KR20160140760A

KR20160140760A - Light-source device, discharge lamp and manufacturing method therefor, and exposure device

Info

Publication number: KR20160140760A
Application number: KR1020167029369A
Authority: KR
Inventors: 야스오 아오키; 다카유키 기쿠치; 히로시 시라스
Original assignee: 가부시키가이샤 니콘
Priority date: 2014-03-28
Filing date: 2015-03-30
Publication date: 2016-12-07
Also published as: TWI771788B; CN110058493B; JP6332438B2; TW201928532A; CN106415396A; TW201537310A; CN110058493A; TWI661274B; TW202109211A; JPWO2015147327A1; WO2015147327A1; TWI711892B; KR102447925B1; CN106415396B

Abstract

양극 및 음극이 내부에 마련된 유리관과, 그 발광부에 대해서 양극측 및 음극측에 각각 마련된 구금부를 가지는 방전 램프를 발광시키기 위한 광원 장치로서, 방전 램프를 보관하는 보관부와, 방전 램프의 구금부를 착탈 가능하게 지지하는 지지 부재와, 지지 부재에 지지된 방전 램프의 구금부에 전력 케이블을 착탈 가능하게 연결하는 클램프 기구와, 지지 부재에 의한 구금부의 지지 및 클램프 기구에 의한 구금부에 대한 전력 케이블의 연결이 해제되어 있는 상태에서, 구금부를 유지하여 방전 램프를 보관부와 지지 부재와의 사이에서 반송하는 램프 반송계를 구비한다. 방전 램프의 교환을 효율적으로 행할 수 있다. 1. A light source device for emitting a discharge lamp having a glass tube in which an anode and a cathode are provided and a holding portion provided on an anode side and a cathode side respectively with respect to the light emitting portion, comprising: a storage portion for storing a discharge lamp; A clamping mechanism for detachably connecting the power cable to the cage portion of the discharge lamp supported by the support member; a power cable for supporting the cage portion by the support member and for the cage portion by the clamping mechanism; And a lamp return system for holding the cradle portion and transferring the discharge lamp between the storage portion and the support member in a state in which the connection between the storage portion and the support member is released. The discharge lamp can be exchanged efficiently.

Description

TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a light source device, a discharge lamp, a manufacturing method thereof, and an exposure apparatus.

본 발명은, 방전(放電) 램프, 방전 램프의 제조 방법, 방전 램프의 교환 방법 및 점등 방법, 방전 램프를 구비한 광원 장치, 이 광원 장치를 구비한 노광 장치, 및 노광 장치를 이용하는 디바이스 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a discharge lamp, a method of manufacturing a discharge lamp, a method of exchanging a discharge lamp and a method of lighting, a light source device having a discharge lamp, an exposure apparatus including the light source apparatus, and a device manufacturing method using the exposure apparatus .

각종 디바이스(액정 표시 디바이스 또는 반도체 디바이스 등)를 제조하기 위한 리소그래피 공정에서, 마스크에 형성된 패턴을 감광(感光) 재료가 도포된 기판(유리 플레이트 또는 반도체 웨이퍼 등)에 전사(轉寫)하기 위해서 사용되고 있는, 일괄 노광형 투영 노광 장치, 및 주사(走査) 노광형 투영 노광 장치 등의 노광 장치에는, 초고압 수은 램프 등의 방전 램프와 집광(集光) 거울을 조합시켜 구성되는 노광용 광원 장치를 구비하고 있는 타입이 있다. In a lithography process for manufacturing various devices (such as a liquid crystal display device or a semiconductor device), a pattern formed on a mask is used to transfer the pattern to a substrate (glass plate, semiconductor wafer, or the like) coated with a photosensitive material The exposure apparatus such as a batch exposure type projection exposure apparatus and a scan exposure projection exposure apparatus are classified into a type having an exposure light source device composed of a discharge lamp such as an ultra high pressure mercury lamp and a condensing mirror .

종래의 광원 장치에는, 방전 램프의 일방의 구금(口金)에 플랜지부 및 단차부를 마련하고, 개구가 마련된 베이스부의 표면에 그 플랜지부를 재치(載置)한 상태에서, 그 개구 내에서 그 단차부를 레버 부재 등에 의해 하부로 가압함으로써, 그 방전 램프를 고정하는 것이 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 또, 노광 장치용 방전 램프는, 미리 정해진 허용 시간을 초과하여 사용하면, 조도(照度) 저하에 의해 노광 성능(해상도 등)이 악화될 우려가 있다. 그 때문에, 방전 램프의 누적 사용 시간이 그 허용 시간을 경과했을 때에는, 작업자가 메뉴얼 작업으로 그 방전 램프를 미사용의 방전 램프와 교환하고 있었다. In the conventional light source device, a flange portion and a step portion are provided in one of the corners of the discharge lamp, and in a state where the flange portion is placed on the surface of the base portion provided with the opening, (For example, refer to Patent Document 1). In this case, the discharge lamp is fixed to the lower portion by a lever member or the like. In addition, when the discharge lamp for an exposure apparatus is used in excess of a predetermined allowable time, the exposure performance (resolution, etc.) may deteriorate due to lowering of illuminance (illuminance). Therefore, when the cumulative use time of the discharge lamp has passed its allowable time, the operator has exchanged the discharge lamp with an unused discharge lamp by manual operation.

특허 문헌 1 : 국제공개 제2007/066947호 팜플렛Patent Document 1: International Publication No. 2007/066947 Pamphlet

노광 장치에서 사용 중의 방전 램프는 고온이 되기 때문에, 작업자가 메뉴얼 작업으로 방전 램프를 교환하는 경우, 방전 램프의 소등 후, 예를 들면 30분 이상의 시간을 두고 작업을 행할 필요가 있었다. 이 때문에, 노광 장치의 다운 타임(down time)이 길어져, 노광 공정의 스루풋(throughput)(생산성)이 저하되고 있었다. The discharge lamp in use in the exposure apparatus becomes high temperature. Therefore, when the operator exchanges the discharge lamp by a manual operation, it is necessary to perform the operation for 30 minutes or more after the discharge lamp is turned off, for example. As a result, the down time of the exposure apparatus becomes longer and the throughput (productivity) of the exposure process is lowered.

또, 최근의 주사 노광형 노광 장치는, 스루풋을 높이기 위해서, 노광광(露光光)에 의해 마스크의 보다 넓은 면적의 조명 영역을 조명하고, 또한 마스크를 보다 고속으로 주사하는 것이 요구되고 있기 때문에, 광원 장치로부터는 보다 조도가 높은 광을 공급할 필요가 있다. 이를 위해서는, 예를 들면 복수의 방전 램프를 구비하고, 이들 복수의 방전 램프로부터의 광을 합성하여 사용하는 것이 고려되어진다. 그렇지만, 광원 장치가 복수의 방전 램프를 가지는 경우에는, 방전 램프의 교환 빈도가 증가하기 때문에, 노광 장치의 다운 타임이 더 길어져, 스루풋의 향상이 억제될 우려가 있다. In addition, in recent scan-exposure type exposure apparatuses, in order to increase the throughput, it is required to illuminate an illumination area of a wider area of the mask by the exposure light and to scan the mask at a higher speed, It is necessary to supply light of higher illuminance from the apparatus. For this purpose, for example, it is considered that a plurality of discharge lamps are provided, and the light from these plurality of discharge lamps is synthesized and used. However, when the light source device has a plurality of discharge lamps, the frequency of replacement of the discharge lamps increases, so that the downtime of the exposure apparatus becomes longer and the improvement in throughput may be suppressed.

본 발명의 제1 형태에 의하면, 발광부를 형성하기 위한 제1 전극 및 제2 전극이 내부에 마련된 유리 부재와, 상기 발광부에 대해서 상기 유리 부재의 상기 제1 전극측 및 상기 제2 전극측에 각각 마련된 제1 구금(口金) 부재 및 제2 구금 부재를 가지는 방전(放電) 램프를 발광시키기 위한 광원 장치로서, 상기 방전 램프를 보관하는 보관부와, 상기 방전 램프의 상기 제2 구금 부재를 착탈 가능하게 지지하는 지지부와, 상기 지지부에 지지된 상기 방전 램프의 상기 제1 구금 부재에 전력을 전달하는 부재를 착탈 가능하게 연결하는 연결부와, 상기 지지부에 의한 상기 제2 구금 부재의 지지 및 상기 연결부에 의한 상기 제1 구금 부재에 대한 상기 전력을 전달하는 부재의 연결이 해제되어 있는 상태에서, 상기 제1 구금 부재를 유지하여 상기 방전 램프를 상기 보관부와 상기 지지부와의 사이에서 반송하는 반송부를 구비하는 광원 장치가 제공된다. According to a first aspect of the present invention, there is provided a light emitting device comprising: a glass member having a first electrode and a second electrode formed therein for forming a light emitting portion; and a glass member provided on the first electrode side and the second electrode side of the glass member, A light source device for emitting a discharge lamp having a first opening member and a second opening member provided respectively, the lighting device comprising: a storage portion for storing the discharge lamp; A supporting portion for supporting the first holding member, a supporting portion for supporting the first holding member, a supporting member for supporting the first holding member, and a member for transmitting electric power to the first holding member of the discharge lamp supported by the supporting portion; In a state in which the connection of the member for transmitting the electric power to the first coupling member by the first coupling member is released, And a conveying section for conveying between the tube section and the support section.

제2 형태에 의하면, 발광부를 형성하는 유리 부재와, 상기 유리 부재를 사이에 끼우도록 마련된 제1 구금 부재 및 제2 구금 부재를 가지는 방전 램프를 교환하는 교환 방법으로서, 상기 방전 램프의 상기 제1 구금 부재의 피연결부에 면접촉하고 있음과 아울러 전력을 전달하는 부재가 연결된 부재를, 상기 피연결부로부터 이탈시키는 것과, 상기 방전 램프의 상기 제2 구금 부재를 지지 부재로부터 이탈 가능하게 하는 것과, 상기 방전 램프의 상기 제1 구금 부재의 비(非)평면부를 포함하는 피(被)유지부를 유지하여 상기 방전 램프를 보관부로 반송하는 것을 포함하는 교환 방법이 제공된다. According to a second aspect of the present invention, there is provided an exchange method for exchanging a discharge lamp having a glass member forming a light emitting portion and a first separating member and a second separating member sandwiching the glass member, And a member to which a member for transmitting electric power is connected is detached from the member to be connected and the second opening member of the discharge lamp is detachable from the supporting member, There is provided an exchange method including holding a to-be-held portion including a non-flat portion of the first winding member of a discharge lamp to transfer the discharge lamp to a storage portion.

제3 형태에 의하면, 발광부를 형성하는 유리 부재와, 상기 유리 부재를 사이에 끼우도록 마련된 제1 구금 부재 및 제2 구금 부재를 가지는 방전 램프를 점등하는 점등 방법으로서, 상기 방전 램프의 상기 제1 구금 부재의 피연결부에 전력을 전달하는 부재가 연결된 부재를 면접촉시키는 것과, 상기 방전 램프의 상기 제2 구금 부재를 전력이 공급 가능한 지지 부재에 의해 지지하는 것과, 상기 전력을 전달하는 부재 및 상기 지지 부재를 매개로 하여 상기 방전 램프에 전력을 공급하여 상기 방전 램프를 점등하는 것을 포함하는 점등 방법이 제공된다. According to a third aspect of the present invention, there is provided a lighting method for lighting a discharge lamp having a glass member forming a light emitting portion and a first separating member and a second separating member sandwiching the glass member, Comprising: a surface contact of a member to which a member for transmitting electric power is connected to a member to be connected of the member; a support member for supporting the second member of the discharge lamp by a power supply; And lighting the discharge lamp by supplying power to the discharge lamp via a support member.

제4 형태에 의하면, 발광부를 형성하기 위한 제1 전극 및 제2 전극이 내부에 마련된 유리 부재와, 상기 발광부에 대해서 상기 유리 부재의 제1 전극측 및 제2 전극측에 각각 마련된 제1 구금 부재 및 제2 구금 부재를 가지는 방전 램프로서, 상기 제1 구금 부재는, 전력을 전달하는 부재가 접촉 가능하고, 또한 상기 부재와의 전기적인 접촉 저항을 작게 하기 위해서, 상기 부재와 면접촉 가능한 피연결부와, 반송부에 의해서 유지 가능한 비평면부 또는 경사부를 포함하는 피유지부를 가지는 방전 램프가 제공된다. According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal display device comprising: a glass member having a first electrode and a second electrode for forming a light emitting portion therein; and a second electrode provided on the first electrode side and the second electrode side of the glass member, Wherein the first separating member comprises a first separating member having a first member and a second separating member, the first separating member having a first member and a second member, There is provided a discharge lamp having a connecting portion and a to-be-held portion including an uneven surface portion or an inclined portion that can be held by the carrying portion.

