KR20170001707A - 고정전용량의 콘덴서용 권회형 적층체 및 이를 이용한 적층 권회형 콘덴서 - Google Patents

고정전용량의 콘덴서용 권회형 적층체 및 이를 이용한 적층 권회형 콘덴서 Download PDF

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Abstract

고정전용량과 고내전압을 실현할 수 있는 콘덴서용 권회형 적층체를 제공하는 것이다. 콘덴서용 권회형 적층체로서, 금속층과 유전체층을 구비해 이루어지고, 상기 금속층 위에 상기 유전체층이 존재하고, 상기 유전체층을 구비한 금속층 2장을 한 쌍으로 해서 적층 권회되어 이루어지며, 플라스틱 필름을 포함하지 않는 것을 특징으로 하는 것에 의해 달성된다.

Description

고정전용량의 콘덴서용 권회형 적층체 및 이를 이용한 적층 권회형 콘덴서{Wound type laminate for high capacitive capacitor and laminated wound type capacitor using the same}
본 발명은 고정전용량의 콘덴서용 권회형 적층체 및 이를 이용한 적층 권회형 콘덴서에 관한 것이다.
콘덴서는 전극에 유전체를 협지한 것으로 구성되며, 전하를 비축하는 성질을 갖는 것이다. 콘덴서는 기기, 전원, 전기전자 부품, 자동차용 부품으로 널리 사용되고 있다.
일반적으로 콘덴서는, 도 1에 나타난 바와 같이, 2장의 전극 사이에 유전체(절연물)를 협지한 구조로 되어 있다. 또한, 전극 면적이 A[㎡], 유전체의 유전율이 ε[F/m], 전극 사이의 거리가 l[m]인 콘덴서의 정전용량 C[F]은 하기 수학식 1로 표시된다.
Figure pat00001
(상기 수학식 1에서, εr는 비유전율이다.)
따라서, 콘덴서에서 고정전용량을 얻기 위해서는,
(1) 유전체와 접하는 전극 면적 A를 높이고,
(2) 유전율이 높은 유전체를 사용하고/하거나,
(3) 전극 사이의 거리를 짧게 하는(=유전체의 두께를 얇게 하는) 방법이 유효하다.
최근, 하이브리드 자동차(HEV), 전기자동차(EV)의 개발 및 보급에 따라, 모터 및 인버터 회로에서 직류 전류에 중첩되는 리플 성분(전압, 전류)을 제거하여 평활화된 고용량 및 고내전압의 콘덴서가 요구되고 있다. 그의 대표적인 예로, 가요성이 있는 수지 필름을 유전체로 이용하면서, 수지 필름을 사이에 끼우고 서로 대향하도록 제1 및 제2의 대향 전극이 되는 금속막을 수지 필름의 각 주면(主面)에 따라 배치한 필름 콘덴서가 제안되고 있다(비특허문헌 1).
I. 필름 콘덴서는 통상적으로, 전술한 유전체 수지 필름을 권회해서 이루어지는 원통형 또는 이를 눌러서 단면(端面)을 편평한 형태가 되도록 한 기둥형의 형태로 되어 있고, 상기 원통의 서로 대향하는 제1 및 제2의 단면(端面) 위에는, 각각 제1 및 제2의 외부 단자 전극이 형성되어 있다. 그리고, 전술한 제1의 대향 전극은 제1의 외부 단자 전극에 전기적으로 접속되어 있고, 제2의 대향 전극은 제2의 외부 단자 전극에 전기적으로 접속되어 있다.
예를 들어, 비특허문헌 2에서는 폴리프로필렌 필름의 일 면에, 2개의 금속을 진공 증착시켜 전극을 만들고, 이 필름을 2장 준비하여 포개어 적층함으로써, 2개의 전극 사이에 유전체인 폴리프로필렌 필름이 협지된 콘덴서를 제안하고 있다(도 2). 또한, 비특허문헌 3에서는 유전체가 되는 고분자 필름에 금속 전극을 진공 증착에 의해 형성하고, 이 필름 2장을 한 쌍으로 하여 겹겹이 포개어 권회하고(도 2), 그 단면(端面)에 금속 용사(메탈리콘)하여, 외부 전극을 형성한 콘덴서를 제안하고 있다.
