KR20170007232A - Hand for industrial robot and industrial robot - Google Patents

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KR20170007232A
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다카유키 야자와
요시히사 마스자와
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니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇의 핸드에 있어서, 핸드에 탑재된 유리 기판의 휨량이 크고, 또한 유리 기판을 탑재하여 이동하는 핸드의 가속도가 커도, 유리 기판을 반송할 때의 핸드에 대한 유리 기판의 위치 어긋남을 억제하는 것이 가능한 산업용 로봇의 핸드를 제공한다. 구체적으로는, 이 핸드는, 유리 기판(2)의 하면에 접촉하는 접촉면(12a)이 형성되는 고무제 또는 수지제의 복수의 패드(12)를 구비하고 있고, 접촉면(12a)은 구면형으로 형성되어 있다.The present invention relates to a hand of an industrial robot that conveys a glass substrate, in which the amount of warpage of the glass substrate mounted on the hand is large and the acceleration of the moving hand by mounting the glass substrate is large, Provided is an industrial robot hand capable of suppressing positional deviation of a glass substrate. Specifically, this hand has a plurality of pads 12 made of rubber or resin, in which a contact surface 12a that contacts the lower surface of the glass substrate 2 is formed, and the contact surface 12a has a spherical shape Respectively.

Description

산업용 로봇의 핸드 및 산업용 로봇 {HAND FOR INDUSTRIAL ROBOT AND INDUSTRIAL ROBOT}HAND FOR INDUSTRIAL ROBOT AND INDUSTRIAL ROBOT [0002]

본 발명은 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇의 핸드에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 이러한 핸드를 구비하는 산업용 로봇에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hand of an industrial robot that carries a glass substrate. The present invention also relates to an industrial robot having such a hand.

종래, 진공 증착법에 의해 유기 EL 디바이스를 제조하는 유기 EL 디바이스 제조 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 유기 EL 디바이스 제조 장치는, 유리 기판을 반송하는 반송 로봇을 구비하고 있다. 또한, 진공 증착법에 의해 유기 EL 디바이스를 제조할 때의 유리 기판의 반송 방법으로서, 일반적으로 증착면을 하측으로 향한 상태에서 유리 기판을 반송하는 소위 하면 반송이 알려져 있다.Conventionally, an organic EL device manufacturing apparatus for manufacturing an organic EL device by a vacuum vapor deposition method is known (see, for example, Patent Document 1). The organic EL device manufacturing apparatus disclosed in Patent Document 1 includes a transport robot for transporting a glass substrate. Further, as a method of transporting a glass substrate when an organic EL device is manufactured by a vacuum vapor deposition method, there is known a so-called bottom transportation method in which a glass substrate is transported in a state in which the deposition surface faces downward.

하면 반송으로 유리 기판이 반송되는 경우, 유리 기판의 하면이 증착면이기 때문에, 반송 로봇은 증착면에 접촉할 수 없다. 따라서, 하면 반송으로 유리 기판이 반송되는 경우에는, 반송 로봇은, 증착면의 주위에 형성되는 프레임 부분에 핸드가 접촉하도록 핸드에 유리 기판을 탑재하여, 유리 기판을 반송하고 있다. 이 경우, 유리 기판을 반송할 때의 핸드에 대한 유리 기판의 위치 어긋남을 방지하기 위해, 유리 기판이 탑재되는 핸드의 상면에 O링이 설치되는 경우가 있다.In the case where the glass substrate is transported by the lower surface transportation, since the lower surface of the glass substrate is the deposition surface, the transport robot can not contact the deposition surface. Therefore, when the glass substrate is transported by the bottom transportation, the transportation robot carries the glass substrate by mounting the glass substrate on the hand so that the hand comes into contact with the frame portion formed around the deposition surface. In this case, in order to prevent the positional shift of the glass substrate relative to the hand when the glass substrate is carried, an O-ring may be provided on the upper surface of the hand on which the glass substrate is mounted.

일본 특허 공개 제2010-62043호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-62043

최근, 유기 EL 디바이스 제조 장치 등의 반송 로봇으로 반송되는 유리 기판은 대형화되고 있다. 유리 기판이 대형화되면, 하면 반송으로 유리 기판이 반송되는 경우, 증착면의 주위의 프레임 부분에 핸드가 접촉하도록 핸드에 탑재된 유리 기판의 휨량이 커진다. 또한, 최근, 유기 EL 디바이스 제조 장치 등의 반송 로봇에 대하여, 유리 기판의 반송 시간의 단축화의 요구가 높아지고 있다. 본원 발명자의 검토에 따르면, 핸드에 탑재된 유리 기판의 휨량이 커지면, 또한 유리 기판의 반송 시간을 단축하기 위해, 유리 기판을 탑재하여 이동하는 핸드의 가속도를 크게 하면, 핸드의 상면에 O링이 설치되어 있어도, 유리 기판을 반송할 때의 핸드에 대한 유리 기판의 위치 어긋남이 발생하는 것이 밝혀졌다.BACKGROUND ART [0002] In recent years, a glass substrate conveyed to a conveying robot such as an organic EL device manufacturing apparatus has become larger. When the glass substrate is enlarged, the warpage of the glass substrate mounted on the hand is increased so that the hand contacts the frame portion around the deposition surface when the glass substrate is transported by the bottom transportation. In recent years, there is a growing demand for shortening the transport time of glass substrates for transport robots such as organic EL device production apparatuses. According to the study of the inventor of the present invention, when the amount of warping of the glass substrate mounted on the hand is increased, and the acceleration of the moving hand by mounting the glass substrate is increased in order to shorten the transportation time of the glass substrate, It has been found that the positional deviation of the glass substrate with respect to the hand occurs when the glass substrate is transported.

따라서, 본 발명의 과제는, 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇의 핸드에 있어서, 핸드에 탑재된 유리 기판의 휨량이 크고, 또한 유리 기판을 탑재하여 이동하는 핸드의 가속도가 커도, 유리 기판을 반송할 때의 핸드에 대한 유리 기판의 위치 어긋남을 억제하는 것이 가능한 산업용 로봇의 핸드를 제공하는 데 있다. 또한, 본 발명의 과제는, 이러한 핸드를 구비하는 산업용 로봇을 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a hand for an industrial robot that conveys a glass substrate and is capable of carrying a glass substrate even when the amount of warpage of the glass substrate mounted on the hand is large and the acceleration of the moving hand, In which the positional deviation of the glass substrate with respect to the hand is suppressed. Another object of the present invention is to provide an industrial robot equipped with such a hand.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 산업용 로봇의 핸드는, 유리 기판을 반송하는 산업용 로봇의 핸드이며, 유리 기판이 탑재되는 핸드에 있어서, 유리 기판의 하면에 접촉하는 접촉면이 형성되는 고무제 또는 수지제의 복수의 패드를 구비하고, 접촉면은 구면형으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, a hand of an industrial robot according to the present invention is a hand of an industrial robot that carries a glass substrate. In the hand on which the glass substrate is mounted, A plurality of resin pads are provided, and the contact surface is formed in a spherical shape.

