KR20170051844A - 기판 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 이송 장치를 제공한다. 기판 이송 장치는, 챔버 내부에 배치되어 내부로 외부 공기를 유입시키는 필터 유닛과, 필터 유닛 상에 순차적으로 배치되는 수분 제거부 및 퍼지 가스 제공부를 포함하는 추가 유닛을 포함한다. 필터 유닛 각각과 추가 유닛 각각은 체결된다.

Description

기판 이송 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 기판 가공 장치에 관련된 것으로, 더욱 상세하게는 이송 모듈 및 가공 모듈을 포함하는 기판 가공 장치에 관련된 것이다.
일반적으로 반도체 장치는 반도체 기판으로 사용되는 실리콘웨이퍼 상에 전기적인 회로를 형성하는 팹(fabrication; 'FAB') 공정과, 상기 팹 공정에서 형성된 반도체 장치들의 전기적인 특성을 검사하는 공정과, 상기 반도체 장치들을 각각 에폭시 수지로 봉지하고 개별화시키기 위한 패키지 조립 공정을 통해 제조된다.
상기 반도체 장치의 생산성을 향상시키기 위하여 반도체 기판 가공 설비는 저진공 상태로 유지되는 로드록 챔버와, 가공 공정을 수행하기 위한 공정 챔버와, 상기 로드록 챔버와 공정 챔버 사이에서 반도체 기판을 이송하기 위한 기판 이송 챔버를 포함한다. 특히, 상기 기판 이송 챔버 내부에서, 기판이 가공 공정을 위해 대기하는 동안 많은 문제가 발생되고 있다.
본 발명이 이루고자 하는 일 기술적 과제는 이송 챔버 내 오염을 억제하는 기판 가공 장치를 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 개념에 따른 일 실시예는 기판 이송 장치를 제공한다. 상기 기판이송 장치는, 챔버; 상기 챔버 내부에 배치되어, 상기 챔버 내부로 외부 공기를 유입시키는 필터 유닛; 및 상기 필터 유닛 상에 순차적으로 배치되는 수분 제거부 및 퍼지 가스 제공부를 포함하는 추가 유닛을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 필터 유닛 각각은 상기 추가 유닛 각각과 체결될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 필터 유닛은, 상기 외부 공기를 유입하는 팬; 및 상기 팬 아래에 배치되며, 상기 외부 공기 내 불순물을 제거하는 필터를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 수분 제거부는, 단열재를 포함하는 하우징; 및 상기 하부징 내부에서 상기 외부 공기가 지나가는 통로에 배치되는 히터를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 하우징 내에 다수의 격벽들이 배치되고, 상기 격벽들에 의해 다수의 히터들이 격리되며, 상기 히터는 양단부들이 개방되고 속이 빈 입방체(cubic) 구조를 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 하우징은 세라믹을 포함하고, 상기 히터는 니켈, 크롬 또는 니켈/크롬 합금을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기판 이송 장치는, 상기 챔버 내부 온도를 감지하는 센서; 및 상기 센서와 상기 히터와 연결되어, 상기 감지된 온도에 따라 상기 히터의 온도를 조절하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 퍼지 가스 제공부는, 일 측에 노즐이 배치된 하우징; 상기 하우징 내에서 상기 노즐과 일측이 연통되며, 하면에 형성된 다수의 홀들을 포함하는 가스관; 상기 노즐과 가스 라인을 통해 연결되어, 상기 가스관으로 퍼지 가스를 제공하는 퍼지 가스 저장부; 및 상기 가스 라인 중에 배치되는 밸브를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 가스관은 세 개의 방향으로 분리된 Y자 구조를 가질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기판 이송 장치는, 상기 챔버 내에 배치되며, 상기 외부 공기 내 산소 농도와 상기 챔버 내 상대 습도를 검출하는 센서; 및 상기 센서와 상기 밸브와 연결되어, 상기 센서로부터 검출된 산소 농도 및 상기 상대 습도에 따라 상기 밸브의 개폐를 조절하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 개념에 따른 다른 실시예는 기판 이송 장치를 제공한다. 상기 기판 이송 장치는, 챔버; 상기 챔버 내부에 배치되어, 상기 챔버 내부로 외부 공기를 유입 시키는 팬; 상기 팬 하부에 배치되어 상기 외부 공기 내 불순물을 제거하는 필터; 상기 팬 상부에 배치되며 상기 챔버로 질소 가스를 주입하는 질소 가스 제공부; 및 상기 질소 가스 제공부 및 상기 팬 사이에 배치되며 상기 외부 공기 내 수분을 제거하는 가열부를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 기판 이송 장치는, 상기 챔버 내부에 배치되어, 상기 챔버 내 산소의 농도와 상대 습도와 온도를 감지하는 센서; 및 상기 센서, 상기 질소 가스 제공부, 상기 가열부와 연결되어, 상기 센서로부터 감지된 산소의 농도, 상대 습도 및 온도에 따라 상기 질소 가스 제공부 및 상기 가열부를 조절하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 질소 가스 제공부는, 세 개로 분리되어 Y자 구조를 가지며, 하면에 다수의 홀들이 형성된 가스관을 포함할 수 있다.
