google Patents

기판 처리 장치 및 검사 방법 Download PDF

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KR20170052329A
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강병철
김경모
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은 기판 처리 장치 및 검사 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치는 내부에 공간을 가지는 챔버와 상기 공간에 위치하며, 기판을 지지하는 지지 유닛과 상기 지지 유닛에 놓인 기판으로 액을 공급하는 노즐과 상기 노즐에 액을 공급하는 액 공급라인을 포함하는 액 공급 유닛과 그리고 상기 액 공급라인에 설치되는 측정 유닛을 포함하되 상기 측정 유닛은 상기 액 공급라인에 설치되며, 상기 액을 통과한 초음파의 도달시간을 측정하는 제1측정기와 상기 액 공급라인에 설치되며 상기 제1측정기보다 하류에 위치하고, 상기 액을 통과한 초음파의 도달시간을 측정하는 제2측정기와 그리고 상기 제1측정기와 상기 제2측정기에서 측정된 초음파의 도달시간으로 상기 액의 온도 상태를 검출하는 판단 부재를 포함하는 기판 처리 장치를 포함한다.

Description

기판 처리 장치 및 검사 방법{Apparatus for treating a substrate and Inspection method}
본 발명은 기판에 공급되는 액의 상태를 검사하는 기판 처리 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.
반도체 소자가 고밀도, 고집적화, 고성능화됨에 따라 회로 패턴의 미세화가 급속히 진행됨으로써, 기판 표면에 잔류하는 파티클(Particle), 유기 오염물, 금속 오염물 등의 오염 물질은 소자의 특성과 생산 수율에 많은 영향을 미치게 된다. 이 때문에 기판 표면에 부착된 각종 오염 물질을 제거하는 세정 공정이 반도체 제조 공정에서 매우 중요하게 대두되고 있으며, 반도체를 제조하는 각 단위 공정의 전후 단계에서 기판을 세정 처리하는 공정이 실시되고 있다.
한편, 기판에 액을 공급하여 공급하는 공정에서 기판에 액을 공급하기 전에 기판의 액의 상태를 미리 확인한다. 일 예로 공급되는 처리액에 따라, 처리액의 유량, 온도 등을 기판에 공급 전에 검사하여 기판 처리 공정에 불량을 방지한다.
기판에 공급되는 액의 유량은 유량계를 통해서 측정하며, 기판의 공급되는 액의 온도는 별도의 온도 센서로 측정한다. 유량계와 온도 센서는 기판에 액을 공급하는 액 공급관에 설치되어 액의 유량과 온도를 검사한다. 다만, 유량계와 온도 센서를 액 공급관에 설치하는 경우 공급관의 공간이 협소하여 유량계와 온도 센서를 모두 설치하는 것이 어려운 문제점이 있다.
본 발명은 기판에 공급되는 액의 온도를 예측하는 기판 처리 장치 및 검사 방법을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 기판에 공급되는 액의 유량과 온도 예측을 유량계를 통해 수행하는 기판 처리 장치 및 검사 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 기판을 처리하는 장치를 제공한다.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 기판 처리 장치는 내부에 공간을 가지는 챔버와 상기 공간에 위치하며, 기판을 지지하는 지지 유닛과 상기 지지 유닛에 놓인 기판으로 액을 공급하는 노즐과 상기 노즐에 액을 공급하는 액 공급라인을 포함하는 액 공급 유닛과 그리고 상기 액 공급라인에 설치되는 측정 유닛을 포함하되 상기 측정 유닛은 상기 액 공급라인에 설치되며, 상기 액을 통과한 초음파의 도달시간을 측정하는 제1측정기와 상기 액 공급라인에 설치되며 상기 제1측정기보다 하류에 위치하고, 상기 액을 통과한 초음파의 도달시간을 측정하는 제2측정기와 그리고 상기 제1측정기와 상기 제2측정기에서 측정된 초음파의 도달시간으로 상기 액의 온도 상태를 검출하는 판단 부재를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 판단 부재는 상기 제1측정기에서 발신된 초음파를 상기 제2측정기에서 수신하여 상기 초음파가 상기 액을 통과한 시간을 측정하는 제1연산과 상기 제2측정기에서 발신된 초음파를 상기 제1측정기에서 수신하여 상기 초음파가 상기 액을 통과한 시간을 측정하는 제2연산과 상기 제1연산과 상기 제2연산에서 구한 상기 초음파 통과시간의 차이를 계산하는 제3연산을 수행하며 상기 판단 부재는 상기 제3연산에 산출한 상기 초음파 통과시간의 차이값이 상기 액의 기설정된 온도에서 구한 값과 비교하여 설정범위를 벗어나는 경우 상기 액의 온도를 이상 상태로 판단할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 측정 유닛은 상기 판단 부재에서 상기 액의 온도 상태를 이상 상태로 판정 시 경고해주는 경고 부재를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 액 공급 라인은 제1라인과 상기 제1라인과 수직하게 연결되는 제2라인과 그리고 상기 제1라인과 서로 마주보며 위치하고, 상기 제2라인과 수직하게 연결되는 제3라인을 포함하며 상기 제1측정기와 상기 제2측정기는 상기 제2라인의 기준으로 서로 마주보며 위치하며, 상기 제2라인에 설치될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 액은 이소프로필알코올을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1측정기와 상기 제2측정기는 각각 초음파 유량 센서로 제공될 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 의하면, 상기 기판 처리 장치는 내부에 공간을 가지는 챔버와 상기 공간에 위치하며, 기판을 지지하는 지지 유닛과 상기 지지 유닛에 놓인 기판으로 액을 공급하는 노즐과 상기 노즐에 액을 공급하는 액 공급라인을 포함하는 액 공급 유닛과 그리고 상기 액 공급라인에 설치되는 측정 유닛을 포함하되 상기 측정 유닛은 상기 액 공급라인에 설치되며, 상기 액을 통과한 초음파의 도달시간을 측정하는 제1측정기와 상기 액 공급라인에 설치되며 상기 제1측정기보다 하류에 위치하고, 상기 액을 통과한 초음파의 도달시간을 