KR20170002820A - A stacker unit and apparatus for exchanging a collet and a hood including the stacker unit - Google Patents

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KR20170002820A
KR20170002820A KR1020150092627A KR20150092627A KR20170002820A KR 20170002820 A KR20170002820 A KR 20170002820A KR 1020150092627 A KR1020150092627 A KR 1020150092627A KR 20150092627 A KR20150092627 A KR 20150092627A KR 20170002820 A KR20170002820 A KR 20170002820A
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Abstract

The present invention relates to a stacker unit and a device for changing a collet and a hood having a stacker unit. The stacker unit includes: a supply magazine accommodating collets to be mounted on a pickup head; a first loading unit for loading a supply magazine which is empty by being discharged in order for the collets to be mounted on the pickup head; a second loading unit for loading a collection magazine which is to collect the collets separated from the pickup head; a hood mounted on the eject body; and a third loading unit for loading the hood separated from the eject body. The first loading unit, the second loading unit, and the third loading unit each include: a base plate; slots for loading the supply magazine, the collection magazine, or the hood; and a slot plate installed to elastically move in the horizontal direction on the base plate in order for a first robot to easily separate the supply magazine, the collection magazine, and the hood from the slots or to easily load the supply magazine, the collection magazine, and the hood on the slots even if the first robot is misaligned from the slots. Therefore, the stacker unit can easily and stably supply and discharge the collet and the hood.

Description

스태커 유닛 및 이를 갖는 콜릿 및 후드 교체 장치{A stacker unit and apparatus for exchanging a collet and a hood including the stacker unit}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a stacker unit and a collet and a hood replacement unit having the stacker unit,

본 발명은 스태커 유닛 및 이를 갖는 콜릿 및 후드 교체 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다이 본딩 공정에서 다이를 웨이퍼로부터 이젝트하기 위한 후드 및 상기 다이를 기판 상에 본딩하기 위한 콜릿의 교체를 위해 적재하는 스태커 유닛 및 이를 갖는 콜릿 및 후드 교체 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a stacker unit and a collet and a hood replacement apparatus having the stacker unit, and more particularly, to a stacker unit and a hood replacement apparatus for stacking a collet and a hood replacement apparatus for replacing a hood for ejecting a die from a wafer and a collet for bonding the die onto a substrate Stacker unit and a collet and a hood replacement apparatus having the same.

일반적으로, 다이 본딩 공정은 소잉 공정을 통해 개별화된 다이들을 기판에 본딩하기 위한 공정으로, 상기 다이 본딩 공정에서 웨이퍼로부터 상기 다이들을 이젝트하기 위한 이젝터 및 상기 다이를 픽업하여 이송하는 픽업 유닛이 사용될 수 있다. Generally, the die bonding process is a process for bonding individualized dies to a substrate through a soaking process, in which an ejector for ejecting the dies from the wafer in the die bonding process and a pick-up unit for picking up and transporting the die can be used have.

상기 픽업 유닛은 상기 진공을 이용하여 상기 다이를 픽업하기 위한 콜릿과 상기 콜릿이 결합되는 픽업 헤드 및 상기 픽업 헤드를 이동시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다.The pick-up unit may include a collet for picking up the die using the vacuum, a pick-up head to which the collet is coupled, and a drive unit for moving the pick-up head.

상기 콜릿은 장시간 사용으로 인한 마모 또는 다른 사이즈의 다이를 흡착하기 위해 교체가 요구될 수 있다. 종래 기술에 따르면, 상기 콜릿은 교체를 위해 패널 상에 형성된 콜릿 수용홈에 삽입되어 적재되고, 상기 픽업 헤드에 결합된 콜릿은 상기 패널 상에 구비된 걸림 부재를 이용하여 제거하고, 상기 패널 상의 상기 콜릿은 상기 픽업 헤드와 자기력을 이용하여 결합된다. 상기 기술은 한국등록특허 제10-1340831호에 개시되어 있다. The collet may be required to be worn due to prolonged use or replaced to adsorb dies of different sizes. According to the prior art, the collet is inserted and loaded in a collet receiving groove formed on a panel for replacement, and a collet coupled to the pick-up head is removed using a latching member provided on the panel, The collet is coupled to the pick-up head using magnetic force. This technique is disclosed in Korean Patent No. 10-1340831.

상기 패널 상에 적재되는 콜릿을 모두 사용되면, 상기 다이 본딩 공정을 중단한 후, 상기 새로운 콜릿들을 상기 패널로 공급한다. 또한, 상기 다이 본딩 공정이 중단한 상태로 상기 제거된 콜릿을 회수할 수 있다. 상기 새로운 콜릿들의 공급과 교체된 콜릿들의 회수를 위해 상기 다이 본딩 공정이 자주 중단되므로, 상기 다이 본딩 공정의 생산성이 저하될 수 있다. If all the collets to be stacked on the panel are used, after the die bonding process is stopped, the new collets are fed to the panel. In addition, the removed collet can be recovered while the die bonding process is interrupted. The productivity of the die bonding process may be deteriorated because the die bonding process is frequently interrupted for supplying the new collets and collecting the replaced collets.

한편, 상기 이젝터는 상기 웨이퍼의 하부에서 상기 다이의 위치에 따라 이동하는 이젝트 바디와 상기 이젝트 바디의 단부에 구비되어 상기 다이들을 이젝트하는 후드를 포함한다. The ejector includes an eject body that moves in accordance with the position of the die at a lower portion of the wafer, and a hood that is provided at an end of the eject body to eject the dies.

상기 후드는 다른 사이즈의 다이를 이젝트하기 위해 교체가 요구될 수 있다. 상기 후드의 교체는 작업자에 의해 수동으로 이루어지므로, 작업자에 의한 수동 교체에는 상당한 시간이 소요될 수 있다. 또한, 상기 후드의 교체시에도 상기 다이 본딩 공정이 중단되므로, 상기 다이 본딩 공정의 생산성이 더욱 저하될 수 있다. The hood may be required to be replaced to eject dies of different sizes. Since the replacement of the hood is manually performed by the operator, manual replacement by the operator can take a considerable amount of time. Also, when the hood is replaced, the die bonding process is interrupted, so that the productivity of the die bonding process may be further reduced.

한국등록특허 제10-1340831호 (2013.12.05. 등록)Korean Registered Patent No. 10-1340831 (registered on December 05, 2013)

본 발명은 다이 본딩 공정의 중단없이 콜릿 및 후드를 공급하도록 상기 콜릿 및 후드를 수납하는 스태커 유닛을 제공한다. The present invention provides a stacker unit for receiving the collet and the hood to supply a collet and a hood without interruption of the die bonding process.

본 발명은 상기 스태커 유닛을 갖는 콜릿 및 후드 교체 장치를 제공한다. The present invention provides a collet and a hood replacement apparatus having the stacker unit.

본 발명에 따른 스태커 유닛은 픽업 헤드에 장착될 콜릿들이 수납된 공급 매거진 및 상기 콜릿들이 상기 픽업 헤드에 장착되기 위해 배출되어 빈 공급 매거진을 적재하기 위한 제1 적재부와, 상기 픽업헤드로부터 분리된 콜릿들을 수납하기 위한 회수 매거진을 적재하기 위한 제2 적재부 및 이젝트 바디에 장착될 후드 및 상기 이젝트 바디로부터 분리된 후드를 적재하기 위한 제3 적재부를 포함하고, 상기 제1 적재부, 상기 제2 적재부 및 상기 제3 적재부 각각은, 베이스 플레이트 및 상기 공급 매거진, 상기 회수 매거진 또는 상기 후드를 적재하기 위해 슬롯들을 가지며, 상기 공급 매거진, 상기 회수 매거진 또는 상기 후드를 이송하기 위한 제1 로봇이 상기 슬롯들과 정렬이 어긋나더라도 상기 제1 로봇이 상기 공급 매거진, 상기 회수 매거진 또는 상기 후드를 상기 슬롯들에 용이하게 적재하거나 상기 슬롯들로부터 용이하게 분리하도록 상기 베이스 플레이트에 대해 수평 방향을 따라 탄성적으로 요동하도록 구비되는 슬롯 플레이트를 포함할 수 있다. The stacker unit according to the present invention includes a supply magazine for storing collets to be mounted on a pick-up head, a first stacking part for stacking empty supply magazines ejected for mounting the collets on the pick-up head, A second loading section for loading the recovery magazine for storing the collets, and a third loading section for loading the hood separated from the eject body and a hood to be mounted on the eject body, wherein the first loading section, Each of the loading section and the third loading section has slots for loading the base plate and the supply magazine, the recovery magazine or the hood, and a first robot for transferring the supply magazine, the recovery magazine or the hood Even if the slots are out of alignment with each other, the first robot can move the supply magazine, And a slot plate adapted to elastically swing along the horizontal direction with respect to the base plate to facilitate loading or disengaging the slots from the slots.

본 발명의 일실시예들에 따르면, 상기 제1 적재부, 상기 제2 적재부 및 상기 제3 적재부 각각은, 상기 슬롯 플레이트의 상부면에 오목 홈을 가지며, 상기 베이스 플레이트에 구비되며, 볼을 상기 오목 홈에 삽입하여 상기 슬롯 플레이트를 탄성적으로 지지하여 상기 슬롯 플레이트가 상기 수평 방향을 따라 요동한 후 원위치로 복귀하도록 복원력을 제공하는 볼 플런저를 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, each of the first loading portion, the second loading portion, and the third loading portion has a concave groove on the upper surface of the slot plate, And a ball plunger for elastically supporting the slot plate to provide a restoring force to return the slot plate to its original position after swinging along the horizontal direction.

본 발명의 일실시예들에 따르면, 상기 후드 및 상기 픽업 헤드에 의한 다이 본딩 공정이 이루어지는 챔버 내부와 외부 사이를 이동하며, 상기 외부에서 상기 공급 매거진, 상기 회수 매거진 및 상기 후드의 공급과 배출이 가능하도록 상기 제1 적재부, 상기 제2 적재부 및 상기 제3 적재부는 서랍 형태로 구비될 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the supply and discharge of the supply magazine, the recovery magazine, and the hood are performed from outside to inside the chamber where the die bonding process is performed by the hood and the pick-up head, The first loading section, the second loading section, and the third loading section may be provided in a drawer shape.

