KR20170003068U - Container for storing substrates - Google Patents

Container for storing substrates Download PDF

Info

Publication number
KR20170003068U
KR20170003068U KR2020170000287U KR20170000287U KR20170003068U KR 20170003068 U KR20170003068 U KR 20170003068U KR 2020170000287 U KR2020170000287 U KR 2020170000287U KR 20170000287 U KR20170000287 U KR 20170000287U KR 20170003068 U KR20170003068 U KR 20170003068U
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
support
housing
section
adjacent
bracket body
Prior art date
Application number
KR2020170000287U
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR200486265Y1 (en
Inventor
밍-롱 츄
옌-팡 췐
Original Assignee
청 킹 엔터프라이즈 컴퍼니 리미티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 청 킹 엔터프라이즈 컴퍼니 리미티드 filed Critical 청 킹 엔터프라이즈 컴퍼니 리미티드
Publication of KR20170003068U publication Critical patent/KR20170003068U/en
Application granted granted Critical
Publication of KR200486265Y1 publication Critical patent/KR200486265Y1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67379—Closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67376—Closed carriers characterised by sealing arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67386—Closed carriers characterised by the construction of the closed carrier

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packages (AREA)

Abstract

기판 수납용 컨테이너는 수용 챔버를 한정하는 하우징, 및 지지 유닛을 포함한다. 상기 지지 유닛은 상기 수용 챔버 내에 위치하는 복수의 지지 브래킷을 포함하며, 각각의 상기 지지 브래킷마다 만곡형 브래킷 몸체, 및 상기 브래킷 몸체에 연결되는 적어도 하나의 지지 구조를 구비한다. 상기 브래킷 몸체는 서로 간격을 두고 마주보는 2개의 암(arm)부, 및 상기 2개의 암부 사이에 연결되는 만곡부를 구비하고, 또한 상기 2개의 암부는 하우징과 연결된다. 상기 지지 구조는 상기 만곡부의 외측 가장자리 부위에 인접하게 설치되고, 상기 지지 브래킷의 상기 브래킷 몸체는 상하 방향에서 서로 간격을 두고 배열되며, 또한 상기 지지 구조를 통해 인접한 상기 브래킷 몸체를 지지함으로써, 인접한 상기 브래킷 몸체의 상기 만곡부가 고정된 간격을 유지하도록 한다. The substrate storage container includes a housing defining an accommodation chamber, and a support unit. The support unit includes a plurality of support brackets positioned within the accommodating chamber, and each support bracket has a curved bracket body and at least one support structure connected to the bracket body. The bracket body has two arm portions facing each other with an interval therebetween, and a curved portion connected between the two arm portions, and the two arm portions are connected to the housing. Wherein the support structure is disposed adjacent to an outer edge portion of the curved portion, the bracket body of the support bracket is arranged at a distance from each other in the vertical direction, and the adjacent bracket body is supported through the support structure, So that the curved portion of the bracket body is maintained at a fixed interval.

Description

기판 수납용 컨테이너{CONTAINER FOR STORING SUBSTRATES}[0001] CONTAINER FOR STORING SUBSTRATES [0002]

본 고안은 컨테이너에 관한 것으로서, 특히 기판 수납용 컨테이너에 관한 것이다.The present invention relates to a container, and more particularly to a container for housing a substrate.

일반적으로 집적회로를 제조하기 위한 기판, 즉 웨이퍼는 보관, 운송 또는 상이한 제조 공정 간의 전송 과정에서 미세 입자의 오염 또는 파손을 방지하도록 적절한 보호가 필요하다.In general, the substrate, i.e., the wafer, for fabricating integrated circuits requires adequate protection to prevent contamination or breakage of the fine particles during storage, transport, or transfer processes between different manufacturing processes.

통상적으로 기판을 수용하기 위한 컨테이너는 복수의 기판을 동시에 수납할 수 있으며, 컨테이너 내에 상기 기판을 이격시켜 기판이 서로 부딪히지 않도록 층상으로 이격되는 지지 구조가 설치되어야 하고; 또한 자동화된 기판 인/입출 장치가 기판을 컨테이너로부터 인출하거나, 또는 처리된 기판을 컨테이너에 인입하기 용이해야 한다. 통상적인 지지 구조는 예를 들어 컨테이너 하우징 내벽면에 기판을 지지하도록 복수의 리브가 고정 설치된다. 그러나 이러한 구조 설계는 많은 응용상의 제약이 존재한다. 예를 들어 건조 시, 고온의 공기가 단일한 도어 몸체의 개구를 통해서만 대류가 진행되기 때문에, 컨테이너 내의 기판이 균일하게 가열되기 쉽지 않고, 따라서 건조 효과가 나빠질 가능성이 있는 이외에, 심할 경우 심지어 기판이 상이한 위치의 열팽창 정도가 다름으로 인해 파열될 가능성도 있다. 컨테이너 자체의 도어 몸체의 개구 이외의 위치, 예를 들어 컨테이너의 후벽면에 대류 효과를 개선할 수 있는 도어/윈도우 기구를 추가로 설치할 경우, 상기 부위의 리브가 지지력을 상실하게 되어 변형 또는 진동이 발생하기 쉽고, 그것이 지지하는 기판 역시 지지가 평탄하지 않거나 불안정함으로 인해 변형되거나 심지어 파열될 수 있다. 이와 동시에, 종래의 컨테이너의 지지 구조 중의 리브 형태는 대부분 U형이기 때문에, 컨테이너 후벽 및 측벽에 인접한 기판의 후반부 가장자리에 대해서만 지지력을 제공할 수 있을 뿐, 기판 중앙 및 전반부 가장자리에 대해서는 지지력을 제공할 수 없어, 기판 중앙 및 전반부가 중력의 작용에 의해 아래로 쳐져 변형될 수 있다. 또한, 이러한 문제는 기판 크기/직경의 증가 또는 기판 두께의 변화에 따라 심해질 수 있고, 심할 경우 심지어 자동 기판 인입출 장치가 컨테이너에 진입하여 기판을 인출 시 기판의 아래로 쳐져 변형된 부분에 부딪히면서 기판의 마찰 손상을 초래하거나 심지어 파열을 일으킬 수 있다. 또한, 종래의 컨테이너의 지지 구조 중의 리브는 대부분 고정식 구조로 설계되어 있어, 설계 및 제조 시 반드시 각종 상이한 용량의 컨테이너에 대해 금형을 개별적으로 설계, 제작해야 하고; 컨테이너 완제품 중 일부 리브가 손상된 경우, 또는 갱신되거나, 더욱 우수하거나 또는 상이한 요구를 만족시킬 수 있는 설계가 있을 경우, 개별적으로 교체를 할 수 없고, 컨테이너 전체를 재설계 및 제조할 수밖에 없으므로, 제조 원가 및 보관 수요가 증가하게 된다.Typically, a container for accommodating a substrate can house a plurality of substrates at the same time, and a supporting structure that is spaced apart in a layer so that the substrates do not hit each other by separating the substrate in the container must be installed; In addition, the automated substrate input / output device must facilitate withdrawing the substrate from the container or drawing the processed substrate into the container. A typical support structure is, for example, a plurality of ribs fixedly mounted on a wall surface of a container housing for supporting the substrate. However, there are many application limitations in this structural design. For example, in drying, since the convection is carried out only through the opening of the single door body, the high temperature air is not easily heated uniformly in the container, and therefore the drying effect may be deteriorated. In addition, There is also the possibility of rupture due to different degrees of thermal expansion at different locations. When a door / window mechanism is additionally provided at a position other than the opening of the door body of the container itself, for example, on the rear wall surface of the container, a rib or a door / And the substrate it supports may also be deformed or even ruptured due to uneven support or instability. At the same time, since the ribs in the conventional support structure of the container are mostly U-shaped, it is possible to provide a supporting force only for the rear edge of the substrate adjacent to the container rear wall and the side wall, So that the center and front half of the substrate can be deformed by being gravitationally pulled downward. This problem may also be exacerbated by an increase in substrate size / diameter or a change in substrate thickness, and even in severe cases, when the automatic substrate take-in device enters the container and strikes the deformed portion of the substrate, And may even cause rupture. In addition, since the ribs in the conventional support structure of the container are mostly designed in a fixed structure, the molds must be individually designed and manufactured for various containers having different capacities in designing and manufacturing; If some ribs in the finished container are damaged, or if there is a design that can be updated, better, or different, it can not be replaced individually and the entire container must be redesigned and manufactured. Storage demand increases.

컨테이너의 구조 설계는 상기 예를 포함하는 각종 문제 및 수요를 고려하여야 하므로, 종래의 컨테이너 구조에 대해서는 여전히 개선의 여지가 있다.Since the structure design of the container must take into consideration various problems and demands including the above example, there is still room for improvement in the conventional container structure.

따라서, 본 고안의 목적은 즉 상호 적층될 수 있는 복수의 지지 브래킷 및 인접한 지지 브래킷의 브래킷 몸체 사이가 지지 구조에 의해 지지될 수 있는 컨테이너를 제공하고자 하는데 있다.It is therefore an object of the present invention to provide a container in which a plurality of support brackets, which can be stacked one upon the other, and a bracket body of an adjacent support bracket can be supported by the support structure.

이에, 본 고안인 기판 수납용 컨테이너는 일 실시예에서, 수용 챔버를 한정하는 하우징, 및 지지 유닛을 포함한다. 상기 지지 유닛은 상기 수용 챔버 내에 위치하는 복수의 지지 브래킷을 포함하며, 각각의 상기 지지 브래킷마다 만곡형 브래킷 몸체, 및 상기 브래킷 몸체에 연결되는 적어도 하나의 지지 구조를 구비한다. 상기 브래킷 몸체는 서로 간격을 두고 마주보는 2개의 암부(arm portions), 및 상기 2개의 암부 사이에 연결되는 만곡부를 구비하고, 또한 상기 2개의 암부는 하우징과 연결된다. 상기 지지 구조는 상기 만곡부의 외측 가장자리 부위에 인접하게 설치되고, 상기 지지 브래킷의 상기 브래킷 몸체는 상하 방향에서 서로 간격을 두고 배열되며, 또한 상기 지지 구조를 통해 인접한 상기 브래킷 몸체를 지지함으로써, 인접한 상기 브래킷 몸체의 상기 만곡부가 고정된 간격을 유지하도록 한다.Accordingly, the substrate accommodating container of the present invention includes, in one embodiment, a housing defining the accommodating chamber, and a supporting unit. The support unit includes a plurality of support brackets positioned within the accommodating chamber, and each support bracket has a curved bracket body and at least one support structure connected to the bracket body. The bracket body has two arm portions facing each other with a gap therebetween and a curved portion connected between the two arm portions, and the two arm portions are connected to the housing. Wherein the support structure is disposed adjacent to an outer edge portion of the curved portion, the bracket body of the support bracket is arranged at a distance from each other in the vertical direction, and the adjacent bracket body is supported through the support structure, So that the curved portion of the bracket body is maintained at a fixed interval.

일 실시 형태 중, 2개의 인접한 상기 지지 브래킷의 상기 지지 구조마다 상기 상하 방향에서 서로 맞닿게 연결된다. In one embodiment, the support structures of two adjacent support brackets are connected to each other in the up-and-down direction so as to abut against each other.

일 실시 형태 중, 상기 지지 구조는 상기 만곡부 부위의 외측 가장자리에 연결되는 지지부를 구비하며, 2개의 인접한 상기 지지 브래킷의 상기 지지부마다 상기 상하 방향에서 서로 맞닿게 연결된다.In one embodiment, the support structure has a support portion connected to an outer edge of the curved portion, and is connected to the support portions of two adjacent support brackets so as to abut against each other in the up-and-down direction.