본 발명의 개념에 따른 또 다른 실시예는 기판 가공 장치를 제공한다. 상기 기판 가공 장치는, 로드 포트, 제1 이송 챔버 및 제1 이송 로봇을 포함하는 이송 모듈; 다수의 공정 챔버들, 제2 이송 챔버 및 제2 이송 로봇을 포함하는 가공 모듈; 및 상기 이송 모듈 및 상기 가공 모듈 사이에 배치되는 로드락 챔버를 포함하되, 상기 제1 이송 챔버는, 상기 제1 이송 챔버 내부로 외부 공기를 유입시키는 필터 유닛, 상기 필터 유닛 상에 순차적으로 배치되는 수분 제거부 및 퍼지 가스 제공부를 포함하는 추가 유닛을 포함한다.
본 발명의 개념에 따른 실시예들에 의하면, 수분 제거부에 의해 외부 공기 내 수분을 제거할 수 있어, 수분으로 인하여 발생하는 문제들을 방지할 수 있다. 수분 제거부의 히터들이 중공의 입방체 구조를 가져 외부 공기와 접하는 면적이 충분할 수 있다. 퍼지 가스 제공부의 가스관이 Y자 구조를 가짐으로써, 퍼지 가스를 균일하게 분사할 수 있다. 또한, 센서 및 제어부를 통해 이송 챔버 내 온도, 상대 습도 및 산소 농도를 조절할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치의 이송 모듈을 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치의 필터 유닛 및 추가 유닛을 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치의 필터 유닛 및 추가 유닛에서 외부 공기 및 퍼지 가스의 흐름을 설명하기 위한 단면도이다.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 가공 장치의 가스관의 구조를 설명하기 위한 평면도들이다.
도 8은 비교예에 따른 제1 이송 챔버와, 본 발명의 실시예에 따른 제1 이송 챔버 내부의 상대 습도를 나타내는 그래프이다.
도 9는 비교예에 따른 제1 이송 챔버와, 본 발명의 실시예에 따른 제1 이송 챔버 내부의 산소 농도를 나타내는 그래프이다.
이상의 본 발명의 목적들, 다른 목적들, 특징들 및 이점들은 첨부된 도면과 관련된 이하의 바람직한 실시예들을 통해서 쉽게 이해될 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
본 명세서에서, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소 상에 있다고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 구성요소가 개재될 수도 있다는 것을 의미한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
본 명세서에서 기술하는 실시예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 예를 들면, 직각으로 도시된 식각 영역은 라운드지거나 소정 곡률을 가지는 형태일 수 있다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서의 다양한 실시예들에서 제1, 제2 등의 용어가 다양한 구성요소들을 기술하기 위해서 사용되었지만, 이들 구성요소들이 이 같은 용어들에 의해서 한정되어서는 안 된다. 이들 용어들은 단지 어느 구성요소를 다른 구성요소와 구별시키기 위해서 사용되었을 뿐이다. 여기에 설명되고 예시되는 실시예들은 그것의 상보적인 실시예들도 포함한다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 '포함한다(comprises)' 및/또는 '포함하는(comprising)'은 언급된 구성요소는 하나 이상의 다른 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
이하, 도면들을 참조하여, 본 발명의 실시예들에 대해 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치를 설명하기 위한 평면도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치의 이송 모듈을 설명하기 위한 단면도이다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치의 필터 유닛 및 추가 유닛을 설명하기 위한 분해 사시도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치의 필터 유닛 및 추가 유닛에서 외부 공기 및 퍼지 가스의 흐름을 설명하기 위한 단면도이다. 도 5 내지 도 7은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 가공 장치의 가스관의 구조를 설명하기 위한 평면도들이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판(W) 가공 장치는, 이송 모듈(200), 로드락 챔버(300) 및 가공 모듈(100)을 포함할 수 있다.