본 발명의 산업용 로봇의 핸드에서는, 유리 기판의 하면에 접촉하는 패드의 접촉면이 구면형으로 형성되어 있다. 그로 인해, 본 발명에서는 핸드에 탑재된 유리 기판의 휨량이 커져도, 유리 기판의 하면에 패드의 접촉면을 확실하게 접촉시키는 것이 가능하게 된다. 또한, 본 발명에서는 구면형으로 형성되는 접촉면이 유리 기판의 하면에 점접촉하기 때문에, 접촉면과 유리 기판의 접촉압을 높이는 것이 가능하게 된다. 이와 같이, 본 발명에서는 핸드에 탑재된 유리 기판의 휨량이 커져도, 유리 기판의 하면에 접촉면을 확실하게 접촉시키는 것이 가능해짐과 함께, 접촉면과 유리 기판의 접촉압을 높여 핸드에 의한 유리 기판의 보유 지지력을 높이는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 발명에서는 핸드에 탑재된 유리 기판의 휨량이 크고, 또한 유리 기판을 탑재하여 이동하는 핸드의 가속도가 커도, 유리 기판을 반송할 때의 핸드에 대한 유리 기판의 위치 어긋남을 억제하는 것이 가능하게 된다.In the hand of the industrial robot of the present invention, the contact surface of the pad contacting the lower surface of the glass substrate is formed in a spherical shape. Therefore, in the present invention, even if the amount of warping of the glass substrate mounted on the hand is increased, it is possible to reliably contact the contact surface of the pad with the lower surface of the glass substrate. Further, in the present invention, since the contact surface formed in a spherical shape makes point contact with the lower surface of the glass substrate, it becomes possible to increase the contact pressure between the contact surface and the glass substrate. As described above, according to the present invention, even if the amount of warping of the glass substrate mounted on the hand is increased, it is possible to reliably bring the contact surface into contact with the lower surface of the glass substrate and increase the contact pressure between the contact surface and the glass substrate, It becomes possible to increase the supporting force. Therefore, in the present invention, it is possible to suppress the displacement of the glass substrate relative to the hand at the time of conveying the glass substrate, even if the warpage of the glass substrate mounted on the hand is large and the acceleration of the moving hand with the glass substrate mounted is large .

본 발명에 있어서, 유리 기판은 직사각 형상으로 형성되고, 복수의 패드는, 직사각 형상으로 형성되는 유리 기판의 외주 단부 부분의 하면에 접촉면이 접촉하도록, 대략 직사각형의 프레임형의 형상을 따라 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 증착면을 하측으로 향한 상태에서 유리 기판을 반송하는 하면 반송에 의해 유리 기판이 반송되는 경우이며, 핸드에 탑재된 유리 기판의 휨량이 크고, 또한 유리 기판을 탑재하여 이동하는 핸드의 가속도가 큰 경우라도, 유리 기판을 반송할 때의 핸드에 대한 유리 기판의 위치 어긋남을 억제하는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the glass substrate is formed in a rectangular shape, and the plurality of pads are arranged along a substantially rectangular frame-like shape such that the contact surface is in contact with the lower surface of the outer peripheral end portion of the glass substrate formed in a rectangular shape . With this configuration, when the glass substrate is transported by the lower surface transportation in which the evaporation surface faces downward, the amount of warpage of the glass substrate mounted on the hand is large, and when the glass substrate is mounted, It is possible to suppress the positional deviation of the glass substrate with respect to the hand at the time of transporting the glass substrate.

본 발명에 있어서, 제1 패드, 제2 패드 및 제3 패드의 3개의 패드에 의해 구성되는 복수의 패드군이 대략 직사각형의 프레임형의 형상을 따라 배치되고, 패드군에서는, 상하 방향에서 보았을 때, 제1 패드의 접촉면의 중심과 제2 패드의 접촉면의 중심과 제3 패드의 접촉면의 중심을 연결한 가상선이 삼각 형상을 이루도록, 제1 패드, 제2 패드 및 제3 패드가 배치되고, 상하 방향에서 보았을 때, 제1 패드의 접촉면의 중심과 제2 패드의 접촉면의 중심을 연결한 가상선은, 유리 기판의 단부면과 대략 평행하게 되어 있고, 제3 패드는, 제1 패드 및 제2 패드보다 유리 기판의 외주측에 배치되고, 유리 기판이 핸드에 탑재되어 있을 때, 제1 패드의 접촉면과 제2 패드의 접촉면이 유리 기판의 하면에 접촉하고 있는 것이 바람직하다.In the present invention, a plurality of groups of pads constituted by three pads of a first pad, a second pad and a third pad are arranged along a substantially rectangular frame-like shape, and in the pad group, A first pad, a second pad and a third pad are arranged such that a virtual line connecting the center of the contact surface of the first pad and the center of the contact surface of the third pad with the center of the contact surface of the second pad forms a triangular shape, The virtual line connecting the center of the contact surface of the first pad and the center of the contact surface of the second pad is substantially parallel to the end surface of the glass substrate when viewed in the vertical direction, It is preferable that the contact surface of the first pad and the contact surface of the second pad are in contact with the lower surface of the glass substrate when the glass substrate is mounted on the hand.

이와 같이 구성하면, 각 패드군에 있어서, 2개의 패드의 접촉면이 유리 기판의 하면에 접촉하기 때문에, 유리 기판을 반송할 때, 핸드에 탑재되는 유리 기판의 상태를 안정시키는 것이 가능하게 된다. 또한, 이와 같이 구성하면, 제1 패드 및 제2 패드보다 유리 기판의 외주측에 제3 패드가 배치되어 있기 때문에, 예를 들어 소정의 처리 장치의 선반에 적재되어 있는 유리 기판을 핸드에 탑재할 때 유리 기판이 흔들렸다고 해도, 제3 패드의 작용으로 유리 기판의 흔들림을 억제하는 것이 가능하게 된다. 즉, 제3 패드에 의해, 핸드에 유리 기판을 탑재할 때 유리 기판이 심하게 흔들리는 것을 억제하는 것이 가능하게 된다.With this configuration, since the contact surfaces of the two pads are in contact with the lower surface of the glass substrate in each pad group, it is possible to stabilize the state of the glass substrate mounted on the hand when transporting the glass substrate. In addition, since the third pad is disposed on the outer peripheral side of the glass substrate than the first pad and the second pad, the glass substrate mounted on the shelf of a predetermined processing apparatus can be mounted on the hand It is possible to suppress the shaking of the glass substrate by the action of the third pad even if the glass substrate is shaken. That is, by the third pad, it is possible to suppress the shaking of the glass substrate significantly when the glass substrate is mounted on the hand.

본 발명의 핸드는, 핸드가 그 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암과, 아암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하는 산업용 로봇에 사용할 수 있다. 이 산업용 로봇에서는, 핸드에 탑재된 유리 기판의 휨량이 크고, 또한 유리 기판을 탑재하여 이동하는 핸드의 가속도가 커도, 유리 기판을 반송할 때의 핸드에 대한 유리 기판의 위치 어긋남을 억제하는 것이 가능하게 된다.The hand of the present invention can be used in an industrial robot having an arm rotatably connected to a distal end of a hand and a body portion rotatably connected to the proximal end side of the arm. In this industrial robot, it is possible to suppress the displacement of the glass substrate relative to the hand at the time of carrying the glass substrate even when the warping amount of the glass substrate mounted on the hand is large and the acceleration of the moving hand by mounting the glass substrate is large .

본 발명에 있어서, 핸드는, 예를 들어 진공 중에 배치되어 있다. 핸드가 진공 중에 배치되면, 핸드는 유리 기판을 흡인하여 보유 지지할 수는 없지만, 본 발명에서는 핸드가 유리 기판을 흡인할 수 없어도, 또한 핸드에 탑재된 유리 기판의 휨량이 크고, 또한 유리 기판을 탑재하여 이동하는 핸드의 가속도가 커도, 유리 기판을 반송할 때의 핸드에 대한 유리 기판의 위치 어긋남을 억제하는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the hand is disposed, for example, in a vacuum. When the hand is placed in vacuum, the hand can not hold the glass substrate by suction, but in the present invention, even if the hand can not suction the glass substrate, the warpage of the glass substrate mounted on the hand is large, It is possible to suppress the positional deviation of the glass substrate with respect to the hand when the glass substrate is carried, even if the acceleration of the moving hand is large.