일 실시 형태 중, 상기 지지 구조는 위치 제한부를 더 구비하며, 상기 위치 제한부와 상기 지지부는 상기 상하 방향에서 각각 상기 만곡부의 반대되는 양측에 돌출되고, 또한 상하로 어긋나게 위치하며, 2개의 인접한 상기 지지 브래킷 중 하나의 상기 위치 제한부와 그 중 또 다른 하나의 상기 지지부마다 상기 만곡부의 곡률 중심 방향을 향해 서로 인접하다.In one embodiment, the supporting structure further includes a position restricting portion, the position restricting portion and the supporting portion projecting from opposite sides of the curved portion in the up-and-down direction, respectively, The position restricting portions of one of the support brackets and the other one of the support portions are adjacent to each other toward the center of curvature of the curved portion.

일 실시 형태 중, 상기 위치 제한부는 체결홈을 구비하고, 상기 지지부는 체결블록을 구비하며, 2개의 인접한 상기 지지 브래킷 중 하나의 상기 지지부의 상기 체결블록마다 그 중 또 다른 하나의 상기 위치 제한부의 상기 체결홈에 체결된다.In one embodiment, the position restricting portion includes a fastening groove, and the support portion includes a fastening block, and for each of the fastening blocks of one of the two adjacent support brackets, And is fastened to the fastening groove.

일 실시 형태 중, 각각의 상기 지지부는 서로 간격을 두고 상기 만곡부에 연결되는 2개의 연결 암, 및 상기 두 연결암 저단에 연결되는 연결빔을 더 구비하고, 또한 상기 체결블록이 상기 만곡부 부위의 내측 가장자리 방향을 향해 상기 연결 빔 표면에 돌출된다.In one embodiment, each of the supporting portions further includes two connecting arms connected to the curved portion at intervals and a connecting beam connected to the bottom of the two connecting arms, and the connecting block further includes an inner side And protrudes toward the edge of the connecting beam surface.

일 실시 형태 중, 상기 지지부는 각각 상기 2개의 연결 암 표면으로부터 상기 만곡부 부위의 내측 가장자리 방향으로 돌출되는 2개의 지지 기둥을 더 구비하고, 또한 상기 위치 제한부는 상기 상하 방향의 투영이 그 중 또 다른 하나의 상기 지지부의 상기 두 지지 기둥 사이에 위치함으로써, 2개의 이웃한 상기 지지 브래킷 중 하나의 상기 위치 제한부마다 그 중 또 다른 하나의 상기 지지부의 상기 2개의 기기 기둥 사이에 위치하도록 하고, 또한 상기 두 지지 기둥은 상기 두 인접한 지지 브래킷의 상기 만곡부 사이에 저지된다.In one embodiment, each of the support portions further includes two support posts protruding from the two connection arm surfaces in the direction of the inner edge of the curved portion, and the position restricting portion is configured such that the projection in the up- Is positioned between the two support posts of one support portion so that each of the position restriction portions of one of the two neighboring support brackets is positioned between the two device posts of another support portion of the two support posts, The two support pillars are blocked between the curved portions of the two adjacent support brackets.

일 실시 형태 중, 상기 하우징은 하우징 몸체 및 도어 몸체를 포함하며, 상기 하우징 몸체는 바닥벽, 상기 바닥벽과 상하로 대향하는 상측벽, 각각 상기 바닥벽과 상기 상측벽 양측에 연결되는 2개의 측벽, 및 상기 바닥벽, 상기 상측벽과 상기 2개의 측벽을 연결하는 후측벽을 구비하고, 상기 후측벽과 대향하는 전면 개구가 한정되며, 상기 도어 몸체는 상기 전면 개구를 밀폐하도록 상기 하우징 몸체와 분리 가능하게 조립되어, 상기 하우징 몸체와 함께 상기 수용 챔버를 한정한다.In one embodiment, the housing includes a housing body and a door body, the housing body including a bottom wall, an upper side wall vertically opposed to the bottom wall, and two side walls connected to both the bottom wall and the upper side wall, And a bottom wall, a rear wall connecting the upper wall and the two side walls, wherein a front opening facing the rear wall is defined, and the door body is separated from the housing body to close the front opening Assembled to define the receiving chamber with the housing body.

일 실시 형태 중, 상기 후측벽은 상기 전면 개구와 대향하는 후면 개구가 형성되고, 또한 상기 하우징은 상기 후면 개구를 밀봉하도록 상기 후측벽과 분리 가능하게 조립되는 후면 커버를 더 포함한다.In one embodiment, the rear wall is formed with a rear opening facing the front opening, and the housing further includes a rear cover releasably assembled with the rear wall to seal the rear opening.

일 실시 형태 중, 상기 후면 개구는 상기 후측벽의 중간부위에 형성되어 상기 상하 방향을 따라 연장된다.In one embodiment, the rear opening is formed at an intermediate portion of the rear side wall and extends along the up-down direction.

일 실시 형태 중, 각각의 상기 지지 브래킷은 상기 브래킷 몸체에 연결되는 2개의 지지 구조를 구비하고, 또한 상기 2개의 지지 구조는 각각 상기 두 측벽과 상기 후측벽에 인접한 교접 부위 또는 상기 후면 개구 양측에 인접한 부위에 위치한다.In one embodiment, each of the support brackets has two support structures connected to the bracket body, and the two support structures are respectively disposed on the two adjacent side walls and on the opposite side of the rear opening It is located at an adjacent site.

일 실시 형태 중, 상기 지지 유닛은 각각 상기 두 측벽 부위에 설치되면서 상기 상하 방향으로 배열되는 복수의 제1 고정 구조를 더 포함하고, 또한 각각의 상기 지지 브래킷의 상기 브래킷 몸체는 각각 상기 2개의 암부에 설치되는 2개의 제2 고정 구조를 더 구비하며, 상기 2개의 제2 고정 구조는 각각 상기 두 측벽 상의 대응되는 상기 제1 고정 구조와 결합 고정된다.In one embodiment, the support unit further includes a plurality of first fixing structures arranged in the up-and-down direction while being installed on the two side wall portions, respectively, and the bracket bodies of the respective support brackets are respectively provided with the two arm portions And the two second fixing structures are engaged with and fixed to the corresponding first fixing structures on the two side walls, respectively.

일 실시 형태 중, 상기 지지 유닛은 상기 제1 고정 구조가 설치되는 2개의 결합판을 더 포함한다.In one embodiment, the support unit further includes two engagement plates on which the first fixing structure is installed.

일 실시 형태 중, 상기 2개의 결합판은 상기 두 측벽에 각각 분리 가능하게 고정된다.In one embodiment, the two engaging plates are detachably fixed to the two side walls, respectively.

일 실시 형태 중, 각 그룹의 서로 대응되는 상기 제1 고정구조와 상기 제2 고정 구조는 상호 요철로 정합됨으로써 상호 끼움 체결되거나 또는 감합 고정되는 구조이다.In one embodiment, the first fixing structure and the second fixing structure, which correspond to each group, are mutually fitted or fixed by mutually uneven surfaces.

일 실시 형태 중, 각각의 상기 제1 고정 구조는 전후 방향을 따라 연장되는 스트립형 오목홈 형상이고, 또한 각각의 상기 제2 고정 구조는 스트립형 편상이며, 대응되는 상기 암부의 외측 가장자리에 연결됨과 아울러 상기 암부와 수직으로 연결됨으로써, 대응되는 상기 제1 고정 구조에 끼움 설치된다.In one embodiment, each of the first fixing structures is in the form of a strip-shaped concave groove extending in the front-rear direction, and each of the second fixing structures is strip-shaped and connected to the outer edge of the corresponding arm portion And is vertically connected to the arm portion to be fitted in the corresponding first fixing structure.

일 실시 형태 중, 각각의 상기 제1 고정 구조는 전후 방향을 따라 연장되어 상기 측벽 또는 상기 결합판 표면으로부터 상기 수용 챔버 방향으로 돌출되는 스트립형 플레이트이고, 또한 각각의 상기 제2 고정 구조는 대응되는 상기 제1 고정 구조를 수용하도록 대응되는 상기 암부 부위의 외측 가장자리로부터 상기 암부 내로 오목하게 설치되는 오목홈이다.In one embodiment, each of the first fixing structures is a strip-shaped plate extending along the front-rear direction and protruding from the side wall or the engaging plate surface toward the accommodating chamber, and each of the second fixing structures is corresponding And a concave groove recessed into the arm portion from an outer edge of the arm portion corresponding to the first fixing structure.

일 실시 형태 중, 각각의 상기 지지 브래킷의 상기 브래킷 몸체는 C형이면서 상기 만곡부 부위의 내측 가장자리에 단일한 곡률을 가지며, 상기 2개의 암부는 각각 상기 만곡부에 연결되는 연장 구간 및 상기 연장 구간에 연결되는 말미 구간을 구비하고, 상기 연장 구간 부위의 내측 가장자리는 상기 만곡부 부위의 내측 가장자리로부터 연장되면서 동일한 곡률을 구비하며, 상기 연장 구간 부위의 외측 가장자리는 상기 만곡부 부위에 연결되는 외측 가장자리로부터 직선으로 연장되고, 또한 상기 말미 구간 부위의 외측 가장자리는 상기 연장 구간 부위에 연결되는 외측 가장자리로부터 직선으로 연장되어 상기 하우징과 대응되게 연결되며, 상기 말미 구간 부위의 내측 가장자리는 상기 연장 구간 부위의 내측 가장자리로부터 점차 외측 가장자리와 평행한 방향으로 연장됨으로써, 상기 연장 구간의 폭이 상기 만곡부에 연결된 일단에 의해 상기 말미 구간에 연결되는 일단을 향해 점차 넓어지고, 또한 상기 말미 구간의 폭은 상기 연장 구간의 최대 폭보다 크거나 같다.In one embodiment, the bracket body of each of the support brackets is C-shaped and has a single curvature at an inner edge of the curved portion, the two arm portions each having an extension section connected to the curved section, Wherein an inner edge of the extended section has a same curvature while extending from an inner edge of the bent section and an outer edge of the extended section has a straight line extending from an outer edge connected to the bent section, And an outer edge of the tail section extends linearly from an outer edge connected to the extended section and is correspondingly connected to the housing, and an inner edge of the tail section is gradually extended from an inner edge of the extended section Parallel to the outer edge The width of the extending section is gradually widened toward one end connected to the end section by one end connected to the curved section and the width of the end section is greater than or equal to the maximum width of the extending section.

일 실시 형태 중, 각각의 상기 지지 브래킷의 상기 브래킷 몸체는 상기 만곡부와 연결되면서 상기 2개의 암부 사이에 위치하여 상기 수용 챔버 중앙으로 돌출되는 적어도 하나의 중간 받침부를 더 구비한다.In one embodiment, the bracket body of each of the support brackets further includes at least one intermediate support portion which is connected to the curved portion and is located between the two arm portions and protrudes toward the center of the accommodation chamber.

일 실시 형태 중, 상기 브래킷 몸체가 복수의 중간 받침부를 구비하는 경우, 상기 중간 받침부는 상기 수용 챔버 중앙에 인접한 일단이 상호 연결된다.In one embodiment, when the bracket body has a plurality of intermediate support portions, the intermediate support portions are mutually connected at one end adjacent to the center of the accommodation chamber.

