KR20170003628U - Electrostatic chuck system - Google Patents

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electrostatic chuck
sheet
electrostatic
chuck
suction platform
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Application number
KR2020170001647U
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Inventor
치우퐁 후앙
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우순 테크놀로지 컴퍼니, 리미티드
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Abstract

정전 척 시스템은 중공시트 및 상기 시트에 장착되며 박막 필름을 체결하도록 정전기력을 발생시키는 정전 척을 포함하는 척 베이스와, 바닥면에서 시트 부재를 체결하기 위한 평평 흡착면을 가진 상부 흡입 플랫폼, 및 머신 베이스 및 상기 머신 베이스에 대해서 수평으로 이동가능하게 지지되고 가요성 스톱퍼를 정전 척에 상방 압력을 부여하도록 이동 제어가능한 리프트 스탠드를 포함하는 이동 기구를 포함하며, 박막 필름이 시트 부재의 표면에 자연스럽고 효율적으로 부착되게 한다.An electrostatic chucking system includes a chuck base including a hollow sheet and an electrostatic chuck mounted on the sheet and generating an electrostatic force to clamp the thin film, an upper suction platform having a flat adsorption surface for fastening the sheet member at the bottom surface, And a moving stand movably supported with respect to the machine base and including a lift stand movably controllable to apply a pressure to the electrostatic chuck above the flexible stopper, wherein the thin film is natural on the surface of the sheet member So that they can be efficiently attached.

Description

정전 척 시스템{ELECTROSTATIC CHUCK SYSTEM} [0001] ELECTROSTATIC CHUCK SYSTEM [0002]

본 고안은 표면 처리 기술에 관한 것이며, 보다 상세히는 구김없이 정전 척킹력으로 여러가지 사이즈의 시트 부재에 박막 시트를 자연스럽고 효율적으로 부착하는 정전 척 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a surface treatment technique, and more particularly, to an electrostatic chucking system in which a thin sheet is naturally and efficiently attached to sheet members of various sizes with an electrostatic chucking force without wrinkling.

오늘날 제조 산업은 심각한 노동력 부족에 직면하고 있다. 더욱이, 제조 산업은 환경을 오염하기 쉽다. 부각되는 환경 경각심은 전통적인 공정과 제조 방식에 큰 영향을 미친다. Today, the manufacturing industry faces a serious shortage of labor. Moreover, the manufacturing industry is prone to polluting the environment. Emerging environmental awareness has a major impact on traditional processes and manufacturing methods.

노동력, 환경 및 다른 요소의 영향으로, 제조 산업은 증가하는 노동자와 작업 비용의 몇 가지 문제점에 직면하고, 노동 집약 작업에서 기술 집약 작업으로 변환하는 압력을 받는다. 증가하는 생산 비용의 압력에 맞서기 위하여, 제조자들은 그들의 공장을 외국으로 이전하고, 외국 노동자를 맞이하고 또는 자동화 기술과 지식 공정 도구를 채택하여, 작업 시스템 및 생산율을 증대시키고 제조 비용을 절감시키고, 인력 소모를 감소시킨다.Due to the influence of labor force, environment and other factors, the manufacturing industry is faced with some problems of increasing worker and labor costs and is under the pressure to convert from labor-intensive work to technology-intensive work. In order to cope with the increasing production cost pressures, manufacturers have to transfer their factories to foreign countries, welcome foreign workers, or adopt automation technology and knowledge processing tools to increase the working system and production rate, reduce manufacturing costs, Reduces consumption.

평면 패널 디스플레이 기술의 발전으로, 새로운 세대의 디스플레이는 가볍고, 얇고, 플렉스블한 특징 또는 굴곡면을 가지며, 보다 세련된 전자 및 전기 제품을 소비자에게 제공한다. 결과적으로, 액정 패널상의 편광자, 반사방지 필름, 광학 필름, 터치 제어 멤블레인, 또는 가요성 활성 유기 발광 패널(가요성 AMOLED)용 상면과 하면 박막 필름층, 기능성 필름, 패키징 필름, 보호 필름, 지지 멤브레인, 및 많은 여러 멤브레인, 디스플레이 장치의 구성을 위한 필름 및 시트 부재는 더 가볍고 더 얇게 만들어져야 하고, 주름없이 다른 시트 부재에 정확하고 자연스럽게 부착되어야 한다. With advances in flat panel display technology, the new generation of displays has a lightweight, thin, flexible feature or curved surface and provides consumers with more sophisticated electronic and electrical products. As a result, the upper and lower thin film layers, the functional film, the packaging film, the protective film, and the support for the polarizer, the antireflection film, the optical film, the touch control membrane or the flexible active organic luminescent panel (flexible AMOLED) Membranes, and many other membranes, film and sheet members for construction of display devices must be made lighter and thinner and must be accurately and naturally attached to other sheet members without wrinkles.

