KR20170039320A - 완충공간을 구비한 로드락챔버 - Google Patents

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KR20170039320A
KR20170039320A KR1020150138282A KR20150138282A KR20170039320A KR 20170039320 A KR20170039320 A KR 20170039320A KR 1020150138282 A KR1020150138282 A KR 1020150138282A KR 20150138282 A KR20150138282 A KR 20150138282A KR 20170039320 A KR20170039320 A KR 20170039320A
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우람
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최종성
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Abstract

완충공간을 구비한 로드락챔버가 개시된다. 본 발명에 따른 로드락챔버는, 대기압 상태와 진공 상태를 반복하는 상호 인접하는 챔버와 챔버 사이에 완충공간을 형성한다. 그리고, 완충공간을 사이에 두고 상호 인접하면서 상이한 압력을 가지는 챔버들 중, 상대적으로 저압 상태를 유지하는 챔버와 상대적으로 고압 상태를 유지하는 챔버의 압력 사이의 압력으로 완충공간의 압력을 감압한다. 그러면, 완충공간과 고압인 챔버의 압력 차 및 완충공간과 저압인 챔버의 압력 차가 상대적으로 작으므로, 고압인 챔버의 변형 정도와 저압인 챔버의 변형 정도가 감소된다. 이로 인해, 고압인 챔버와 저압인 챔버를 결합시키는 체결부재에 상대적으로 작은 하중이 작용하게 되므로, 체결부재가 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있을 수 있다.

Description

완충공간을 구비한 로드락챔버 {LOADLOCK CHAMBER WITH BUFFER SPACE}
본 발명은 다단(多段)으로 적층된 상호 인접하는 챔버와 챔버 사이에 완충공간을 형성하고, 완충공간의 압력을 제어하여 상호 인접하는 챔버와 챔버의 연결 부위가 손상되는 것을 방지한 로드락챔버에 관한 것이다.
반도체소자 또는 평판표시소자 등은, 실리콘 웨이퍼 또는 글라스 등과 같은 기판에 원료물질을 증착하는 박막증착공정, 감광성 물질을 사용하여 증착된 박막들 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그라피공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 목적하는 대로 패터닝하는 식각공정 등에 의하여 제조된다.
기판은 각 공정에 알맞도록 최적의 환경으로 설계된 복수의 공정챔버, 상기 공정챔버로 반입될 기판을 임시로 저장하거나 상기 공정챔버에 반입되어 공정이 완료된 기판을 임시로 저장하는 로드락챔버 및 상기 로드락챔버의 기판을 상기 공정챔버로 이송하거나 상기 공정챔버의 기판을 상기 로드락챔버로 이송하는 이송챔버를 포함하는 기판처리시스템에서 진행된다.
오늘날, 복수의 기판을 저장할 수 있도록, 기판이 저장되는 챔버를 다단(多段)으로 형성한 로드락챔버가 개발되어 사용되고 있다.
도 1은 종래의 로드락챔버를 보인 도로서, 이를 설명한다.
도시된 바와 같이, 종래의 로드락챔버(10)는 복수의 챔버(11)를 포함하며, 챔버(11)는 상하로 적층되어 다단(多段)을 이룬다. 그리고, 상호 인접하는 하측에 위치된 챔버(11)와 상측에 위치된 챔버(11)는 볼트 등과 같은 체결부재(13)에 의하여 상호 결합된다.
그리하여, 카세트(미도시)에 적재된 기판(S)을 챔버(11)로 반입할 때에는 챔버(11)와 상기 카세트측이 연통되어야 하므로 챔버(11)는 대기압 상태로 가압된다. 그리고, 챔버(11)의 기판((S)을 공정챔버(미도시)로 반입하거나, 상기 공정챔버의 기판(S)을 챔버(11)로 반입할 때에는 이송챔버(미도시)와 챔버(11)가 연통되어야 하므로 챔버(11)의 압력은 상기 이송챔버와 동일한 진공 상태로 감압된다.