측정하는 제2측정기와 그리고 상기 제1측정기와 상기 제2측정기에서 측정된 초음파의 도달시간으로 상기 액의 유량 및 상기 액의 온도 상태를 검출하는 판단 부재를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 판단 부재는 상기 제1측정기에서 발신된 초음파를 상기 제2측정기에서 수신하여 상기 초음파가 상기 액을 통과한 시간을 측정하는 제1연산과 상기 제2측정기에서 발신된 초음파를 상기 제1측정기에서 수신하여 상기 초음파가 상기 액을 통과한 시간을 측정하는 제2연산과 상기 제1연산과 상기 제2연산에서 구한 상기 초음파 통과시간의 차이를 계산하는 제3연산을 수행하며 상기 판단 부재는 상기 제3연산에서 산출한 상기 초음파 통과시간의 차이값으로 상기 액의 유량을 산출하여 이를 기설정된 유량값과 비교하여 설정범위를 벗어나는 경우 상기 액의 유량을 이상 상태로 판정하며 상기 제3연산에 산출한 상기 초음파 통과시간의 차이값이 상기 액의 기설정된 온도에서 구한 값과 비교하여 설정범위를 벗어나는 경우 상기 액의 온도를 이상 상태로 판단할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 측정 유닛은 상기 판단 부재에서 상기 액의 유량의 이상 상태 또는 상기 액의 온도 상태를 이상 상태로 판정 시 경고해주는 경고 부재를 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 액 공급 라인은 제1라인과 상기 제1라인과 수직하게 연결되는 제2라인과 그리고 상기 제1라인과 서로 마주보며 위치하고, 상기 제2라인과 수직하게 연결되는 제3라인을 포함하며 상기 제1측정기와 상기 제2측정기는 상기 제2라인의 기준으로 서로 마주보며 위치하며, 상기 제2라인에 설치될 수 있다.
일 실시 예에 의하면 상기 액은 이소프로필알코올을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1측정기와 상기 제2측정기는 각각 초음파 유량 센서로 제공될 수 있다.
본 발명은 기판에 공급되는 액의 온도 상태를 검출하는 검사 방법을 제공한다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 검사 방법은 상기 액이 흐르는 유로의 상류 및 하류에 위치하는 제1측정기와 제2측정기로 상기 액에 초음파를 각각 발신하는 초음파 발신 단계와 상기 제1측정기에서 발신된 초음파를 상기 제2측정기에서 수신하여 상기 초음파가 상기 액을 통과한 시간을 측정하는 제1연산과 상기 제2측정기에서 발신된 초음파를 상기 제1측정기에서 수신하여 상기 초음파가 상기 액을 통과한 시간을 측정하는 제2연산과 상기 제1연산과 상기 제2연산에서 구한 상기 초음파 통과시간의 차이를 계산하는 제3연산을 수행하는 연산 단계와 그리고 상기 제3연산에서 산출한 상기 초음파 통과시간의 차이값으로 상기 액의 온도 상태를 검사하는 검사 단계를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 검사 단계에서 상기 제3연산에 산출한 상기 초음파 통과시간의 차이값이 상기 액의 기설정된 온도에서 구한 값과 비교하여 설정범위를 벗어나는 경우 상기 액의 온도를 이상 상태로 판단할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 검사 단계는 상기 액의 온도 상태를 이상 상태로 판정 시 이를 경고해줄 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 액은 이소프로필알코올을 포함할 수 있다.
본 발명은 기판에 공급되는 액의 유량 및 온도 상태를 검출하는 검사 방법을 제공한다. 본 발명읠 일 실시 예에 따르면, 상기 검사 방법은 상기 액이 흐르는 유로의 상류 및 하류에 위치하는 제1측정기와 제2측정기로 상기 액에 초음파를 각각 발신하는 초음파 발신 단계와 상기 제1측정기에서 발신된 초음파를 상기 제2측정기에서 수신하여 상기 초음파가 상기 액을 통과한 시간을 측정하는 제1연산과 상기 제2측정기에서 발신된 초음파를 상기 제1측정기에서 수신하여 상기 초음파가 상기 액을 통과한 시간을 측정하는 제2연산과 상기 제1연산과 상기 제2연산에서 구한 상기 초음파 통과시간의 차이를 계산하는 제3연산을 수행하는 연산 단계와 그리고 상기 제3연산에서 산출한 상기 초음파 통과시간의 차이값으로 상기 액의 유량 및 상기 액의 온도 상태를 검사하는 검사 단계를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 검사 단계에서 상기 제3연산에서 산출한 상기 초음파 통과시간의 차이값으로 상기 액의 유량을 산출하며, 이를 기설정된 유량값과 비교하여 설정범위를 벗어나는 경우 상기 액의 유량을 이상 상태로 판정하며 상기 제3연산에 산출한 상기 초음파 통과시간의 차이값이 상기 액의 기설정된 온도에서 구한 값과 비교하여 설정범위를 벗어나는 경우 상기 액의 온도를 이상 상태로 판단할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 검사 단계는 상기 액의 유량 또는 상기 액의 온도 상태를 이상 상태로 판정 시 이를 경고해줄 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 액은 이소프로필알코올을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판에 공급되는 액의 온도를 별도의 온도 센서 없이 유량계를 통해서 예측 가능하여 기판 처리 공정에 효율을 향상 시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판에 공급되는 액의 유량 및 액의 온도 상태를 유량계를 통해서 예측 가능하여 기판 처리 공정에 효율을 향상 시킬 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 설비를 보여주는 평면도이다.
도 2는 도 1의 공정 챔버에 제공되는 기판 처리 장치를 보여주는 단면도이다.
도 3은 도 1의 측정 유닛을 보여주는 단면도이다.
도 4 내지 도 6은 도 3의 측정 유닛으로 제1연산, 제2연산 그리고 제3연산을 수행하는 것을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 7은 도 3의 측정 유닛으로 액의 유량을 측정하는 것을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 검사 방법을 보여주는 플로우 차트이다.