도 6은 박막 필름을 시트 부재에 부착하기 위한 종래의 진공 라미네이팅 시스템을 도시한다. 이 종래의 설계에 따르면, 시스템은 진공 챔버(A0)를 한정하는 진공 캐비넷(A), 진공 챔버(A0)에 가동가능하게 배치된 라미네이팅 휠(A1), 진공 챔버(A0)의 상부에 배치된 흡입구역(A2), 공기 누설을 방지하기 위하여 접착제 또는 접착 테이프로 밀봉되고 흡입구역(A2) 둘레에 진공 챔버(A0)의 상부에 한정되는 비흡입구역(A3), 적용되는 필름 부재(B)의 위치결정을 위하여 흡입구역(A2)에 장착된 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21), 시트 타입 작업물(C1)을 체결하도록 진공 캐비넷(A) 상부로 이격된 상부 흡입 플랫폼(C)으로 구성된다. 라미네이팅 작업 전에, 진공 캐비넷(A)의 진공 챔버(A0)에 진공을 발생시키는 것이 필요하다. 그러나, 진공을 발생시키기 위하여 진공 캐비넷(A)의 진공 챔버(A0)로부터 공기를 빼내기 위하여 많은 시간이 소요된다. 더욱이, 진공 캐비넷(A)의 비흡입구역(A3)에서 공기의 누설을 방지하기 위하여 많은 노동력과 시간이 소요되어, 라미네이팅 작업을 복잡하게 한다. 라미네이팅 작업 동안, 라미네이팅 휠(A1)은 진공 챔버(A0)에서 올려져서 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21)의 바닥면에 맞닿고 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21)의 바닥면을 따라 이동되고, 필름 부재(B)를 시트 타입 작업물(C1)의 표면에 라미네이팅한다. 필름 부재(B)는 얇고 매우 플렉스블하여, 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21)의 네트 마킹은 필름 부재(B)로 전사될 때 필름 부재(B)는 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21)에 의해서 시트 타입 작업물(C1)에 부착된다. 만약 네트 마킹이 시트 타입 작업물(C1)에 존재한다면 시트 타입 작업물(C1)은 결함이 있게 된다.Figure 6 shows a conventional vacuum laminating system for attaching a thin film to a sheet member. According to this conventional design, the system comprises a vacuum cabinet A defining a vacuum chamber A0, a laminating wheel A1 movably arranged in the vacuum chamber A0, A suction zone A2, a non-suction zone A3 which is sealed with an adhesive or adhesive tape to prevent air leakage and is defined at the upper part of the vacuum chamber A0 around the suction zone A2, A screen plate suction platform A21 mounted on the suction area A2 for positioning of the workpiece C1 and an upper suction platform C spaced above the vacuum cabinet A to fasten the sheet type workpiece C1. It is necessary to generate a vacuum in the vacuum chamber A0 of the vacuum cabinet A before the laminating operation. However, it takes a lot of time to extract air from the vacuum chamber A0 of the vacuum cabinet A to generate a vacuum. Furthermore, it takes a lot of labor and time to prevent leakage of air in the non-suction area A3 of the vacuum cabinet A, which complicates the laminating operation. During the laminating operation, the laminating wheel A1 is lifted up in the vacuum chamber A0, abuts against the bottom surface of the screen plate suction platform A21, moves along the bottom surface of the screen plate suction platform A21, ) Is laminated to the surface of the sheet type work (C1). The film member B is thin and very flexible so that when the net marking of the screen plate suction platform A21 is transferred to the film member B the film member B is moved by the screen plate suction platform A21 to the sheet- Is attached to water (C1). If the net marking is present in the sheet type work C1, the sheet type work C1 becomes defective.

도 7은 박막 필름을 시트 부재에 부착하기 위한 종래의 다른 진공 라미네이팅 시스템을 도시한다. 이 종래의 설계에 따르면, 가요성 멤브레인(A01)은 진공 캐비넷(A) 내로 진공 챔버(A0)의 바닥면에 장착된다; 라미네이팅 휠(A1)은 가요성 멤브레인(A01)에 대하여 바닥면에 위치한다; 흡입구역(A2)은 진공 챔버(A0)의 상부면에 대향하여 한정된다; 비흡입구역(A3)은 공기 누설을 방지하기 위하여 접착제 또는 접착 테이프로 밀봉되고 흡입구역(A2) 둘레에 진공 챔버(A0)의 상부에 한정된다; 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21)은 필름 부재(B)를 유지하기 위하여 흡입구역(A2)에 장착된다; 상부 흡입 플랫폼(C)은 시트 타입 작업물(C1)을 체결하도록 진공 캐비넷(A) 상부에 위치한다. 라미네이팅 휠(A1)이 진공 캐비넷(A) 외부에 위치하기 때문에, 진공 캐비넷(A)의 사이즈는 최소화되어 진공이 진공 챔버(A0)에 빨리 발생될 수 있다. 라미네이팅 작업 동안, 라미네이팅 휠(A1)은 위로 움직여서 가요성 멤브레인(A01) 및 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21)을 들어올려서, 필름 부재(B)가 시트 타입 작업물(C1)에 라미네이팅되게 한다. 그러나, 라미네이팅 휠(A1)이 가요성 멤브레인(A01)을 들어 올릴 때, 가요성 멤브레인(A01)은 쉽게 파손될 수 있다. 그러므로, 가요성 멤브레인(A01)은 자주 교체되어야 한다. 더욱이, 라미네이팅 작업 동안, 작업자는 진공 캐비넷(A)의 진공 챔버(A0)의 진공 상태를 관찰할 필요가 있다. 더욱이, 이 설계는 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21)으로부터 필름 부재(B) 또는 시트 타입 작업물(C1)로 네트 마킹의 전사의 불량품 발생 문제를 여전히 해결할 수 없다.Figure 7 illustrates another conventional vacuum laminating system for attaching a thin film to a sheet member. According to this conventional design, the flexible membrane A01 is mounted in the bottom surface of the vacuum chamber A0 into the vacuum cabinet A; The laminating wheel A1 is located on the bottom surface with respect to the flexible membrane A01; The suction zone A2 is defined opposite the upper surface of the vacuum chamber A0; The non-sucking zone A3 is sealed with an adhesive or adhesive tape to prevent air leakage and is defined in the upper part of the vacuum chamber A0 around the suction zone A2; The screen plate suction platform A21 is mounted in the suction zone A2 to hold the film member B; The upper suction platform C is located above the vacuum cabinet A to fasten the sheet type work C1. Since the laminating wheel A1 is located outside the vacuum cabinet A, the size of the vacuum cabinet A is minimized so that vacuum can be generated in the vacuum chamber A0 quickly. During the laminating operation, the laminating wheel A1 is moved upward to lift the flexible membrane A01 and the screen plate suction platform A21 such that the film member B is laminated to the sheet type work C1. However, when the laminating wheel A1 lifts the flexible membrane A01, the flexible membrane A01 can easily break. Therefore, the flexible membrane A01 must be frequently replaced. Moreover, during the laminating operation, the operator needs to observe the vacuum state of the vacuum chamber A0 of the vacuum cabinet (A). Moreover, this design still can not solve the defective generation problem of transferring netting from the screen plate suction platform A21 to the film member B or the sheet type work C1.