반면, 비특허문헌 2 및 비특허문헌 3에 개시되어 있는 바와 같이, 필름 콘덴서에서 HEV, EV에 사용되는 경우에 고내전압 및 저손실(tan σ=유전정접)이 요구된다. 유전정접(tan σ)이 크면, 에너지 손실이나 이에 수반되는 발열이 발생하고, 고주파 회로의 작동이 불안정해지는 등의 문제를 초래하기 때문이다. 이러한 배경하에, 고주파 용도의 필름 콘덴서에 있어서는 유전체 필름 재료로, 1㎑에서의 유전정접(tan σ)이 0.05% 이하로 극히 작은 폴리프로필렌 필름(PP)이 주로 사용되고 있다. 또한, 금속 전극 재료로는, 전기 특성과 내식성을 갖는 점과 비용 측면을 고려할 때 알루미늄, 알루미늄합금, 아연, 아연합금, 동, 동합금 등을 이용하는 것이 일반적이다.
그러나, 폴리프로필렌 필름(PP)은 유전율(ε)이 약 2.2(1㎑, 20℃)로 매우 낮고, 이러한 필름 콘덴서에서는 충분한 정전용량을 얻는 것이 매우 어렵다. 또한, 필름 콘덴서에서는 유전율, 유전정접이 유전체 필름에 의해 일의적으로 정해진다는 점에서, 설계에 있어 정전용량과 내전압을 컨트롤하기가 어렵다. 또한, 고정전용량을 얻기 위해서는 폴리프로필렌 필름(PP)을 연신해서 박막화할 필요가 있는데, 2㎛ 이하인 극도로 얇은 필름에서는 내전(耐電) 등에 의해 용이하게 블로킹, 파단 등이 발생하기 쉽고, 고속 권취에 맞지 않으며, 또한 권취 시에 단면(端面)의 어긋남 및 구김이 발생하는 등 제조공정에서 취급이 용이하지 않다.
II. 또한, 고유전율의 유전체층과 내부 전극을 번갈아 복수 적층하여 구성되는 적층 세라믹 콘덴서도 종래부터 개발되고 있다.
예를 들어, 특허문헌 1에서는 비유전율 10,000 이상인 고유전율계 자기층(고유전율 세라믹층)을 갖고, 또한, 소성 온도가 비교적 낮은 특정한 조성의 유전체층에 이용함으로써, 저렴하면서도 단위 면적당 용량이 큰, 소형화 가능한 적층 세라믹 콘덴서가 제안되고 있다.
그러나, 이러한 적층 세라믹 콘덴서는 유전체층에 사용하는 재료에 따라, 온도 변화에 수반되는 정전용량의 변화가 커지거나 전류를 흐르게 했을 때 정전용량이 저하되는 등, 이른바 용량 변화의 문제가 있어, 엄밀한 용량이 요구되는 용도로는 부적합했다. 또한, 필름 콘덴서의 형태로 권회하지 않고 적층되어 있기 때문에, 대향하는 한 쌍당 내부 전극 면적이 작으며, 이로 인해 콘덴서 전체의 정전용량은 상기 필름 콘덴서에 비해 반드시 크게 할 수는 없었다.
반면, 특허문헌 2 내지 5에는, 세라믹 유전체로 된 미소성의 세라믹 시트 상에 전극을 인쇄하고, 2장을 한 쌍으로 해서 권회하여 제조된 권회형 세라믹 콘덴서가 제안되고 있다.
그러나, 이러한 권회형 세라믹 콘덴서는 세라믹 유전체를 이형 필름 상에 습식 도포하고, 건조 후에 필름에서 박리하여 형성된 세라믹 시트를 유전체층에 사용하고 있으므로, 후공정에서 천수백℃라는 고온에서 유전체를 소결시킬 필요가 있었다. 또한, 세라믹 시트의 막 두께는 10㎛ 정도이고, 전극 사이의 거리를 3㎛ 이하로 하는 것이 곤란하였기 때문에 최근 요구되고 있는 대용량이면서 소형화가 가능한 콘덴서를 얻을 수가 없었다. 아울러, 유전정접(tan σ)이 수%이어서 HEV나 EV에서의 사용에서 요구되는 고내전압 및 저손실 특성을 얻을 수가 없었다.