제5 형태에 의하면, 본 발명의 형태의 방전 램프의 제조 방법으로서, 양단에 도전성 부재가 연결된 유리 부재를 제조하는 것과, 피연결부 및 피유지부가 형성된 피복 부재를 제조하는 것과, 상기 유리 부재의 일단측의 상기 도전성 부재를 덮도록 상기 피복 부재를 고정하는 것을 포함하는 제조 방법이 제공된다. According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a discharge lamp according to a fifth aspect of the present invention, comprising the steps of: preparing a glass member having conductive members connected to both ends thereof; producing a covering member having a portion to be connected and a portion to be held; And fixing the covering member so as to cover the conductive member on the side of the conductive member.

제6 형태에 의하면, 본 발명의 형태의 방전 램프의 제조 방법으로서, 제1 전극 또는 제2 전극과 전기적으로 접속된 제1 도전성 부재가 일단에 마련된 유리 부재를 준비하는 것과, 피연결부 및 피유지부가 형성된 제2 도전성 부재를 준비하는 것과, 상기 유리 부재의 일단측의 상기 제1 도전성 부재에 상기 제2 도전성 부재를 연결하는 것을 포함하는 제조 방법이 제공된다. According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a discharge lamp in accordance with a sixth aspect of the present invention, comprising the steps of: preparing a glass member provided at one end with a first conductive member electrically connected to a first electrode or a second electrode; There is provided a manufacturing method comprising preparing a second conductive member with a portion formed thereon and connecting the second conductive member to the first conductive member on one end side of the glass member.

제7 형태에 의하면, 본 발명의 형태의 광원 장치와, 상기 광원 장치의 방전 램프로부터 발생하는 광에 의해 마스크를 조명하는 조명계와, 상기 마스크의 패턴의 상(像)을 기판에 투영하는 투영 광학계를 구비하는 노광 장치가 제공된다. According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a light source device in the form of the present invention, an illumination system for illuminating a mask with light generated from a discharge lamp of the light source device, and a projection optical system for projecting an image of the pattern of the mask onto a substrate. Is provided.

제8 형태에 의하면, 본 발명의 형태의 노광 장치를 이용하여 기판 상에 감광층의 패턴을 형성하는 것과, 상기 패턴이 형성된 상기 기판을 처리하는 것을 포함하는 디바이스 제조 방법이 제공된다. According to an eighth aspect, there is provided a device manufacturing method comprising forming a pattern of a photosensitive layer on a substrate using an exposure apparatus of the present invention, and processing the substrate on which the pattern is formed.

도 1은 제1 실시 형태에 관한 노광 장치의 개략 구성을 나타내는 도면이다.
도 2의 (A)는 도 1 중의 방전 램프를 나타내는 도면, (B)는 도 2의 (A)의 양극측 구금부(口金部)를 나타내는 확대 사시도, (C)는 도 2의 (A)의 C-C선을 따르는 단면도이다.
도 3의 (A)는 양극측 구금부를 2방향으로부터 본 도면, (B), (C), (D) 및 (E)은 각각 제1, 제2, 제3, 및 제4 변형예의 양극측 구금부를 2개의 방향으로부터 본 도면이다.
도 4의 (A)는 도 1 중의 광원 장치를 나타내는 일부를 잘라낸 평면도, (B)는 도 4의 (A)의 광원 장치를 나타내는 일부를 잘라낸 측면도이다.
도 5는 방전 램프의 양극측 구금부 및 클램프 기구를 나타내는 사시도이다.
도 6의 (A)는 슬라이드부를 이동 중의 광원 장치를 나타내는 일부를 잘라낸 평면도, (B)는 도 5의 (A)의 광원 장치를 나타내는 일부를 잘라낸 측면도이다.
도 7의 (A)는 방전 램프의 양극측 구금부를 클램핑한 상태를 나타내는 도면, (B)는 구금부의 클램핑을 해제한 상태를 나타내는 도면이다.
도 8은 광원 장치를 나타내는 일부를 잘라낸 측면도이다.
도 9의 (A)는 램프 파지 클로(claw)에 의해 양극측 구금부를 파지하는 상태를 나타내는 평면도, (B)는 도 9의 (A)의 측면도이다.
도 10의 (A)는 방전 램프를 이동 중의 광원 장치를 나타내는 일부를 잘라낸 평면도, (B)는 도 10의 (A)의 광원 장치를 나타내는 일부를 잘라낸 측면도이다.
도 11은 램프 보관용 턴 테이블(turn table)의 위치 결정부를 나타내는 도면이다.
도 12는 제조 중의 방전 램프를 나타내는 일부를 잘라낸 분해도이다.
도 13의 (A)는 변형예의 양극측 구금부의 클램프 기구의 일부를 나타내는 평면도, (B)는 도 13의 (A)의 측면도이다.
도 14의 (A)는 다른 변형예의 양극측 구금부의 클램프 기구를 나타내는 일부를 잘라낸 측면도, (B)는 양극측 구금부의 클램프를 떼어낸 상태를 나타내는 일부를 잘라낸 측면도이다.
도 15는 음극측 구금부의 클램프를 떼어낸 상태를 나타내는 일부를 잘라낸 측면도이다.
도 16은 제2 실시 형태에 관한 광원 장치를 나타내는 일부를 잘라낸 측면도이다.
도 17은 슬라이드부를 인출한 상태를 나타내는 일부를 잘라낸 측면도이다.
도 18은 제2 실시 형태의 변형예의 광원 장치를 나타내는 일부를 잘라낸 측면도이다.
도 19의 (A)는 제3 실시 형태에 관한 방전 램프를 나타내는 도면, (B)는 도 19의 (A)의 양극측 구금부를 클램핑한 상태를 나타내는 단면도이다.
도 20의 (A)는 제3 실시 형태에 관한 광원 장치를 나타내는 일부를 잘라낸 평면도, (B)는 도 20의 (A)의 광원 장치를 나타내는 일부를 잘라낸 측면도이다.
도 21은 슬라이드부를 인출한 상태를 나타내는 일부를 잘라낸 측면도이다.
도 22의 (A)는 양극측 구금부에 걸린 급전(給電) 소켓 및 소켓 유지부를 나타내는 부분 확대 단면도, (B)는 급전 소켓을 소켓 유지부에 의해 파지하는 모습을 나타내는 부분 확대 단면도이다.
도 23의 (A)는 구금부에 걸린 급전 소켓을 떼어내기 위한 동작을 나타내는 부분 확대 단면도, (B)는 급전 소켓을 떼어내기 직전의 상태를 나타내는 부분 확대 단면도이다.
도 24는 구금부에 걸린 급전 소켓을 떼어낸 직후의 상태를 나타내는 부분 확대 단면도이다.
도 25의 (A)는 제3 실시 형태에 관한 광원 장치를 나타내는 일부를 잘라낸 평면도, (B)는 도 25의 (A)의 광원 장치를 나타내는 일부를 잘라낸 측면도이다.
도 26의 (A)는 제4 실시 형태에 관한 노광 장치의 요부를 나타내는 평면도, (B)는 방전 램프를 교환중인 상태의 요부를 나타내는 평면도이다.
도 27은 제4 실시 형태에 관한 노광 장치를 나타내는 일부를 잘라낸 측면도이다.
도 28은 제5 실시 형태에 관한 방전 램프를 나타내는 도면이다.
도 29의 (A)는 제5 실시 형태에 관한 램프 교환용 파지 기구를 나타내는 단면도, (B)는 도 29의 (A)의 파지 기구를 정면으로부터 본 단면도이다.
도 30의 (A)는 방전 램프 및 램프 교환용 핸드부의 요부를 나타내는 도면, (B)는 양극측 구금부를 핸드부에 의해 파지하기 직전의 상태의 요부를 나타내는 도면이다.
도 31의 (A)는 양극측 구금부를 핸드부에 의해 파지한 상태의 요부를 나타내는 도면, (B)는 핸드부에 의해 양극측 구금부를 매달아 올리는 상태의 요부를 나타내는 도면이다.
도 32의 (A)는 방전 램프의 교환 방법의 일례를 나타내는 플로우차트, (B)는 방전 램프의 제조 방법의 일례를 나타내는 플로우차트이다.
도 33은 전자(電子) 디바이스의 제조 공정의 일례를 나타내는 플로우차트이다. 1 is a view showing a schematic configuration of an exposure apparatus according to the first embodiment.
Fig. 2 (A) is a view showing a discharge lamp in Fig. 1, Fig. 2 (B) is an enlarged perspective view showing a positive electrode side mouth portion in Fig. Sectional view taken along the line CC of Fig.
FIG. 3A is a plan view of the positive electrode side holding portion viewed from two directions, and FIG. 3B is a side view of the positive electrode side of the first, second, third, Figure 2 is a view of the custody section viewed from two directions.
FIG. 4A is a plan view showing a part of the light source device shown in FIG. 1 cut out, and FIG. 4B is a side view showing a part of the light source device shown in FIG.
5 is a perspective view showing the positive electrode side holding portion and the clamp mechanism of the discharge lamp.
FIG. 6A is a plan view of a part of the light source device during movement of the slide part, and FIG. 6B is a side view of a part of the light source device of FIG.
FIG. 7A is a view showing a state in which the positive electrode side holding portion of the discharge lamp is clamped, and FIG. 7B is a view showing a state in which clamping of the holding portion is released.
8 is a side view showing a part of the light source device cut away.
9A is a plan view showing a state in which the positive electrode side holding portion is gripped by the lamp grip claw, and FIG. 9B is a side view of FIG. 9A.
10 (A) is a plan view of a part of the light source device during the movement of the discharge lamp, and FIG. 10 (B) is a side view showing a part of the light source device of FIG.
11 is a view showing a positioning part of a turn table for storing a lamp.
12 is an exploded view showing a part of a discharge lamp during manufacture.
Fig. 13 (A) is a plan view showing a part of the clamp mechanism of the positive electrode side holding portion of the modified example, and Fig. 13 (B) is a side view of Fig.
FIG. 14A is a side view showing a part of the clamp mechanism of the positive electrode side holding portion of another modified example cut away, and FIG. 14B is a side view showing a part of the positive electrode side holding portion with the clamp removed.
Fig. 15 is a side view showing a part of the cathode-side holding portion in which the clamp is removed. Fig.
16 is a side view showing a part of the light source device according to the second embodiment.
FIG. 17 is a side view showing a part of the slide unit taken out from the slide unit. FIG.
18 is a side view showing a part of a light source device according to a modified example of the second embodiment.
Fig. 19A is a view showing a discharge lamp according to a third embodiment, and Fig. 19B is a cross-sectional view showing a state in which the positive electrode side housing portion of Fig. 19A is clamped.
FIG. 20A is a plan view showing a part of the light source device according to the third embodiment, and FIG. 20B is a side view showing a part of the light source device shown in FIG.
Fig. 21 is a side view showing a part of the slide unit taken out from the slide unit. Fig.
FIG. 22A is a partially enlarged cross-sectional view showing a power supply socket and a socket holding portion held in the positive electrode side holding portion, and FIG. 22B is a partially enlarged sectional view showing a state in which the power supply socket is gripped by the socket holding portion.
FIG. 23A is a partially enlarged cross-sectional view showing an operation for removing the power supply socket caught in the crotch part, and FIG. 23B is a partially enlarged cross-sectional view showing a state immediately before the power supply socket is removed.
24 is a partially enlarged cross-sectional view showing a state immediately after the power supply socket caught in the cage portion is removed.
FIG. 25A is a plan view showing a part of the light source device according to the third embodiment, and FIG. 25B is a side view showing a part of the light source device shown in FIG.
FIG. 26A is a plan view showing a main part of an exposure apparatus according to a fourth embodiment, and FIG. 26B is a plan view showing a main part in a state of exchanging a discharge lamp.
FIG. 27 is a side view showing a part of the exposure apparatus according to the fourth embodiment. FIG.
28 is a view showing a discharge lamp according to the fifth embodiment.
29A is a cross-sectional view showing a lamp replacement gripping mechanism according to a fifth embodiment, and Fig. 29B is a cross-sectional view of the gripping mechanism shown in Fig. 29A from the front.
FIG. 30A is a view showing a main portion of a discharge lamp and a lamp replacement hand portion, and FIG. 30B is a view showing a main portion in a state just before holding the positive electrode side holding portion by the hand portion.
31A is a view showing a recessed portion in a state where the positive electrode side holding portion is held by the hand portion, and FIG. 31B is a view showing a main portion in a state in which the positive electrode side holding portion is suspended by the hand portion.
Fig. 32A is a flowchart showing an example of a method of exchanging a discharge lamp, and Fig. 32B is a flowchart showing an example of a method of manufacturing a discharge lamp.
33 is a flowchart showing an example of a manufacturing process of an electronic (electronic) device.

[제1 실시 형태][First Embodiment]

이하, 본 발명의 제1 실시 형태에 대해 도 1~도 12를 참조하여 설명한다. Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to Figs. 1 to 12. Fig.

