KR20170041603A - Dust-removing nozzle and dust-removing apparatus - Google Patents

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히로시 우자와
타카오 쿠보
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유겐가이샤 타쿠쇼
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Abstract

The present invention provides a dust-removing nozzle capable of intensively and also efficiently cleaning a small area of a sensor, etc., required for, specifically, a high cleaning degree among electronic components. The present invention relates to a dust-removing nozzle cleaning electronic components with air, which are partially equipped with a dust-removal-required small surface portion required for a super-high cleaning degree, including an air spurting hole (3) for spurting air towards an inside part of an outline (L) of the dust-removal-required small surface portion; and an air suctioning hole (4) arranged and installed in a shape of surrounding the air spurting hole (3), and configured to suction the spurted air from the outside of the outline of the dust-removal-required small surface portion.

Description

제진 노즐 및 제진 장치{DUST-REMOVING NOZZLE AND DUST-REMOVING APPARATUS}[0001] DUST-REMOVING NOZZLE AND DUST-REMOVING APPARATUS [0002]

본 발명은 제진 노즐 및 제진 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a vibration damping nozzle and a vibration damping device.

예를 들면, CMOS 이미지 센서나 CCD 이미지 센서 등의 소면부(小面部)를 구비한 (소형의)전자 부품은 프린트 기판 또는 카세트 트레이에 복수열로 나란히 배열 설치되어, 생산 라인 위를 흘러간다. For example, electronic components (small size) having a small surface portion such as a CMOS image sensor or a CCD image sensor are arranged in a plurality of rows on a printed board or a cassette tray, and flow over the production line.

(소형의)전자 부품에 있어서의 상기 소면부는 특히 초고클린도가 요구되는 부위이다. 종래, 상기 소면부에 부착된 진애나 미립자 등의 이물질을 에어의 분출·흡인에 의해 제거하는 제진 장치가 알려져 있다(특허문헌 1 참조). The above-mentioned small-sized surface portion of the (small) electronic component is a particularly high-cleanness portion. 2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a vibration damping device for removing foreign matter such as dust particles or the like adhered to the above-mentioned surface portion by jetting and sucking air (see Patent Document 1).

일본 특개 2014-100622호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2014-100622

그러나, 종래의 제진 장치는, 프린트 기판 또는 카세트 트레이의 전체 폭에 대응하는 것을 고려한 가로로 긴 클린 헤드(제진 헤드)에 의해, 상기 소면부 이외의 부위에도 에어를 뿜어 제진·세정을 행하고 있었다. 소면부 이외의 부위에 여분의 에어를 소비함으로써, 가장 제진이 필요한 중요한 소면부의 세정 능률이 저하된다고 하는 결점이 있었다. 또한, 이 소면부의 외방 위치에는, 일반적으로, 직경이 수십㎛의 극미세 배선이 다수 존재하고, 고압·고속의 에어가 뿜어짐으로써 극미세 배선이 단선·손상될 우려가 있었다. However, in the conventional vibration damping apparatus, dust is removed and cleaned by blowing air to a portion other than the above-mentioned side face portion by a horizontally long clean head (vibration damping head) considering the corresponding width of the printed board or the cassette tray. There is a drawback that the cleaning efficiency of an important surface portion requiring the most dust reduction is lowered by consuming extra air at portions other than the surface portion. In addition, there are many extreme fine wires having a diameter of several tens of micrometers in the outer side position of this small-sized surface portion, and there is a fear that the extremely fine wiring is broken or damaged by blowing high pressure and high speed air.

그래서, 본 발명은, 전자 부품 중에서도 특히 높은 클린도가 요구되는 상술의 센서 등의 작은 면적의 부분을, 집중적으로, 또한, 능률 좋게 세정할 수 있는 제진 노즐 및 제진 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. It is therefore an object of the present invention to provide a vibration damping nozzle and a vibration damping device capable of efficiently and intensively cleaning a portion of a small area such as the above-mentioned sensor or the like which requires particularly high cleanliness among electronic components .

본 발명에 따른 제진 노즐은, 초고클린도가 요구되는 요제진(要除塵) 소면부를 일부에 구비한 전자 부품을, 에어로 세정하는 제진 노즐에 있어서, 상기 요제진 소면부의 윤곽 내를 향하여 에어를 분출시키기 위한 에어 분출 구멍과, 상기 에어 분출 구멍을 둘러싸는 모양으로 하여 배열 설치되고, 상기 요제진 소면부의 상기 윤곽의 외방에서, 분출한 에어를 흡인하는 에어 흡입 구멍을 구비하는 것이다. The vibration damping nozzle according to the present invention is a vibration damping nozzle for air-cleaning an electronic component having a part of a part of a damping dust requiring a high degree of cleanliness in a part thereof. The damping nozzle ejects air toward the inside of the outline of the damping- And an air suction hole which is arranged so as to surround the air blowing hole and sucks the air blown out from the outside of the contour of the squeezed portion.

또한 상기 전자 부품에는, 상기 요제진 소면부의 상기 윤곽의 외방을 따른 부분적 내지 전체 둘레에 걸쳐, 극미세 배선이 배열 설치되고, 상기 극미세 배선에 에어가 직접 닿지 않도록, 상기 요제진 소면부를 겨냥하여 상기 에어 분출 구멍으로부터 에어를 분출하도록 구성되어 있는 것이다. In addition, the electronic component is provided with micro-fine wires arranged partly or entirely around the outside of the outline of the above-mentioned recessed portion, and the micro-wires are arranged so that the air does not directly come into contact with the micro- And the air is blown out from the air blowing hole.

또한, 상기 요제진 소면부가 센서인 것이다. Further, the above-mentioned recessed surface portion is a sensor.