본 고안은 적어도 다음과 같은 효과를 구비한다. 지지 구조를 통하여 서로 적층되는 지지 브래킷의 브래킷 몸체 사이가 양호하게 지지되어 쉽게 변형되지 않음으로써, 인접한 브래킷 몸체의 만곡부가 고정된 간격을 유지할 수 있으며, 기판에 더욱 평탄하고 안정적인 지지력을 제공하여, 컨테이너에 수납되는 기판이 과도하게 변형되는 손상이 발생하지 않는 동시에, 기판이 과도한 변형으로 인해 자동 기판 인입출 장치에 부딪혀 스크래치 손상을 입거나 심지어 파열되는 것을 방지할 수도 있다. 또한 후면 개구를 추가로 더 설치할 수 있어 건조 과정에서 양호한 대류 효과를 제공할 수 있으나, 단 이로 인하여 후면 개구 부근의 각 지지 브래킷의 브래킷 몸체의 지지 안정성이 저하되는 상황은 발생하지 않는다. 이밖에, 상기 지지 브래킷은 2개의 결합판을 통해 상기 하우징과 연결되고, 또한 상기 2개의 결합판은 분리 가능하여, 사용의 필요에 따라 상이한 층수의 지지 유닛을 교체함으로써 두께 또는 크기가 다른 기판에 적용할 수 있어, 재료와 보관 원가 또한 절감할 수 있다. 또한, 상기 지지 브래킷은 동일한 구조를 구비하여 각자 성형 후 적층 조립할 수 있어, 제조 및 보관 역시 간편하다. The present invention has at least the following effects. Since the bracket bodies of the support brackets stacked together through the support structure are well supported and are not easily deformed, the curved portions of the adjacent bracket bodies can maintain a fixed spacing and provide a more flat and stable supporting force to the substrate, It is possible to prevent the substrate from being damaged due to excessive deformation, and to prevent the scratch damage or even the breakage due to the automatic substrate entry / exit device being struck due to excessive deformation. Further, it is possible to further provide a rear opening so that a good convection effect can be provided in the drying process. However, there is no possibility that the support stability of the bracket body of each supporting bracket near the rear opening is lowered. In addition, the support bracket is connected to the housing through two coupling plates, and the two coupling plates are detachable, so that the support brackets can be replaced by a different number of layers of supporting units The material and storage cost can also be reduced. In addition, the support brackets have the same structure, and each can be formed and stacked and assembled, so that manufacturing and storage are also simple.

본 고안의 기타 특징 및 효과는 도면의 실시방식을 참고하여 분명하게 나타내고자 한다. 그 중,
도 1은 본 고안의 기판 수납용 컨테이너의 제1 실시예의 입체도이다.
도 2는 상기 제1 실시예를 다른 시각에서 바라본 입체도이다.
도 3은 상기 제1 실시예에서 도어 몸체를 제거한 후의 상태 입체도이다.
도 4는 상기 제1 실시예에서 후면 개구를 개방한 상태의 입체 분해도이다.
도 5는 상기 제1 실시예의 입체분해도로서, 지지 유닛과 하우징의 조립 관계를 설명한다.
도 6은 상기 제1 실시예의 상기 지지 유닛의 입체도이다.
도 7은 상기 제1 실시예의 지지 브래킷의 평면도이다.
도 8은 상기 제1 실시예의 상기 지지 브래킷의 입체도이다.
도 9는 상기 제1 실시예의 상기 지지 브래킷을 다른 시각에서 바라본 입체도이다.
도 10은 상기 제1 실시예의 상기 지지 유닛의 후면도이다.
도 11은 상기 제1 실시예의 상기 지지 유닛의 불완전한 측면도이다.
도 12는 상기 제1 실시예의 상기 지지 유닛의 불완전한 단면 입체도이다.
도 13은 본 고안의 기판 수납용 컨테이너의 제2 실시예의 입체도로서, 그 중 도어 몸체는 도시되지 않았다.
도 14는 상기 제2 실시예의 입체 분해도이다.
도 15는 상기 제2 실시예의 지지 브래킷의 입체도이다.
도 16은 상기 제2 실시예의 지지 브래킷의 또 다른 실시 형태의 평면도이다.
도 17은 상기 제2 실시예의 단면도이다.
도 18은 도 17의 국부 영역 확대도이다.
도 19는 상기 제2 실시예의 또 다른 단면도이다.Other features and advantages of the present invention will be apparent from the description of the drawings. among them,
1 is a perspective view of a first embodiment of a substrate storage container according to the present invention.
2 is a three-dimensional view of the first embodiment as viewed from a different viewpoint.
3 is a state diagram of a state after the door body is removed in the first embodiment.
4 is a three-dimensional exploded view showing a state in which the rear opening is opened in the first embodiment.
Fig. 5 is a three-dimensional exploded view of the first embodiment, illustrating the assembling relationship between the support unit and the housing.
6 is a perspective view of the support unit of the first embodiment.
7 is a plan view of the support bracket of the first embodiment.
8 is a three-dimensional view of the support bracket of the first embodiment.
9 is a perspective view of the support bracket of the first embodiment viewed from a different viewpoint.
10 is a rear view of the support unit of the first embodiment.
11 is an incomplete side view of the support unit of the first embodiment.
12 is an incomplete cross-sectional stereoscopic view of the support unit of the first embodiment.
Fig. 13 is a perspective view of a second embodiment of the substrate storage container according to the present invention, of which the door body is not shown.
14 is a three-dimensional exploded view of the second embodiment.
15 is a three-dimensional view of the support bracket of the second embodiment.
16 is a plan view of another embodiment of the support bracket of the second embodiment.
17 is a sectional view of the second embodiment.
18 is an enlarged view of the local area of Fig.
19 is another sectional view of the second embodiment.

본 고안을 상세히 설명하기 전, 이하 설명 내용 중 유사한 소자는 동일한 번호로 표시하였음을 주의해야 한다.Before describing the present invention in detail, it should be noted that similar elements in the following description are designated by the same numerals.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 고안의 기판 수납용 컨테이너의 제1 실시예는 복수의 기판(5)을 수납하기 위한 것으로서, 특히 원형 기판(5)에 적용되며, 상기 컨테이너는 수용 챔버(11)를 한정하는 하우징(1) 및 지지 유닛(2)을 포함한다.1 to 5, a first embodiment of a substrate storage container according to the present invention for accommodating a plurality of substrates 5 is applied to a circular substrate 5 in particular, 11 and a support unit 2. The housing 1 includes a housing 1,

상기 하우징(1)은 하우징 몸체(12) 및 도어 몸체(13)를 포함한다. 상기 하우징 몸체(12)는 바닥벽(121), 상기 바닥벽(121)과 상하로 마주보는 상측벽(122), 상기 바닥벽(121)과 상기 상측벽(122) 양측에 각각 연결되는 측벽(123), 및 상기 바닥벽(121), 상기 상부벽(122) 및 상기 두 측벽(123)을 연결하는 후측벽(124)을 구비하고, 상기 후측벽(124)과 마주보는 전면 개구(125)를 한정한다. 상기 도어 몸체(13)는 상기 전면 개구(125)를 밀폐하도록 상기 하우징(12)과 분리 가능하게 조합되고, 또한 상기 하우징(12)과 함께 상기 수용 챔버(11)를 한정한다. 본 실시예에서, 상기 하우징(12)의 후측벽(124)은 상기 전면 개구(125)와 대향하면서 수용 챔버(11)와 연통되는 후면 개구(126)를 형성하고, 또한 상기 하우징(1)은 상기 후면 개구(126)를 밀폐하도록 상기 후측벽(124)과 분리 가능하게 조합되는 후면 커버(14)를 더 포함한다. 상기 후면 개구(126)는 상기 후측벽(124)의 중간 부위에 형성되어 상기 상하 방향(D1)으로 연장되며, 상기 전면 개구(125)와 공기의 대류를 형성하는 통로 역할을 함으로써, 세척 과정 완료 후 건조를 실시하고자 할 때, 상기 수용 챔버(11) 내의 부재 또는 기판(5)이 균일하게 열을 받아 쉽게 건조될 수 있다. 본 실시예에서, 상기 후면 개구(126)의 상하 양측은 대류 통로의 범위를 증가시키도록 각각 상기 상측벽(122) 및 상기 바닥벽(121)과 인접하다.The housing (1) includes a housing body (12) and a door body (13). The housing body 12 includes a bottom wall 121, an upper wall 122 facing upward and downward from the bottom wall 121, a side wall 122 connected to both the bottom wall 121 and the upper wall 122, 123 and a rear wall 124 connecting the bottom wall 121, the top wall 122 and the two side walls 123 and having a front opening 125 facing the rear wall 124, . The door body 13 is detachably combined with the housing 12 to seal the front opening 125 and defines the receiving chamber 11 with the housing 12. The rear wall 124 of the housing 12 defines a rear opening 126 communicating with the accommodating chamber 11 and opposed to the front opening 125, And a rear cover 14 detachably coupled to the rear side wall 124 to seal the rear opening 126. [ The rear opening 126 is formed at an intermediate portion of the rear side wall 124 and extends in the up and down direction D1 to serve as a passage forming a convection flow with the front opening 125, The member or the substrate 5 in the accommodation chamber 11 can be uniformly heated and easily dried. In this embodiment, the upper and lower sides of the rear opening 126 are adjacent to the upper wall 122 and the bottom wall 121, respectively, to increase the range of the convection passages.

상기 후면 커버(14)는 필요에 따라 상기 후측벽(124)과 조합하여 수용 챔버(11) 내의 청결을 유지하도록 상기 후면 개구(126)를 밀폐하거나, 또는 건조 등 제조 공정을 실시 시 상기 후면 커버(14)를 상기 후측벽(124)으로부터 분리할 수 있다. 또한, 도 4에 도시된 후면 커버(14)는 가장 간단한 평판형 구조를 예로 든 것이다. 실제 응용에서, 후면 커버(14)는 필요에 따라 각종 상이한 디자인 또는 구조로 제작할 수 있다. 예를 들어 호면형 디자인 또는 표면에 데이터카드 슬롯 또는 스크루/스크루시트 등 부가 구조를 추가할 수 있다. 이밖에, 후면 커버(14)는 필요에 따라 투명 또는 불투명하거나, 심지어 특정 파장대 범위의 광선만 통과하도록 허용되는 재료로 제작될 수도 있다. 예를 들어, 후면 커버(14)를 투명 재료로 제작 시, 즉 제조 과정에서, 작업자는 이 투명한 후면 커버(14)를 통해 본 실시예가 제공하는 컨테이너에 수납된 기판(5)의 상태를 관찰하여, 이상이 발생한 경우 즉시 처리할 수 있다.The rear cover 14 may be configured to seal the rear opening 126 to maintain cleanliness in the receiving chamber 11 in combination with the rear side wall 124 if necessary, (14) from the rear side wall (124). Further, the rear cover 14 shown in Fig. 4 exemplifies the simplest flat structure. In practical applications, the back cover 14 may be fabricated in a variety of different designs or configurations as desired. For example, an additional structure such as a data card slot or a screw / screw seat can be added to the surface of the arc-shaped design or surface. In addition, the rear cover 14 may be made of a material that is transparent or opaque as required, or even allowed to pass only light rays in a specific wavelength range. For example, when the rear cover 14 is made of a transparent material, that is, in the manufacturing process, the operator observes the state of the substrate 5 housed in the container provided by this embodiment through the transparent rear cover 14 , And can be processed immediately if an abnormality occurs.

