KR20160144808A - 신규한 기밀구조를 가지는 단결정 성장용 압력용기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 개스킷을 사용하지 않고도 고온 및 고압의 조건에서도 기밀을 유지할 수 있는 단결정 성장용 압력용기에 대한 것으로, 보다 구체적으로는 개구를 가지며 내열합금으로 제조되는 압력용기 본체; 상기 압력용기 본체 개구의 내부에 삽입되는 내식성 소재의 라이너; 상기 압력용기 본체의 상부에 구성되는 압력용기 헤드; 상기 압력용기 헤드의 중심부에 구성되는 유니온;을 구비하며, 상기 라이너와 유니온 간의 기밀 밀착에 의하여 압력용기의 밀봉이 유지되는 단결정 성장용 압력용기에 대한 것이다. 또한, 본 발명에 따른 압력반응 용기는 귀금속 개스킷을 사용하지 않음에 따른 유지비용의 절감과 온도와 압력의 변화에도 불구하고 안정적으로 반응기의 압력을 유지할 수 있는 장점이 있다.

Description

신규한 기밀구조를 가지는 단결정 성장용 압력용기{Pressure Vessel for Growing Single Crystal with New Sealing Structure}
본 발명은 개스킷을 사용하지 않고도 고온 및 고압의 조건에서도 기밀을 유지할 수 있는 단결정 성장용 압력용기에 대한 것으로, 보다 구체적으로는 개구를 가지며 내열합금으로 제조되는 압력용기 본체; 상기 압력용기 본체 개구의 내부에 삽입되는 내식성 소재의 라이너; 상기 압력용기 본체의 상부에 구성되는 압력용기 헤드; 상기 압력용기 헤드의 중심부에 구성되는 유니온;을 구비하며, 상기 라이너와 유니온 간의 기밀 밀착에 의하여 압력용기의 밀봉이 유지되는 단결정 성장용 압력용기에 대한 것이다.
질화물계(AlN, GaN) 단결정의 대표적인 합성기술로는 수소기상증착법(Hydride Vapor Phase Epitaxy: HVPE) 또는 암모노써멀법(Ammonothermal)법 등이 현재까지 널리 사용되고 있다.
대표적인 질화물인 GaN은 우르자이트(Wurzite) 구조를 가지는 질화물 반도체로서 상온에서 가시광선의 청색 파장대에 해당하는 3.4 eV의 직접천이형 밴드갭을 가질 뿐만 아니라 InN 및 AlN와 전율고용체를 이루어 금지대폭의 조정이 가능하며 전율고용체의 전조성 범위 내에서 직접천이형 반도체의 특성을 나타내기 때문에 청색표시 및 발광소자재료로서 가장 각광 받고 있다. GaN막은 통상 사파이어(Al2O3), 실리콘 카바이드(SiC), 또는 실리콘(Si) 기판 등에 MOCVD나 HVPE 방법 등으로 형성한다. 그런데, 이 경우 기판과 GaN막은 서로 격자상수 및 열팽창계수가 다르기 때문에 격자부정합(lattice mismatch) 등으로 인해 기판 상에 GaN막을 에피택셜 성장시키는 것이 매우 어렵다. GaN 뿐만 아니라 AlN, InN, GaInN, AlGaN, 및 GaAlInN 등의 GaN계가 모두 이러하다.
이를 극복하기 위한 방법으로서 격자변형(lattice strain)을 완화시키기 위한 완충층(buffer layer)을 비교적 낮은 온도에서 기판 상에 먼저 형성시킨 다음에 완충층 상에 GaN막을 성장시키는 방법 등이 제안된 바 있다. 그러나 이러한 방법은 완충층 형성 단계를 추가해야 한다는 번거로움이 있을 뿐만 아니라 GaN막의 에피택셜 성장을 가능하게는 하지만 GaN막 내의 전위(dislocation) 밀도가 여전히 높아 레이저 다이오드나 발광다이오드 등으로의 응용에 제한을 받는다. 실리콘 기판을 이용하여 GaN 박막을 형성하는 경우 현재까지의 기술수준으로는 실리콘 기판 상에 GaN막을 에피택셜 성장시키는 것이 매우 어렵기 때문에, 실리콘 기판 상에 GaN 후막을 성장시킨 후 GaN 후막과 실리콘 기판을 분리하는 방법을 사용하기도 한다. 이 방법에서는 실리콘 기판 상에 GaN 후막을 성장시킨 후 GaN 후막과 실리콘 기판의 분리를 위해 GaN 성장온도에서 HVPE 장비 내에 HCl 가스를 흘려주어 실리콘을 에칭하거나 또는 불산(HF)과 질산(HNO3)의 혼합용액 내에 침지시켜 실리콘 기판 자체를 제거하였다. 그러나 이 방법에서는 기판을 분리하는 데 시간이 많이 소요되는 문제점이 있었다.
