KR20170036865A - Organic Light Emitting Display Device - Google Patents
Organic Light Emitting Display Device Download PDFInfo
- Publication number
- KR20170036865A KR20170036865A KR1020150132407A KR20150132407A KR20170036865A KR 20170036865 A KR20170036865 A KR 20170036865A KR 1020150132407 A KR1020150132407 A KR 1020150132407A KR 20150132407 A KR20150132407 A KR 20150132407A KR 20170036865 A KR20170036865 A KR 20170036865A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- electrode
- transistor
- light blocking
- layer
- blocking layer
- Prior art date
Links
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims abstract description 121
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 63
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 14
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 275
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/786—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
- H01L29/78606—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film with supplementary region or layer in the thin film or in the insulated bulk substrate supporting it for controlling or increasing the safety of the device
- H01L29/78633—Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film with supplementary region or layer in the thin film or in the insulated bulk substrate supporting it for controlling or increasing the safety of the device with a light shield
-
- H01L27/3272—
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/20—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters
- G09G3/22—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources
- G09G3/30—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels
- G09G3/32—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED]
- G09G3/3208—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED]
- G09G3/3225—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED] using an active matrix
- G09G3/3233—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes for presentation of an assembly of a number of characters, e.g. a page, by composing the assembly by combination of individual elements arranged in a matrix no fixed position being assigned to or needed to be assigned to the individual characters or partial characters using controlled light sources using electroluminescent panels semiconductive, e.g. using light-emitting diodes [LED] organic, e.g. using organic light-emitting diodes [OLED] using an active matrix with pixel circuitry controlling the current through the light-emitting element
-
- H01L27/3211—
-
- H01L27/3248—
-
- H01L27/3258—
-
- H01L27/3262—
-
- H01L51/5281—
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/126—Shielding, e.g. light-blocking means over the TFTs
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G2300/00—Aspects of the constitution of display devices
- G09G2300/08—Active matrix structure, i.e. with use of active elements, inclusive of non-linear two terminal elements, in the pixels together with light emitting or modulating elements
- G09G2300/0809—Several active elements per pixel in active matrix panels
- G09G2300/0842—Several active elements per pixel in active matrix panels forming a memory circuit, e.g. a dynamic memory with one capacitor
-
- H01L2227/32—
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 유기전계발광표시장치에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display.
정보화 기술이 발달함에 따라 사용자와 정보간의 연결 매체인 표시장치의 시장이 커지고 있다. 이에 따라, 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Display: OLED), 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD) 및 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel: PDP) 등과 같은 표시장치의 사용이 증가하고 있다.As the information technology is developed, the market of display devices, which is a connection medium between users and information, is getting larger. Accordingly, the use of display devices such as an organic light emitting display (OLED), a liquid crystal display (LCD), and a plasma display panel (PDP) is increasing.
앞서 설명한 표시장치 중 유기전계발광표시장치에는 복수의 서브 픽셀을 포함하는 표시패널과 표시패널을 구동하는 구동부가 포함된다. 구동부에는 표시패널에 스캔신호(또는 게이트신호)를 공급하는 스캔구동부 및 표시패널에 데이터신호를 공급하는 데이터 구동부 등이 포함된다.Among the display devices described above, the organic light emitting display includes a display panel including a plurality of sub-pixels and a driver for driving the display panel. The driving unit includes a scan driver for supplying a scan signal (or a gate signal) to the display panel, and a data driver for supplying a data signal to the display panel.
유기전계발광표시장치는 장시간 사용시 서브 픽셀 내에 포함된 소자의 특성(문턱전압, 전류 이동도 등)이 변하는 문제가 있다. 이를 보상하고자 서브 픽셀 내에 소자의 특성을 센싱 하는 회로를 추가하는 방식이 제안된바 있다. 또한, 유기전계발광표시장치는 서브 픽셀 내에 포함된 소자(예: 박막 트랜지스터)를 외광으로부터 보호 및 안정화하기 위해 외광을 차단하는 역할을 하는 광차단층을 추가하는 방식이 제안된바 있다.The organic electroluminescent display device has a problem in that the characteristics (threshold voltage, current mobility, etc.) of the elements included in the sub-pixels change during long-term use. To compensate for this, a method of adding a circuit for sensing a characteristic of a device in a sub-pixel has been proposed. In addition, an organic light emitting display device has been proposed to add a light blocking layer that blocks external light to protect and stabilize an element (e.g., a thin film transistor) included in a sub-pixel from external light.
그런데 종래 유기전계발광표시장치는 서브 픽셀을 구성하는 소자의 복잡도가 증가하게 됨에 따라 광차단층을 다른 전극이나 배선에 전기적으로 연결할 경우, 서브 픽셀에 포함된 특정 트랜지스터의 문턱전압이 이동하는 등 사이드 이펙트를 야기하고 있는바 이의 개선이 요구된다.However, since the complexity of the elements constituting the subpixel is increased, when the light blocking layer is electrically connected to another electrode or wiring, the threshold voltage of a specific transistor included in the subpixel is shifted, Which is required to be improved.
상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 광차단층 사용시, 서브 픽셀에 포함된 특정 트랜지스터의 문턱전압이 이동하는 사이드 이펙트를 방지하여 표시 패널의 구동 신뢰성, 수명 및 표시 품질을 향상하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention for solving the above problems of the background art is to prevent a side effect in which a threshold voltage of a specific transistor included in a sub-pixel is shifted when using a light blocking layer, thereby improving driving reliability, lifetime and display quality of the display panel.
상술한 과제 해결 수단으로 본 발명은 제1 내지 제3광차단층, 버퍼층, 산화물 반도체층 및 절연층을 포함하는 유기전계발광표시장치를 제공한다. 제1 내지 제3광차단층은 기판 상에 위치하며 스위칭 트랜지스터, 구동 트랜지스터 및 센싱 트랜지스터의 채널영역에 각각 대응하여 위치한다. 버퍼층은 제1 내지 제3광차단층 상에 위치한다. 산화물 반도체층은 버퍼층에 각각 대응하여 위치하며 스위칭 트랜지스터, 구동 트랜지스터 및 센싱 트랜지스터의 소오스 및 드레인영역에 대응하여 도체화 된 전극을 갖는다. 절연층은 산화물 반도체층 상에 위치한다. 제1광차단층은 스위칭 트랜지스터의 도체화 된 전극에 연결되고, 제2광차단층은 구동 트랜지스터의 도체화 된 전극에 연결된다.According to an aspect of the present invention, there is provided an organic light emitting display including first through third light blocking layers, a buffer layer, an oxide semiconductor layer, and an insulating layer. The first through third light blocking layers are located on the substrate and correspond to the channel regions of the switching transistor, the driving transistor, and the sensing transistor, respectively. The buffer layer is located on the first to third light blocking layers. The oxide semiconductor layer is positioned corresponding to each of the buffer layers and has a conductive electrode corresponding to the source and drain regions of the switching transistor, the driving transistor, and the sensing transistor. The insulating layer is located on the oxide semiconductor layer. The first light blocking layer is connected to the conducting electrode of the switching transistor and the second light blocking layer is connected to the conducting electrode of the driving transistor.
제1광차단층과 스위칭 트랜지스터의 도체화 된 전극은 절연층의 제1콘택홀을 통해 노출되고, 절연층 상에 위치하는 소오스 드레인금속층에 의해 전기적으로 연결될 수 있다.The first light blocking layer and the conductive electrode of the switching transistor are exposed through the first contact hole of the insulating layer and can be electrically connected by the source drain metal layer located on the insulating layer.
제1콘택홀은 스위칭 트랜지스터의 도체화 된 전극의 외곽 경계선에 위치할 수 있다.The first contact hole may be located at the outline boundary of the conductive electrode of the switching transistor.
제1콘택홀은 구동 트랜지스터와 스위칭 트랜지스터의 사이에 위치하거나 스위칭 트랜지스터와 데이터라인의 사이에 위치할 수 있다.The first contact hole may be located between the driving transistor and the switching transistor or between the switching transistor and the data line.
제3광차단층은 제1광차단층과 일체형으로 구비될 수 있다.The third light blocking layer may be integrated with the first light blocking layer.
제3광차단층은 제1광차단층과 분리되어 배치될 수 있다.The third light blocking layer may be disposed separately from the first light blocking layer.
제3광차단층과 센싱 트랜지스터의 도체화 된 전극은 절연층의 제2콘택홀을 통해 노출되고, 절연층 상에 위치하는 소오스 드레인금속층에 의해 전기적으로 연결될 수 있다.The third light blocking layer and the electrically conductive electrode of the sensing transistor are exposed through the second contact hole of the insulating layer and can be electrically connected by the source drain metal layer located on the insulating layer.
제2콘택홀은 센싱 트랜지스터의 도체화 된 전극의 외곽 경계선에 위치할 수 있다.The second contact hole may be located at an outer boundary line of the conductive electrode of the sensing transistor.
제2콘택홀은 구동 트랜지스터와 센싱 트랜지스터의 사이에 위치하거나 센싱 트랜지스터와 제1전원라인의 사이에 위치할 수 있다.The second contact hole may be located between the driving transistor and the sensing transistor or may be located between the sensing transistor and the first power line.
제1광차단층은 스위칭 트랜지스터의 제2전극에 연결되고, 제3광차단층은 구동 트랜지스터의 제2전극에 연결될 수 있다.The first light blocking layer may be coupled to the second electrode of the switching transistor and the third light blocking layer may be coupled to the second electrode of the driving transistor.
본 발명은 광차단층 사용시, 서브 픽셀에 포함된 특정 트랜지스터의 문턱전압이 이동하는 사이드 이펙트를 방지할 수 있는 접속 구조를 이용하여 표시 패널의 구동 신뢰성과 수명을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명은 광차단층의 사용에 따른 사이드 이펙트를 제거하여 표시 품질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.The present invention has the effect of improving driving reliability and lifetime of a display panel by using a connection structure that can prevent a side effect in which a threshold voltage of a specific transistor included in a subpixel is shifted when using a light blocking layer. Further, the present invention has the effect of improving the display quality by eliminating side effects due to use of the light blocking layer.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 개략적인 블록도.