상술한 2개의 종래 기술에 따르면, 진공 캐비넷(A)의 진공 챔버(A0)에 진공을 발생시킬 때, 작업자는 공기 누설을 방지하기 위하여 흡입구역(A2) 둘레에 비흡입구역(A3)의 시일링 상태를 자세히 체킹할 필요가 있다. 그러나, 어느 라미네이팅 휠(A1)은 진공 캐비넷(A)의 진공 챔버(A0)의 내측 또는 외측에 위치하고, 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21) 및 가요성 멤브레인(A01)은 쉽게 손상될 수 있다. 더욱이, 스크린 플레이트 흡입 플랫폼(A21)의 네트 마킹은 라미네이팅 작업 동안, 필름 부재(B) 또는 시트 타입 작업물(C1)에 쉽게 전사될 수 있다. 더욱이, 시트 타입 작업물(C1)의 여러 가지 사이즈를 라미네이팅할 때, 필름 부재(B)의 여러 가지 사이즈가 사용되어야 한다. 이 때, 흡입구역(A2)의 치수 및 비흡입구역(A3)의 치수는 상당히 변경되어야 하고, 진공 챔버(A0)로부터 공기의 누설을 방지하기 위하여 다시 밀봉되어야 하므로, 비흡입구역(A3)은 거추장스러운 준비를 하여야 한다. According to the above-mentioned two prior arts, when generating a vacuum in the vacuum chamber A0 of the vacuum cabinet A, the worker must, in order to prevent air leakage, You need to check the ring status in detail. However, a certain laminating wheel A1 is located inside or outside the vacuum chamber A0 of the vacuum cabinet A, and the screen plate suction platform A21 and the flexible membrane A01 can be easily damaged. Moreover, the net marking of the screen plate suction platform A21 can be easily transferred to the film member B or the sheet-type work C1 during the laminating operation. Moreover, when laminating various sizes of the sheet-like work C1, various sizes of the film member B must be used. At this time, the dimension of the suction area A2 and the dimension of the non-suction area A3 have to be significantly changed and must be sealed again to prevent leakage of air from the vacuum chamber A0, so that the non- You have to make a messy preparation.

그러므로, 박막 필름을 시트 부재에 라미네이팅하기 위한 조치를 제공하는 것이 바람직하고, 이것은 박막 필름 접착 작업을 단순화하고, 노동력 및 시간을 절감시키고, 시트 부재에 네트 마킹의 전사가 불량품을 야기하는 것을 방지한다.It is therefore desirable to provide measures for laminating the thin film to the sheet member, which simplifies the thin film film bonding operation, saves labor and time, and prevents transfer of net marking to the sheet member to cause defects .

본 고안의 주 목적은 박막 필름을 시트 부재에 부착하기 위하여 박막 필름 접착 공정이 주름없이 단순화되고, 공정 비용을 절감하고, 노동력과 시간을 절약하여 경제적 효율성을 향상시키는 정전 척 시스템을 제공하는데 있다. The main purpose of the present invention is to provide an electrostatic chucking system in which thin film adhering process is simplified without wrinkles to adhere the thin film to the sheet member, the process cost is reduced, labor and time are saved, and the economic efficiency is improved.

본 고안의 일예로서, 정전 척 시스템은 척 베이스, 상부 흡입 플랫폼 및 이동 기구로 구성된다. 척 베이스는 중공 시트 및 박막 필름을 체결하도록 정전 척력을 발생시키는 중공 시트에 장착된 정전 척으로 구성된다. 상부 흡입 플랫폼은 시트 부재를 바닥면에서 체결하도록 평평 흡착면으로 구성된다. 이동 기구는 머신 베이스 및 상기 머신 베이스에 대해서 수평으로 이동가능하고 상기 머신 베이스에 지지되며 정전 척 아래 작업 공간부에서 수직으로 가요성 스톱퍼를 이동가능하도록 제어할 수 있는 리프트 스탠드로 구성된다. 따라서, 리프트 스탠드의 가요성 스톱퍼는 수직, 수평 방향으로 이동가능하여 정전 척에 압력을 상방으로 부여하여, 박막 필름이 상부 흡입 플랫폼에 의해서 체결되는 시트 부재의 표면에 자연스럽고 효율적으로 부착되게 한다. As an example of the present invention, an electrostatic chuck system comprises a chuck base, an upper suction platform, and a moving mechanism. The chuck base comprises a hollow sheet and an electrostatic chuck mounted on a hollow sheet which generates an electrostatic repulsive force to engage the thin film. The upper suction platform is constituted by a flat adsorption surface for fastening the sheet member at the bottom surface. The moving mechanism is composed of a machine base and a lift stand movable horizontally with respect to the machine base and supported by the machine base and capable of controlling the flexible stopper vertically in the work space portion under the electrostatic chuck so as to be movable. Thus, the flexible stopper of the lift stand is movable in the vertical and horizontal directions to apply pressure upward to the electrostatic chuck, so that the thin film is naturally and efficiently attached to the surface of the sheet member fastened by the upper suction platform.