본 발명의 일실시예들에 따르면, 상기 제1 로봇이 상기 공급 매거진, 상기 회수 매거진 및 상기 후드를 공통으로 파지하도록 상기 공급 매거진, 상기 회수 매거진 및 상기 후드에서 상기 제1 로봇이 파지하는 부분은 동일한 크기를 가질 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the portion held by the first robot in the supply magazine, the recovery magazine, and the hood so that the first robot grasps the supply magazine, the recovery magazine, It can have the same size.

본 발명에 따른 콜릿 및 후드 교체 장치는 픽업 헤드에 장착될 콜릿들이 수납된 공급 매거진 및 상기 콜릿들이 상기 픽업 헤드에 장착되기 위해 배출되어 빈 공급 매거진을 적재하기 위한 제1 적재부와, 상기 픽업헤드로부터 분리된 콜릿들을 수납하기 위한 회수 매거진을 적재하기 위한 제2 적재부와, 이젝트 바디에 장착될 후드 및 상기 이젝트 바디로부터 분리된 후드를 적재하기 위한 제3 적재부와, 상기 픽업 헤드에서 분리된 콜릿들이 수납된 회수 매거진을 상기 제2 적재부로 전달하고, 상기 제1 적재부로부터 상기 픽업 헤드에 장착될 콜릿들이 수납된 공급 매거진을 이송하여 상기 픽업 헤드에 장착하고, 상기 제3 적재부로부터 상기 이젝트 바디에 장착할 후드를 전달하고 상기 이젝트 바디에서 분리된 후드를 상기 제3 적재부로 전달하는 제1 로봇 및 상기 이젝트 바디에서 후드를 분리하여 상기 제1 로봇으로 전달하고, 상기 제1 로봇으로부터 상기 후드를 전달받아 상기 이젝트 바디에 장착하는 제2 로봇을 포함하고, 상기 제1 적재부, 상기 제2 적재부 및 상기 제3 적재부 각각은, 베이스 플레이트 및 상기 공급 매거진, 상기 회수 매거진 또는 상기 후드를 적재하기 위해 슬롯들을 가지며, 상기 제1 로봇이 상기 슬롯들과 정렬이 어긋나더라도 상기 제1 로봇이 상기 공급 매거진, 상기 회수 매거진 또는 상기 후드를 상기 슬롯들에 용이하게 적재하거나 상기 슬롯들로부터 용이하게 분리하도록 상기 베이스 플레이트에 대해 수평 방향을 따라 탄성적으로 요동하도록 구비되는 슬롯 플레이트를 포함할 수 있다.The collet and hood replacement apparatus according to the present invention includes a supply magazine accommodating collets to be mounted on a pickup head and a first loading section for loading empty supply magazines ejected for mounting the collets on the pickup head, A third loading section for loading the hood separated from the eject body and a third loading section for loading the hood separated from the ejecting body, and a second loading section for loading the recovering magazine for storing the collets separated from the pick- A pickup magazine for receiving the collets from the first pick-up head, and a pick-up head for picking up the pickup magazine from the pick-up head, A first robot for delivering a hood to be mounted to the eject body and delivering the hood separated from the eject body to the third loading section And a second robot for separating the hood from the eject body and delivering the hood to the first robot and receiving the hood from the first robot and mounting the hood on the eject body, And the third loading section each have slots for loading the base plate and the supply magazine, the recovery magazine or the hood, and even if the first robot is misaligned with the slots, And a slot plate provided to elastically swing along the horizontal direction with respect to the base plate so as to easily load or separate the supply magazine, the recovery magazine or the hood from the slots.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 콜릿의 분리 및 장착은 콜릿 교체 위치에서 이루어지며, 상기 제1 로봇은 상기 웨이퍼 및 상기 이젝트 바디가 구비된 스테이지의 상에 구비되어 상기 스테이지의 이동에 따라 상기 콜릿 교체 위치로 이동할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the separation and mounting of the collet is performed at a collet replacement position, and the first robot is provided on a stage having the wafer and the eject body, To the collet replacement position.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 로봇에 구비되며, 상기 제1 로봇이 상기 제1 적재부, 상기 제2 적재부 및 상기 제3 적재부와 충돌하는 경우 상기 제1 로봇에 가해지는 과하중을 감지하기 위한 하중 센서를 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the first robot is provided with the first robot, and when the first robot collides with the first loading part, the second loading part and the third loading part, The load sensor may further include a load sensor for detecting the overload.

본 발명에 따른 스태커 유닛은 제1 적재부, 제2 적재부 및 제3 적재부가 챔버 외부에서 개폐할 수 있는 서랍 형태를 갖는다. 따라서, 다이 본딩 공정의 중단없이 콜릿과 후드를 상기 제1 적재부 및 제3 적재부로 공급하거나, 상기 제2 적재부 및 상기 제3 적재부로부터 상기 콜릿 및 상기 후드를 회수할 수 있다. 따라서, 상기 다이 본딩 공정을 완전 자동화할 수 있으며, 상기 다이 본딩 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다. The stacker unit according to the present invention has a drawer shape in which the first loading portion, the second loading portion, and the third loading portion can be opened and closed outside the chamber. Therefore, the collet and the hood can be supplied to the first loading section and the third loading section without interruption of the die bonding process, or the collet and the hood can be recovered from the second loading section and the third loading section. Therefore, the die bonding process can be fully automated, and the productivity of the die bonding process can be improved.

또한, 상기 제1 적재부, 상기 제2 적재부 및 상기 제3 적재부에서 슬롯 플레이트가 베이스 플레이트에 대해 수평 방향을 따라 탄성적으로 요동하도록 구비된다. 따라서, 제1 로봇이 상기 슬롯 플레이트의 슬롯들과 정렬이 어긋나더라도 상기 슬롯 플레이트가 요동하여 상기 제1 로봇이 상기 공급 매거진, 상기 회수 매거진 또는 상기 후드를 상기 슬롯들에 용이하게 적재하거나 상기 슬롯들로부터 용이하게 분리할 수 있다. 따라서, 상기 제1 로봇의 적재 및 분리 에러를 방지할 수 있다. Further, the slot plate is provided in the first loading portion, the second loading portion and the third loading portion so as to elastically swing along the horizontal direction with respect to the base plate. Therefore, even if the first robot is misaligned with the slots of the slot plate, the slot plate is pivoted so that the first robot can easily load the supply magazine, the recovered magazine or the hood into the slots, As shown in Fig. Therefore, it is possible to prevent the loading and separation errors of the first robot.

본 발명에 따른 콜릿 및 후드 교체 장치는 제1 로봇 및 제2 로봇을 이용하여 콜릿 및 후드를 자동으로 교체할 수 있다. 따라서, 상기 콜릿 및 후드 교체를 신속하고 정확하게 수행할 수 있어 상기 다이 본딩 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다. The collet and hood replacement apparatus according to the present invention can automatically replace the collet and the hood using the first robot and the second robot. Therefore, the collet and the hood replacement can be performed quickly and accurately, and the productivity of the die bonding process can be improved.

또한, 상기 콜릿 및 후드 교체 장치는 상기 콜릿들을 상기 후드와 동일한 형태를 갖는 공급 매거진 및 회수 매거진에 적재하여 전달한다. 따라서, 상기 제1 로봇이 상기 공급 매거진, 상기 회수 매거진 및 상기 후드를 공통으로 파지할 수 있으므로, 상기 콜릿 및 후드 교체 장치에 소요되는 비용을 절감할 수 있다. In addition, the collet and hood replacement device loads and delivers the collets to a supply magazine and a recovery magazine having the same form as the hood. Therefore, since the first robot can grip the supply magazine, the return magazine, and the hood in common, it is possible to reduce the cost required for the collet and the hood replacement apparatus.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 콜릿 및 후드 교체 장치를 설명하기 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 픽업 유닛을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 픽업 유닛의 픽업 헤드를 설명하기 위한 저면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 스태커 유닛을 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 5는 도 4에 도시된 스태커 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 공급 매거진을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 7은 도 1에 도시된 회수 매거진을 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
1 is a schematic perspective view illustrating a collet and hood replacement apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic cross-sectional view for explaining the pickup unit shown in Fig.
3 is a bottom view for explaining the pick-up head of the pick-up unit shown in Fig.
Fig. 4 is a schematic perspective view for explaining the stacker unit shown in Fig. 1. Fig.
5 is a schematic side view for explaining the stacker unit shown in FIG.
6 is a schematic cross-sectional view for explaining the supply magazine shown in Fig.
7 is a schematic sectional view for explaining the recovery magazine shown in Fig.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 콜릿 및 후드 교체 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. Hereinafter, a collet and a hood replacement apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged to illustrate the present invention in order to clarify the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a part or a combination thereof is described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 콜릿 및 후드 교체 장치를 설명하기 개략적인 사시도이다. 1 is a schematic perspective view illustrating a collet and hood replacement apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 콜릿 및 후드 교체 장치(200)는 다이 본딩 공정이 이루어지는 챔버(10) 내에 구비되어 다이싱 공정을 통해 개별화된 후 다이싱 테이프 상에 부착되어 제공되는 웨이퍼(미도시)로부터 다이(미도시)를 이젝트하기 위한 후드(20) 및 상기 다이를 기판 상에 본딩하기 위한 콜릿(70)을 교체한다. 콜릿 및 후드 교체 장치(200)는 스태커 유닛(100), 제1 로봇(160) 및 제2 로봇(170)을 포함한다. Referring to FIG. 1, the collet and hood replacement apparatus 200 is provided in a chamber 10 in which a die bonding process is performed, and is separated from a wafer (not shown) that is individualized through a dicing process, The hood 20 for ejecting a die (not shown) and the collet 70 for bonding the die onto the substrate are replaced. The collet and hood replacement apparatus 200 includes a stacker unit 100, a first robot 160 and a second robot 170.

챔버(10) 내에는 상기 다이의 본딩을 위해 후드(20), 이젝트 바디(30), 웨이퍼 홀더(40), 스테이지(50), 픽업 유닛(60) 및 다이 스테이지(90)가 구비된다. The chamber 10 is provided with a hood 20, an eject body 30, a wafer holder 40, a stage 50, a pick-up unit 60 and a die stage 90 for bonding the die.