도 9는 설정 온도에 따른 이소프로필알코올 내부를 통과한 초음파의 도달시간을 보여주는 표이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 설비를 보여주는 평면도이다. 도 1을 참조하면, 기판 처리 설비(1)는 인덱스 모듈(10)과 공정 처리 모듈(20)을 포함한다. 인덱스 모듈(10)은 로드포트(120) 및 이송프레임(140)을 가진다. 로드포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정 처리 모듈(20)은 순차적으로 일렬로 배열된다. 이하, 로드포트(120), 이송프레임(140), 그리고 공정 처리 모듈(20)이 배열된 방향을 제1방향(12)이라 한다. 그리고 상부에서 바라볼 때 제1방향(12)과 수직한 방향을 제2방향(14)이라 하고, 제1방향(12)과 제2방향(14)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제3방향(16)이라 한다.
로드포트(120)에는 기판(W)이 수납된 캐리어(130)가 안착된다. 로드포트(120)는 복수 개가 제공되며 이들은 제2방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 도 1에서는 네 개의 로드포트(120)가 제공된 것으로 도시하였다. 그러나 로드포트(120)의 개수는 공정 처리 모듈(20)의 공정효율 및 풋 프린트 등의 조건에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다. 캐리어(130)에는 기판(W)의 가장자리를 지지하도록 제공된 슬롯(도시되지 않음)이 형성된다. 슬롯은 제3방향(16)을 복수 개가 제공되고, 기판(W)은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 캐리어 내에 위치된다. 캐리어(130)로는 전면 개방 일체형 포드(Front Opening Unified Pod;FOUP)가 사용될 수 있다.
공정 처리 모듈(20)은 버퍼유닛(220), 이송챔버(240), 그리고 공정챔버(260)를 가진다. 이송챔버(240)는 그 길이 방향이 제1방향(12)과 평행하게 배치된다. 제2방향(14)를 따라 이송챔버(240)의 일측 및 타측에는 각각 공정챔버들(260)이 배치된다. 이송챔버(240)의 일측에 위치한 공정챔버들(260)과 이송챔버(240)의 타측에 위치한 공정챔버들(260)은 이송챔버(240)를 기준으로 서로 대칭이 되도록 제공된다. 공정챔버(260)들 중 일부는 이송챔버(240)의 길이 방향을 따라 배치된다. 또한, 공정챔버(260)들 중 일부는 서로 적층되게 배치된다. 즉, 이송챔버(240)의 일측에는 공정챔버(260)들이 A X B(A와 B는 각각 1이상의 자연수)의 배열로 배치될 수 있다. 여기서 A는 제1방향(12)을 따라 일렬로 제공된 공정챔버(260)의 수이고, B는 제3방향(16)을 따라 일렬로 제공된 공정챔버(260)의 수이다. 이송챔버(240)의 일측에 공정 챔버(260)가 4개 또는 6개 제공되는 경우, 공정챔버(260)들은 2 X 2 또는 3 X 2의 배열로 배치될 수 있다. 공정챔버(260)의 개수는 증가하거나 감소할 수도 있다. 상술한 바와 달리, 공정챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측에만 제공될 수 있다. 또한, 상술한 바와 달리, 공정챔버(260)는 이송챔버(240)의 일측 및 양측에 단층으로 제공될 수 있다.
버퍼유닛(220)은 이송프레임(140)과 이송챔버(240) 사이에 배치된다. 버퍼 유닛(220)은 이송챔버(240)와 이송프레임(140) 간에 기판(W)이 반송되기 전에 기판(W)이 머무르는 공간을 제공한다. 버퍼유닛(220)은 그 내부에 기판(W)이 놓이는 슬롯(미도시)이 제공되며, 슬롯(미도시)들은 서로 간에 제3방향(16)을 따라 이격되도록 복수 개 제공된다. 버퍼유닛(220)에서 이송프레임(140)과 마주보는 면과 이송챔버(240)와 마주보는 면 각각이 개방된다.
이송프레임(140)은 로드포트(120)에 안착된 캐리어(130)와 버퍼유닛(220) 간에 기판(W)을 반송한다. 이송프레임(140)에는 인덱스레일(142)과 인덱스로봇(144)이 제공된다. 인덱스레일(142)은 그 길이 방향이 제2방향(14)과 나란하게 제공된다. 인덱스로봇(144)은 인덱스레일(142) 상에 설치되며, 인덱스레일(142)을 따라 제2방향(14)으로 직선 이동된다. 인덱스로봇(144)은 베이스(144a), 몸체(144b), 그리고 인덱스암(144c)을 가진다. 베이스(144a)는 인덱스레일(142)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(144b)는 베이스(144a)에 결합된다. 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(144b)는 베이스(144a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 몸체(144b)에 결합되고, 몸체(144b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 인덱스암(144c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다. 인덱스암(144c)들 중 일부는 공정처리모듈(20)에서 캐리어(130)로 기판(W)을 반송할 때 사용되고, 다른 일부는 캐리어(130)에서 공정처리모듈(20)로 기판(W)을 반송할 때 사용될 수 있다. 이는 인덱스로봇(144)이 기판(W)을 반입 및 반출하는 과정에서 공정 처리 전의 기판(W)으로부터 발생된 파티클이 공정 처리 후의 기판(W)에 부착되는 것을 방지할 수 있다.
이송챔버(240)는 버퍼유닛(220)과 공정챔버(260) 간에, 그리고 공정챔버(260)들 간에 기판(W)을 반송한다. 이송챔버(240)에는 가이드레일(242)과 메인로봇(244)이 제공된다. 가이드레일(242)은 그 길이 방향이 제1방향(12)과 나란하도록 배치된다. 메인로봇(244)은 가이드레일(242) 상에 설치되고, 가이드레일(242) 상에서 제1방향(12)을 따라 직선 이동된다. 메인로봇(244)은 베이스(244a), 몸체(244b), 그리고 메인암(244c)을 가진다. 베이스(244a)는 가이드레일(242)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(244b)는 베이스(244a)에 결합된다. 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 몸체(244b)에 결합되고, 이는 몸체(244b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 메인암(244c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다. 버퍼유닛(220)에서 공정챔버(260)로 기판(W)을 반송할 때 사용되는 메인암(244c)과 공정챔버(260)에서 버퍼유닛(220)으로 기판(W)을 반송할 때 사용되는 메인암(244c)은 서로 상이할 수 있다.