도 5 내지 도 8을 참조하면, 상기 지지 유닛(2)은 상기 수용 챔버(11)에 위치하는 복수의 지지 브래킷(3)을 포함한다. 각각의 지지 브래킷(3)은 만곡형이면서 기판(5)을 지지하기 위한 브래킷 몸체(31), 및 상기 브래킷 몸체(31)에 연결되는 적어도 하나의 지지 구조(32)를 구비하며, 본 실시예에서는 각각의 상기 브래킷 몸체(31)에 2개의 지지 구조(32)가 연결된 것을 예로 들었다. 상기 브래킷 몸체(31)는 서로 간격을 두고 마주보는 2개의 암부(311), 및 상기 2개의 암부(311) 사이에 연결되는 만곡부(312)를 구비하고, 내측 가장자리(313) 및 외측 가장자리(314)를 구비하며, 또한 상기 2개의 암부(311)는 상기 하우징(1)과 연결된다.5 to 8, the support unit 2 includes a plurality of support brackets 3 located in the accommodating chamber 11. As shown in Fig. Each support bracket 3 has a bracket body 31 for supporting the substrate 5 in a curved shape and at least one support structure 32 connected to the bracket body 31, Two supporting structures 32 are connected to each of the bracket bodies 31. In this case, The bracket body 31 has two arm portions 311 facing each other with a space therebetween and a curved portion 312 connected between the two arm portions 311. The inner edge 313 and the outer edge 314 And the two arm portions 311 are connected to the housing 1.

본 실시예에서, 상기 지지 유닛(2)은 각각 상기 두 측벽(123)에 설치되며 상기 상하 방향(D1)으로 배열되는 복수의 제1 고정 구조(41)를 더 포함하고, 또한 각각의 상기 지지 브래킷(3)의 상기 브래킷 몸체(31)는 각각 상기 2개의 암부(311)에 설치되는 2개의 제2 고정 구조(33)를 더 구비하며, 상기 2개의 제2 고정 구조(33)는 각각 상기 두 측벽(123) 상의 대응되는 상기 제1 고정 구조(41)와 결합 고정된다. 각 그룹의 서로 대응되는 상기 제1 고정 구조(41)와 상기 제2 고정 구조(33)는 서로 요철로 정합되어 상호 끼움 체결 또는 감합 고정되는 구조이다.In this embodiment, the supporting unit 2 further comprises a plurality of first fixing structures 41 which are respectively installed on the two side walls 123 and are arranged in the up and down direction D1, The bracket body 31 of the bracket 3 may further include two second fixing structures 33 provided on the two arm portions 311 respectively and the two second fixing structures 33 may include And is fixedly engaged with the corresponding first fixing structure 41 on the two side walls 123. The first fixing structure 41 and the second fixing structure 33 corresponding to each group are matched to each other by unevenness and are mutually fitted or fixed by fitting.

본 실시예에서, 상기 지지 유닛(2)은 상기 제1 고정 구조(41)가 설치되는 2개의 결합판(4)을 더 포함하며, 상기 2개의 결합판(4)은 상기 두 측벽(123)에 각각 분리 가능하게 고정된다. 도 10 및 도 11을 동시에 참조하면, 본 실시예에서, 각각의 상기 제1 고정 구조(41)는 전후 방향(D2)을 따라 연장되는 스트립형 오목홈의 형상이고, 또한 각각의 상기 제2 고정 구조(33)는 스트립형 편상이면서 대응되는 암부(311)의 외측 가장자리(314)에 연결되고 상기 암부(311)와 수직으로 연결되어 대응되는 제1 고정 구조(41)에 끼움 설치되며, 또한 대응되는 각각의 제2 고정 구조(33)는 나사(미도시)로 결합판(4)의 관통공(41) 및 상기 제2 고정 구조(33) 상의 잠금공(331)을 관통하여 상기 제2 고정 구조(33)를 상기 결합판(4)에 고정시킴으로써 고정을 보강한다.The supporting unit 2 further includes two engaging plates 4 on which the first fixing structure 41 is installed and the two engaging plates 4 are fixed to the two side walls 123, Respectively. 10 and 11, in the present embodiment, each of the first fixing structures 41 is in the shape of a strip-shaped concave groove extending along the front-rear direction D2, and each of the second fixing The structure 33 is connected to the outer edge 314 of the corresponding arm 311 while being connected to the arm 311 in a vertical direction so as to be fitted in the corresponding first fixing structure 41, Each of the corresponding second fixing structures 33 penetrates the through hole 41 of the engaging plate 4 and the locking hole 331 on the second fixing structure 33 with a screw (not shown) The fixing structure is reinforced by fixing the fixing structure (33) to the coupling plate (4).

변화된 실시 형태에서, 상기 제1 고정 구조(41)는 단면이 T형이면서 개구가 상기 전면 개구(125) 방향을 향하는 그루브형 슬라이딩홈으로 설계할 수도 있다. 조합 시 각각의 지지 브래킷(3) 양측의 제2 고정 구조(33)를 상기 전후 방향(D2)을 따라 전방으로부터 후방으로 단면이 T형 그루브 형상인 대응되는 제1 고정 구조(41)에 삽입하기만 하면 조립 및 고정이 완료된다. 또 다른 변화된 실시 형태 중, 상기 제1 고정 구조(41)는 상기 두 측벽(123)에 직접 형성될 수도 있으며 결합판(4)을 설치할 필요가 없음을 이해할 수 있을 것이다.In a modified embodiment, the first fixing structure 41 may be designed as a groove-shaped sliding groove whose cross section is T-shaped and whose opening faces the front opening 125. The second fixing structures 33 on both sides of the respective supporting brackets 3 are inserted into the corresponding first fixing structures 41 having a T-shaped groove shape from the front to the rear along the front-rear direction D2 Assembly and fixing are completed. It is to be understood that, in another modified embodiment, the first fixing structure 41 may be formed directly on the two side walls 123 and it is not necessary to provide the engaging plate 4.

또한, 상기 제2 고정 구조(33)를 상기 두 결합판(4) 또는 상기 두 측벽(123)에 직접 고정 또는 접합시키거나, 또는 상기 2개의 암부(311)를 상기 하우징(1)과 일체형으로 연결할 수도 있으며, 본 실시예로 한정되지 않는다. 다시 말해, 각각의 지지 브래킷(3)의 2개의 암부(311)와 상기 하우징(1)의 연결 방식은 본 실시예로 한정되지 않고, 직접 연결 또는 간접 연결 모두 실시 가능하다. 그러나 상기 2개의 결합판(4)이 설치된 경우 탄력적으로 조정을 추가할 수 있으며, 아래에서 추가로 설명할 것이다.The second fixing structure 33 may be fixed or bonded directly to the two engaging plates 4 or the two side walls 123 or the two arm portions 311 may be integrally formed with the housing 1 And the present invention is not limited to this embodiment. In other words, the manner in which the two arm portions 311 of the respective support brackets 3 are connected to the housing 1 is not limited to this embodiment, and both direct connection and indirect connection are possible. However, adjustment can be added flexibly when the two coupling plates 4 are installed, and will be further described below.

각각의 지지 브래킷(3)의 지지 구조(32)는 브래킷 몸체(31)의 만곡부(312) 외측 가장자리(314) 부위에 인접도록 설치되고, 상기 지지 브래킷(3)의 브래킷 몸체(31)는 상하 방향(D1)으로 서로 이격되게 배열되며, 또한 지지 구조(32)를 통해 인접한 브래킷 몸체(31)를 지지함으로써, 인접한 브래킷 몸체(31)의 만곡부(312)가 고정된 간격을 유지한다. 다시 말해, 만곡부(312)를 지지함으로써 만곡부(312)가 아래로 쳐져 변형되는 것을 방지한다.The support structure 32 of each support bracket 3 is installed adjacent to the outer edge 314 of the bent portion 312 of the bracket body 31 and the bracket body 31 of the support bracket 3 is vertically And the bent portion 312 of the adjacent bracket body 31 maintains the fixed spacing by supporting the adjacent bracket body 31 through the support structure 32. [ In other words, by supporting the curved portion 312, the curved portion 312 is prevented from falling down and deformed.

본 실시예에서, 각각의 지지 브래킷(3)의 2개의 지지 구조(32)는 각각 상기 두 측벽(123)과 상기 후측벽(124)의 교접 부위에 인접하여 상기 후면 개구(126)(도 4 참조) 양측에 위치하며, 상기 전면 개구(125)와 상기 후면 개구(126) 사이의 통로에 위치하는 것이 아니므로, 따라서 상기 전면 개구(125)와 상기 후면 개구(126) 사이의 공기 흐름을 방해하지 않는다. 각각의 지지 브래킷(3)은 하나의 지지 구조(32)만 설치할 수도 있음을 이해할 수 있을 것이며, 예를 들어 만곡부(312)의 중간 구간에 설치하거나, 또는 3개 이상의 지지 구조(32)를 설치할 수도 있으며, 이에는 제한이 없다In this embodiment, the two support structures 32 of each support bracket 3 each have a rear opening 126 (Fig. 4 (b)) adjacent to the abutting portion of the two side walls 123 and the rear side wall 124, And therefore does not interfere with the airflow between the front opening 125 and the rear opening 126, as it is located on both sides and is not in the path between the front opening 125 and the rear opening 126 I never do that. It will be appreciated that each support bracket 3 may be provided with only one support structure 32 and may be installed in the middle section of the bend section 312 or with three or more support structures 32 There is no limit to this.

도 7에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서, 각각의 지지 브래킷(3)의 브래킷 몸체(31)는 C형이며, 상기 만곡부(312) 부위의 내측 가장자리(313)는 단일한 곡률을 갖는다. 상기 2개의 암부(311)는 각각 상기 만곡부(312)에 연결되는 연장 구간(311a) 및 상기 연장 구간(311a)에 연결되는 말미 구간(311b)을 구비한다. 상기 연장 구간(311a) 부위의 내측 가장자리(313)는 상기 만곡부(312) 부위의 내측 가장자리(313)로부터 만곡 연장되고 동일한 곡률을 갖는다. 상기 연장 구간(311a) 부위의 외측 가장자리(314)는 상기 만곡부(312) 부위에 연결되는 외측 가장자리(314)로부터 직선으로 연장되고, 또한 상기 말미 구간(311b) 부위의 외측 가장자리(314)는 상기 연장 구간(311a) 부위에 연결되는 외측 가장자리(314)로부터 직선으로 연장되어 상기 하우징(1)과 대응 및 연결된다. 상기 말미 구간(311b) 부위의 내측 가장자리(313)는 상기 연장 구간(311a) 부위의 내측 가장자리(313)로부터 점차 외측 가장자리(314)와 평행한 방향으로 연장되어, 상기 연장 구간(311a)의 폭(W1)이 상기 만곡부(312)에 연결되는 일단으로부터 상기 말미 구간(311b)에 연결되는 일단을 향해 점차 넓어지고, 또한 상기 말미 구간(311b)의 폭(W2)은 상기 연장 구간(311a)의 최대 폭보다 크거나 같을 수 있으며, 다시 말해 상기 말미 구간(311b)의 폭(W2)은 상기 연장 구간(311a)의 폭(W1)의 최대치보다 크거나 같을 수 있다. 이와 같이 하면, 상기 브래킷 몸체(31)의 상기 전방 개구(125) 일단에 근접한 개구 폭을 최대한 축소시켜, 자동 기판 인입출 장치의 로봇팔이 드나드는 폭과 일치하는 개구만 남김으로써, 기판의 측변 및 후방 가장자리만 지지할 수 있는 종래의 U형 지지 구조와 달리, 기판(5)을 지지 시, 기판(5)의 측방 및 전방 가장자리를 더욱 큰 범위로 지지할 수 있다. 따라서 비교적 우수한 지지력을 제공할 수 있어 기판(5)이 중력 작용에 의해 아래로 쳐지거나 또는 변형되는 양을 감소시킬 수 있다.7, in this embodiment, the bracket body 31 of each support bracket 3 is C-shaped, and the inner edge 313 of the curved portion 312 has a single curvature. The two arm portions 311 each have an extension section 311a connected to the curved section 312 and a tail section 311b connected to the extension section 311a. The inner edge 313 of the extended section 311a is curved and extended from the inner edge 313 of the curved section 312 and has the same curvature. The outer edge 314 of the extended section 311a extends straight from the outer edge 314 connected to the bent section 312 and the outer edge 314 of the end section 311b extends from the outer edge 314, Extends in a straight line from the outer edge 314 connected to the extension section 311a and is connected to and connected to the housing 1. [ The inner edge 313 of the tail section 311b extends in a direction parallel to the outer edge 314 from the inner edge 313 of the extension section 311a to form a width of the extension section 311a The width W1 of the end section 311b is gradually increased from one end connected to the curved section 312 to one end connected to the end section 311b and the width W2 of the end section 311b is gradually increased The width W2 of the tail section 311b may be greater than or equal to the maximum width W1 of the extension section 311a. By doing so, the width of the opening near the one end of the front opening 125 of the bracket body 31 is reduced to the maximum, and only the opening corresponding to the width of the robot arm of the automatic substrate loading / unloading apparatus is left, Unlike the conventional U-shaped support structure which can support only the front edge and the rear edge of the substrate 5, the lateral and front edges of the substrate 5 can be supported to a larger extent when the substrate 5 is supported. Therefore, it is possible to provide a relatively excellent supporting force, and it is possible to reduce the amount by which the substrate 5 is struck down or deformed by gravity action.