상기 이송 모듈(200)은 로드 포트(206)와, 제1 이송 챔버(210)와, 제1 이송 로봇(270)과, 필터 유닛(220)과 추가 유닛(235)을 포함할 수 있다.
상기 로드 포트(206)는, 상기 제1 이송 챔버(210)와 연결되며 다수의 기판들(W)을 수납하는 용기를 지지할 수 있다. 상기 용기로는 풉(Front Opening Unified Pod, FOUP)이 사용될 수 있다. 상기 풉(FOUP)은 다수의 기판들(W)을 수직 적층하여 수납하고, 상기 수납된 기판들(W)이 외부의 오염 물질에 의한 오염을 방지하기 위하여 폐쇄된 상태로 상기 기판들(W)을 이송할 수 있다.
상기 로드 포트(206)는, 상기 풉(FOUP)의 도어(도시되지 않음)를 상기 제1 이송 챔버(210)의 도어(202)에 밀착시킨다. 상세하게 도시되지 않았으나, 상기 로드 포트(206)의 하부에는 상기 풉(FOUP)의 도어를 개폐하기 위한 도어 오프너(door opener)가 배치되고, 상기 도어 오프너는 상기 제1 이송 챔버(210)의 내측면에 연결될 수 있다. 상기 도어 오프너는 상기 제1 이송 챔버(210)의 도어(202)와, 상기 로드 포트(206)에 의해 제1 이송 챔버(210) 도어에 밀착된 풉(FOUP)의 도어를 개방시킬 수 있다.
상기 제1 이송 로봇(270)은 상기 제1 이송 챔버(210) 내부에 배치되며, 상기 로드 포트(206)에 지지된 풉(FOUP)과 상기 로드락 챔버(300) 사이에서 기판(W)을 이송할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 상기 제1 이송 챔버(210) 내부에 센서(275)가 배치될 수 있다. 본 실시예에서는 센서(275)를 하나 도시하였으나, 다수의 센서들이 서로 다른 위치에 배치될 수 있다. 상기 센서(275)는 상기 제1 이송 챔버(210) 내부의 온도, 산소 농도 및 상대 습도를 감지할 수 있다. 상기 센서(275)는 제어부(260)와 연결될 수 있다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기 필터 유닛(220)은 외부 공기를 상기 제1 이송 챔버(210) 내부로 유입시킬 수 있다. 또한, 상세하게 도시되지 않았으나, 상기 제1 이송 챔버(210)의 바닥에는 상기 외부 공기를 배출하기 위한 다수의 파이프들이 구비될 수 있다.
상기 필터 유닛(220)은 팬(214)과 필터(212)가 일체화된 팬-필터 유닛 (Fan Filter Unit: FFU)으로서, 청정화 공기를 제1 이송 챔버(210) 내부로 하향 공기 흐름을 발생시킬 수 있다. 상기 팬(214)은 상기 공기의 유동을 일으키는 날개차(도시되지 않음)와 상기 날개차로 유입되는 공기의 유동을 안내하기 위한 케이싱(도시되지 않음)을 포함할 수 있다. 상세하게 도시되지 않았으나, 상기 날개차는 원주 상에 등간격으로 배치되는 다수의 날개를 가지고 회전하는 원통으로, 상기 날개차를 회전시키기 위하여 상기 팬(214)은 구동부(도시되지 않음)와 연결될 수 있다.
상기 필터(212)는 오염 물질을 제거하기 위하여, 헤파(High Efficiency Particulate Air: HEPA) 필터 또는 울파(Ultra Low Penetration Air: ULPA) 필터가 사용될 수 있으며, 화학 물질을 포집할 수 있는 화학 필터를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 추가 유닛(235) 각각은 상기 필터 유닛(220) 각각과 체결 가능하게 배치될 수 있다. 상기 추가 유닛(235)은 퍼지 가스 제공부(250)와 수분 제거부(230)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 수분 제거부(230)는 상기 퍼지 가스 제공부(250) 및 상기 필터 유닛(220) 사이에 배치될 수 있다.