공정챔버(260) 내에는 기판(W)에 대해 세정 공정을 수행하는 기판 처리 장치(300)가 제공된다. 각각의 공정챔버(260) 내에 제공된 기판 처리 장치(300)는 수행하는 세정 공정의 종류에 따라 상이한 구조를 가질 수 있다. 선택적으로 각각의 공정챔버(260) 내의 기판 처리 장치(300)는 동일한 구조를 가질 수 있다. 선택적으로 공정챔버(260)들은 복수 개의 그룹으로 구분되어, 동일한 그룹에 속하는 공정챔버(260)에 제공된 기판처리장치(300)들은 서로 동일한 구조를 가지고, 상이한 그룹에 속하는 공정챔버(260)에 제공된 기판 처리 장치(300)들은 서로 상이한 구조를 가질 수 있다. 예컨대, 공정챔버(260)가 2개의 그룹으로 나누어지는 경우, 이송챔버(240)의 일측에는 제1그룹의 공정챔버들(260)이 제공되고, 이송챔버(240)의 타측에는 제2그룹의 공정 챔버들(260)이 제공될 수 있다. 선택적으로 이송챔버(240)의 일측 및 타측 각각에서 하층에는 제1그룹의 공정챔버(260)들이 제공되고, 상층에는 제2그룹의 공정챔버(260)들이 제공될 수 있다. 제1그룹의 공정챔버(260)와 제2그룹의 공정챔버(260)는 각각 사용되는 케미컬의 종류나, 세정 방식의 종류에 따라 구분될 수 있다.
아래에서는 처리액을 이용하여 기판(W)을 세정하는 기판 처리 장치(300)의 일 예를 설명한다. 도 2는 도 1의 공정 챔버에 제공되는 기판 처리 장치의 구성을 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 2를 참조하면, 기판 처리 장치(300)는 챔버(310), 컵(320), 지지 유닛(330), 승강 유닛(340), 액 공급 유닛(360) 그리고 측정 유닛(380)을 포함한다.
챔버(310)은 내부에 공간을 제공한다. 챔버(310)의 내부에는 컵(320)이 위치한다.
컵(320)은 기판 처리 공정이 수행되는 처리 공간을 제공한다. 컵(320)은 상부가 개방된 형상으로 제공된다. 컵(320)은 내부회수통(322), 중간회수통(324), 그리고 외부회수통(326)을 포함한다. 각각의 회수통(322,324,326)은 공정에 사용된 처리액 중 서로 상이한 처리액을 회수한다. 내부회수통(322)은 지지 유닛(330)를 감싸는 환형의 링 형상으로 제공된다. 중간회수통(324)은 내부회수통(322)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공된다. 외부회수통(326)은 중간회수통(324)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공된다. 내부회수통(322)의 내측공간(322a), 내부회수통(322)과 중간회수통(324)의 사이 공간(324a) 그리고 중간회수통(324)과 외부회수통(326)의 사이 공간(326a)은 각각 내부회수통(322), 중간회수통(324), 그리고 외부회수통(326)으로 처리액이 유입되는 유입구로서 기능한다. 각각의 회수통(322,324,326)에는 그 저면 아래 방향으로 수직하게 연장되는 회수라인(322b,324b,326b)이 연결된다. 각각의 회수라인(322b,324b,326b)은 각각의 회수통(322,324,326)을 통해 유입된 처리액을 배출한다. 배출된 처리액은 외부의 처리액 재생 시스템(미도시)을 통해 재사용될 수 있다.
지지 유닛(330)은 컵(320) 내에 배치된다. 지지 유닛(330)은 기판 처리 공정 중 기판(W)을 지지하고 기판(W)을 회전시킨다. 지지 유닛(330)은 몸체(332), 지지핀(334), 척 핀(336), 그리고 지지축(338)을 포함한다. 몸체(332)는 상부에서 바라볼 때 대체로 원형으로 제공되는 상부면을 가진다. 몸체(332)의 저면에는 모터(339)에 의해 회전가능한 지지축(338)이 고정결합된다. 지지핀(334)은 복수 개 제공된다. 지지핀(334)은 몸체(332)의 상부면의 가장자리부에 소정 간격으로 이격되게 배치되고 몸체(332)에서 상부로 돌출된다. 지지핀들(334)은 서로 간에 조합에 의해 전체적으로 환형의 링 형상을 가지도록 배치된다. 지지핀(334)은 몸체(332)의 상부면으로부터 기판(W)이 일정거리 이격되도록 기판(W)의 후면 가장자리를 지지한다.
척 핀(336)은 복수 개 제공된다. 척 핀(336)은 몸체(332)의 중심에서 지지핀(334)보다 멀리 떨어지게 배치된다. 척 핀(336)은 몸체(332)에서 상부로 돌출되도록 제공된다. 척 핀(336)은 지지 유닛(330)이 회전될 때 기판(W)이 정 위치에서 측 방향으로 이탈되지 않도록 기판(W)의 측부를 지지한다. 척 핀(336)은 몸체(332)의 반경 방향을 따라 대기 위치와 지지 위치 간에 직선 이동 가능하도록 제공된다. 대기 위치는 지지 위치에 비해 몸체(332)의 중심으로부터 멀리 떨어진 위치이다. 기판(W)이 지지 유닛(330)에 로딩 또는 언 로딩시에는 척 핀(336)은 대기 위치에 위치되고, 기판에 대해 공정 수행 시에는 척 핀(336)은 지지 위치에 위치된다. 지지 위치에서 척 핀(336)은 기판의 측부와 접촉된다.