한편, GaN의 암모노써멀 성장은 III족 함유 원료 물질들, III족 질화물 씨드 결정들 및 암모니아와 같은 질소 함유 용매를 반응 용기 내에 충진하는 단계, 상기 반응용기를 밀폐하는 단계, 및 상기 반응용기를 0.1 MPa에서 500 MPa 사이의 압력 및 상온에서 1,000 ℃사이의 온도의 고압 고온 조건으로 가열하는 단계를 포함한다. 이러한 온도 및 압력 하에서, 상기 질소 함유 용매는 초임계 유체가 될 수 있다. 이때, 상기 암모니아와 같은 질소 함유 용매의 충진 과정 중에 압력 용기 내로 도입되는 공기에 의한 오염을 막고 약 500 MPa의 압력을 견디는 압력용기를 밀폐하는 단계는 복잡한 체결 과정 및 정확성이 요구되기 때문에 장시간이 소요된다.
암모노써멀법 합성은 초임계 상태의 암모니아 용매를 이용하여 원재료의 용해, 재결정 반응을 이용하여 원하는 재료를 제조하는 것으로서, 단결정 성장에 적용 시 과포화 상태의 결정 성장용 원료가 충분히 용매에 용해시키기 위하여 고압 고온 조건 하에서 반응이 진행되고, 이러한 반응은 반응완료까지 일정시간이 소요되므로 지금까지는 주로 배치(batch) 형태의 합성이 주로 이루어져 왔다. 미국 등록특허 6,398,867호에는 고압/고온하에 압력 셀을 포함하여 질화갈륨 공급원이 용해되면서 질화갈륨 결정을 제공하는 것이 개시되어 있으나, 배치 형태의 합성 반응 공정으로 생산 공정 시간이 길어져 생산효율이 떨어지는 문제점이 있다.
이상을 요약하며, HVPE 공정은 근본적으로 사파이어 기판을 사용하기 때문에 기판과의 격자 부정합으로 발생하는 전위 및 크랙 등을 원천적으로 제어하기 어려운 단점이 있어, 전위밀도 3승의 고품위 결정, 약 600 ℃의 낮은 성장 온도 및 스케일 업의 쉬운 장점을 가지는 암모노써멀법이 대형의 고품위 단결정 성장에 가장 적합한 방법으로 알려져 있다.
그러나 이러한 암모노써멀법은 고품위 단결정을 성장하기 위해서는 300 MPa 이상의 고압이 필수적이기 때문에 반응기 실(seal) 부분의 디자인이 중요한데 이러한 단결정 성장을 위한 압력용기의 기밀을 유지하기 위한 종래기술인 한국 등록특허 한국 등록특허 제1340090호에는 압력용기의 밀봉구조부위에는 플랜지 부착 기계적 라이닝 및 라이닝 커버의 기밀 결합면에는 개스킷보다 경도가 큰 재질을 이용하고, 사용하는 가스켓에는 고온, 고압 중에 시트면과 열압착하는 것을 방지하기 위해 시트면과는 다른 합금을 사용하는 기술이 게재되어 있고, 일본 등록특허 제2963665호에는 상/하부 플랜지 사이에 가스켓을 이용하여 선 또는 면 접촉에 의하여 실링부를 형성하는 기술이 게재되어 있으며, 일본 재공표특허 WO2012-020641호는 수열반응기의 용기 몸의 부분 상부 내면에 설치한 씰 패킹을 도입하여 수열반응기의 기밀을 유지하고 있다.
미국 등록특허 6,398,867호 한국 등록특허 제1340090호 일본 등록특허 제2963665호 일본 재공표특허 WO2012-020641호
질화물계(AlN, GaN) 단결정을 합성하기 위하여 암모노써멀(ammonothermal)법, 수열(hydrothermal)법, 또는 용매열(solvothermal)법 등을 제조방법을 이용하여 단결정 제조에 사용하는 100 MPa 이상의 압력을 요구하는 고압 반응기의 경우, 반응기의 실링을 위해서는 개스킷이 필요하고, 이러한 개스킷은 이리듐, 루테늄 등의 강도가 높고 소성변형이 되기 어려운 재료로 구성됨으로써 가격이 매우 고가이고, 1회용으로만 사용되어 유지비용이 많이 드는 단점이 있다.
