KR20160148791A - 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법 - Google Patents

유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판, 상기 기판 상에 위치하는 복수의 화소 전극, 상기 복수의 화소 전극 상에 위치하며, 상기 각 화소 전극을 노출하는 복수의 개구부를 포함하는 화소 정의막, 상기 복수의 화소 전극 상에 각각 형성되는 복수의 유기 발광층, 그리고 상기 복수의 화소 전극과 상기 복수의 유기 발광층 사이에 각각 위치하는 중간 패턴층을 포함하고, 상기 중간 패턴층은, 기 설정된 경로를 따라 서로 이웃한 상기 복수의 개구부들을 따라 이어지며 연장된 복수의 제1패턴을 포함하는 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.

Description

유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법 {ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPLAY AND MANUFACURING METHOD THEREOF}
본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
유기 발광 표시장치(organic light emitting diode display)는 자체 발광 방식으로 백라이트 유닛이 필요하지 않고 고속의 응답속도, 고해상도 및 대화면을 구현할 수 있는 장점이 있어 차세대 표시 장치로 주목 받고 있다.
일반적으로 이러한 유기 발광 표시 장치의 유기 발광층을 형성하는 방법으로는 스크린 인쇄법, 사진식각공정에 의한 감광성 페이스트법, 및 잉크젯 인쇄법(Ink-Jet printing) 등이 이용되고, 있으며, 이 중에서도 잉크젯 인쇄법은 대면적화 되는 기판에 한번에 인쇄 패턴을 형성할 수 있기 때문에 특히 주목 받고 있다.
보다 구체적으로, 잉크젯 인쇄법은 유기 발광 표시 장치의 기판 상에 유기물을 가압하여 노즐로부터 분사함으로써 원하는 패턴으로 잉크를 부착시켜 유기 발광층을 형성하는 방법이다.
그러나, 이러한 잉크젯 인쇄법은 노즐별 잉크량을 조절하기가 쉽지 않아 기판 상에 유기 잉크를 부착시켜 형성된 유기 발광층의 두께 편차가 심하고, 대면적 기판에 유기 발광층을 형성하는 공정에서는 공정 초기에 형성된 유기 발광층과 공정 마지막에 형성된 유기 발광층 간에 건조 시간에 차이가 생겨 발광층의 표면 불량을 야기하는 문제점이 있다. 또한, 이러한 패턴의 두께 편차 및 건조 속도 차이는 유기 발광 표시 장치의 휘도 불균일로 이어지기 때문에 표시 특성이 저하되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 중간 패턴층을 포함함으로써 유기 발광층의 두께 균일도를 획기적으로 향상시킬 수 있고, 잉크젯 프린팅법을 이용하여 유기 발광층을 형성하여도 유사한 건조 속도를 확보할 수 있기 때문에 우수한 휘도 균일성을 확보할 수 있는 유기 발광 표시 장치 및 그 제조방법을 제공하고자 한다.
본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
일 측면에서, 본 발명은, 기판, 상기 기판 상에 위치하는 복수의 화소 전극, 상기 복수의 화소 전극 상에 위치하며, 상기 각 화소 전극을 노출하는 복수의 개구부를 포함하는 화소 정의막, 상기 복수의 화소 전극 상에 각각 형성되는 복수의 유기 발광층, 그리고 상기 복수의 화소 전극과 상기 복수의 유기 발광층 사이에 각각 위치하는 중간 패턴층을 포함하고, 상기 중간 패턴층은, 기 설정된 경로를 따라 서로 이웃한 상기 복수의 개구부들을 따라 이어지며 연장된 복수의 제1패턴을 포함하는 유기 발광 표시 장치를 제공한다.
이때, 상기 복수의 제1패턴은, 상기 복수의 화소 전극 각각에 대응하여 위치하는 복수의 화소 전극 대응부를 포함하고, 상기 복수의 화소 전극 대응부 각각은 상기 기판으로부터 동일한 높이를 가진다.
한편, 상기 기판은 화상을 표시하는 표시 영역 및 상기 표시 영역과 이웃하는 비표시 영역을 포함하며, 상기 복수의 화소 전극은 상기 표시 영역에 위치하고, 상기 중간 패턴층은, 상기 비표시 영역에 상기 복수의 제1패턴과 연결되어 연장되는 제2패턴을 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 중간 패턴층의 복수의 제1패턴은 제2방향을 따라 연장된 복수개의 직선 패턴이 상기 제2방향과 교차하는 제1방향으로 나란하게 배열되고, 상기 중간 패턴층의 제2패턴은 상기 제1패턴의 양 단에 각각 연결되되, 상기 제1방향으로 각각 연장될 수 있다.
여기서, 상기 중간 패턴층의 제1패턴상에 위치하는 복수의 유기 발광층은 동일한 색상을 발광한다.
다음으로, 상기 중간 패턴층의 제2패턴은 상기 제1패턴의 일단에 연결되며, 상기 제1방향으로 연장되고, 상기 중간 패턴층은, 상기 복수의 제1패턴과 교대로 위치하며 상기 제2방향을 따라 연장된 복수개의 직선 패턴이 상기 제1방향으로 나란하게 배열되는 제3패턴, 및 상기 제3패턴의 일 단에 연결되되, 상기 제2패턴과 대향되게 위치하는 상기 비표시 영역에 상기 제1방향으로 연장되는 제4패턴을 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 제1패턴 상에 위치하는 유기 발광층과 및 상기 제3패턴 상에 위치하는 유기 발광층은 서로 다른 색상을 발광한다.
또한, 본 발명의 유기 발광 표시 장치에서, 상기 복수의 개구부는 나선형의 경로를 따라 소정의 간격으로 형성되고, 상기 중간 패턴층의 제1패턴은 상기 복수의 개구부들을 따라 나선으로 연결되어 연장될 수도 있다.