더욱이, 정전 척은 대향 상부면과 바닥면에 각각 위치한 2 개의 폴리이미드 필름, 상기 2 개의 폴리이미드 필름 사이에 배치된 2개의 본딩 접착층, 및 상기 2개의 본딩 접착층 사이에 끼워지며 전기적으로 유도되었을 때 상기 정전 척의 외부면상에 정전기력을 발생시키는 쿠퍼 회로층으로 구성된다. Moreover, the electrostatic chuck is composed of two polyimide films respectively located on the opposing top and bottom surfaces, two bonding adhesive layers disposed between the two polyimide films, and a conductive adhesive layer sandwiched between the two bonding adhesive layers, And a Cooper circuit layer for generating an electrostatic force on the outer surface of the electrostatic chuck.

더욱이, 정전 척킹력에 의한 상기 상부 흡입 플랫폼에 의해서 체결되는 상기 시트 부재는 미러, 유리 기판, LCD 패널, 터치 패널, 아크릴 보드, 스텐레스 스틸 플레이트, 가요성 디스플레이, 유기발광 다이오드(OLED) 디스플레이 패널, 폴리에틸렌(PE), 폴리에틸렌 테레프탈산염(PET 또는 PETE), 또는 폴리이미드(PI) 일 수 있다. Further, the sheet member to be fastened by the upper suction platform by the electrostatic chucking force may be used as a mirror member, a glass substrate, an LCD panel, a touch panel, an acrylic board, a stainless steel plate, a flexible display, an organic light emitting diode (OLED) Polyethylene (PE), polyethylene terephthalate (PET or PETE), or polyimide (PI).

본 고안의 다른 특징 및 장점은 참조부호가 구성 부호와 같은 첨부 도면과 연관하여 다음의 설명을 참조하면 충분히 이해될 것이다. Other features and advantages of the present invention will be more fully understood by reference to the following description when taken in conjunction with the accompanying drawings, in which:

본 고안에 따른 정전 척 시스템은 박막 필름 접착 공정의 수행 중에, 접착하려는 박막 필름의 사이즈에 따른 다른 번잡한 공정 또는 진공 공정 환경을 리셋하거나 정전 척의 구조적 사이즈 또는 척킹력의 범위를 변경할 필요가 없게 되어, 제조 공정을 단순화시키고, 공정 비용을 절감시키고, 노동력 및 시간을 절약하고, 경제적인 효율성이 향상된다. 더욱이, 정전 척이 다층 가요성 부재이므로, 강성과 가소성이 좋게 되고, 손상 또는 파손이 쉽게 되지 않으며, 실질 적용 동안 오랜 내구 수명을 특징으로 한다.The electrostatic chucking system according to the present invention does not need to reset other complicated processes or vacuum process environments depending on the size of the thin film to be bonded or change the structural size or the range of the chucking force of the electrostatic chuck during the thin film film bonding process , Simplify the manufacturing process, reduce the process cost, save labor and time, and improve the economic efficiency. Furthermore, since the electrostatic chuck is a multi-layer flexible member, it has good rigidity and plasticity, is not easily damaged or broken, and is characterized by a long durability during practical application.

본 고안은 중공 시트와 중공 시트에 장착되는 정전 척을 포함하는 척 베이스, 시트 부재를 체결하고 바닥면에서 평평 흡착면으로 구성된 상부 흡입 플랫폼, 정전 척 아래 작업 공간부에서 수직하게 가요성 스톱퍼를 이동하도록 제어가능하고 머신 베이스에 대해서 수평으로 이동가능하게 지지된 리프트 스탠드와 머신 베이스로 구성된 이동 기구로 구성된 정전척 시스템으로 제공하여, 리프트 스탠드의 가요성 스톱퍼는 수직으로 그리고 수평으로 가동 가능하여 시트 부재에 대해서 정전 척에 상방 압력을 부여하고, 이로써 박막 필름을 시트 부재의 표면에 자연스럽고 효율적으로 부착시킨다.The present invention relates to a chucking base including a hollow sheet and an electrostatic chuck mounted on a hollow sheet, an upper suction platform which is fastened to the sheet member and composed of a flat adsorption surface on the bottom side, a flexible stopper vertically movable in the work space below the electrostatic chuck Wherein the flexible stopper of the lift stand is movable vertically and horizontally so as to be movable in the vertical direction and horizontally, To the electrostatic chuck, thereby adhering the thin film to the surface of the sheet member naturally and efficiently.