특허문헌 1: 일본 특허 제2821768호
특허문헌 2: 일본 특허 공개 소61-29526호
특허문헌 3: 일본 특허 공개 소61-29528호
특허문헌 4: 일본 특허 공개 소61-29529호
특허문헌 5: 일본 특허 공개 소62-62447호
비특허문헌 1: 닛케이일렉트로닉스 2012년 9월 17일호 "필름·콘덴서 약진, 자동차가 에너지의 위기를 메인터넌스 프리하게"
비특허문헌 2: Automotive Technology 2011.7월호 제102항 내지 제105항 "3㎛ 이하의 필름으로 대용량 콘덴서를 만들다"
비특허문헌 3: Panasonic Technical Journal Vol.57 No.3 0ct. 2011 제51항 내지 제55항 "HEV용 소형·고내전압 필름 콘덴서"
이상으로부터, 여전히 필름 콘덴서 및 적층 세라믹 콘덴서로 대체할 수 있는, 고정전용량과 고내전압이 우수하면서 소형화 가능성 및 제조 용이성이 우수한 콘덴서용 적층체 및 콘덴서의 개발이 시급한 상황이다.
본 발명자 등은 본 발명시에, 금속층과 그 위에 형성되는 유전체층으로 구성되고, 또한, 플라스틱 필름을 포함하지 않음으로써, 고정전용량과 고내전압을 실현할 수 있으면서 소형화 가능성 및 제조 용이성(취급 용이성)이 우수한 콘덴서용 권회형 적층체 및 이를 이용한 콘덴서를 얻을 수 있다는 식견을 얻었다. 본 발명은 이러한 식견에 의거하여 이루어진 것이다.
본 발명이 제안하는 콘덴서용 권회형 적층체는 금속층과 유전체층을 구비하여 이루어지고, 상기 금속층(주로 전극을 의미한다) 위에 상기 유전체층이 존재하며, 상기 유전체층을 구비한 금속층 2장을 한 쌍으로 하여 적층 권회되고, 플라스틱 필름을 포함하지 않는 것을 특징으로 한 것이다.
도 3에 나타난 콘덴서용 권회형 적층체는 권회축 주위로 권회되는, 서로 대향하는 제1 금속층(A1) 및 제2 금속층(A2)과, 제1 유전체층(B1) 및 제2 유전체층(B2)을 구비함과 함께, 제1 금속층(A1) 및 제2 금속층(A2)에 각각 전기적으로 접속되는 제1 외부 단자 전극(3) 및 제2 외부 단자 전극(4)을 구비하고 있다.
제1 외부 단자 전극(3) 및 제2 외부 단자 전극(4)은, 전술한 바와 같이 해서 얻어진 원통형 또는 이를 가압하여 단면(端面)을 편평하게 한 기둥형으로 된 형상의 콘덴서용 권회형 적층체의 각 단면(端面)상에, 이를 테면 아연 등의 금속을 용사함으로써 형성된다. 이 때, 제1 외부 단자 전극(3)은 제1 금속층(A1)의 노출 단부와 접촉하고, 이에 따라 제1 금속층(A1)과 전기적으로 접속된다. 한편, 제2 외부 단자 전극(4)은 제2 금속층(A2)의 노출 단부와 접촉하고, 이에 따라 제2 금속층(A2)과 전기적으로 접속된다. 이로 인해, 본 발명의 일례인 적층 권회형 콘덴서를 제안할 수가 있다.
본 발명에 의한 콘덴서용 권회형 적층체에 따르면, 단위 면적당 정전용량이 이론상 100배 이상이 되어, 고정전용량을 실현할 수 있다. 또한, 유전체층에 유전성 세라믹을 사용할 수 있기 때문에 금속층과 유전체층의 구성 재료 선택 및 조합에 자유도가 있다는 점에서, 원하는 유전율 및 유전정접을 설정할 수 있다. 또한, 유전체층을 극도로 얇은 플라스틱 필름으로 취급할 필요가 없기 때문에, 취급성 및 제조 용이성이 우수하다.