도 2는 서브 픽셀의 개략적인 회로 구성도.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 서브 픽셀의 회로 구성 예시도.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 표시패널의 단면 예시도.
도 5 내지 도 9는 본 발명의 제1실시예에 따른 서브 픽셀의 공정 순서를 개략적으로 설명하기 위한 평면도들.
도 10은 도 9의 A-A'영역의 단면도.
도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 서브 픽셀의 회로 구성 예시도.
도 12 내지 도 16은 본 발명의 제2실시예에 따른 서브 픽셀의 공정 순서를 개략적으로 설명하기 위한 평면도들.
도 17은 도 16의 A-A'영역의 단면도.
도 18은 도 16의 B-B'영역의 단면도.FIG. 1 is a schematic block diagram of an organic light emitting display according to a first embodiment of the present invention. FIG.
2 is a schematic circuit configuration diagram of a subpixel.
3 is a diagram illustrating an example of a circuit configuration of a subpixel according to the first embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional exemplary view of a display panel according to a first embodiment of the present invention;
5 to 9 are plan views schematically illustrating a process sequence of a subpixel according to the first embodiment of the present invention.
10 is a sectional view of the region A-A 'in FIG. 9;
11 is a diagram illustrating an example of a circuit configuration of a subpixel according to a second embodiment of the present invention.
12 to 16 are plan views schematically illustrating a process sequence of a subpixel according to a second embodiment of the present invention.
17 is a sectional view of the region A-A 'in Fig.
18 is a sectional view of the region B-B 'in Fig. 16;
이하, 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
<제1실시예>≪ Embodiment 1 >
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 유기전계발광표시장치의 개략적인 블록도이고, 도 2는 서브 픽셀의 개략적인 회로 구성도이며, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 서브 픽셀의 회로 구성 예시도이다.FIG. 1 is a schematic block diagram of an organic light emitting display according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic circuit diagram of a subpixel. FIG. 3 is a circuit diagram of a subpixel according to a first embodiment of the present invention. And Fig.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 유기전계발광표시장치에는 영상 처리부(110), 타이밍 제어부(120), 데이터 구동부(130), 스캔 구동부(140) 및 표시 패널(150)이 포함된다.1, an organic light emitting display according to a first exemplary embodiment of the present invention includes an
영상 처리부(110)는 외부로부터 공급된 데이터신호(DATA)와 더불어 데이터 인에이블 신호(DE) 등을 출력한다. 영상 처리부(110)는 데이터 인에이블 신호(DE) 외에도 수직 동기신호, 수평 동기신호 및 클럭신호 중 하나 이상을 출력할 수 있으나 이 신호들은 설명의 편의상 생략 도시한다.The
타이밍 제어부(120)는 영상 처리부(110)로부터 데이터 인에이블 신호(DE) 또는 수직 동기신호, 수평 동기신호 및 클럭신호 등을 포함하는 구동신호와 더불어 데이터신호(DATA)를 공급받는다. 타이밍 제어부(120)는 구동신호에 기초하여 스캔 구동부(140)의 동작 타이밍을 제어하기 위한 게이트 타이밍 제어신호(GDC)와 데이터 구동부(130)의 동작 타이밍을 제어하기 위한 데이터 타이밍 제어신호(DDC)를 출력한다.The
데이터 구동부(130)는 타이밍 제어부(120)로부터 공급된 데이터 타이밍 제어신호(DDC)에 응답하여 타이밍 제어부(120)로부터 공급되는 데이터신호(DATA)를 샘플링하고 래치하여 감마 기준전압으로 변환하여 출력한다. 데이터 구동부(130)는 데이터라인들(DL1 ~ DLn)을 통해 데이터신호(DATA)를 출력한다. 데이터 구동부(130)는 IC(Integrated Circuit) 형태로 형성될 수 있다.The
스캔 구동부(140)는 타이밍 제어부(120)로부터 공급된 게이트 타이밍 제어신호(GDC)에 응답하여 게이트전압의 레벨을 시프트시키면서 스캔신호(또는 게이트신호)를 출력한다. 스캔 구동부(140)는 스캔라인들(GL1 ~ GLm)을 통해 스캔신호를 출력한다. 스캔 구동부(140)는 IC(Integrated Circuit) 형태로 형성되거나 표시 패널(150)에 게이트인패널(Gate In Panel) 방식으로 형성된다.The
표시 패널(150)은 데이터 구동부(130) 및 스캔 구동부(140)로부터 공급된 데이터신호(DATA) 및 스캔신호에 대응하여 영상을 표시한다. 표시 패널(150)은 영상을 표시할 수 있도록 동작하는 서브 픽셀들(SP)을 포함한다.The
서브 픽셀은 구조에 따라 전면발광(Top-Emission) 방식, 배면발광(Bottom-Emission) 방식 또는 양면발광(Dual-Emission) 방식으로 형성된다. 서브 픽셀들(SP)은 적색 서브 픽셀, 녹색 서브 픽셀 및 청색 서브 픽셀을 포함하거나 백색 서브 픽셀, 적색 서브 픽셀, 녹색 서브 픽셀 및 청색 서브 픽셀을 포함한다. 서브 픽셀들(SP)은 발광 특성에 따라 하나 이상 다른 발광 면적을 가질 수 있다.The subpixels are formed in a top emission mode, a bottom emission mode, or a dual emission mode depending on the structure. The subpixels SP include a red subpixel, a green subpixel, and a blue subpixel or a white subpixel, a red subpixel, a green subpixel, and a blue subpixel. The subpixels SP may have one or more different emission areas depending on the emission characteristics.
도 2에 도시된 바와 같이, 하나의 서브 픽셀에는 스위칭 트랜지스터(SW), 구동 트랜지스터(DR), 커패시터(Cst), 보상회로(CC) 및 유기 발광다이오드(OLED)가 포함된다.As shown in FIG. 2, one sub-pixel includes a switching transistor SW, a driving transistor DR, a capacitor Cst, a compensation circuit CC, and an organic light emitting diode OLED.
스위칭 트랜지스터(SW)는 제1스캔라인(GL1)을 통해 공급된 스캔신호에 응답하여 제1데이터라인(DL1)을 통해 공급되는 데이터신호가 커패시터(Cst)에 데이터전압으로 저장되도록 스위칭 동작한다. 구동 트랜지스터(DR)는 커패시터(Cst)에 저장된 데이터전압에 따라 제1전원라인(EVDD)과 제2전원라인(EVSS) 사이로 구동 전류가 흐르도록 동작한다. 유기 발광다이오드(OLED)는 구동 트랜지스터(DR)에 의해 형성된 구동 전류에 따라 빛을 발광하도록 동작한다.The switching transistor SW is operated so that a data signal supplied through the first data line DL1 is stored as a data voltage in the capacitor Cst in response to a scan signal supplied through the first scan line GL1. The driving transistor DR operates so that a driving current flows between the first power supply line EVDD and the second power supply line EVSS in accordance with the data voltage stored in the capacitor Cst. The organic light emitting diode OLED operates to emit light in accordance with the driving current generated by the driving transistor DR.
보상회로(CC)는 구동 트랜지스터(DR)의 문턱전압 등을 보상하기 위해 서브 픽셀 내에 추가된 회로이다. 보상회로(CC)는 하나 이상의 트랜지스터로 구성된다. 보상회로(CC)의 구성은 보상 방법에 따라 매우 다양한바 이에 대한 예시를 설명하면 다음과 같다.The compensation circuit CC is a circuit added in the sub-pixel to compensate the threshold voltage of the driving transistor DR and the like. The compensation circuit CC is composed of one or more transistors. The configuration of the compensation circuit (CC) varies greatly according to the compensation method. An example of the compensation circuit (CC) is as follows.
도 3에 도시된 바와 같이, 보상회로(CC)에는 센싱 트랜지스터(ST)와 센싱라인(VREF)이 포함된다. 센싱 트랜지스터(ST)는 구동 트랜지스터(DR)의 소오스라인과 유기 발광다이오드(OLED)의 애노드전극 사이(이하 센싱노드)에 접속된다. 센싱 트랜지스터(ST)는 센싱라인(VREF)을 통해 전달되는 초기화전압(또는 센싱전압)을 센싱노드에 공급하거나 센싱노드의 전압 또는 전류를 센싱할 수 있도록 동작한다.As shown in Fig. 3, the compensation circuit CC includes a sensing transistor ST and a sensing line VREF. The sensing transistor ST is connected between a source line of the driving transistor DR and an anode electrode of the organic light emitting diode OLED (hereinafter referred to as a sensing node). The sensing transistor ST operates to supply the initialization voltage (or sensing voltage) transmitted through the sensing line VREF to the sensing node or to sense the voltage or current of the sensing node.
보상회로(CC)와 더불어 서브 픽셀 내에 포함된 소자의 구성 및 접속 관계를 설명하면 다음과 같다.The configuration and connection relationship of the elements included in the sub-pixel together with the compensation circuit CC will be described below.
스위칭 트랜지스터(SW)는 제1데이터라인(DL1)에 제1전극이 연결되고, 구동 트랜지스터(DR)의 게이트전극에 제2전극이 연결된다. 구동 트랜지스터(DR)는 제1전원라인(EVDD)에 제1전극이 연결되고 유기 발광다이오드(OLED)의 애노드전극에 제2전극이 연결된다. 커패시터(Cst)는 구동 트랜지스터(DR)의 게이트전극에 제1전극이 연결되고 유기 발광다이오드(OLED)의 애노드전극에 제2전극이 연결된다. 유기 발광다이오드(OLED)는 구동 트랜지스터(DR)의 제2전극에 애노드전극이 연결되고 제2전원라인(EVSS)에 캐소드전극이 연결된다. 센싱 트랜지스터(ST)는 센싱라인(VREF)에 제1전극이 연결되고 유기 발광다이오드(OLED)의 애노드전극에 제2전극이 연결된다. 제1전극 또는 제2전극은 트랜지스터의 소오스전극(트랜지스터의 타입에 따라 드레인전극이 될 수도 있음) 또는 드레인전극(트랜지스터의 타입에 따라 소오스전극이 될 수도 있음)을 의미한다.In the switching transistor SW, the first electrode is connected to the first data line DL1, and the second electrode is connected to the gate electrode of the driving transistor DR. The first electrode of the driving transistor DR is connected to the first power supply line EVDD and the second electrode of the driving transistor DR is connected to the anode electrode of the organic light emitting diode OLED. In the capacitor Cst, the first electrode is connected to the gate electrode of the driving transistor DR, and the second electrode is connected to the anode electrode of the organic light emitting diode OLED. In the organic light emitting diode OLED, an anode electrode is connected to the second electrode of the driving transistor DR, and a cathode electrode is connected to the second power supply line EVSS. The sensing transistor ST has a first electrode connected to the sensing line VREF and a second electrode connected to the anode electrode of the organic light emitting diode OLED. The first electrode or the second electrode means a source electrode of the transistor (which may be a drain electrode depending on the transistor type) or a drain electrode (which may be a source electrode depending on the type of the transistor).