도 1은, 본 실시 형태에 관한 광원 장치(30)를 구비한 노광 장치(EX)의 개략 구성을 나타낸다. 노광 장치(EX)는, 일례로서 주사(走査) 노광형 투영 노광 장치이다. 도 1에서, 광원 장치(30)는, 아크 방전형 초고압 수은 램프로 이루어지는 방전(放電) 램프(1)와, 방전 램프(1)의 음극측 구금부(口金部)(26)를 유지하는 지지 부재(33)와, 지지 부재(33)를 이동시킬 수 있는 인출부(36)(도 4의 (B) 참조)와, 지지 부재(33)에 대한 구금부(26)의 고정 및 해제를 행하는 구동 유닛(34)과, 방전 램프(1)의 유리관(25)(벌브(bulb))를 둘러싸도록 배치된 타원 거울(2)(집광(集光) 미러)과, 노광시(방전 램프(1)의 사용시)에, 방전 램프(1) 및 타원 거울(2) 등을 수용하는 상자 모양의 램프 하우스(31)를 가진다. 노광시에, 방전 램프(1)의 유리관(25) 내의 발광부는, 일례로서 타원 거울(2)의 제1 초점 부근에 배치되어 있다. Fig. 1 shows a schematic configuration of an exposure apparatus EX equipped with a light source device 30 according to the present embodiment. The exposure apparatus EX is, for example, a scan exposure type projection exposure apparatus. 1, the light source device 30 includes a discharge lamp 1 composed of an arc discharge type ultra high-pressure mercury lamp and a support (not shown) for holding a negative electrode side mouth portion 26 of the discharge lamp 1 A member 33 and a lead-out portion 36 (see Fig. 4 (B)) capable of moving the support member 33 and a holding portion 26 for fixing and releasing the holding portion 26 to the support member 33 A driving unit 34 and an elliptical mirror 2 (a condensing mirror) arranged to surround the glass tube 25 (bulb) of the discharge lamp 1 and an elliptical mirror 2 And a box-shaped lamp house 31 for accommodating the discharge lamp 1, the elliptical mirror 2, and the like. The light emitting portion in the glass tube 25 of the discharge lamp 1 is disposed near the first focus of the elliptic mirror 2 as an example.

또, 광원 장치(30)는, 방전 램프(1)의 양극측 구금부(28)에 착탈 가능하게 연결할 수 있는 가요성(可撓性)을 가지는 전력 케이블(24)과, 방전 램프(1)의 음극측 구금부(26)에 지지 부재(33)를 매개로 하여 연결되는 가요성을 가지는 전력 케이블(23)과, 전력 케이블(23, 24)을 매개로 하여 방전 램프(1)에 전력(전류)을 공급하여 방전 램프(1)를 발광시키는 전원부(20)와, 사용이 끝난 방전 램프(1)를 교환하는 전자동형(全自動型) 교환 장치(50)를 가진다. 교환 장치(50)는, 양극측 구금부(28)에 대한 전력 케이블(24)의 착탈을 행하는 클램프 기구(52)와, 방전 램프(1)를 보관하는 보관부(54)와, 지지 부재(33)와 보관부(54)와의 사이에 방전 램프(1)를 반송하는 램프 반송계(56)와, 보관부(54) 및 램프 반송계(56)를 수용하는 상자 모양의 케이싱(51)을 가진다. The light source device 30 includes a flexible power cable 24 that can be detachably connected to the positive electrode side detaching portion 28 of the discharge lamp 1, Side holding portion 26 of the discharge lamp 1 via the supporting member 33 and a power cable 23 connected to the discharge lamp 1 via the power cables 23 and 24, A power supply unit 20 for supplying a current to the discharge lamp 1 and causing the discharge lamp 1 to emit light and an electrodynamic type swapping apparatus 50 for exchanging the used discharge lamp 1. The exchange device 50 includes a clamp mechanism 52 for attaching and detaching the power cable 24 to the positive electrode side holding portion 28, a storage portion 54 for storing the discharge lamp 1, A lamp carrier system 56 for carrying the discharge lamp 1 between the lamp unit 33 and the storage unit 54 and a box casing 51 for housing the storage unit 54 and the lamp carrier system 56 I have.

또, 지지 부재(33)는, 도 4의 (B)에 나타내는 바와 같이, 실제로는, 상부에 고리 띠 모양의 플랜지부가 형성된 거의 원통 모양의 금속제(도전성)의 부재이다. 지지 부재(33)는, 후술한 바와 같이 램프 하우스(31)의 내면(內面)의 가이드 부재(41)를 따라서 이동 가능하게 지지된 인출부(36)의 중앙에, 그 플랜지부를 매개로 하여 고정되어 있고, 지지 부재(33)와 인출부(36)는 전기적으로 절연되어 있다. 또, 인출부(36)의 저면에 구금부(26)용 구동 유닛(34)이 마련되어 있다. As shown in Fig. 4B, the support member 33 is actually a substantially cylindrical metal (conductive) member having a ring-shaped flange portion at its upper portion. The support member 33 is fixed to the center of the lead portion 36 movably supported along the guide member 41 on the inner surface of the lamp house 31 via the flange portion And the support member 33 and the lead portion 36 are electrically insulated from each other. A drive unit 34 for the claw portion 26 is provided on the bottom surface of the lead portion 36.

도 1에서, 광원 장치(30)는, 전원부(20), 구동 유닛(34), 및 램프 반송계(56) 등의 동작을 제어하는 광원 제어계(32)를 가진다. 광원 제어계(32)는, 방전 램프(1)의 누적 사용 시간을 모니터하고 있고, 그 누적 사용 시간이 미리 정해져 있는 허용 시간에 이르렀을 때에는, 교환 장치(50)를 작동시켜 그 사용이 끝난 방전 램프(1)를 미사용의 방전 램프로 교환한다. 광원 장치(30)의 상세한 구성 및 동작에 대해서는 후술한다. 1, the light source device 30 has a light source control system 32 that controls the operation of the power source unit 20, the drive unit 34, and the lamp carrier system 56 and the like. The light source control system 32 monitors the cumulative use time of the discharge lamp 1. When the cumulative use time reaches a predetermined allowable time, the light source control system 32 activates the exchange device 50 to output the used discharge lamp 1 (1) to an unused discharge lamp. The detailed configuration and operation of the light source device 30 will be described later.

노광 장치(EX)는, 광원 장치(30)로부터 공급되는 광속(光束)으로부터 선택되는 노광광(露光光)(IL)을 이용하여 마스크(M)를 조명하는 조명 광학계(13)와, 노광광(IL)의 아래에서 마스크(M)의 패턴의 상(像)을 포토레지스트(photoresist)가 도포된 유리 기판으로 이루어지는 플레이트(P)(감광(感光) 기판)의 표면에 투영하는 투영 광학계(PL)와, 마스크(M)를 이동시키는 마스크 스테이지(MST)와, 플레이트(P)를 이동시키는 기판 스테이지(PST)와, 광원 장치(30)를 포함하는 노광 장치 전체의 동작을 통괄적으로 제어하는 컴퓨터로 이루어지는 주(主)제어계(14)를 구비하고 있다. The exposure apparatus EX includes an illumination optical system 13 that illuminates the mask M using exposure light IL selected from a light flux supplied from the light source device 30, (PL) for projecting an image of the pattern of the mask M onto the surface of a plate P (photosensitive substrate) made of a photoresist-coated glass substrate under the illumination optical system IL ), The mask stage MST for moving the mask M, the substrate stage PST for moving the plate P, and the light source device 30 And a main control system 14 composed of a computer.

일례로서, 노광 장치(EX)는, 액정 표시 디바이스 제조용 노광 장치이며, 노광 장치(EX)의 본체부(마스크 스테이지(MST), 투영 광학계(PL), 및 기판 스테이지(PST)를 포함하는 부분)는, 제조 공장에 있는 상자 모양의 챔버(미도시)의 내부에 설치되고, 광원 장치(30)는, 그 챔버의 옥상(RT)에 설치되어 있다. 광원 장치(30)는, 방전 램프(1)의 누적 사용 시간이 허용 시간에 이르렀을 때에, 그 취지의 정보를 주제어계(14)에 공급한다. 이것에 따라서, 주제어계(14)는, 광원 장치(30)로부터 방전 램프(1)의 교환이 완료한 것을 나타내는 정보가 공급될 때까지, 노광 장치(EX)의 노광 동작을 정지시킨다. 이하, 투영 광학계(PL)의 광축(AX)에 평행하게 Z축을 취하고, Z축에 수직인 평면(본 실시 형태에서는 거의 수평면임) 내에서 도 1의 지면에 평행하게 X축을, 도 1의 지면에 수직하게 Y축을 취하여 설명한다. As an example, the exposure apparatus EX is an exposure apparatus for manufacturing a liquid crystal display device and includes a main body portion (a portion including the mask stage MST, the projection optical system PL, and the substrate stage PST) of the exposure apparatus EX, (Not shown) in a manufacturing factory, and the light source unit 30 is installed on the roof (RT) of the chamber. When the cumulative use time of the discharge lamp 1 reaches the allowable time, the light source device 30 supplies the information of that fact to the main controller 14. The main control system 14 stops the exposure operation of the exposure apparatus EX until information indicating that the replacement of the discharge lamp 1 is supplied from the light source device 30 is stopped. The X axis is parallel to the plane of Fig. 1 in a plane perpendicular to the Z axis (substantially horizontal plane in the present embodiment) and parallel to the plane of Fig. 1 on the Z axis, parallel to the optical axis AX of the projection optical system PL, And Y axis perpendicular to the Y axis.

방전 램프(1)로부터 사출된 광속은, 타원 거울(2)에 의해서 제2 초점 부근에 수렴된 후, 셔터(미도시)의 근방을 통과하여 발산광(發散光)이 되어 광로 절곡용 미러(3)에 입사한다. 미러(3)도 램프 하우스(31) 내에 수용되어 있다. 미러(3)에서 반사된 광속은, 램프 하우스(31)의 광 투과성의 창 부재(4)를 통과하여 간섭 필터(5)에 입사하고, 간섭 필터(5)에 의해 소정의 휘선(예를 들면 파장 365nm의 i선)으로 이루어지는 노광광(IL)만이 선택된다. 또, 노광광(IL)으로서는, i선 외에, g선, h선, 혹은 이들의 혼합광 등, 또는 수은 램프 이외의 램프의 휘선 등도 사용할 수 있다. 그 선택된 노광광(IL)은, 플라이 아이 렌즈(fly eye lens)(6)(옵티컬·인티그레이터)에 입사하고, 플라이 아이 렌즈(6)의 사출면(射出面)에 배치된 가변 개구 조리개(이하, '가변 σ조리개'라고 함)(7) 상에 다수의 2차 광원이 형성된다. 가변 σ조리개(7)를 통과한 노광광(IL)은, 제1 릴레이 렌즈(8)를 거쳐 마스크 블라인드(가변 시야 조리개)(9)에 입사한다. 마스크 블라인드(9)의 배치면은 마스크(M)의 패턴면(pattern面)과 실질적으로 공역(共役)이며, 구동 장치(9a)를 매개로 하여 마스크 블라인드(9)의 개구 형상을 설정함으로써, 마스크(M) 상에서의 조명 영역이 규정된다. 또, 플레이트(P)의 스텝 이동시 등에 불필요한 노광광이 플레이트(P)에 조사되지 않도록, 스테이지 제어계(15)가 구동 장치(9a)를 매개로 하여 마스크 블라인드(9)를 개폐할 수 있다. The light beam emitted from the discharge lamp 1 is converged by the elliptic mirror 2 in the vicinity of the second focus and then passes through the vicinity of the shutter (not shown) to become diverging light, 3). The mirror 3 is also housed in the lamp house 31. The light flux reflected by the mirror 3 passes through the light transmissive window member 4 of the lamp house 31 and is incident on the interference filter 5 and is reflected by a predetermined bright line And an i-line with a wavelength of 365 nm) is selected. In addition to the i-line, g-line, h-line, mixed light thereof, etc., or a bright line of a lamp other than a mercury lamp may be used as the exposure light IL. The selected exposure light IL is incident on a fly eye lens 6 (optical integrator) and is incident on a variable aperture stop (an exit surface) of the fly's eye lens 6 A plurality of secondary light sources are formed on the light source 7 (hereinafter, referred to as 'variable σ diaphragm'). The exposure light IL having passed through the variable sigma diaphragm 7 is incident on the mask blind (variable field stop) 9 via the first relay lens 8. [ The arrangement surface of the mask blind 9 is substantially conjugate with the pattern surface of the mask M and the opening shape of the mask blind 9 is set via the drive device 9a, The illumination area on the mask M is defined. The stage control system 15 can open and close the mask blind 9 via the drive device 9a so that unnecessary exposure light is not irradiated to the plate P when the plate P moves stepwise.