즉, 이러한 기존 기술은 공통적으로 실링(sealing)을 위해서 이리듐, 루테늄 등의 1회용 개스킷을 사용하고 있어 유지비용이 많이 드는 단점이 있어 시장에서는 압력용기 유지비용의 최소화가 요구되고 있는 실정이다.
따라서 본 발명에서는 이러한 종래기술의 문제점인 개스킷의 사용에 따른 압력 반응기의 유지비용을 절감하면서도 온도와 압력의 변화에도 불구하고 안정적으로 반응기의 압력을 유지할 수 있는 새로운 형태의 잠금 방법을 적용한 압력용기 및 개스킷을 사용하지 않은 압력유지 구조를 제공하고자 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 단결정 성장을 위하여 고온 및 고압의 유지가 필요한 단결정 성장용 압력용기에 있어서, 개구를 가지며 내열합금으로 제조되는 압력용기 본체; 상기 압력용기 본체 개구의 내부에 삽입되는 내식성 소재의 라이너; 상기 압력용기 본체의 상부에 구성되는 압력용기 헤드; 상기 압력용기 헤드의 중심부에 구성되는 유니온;을 구비하며, 상기 라이너와 유니온 간의 기밀 밀착에 의하여 압력용기의 밀봉이 유지되는 단결정 성장용 압력용기를 제공한다.
상기 라이너는 원통 형상으로 하부는 폐쇄되고 상부는 개구되어 내측으로 경사진 단면을 가지며, 상기 유니온은 하부가 곡률을 가지는 반구형상이며, 상기 라이너 상부의 경사진 단면과 유니온의 사이에서 형성되는 기밀 밀착에 의하여 압력용기의 밀봉이 이루어 질 수 있다.
상기 유니온은 중심축으로 통공이 형성되어 압력 측정수단 또는 압력 해제 수단을 포함하는 압력파트와 연결될 수 있다.
상기 라이너와 유니온 간의 기밀 밀착은 압력용기의 온도 상승과 하강에 따른 직경방향으로 라이너의 팽창과 수축 변형 시에도 기밀이 유지될 수 있다. 즉, 상기 기밀 밀착은 압력용기의 온도 또는 내부 압력 상승에 따른 라이너의 팽창 시에는 유니온이 압력용기의 하부로 이동하여 압력용기의 밀봉이 유지될 수 있고, 압력용기의 온도 또는 내부 압력 하강에 따른 라이너의 수축 시에는 유니온이 압력용기의 상부로 이동하여 압력용기의 밀봉이 유지될 수 있다.
또한, 상기 라이너와 유니온 간의 기밀 밀착은 라이너의 경사면 또는 유니온의 둥근면의 일부에 변형이 생기더라도 유니온의 상하 이동에 의한 새로운 접촉점 형성에 의하여 기밀이 유지될 수 있다.
상기 압력용기 본체는 Fe함유합금, Ni함유합금, Mo함유합금, Co함유합금 으로 이루어진 군에서 선택되는 내열합금으로 이루어질 수 있고, 상기 라이닝은 Pt, Ir 또는 Pt에 Ir, Rh, Au, Ru, Re, ZrO2를 최소한 1종류 이상 첨가한 합금, 또는 Ir에 Pt, Rh, Ru, Re를 최소한도 1종류 이상 첨가한 합금, 또는 Rh에 Pt, Au, Ir, Ru, Re를 최소한 1종류 이상 첨가한 합금의 단독 또는 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 합금으로 이루어질 수 있으며, 상기 내열합금, 라이닝 및 유니온은 0 ℃ ~ 650 ℃의 온도 영역에서 선팽창계수의 차이가 4×10-6 이하의 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 단결정 성장은 암모노써멀(ammonothermal)법, 수열(hydrothermal)법, 또는 용매열(solvothermal)법 중 어느 하나의 방법에 의하여 이루어질 수 있다.
본 발명에 따른 압력반응 용기는 압력반응기에 개스킷을 사용하고 누출을 방지하고자 결합부위가 면과 면이 접촉을 이루는 면접촉인 종래기술과 달리 라이너의 면과 둥근 유니온이 선접촉으로 접촉을 이루며 기밀을 유지하고, 압력용기 및 라이너가 직경 방향으로 온도에 따른 팽창과 수축 변형 시에도 실링을 유지할 수 있는 장점이 있다.