센싱 트랜지스터(ST)의 동작 시간은 보상 알고리즘(또는 보상 회로의 구성)에 따라 스위칭 트랜지스터(SW)와 유사/동일하거나 다를 수 있다. 일례로, 스위칭 트랜지스터(SW)는 제1a스캔라인(GL1a)에 게이트전극이 연결되고, 센싱 트랜지스터(ST)는 제1b스캔라인(GL1b)에 게이트전극이 연결될 수 있다. 다른 예로, 스위칭 트랜지스터(SW)의 게이트전극에 연결된 제1a스캔라인(GL1a)과 센싱 트랜지스터(ST)의 게이트전극에 연결된 제1b스캔라인(GL1b)은 공통으로 공유하도록 연결될 수 있다.The operation time of the sensing transistor ST may be similar to or different from the switching transistor SW according to the compensation algorithm (or the configuration of the compensation circuit). For example, the gate electrode of the switching transistor SW may be connected to the first scan line GL1a, and the gate electrode of the sensing transistor ST may be coupled to the first scan line GL1b. As another example, the first scan line GL1a connected to the gate electrode of the switching transistor SW and the first scan line GL1b connected to the gate electrode of the sensing transistor ST may be commonly connected.
센싱라인(VREF)은 데이터 구동부에 연결될 수 있다. 이 경우, 데이터 구동부는 실시간, 영상의 비표시기간 또는 N 프레임(N은 1 이상 정수) 기간 동안 서브 픽셀의 센싱노드를 센싱하고 센싱결과를 생성할 수 있게 된다. 스위칭 트랜지스터(SW)와 센싱 트랜지스터(ST)는 동일한 시간에 턴온될 수 있다. 이 경우, 데이터 구동부의 시분할 방식에 의거 센싱라인(VREF)을 통한 센싱 동작과 데이터신호를 출력하는 데이터 출력 동작은 상호 분리(구분) 된다.The sensing line VREF may be connected to the data driver. In this case, the data driver can sense the sensing node of the subpixel during the non-display period of the real time image, or the N frame (N is an integer of 1 or more) and generate the sensing result. The switching transistor SW and the sensing transistor ST can be turned on at the same time. In this case, the sensing operation through the sensing line (VREF) and the data output operation for outputting the data signal are separated (separated) based on the time division system of the data driver.
이 밖에, 센싱결과에 따른 보상 대상은 디지털 형태의 데이터신호, 아날로그 형태의 데이터신호 또는 감마 등이 될 수 있다. 그리고 센싱결과를 기반으로 보상신호(또는 보상전압) 등을 생성하는 보상 회로는 데이터 구동부의 내부, 타이밍 제어부의 내부 또는 별도의 회로로 구현될 수 있다.In addition, the object to be compensated according to the sensing result may be a digital data signal, an analog data signal, gamma, or the like. The compensation circuit for generating the compensation signal (or the compensation voltage) based on the sensing result may be implemented in the interior of the data driver, in the timing controller, or in a separate circuit.
스위칭 트랜지스터(SW), 구동 트랜지스터(DR) 및 센싱 트랜지스터(ST)의 채널영역과 대응하는 하부층 또는 상부층에는 광차단층(LSs, LSd, LSt)이 형성된다. 광차단층(LSs, LSd, LSt)은 외광으로부터 스위칭 트랜지스터(SW), 구동 트랜지스터(DR) 및 센싱 트랜지스터(ST)를 보호 및 안정화하기 위해 존재한다. 광차단층(LSs, LSd, LSt)은 외광을 차단하는 역할을 한다.Light blocking layers LSs, LSd, and LSt are formed on the lower or upper layers corresponding to the channel regions of the switching transistor SW, the driving transistor DR, and the sensing transistor ST. The light blocking layers LSs, LSd, and LSt exist to protect and stabilize the switching transistor SW, the driving transistor DR, and the sensing transistor ST from external light. The light blocking layers LSs, LSd, and LSt serve to block external light.
스위칭 트랜지스터(SW)는 제1광차단층(LSs)에 의해 채널영역이 보호된다. 제1광차단층(LSs)은 스위칭 트랜지스터(SW)의 제2전극에 연결된다. 구동 트랜지스터(DR)는 제2광차단층(LSd)에 의해 채널영역이 보호된다. 제2광차단층(LSd)은 구동 트랜지스터(DR)의 제2전극에 연결된다. 센싱 트랜지스터(ST)는 제3광차단층(LSt)에 의해 채널영역이 보호된다. 제3광차단층(LSt)은 스위칭 트랜지스터(SW)의 제2전극에 연결된다.The channel region is protected by the first light blocking layer LSs of the switching transistor SW. The first light blocking layer LSs is connected to the second electrode of the switching transistor SW. The channel region is protected by the second light blocking layer LSd in the driving transistor DR. The second light blocking layer LSd is connected to the second electrode of the driving transistor DR. The channel region is protected by the third light blocking layer LSt in the sensing transistor ST. The third light blocking layer LSt is connected to the second electrode of the switching transistor SW.
한편, 도 3에서는 스위칭 트랜지스터(SW), 구동 트랜지스터(DR), 커패시터(Cst), 유기 발광다이오드(OLED), 센싱 트랜지스터(ST)를 포함하는 3T(Transistor)1C(Capacitor) 구조의 서브 픽셀을 일례로 설명하였지만, 보상회로(CC)가 추가된 경우 3T2C, 4T2C, 5T1C, 6T2C 등으로 구성될 수도 있다.3, a sub-pixel of a 3T (Capacitor) structure including a switching transistor SW, a driving transistor DR, a capacitor Cst, an organic light emitting diode OLED, and a sensing transistor ST However, if the compensation circuit CC is added, it may be composed of 3T2C, 4T2C, 5T1C, 6T2C, and the like.
이하, 본 발명의 제1실시예에 따른 표시패널과 표시패널을 구성하는 서브 픽셀의 단면도/평면도를 참조하여 이에 대한 설명을 자세히 다룬다.Hereinafter, the display panel according to the first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to sectional views / plan views of subpixels constituting the display panel.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 표시패널의 단면 예시도이고, 도 5 내지 도 9는 본 발명의 제1실시예에 따른 서브 픽셀의 공정 순서를 개략적으로 설명하기 위한 평면도들이며, 도 10은 도 9의 A-A'영역의 단면도이다.FIGS. 5 to 9 are plan views schematically illustrating a process sequence of a subpixel according to the first embodiment of the present invention. FIG. 4 is a cross- 10 is a cross-sectional view of the region A-A 'in Fig.
도 4에 도시된 바와 같이, 표시 패널(150)은 기판(150a)과 보호기판(또는 필름)(150b) 사이에 위치하는 픽셀(P)을 포함한다. 픽셀(P)이 배치된 영역은 표시영역(AA)으로 정의되고, 픽셀(P)이 배치되지 않은 표시영역(AA)의 외곽은 비표시영역(NA)으로 정의된다.As shown in FIG. 4, the
픽셀(P)은 적색(R), 백색(W), 청색(B) 및 녹색(G) 이상 4개의 서브 픽셀로 이루어진 것을 일례로 하나 이는 적색(R), 청색(B) 및 녹색(G) 이상 3개의 서브 픽셀로 이루어질 수도 있다. 적색(R), 백색(W), 청색(B) 및 녹색(G) 서브 픽셀은 수평 또는 수직 방향으로 배치된다. 서브 픽셀의 배치 순서는 발광재료, 발광면적, 보상회로의 구성(또는 구조) 등에 따라 다양하게 변경될 수 있다.The pixel P is composed of four subpixels of red (R), white (W), blue (B) and green (G) And may consist of more than three subpixels. The red (R), white (W), blue (B) and green (G) subpixels are arranged horizontally or vertically. The arrangement order of the subpixels can be variously changed according to the light emitting material, the light emitting area, the structure (or structure) of the compensation circuit, and the like.
도 4에 도시된 하나의 서브 픽셀은 도 3에 설명된 회로를 기반으로 다음과 같이 형성된다. 다만, 본 발명의 제1실시예는 서브 픽셀의 소자영역에 형성된 광차단층 그리고 광차단층과 관계되는 트랜지스터들의 접속 관계 및 적층 관계를 다루므로 서브 픽셀의 개구영역에 대한 도시 및 설명은 생략한다.One subpixel shown in FIG. 4 is formed as follows based on the circuit shown in FIG. However, since the first embodiment of the present invention deals with the connection relation and the stacking relationship of the light-blocking layer and the light-blocking layer formed in the device region of the sub-pixel, the illustration and description of the opening region of the sub-pixel are omitted.