마스크 블라인드(9)를 통과한 노광광(IL)은, 제2 릴레이 렌즈(10), 노광광(IL)의 광로를 절곡하기 위한 미러(11), 및 콘덴서 렌즈(12)를 매개로 하여 마스크(M)의 패턴면의 패턴 영역을 조명한다. 간섭 필터(5), 플라이 아이 렌즈(6), 가변 σ조리개(7), 릴레이 렌즈(8, 10), 마스크 블라인드(9), 미러(11), 및 콘덴서 렌즈(12)를 포함하여 조명 광학계(13)가 구성되어 있다. 광원 장치(30)로부터의 광속은, 조명 광학계(13)를 거쳐 노광광(IL)으로서 마스크(M)(마스크)의 예를 들면 Y방향으로 가늘고 긴 조명 영역을 조명한다. 마스크(M)의 조명 영역 내의 패턴이 투영 광학계(PL)를 매개로 하여, 플레이트(P) 중 하나의 쇼트(shot) 영역의 노광 영역(조명 영역과 광학적으로 공역인 영역)에 투영 배율 β(β는 예를 들면 등배(等倍), 확대 배율, 또는 축소 배율)로 투영된다. 또, 투영 광학계(PL)로서는, 복수의 투영 광학계가 예를 들면 Y방향으로 2열로 배열된 멀티 투영 광학계 등을 사용해도 괜찮다. 이와 같이 복수의 투영 광학계를 사용하는 경우에는, 조명 광학계(13)로부터의 노광광(IL)은, 마스크(M)의 패턴면의 복수의 조명 영역을 병렬로 조명한다. The exposure light IL having passed through the mask blind 9 passes through the second relay lens 10, the mirror 11 for bending the optical path of the exposure light IL, and the condenser lens 12, Thereby illuminating the pattern area of the pattern surface of the mask M. The illumination optical system 1 includes an interference filter 5, a fly-eye lens 6, a variable σ diaphragm 7, relay lenses 8 and 10, a mask blind 9, a mirror 11, and a condenser lens 12. (13). The light flux from the light source device 30 illuminates an illumination area of the mask M (mask), for example, in the Y direction through the illumination optical system 13 as the exposure light IL. The pattern in the illumination area of the mask M is projected through the projection optical system PL and projected to the exposure area (the area optically conjugate with the illumination area) of the shot area of one of the plates P beta is projected at an equal magnification, an enlargement magnification, or a reduction magnification, for example). As the projection optical system PL, a plurality of projection optical systems may be used, for example, a multi-projection optical system in which two rows are arranged in the Y direction. When a plurality of projection optical systems are used as described above, the exposure light IL from the illumination optical system 13 illuminates a plurality of illumination areas of the pattern surface of the mask M in parallel.

마스크(M)는, 마스크 베이스(미도시) 상에서 X방향, Y방향, 및 Z축 둘레의 회전 방향으로 미동(微動) 가능한 마스크 스테이지(MST)의 상면에 유지되어 있다. 마스크 스테이지(MST)의 위치는, 이것에 고정된 이동 거울(17R)에 계측용 레이저 빔을 조사하는 레이저 간섭계(18R)에 의해서 고정밀도로 계측되고, 이 계측치가 스테이지 제어계(15) 및 주제어계(14)에 공급되고 있다. 그 계측치 및 주제어계(14)로부터의 제어 정보에 근거하여, 스테이지 제어계(15)가 리니어 모터 등을 포함하는 구동계(19R)를 매개로 하여 마스크 스테이지(MST)의 위치를 제어한다. 　The mask M is held on the upper surface of a mask stage MST capable of fine movement in the X, Y, and Z rotational directions on a mask base (not shown). The position of the mask stage MST is measured with high accuracy by a laser interferometer 18R which irradiates the moving mirror 17R fixed thereto with a measuring laser beam and the measured values are transmitted to the stage control system 15 and the main control system 14). The stage control system 15 controls the position of the mask stage MST via a drive system 19R including a linear motor or the like based on the measurement value and the control information from the main control system 14. [

한편, 플레이트(P)는 미도시의 플레이트 홀더를 매개로 하여 기판 스테이지(PST)의 상면에 유지되고, 기판 스테이지(PST)는 베이스 부재(미도시) 상에 X방향 및 Y방향으로 이동 가능하게 재치(載置)되어 있다. 기판 스테이지(PST)의 위치는, 이것에 고정된 이동 거울(17W)에 계측용 레이저 빔을 조사하는 레이저 간섭계(18W)에 의해 고정밀도로 계측되며, 이 계측치는 스테이지 제어계(15) 및 주제어계(14)에 공급되고 있다. 그 계측치 및 주제어계(14)로부터의 제어 정보에 근거하여, 스테이지 제어계(15)는 리니어 모터 등을 포함하는 구동계(19W)를 매개로 하여 기판 스테이지(PST)(플레이트(P))의 위치를 제어한다. On the other hand, the plate P is held on the upper surface of the substrate stage PST via a plate holder (not shown), and the substrate stage PST is movable on the base member (not shown) And is placed on the ground. The position of the substrate stage PST is measured with high precision by a laser interferometer 18W for irradiating a moving laser beam for measurement on a moving mirror 17W fixed to the stage 17. The measurement values are inputted to the stage control system 15 and the main control system 14). The stage control system 15 controls the position of the substrate stage PST (plate P) via a driving system 19W including a linear motor or the like based on the measured values and the control information from the main controller 14 .

플레이트(P)의 노광시에는, 기판 스테이지(PST)에 의해 플레이트(P)의 각 쇼트 영역을 투영 광학계(PL)의 노광 영역의 바로 앞으로 이동하는 동작(스텝 이동)과, 광원 장치(30)로부터의 광속에 의해 조명 광학계(13)를 매개로 하여 마스크(M)를 조명하면서, 마스크(M) 및 플레이트(P)를 투영 광학계(PL)에 대해서 동기(同期)하여 X방향(주사 방향)으로 이동하여, 플레이트(P) 중 하나의 쇼트 영역의 전면(全面)에 마스크(M)의 패턴의 상(像)을 노광하는 동작(주사 노광)이, 스텝ㆍ앤드(and)ㆍ스캔 방식에 의해 반복된다. 이것에 의해서, 마스크(M)의 패턴의 상(像)이 플레이트(P)의 각 쇼트 영역에 전사(轉寫)된다. (Step movement) in which each shot area of the plate P is moved by the substrate stage PST just in front of the exposure area of the projection optical system PL by the exposure of the plate P, (Scanning direction) by synchronizing the mask M and the plate P with respect to the projection optical system PL while illuminating the mask M via the illumination optical system 13 by the light flux from the projection optical system PL, (Scan exposure) of exposing an image of the pattern of the mask M to the entire surface of one shot area of the plate P is performed in a step-and-scan manner Lt; / RTI > As a result, an image of the pattern of the mask M is transferred to each shot area of the plate P. [

또, 이 노광을 할 때 미리 얼라이먼트를 행하기 위해서, 예를 들면 기판 스테이지(PST)의 내부에는, 마스크(M)에 형성된 얼라이먼트 마크의 위치를 검출하기 위한 공간상(空間像) 계측부(22)가 설치되고, 투영 광학계(PL)의 측면에는, 플레이트(P)의 각 쇼트 영역에 부설(附設)된 얼라이먼트 마크의 위치를 검출하기 위한 얼라이먼트계(21)가 설치되어 있다. 공간상 계측부(22) 및 얼라이먼트계(21)의 검출 신호는 얼라이먼트 신호 처리계(16)에 공급되고, 얼라이먼트 신호 처리계(16)는, 예를 들면 그들 검출 신호를 처리하여, 마스크(M)의 얼라이먼트 정보 및 플레이트(P)의 각 쇼트 영역의 배열 정보를 구하고, 구한 정보를 주제어계(14)에 공급한다. 주제어계(14)는, 그들 정보에 근거하여 마스크(M)의 얼라이먼트 및 노광시의 플레이트(P)의 위치 제어를 행한다. 이것에 의해서, 서로 겹침 노광시에 높은 서로 겹침 정밀도가 얻어진다. A spatial image measuring section 22 for detecting the position of an alignment mark formed on the mask M is provided inside the substrate stage PST in order to carry out alignment in advance in this exposure, And an alignment system 21 for detecting the position of an alignment mark provided in each shot area of the plate P is provided on the side surface of the projection optical system PL. The detection signals of the spatial image measurement unit 22 and the alignment system 21 are supplied to the alignment signal processing system 16 and the alignment signal processing system 16 processes the detection signals thereof, And the arrangement information of each shot area of the plate P, and supplies the obtained information to the main controller 14. The main control system 14 performs alignment of the mask M based on the information and control of the position of the plate P during exposure. As a result, high overlapping accuracy can be obtained at the time of overlap exposure.

다음으로, 본 실시 형태의 광원 장치(30)의 구성 및 광원 장치(30)를 이용하는 방전 램프(1)의 교환 동작 등에 대해 상세하게 설명한다. Next, the structure of the light source device 30 of the present embodiment, the replacement operation of the discharge lamp 1 using the light source device 30, and the like will be described in detail.

도 2의 (A)는, 도 1 중의 광원 장치(30)의 방전 램프(1)를 나타낸다. 도 2의 (A)에서, 방전 램프(1)는, 벌브부(25a) 및 이들을 사이에 끼우도록 고정된 거의 대칭이고 원통 모양의 2개의 막대 모양부(25b, 25c)로 이루어지는 유리관(25)과, 일방의 막대 모양부(25b)의 단부에 연결된 음극측 구금부(口金部)(26)와, 타방의 외측을 향해서 일례로서 단계적으로 직경이 작아지는 막대 모양부(25c)의 단부에 연결된 양극측 구금부(28)를 구비하고 있다. 그 벌브부(25a) 내에 발광부를 형성하기 위한 양극(EL1) 및 음극(EL2)이 대향하여 고정되며, 음극(EL2) 및 양극(EL1)은 각각 구금부(26 및 28)에 전기적으로 접속되어 있다. 구금부(26 및 28)는 전기 전도율 및 열전도율이 양호한 금속(예를 들면 놋쇠 등)으로 형성되어 있다. 구금부(26), 유리관(25), 및 구금부(28)는, 유리관(25)의 막대 모양부(25b, 25c)의 중심축을 연결하고 발광부의 중심을 통과하는 하나의 직선을 따라서 배치되어 있다. 그 막대 모양부(25b, 25c)의 중심축을 연결하는 직선에 평행한 방향이 방전 램프(1)의 길이 방향(L)이다. 2 (A) shows the discharge lamp 1 of the light source device 30 in Fig. 2 (A), the discharge lamp 1 includes a bulb portion 25a and a glass tube 25 composed of two substantially rod-shaped bar-like portions 25b and 25c which are fixed to sandwich the bulb portion 25a therebetween. A negative electrode side mouth portion 26 connected to the end portion of one rod portion 25b and an end portion of the rod portion 25c having a smaller diameter stepwise toward the outside of the other side And the positive electrode side holding portion 28 is provided. A cathode EL1 and a cathode EL2 for forming a light emitting portion in the bulb portion 25a are opposed to each other and the cathode EL2 and the anode EL1 are electrically connected to the claw portions 26 and 28 respectively have. The cage portions 26 and 28 are formed of a metal (for example, brass or the like) having a good electrical conductivity and a good thermal conductivity. The crotch portion 26, the glass tube 25 and the crotch portion 28 are arranged along one straight line connecting the central axes of the bar-shaped portions 25b and 25c of the glass tube 25 and passing through the center of the light emitting portion have. The direction parallel to the straight line connecting the center axes of the bar-shaped portions 25b and 25c is the longitudinal direction L of the discharge lamp 1. [

구금부(26 및 28)는, 기본적으로 음극(EL2) 및 양극(EL1)에 도 1의 전원부(20)로부터 전력 케이블(23 및 24)을 매개로 하여 전력을 공급하기 위한 전력 수급(受給) 단자로서 사용된다. 그 외에, 구금부(26)는, 유리관(25)(방전 램프(1))을 지지 부재(33)(도 4의 (B) 참조)에 의해서 지지하기 위한 피(被)지지부로서도 사용된다. 게다가, 구금부(26 및 28)에는 아울러 유리관(25)으로부터 전도해 오는 열을 효율적으로 발산하기 위한 요철부(표면적을 크게 한 부분)가 형성되어 있다.The claws 26 and 28 are basically provided with a power supply unit 20 for supplying power to the cathode EL2 and the anode EL1 via the power cables 23 and 24 via the power supply unit 20, Terminal. Besides, the claw portion 26 is also used as a supported portion for supporting the glass tube 25 (discharge lamp 1) by the support member 33 (see Fig. 4 (B)). In addition, the cage portions 26 and 28 are provided with concave and convex portions (portions with a large surface area) for efficiently dissipating the heat conducted from the glass tube 25.