도 8과 도 9를 참조하면, 각각의 지지 구조(32)는 상기 만곡부(312) 부위의 외측 가장자리(314)에 연결되는 지지부(321) 및 위치 제한부(322)를 구비하고, 상기 위치 제한부(322)와 상기 지지부(321)는 상기 상하 방향(D1)에서 각각 상기 만곡부(312)의 반대되는 양측에 상하로 서로 어긋나게 돌출된다. 상기 지지부(321)는 상기 만곡부(312)에 서로 간격을 두고 연결되는 2개의 연결암(321a), 상기 두 연결암(321a) 저단에 연결되는 연결빔(321b), 상기 만곡부(312) 부위의 내측 가장자리(313) 방향으로 상기 연결빔(b) 표면에 돌출되는 체결블록(321c), 및 각각 상기 두 연결암(321a)의 표면으로부터 상기 만곡부(312) 부위의 내측 가장자리(313) 방향으로 돌출되는 지지 기둥(321d)을 더 구비한다. 상기 위치 제한부(322)는 체결홈(322a)을 구비하며, 또한 상기 위치 제한부(322)는 상기 상하 방향(D1)에서의 투영이 상기 두 지지기둥(321d) 사이에 위치한다.8 and 9, each support structure 32 includes a support portion 321 and a position restricting portion 322 connected to the outer edge 314 of the curved portion 312, The support portion 322 and the support portion 321 protrude upward and downward on opposite sides of the curved portion 312 in the vertical direction D1. The supporting part 321 includes two connecting arms 321a connected to the curved part 312 with a gap therebetween, a connecting beam 321b connected to the lower ends of the two connecting arms 321a, A coupling block 321c protruding from the surface of the coupling arm 321a toward the inner edge 313 of the curved portion 312, And a supporting column 321d. The position restricting portion 322 has a locking groove 322a and the position restricting portion 322 is positioned between the two supporting pillars 321d in the vertical direction D1.

별도로 도 10 내지 도 12를 참조하면, 2개의 인접한 지지 브래킷(3) 지지 구조(32)의 지지부(321)마다 상기 상하 방향(D1)에서 서로 맞닿게 연결되고, 또한 두 인접한 지지 브래킷(3) 중 하나의 위치 제한부(322)와 그 중 또 다른 지지부(321)마다 상기 만곡부(312)의 곡률 중심 방향으로 상호 인접하며, 또한 그 중 하나의 지지부(321)의 체결 블록(321c)이 그 중 또 다른 하나의 위치 제한부(322)의 체결홈(322a)에 끼움 설치됨과 동시에, 그 중 하나의 위치 제한부(322)는 그 중 또 다른 하나의 지지부(321)의 두 지지기둥(321d) 사이에 위치하고, 또한 상기 두 지지 기둥(321d)은 상기 두 인접한 지지 브래킷(3)의 만곡부(312) 사이에 저지된다. 이에 따라, 두 인접한 지지 브래킷(3)의 지지 구조(32)마다 브래킷 몸체(31)를 지지할 수 있을 뿐만 아니라, 상호 체결되어 위치를 제한할 수 있어 전체적인 구조가 더욱 안정적이다.10 to 12, two adjacent support brackets 3 are connected to each other in the vertical direction D1 for each support portion 321 of the support structure 32, and two adjacent support brackets 3, And the fastening block 321c of one of the supporting portions 321 is adjacent to the other of the position limiting portions 322 and the other supporting portions 321 in the direction of the center of curvature of the curved portion 312, One of the position restricting portions 322 is fitted to the two supporting pillars 321d of the other supporting portion 321, And the two support pillars 321d are interposed between the curved portions 312 of the two adjacent support brackets 3. [ Accordingly, not only the bracket body 31 can be supported for each support structure 32 of the two adjacent support brackets 3, but also the position can be restricted by mutual engagement, so that the overall structure is more stable.

본 실시예에서, 각각의 지지 브래킷(3)의 지지 구조(32)의 지지부(321)는 브래킷 몸체(31)로부터 하향 돌출되고, 위치 제한부(322)는 브래킷 몸체(31)로부터 상향 돌출된다. 그러나 변화된 실시 형태에서, 지지부(321)는 브래킷 몸체(31)로부터 상향 돌출되고, 위치 제한부(322)는 브래킷 몸체(31)로부터 하향 돌출될 수도 있음을 이해할 수 있을 것이다. 또한, 지지 구조(32)에 지지부(321)만 구비하도록 실시하는 것 역시 가능하며, 인접한 두 브래킷(31) 사이를 지지할 수만 있으면 된다. 본 실시예에서 상하 지지 구조(32)가 상호 끼움 체결되어 위치를 제한하도록 한 설계는 전체 구조를 더욱 안정적이게 할 수 있다. 물론, 끼움 체결로 위치를 제한하는 설계는 다양한 변화 방식이 있으며, 본 실시예로 한정되는 것은 아니다.In this embodiment, the support portion 321 of the support structure 32 of each support bracket 3 protrudes downward from the bracket body 31 and the position restricting portion 322 protrudes upward from the bracket body 31 . It will be appreciated, however, that in the modified embodiment, the support portion 321 may protrude upward from the bracket body 31 and the position restricting portion 322 may protrude downward from the bracket body 31. It is also possible to provide only the support portion 321 to the support structure 32 and it is only necessary to support between the adjacent two brackets 31. [ In the present embodiment, the design in which the upper and lower support structures 32 are mutually fitted and locked to restrict the position can make the entire structure more stable. Needless to say, the design for restricting the position by the fitting is variously changing, and the present invention is not limited to this embodiment.

이밖에, 최상방 및 최하방에 위치한 지지 브래킷(3)의 지지 구조(32)는 실제 필요에 따라 조정 가능하며, 예를 들어 최상방에 위치한 지지 브래킷(3)의 지지 구조(32)는 상방에 위치한 위치 제한부(322) 또는 지지부(321)를 설치하지 않고, 최하방에 위치한 지지 브래킷(3)의 지지 구조(32)는 하향 돌출된 지지부(321) 또는 위치 제한부(322)를 설치하지 않음으로써, 상기 하우징(1) 및 상기 수용 챔버(11)의 높이 방향에 소요되는 공간을 줄일 수 있다.In addition, the support structure 32 of the support brackets 3 located in the uppermost and lowermost rooms can be adjusted according to actual needs, for example the support structure 32 of the uppermost support bracket 3 is located above The supporting structure 32 of the support bracket 3 located at the lowermost position is not provided with the downwardly protruding support portion 321 or the position limiting portion 322 without installing the position restricting portion 322 or the support portion 321 The space required for the height direction of the housing 1 and the accommodating chamber 11 can be reduced.

다시 도 5와 도 10을 참조하면, 본 실시예에서, 상기 두 결합판(4)은 상기 두 측벽(123)에 분리 가능하게 고정되며, 이에 따라, 사용의 필요에 따라 지지 유닛(2)의 구조를 조정할 수 있다. 예를 들어 25개의 제1 고정 구조(41)를 갖는 결합판(4)을 사용하되, 홀수층의 제1 고정 구조(41) 위치에만 지지 브래킷(3)을 설치하여 13장의 기판(5) 수납에 적용되는 컨테이너를 형성하거나, 또는 본 실시예와 같은 지지 유닛(2)은 13장의 기판(5) 수납에 적용될 수 있고, 또한 높이가 다른 지지 구조(32)를 갖는 지지 브래킷(3)을 사용하여, 제2 고정 구조(33)의 높이 및 결합판(4)의 제1 고정 구조(41)의 간격을 변경함으로써 브래킷 몸체(31) 사이의 간격을 조정하고, 간격의 축소를 통해 지지 브래킷(3)의 수량을 증가시킬 수 있으며, 예를 들어 25장의 기판(5) 수납에 적용될 수 있는 지지 유닛(2)을 형성하거나, 또는 간격을 증가시켜 지지 브래킷(3)의 수량을 감소시킬 수 있다. 다시 말해, 상이한 층수(지지 브래킷(3)의 수량)를 갖는 다양한 지지 유닛(2)을 제작하여, 상기 두 결합판(4)을 상기 두 측벽(123)에 분리 가능하게 고정시킴으로써, 사용의 필요에 따라 상이한 층수의 지지 유닛(2)을 교체하여, 두께 또는 크기가 다른 기판(5)에 적용할 수 있다. 또한 생산에 있어, 동일한 크기의 하우징(1)에 층수가 다른 지지 유닛(2)을 결합할 수 있어 재료와 보관 원가를 감소시킬 수 있고, 생산의 탄력성을 증가시킬 수 있다. 또한, 본 실시예에서, 상기 지지 브래킷(3)은 동일한 구조를 구비하여 각자 성형 후, 적층 조립할 수 있어 제조 및 보관 역시 간편하다.5 and 10, in this embodiment, the two engaging plates 4 are detachably fixed to the two side walls 123, so that the support unit 2 The structure can be adjusted. For example, it is possible to use a coupling plate 4 having 25 first fixing structures 41, in which the supporting brackets 3 are provided only at the positions of the first fixing structures 41 of the odd numbered layers, Or the supporting unit 2 such as the present embodiment can be applied to the storage of thirteen sheets of the board 5 and the support bracket 3 having the supporting structure 32 of different height can be used The distance between the bracket bodies 31 is adjusted by changing the height of the second fixing structure 33 and the interval of the first fixing structure 41 of the engaging plate 4, 3 can be increased and the number of support brackets 3 can be reduced by forming a support unit 2 which can be applied, for example, to accommodate 25 boards 5, or by increasing the spacing . In other words, by creating various support units 2 with different numbers of layers (the number of support brackets 3) and detachably securing the two engagement plates 4 to the two side walls 123, It is possible to replace the support units 2 having different numbers of layers according to the thicknesses or sizes of the substrates 5 and to apply them to the substrates 5 having different thicknesses or sizes. Further, in production, the support unit 2 having a different number of layers can be joined to the housing 1 of the same size, so that the material and the storage cost can be reduced, and the elasticity of production can be increased. Further, in the present embodiment, the support brackets 3 have the same structure, and can be formed and stacked and assembled after each molding, so that manufacturing and storage are also simple.