이상과 같이, 본 발명에서는 핸드에 탑재된 유리 기판의 휨량이 크고, 또한 유리 기판을 탑재하여 이동하는 핸드의 가속도가 커도, 유리 기판을 반송할 때의 핸드에 대한 유리 기판의 위치 어긋남을 억제하는 것이 가능하게 된다.As described above, in the present invention, the warpage of the glass substrate mounted on the hand is large, and even if the acceleration of the moving hand with the glass substrate mounted thereon is large, the positional shift of the glass substrate relative to the hand at the time of transporting the glass substrate is suppressed Lt; / RTI >

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 핸드의 도면이며, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 유리 기판의 구성을 설명하기 위한 평면도이다.
도 3은 도 1의 (A)의 E부의 확대도이다.
도 4는 도 3의 F-F 방향에서 핸드 포크의 선단측 부분을 도시하는 도면이다.
도 5는 도 3의 G부의 확대도이다.
도 6은 도 4의 H부의 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 유리 기판의 구성을 설명하기 위한 평면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 핸드의 평면도이다.1 is a view of a hand according to an embodiment of the present invention, wherein (A) is a plan view and (B) is a side view.
Fig. 2 is a plan view for explaining the structure of the glass substrate shown in Fig. 1. Fig.
Fig. 3 is an enlarged view of part E of Fig. 1 (A).
Fig. 4 is a diagram showing the tip end side portion of the hand fork in the FF direction in Fig. 3; Fig.
5 is an enlarged view of a portion G in Fig.
Fig. 6 is a diagram for explaining the configuration of the H portion in Fig. 4; Fig.
7 is a plan view for explaining a configuration of a glass substrate according to another embodiment of the present invention.
8 is a plan view of a hand according to another embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(산업용 로봇의 개략 구성 및 핸드의 구성)(Rough configuration of industrial robot and configuration of hand)

도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 핸드(3)의 도면이며, (A)는 평면도, (B)는 측면도이다. 도 2는 도 1에 도시하는 유리 기판(2)의 구성을 설명하기 위한 평면도이다. 도 3은 도 1의 (A)의 E부의 확대도이다. 도 4는 도 3의 F-F 방향에서 핸드 포크(6)의 선단측 부분을 도시하는 도면이다. 도 5는 도 3의 G부의 확대도이다. 도 6은 도 4의 H부의 구성을 설명하기 위한 도면이다.1 is a view of a hand 3 according to an embodiment of the present invention, wherein (A) is a plan view and (B) is a side view. Fig. 2 is a plan view for explaining the structure of the glass substrate 2 shown in Fig. Fig. 3 is an enlarged view of part E of Fig. 1 (A). Fig. 4 is a diagram showing the distal end side portion of the hand fork 6 in the direction of F-F in Fig. 5 is an enlarged view of a portion G in Fig. Fig. 6 is a diagram for explaining the configuration of the H portion in Fig. 4; Fig.

본 형태의 산업용 로봇은, 진공 중에서 유기 EL 디스플레이용 유리 기판(2)을 반송하는 로봇이며, 유기 EL 디스플레이의 제조 시스템에 조립되어 사용된다. 이 제조 시스템에서는, 진공 증착법에 의해 유기 EL 디스플레이가 제조된다. 산업용 로봇은, 증착면을 하측으로 향한 상태에서 유리 기판(2)을 반송한다. 유리 기판(2)은 직사각형의 판형으로 형성되어 있다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 유리 기판(2)의 하면은, 증착이 행해지는 직사각 형상의 증착 영역(2a)과, 증착 영역(2a)의 주위를 둘러싸는 직사각형의 프레임형의 프레임 영역(2b)(도 2의 사선 부분)으로 구성되어 있다. 프레임 영역(2b)은, 유리 기판(2)의 외주 단부 부분의 하면을 구성하고 있다.The industrial robot of this embodiment is a robot that transports a glass substrate 2 for an organic EL display in vacuum and is assembled and used in an organic EL display manufacturing system. In this manufacturing system, an organic EL display is manufactured by a vacuum evaporation method. The industrial robot carries the glass substrate 2 with the deposition surface facing downward. The glass substrate 2 is formed into a rectangular plate shape. 2, the lower surface of the glass substrate 2 is divided into a rectangular deposition region 2a in which deposition is performed and a rectangular frame-shaped frame region 2b surrounding the vapor deposition region 2a (Hatched portion in Fig. 2). The frame region 2b constitutes the lower surface of the outer peripheral end portion of the glass substrate 2.

또한, 본 형태의 산업용 로봇은, 비교적 대형의 유리 기판(2)의 반송에 적합한 로봇이다. 이 산업용 로봇은, 유리 기판(2)이 탑재되는 핸드(3)와, 핸드(3)가 그 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암(4)(도 1의 (B) 참조)과, 아암(4)의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부(도시 생략)를 구비하고 있다. 핸드(3) 및 아암(4)은 본체부의 상측에 배치되어 있다. 또한, 핸드(3) 및 아암(4)은 진공 중에 배치되어 있다.The industrial robot of this embodiment is a robot suitable for transporting a glass substrate 2 of a relatively large size. This industrial robot comprises a hand 3 on which the glass substrate 2 is mounted, an arm 4 (see Fig. 1 (B)) rotatably connected to the distal end of the hand 3, 4) is rotatably connected to a proximal end side of the main body (not shown). The hand 3 and the arm 4 are arranged on the upper side of the main body part. Further, the hand 3 and the arm 4 are arranged in vacuum.

핸드(3)는, 아암(4)에 연결되는 기초부(5)와, 유리 기판(2)이 탑재되는 2개의 핸드 포크(6)를 구비하고 있다. 핸드 포크(6)는 2개의 포크 본체(7)를 구비하고 있다. 포크 본체(7)는 가늘고 긴 직선의 막대형으로 형성되어 있다. 2개의 포크 본체(7)는, 서로 소정의 간격을 둔 상태에서 평행하게 배치되어 있다. 또한, 포크 본체(7)의 기단부는 기초부(5)에 고정되어 있다. 2개의 핸드 포크(6) 중 한쪽 핸드 포크(6)의 2개의 포크 본체(7)는, 기초부(5)로부터 수평 방향의 일방측으로 돌출되도록 기초부(5)에 고정되고, 다른쪽 핸드 포크(6)의 2개의 포크 본체(7)는, 수평 방향의 일방측으로 돌출되는 2개의 포크 본체(7)와 반대측을 향하여 돌출되도록 기초부(5)에 고정되어 있다.The hand 3 includes a base portion 5 connected to the arm 4 and two hand forks 6 on which the glass substrate 2 is mounted. The hand fork 6 is provided with two fork bodies 7. The fork main body 7 is formed into a bar shape having a long and long straight line. The two fork bodies 7 are arranged in parallel with a predetermined gap therebetween. The proximal end portion of the fork main body 7 is fixed to the base portion 5. Two fork bodies 7 of one of the two hand forks 6 are fixed to the base portion 5 so as to protrude from the base portion 5 in one direction in the horizontal direction, The two fork main bodies 7 of the fork main body 6 are fixed to the base portion 5 so as to protrude toward the opposite side of the two fork main bodies 7 projecting to one side in the horizontal direction.