또한, 본 발명에 따른 제진 장치는, 서로 평행한 복수열 형상으로 전자 부품군을 나열하여 간헐적으로 이송을 하는 반송 수단과, 상기 반송 수단의 상기 이송의 방향과 직교하는 폭 방향으로 나란히 설치된 복수개의 제진 노즐을 구비하고, 상기 전자 부품군의 각 전자 부품은, 초고클린도가 요구되는 요제진 소면부를 일부에 구비하고, 상기 각 제진 노즐은 상기 요제진 소면부의 윤곽 내를 향하여 에어를 분출시키기 위한 에어 분출 구멍과, 상기 에어 분출 구멍을 둘러싸는 모양으로 하여 배열 설치되고, 상기 요제진 소면부의 상기 윤곽의 외방에서, 분출한 에어를 흡인하는 에어 흡입 구멍을 구비하고, 또한, 복수개의 제진 노즐은 상기 전자 부품군의 각 열에 대응하여 배열 설치되고, 상기 반송 수단에서 간헐적으로 보내져서 정지 상태로 된 상기 전자 부품에 대하여, 상기 요제진 소면부의 윤곽 내를 향하여 에어를 분출하고, 또한, 상기 요제진 소면부의 상기 윤곽의 외방에서, 분출한 에어를 흡인하도록 구성한 것이다. The present invention also provides a vibration isolation device comprising: conveying means for intermittently conveying a plurality of groups of electronic components in a plurality of rows parallel to each other; and conveying means for conveying a plurality of Wherein each of the electronic components of the electronic component group includes a part of the recessed surface portion requiring a super cleanliness degree and each of the dust removing nozzles has a damping nozzle for spraying air toward the inside of the outline of the recessed surface portion And an air suction hole which is arranged so as to surround the air blowing hole and sucks the air blown out from the outside of the outline of the recessed side face portion, A plurality of electronic components arranged in correspondence with the respective columns of the electronic component group, With respect to the part, the urine towards the contour within the vibration damping portion and ejecting noodles of the air, also, the urine will be configured in the outward of the outline part for vibration carding, so as to suction the air ejection.

본 발명의 제진 노즐에 의하면, 요제진 소면부의 면적 및 형상에 대응하여, 에어 분출 구멍과 에어 흡입 구멍을 배열 설치하고, 에어 리크(air leak)를 거의 발생하지 않고, 세정이 필요한 요제진 소면부에만 에어를 뿜을 수 있어, 요제진 소면부를 능률적으로 세정할 수 있다. 또한 여분의 에어를 소비하지 않아도 되어, 소비 공기량을 경감할 수 있다. 주위에 이물질을 비산시키지 않고 제거할 수 있다. 에어 분출 구멍으로부터 분출되는 에어가 순간적으로 소정의 압력 및 풍속에 도달할 수 있어, 단시간의 에어 방출로, 요제진 소면부 상의 이물질을 확실하게 제거할 수 있어, 세정 능률을 향상시킬 수 있다. According to the vibration damping nozzle of the present invention, the air spray holes and the air suction holes are arranged in correspondence with the area and the shape of the recessed dust side surface portion, the air dust is hardly generated, It is possible to efficiently clean the incineration surface of the incinerator. In addition, it is not necessary to consume extra air, and the consumption air amount can be reduced. The foreign matter can be removed without scattering the foreign matter. The air ejected from the air blowing hole can instantaneously reach a predetermined pressure and wind speed, and foreign matter on the surface to be cleaned can be reliably removed by short-time air discharge, thereby improving the cleaning efficiency.

본 발명의 제진 장치에 의하면, 복수개의 제진 노즐을 전자 부품군의 각 열에 대응하여 배열 설치하여, 각 전자 부품에 설치된 요제진 소면부를 능률적으로 세정할 수 있다. 또한 요제진 소면부의 면적 및 형상에 대응하여, 각 제진 노즐에 에어 분출 구멍과 에어 흡입 구멍을 배열 설치하여, 에어 리크를 거의 발생하지 않고, 세정이 필요한 요제진 소면부에만 에어를 뿜을 수 있어, 요제진 소면부를 능률좋게 세정할 수 있다. 또한 여분의 에어를 소비하지 않아도 되어, 소비 공기량을 경감할 수 있다. 주위에 이물질을 비산시키지 않고 제거할 수 있다. 에어 분출 구멍으로부터 분출되는 에어가, 순간적으로 소정의 압력 및 풍속에 도달할 수 있어, 단시간의 에어 방출로, 요제진 소면부 상의 이물질을 확실하게 제거할 수 있어, 세정 능률을 향상시킬 수 있다. 동시에 이송되어 오는 전자 부품의 개수분의 제진 노즐이 배열 설치되어, 세정 능률을 향상시킬 수 있다. According to the vibration damping device of the present invention, a plurality of vibration damping nozzles are arranged in correspondence with the respective columns of the electronic component group, so that the damped vibration damping face portions provided on the respective electronic components can be efficiently cleaned. In addition, the air spray holes and the air suction holes are arranged in the respective vibration damping nozzles so as to correspond to the area and shape of the recessed dust face portion, air can be blown only to the recessed dust face portions requiring little cleaning, It is possible to efficiently clean the required surface area. In addition, it is not necessary to consume extra air, and the consumption air amount can be reduced. The foreign matter can be removed without scattering the foreign matter. The air ejected from the air ejection hole can instantaneously reach a predetermined pressure and wind speed and foreign substances on the surface to be relieved can be reliably removed with a short time of air release and the cleaning efficiency can be improved. The dust removing nozzles of several parts of the electronic components being transferred at the same time are arranged, and the cleaning efficiency can be improved.

도 1은 본 발명에 따른 제진 노즐의 실시의 1 형태를 도시한 확대 저면도이다.
도 2는 도 1의 단면도로, (A)는 D-D 단면도이고, (B)는 E-E 단면도이다.
도 3은 확대 평면도로, (A)는 전자 부품을 도시하는 확대 평면도이며, (B)는 제진 노즐과 전자 부품과의 대응 관계를 설명하기 위한 확대 평면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 제진 장치의 실시의 하나의 예의 주요부를 도시하는 도면으로, (A)는 평면도이고, (B)는 사시도이다.
도 5는 제진 노즐의 다른 실시형태를 도시한 저면도로, (A)는 그 1 예를 도시하는 저면도이고, (B)는 다른 예를 도시하는 저면도이다.
도 6은 제진 노즐의 다른 실시형태를 도시한 저면도로, (C)는 그 1 예를 도시하는 저면도이고, (D)는 다른 예를 도시하는 저면도이며, (E)는 다른 예를 도시하는 저면도이다.
도 7은 제진 노즐의 또 다른 실시예를 도시한 저면도로, (F)는 그 1 예를 도시하는 저면도이고, (G)는 다른 예를 도시하는 저면도이며, (H)는 다른 예를 도시하는 저면도이다.1 is an enlarged bottom view showing an embodiment of a vibration elimination nozzle according to the present invention.
Fig. 2 is a sectional view of Fig. 1, (A) is a DD sectional view, and Fig. 2 (B) is a EE sectional view.
Fig. 3 is an enlarged plan view, Fig. 3 (A) is an enlarged plan view showing an electronic part, and Fig. 3 (B) is an enlarged plan view for explaining the correspondence relationship between the vibration deadening nozzle and the electronic part.
4 is a view showing a main part of an embodiment of a vibration isolation device according to the present invention, wherein (A) is a plan view and (B) is a perspective view.
Fig. 5 is a bottom view showing another embodiment of the vibration elimination nozzle, Fig. 5 (A) is a bottom view showing one example thereof, and Fig. 5 (B) is a bottom view showing another example.
Fig. 6 is a bottom view showing another embodiment of the vibration elimination nozzle, Fig. 6 (C) is a bottom view showing an example thereof, Fig. 6 (D) is a bottom view showing another example, .
Fig. 7 is a bottom view showing another embodiment of the vibration deadening nozzle, Fig. 7 (F) is a bottom view showing an example thereof, Fig. 7 (G) is a bottom view showing another example, and Fig.