이밖에, 지지 유닛(2) 구조를 조정할 필요가 없는 경우, 상기 결합판(4)은 상기 두 측벽(123)과 일체형으로 연결할 수도 있으며, 예를 들어 매립식 구조(insert molding) 방식으로 양자를 연결할 수 있다. 각종 상이한 제조 공정의 필요를 만족시킬 수 있도록, 본 실시예가 제공하는 컨테이너의 하우징(1)과 지지 유닛(2)은 모두 각종 특성이 다른 재료로 제작될 수 있으며, 예를 들어 정전기를 제거할 수 있으면서 180℃ 이상의 온도를 견딜 수 있는 플라스틱 재료로 제작될 수 있다.In addition, when it is not necessary to adjust the structure of the support unit 2, the coupling plate 4 may be integrally connected to the two side walls 123, and may be formed by, for example, an insert molding method, You can connect. In order to satisfy the needs of various different manufacturing processes, the housing 1 and the support unit 2 of the container provided by this embodiment can be made of materials having different properties, for example, And can be made of a plastic material capable of withstanding a temperature of 180 DEG C or higher.

도 13 내지 도 15를 참조하면, 본 고안의 기판 수납용 컨테이너의 제2 실시예는 제1 실시예와 구조상 대체로 동일하다. 다만 제2 실시예에서, 각각의 지지 브래킷(3)의 브래킷 몸체(3)는 서로 간격을 두고 마주보는 2개의 암부(311), 상기 2개의 암부(311) 사이에 연결되는 만곡부(312) 이외에, 상기 만곡부(312)와 연결되면서 상기 2개의 암부(311) 사이에 위치하여 상기 수용 챔버(11) 중앙으로 돌출되는 중간 받침부(315)를 더 구비한다. 본 실시예는 두께가 비교적 얇거나 또는 크기가 비교적 큰 기판(5)(도 3 참조)에 적용될 수 있으며, 상기 중간 받침부(315)를 통해 기판(5) 중앙 부위의 지지력을 증가시켜, 기판(5)이 상기 지지 브래킷(3)의 상기 브래킷 몸체(31)에 놓일 때 더욱 평탄해지고, 과도하게 아래로 쳐지는 현상이 발생하지 않아, 자동 기판 인입출 장치의 로봇팔이 기판을 인입출 시 변형되어 아래로 쳐지는 부위에 부딪히면서 기판(5)이 마찰 손상을 입거나 심지어 파손되는 것을 방지할 수 있다.13 to 15, the second embodiment of the substrate storage container of the present invention is substantially the same in structure as the first embodiment. In the second embodiment, however, the bracket body 3 of each support bracket 3 includes two arm portions 311 facing each other at a distance from each other, a curved portion 312 connected between the two arm portions 311, And an intermediate support portion 315 which is connected to the curved portion 312 and is positioned between the two arm portions 311 and protrudes to the center of the accommodation chamber 11. The present embodiment can be applied to a substrate 5 having a relatively small thickness or a relatively large size (see FIG. 3), and the supporting force of the center portion of the substrate 5 is increased through the intermediate supporting portion 315, (5) is placed on the bracket body (31) of the support bracket (3), the robot arm of the automatic substrate take-out apparatus does not come into contact with the substrate It is possible to prevent the substrate 5 from being frictional damaged or even broken by colliding against the deformed downwardly striking portion.

도 16에 도시된 바와 같이, 변화된 실시 형태에서, 지지 브래킷(3)의 브래킷 몸체(31)는 하나 이상의 중간 받침부(315)를 구비할 수도 있다. 도 16은 2개의 중간 받침부(315)를 구비한 브래킷 몸체(31)를 예로 든 것이다. 지지 브래킷(3)의 브래킷 몸체(31)가 복수의 중간 받침부(315)를 구비하는 경우, 상기 수용 챔버(11)(도14 참조) 중앙에 가까운 상기 중간 받침부(315)의 일단(다시 말해 각각 브래킷 몸체(31)에서 먼 상기 중간 받침부(315))은 상호 연결되어, 전체 구조의 강도를 증가시키며, 이를 통해 기판(5)(도 3 참조)의 중앙 부위에 대하여 더욱 안정적인 지지력을 제공할 수 있다.16, in a variant embodiment, the bracket body 31 of the support bracket 3 may have one or more intermediate support portions 315. [ 16 illustrates an example of a bracket body 31 having two intermediate support portions 315. As shown in Fig. When the bracket body 31 of the support bracket 3 has a plurality of intermediate support portions 315, one end of the intermediate support portion 315 close to the center of the accommodation chamber 11 The intermediate supports 315 farther from the bracket body 31 are interconnected to increase the strength of the overall structure and thereby provide a more stable bearing force against the central portion of the substrate 5 .

이밖에, 도 17 내지 도 19를 함께 참조하면, 제2 실시예에서, 상기 제1 고정 구조(41)는 각각 상기 두 측벽(123)에 직접 설치되며, 각각의 상기 제1 고정 구조(41)는 상기 측벽(123) 표면으로부터 상기 수용 챔버(11) 방향으로 돌출되어 상기 전후 방향(D2)을 따라 연장되는 스트립형 플레이트이고, 또한 각각의 상기 제2 고정 구조(33)는 대응되는 제1 고정 구조(41)를 수용하도록 대응되는 상기 암부(311) 부위의 외측 가장자리(314)로부터 상기 암부(311) 내측으로 오목하게 설치되는 오목홈이다. 변화된 실시 형태에서, 상기 제1 고정 구조(41)는 상기 전후 방향(D2)을 따라 배열되는 하나 또는 복수의 돌출 블록 또는 래치이고, 또한 각각의 제2 고정 구조(33)는 대응되는 돌출 블록 또는 래치가 끼움 설치되도록 대응되는 암부(311) 부위의 외측 가장자리(314)를 따라 설치되는 하나 또는 복수의 오목공이다. 상기 제1 실시예와 같이, 제2 실시예에서, 상기 제1 고정 구조(41)가 설치되는 2개의 결합판(제1 실시예 참조)을 포함하여, 상기 결합판을 통해 대응되는 측벽(123)과 결합 고정될 수도 있다. 또한, 상기 결합판은 사용의 필요에 따라 상기 측벽(123)에 분리 가능하거나 또는 분리되지 않도록 고정되는 형태로 설계될 수도 있다.17 to 19, in the second embodiment, the first fixing structure 41 is provided directly on the two side walls 123, and each of the first fixing structures 41, Like plate projecting from the surface of the side wall 123 in the direction of the accommodating chamber 11 and extending in the anteroposterior direction D2 and each of the second fixing structures 33 has a corresponding first fixing Is a concave groove recessed from the outer edge 314 of the arm portion 311 corresponding to the structure 41 to the inside of the arm portion 311. In a modified embodiment, the first fixing structure 41 is one or a plurality of protruding blocks or latches arranged along the forward and backward directions D2, and each second fixing structure 33 is a corresponding protruding block or latch And one or a plurality of screw holes provided along the outer edge 314 of the arm portion 311 corresponding to the latch. As in the first embodiment, in the second embodiment, two engagement plates (see the first embodiment) in which the first fixing structure 41 is provided, and the corresponding side walls 123 As shown in Fig. In addition, the coupling plate may be designed to be detachably or non-detachably attached to the side wall 123 according to necessity of use.

결론적으로, 지지 구조(32)를 통하여 서로 적층되는 지지 브래킷(3)의 브래킷 몸체(31) 사이가 양호하게 지지되어 쉽게 변형되지 않음으로써, 인접한 브래킷 몸체(31)의 만곡부(312)가 고정된 간격을 유지할 수 있으며, 기판(5)에 더욱 평탄하고 안정적인 지지력을 제공하여, 컨테이너에 수납되는 기판(5)이 과도하게 변형되는 손상이 발생하지 않는 동시에, 기판(5)이 과도한 변형으로 인해 자동 기판 인입출 장치에 부딪혀 스크래치 손상을 입거나 심지어 파열되는 것을 방지할 수도 있다. 이밖에, 상기 지지 브래킷(3)은 2개의 결합판(4)을 통해 상기 하우징(1)과 연결되고, 또한 상기 2개의 결합판(4)은 분리 가능하여, 사용의 필요에 따라 상이한 층수의 지지 유닛(2)을 교체함으로써 두께 또는 크기가 다른 기판(5)에 적용할 수 있어, 재료와 보관 원가를 절감할 수도 있다. 또한, 상기 지지 브래킷(3)은 동일한 구조를 구비하여 각자 성형 후 적층 조립할 수 있어, 제조 및 보관 역시 간편하다. 후면 개구(126)를 추가로 더 설치할 수 있어 건조 과정에서 양호한 대류 효과를 제공할 수 있으나, 단 이로 인하여 후면 개구(126) 부근의 각 지지 브래킷(3)의 브래킷 몸체(31)의 구조 강도 및 지지 안정성이 저하되는 상황은 발생하지 않는다. As a result, the bracket bodies 31 of the support brackets 3 stacked on each other through the support structure 32 are well supported and not easily deformed, so that the curved portions 312 of the adjacent bracket bodies 31 are fixed It is possible to maintain the gap and to provide a more flat and stable supporting force to the substrate 5 so that the damage that the substrate 5 accommodated in the container is excessively deformed does not occur and the substrate 5 is automatically deformed due to excessive deformation It is possible to prevent scratch damage or even rupture by striking the substrate inlet / outlet device. In addition, the support bracket 3 is connected to the housing 1 via two coupling plates 4, and the two coupling plates 4 are detachable so that a different number of layers By replacing the supporting unit 2, it can be applied to the substrate 5 having a different thickness or size, thereby saving the material and the storage cost. Further, the support bracket 3 has the same structure, and each of the support brackets 3 can be formed and stacked and assembled, so that it is also easy to manufacture and store. The rear opening 126 can be further provided so as to provide a good convection effect in the drying process but the structural strength of the bracket body 31 of each supporting bracket 3 near the rear opening 126 and The situation where the support stability is lowered does not occur.

이상의 내용은 단지 본 고안의 실시예일 뿐이며, 이로써 본 고안의 실시 범위를 한정할 수는 없다. 본 고안의 실용신안등록 청구범위 및 특허 명세서 내용에 따라 실시되는 간단한 등가의 변화와 수식은 모두 본 고안의 실용신안등록 청구범위 내에 속한다.The above description is only an example of the present invention, and thus the scope of the present invention can not be limited. The simple equivalence changes and formulas which are carried out according to the scope of the utility model registration claim and the contents of the patent specification of this invention all fall within the scope of the utility model registration claim of this invention.