승강 유닛(340)은 컵(320)을 상하 방향으로 직선 이동시킨다. 컵(320)이 상하로 이동됨에 따라 지지 유닛(330)에 대한 컵(320)의 상대 높이가 변경된다. 승강 유닛(340)은 브라켓(342), 이동축(344), 그리고 구동기(346)를 포함한다.
브라켓(342)은 컵(320)의 외벽에 고정설치된다. 브라켓(342)에는 구동기(346)에 의해 상하 방향으로 이동되는 이동축(344)이 고정결합된다. 기판(W)이 지지 유닛(330)에 놓이거나, 지지 유닛(330)로부터 들어올려 질 때 지지 유닛(330)이 컵(320)의 상부로 돌출되도록 컵(320)는 하강된다. 또한, 공정이 진행될 시에는 기판(W)에 공급된 처리액의 종류에 따라 처리액이 기설정된 회수통(322,324,326)으로 유입될 수 있도록 컵(320)의 높이가 조절한다.
일 예로, 제1처리액으로 기판(W)을 처리하고 있는 동안에 기판(W)은 내부회수통(322)의 내측공간(322a)과 대응되는 높이에 위치된다. 또한, 제2처리액, 그리고 제3처리액으로 기판(W)을 처리하는 동안에 각각 기판(W)은 내부회수통(322)과 중간회수통(324)의 사이 공간(324a), 그리고 중간회수통(324)과 외부회수통(326)의 사이 공간(326a)에 대응되는 높이에 위치될 수 있다. 상술한 바와 달리 승강 유닛(340)은 컵(320) 대신 지지 유닛(330)을 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.
액 공급 유닛(360)은 기판(W) 처리 공정 시 기판(W)으로 처리액을 공급한다.
액 공급 유닛은(360)은 노즐 지지대(362), 노즐(364), 지지축(366), 구동기(368), 그리고 액 공급라인(350)을 포함한다.
지지축(366)은 그 길이 방향이 제3방향(16)을 따라 제공되고, 지지축(366)의 하단에는 구동기(368)가 결합된다. 구동기(368)는 지지축(366)을 회전 및 승강 운동한다. 노즐 지지대(362)는 구동기(368)와 결합된 지지축(366)의 끝단 반대편과 수직하게 결합된다. 노즐(364)은 노즐지지대(382)의 끝단 저면에 설치된다. 노즐(364)은 구동기(368)에 의해 공정 위치와 대기 위치로 이동된다. 공정 위치는 노즐(364)이 컵(320)의 수직 상부에 배치된 위치이고, 대기 위치는 노즐(364)이 컵(320)의 수직 상부로부터 벗어난 위치이다. 노즐(364)은 액 공급 부재(370)로부터 액을 공급받아 기판(W)상으로 액을 공급한다.
액 공급 유닛(360)은 하나 또는 복수 개가 제공될 수 있다. 액 공급 유닛(360)이 복수 개 제공되는 경우, 케미칼, 린스액, 또는 유기용제는 서로 상이한 액 공급 유닛(360)을 통해 제공될 수 있다. 린스액은 순수일 수 있고, 유기용제는 이소프로필 알코올 증기와 비활성 가스의 혼합물이거나 이소프로필 알코올 액일 수 있다.
액 공급라인(350)은 외부에서 액을 공급받아 노즐(364)로 공급한다. 액 공급라인(350)에는 컷오프 밸브(371)와 석백 밸브(373)가 설치된다. 컷오프 밸브(371)는 액 공급라인(350)에 설치된다. 컷오프 밸브(371)는 노즐(364)에서 액을 공급 시 액 공급라인(350)을 개방한다. 컷오프 밸브(371)는 노즐(364)에서 액 공급을 중단 시 액 공급라인(350)을 폐쇄한다. 석백 밸브(373)는 노즐(364)에 잔류하는 액을 석백한다. 석백 밸브(373)는 액 공급라인(350)에 설치된다. 석백 밸브(373)는 컷오프 밸브(371)의 하류에 설치된다. 석백 밸브(373)는 노즐(364)에서 액 공급을 중단하면, 액 공급라인(350)에 감압을 제공하여 노즐(364)에 잔류액을 석백한다.
도 3은 도 1의 측정 유닛(380)을 보여주는 단면도이다. 이하, 도 3을 참고하면, 측정 유닛(380)은 액 공급라인(350)에 액의 온도 상태을 검출한다. 측정 유닛(380)은 액에 초음파를 통과시켜 이를 이용해 액의 온도 상태 또는 액의 유량을 측정한다. 측정 유닛(380)은 액 공급라인(350)에 설치된다. 액 공급라인(350)은 제1라인(351), 제2라인(353) 그리고 제3라인(355)을 포함한다. 제1라인(351)과 제3라인(355)은 평행하게 위치한다. 제1라인(351)과 제3라인(355)은 서로 마주보며 위치한다. 제2라인(353)은 제1라인(351)과 제3라인(355)에 수직하게 연결된다. 액은 순차적으로 제1라인(351), 제2라인(353) 그리고 제3라인(355)을 통과하여 노즐(364)로 공급된다. 일 예로 공급되는 액은 이소프로필알코올일 수 있다.
측정 유닛(380)은 제1측정기(381), 제2측정기(383), 판단 부재(385) 그리고 경고 부재(387)를 포함한다.
제1측정기(381)는 액 공급라인(350)에 초음파를 발신하며, 제2측정기(383)에서 발신된 초음파를 수신할 수 있다. 제1측정기(381)는 제2측정기(383)에서 발신되어 액을 통과한 초음파의 도달시간을 측정할 수 있다. 제1측정기(381)는 액 공급라인(350)에 설치된다. 일 예로 제1측정기(381)는 제2라인(353)에 설치된다. 제1측정기(381)는 초음파 유량 센서로 제공될 수 있다.