이하의 설명에서는, 상하 방향에서 보았을 때의 포크 본체(7)의 길이 방향(도 1의 (A)의 X 방향)을 좌우 방향이라고 하고, 상하 방향에서 보았을 때의 좌우 방향에 직교하는 방향(도 1의 (A)의 Y 방향)을 전후 방향이라고 한다. 핸드 포크(6)에 탑재되는 유리 기판(2)의 단부면은, 좌우 방향 또는 전후 방향과 대략 평행하게 되어 있다.In the following description, the longitudinal direction (the X direction in FIG. 1A) of the fork main body 7 in the vertical direction is referred to as the left and right direction, and the direction perpendicular to the left and right direction in the vertical direction 1 (A)) is referred to as a back-and-forth direction. The end face of the glass substrate 2 mounted on the hand fork 6 is substantially parallel to the left-right direction or the back-and-forth direction.

또한, 핸드 포크(6)는, 포크 본체(7)의 선단측에 고정되는 복수의 제1 포크부(8)와, 제1 포크부(8)에 고정되는 복수의 제2 포크부(9)를 구비하고 있다. 유리 기판(2)은, 핸드 포크(6)의, 제1 포크부(8) 및 제2 포크부(9)가 배치된 부분에 탑재된다. 핸드 포크(6)의, 제1 포크부(8) 및 제2 포크부(9)가 배치된 부분의 외형은, 유리 기판(2)의 외형보다 약간 크게 되어 있다.The hand fork 6 includes a plurality of first forks 8 fixed to the distal end side of the fork main body 7 and a plurality of second forks 9 fixed to the first fork 8, . The glass substrate 2 is mounted on a portion of the hand fork 6 where the first fork portion 8 and the second fork portion 9 are disposed. The outer shape of the portion of the hand fork 6 where the first fork portion 8 and the second fork portion 9 are disposed is slightly larger than the outer shape of the glass substrate 2. [

제1 포크부(8)는, 2개의 포크 본체(7)로부터 전후 방향의 외측을 향하여 신장되도록, 포크 본체(7)에 고정되어 있다. 또한, 복수의 제1 포크부(8)는, 좌우 방향으로 소정의 간격을 둔 상태에서 평행하게 배치되어 있다. 본 형태에서는 7개의 제1 포크부(8)가 좌우 방향으로 소정의 간격을 둔 상태에서 배치되어 있다. 하나의 핸드 포크(6)를 구성하는 2개의 포크 본체(7)의 각각에 고정되는 복수의 제1 포크부(8)의 각각은, 좌우 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다.The first fork portion 8 is fixed to the fork body 7 so as to extend from the two fork bodies 7 toward the outside in the front-rear direction. The plurality of first fork portions 8 are arranged in parallel with a predetermined gap leftward and rightward. In the present embodiment, seven first fork portions 8 are arranged in a state of being spaced apart in the left-right direction by a predetermined distance. Each of the plurality of first fork portions 8 fixed to each of the two fork bodies 7 constituting one hand fork 6 is disposed at the same position in the left and right direction.

제1 포크부(8)는, 평판형의 부재가 소정 형상으로 절곡됨으로써 형성되어 있다. 도 4에 도시하는 바와 같이, 제1 포크부(8)는, 포크 본체(7)로부터 전후 방향의 외측을 향하여 신장되는 가늘고 긴 평판형의 기단부(8a)와, 전후 방향에서의 기단부(8a)의 외측단부에 연결됨과 함께 전후 방향의 외측을 향함에 따라 상측 방향을 향하도록 경사지는 평판형의 경사부(8b)와, 경사부(8b)의 상단에 연결됨과 함께 전후 방향의 외측을 향하여 신장되는 평판형의 선단부(8c)로 구성되어 있다.The first fork portion 8 is formed by bending a plate-like member into a predetermined shape. 4, the first fork portion 8 includes a proximal end portion 8a extending in the front-rear direction from the fork main body 7 toward the outer side in the front-rear direction, a proximal end portion 8a in the front- Like inclined portion 8b connected to the outer end of the inclined portion 8b and inclined toward the upper direction as it goes outward in the forward and backward direction and connected to the upper end of the inclined portion 8b, And a flat-plate-like tip portion 8c.

제2 포크부(9)는 가늘고 긴 평판형으로 형성되어 있다. 제2 포크부(9)는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 하나의 핸드 포크(6)에 있어서 좌우 방향의 가장 외측에 배치되는 제1 포크부(8)로부터 좌우 방향의 외측을 향하여 신장되도록 제1 포크부(8)에 고정되어 있다. 즉, 하나의 핸드 포크(6)에 있어서, 좌우 방향의 가장 외측에 배치되는 4개의 제1 포크부(8)의 각각에 제2 포크부(9)가 고정되어 있다. 구체적으로는, 4개의 제1 포크부(8)의 각각에 복수의 제2 포크부(9)가 고정되어 있다. 또한, 4개의 제1 포크부(8)의 각각에 고정되는 복수의 제2 포크부(9)는, 전후 방향에 소정의 간격을 둔 상태에서 평행하게 배치되어 있다. 본 형태에서는 4개의 제1 포크부(8)의 각각에 2개의 제2 포크부(9)가 고정되어 있다. 하나의 핸드 포크(6)에 있어서 좌우 방향의 가장 외측에 배치되는 제1 포크부(8)의 각각에 고정되는 복수의 제2 포크부(9)의 각각은, 전후 방향에 있어서 동일한 위치에 배치되어 있다.The second fork portion 9 is formed into an elongated flat plate shape. As shown in Fig. 3, the second fork portion 9 is formed so as to extend from the first fork portion 8 disposed on the outermost side in the left-right direction to the outside in the left-right direction And is fixed to the first fork portion 8. That is, in the single hand fork 6, the second fork portion 9 is fixed to each of the four first fork portions 8 arranged on the outermost side in the left-right direction. Specifically, a plurality of second forks 9 are fixed to each of the four first forks 8, respectively. The plurality of second fork portions 9 fixed to each of the four first fork portions 8 are arranged parallel to each other with a predetermined gap therebetween in the front-rear direction. In this embodiment, two second forks 9 are fixed to each of the four first forks 8, respectively. Each of the plurality of second fork portions 9 fixed to each of the first fork portions 8 disposed on the outermost side in the left and right direction in one hand fork 6 is disposed at the same position in the front- .

복수의 제1 포크부(8)의 선단부(8c)의 선단측(전후 방향의 외측단부측) 및 복수의 제2 포크부(9)의 선단측(좌우 방향의 외측단부측)의 각각에는, 유리 기판(2)의 하면에 접촉하는 접촉면(12a)이 형성되는 패드(12)(도 5, 도 6 참조)가 설치되어 있다. 구체적으로는, 복수의 제1 포크부(8)의 선단부(8c)의 선단측 및 복수의 제2 포크부(9)의 선단측의 각각의 상면에, 블록형으로 형성되는 패드 보유 지지 부재(13)가 고정되고, 이 패드 보유 지지 부재(13)에 패드(12)가 고정되어 있다. 즉, 복수의 제1 포크부(8)의 선단부(8c)의 선단측 및 복수의 제2 포크부(9)의 선단측의 각각의 상면에는, 패드 보유 지지 부재(13)를 통하여 패드(12)가 설치되어 있다. 또한, 2개의 포크 본체(7)의 각각의 상면에도, 패드 보유 지지 부재(13)를 통하여 패드(12)가 설치되어 있다. 포크 본체(7)에 설치되는 패드(12)는, 전후 방향에 있어서, 제2 포크부(9)의 선단측에 설치되는 패드(12)와 동일한 위치에 배치되어 있다.(The outer end side in the forward and backward direction) of the distal end portion 8c of the plurality of first fork portions 8 and the distal end side (the outer end side in the lateral direction) of the plurality of second fork portions 9, A pad 12 (see Figs. 5 and 6) on which a contact surface 12a to be contacted with the lower surface of the glass substrate 2 is formed. Concretely, on the front end side of the distal end portion 8c of the plurality of first fork portions 8 and the upper surface of the front end side of the plurality of second fork portions 9, a pad holding member And the pad 12 is fixed to the pad holding member 13. The pad 12 is fixed to the pad holding member 13. [ In other words, on the front end side of the distal end portion 8c of the plurality of first fork portions 8 and the top surface of each of the plurality of second fork portions 9 on the distal end side, ). The pad 12 is also provided on the upper surface of each of the two forks 7 through the pad holding member 13. The pads 12 provided on the fork main body 7 are arranged at the same positions as the pads 12 provided on the tip end side of the second fork portion 9 in the front and rear direction.