도 1은 콘덴서의 기본 개략도이다.
도 2는 종래의 필름 콘덴서의 개요이다.
도 3은 본 발명에 의한 콘덴서용 권회 적층체 및 이를 이용한 콘덴서의 개략도이다.
(적층 권회형 콘덴서)
본 발명에 의한 콘덴서용 권회형 적층체는 금속층 및 유전체층(콘덴서 소자)을 기본 단위로 하고, 이를 원하는 정전용량에 합치되도록 여러 번 적층 권회하고, 플라스틱 필름을 포함하지 않는 것(바람직하게는, 완성된 콘덴서용 권회형 적층체에 플라스틱 필름을 포함하지 않는 것)을 특징으로 한 것이다.
(플라스틱 필름)
본 발명에서는 플라스틱 필름을 포함하지 않는 것을 특징으로 한다.
플라스틱 필름이란, 일반적으로 합성 수지 등 고분자 성분을 얇은 막 형상으로 성형한 것을 의미한다. 플라스틱 필름의 형상은 필름 뿐만 아니라, 막, 박, 시트를 포함하는 것이다.
플라스틱 필름을 구성하는 합성 수지 등에는, 열가소성 수지, 예를 들어 폴리에틸렌(PE), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 등의 폴리에스테르(PL), 폴리프로필렌(PP), 폴리염화비닐(PVC), 폴리염화비닐리덴(PVDC), 폴리스틸렌(PS), 폴리아세트산비닐(PVAC), 폴리우레탄(PUR), 폴리테트라플루오르에틸렌(PTFE), 아크릴로니트릴부타디엔스틸렌 수지(ABS수지), 스틸렌아크릴로니트릴코폴리머 수지(AS 수지), 아크릴 수지(PMMA) 등이 있다. 또한, 열경화성 수지, 예를 들어 페놀 수지(PF), 에폭시 수지(EP), 멜라민 수지(MF), 요소 수지(우레아수지, UF), 불포화폴리에스텔 수지(UP), 알키드 수지, 폴리우레탄(PUR), 열경화성 폴리이미드(PI) 등이 있다.
본 발명에서는, 상기 중에서도 특히 유전성의 플라스틱 필름을 제외한다.
(유전체층)
유전체층은 유전체로서 기능하고, 한 층 또는 복수 층으로 구성될 수 있다. 유전체층을 구성하는 재료로는, 산화몰리브덴, 산화아연, 규산마그네슘, 산화티탄, 산화지르코늄, 산화탄탈, 산화마그네슘, 산화실리콘 등의 금속산화물, 수산화알루미늄, 수산화마그네슘 등의 금속수산화물, 질화붕소, 질화알루미늄, 질화갈륨, 질화인듐, 질화실리콘, 질화동, 질화지르콘 등의 금속질화물, 탈크, 마이카, 규산칼슘, 규산칼륨, 소성클레이, 황산바륨, 티탄산스트론튬, 티탄산칼슘, 티탄산바륨, 산화알루미늄, 탄산마그네슘, 탄산칼슘, 탄산바륨 등으로 이루어지는 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 들 수 있으며, 이 밖에도, 몰리브덴, 아연, 칼슘, 인, 알루미늄, 칼륨, 규소, 마그네슘 등으로 이루어지는 1종 또는 2종 이상의 원소로 이루어지는 산화물이나 질화물 등의 화합물이어도 되고, 상기 화합물을 복수 조합해서 이용해도 된다.　
이 중에서 특히, 산화티탄, 티탄산스트론튬, 티탄산바륨 또는 산화티탄과 산화바륨을 주재료로 하고, 몇 개의 금속산화물을 혼합하여 제작된 복합유전체；산화알루미늄, 산화규소, 질화알루미늄, 탄화규소, 티탄산바륨, 포르스테라이트(forsterite), 니오브산마그네슘산바륨, 티탄산네오듐산바륨 등으로 이루어지는 1종 또는 2종 이상의 것을 들 수 있으며, 특히 바람직하게는 산화티탄, 티탄산스트론튬, 티탄산바륨, 산화알루미늄, 산화규소를 이용할 수 있다.