후드(20) 및 이젝트 바디(30)는 상기 웨이퍼의 하부에서 상기 다이를 상승시켜 이젝트한다. 후드(20)는 대략 원기둥 형상을 가지며, 이젝트 바디(30)에 결합된다. 후드(20)는 상기 다이의 사이즈에 따라 교체될 수 있다. The hood 20 and the eject body 30 raise the die at the bottom of the wafer and eject. The hood 20 has a substantially cylindrical shape and is coupled to the eject body 30. [ The hood 20 can be replaced according to the size of the die.

웨이퍼 홀더(40)는 상기 웨이퍼의 가장자리를 지지하여 후드(20) 및 이젝트 바디(30)가 상기 다이를 안정적으로 이젝트하도록 한다. The wafer holder 40 supports the edge of the wafer so that the hood 20 and the eject body 30 can stably eject the die.

스테이지(50)는 후드(20), 이젝트 바디(30) 및 웨이퍼 홀더(40)를 지지한다. 스테이지(50)는 Y축 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 따라서, 후드(20), 이젝트 바디(30) 및 웨이퍼 홀더(40)의 위치를 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다. The stage 50 supports the hood 20, the eject body 30, and the wafer holder 40. The stage 50 is provided so as to be movable along the Y-axis direction. Therefore, the position of the hood 20, the eject body 30, and the wafer holder 40 can be moved in the Y-axis direction.

후드(20) 및 이젝트 바디(30)는 스테이지(50) 상에서 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. 따라서, 후드(20) 및 이젝트 바디(30)가 상기 웨이퍼의 여러 다이를 이젝트할 수 있다. The hood 20 and the eject body 30 are provided on the stage 50 so as to be movable in the X-axis direction and the Y-axis direction. Therefore, the hood 20 and the eject body 30 can eject various dies of the wafer.

픽업 유닛(60)은 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동 가능하도록 구비되며, 상기 웨이퍼로부터 상기 다이를 픽업하여 이송하고, 상기 다이를 기판 상에 본딩한다. The pickup unit 60 is provided so as to be movable along the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction, picks up and transfers the die from the wafer, and bonds the die onto the substrate.

도 2는 도 1에 도시된 픽업 유닛을 설명하기 위한 개략적인 단면도이고, 도 3은 도 2에 도시된 픽업 유닛의 픽업 헤드를 설명하기 위한 저면도이다.Fig. 2 is a schematic sectional view for explaining the pickup unit shown in Fig. 1, and Fig. 3 is a bottom view for explaining a pickup head of the pickup unit shown in Fig.

도 2 및 도 3을 참조하면, 픽업 유닛(60)은 픽업 헤드(80)와 픽업 헤드(80)에 부착된 콜릿(70)을 포함할 수 있으며, 콜릿(70)은 자기력을 이용하여 픽업 헤드(80)에 장착될 수 있다. 특히, 콜릿(70)에는 상기 다이를 흡착하기 위한 복수의 흡착홀들(72)이 구비될 수 있으며, 픽업 헤드(80)에는 흡착홀들(72)에 진공을 제공하기 위한 공압 배관(82)이 구비될 수 있다.2 and 3, the pick-up unit 60 may include a pick-up head 80 and a collet 70 attached to the pick-up head 80, (Not shown). In particular, the collet 70 may be provided with a plurality of suction holes 72 for sucking the die, and the pickup head 80 may be provided with a pneumatic piping 82 for providing vacuum to the suction holes 72, .

콜릿(70)은 대략 사각 형태를 가질 수 있으며 경질의 상부 패드(74)와 연질의 하부 패드(76)를 포함할 수 있다. 상기 다이를 흡착하기 위한 흡착홀들(72)은 상부 패드(74)와 하부 패드(76)를 관통하여 구비될 수 있으며, 픽업 헤드(80)의 공압 배관(82)과 연통될 수 있다.The collet 70 may have a generally rectangular shape and may include a hard top pad 74 and a soft bottom pad 76. The suction holes 72 for suctioning the die may be provided through the upper pad 74 and the lower pad 76 and may communicate with the pneumatic piping 82 of the pickup head 80.

일 예로서, 픽업 헤드(80)는 콜릿(70)이 장착될 수 있도록 대략 사각 형태를 가질 수 있으며 픽업 유닛(60)을 이송하기 위한 이송부(미도시)와 연결되는 구동축을 포함할 수 있다. 상기 구동축으로는 중공축이 사용될 수 있으며, 공압 배관(82)으로서 기능할 수 있다. 그러나, 픽업 헤드(80)와 콜릿(70)의 형상은 사각에 한정되지 않으며, 경우에 따라서 원형 등 다양한 형태가 사용될 수 있으므로, 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.As an example, the pick-up head 80 may have a substantially rectangular shape for mounting the collet 70 and may include a drive shaft connected to a transfer unit (not shown) for transferring the pick-up unit 60. As the drive shaft, a hollow shaft may be used, and it may function as a pneumatic piping 82. However, the shapes of the pick-up head 80 and the collet 70 are not limited to square, and various shapes such as a circle may be used in some cases, so that the scope of the present invention is not limited thereto.

한편, 픽업 헤드(80)와 콜릿(70)은 자기력에 의해 서로 결합될 수 있다. 일 예로서, 픽업 헤드(80)에는 상기 자기력을 제공하기 위하여 헤드용 영구자석(84)이 구비될 수 있으며, 콜릿(70)의 상부 패드(74)는 자성체로 이루어질 수 있다. 또 한편으로, 픽업 헤드(80)의 하부면 가장자리 부위에는 콜릿(70)의 장착 위치를 안내하기 위한 가이드 부재들(86)이 배치될 수 있다.On the other hand, the pickup head 80 and the collet 70 can be coupled to each other by a magnetic force. As an example, the pick-up head 80 may be provided with a permanent magnet 84 for the head to provide the magnetic force, and the upper pad 74 of the collet 70 may be made of a magnetic material. On the other hand, guide members 86 for guiding the mounting position of the collet 70 may be disposed on the lower edge of the pickup head 80.

픽업 유닛(60)은 적어도 한 쌍이 구비될 수 있다. 픽업 유닛(60)이 한 쌍 구비되는 경우, 하나의 픽업 유닛(60)은 상기 웨이퍼의 다이를 픽업하여 이송하고, 다른 하나의 픽업 유닛(60)은 상기 픽업된 다이를 상기 기판에 본딩한다. At least one pair of pick-up units 60 may be provided. When a pair of pick-up units 60 is provided, one pick-up unit 60 picks up and transfers the dies of the wafer, and the other pick-up unit 60 bonds the pick-up die to the substrate.

다이 스테이지(90)는 한 쌍의 픽업 유닛(60) 사이에 구비되며, 하나의 픽업 유닛(60)에서 픽업된 다이를 지지하여 다른 하나의 픽업 유닛(60)이 상기 다이를 픽업할 수 있도록 한다. 다이 스테이지(90)로 인해 한 쌍의 픽업 유닛(60)이 상기 다이의 픽업과 상기 다이의 본딩을 나누어 수행할 수 있다. 그러므로, 상기 다이 본딩 공정의 효율을 향상시킬 수 있다. 다이 스테이지(90)는 고정된 위치를 유지하는 것이 바람직하나, 콜릿(70)의 교체시에는 상기 위치를 회피할 수 있다.
The die stage 90 is provided between the pair of pick-up units 60 and supports the pick-up die in one pick-up unit 60 so that the other pick-up unit 60 can pick up the die . Due to the die stage 90, a pair of pick-up units 60 can be performed by dividing the pickup of the die and the bonding of the die. Therefore, the efficiency of the die bonding process can be improved. It is preferable that the die stage 90 maintains the fixed position, but the position can be avoided when the collet 70 is replaced.

도 4는 도 1에 도시된 스태커 유닛을 설명하기 위한 개략적인 사시도이고, 도 5는 도 4에 도시된 스태커 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다. FIG. 4 is a schematic perspective view for explaining the stacker unit shown in FIG. 1, and FIG. 5 is a schematic side view for explaining the stacker unit shown in FIG.

도 1, 도 4 및 도 5를 참조하면, 스태커 유닛(100)은 제1 적재부(110), 제2 적재부(120), 제3 적재부(130), 공급 매거진(140) 및 회수 매거진(150)을 포함한다.1, 4, and 5, the stacker unit 100 includes a first stacking unit 110, a second stacking unit 120, a third stacking unit 130, a supply magazine 140, (150).

제1 적재부(110)는 상기 픽업 헤드에 장착할 복수의 콜릿(70)들을 적재한다. 이때, 콜릿(70)들은 공급 매거진(140)에 적재된 상태로 제1 적재부(110)에 수납된다. 또한, 콜릿(70)들이 상기 픽업 헤드에 장착되기 위해 배출되어 빈 상태의 공급 매거진(140)이 제1 적재부(110)에 적재될 수도 있다. The first stacking unit 110 stacks a plurality of collets 70 to be mounted on the pick-up head. At this time, the collets (70) are stored in the first magazine (110) while being loaded on the supply magazine (140). In addition, the supply magazine 140 in an empty state, in which the collets 70 are discharged to be mounted on the pick-up head, may be loaded on the first loading portion 110.

제2 적재부(120)는 상기 픽업 헤드로부터 분리되는 콜릿(70)을 적재하기 위한 회수 매거진(150)이 빈 상태로 수납될 수 있다. The second stacking unit 120 may be housed in a recovery magazine 150 for loading the collet 70 separated from the pick-up head.

제3 적재부(130)는 상기 이젝트 바디에 장착할 후드(20)들 및 상기 이젝트 바디로부터 분리되는 후드(20)들을 수납한다. The third loading unit 130 houses the hoods 20 to be mounted on the eject body and the hoods 20 separated from the eject body.

공급 매거진(140), 회수 매거진(150) 및 후드(20)는 제1 로봇(160)에 의해 이송되며, 공급 매거진(140), 회수 매거진(150) 및 후드(20)에서 제1 로봇(160)이 파지하는 부분은 동일한 크기와 형상을 갖는다. 하나의 제1 로봇(160)으로 후드(20) 뿐만 아니라 공급 매거진(140) 및 회수 매거진(150)도 파지할 수 있으므로, 공급 매거진(140), 회수 매거진(150) 및 후드(20)를 파지하여 이송하기 위한 별도의 로봇이 불필요하다. The supply magazine 140, the recovery magazine 150 and the hood 20 are transported by the first robot 160 and are transported from the supply magazine 140, the recovery magazine 150 and the hood 20 to the first robot 160 ) Have the same size and shape. The supply magazine 140 and the recovery magazine 150 as well as the hood 20 as well as the first magazine 150 can be gripped by the first robot 160. Therefore, the supply magazine 140, the recovery magazine 150, So that a separate robot for transferring is not required.