패드(12)는 고무로 형성되어 있다. 구체적으로는, 패드(12)는 불소 고무로 형성되어 있다. 이 패드(12)는, 도 6에 도시하는 바와 같이, 상술한 접촉면(12a)이 형성되는 접촉부(12b)와, 패드 보유 지지 부재(13)에 보유 지지되는 보유 지지부(12c)로 구성되어 있고, 전체로서 버섯형으로 형성되어 있다. 접촉부(12b)의 형상은, 구체의 일부를 잘라낸 형상으로 되어 있고, 대략 반구형으로 형성되어 있다. 접촉면(12a)은, 접촉부(12b)의 상면을 구성하고 있고, 구면형으로 형성되어 있다. 보유 지지부(12c)는, 대략 원통형으로 형성되어 있고, 보유 지지부(12c)의 상단에 접촉부(12b)가 연결되어 있다. 보유 지지부(12c)는, 도 6에 도시하는 바와 같이, 패드 보유 지지 부재(13)에 형성되는 패드 보유 지지 구멍(13a)에 압입되어 있다. 보유 지지부(12c)의 하단측에는, 패드 보유 지지 구멍(13a)으로부터의 패드(12)의 빠짐을 방지하는 빠짐 방지부(12d)가 보유 지지부(12c)의 직경 방향의 외측으로 확산되도록 형성되어 있다.The pad 12 is formed of rubber. Specifically, the pad 12 is made of fluorine rubber. 6, the pad 12 is constituted by a contact portion 12b in which the above-described contact surface 12a is formed and a holding support portion 12c held by the pad holding member 13 , And is formed in a mushroom shape as a whole. The shape of the contact portion 12b is a shape in which a part of a sphere is cut out, and is formed in a substantially hemispherical shape. The contact surface 12a constitutes the upper surface of the contact portion 12b, and is formed in a spherical shape. The holding portion 12c is formed in a substantially cylindrical shape, and the contact portion 12b is connected to the upper end of the holding portion 12c. The holding support portion 12c is press-fitted into the pad holding hole 13a formed in the pad holding member 13, as shown in Fig. A stopper portion 12d for preventing the pad 12 from coming off from the pad holding hole 13a is formed so as to diffuse outward in the radial direction of the holding portion 12c on the lower end side of the holding portion 12c .

상술한 바와 같이, 복수의 제1 포크부(8)의 선단부(8c)의 선단측 및 복수의 제2 포크부(9)의 선단측의 각각에는, 패드 보유 지지 부재(13)를 통하여 패드(12)가 설치되어 있다. 또한, 2개의 포크 본체(7)의 각각에도 패드 보유 지지 부재(13)를 통하여 패드(12)가 설치되어 있고, 포크 본체(7)에 설치되는 패드(12)는, 전후 방향에 있어서 제2 포크부(9)의 선단측에 설치되는 패드(12)와 동일한 위치에 배치되어 있다. 즉, 본 형태에서는 복수의 패드(12)는, 유리 기판(2)의 프레임 영역(2b)(즉, 유리 기판(2)의 외주 단부 부분의 하면)에 접촉면(12a)이 접촉하도록, 대략 직사각형의 프레임형의 형상을 따라 배치되어 있다. 구체적으로는, 본 형태에서는 패드 보유 지지 부재(13)에 3개의 패드(12)가 고정되어 있고, 3개의 패드(12)에 의해 구성되는 복수의 패드군(15)이 대략 직사각형의 프레임형의 형상을 따라 배치되어 있다.As described above, on the tip side of the tip end portion 8c of the plurality of first fork portions 8 and the tip side of the plurality of second fork portions 9, a pad (not shown) 12 are installed. Each of the two fork bodies 7 is also provided with a pad 12 via a pad holding member 13 and the pad 12 provided on the fork body 7 has a second And is disposed at the same position as the pad 12 provided at the tip end side of the fork portion 9. [ That is, in the present embodiment, the plurality of pads 12 are formed so that the contact surface 12a is in contact with the frame region 2b of the glass substrate 2 (that is, the lower surface of the outer peripheral end portion of the glass substrate 2) As shown in Fig. More specifically, in this embodiment, three pads 12 are fixed to the pad holding member 13, and a plurality of pad groups 15 composed of three pads 12 are formed in a substantially rectangular frame-like shape Are arranged along the shape.

또한, 본 형태에서는 제1 포크부(8)의 선단부(8c)의 선단측에 설치되는 패드(12)의 상단부의 높이와, 제2 포크부(9)의 선단측에 설치되는 패드(12)의 상단부의 높이와, 포크 본체(7)에 설치되는 패드(12)의 상단부의 높이가 동일한 높이로 되도록, 제1 포크부(8)의 선단부(8c)의 선단측에 설치되는 패드 보유 지지 부재(13)의 높이와, 제2 포크부(9)의 선단측에 설치되는 패드 보유 지지 부재(13)의 높이와, 포크 본체(7)에 설치되는 패드 보유 지지 부재(13)의 높이가 상이하다.The height of the upper end of the pad 12 provided at the distal end side of the distal end portion 8c of the first fork portion 8 and the height of the upper end portion of the pad 12 provided at the distal end side of the second fork portion 9, Which is provided on the distal end side of the distal end portion 8c of the first fork portion 8 so that the height of the upper end of the first fork portion 8 and the height of the upper end portion of the pad 12 provided on the fork body 7 are the same, The height of the pad holding member 13 provided at the distal end side of the second fork portion 9 and the height of the pad holding member 13 provided at the fork main body 7 are different from each other Do.

도 5에 도시하는 바와 같이, 하나의 패드 보유 지지 부재(13)에 고정되는 3개의 패드(12)의 각각을 패드(12A 내지 12C)라고 하면, 패드군(15)에서는, 상하 방향에서 보았을 때, 패드(12A)의 접촉면(12a)의 중심과 패드(12B)의 접촉면(12a)의 중심과 패드(12C)의 접촉면(12a)의 중심을 연결한 가상선(L1 내지 L3)이 정삼각 형상을 이루도록, 패드(12A 내지 12C)가 패드 보유 지지 부재(13)에 고정되어 있다.As shown in Fig. 5, when three pads 12 fixed to one pad holding member 13 are referred to as pads 12A to 12C, in the pad group 15, The imaginary lines L1 to L3 connecting the center of the contact surface 12a of the pad 12A with the center of the contact surface 12a of the pad 12C and the center of the contact surface 12a of the pad 12B, The pads 12A to 12C are fixed to the pad holding member 13 so as to form the pad 12A to 12C.