한편, 상기 복수의 유기 발광층은, 상기 복수의 화소 전극과 인접하는 하부에 복수의 보조 유기층을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 중간 패턴층은, 상기 복수의 화소 전극과 상기 복수의 보조 유기층 사이에 위치할 수 있다.
또한, 상기 중간 패턴층은, 상기 복수의 보조 유기층과 상기 복수의 유기 발광층 사이에 위치할 수 있다.
또한, 상기 복수의 보조 유기층 각각은 다층 구조로 형성되고, 상기 중간 패턴층은, 상기 다층 구조의 층들 사이에 위치할 수 있다.
일 측면에서, 본 발명은, 기판 상에 복수의 화소 전극을 형성하는 단계, 상기 복수의 화소 전극 상에 각 화소 전극을 노출하는 복수의 개구부를 포함하는 화소 정의막을 형성하는 단계, 상기 화소 정의막이 형성된 기판 상에 사진 식각 공정을 이용하여 기 설정된 경로를 따라 서로 이웃한 복수의 개구부들을 따라 이어지며 연장된 복수의 제1패턴을 포함하는 중간 패턴층을 형성하는 단계, 상기 복수의 제1패턴상에 잉크젯 프린팅법을 이용하여 복수의 유기 발광층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 중간 패턴층을 형성하는 단계는, 상기 복수의 화소 전극 각각에 대응하여 위치하는 제1패턴의 각 화소 전극 대응부가 상기 기판으로부터 동일한 높이를 가지도록 수행되는 유기 발광 표시 장치의 제조방법을 제공한다.
여기서, 상기 중간 패턴층을 형성하는 단계는, 상기 복수의 화소 전극이 위치하는 표시 영역과 이웃하는 비표시 영역에 상기 복수의 제1패턴과 연결되어 연장되는 제2패턴을 더 포함하도록 수행될 수 있다.
다음으로, 상기 유기 발광층을 형성하는 단계는, 상기 제2패턴상에 유기 발광층 형성 물질을 형성한 다음, 상기 제2패턴과 연결되어 연장되게 상기 제1패턴상에 유기 발광층 형성 물질을 형성하는 방법으로 수행될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는, 유기 발광층의 두께 균일도를 현저하게 향상시킬 수 있고, 잉크젯 프린팅법을 이용하여 유기 발광층을 형성하여도 건조에 소요되는 시간 차이가 거의 발생하지 않기 때문에 우수한 휘도 균일성을 확보할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 사시도이다.
도 2 내지 도 4는 각각 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.
도 5 내지 도 8은 각각 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 평면도이다.
도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 공정 순서도이다.
도 10(a) 및 도 10(b)는 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 것이다.
도 11(a) 내지 도 11(d)는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 것이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
명세서 전체에서 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 “위에” 있다고 할 때 이는 다른 부분의 “바로 위에” 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 그리고 “~위에”라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것을 의미하며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상측에 위치하는 것을 의미하지 않는다.
명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함”한다고 할 때 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 도면에 나타난 각 구성의 크기 및 두께 등은 설명의 편의를 위해 임의로 나타낸 것이므로, 본 발명은 도시한 바로 한정되지 않는다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 의미한다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 대하여 구체적으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는, 기판(110), 구동 박막 트랜지스터(T2), 화소 전극(50), 화소 정의막(350), 유기 발광층(70), 중간 패턴층(60), 및 공통 전극(80)을 포함한다.
상기 화소 전극(50) 및 공통 전극(80)은 복수로 형성될 수 있으며, 상기 화소 전극(50) 및 공통 전극(80) 중 하나가 정공 주입 전극으로서 기능하는 애노드(anode) 전극일 수 있고, 나머지 하나가 전자 주입 전극으로 기능하는 캐소드(cathode) 전극일 수 있다.
먼저, 상기 기판(110)은, 화상을 표시하는 표시 영역(DA) 및 상기 표시 영역(DA)을 둘러 싸는 비표시 영역(NDA)을 포함할 수 있다. 상기 기판(110)은, 유리, 금속 또는 합성 수지 등과 같은 경성 재질로 이루어지거나, 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리에틸렌테레프탈레이트 (polyethyleneterephthalate, PET) 등과 같은 연성 재질로 이루어질 수 있으며, 특별히 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명에서 상기 기판(110)은 종류, 성질 또는 재질과 같은 다양한 물성에 의해 제한되지 않는다.
그리고, 기판(110) 위에는 버퍼층(미도시)이 위치할 수 있다. 상기 버퍼층은 불순 원소의 침투를 방지하며, 표면을 평탄화하는 역할을 한다.
이때, 상기 버퍼층은 상기한 바와 같은 기능을 수행할 수 있는 다양한 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 버퍼층은 질화 규소(SiNx)막, 산화 규소(SiOy)막, 산질화 규소(SiOxNy)막 중 어느 하나가 사용될 수 있다. 그러나, 버퍼층은 반드시 필요한 구성은 아니며, 기판(110)의 종류 및 공정 조건에 따라 생략될 수도 있다.
다음, 상기 버퍼층 위에는 구동 반도체층(137)이 형성된다. 구동 반도체층(137)은 다결정 규소를 포함하는 물질로 형성될 수 있다. 또한, 구동 반도체층(137)은 불순물이 도핑되지 않은 채널 영역(135), 채널 영역(135)의 양 옆에서 도핑되어 형성된 소스 영역(134) 및 드레인 영역(136)을 포함한다. 이때, 도핑되는 이온 물질은 붕소(B)와 같은 P형 불순물이며, 주로 B2H6이 사용될 수 있다. 여기서, 이러한 불순물은 박막 트랜지스터의 종류에 따라 달라진다.
상기 구동 반도체층(137) 위에는 질화 규소(SiNx) 또는 산화 규소(SiOy) 등으로 형성된 게이트 절연막(127)이 위치한다. 게이트 절연막(127) 위에는 구동 게이트 전극(133)을 포함하는 게이트 배선이 위치한다. 그리고, 구동 게이트 전극(133)은 구동 반도체층(137)의 적어도 일부, 특히 채널 영역(135)와 중첩되도록 형성된다.