도 5 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 기판(150a) 상에는 서브 픽셀의 소자영역(SPA)과 개구영역(SPE)이 정의된다. 서브 픽셀의 소자영역(SPA)에는 구동 트랜지스터(DR), 커패시터(Cst), 스위칭 트랜지스터(SW), 및 센싱 트랜지스터(ST)가 형성된다. 서브 픽셀의 소자영역(SPA)의 상부에 위치하는 서브 픽셀의 개구영역(SPE)에는 유기 발광다이오드(OLED)가 형성된다.As shown in FIGS. 5 to 9, an element region SPA and an opening region SPE of a subpixel are defined on a
기판(150a) 상에는 광차단층(151)이 형성된다. 광차단층(151)은 스위칭 트랜지스터(SW) 및 센싱 트랜지스터(ST)의 반도체층(153)에 대응하는 제1 및 제3광차단층(LSs, LSt)과 구동 트랜지스터(DR)의 반도체층(153)에 대응하는 제2광차단층(LSd)이 분리되어 형성된다. 광차단층(151)은 스위칭 트랜지스터(SW) 및 센싱 트랜지스터(ST)의 반도체층(153)을 모두 커버하기 위해 일체형(또는 공통)으로 형성되는 부분(LSs, LSt)과 구동 트랜지스터(DR)의 반도체층(153)을 하나만 커버하기 위해 형성되는 부분(LSd)으로 분리된다.A
광차단층(151) 상에는 버퍼층(152)이 형성된다. 버퍼층(152)은 광차단층(151)에 대응하여 형성된다. 버퍼층(152) 상에는 반도체층(153)이 형성된다. 반도체층(153)은 스위칭 트랜지스터(SW), 센싱 트랜지스터(ST) 및 구동 트랜지스터(DR)가 차지하는 영역으로 각각 분리되어 형성된다.A
스위칭 트랜지스터(SW), 센싱 트랜지스터(ST) 및 구동 트랜지스터(DR)의 반도체층(153)은 산화물 반도체(예: IGZO)로 이루어진다. 스위칭 트랜지스터(SW), 센싱 트랜지스터(ST) 및 구동 트랜지스터(DR)의 반도체층(153)은 채널영역이 되는 부분과 도체화 공정에 의해 도체화 된 부분을 포함한다.The
스위칭 트랜지스터(SW), 센싱 트랜지스터(ST) 및 구동 트랜지스터(DR)의 반도체층(153)은 산화물 반도체(예: IGZO)로 이루어지므로 도체화 공정을 실시하게 되면 공정이 진행된 영역이 반도체가 아닌 도체가 된다. 그리고 반도체층(153)의 도체화 된 부분은 트랜지스터의 소오스전극(또는 소오스영역) 및 드레인전극(또는 드레인영역)이 된다. 즉, 반도체층(153)은 스위칭 트랜지스터(SW), 센싱 트랜지스터(ST) 및 구동 트랜지스터(DR)의 소오스 및 드레인영역에 대응하여 도체화 된 전극을 갖는다.Since the
반도체층(153) 상에는 제1절연층(154)이 형성된다. 제1절연층(154) 상에는 게이트금속층(155)이 형성된다. 제1절연층(154)은 게이트절연층으로 정의될 수 있는데, 이는 상부에 형성되는 게이트전극과 동일하게 섬(Island) 형태로 패턴될 수 있다.A first insulating
게이트금속층(155a ~ 155d)은 제1 내지 제4게이트금속층(155a ~ 155d)을 포함한다. 제1게이트금속층(155a)은 제1전원라인(EVDD)을 인접하는 서브 픽셀에 연결해 주는 연결전극이 된다. 제1게이트금속층(155a)은 니은(ㄴ)자 형상의 전극으로 패턴될 수 있다. 제2게이트금속층(155b)은 구동 트랜지스터(DR)의 게이트전극이 된다. 제2게이트금속층(155b)은 수직방향이 더 긴 바(Bar) 형태의 전극으로 패턴될 수 있다. 제3게이트금속층(155c)은 스위칭 트랜지스터(SW) 및 센싱 트랜지스터(ST)의 게이트전극이 되면서 스캔라인(GL)이 된다. 제3게이트금속층(155c)은 수평 방향을 따라 배치되되, 두 개의 라인으로 분기되는 부분을 포함할 수 있다. 제4게이트금속층(155d)은 센싱 트랜지스터(ST)의 제1전극과 연결되는 센싱라인(VREF)이 된다. 제4게이트금속층(155d)은 수평 방향을 따라 배치되되, 두 개의 라인으로 분기되는 부분을 포함할 수 있다.The
게이트금속층(155a ~ 155d) 상에는 제2절연층(156)이 형성된다. 제2절연층(156)은 하부 구조물과 상부에 형성되는 구조물 간의 전기적 절연을 하는 층간 절연층으로 정의될 수 있다.A second insulating
제2절연층(156)에는 하부 구조물의 일부를 노출하는 다수의 콘택홀이 형성된다. 다수의 콘택홀은 홀 마스크에 의해 형성된다. 홀 마스크에 의해 제2절연층(156)에는 제1콘택홀(CH1) 및 제2콘택홀(CH2)을 포함하는 다수의 콘택홀이 형성된다. 제2콘택홀(CH2)은 스위칭 트랜지스터(SW) 및 센싱 트랜지스터(ST)의 하부에 위치하는 제1 및 제3광차단층(LSs, LSt)을 센싱 트랜지스터(SW) 또는 스위칭 트랜지스터(SW)의 제1 또는 제2전극에 공통으로 연결하기 위해 사용된다. 이와 관련된 설명은 도 10을 참조하여 다시 설명한다.The second
제2절연층(156) 상에는 소오스 드레인금속층(157a ~ 157e)이 형성된다. 제1소오스 드레인금속층(157a)은 제1전원라인(EVDD)이 된다. 제1소오스 드레인금속층(157a)은 수직 방향을 따라 배치되며, 서브 픽셀과 연결되는 부분만 수평 방향으로 일부 돌출된다. 제2소오스 드레인금속층(157b)은 스위칭 트랜지스터(SW)의 제2전극과 구동 트랜지스터(DR)의 게이트전극(155b)을 연결함과 동시에 커패시터(Cst)의 일측 전극이 된다. 제2소오스 드레인금속층(157b)은 구동 트랜지스터(DR)의 게이트전극을 도체화한 영역과 중첩하는 면적이 넓게 패턴될 수 있다. 제3소오스 드레인금속층(157c)은 구동 트랜지스터(DR)의 제2전극과 센싱 트랜지스터(ST)의 제2전극을 연결하는 연결전극이 된다. 제3소오스 드레인금속층(157c)은 L자형상으로 패턴될 수 있다. 제4소오스 드레인금속층(157d)은 데이터라인(DLn1)이 된다. 제4소오스 드레인금속층(157d)은 수직 방향을 따라 배치되며, 서브 픽셀과 연결되는 부분만 수평 방향으로 일부 돌출된다. 제5소오스 드레인금속층(157e)은 센싱 트랜지스터(ST)의 제1전극을 센싱라인(VREF)에 연결하는 연결전극이 된다. 제5소오스 드레인금속층(157e)은 1자형상 또는 I자형상으로 패턴될 수 있다.On the second insulating
소오스 드레인금속층(157a ~ 157e) 상에는 제3절연층(158)이 형성된다. 제3절연층(158)은 기판(150a) 상에 형성된 트랜지스터 등의 구조물을 보호하기 위한 보호층으로 정의될 수 있다.A third insulating
제3절연층(158) 상에는 서브 픽셀의 개구영역(SPE)에 대응하여 컬러필터(미도시)가 형성된다. 이하의 공정에 의해 형성되는 유기 발광다이오드가 백색을 발광하는 경우 제3절연층(158) 상에는 컬러필터가 형성되지만, 유기 발광다이오드가 자체적으로 적색, 녹색, 청색 등의 유색을 발광할 경우 컬러필터는 미형성된다.On the third insulating
제3절연층(159) 상에는 제4절연층(160)이 형성된다. 제4절연층(160)은 표면을 평탄화하는 코팅층으로 정의될 수 있다. 제3절연층(158) 및 제4절연층(160)은 구동 트랜지스터(DR)의 소오스전극의 일부를 노출하는 콘택홀을 갖는다.A fourth insulating
제4절연층(160) 상에는 화소전극(161)이 형성된다. 화소전극(161)은 유기 발광다이오드(OLED)의 애노드전극으로 정의될 수 있다. 화소전극(161)은 제4절연층(160)을 통해 노출된 소오스전극에 전기적으로 연결된다. 화소전극(161)은 유기 발광층으로부터 발광된 빛을 기판(150a) 방향으로 출사할 수 있도록 투명전극으로 선택될 수 있다.A
제4절연층(160) 상에는 뱅크층(미도시)이 형성된다. 뱅크층은 화소전극(161)의 일부를 노출하는 개구영역을 가지며, 실질적인 발광영역을 정의하게 된다. 뱅크층 상에는 유기 발광층과 상부전극(미도시)이 형성된다. 상부전극은 유기 발광다이오드(OLED)의 캐소드전극으로 정의될 수 있다. 상부전극은 미도시된 제2전원라인에 전기적으로 연결된다. 상부전극은 유기 발광층으로부터 발광된 빛이 기판(150a) 방향으로만 출사되도록 불투명전극으로 선택될 수 있다. 그러나 표시패널의 목적, 기능 등에 따라 유기 발광층으로부터 발광된 빛을 기판(150a)의 반대방향 또는 양방향으로 출사하기 위해 상부전극 또한 투명전극으로 선택하는 경우도 있다.A bank layer (not shown) is formed on the fourth insulating
앞서 도 3을 참조하여 설명한 바와 같이, 본 발명의 제1실시예는 스위칭 트랜지스터(SW) 및 센싱 트랜지스터(ST)의 하부에 위치하는 제1 및 제3광차단층(LSs, LSt)과 구동 트랜지스터(DR)의 제2광차단층(LSd)을 분리하는데, 그 이유를 설명하면 다음과 같다.3, the first embodiment of the present invention includes the first and third light blocking layers LSs and LSt located below the switching transistor SW and the sensing transistor ST, DR of the second light blocking layer LSd is separated as follows.
실험예에서는 광차단층(LSs, LSd, LSt)을 전기적으로 안정화하기 위해 구동 트랜지스터(DR)의 제2전극(센싱노드)에 모두 공통으로 연결하였다. 이 구조를 기반으로 실험을 한 결과, 구동 트랜지스터(DR)의 제2전극을 통해 흐르는 전압(Vs)이 광차단층(LSs, LSd, LSt)에도 인가됨에 따라 스위칭 트랜지스터(SW)의 문턱전압이 이동하는 문제가 야기됨을 확인하였다.In the experimental example, the light blocking layers LSs, LSd, and LSt are commonly connected to the second electrode (sensing node) of the driving transistor DR in order to electrically stabilize the light blocking layer. As a result of the experiment based on this structure, as the voltage Vs flowing through the second electrode of the driving transistor DR is applied to the light blocking layers LSs, LSd, and LSt, the threshold voltage of the switching transistor SW is shifted Which is a problem.