상기 퍼지 가스 제공부(250)는 상기 제1 이송 챔버(210) 내로 질소 가스(N2)와 같은 퍼지 가스를 제공하여, 상기 제1 이송 챔버(210) 내로 유입되는 외부 공기 내 산소의 양을 감소시킬 수 있다. 본 실시예에 따르면, 퍼지 가스 제공부는 제1 하우징(240)과, 상기 제1 하우징(240) 일 측에 형성된 노즐(242)과, 상기 노즐(242)과 연통되는 가스관(246)과, 상기 노즐(242)과 연결되어 상기 퍼지 가스를 제공하는 퍼지 가스 저장부(256)를 포함할 수 있다.
상기 수분 제거부(230)와 마주하는 상기 가스관(246) 일 면에는 다수의 홀들(248)이 형성되어, 상기 퍼지 가스를 상기 수분 제거부(230)로 제공할 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이 상기 가스관(246)은 세 개의 방향으로 연장하는 Y자형 구조를 가질 수 있다. 세 방향으로 갈라진 관들 각각은 서로 120도의 각도를 이룰 수 있다. 이와는 다르게, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 가스관(246)은 십자형 구조를 가질 수 있다. 도 6에 도시된 일 실시예에 따르면, 상기 가스관(246)은 코일형 구조를 가질 수 있으며, 도 7에 도시된 바와 같이, 일자형 구조를 가질 수도 있다. 여러 실시예들에서 상기 가스관(246)의 구조를 도시하고 있으나, 상기의 형상으로 가스관(246)의 구조를 이로 한정하는 것은 아니다. 도 5 내지 도 7에 248은 가스관(246)에 형성된 홀들을 가르킨다.
상기 퍼지 가스 제공부(250)는 상기 퍼지 가스 저장부(256)와 상기 노즐(242) 사이를 연결하는 가스 라인(252)을 더 포함하되, 상기 가스 라인(252) 중에 밸브(254)가 설치될 수 있다. 상기 밸브(254)는 상기 제어부(260)와 연결되어, 상기 제1 이송 챔버(210) 내 산소 농도 및 상대 습도에 따라 상기 밸브(254)의 개폐를 조절할 수 있다. 또한, 상기 제1 이송 챔버(210)의 유지 보수(maintenance) 등을 위해 도어가 열릴 경우, 상기 밸브(254)가 잠겨 상기 퍼지 가스는 자동으로 공급되지 않을 수 있다.
상기 수분 제거부(230)는 상기 외부 공기 내 수분(H2O)을 제거할 수 있다. 본 실시예에 따르면, 상기 수분 제거부(230)는 제2 하우징(232)과, 상기 제2 하우징(232) 내부에 배치되는 상기 외부 공기 및 상기 퍼지 가스가 통과 가능한 통로(238)를 포함하는 히터(236)를 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제2 하우징(232)은 세라믹과 같은 단열재를 포함할 수 있다. 상기 제2 하우징(232)은 다수의 블록들(BLK)을 포함할 수 있다. 상기 블록들(BLK)은 서로를 이격시키는 다수의 격벽들(234)과, 상기 격벽들(234) 내부를 채우는 다수의 히터들(236)을 포함할 수 있다. 상기 격벽들(234)은 세라믹과 같은 단열재를 포함할 수 있다. 상기 히터들(236) 각각은 양단부가 개방되고 속이 빈 입방체 구조를 가지며, 서로 종 및 횡으로 이격될 수 있다. 즉, 상기 히터들(236) 각각은 그 내부를 관통하는 홀들(238)을 포함할 수 있다.
상기 히터(236)는 용융점이 높고 비열이 높은 금속으로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 히터(236)는 니켈(Ni), 크롬(Cr) 또는 니켈/크롬(Ni/Cr)합금으로 형성될 수 있다. 상기 히터들(236)은 상기 히터들(236)로 전류를 제공하기 위하여 파워와 전기적으로 연결되는 포트(233)가 설치될 수 있다. 다른 실시예에서는 상기 히터(236)는 히팅 코일(heating coil)일 수 있다. 본 발명에서 상기 히터(236)의 종류를 상기의 것들로 한정하지 않는다.