한편, 공급 매거진(140), 회수 매거진(150) 및 후드(20)에서 제1 로봇(160)이 파지하는 부분을 제외한 나머지 부분도 서로 동일한 형상과 동일한 크기를 가질 수 있다. 즉, 공급 매거진(140) 및 회수 매거진(150)은 후드(20)와 전체적으로 동일한 형상과 동일한 크기를 가질 수 있다. The remaining portions of the supply magazine 140, the recovery magazine 150, and the hood 20 except for the portion held by the first robot 160 may have the same shape and size. That is, the supply magazine 140 and the recovery magazine 150 may have the same overall shape and size as the hood 20.

또한, 공급 매거진(140), 회수 매거진(150) 및 후드(20)에서 제1 로봇(160)이 파지하는 부분을 제외한 나머지 부분이 서로 다른 형상과 크기를 가질 수도 있다. 예들 들면, 공급 매거진(140) 및 회수 매거진(150)의 길이는 후드(20)의 길이와 다를 수 있다. 특히, 회수 매거진(150)은 다수의 콜릿(70)들을 수용하기 위해 제1 로봇(160)이 파지하는 부분을 제외한 나머지 부분의 크기가 후드(20)보다 클 수 있다. The remaining portions of the supply magazine 140, the recovery magazine 150, and the hood 20 except for the portion held by the first robot 160 may have different shapes and sizes. For example, the length of the supply magazine 140 and the recovery magazine 150 may be different from the length of the hood 20. Particularly, the recovery magazine 150 may have a size larger than that of the hood 20 except for the portion held by the first robot 160 to accommodate the plurality of collets 70.

제1 적재부(110)는 베이스 플레이트(112), 슬롯 플레이트(114) 및 볼 플런저(118)를 포함한다. The first loading portion 110 includes a base plate 112, a slot plate 114, and a ball plunger 118.

베이스 플레이트(112)는 상기 Y축 방향으로 연장되며, Z축 방향으로 세워지도록 배치된다. The base plate 112 extends in the Y-axis direction and is disposed to stand in the Z-axis direction.

슬롯 플레이트(114)는 상기 Y축 방향으로 연장되며, 측면에 다수의 슬롯(116)들을 갖는다. 슬롯(116)들에 콜릿(70)들이 수납되거나 빈 공급 매거진(140)이 삽입될 수 있다. 공급 매거진(140)이 슬롯(116)들에 용이하게 삽입되도록 슬롯(116)들은 입구가 넓도록 테이퍼진 형태를 가질 수 있다.The slot plate 114 extends in the Y-axis direction and has a plurality of slots 116 on its side surface. The collets 70 may be stored in the slots 116 or the empty supply magazine 140 may be inserted. The slots 116 may have a tapered shape with a wide entrance so that the supply magazine 140 is easily inserted into the slots 116. [

슬롯 플레이트(114)는 베이스 플레이트(112)의 측면에 수평 방향, 즉 상기 Y축 방향을 따라 탄성적으로 요동 가능하도록 구비된다. The slot plate 114 is provided on the side surface of the base plate 112 so as to be elastically swingable in the horizontal direction, that is, along the Y-axis direction.

구체적으로, 슬롯 플레이트(114)는 베이스 플레이트(112)에 상기 Y축 방향으로 이동가능하도록 구비된다. 슬롯 플레이트(114)의 양단 부위에는 슬롯 플레이트(114)의 상기 Y축 방향 이동 범위를 한정하기 위한 스토퍼(112a)들이 구비된다. 스토퍼(112a)들은 슬롯 플레이트(114)가 구비된 베이스 플레이트(112)의 측면으로부터 돌출될 수 있다. 슬롯 플레이트(114)의 양단과 스토퍼(112a)들 사이에는 제1 코일 스프링(112b)들이 각각 구비될 수 있다. 따라서, 슬롯 플레이트(114)가 베이스 플레이트(112)에 대해 탄성적으로 요동할 수 있다. Specifically, the slot plate 114 is provided on the base plate 112 so as to be movable in the Y-axis direction. At both end portions of the slot plate 114, stoppers 112a for defining the movement range of the slot plate 114 in the Y-axis direction are provided. The stoppers 112a may protrude from the side surface of the base plate 112 provided with the slot plate 114. [ First coil springs 112b may be provided between both ends of the slot plate 114 and the stoppers 112a. Therefore, the slot plate 114 can elastically oscillate with respect to the base plate 112. [

제1 로봇(160)이 슬롯(116)들과 정렬이 어긋나더라도 슬롯 플레이트(114)가 베이스 플레이트(112)에 대해 탄성적으로 요동하여 제1 로봇(160)과 슬롯(116)이 정렬될 수 있다. 따라서, 제1 로봇(160)이 공급 매거진(140)을 슬롯들(116)에 용이하게 적재하거나 슬롯(116)들로부터 용이하게 분리할 수 있다.  Even if the first robot 160 is misaligned with the slots 116, the slot plate 114 is elastically oscillated with respect to the base plate 112 so that the first robot 160 and the slots 116 can be aligned have. Thus, the first robot 160 can easily load the supply magazine 140 into the slots 116 or easily separate it from the slots 116.

또한, 슬롯 플레이트(114)는 상부면에 오목 홈(114a)을 갖는다. Further, the slot plate 114 has a concave groove 114a on its upper surface.

볼 플런저(118)는 베이스 플레이트(112)에 구비되며, 슬롯 플레이트(114)를 탄성적으로 지지하여 슬롯 플레이트(114)가 상기 Y축 방향을 따라 요동한 후 원위치로 복귀하도록 복원력을 제공한다. The ball plunger 118 is provided on the base plate 112 and resiliently supports the slot plate 114 to provide a restoring force to return the slot plate 114 to its original position after swinging along the Y-axis direction.

볼 플런저(118)는 하우징(118a), 하우징(118a)의 내부에 구비되는 제2 코일 스프링(118b), 제2 코일 스프링(118b)의 하단에 결합된 리테이너(118c) 및 리테이너(118c)의 하단에 보유 지지되어 하우징(118a)의 하방으로 노출된 볼(118d)을 포함한다. 볼 플런저(118)의 볼(118d)이 슬롯 플레이트(114)의 오목 홈(114a)에 삽입되므로, 볼 플런저(118)가 슬롯 플레이트(114)에 복원력을 제공할 수 있다. The ball plunger 118 includes a housing 118a, a second coil spring 118b provided inside the housing 118a, a retainer 118c coupled to the lower end of the second coil spring 118b, And a ball 118d held at the lower end and exposed downward of the housing 118a. The ball 118d of the ball plunger 118 is inserted into the concave groove 114a of the slot plate 114 so that the ball plunger 118 can provide the restoring force to the slot plate 114. [

한편, 베이스 플레이트(112) 및 슬롯 플레이트(114)는 서로 다른 높이에 복수로 구비되며, 콜릿(40)들이 수납된 공급 매거진(140)과 빈 공급 매거진(140)이 구분되어 서로 다른 높이의 슬롯(116)들에 각각 삽입될 수도 있다. The base plate 112 and the slot plate 114 are provided at a plurality of different heights and the supply magazine 140 and the empty supply magazine 140 in which the collets 40 are housed are separated from each other, (Not shown).

공급 매거진(140)이 슬롯(116)들에 삽입되어 고정될 수 있도록 공급 매거진(140)의 측면에는 홈 또는 걸림턱이 형성될 수 있다. 상기 홈 또는 걸림턱은 공급 매거진(140)의 측면 둘레를 따라 부분적으로 형성되거나 전체적으로 형성될 수 있다. A groove or an engagement jaw may be formed on a side surface of the supply magazine 140 so that the supply magazine 140 can be inserted and fixed in the slots 116. [ The grooves or the engaging jaws may be formed partially or entirely along the side surface of the supply magazine 140.

제2 적재부(120)는 베이스 플레이트(122), 슬롯(126)들이 형성된 슬롯 플레이트(124) 및 볼 플런저(미도시)를 포함할 수 있다. 슬롯(124)들에 회수 매거진(150)이 삽입될 수 있다. 회수 매거진(150)이 슬롯(126)들에 삽입되어 고정될 수 있도록 회수 매거진(150)의 측면에는 홈 또는 걸림턱이 형성될 수 있다. 슬롯들(126)들에 회수 매거진(150)이 삽입되는 것을 제외하면, 제2 적재부(120)에 대한 구체적인 설명은 제1 적재부(110)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다. The second loading portion 120 may include a base plate 122, a slot plate 124 having slots 126 formed thereon, and a ball plunger (not shown). The recovery magazine 150 can be inserted into the slots 124. A groove or a latching jaw may be formed on a side surface of the recovery magazine 150 so that the recovery magazine 150 can be inserted and fixed in the slots 126. The detailed description of the second loading portion 120 is substantially the same as that of the first loading portion 110 except that the recovery magazine 150 is inserted into the slots 126. [

제3 적재부(130)는 베이스 플레이트(132), 슬롯(136)들이 형성된 슬롯 플레이트(134) 및 볼 플런저(미도시)를 포함할 수 있다. 슬롯(136)들에 후드(20)들이 삽입될 수 있다. 후드(20)들이 슬롯(136)들에 삽입되어 고정될 수 있도록 후드(20)의 측면에는 홈 또는 걸림턱이 형성될 수 있다. 슬롯들(136)들에 후드(20)가 삽입되는 것을 제외하면, 제3 적재부(130)에 대한 구체적인 설명은 제1 적재부(110)에 대한 설명과 실질적으로 동일하다. The third loading part 130 may include a base plate 132, a slot plate 134 formed with slots 136, and a ball plunger (not shown). The hoods 20 can be inserted into the slots 136. Grooves or hooks may be formed on the side surface of the hood 20 so that the hoods 20 can be inserted and fixed in the slots 136. [ The detailed description of the third loading section 130 is substantially the same as that of the first loading section 110 except that the hood 20 is inserted into the slots 136. [

상기 홈 또는 걸림턱들은 공급 매거진(140), 회수 매거진(150) 및 후드(20)에서 제1 로봇(160)이 파지하는 부분에 인접하여 각각 형성될 수 있다. 따라서, 공급 매거진(140), 회수 매거진(150) 및 후드(20)에서 상기 홈 또는 걸림턱들이 형성된 부위의 크기(또는 단면적)가 실질적으로 동일할 수 있다. 그러므로, 공급 매거진(140), 회수 매거진(150) 및 후드(20)가 각각 삽입되는 슬롯들(116, 126, 136)도 동일한 크기를 가질 수 있다.The grooves or the engaging jaws may be formed adjacent to a portion held by the first robot 160 in the supply magazine 140, the recovery magazine 150, and the hood 20, respectively. Therefore, the size (or cross-sectional area) of the grooves or the engagement jaws formed in the supply magazine 140, the recovery magazine 150, and the hood 20 may be substantially the same. Therefore, the slots 116, 126, and 136, into which the supply magazine 140, the recovery magazine 150, and the hood 20 are inserted, respectively, may have the same size.