한편, 게이트 절연막(127) 상에는 구동 게이트 전극(133)을 덮는 층간 절연막(128)이 형성된다. 게이트 절연막(127)과 층간 절연막(128)에는 구동 반도체층(137)의 소스 영역(134) 및 드레인 영역(136)을 드러내는 제1접촉 구멍 및 제2접촉 구멍이 각각 형성되어 있다. 이때, 층간 절연막(128)은, 게이트 절연막(127)과 마찬가지로, 질화 규소(SiNx) 또는 산화 규소(SiOy) 등의 물질로 형성될 수 있다.
그리고, 층간 절연막(128) 위에는 구동 소스 전극(131) 및 구동 드레인 전극(132)을 포함하는 데이터 배선이 위치할 수 있다. 또한, 구동 소스 전극(131) 및 구동 드레인 전극(132)은 각각 층간 절연막(128) 및 게이트 절연막(127)에 형성된 각각 제1접촉 구멍 및 제2접촉 구멍을 통해 구동 반도체층(137)의 소스 영역(134) 및 드레인 영역(136)과 연결된다.
이와 같이, 구동 반도체층(137), 구동 게이트 전극(133), 구동 소스 전극(131) 및 구동 드레인 전극(132)을 포함하여 구동 박막 트랜지스터(T2)가 형성된다. 본 발명에서 이러한 구동 박막 트랜지스터(T2)의 구성은 전술한 예에 한정되지 않고, 당해 기술 분야의 전문가가 용이하게 실시할 수 있는 공지된 구성으로 다양하게 변경 가능하다.
그리고, 층간 절연막(128) 상에는 데이터 배선을 덮는 평탄화막(124)이 형성된다. 평판화막(124)은 그 위에 형성될 유기 발광 소자의 발광 효율을 높이기 위해 단차를 없애고 평탄화시키는 역할을 한다. 또한, 평탄화막(124)은 드레인 전극(132)의 일부를 노출시키는 제3접촉 구멍을 갖는다.
여기에서, 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 전술한 구조에 한정되는 것은 아니며, 경우에 따라 평탄화막(124)과 층간 절연막(128) 중 어느 하나는 생략될 수도 있다.
한편, 상기 평탄화막(124) 위에는 유기 발광 소자의 화소 전극(50)이 위치하며, 이는 전기적 신호를 전달받아 유기 발광층(70)에 전자 또는 정공을 전달하여 본 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 작동시킬 수 있다.
따라서, 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 복수의 화소(Px) 각각에 배치된 복수의 화소 전극(50)을 포함한다. 이때, 복수의 화소 전극(50)은 서로 이격 배치된다. 또한, 화소 전극(50)은 평탄화막(124)의 제3접촉 구멍을 통해 드레인 전극(132)과 연결된다.
한편, 평탄화막(124) 위에는 화소 전극(50)을 드러내는 개구부가 형성된 화소 정의막(350)이 위치한다. 즉, 화소 정의막(350) 사이에는 각 화소에 대응하는 복수의 개구부가 형성되어 있다. 즉, 화소 전극(50)을 드러내는 화소 정의막(350)의 개구부는 각 화소(Px) 영역을 정의할 수 있다.
이때, 화소 전극(50)은 화소 정의막(350)의 개구부에 대응하도록 배치된다. 그러나, 화소 전극(50)은 반드시 화소 정의막(350)의 개구부에만 배치되는 것은 아니며, 도 2에 도시된 바와 같이, 화소 전극(50)의 일부가 화소 정의막(350)과 중첩되도록 화소 정의막(350) 아래에 배치될 수도 있다.
한편, 상기 화소 전극(50) 위에는 유기 발광층(70)이 위치하고, 상기 화소 전극(50) 및 유기 발광층(70) 사이에는 중간 패턴층(60)이 위치한다. 중간 패턴층(60) 및 유기 발광층(70)의 구조에 대해서는 하기에서 상세히 설명하기로 한다.
유기 발광층(70) 위에는 공통 전극(80)이 위치할 수 있다. 이와 같이, 화소 전극(50), 중간 패턴층(60), 유기 발광층(70) 및 공통 전극(80)을 포함하는 유기 발광 다이오드(OLED)가 형성된다.
이때, 화소 전극(50) 및 공통 전극(80)은 각각 투명한 도전성 물질로 형성되거나 반투과형 또는 반사형 도전성 물질로 형성될 수 있다. 또한, 화소 전극(50) 및 공통 전극(80)을 형성하는 물질의 종류에 따라, 유기 발광 표시 장치는 전면 발광형, 배면 발광형 또는 양면 발광형이 될 수 있다.
한편, 공통 전극(80) 위에는 밀봉층(encapsulation layer)(미도시)이 더 형성될 수 있다. 밀봉층은 유기 발광 다이오드(OLED)를 밀봉(encapsulation)하여 외부로부터 수분 및/또는 산소가 침투하는 것을 방지할 수 있다. 밀봉층의 윗면은 평탄할 수 있다. 한편, 밀봉층은 복수의 박막층을 포함할 수 있으며, 예를 들면, 무기막과 유기막 중 적어도 하나를 포함하는 다층 구조를 가질 수 있다.
도 3 및 도 4는 각각 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 단면도이다. 이하에서는, 상기 도 2와 함께, 도 3 및 도 4를 참고하여, 본 발명의 다양한 실시예에 따른 유기 발광층(70)에 대해서 설명하고, 상기 유기 발광층(70)의 다양한 실시예에 따른 중간 패턴층(60)의 수직 단면 구조에 대해서 설명한다.
본 발명에서, 상기 유기 발광층(70)은 상기 화소 전극(50) 상에 형성되고, 상기 화소 전극(50) 및 유기 발광층(70)의 사이에는 중간 패턴층(60)이 위치한다.