이하, 실시형태를 도시하는 도면에 기초하여 본 발명을 상세히 설명한다. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings showing embodiments.

도 4는 본 발명에 따른 제진 노즐을 갖는 제진 장치의 실시의 1 형태를 나타내며, 이 장치는 요제진 소면부(2)를 일부에 구비한 전자 부품(6)에 대하여, 에어를 뿜어 제진·세정하기 위한 것이다. 전자 부품(6)은, 예를 들면, 프린트 기판 혹은 카세트 트레이에 격자 형상 내지 지그재그 형상으로 나란히 배열 설치되어 있고, 전자 부품(6)의 각 열에 대응하여 제진 노즐(1)이 설치되고, 각 전자 부품(6) 상의 1개소의 요제진 소면부(2)에 대하여, 1개의 제진 노즐(1)이 대향 형상이 되도록 배열 설치된다. Fig. 4 shows an embodiment of a vibration suppression apparatus having a vibration elimination nozzle according to the present invention. The vibration suppression apparatus according to the present invention is a vibration suppression apparatus having a vibration suppression nozzle . The electronic parts 6 are arranged in a lattice shape or a zigzag shape, for example, on a printed board or a cassette tray. The vibration elimination nozzle 1 is provided corresponding to each column of the electronic parts 6, One vibration deadening nozzle 1 is arranged so as to be opposed to one of the recessed vibrating face portions 2 on the part 6. [

도 3에 도시하는 바와 같이, 요제진 소면부(2)는, 예를 들면, CMOS 이미지 센서나 CCD 이미지 센서 등의 센서로 이루어진다. 전자 부품(6)에는, 요제진 소면부(2)의 윤곽(L)의 외방을 따른 부분적 내지 전체 둘레에 걸쳐, 극미세 배선(8)이 배열 설치되어 있다. 요제진 소면부(2)는 도면예에서는, 평면으로 보아 직사각형 형상으로 형성되고, 최소로 4.4mm×3.3mm의 크기로 설정되고, 최대로 36mm×24mm의 크기로 설정된다. 요제진 소면부(2)는 전자 부품(6) 중에서도 가장 제진이 필요하게 되고, 특히 높은 클린도가 요구된다. 구체적으로는, 단위면적(mm2)당에, 부착되어 있는 이물질이 크기 1㎛의 것이 5개 미만을 말한다. 극미세 배선(8)은 단면적이 원형이라고 한다면, 그 직경이 10㎛∼20㎛의 것을 말한다. As shown in Fig. 3, the recessed portion 2 is composed of, for example, a sensor such as a CMOS image sensor or a CCD image sensor. The electronic component 6 is provided with the very fine wirings 8 on a partial or entire periphery along the outer side of the outline L of the recessed portion 2. In the drawing, the recessed portion 2 is formed in a rectangular shape in plan view, is set to a minimum size of 4.4 mm x 3.3 mm, and is set to a maximum size of 36 mm x 24 mm. The damping facet portion 2 needs to be most damped among the electronic components 6, and a particularly high degree of cleanliness is required. Specifically, it refers to less than 5 pieces of attached foreign substances having a size of 1 mu m per unit area (mm < 2 >). When the cross-sectional area of the fine wirings 8 is circular, the diameter is 10 mu m to 20 mu m.

또한, 요제진 소면부(2)의 윤곽(L)은 직사각형 형상에 한정되는 것은 아니며, 원형 내지 타원 형상, 또는 장방형의 단변이 원호 형상으로 형성된 형상 등, 자유롭게 변경 가능하다. 또, 도시는 생략하지만, 다른 요제진 소면부(2)로서, 수정 부품, MEMS(미소전기기계 시스템), 반도체 웨이퍼, 광학 부품 등이어도 된다. In addition, the outline L of the recessed portion 2 is not limited to a rectangular shape, but can be freely changed, such as a circular or elliptical shape, or a shape in which a short side of a rectangle is formed into an arc shape. Although not shown in the drawing, the other recessed portion 2 may be a quartz component, a microelectromechanical system (MEMS), a semiconductor wafer, an optical component, or the like.

도 1과 도 2에 도시하는 바와 같이, 제진 노즐(1)은 요제진 소면부(2)와의 대향면(1A)에, 에어를 분출하는 복수개의 에어 분출 구멍(3)과, 에어를 흡인하는 복수개의 에어 흡입 구멍(4)을 구비하고 있다. 1 and 2, the vibration damping nozzle 1 is provided with a plurality of air jet holes 3 for jetting air on the opposed face 1A to the incombustion face side portion 2, And has a plurality of air suction holes (4).