한편, 제1 적재부(110), 제2 적재부(120) 및 제3 적재부(130)는 서로 다른 높이에 각각 구비될 수도 있다. 또한, 제1 적재부(110), 제2 적재부(120) 및 제3 적재부(130)는 적어도 어느 두 개가 동일한 높이에 같이 구비될 수도 있다. 도 1 및 도 2에서는 제1 적재부(110)가 다른 높이에 구비되고, 제2 적재부(120) 및 제2 적재부(130)가 동일한 높이에 같이 구비되어 있다. The first stacking unit 110, the second stacking unit 120, and the third stacking unit 130 may be provided at different heights. At least two of the first stacking unit 110, the second stacking unit 120, and the third stacking unit 130 may be provided at the same height. 1 and 2, the first stacking unit 110 is provided at a different height, and the second stacking unit 120 and the second stacking unit 130 are provided at the same height.

또한, 공급 매거진(140), 회수 매거진(150) 및 후드(20)의 외측면이 금속 재질로 이루어지고, 슬롯 플레이트들(114, 124, 134)에서 슬롯들(116, 126, 136)이 형성된 부위에 각각 자석(미도시)이 구비될 수 있다. 상기 자석의 자력으로 공급 매거진(140), 회수 매거진(150) 및 후드(20)를 각각 고정할 수 있으므로, 매거진(140), 회수 매거진(150) 및 후드(20)가 슬롯 플레이트들(114, 124, 134)의 슬롯들(116, 126, 136)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다.The outer surfaces of the supply magazine 140, the recovery magazine 150 and the hood 20 are made of metal and the slots 116, 126 and 136 are formed in the slot plates 114, A magnet (not shown) may be provided at each of the portions. The magazine 140, the recovery magazine 150 and the hood 20 can be fixed to the slot plates 114, 114, and 114 by the magnetic force of the magnets, respectively, 126, 136 of the first, second, third,

도 6은 도 1에 도시된 공급 매거진을 설명하기 위한 단면도이다.6 is a sectional view for explaining the supply magazine shown in Fig.

도 6을 참조하면, 공급 매거진(140)은 몸체(142), 지지부재(144) 및 영구 자석(148)들을 포함한다. Referring to Fig. 6, the supply magazine 140 includes a body 142, a support member 144, and a permanent magnet 148.

몸체(142)는 콜릿(70)들을 내부에 적재된 상태로 수용한다. 몸체(142)는 대략 원기둥 형태를 갖는다. 몸체(142)의 외측면에는 제1 적재부(110)의 슬롯(116)들과의 고정을 위한 홈 또는 걸림턱이 형성된다. The body 142 accommodates the collets 70 in a state of being loaded therein. The body 142 has a substantially cylindrical shape. The outer surface of the body 142 is formed with a groove or a hook for fixing the slot 116 of the first loading unit 110.

지지부재(144)는 몸체(142)의 내부 저면에 구비되며, 몸체(142)에 수용된 콜릿(70)들을 탄성적으로 지지한다. The support member 144 is provided on the inner bottom surface of the body 142 and elastically supports the collets 70 received in the body 142.

지지부재(144)는 플레이트(145) 및 코일 스프링(146)을 포함한다. The support member 144 includes a plate 145 and a coil spring 146.

플레이트(145)는 몸체(142)의 내부에 수평 상태로 배치된다. 코일 스프링(146)은 몸체(142)의 저면과 플레이트(145) 사이에 배치되며, 플레이트(145)를 탄성적으로 지지한다The plate 145 is disposed horizontally inside the body 142. The coil spring 146 is disposed between the bottom surface of the body 142 and the plate 145 and resiliently supports the plate 145

플레이트(145)는 몸체(142)에 수용된 콜릿(70)들을 지지한다. 따라서, 플레이트(145)는 콜릿(70)의 하부 패드와 접촉한다. 플레이트(145)는 저마찰 계수를 갖는 물질로 이루어질 수 있다. 상기 물질의 예로는 PEEK 수지, 테프론 수지 등을 들 수 있다. 플레이트(145)의 마찰 계수가 낮으므로, 상기 하부 패드의 손상을 방지할 수 있다. The plate 145 supports the collets 70 received in the body 142. Thus, the plate 145 contacts the lower pad of the collet 70. The plate 145 may be made of a material having a low coefficient of friction. Examples of the material include PEEK resin and Teflon resin. Since the frictional coefficient of the plate 145 is low, damage to the lower pad can be prevented.

코일 스프링(146)은 콜릿(70)이 하강하여 플레이트(145)와 접촉할 때 콜릿(70)에 가해지는 충격을 완충한다. 따라서, 콜릿(70)의 손상을 방지할 수 있다. The coil spring 146 cushions the shock applied to the collet 70 when the collet 70 descends and contacts the plate 145. Therefore, damage to the collet 70 can be prevented.

또한, 코일 스프링(146)의 복원력으로 인해 플레이트(145)가 상승하고, 이에 따라 플레이트(145)가 몸체(142)에 수용된 콜릿(70)을 밀어올린다. The plate 145 is lifted due to the restoring force of the coil spring 146 so that the plate 145 pushes the collet 70 received in the body 142.

몸체(142)의 상단에는 콜릿(70)을 고정하기 위한 영구 자석(148)이 구비된다. 일 예로, 콜릿(70)이 사각형 형태를 갖는 경우, 영구 자석(148)들은 몸체(142)의 내측 마주보는 양 측면에 배치되거나 몸체(142) 내측의 네 측면에 배치될 수 있다. At the upper end of the body 142, a permanent magnet 148 for fixing the collet 70 is provided. For example, when the collet 70 has a rectangular shape, the permanent magnets 148 may be disposed on both inner sides of the body 142 or on four sides inside the body 142.

영구 자석(148)들은 자성체인 콜릿(70)의 상부 패드를 자력으로 고정할 수 있다. 지지부재(144)의 탄성력에 의해 몸체(142) 내부의 콜릿(70)들이 밀어 올려지더라도 영구 자석(148)들이 최상단의 콜릿(70)을 고정할 수 있다. 따라서, 지지부재(144)의 탄성력에 의해 콜릿(70)이 몸체(142)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다. The permanent magnets 148 can magnetically fix the upper pad of the collet 70, which is a magnetic body. The permanent magnets 148 can fix the uppermost collet 70 even if the collets 70 in the body 142 are pushed up by the elastic force of the support member 144. Therefore, it is possible to prevent the collet 70 from being detached from the body 142 by the elastic force of the support member 144.

도 7은 도 1에 도시된 회수 매거진을 설명하기 위한 단면도이다.7 is a sectional view for explaining the recovery magazine shown in Fig.

도 7을 참조하면, 회수 매거진(150)은 몸체(152) 및 걸림 부재들(154)을 포함한다. Referring to FIG. 7, the recovery magazine 150 includes a body 152 and latching members 154.

몸체(152)는 콜릿(70)들을 내부에 적재된 상태로 수용할 수 있다. 몸체(152)는 대략 원기둥 형태를 갖는다. 몸체(152)의 외측면에는 제2 적재부(120)의 슬롯(124)들과의 고정을 위한 홈 또는 걸림턱이 형성된다. 걸림 부재들(154)은 몸체(152)의 상단 양측에 구비된다. 걸림 부재(154)들은 상기 픽업 헤드의 상하 이동은 허용하되 콜릿(70)의 상방 이동을 제한하여 상기 픽업 헤드가 상방으로 이동되는 동안 콜릿(70)을 상기 픽업 헤드로부터 분리할 수 있다. The body 152 can accommodate the collets 70 in a stacked state. The body 152 has a substantially cylindrical shape. The outer surface of the body 152 is formed with a groove or an engagement protrusion for fixing the second mounting portion 120 to the slots 124. [ The latching members 154 are provided on both sides of the upper end of the body 152. The engaging members 154 may allow the pick-up head to move up and down but limit the upward movement of the collet 70 so that the collet 70 can be separated from the pick-up head while the pick-up head is moved upward.

구체적으로, 상기 픽업 헤드와 콜릿(70)은 콜릿(70)의 제거를 위하여 회수 매거진(150)의 내부를 향해 하방으로 이동될 수 있으며, 이후 다시 상방으로 이동될 수 있다.Specifically, the pick-up head and the collet 70 can be moved downward toward the inside of the recovery magazine 150 for removal of the collet 70, and then can be moved upward again.

이때, 걸림 부재들(154)은 상기 픽업 헤드의 수직 방향 이동 경로의 양측에 구비될 수 있다. 특히, 걸림 부재들(154)은 상기 픽업 헤드의 하방 및 상방 이동을 허용할 수 있으나, 콜릿(70)에 대하여는 하방 이동을 허용하되 상방 이동은 제한할 수 있다. 결과적으로, 걸림 부재들(154)은 상기 픽업 헤드가 회수 매거진(150)의 내부에서 상방으로 이동되는 동안 콜릿(70)을 상기 픽업 헤드로부터 분리시킬 수 있다.At this time, the engaging members 154 may be provided on both sides of the vertical movement path of the pick-up head. In particular, latching members 154 may allow downward and upward movement of the pick-up head, but allow downward movement for collet 70 but limit upward movement. As a result, the engaging members 154 can separate the collet 70 from the pick-up head while the pick-up head is moved upward within the recovery magazine 150.