먼저, 상기 유기 발광층(70)은 저분자 유기물 또는 PEDOT(Poly 3,4-ethylenedioxythiophene) 등의 고분자 유기물로 형성될 수 있다.
이때, 본 발명의 유기 발광층(70)은 주발광층을 포함할 수 있다. 상기 주발광층은 적색을 발광하는 적색 유기 발광층, 녹색을 발광하는 녹색 유기 발광층 및 청색을 발광하는 청색 유기 발광층 중 적어도 하나 이상일 수 있으며, 상기 적색 유기 발광층, 녹색 유기 발광층 및 청색 유기 발광층은 각각 적색 화소, 녹색 화소 및 청색 화소에 형성되어 컬러 화상을 구현하게 된다.
또한, 상기 유기 발광층(70)은 상기 주발광층 외에 공통 전극(80)과 인접하는 유기 발광층(70)의 상부, 즉, 주발광층의 상부에 형성되는 전자 수송층(electron transporting layer, ETL), 전자 주입층(electron injection layer, EIL) 등과 같은 유기층을 하나 이상 더 포함하는 다층 구조로 형성될 수 있다.
다음으로, 상기 유기 발광층(70)은, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 화소 전극(50)과 인접하는 유기 발광층(70)의 하부에 형성되는 보조 유기층(71)을 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 보조 유기층(71)은 정공 주입층(hole injection layer, HIL) 및 정공 수송층(hole transporting layer, HTL) 중 하나 이상의 층이 순차로 적층된 다층 구조로 형성될 수 있다.
한편, 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치에서, 상기 중간 패턴층(60)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 화소 전극(50)과 상기 유기 발광층(70) 사이에 중간 패턴층(60)이 위치할 수 있다.
선택적으로, 상기 중간 패턴층(60)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 화소 전극(50)과 보조 유기층(71) 사이에 형성될 수도 있고, 도 4에 도시된 바와 같이, 보조 유기층(71) 및 유기 발광층(70) 사이에 형성될 수도 있다. 또한, 도시하지는 않았으나, 중간 패턴층(60)은 전술한 다층 구조의 보조 유기층(71)의 각 층 사이에 형성될 수도 있다. 따라서, 본 발명에서 상기 중간 패턴층(60)은 잉크젯 프린팅 공정을 통해 형성되는 다층 구조를 갖는 유기막의 층들 사이에 자유롭게 위치할 수 있으며, 수직 단면상 그 위치가 특별히 한정되는 것은 아니다.
도 5 내지 도 8은 각각 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 평면도이다. 이하에서는, 상기 도 2와 함께, 도 5 내지 도 8을 참고하여, 본 발명의 다양한 실시예에 따른 중간 패턴층(60)의 수평 단면 형상에 대해서 설명한다.
기판(110)의 표시 영역(DA)에는, 화소 전극(50)을 드러내는 화소 정의막(350)의 개구부가 각 화소(Px) 영역을 정의하고, 상기 화소 전극(50)에는 유기 발광층(70)이 위치할 수 있으므로, 결과적으로 각 화소(Px) 영역은 개구부와 대응된다.
이러한 복수의 개구부, 즉 각 화소(Px) 영역은 직선 및 곡선 중 적어도 하나의 형태를 따라 형성될 수 있다.
도 5 내지 도 7를 참조하면, 복수의 개구부에 의해 정의되는 각 화소(Px) 영역은 기판(110) 상의 표시 영역에 제1방향(x축 방향) 및 상기 제1방향과 교차하는 제2방향(y축 방향)을 따라 일렬로 정렬되어 위치할 수 있다.
여기서, 도 5 내지 도 7에는 상기 제1방향과 제2방향이 서로 직교하는 경우를 도시하였으나, 다른 한편으로, 각 화소(Px) 영역은 제1방향과 제2방향 중 어느 한 방향을 따라 일직선 상에 위치하지 않고 지그재그 패턴으로 배열될 수도 있다.
또한, 도 8을 참조하면, 복수의 개구부에 의해 정의되는 각 화소(Px) 영역은 기판(110) 상의 표시 영역에 나선을 따라 곡선 상에 일정 간격으로 이격되어 배치될 수도 있다. 이때, 각 화소(Px) 영역은 단일 나선의 곡선 상에 이격 배치될 수도 있고, 도 8에 도시된 바와 같이, 복수의 나선을 따라 곡선 상에 일정 간격으로 이격 배치될 수 있다.
한편, 각 화소 영역(Px) 및 여기에 형성되는 복수의 유기 발광층(70) 각각은 모서리가 둥근 사각형, 원형, 삼각형, 마름모꼴 등 다양한 모양으로 형성될 수 있으며 특별히 한정되는 것은 아니다. 다만, 도 5 내지 도 8에서는 각 화소(Px) 영역을 사각형으로 개략화하여 도시하였다.
다음으로, 본 발명의 중간 패턴층(60)은, 기 설정된 경로를 따라 서로 이웃한 상기 복수의 개구부들을 따라 이어지며 연장된 복수의 제1패턴을 포함한다. 이때, 각 화소(Px) 영역의 정렬 형태에 따라 복수의 개구부의 설정된 경로도 달라지므로 제1패턴 역시 이와 동일한 경로로 이어지며 연장될 수 있다.
도 5을 참조하면, 중간 패턴층(60)은 복수의 개구부가 위치하는 제2방향(y축 방향)을 따라 연장된 직선 형태의 제1패턴(60a)을 제1방향(x축 방향)으로 나란하게 복수 개 포함한다. 또한, 본 발명의 중간 패턴층(60)은 상기 제1패턴(60a)과 연결되되, 상기 제1패턴(60a)과 교차하는 방향으로, 비표시 영역(NDA)에 연장되는 제2패턴(60b)을 더 포함한다.