도 1은 본 고안에 따른 정전 척 시스템의 측면도
도 2는 본 고안에 따른 척 베이스의 정전 척의 분해도
도 3은 정전 척의 바닥면의 일측면에 맞닿는 가요성 스톱퍼 및 연장된 왕복 로드를 도시한 본 고안이 적용된 실시도면
도 4는 정전 척의 바닥면을 따라 리프트 스탠드로써 이동되는 가요성 스톱퍼를 도시한 도 3 대응도
도 5는 정전 척의 바닥면의 일측면에 리프트 스탠드로써 이동되는 가요성 스톱퍼를 도시한 도 3 대응도
도 6은 종래 기술에 따른 진공 라미네이팅 시스템의 측면도
도 7은 다른 종래 기술에 따른 진공 라미네이팅 시스템의 측면도 1 is a side view of an electrostatic chucking system according to the present invention;
2 is an exploded view of an electrostatic chuck of a chuck base according to the present invention
Fig. 3 is a schematic view showing a flexible stopper abutting one side of the bottom surface of the electrostatic chuck and an extended reciprocating rod to which the present invention is applied
Fig. 4 is a corresponding view of Fig. 3 showing the flexible stopper being moved as a lift stand along the bottom surface of the electrostatic chuck; Fig.
Fig. 5 is a view corresponding to Fig. 3 showing the flexible stopper which is moved as a lift stand to one side of the bottom surface of the electrostatic chuck
Figure 6 is a side view of a prior art vacuum laminating system
Figure 7 is a side view of another prior art vacuum laminating system

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 고안에 따른 정전 척 시스템이 도시된다. 정전 척 시스템은 척 베이스(1), 상부 흡입 플랫폼(2) 및 이동 기구(3)로 구성된다. Referring to Figures 1 to 5, an electrostatic chucking system according to the present invention is shown. The electrostatic chucking system consists of a chuck base 1, an upper suction platform 2 and a moving mechanism 3.

척 베이스(1)는 중공 시트(11), 중공 시트(11)의 상부에 장착된 정전 척(12), 및 정전 척(12) 아래에서 중공 시트(11) 내에 한정된 작업 공간부(10)로 구성된다. The chuck base 1 includes a hollow sheet 11, an electrostatic chuck 12 mounted on the upper portion of the hollow sheet 11 and a work space portion 10 defined in the hollow sheet 11 below the electrostatic chuck 12 .

상부 흡입 플랫폼(2)은 시트 부재(22)를 체결하도록 채택되고 바닥면에 위치한 평평 흡착면(21)으로 구성된다.The upper suction platform 2 is constituted by a flat adsorption surface 21 adopted to fasten the sheet member 22 and located on the bottom surface.

이동 기구(3)는 머신 베이스(31), 및 머신 베이스(31)에 대해서 지지되어 수평으로 이동가능한 리프트 스탠드(32)로 구성된다. 리프트 스탠드(32)는 유압 실린더, 공압 실린더 또는 전기 리프트 또는 이들의 결합일 수 있고, 왕복 로드(321), 및 왕복 로드(321)의 먼 단부에 장착된 가요성 스톱퍼(322)로 구성된다.The moving mechanism 3 is composed of a machine base 31 and a lift stand 32 supported on the machine base 31 and movable horizontally. The lift stand 32 may be a hydraulic cylinder, a pneumatic cylinder or an electric lift or a combination thereof and is comprised of a reciprocating rod 321 and a flexible stopper 322 mounted at the distal end of the reciprocating rod 321.

설치시에, 상부 흡입 플랫폼(2)은 척 베이스(1)의 정전 척(12) 상부에 배열되어, 척 베이스(1)에 대해서 수직으로 상하 이동가능하게 된다. 더욱이, 이동 기구(3)는 정전 척(12)의 작업 공간부(10)의 바닥면에 배열되어, 리프트 스탠드(32)의 작동이 왕복 로드(321)를 인출 또는 수축하여 작업 공간부(10)에서 수직으로 가요성 스톱퍼(322)를 움직이게 하고, 머신 베이스(31)에서 리프트 스탠드(32)의 수평 왕복 운동하게 한다. 따라서, 척 베이스(1), 상부 흡입 플랫폼(2) 및 이동 기구(3)는 정전 척 시스템을 형성하도록 조립된다.At the time of installation, the upper suction platform 2 is arranged above the electrostatic chuck 12 of the chuck base 1 and is vertically movable with respect to the chuck base 1. The movement mechanism 3 is arranged on the bottom surface of the work space portion 10 of the electrostatic chuck 12 so that the operation of the lift stand 32 pulls out or retracts the reciprocating rod 321, To move the flexible stopper 322 vertically in the machine base 31 to cause the lifting stand 32 to reciprocate horizontally. Thus, the chuck base 1, the upper suction platform 2 and the moving mechanism 3 are assembled to form an electrostatic chuck system.

상술한 바와같이, 척 베이스(1)의 정전 척(12)은 중공 시트(11)의 상부에 장착된다. 더욱이, 정전 척(12)은 물체를 클램핑하기 위한 전자석 처킹력을 발생시키는 플라스틱 박막 패키지 코퍼 포일 회로설계의 일종일 수 있다. 정전 척(12)은 대향 상부 및 바닥면에 각각 위치한 2개의 폴리이미드 필름(121, 121), 2개의 폴리이미드 필름(121, 121) 사이에 위치한 2개의 본딩 접착층(123,125), 및 2개의 본딩 접착층(123,125) 사이에 끼이며 전기적으로 유도되었을 때 정전 척(12)의 외부면상에 정전기를 발생시키는 쿠퍼 회로층(124)으로 구성된다. 따라서, 박막 필름(4)은 정전 척(12)의 표면상에 위치하고, 주름이 없이 자연스럽게 유지할 수 있다. 더욱이, 정전 척(12)의 본딩 접착층(123,125)은 엑포시 또는 실리콘 접착제일 수 있다.As described above, the electrostatic chuck 12 of the chuck base 1 is mounted on the upper portion of the hollow sheet 11. Moreover, the electrostatic chuck 12 may be one of a plastic thin film package copper foil circuit design that generates an electromagnetically chucking force for clamping an object. The electrostatic chuck 12 has two polyimide films 121 and 121 located on the opposing upper and bottom surfaces, two bonding adhesive layers 123 and 125 located between the two polyimide films 121 and 121, And a Cooper circuit layer 124 which is sandwiched between the adhesive layers 123 and 125 and generates static electricity on the outer surface of the electrostatic chuck 12 when electrically induced. Therefore, the thin film 4 is placed on the surface of the electrostatic chuck 12 and can be held naturally without wrinkles. Furthermore, the bonding adhesive layers 123 and 125 of the electrostatic chuck 12 may be an epoxy or a silicone adhesive.