일 예로서, 몸체(152)의 입구 양측 내측면들에는 스프링(미도시), 예를 들면, 코일 스프링 또는 토션 스프링에 의해 하방으로 회전이 가능하도록 걸림 부재들(154)이 장착될 수 있다. 걸림 부재들(154)은 콜릿(70)의 하방 이동이 가능하도록 하방으로 회전될 수 있으나, 콜릿(70)이 하방으로 통과된 후 상기 토션 스프링에 의해 초기 위치로 복귀하여 콜릿(70)의 상방 이동을 제한할 수 있다. 상기와는 다르게, 걸림 부재들(154)은 스프링을 이용하여 회수 매거진(150)의 내측면으로부터 진퇴 가능하게 설치될 수도 있다.As one example, the inner sides of the inlet sides of the body 152 can be fitted with the locking members 154 so as to be downwardly rotated by a spring (not shown), for example, a coil spring or a torsion spring. The locking members 154 may be rotated downward to allow the downward movement of the collet 70. However, after the collet 70 is passed downward, the locking members 154 return to the initial position by the torsion spring, You can limit your movement. Alternatively, the engaging members 154 may be installed to be movable forward and backward from the inner surface of the recovery magazine 150 using a spring.

결과적으로, 상기 픽업 헤드가 회수 매거진(150)의 내부에서 상방으로 이동되는 동안 콜릿(70)은 걸림 부재들(154)에 의해 걸림으로써 상기 픽업 헤드로부터 분리될 수 있다. As a result, the collet 70 can be separated from the pick-up head by being caught by the engaging members 154 while the pick-up head is moved upward within the recovery magazine 150.

한편, 상술한 바와 같이 걸림 부재들(154)에 의해 콜릿(70)의 상방 이동이 차단됨으로써 콜릿(70)이 픽업 헤드(80)로부터 분리될 수 있으나, 경우에 따라서 콜릿(70)이 픽업 헤드(80)로부터 완전히 분리되지 않고 픽업 헤드(80)에 매달린 상태로 상승될 수도 있다. 즉, 콜릿(70)의 상부면이 픽업 헤드(80)의 하부면으로부터 분리된 후 곧바로 콜릿(70)의 측면이 픽업 헤드(80)의 하부면에 자기력에 의해 재부착되는 경우가 발생될 수 있다.The collet 70 can be separated from the pick-up head 80 by blocking the upward movement of the collet 70 by the catching members 154 as described above, May be lifted in a state of being suspended from the pick-up head 80 without being completely separated from the pick-up head 80. That is, a case may occur in which the side surface of the collet 70 is reattached by the magnetic force to the lower surface of the pick-up head 80 immediately after the upper surface of the collet 70 is separated from the lower surface of the pick-up head 80 have.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 픽업 헤드(80)가 상승하는 동안 공압 배관(82)을 통하여 콜릿(70)으로 에어가 분사될 수 있다. 즉 공압 배관(82)으로부터 분사된 에어는 콜릿(70)의 상부면에 하방으로 힘을 가하게 되며 이에 의해 콜릿(70)의 분리 동작이 보조될 수 있다.
Air can be injected into the collet 70 through the pneumatic piping 82 while the pick-up head 80 is lifted to solve the above problems. That is, the air injected from the pneumatic piping 82 exerts a downward force on the upper surface of the collet 70, whereby the separation operation of the collet 70 can be assisted.

다시 도 4 및 도 5를 참조하면, 제1 적재부(110), 제2 적재부(120) 및 제3 적재부(130)는 서로 인접하도록 배치되며, 챔버(10)의 일측에 서랍 형태로 개폐될 수 있다. 따라서, 챔버(10)의 외부에서 제1 적재부(110), 제2 적재부(120) 및 제3 적재부(130)를 개방하여 콜릿(70) 및 후드(20)를 공급하거나 분리된 콜릿(70) 및 후드(20)를 배출할 수 있다. 4 and 5, the first loading part 110, the second loading part 120, and the third loading part 130 are disposed adjacent to each other, and the first loading part 110, the second loading part 120, Can be opened and closed. Therefore, the first loading part 110, the second loading part 120 and the third loading part 130 are opened outside the chamber 10 to supply the collet 70 and the hood 20, (70) and the hood (20).

구체적으로, 제1 적재부(110)를 개방하여 콜릿(70)들이 적재된 공급 매거진(140)을 공급하고, 상기 픽업 헤드에 장착되기 위해 콜릿(70)들이 배출되어 빈 상태의 공급 매거진(140)을 배출할 수 있다. Specifically, the first loading part 110 is opened to supply the loaded supply magazine 140 with the collets 70, and the collets 70 are discharged to be mounted on the pick-up head, Can be discharged.

또한, 제2 적재부(120)를 개방하여 분리된 콜릿(70)들이 적재된 회수 매거진(150)을 배출하고, 빈 상태의 회수 매거진(150)을 공급할 수 있다. In addition, the second collecting unit 120 may be opened to discharge the collecting magazine 150 on which the separated collets 70 are loaded, and to supply the empty collecting magazine 150.

그리고, 제3 적재부(130)를 개방하여 후드(20)를 공급하고, 분리된 후드(20)들을 배출할 수 있다. Then, the third loading unit 130 is opened to supply the hood 20, and the separated hoods 20 can be discharged.

챔버(10)의 외부에서 콜릿(70) 및 후드(20)를 공급하거나 분리된 콜릿(70) 및 후드(20)를 배출하므로, 콜릿(70) 및 후드(20)의 공급 및 분리된 콜릿(70) 및 후드(20)의 배출할 때 상기 다이 본딩 공정을 중단할 필요가 없다. 따라서, 상기 다이 본딩 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다.
The collet 70 and the hood 20 are supplied from the outside of the chamber 10 or the separated collet 70 and the hood 20 are discharged so that the supply of the collet 70 and the hood 20 and the separation of the collet 70 70 and the hood 20, it is not necessary to stop the die bonding process. Therefore, the productivity of the die bonding process can be improved.

다시 도 1을 참조하면, 제1 로봇(160)은 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동 가능하도록 구비되며, 공급 매거진(140), 회수 매거진(150) 및 후드(20)를 파지하기 위한 그리퍼를 갖는다. 또한, 제1 로봇(160)은 하중 센서(162)를 갖는다. 1, the first robot 160 is movable in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions. The first robot 160 includes a supply magazine 140, a recovery magazine 150, and a hood 20 Have a gripper. In addition, the first robot 160 has a load sensor 162.

제1 로봇(160)이 공급 매거진(140), 회수 매거진(150) 및 후드(20)를 파지하기 위해 이동하다 제1 적재부(110), 제2 적재부(120) 및 제3 적재부(130)와 충돌하는 경우, 제1 로봇(160)이 제1 적재부(110), 제2 적재부(120) 및 제3 적재부(130)에 막혀 더 이상 이동하지 못하므로 제1 로봇(160)에 과하중이 가해진다. 하중 센서(162)는 상기 과하중을 감지하여 제1 로봇(160)과 제1 적재부(110), 제2 적재부(120) 및 제3 적재부(130)의 충돌을 확인한다. 하중 센서(162)에서 상기 과하중이 감지되면, 제1 로봇(160)의 작동을 중단하고, 작업자가 제1 로봇(160)과 제1 적재부(110), 제2 적재부(120) 및 제3 적재부(130)의 충돌 원인을 확인한다The first robot 160 moves to grip the supply magazine 140, the recovery magazine 150 and the hood 20. The first loading unit 110, the second loading unit 120, and the third loading unit The first robot 160 is blocked by the first loading unit 110, the second loading unit 120 and the third loading unit 130 and can not move any more, so that the first robot 160 ) Is overloaded. The load sensor 162 detects the overload and confirms collision between the first robot 160 and the first loading unit 110, the second loading unit 120, and the third loading unit 130. When the overload is detected by the load sensor 162, the operation of the first robot 160 is stopped, and the worker moves the first robot 160 and the first loading unit 110, the second loading unit 120, The cause of the collision of the third loading unit 130 is confirmed

일 예로, 제1 로봇(160)은 스테이지(50) 상에 X축 및 Z축 방향으로 이동 가능하도록 구비될 수도 있다. 이때, 제1 로봇(160)은 스테이지(50)의 이동에 따라 Y축 방향으로 이동할 수 있다. 다른 예로, 제1 로봇(160)은 스테이지(50)와 무관하게 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동 가능하도록 구비될 수도 있다. For example, the first robot 160 may be provided on the stage 50 so as to be movable in the X-axis and Z-axis directions. At this time, the first robot 160 can move in the Y-axis direction according to the movement of the stage 50. As another example, the first robot 160 may be provided so as to be movable in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions regardless of the stage 50.

제1 로봇(160)은 회수 매거진(150)을 이용하여 픽업 헤드(80)로부터 콜릿(70)을 분리하여 제2 적재부(120)로 전달한다. The first robot 160 separates the collet 70 from the pickup head 80 using the recovery magazine 150 and transfers the collet 70 to the second loading unit 120.

구체적으로, 제1 로봇(160)은 X축 방향으로 이동하여 제2 적재부(120)로부터 빈 상태의 회수 매거진(150)을 파지한다. 제1 로봇(160)은 Y축 방향으로 이동하여 회수 매거진(150)을 콜릿 교체 위치에 위치시킨다. 일 예로, 상기 콜릿 교체 위치는 다이 스테이지(90)의 위치일 수 있다. 이때, 제1 로봇(160)과의 충돌을 방지하기 위해 다이 스테이지(90)가 다른 위치로 이동할 수 있다. Specifically, the first robot 160 moves in the X-axis direction and grasps the empty recovery magazine 150 from the second loading unit 120. The first robot 160 moves in the Y-axis direction to position the recovery magazine 150 at the collet replacement position. In one example, the collet replacement position may be the position of the die stage 90. At this time, the die stage 90 can be moved to another position to prevent collision with the first robot 160.

회수 매거진(150)이 상기 콜릿 교체 위치에 위치하고, 픽업 유닛(60)이 회수 매거진(150)의 상방에 위치한 상태에서 회수 매거진(150)과 픽업 유닛(60)을 Z축 방향을 따라 상대 운동시켜 픽업 헤드(80)로부터 콜릿(70)을 분리하여 회수 매거진(150)에 적재한다. The recovery magazine 150 and the pick-up unit 60 are relatively moved along the Z-axis direction in a state where the recovery magazine 150 is located at the collet replacement position and the pickup unit 60 is located above the recovery magazine 150 The collet 70 is separated from the pick-up head 80 and loaded on the recovery magazine 150.