또, 음극측 구금부(26)에는, 막대 모양부(25b)로부터 개방단측으로 순서대로, 막대 모양부(25b)의 외경의 2배 정도의 외경의 고리 띠 모양의 플랜지부(26a)(맞닿음부 및 길이 방향(L)의 위치의 규정부)와, 막대 모양부(25b)의 외경보다도 약간 큰 외경의 원기둥 모양의 축부(26b)(감합부(嵌合部) 또는 위치의 규정부)와, 축부(26b)보다도 외경이 작은 원기둥 모양의 소경부(26k)와, 축부(26b)보다 약간 작은 외경, 혹은 축부(26b)와 대략 동일한 외형의 원기둥 모양의 고정부(26h)가 형성되어 있다. 축부(26b)와 소경부(26k)와의 경계부에는 면취부(面取部, 모따기부)(26e)가 형성되고, 고정부(26h)의 개방단측에도 면취부(26i)가 형성되어 있다. 또, 원기둥 모양의 축부(26b)의 외형은, 막대 모양부(25b)의 외형과 거의 동일한 외형이라도 좋다. 소경부(26k)는, 축부(26b)와 고정부(26h)와의 사이에, 방전 램프(1)의 길이 방향(L)과 교차하는 방향에 관해서 오목부(계단부)(26f)를 마련하는 것에 의해 형성된다. 방전 램프(1)를 도 4의 (B)의 지지 부재(33)에 재치할 때에, 플랜지부(26a)는 지지 부재(33)의 중앙의 개구를 둘러싸는 단차부에 맞닿아, 유리관(25)의 발광부의 길이 방향(L)(제1 방향)에서의 위치 결정의 기준이 되고, 축부(26b)는 그 개구에 감합하여, 그 발광부의 길이 방향(L)에 직교하는 면내에서의 위치 결정의 기준이 된다. The cathode side retaining portion 26 is provided with an annular flange portion 26a having an outer diameter of twice as large as the outer diameter of the bar portion 25b Shaped portion 26b (defined portion of the fitting portion or position) having an outer diameter slightly larger than the outer diameter of the bar-shaped portion 25b, Shaped small-diameter portion 26k having an outer diameter smaller than that of the shaft portion 26b and an outer diameter slightly smaller than the shaft portion 26b or a cylindrical fixing portion 26h having an outer shape substantially identical to that of the shaft portion 26b have. A chamfered portion 26e is formed at the boundary between the shaft portion 26b and the small diameter portion 26k and a chamfered portion 26i is formed at the open end side of the fixed portion 26h. The external shape of the cylindrical shaft portion 26b may be substantially the same as the external shape of the rod-shaped portion 25b. The small diameter portion 26k is provided with a concave portion (step portion) 26f between the shaft portion 26b and the fixing portion 26h with respect to the direction intersecting the longitudinal direction L of the discharge lamp 1 . The flange portion 26a comes into contact with the step portion surrounding the opening at the center of the support member 33 and the glass tube 25 (The first direction) of the light emitting portion of the light emitting portion of the light emitting portion, and the shaft portion 26b is a reference for positioning in the plane orthogonal to the longitudinal direction L of the light emitting portion .

또, 고정부(26h)에는, 오목부(26f)에 의해서 피(被)압압면(26g)이 형성되어 있다. 피압압면(26g)은, 길이 방향(L)에 수직인 평면이다. 도 4의 (B)의 구동 유닛(34)은, 방전 램프(1)를 지지 부재(33)에 의해 지지할 때에, 구금부(26)의 고정부(26h)(피압압면(26g))를 하부(－Z방향)로 가압하는 레버(38)와, 고정부(26h)를 가압하는 방향으로 레버(38)를 반시계 방향으로 회전시키는 인장 코일 스프링(39)과, 레버(38)에 의한 구금부(26)의 고정을 해제하기 위해서 레버(38)를 시계 방향으로 회전시키는 예를 들면 에어 실린더 또는 전자(電磁) 실린더 등의 구동부(40)를 가진다. 지지 부재(33)에 방전 램프(1)를 고정하여 지지하는 경우에는, 구동부(40)에 의한 레버(38)의 시계 방향의 회전을 해제하면 되고, 지지 부재(33)로부터 방전 램프(1)를 취출할 때에는, 구동부(40)에 의해서 레버(38)를 시계 방향으로 회전하면 된다. 또, 구동 유닛(34)으로서는, 국제공개 제2007/066947호 팜플렛에 기재되어 있는 기구를 사용할 수도 있다. The fixed portion 26h is formed with a pressed surface 26g by a concave portion 26f. The pressure-applied pressure surface 26g is a plane perpendicular to the longitudinal direction L. [ The drive unit 34 of Fig. 4B has the fixing portion 26h (the pressure-applying surface 26g) of the retaining portion 26 when the discharge lamp 1 is supported by the support member 33 A tension coil spring 39 for rotating the lever 38 in the counterclockwise direction in the direction of pressing the fixing portion 26h and a lever 38 for rotating the lever 38 in the counterclockwise direction, And has a drive unit 40 such as an air cylinder or an electromagnetic cylinder for rotating the lever 38 in the clockwise direction in order to release the fixation of the housing unit 26. [ The rotation of the lever 38 in the clockwise direction by the driving unit 40 can be released and the discharge lamp 1 can be released from the supporting member 33. [ The lever 38 can be rotated in the clockwise direction by the driving unit 40. [ As the drive unit 34, a mechanism described in WO 2007/066947 can also be used.

도 2의 (A)에서, 일례로서, 구금부(26)의 축부(26b)의 표면에는, 플랜지부(26a)로부터 면취부(26e)에 걸쳐, 나선 모양의 홈부(26d)가 형성되어 있다. 이 홈부(26d)에는, 외부로부터 예를 들면 냉각용 기체를 공급하는 것에 의해서, 방전 램프(1)의 냉각 효과를 높일 수 있다. 또, 홈부(26d)는 반드시 마련할 필요는 없다. 이 경우에도, 방전 램프(1)에서 발생하는 열은, 구금부(26)를 매개로 하여, 표면적이 크고 열용량이 큰 지지 부재(33)로 흐르기 때문에, 방전 램프(1)의 온도의 상승을 억제할 수 있다. 또, 방전 램프(1)의 냉각 효과를 높이기 위해서, 도 4의 (B)의 지지 부재(33)의 구금부(26)의 고정부(26h)가 끼워 넣어져 있는 개구 내에, 송풍 장치(미도시)로부터 냉각된 기체를 송풍하도록 해도 괜찮다. 2 (A), a spiral groove portion 26d is formed on the surface of the shaft portion 26b of the holding portion 26 from the flange portion 26a to the chamfered portion 26e . The cooling effect of the discharge lamp 1 can be enhanced by supplying a cooling gas, for example, from the outside to the groove portion 26d. It is not always necessary to provide the groove portion 26d. Even in this case, the heat generated in the discharge lamp 1 flows through the holding portion 26 to the support member 33 having a large surface area and a large heat capacity, so that the rise of the temperature of the discharge lamp 1 . In order to enhance the cooling effect of the discharge lamp 1, a blowing device (not shown) is provided in the opening into which the fixing portion 26h of the holding portion 26 of the supporting member 33 shown in Fig. 4B is fitted, It is also possible to blow the cooled gas.

도 2의 (C)는, 도 2의 (A)의 방전 램프(1)의 C-C선을 따른 단면도이며, 이 도 2의 (C)에 나타내는 바와 같이, 구금부(26)의 플랜지부(26a)에는 일례로서 90°간격으로 2개소의 개구(27A, 27B)(위치 결정부)가 형성되어 있다. 이것에 따라서, 도 4의 (B)의 지지 부재(33)의 플랜지부(26a)가 재치되는 면에는, 2개의 핀(미도시)이 마련되어 있다. 지지 부재(33)에 방전 램프(1)를 재치할 때에, 플랜지부(26a)의 개구(27A, 27B)에 그들 2개의 핀이 끼워 넣어짐으로써, 방전 램프(1)의 길이 방향(L)을 따른 축의 둘레의 위치 결정이 행하여진다. 그들 개구(27A, 27B)와 양극측 구금부(28)와의 상대적인 각도는, 구금부(28)와 전력 케이블(24)을 연결하기 쉬운 각도(소정 각도)로 설정되어 있다. 2C is a cross-sectional view of the discharge lamp 1 of FIG. 2A along the CC line. As shown in FIG. 2C, the flange portion 26a of the claw portion 26 , Two openings 27A and 27B (positioning portions) are formed at intervals of 90 DEG as an example. Accordingly, two pins (not shown) are provided on the surface on which the flange portion 26a of the support member 33 of Fig. 4 (B) is placed. The two fins are fitted into the openings 27A and 27B of the flange portion 26a when the discharge lamp 1 is mounted on the support member 33 so that the longitudinal direction L of the discharge lamp 1, The positioning around the axis is performed. The relative angle between the openings 27A and 27B and the positive electrode side holding portion 28 is set to an angle (predetermined angle) at which the coupling portion 28 and the power cable 24 are easily connected.

또, 음극측 구금부(26)의 형상은 임의이다. 구금부(26)로서는, 예를 들면 플랜지부(26a) 및 축부(26b)만을 구비하고, 축부(26b) 중에 구동 유닛(34)의 레버(38)의 선단부를 끼워 넣을 수 있는 오목부가 형성되어 있는 부재를 사용하는 것도 가능하다. 도 2의 (B)는, 도 2의 (A)의 양극측 구금부(28)를 나타낸다. 도 2의 (A) 및 (B)에서, 양극측 구금부(28)는, 방전 램프(1)의 유리관(25)의 막대 모양부(25c)측으로부터 개방단측으로 순서대로, 막대 모양부(25c)의 최대 직경과 거의 동일한 외경의 복수의 고리 띠 모양의 방열 핀(28j)이 형성된 방열부(28i)와, 복수의 방열 핀(28j)이 형성된 부분에, 유리관(25)의 중심을 통과하는 직선의 둘레에 거의 등각도 간격으로 3개소에 형성된 평탄부(28f, 28g, 28h)를 포함하는 피(被)파지부(28e)(피유지부)와, V자형의 2개의 평면부(28b, 28c)가 형성된 거의 삼각 기둥 모양의 단자부(28a)(피연결부)를 구비하고 있다. 피파지부(28e)의 평탄부(28f, 28g, 28h)의 거의 중앙에는, 각각 램프 반송계(56)에 의해 방전 램프(1)를 파지할 때에 램프 반송계(56)의 핀(86a)(도 9의 (B) 참조)을 끼워 넣기 위한 작은 구멍부(h1, h2, h3)가 마련되어 있다. The shape of the cathode-side holding portion 26 is arbitrary. The holding portion 26 includes only a flange portion 26a and a shaft portion 26b and a recessed portion capable of fitting the tip end portion of the lever 38 of the drive unit 34 is formed in the shaft portion 26b It is also possible to use a member having a shape. Fig. 2B shows the positive electrode side holding portion 28 of Fig. 2A. 2A and 2B, the positive electrode side holding portion 28 is formed in such a manner that the rod-like portion (the side of the barrel portion 25c) of the glass tube 25 of the discharge lamp 1 A heat dissipating portion 28i in which a plurality of annular band radiating fins 28j having an outer diameter substantially equal to the maximum diameter of the glass tube 25 are formed, A to-be-gripped portion 28e (to-be-held portion) including planar portions 28f, 28g, and 28h formed at three positions at almost equal angular intervals around a straight line that is a V- 28b, and 28c are formed in a substantially triangular columnar terminal portion 28a (connected portion). The centers of the flat portions 28f, 28g and 28h of the finger 28a and 28h of the finger 28a and 28h are provided at the centers of the pins 86a of the lamp delivery system 56 when gripping the discharge lamp 1 by the lamp delivery system 56 (See Fig. 9 (B)) are provided on the lower surface of the base plate.

또, 본 실시 형태의 구금부(28)는, 피파지부(28e)의 단부의 평면에 마련된 복수의 개구(28k) 내의 볼트(미도시)에 의해서, 유리관(25)의 막대 모양부(25c)의 단부에 마련되어, 양극(EL1)과 전기적으로 접속되어 있는 금속제의 로드부(미도시)에 연결되어 있다. 이 때문에, 구금부(28)는, 방전 램프(1)의 사용후에 떼어낼 수 있고, 떼어낸 구금부(28)를 새로운 방전 램프(1)를 제조할 때에 재이용할 수 있도록 되어 있다. 또, 구금부(28)는, 유리관(25)에 접착 또는 용착(溶着) 등에 의해 일체화되어 있어도 좋다. The barrel portion 28c of the glass tube 25 is fixed by bolts (not shown) in a plurality of openings 28k provided in the plane of the end portion of the pedestal portion 28e, And is connected to a metal rod portion (not shown) electrically connected to the anode EL1. Therefore, the detaching unit 28 can be detached after use of the discharge lamp 1, and the removed detachment unit 28 can be reused when the new discharge lamp 1 is manufactured. The custody unit 28 may be integrated with the glass tube 25 by adhesion, melting or the like.