또한, 상하 방향에서 보았을 때, 패드(12A)의 접촉면(12a)의 중심과 패드(12B)의 접촉면(12a)의 중심을 연결한 가상선(L1)은, 핸드 포크(6)에 탑재되는 유리 기판(2)의 단부면과 대략 평행하게 되어 있다. 즉, 제1 포크부(8)의 선단부(8c)의 선단측에 배치되는 패드군(15)에서는, 상하 방향에서 보았을 때, 가상선(L1)은, 핸드 포크(6)에 탑재되는 유리 기판(2)의 전후의 단부면과 대략 평행(즉, 좌우 방향과 대략 평행)하게 되어 있다. 또한, 제2 포크부(9)의 선단측 및 포크 본체(7)에 배치되는 패드군(15)에서는, 상하 방향에서 보았을 때, 가상선(L1)은, 핸드 포크(6)에 탑재되는 유리 기판(2)의 좌우의 단부면과 대략 평행(즉, 전후 방향과 대략 평행)하게 되어 있다.The imaginary line L1 connecting the center of the contact surface 12a of the pad 12A and the center of the contact surface 12a of the pad 12B as viewed in the up-and- And is substantially parallel to the end face of the substrate 2. That is, in the pad group 15 arranged on the distal end side of the distal end portion 8c of the first fork portion 8, the imaginary line L1, as viewed in the vertical direction, (That is, substantially parallel to the left and right direction) with respect to the front and rear end faces of the base 2. In the pad group 15 arranged on the tip end side of the second fork portion 9 and the fork main body 7, the imaginary line L1 as viewed in the up-and-down direction, (That is, substantially in parallel with the front-rear direction) with respect to the left and right end faces of the substrate 2.

또한, 패드(12C)는, 패드(12A, 12B)보다 전후 방향 또는 좌우 방향의 외측에 배치되어 있다. 즉, 제1 포크부(8)의 선단부(8c)의 선단측에 배치되는 패드군(15)에서는, 패드(12C)는 패드(12A, 12B)보다 전후 방향의 외측에 배치되고, 제2 포크부(9)의 선단측 및 포크 본체(7)에 배치되는 패드군(15)에서는, 패드(12C)는 패드(12A, 12B)보다 좌우 방향의 외측에 배치되어 있다. 즉, 패드(12C)는 패드(12A, 12B)보다 유리 기판(2)의 외주측에 배치되어 있다. 본 형태에서는 유리 기판(2)이 핸드 포크(6)에 탑재되어 있을 때, 패드(12A)의 접촉면(12a) 및 패드(12B)의 접촉면(12a)은 유리 기판(2)의 하면(구체적으로는, 프레임 영역(2b))에 접촉되어 있지만, 패드(12C)의 접촉면(12a)은 유리 기판(2)의 하면에 접촉되어 있지 않다(도 6 참조). 본 형태의 패드(12A)는 제1 패드이고, 패드(12B)는 제2 패드이고, 패드(12C)는 제3 패드이다.The pads 12C are arranged on the outside in the front-rear direction or the left-right direction than the pads 12A and 12B. That is, in the pad group 15 disposed on the tip end side of the tip end portion 8c of the first fork portion 8, the pad 12C is disposed on the outer side in the front-rear direction with respect to the pads 12A and 12B, The pad 12C is disposed on the outer side in the lateral direction of the pad 12A and the pad 12B in the pad group 15 disposed on the tip end side of the pad 9 and the fork main body 7. [ That is, the pad 12C is disposed on the outer peripheral side of the glass substrate 2 with respect to the pads 12A and 12B. In this embodiment, when the glass substrate 2 is mounted on the hand fork 6, the contact surface 12a of the pad 12A and the contact surface 12a of the pad 12B are arranged on the lower surface of the glass substrate 2 The contact surface 12a of the pad 12C is not in contact with the lower surface of the glass substrate 2 (see Fig. 6). The pad 12A of this embodiment is the first pad, the pad 12B is the second pad, and the pad 12C is the third pad.

또한, 본 형태에서는 핸드 포크(6)에 유리 기판(2)이 탑재되어 있을 때, 유리 기판(2)의 프레임 영역(2b)에 복수의 패드(12)가 접촉하기 때문에, 핸드 포크(6)에 탑재된 유리 기판(2)의 휨 상태를, 등고선(CL)을 사용하여 모식적으로 도시하면 도 2와 같이 되고, 유리 기판(2)의 중심을 향함에 따라, 유리 기판(2)의 휨량이 커진다.Since the plurality of pads 12 contact the frame region 2b of the glass substrate 2 when the glass substrate 2 is mounted on the hand fork 6, 2 shows a schematic view of the bending state of the glass substrate 2 mounted on the glass substrate 2 using the contour lines CL and shows the warping of the glass substrate 2 as it goes toward the center of the glass substrate 2. [ .

(본 형태의 주요 효과)(Main effect of this embodiment)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는 유리 기판(2)의 프레임 영역(2b)에 패드(12)의 접촉면(12a)이 접촉하도록, 복수의 패드(12)가 대략 직사각형의 프레임형의 형상을 따라 배치되어 있기 때문에, 증착면을 하측으로 향한 상태에서 유리 기판(2)을 반송하는 하면 반송에 의해 유리 기판(2)을 반송하는 것이 가능하게 된다. 또한, 본 형태에서는 유리 기판(2)의 프레임 영역(2b)에 접촉면(12a)이 접촉하기 때문에, 핸드 포크(6)에 탑재된 유리 기판(2)의 휨량이 커지지만, 본 형태에서는 유리 기판(2)의 하면에 접촉하는 패드(12)의 접촉면(12a)이 구면형으로 형성되어 있기 때문에, 핸드 포크(6)에 탑재된 유리 기판(2)의 휨량이 커져도, 유리 기판(2)의 하면에 접촉면(12a)을 확실하게 접촉시키는 것이 가능하게 된다. 또한, 본 형태에서는 구면형으로 형성되는 접촉면(12a)이 유리 기판(2)의 하면에 점접촉하기 때문에, 접촉면(12a)과 유리 기판(2)의 접촉압을 높이는 것이 가능하게 된다.As described above, in the present embodiment, the plurality of pads 12 are arranged along a substantially rectangular frame-like shape so that the contact surfaces 12a of the pads 12 come in contact with the frame regions 2b of the glass substrate 2 It is possible to carry the glass substrate 2 by carrying the lower surface of the glass substrate 2 while carrying the lower surface of the vapor deposition surface. In this embodiment, since the contact surface 12a contacts the frame region 2b of the glass substrate 2, the amount of warping of the glass substrate 2 mounted on the hand fork 6 is increased. In this embodiment, Even if the warpage of the glass substrate 2 mounted on the hand fork 6 is increased because the contact surface 12a of the pad 12 contacting the lower surface of the glass substrate 2 is formed in a spherical shape, The contact surface 12a can be surely brought into contact with the lower surface. In this embodiment, since the contact surface 12a formed in a spherical shape is in point contact with the lower surface of the glass substrate 2, the contact pressure between the contact surface 12a and the glass substrate 2 can be increased.