예를 들면, 제1 로봇(160)을 Z축 방향으로 상승시킨 후 하강시키거나, 픽업 유닛(60)을 하강시킨 후 상승시킴으로써 콜릿(70)이 회수 매거진(150)의 걸림 부재(134)들에 걸려 픽업 헤드(80)로부터 분리된다.For example, when the first robot 160 is lifted up and then lowered in the Z-axis direction, or the pick-up unit 60 is lowered and raised, the collet 70 is lifted up from the engaging members 134 of the recovery magazine 150 And is separated from the pick-up head 80.

다이 스테이지(90)가 복수인 경우, 상기 콜릿 교체 위치도 복수이다. 이 경우, 제1 로봇(160)으로 회수 매거진(150)을 상기 콜릿 교체 위치로 이동시킨 후 콜릿(70)을 분리하는 과정을 반복한다. When there are a plurality of die stages 90, the collet replacement positions are also plural. In this case, the first robot 160 moves the recovery magazine 150 to the collet replacement position, and then repeats the process of separating the collet 70.

콜릿(70)의 분리가 완료되면, 제1 로봇(160)은 Y축 방향 및 X축 방향으로 이동하여 분리된 콜릿(70)들이 적재된 회수 매거진(150)을 제2 적재부(120)로 전달한다. When the separation of the collet 70 is completed, the first robot 160 moves in the Y-axis direction and the X-axis direction to move the recovery magazine 150 in which the separated collets 70 are loaded to the second loading section 120 .

또한, 제1 로봇(160)은 공급 매거진(140)을 이용하여 제1 적재부(110)의 콜릿(70)을 픽업 헤드(80)에 장착한다. The first robot 160 also mounts the collet 70 of the first loading unit 110 on the pick-up head 80 using the supply magazine 140.

구체적으로, 제1 로봇(160)은 X축 방향으로 이동하여 제1 적재부(110)로부터 콜릿(70)들이 적재된 공급 매거진(140)을 파지한다. 제1 로봇(160)은 Y축 방향으로 이동하여 공급 매거진(140)을 상기 콜릿 교체 위치에 위치시킨다. Specifically, the first robot 160 moves in the X-axis direction to grip the supply magazine 140 loaded with the collets 70 from the first loading unit 110. The first robot 160 moves in the Y-axis direction to position the supply magazine 140 at the collet replacement position.

공급 매거진(140)이 상기 콜릿 교체 위치에 위치하고, 픽업 헤드(80)가 공급 매거진(140)의 상방에 위치한 상태에서 공급 매거진(140)과 픽업 헤드(80)를 Z축 방향을 따라 상대 운동시켜 픽업 헤드(80)에 콜릿(70)을 장착한다. The feed magazine 140 and the pick-up head 80 are moved relative to each other along the Z-axis direction in a state where the supply magazine 140 is located at the collet replacement position and the pickup head 80 is positioned above the supply magazine 140 And the collet 70 is mounted on the pick-up head 80.

예를 들면, 제1 로봇(160)을 Z축 방향으로 상승시킨 후 하강시키거나, 픽업 헤드(80)를 하강시킨 후 상승시킴으로써 헤드용 영구자석(84)의 자력으로 픽업 헤드(80)에 콜릿(70)이 장착된다. For example, when the first robot 160 is raised in the Z-axis direction and then lowered, or the pick-up head 80 is lowered and then raised, a collet (not shown) is applied to the pickup head 80 by the magnetic force of the head permanent magnet 84, (70) is mounted.

다이 스테이지(90)가 복수인 경우, 상기 콜릿 교체 위치도 복수이다. 이 경우, 제1 로봇(160)으로 공급 매거진(140)을 상기 콜릿 교체 위치로 이동시킨 후 콜릿(70)을 장착하는 과정을 반복한다. When there are a plurality of die stages 90, the collet replacement positions are also plural. In this case, the process of moving the supply magazine 140 to the collet replacement position by the first robot 160 and mounting the collet 70 is repeated.

콜릿(70)의 장착이 완료되면, 제1 로봇(160)은 Y축 방향 및 X축 방향으로 이동하여 빈 공급 매거진(140)을 제1 적재부(110)로 전달한다. When the collet 70 is completely mounted, the first robot 160 moves in the Y-axis direction and the X-axis direction to transfer the empty supply magazine 140 to the first loading unit 110.

그리고, 제1 로봇(160)은 장착할 후드(20)를 제2 로봇(170)으로 전달하고, 제2 로봇(170)으로부터 이젝트 바디(30)로부터 분리된 후드(20)를 전달받는다. The first robot 160 transmits the hood 20 to be mounted to the second robot 170 and receives the hood 20 separated from the eject body 30 from the second robot 170.

구체적으로, 제1 로봇(160)은 X축 방향으로 이동하여 제3 적재부(130)로부터 후드(20)를 파지한다. 제1 로봇(160)은 Y축 방향으로 이동하여 제2 로봇(170)과 인접하도록 위치한 상태에서 후드(20)를 제2 로봇(170)으로 전달한다. Specifically, the first robot 160 moves in the X-axis direction to grip the hood 20 from the third loading unit 130. The first robot 160 moves in the Y-axis direction and is positioned adjacent to the second robot 170 to transfer the hood 20 to the second robot 170.

또한, 제1 로봇(160)은 제2 로봇(170)과 인접하도록 위치한 상태에서 제2 로봇(170)으로부터 이젝트 바디(30)로부터 분리된 후드(20)를 전달받는다. 이후, 제1 로봇(160)은 Y축 방향 및 X축 방향으로 이동하여 분리된 후드(20)를 제3 적재부(130)로 전달한다. The first robot 160 receives the hood 20 separated from the eject body 30 from the second robot 170 while being positioned adjacent to the second robot 170. Then, the first robot 160 moves in the Y-axis direction and the X-axis direction, and transfers the separated hood 20 to the third loading unit 130.

한편, 공급 매거진(140), 회수 매거진(150) 및 후드(20)의 표면에는 인식 부호가 표시될 수 있다. 상기 인식 부호의 예로는 바코드, 숫자코드 등을 들 수 있다. 제1 로봇(160)은 상기 인식 부호를 인식하기 위한 센서를 더 포함할 수 있다. 상기 센서가 상기 인식 부호를 인식함으로써, 제1 로봇(160)은 공급 매거진(140)에 적재된 콜릿(20)에 대한 정보, 회수 매거진(140)에 대한 정보 및 제3 적재부(130)에 수납된 후드(20)에 대한 정보를 획득할 수 있다. 따라서, 제1 로봇(160)은 제1 적재부(110), 제2 적재부(120 및 제3 적재부(130)에서 장착할 콜릿(70)들이 적재된 공급 매거진(140), 빈 회수 매거진(150) 및 장착할 후드(20)를 정확하게 골라 파지할 수 있다. 그러므로, 제1 로봇(160)이 다른 공급 매거진(140)나 후드(20)를 파지하거나, 공급 매거진(140)과 회수 매거진(150)을 오인하여 파지하는 것을 방지할 수 있다. On the other hand, the identification mark may be displayed on the surfaces of the supply magazine 140, the recovery magazine 150 and the hood 20. [ Examples of the recognition code include a barcode, a numeric code, and the like. The first robot 160 may further include a sensor for recognizing the recognition code. The first robot 160 recognizes the information about the collet 20 loaded on the supply magazine 140 and the information about the recovery magazine 140 and the information about the return magazine 140 to the third loading unit 130 Information about the stored hood 20 can be obtained. Accordingly, the first robot 160 is configured to include the first magazine 110, the supply magazine 140 loaded with the collets 70 to be loaded in the second magazine 120 and the third magazine 130, The first robot 160 grasps the other supply magazine 140 or the hood 20 or the supply magazine 140 and the recovery magazine 140 can be accurately picked up and held by the first robot 160 and the hood 20 to be mounted. It is possible to prevent misalignment and grasping of the finger 150.

제2 로봇(170)은 이젝트 바디(20)의 상방에 위치하며, X축 및 Z축 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. 또한, 제2 로봇(170)은 후드(20)를 파지하기 위한 그리퍼를 갖는다. The second robot 170 is positioned above the eject body 20 and is movable in the X-axis and Z-axis directions. Further, the second robot 170 has a gripper for grasping the hood 20.

제2 로봇(170)은 이젝트 바디(30)로부터 후드(20)를 분리한다.The second robot 170 separates the hood 20 from the eject body 30.

구체적으로, 제2 로봇(170)이 X축 방향으로 이동하여 이젝트 바디(30)의 상방에 위치한다. 다음으로, 제2 로봇(170)이 Z축을 따라 하강하여 이젝트 바디(30)에 결합된 후드(20)를 그리퍼로 파지한다. 상기 그리퍼로 후드(20)를 파지한 상태에서 제2 로봇(170)이 Z축을 따라 상승함으로써 후드(20)가 이젝트 바디(30)로부터 분리된다. 제2 로봇(170)은 분리된 후드(20)를 제1 로봇(160)으로 전달한다. Specifically, the second robot 170 moves in the X-axis direction and is located above the eject body 30. [ Next, the second robot 170 descends along the Z-axis to grip the hood 20 coupled to the eject body 30 with the gripper. The hood 20 is separated from the eject body 30 by raising the second robot 170 along the Z axis while the hood 20 is held by the gripper. The second robot 170 transfers the separated hood 20 to the first robot 160.

또한, 제2 로봇(170)은 이젝트 바디(30)에 후드(20)를 장착한다.In addition, the second robot 170 mounts the hood 20 on the eject body 30.

구체적으로, 제2 로봇(170)이 제1 로봇(160)으로부터 장착할 후드(20)를 전달받아 상기 그리퍼로 고정한다. 제2 로봇(170)이 X축 방향으로 이동하여 이젝트 바디(30)의 상방에 위치한다. 이후, 제2 로봇(170)이 Z축을 따라 하강하여 이젝트 바디(30)에 후드(20)를 결합한다. 상기 그리퍼를 개방하여 후드(20)의 고정을 해제한 상태에서 제2 로봇(170)이 Z축을 따라 상승한다.Specifically, the second robot 170 receives the hood 20 to be mounted from the first robot 160, and fixes the hood 20 with the gripper. The second robot 170 moves in the X axis direction and is located above the eject body 30. [ Then, the second robot 170 descends along the Z-axis to engage the hood 20 with the eject body 30. [ The second robot 170 moves up along the Z axis in a state in which the gripper is opened and the hood 20 is unlocked.