제2측정기(383)는 액 공급라인(350)에 초음파를 발신하며, 제1측정기(381)에서 발신된 초음파를 수신할 수 있다. 제2측정기(383)는 제1측정기(381)에서 발신되어 액을 통과한 초음파의 도달시간을 측정할 수 있다. 제2측정기(383)는 액 공급라인(350)에 설치된다. 일 예로 제2측정기(383)는 제2라인(353)에 설치된다. 제2측정기(383)는 제1측정기(381)의 하류에 위치한다. 제2측정기(383)는 제1측정기(381)와 제2라인(353)을 기준으로 서로 마주보며 위치한다. 제2측정기(383)는 초음파 유량 센서로 제공될 수 있다.
판단 부재(385)는 제1측정기(381)와 제2측정기(383)에서 측정된 초음파의 도달시간으로 액의 온도 상태를 검출할 수 있다. 판단 부재(385)는 제1연산(F1), 제2연산(F2) 그리고 제3연산(F3)을 순차적으로 수행하여 액의 온도 상태를 검출한다.
제1연산(F1)은 제1측정기(381)에서 발신된 초음파를 제2측정기(383)에서 수신하여 초음파가 액을 통과한 시간(t1)을 측정하는 연산이다. 도 4와 같이 제1측정기(381)에서 발신된 초음파는 제2라인(353) 내부에 액을 통과하여 제2측정기(383)에 수신된다. 제2측정기(383)에서는 제1측정기(381)에서 발신된 초음파가 제2측정기(383)에 도달하는 시간(t1)을 측정한다.
제2연산(F2)은 제2측정기(383)에서 발신된 초음파를 제1측정기(381)에서 수신하여 초음파가 액을 통과한 시간(t2)을 측정하는 연산이다. 도 5와 같이 제2측정기(383)에서 발신된 초음파는 제2라인(353) 내부에 액을 통과하여 제1측정기(381)에 수신된다. 제1측정기(381)에서는 제2측정기(383)에서 발신된 초음파가 제1측정기(381)에 도달하는 시간(t2)을 측정한다.
제3연산(F3)은 제1연산(F1)에서 구한 초음파 통과 시간(t1)과 제2연산(F2)에서 구한 초음파 통과 시간(t2)의 차이(Δt)를 계산한다. 판단 부재(385)는 제3연산(F3)에 산출한 초음파 통과시간의 차이값(Δt)이 액의 기설정된 온도에서 구한 값과 비교하여 설정 범위를 벗어나는 경우 액의 온도를 이상상태로 판정한다.
도 9는 설정 온도에 따른 이소프로필알코올 내부를 통과한 초음파의 도달시간을 보여주는 표이다. 이를 참고하며, 판단 부재(385)는 공급되는 이소프로필알코올이 온도별 초음파 도달시간이 표와 같으므로, 이를 토대로 제3연산(F3)에 구한 초음파 통과 시간의 차이값을 비교하여 설정 범위를 벗어나는 경우 액의 온도가 설정온도를 벗어난 것으로 판단한다.
경고 부재(387)는 판단 부재(385)에서 액의 온도 상태를 이상 상태로 판정하는 경우 경고해준다. 일 예로 경고 부재(387)는 알람과 같은 소리로 경고해 줄 수 있다. 이와는 달리, 경고 부재(387)는 경고등으로 제공되며, 액의 온도 상태가 이상 상태로 판정되는 경우 빛을 통해서 경고할 수 있다. 선택적으로 경고 부재(387)는 알람과 경고등이 모두 제공될 수도 있다.
상술한 예와는 달리, 측정 유닛(380)은 액의 유량 및 액의 온도 상태를 검출할 수 있다. 측정 유닛(380)에서 액의 온도 상태의 검출은 상술한 것과 동일하다.
측정 유닛(380)은 액의 유량을 측정할 수 있다. 도 7은 도 3의 측정 유닛(380)으로 액의 유량을 측정하는 것을 개략적으로 보여주는 도면이다. 이하, 도 7을 참고하면, 판단 부재(385)는 제1측정기(381)와 제2측정기(383)로 제1연산(F1), 제2연산(F2) 그리고 제3연산(F3)을 수행한다. 또한, 초음파가 액을 통과한 길이(L), 초음파의 속도(C), 액 공급라인(350)의 단면적(A), 액 공급라인(350)에서 액의 속도(V)를 구한다. 상술한 파라미터를 아래의 (수식 1) 내지 (수식 4)를 이용하여 액의 유량을 측정한다.
(수식 1) Q = Av
(수식 2) v = LΔt / 2t1t2
(수식 3) t1 = L / (C+V)
(수식 4) t2 = L / (C-V)
판단 부재(385)는 (수식 1) 내지 (수식 4)를 통하여 구한 유량을 기설정된 유량값과 비교하여 액의 유량의 이상 상태를 판정한다. 판단 부재(385)는 액의 유량의 이상 상태로 판정하는 경우 경고 부재(387)를 통해서 경고할 수 있다.
이하에서는 본 발명의 일 실시 예에 따른 검사 방법(S100)을 설명한다.
검사 방법(S100)은 기판에 공급되는 액의 온도 상태를 검사할 수 있다. 아래에서는 액이 이소프로필알코올인 것을 예로 들어 설명한다.
검사 방법(S100)은 초음파 발신 단계(S110), 연산 단계(S120) 그리고 검사 단계(S130)를 포함한다.
초음파 발신 단계(S110)는 액에 흐르는 유로의 상류 및 하류에 위치하는 제1측정기(381)와 제2측정기(383)로 액에 초음파를 발신하는 단계이다. 제1측정기(381)에서는 액에 초음파를 발신하며, 발신된 초음파는 액을 통과한 후 제2측정기(383)에 수신된다. 제2측정기(383)에서는 액에 초음파를 발신하며, 발신된 초음파는 액을 통과한 후 제1측정기(381)에서 수신된다.
연산 단계(S120)는 각각 제1연산(F1), 제2연산(F2) 그리고 제3연산(F3)을 수행한다.
제1연산(F1)은 제1측정기(381)에서 발신된 초음파를 제2측정기(383)에서 수신하여 초음파가 액을 통과한 시간(t1)을 측정하는 연산이다. 도 4와 같이 제1측정기(381)에서 발신된 초음파는 제2라인(353) 내부에 액을 통과하여 제2측정기(383)에 수신된다. 제2측정기(383)에서는 제1측정기(381)에서 발신된 초음파가 제2측정기(383)에 도달하는 시간(t1)을 측정한다.