도 3(B)에 도시하는 바와 같이, 제진 노즐(1)은, 요제진 소면부(2)와의 대향 상태에서, 에어 분출 구멍(3)이 요제진 소면부(2)의 윤곽(L) 내의 영역(P)에 배열 설치되고, 에어 분출 구멍(3)으로부터 요제진 소면부(2)의 윤곽(L) 내를 향하여 에어를 분출한다. 즉 제진 노즐(1)은, 요제진 소면부(2)의 윤곽(L)의 외방에 배열 설치되는 극미세 배선(8)에 에어가 직접 닿지 않도록, 요제진 소면부(2)를 겨냥하여 에어 분출 구멍(3)으로부터 에어를 분출하도록 구성되어 있다. 에어 흡입 구멍(4)은 (복수개의)에어 분출 구멍(3)을 둘러싸는 모양으로 하여 배열 설치되고, 요제진 소면부(2)의 윤곽(L)의 외방의 영역(V)에서, 분출한 에어를 흡인하도록 구성되어 있다. 이하, 요제진 소면부(2)의 윤곽(L) 내의 영역(P)을 에어 뿜기 영역으로 하고, 요제진 소면부(2)의 윤곽(L)의 외방의 영역(V)을 에어 흡인 영역으로 한다. 3 (B), in the state in which the dust-removing nozzle 1 is opposed to the recessed portion 2, the air spray hole 3 is formed in the outline L of the recessed portion 2 The air is ejected from the air spray holes 3 toward the inside of the contour L of the recessed portion 2 side. That is, the vibration damping nozzle 1 is arranged such that the air is not directly applied to the very fine wirings 8 arranged on the outer side of the outline L of the recessed portion 2, And is configured to eject air from the spray hole 3. The air suction holes 4 are arranged in such a manner as to surround the (plural) air spray holes 3 and are arranged in the region V outside the outline L of the recessed portion 2, And is configured to suck air. Hereinafter, the region P in the contour L of the recessed portion 2 is referred to as an air blowing region and the region V outside the contour L of the recessed portion 2 is referred to as an air suction region do.

도 1과 도 2에서는, 제진 노즐(1)은 평면으로 보아 대략 직사각형의 짧은 기둥 형상으로 형성되고, 공급·배기용의 에어 배관 접속 플러그가 연결되는 노즐 보디부(13)와, 복수개의 에어 분출 구멍(3)과 복수개의 에어 흡입 구멍(4)이 개방 설치된 캡부(14)를 가지고 있다. 제진 노즐(1)은 복수개의 에어 분출 구멍(3)에 연통 연결하는 에어 토출용 유로(11)와, 복수개의 에어 흡입 구멍(4)에 연통 연결하는 에어 흡인용 유로(12)를 내부에 갖고, 캡부(14) 내의 에어 토출용 유로(11)에, 초음파 발생기(7)가 배열 설치되어 있다. 초음파 발생기(7)는 에어 분출 구멍(3)과 동수의 관통구멍이 설치된 복수개의 블록(15)으로 이루어지고, 이 블록(15)은 에어 분출 구멍(3)보다 직경이 큰 확대구멍(16)을 갖는 제 1 블록(15A)과, 확대구멍(16)보다 직경이 작은 축소 구멍(17)을 갖는 제 2 블록(15B)의 2종류를 구비하고, 2 종류의 블록(15A, 15B)이 번갈아 배열 설치되어 있다. 에어 분출 구멍(3)과 확대 구멍(16, 16) 및 축소 구멍(17)에 의해, 단면적이 확대·축소를 반복하는 연속 형상의 초음파 발생 구멍이 형성되어 있다. 또한, 캡부(14)의 바닥부에, 에어 분출 구멍(3)과 연속하는 초음파 발생 구멍을 일체로 형성해도 된다. 1 and 2, the vibration damping nozzle 1 is formed in a short pillar shape having a substantially rectangular shape in plan view and includes a nozzle body portion 13 to which an air pipe connection plug for supply and exhaust is connected, (3) and a cap portion (14) in which a plurality of air suction holes (4) are opened. The vibration damping nozzle 1 has an air discharge flow path 11 communicating with a plurality of air spray holes 3 and an air suction flow path 12 communicating with a plurality of air suction holes 4 , And an ultrasonic wave generator (7) is arranged in the air discharge passage (11) in the cap portion (14). The ultrasonic generator 7 is composed of a plurality of blocks 15 provided with the same number of through holes as the air spray holes 3. The block 15 has an enlarged hole 16 having a larger diameter than the air spray holes 3, And a second block 15B having a reduced diameter hole 17 whose diameter is smaller than that of the enlarged hole 16. The two kinds of blocks 15A and 15B alternate with each other Arrays are installed. The ultrasonic generating holes of a continuous shape in which the cross-sectional area is repeatedly enlarged and reduced are formed by the air blowing holes 3, the enlarging holes 16 and 16, and the reducing hole 17. Further, an ultrasonic wave generation hole continuous with the air ejection hole 3 may be integrally formed at the bottom of the cap portion 14. [

도 1에 도시하는 바와 같이, 에어 분출 구멍(3)은 비교적 작은 직경의 원형 구멍이며, 그 직경(Do)은 0.45mm∼0.75mm로 설정하는 것이 바람직하다. 한편, 에어 흡입 구멍(4)은 비교적 큰 직경의 원형 구멍이어도 되고, 그 직경(D1)은, 에어 분출 구멍(3)의 직경(Do)의 3배∼5배, 보다 바람직하게는, 구체적으로, 1.5mm∼3.5mm로 설정된다. As shown in Fig. 1, the air spray hole 3 is a circular hole having a relatively small diameter, and the diameter Do is preferably set to 0.45 mm to 0.75 mm. On the other hand, the air suction hole 4 may be a circular hole with a relatively large diameter, and the diameter D 1 thereof is preferably 3 to 5 times the diameter Do of the air spray hole 3, And is set to 1.5 mm to 3.5 mm.

에어 분출 구멍(3)의 직경(Do)이 상기 하한값 미만이면, 천공에 의한 가공이 어렵고, 상기 상한값을 초과하면, 분출하는 에어의 풍속이 저하된다. 또한 에어 흡입 구멍(4)의 직경(D1)이 상기 하한값 미만이면, 이물질을 제거할 수 없는 경우가 있고, 상기 상한값을 초과하면, 제진 노즐(1)의 크기가 과대하게 된다. If the diameter Do of the air blowing hole 3 is less than the above lower limit value, it is difficult to work by punching. If the diameter Do exceeds the upper limit value, the air velocity of the blowing air drops. In addition, the diameter (D 1) of the air intake port 4 is lower than the lower limit value, and may not be able to remove foreign matter, if it exceeds the above upper limit, the size of the damping nozzle (1) is excessively large.

다음에 본 발명의 제진 장치에 대해 설명한다. Next, a vibration suppression apparatus according to the present invention will be described.