또한, 이리듐, 루테늄 등의 귀금속 소재 개스킷을 사용하지 않음으로써 유지비용의 절감과 온도와 압력의 변화에도 불구하고 안정적으로 반응기의 압력을 유지할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 구현예에 따른 단결정 성장용 압력용기의 단면을 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 구현예에 따른 밀폐된 형태를 가지는 유니온(a)과 압력파트와 연결되도록 중심축에 통공을 가지는 유니온(b)의 단면을 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명의 일 구현예에 따른 단결정 성장용 압력용기의 유니온과 라이너의 결합전 단면을 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 구현예에 따른 단결정 성장용 압력용기의 유니온과 라이너의 결합후 단면을 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 구현예에 따른 단결정 성장용 압력용기의 유니온과 라이너의 가열시 압력을 유지하기 위한 결합 모습을 나타낸 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 구현예에 따른 단결정 성장용 압력용기의 유니온과 라이너의 냉각시 압력을 유지하기 위한 결합 모습을 나타낸 단면도이다.
이하, 본 발명의 기술적 사상은 첨부된 도면을 참조하여 더욱 구체적으로 설명한다. 그러나 첨부된 도면은 본 발명의 기술적 사상을 구체화한 일 구현예에 불과한 것이므로 본 발명은 도면의 형태에 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 구현예에 따른 단결정 성장용 압력용기의 단면을 나타낸 단면도이다. 먼저, 본 발명의 단결정 성장용 압력용기는 개구를 가지며 내열합금으로 제조되는 압력용기 본체(1); 상기 압력용기 본체 개구의 내부에 삽입되는 내식성 소재의 라이너(2); 상기 압력용기 본체의 상부에 구성되는 압력용기 헤드(3); 상기 압력용기 헤드의 중심부에 구성되는 유니온(4);을 구비하며, 상기 라이너와 유니온 간의 기밀 밀착에 의하여 압력용기의 밀봉이 유지된다. 또한, 압력용기 본체(1)는 상기 라이너(2)의 하부에 라이너를 지지하는 하부지지대(5)를 포함할 수 있다.
상기 라이너(2)는 원통 형상으로 하부는 폐쇄되고 상부는 개구되어 내측으로 경사진 단면을 가지며, 상기 유니온(4)은 하부가 곡률을 가지는 반구형상이며, 상기 라이너(2) 상부의 경사진 단면과 유니온(4)의 사이에서 형성되는 기밀 밀착에 의하여 압력용기의 밀봉이 이루어 질 수 있다.
이때 압력용기 본체(1)와 압력용기 헤드(3)간의 추가적인 압력용기 고정수단(7)이 구비되며, 상기 압력용기 고정수단(7)에 의하여 압력용기 본체(1)와 압력용기 헤드(3) 간의 기본적인 압력 용기의 결합이 이루어지게 되며 구체적으로는 압력용기 고정수단(7)에 의하여 유니온(4)과 라이너(2)가 접촉이 이루어지며 기밀을 유지할 수 있게 된다.
이때 압력용기 및 라이너의 온도와 압력의 상승과 하강에 따른 팽창과 수축이 발생하여도 라이너의 경사면과 유니온의 곡률을 가지는 면의 선 접촉에 의하여 안정적인 압력유지를 가능하게 한다.
상기 유니온(4)는 밀폐된 형태(도 2의 a) 이거나 압력파트와 연결이 가능하도록 중심축에 통공(6)을 가지는 유니온(도 2의 b)일 수 있고, 중심축에 통공을 가지는 유니온은 통공을 통하여 압력 측정수단인 압력용기 내부의 압력을 측정하는 트랜스듀서(transducer, 미도시) 또는 압력 해제 수단인 럽쳐디스크(rupture disk, 미도시)을 포함하는 압력파트와 연결될 수 있다. 이러한 부가적인 압력파트를 통한 트랜스듀서 또는 럽쳐디스크와의 결합은 고온/고압이 유지되는 반응기 내부의 압력을 측정 할 수 있을 뿐만 아니라 갑작스럽게 증가하는 압력에 의한 반응기의 폭발을 방지할 수 있는 안전장치이기도 하다.