다시 도 2를 참조하면, 상기 중간 패턴층(60), 구체적으로는, 제1패턴(60a)은, 화소 정의막(350)의 양측 격벽(351) 및 격벽(351)과 인접하는 화소 정의막(350)의 양측 상부 일부를 덮도록 형성된다. 또한, 상기 제1패턴(60a)은 화소 전극(50)에 대응하여 위치하는 화소 전극 대응부(A)를 포함하고, 상기 화소 전극 대응부(A)들은 기판(110)으로부터 동일한 높이(H)를 갖도록 형성된다.
본 발명에서는, 상기한 바와 같이 각 화소(Px) 영역 내에 형성되는 중간 패턴층(60)에 포함되는 화소 전극 대응부(A)들이 기판(110)으로부터 동일한 높이(H)를 가지도록 형성하기 때문에, 상기 화소 전극 대응부(A)들 상에 유기 발광층(70)을 형성하는 경우 유기 발광층(70)의 두께 균일도가 획기적으로 향상된다.
또한, 각 화소(Px) 영역이, 제1방향 및 제2방향으로 따라 매트릭스 형상으로 정렬 배치되는 경우, 중간 패턴층(60)은, 비표시 영역(NDA)에 상기 제1패턴(60a)과 연결되어 연장되는 제2패턴(60b)을 더 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제1패턴(60a) 및 이와 연결되어 연장되는 제2패턴(60b) 상에 유기 발광층(70)이 형성되기 때문에 그 두께가 보다 더 균일해진다.
본 발명의 한 실시예에서, 중간 패턴층(60)의 제1패턴(60a) 및 제2패턴(60b)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 예를 들면, 사다리 형상을 이루도록 연결될 수 있다. 구체적으로, 제1패턴(60a)은 소정의 폭을 갖고 제2방향(y축 방향)을 따라 연장된 복수 개의 직선 패턴이 상기 제2방향(y축 방향)과 교차하는 제1방향(x축 방향)으로 나란하게 배열된다.
또한, 제2패턴(60b)은 상기 제1패턴(60a)의 양 단에 각각 연결되되 상기 제1방향으로 각각 연장됨으로써 사다리 형상을 이룰 수 있다. 이때, 제1패턴(60a) 상에 위치하는 복수의 유기 발광층(70)은 모두 동일한 색상을 발광한다.
본 발명의 한 실시예에서, 중간 패턴층(60)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 제1패턴(61a) 및 제2패턴(61aa) 외에 제3패턴(61b) 및 제4패턴(61bb)을 더 포함할 수 있다.
구체적으로, 제1패턴(61a) 및 제3패턴(61b)은 소정의 폭을 갖고 제2방향(y축 방향)을 따라 연장된 복수개의 직선 패턴이 제1방향(x축 방향)으로 나란하게 배열되며, 상기 제1패턴(61a) 및 제3패턴(61b)이 교대로 위치한다.
또한, 제2패턴(61aa)은 상기 제1패턴(61a)의 일 단에 연결되며, 상기 제1방향으로 연장된다.
또한, 제4패턴(61bb)은 상기 제3패턴(61b)의 일 단에 연결되되, 상기 제2패턴(61aa)이 위치하는 비표시 영역(NDA)과 대향되게 위치하는 비표시 영역(NDA)에 상기 제1방향으로 연장된다.
이때, 상기 제1패턴(61a) 상에 위치하는 유기 발광층(70)과 상기 제3패턴(61b) 상에 위치하는 유기 발광층(70)은 서로 다른 색상을 발광한다. 따라서, 상기한 바와 같이, 제1패턴(61a) 내지 제4패턴(61bb)을 포함하는 중간 패턴층(60)이 형성된 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시장치는 적어도 두 가지 색상을 발광하는 유기 발광층(70)을 포함할 수 있다.
본 발명의 한 실시예에서, 중간 패턴층(60)은, 도 7에 도시된 바와 같이, 제1패턴(62a), 제2패턴(62aa), 제3패턴(62b) 및 제4패턴(62bb) 외에 제5패턴(62c) 및 제6패턴(62cc)을 더 포함할 수 있다.
구체적으로, 제1패턴(62a), 제3패턴(62b) 및 제5패턴(62c)은 소정의 폭을 갖고 제2방향(y축 방향)을 따라 연장된 복수개의 직선 패턴이 제1방향(x축 방향)으로 나란하게 배열되며, 상기 제1패턴(62a), 제3패턴(62b) 및 제5패턴(62c)이 순서대로 교대하여 위치한다.
또한, 제2패턴(62aa)은 상기 제1패턴(62a)의 일 단에 연결되며, 상기 제1방향으로 연장된다.
또한, 제4패턴(62bb)은 상기 제3패턴(62b)의 일 단에 연결되되, 상기 제2패턴(62aa)이 위치하는 비표시 영역(NDA)과 대향되게 위치하는 비표시 영역(NDA)에 상기 제1방향으로 연장된다.
또한, 상기 제6패턴(62cc)은 상기 제2패턴(62aa) 및 제4패턴(62bb)과 중첩하는 영역에 절연막(65)을 매개로 형성된다. 이때, 상기 절연막(65)은 미세 패턴 마스크 등을 이용하여 제2패턴(62aa) 또는 제4패턴(62bb)이 제6패턴(62cc)과 중첩하는 소정의 영역에만 얇게 형성된다.
또한, 제6패턴(62cc)은 상기 제5패턴(62c)의 양 단에 각각 연결되되, 제1방향으로 각각 연장됨으로써 간격이 넓은 사다리 형상을 이룰 수 있다.