도 4에 도시하는 바와 같이, 본 발명의 제진 장치는, 서로 평행한 복수열 형상으로 전자 부품군(10)을 나열하여 간헐적으로 이송하는 반송 수단(20)과, 반송 수단(20)의 반송 방향(C)에 직교하는 폭 방향에 나란히 설치된 복수개의 제진 노즐(1)을 구비하고, 복수개의 제진 노즐(1)이 전자 부품군(10)의 각 열에 대응하여 배열 설치되어 있다. 4, the vibration damping device of the present invention comprises conveying means 20 for intermittently conveying a group of electronic components 10 in a plurality of rows parallel to each other, and conveying means 20 for conveying the conveying means 20 in the conveying direction And a plurality of vibration damping nozzles 1 are arranged in correspondence with the respective columns of the electronic component group 10. The plurality of vibration damping nozzles 1 are arranged in the width direction orthogonal to the longitudinal direction C of the electronic component group 10,

반송 수단(20)은, 예를 들면, 길이 방향 양단부가 연결된 엔드리스 벨트와, 벨트를 내측으로부터 지지하는 롤러와, 롤러를 구동하는 모터와, 변속기 등에 의해 구성된다. The conveying means 20 is constituted by, for example, an endless belt to which both end portions in the longitudinal direction are connected, a roller for supporting the belt from the inside, a motor for driving the roller, a transmission and the like.

전자 부품군(10)의 각 전자 부품(6)은 초고클린도가 요구되는 요제진 소면부(2)를 일부에 구비하고 있다. 요제진 소면부(2)는 전자 부품(6) 중에서도 가장 제진이 필요한 부분이다. Each of the electronic components 6 of the electronic component group 10 is provided with a part of the recessed portion 2 which requires ultra high cleanliness. The incandescent face portion 2 is the portion which needs to be most vibrated among the electronic components 6. [

도 1과 도 4(B)에 도시하는 바와 같이, 제진 노즐(1)은, 반송 수단(20)에서 간헐적으로 보내져서 정지 상태로 된 전자 부품(6)에 대하여, 요제진 소면부(2)의 윤곽(L) 내를 향하여 에어 분출 구멍(3)으로부터 에어를 분출하고, 또한, 요제진 소면부(2)의 윤곽(L)의 외방에서, 분출한 에어를 에어 흡입 구멍(4)에 흡인하도록 구성되어 있다. As shown in Figs. 1 and 4B, the vibration damping nozzle 1 is provided with the recessed portion 2 of the electronic component 6 intermittently sent and stopped in the carrying means 20, The air blown out from the air blowing hole 3 toward the inside of the outline L of the recessed portion 2 and the air blown out from the outside of the outline L of the recessed portion 2 by the air suction hole 4 .

제진 노즐(1)은, 반송 방향(C)을 가로지르는 세정 위치(W)에 동시에 이송되어 오는 전자 부품(6)의 수량에 대응하여, 동일한 개수가 (반송 방향(C)에 직교하는)폭 방향으로 나란히 설치되고, 전자 부품(6) 상의 1개소의 요제진 소면부(2)에 대하여, 1 개의 제진 노즐(1)이 대향 형상이 되도록 배열 설치된다. 또한, 제진 노즐(1)을, 복수열로 나란히 설치하여, 복수의 세정 위치(W)에서, 동시에 세정을 행하고, 보다 많은 전자 부품(6)에 대응하도록 구성해도 된다. The vibration damping nozzle 1 has the same number (width (perpendicular to the conveying direction C)) as the number of the electronic components 6 simultaneously transferred to the cleaning position W across the conveying direction C And one vibration damping nozzle 1 is arranged so as to be opposed to one incidence side surface portion 2 on the electronic component 6. [ The vibration damping nozzles 1 may be arranged side by side in a plurality of rows so as to be simultaneously cleaned at a plurality of cleaning positions W so as to correspond to a larger number of electronic components 6.

상술한 본 발명의 제진 노즐의 사용 방법(작용)에 대하여 설명한다. The operation (action) of the above-mentioned vibration damping nozzle of the present invention will be described.

도 2(A)에 도시하는 바와 같이, 공급용의 에어 배관으로부터 제진 노즐(1)의 에어 토출용 유로(11)에 소정 고압의 에어를 공급한다. 에어 토출용 유로(11)에 공급된 에어는, 초음파 발생기(7)를 통과하여, 20kHz∼100kHz의 주파수의 초음파가 실린 에어류(초음파 에어)(F)가 되고, 에어 분출 구멍(3)으로부터 불어 내진다. 에어 토출용 유로(11)는 용적이 극히 작아, 단시간에 순간적으로 에어 토출용 유로(11) 내가 소정의 압력에 도달하고, 에어 분출 구멍(3)으로부터는 고속(140m∼200m/sec)으로 에어류(F)가 분출한다. As shown in Fig. 2 (A), air of a predetermined high pressure is supplied to the air discharging flow path 11 of the vibration damping nozzle 1 from an air piping for supplying. The air supplied to the air discharge flow path 11 passes through the ultrasonic wave generator 7 to become an air flow (ultrasonic air) F carrying ultrasonic waves at a frequency of 20 kHz to 100 kHz and flows from the air spray hole 3 It is blown. The volume of the air discharge passage 11 is extremely small and the air discharge passage 11 is instantaneously reached at a predetermined pressure in a short time and the air is discharged from the air discharge hole 3 at a high speed (140 m to 200 m / sec) (F).

도 3(B)에서는, 제진 노즐(1)은 요제진 소면부(2)의 윤곽(L) 내의 에어 뿜기 영역(P)에서, 에어 분출 구멍(3)으로부터 요제진 소면부(2)를 향하여 에어를 분출한다. 제진 노즐(1)은 요제진 소면부(2)에만 에어를 뿜어, 이물질을 요제진 소면부(2) 표면으로부터 박리시킨다. 즉 제진 노즐(1)은, 요제진 소면부(2)의 윤곽(L)의 외방에 배열 설치되는 극미세 배선(8)에 에어가 직접 닿지 않도록, 요제진 소면부(2)를 겨냥하여 에어 분출 구멍(3)으로부터 에어를 분출한다. 제진 노즐(1)은 요제진 소면부(2)의 윤곽(L)보다 외방에는 에어를 뿜지 않아, 불필요한 공기 누설(에어 리크)을 발생시키지 않는다. 따라서, 여분의 에어를 소비하지 않아도 되어, 적은 소비 공기량으로 요제진 소면부를 능률적으로 세정한다. 3 (B), the damping nozzle 1 is arranged in the air blowing region P in the outline L of the recessed side face portion 2 from the air blowing hole 3 toward the recessed sidewall portion 2 Air is ejected. The dust-eliminating nozzle 1 blows air only to the recessed portion 2, and separates foreign matter from the surface of the recessed portion 2 of the recessed portion. That is, the vibration damping nozzle 1 is arranged such that the air is not directly applied to the very fine wirings 8 arranged on the outer side of the outline L of the recessed portion 2, And the air is blown out from the spray hole 3. The dust-eliminating nozzle 1 does not blow air outside the contour L of the recessed portion 2, and does not generate unnecessary air leakage (air leak). Therefore, it is not necessary to consume extra air, so that the required surface area is efficiently cleaned with a small consumption air amount.