콜릿 및 후드 교체 장치(200)는 상기 다이 본딩 공정의 중단없이 콜릿(70) 및 후드(20)를 자동으로 교체할 수 있다. 따라서, 상기 다이 본딩 공정을 완전 자동화할 수 있으며, 상기 다이 본딩 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다. The collet and hood replacement apparatus 200 can automatically replace the collet 70 and the hood 20 without interruption of the die bonding process. Therefore, the die bonding process can be fully automated, and the productivity of the die bonding process can be improved.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 스태커 유닛 및 이를 갖는 콜릿 및 후드 교체 장치는 콜릿과 후드를 자동으로 교체할 수 있으며, 다이 본딩 공정의 중단없이 상기 콜릿과 상기 후드를 제1 적재부 및 제3 적재부에 공급하거나 제2 적재부 및 상기 제3 적재부로부터 상기 콜릿 및 후드를 회수할 수 있다. 따라서, 상기 다이 본딩 공정을 완전 자동화할 수 있으며, 상기 다이 본딩 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다. As described above, the stacker unit and the collet and hood replacing apparatus having the stacker unit according to the present invention can automatically replace the collet and the hood, and the collet and the hood can be exchanged between the first loading unit and the third loading unit without interrupting the die bonding process. The collet and the hood from the second loading portion and the third loading portion. Therefore, the die bonding process can be fully automated, and the productivity of the die bonding process can be improved.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

100 : 콜릿 및 후드 교체 장치 110 : 제1 적재부
120 : 제2 적재부 130 : 제3 적재부
140 : 공급 매거진 150 : 회수 매거진
160 : 제1 로봇 170 : 제2 로봇
10 : 챔버 20 : 후드
30 : 이젝트 바디 40 : 웨이퍼 홀더
50 : 스테이지 60 : 픽업 유닛
70 : 콜릿 80 : 픽업 헤드
90 : 다이 스테이지
100: collet and hood replacement device 110: first stacking part
120: second loading part 130: third loading part
140: Supply Magazine 150: Recovery Magazine
160: first robot 170: second robot
10: chamber 20: hood
30: eject body 40: wafer holder
50: stage 60: pickup unit
70: Collet 80: Pickup head
90: die stage

Claims (7)

픽업 헤드에 장착될 콜릿들이 수납된 공급 매거진 및 상기 콜릿들이 상기 픽업 헤드에 장착되기 위해 배출되어 빈 공급 매거진을 적재하기 위한 제1 적재부;
상기 픽업헤드로부터 분리된 콜릿들을 수납하기 위한 회수 매거진을 적재하기 위한 제2 적재부; 및
이젝트 바디에 장착될 후드 및 상기 이젝트 바디로부터 분리된 후드를 적재하기 위한 제3 적재부를 포함하고,
상기 제1 적재부, 상기 제2 적재부 및 상기 제3 적재부 각각은, 베이스 플레이트 및 상기 공급 매거진, 상기 회수 매거진 또는 상기 후드를 적재하기 위해 슬롯들을 가지며, 제1 로봇이 상기 슬롯들과 정렬이 어긋나더라도 상기 제1 로봇이 상기 공급 매거진, 상기 회수 매거진 또는 상기 후드를 상기 슬롯들에 용이하게 적재하거나 상기 슬롯들로부터 용이하게 분리하도록 상기 베이스 플레이트에 대해 수평 방향을 따라 탄성적으로 요동하도록 구비되는 슬롯 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 스태커 유닛.
A first magazine for storing collets to be mounted on the pick-up head and a first magazine for discharging the empty magazine to be ejected to mount the collets on the pick-up head;
A second loading unit for loading a recovery magazine for storing collets separated from the pick-up head; And
A hood to be mounted on the eject body, and a third loading section for loading the hood separated from the eject body,
Wherein each of the first loading portion, the second loading portion and the third loading portion has slots for loading the base plate and the supply magazine, the recovery magazine or the hood, and the first robot is aligned with the slots The first robot is configured to elastically swing along the horizontal direction with respect to the base plate so as to easily load or easily separate the supply magazine, the recovery magazine or the hood into the slots or to easily separate the slots from the slots And a slot plate formed on the stacker unit.
제1항에 있어서, 상기 슬롯 플레이트는 상부면에 오목 홈을 가지며,
상기 베이스 플레이트에 구비되며, 볼을 상기 오목 홈에 삽입하여 상기 슬롯 플레이트를 탄성적으로 지지하여 상기 슬롯 플레이트가 상기 수평 방향을 따라 요동한 후 원위치로 복귀하도록 복원력을 제공하는 볼 플런저를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스태커 유닛.
The slot plate according to claim 1, wherein the slot plate has a concave groove on an upper surface thereof,
And a ball plunger provided on the base plate to elastically support the slot plate by inserting the ball into the concave groove to provide a restoring force to return the slot plate to its original position after swinging along the horizontal direction And the stacker unit.
제1항에 있어서, 상기 후드 및 상기 픽업 헤드에 의한 다이 본딩 공정이 이루어지는 챔버 내부와 외부 사이를 이동하며, 상기 외부에서 상기 공급 매거진, 상기 회수 매거진 및 상기 후드의 공급과 배출이 가능하도록 상기 제1 적재부, 상기 제2 적재부 및 상기 제3 적재부는 서랍 형태로 구비되는 것을 특징으로 하는 스태커 유닛.The method of claim 1, further comprising: moving between the inside and the outside of the chamber in which the die bonding process is performed by the hood and the pick-up head, and supplying and discharging the supply magazine, the recovery magazine, 1 stacking part, the second stacking part and the third stacking part are provided in a drawer shape. 제1항에 있어서, 상기 제1 로봇이 상기 공급 매거진, 상기 회수 매거진 및 상기 후드를 공통으로 파지하도록 상기 공급 매거진, 상기 회수 매거진 및 상기 후드에서 상기 제1 로봇이 파지하는 부분은 동일한 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 스태커 유닛. 2. The apparatus according to claim 1, wherein a portion of the supply magazine, the recovery magazine, and the hood held by the first robot holds the supply magazine, the recovery magazine and the hood in common so that the first robot holds the supply magazine, And the stacker unit. 픽업 헤드에 장착될 콜릿들이 수납된 공급 매거진 및 상기 콜릿들이 상기 픽업 헤드에 장착되기 위해 배출되어 빈 공급 매거진을 적재하기 위한 제1 적재부;
상기 픽업헤드로부터 분리된 콜릿들을 수납하기 위한 회수 매거진을 적재하기 위한 제2 적재부;
이젝트 바디에 장착될 후드 및 상기 이젝트 바디로부터 분리된 후드를 적재하기 위한 제3 적재부;
상기 픽업 헤드에서 분리된 콜릿들이 수납된 회수 매거진을 상기 제2 적재부로 전달하고, 상기 제1 적재부로부터 상기 픽업 헤드에 장착될 콜릿들이 수납된 공급 매거진을 이송하여 상기 픽업 헤드에 장착하고, 상기 제3 적재부로부터 상기 이젝트 바디에 장착할 후드를 전달하고 상기 이젝트 바디에서 분리된 후드를 상기 제3 적재부로 전달하는 제1 로봇; 및
상기 이젝트 바디에서 후드를 분리하여 상기 제1 로봇으로 전달하고, 상기 제1 로봇으로부터 상기 후드를 전달받아 상기 이젝트 바디에 장착하는 제2 로봇을 포함하고,
상기 제1 적재부, 상기 제2 적재부 및 상기 제3 적재부 각각은, 베이스 플레이트 및 상기 공급 매거진, 상기 회수 매거진 또는 상기 후드를 적재하기 위해 슬롯들을 가지며, 상기 제1 로봇이 상기 슬롯들과 정렬이 어긋나더라도 상기 이송 로봇이 상기 공급 매거진, 상기 회수 매거진 또는 상기 후드를 상기 슬롯들에 용이하게 적재하거나 상기 슬롯들로부터 용이하게 분리하도록 상기 베이스 플레이트에 대해 수평 방향을 따라 탄성적으로 요동하도록 구비되는 슬롯 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 콜릿 및 후드 교체 장치.
A first magazine for storing collets to be mounted on the pick-up head and a first magazine for discharging the empty magazine to be ejected to mount the collets on the pick-up head;
A second loading unit for loading a recovery magazine for storing collets separated from the pick-up head;
A third loading unit for loading a hood to be mounted on the eject body and a hood separated from the eject body;
A pickup magazine for receiving collets separated from the pick-up head is transmitted to the second pick-up unit, a supply magazine containing collets to be mounted on the pickup head is transferred from the first pick-up unit to the pickup head, A first robot for transferring a hood to be mounted to the eject body from the third loading part and transferring the hood separated from the eject body to the third loading part; And
And a second robot for separating the hood from the eject body and delivering the hood to the first robot and receiving the hood from the first robot and mounting the hood on the eject body,
Wherein each of the first loading section, the second loading section and the third loading section has slots for loading the base plate and the supply magazine, the return magazine or the hood, So that the transfer robot can easily load or unload the supply magazine, the recovery magazine, or the hood in the slots even if the alignment is out of order, or to elastically swing along the horizontal direction with respect to the base plate to easily separate the slots from the slots Lt; RTI ID = 0.0 > 1, < / RTI >
제5항에 있어서, 상기 콜릿의 분리 및 장착은 콜릿 교체 위치에서 이루어지며, 상기 제1 로봇은 상기 웨이퍼 및 상기 이젝트 바디가 구비된 스테이지의 상에 구비되어 상기 스테이지의 이동에 따라 상기 콜릿 교체 위치로 이동하는 것을 특징으로 하는 콜릿 및 후드 교체 장치. 6. The method of claim 5, wherein the separation and mounting of the collet is performed at a collet replacement position, and the first robot is disposed on a stage having the wafer and the eject body, To the collet and hood replacement device. 제5항에 있어서, 상기 제1 로봇에 구비되며, 상기 제1 로봇이 상기 제1 적재부, 상기 제2 적재부 및 상기 제3 적재부와 충돌하는 경우 상기 제1 로봇에 가해지는 과하중을 감지하기 위한 하중 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 콜릿 및 후드 교체 장치. 6. The robot according to claim 5, further comprising: an overload applied to the first robot when the first robot collides with the first loading part, the second loading part and the third loading part, Further comprising a load sensor for sensing the position of the collet and hood.
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