이와 같이, 본 형태에서는 핸드 포크(6)에 탑재된 유리 기판(2)의 휨량이 커져도, 유리 기판(2)의 하면에 접촉면(12a)을 확실하게 접촉시키는 것이 가능해짐과 함께, 접촉면(12a)과 유리 기판(2)의 접촉압을 높여 핸드 포크(6)에 의한 유리 기판(2)의 보유 지지력을 높이는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 형태에서는 핸드(3)가 진공 중에 배치되어 핸드(3)가 유리 기판(2)을 흡인할 수 없어도, 또한 핸드 포크(6)에 탑재된 유리 기판(2)의 휨량이 크고, 또한 유리 기판(2)을 탑재하여 이동하는 핸드(3)의 가속도나 감속도가 커도, 유리 기판(2)을 반송할 때의 핸드(3)에 대한 유리 기판(2)의 위치 어긋남을 억제하는 것이 가능하게 된다. 예를 들어, 본 형태에서는 유리 기판(2)을 탑재하여 이동하는 핸드(3)의 가속도가 2G라도, 유리 기판(2)을 반송할 때의 핸드(3)에 대한 유리 기판(2)의 위치 어긋남을 억제하는 것이 가능하게 된다.As described above, in this embodiment, even if the warpage of the glass substrate 2 mounted on the hand fork 6 is increased, the contact surface 12a can be surely brought into contact with the lower surface of the glass substrate 2, ) And the glass substrate 2 can be increased to increase the holding force of the glass substrate 2 by the hand fork 6. Therefore, in this embodiment, even if the hand 3 is arranged in vacuum so that the hand 3 can not attract the glass substrate 2, the warpage of the glass substrate 2 mounted on the hand fork 6 is large, It is possible to suppress the positional deviation of the glass substrate 2 with respect to the hand 3 when the glass substrate 2 is conveyed even if the acceleration or deceleration of the moving hand 3 is large by mounting the glass substrate 2 . For example, in the present embodiment, even if the acceleration of the hand 3 moving with the glass substrate 2 is 2 G, the position of the glass substrate 2 relative to the hand 3 when the glass substrate 2 is transported It is possible to suppress misalignment.

본 형태에서는, 각 패드군(15)에 있어서, 2개의 패드(12A, 12B)의 접촉면(12a)이 유리 기판(2)의 하면에 접촉되어 있다. 그로 인해, 본 형태에서는 핸드 포크(6)에 탑재된 유리 기판(2)의 상태를 안정시키는 것이 가능하게 된다. 또한, 본 형태에서는 패드(12A, 12B)보다 전후 방향 또는 좌우 방향의 외측에 패드(12C)가 배치되어 있기 때문에, 예를 들어 증착 장치의 선반에 적재되어 있는 유리 기판(2)을 핸드 포크(6)에 탑재할 때 유리 기판(2)이 흔들렸다고 해도, 패드(12C)의 작용에 의해, 유리 기판(2)의 흔들림을 억제하는 것이 가능하게 된다. 즉, 본 형태에서는, 패드(12C)에 의해, 핸드 포크(6)에 유리 기판(2)을 탑재할 때 유리 기판(2)이 심하게 흔들리는 것을 억제하는 것이 가능하게 된다.In this embodiment, the contact surfaces 12a of the two pads 12A and 12B are in contact with the lower surface of the glass substrate 2 in each pad group 15. Therefore, in this embodiment, the state of the glass substrate 2 mounted on the hand fork 6 can be stabilized. In this embodiment, since the pads 12C are disposed on the outside in the front-back direction or the left-right direction with respect to the pads 12A and 12B, the glass substrate 2 mounted on the shelf of the deposition apparatus can be hand- Even if the glass substrate 2 is shaken when the glass substrate 2 is mounted on the glass substrate 2, the glass substrate 2 can be prevented from being shaken by the action of the pad 12C. That is, in the present embodiment, it is possible to suppress the glass substrate 2 from being shaken severely when the glass substrate 2 is mounted on the hand fork 6 by the pad 12C.

(다른 실시 형태)(Other Embodiments)

상술한 형태는 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 여러가지 변형 실시가 가능하다.Although the above-described embodiment is an example of a suitable form of the present invention, the present invention is not limited thereto, and various modifications may be made without departing from the scope of the present invention.

상술한 형태에서는, 유리 기판(2)의 하면은, 직사각 형상의 증착 영역(2a)과, 증착 영역(2a)의 주위를 둘러싸는 직사각형의 프레임형의 프레임 영역(2b)에 의해 구성되어 있다. 이 밖에도, 예를 들어, 유리 기판(2)이 더 대형화되는 경우에는, 유리 기판(2)의 하면은, 도 7에 도시하는 바와 같이, 동일한 크기의 직사각 형상으로 형성되는 4개의 증착 영역(2c)과, 직사각형의 프레임형으로 형성되는 프레임 영역(2d)과 4개의 증착 영역(2c)을 구획하는 십자형의 구획 영역(2e)을 포함하는 프레임 영역(2f)(도 7의 사선 부분)에 의해 구성되어도 된다. 이 경우에는, 복수의 패드(12)는, 유리 기판(2)의 프레임 영역(2f)에 접촉면(12a)이 접촉하도록, 프레임 영역(2f)의 형상을 따라 배치된다. 또한, 도 7에 도시하는 유리 기판(2)이 핸드 포크(6)에 탑재되어 있을 때의 유리 기판(2)의 휨 상태를, 등고선(CL)을 사용하여 모식적으로 도시하면 도 7과 같이 되고, 각 증착 영역(2c)의 중심을 향함에 따라 유리 기판(2)의 휨량이 커진다.The lower surface of the glass substrate 2 is constituted by a rectangular deposition region 2a and a rectangular frame region 2b surrounding the deposition region 2a. In addition, for example, when the glass substrate 2 is further enlarged, the lower surface of the glass substrate 2 is divided into four vapor deposition regions 2c ), A frame region 2d formed in a rectangular frame shape and a frame region 2f (hatched portion in Fig. 7) including a cruciform partition region 2e for partitioning four deposition regions 2c . In this case, the plurality of pads 12 are arranged along the shape of the frame region 2f such that the contact surface 12a contacts the frame region 2f of the glass substrate 2. [ 7 schematically shows the warpage state of the glass substrate 2 when the glass substrate 2 is mounted on the hand fork 6 using a contour line CL, And the amount of warping of the glass substrate 2 becomes larger as it approaches the center of each vapor deposition region 2c.

상술한 형태에서는, 핸드(3)는, 기초부(5)와 2개의 포크 본체(7)와 복수의 제1 포크부(8)과 복수의 제2 포크부(9)로 구성되어 있다. 이 밖에도 예를 들어, 도 8에 도시하는 바와 같이, 핸드(3)는, 아암(4)에 연결되는 기초부(25)와, 기초부(25)로부터 수평 방향의 한쪽으로 신장되는 복수의 포크(26)(예를 들어, 4개의 포크(26))로 구성되어도 된다. 이 경우에는, 도 8의 (A)에 도시하는 바와 같이, 유리 기판(2)의 하면의 전체를 지지하도록, 복수의 패드(12)가 포크(26)의 상면에 설치되어도 되고, 도 8의 (B)에 도시하는 바와 같이, 유리 기판(2)의 하면의 네 코너 부분을 지지하도록, 4개의 패드(12)가 포크(26)의 상면에 설치되어도 된다.The hand 3 is constituted by the base portion 5, two fork bodies 7, a plurality of first fork portions 8 and a plurality of second fork portions 9. In this embodiment, 8, the hand 3 includes a base portion 25 connected to the arm 4, a plurality of forks 18 extending in the horizontal direction from the base portion 25, (For example, four forks 26). 8 (A), a plurality of pads 12 may be provided on the upper surface of the fork 26 so as to support the entire lower surface of the glass substrate 2. In this case, as shown in Fig. 8 Four pads 12 may be provided on the upper surface of the fork 26 so as to support the four corner portions of the lower surface of the glass substrate 2 as shown in Fig.