도 5는, 양극측 구금부(28)에 전력 케이블(24)을 연결한 상태를 나타낸다. 도 5에서, 전력 케이블(24)의 단부에는, 구금부(28)의 단자부(28a)의 평면부(28b, 28c)와 동일한 각도의 V자형의 홈부(66a)가 형성된 금속제(도전성)의 부재(이하, '급전(給電) 블록'이라고 함)(66)가 연결되어 있다. 또, 급전 블록(66)은, L자형의 기준 레버(67)의 하단부에 고정되고, 기준 레버(67)에는, 연결 핀(P51)을 매개로 하여 회전 가능하게 L자형의 구동 레버(69)가 연결되며, 구동 레버(69)의 하단부에 연결 핀(P52)을 매개로 하여 회전 가능하게 롤러(70)가 고정되어 있다. 구금부(28)의 단자부(28a)의 평면부(28b, 28c)와 반대측의 면(배면)에는, 롤러(70)를 넣을 수 있는 크기의 오목부(28d)(도 2의 (B) 참조)가 형성되어 있다.Fig. 5 shows a state in which the power cable 24 is connected to the positive electrode side detaching portion 28. Fig. 5, the end of the power cable 24 is provided with a metallic (conductive) member having a V-shaped groove 66a at the same angle as the plane portions 28b, 28c of the terminal portion 28a of the cage 28, (Hereinafter referred to as " feed block ") 66 are connected. The power supply block 66 is fixed to the lower end of the L-shaped reference lever 67 and the L-shaped drive lever 69 is rotatably connected to the reference lever 67 via a connection pin P51. And the roller 70 is fixed to the lower end of the drive lever 69 via a connection pin P52 so as to be rotatable. A recessed portion 28d (see FIG. 2 (B)) is formed on the surface (back surface) opposite to the flat surface portions 28b and 28c of the terminal portion 28a of the housing portion 28, Is formed.

여기서, 삼각 기둥 모양의 단자부(28a)의 배면에 오목부(28d)(구덩이)를 마련한 것은, 방전 램프(1)로부터 방사된 광을 타원 거울(2)에 의해서 집광할 때, 롤러(70)가 그 집광된 광을 가능한 한 차단하지 않도록 하기 위함이다. 이 때문에, 예를 들면 롤러(70)를 소형으로 했을 때에는, 오목부(28d)를 마련할 필요는 없다. 또, 후술한 바와 같이 급전 블록(66)을 단자부(28a)에 연결할 때에, 방전 램프(1)에 작용하는 응력을 가능한 한 작게 하기 위해(기준 레버(67) 및 구동 레버(69)의 가요성을 크게 하기 위해), 그리고, 타원 거울(2)에 의해서 집광된 광의 차광량을 작게 하기 위해서, 기준 레버(67) 및 구동 레버(69)는 가능한 한 얇게 형성되어 있다. 또, 도 5에서는, 기준 레버(67)는 2매의 L자형의 부재의 양단부(타방의 단부는 미도시)를 연결한 것이지만, 기준 레버(67)는, 1매의 L자형의 부재로 형성해도 좋고, L자형이 아니라도 괜찮다. The provision of the concave portion 28d (recess) on the back surface of the triangular columnar terminal portion 28a means that when the light emitted from the discharge lamp 1 is condensed by the elliptic mirror 2, So as not to block the condensed light as much as possible. For this reason, for example, when the roller 70 is made compact, it is not necessary to provide the concave portion 28d. In order to reduce the stress acting on the discharge lamp 1 as much as possible (the flexibility of the reference lever 67 and the drive lever 69) when connecting the power supply block 66 to the terminal portion 28a, And the reference lever 67 and the drive lever 69 are formed as thin as possible in order to reduce the light amount of the light condensed by the elliptic mirror 2. [ 5, the reference lever 67 connects two end portions of the two L-shaped members (the other end is not shown), but the reference lever 67 is formed by one L-shaped member It may be good, not L-shaped.

급전 블록(66), 기준 레버(67) 및 구동 레버(69)를 포함하여 클램프 기구(52)가 구성되어 있다. 기준 레버(67) 및 구동 레버(69)의 타단측은, 도 4의 (B)에 나타내는 바와 같이 각각 가늘고 길게 형성되어 있다. 급전 블록(66)의 홈부(66a)를 구금부(28)의 단자부(28a)의 평면부(28b, 28c)에 밀착하도록 꽉 누른 상태에서, 구동 레버(69)의 선단부의 롤러(70)를 단자부(28a)의 오목부(28d)에 끼워 넣고, 구동 레버(69)를 연결 핀(P51)(지점(支点))의 둘레로 반시계 방향으로 회전시킴으로써, 지렛대의 원리에 의해서 강한 힘으로, 롤러(70)와 급전 블록(66)과의 사이에 단자부(28a)를 안정되게 끼워 넣을 수 있다. 이 상태에서, 전력 케이블(24)의 전력(전류)은, 작은 전기 저항으로 급전 블록(66)을 매개로 하여 구금부(28)에 공급되기 때문에, 전력의 손실이 작아진다. 또, 전력 케이블(24)(급전 블록(66))을 구금부(28)(단자부(28a))로부터 떼어내는 경우에는, 구동 레버(69)를 시계 방향으로 회전시키면 좋다. The clamping mechanism 52 is configured including the power supply block 66, the reference lever 67, and the drive lever 69. The other end sides of the reference lever 67 and the drive lever 69 are each elongated as shown in Fig. 4 (B). The roller 70 at the distal end of the drive lever 69 is pressed against the flat surface portion 28b of the terminal block 28a of the terminal block 28a while the groove portion 66a of the power supply block 66 is tightly pressed against the flat surface portion 28b, And by rotating the drive lever 69 in the counterclockwise direction around the connecting pin P51 (fulcrum), by the principle of the lever, by a strong force, by engaging with the concave portion 28d of the terminal portion 28a, The terminal portion 28a can be stably sandwiched between the roller 70 and the power supply block 66. [ In this state, the power (current) of the power cable 24 is supplied to the claw portion 28 via the power supply block 66 with a small electric resistance, so that the loss of electric power is reduced. When the power cable 24 (power supply block 66) is detached from the housing portion 28 (terminal portion 28a), the drive lever 69 may be rotated in the clockwise direction.

도 2의 (B)에서, 구금부(28)의 단자부(28a)는, V자형의 평면부(28b, 28c)에 의해서 급전 블록(66)과의 사이의 전기 저항(접촉 저항)을 작게 할 수 있음과 아울러, 클램프 기구(52)의 롤러(70)가 넣어지는 오목부(28d)가 마련되어 있기 때문에, 급전 블록(66)과의 연결을 안정되게 행할 수 있다. 또, 구동 레버(69)의 선단부에는 롤러(70)를 마련하지 않고, 그 선단부의 형상을 원호 모양으로 하여, 이 원호 모양의 부분을 그 오목부(28d)에 꽉 눌러도 괜찮다. 2 (B), the terminal portion 28a of the holding portion 28 is formed so that the electrical resistance (contact resistance) with the power supply block 66 is reduced by the V-shaped flat portions 28b and 28c And the concave portion 28d into which the roller 70 of the clamping mechanism 52 is inserted is provided so that the connection with the power supply block 66 can be stably performed. The tip of the drive lever 69 may not be provided with the roller 70, but the distal end portion may have an arc shape and the circular arc portion may be pressed against the recessed portion 28d.

또, 양극측 구금부(28)의 단자부(28a)의 형상은, 도 2의 (B)의 형상에 한정되지 않고, 도 3의 (B), (C), (D), (E)에 나타내는 바와 같이 여러 가지의 형상이 가능하다. 또, 도 3의 (A)는, 도 2의 (B)의 구금부(28)의 단자부(28a)를 간략화하여 나타낸다. 또, 도 3의 (A)~(E)에서, A1~E1는 각각 단자부의 평면도, A2~E2는 각각 단자부의 측면도이다. 먼저, 도 3의 (B)의 구금부(28A)에서 나타내는 바와 같이, 단자부(28Aa)는 단면(斷面) 형상이 사다리꼴 모양이라도 좋다. 이 경우, 단자부(28Aa)의 서로 대칭으로 경사진 2개의 평면부(28Ab, 28Ac)에 도 5의 클램프 기구(52)의 급전 블록(66)의 홈부(66a)가 접촉하고, 그 사다리꼴 모양의 단면(斷面)의 배면부(28Ad)(롤러(70)를 넣기 위한 오목부가 마련되어 있어도 괜찮음. 이하 동일함)에 클램프 기구(52)의 구동 레버(69)의 선단부(또는 롤러(70). 이하 동일함)가 꽉 눌려진다. The shape of the terminal portion 28a of the positive electrode side fitting portion 28 is not limited to the shape shown in Fig. 2 (B) Various shapes are possible as shown. 3 (A) shows the terminal portion 28a of the holding portion 28 of FIG. 2 (B) in a simplified manner. 3 (A) to 3 (E), A1 to E1 are plan views of the terminal portions, and A2 to E2 are side views of the terminal portions, respectively. First, as shown in the retaining portion 28A in Fig. 3B, the terminal portion 28Aa may have a trapezoidal cross-sectional shape. In this case, the grooved portion 66a of the power supply block 66 of the clamp mechanism 52 of Fig. 5 is brought into contact with the two planar portions 28Ab and 28Ac inclined symmetrically with respect to the terminal portion 28Aa, (Or the roller 70) of the drive lever 69 of the clamp mechanism 52 to the rear end portion 28Ad of the clamping mechanism 52 (the roller 70 can be provided with a concave portion, The same is pressed).

또, 도 3의 (C)의 구금부(28B)에서 나타내는 바와 같이, 단자부(28Ba)의 단면(斷面) 형상은 사각형 이상의 다각형이라도 괜찮다. 도 3의 (C)의 예에서는, 단자부(28Ba)의 단면(斷面) 형상은 거의 정오각형 모양이며, 단자부(28Ba)의 서로 대칭으로 경사진 2개의 평면부(28Bb, 28Bc)에 급전 블록(66)의 홈부(66a)가 접촉하고, 그들에 대향하는 배면부(28Bd)에 구동 레버(69)의 선단부가 꽉 눌려진다. 3 (C), the cross-sectional shape of the terminal portion 28Ba may be a polygonal shape having a square or more. In the example of Fig. 3 (C), the terminal portion 28Ba has a substantially regular pentagon shape and has two flat portions 28Bb and 28Bc inclined symmetrically with respect to the terminal portion 28Ba, The groove portion 66a of the drive lever 69 contacts the front portion of the drive lever 69 against the back portion 28Bd opposite to them.

또, 도 3의 (D)의 구금부(28C)에서 나타내는 바와 같이, 단자부(28Ca)의 단면(斷面) 형상은 거의 정육각 모양이라도 좋다. 이 경우, 단자부(28Ca)의 서로 대칭으로 경사진 2개의 평면부(28Cb, 28Cc)에 급전 블록(66)의 홈부(66a)가 접촉하고, 그들에 대향하는 배면부(28Cd)에 구동 레버(69)의 선단부가 꽉 눌려진다. 이 경우에는, 단자부(28Ca)의 다른 1면(面) 간격으로 배치된 3개의 면(28Cf, 28Cg, 28Ch)의 중앙부에, 각각 램프 반송계(56)의 핀(86a)(도 9의 (B) 참조)을 끼워 넣기 위한 작은 구멍부(h1, h2, h3)가 더 마련되어 있다. 이것에 의해서, 단자부(28Ca)를 피파지부로서도 겸용할 수 있다. As shown in the housing portion 28C of Fig. 3 (D), the cross section of the terminal portion 28Ca may be substantially a square shape. In this case, the grooved portion 66a of the power supply block 66 is brought into contact with the two planar portions 28Cb and 28Cc inclined symmetrically with respect to the terminal portion 28Ca, and the drive lever 69 ) Is pressed tightly. In this case, the pins 86a of the ramp carrier system 56 (shown in Fig. 9 (a) and Fig. 9 (b) are respectively provided at the central portions of the three surfaces 28Cf, 28Cg and 28Ch arranged at the other one- B3, B3, B4, B5, and B6) are inserted. Thereby, the terminal portion 28Ca can also be used as a fingerprint portion.

또, 도 3의 (E)의 구금부(28D)로 나타내는 바와 같이, 단자부(28Da)의 단면(斷面) 형상은 거의 원형 모양이라도 괜찮다. 이 경우, 급전 블록(66A)의 대응하는 홈은 거의 원기둥의 측면과 같은 형상으로 되어 있다. 그리고, 단자부(28Da)의 일방의 반면(半面)측에 급전 블록(66A)의 홈부(66a)를 접촉시키고, 단자부(28Da)의 다른 반면(半面)측에 마련된 오목부(미도시)에 구동 레버(69)의 선단부가 꽉 눌려진다. 이와 같이 양극측 구금부(28)의 단자부(28a)의 형상은 임의이다. 3 (E), the terminal portion 28Da may have a substantially circular shape in cross section. In this case, the corresponding grooves of the power supply block 66A have the same shape as the side surface of the column. The groove portion 66a of the power supply block 66A is brought into contact with the other half surface of the terminal portion 28Da and the concave portion provided on the other half surface side of the terminal portion 28Da The distal end of the lever 69 is pressed down. Thus, the shape of the terminal portion 28a of the positive electrode side housing portion 28 is arbitrary.