유전체층의 층 두께는 5㎚ 이상 3㎛ 미만이며, 바람직하게는 하한값이 10㎚ 이상, 상한값이 1㎛ 이하이며, 보다 바람직하게는 하한값이 20㎚ 이상, 상한값이 500㎚ 이하이다.
유전체층의 층 두께가 5㎚ 이상인 경우, 전극 사이의 단락이 일어나기 어려워지고 충분한 절연성을 얻을 수 있게 된다. 유전체층의 층 두께가 3㎛ 미만이면, 고정전용량을 얻기 쉬워지고, 또한, 금속층 위에 유전체층을 형성한 후 권회했을 때 유전체층에 균열이 생기는 것을 억제하기가 용이해진다.
본 발명에서 유전체층을 금속층 위에 형성하는 방법으로는, 균일하면서 치밀하고 극히 얇은 유전체층을 얻기 위해 기상법을 이용하는 것이 바람직하다. 기상법은 물리증착법(PVD)과 화학증착법(CVD) 중 임의의 것을 사용할 수 있다.
PVD의 구체적인 방법으로는 진공증착법, 전자선(EB) 증착법, MBE(분자선 에피택시)법, 이온 플레이팅법, ICB(클러스터 이온빔)법, 스퍼터법, 이온빔 디포지션, 펄스 레이저 디포지션 등을 들 수 있으며, 이 중에서도 전자선(EB) 증착법, 이온 플레이팅법 및 스퍼터법 중에서 1종 또는 2종 이상을 조합한 것을 바람직한 방법으로 이용할 수 있다.
또한, CVD의 구체적인 방법으로는 열 CVD(APCVD 및 LPCVD), 플라즈마 CVD, 광 CVD, 졸겔법 및 원자층증착법(ALD) 등을 들 수 있으며, 이 중에서도 열 CVD, 플라즈마 CVD 및 원자층증착법(ALD)을 바람직한 방법으로 이용할 수 있다.
나아가, PVD, CVD 이외에, 에어로졸 디포지션(Aerosol Deposition: AD)법도 유전체층을 형성하는 바람직한 방법으로 이용할 수 있다.
(금속층)
본 발명의 금속층은 (내부) 전극으로 기능하고, 한 층 또는 복수 층으로 구성될 수 있다.
금속층을 구성하는 재료는 특별히 한정되지 않으며, 예를 들어 금속박, 금속막, 금속 필름을 사용할 수 있고, 또한 이형 필름 상에 금속 성막을 할 수 있다. 금속층에 이용되는 금속으로는 알루미늄, 아연, 납, 금, 은, 백금, 크롬, 동, 니켈, 몰리브덴 등의 단체(單體), 복수 종의 혼합물, 합금 등이 제한없이 이용될 수 있는데, 환경이나 경제성, 콘덴서 성능 등을 고려하면 알루미늄, 알루미늄합금, 아연, 아연합금, 동, 동합금이 바람직하다.
금속층의 층 두께는 0.5㎛ 이상, 20㎛ 이하이며, 바람직하게는 하한값이 1㎛ 이상, 상한값이 13㎛ 이하이며, 보다 바람직하게는 하한값이 1.5㎛ 이상, 상한값이 8㎛ 이하이다.
금속층의 층 두께가 0.5㎛ 이상인 경우, 롤-투-롤(roll-to-roll)로 금속층 위에 유전체층을 형성할 때, 금속층에 파단 등이 생기기 어렵고, 고속 권취가 용이하다. 금속층의 층 두께가 20㎛ 이하인 경우, 콘덴서로 할 때 소형화·경량화를 용이하게 달성할 수 있으며, 또한, 고정전용량을 얻을 수 있다.
금속층은 박, 막, 필름을 사용한다. 또한, 이형 필름 위에 금속 성막해도 되며, 성막 방법은 전술한 물리증착(PVD)과 화학증착(CVD), 에어로졸 디포지션(AD)법 중 임의의 방법을 사용할 수 있다.