상기 압력용기 본체(1)는 내열 합금으로 제작되어 고온의 용매가 상기 압력용기 본체에 투입될 경우 고온에 견딜 수 있게 제작되는 것이 바람직하고, 또한, 상기 압력용기 본체(1)는 가열로(미도시)를 사용하여 가열한 후 상기 라이너(2)를 삽입하는 열박음(금속의 열에 의한 팽창 및 수축을 이용하여 금속을 밀착하는 기술)을 실시함으로써 상기 압력용기 본체(1)와 라이너(2)가 큰 밀착력이 형성될 수 있다.
상기 압력용기 본체는 Fe함유합금, Ni함유합금, Mo함유합금, Co함유합금 으로 이루어진 군에서 선택되는 내열합금으로 이루어질 수 있고, 상기 라이닝은 Pt, Ir 또는 Pt에 Ir, Rh, Au, Ru, Re, ZrO2를 최소한 1종류 이상 첨가한 합금, 또는 Ir에 Pt, Rh, Ru, Re를 최소한도 1종류 이상 첨가한 합금, 또는 Rh에 Pt, Au, Ir, Ru, Re를 최소한 1종류 이상 첨가한 합금의 단독 또는 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 합금으로 이루어질 수 있으며, 상기 내열합금, 라이닝 및 유니온은 0 ℃ ~ 650 ℃의 온도 영역에서 선팽창계수의 차이가 4×10-6 이하의 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.
도 3은 본 발명의 일 구현예에 따른 단결정 성장용 압력용기의 유니온과 라이너의 결합전 단면을 나타낸 단면도이고, 도 4는 본 발명의 일 구현예에 따른 단결정 성장용 압력용기의 유니온과 라이너의 결합후 단면을 나타낸 단면도이다.
상기 라이너(2)는 원통 형상으로 하부는 폐쇄되고 상부는 개구되어 내측으로 경사진 단면을 가지며, 상기 유니온(4)은 하부가 곡률을 가지는 반구형상이며, 상기 라이너(2) 상부의 경사진 단면과 유니온(4)의 사이에서 형성되는 기밀 밀착에 의하여 압력용기의 밀봉이 이루어 질 수 있다. 이 때 라이너의 면과 유니온의 하부인 둥근 반구 사이에는 선접촉으로 기밀이 이루어지게 된다.
즉, 종래기술에서는 압력반응기에 개스킷을 사용하고 누출을 방지하고자 결합부위가 면과 면이 접촉을 이루는 면접촉인 반면에 본 발명은 라이너의 면과 둥근 유니온이 선접촉으로 접촉을 이루며 반응기 및 라이너가 직경 방향으로 온도에 따른 팽창과 수축 변형 시에도 실링을 유지할 수 있는 점에서 차이가 있다. 또한 종래기술은 귀금속 개스킷을 사용하여 기밀을 유지하여 사용 후 개스킷의 교체에 따른 유지비용이 많이 발생하는 반면에 본 발명은 라이너와 유니온 간의 결합에 의하여 기밀이 유지되므로 개스킷 사용에 따른 추가 발생 비용이 없게 된다.
도 4와 도 5를 참조하여 압력용기의 온도 상승과 하강에 따른 직경방향으로의 라이너의 팽창과 수축 변형시에 기밀이 유지되는 구조를 설명하고자 한다. 도 4는 본 발명의 일 구현예에 따른 단결정 성장용 압력용기의 유니온과 라이너의 가열시 압력을 유지하기 위한 결합 모습을 나타낸 단면도이고, 도 5는 냉각시 압력을 유지하기 위한 결합 모습을 나타낸 단면도이다.
상기 라이너와 유니온 간의 기밀 밀착은 압력용기의 온도 상승과 하강에 따른 직경방향으로 라이너의 팽창과 수축 변형 시에도 기밀이 유지될 수 있다. 즉, 상기 기밀 밀착은 압력용기의 온도 또는 내부 압력 상승에 따른 라이너의 팽창 시에는 유니온이 압력용기의 하부로 이동하여 압력용기의 밀봉이 유지(도 4 참조)될 수 있고, 압력용기의 온도 또는 내부 압력 하강에 따른 라이너의 수축 시에는 유니온이 압력용기의 상부로 이동하여 압력용기의 밀봉이 유지(도 5 참조)될 수 있다.
또한, 상기 라이너(2)와 유니온(4) 간의 기밀 밀착은 라이너의 경사면 또는 유니온의 둥근면의 일부에 변형이 생기더라도 유니온(4)의 상하 이동에 의한 새로운 접촉점 형성에 의하여 기밀이 유지될 수 있다.