상술한 형태에서는, 핸드 포크(6)에 탑재되어 있는 유리 기판(2)의 하면에 접촉하지 않는 패드(12C)가 패드 보유 지지 부재(13)에 고정되어 있지만, 패드(12C)가 패드 보유 지지 부재(13)에 고정되지 않아도 된다. 이 경우에는, 핸드 포크(6)에 탑재되어 있는 유리 기판(2)의 하면에 접촉하는 1개 이상의 패드(12)가 패드 보유 지지 부재(13)에 고정되어 있으면 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 가상선(L1 내지 L3)이 정삼각 형상을 이루도록 패드(12A 내지 12C)가 패드 보유 지지 부재(13)에 고정되어 있지만, 가상선(L1 내지 L3)이 이등변 삼각 형상 등의 다른 삼각 형상을 이루도록 패드(12A 내지 12C)가 패드 보유 지지 부재(13)에 고정되어도 된다.The pad 12C which is not in contact with the lower surface of the glass substrate 2 mounted on the hand fork 6 is fixed to the pad holding member 13 but the pad 12C is held by the pad holding member 13, It is not necessary to be fixed to the member 13. In this case, it suffices that one or more pads 12 that come into contact with the lower surface of the glass substrate 2 mounted on the hand fork 6 are fixed to the pad holding member 13. Although the pads 12A to 12C are fixed to the pad holding member 13 so that the imaginary lines L1 to L3 form a right triangular shape in the above-described embodiment, the imaginary lines L1 to L3 are formed in an isosceles triangle shape The pad 12A to 12C may be fixed to the pad holding member 13 so as to form another triangular shape such as a triangular shape.

상술한 형태에서는, 패드(12)는 고무로 형성되어 있지만, 유리 기판(2)의 표면을 덮는 코팅제보다 부드러운 재료로 패드(12)가 형성되는 것이면(즉, 패드(12)가 유리 기판(2)의 표면의 코팅층에 흠집을 발생시키지 않는 것이면), 패드(12)는 고무 이외의 재료로 형성되어도 된다. 예를 들어, 패드(12)는 폴리에테르에테르케톤(PEEK) 등의 수지로 형성되어도 된다.The pads 12 are formed of rubber but the pads 12 are formed of a material that is smoother than the coating material covering the surface of the glass substrate 2 ), The pad 12 may be formed of a material other than rubber. For example, the pad 12 may be formed of a resin such as polyether ether ketone (PEEK).

상술한 형태에서는, 산업용 로봇은, 유기 EL 디스플레이용 유리 기판(2)을 반송하고 있지만, 산업용 로봇은, 액정 디스플레이용 유리 기판 등의 다른 유리 기판을 반송해도 된다. 또한, 상술한 형태에서는, 산업용 로봇은, 진공 중에서 유리 기판(2)을 반송하고 있지만, 산업용 로봇은, 대기 중에서 유리 기판(2)을 반송해도 된다. 대기 중에서 유리 기판(2)이 반송되는 경우에는, 유리 기판(2)을 흡인하는 흡인 패드가 핸드(3)의 상면에 설치되어도 된다. 또한, 본 발명에서는 패드(12)의 작용으로, 핸드 포크(6)에 의한 유리 기판(2)의 보유 지지력을 높이는 것이 가능하게 되므로, 흡인 패드가 핸드(3)의 상면에 설치되는 경우라도, 흡인 패드의 수를 저감시키는 것이 가능하게 된다.In the above-described embodiment, the industrial robot carries the glass substrate 2 for the organic EL display, but the industrial robot may carry another glass substrate such as a glass substrate for a liquid crystal display. Further, in the above-described embodiment, the industrial robot carries the glass substrate 2 in vacuum, but the industrial robot may carry the glass substrate 2 in the atmosphere. When the glass substrate 2 is transported in the atmosphere, a suction pad for suctioning the glass substrate 2 may be provided on the upper surface of the hand 3. Further, in the present invention, the holding force of the glass substrate 2 can be increased by the action of the pad 12, so that even when the suction pad is provided on the upper surface of the hand 3, The number of suction pads can be reduced.

2: 유리 기판
3: 핸드
4: 아암
12: 패드
12A: 패드(제1 패드)
12B: 패드(제2 패드)
12C: 패드(제3 패드)
12a: 접촉면
15: 패드군
L1 내지 L3: 가상선2: glass substrate
3: Hand
4: arm
12: Pad
12A: pad (first pad)
12B: pad (second pad)
12C: Pad (third pad)
12a: contact surface
15: Pad group
L1 to L3: virtual line

Claims (5)

유리 기판을 반송하는 산업용 로봇의 핸드로서, 상기 유리 기판이 탑재되는 핸드에 있어서,
상기 유리 기판의 하면에 접촉하는 접촉면이 형성되는 고무제 또는 수지제의 복수의 패드를 구비하고,
상기 접촉면은 구면형으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 핸드.1. A hand of an industrial robot for carrying a glass substrate, wherein, in a hand on which the glass substrate is mounted,
And a plurality of pads made of rubber or resin on which a contact surface for contacting the lower surface of the glass substrate is formed,
And the contact surface is formed in a spherical shape. 제1항에 있어서,
상기 유리 기판은 직사각 형상으로 형성되고,
복수의 상기 패드는, 직사각 형상으로 형성되는 상기 유리 기판의 외주 단부 부분의 하면에 상기 접촉면이 접촉하도록, 대략 직사각형의 프레임형의 형상을 따라 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 핸드.The method according to claim 1,
The glass substrate is formed in a rectangular shape,
Wherein the plurality of pads are arranged along a substantially rectangular frame-like shape such that the contact surfaces contact the lower surface of the outer peripheral end portion of the glass substrate formed in a rectangular shape. 제2항에 있어서,
제1 패드, 제2 패드 및 제3 패드의 3개의 상기 패드에 의해 구성되는 복수의 패드군이 대략 직사각형의 프레임형의 형상을 따라 배치되고,
상기 패드군에서는, 상하 방향에서 보았을 때, 상기 제1 패드의 상기 접촉면의 중심과 상기 제2 패드의 상기 접촉면의 중심과 상기 제3 패드의 상기 접촉면의 중심을 연결한 가상선이 삼각 형상을 이루도록, 상기 제1 패드, 상기 제2 패드 및 상기 제3 패드가 배치되고,
상하 방향에서 보았을 때, 상기 제1 패드의 상기 접촉면의 중심과 상기 제2 패드의 상기 접촉면의 중심을 연결한 가상선은, 상기 유리 기판의 단부면과 대략 평행하게 되어 있고,
상기 제3 패드는, 상기 제1 패드 및 상기 제2 패드보다 상기 유리 기판의 외주측에 배치되고,
상기 유리 기판이 상기 핸드에 탑재되어 있을 때, 상기 제1 패드의 상기 접촉면과 상기 제2 패드의 상기 접촉면이 상기 유리 기판의 하면에 접촉되어 있는 것을 특징으로 하는, 핸드.3. The method of claim 2,
A plurality of groups of the pads constituted by the three pads of the first pad, the second pad and the third pad are arranged along a substantially rectangular frame-like shape,
In the pad group, the imaginary line connecting the center of the contact surface of the first pad and the center of the contact surface of the second pad and the center of the contact surface of the third pad is triangular The first pad, the second pad, and the third pad are disposed,
The imaginary line connecting the center of the contact surface of the first pad and the center of the contact surface of the second pad is substantially parallel to the end surface of the glass substrate,
Wherein the third pad is disposed on an outer peripheral side of the glass substrate than the first pad and the second pad,
Wherein the contact surface of the first pad and the contact surface of the second pad are in contact with the lower surface of the glass substrate when the glass substrate is mounted on the hand. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 핸드와, 상기 핸드가 그 선단측에 회동 가능하게 연결되는 아암과, 상기 아암의 기단부측이 회동 가능하게 연결되는 본체부를 구비하는 것을 특징으로 하는, 산업용 로봇.A handpiece according to any one of claims 1 to 3, an arm rotatably connected to the distal end side of the hand, and a body portion rotatably connected to the proximal end side of the arm, , Industrial robots. 제4항에 있어서,
상기 핸드는 진공 중에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 산업용 로봇.5. The method of claim 4,
Wherein the hand is disposed in a vacuum.
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