요제진 소면부(2) 표면으로부터 박리한 이물질은, 요제진 소면부(2)의 윤곽(L)의 외방의 에어 흡인 영역(V)에서, 에어 흡입 구멍(4)에 흡입되고, 에어 흡인용 유로(12)로부터 배기용의 에어 배관으로 이물질이 배출된다. 제진 노즐(1)은, 에어 뿜기 영역(P)의 외방을 둘러싸는 에어 흡인 영역(V)에서, 에어 분출 구멍(3)으로부터 분출한 에어를 흡인하여, 이물질을 주위로 비산시키지 않고 제거한다. The foreign matter peeled from the surface of the recessed portion 2 is sucked into the air suction hole 4 in the air suction region V on the outer side of the outline L of the recessed portion 2, Foreign matter is discharged from the flow path 12 to the air piping for exhausting. The dust removing nozzle 1 sucks the air ejected from the air ejection hole 3 in the air suction region V surrounding the outside of the air blowing region P and removes the foreign matter without scattering around.

또한, 본 발명은, 설계 변경 가능하며, 예를 들면, 제진 노즐(1)은, 도 5(A)에 도시하는 바와 같이, 에어 흡입 구멍(4)이 슬릿 형상으로 형성되어 있어도 된다. 슬릿 형상의 에어 흡입 구멍(4)은, 요제진 소면부(2)의 윤곽(L)의 외방의 2개소에, 에어 뿜기 영역(P)을 사이에 끼우도록 배열 설치된다. 또한 도 5(B)에 도시하는 바와 같이, 에어 흡입 구멍(4)이 폐환 형상으로 형성되어, 요제진 소면부(2)의 윤곽(L)의 외방을 포위하도록 배열 설치되어 있어도 된다. In addition, the present invention can be changed in design. For example, as shown in Fig. 5 (A), the dust-removing nozzle 1 may have the air suction hole 4 formed in a slit shape. The slit-shaped air suction holes 4 are arranged at two positions on the outer side of the contour L of the recessed portion 2 in such a manner as to sandwich the air blowing region P therebetween. 5 (B), the air suction holes 4 may be formed in a closed ring shape so as to be arranged so as to surround the outside of the outline L of the recessed portion 2.

도 6에 도시하는 바와 같이, 요제진 소면부(2)가 둥근 형상인 경우에는, 제진 노즐(1)을 평면으로 보아 원 형상으로 형성해도 바람직하다. 도 6(C)에서는, 제진 노즐(1)은 요제진 소면부(2)의 윤곽(L) 내에 복수개의 에어 분출 구멍(3)을 방사상으로 배열 설치하고, 요제진 소면부(2)의 윤곽(L)의 외방을 둘러싸도록 복수개의 에어 흡입 구멍(4)을 배열 설치하고 있다. 도 6(D)에서는, 에어 흡입 구멍(4)이 원호 형상으로 만곡된 형태의 슬릿 형상으로서 형성되고, 도 6(E)에서는, 에어 흡입 구멍(4)이 둥근 고리 형상으로 형성되어, 요제진 소면부(2)의 윤곽(L)의 외방을 포위하도록 배열 설치되어 있다. As shown in Fig. 6, when the recessed portion 2 has a round shape, it is also preferable that the dust removing nozzle 1 is formed into a circular shape in plan view. 6 (C), the vibration damping nozzle 1 is provided with a plurality of air spray holes 3 radially arranged in the outline L of the recessed portion 2, and the outline L of the recessed portion 2, A plurality of air suction holes 4 are arranged so as to surround the outer sides of the air suction holes L. 6 (D), the air suction hole 4 is formed as a slit shape curved in an arc shape. In Fig. 6 (E), the air suction hole 4 is formed in a circular ring shape, And is arranged so as to surround the outer side of the outline (L) of the surface portion (2).

또한, 도 7에 도시하는 바와 같이, 요제진 소면부(2)의 면적(크기)이 커진 경우에는, 에어 분출 구멍(3) 및 에어 흡입 구멍(4)의 개수를 증가시키거나, 혹은, 에어 흡입 구멍(4)의 면적을 증대시킨다. 도 7(F)에서는, 요제진 소면부(2)의 윤곽(L) 내에, 도 1에서 도시하는 도면예 보다 많은 에어 분출 구멍(3)을 배열 설치하여, 요제진 소면부(2)의 윤곽(L)의 외방을 둘러싸도록 복수개의 에어 흡입 구멍(4)을 배열 설치하고 있다. 도 7(G)에서는, 에어 흡입 구멍(4)을 슬릿 형상으로 하고, 도 7(H)에서는, 에어 흡입 구멍(4)이 ㄷ자 형상으로 형성되고, 요제진 소면부(2)의 윤곽(L)의 외방을 둘러싸도록 배열 설치되어 있다. 7, when the area (size) of the recessed portion 2 is large, the number of the air spray holes 3 and the air suction holes 4 is increased, The area of the suction hole 4 is increased. In Fig. 7 (F), more air blowing holes 3 than the example shown in Fig. 1 are arranged in the contour L of the recessed portion 2, A plurality of air suction holes 4 are arranged so as to surround the outer sides of the air suction holes L. 7 (G), the air suction hole 4 is formed in a slit shape, and in FIG. 7 (H), the air suction hole 4 is formed in a C shape and the contour L As shown in Fig.