본 발명에 따른 상기 압력용기는 암모노써멀(ammonothermal)법, 수열(hydrothermal)법, 또는 용매열(solvothermal)법 중 어느 하나의 방법을 사용하여 단결정 성장 시 매우 효과적인 반응용기이다.
이상에서 설명한 바와 같이 종래기술은 압력반응기에 개스킷을 사용하고 누출을 방지하고자 결합부위가 면과 면이 접촉을 이루는 면접촉인 반면에 본 발명은 라이너의 면과 둥근 유니온이 선접촉으로 접촉면을 이루며 압력용기 및 라이너가 직경 방향으로 온도에 따른 팽창과 수축 변형 시에도 실링을 유지할 수 있는 점에서 차이가 있다.
또한, 종래기술은 이리듐, 루테늄 등의 귀금속 소재 개스킷의 사용에 따른 유지비용이 많이 드는 반면에 본 발명은 개스킷이 필요하지 않아 추가적인 유지비용이 발생되지 않는 경제적인 장점이 있다.
1: 압력용기 본체
2: 라이너
3: 압력용기 헤드
4: 유니온
5: 하부지지대
6: 통공
7: 압력용기 고정수단

Claims (10)

  1. 단결정 성장을 위하여 고온 및 고압의 유지가 필요한 단결정 성장용 압력용기에 있어서,
    개구를 가지며 내열합금으로 제조되는 압력용기 본체;
    상기 압력용기 본체 개구의 내부에 삽입되는 내식성 소재의 라이너;
    상기 압력용기 본체의 상부에 구성되는 압력용기 헤드;
    상기 압력용기 헤드의 중심부에 구성되는 유니온;을 구비하며,
    상기 라이너와 유니온 간의 기밀 밀착에 의하여 압력용기의 밀봉이 유지되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 압력용기.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 라이너는 원통 형상으로 하부는 폐쇄되고 상부는 개구되어 내측으로 경사진 단면을 가지고, 상기 유니온은 하부가 곡률을 가지는 반구형상이며,
    상기 라이너 상부의 경사진 단면과 유니온의 사이에서 형성되는 기밀 밀착에 의하여 압력용기의 밀봉이 이루어지는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 압력용기.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 유니온은 중심축으로 통공이 형성되어 압력 측정수단 또는 압력 해제 수단을 포함하는 압력파트와 연결되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 압력용기.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 라이너와 유니온 간의 기밀 밀착은 압력용기의 온도 상승과 하강에 따른 직경방향으로 라이너의 팽창과 수축 변형 시에도 기밀이 유지되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 압력용기.
  5. 청구항 2에 있어서,
    상기 기밀 밀착은 압력용기의 온도 또는 내부 압력 상승에 따른 라이너의 팽창 시에는 유니온이 압력용기의 하부로 이동하여 압력용기의 밀봉이 유지되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 압력용기.
  6. 청구항 2에 있어서,
    상기 기밀 밀착은 압력용기의 온도 또는 내부 압력 하강에 따른 라이너의 수축 시에는 유니온이 압력용기의 상부로 이동하여 압력용기의 밀봉이 유지되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 압력용기.
  7. 청구항 2에 있어서,
    상기 라이너와 유니온 간의 기밀 밀착은 라이너의 경사면 또는 유니온의 둥근면의 일부에 변형이 생기더라도 유니온의 상하 이동에 의한 새로운 접촉점 형성에 의하여 기밀이 유지되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 압력용기.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 라이닝은 Pt, Ir 또는 Pt에 Ir, Rh, Au, Ru, Re, ZrO2를 최소한 1종류 이상 첨가한 합금, 또는 Ir에 Pt, Rh, Ru, Re를 최소한도 1종류 이상 첨가한 합금, 또는 Rh에 Pt, Au, Ir, Ru, Re를 최소한 1종류 이상 첨가한 합금의 단독 또는 조합으로 이루어진 군에서 선택되는 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 압력용기.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 내열합금, 라이닝 및 유니온은 0 ℃ ~ 650 ℃의 온도 영역에서 선팽창계수의 차이가 4×10-6 이하의 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 압력용기.
  10. 청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 단결정 성장은 암모노써멀(ammonothermal)법, 수열(hydrothermal)법, 또는 용매열(solvothermal)법 중 어느 하나의 방법에 의하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 압력용기.
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