그러므로, 챔버(11)의 압력은 대기압 상태와 진공 상태를 반복한다. 이때, 하측의 챔버(11)와 상측의 챔버(11)는, 모두 진공 상태이거나, 모두 대기압 상태인 경우와 같이 동일한 상태일 수 있고, 상측의 챔버(11)가 대기압 상태일 때 하측의 챔버(11)가 진공 상태인 경우와 같이 상이한 상태일 수 있다.
그런데, 하측의 챔버(11)의 압력과 상측의 챔버(11)의 압력이 상이할 경우, 하측의 챔버(11)의 변형 정도(程度)와 상측의 챔버(11)의 변형 정도가 상이하므로, 하측의 챔버(11)와 상측의 챔버(11)를 결합시키는 체결부재(13)에 과하중이 작용하여 체결부재(13)가 손상될 우려가 있다.
그리고, 하측의 챔버(11)와 상측의 챔버(11)의 압력이 상이할 경우, 상호 접촉하는 하측의 챔버(11)의 상면과 상측의 챔버(11)의 하면은 상대적으로 저압인 챔버(11)측으로 변형된다. 그러면, 상측의 챔버(11)의 하면에 설치된 기판(S)이 탑재 지지되는 지지대(15)의 위치가 변형될 수 있다. 지지대(15)의 위치가 변형되는 것을 방지하기 위하여, 하측의 챔버(11)와 상측의 챔버(11) 사이에 완충공간(미도시)을 형성한 로드락챔버가 개발되었으나, 이 또한 체결부재(13)가 손상되는 단점이 있다.
로드락챔버와 관련한 선행기술은 한국공개특허공보 제10-2012-0042085호 등에 개시되어 있다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 모든 문제점들을 해결할 수 있는 완충공간을 구비한 로드락챔버를 제공하는 것일 수 있다.
본 발명의 다른 목적은 다단(多段)으로 적층된 상호 인접하는 챔버와 챔버 사이에 완충공간을 형성하고, 완충공간의 압력을 제어하여 상호 인접하는 챔버와 챔버의 연결 부위가 손상되는 것을 방지할 수 있는 완충공간을 구비한 로드락챔버를 제공하는 것일 수 있다.
본 발명에 따른 완충공간을 구비한 로드락챔버는, 압력의 변화를 가지는 다단(多段)으로 적층된 챔버; 상호 인접하는 상기 챔버와 상기 챔버 사이에 형성된 완충공간을 포함하며, 상기 완충공간의 압력 변화는 상기 챔버의 압력 변화 보다 작을 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 완충공간을 구비한 로드락챔버는, 기판이 반입 및 반출되고, 상대적으로 저압과 고압의 상태를 각각 반복하는 다단(多段)으로 적층된 챔버; 상호 인접하는 상기 챔버와 상기 챔버 사이에 형성된 완충공간을 포함하며, 상기 완충공간을 사이에 두고 배치된 어느 하나의 상기 챔버와 다른 하나의 상기 챔버는 체결부재에 의하여 상호 연결되고, 상기 완충공간의 압력은, 상기 완충공간을 사이에 두고 배치되며 상호 상이한 압력을 가지는 어느 하나의 상기 챔버의 압력과 다른 하나의 상기 챔버의 압력 사이의 압력으로 감압될 수 있다.
본 실시예에 따른 완충공간을 구비한 로드락챔버는, 대기압 상태와 진공 상태를 반복하는 상호 인접하는 챔버와 챔버 사이에 완충공간을 형성한다. 그리고, 완충공간을 사이에 두고 상호 인접하면서 상이한 압력을 가지는 챔버들 중, 상대적으로 저압 상태를 유지하는 챔버와 상대적으로 고압 상태를 유지하는 챔버의 압력 사이의 압력으로 완충공간의 압력을 감압한다. 그러면, 완충공간과 고압인 챔버의 압력 차 및 완충공간과 저압인 챔버의 압력 차가 상대적으로 작으므로, 고압인 챔버의 변형 정도와 저압인 챔버의 변형 정도가 감소된다. 이로 인해, 고압인 챔버와 저압인 챔버를 결합시키는 체결부재에 상대적으로 작은 하중이 작용하게 되므로, 체결부재가 손상되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있을 수 있다.