더욱이, 상부 흡입 플랫폼(2)은 진공 흡입 또는 정전기력으로 평평 흡착면(21)에 시트 부재(22)를 체결하도록 작동될 수 있다. 더욱이, 시트 부재(22)는 미러, 유리 기판, LCD 패널, 터치 패널, 아크릴 보드, 스텐레스 스틸 플레이트, 가요성 디스플레이, 유기발광 다이오드(OLED) 디스플레이 패널, 폴리에틸렌(PE), 폴리에틸렌 테레프탈산염(PET 또는 PETE), 또는 폴리이미드(PI)와 같은 하드 또는 가요성 시트 부재일 수 있다.Furthermore, the upper suction platform 2 can be operated to tighten the sheet member 22 to the flat adsorption surface 21 by vacuum suction or electrostatic force. Furthermore, the sheet member 22 may be a mirror, a glass substrate, an LCD panel, a touch panel, an acrylic board, a stainless steel plate, a flexible display, an organic light emitting diode (OLED) display panel, a polyethylene (PE), a polyethylene terephthalate PETE), or polyimide (PI).

더욱이, 이동 기구(3)의 머신 베이스(31) 및 리프트 스탠드(32)는 레일과 슬라이딩 홈 사이의 대응 배열, 즉 열장이음 블록과 열장이음 홈, 또는 풀리와 풀리 트랙에 의해서 함께 결합될 수 있어서, 리프트 스탠드(32)가 머신 베이스(31)에 대해서 전후 수평으로 이동될 수 있다. 더욱이, 리프트 스탠드(32)의 왕복 로드(321)의 단부에 장착된 가요성 스톱퍼(322)는 가요성 플라스틱, 고무, 또는 실리콘 고무로 이루어진 부드러운 바디 또는 휠 바디일 수 있다.Moreover, the machine base 31 and the lift stand 32 of the moving mechanism 3 can be coupled together by a corresponding arrangement between the rails and the sliding groove, i.e., the heat sealing block and the heat sealing groove, or the pulley and the pulley track , The lift stand 32 can be moved back and forth horizontally with respect to the machine base 31. Further, the flexible stopper 322 mounted on the end of the reciprocating rod 321 of the lift stand 32 may be a soft body or a wheel body made of flexible plastic, rubber, or silicone rubber.

적용시, 박막 필름(4)을 척 베이스(1)의 정전 척(12) 상에 위치하고, 상부 흡입 플랫폼(2)을 작동하여 시트 부재(22)를 평평 흡착면(21)에 체결하고, 이동 기구(3)를 작동하여 리프트 스탠드(32)를 척 베이스(1) 아래 머신 베이스(31)에 수평으로 이동시키고, 상부 흡입 플랫폼(2)을 작동시켜 정전 척(12) 상에서 박막 필름(4) 방향으로 시트 부재(22)를 하강시키고, 리프트 스탠드(32)를 작동시켜 왕복 로드(321)를 인출시켜 정전 척(12)의 바닥면에 대해서 작업 공간부(10)에서 가요성 스톱퍼(322)를 상방으로 더 밀어, 정전 척(12)의 일부가 시트 부재(22)의 대응 부분과 박막 필름(4)의 일측면에 대해서 상방으로 돌출하게 하고, 리프트 스탠드(32)를 제어하여 머신 베이스(31)에서 다른 일측면 방향으로 수평으로 이동하여, 리프트 스탠드(32)의 가요성 스톱퍼(322)가 정전 척(12)의 바닥면을 따라 움직이게 하고, 따라서 박막 필름(4)은 정전 척(12)에 의해서 시트 부재(22)의 표면에 부착된다.The thin film film 4 is placed on the electrostatic chuck 12 of the chuck base 1 and the upper suction platform 2 is operated to fasten the sheet member 22 to the flat adsorption surface 21, The mechanism 3 is operated to move the lift stand 32 horizontally to the machine base 31 under the chuck base 1 and to operate the upper suction platform 2 to move the thin film 4 on the electrostatic chuck 12. [ And the lifting stand 32 is operated to pull out the reciprocating rod 321 so that the flexible stopper 322 is lifted from the work space portion 10 with respect to the bottom surface of the electrostatic chuck 12, So that a part of the electrostatic chuck 12 protrudes upward with respect to the corresponding portion of the sheet member 22 and one side of the thin film 4 and the lift stand 32 is controlled to move the machine base 31, and the flexible stopper 322 of the lift stand 32 is moved horizontally to the other side of the electrostatic chuck 12 So that the thin film 4 is attached to the surface of the sheet member 22 by the electrostatic chuck 12. [