이와 같은 문제로 인하여, 스위칭 트랜지스터(SW)의 문턱전압(Vth)이 지속적으로 네거티브 방향으로 이동(-Vth Shift)할 경우 로직로우의 스캔신호(트랜지스터를 턴오프하는 신호 또는 전압; 예 VGL)가 인가되었음에도 스위칭 트랜지스터(SW)가 턴온되는 현상이 발생(VGL > Vth 관계를 갖지만 Vth가 VGL보다 낮아지게 되므로)하게 된다. 즉, 스위칭 트랜지스터(SW)가 턴온되지 말아야 하는 구간에서도 턴온 동작을 하게 된다.Due to such a problem, when the threshold voltage Vth of the switching transistor SW is continuously shifted in the negative direction (-Vth Shift), a scan signal of a logic low (a signal or voltage for turning off the transistor, e.g., VGL) The switching transistor SW is turned on (VGL> Vth relation but Vth becomes lower than VGL). That is, the switching transistor SW is turned on during a period in which the switching transistor SW should not be turned on.
본 발명의 제1실시예는 실험예의 문제를 해결하기 위해, 앞서 설명한 바와 같이 스위칭 트랜지스터(SW) 및 센싱 트랜지스터(ST)의 제1 및 제3광차단층(LSs, LSt)과 구동 트랜지스터(DR)의 제2광차단층(LSd)을 전기적으로 분리하고 시뮬레이션을 하였다.The first and third light blocking layers LSs and LSt of the switching transistor SW and the sensing transistor ST and the driving transistor DR of the sensing transistor ST, The second light blocking layer LSd was electrically isolated and simulated.
본 발명의 제1실시예를 기반으로 시뮬레이션을 한 결과, 스위칭 트랜지스터(SW) 및 센싱 트랜지스터(ST)의 제1 및 제3광차단층(LSs, LSt)과 구동 트랜지스터(DR)의 제2광차단층(LSd)이 전기적으로 분리되어 있어 스위칭 트랜지스터(SW)의 문턱전압이 이동하는 사이드 이펙트는 개선 및 해소할 수 있는 것으로 나타났다.As a result of the simulation based on the first embodiment of the present invention, the first and third light blocking layers LSs and LSt of the switching transistor SW and the sensing transistor ST and the second light blocking layer The side effect that the threshold voltage of the switching transistor SW is shifted due to the electrical isolation of the switching transistor LSd is improved and can be solved.
도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 제1콘택홀(CH1)은 제2소오스 드레인금속층(157b)의 일부를 노출한다. 제1콘택홀(CH1)을 통해 노출된 제2소오스 드레인금속층(157b)은 화소전극(161)과 전기적으로 연결된다.As shown in Figs. 9 and 10, the first contact hole CH1 exposes a part of the second source drain
제2콘택홀(CH2)(제2측 콘택홀)은 센싱 트랜지스터(ST)의 제2전극(153a)과 그 하부에 위치하는 제3광차단층(151, LSt)의 일부를 노출한다. 센싱 트랜지스터(ST)의 제2전극(153a)은 도체화 된 반도체층(153)에 의해 이루어진다. 제2전극(153a)과 인접한 영역은 채널영역(153b)이다.The second contact hole CH2 (second side contact hole) exposes a part of the
제2콘택홀(CH2)은 센싱 트랜지스터(ST)의 제2전극(153a)과 그 하부에 위치하는 제3광차단층(151, LSt)의 일부를 노출하기 위해 센싱 트랜지스터(ST)의 제2전극(153a)의 외곽 경계선에 형성된다. 제2콘택홀(CH2)을 센싱 트랜지스터(ST)의 제2전극(153a)의 외곽 경계선에 형성하면 하나의 콘택홀로도 센싱 트랜지스터(ST)의 제2전극(153a)과 그 하부에 위치하는 제3광차단층(151, LSt)을 전기적으로 연결할 수 있는 구멍을 만들 수 있게 된다. 제2콘택홀(CH2)은 구동 트랜지스터(DR)와 센싱 트랜지스터(ST) 사이에 위치하거나 센싱 트랜지스터(ST)와 제1전원라인(EVDD) 사이에 위치할 수 있다.The second contact hole CH2 is electrically connected to the
센싱 트랜지스터(ST)의 하부에 위치하는 제3광차단층(151, LSt)은 제2소오스 드레인금속층(157b)에 의해 구동 트랜지스터의 게이트전극과 연결된다.The third light blocking layer 151 (LSt) located under the sensing transistor ST is connected to the gate electrode of the driving transistor by the second source drain
앞서 설명하였듯이, 제3광차단층(151, LSt)은 스위칭 트랜지스터(SW) 및 센싱 트랜지스터(ST)의 반도체층(153)을 모두 커버하기 위해 공통으로 형성된다. 따라서, 센싱 트랜지스터(ST)의 하부에 위치하는 제3광차단층(151, LSt)만 구동 트랜지스터(DR)의 게이트전극에 연결하면 된다.As described above, the third
본 발명의 제1실시예에서는 스위칭 트랜지스터(SW) 및 센싱 트랜지스터(ST)의 제1 및 제3광차단층(151, LSs, LSt)을 센싱 트랜지스터(ST)의 제2전극(153a)에 공통으로 연결하는 것을 일례로 하였다. 그러나 스위칭 트랜지스터(SW) 및 센싱 트랜지스터(ST)의 제1 및 제3광차단층(151, LSs, LSt)은 센싱 트랜지스터(ST)의 제1전극에 공통으로 연결될 수도 있다. 그 이유는 스위칭 트랜지스터(SW) 및 센싱 트랜지스터(ST)의 제1 및 제3광차단층(151, LSs, LSt)을 구동 트랜지스터(DR)의 제2광차단층(LSd)과 전기적으로 분리하면 본 발명의 제1실시예에 따른 효과를 얻을 수 있기 때문이다.The first and third
이하에서는 제1실시예와 달리 방식으로 광차단층을 분리한 구조를 설명한다.Hereinafter, a structure in which a light blocking layer is separated in a manner different from the first embodiment will be described.
<제2실시예>≪ Embodiment 2 >
도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 서브 픽셀의 회로 구성 예시도이고, 도 12 내지 도 16은 본 발명의 제2실시예에 따른 서브 픽셀의 공정 순서를 개략적으로 설명하기 위한 평면도들이며, 도 17은 도 16의 A-A'영역의 단면도이고, 도 18은 도 16의 B-B'영역의 단면도이다.FIG. 11 is a circuit diagram of a subpixel according to a second embodiment of the present invention, FIGS. 12 to 16 are plan views schematically illustrating a subpixel process sequence according to a second embodiment of the present invention, FIG. 17 is a cross-sectional view taken along the line A-A 'of FIG. 16, and FIG. 18 is a cross-sectional view taken along the line B-B' of FIG.
도 11에 도시된 바와 같이, 스위칭 트랜지스터(SW)는 제1데이터라인(DL1)에 제1전극이 연결되고, 구동 트랜지스터(DR)의 게이트전극에 제2전극이 연결된다. 구동 트랜지스터(DR)는 제1전원라인(EVDD)에 제1전극이 연결되고 유기 발광다이오드(OLED)의 애노드전극에 제2전극이 연결된다. 커패시터(Cst)는 구동 트랜지스터(DR)의 게이트전극에 제1전극이 연결되고 유기 발광다이오드(OLED)의 애노드전극에 제2전극이 연결된다. 유기 발광다이오드(OLED)는 구동 트랜지스터(DR)의 제2전극에 애노드전극이 연결되고 제2전원라인(EVSS)에 캐소드전극이 연결된다. 센싱 트랜지스터(ST)는 센싱라인(VREF)에 제1전극이 연결되고 유기 발광다이오드(OLED)의 애노드전극에 제2전극이 연결된다.11, a first electrode of the switching transistor SW is connected to the first data line DL1, and a second electrode of the switching transistor SW is coupled to a gate electrode of the driving transistor DR. The first electrode of the driving transistor DR is connected to the first power supply line EVDD and the second electrode of the driving transistor DR is connected to the anode electrode of the organic light emitting diode OLED. In the capacitor Cst, the first electrode is connected to the gate electrode of the driving transistor DR, and the second electrode is connected to the anode electrode of the organic light emitting diode OLED. In the organic light emitting diode OLED, an anode electrode is connected to the second electrode of the driving transistor DR, and a cathode electrode is connected to the second power supply line EVSS. The sensing transistor ST has a first electrode connected to the sensing line VREF and a second electrode connected to the anode electrode of the organic light emitting diode OLED.
스위칭 트랜지스터(SW), 구동 트랜지스터(DR) 및 센싱 트랜지스터(ST)의 채널영역과 대응하는 하부층 또는 상부층에는 광차단층(LSs, LSd, LSt)이 형성된다. 광차단층(LSs, LSd, LSt)은 외광으로부터 스위칭 트랜지스터(SW), 구동 트랜지스터(DR) 및 센싱 트랜지스터(ST)를 보호 및 안정화하기 위해 존재한다. 광차단층(LSs, LSd, LSt)은 외광을 차단하는 역할을 한다.Light blocking layers LSs, LSd, and LSt are formed on the lower or upper layers corresponding to the channel regions of the switching transistor SW, the driving transistor DR, and the sensing transistor ST. The light blocking layers LSs, LSd, and LSt exist to protect and stabilize the switching transistor SW, the driving transistor DR, and the sensing transistor ST from external light. The light blocking layers LSs, LSd, and LSt serve to block external light.