이상과 같이, 본 발명에 따른 제진 노즐은, 초고클린도가 요구되는 요제진 소면부(2)를 일부에 구비한 전자 부품(6)을, 에어로 세정하는 제진 노즐에 있어서, 상기 요제진 소면부(2)의 윤곽(L) 내를 향하여 에어를 분출시키기 위한 에어 분출 구멍(3)과, 상기 에어 분출 구멍(3)을 둘러싸는 모양으로 하여 배열 설치되고, 상기 요제진 소면부(2)의 상기 윤곽(L)의 외방에서, 분출한 에어를 흡인하는 에어 흡입 구멍(4)을 구비하므로, 요제진 소면부(2)의 면적 및 형상에 대응하여, 에어 분출 구멍(3)과 에어 흡입 구멍(4)을 배열 설치하여, 에어 리크를 거의 발생하지 않고, 세정이 필요한 요제진 소면부(2)에만 에어를 뿜을 수 있어, 요제진 소면부(2)를 능률적으로, 또한 확실하게 세정할 수 있다. 또한 여분의 에어를 소비하지 않아도 되어, 소비 공기량을 경감할 수 있다. 주위에 이물질을 비산시키지 않고 제거할 수 있다. 에어 분출 구멍(3)으로부터 분출되는 에어가 순간적으로 소정의 압력 및 풍속에 도달할 수 있어, 단시간의 에어 방출로, 요제진 소면부(2) 상의 이물질을 확실하게 제거할 수 있어, 세정 능률을 향상시킬 수 있다. As described above, the vibration damping nozzle according to the present invention is a vibration damping nozzle for air-cleaning an electronic component (6) having a part of a recessed portion (2) requiring a high degree of cleanliness, An air blowing hole 3 for blowing air toward the inside of the contour L of the gasket 2 and an air blowing hole 3 arranged in such a manner as to surround the air blowing hole 3, Since the air suction hole 4 for sucking the jetted air is provided at the outside of the outline L in correspondence with the area and the shape of the recessed portion 2 of the air suction hole 3, Air can be blown only to the recessed portion 2 of the recessed portion requiring little cleaning and air can be efficiently and efficiently cleaned have. In addition, it is not necessary to consume extra air, and the consumption air amount can be reduced. The foreign matter can be removed without scattering the foreign matter. The air ejected from the air ejection hole 3 can instantaneously reach the predetermined pressure and the wind speed and the foreign matter on the recessed portion 2 can be reliably removed with a short time of air release, Can be improved.

또한, 상기 전자 부품(6)에는, 상기 요제진 소면부(2)의 상기 윤곽(L)의 외방을 따른 부분적 내지 전체 둘레에 걸쳐, 극미세 배선(8)이 배열 설치되어, 상기 극미세 배선(8)에 에어가 직접 닿지 않도록, 상기 요제진 소면부(2)를 겨냥하여 상기 에어 분출 구멍(3)으로부터 에어를 분출하도록 구성되어 있으므로, 극미세 배선을 단선·손상시키지 않고, 요제진 소면부(2)에만 에어를 뿜을 수 있어, 요제진 소면부(2)를 능률적으로, 또한 확실하게 세정할 수 있다. The electronic component (6) is provided with an array of very fine wirings (8) arranged to extend partially or entirely along the outside of the outline (L) of the recessed portion (2) Since the air is blown out from the air spray hole 3 with the aim of the recessed sidewall portion 2 so that the air does not directly touch the sidewall 8, Air can be blown only to the portion 2, and it is possible to efficiently and surely clean the recessed portion 2 side.

또한, 상기 요제진 소면부(2)가 센서이므로, 전자 부품(6) 중에서도 가장 제진이 필요하게 되어, 특히 높은 클린도가 요구되는 요제진 소면부(2)에만 에어를 집중적으로 뿜어, 요제진 소면부(2)를 능률적으로, 또한 확실하게 세정할 수 있다. In addition, since the incandescent surface portion 2 is a sensor, it is most necessary to perform vibration damping among the electronic components 6, and particularly, the air is intensively blown only to the incombustibed portion surface portion 2 requiring a high degree of cleanliness, It is possible to efficiently and surely clean the surface portion 2.

또한, 본 발명에 따른 제진 장치는, 서로 평행한 복수열 형상으로 전자 부품군(10)을 나열하여 간헐적으로 이송하는 반송 수단(20)과, 상기 반송 수단(20)의 상기 이송 방향과 직교하는 폭 방향으로 나란히 설치된 복수개의 제진 노즐(1)을 구비하고, 상기 전자 부품군(10)의 각 전자 부품(6)은 초고클린도가 요구되는 요제진 소면부(2)를 일부에 구비하고, 상기 각 제진 노즐(1)은 상기 요제진 소면부(2)의 윤곽(L) 내를 향하여 에어를 분출시키기 위한 에어 분출 구멍(3)과, 상기 에어 분출 구멍(3)을 둘러싸는 모양으로 하여 배열 설치되고, 상기 요제진 소면부(2)의 상기 윤곽(L)의 외방에서, 분출한 에어를 흡인하는 에어 흡입 구멍(4)을 구비하고, 또한, 복수개의 제진 노즐(1)은 상기 전자 부품군(10)의 각 열에 대응하여 배열 설치되고, 상기 반송 수단(20)에서 간헐적으로 이송되어 정지 상태로 된 상기 전자 부품(6)에 대하여, 상기 요제진 소면부(2)의 윤곽(L) 내를 향하여 에어를 분출하고, 또한, 상기 요제진 소면부(2)의 상기 윤곽(L)의 외방에서, 분출한 에어를 흡인하도록 구성했으므로, 복수개의 제진 노즐(1)을 전자 부품군(10)의 각 열에 대응하여 배열 설치하고, 각 전자 부품(6)에 설치된 요제진 소면부(2)를 능률적으로 세정할 수 있다. 또한 요제진 소면부(2)의 면적 및 형상에 대응하여, 각 제진 노즐(1)에 에어 분출 구멍(3)과 에어 흡입 구멍(4)을 배열 설치하여, 에어 리크를 거의 발생하지 않고, 세정이 필요한 요제진 소면부(2)에만 에어를 뿜을 수 있어, 요제진 소면부(2)를 능률적으로 세정할 수 있다. 또한 여분의 에어를 소비하지 않아도 되어, 소비 공기량을 경감할 수 있다. 주위에 이물질을 비산시키지 않고 제거할 수 있다. 에어 분출 구멍(3)으로부터 분출되는 에어가 순간적으로 소정의 압력 및 풍속에 도달할 수 있어, 단시간의 에어 방출로, 요제진 소면부(2) 상의 이물질을 확실하게 제거할 수 있어, 세정 능률을 향상시킬 수 있다. 동시에 이송되어 오는 전자 부품(6)의 수량분의 제진 노즐(1)을 배열 설치할 수 있어, 세정 능률을 향상시킬 수 있다. The vibration elimination device according to the present invention comprises a conveying means 20 for intermittently conveying a group of electronic components 10 in a plurality of rows parallel to each other, And a plurality of dust collecting nozzles (1) arranged side by side in the width direction. Each of the electronic components (6) of the electronic component group (10) has a part of the recessed portion (2) Each of the vibration damping nozzles 1 includes an air blowing hole 3 for blowing air toward the inside of the outline L of the incandescent surface 2 and an air blowing hole 3 surrounding the air blowing hole 3 And a plurality of dust-removing nozzles (1) are provided on the outer side of the outline (L) of the recessed sidewall portion (2) Are arranged in correspondence with the respective columns of the component group (10), and are intermittently (2), the air is jetted toward the inside of the contour (L) of the recessed portion (2) of the electronic component (6) The plurality of dust-eliminating nozzles 1 are arranged in correspondence with the respective columns of the electronic component group 10 and the plurality of dust-removing nozzles 1 are arranged in correspondence with the respective columns of the electronic component group 10, The portion 2 can be efficiently cleaned. The air spray holes 3 and the air suction holes 4 are arranged in the respective vibration damping nozzles 1 in correspondence with the area and shape of the recessed portion 2 so that air leakage hardly occurs, Air can be blown only to the required incineration side face portion 2, and the incinerated side face portion 2 can be efficiently cleaned. In addition, it is not necessary to consume extra air, and the consumption air amount can be reduced. The foreign matter can be removed without scattering the foreign matter. The air ejected from the air ejection hole 3 can instantaneously reach the predetermined pressure and the wind speed and the foreign matter on the recessed portion 2 can be reliably removed with a short time of air release, Can be improved. It is possible to arrange the vibration damping nozzles 1 for the number of the simultaneously delivered electronic parts 6, thereby improving the cleaning efficiency.