제2연산(F2)은 제2측정기(383)에서 발신된 초음파를 제1측정기(381)에서 수신하여 초음파가 액을 통과한 시간(t2)을 측정하는 연산이다. 도 5와 같이 제2측정기(383)에서 발신된 초음파는 제2라인(353) 내부에 액을 통과하여 제1측정기(381)에 수신된다. 제1측정기(381)에서는 제2측정기(383)에서 발신된 초음파가 제1측정기(381)에 도달하는 시간(t2)을 측정한다.
제3연산(F3)은 제1연산(F1)에서 구한 초음파 통과 시간과 제2연산(F2)에서 구한 초음파 통과 시간의 차이(Δt)를 계산한다.
검사 단계(S130)는 액의 온도 상태가 이상상태인지 검출하는 단계이다. 검사 단계(S130)는 제3연산(F3)에 산출한 초음파 통과 시간의 차이값(Δt)이 액의 기설정된 온도에서 구한 값과 비교하여 설정 범위를 벗어나는 경우 액의 온도를 이상상태로 판정한다. 검사 단계(S130)에서는 액의 온도 상태가 이상상태로 판정되는 경우 이를 경고해 준다. 일 예로 경고는 상술한 경고 부재(387)를 통해서 수행될 수 있다.
상술한 예와는 달리, 검사 방법(S100)은 기판에 공급되는 액의 유량 및 온도 상태를 검출할 수 있다. 액의 온도 상태 검출은 상술한 방법과 동일하다. 액의 유량을 검출은 검사 단계(S130)에서 수행된다.
검사 단계(S130)는 제3연산(F3)에서 산출한 초음파 통과시간의 차이값으로 액의 유량을 산출한다. 액의 유량 산출은 상술한 수식 1과 수식 2를 통해서 구할 수 있다. 검사 단계(S130)는 산출된 액의 유량값을 기설정된 유량값과 비교하여 설정 범위를 벗어나는 경우 액의 유량을 이상상태로 판정한다. 검사 단계(S130)는 액의 유량을 이상 상태로 판정 시 이를 경고해 줄 수 있다. 일 예로 경고는 상술한 경고 부재(387)를 통해서 수행될 수 있다.
상술한 예에서는 초음파 유량계를 이용하여 기판에 공급되는 액의 온도를 측정할 수 있다. 별도의 온도 센서 없이 초음파 유량계를 이용하여 액의 유량 및 온도 상태를 예측 가능하다. 따라서 별도의 온도 센서를 액 공급라인에 설치할 필요가 없으며, 액의 유량과 액의 온도 상태를 초음파 유량계로 측정하여 기판 처리 공정에 효율을 향상시킬 수 있다.
상술한 예에서는 기판을 세정하는 장치로 예를 들어 설명하였으나, 이에 한정되지 않으며, 기판에 처리액을 공급하여 현상 공정, 도포 공정 등을 수행하는 기판 처리 장치에 적용 가능하다. 선택적으로, 기판에 액을 공급하여 처리하는 장치에 모두 적용 가능하다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
310: 챔버 330: 지지 유닛
360: 액 공급 유닛 350: 액 공급라인
380: 측정 유닛 381: 제1측정기
383: 제2측정기 385: 판단 부재
387: 경고 부재

Claims (20)

  1. 기판을 처리하는 장치에 있어서,
    내부에 공간을 가지는 챔버와;
    상기 공간에 위치하며, 기판을 지지하는 지지 유닛과;
    상기 지지 유닛에 놓인 기판으로 액을 공급하는 노즐과 상기 노즐에 액을 공급하는 액 공급라인을 포함하는 액 공급 유닛과; 그리고
    상기 액 공급라인에 설치되는 측정 유닛을 포함하되,
    상기 측정 유닛은,
    상기 액 공급라인에 설치되며, 상기 액을 통과한 초음파의 도달시간을 측정하는 제1측정기와;
    상기 액 공급라인에 설치되며 상기 제1측정기보다 하류에 위치하고, 상기 액을 통과한 초음파의 도달시간을 측정하는 제2측정기와; 그리고
    상기 제1측정기와 상기 제2측정기에서 측정된 초음파의 도달시간으로 상기 액의 온도 상태를 검출하는 판단 부재를 포함하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 판단 부재는 상기 제1측정기에서 발신된 초음파를 상기 제2측정기에서 수신하여 상기 초음파가 상기 액을 통과한 시간을 측정하는 제1연산과 상기 제2측정기에서 발신된 초음파를 상기 제1측정기에서 수신하여 상기 초음파가 상기 액을 통과한 시간을 측정하는 제2연산과 상기 제1연산과 상기 제2연산에서 구한 상기 초음파 통과시간의 차이를 계산하는 제3연산을 수행하며,
    상기 판단 부재는 상기 제3연산에 산출한 상기 초음파 통과시간의 차이값이 상기 액의 기설정된 온도에서 구한 값과 비교하여 설정범위를 벗어나는 경우 상기 액의 온도를 이상 상태로 판단하는 기판 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 측정 유닛은 상기 판단 부재에서 상기 액의 온도 상태를 이상 상태로 판정 시 경고해주는 경고 부재를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 액 공급 라인은,
    제1라인과;
    상기 제1라인과 수직하게 연결되는 제2라인과; 그리고
    상기 제1라인과 서로 마주보며 위치하고, 상기 제2라인과 수직하게 연결되는 제3라인을 포함하며,
    상기 제1측정기와 상기 제2측정기는 상기 제2라인의 기준으로 서로 마주보며 위치하며, 상기 제2라인에 설치되는 기판 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 액은 이소프로필알코올을 포함하는 기판 처리 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 제1측정기와 상기 제2측정기는 각각 초음파 유량 센서로 제공되는 기판 처리 장치.