또, 이하에서 참조하는 도 4의 (A) 및 (B) 등에서는, 설명의 편의상, 방전 램프(1)의 구금부(26, 28)의 형상은 간략화하여 나타내어져 있다. 4 (A) and 4 (B), and the like, which will be referred to hereinafter, the shapes of the nipping portions 26 and 28 of the discharge lamp 1 are simplified for convenience of explanation.

다음으로, 도 4의 (A)는 도 1의 광원 장치(30)의 램프 하우스(31) 및 케이싱(51)의 내부를 나타내는 평면도, 도 4의 (B)는 도 4의 (A)의 광원 장치(30)를 나타내는 측면도이다. 또, 도 4의 (A), (B), 및 이하에서 참조하는 도 6의 (A), (B) 등에서는, 램프 하우스(31), 케이싱(51), 방전 램프(1) 등을 지지하는 지지 부재(33), 및 인출부(36) 등을 단면으로 나타내고 있다. 4 (A) is a plan view showing the interior of the lamp housing 31 and the casing 51 of the light source device 30 of Fig. 1, Fig. 4 (B) Figure 3 is a side view of the device 30; 6A and 6B refer to FIGS. 4A and 4B, the lamp housing 31, the casing 51, the discharge lamp 1 and the like are supported The support member 33, and the lead-out portion 36 are shown in cross section.

도 4의 (A) 및 (B)에서, 램프 하우스(31)는, 방전 램프(1)가 수용되는 하부 하우징(31A)과, 미러(3)가 수용되고 측면에 창 부재(4)가 설치된 상부 하우징(31B)으로 나누어져 있다. 하우징(31A, 31B)의 인접하는 면에는, 방전 램프(1)로부터의 광을 통과시키 위한 개구(31Ab)가 마련되고, 하부 하우징(31A)의 ＋X방향의 측면에는, 방전 램프(1)의 교환시에 방전 램프(1) 등을 통과시키기 위한 개구부(31Aa)가 마련되어 있다. 하부 하우징(31A)의 ＋X방향의 측면에 교환 장치(50)의 케이싱(51)이 설치되고, 개구부(31Aa)에 대향하는 케이싱(51)의 측면에는, 방전 램프(1) 등을 통과시키기 위한 개구부(51a)가 마련되어 있다. 4A and 4B, the lamp house 31 includes a lower housing 31A in which the discharge lamp 1 is housed, and a lower housing 31A in which the mirror 3 is housed and the window member 4 is provided on the side And an upper housing 31B. An opening 31Ab for allowing light from the discharge lamp 1 to pass therethrough is provided on the adjoining surfaces of the housings 31A and 31B and an opening 31Ab for passing the light from the discharge lamp 1 is provided on the side in the + X direction of the lower housing 31A. And an opening 31Aa for passing the discharge lamp 1 or the like at the time of replacement is provided. A casing 51 of the exchanging device 50 is provided on the side of the lower housing 31A in the + X direction and on the side of the casing 51 opposed to the opening 31Aa, An opening 51a is provided.

케이싱(51)의 ＋X방향의 측면에는, 방전 램프(1)의 반출 및 반입용 창부(窓部)(51b)가 마련되고, 창부(51b)는 도어(이하, '램프 교환문'이라고 함)(45)에 의해서 개폐된다. 교환 장치(50)의 케이싱(51)과, 하부 하우징(31A)은, 위치 관계가 어긋나지 않도록 미도시의 연결 부재 등에 의해서 연결되어 있다. 케이싱(51) 내의 ＋X방향의 단부의 창부(51b)의 근방에는, 방전 램프(1)용 보관부(54)가 설치되고, 케이싱(51) 내의 상부에 램프 반송계(56)가 배치되어 있다. 또, 케이싱(51)에는, 미도시이지만, 외기 취입구 및 취입된 외기로부터 먼지 등을 제거하는 필터가 마련되어 있다. A window 51b for carrying out the discharge lamp 1 is provided on the side of the casing 51 in the + X direction. The window 51b is provided with a door (hereinafter referred to as a lamp exchange door) (45). The casing 51 of the exchanging device 50 and the lower housing 31A are connected to each other by a connecting member or the like not shown in order to prevent positional deviation. A storage portion 54 for the discharge lamp 1 is provided in the vicinity of the window portion 51b at the end in the + X direction in the casing 51 and a lamp conveyance system 56 is disposed at the upper portion in the casing 51 . Although not shown, the casing 51 is provided with a filter for removing dust and the like from the outside air intake port and outside air taken in.

또, 하부 하우징(31A)의 Y방향의 2개의 측면에 대향하도록 X방향으로 평행하게 1쌍의 가이드 부재(41)가 마련되고, 가이드 부재(41)를 따라서 X방향으로 이동 가능하게 인출부(36)가 배치되며, 인출부(36)의 중앙부에 지지 부재(33)를 매개로 하여 방전 램프(1)가 지지되어 있다. 또, 가이드 부재(41)로서는, 예를 들면 텔레스코픽(telescopic) 방식(다단식(多段式))의 가이드 기구를 사용해도 괜찮다. 또, 인출부(36)에는, 방전 램프(1)를 둘러싸도록, 원형의 개구(2a)(도 4의 (A) 참조)가 마련된 타원 거울(2)이 설치되고, 하부 하우징(31A)의 상부에, 방전 램프(1)의 구금부(28)에 연결된 클램프 기구(52)를 덮도록, 원추대(圓錐台)의 측면과 같은 형상의 차광 부재(42)가 배치되어 있다. 차광 부재(42)의 ＋X방향의 측면에는, 방전 램프(1)의 교환시에 방전 램프(1) 및 클램프 기구(52)를 통과시키기 위한 개구(미도시)가 마련되어 있다. A pair of guide members 41 are provided parallel to the X direction so as to face two side surfaces in the Y direction of the lower housing 31A and extend in the X direction along the guide members 41 And a discharge lamp 1 is supported at a central portion of the lead portion 36 via a support member 33. [ As the guide member 41, for example, a telescopic type (multistage) guide mechanism may be used. The lead portion 36 is provided with an elliptical mirror 2 having a circular opening 2a (see Fig. 4 (A)) so as to surround the discharge lamp 1, A shielding member 42 having the same shape as the side surface of the truncated cone is disposed so as to cover the clamping mechanism 52 connected to the claw portion 28 of the discharge lamp 1. [ An opening (not shown) for passing the discharge lamp 1 and the clamping mechanism 52 at the time of replacing the discharge lamp 1 is provided on the side of the light shielding member 42 in the + X direction.

또, 교환 장치(50)는, 상기의 음극측 구금부(26)용 구동 유닛(34), 양극측 구금부(28)용 클램프 기구(52), 보관부(54), 및 램프 반송계(56) 외에, 하부 하우징(31A) 내로부터 개구부(31Aa, 51a)를 통과하여 케이싱(51)측으로 인출부(36)를 인출시키는 인출 구동 유닛(60)과, 클램프 기구(52)에 의한 구금부(28)의 클램프 및 그 해제를 행하는 구동 유닛(72)을 가진다. 그 인출 구동 유닛(60)은, 도 4의 (A)에 나타내는 바와 같이, 케이싱(51) 내의 바닥면에서, 하부 하우징(31A)의 중심을 통과하고 X축에 평행한 직선보다도 -Y방향측에, X방향을 따라서 배치된 가이드 부재(61)와, 가이드 부재(61)를 따라서 X방향으로 이동 가능하게 배치된 베이스 테이블(62)과, 베이스 테이블(62)을 가이드 부재(61)를 따라서 X방향으로 구동하는 예를 들면 볼 나사 방식, 벨트 구동 방식, 또는 리니어 모터 방식 등의 구동부(63)와, 연결 부재(43)를 가진다. 연결 부재(43)는, 베이스 테이블(62)의 -X방향측의 단부에서 ＋Y방향으로 돌출됨과 아울러 Z방향으로 돌출된 선단부(62a)와, 인출부(36)의 ＋X방향의 단부에서 Y방향의 중앙부에 마련된 볼록한 피(被)연결부(36c)를 연결한다. The exchanging device 50 includes the drive unit 34 for the negative electrode side claw portion 26, the clamp mechanism 52 for the positive electrode side claw portion 28, the storage portion 54, 56), a draw-out drive unit (60) which extends from the inside of the lower housing (31A) through the openings (31Aa, 51a) to draw out the lead portion (36) toward the casing (51) And a driving unit 72 for clamping and releasing the clamping member 28. As shown in Fig. 4 (A), the draw-out drive unit 60 is arranged on the bottom surface of the casing 51 in the -Y direction side of the straight line passing through the center of the lower housing 31A and parallel to the X- A base table 62 arranged to be movable in the X direction along the guide member 61 and a base table 62 arranged to be movable along the guide member 61 A driving unit 63 such as a ball screw type, a belt driving type, or a linear motor type which is driven in the X direction, and a connecting member 43. The connecting member 43 includes a tip portion 62a that protrudes in the + Y direction at the end on the -X direction side of the base table 62 and protrudes in the Z direction and a tip portion 62b that protrudes in the Y direction And a convex connection portion 36c provided at a central portion of the connecting portion 36c.

인출 구동 유닛(60)의 구동부(63)에 의해, 가이드 부재(61)를 따라서 베이스 테이블(62)을 ＋X방향으로 이동시키는 것에 의해서, 하부 하우징(31A) 내의 인출부(36)를, 인출부(36)에 지지되어 있는 방전 램프(1)가 케이싱(51) 내에 들어가는 위치까지 이동시키는(인출시키는) 것이 가능하다. 또, 인출부(36)는 가이드 부재(41)에 의해서 지지되어 있음과 아울러, 인출부(36)는 가이드 부재(41)를 따라서 X방향으로 원활히 이동 가능하기 때문에, 베이스 테이블(62)에는 인출부(36)의 하중은 거의 작용하고 있지 않다. 이 때문에, 인출 구동 유닛(60)으로서는, 가이드 부재(61)를 이용한 기구가 아니라, 간단히 예를 들면 에어 실린더 등에 의해 인출부(36)를 X방향으로 이동하는 기구를 이용해도 괜찮다. The base table 62 is moved in the + X direction along the guide member 61 by the drive section 63 of the draw drive unit 60 so that the draw out section 36 in the lower housing 31A is moved in the + It is possible to move (draw) the discharge lamp 1 supported by the discharge lamp 36 to the position where it enters the casing 51. Since the lead portion 36 is supported by the guide member 41 and the lead portion 36 can move smoothly in the X direction along the guide member 41, The load of the portion 36 hardly acts. For this reason, a mechanism for moving the lead portion 36 in the X direction by an air cylinder or the like may be used instead of the mechanism using the guide member 61, for example, as the lead-out drive unit 60. [

또, 방전 램프(1)의 구금부(28)의 클램프 기구(52)를 구동하는 구동 유닛(72)은, 베이스 테이블(62)의 상면에 고정되어 X축에 대해 약간(예를 들면 15도 정도) 시계 방향으로 경사진 방향(이하, 클램프 기구(52)의 '퇴피(退避) 방향(D)'이라고 함)(도 4의 (A) 참조)을 따라서 배치된 가이드 부재(73)와, 가이드 부재(73)에 대해서 2개의 슬라이더(74)를 매개로 하여 퇴피 방향(D)으로 이동 가능하게 재치된 평판(平板) 모양의 가동 테이블(75)과, 가동 테이블(75)을 베이스 테이블(62)에 대해서 퇴피 방향(D)으로 구동하는 에어 실린더 또는 전자(電磁) 실린더 등의 구동부(77)와, 가동 테이블(75)의 상면에 고정된 Z방향으로 가늘고 긴 지지 부재(65)를 가진다. 게다가, 가동 테이블(75)의 상면의 -X방향의 단부에 Z방향으로 가늘고 긴 중계(中繼) 부재(64)가 고정되고, 중계 부재(64)의 상부에 전력 케이블(24)의 타단이 연결되며, 중계 부재(64)의 Z방향의 중앙부에, 지지 부재(33)에 연결된 전력 케이블(23)의 타단이 인출부(36)에 마련된 개구를 통과하여 연결되어 있다. 전력 케이블(23, 24)은, 가요성을 가지는 연장 케이블(미도시)을 매개로 하여 도 1의 전원부(20)에 더 접속되어 있다. The driving unit 72 for driving the clamping mechanism 52 of the fitting portion 28 of the discharge lamp 1 is fixed to the upper surface of the base table 62 so as to be slightly A guide member 73 disposed along a direction inclined clockwise (hereinafter referred to as a "retracting direction D" of the clamp mechanism 52) (see FIG. 4 (A)), A movable table 75 in the form of a flat plate placed so as to be movable in the retreat direction D via two sliders 74 with respect to the guide member 73 and a movable table 75 mounted on the base table A driving unit 77 such as an air cylinder or an electromagnetic cylinder driven in a retreating direction D with respect to the movable table 75 and a support member 65 elongated in the Z direction fixed on the upper surface of the movable table 75 . Further, an intermediate member 64, which is elongated in the Z direction, is fixed to an end portion of the upper surface of the movable table 75 in the -X direction and the other end of the electric power cable 24 is fixed to the upper portion of the relay member 64 And the other end of the power cable 23 connected to the support member 33 is connected to the center portion of the relay member 64 in the Z direction through an opening provided in the lead portion 36. [ The power cables 23 and 24 are further connected to the power supply unit 20 of Fig. 1 via a flexible extension cable (not shown).