도 1은 종래의 로드락챔버를 보인 도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락챔버가 설치된 클러스터 타입 기판처리시스템의 개략 평면도.
도 3은 도 2에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락챔버의 "A-A"선 단면도.
도 4는 도 2에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락챔버의 측면도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 로드락챔버의 단면도.
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
"및/또는"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및/또는 제3항목"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 또는 제3항목들 중 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결된다 또는 설치된다"고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결 또는 설치될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결된다 또는 설치된다"라고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "∼사이에"와 "바로 ∼사이에" 또는 "∼에 이웃하는"과 "∼에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
이하에서는, 본 발명의 실시예에 따른 완충공간을 구비한 로드락챔버에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락챔버가 설치된 클러스터 타입 기판처리시스템의 개략 평면도로서, 이를 설명한다.
도시된 바와 같이, 클러스터 타입 기판처리시스템은 복수의 공정챔버(50), 이송챔버(60) 및 복수의 로드락챔버(100)를 포함할 수 있다. 이때, 공정챔버(50)와 로드락챔버(Loadlock Chamber)(100)는 이송챔버(60)의 측면에 결합되어, 이송챔버(60)를 중심으로 대략 원형을 이루는 형태로 배치될 수 있다.
공정챔버(50)는 실리콘 웨이퍼 또는 글라스 등과 같은 기판(S)에 원료물질을 증착하는 박막증착공정, 감광성 물질을 사용하여 증착된 박막들 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그라피공정 또는 선택된 영역의 박막을 제거하여 목적하는 대로 패터닝하는 식각공정 등을 수행할 수 있는 공간을 제공한다. 따라서, 공정챔버(50)는 각 공정에 알맞도록 최적의 환경으로 설계되며, 상대적으로 고진공 상태를 유지한다.
로드락챔버(100)는 공정챔버(50)로 반입될 기판(S)을 임시로 저장하거나, 공정챔버(50)에 반입되어 공정이 완료된 기판(S)을 임시로 저장할 수 있다. 로드락챔버(100)는 카세트(미도시)에 적재된 기판(S)을 전달받아 저장한 후, 공정챔버(50)로 전달할 수 있다.
이송챔버(60)는 로드락챔버(100)의 기판(S)을 공정챔버(50)로 이송하거나, 공정챔버(50)의 기판(S)을 로드락챔버(100)로 이송할 수 있다. 이송챔버(60)는 공정챔버(50)에 비하여 상대적으로 저진공 상태를 유지할 수 있다.
상기 카세트(미도시)에 적재된 기판(S)이 로드락챔버(100)로 이송될 경우는 로드락챔버(100)와 상기 카세트측이 연통되므로, 로드락챔버(100)는 가압되어 대기압 상태일 수 있다. 그리고, 로드락챔버(100)의 기판(S)이 공정챔버(50)로 이송되거나, 공정챔버(50)의 기판(S)이 로드락챔버(100)로 이송될 경우는, 로드락챔버(100)와 이송챔버(60)가 연통되므로, 도드락챔버(100)는 감압되어 진공 상태일 수 있다.
로드락챔버(100)의 외측에는 상기 카세트 등이 저장되는 저장부(70)가 설치될 수 있고, 이송챔버(60) 및 저장부(70)에는 기판(S)을 이송하는 이송로봇(63)(73)이 각각 설치될 수 있다. 이송로봇(63)(73)은 직선운동 및 회전운동가능하게 설치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 로드락챔버(100)에 대하여 도 2 내지 도 4를 참조하여 설명한다. 도 3은 도 2에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락챔버의 "A-A"선 단면도이고, 도 4는 도 2에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락챔버의 측면도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락챔버(100)는 기판(S)이 반입되어 저장되는 챔버(110)를 포함할 수 있고, 챔버(110)는 복수개가 다단(多段)으로 적층될 수 있다. 각 챔버(110)에는 한장의 기판(S)이 저장되는데, 챔버(110)가 다단으로 복수개 적층되므로, 로드락챔버(100)에는 여러장의 기판(S)이 저장될 수 있다. 도 3 및 도 4에는 2개의 챔버(110)가 상하로 적층된 것을 예로들어 도시한다.