더욱이, 척 베이스(1)의 정전 척(12)에서 쿠퍼 회로층(124)은 전기적으로 유도되고, 정전 척(12)의 표면에서 정전기가 발생된다. 따라서, 박막 필름 접착 공정의 수행 중에, 접착하려는 박막 필름(4)의 사이즈에 따른 다른 번잡한 공정 또는 진공 공정 환경를 리셋하거나 정전 척(12)의 구조적 사이즈 또는 척킹력의 범위를 변경할 필요가 없게 되어, 제조 공정을 단순화시키고, 공정 비용을 절감시키고, 노동력 및 시간을 절약하고, 경제적인 효율성이 향상된다. 더욱이, 정전 척(12)이 다층 가요성 부재이므로, 강성과 가소성이 좋게 되고, 손상 또는 파손이 쉽게 되지 않으며, 실질 적용 동안 오랜 내구 수명을 특징으로 한다.Further, in the electrostatic chuck 12 of the chuck base 1, the cooper circuit layer 124 is electrically induced, and static electricity is generated on the surface of the electrostatic chuck 12. [ Therefore, during the execution of the thin film film adhering process, it is not necessary to reset other complicated processes or vacuum process environments depending on the size of the thin film 4 to be adhered, or to change the structural size or the range of the chucking force of the electrostatic chuck 12 , Simplify the manufacturing process, reduce the process cost, save labor and time, and improve the economic efficiency. Moreover, since the electrostatic chuck 12 is a multi-layered flexible member, rigidity and plasticity are improved, and damage or breakage is not easy, and long service life is realized during practical application.

상술한 바와같이, 상부 흡입 플랫폼(2)은 진공 흡입으로 시트 부재(22)를 체결하도록 척 베이스(1)의 중공 시트(11)에서 정전 척(12) 상부에 위치하고, 평평 흡착면(21)은 시트 부재(22)를 접착하도록 채택되고 바닥면에 위치하며, 리프트 스탠드(32)는 정전 척(12)에 대해서 수직으로 가요성 스톱퍼(322)와 왕복 로드(321)를 이동하도록 그리고 머신 베이스(31)에 대해서 수평으로 이동하도록 제어 가능한 정전 척(12) 아래에서 작업 공간부(10)에 위치한다. 따라서, 왕복 로드(321)의 가요성 스톱퍼(322)는 수직으로 그리고 수평으로 가동 가능하여 시트 부재(22)에 대해서 정전 척(12)에 상방 압력을 부여하고, 이로써 박막 필름(4)을 시트 부재(22)의 표면에 자연스럽고 효율적으로 부착시킨다. 따라서, 상술한 본 고안의 설계에 따르면, 박막 필름(4) 접착 공정의 수행은 접착하려는 박막 필름(4)의 사이즈에 따른 다른 번잡한 공정 또는 진공 공정 환경을 리셋하거나 정전 척(12)의 구조적 사이즈 또는 척킹력의 범위를 변경할 필요가 없게 되어, 제조 공정을 단순화시키고, 공정 비용을 절감시키고, 노동력 및 시간을 절약하고, 경제적인 효율성이 향상된다. 더욱이, 정전 척(12)이 다층 가요성 부재이므로, 강성과 가소성이 좋게 되고, 손상 또는 파손이 쉽게 되지 않으며, 실질 적용 동안 오랜 내구 수명을 특징으로 한다.The upper suction platform 2 is located above the electrostatic chuck 12 in the hollow sheet 11 of the chuck base 1 to fasten the sheet member 22 to the vacuum suction and the flat suction surface 21, And the lift stand 32 is adapted to move the flexible stopper 322 and the reciprocating rod 321 vertically relative to the electrostatic chuck 12 and to move the machine base (10) below the electrostatic chuck (12) which is controllable to move horizontally relative to the workpiece (31). The flexible stopper 322 of the reciprocating rod 321 is movable vertically and horizontally to apply an upward pressure to the electrostatic chuck 12 with respect to the sheet member 22, And adheres to the surface of the member 22 naturally and efficiently. Therefore, according to the design of the present invention described above, the performance of the thin film 4 bonding process can be improved by resetting the complicated process or vacuum process environment depending on the size of the thin film 4 to be bonded, There is no need to change the size or the range of the chucking force to simplify the manufacturing process, reduce the process cost, save labor and time, and improve the economic efficiency. Moreover, since the electrostatic chuck 12 is a multi-layered flexible member, rigidity and plasticity are improved, and damage or breakage is not easy, and long service life is realized during practical application.

결론적으로, 본 고안은 중공 시트와 중공 시트에 장착되는 정전 척을 포함하는 척 베이스, 시트 부재를 체결하고 바닥면에서 평평 흡착면으로 구성된 상부 흡입 플랫폼, 정전 척 아래 작업 공간부에서 수직하게 가요성 스톱퍼를 이동하도록 제어가능하고 머신 베이스에 대해서 수평으로 이동가능하게 지지된 리프트 스탠드와 머신 베이스로 구성된 이동 기구로 구성된 정전 척 시스템으로 제공한다. 따라서, 리프트 스탠드의 가요성 스톱퍼는 수직으로 그리고 수평으로 가동 가능하여 시트 부재에 대해서 정전 척에 상방 압력을 부여하고, 이로써 박막 필름을 시트 부재의 표면에 자연스럽고 효율적으로 부착시킨다.In conclusion, the present invention relates to a chuck base comprising a hollow sheet and an electrostatic chuck mounted on a hollow sheet, an upper suction platform comprising a sheet member and a flat adsorption surface on the bottom surface, The present invention provides an electrostatic chuck system comprising a lift mechanism that is controllable to move a stopper and is supported movably horizontally with respect to a machine base, and a moving mechanism composed of a machine base. Thus, the flexible stopper of the lift stand is vertically and horizontally movable, giving upward pressure to the electrostatic chuck against the sheet member, thereby naturally and efficiently attaching the thin film to the surface of the sheet member.

여기에서 설명한 것은 본 고안을 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 고안은 본 실시예에 한정되지 않고, 이하의 청구의 범위에서 청구하는 바와 같이 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 고안의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.It is to be understood that the present invention is not limited to the embodiment and that various modifications, additions and substitutions are possible, without departing from the scope of the present invention as defined in the following claims. It will be understood by those skilled in the art that the technical spirit of the present invention is to the extent that various modifications can be made.