이형 필름은 내열성이 우수한 고분자 필름, 예를 들어 폴리프로필렌 필름(PP), 폴리에틸렌 텔레프탈레이트 필름(PET) 등을 들 수 있으며, 이형성을 더욱 향상시키기 위해서는 상기 필름에 실리콘을 도포한 필름이 사용된다.
또한, 금속층은 필요에 따라, 절연 파괴가 발생했을 때 퓨즈 기능에 의해 단락한 개소의 분할 전극을 떼어내어 절연을 회복시킬 목적으로, 패터닝(patterning)에 의해 분할되는 것이 바람직하다.
(적층)
본 발명에 있어서는 금속층 및 유전체층(콘덴서 소자)을 기본단위로 해서 콘덴서 소자를 축차 적층시켜서 달성된다. 본 발명의 바람직한 양태에 따르면, 도 3에 나타난 것처럼 콘덴서 소자의 단부를 엇갈리게 적층시키는 것이 바람직하다.
(용도)
본 발명의 바람직한 양태에 따르면, 콘덴서용 권회형 적층체를 이용한 적층 권회형 콘덴서를 제안할 수 있다. 적층 권회형 콘덴서는, 콘덴서용 권회형 적층체, 즉 금속층과 유전체층을 구비하여 이루어지고, 상기 금속층(주로 전극으로 기능) 상에 상기 유전체층이 존재하고, 상기 유전체층을 구비한 금속층 2장을 한 쌍으로 하여 적층 권회되며, 또한, 플라스틱 필름을 포함하지 않는 것을 구비하여 이루어지는 것이다.
(외부 전극)
본 발명에 있어서는 적층 권회형 콘덴서의 양쪽 단면(端面)에 외부 전극을 구비해 이루어지는 것으로 할 수 있다. 외부 전극을 금속 용사에 의해 형성하는 것이 바람직하다.
(밀봉)
본 발명에 있어서는 외부 전극에 리드 등을 부착시킨 후, 수지 등을 이용하여 밀봉한 것으로 제안할 수 있다.
이하, 본 발명의 내용을 실시예를 들어 설명하나, 본 발명의 범위는 이 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 된다. 또한, 전술한 바와 같이 본 발명은 콘덴서용 권회형 적층체 및 이를 이용한 적층 권회형 콘덴서에 관한 것이며, 그 바람직한 양태는 적층 권회형 콘덴서의 양쪽 단면(端面)에 외부 전극을 구비하고, 리드 등을 부착시킨 후에 수지 등을 이용하여 밀봉한 것인데, 이하 서술하는 실시예에 있어서는 콘덴서로서의 특성 평가를 간소화하여 실시한 것이므로, 소자 구조를 단순화한 간이 셀로 비교 평가를 실시하였다. 이들 소자 구조의 단순화는, 어디까지나 특성 평가의 간소화를 목적으로 한 것으로, 본 발명을 실시하는 데 있어 어떠한 제한을 부여하는 것은 아니다.
(실시예 1)
1. 금속층 위에 유전체층의 형성
금속층으로, (a1); Sumikei Aluminium Foil 사의 알루미늄 소박(素箔); 1N30(박 두께 6.5㎛)을 이용하고, (a1) 위에 DC 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 유전체층을 성막하였다. 구체적으로는 아래와 같이 실시하였다.
Ulvac 사의 마그네트론 스퍼터링 장치; SX-200에, 순도 4N의 산화알루미늄(Al2O3) 타겟을 캐소드에 설치하고, 도달 진공도 8×10-4㎩까지 감압하였다. 다음으로 아르곤 가스를 도입하고, (a1) 기판을 놓은 스테이지를 10 rpm으로 회전시키면서 전력 1000W, 성막 레이트 6.0㎚/min으로 스퍼터링 시간을 제어함으로써, (b1); 막 두께 180㎚의 Al2O3 층을 성막하였다. 이때, 타겟과 샘플의 거리는 120㎜, 스테이지의 회전 속도는 10rpm, Ar 가스의 유량은 165sccm이며, 가스 도입 후의 챔버 내의 압력은 0.67㎩ 이었다.