상호 인접하는 상측의 챔버(110)와 하측의 챔버(110)는 볼트 등과 같은 체결부재(112)에 의하여 상호 결합되어, 상호 정해진 위치에 위치된다. 그리고, 상호 인접하는 상측의 챔버(110)와 하측의 챔버(110)를 더욱 견고하게 결합하기 위하여, 각 챔버(110)에는 브라켓(114)이 형성되고, 상측의 챔버(110)의 브라켓(114)과 하측의 챔버(110)의 브라켓(114)은 상호 결합될 수 있다.
각 챔버(110)의 내부에는 기판(S)이 탑재 지지되는 지지대(120)가 설치될 수 있고, 전면 및 후면에는 기판(S)이 출입하는 출입구(116)가 형성될 수 있다. 그리고, 지지대(120)에는 이송로봇(63)(73)에 지지된 기판(S)을 지지대(120)에 용이하게 탑재하거나, 지지대(120)에 탑재된 기판(S)을 이송로봇(63)(73)을 이용하여 용이하게 들어올릴 수 있도록, 기판(S)을 지지하는 지지핀(미도시)이 승강가능하게 설치될 수 있다.
전술한 바와 같이, 로드락챔버(100)의 챔버(110)의 압력은 변한다. 즉, 저장부(70)의 기판(S)이 챔버(110)로 이송될 경우에는 챔버(110)는 저장부(70)와 동일한 대기압 상태일 수 있고, 챔버(110)의 기판(S)이 공정챔버(50)로 이송되거나 공정챔버(50)의 기판(S)이 챔버(110)로 이송될 경우에는 챔버(110)는 이송챔버(60)와 동일한 진공 상태일 수 있다. 따라서, 각 챔버(110)는 상대적으로 고압인 대기압 상태와 상대적으로 저압인 진공 상태를 반복한다.
그런데, 하측의 챔버(110)가 대기압 상태이고 상측의 챔버(110)가 진공 상태이거나, 하측의 챔버(110)가 진공 상태이고 상측의 챔버(110)가 대기압 상태인 경우와 같이, 상측의 챔버(110)와 하측의 챔버(110)의 압력이 상이할 경우, 압력에 따른 상측의 챔버(110)의 변형 정도(程度)와 하측의 챔버(110)의 변형 정도는 상이하다.
그러면, 상측의 챔버(110)와 하측의 챔버(110)를 결합시키는 체결부재(112)에 하중이 작용하고, 체결부재(112)에 과하중이 작용하면, 체결부재(112)가 파손될 수 있다. 체결부재(112)가 파손되면, 상측의 챔버(110)에 대한 하측의 챔버(110)의 위치가 변경되거나, 하측의 챔버(110)에 대한 상측의 챔버(110)의 위치가 변경되므로, 기판(S)을 챔버(110)에 반입하거나, 기판(S)을 챔버(110)로부터 반출하기 어려울 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 로드락챔버(100)는, 상호 인접하는 챔버(110)와 챔버(110)의 압력이 상이함으로 인하여, 체결부재(112)에 과하중이 작용하는 것을 방지하여 체결부재(112)가 손상되는 것을 방지할 수 있도록 구성될 수 있다.
상세히 설명하면, 상호 인접하는 상측의 챔버(110)와 하측의 챔버(110) 사이에는 완충공간(Buffer Space)(130)이 형성될 수 있고, 완충공간(130)이 형성된 부위인 상호 인접하는 상측의 챔버(110)의 하면측 부위와 하측의 챔버(110)의 상면측 부위가 체결부재(112)에 의하여 상호 결합될 수 있다.