스위칭 트랜지스터(SW)는 제1광차단층(LSs)에 의해 채널영역이 보호된다. 제1광차단층(LSs)은 스위칭 트랜지스터(SW)의 제2전극에 연결된다. 구동 트랜지스터(DR)는 제2광차단층(LSd)에 의해 채널영역이 보호된다. 제2광차단층(LSd)은 구동 트랜지스터(DR)의 제2전극에 연결된다. 센싱 트랜지스터(ST)는 제3광차단층(LSt)에 의해 채널영역이 보호된다. 제3광차단층(LSt)은 구동 트랜지스터(DR)의 제2전극에 연결된다. 제3광차단층(LSt)은 센싱 트랜지스터(ST)의 제1전극에 연결될 수도 있다. 이 경우, 제3광차단층(LSt)은 제2광차단층(LSd)과 물리적/전기적으로 분리된다. 그러나 이하의 설명에서는 스위칭 트랜지스터(SW)의 광차단층과 센싱 트랜지스터(ST) 및 구동 트랜지스터(DR)의 광차단층을 물리적/전기적으로 분리된 것을 일례로 한다.The channel region is protected by the first light blocking layer LSs of the switching transistor SW. The first light blocking layer LSs is connected to the second electrode of the switching transistor SW. The channel region is protected by the second light blocking layer LSd in the driving transistor DR. The second light blocking layer LSd is connected to the second electrode of the driving transistor DR. The channel region is protected by the third light blocking layer LSt in the sensing transistor ST. And the third light blocking layer LSt is connected to the second electrode of the driving transistor DR. The third light blocking layer LSt may be connected to the first electrode of the sensing transistor ST. In this case, the third light blocking layer LSt is physically / electrically separated from the second light blocking layer LSd. However, in the following description, the light blocking layer of the switching transistor SW and the light blocking layer of the sensing transistor ST and the driving transistor DR are physically / electrically separated from each other.
하나의 서브 픽셀은 도 11에 설명된 회로를 기반으로 다음과 같이 형성된다. 다만, 본 발명의 제1실시예는 서브 픽셀의 소자영역에 형성된 광차단층 그리고 광차단층과 관계되는 트랜지스터들의 접속 관계 및 적층 관계를 다루므로 서브 픽셀의 개구영역에 대한 도시 및 설명은 생략한다.One subpixel is formed based on the circuit described in Fig. 11 as follows. However, since the first embodiment of the present invention deals with the connection relation and the stacking relationship of the light-blocking layer and the light-blocking layer formed in the device region of the sub-pixel, the illustration and description of the opening region of the sub-pixel are omitted.
도 12 내지 도 16에 도시된 바와 같이, 기판(150a) 상에는 서브 픽셀의 소자영역(SPA)과 개구영역(SPE)이 정의된다. 서브 픽셀의 소자영역(SPA)에는 구동 트랜지스터(DR), 커패시터(Cst), 스위칭 트랜지스터(SW), 및 센싱 트랜지스터(ST)가 형성된다. 서브 픽셀의 소자영역(SPA)의 상부에 위치하는 서브 픽셀의 개구영역(SPE)에는 유기 발광다이오드(OLED)가 형성된다.As shown in FIGS. 12 to 16, an element region SPA and an opening region SPE of a subpixel are defined on a
기판(150a) 상에는 광차단층(151)이 형성된다. 광차단층(151)은 스위칭 트랜지스터(SW), 센싱 트랜지스터(ST) 및 구동 트랜지스터(DR)의 반도체층(153)에 각각 대응하는 제1, 제2 및 제3광차단층(LSs, LSt, LSd)이 모두 분리되어 형성된다. 광차단층(151)은 스위칭 트랜지스터(SW), 센싱 트랜지스터(ST) 및 구동 트랜지스터(DR)의 반도체층(153)을 각각 커버하기 위해 독립된 형태로 분리된다.A
광차단층(151) 상에는 버퍼층(152)이 형성된다. 버퍼층(152)은 광차단층(151)에 대응하여 형성된다. 버퍼층(152) 상에는 반도체층(153)이 형성된다. 반도체층(153)은 스위칭 트랜지스터(SW), 센싱 트랜지스터(ST) 및 구동 트랜지스터(DR)가 차지하는 영역으로 각각 분리되어 형성된다.A
스위칭 트랜지스터(SW), 센싱 트랜지스터(ST) 및 구동 트랜지스터(DR)의 반도체층(153)은 산화물 반도체(예: IGZO)로 이루어진다. 스위칭 트랜지스터(SW), 센싱 트랜지스터(ST) 및 구동 트랜지스터(DR)의 반도체층(153)은 채널영역이 되는 부분과 도체화 공정에 의해 도체화 된 부분을 포함한다.The
스위칭 트랜지스터(SW), 센싱 트랜지스터(ST) 및 구동 트랜지스터(DR)의 반도체층(153)은 산화물 반도체(예: IGZO)로 이루어지므로 도체화 공정을 실시하게 되면 공정이 진행된 영역이 반도체가 아닌 도체가 된다. 그리고 반도체층(153)의 도체화 된 부분은 트랜지스터의 소오스전극(또는 소오스영역) 및 드레인전극(또는 드레인영역)이 된다. 즉, 반도체층(153)은 스위칭 트랜지스터(SW), 센싱 트랜지스터(ST) 및 구동 트랜지스터(DR)의 소오스 및 드레인영역에 대응하여 도체화 된 전극을 갖는다.Since the
반도체층(153) 상에는 제1절연층(154)이 형성된다. 제1절연층(154) 상에는 게이트금속층(155)이 형성된다. 제1절연층(154)은 게이트절연층으로 정의될 수 있는데, 이는 상부에 형성되는 게이트전극과 동일하게 섬(Island) 형태로 패턴될 수 있다.A first insulating
게이트금속층(155a ~ 155d)은 제1 내지 제4게이트금속층(155a ~ 155d)을 포함한다. 제1게이트금속층(155a)은 제1전원라인(EVDD)을 인접하는 서브 픽셀에 연결해 주는 연결전극이 된다. 제1게이트금속층(155a)은 니은(ㄴ)자 형상의 전극으로 패턴될 수 있다. 제2게이트금속층(155b)은 구동 트랜지스터(DR)의 게이트전극이 된다. 제2게이트금속층(155b)은 수직방향이 더 긴 바(Bar) 형태의 전극으로 패턴될 수 있다. 제3게이트금속층(155c)은 스위칭 트랜지스터(SW) 및 센싱 트랜지스터(ST)의 게이트전극이 되면서 스캔라인(GL)이 된다. 제3게이트금속층(155c)은 수평 방향을 따라 배치되되, 두 개의 라인으로 분기되는 부분을 포함할 수 있다. 제4게이트금속층(155d)은 센싱 트랜지스터(ST)의 제1전극과 연결되는 센싱라인(VREF)이 된다. 제4게이트금속층(155d)은 수평 방향을 따라 배치되되, 두 개의 라인으로 분기되는 부분을 포함할 수 있다.The
게이트금속층(155a ~ 155d) 상에는 제2절연층(156)이 형성된다. 제2절연층(156)은 하부 구조물과 상부에 형성되는 구조물 간의 전기적 절연을 하는 층간 절연층으로 정의될 수 있다.A second insulating
제2절연층(156)에는 하부 구조물의 일부를 노출하는 다수의 콘택홀이 형성된다. 다수의 콘택홀은 홀 마스크에 의해 형성된다. 홀 마스크에 의해 제2절연층(156)에는 제1콘택홀(CH1) 내지 제2콘택홀(CH3)을 포함하는 다수의 콘택홀이 형성된다. 제2콘택홀(CH2)은 센싱 트랜지스터(ST)의 하부에 위치하는 제3광차단층(LSt)을 센싱 트랜지스터(ST)의 제1 또는 제2전극에 연결하기 위해 사용된다. 제3콘택홀(CH3)은 스위칭 트랜지스터(SW)의 제1광차단층(LSs)을 스위칭 트랜지스터(SW)의 제1 또는 제2전극에 연결하기 위해 사용된다. 이와 관련된 설명은 도 17 및 도 18을 참조하여 다시 설명한다.The second
제2절연층(156) 상에는 소오스 드레인금속층(157a ~ 157e)이 형성된다. 제1소오스 드레인금속층(157a)은 제1전원라인(EVDD)이 된다. 제1소오스 드레인금속층(157a)은 수직 방향을 따라 배치되며, 서브 픽셀과 연결되는 부분만 수평 방향으로 일부 돌출된다. 제2소오스 드레인금속층(157b)은 스위칭 트랜지스터(SW)의 제2전극과 구동 트랜지스터(DR)의 게이트전극(155b)을 연결함과 동시에 커패시터(Cst)의 일측 전극이 된다. 제2소오스 드레인금속층(157b)은 구동 트랜지스터(DR)의 게이트전극을 도체화한 영역과 중첩하는 면적이 넓게 패턴될 수 있다. 제3소오스 드레인금속층(157c)은 구동 트랜지스터(DR)의 제2전극과 센싱 트랜지스터(ST)의 제2전극을 연결하는 연결전극이 된다. 제3소오스 드레인금속층(157c)은 L자형상으로 패턴될 수 있다. 제4소오스 드레인금속층(157d)은 데이터라인들(DLn1)이 된다. 제4소오스 드레인금속층(157d)은 수직 방향을 따라 배치되며, 서브 픽셀과 연결되는 부분만 수평 방향으로 일부 돌출된다. 제5소오스 드레인금속층(157e)은 센싱 트랜지스터(ST)의 제1전극을 센싱라인(VREF)에 연결하는 연결전극이 된다. 제5소오스 드레인금속층(157e)은 1자형상 또는 I자형상으로 패턴될 수 있다.On the second insulating
소오스 드레인금속층(157a ~ 157e) 상에는 제3절연층(158)이 형성된다. 제3절연층(158)은 기판(150a) 상에 형성된 트랜지스터 등의 구조물을 보호하기 위한 보호층으로 정의될 수 있다.A third insulating
제3절연층(158) 상에는 서브 픽셀의 개구영역(SPE)에 대응하여 컬러필터(미도시)가 형성된다. 이하의 공정에 의해 형성되는 유기 발광다이오드가 백색을 발광하는 경우 제3절연층(158) 상에는 컬러필터가 형성되지만, 유기 발광다이오드가 자체적으로 적색, 녹색, 청색 등의 유색을 발광할 경우 컬러필터는 미형성된다.On the third insulating
제3절연층(159) 상에는 제4절연층(160)이 형성된다. 제4절연층(160)은 표면을 평탄화하는 코팅층으로 정의될 수 있다. 제3절연층(158) 및 제4절연층(160)은 구동 트랜지스터(DR)의 소오스전극의 일부를 노출하는 콘택홀을 갖는다.A fourth insulating
제4절연층(160) 상에는 화소전극(161)이 형성된다. 화소전극(161)은 유기 발광다이오드(OLED)의 애노드전극으로 정의될 수 있다. 화소전극(161)은 제4절연층(160)을 통해 노출된 소오스전극에 전기적으로 연결된다. 화소전극(161)은 유기 발광층으로부터 발광된 빛을 기판(150a) 방향으로 출사할 수 있도록 투명전극으로 선택될 수 있다.A
제4절연층(160) 상에는 뱅크층(미도시)이 형성된다. 뱅크층은 화소전극(161)의 일부를 노출하는 개구영역을 가지며, 실질적인 발광영역을 정의하게 된다. 뱅크층 상에는 유기 발광층과 상부전극(미도시)이 형성된다. 상부전극은 유기 발광다이오드(OLED)의 캐소드전극으로 정의될 수 있다. 상부전극은 미도시된 제2전원라인에 전기적으로 연결된다. 상부전극은 유기 발광층으로부터 발광된 빛이 기판(150a) 방향으로만 출사되도록 불투명전극으로 선택될 수 있다. 그러나 표시패널의 목적, 기능 등에 따라 유기 발광층으로부터 발광된 빛을 기판(150a)의 반대방향 또는 양방향으로 출사하기 위해 상부전극 또한 투명전극으로 선택하는 경우도 있다.A bank layer (not shown) is formed on the fourth insulating
앞서 도 11을 참조하여 설명한 바와 같이, 본 발명의 제2실시예는 스위칭 트랜지스터(SW)의 하부에 위치하는 제1광차단층(LSs)과 구동 트랜지스터(DR) 및 센싱 트랜지스터(ST)의 하부에 위치하는 제2 및 제3광차단층(LSd, LSt)을 분리하는데, 그 이유를 설명하면 다음과 같다.11, the second embodiment of the present invention includes a first light blocking layer LSs located under the switching transistor SW, a lower portion of the driving transistor DR and the sensing transistor ST, The second and third light blocking layers LSd and LSt are separated from each other. The reason for this is as follows.