2. 간이 콘덴서 셀의 제작
(1) 금속층 위의 유전체층 형성으로 얻은, 유전체층(Al2O3)이 부가된 금속층(알루미늄 소박(素箔))을, 70㎜×40㎜ 크기로 2장 절단하고, 한쪽 시험편의 유전체층 쪽에 다른 쪽 시험편의 금속박 쪽이 오도록 포개어, 길이 방향으로 상호 20㎜ 어긋나도록 포개지는 부분이 50㎜×40㎜ 크기가 되도록 하고, 포개진 부분과 동일한 크기를 갖는 2장의 유리판으로 바깥쪽에서부터 끼우고, 클립으로 고정시켜서 포개진 부분을 완전 밀착시켰다. 그리고, 각 시험편의 바깥쪽으로 돌출된 단부를, 각각 리드 전극로 하여 임피던스 측정 장치에 연결하였다.
(실시예 2)
금속층으로, (a2); Sumikei Aluminium Foil 사의 알루미늄 소박(素箔); 8021(BESPA, 박 두께 6.5㎛)을 사용하고, Ulvac 사의 마그네트론 스퍼터링 장치; SX-200에, 순도 4N의 산화실리콘(SiO2) 타겟을 캐소드에 설치하고, 전력 1000W, 성막 레이트 15.0 ㎚/min으로 스퍼터링 시간을 제어함으로써, 유전체막으로 (b2) ; 막 두께 150㎚의 SiO2층을 성막시킨 것 외에는, 실시예 1과 동일하게 간이 콘덴서 셀을 제작하였다.
(실시예 3)
금속층으로, (a3); Mitsui Mining & Smelting 사의 캐리어가 부가된 극히 얇은 동박; Micro Thin MT18Ex(박 두께 2㎛, 캐리어 두께 180㎛)을 사용하고, 실시예 1에서 스퍼터링 시간을 제어함으로써, 유전체층으로 (b3); 막 두께 60㎚의 Al2O3 층을 성막하고 성막 후에 캐리어를 벗겨서 셀을 제작한 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 간이 콘덴서 셀을 제작하였다.
(비교예 1)
막 두께 3㎛의 연신 폴리프로필렌(PP) 필름 상에, 진공증착법에 따라 막 두께 30㎚의 알루미늄을 성막하였다. 이를 실시예 1에서와 동일하게 하여, 간이 콘덴서 셀을 제작하였다.
(평가 시험)
실시예 및 비교예에서 제작한 간이 콘덴서 셀을 샘플로 하여 아래의 평가를 실시하였다. 그 결과는 하기 표 1에 기재한 바와 같다.
1. 콘덴서 특성 평가
임피던스 측정 장치를 이용하여 간이 콘덴서 셀 샘플의 특성 평가를 실시하였다.
임피던스 측정 장치는, Toyo Corporation 사의 SOLARTRON 1255B FREQUENCY RESPONSE ANALYSER와, 동(同)사의 SOLARTRON SI1287 ELECTROCHEMICAL INTERFACE를 연결하고, 해석 소프트웨어는 ZPlot을 사용하였다. 평가는 실온(25℃)에서 주파수 1㎒에서의 정전용량, 유전정접(tan σ)을 측정하고, 비유전율을 산출하였다.
2. 고온 내전압성 시험
간이 콘덴서 셀 샘플의 고온 내전압성 시험을 아래의 순서로 실시하였다.
우선, 미리 소자를 시험온도(110℃)에서 1시간 예열한 후, 시험 전에 초기 전기용량을 1.과 동일하게 하여, 임피던스 측정 장치를 이용하여 평가하였다. 다음으로, 115℃의 고온조 안에서 고압전원을 이용하여 간이 콘덴서 셀에 직류 1.3㎸의 전압을 1분간 부하(負荷)하였다. 전압 부하(負荷)를 종료한 후의 간이 콘덴서 셀의 용량을 임피던스 측정 장치로 측정하고, 전압 부하 전후의 용량 변화율을 산출하였다. 다음으로, 소자를 다시 고온조 내로 되돌려 2회째의 전압부하를 실시하고, 2회째의 용량 변화(누적)를 구하고, 이를 4회 반복하였다. 4회째의 용량 변화율을 평가에 이용하였다. 4회째의 전기 용량 변화율은 -20% 이하인 것이 실용 면에서 바람직하다고 할 수 있다.