이때, 제1패턴(62a), 제3패턴(62b) 및 제5패턴(62c) 상에 위치하는 유기 발광층(70)은 각각 서로 다른 색상을 발광한다. 따라서, 상기한 바와 같이, 제1패턴(62a) 내지 제6패턴(62cc)을 포함하는 중간 패턴층(60)이 형성된 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시장치는 적어도 세 가지 색상을 발광하는 유기 발광층(70)을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치는, 상기한 바와 같이, 복수의 개구부들을 따라 이어지며 연장된 복수의 패턴을 포함하는 중간 패턴층을 포함하기 때문에 상기 중간 패턴층 상에 형성되는 유기 발광층의 두께 균일도를 획기적으로 향상시킴과 동시에, 유기 발광층 형성 후 건조에 소요되는 시간을 실질적으로 동일하게 확보함으로써, 잉크젯 프린팅법을 이용하여 유기 발광층을 형성하여도 우수한 휘도 균일성을 갖는 유기 발광 표시 장치를 얻을 수 있다.
본 발명의 한 실시예에서, 중간 패턴층(60)의 제1패턴(63a)은 나선형의 경로를 따라 소정의 간격으로 형성된 복수의 개구부를 따라 연결되어 나선으로 연결되어 연장될 수 있다.
이때, 중간 패턴층(60)은, 도 8에 도시된 바와 같이, 표시 영역(DA)에 제1패턴(63a) 외에 제7패턴(63b) 및 제9패턴(63c)을 더 포함하여 복수의 나선 패턴을 포함할 수 있다.
또한, 제1패턴(63a), 제7패턴(63b) 및 제9패턴(63c)은 이들 각각과 연결되어 비표시 영역(NDA)으로 연장되는 제2패턴(63bb), 제8패턴(63bb) 및 제10패턴(63cc)과 함께 위치할 수 있다.
소정의 폭을 갖는 하나의 나선으로 연결되어 연장되는 제1패턴(63a) 상에 형성되는 유기 발광층(70)은 동일한 색을 발광한다. 다만, 제1패턴(63a), 제7패턴(63b) 및 제9패턴(63c) 상에 형성되는 유기 발광층(70) 각각은 서로 다른 색을 발광할 수 있다. 따라서, 상기한 바와 같이, 제1패턴(63a), 제7패턴(63b) 및 제9패턴(63c)과 같은 복수의 나선 패턴을 포함하는 중간 패턴층(60)이 형성된 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시장치는 적어도 세 가지 색상을 발광하는 유기 발광층(70)을 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이 나선 형상으로 배열되는 유기 발광층이 형성된 유기 발광 표시 장치는 전술한 효과 외에도 웨어러블(wearable) 유기 발광 표시 장치 등에 유용하게 적용할 수 있으므로 매우 유용하다.
다음으로, 본 발명의 유기 발광 표시 장치의 제조방법을 설명하다.
도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 공정 순서도이다.
도 9를 참고하면, 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은, 복수의 화소 전극을 형성하는 단계(S10) 화소 정의막을 형성하는 단계(S20), 중간 패턴층을 형성하는 단계(S30) 및 유기 발광층을 형성하는 단계(S40)를 포함한다.
먼저 준비된 기판(110)의 표시 영역(DA)에 복수의 화소 전극(50)을 형성한다.
전술한 도 2를 참조하면, 기판(110) 위에 구동 박막 트랜지스터(T2)를 형성하고, 그 위에 유기 절연 물질 또는 무기 절연 물질을 적층하고 패터닝하여 복수의 접촉 구멍을 갖는 평탄화막(124)을 형성한다.
다음, 평탄화막(124) 위에 도전성 물질을 적층하고 패터닝하여 각 화소(Px) 영역에 대응하는 위치에 복수의 화소 전극(50)을 형성한다.
이때, 평탄화막(124)은 아크릴계 수지(polyacrylates resin), 에폭시 수지(epoxy resin), 페놀 수지(phenolic resin), 폴리아미드계 수지(polyamides resin), 폴리이미드계 수지(polyimides rein), 불포화 폴리에스테르계 수지(unsaturated polyesters resin), 폴리페닐렌계 수지(poly phenylenethers resin), 폴리페닐렌설파이드계 수지(poly phenylenesulfides resin), 및 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene, BCB) 중 하나 이상의 물질 등으로 만들 수 있다.
다음, 화소 전극(50) 및 평탄화막(124) 위에 폴리아크릴계 수지(polyacrylates resin) 및 폴리이미드계(polyimides) 등의 수지 또는 실리콘 계열의 무기물 등을 적층하고 직선 및 곡선 중 적어도 하나의 형태를 따라 패터닝하여 복수의 화소 전극(50)을 각각 드러내는 복수의 개구부를 가지는 화소 정의막(350)을 형성한다.
다음, 상기 화소 정의막(350)이 형성된 기판(110) 상에 사진 식각 공정을 이용하여 복수의 개구부가 배치된 형태를 따라 연장된 복수의 제1패턴을 포함하는 중간 패턴층(60)을 패터닝한다.
특히, 본 발명에서 상기 중간 패턴층(60)은 상기 복수의 화소 전극 각각에 대응하여 위치하는 제1패턴의 각 화소 전극 대응부(A)들이 기판(110)으로부터 동일한 높이(H)를 갖도록 형성되는 것이 바람직하다.
한편, 중간 패턴층(60)은 광 또는 열에 의해 가교 결합이 가능한 작용기를 갖는 조성물을 이용하여 패터닝된다. 상기한 조성물의 예로는, 올레핀, 아크릴레이트, 메타크릴레이트 및 비닐 에테르 중 적어도 하나를 포함하는 조성물일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
또한, 중간 패턴층(60)은 100옹스트롱 이하의 두께, 보다 구체적으로는 10 옹스트롱 내지 100 옹스트롱의 두께를 갖도록 패터닝된다. 상기 수치 범위를 벗어나는 경우에는 중간 패턴층(60)으로 인해 정공 수송에 영향을 미칠 수 있어, 유기 발광 표시 장치의 발광 효율이 떨어질 수 있으므로 중간 패턴층(60)의 두께는 100 옹스트롱 이하인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 한 실시예에서, 상기 중간 패턴층(60)은 상기 제1패턴과 연결되어 연장되되, 기판(110)의 비표시 영역(NDA)에 형성되는 제2패턴을 포함하도록 패터닝될 수 있다.