1: 하우징 2: 지지 유닛
3: 지지 브래킷 4: 결합판
5: 기판 11: 수용 챔버
12: 하우징 몸체 13: 도어 몸체
14: 후면 커버 31: 브래킷 몸체
32: 지지 구조 33: 제2 고저 구조
41: 제1 고정 구조 42: 관통공
121: 바닥벽 122: 상측벽
123: 측벽 124: 후측벽
125: 전면 개구 126: 후면 개구
311: 암(arm)부 311a: 연장 구간
311b: 말미 구간 312: 만곡부
313: 내측 가장자리 314: 외측 가장자리
315: 중간 받침부 321: 지지부
321a: 연결암 321b: 연결빔
321c: 체결 블록 321d: 지지 기둥
322: 위치 제한부 322a: 체결홈
331: 잠금공 D1: 상하 방향
D2: 전후 방향 W1: 연장 구간 폭
W2: 말미 구간 폭1: housing 2: support unit
3: Support bracket 4: Coupling plate
5: substrate 11: accommodating chamber
12: housing body 13: door body
14: rear cover 31: bracket body
32: support structure 33: second and elevation structure
41: first fixing structure 42: through hole
121: bottom wall 122:
123: side wall 124: rear side wall
125: front opening 126: rear opening
311: arm part 311a: extension part
311b: End section 312:
313: Inner edge 314: Outer edge
315: intermediate support portion 321: support portion
321a: connection arm 321b: connection beam
321c: fastening block 321d: support post
322: position restricting portion 322a: fastening groove
331: Locking hole D1: Up and down direction
D2: forward and backward direction W1: extension section width
W2: Width across the tail

Claims (24)

기판 수납용 컨테이너에 있어서,
수용 챔버를 한정하는 하우징; 및
상기 수용 챔버 내에 위치하는 복수의 지지 브래킷을 포함하고, 각각의 상기 지지 브래킷마다 만곡형 브래킷 몸체, 및 상기 브래킷 몸체에 연결되는 적어도 하나의 지지 구조를 구비하며, 상기 브래킷 몸체는 서로 간격을 두고 마주보는 2개의 암부(arm portions), 및 상기 2개의 암부 사이에 연결되는 만곡부를 구비하고, 또한 상기 2개의 암부는 하우징과 연결되며, 상기 지지 구조는 상기 만곡부의 외측 가장자리 부위에 인접하게 설치되고, 상기 지지 브래킷의 상기 브래킷 몸체는 상하 방향에서 서로 간격을 두고 배열되며, 또한 상기 지지 구조를 통해 인접한 상기 브래킷 몸체를 지지함으로써, 인접한 상기 브래킷 몸체의 상기 만곡부가 고정된 간격을 유지하도록 하는 지지 유닛;
을 포함하는 기판 수납용 컨테이너.In the substrate storage container,
A housing defining an accommodating chamber; And
And a plurality of support brackets positioned within the receiving chamber, each bracket having a curved bracket body for each of the support brackets, and at least one support structure connected to the bracket body, And two arm portions connected to the housing, wherein the support structure is provided adjacent to an outer edge portion of the curved portion, The bracket body of the support bracket being arranged at a distance from each other in the vertical direction and supporting the adjacent bracket body through the support structure so that the curved portion of the adjacent bracket body is maintained at a fixed interval;
And a substrate holder. 제1항에 있어서,
2개의 인접한 상기 지지 브래킷의 상기 지지 구조마다 상기 상하 방향에서 서로 맞닿게 연결되는, 기판 수납용 컨테이너.The method according to claim 1,
Wherein the support brackets are connected to each other in such a manner that the support brackets abut against each other in the vertical direction. 제2항에 있어서,
상기 지지 구조는 상기 만곡부 부위의 외측 가장자리에 연결되는 지지부를 구비하며, 2개의 인접한 상기 지지 브래킷의 상기 지지부마다 상기 상하 방향에서 서로 맞닿게 연결되는, 기판 수납용 컨테이너.3. The method of claim 2,
Wherein the support structure has a support portion connected to an outer edge of the curved portion and is connected to the support portions of two adjacent support brackets so as to abut against each other in the up and down direction. 제3항에 있어서,
상기 지지 구조는 위치 제한부를 더 구비하며, 상기 위치 제한부와 상기 지지부는 상기 상하 방향에서 각각 상기 만곡부의 반대되는 양측에 돌출되고, 또한 상하로 어긋나게 위치하며, 2개의 인접한 상기 지지 브래킷 중 하나의 상기 위치 제한부와 그 중 또 다른 하나의 상기 지지부마다 상기 만곡부의 곡률 중심 방향을 향해 서로 인접한, 기판 수납용 컨테이너.The method of claim 3,
Wherein the support structure further includes a position restricting portion, the position restricting portion and the support portion projecting from opposite sides of the curved portion in the up-and-down direction, respectively, and being vertically shifted, and one of the two adjacent support brackets Wherein the position restricting portion and the other one of the supporting portions are adjacent to each other toward the center of curvature of the curved portion. 제4항에 있어서,
상기 위치 제한부는 체결홈을 구비하고, 상기 지지부는 체결블록을 구비하며, 2개의 인접한 상기 지지 브래킷 중 하나의 상기 지지부의 상기 체결블록마다 그 중 또 다른 하나의 상기 위치 제한부의 상기 체결홈에 체결되는, 기판 수납용 컨테이너.5. The method of claim 4,
The position restricting portion includes a fastening groove, and the support portion includes a fastening block. In each of the fastening blocks of one of the two adjacent support brackets, the position restricting portion is fastened to the fastening groove of another position- A container for housing a substrate. 제5항에 있어서,
각각의 상기 지지부는 서로 간격을 두고 상기 만곡부에 연결되는 2개의 연결 암, 및 상기 두 연결암 저단에 연결되는 연결빔을 더 구비하고, 또한 상기 체결블록은 상기 만곡부 부위의 내측 가장자리 방향을 향해 상기 연결 빔 표면에 돌출되는, 기판 수납용 컨테이너.6. The method of claim 5,
Each of the supporting portions further includes two connecting arms connected to the curved portion at intervals and a connecting beam connected to a lower end of the two connecting arms, And protruding from the connecting beam surface. 제6항에 있어서,
상기 지지부는 각각 상기 2개의 연결 암 표면으로부터 상기 만곡부 부위의 내측 가장자리 방향으로 돌출되는 2개의 지지 기둥을 더 구비하고, 또한 상기 위치 제한부는 상기 상하 방향의 투영이 그 중 또 다른 하나의 상기 지지부의 상기 두 지지 기둥 사이에 위치함으로써, 2개의 이웃한 상기 지지 브래킷 중 하나의 상기 위치 제한부마다 그 중 또 다른 하나의 상기 지지부의 상기 2개의 기기 기둥 사이에 위치하도록 하고, 또한 상기 두 지지 기둥은 상기 두 인접한 지지 브래킷의 상기 만곡부 사이에 저지되는, 기판 수납용 컨테이너.The method according to claim 6,
Wherein the support portion further comprises two support posts protruding from the surfaces of the two connection arms in the direction of the inner edge of the curved portion, and the position restricting portion is configured such that the projection in the up- And the support brackets are positioned between the two support posts so that each of the two position support members of the two neighboring support brackets is positioned between the two device posts of the other one of the support members, And is blocked between said curved portions of said two adjacent support brackets. 제1항 내지 제7항 중의 어느 한 항에 있어서,
상기 하우징은 하우징 몸체 및 도어 몸체를 포함하며, 상기 하우징 몸체는 바닥벽, 상기 바닥벽과 상하로 대향하는 상측벽, 각각 상기 바닥벽과 상기 상측벽 양측에 연결되는 2개의 측벽, 및 상기 바닥벽, 상기 상측벽과 상기 2개의 측벽을 연결하는 후측벽을 구비하고, 상기 후측벽과 대향하는 전면 개구가 한정되며, 상기 도어 몸체는 상기 전면 개구를 밀폐하도록 상기 하우징 몸체와 분리 가능하게 조립되어, 상기 하우징 몸체와 함께 상기 수용 챔버를 한정하는, 기판 수납용 컨테이너.8. The method according to any one of claims 1 to 7,
The housing includes a housing body and a door body, the housing body including a bottom wall, an upper wall facing up and down with the bottom wall, two side walls each connected to both the bottom wall and the upper wall, And a rear side wall connecting the upper side wall and the two side walls, wherein a front opening facing the rear side wall is defined, and the door body is detachably assembled to the housing body to close the front opening, And defines the accommodating chamber with the housing body. 제8항에 있어서,
상기 후측벽은 상기 전면 개구와 대향하는 후면 개구가 형성되고, 또한 상기 하우징은 상기 후면 개구를 밀봉하도록 상기 후측벽과 분리 가능하게 조립되는 후면 커버를 더 포함하는, 기판 수납용 컨테이너.9. The method of claim 8,
Wherein the rear wall is formed with a rear opening facing the front opening and the housing further comprises a rear cover releasably assembled with the rear wall to seal the rear opening. 제9항에 있어서,
상기 후면 개구는 상기 후측벽의 중간부위에 형성되어 상기 상하 방향을 따라 연장되는, 기판 수납용 컨테이너.10. The method of claim 9,
Wherein the rear opening is formed at an intermediate portion of the rear wall and extends along the vertical direction. 제10항에 있어서,
각각의 상기 지지 브래킷은 상기 브래킷 몸체에 연결되는 2개의 상기 지지 구조를 구비하고, 또한 상기 2개의 지지 구조는 각각 상기 두 측벽과 상기 후측벽에 인접한 교접 부위 또는 상기 후면 개구 양측에 인접한 부위에 위치하는, 기판 수납용 컨테이너.11. The method of claim 10,
Each of the support brackets having two support structures connected to the bracket body and each of the two support structures being located at a location adjacent to both the side walls and the rear wall adjacent to both sides of the rear opening, A substrate storage container. 제1항에 있어서,
상기 하우징은 하우징 몸체 및 도어 몸체를 포함하며, 상기 하우징 몸체는 바닥벽, 상기 바닥벽과 상하로 대향하는 상측벽, 각각 상기 바닥벽과 상기 상측벽 양측에 연결되는 2개의 측벽, 및 상기 바닥벽, 상기 상측벽과 상기 2개의 측벽을 연결하는 후측벽을 구비하고, 상기 후측벽과 대향하는 전면 개구가 한정되며, 상기 도어 몸체는 상기 전면 개구를 밀폐하도록 상기 하우징 몸체와 분리 가능하게 조립되어, 상기 하우징 몸체와 함께 상기 수용 챔버를 한정하며; 상기 지지 유닛은 각각 상기 두 측벽 부위에 설치되면서 상기 상하 방향으로 배열되는 복수의 제1 고정 구조를 더 포함하고, 또한 각각의 상기 지지 브래킷의 상기 브래킷 몸체는 각각 상기 2개의 암부에 설치되는 2개의 제2 고정 구조를 더 구비하며, 상기 2개의 제2 고정 구조는 각각 상기 두 측벽 상의 대응되는 상기 제1 고정 구조와 결합 고정되는, 기판 수납용 컨테이너.The method according to claim 1,
The housing includes a housing body and a door body, the housing body including a bottom wall, an upper wall facing up and down with the bottom wall, two side walls each connected to both the bottom wall and the upper wall, And a rear side wall connecting the upper side wall and the two side walls, wherein a front opening facing the rear side wall is defined, and the door body is detachably assembled to the housing body to close the front opening, Defining the receiving chamber with the housing body; The supporting unit further includes a plurality of first fixing structures arranged in the up-and-down direction while being installed on the two side wall portions, respectively, and the bracket body of each of the supporting brackets is provided with two Further comprising a second fixing structure, wherein the two second fixing structures are respectively engaged and fixed with corresponding first fixing structures on the two side walls. 제12항에 있어서,
상기 지지 유닛은 상기 제1 고정 구조가 설치되는 2개의 결합판을 더 포함하는, 기판 수납용 컨테이너.13. The method of claim 12,
Wherein the supporting unit further comprises two engaging plates on which the first fixing structure is installed. 제13항에 있어서,
상기 2개의 결합판은 상기 두 측벽에 각각 분리 가능하게 고정되는, 기판 수납용 컨테이너.14. The method of claim 13,
And the two engaging plates are detachably fixed to the two side walls. 제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,
각 그룹의 서로 대응되는 상기 제1 고정구조와 상기 제2 고정 구조는 상호 요철로 정합됨으로써 상호 끼움 체결되거나 또는 감합 고정되는 구조인, 기판 수납용 컨테이너.15. The method according to any one of claims 12 to 14,
Wherein the first fixing structure and the second fixing structure corresponding to each group are mutually fitted or fitted and fixed by being matched with each other by unevenness. 제15항에 있어서,
각각의 상기 제1 고정 구조는 전후 방향을 따라 연장되는 스트립형 오목홈 형상이고, 또한 각각의 상기 제2 고정 구조는 스트립형 편상이며, 대응되는 상기 암부의 외측 가장자리에 연결됨과 아울러 상기 암부와 수직으로 연결됨으로써, 대응되는 상기 제1 고정 구조에 끼움 설치되는, 기판 수납용 컨테이너.16. The method of claim 15,
Wherein each of the first fixing structures has a strip-like concave groove shape extending in the front-rear direction and each of the second fixing structures has a strip-like flat shape and is connected to an outer edge of the corresponding arm portion, And is fitted to the corresponding first fixing structure. 제12항에 있어서,
각 그룹의 서로 대응되는 상기 제1 고정구조와 상기 제2 고정 구조는 상호 요철로 정합됨으로써 상호 끼움 체결되거나 또는 감합 고정되는 구조이며, 또한 각각의 상기 제1 고정 구조는 전후 방향을 따라 연장되어 상기 측벽 표면으로부터 상기 수용 챔버 방향으로 돌출되는 스트립형 플레이트이고, 또한 각각의 상기 제2 고정 구조는 대응되는 상기 제1 고정 구조를 수용하도록 대응되는 상기 암부 부위의 외측 가장자리로부터 상기 암부 내로 오목하게 설치되는 오목홈인, 기판 수납용 컨테이너.13. The method of claim 12,
Wherein the first fixing structure and the second fixing structure corresponding to each group are mutually fitted or fitted and fixed by being matched with each other by unevenness and each of the first fixing structures extends along the front- Shaped plate protruding from the side wall surface toward the accommodating chamber, and each of the second fixing structures is recessed into the arm portion from the outer edge of the corresponding arm portion to accommodate the corresponding first fixing structure A container for accommodating a substrate, wherein the container is a concave groove. 제13항 또는 제14항에 있어서,
각 그룹의 서로 대응되는 상기 제1 고정구조와 상기 제2 고정 구조는 상호 요철로 정합됨으로써 상호 끼움 체결되거나 또는 감합 고정되는 구조이며, 또한 각각의 상기 제1 고정 구조는 전후 방향을 따라 연장되어 상기 결합판 표면으로부터 상기 수용 챔버 방향으로 돌출되는 스트립형 플레이트이고, 또한 각각의 상기 제2 고정 구조는 대응되는 상기 제1 고정 구조를 수용하도록 대응되는 상기 암부 부위의 외측 가장자리로부터 상기 암부 내로 오목하게 설치되는 오목홈인, 기판 수납용 컨테이너. The method according to claim 13 or 14,
Wherein the first fixing structure and the second fixing structure corresponding to each group are mutually fitted or fitted and fixed by being matched with each other by unevenness and each of the first fixing structures extends along the front- Like plate protruding from the engaging plate surface toward the accommodating chamber, and each of the second fixing structures is recessed into the arm portion from the outer edge of the corresponding arm portion to receive the corresponding first fixing structure Wherein the substrate is a concave groove. 제15항에 있어서,
상기 후측벽은 상기 전면 개구와 대향하는 후면 개구가 형성되고, 또한 상기 하우징은 상기 후면 개구를 밀봉하도록 상기 후측벽과 분리 가능하게 조립되는 후면 커버를 더 포함하는, 기판 수납용 컨테이너.16. The method of claim 15,
Wherein the rear wall is formed with a rear opening facing the front opening and the housing further comprises a rear cover releasably assembled with the rear wall to seal the rear opening. 제19항에 있어서,
상기 후면 개구는 상기 후측벽의 중간부위에 형성되어 상기 상하 방향을 따라 연장되는, 기판 수납용 컨테이너.20. The method of claim 19,
Wherein the rear opening is formed at an intermediate portion of the rear wall and extends along the vertical direction. 제20항에 있어서,
각각의 상기 지지 브래킷은 상기 브래킷 몸체에 연결되는 2개의 상기 지지 구조를 구비하고, 또한 상기 2개의 지지 구조는 각각 상기 두 측벽과 상기 후측벽에 인접한 교접 부위 또는 상기 후면 개구 양측에 인접한 부위에 위치하는, 기판 수납용 컨테이너.21. The method of claim 20,
Each of the support brackets having two support structures connected to the bracket body and each of the two support structures being located at a location adjacent to both the side walls and the rear wall adjacent to both sides of the rear opening, A substrate storage container. 제1항에 있어서,
각각의 상기 지지 브래킷의 상기 브래킷 몸체는 C형이면서 상기 만곡부 부위의 내측 가장자리에 단일한 곡률을 가지며, 상기 2개의 암부는 각각 상기 만곡부에 연결되는 연장 구간 및 상기 연장 구간에 연결되는 말미 구간을 구비하고, 상기 연장 구간 부위의 내측 가장자리는 상기 만곡부 부위의 내측 가장자리로부터 연장되면서 동일한 곡률을 구비하며, 상기 연장 구간 부위의 외측 가장자리는 상기 만곡부 부위에 연결되는 외측 가장자리로부터 직선으로 연장되고, 또한 상기 말미 구간 부위의 외측 가장자리는 상기 연장 구간 부위에 연결되는 외측 가장자리로부터 직선으로 연장되어 상기 하우징과 대응되게 연결되며, 상기 말미 구간 부위의 내측 가장자리는 상기 연장 구간 부위의 내측 가장자리로부터 점차 외측 가장자리와 평행한 방향으로 연장됨으로써, 상기 연장 구간의 폭이 상기 만곡부에 연결된 일단에 의해 상기 말미 구간에 연결되는 일단을 향해 점차 넓어지고, 또한 상기 말미 구간의 폭은 상기 연장 구간의 최대 폭보다 크거나 같은, 기판 수납용 컨테이너.The method according to claim 1,
The bracket body of each of the support brackets is C-shaped and has a single curvature at an inner edge of the curved portion, and the two arm portions each have an extension section connected to the curved section and a tail section connected to the extension section The inner edge of the extended section has the same curvature while extending from the inner edge of the curved section, the outer edge of the extended section extends straight from the outer edge connected to the curved section, The outer edge of the section is linearly extended from the outer edge connected to the extended section and is correspondingly connected to the housing, and the inner edge of the end section is gradually parallel to the outer edge from the inner edge of the extended section Extend in direction The width of the extending section is gradually widened toward one end connected to the end section by one end connected to the curved section and the width of the end section is greater than or equal to the maximum width of the extending section, . 제1항에 있어서,
각각의 상기 지지 브래킷의 상기 브래킷 몸체는 상기 만곡부와 연결되면서 상기 2개의 암부 사이에 위치하여 상기 수용 챔버 중앙으로 돌출되는 적어도 하나의 중간 받침부를 더 구비하는 기판 수납용 컨테이너.The method according to claim 1,
Wherein the bracket body of each of the support brackets further comprises at least one intermediate support portion which is connected to the curved portion and is positioned between the two arm portions and protrudes to the center of the accommodating chamber. 제23항에 있어서,
상기 브래킷 몸체가 복수의 중간 받침부를 구비하는 경우, 상기 중간 받침부는 상기 수용 챔버 중앙에 인접한 일단이 상호 연결되는, 기판 수납용 컨테이너.24. The method of claim 23,
Wherein when the bracket body has a plurality of intermediate support portions, the intermediate support portions are mutually connected at their one ends adjacent to the center of the accommodating chamber.
KR2020170000287U 2016-02-23 2017-01-16 Container for storing substrates KR200486265Y1 (en)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW105105249 2016-02-23
TW105105249 2016-02-23
TW105137179 2016-11-15
TW105137179A TWI586597B (en) 2016-02-23 2016-11-15 Container for storing substrates