상기 히터들(236)이 상기 제2 하우징(232) 내부에 균일하게 배열됨으로써, 상기 히터들(236) 내부로 제공되는 외부 공기 및 퍼지 가스를 균일하게 가열시킬 수 있다.
상기와 같이 상기 히터(236)가 양단부들이 개방되고 속이 빈 입방체 구조을 가짐으로써, 상기 홀들(238)을 통해 지나가는 외부 공기와 상기 히터(236)가 접촉하는 면적이 충분하며, 비열 및 용융점이 높은 금속을 이용하여 히터(236)를 형성함으로써 그 제조 공정이 간단하다.
일 실시예에 따르면, 상기 센서(275)는 상기 제1 이송 챔버(210) 내부의 온도를 감지할 수 있다. 상기 제어부(260)는 상기 히터들(236)과 연결되어, 상기 센서(275)로부터 감지된 온도에 따라 상기 히터들(236)의 온도를 제어할 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 퍼지 가스 제공부(250)에 의해 상기 외부 공기 내 산소의 양을 감소시키고, 상기 수분 제거부(230)에 의해 상기 외부 공기 내 수분을 제거하여 고청정의 공기를 제1 이송 챔버(210) 내로 제공할 수 있다.
한편, 기판(W) 상에 형성된 패턴 또는 막들로부터 발생되는 가스와 상기 수분과 결합함으로써 발생되는 설비 부식 또는 유해 가스를 억제할 수 있다. 상세하게 설명하면, 기판(W) 상에 실리콘질화막을 형성한 후 불소(F) 또는 염소(Cl)를 포함하는 식각 가스를 이용하여 식각하여 패턴을 형성한 후, 상기 패턴 측벽 또는 내부에, NH3, Cl-, F- 등의 식각 잔류물이 존재할 수 있다. 이러한 식각 잔류물들은 다른 공정을 위하여 대기하는 중에 가스의 형태로 배출될 수 있다. 일 예로, 하기의 화학식을 참고하면, 암모니아가 수분과 결합하여 OH-를 형성하게 되고, OH-는 실리콘과 결합하여, SiOx, SiOxHy 등으로 변환시켜 계면 저항을 유발할 수 있다.
NH3 + H2O
Figure pat00001
NH4++OH-
다른 예로, 하기의 화학식을 참조하면, 불소 음이온이 수분과 결합하여, 유해한 불산 가스를 형성할 수도 있다.
F- + H2O
Figure pat00002
HF+OH-
따라서, 본 발명의 일 실시예에 따른 수분 제거부를 이용하여, 상기 외부 공기 내 수분을 제거하여, 상기의 문제점들을 해결할 수 있다.
도 1을 참조하면, 상기 로드락 챔버(300)는 상기 이송 모듈(200)과 상기 가공 모듈(100)을 연결시키며, 상기 제1 이송 챔버(210)로부터 이송된 기판(W)을 일시적으로 수용할 수 있다. 상세하게 도시되지 않았으나, 상기 로드락 챔버(300)는 진공 상태를 유지하기 위하여 진공 제공부와 연결될 수 있다.
상기 가공 모듈(100)은 다수의 공정 챔버들(110)과, 제2 이송 챔버(120)와, 제2 이송 로봇(130)을 포함할 수 있다. 상기 로드락 챔버(300)는 상기 다수의 공정 챔버들(110)과 상기 제2 이송 챔버(120)로 연결될 수 있다. 상기 제2 이송 로봇(130)은 상기 제2 이송 챔버(120) 내부에 배치되어, 상기 로드락 챔버(300) 및 상기 다수의 공정 챔버들(110) 사이, 또는 다수의 공정 챔버들(110) 사이에서 기판(W)을 이송할 수 있다.
도 8은 비교예에 따른 제1 이송 챔버와, 본 발명의 실시예에 따른 제1 이송 챔버 내부의 상대 습도를 나타내는 그래프이고, 도 9는 비교예에 따른 제1 이송 챔버와, 본 발명의 실시예에 따른 제1 이송 챔버 내부의 산소 농도를 나타내는 그래프이다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 비교예에 따른 제1 이송 챔버에는 수분 제거부가 설치되지 않았으며, 실시예에 따른 제1 이송 챔버에는 수분 제거부가 설치된다. 상기 수분 제거부를 제외한 나머지 구성 요소들을 비교예의 제1 이송 챔버 및 실시예의 제1 이송 챔버 모두 동일하다.