이때, 중간 패턴층(60)에 패터닝되는 다양한 패턴 형상에 대해서는 도 5 내지 도 8을 참고하여 전술하였으므로 여기서는 생략하기로 한다.
다음으로, 상기 패터닝된 중간 패턴층(60) 상에 잉크젯 프린팅 공정을 이용하여 유기 발광층(70)을 형성한다.
도 10(a) 및 도 10(b)는 유기 발광층(70)을 형성하는 한 실시예를 나타낸 것이다.
먼저, 전술한 도 5에 도시된 것과 같은 형상으로 패터닝된 중간 패턴층(60) 위에, 도 10(a)에 나타낸 바와 같이 잉크젯 헤드(500)를 기판의 좌측 상하에 각각 배치하고 화살표 방향으로 제2패턴(60b) 상에 먼저 유기 발광층 형성 물질을 분사한다.
다음으로, 도 10(b)에 나타낸 바와 같이 화소 영역의 제1방향(x축 방향) 중심과 동일한 간격으로 배치된 노즐을 구비한 잉크젯 헤드(510)를 기판의 상단에 준비하고 화살표 방향으로 제1패턴(60a)상에 유기 발광층 형성 물질을 분사하여, 기판 상 하부의 비표시 영역(NDA)에 위치하는 상기 제2패턴(60b) 상에 분사된 유기 발광층 형성 물질과 연결되게 한다.
이때, 표시 영역(DA) 및 비표시 영역(NDA)의 중간 패턴층(60) 상에 분사되는 유기 발광층 형성 물질이 기판 상에서 하나로 연결되어 연장되기 때문에 이와 같은 순서로 형성된 유기 발광 표시 장치의 각 화소(Px) 영역에는 모두 동일한 색상을 발광하는 유기 발광층이 형성된다.
다음, 도 11(a) 내지 도 11(d)는 유기 발광층(70)을 형성하는 다른 실시예를 나타낸 것이다.
먼저 전술한 도 6에 도시된 것과 같은 형상으로 패터닝된 중간 패턴층(60) 위에, 도 11(a)에 나타낸 바와 같이 잉크젯 헤드(500)를 기판의 좌측 상단에 배치하고 화살표 방향으로 비표시 영역의 제2패턴(61aa) 상에 먼저 유기 발광층 형성 물질을 분사한다.
이어서, 도 11(b)에 나타낸 바와 같이 제1패턴(61a)과 중첩되게 위치하는 화소 영역의 제1방향(x축 방향) 중심과 동일한 간격으로 배치된 노즐을 구비한 잉크젯 헤드(520)를 기판의 상단에 준비하고 화살표 방향으로 제1패턴(61a)상에 유기 발광층 형성 물질을 분사하여, 제2패턴(61aa) 상에 분사된 유기 발광층 형성 물질과 연결되게 한다.
다음으로, 도 11(c)에 나타낸 바와 같이 잉크젯 헤드(500)를 기판의 우측 하단에 배치하고 화살표 방향으로 비표시 영역의 제4패턴(61bb) 상에 먼저 유기 발광층 형성 물질을 분사한다.
그 후, 도 11(d)에 나타낸 바와 같이 제3패턴(61b)과 중첩되게 위치하는 화소 영역의 제1방향(x축 방향) 중심과 동일한 간격으로 배치된 노즐을 구비한 잉크젯 헤드(520)를 기판의 하단에 준비하고 화살표 방향으로 제3패턴(61b)상에 유기 발광층 형성 물질을 분사하여, 제4패턴(61bb)상에 분사된 유기 발광층 형성 물질과 연결되게 한다.
따라서, 본 제조 방법에 따른 실시예에서는, 표시 영역과 비표시 영역에 걸쳐 하나로 연결되어 배치되는 중간 패턴층의 패턴들이 동일한 층에 2개가 분리되어 패터닝 되어 있기 때문에, 2 가지 색상을 발광하는 유기 발광층을 형성하고자 하는 경우 매우 유용하다.
한편, 별도로 제조 방법을 도시하지는 않았으나, 도 7과 같은 형상으로 패터닝된 중간 패턴층(60)이 형성된 기판(110) 상에는 도 11(a) 내지 (d)와 동일한 방법으로 제1패턴(62a) 및 제2패턴(62aa) 위에 하나의 색상을 발광하는 유기 발광층 형성 물질을 형성할 수 있고, 제3패턴(62b) 및 제4패턴(62bb)에 다른 색상을 발광하는 유기 발광층 형성 물질을 형성할 수 있으며, 도 10 (a) 및 (b)와 동일한 방법으로 제5패턴(62c) 및 제6패턴(62cc) 위에 또 다른 색상을 발광하는 유기 발광층 형성 물질을 형성할 수 있다.
한편, 본 발명의 한 실시예에 따른 제조 방법으로 유기 발광층(70)을 형성하면, 비표시 영역(NDA)의 중간 패턴층(60)의 패턴 상에 분사된 유기 발광층 형성 물질이 표시 영역(DA)의 중간 패턴층(60)의 패턴 상에 분사된 유기 발광층 형성 물질과 연결되어 두께가 균일해지기 때문에 각 화소(Px) 영역은 동일한 높이를 갖는 유기 발광층(70)을 형성할 수 있고, 이로써 휘도 균일성을 획기적으로 향상시킬 수 있다.
또한, 각 화소(Px) 영역에 동일한 높이의 유기 발광층(70)이 형성되도록 잉크젯 헤드의 노즐량을 미세하게 조절하지 않아도 균일한 높이를 갖는 유기 발광층(70)을 쉽게 형성할 수 있으며, 분사 공정을 빠른 속도로 수행할 수 있기 때문에 건조 불균일로 인한 유기 발광층의 표면 특성 저하 문제도 쉽게 해결할 수 있다.