1 : 척 베이스 2 : 상부 흡입 플랫폼
3 : 이동 기구 10 : 작업 공간부
11 : 중공 시트 12 : 정전 척
21 : 평평 흡착면 22 : 시트 부재
31 : 머신 베이스 32 : 리프트 스탠드
121, 121 : 폴리이미드 필름 123,125 : 본딩 접착층
124 : 쿠퍼 회로층 321 : 왕복 로드
322 : 가요성 스톱퍼1: chuck base 2: upper suction platform
3: moving mechanism 10: working space part
11: hollow sheet 12: electrostatic chuck
21: flat adsorption surface 22: sheet member
31: Machine base 32: Lift stand
121, 121: polyimide film 123, 125: bonding adhesive layer
124: Cooper circuit layer 321:
322: Flexible stopper

Claims (5)

시트, 상기 시트에 장착되며 박막 필름을 체결하도록 정전기력을 발생시키는 정전 척, 및 상기 정전 척 아래 상기 시트에서 한정된 작업 공간부로 구성된 척 베이스와,
바닥면에서 시트 부재를 체결하기 위한 평평 흡착면으로 구성된 상부 흡입 플랫폼, 및
상기 척 베이스에 대해서 바닥면에 위치한 머신 베이스 및 상기 머신 베이스에 대해서 수평으로 이동가능하고 상기 머신 베이스에 지지되는 리프트 스탠드로 구성된 이동 기구로 구성되며,
상기 리프트 스탠드는 왕복 로드와, 상기 왕복 로드의 단부에 장착되며 왕복 로드와 함께 이동가능하며 상기 정전 척을 상기 상부 흡입 플랫폼의 상기 평평 흡착면에 대해서 상기 정전 척에 상방 압력을 부여하여, 박막 필름이 상기 상부 흡입 플랫폼에 의해서 체결되는 상기 시트 부재에 부착되도록 상기 정전 척에 의해서 체결되도록 하는 것을 특징으로 하는 정전 척 시스템.
An electrostatic chuck mounted on the sheet and generating an electrostatic force to fasten the thin film, and a chuck base composed of a work space defined by the sheet under the electrostatic chuck,
An upper suction platform composed of a flat adsorption surface for fastening the sheet member on the floor surface, and
And a moving mechanism which is composed of a machine base located on the bottom surface of the chuck base and a lift stand movable horizontally with respect to the machine base and supported by the machine base,
Wherein the lift stand is mounted on an end of the reciprocating rod and is moveable together with the reciprocating rod and the electrostatic chuck is applied with an upward pressure to the electrostatic chuck against the flat suction surface of the upper suction platform, Is fastened by the electrostatic chuck so as to be attached to the sheet member fastened by the upper suction platform.
제1항에 있어서,
상기 척 베이스의 시트는 오목 형상이며, 상기 정전 척은 상기 시트의 상부면에 고정적으로 장착되는 것을 특징으로 하는 정전 척 시스템.
The method according to claim 1,
Wherein the chuck base sheet is concave and the electrostatic chuck is fixedly mounted on an upper surface of the sheet.
제2항에 있어서,
상기 정전 척은 대향 상부면과 바닥면에 각각 위치한 2개의 폴리이미드 필름, 상기 2개의 폴리이미드 필름 사이에 배치된 2개의 본딩 접착층, 및 상기 2개의 본딩 접착층 사이에 끼워지며 전기적으로 유도되었을 때 상기 정전 척의 외부면상에 정전기력을 발생시키는 쿠퍼 회로층으로 구성되는 것을 특징으로 하는 정전 척 시스템.
3. The method of claim 2,
Wherein the electrostatic chuck is sandwiched between two bonding adhesive layers disposed between the two polyimide films and two polyimide films respectively disposed on the opposing upper surface and the bottom surface, And a Cooper circuit layer for generating an electrostatic force on the outer surface of the electrostatic chuck.
제1항에 있어서,
상기 상부 흡입 플랫폼에 의해서 체결되는 상기 시트 부재는 미러, 유리 기판, LCD 패널, 터치 패널, 아크릴 보드, 스텐레스 스틸 플레이트, 가요성 디스플레이, 유기발광 다이오드(OLED) 디스플레이 패널, 폴리에틸렌(PE), 폴리에틸렌 테레프탈산염(PET 또는 PETE), 또는 폴리이미드(PI) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 정전 척 시스템.
The method according to claim 1,
Wherein the sheet member fastened by the upper suction platform comprises at least one of a mirror, a glass substrate, an LCD panel, a touch panel, an acrylic board, a stainless steel plate, a flexible display, an organic light emitting diode (OLED) display panel, a polyethylene (PE), a polyethylene terephthalate A salt (PET or PETE), or a polyimide (PI).
제1항에 있어서,
상기 이동 기구의 상기 리프트 스탠드는 유압 실린더, 공압 실린더, 전기 리프트 또는 이들의 결합 중 어느 하나이며, 상기 리프트 스탠드의 가요성 스톱퍼는 플라스틱, 고무, 또는 실리콘 고무 중 어느 하나로 이루어진 부드러운 바디 또는 휠 바디인 것을 특징으로 하는 정전 척 시스템.

The method according to claim 1,
Wherein the lift stand of the moving mechanism is one of a hydraulic cylinder, a pneumatic cylinder, an electric lift or a combination thereof, and the flexible stopper of the lift stand is a soft body or a wheel body made of plastic, rubber, Wherein the electrostatic chucking system comprises:

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