  7. 기판을 처리하는 장치에 있어서,
    내부에 공간을 가지는 챔버와;
    상기 공간에 위치하며, 기판을 지지하는 지지 유닛과;
    상기 지지 유닛에 놓인 기판으로 액을 공급하는 노즐과 상기 노즐에 액을 공급하는 액 공급라인을 포함하는 액 공급 유닛과; 그리고
    상기 액 공급라인에 설치되는 측정 유닛을 포함하되,
    상기 측정 유닛은,
    상기 액 공급라인에 설치되며, 상기 액을 통과한 초음파의 도달시간을 측정하는 제1측정기와;
    상기 액 공급라인에 설치되며 상기 제1측정기보다 하류에 위치하고, 상기 액을 통과한 초음파의 도달시간을 측정하는 제2측정기와; 그리고
    상기 제1측정기와 상기 제2측정기에서 측정된 초음파의 도달시간으로 상기 액의 유량 및 상기 액의 온도 상태를 검출하는 판단 부재를 포함하는 기판 처리 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 판단 부재는 상기 제1측정기에서 발신된 초음파를 상기 제2측정기에서 수신하여 상기 초음파가 상기 액을 통과한 시간을 측정하는 제1연산과 상기 제2측정기에서 발신된 초음파를 상기 제1측정기에서 수신하여 상기 초음파가 상기 액을 통과한 시간을 측정하는 제2연산과 상기 제1연산과 상기 제2연산에서 구한 상기 초음파 통과시간의 차이를 계산하는 제3연산을 수행하며,
    상기 판단 부재는 상기 제3연산에서 산출한 상기 초음파 통과시간의 차이값으로 상기 액의 유량을 산출하여 이를 기설정된 유량값과 비교하여 설정범위를 벗어나는 경우 상기 액의 유량을 이상 상태로 판정하며,
    상기 제3연산에 산출한 상기 초음파 통과시간의 차이값이 상기 액의 기설정된 온도에서 구한 값과 비교하여 설정범위를 벗어나는 경우 상기 액의 온도를 이상 상태로 판단하는 기판 처리 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 측정 유닛은 상기 판단 부재에서 상기 액의 유량의 이상 상태 또는 상기 액의 온도 상태를 이상 상태로 판정 시 경고해주는 경고 부재를 더 포함하는 기판 처리 장치.
  10. 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 액 공급 라인은,
    제1라인과;
    상기 제1라인과 수직하게 연결되는 제2라인과; 그리고
    상기 제1라인과 서로 마주보며 위치하고, 상기 제2라인과 수직하게 연결되는 제3라인을 포함하며,
    상기 제1측정기와 상기 제2측정기는 상기 제2라인의 기준으로 서로 마주보며 위치하며, 상기 제2라인에 설치되는 기판 처리 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 액은 이소프로필알코올을 포함하는 기판 처리 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 제1측정기와 상기 제2측정기는 각각 초음파 유량 센서로 제공되는 기판 처리 장치.
  13. 기판에 공급되는 액의 온도 상태를 검출하는 검사 방법에 있어서,
    상기 액이 흐르는 유로의 상류 및 하류에 위치하는 제1측정기와 제2측정기로 상기 액에 초음파를 각각 발신하는 초음파 발신 단계와;
    상기 제1측정기에서 발신된 초음파를 상기 제2측정기에서 수신하여 상기 초음파가 상기 액을 통과한 시간을 측정하는 제1연산과 상기 제2측정기에서 발신된 초음파를 상기 제1측정기에서 수신하여 상기 초음파가 상기 액을 통과한 시간을 측정하는 제2연산과 상기 제1연산과 상기 제2연산에서 구한 상기 초음파 통과시간의 차이를 계산하는 제3연산을 수행하는 연산 단계와; 그리고
    상기 제3연산에서 산출한 상기 초음파 통과시간의 차이값으로 상기 액의 온도 상태를 검사하는 검사 단계를 포함하는 검사 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 검사 단계에서 상기 제3연산에 산출한 상기 초음파 통과시간의 차이값이 상기 액의 기설정된 온도에서 구한 값과 비교하여 설정범위를 벗어나는 경우 상기 액의 온도를 이상 상태로 판단하는 검사 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 검사 단계는 상기 액의 온도 상태를 이상 상태로 판정 시 이를 경고해주는 검사 방법.
  16. 제13항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 액은 이소프로필알코올을 포함하는 검사 방법.
  17. 기판에 공급되는 액의 유량 및 온도 상태를 검출하는 검사 방법에 있어서,
    상기 액이 흐르는 유로의 상류 및 하류에 위치하는 제1측정기와 제2측정기로 상기 액에 초음파를 각각 발신하는 초음파 발신 단계와;
    상기 제1측정기에서 발신된 초음파를 상기 제2측정기에서 수신하여 상기 초음파가 상기 액을 통과한 시간을 측정하는 제1연산과 상기 제2측정기에서 발신된 초음파를 상기 제1측정기에서 수신하여 상기 초음파가 상기 액을 통과한 시간을 측정하는 제2연산과 상기 제1연산과 상기 제2연산에서 구한 상기 초음파 통과시간의 차이를 계산하는 제3연산을 수행하는 연산 단계와; 그리고
    상기 제3연산에서 산출한 상기 초음파 통과시간의 차이값으로 상기 액의 유량 및 상기 액의 온도 상태를 검사하는 검사 단계를 포함하는 검사 방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 검사 단계에서 상기 제3연산에서 산출한 상기 초음파 통과시간의 차이값으로 상기 액의 유량을 산출하며, 이를 기설정된 유량값과 비교하여 설정범위를 벗어나는 경우 상기 액의 유량을 이상 상태로 판정하며,
    상기 제3연산에 산출한 상기 초음파 통과시간의 차이값이 상기 액의 기설정된 온도에서 구한 값과 비교하여 설정범위를 벗어나는 경우 상기 액의 온도를 이상 상태로 판단하는 검사 방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 검사 단계는 상기 액의 유량 또는 상기 액의 온도 상태를 이상 상태로 판정 시 이를 경고해주는 검사 방법.
  20. 제17항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 액은 이소프로필알코올을 포함하는 검사 방법.
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