그리고, 완충공간(130)의 압력은 가변될 수 있다. 이때, 완충공간(130)의 압력은, 완충공간(130)을 사이에 두고 배치된 상측 및 하측의 챔버(110) 중, 고압인 어느 하나의 챔버(110)의 압력과 저압인 다른 하나의 챔버(110)의 압력 사이의 압력에서 가변될 수 있다. 즉, 완충공간(130)의 압력은 고압인 챔버(110)의 압력과 동일한 상태에서 저압인 챔버(110)의 압력측으로 감압되어 변할 수 있다. 그리고, 완충공간(130)의 압력 변화는 챔버(110)의 압력 변화 보다 작은 것이 바람직하다. 고압인 챔버(110)의 압력은 대기압을 의미하고, 저압인 챔버(110)의 압력은 이송챔버(60)의 압력인 진공을 의미한다.
더 구체적으로 설명하면, 완충공간(130)을 사이에 두고 배치된 상측 및 하측의 챔버(110) 중, 어느 하나의 챔버(110)의 압력을 대기압, 다른 하나의 챔버(110)의 압력을 0∼3 Torr라 할 때, 완충공간(130)의 압력은 대기압에서 감압되어 100∼500 Torr를 유지하는 것이 바람직하다.
그러면, 완충공간(130)이 없는 경우는, 상호 인접하는 상측 및 하측의 챔버(110) 중, 어느 하나의 챔버(110)와 다른 하나의 챔버(110)의 압력 차는 약 760 Torr이다.
반면, 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락챔버(100)와 같이, 완충공간(130)이 있고, 완충공간(130)의 압력이 대기압에서 100∼500 Torr로 감압된 경우는, 상호 인접하는 상측 및 하측의 챔버(110) 중, 고압인 어느 하나의 챔버(110)와 완충공간(130)의 압력 차는 약 260∼660 Torr이고, 저압인 다른 하나의 챔버(110)와 완충공간(130)의 압력 차는 약 100∼500 Torr이다.
즉, 완충공간(130)이 있고, 완충공간(130)의 압력이 대기압에서 100∼500 Torr로 감압된 경우는, 완충공간(130)과 고압인 어느 하나의 챔버(110)의 압력 차 및 완충공간(130)과 저압인 다른 하나의 챔버(110)의 압력 차가 상대적으로 작으므로, 고압인 어느 하나의 챔버(110)의 변형 정도와 저압인 다른 하나의 챔버(110)의 변형 정도가 감소된다. 이로 인해, 고압인 어느 하나의 챔버(110)와 저압인 다른 하나의 챔버(110)를 결합시키는 체결부재(112)에 상대적으로 작은 하중이 작용하게 되므로, 체결부재(112)가 손상되는 것이 방지된다.
체결부재(112)에 작용하는 하중이 체결부재(112)의 항복강도(Yield Strength)의 45∼55％ 정도이면, 체결부재(112)를 영구적으로 사용할 수 있다. 따라서, 적절한 허용하중을 가지는 체결부재(112)를 선택하면, 완충공간(130)과의 압력 차가 약 260∼660 Torr인 고압인 어느 하나의 챔버(110)의 변형과 완충공간(130)과의 압력 차가 약 100∼500 Torr인 저압인 다른 하나의 챔버(110)의 변형에 의하여 체결부재(112)에 작용하는 하중이 체결부재(112)의 항복강도의 45∼55％ 정도가 되게 할 수 있다.
완충공간(130)과 완충공간(130)의 상측 및 하측의 챔버(110)에는 가압라인(141)이 각각 연통 설치될 수 있고, 완충공간(130)과 연통된 가압라인(141) 및 챔버(110)와 연통된 가압라인(141)에는 밸브(142a, 142b, 142c)가 각각 설치될 수 있다. 밸브(142a, 142b, 142c)를 선택적으로 개폐하거나, 개폐정도를 조절하면, 완충공간(130) 및 챔버(110)를 대기압 상태로 가압할 수 있다.