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170003068U true KR20170003068U (en) 2017-08-31
KR200486265Y1 KR200486265Y1 (en) 2018-04-24

Family

ID=59028812

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR2020170000287U KR200486265Y1 (en) 2016-02-23 2017-01-16 Container for storing substrates

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR200486265Y1 (en)
CN (1) CN206259327U (en)
TW (1) TWI586597B (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115140411A (en) * 2022-06-29 2022-10-04 Oppo广东移动通信有限公司 Flexible screen support

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108122815B (en) * 2017-12-20 2024-05-10 合肥矽迈微电子科技有限公司 Universal substrate magazine
TWI689030B (en) * 2018-06-14 2020-03-21 家登精密工業股份有限公司 Substrate carrier
CN116564867B (en) * 2023-05-05 2024-02-20 北京鑫跃微半导体技术有限公司 Wafer bearing device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020039394A (en) * 2000-11-21 2002-05-27 윤종용 Wafer carrier
JP2003110014A (en) * 2001-09-28 2003-04-11 Disco Abrasive Syst Ltd Wafer cassette and method for carrying in and out semiconductor wafer
JP2013119430A (en) * 2011-12-08 2013-06-17 Shin Etsu Polymer Co Ltd Thin plate container
KR20130126619A (en) * 2010-10-19 2013-11-20 엔테그리스, 아이엔씨. Front opening wafer container with robotic flange

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4330761B2 (en) * 2000-04-17 2009-09-16 信越ポリマー株式会社 Wafer transport container support
JP4908172B2 (en) * 2006-12-05 2012-04-04 三甲株式会社 Wafer holding structure of wafer transfer container
JP5087145B2 (en) * 2008-11-25 2012-11-28 ミライアル株式会社 Wafer storage container
TWI465375B (en) * 2010-06-02 2014-12-21 Gudeng Prec Industral Co Ltd A wafer container with elasticity module
TWM500982U (en) * 2014-11-14 2015-05-11 Chung King Entpr Co Ltd Substrate storage container

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020039394A (en) * 2000-11-21 2002-05-27 윤종용 Wafer carrier
JP2003110014A (en) * 2001-09-28 2003-04-11 Disco Abrasive Syst Ltd Wafer cassette and method for carrying in and out semiconductor wafer
KR20130126619A (en) * 2010-10-19 2013-11-20 엔테그리스, 아이엔씨. Front opening wafer container with robotic flange
JP2013119430A (en) * 2011-12-08 2013-06-17 Shin Etsu Polymer Co Ltd Thin plate container

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115140411A (en) * 2022-06-29 2022-10-04 Oppo广东移动通信有限公司 Flexible screen support

Also Published As

Publication number Publication date
KR200486265Y1 (en) 2018-04-24
CN206259327U (en) 2017-06-16
TW201730062A (en) 2017-09-01
TWI586597B (en) 2017-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR200486265Y1 (en) Container for storing substrates
KR102117314B1 (en) Interlocking modular substrate support column
JP5336157B2 (en) Plate-shaped article conveyance tray
ES2370263T3 (en) DEVICE OF STACKABLE PUMP PARTS.
CN110658896B (en) Multi-configuration rack, electronic device, and method of manufacturing electronic device
KR101944718B1 (en) Insert structure and cassette for loading substrate with the same
KR102249488B1 (en) An energy storage device with a hook structure and an energy storage system comprising the same
US10475680B2 (en) Wafer shipping box and a lower retaining member thereof
TWM539495U (en) Container for storing substrates
KR20090030420A (en) Tray for carrying flat panel display device
KR101934963B1 (en) A Tray for Planar Parts
KR102203574B1 (en) supporting member for loading solar cell module
TWI824075B (en) Substrate cassette
KR101408669B1 (en) Thin plate storage container
TWI604556B (en) Substrate cartridge
JP2003170993A (en) Box for carrying glass base sheet
KR102133328B1 (en) Side support structure and cassette for loading substrate with the same
KR101389273B1 (en) Packing material used for transporting works
TWI815581B (en) Substrate container
KR102627769B1 (en) Battery carrying tray
US20230141959A1 (en) Substrate-accommodating container
KR102331238B1 (en) battery carrying tray
US20240162068A1 (en) Semiconductor substrate carrying container with support wall formed with corrugation portions
KR101554535B1 (en) A structure for magazine
US20130277268A1 (en) Front opening wafer container with door deflection minimization

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
REGI Registration of establishment