도 8을 참조하면, 실시예에 따른 제1 이송 챔버 내에는 수분 제거부가 설치되어 시간이 지남에 따라 그 상대 습도가 0%까지 내려가는 것을 볼 수 있다. 한편, 비교예에 따른 제1 이송 챔버 내 상대 습도는 시간이 지나도 약 40% 내지 45%의 상대 습도가 유지되는 것을 볼 수 있다. 약 40% 내지 45%의 상대 습도를 나타내는 비교예의 제1 이송 챔버 내에서는 수분과 결합하여 설비가 부식되고 유해 가스가 방출되는 등의 문제점들이 발생될 수 있다.
도 9를 참조하면, 실시예에 따른 제1 이송 챔버로 질소 가스를 주입하여 퍼지한 후 제1 이송 챔버 내 산소의 농도를 살펴보면, 시간이 흐름에 따라 그 양이 큰 폭으로 감소되는 것을 볼 수 있다. 이와는 다르게, 비교예에 따른 제1 이송 챔버로 질소 가스를 주입하여 퍼지한 후 제1 이송 챔버 내 산소의 농도를 살펴보면, 시간이 지나도 약 200,000ppm의 농도를 유지하는 것을 볼 수 있다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징으로 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 가공 모듈
200: 이송 모듈
300: 로드락 챔버
210: 제1 이송 챔버
220: 팬 필터 유닛
230: 수분 제거부
250: 퍼지 가스 제공부
235: 추가 유닛

Claims (10)

  1. 챔버;
    상기 챔버 내부에 배치되어, 상기 챔버 내부로 외부 공기를 유입시키는 필터 유닛; 및
    상기 필터 유닛 상에 순차적으로 배치되는 수분 제거부 및 퍼지 가스 제공부를 포함하는 추가 유닛을 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 필터 유닛 각각은 상기 추가 유닛 각각과 체결되는 기판 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 필터 유닛은,
    상기 외부 공기를 유입하는 팬; 및
    상기 팬 아래에 배치되며, 상기 외부 공기 내 불순물을 제거하는 필터를 포함하는 기판 이송 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 수분 제거부는,
    단열재를 포함하는 하우징; 및
    상기 하부징 내부에서 상기 외부 공기가 지나가는 통로에 배치되는 히터를 포함하는 기판 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 하우징 내에 다수의 격벽들이 배치되고, 상기 격벽들에 의해 다수의 히터들이 격리되며,
    상기 히터는 양단부들이 개방되고 속이 빈 입방체(cubic) 구조를 가지는
    기판 이송 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 하우징은 세라믹을 포함하고,
    상기 히터는 니켈, 크롬 또는 니켈/크롬 합금을 포함하는 기판 이송 장치.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 챔버 내부 온도를 감지하는 센서; 및
    상기 센서와 상기 히터와 연결되어, 상기 감지된 온도에 따라 상기 히터의 온도를 조절하는 제어부를 더 포함하는 기판 이송 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 퍼지 가스 제공부는,
    일 측에 노즐이 배치된 하우징;
    상기 하우징 내에서 상기 노즐과 일측이 연통되며, 하면에 형성된 다수의 홀들을 포함하는 가스관;
    상기 노즐과 가스 라인을 통해 연결되어, 상기 가스관으로 퍼지 가스를 제공하는 퍼지 가스 저장부; 및
    상기 가스 라인 중에 배치되는 밸브를 포함하는 기판 이송 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 가스관은 세 개의 방향으로 분리된 Y자 구조를 갖는 기판 이송 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 챔버 내에 배치되며, 상기 외부 공기 내 산소 농도와 상기 챔버 내 상대 습도를 검출하는 센서; 및
    상기 센서와 상기 밸브와 연결되어, 상기 센서로부터 검출된 산소 농도 및 상기 상대 습도에 따라 상기 밸브의 개폐를 조절하는 제어부를 더 포함하는 기판 이송 장치.
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