종래에는 광차단층(LSs, LSd, LSt)을 전기적으로 안정화하기 위해 구동 트랜지스터(DR)의 제2전극(센싱노드)에 모두 공통으로 연결하였다. 이 구조를 기반으로 실험을 한 결과, 구동 트랜지스터(DR)의 제2전극을 통해 흐르는 전압(Vs)이 광차단층(LSs, LSd, LSt)에도 인가됨에 따라 스위칭 트랜지스터(SW)의 문턱전압이 이동하는 문제가 야기됨을 확인하였다.Conventionally, the light blocking layers LSs, LSd, and LSt are commonly connected to the second electrode (sensing node) of the driving transistor DR in order to electrically stabilize the light blocking layers LSs, LSd, and LSt. As a result of the experiment based on this structure, as the voltage Vs flowing through the second electrode of the driving transistor DR is applied to the light blocking layers LSs, LSd, and LSt, the threshold voltage of the switching transistor SW is shifted Which is a problem.
이와 같은 문제로 인하여, 스위칭 트랜지스터(SW)의 문턱전압(Vth)이 지속적으로 네거티브 방향으로 이동(-Vth Shift)할 경우 로직로우의 스캔신호(트랜지스터를 턴오프하는 신호 또는 전압; 예 VGL)가 인가되었음에도 스위칭 트랜지스터(SW)가 턴온되는 현상이 발생(VGL > Vth 관계를 갖지만 Vth가 VGL보다 낮아지게 되므로)하게 된다. 즉, 스위칭 트랜지스터(SW)가 턴온되지 말아야 하는 구간에서도 턴온 동작을 하게 된다.Due to such a problem, when the threshold voltage Vth of the switching transistor SW is continuously shifted in the negative direction (-Vth Shift), a scan signal of a logic low (a signal or voltage for turning off the transistor, e.g., VGL) The switching transistor SW is turned on (VGL> Vth relation but Vth becomes lower than VGL). That is, the switching transistor SW is turned on during a period in which the switching transistor SW should not be turned on.
본 발명의 제2실시예는 종래의 문제를 해결하기 위해, 앞서 설명한 바와 같이 스위칭 트랜지스터(SW)의 광차단층(LSs)과 센싱 트랜지스터(ST) 및 구동 트랜지스터(DR)의 광차단층(LSt, LSd)을 전기적으로 분리하고 시뮬레이션을 하였다. 본 발명의 제2실시예를 기반으로 시뮬레이션을 한 결과, 스위칭 트랜지스터(SW)의 광차단층(LSs)과 센싱 트랜지스터(ST) 및 구동 트랜지스터(DR)의 광차단층(LSt, LSd)이 전기적으로 분리되어 있어 스위칭 트랜지스터(SW)의 문턱전압이 이동하는 사이드 이펙트는 개선 및 해소할 수 있는 것으로 나타났다.In order to solve the conventional problem, the second embodiment of the present invention is characterized in that the light blocking layer LSs of the switching transistor SW, the light blocking layers LSt, LSd of the sensing transistor ST and the driving transistor DR ) Were electrically isolated and simulated. As a result of simulation based on the second embodiment of the present invention, the light blocking layers LSs of the switching transistor SW and the light blocking layers LSt and LSd of the sensing transistor ST and the driving transistor DR are electrically separated Side effects in which the threshold voltage of the switching transistor SW is shifted can be improved and eliminated.
도 16 및 도 17에 도시된 바와 같이, 제1콘택홀(CH1)은 제2소오스 드레인금속층(157b)의 일부를 노출한다. 제1콘택홀(CH1)을 통해 노출된 제2소오스 드레인금속층(157b)은 화소전극(161)과 전기적으로 연결된다.As shown in Figs. 16 and 17, the first contact hole CH1 exposes a part of the second source drain
제2콘택홀(CH2)(제2측 콘택홀)은 센싱 트랜지스터(ST)의 제2전극(153a)과 그 하부에 위치하는 제3광차단층(151, LSt)의 일부를 노출한다. 센싱 트랜지스터(ST)의 제2전극(153a)은 도체화 된 반도체층(153)에 의해 이루어진다. 제2전극(153a)과 인접한 영역은 채널영역(153b)이다.The second contact hole CH2 (second side contact hole) exposes a part of the
제2콘택홀(CH2)은 센싱 트랜지스터(ST)의 제2전극(153a)과 그 하부에 위치하는 제3광차단층(151, LSt)의 일부를 노출하기 위해 센싱 트랜지스터(ST)의 제2전극(153a)의 외곽 경계선에 형성된다. 제2콘택홀(CH2)을 센싱 트랜지스터(ST)의 제2전극(153a)의 외곽 경계선에 형성하면 하나의 콘택홀로도 센싱 트랜지스터(ST)의 제2전극(153a)과 그 하부에 위치하는 제3광차단층(151, LSt)을 전기적으로 연결할 수 있는 구멍을 만들 수 있게 된다. 제2콘택홀(CH2)은 구동 트랜지스터(DR)와 센싱 트랜지스터(ST) 사이에 위치하거나 센싱 트랜지스터(ST)와 제1전원라인(EVDD) 사이에 위치할 수 있다.The second contact hole CH2 is electrically connected to the
센싱 트랜지스터(ST)의 하부에 위치하는 제3광차단층(151, LSt)은 제2소오스 드레인금속층(157b)에 의해 구동 트랜지스터의 게이트전극과 연결된다.The third light blocking layer 151 (LSt) located under the sensing transistor ST is connected to the gate electrode of the driving transistor by the second source drain
도 16 및 도 18에 도시된 바와 같이, 제3콘택홀(CH3)(제1측 콘택홀)은 스위칭 트랜지스터(SW)의 제2전극(153a)과 그 하부에 위치하는 제1광차단층(151, LSs)의 일부를 노출한다. 스위칭 트랜지스터(SW)의 제2전극(153a)은 도체화 된 반도체층(153)에 의해 이루어진다. 제2전극(153a)과 인접한 영역은 채널영역(153b)이다.16 and 18, the third contact hole CH3 (first side contact hole) is electrically connected to the
제3콘택홀(CH3)은 스위칭 트랜지스터(SW)의 제2전극(153a)과 그 하부에 위치하는 제1광차단층(151, LSs)의 일부를 노출하기 위해 스위칭 트랜지스터(SW)의 제2전극(153a)의 외곽 경계선에 형성된다. 제3콘택홀(CH3)을 스위칭 트랜지스터(SW)의 제2전극(153a)의 외곽 경계선에 형성하면 하나의 콘택홀로도 스위칭 트랜지스터(SW)의 제2전극(153a)과 그 하부에 위치하는 제1광차단층(151, LSs)을 전기적으로 연결할 수 있는 구멍을 만들 수 있게 된다. 제3콘택홀(CH3)은 구동 트랜지스터(DR)와 스위칭 트랜지스터(SW) 사이에 위치하거나 스위칭 트랜지스터(SW)와 제1데이터라인(DLn1) 사이에 위치할 수 있다.The third contact hole CH3 is electrically connected to the
스위칭 트랜지스터(SW)의 하부에 위치하는 제1광차단층(151, LSs)은 제3소오스 드레인금속층(157c)에 의해 구동 트랜지스터(DR)의 제2전극과 연결된다.The first light blocking layer 151 (LSs) located under the switching transistor SW is connected to the second electrode of the driving transistor DR by the third source
본 발명의 제2실시예에서는 센싱 트랜지스터(ST)의 제3광차단층(151, LSt)을 센싱 트랜지스터(ST)의 제2전극(153a)에 연결하고, 스위칭 트랜지스터(SW)의 제1광차단층(151, LSs)을 구동 트랜지스터(DR)의 제2전극에 연결하는 것을 일례로 하였다. 그러나 스위칭 트랜지스터(SW)의 제1광차단층(151, LSs)은 스위칭 트랜지스터(SW)의 제1전극에 연결되고 센싱 트랜지스터(ST)의 제3광차단층(151, LSt)은 센싱 트랜지스터(ST)의 제1전극에 연결될 수도 있다. 그 이유는 스위칭 트랜지스터(SW) 및 센싱 트랜지스터(ST)의 제1 및 제3광차단층(151, LSs, LSt)을 구동 트랜지스터(DR)의 제2광차단층(LSd)과 전기적으로 분리하면 본 발명의 제2실시예에 따른 효과를 얻을 수 있기 때문이다.In the second embodiment of the present invention, the third light blocking layer 151 (LSt) of the sensing transistor ST is connected to the
이상 본 발명은 광차단층 사용시, 서브 픽셀에 포함된 특정 트랜지스터의 문턱전압이 이동하는 사이드 이펙트를 방지할 수 있는 접속 구조를 이용하여 표시 패널의 구동 신뢰성과 수명을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명은 광차단층의 사용에 따른 사이드 이펙트를 제거하여 표시 품질을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.The present invention has the effect of improving the driving reliability and lifetime of the display panel by using a connection structure that can prevent a side effect in which a threshold voltage of a specific transistor included in a sub-pixel is shifted when using a light blocking layer. Further, the present invention has the effect of improving the display quality by eliminating side effects due to use of the light blocking layer.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다. 아울러, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어진다. 또한, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be understood that the invention may be practiced. It is therefore to be understood that the embodiments described above are to be considered in all respects only as illustrative and not restrictive. In addition, the scope of the present invention is indicated by the following claims rather than the detailed description. Also, all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included within the scope of the present invention.