1 제진 노즐
2 요제진 소면부
3 에어 분출 구멍
4 에어 흡입 구멍
6 전자 부품
8 극미세 배선
10 전자 부품군
20 반송 수단
L 윤곽1 Noise elimination nozzle
2,
3 air blowing hole
4 Air intake hole
6 Electronic components
8-pole micro wiring
10 Electronic Components Group
20 conveying means
L contour

Claims (4)

초고클린도가 요구되는 요제진 소면부(2)를 일부에 구비한 전자 부품(6)을 에어로 세정하는 제진 노즐에 있어서,
상기 요제진 소면부(2)의 윤곽(L) 내를 향하여 에어를 분출시키기 위한 에어 분출 구멍(3)과, 상기 에어 분출 구멍(3)을 둘러싸는 모양으로 하여 배열 설치되고, 상기 요제진 소면부(2)의 상기 윤곽(L)의 외방에서, 분출한 에어를 흡인하는 에어 흡입 구멍(4)을 구비하는 것을 특징으로 하는 제진 노즐.1. A vibration damping nozzle for air-cleaning an electronic component (6) having a part of a recessed portion (2) requiring a high cleanliness,
An air spray hole 3 for spraying air toward the inside of the contour L of the recessed sidewall portion 2 and an air spray hole 3 arranged so as to surround the air spray hole 3, , And an air suction hole (4) for sucking the jetted air outwardly of the outline (L) of the part (2). 제1항에 있어서,
상기 전자 부품(6)에는, 상기 요제진 소면부(2)의 상기 윤곽(L)의 외방을 따른 부분적 내지 전체 둘레에 걸쳐, 극미세 배선(8)이 배열 설치되고,
상기 극미세 배선(8)에 에어가 직접 닿지 않도록, 상기 요제진 소면부(2)를 겨냥하여 상기 에어 분출 구멍(3)으로부터 에어를 분출하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 제진 노즐.The method according to claim 1,
The electronic component (6) is provided with fine fine wirings (8) arranged on a partial or entire periphery along the outer side of the outline (L) of the recessed portion (2)
Is configured to eject air from the air spray hole (3) with the aim of the recessed portion (2) so that air does not directly touch the micro wiring (8). 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 요제진 소면부(2)가 센서인 것을 특징으로 하는 제진 노즐.3. The method according to claim 1 or 2,
(2) is a sensor. 서로 평행한 복수열 형상으로 전자 부품군(10)을 나열하여 간헐적으로 이송하는 반송 수단(20)과, 상기 반송 수단(20)의 상기 이송 방향과 직교하는 폭 방향으로 나란히 설치된 복수개의 제진 노즐(1)을 구비하고,
상기 전자 부품군(10)의 각 전자 부품(6)은 초고클린도가 요구되는 요제진 소면부(2)를 일부에 구비하고,
상기 각 제진 노즐(1)은 상기 요제진 소면부(2)의 윤곽(L) 내를 향하여 에어를 분출시키기 위한 에어 분출 구멍(3)과, 상기 에어 분출 구멍(3)을 둘러싸는 모양으로 하여 배열 설치되고, 상기 요제진 소면부(2)의 상기 윤곽(L)의 외방에서, 분출한 에어를 흡인하는 에어 흡입 구멍(4)을 구비하고,
또한, 복수개의 제진 노즐(1)은 상기 전자 부품군(10)의 각 열에 대응하여 배열 설치되고,
상기 반송 수단(20)에서 간헐적으로 보내져서 정지 상태로 된 상기 전자 부품(6)에 대하여, 상기 요제진 소면부(2)의 윤곽(L) 내를 향하여 에어를 분출하고, 또한, 상기 요제진 소면부(2)의 상기 윤곽(L)의 외방에서, 분출한 에어를 흡인하도록 구성한 것을 특징으로 하는 제진 장치.
(20) for intermittently conveying a group of electronic components (10) in a plurality of rows parallel to each other and a plurality of vibration damping nozzles (20) arranged side by side in the width direction orthogonal to the conveying direction of the conveying means 1)
Each of the electronic components 6 of the electronic component group 10 is provided with a part of the recessed portion 2 which requires ultra high cleanliness,
Each of the vibration damping nozzles 1 includes an air blowing hole 3 for blowing air toward the inside of the outline L of the incandescent surface 2 and an air blowing hole 3 surrounding the air blowing hole 3 And an air suction hole (4) for sucking the jetted air from the outside of the outline (L) of the recessed portion (2)
The plurality of vibration deadening nozzles 1 are arranged corresponding to the respective columns of the electronic component group 10,
The air is jetted toward the inside of the outline (L) of the recessed portion (2) with respect to the electronic component (6) intermittently sent and stopped in the carrying means (20) Wherein the air is sucked out from the outside of the outline (L) of the surface portion (2).
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