이상으로 본 발명에 관한 바람직한 실시 예를 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되지 아니하며, 본 발명의 실시 예로부터 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의한 용이하게 변경되어 균등하다고 인정되는 범위의 모든 변경을 포함한다.
110: 기판
50: 화소 전극
350: 화소 정의막
70: 유기 발광층
71: 보조 유기층
60: 중간 패턴층
60a, 61a, 62a, 63a: 제1패턴
60b, 61aa, 62aa, 63aa: 제2패턴
61b, 62b: 제3패턴
61bb, 62bb: 제4패턴
62c: 제5패턴
62cc: 제6패턴
63b: 제7패턴
63bb: 제8패턴
63c: 제9패턴
63cc: 제10패턴
DA: 표시 영역
NDA: 비표시 영역

Claims (15)

  1. 기판;
    상기 기판 상에 위치하는 복수의 화소 전극;
    상기 복수의 화소 전극 상에 위치하며, 상기 각 화소 전극을 노출하는 복수의 개구부를 포함하는 화소 정의막;
    상기 복수의 화소 전극 상에 각각 형성되는 복수의 유기 발광층; 그리고
    상기 복수의 화소 전극과 상기 복수의 유기 발광층 사이에 각각 위치하는 중간 패턴층;
    을 포함하고,
    상기 중간 패턴층은, 기 설정된 경로를 따라 서로 이웃한 상기 복수의 개구부들을 따라 이어지며 연장된 복수의 제1패턴을 포함하는 유기 발광 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 제1패턴은,
    상기 복수의 화소 전극 각각에 대응하여 위치하는 복수의 화소 전극 대응부를 포함하고,
    상기 복수의 화소 전극 대응부 각각은 상기 기판으로부터 동일한 높이를 가지는 유기 발광 표시 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 기판은 화상을 표시하는 표시 영역 및 상기 표시 영역과 이웃하는 비표시 영역을 포함하며,
    상기 복수의 화소 전극은 상기 표시 영역에 위치하고,
    상기 중간 패턴층은,
    상기 비표시 영역에 상기 복수의 제1패턴과 연결되어 연장되는 제2패턴을 더 포함하는 유기 발광 표시 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 중간 패턴층의 복수의 제1패턴은 제2방향을 따라 연장된 복수개의 직선 패턴이 상기 제2방향과 교차하는 제1방향으로 나란하게 배열되고,
    상기 중간 패턴층의 제2패턴은 상기 제1패턴의 양 단에 각각 연결되되, 상기 제1방향으로 각각 연장되는 유기 발광 표시 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 중간 패턴층의 제1패턴상에 위치하는 복수의 유기 발광층은 동일한 색상을 발광하는 유기 발광 표시 장치.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 중간 패턴층의 제2패턴은 상기 제1패턴의 일단에 연결되며, 상기 제1방향으로 연장되고,
    상기 중간 패턴층은,
    상기 복수의 제1패턴과 교대로 위치하며 상기 제2방향을 따라 연장된 복수개의 직선 패턴이 상기 제1방향으로 나란하게 배열되는 제3패턴, 및
    상기 제3패턴의 일 단에 연결되되, 상기 제2패턴과 대향되게 위치하는 상기 비표시 영역에 상기 제1방향으로 연장되는 제4패턴을 더 포함하는 유기 발광 표시 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1패턴 상에 위치하는 유기 발광층과 및 상기 제3패턴 상에 위치하는 유기 발광층은 서로 다른 색상을 발광하는 유기 발광 표시 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 개구부는 나선형의 경로를 따라 소정의 간격으로 형성되고,
    상기 중간 패턴층의 제1패턴은 상기 복수의 개구부들을 따라 나선으로 연결되어 연장된 유기 발광 표시 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 유기 발광층은,
    상기 복수의 화소 전극과 인접하는 하부에 복수의 보조 유기층을 더 포함하는 유기 발광 표시 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 중간 패턴층은,
    상기 복수의 화소 전극과 상기 복수의 보조 유기층 사이에 위치하는 유기 발광 표시 장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 중간 패턴층은,
    상기 복수의 보조 유기층과 상기 복수의 유기 발광층 사이에 위치하는 유기 발광 표시 장치.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 복수의 보조 유기층 각각은 다층 구조로 형성되고,
    상기 중간 패턴층은, 상기 다층 구조의 층들 사이에 위치하는 유기 발광 표시 장치.
  13. 기판 상에 복수의 화소 전극을 형성하는 단계;
    상기 복수의 화소 전극 상에 각 화소 전극을 노출하는 복수의 개구부를 포함하는 화소 정의막을 형성하는 단계;
    상기 화소 정의막이 형성된 기판 상에 사진 식각 공정을 이용하여 기 설정된 경로를 따라 서로 이웃한 복수의 개구부들을 따라 이어지며 연장된 복수의 제1패턴을 포함하는 중간 패턴층을 형성하는 단계;
    상기 복수의 제1패턴상에 잉크젯 프린팅법을 이용하여 복수의 유기 발광층을 형성하는 단계;
    를 포함하고,
    상기 중간 패턴층을 형성하는 단계는,
    상기 복수의 화소 전극 각각에 대응하여 위치하는 제1패턴의 각 화소 전극 대응부가 상기 기판으로부터 동일한 높이를 가지도록 수행되는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 중간 패턴층을 형성하는 단계는,
    상기 복수의 화소 전극이 위치하는 표시 영역과 이웃하는 비표시 영역에 상기 복수의 제1패턴과 연결되어 연장되는 제2패턴을 더 포함하도록 수행되는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 유기 발광층을 형성하는 단계는
    상기 제2패턴상에 유기 발광층 형성 물질을 형성한 다음, 상기 제2패턴과 연결되어 연장되게 상기 제1패턴상에 유기 발광층 형성 물질을 형성하는 방법으로 수행되는 유기 발광 표시 장치의 제조방법.
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