(평가 결과)
이상, 표 1에 나타난 결과를 얻었다. 폴리프로필렌 필름을 유전체로 한 기존의 필름 콘덴서(비교예 1)에 비해, 모든 실시예에서 정전용량 및 고온 내전압 특성이 크게 개선되는 결과를 얻었다.
또한, 유전정접(tan σ)의 값이 0.05% 이하로 극히 작다는 점에서, 에너지 손실이나 그에 수반되는 발열에 의한 고주파 회로의 동작 불량 등의 문제 발생은, 기존의 폴리프로필렌 필름을 유전체로 한 필름 콘덴서와 동일한 수준으로 낮음을 이해할 수 있다.
Figure pat00002
표 1의 기재 내용 설명은 아래와 같다.
(금속층)
(a1) ; Sumikei Aluminium Foil 사의 알루미늄 소박(素箔); 1N30 (박 두께 6.5㎛)
(a2) ; Sumikei Aluminium Foil 사의 알루미늄 소박(素箔); 8021 (BESPA, 박 두께 6.5㎛)
(a3) ; Mitsui Mining & Smelting 사의 캐리어가 부가된 극히 얇은 동박; Micro Thin MT18Ex (박 두께 2㎛, 캐리어 두께 18㎛)
(유전체층)
(b1) ; Al2O3층 (막 두께 180㎚)
(b2) ; SiO2층 (막 두께 150㎚)
(b3) ; Al2O3층 (막 두께 120㎚)

Claims (9)

  1. 콘덴서용 권회형 적층체로서,
    금속층과 유전체층을 구비하여 이루어지고,
    상기 유전체층은 산화티탄, 티탄산 스트론튬, 산화 알루미늄, 산화 규소, 질화 알루미늄, 탄화규소, 티탄산 바륨, 포르스테라이트, 니오브산 마그네슘산 바륨 및 티탄산 네오듐산바륨으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 또는 2종 이상의 것으로부터 기상법에 의해 형성된 것이고,
    상기 금속층 위에 상기 유전체층이 존재하고, 상기 유전체층을 구비한 금속층 2장을 한 쌍으로 하여 적층 권회되고,
    플라스틱 필름을 포함하지 않는 것을 특징으로 하는 콘덴서용 권회형 적층체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기상법이, 전자선(EB) 증착법, 이온 플레이팅법, 스퍼터링법, 열 CVD법, 플라즈마 CVD법, 원자층증착(ALD)법 및 에어로졸 디포지션(AD)법 중에서 선택되는 1종 또는 2종 이상의 것인 콘덴서용 권회형 적층체.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 유전체층의 층 두께가 5㎚ 이상 3㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 콘덴서용 권회형 적층체.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 금속층의 층 두께가 0.5㎛ 이상 20㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 콘덴서용 권회형 적층체.
  5. 제1항에 있어서,
    금속층과 유전체층으로 구성되는 콘덴서 소자의 단부가 어긋나도록 복수의 콘덴서 소자가 적층된 것을 특징으로 하는 콘덴서용 권회형 적층체.
  6. 제1항에 있어서,
    박리 필름 위에, 금속층과 유전체층을 적층한 제조 필름을 적어도 2개 형성하고,
    상기 박리 필름을 박리하면서, 상기 2개의 제조 필름을 한 쌍으로 하여 권취하여 제조된 것을 특징으로 하는 콘덴서용 권회형 적층체.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 콘덴서용 권회형 적층체를 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 적층 권회형 콘덴서.
  8. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 상기 콘덴서용 권회형 적층체의 양쪽 단면(端面)에 외부 전극을 구비해 이루어지는 것을 특징으로 하는 적층 권회형 콘덴서.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 외부 전극의 형성이, 금속 용사에 의해 실시되는 것을 특징으로 하는 적층 권회형 콘덴서.
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