그리고, 완충공간(130)과 완충공간(130)의 상측 및 하측의 챔버(110)에는 감압라인(145)이 각각 연통 설치될 수 있고, 완충공간(130)과 연통된 감압라인(145) 및 챔버(110)와 연통된 감압라인(145)에는 밸브(146a, 146b, 146c)가 각각 설치될 수 있다. 밸브(146a, 146b, 146c)를 선택적으로 개폐하거나, 개폐정도를 조절하면, 완충공간(130)을 감압할 수 있고, 챔버(110)를 진공 상태로 감압할 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 로드락챔버의 단면도로서, 이를 설명한다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 로드락챔버(200)는 챔버(210)가 3단으로 적층될 수 있고, 최상측의 챔버(210)와 중간의 챔버(210) 사이 및 중간의 챔버(210)의 최하측의 챔버(210) 사이에는 완충공간(230)이 각각 형성될 수 있다.
그리하여, 최상측의 챔버(210)와 중간의 챔버(210)가 상호 상이한 압력 상태이면, 최상측의 챔버(210)와 중간의 챔버(210) 사이에 위치된 완충공간(230)은 감압될 수 있다. 그리고, 중간의 챔버(210)와 최하측의 챔버(210)가 상호 상이한 압력 상태이면, 중간의 챔버(210)와 최하측의 챔버(210) 사이에 위치된 완충공간(230)은 감압될 수 있다.
최상측의 챔버(210)와 중간의 챔버(210)가 상호 상이한 압력 상태라는 의미는 어느 하나의 챔버(210)는 대기압 상태이고, 다른 하나의 챔버(210)는 진공 상태라는 의미이며, 중간의 챔버(210)와 최하측의 챔버(210)가 상호 상이한 압력 상태라는 의미는 어느 하나의 챔버(210)는 대기압 상태이고, 다른 하나의 챔버(210)는 진공 상태라는 의미이다.
본 실시예에 따른 로드락챔버는 챔버가 4단 이상으로 적층되어 구성될 수 있음은 당연하다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 로드락챔버
110: 챔버
112: 체결부재
130: 완충공간

Claims (5)

  1. 압력의 변화를 가지는 다단(多段)으로 적층된 챔버;
    상호 인접하는 상기 챔버와 상기 챔버 사이에 형성된 완충공간을 포함하며,
    상기 완충공간의 압력 변화는 상기 챔버의 압력 변화 보다 작은 것을 특징으로 하는 로드락챔버.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 완충공간을 사이에 두고 배치된 어느 하나의 상기 챔버가 압력을 가질 때,
    상기 완충공간의 압력은 100∼500 Torr인 것을 특징으로 하는 로드락챔버.
  3. 기판이 반입 및 반출되고, 상대적으로 저압과 고압의 상태를 각각 반복하는 다단(多段)으로 적층된 복수의 챔버;
    상호 인접하는 상기 챔버와 상기 챔버 사이에 형성된 완충공간을 포함하며,
    상기 완충공간을 사이에 두고 배치된 어느 하나의 상기 챔버와 다른 하나의 상기 챔버는 체결부재에 의하여 상호 연결되고,
    상기 완충공간의 압력은, 상기 완충공간을 사이에 두고 배치되며 상호 상이한 압력을 가지는 어느 하나의 상기 챔버의 압력과 다른 하나의 상기 챔버의 압력 사이의 압력으로 감압되는 것을 특징으로 하는 로드락챔버.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 완충공간을 사이에 두고 배치된 상기 챔버들 중, 고압의 상기 챔버의 변형과 저압의 상기 챔버의 변형에 의하여 상기 체결부재에 작용하는 하중은 상기 체결부재의 항복강도(Yield Strength)의 45∼55％인 것을 특징으로 하는 로드락챔버.
  5. 제1항 또는 제3항에 있어서,
    각각의 상기 챔버에는 브라켓이 형성되고,
    상기 완충공간을 사이에 두고 배치된 어느 하나의 상기 챔버의 상기 브라켓과 다른 하나의 상기 챔버의 상기 브라켓은 상호 결합된 것을 특징으로 하는 로드락챔버.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2022104862A (ja) * 2020-12-30 2022-07-12 セメス株式会社 支持装置、及び支持装置を含む基板処理装置

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