110: 영상 처리부
120: 타이밍 제어부
130: 데이터 구동부
140: 스캔 구동부
150: 표시 패널
ST: 센싱 트랜지스터
DR: 구동 트랜지스터
SW: 스위칭 트랜지스터
VREF: 센싱라인
DLn1: 데이터라인
151: 광차단층
152: 버퍼층
155a ~ 155d: 게이트금속층
157a ~ 157e: 소오스 드레인금속층110: image processor 120: timing controller
130: Data driver 140:
150: display panel ST: sensing transistor
DR: driving transistor SW: switching transistor
VREF: sensing line DLn1: data line
151: light blocking layer 152: buffer layer
155a to 155d:
Claims (10)
상기 제1 내지 제3광차단층 상에 위치하는 버퍼층;
상기 버퍼층에 각각 대응하여 위치하며 상기 스위칭 트랜지스터, 상기 구동 트랜지스터 및 상기 센싱 트랜지스터의 소오스 및 드레인영역에 대응하여 도체화 된 전극을 갖는 산화물 반도체층; 및
상기 산화물 반도체층 상에 위치하는 절연층을 포함하고,
상기 제1광차단층은 상기 스위칭 트랜지스터의 도체화 된 전극에 연결되고, 상기 제2광차단층은 상기 구동 트랜지스터의 도체화 된 전극에 연결된 유기전계발광표시장치.First to third light blocking layers located on the substrate and corresponding to the channel regions of the switching transistor, the driving transistor and the sensing transistor, respectively;
A buffer layer located on the first through third light blocking layers;
An oxide semiconductor layer located corresponding to each of the buffer layers and having a conductive electrode corresponding to source and drain regions of the switching transistor, the driving transistor, and the sensing transistor; And
And an insulating layer disposed on the oxide semiconductor layer,
Wherein the first light blocking layer is connected to the conductive electrode of the switching transistor and the second light blocking layer is connected to the conductive electrode of the driving transistor.
상기 제1광차단층과 상기 스위칭 트랜지스터의 도체화 된 전극은 상기 절연층의 제1측 콘택홀을 통해 노출되고,
상기 절연층 상에 위치하는 소오스 드레인금속층에 의해 전기적으로 연결되는 유기전계발광표시장치.The method according to claim 1,
Wherein the first light blocking layer and the conductive electrode of the switching transistor are exposed through the first side contact hole of the insulating layer,
Wherein the source electrode and the drain electrode are electrically connected to each other by a source drain metal layer located on the insulating layer.
상기 제1측 콘택홀은
상기 스위칭 트랜지스터의 도체화 된 전극의 외곽 경계선에 위치하는 유기전계발광표시장치.3. The method of claim 2,
The first side contact hole
Wherein the conductive layer of the switching transistor is located at an outer boundary line of the conductive electrode.
상기 제1측 콘택홀은
상기 구동 트랜지스터와 상기 스위칭 트랜지스터의 사이에 위치하거나 상기 스위칭 트랜지스터와 데이터라인의 사이에 위치하는 유기전계발광표시장치.The method of claim 3,
The first side contact hole
Wherein the organic light emitting display is located between the driving transistor and the switching transistor or between the switching transistor and the data line.
상기 제3광차단층은
상기 제1광차단층과 일체형으로 구비된 유기전계발광표시장치.The method according to claim 1,
The third light blocking layer
And the first light blocking layer is integrated with the first light blocking layer.
상기 제3광차단층은
상기 제1광차단층과 분리되어 배치된 유기전계발광표시장치.5. The method of claim 4,
The third light blocking layer
And the first light blocking layer is disposed separately from the first light blocking layer.
상기 제3광차단층과 상기 센싱 트랜지스터의 도체화 된 전극은 상기 절연층의 제2측 콘택홀을 통해 노출되고,
상기 절연층 상에 위치하는 소오스 드레인금속층에 의해 전기적으로 연결되는 유기전계발광표시장치.The method according to claim 6,
Wherein the third light blocking layer and the conductive electrode of the sensing transistor are exposed through the second side contact hole of the insulating layer,
Wherein the source electrode and the drain electrode are electrically connected to each other by a source drain metal layer located on the insulating layer.
상기 제2측 콘택홀은
상기 센싱 트랜지스터의 도체화 된 전극의 외곽 경계선에 위치하는 유기전계발광표시장치.8. The method of claim 7,
The second side contact hole
Wherein the sensing transistor is located at an outer boundary line of a conductive electrode of the sensing transistor.
상기 제2측 콘택홀은
상기 구동 트랜지스터와 센싱 트랜지스터의 사이에 위치하거나 상기 센싱 트랜지스터와 제1전원라인의 사이에 위치하는 유기전계발광표시장치.9. The method of claim 8,
The second side contact hole
Wherein the organic light emitting display is disposed between the driving transistor and the sensing transistor or between the sensing transistor and the first power line.
상기 제1광차단층은 상기 스위칭 트랜지스터의 제2전극에 연결되고, 상기 제3광차단층은 상기 구동 트랜지스터의 제2전극에 연결된 유기전계발광표시장치.The method according to claim 1,
Wherein the first light blocking layer is connected to the second electrode of the switching transistor and the third light blocking layer is connected to the second electrode of the driving transistor.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020150132407A KR102428433B1 (en) | 2015-09-18 | 2015-09-18 | Organic Light Emitting Display Device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020150132407A KR102428433B1 (en) | 2015-09-18 | 2015-09-18 | Organic Light Emitting Display Device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20170036865A true KR20170036865A (en) | 2017-04-03 |
KR102428433B1 KR102428433B1 (en) | 2022-08-04 |
Family
ID=58589385
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020150132407A KR102428433B1 (en) | 2015-09-18 | 2015-09-18 | Organic Light Emitting Display Device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102428433B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11386854B2 (en) | 2018-08-13 | 2022-07-12 | Samsung Display Co., Ltd. | Pixel circuit and display apparatus having the same |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20070080206A (en) * | 2006-02-06 | 2007-08-09 | 삼성전자주식회사 | Display device and manufacturing method of the same |
KR20150028055A (en) * | 2013-09-05 | 2015-03-13 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic Light Emitting Diode Display And Method For Manufacturing The Same |
KR20150034462A (en) * | 2013-09-26 | 2015-04-03 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic Light Emitting Diode Display Having High Aperture Ratio And Method For Manufacturing The Same |
KR20150052934A (en) * | 2013-11-06 | 2015-05-15 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic Light Emitting Display Device |
KR20150073611A (en) * | 2013-12-23 | 2015-07-01 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic Light Emitting Diode Display Device and Method of Fabricating the Same |
-
2015
- 2015-09-18 KR KR1020150132407A patent/KR102428433B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20070080206A (en) * | 2006-02-06 | 2007-08-09 | 삼성전자주식회사 | Display device and manufacturing method of the same |
KR20150028055A (en) * | 2013-09-05 | 2015-03-13 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic Light Emitting Diode Display And Method For Manufacturing The Same |
KR20150034462A (en) * | 2013-09-26 | 2015-04-03 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic Light Emitting Diode Display Having High Aperture Ratio And Method For Manufacturing The Same |
KR20150052934A (en) * | 2013-11-06 | 2015-05-15 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic Light Emitting Display Device |
KR20150073611A (en) * | 2013-12-23 | 2015-07-01 | 엘지디스플레이 주식회사 | Organic Light Emitting Diode Display Device and Method of Fabricating the Same |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11386854B2 (en) | 2018-08-13 | 2022-07-12 | Samsung Display Co., Ltd. | Pixel circuit and display apparatus having the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102428433B1 (en) | 2022-08-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108122958B (en) | Display device | |
KR102627343B1 (en) | Display Device | |
KR102490623B1 (en) | Organic Light Emitting Display Device and Menufacturing Method the same | |
KR102603598B1 (en) | Display Device | |
CN107664862B (en) | Display device and method for manufacturing the same | |
TWI614929B (en) | Organic light emitting display | |
KR102526611B1 (en) | Display Device | |
US11942032B2 (en) | Display apparatus including power line comprising first power line in first direction and second power line in second direction | |
TWI647687B (en) | Data driver and display device using the same | |
CN110875000A (en) | Light emitting display device and driving method thereof | |
JP5929121B2 (en) | Electro-optical device and electronic apparatus | |
KR20170064128A (en) | Organic Light Emitting Display Device and Method of Manufacturing the same | |
KR102551988B1 (en) | Display pannel and display device having the same | |
KR102612371B1 (en) | Display Device | |
US11864431B2 (en) | Light emitting display device | |
KR102428433B1 (en) | Organic Light Emitting Display Device | |
KR102638207B1 (en) | Display device | |
KR102515627B1 (en) | Organic Light Emitting Display Device and Manufacturing Method the same | |
KR102563777B1 (en) | Organic Light Emitting Display Device | |
KR102593451B1 (en) | Organic Light Emitting Display Device and Method of Manufacturing the same | |
KR102337073B1 (en) | Light Emitting Display Device | |
KR20240106221A (en) | Light Emitting Display Device | |
KR20220076173A (en) | Electroluminescent display apparatus and manufacturing method of thereof | |
KR20240107752A (en) | Display Device and Method for Manufacturing thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right |