도 7의 (A)는, 클램프 기구(52) 및 구동 유닛(72)의 상세한 구성을 나타낸다. 도 7의 (A)에서, 클램프 기구(52)의 기준 레버(67)의 ＋X방향의 단부는, 지지 부재(65)의 상단에 짧은 리니어 가이드(71H)를 매개로 하여, 도 4의 (A)의 퇴피 방향(D)에 평행한 가동 방향(D1)(1축 방향)으로 미동(微動) 가능하게 지지되어 있다. 또, 구동 유닛(72)은, 기준 레버(67)의 ＋X방향의 단부의 근방의 저부에 일단이 고정되어, 구동 레버(69)의 ＋X방향의 단부를 상부로 끌어당기는 인장 코일 스프링(68)과, 가동 테이블(75)의 상면에 일단이 고정되어, 구동 레버(69)의 ＋X방향의 단부를 하부(－Z방향)로 변위시킬 수 있는 에어 실린더 또는 전자 실린더 등의 구동부(76)를 가진다. 구동부(76)의 일단은, 회전 가능한 커플링(76a)을 매개로 하여 가동 테이블(75)에 연결되어 있다. 구동부(76)의 가동자의 선단부와 구동 레버(69)의 단부는, 회전 가능한 커플링(76b)을 매개로 하여 연결되어 있다. 일례로서, 커플링(76a)으로서는 이른바 클레비스 조인트(clevis joint)를 사용할 수 있고, 커플링(76b)으로서는 이른바 너클 조인트를 사용할 수 있다. 7 (A) shows a detailed configuration of the clamp mechanism 52 and the drive unit 72. As shown in Fig. 7A, the end in the + X direction of the reference lever 67 of the clamp mechanism 52 is connected to the upper end of the support member 65 via a short linear guide 71H, In a moving direction D1 (one-axis direction) parallel to the retreating direction D of the recording medium P. The drive unit 72 includes a tension coil spring 68 whose one end is fixed at the bottom near the end in the + X direction of the reference lever 67 and pulls the end in the + X direction of the drive lever 69 upward, And a drive unit 76 such as an air cylinder or an electronic cylinder capable of displacing the + X direction end of the drive lever 69 in the lower direction (-Z direction) with one end fixed to the upper surface of the movable table 75 . One end of the driving portion 76 is connected to the movable table 75 via a rotatable coupling 76a. The distal end of the mover of the driving unit 76 and the end of the driving lever 69 are connected via a rotatable coupling 76b. As an example, a so-called clevis joint can be used as the coupling 76a, and a so-called knuckle joint can be used as the coupling 76b.

도 7의 (A)의 상태에서는, 구동부(76)는 구동 레버(69)의 단부에 힘을 작용시키지 않기 때문에, 인장 코일 스프링(68)에 의해서 구동 레버(69)에는 기준 레버(67)에 대해서 반시계 방향의 힘이 작용한다. 이것에 의해서, 구동 레버(69)의 -X방향의 단부에 마련된 롤러(70)가 구금부(28)의 단자부(28a)를 급전 블록(66)측으로 가압하기 때문에, 단자부(28a)는 급전 블록(66)과 롤러(70)에 의해 안정하게 유지되어 있다. 이 때에, 가동 테이블(75)과 방전 램프(1)와의 간격이 목표치로부터 어긋나 있어도, 그 어긋남량은, 리니어 가이드(71H)를 매개로 하여 기준 레버(67)가 가동 방향(D1)으로 이동함으로써 상쇄된다. 또, 가동 테이블(75)마다 X방향으로 이동 가능하면, 리니어 가이드(71H)는 마련하지 않아도 괜찮다. 7A, since the drive unit 76 does not exert a force on the end portion of the drive lever 69, the drive lever 69 is biased by the tension coil spring 68 into the reference lever 67 A counterclockwise force is applied. As a result, the roller 70 provided at the end in the -X direction of the drive lever 69 presses the terminal portion 28a of the holding portion 28 toward the power supply block 66, And is stably held by the roller 66 and the roller 70. At this time, even if the distance between the movable table 75 and the discharge lamp 1 deviates from the target value, the shift amount is set such that the reference lever 67 moves in the moving direction D1 via the linear guide 71H Lt; / RTI > If the movable table 75 is movable in the X direction, the linear guide 71H need not be provided.

다음으로, 클램프 기구(52)에 의한 단자부(28a)의 클램프를 해제하는 경우에는, 도 7의 (B)에 나타내는 바와 같이, 구동부(76)에 의해서 구동 레버(69)의 단부를 하부로 끌어당겨, 롤러(70)를 단자부(28a)보다도 높은 위치까지 이동시킨다. 이 때, 구동 레버(69)의 단부의 위치는 방전 램프(1)에 가까워지지만, 그것에 따라서 커플링(76a)에 의해서 구동부(76)가 약간 회전하기 때문에, 구동 레버(69)를 변형시키는 응력이 작용하지는 않는다. 이 상태에서, 도 4의 (B)의 구동부(77)에 의해서 가동 테이블(75)을 퇴피 방향(D)을 따라서 화살표 A2로 나타내는 방향으로 이동하는 것에 의해서, 클램프 기구(52) 및 전력 케이블(24)을 구금부(28)로부터 떼어낼 수 있다. 7 (B), when the clamping of the terminal portion 28a by the clamp mechanism 52 is released, the end of the drive lever 69 is pulled down by the drive portion 76 And the roller 70 is moved to a position higher than the terminal portion 28a. At this time, since the position of the end of the drive lever 69 is close to the discharge lamp 1, the drive 76 is slightly rotated by the coupling 76a in accordance with the rotation of the drive lever 69, . In this state, the movable table 75 is moved in the direction indicated by the arrow A2 along the retraction direction D by the drive unit 77 of Fig. 4 (B), whereby the clamp mechanism 52 and the power cable 24 can be detached from the crotch portion 28.

또, 램프 반송계(56)는, 방전 램프(1)의 양극측 구금부(28)의 피파지부(28e)를 상부로부터 파지하는 3개의 클로부(claw部)(86)와, 이들 클로부(86)를 개폐하는 파지 클로 개폐 기구(85)와, 방전 램프(1)를 파지하여 상하(Z방향)로 이동시키는 Z축 구동 기구(84)와, Z축 구동 기구(84)를 Z축에 평행한 축의 둘레로 선회(旋回)시키는 선회축(83)과, 선회축(83)을 케이싱(51)의 천정부에 지지하는 지지부(82)를 구비하고 있다. The lamp return system 56 includes three claw portions 86 for gripping the top edge portion 28e of the positive electrode side claw portion 28 of the discharge lamp 1 from above, A Z-axis driving mechanism 84 for holding the discharge lamp 1 and moving the Z-axis driving mechanism 84 up and down (Z direction), and a Z-axis driving mechanism 84 for moving the Z- And a support portion 82 for supporting the pivot shaft 83 on the ceiling portion of the casing 51. The pivot shaft 83 is provided with a support portion 82 for supporting the pivot shaft 83 on the ceiling portion of the casing 51. [

도 9의 (A)는 3개의 클로부(86)에 의해 구금부(28)의 피파지부(28e)를 파지하는 상태를 나타내는 평면도, 도 9의 (B)는 도 9의 (A)의 측면도이다. 도 9의 (A)에 나타내는 바와 같이, 3의 클로부(86)의 피파지부(28e)에 대향하는 면에는 각각 작은 핀(86a)이 마련되어 있다. 그리고, 램프 반송계(56에 의해 방전 램프(1)를 파 지할 때에는, 3개의 클로부(86)의 핀(86a)이 각각 피파지부(28e)의 평탄부(28f, 28g, 28h)의 구멍부(h1, h2, h3)에 대향하도록, 파지 클로 개폐 기구(85)를 위치 결정한다. 이 상태에서, 도 9의 (B)에 나타내는 바와 같이, 파지 클로 개폐 기구(85)에 의해서 3개의 클로부(86)를 중심 방향으로 이동시켜(닫아), 3개의 핀(86a)을 대응하는 구멍부(h1, h2, h3)에 끼워 넣고, 3개의 클로부(86)의 평면부가 대응하는 평탄부(28f, 28g, 28h)에 접촉할 때까지 3개의 클로부(86)를 더 닫는다. 또, 3개의 클로부(86)는 각각 반경 방향으로 변위 가능한 스프링 기구(미도시)를 매개로 하여 파지 클로 개폐 기구(85)에 연결되어 있기 때문에, 구금부(28)를 변형시키는 응력이 작용하지는 않는다. 9A is a plan view showing a state of gripping the finger grip portion 28e of the crotch portion 28 by three claw portions 86. FIG 9B is a side view of FIG 9A, to be. As shown in Fig. 9 (A), a small pin 86a is provided on the surface of the claw portion 86 of the third claw 86 opposite to the finger grip portion 28e. When the discharge lamp 1 is held by the lamp return system 56, the pins 86a of the three claws 86 are engaged with the holes of the flat portions 28f, 28g, and 28h of the pedestal portion 28e, The gripping claw opening and closing mechanism 85 is positioned so as to face the portions h1, h2 and h3 of the gripping claw opening and closing mechanism 85. In this state, as shown in Fig. 9 (B) The three fins 86a are inserted into the corresponding holes h1, h2 and h3 and the flat portions of the three claws 86 are moved in the corresponding flat portions The three claw portions 86 are further closed until they come into contact with the portions 28f, 28g and 28h of the two claw portions 86. Further, the three claw portions 86 are respectively connected via a spring mechanism (not shown) And is not connected to the gripping claw opening / closing mechanism 85, stress acting to deform the cage portion 28 does not act.

도 4의 (A) 및 (B)에서, 보관부(54)는, 사용이 끝난 방전 램프(1) 및 미사용의 방전 램프(1)(이하, '방전 램프(1N)'라고 함)가 재치되는 복수(도 4의 (A)에서는 6개)의 개구(79a)(도 11 참조)가 동심원 모양으로 마련된 회전 가능한 턴 테이블(79)과, 턴 테이블(79)을 회전시키는 구동부(80)를 구비하고 있다. 개구(79a)의 수가 턴 테이블(79)에 보관할 수 있는 방전 램프(1, 1N)의 개수이며, 그 보관할 수 있는 방전 램프(1, 1N)의 개수는 임의이다. 그들 개구(79a)에 방전 램프(1 또는 1N)의 음극측 구금부(26)의 선단부가 끼워 넣어지고, 방전 램프(1 또는 1N)는 구금부(26)의 플랜지부(26a)(도 1(A) 참조)를 매개로 하여 자중에 의해서 턴 테이블(79)에 재치된다. 4 (A) and 4 (B), the storage part 54 is configured to store the used discharge lamp 1 and the unused discharge lamp 1 (hereinafter referred to as 'discharge lamp 1N' A rotatable turntable 79 provided concentrically with a plurality of openings 79a (see FIG. 11 in FIG. 4A) and a drive unit 80 for rotating the turntable 79 Respectively. The number of the discharge lamps 1 and 1N that can store the number of openings 79a in the turntable 79 and the number of the discharge lamps 1 and 1N that can store the discharge lamps 1 and 1N are arbitrary. The tip end portion of the negative electrode side claw portion 26 of the discharge lamp 1 or 1N is fitted into the opening 79a thereof and the discharge lamp 1 or 1N is inserted into the flange portion 26a of the claw portion 26 (See FIG. 7A), and is placed on the turntable 79 by its own weight.

도 11에 나타내는 바와 같이, 턴 테이블(79)의 측면에는 복수의 개구(79a)에 대응하여 각각 중앙에 오목부가 있고 단면(斷面)이 반원 모양의 위치 결정용 부재(87)가 마련되며, 턴 테이블(79)의 측면 방향으로, 위치 결정용 부재(87)의 오목부에 걸림 가능한 볼록부가 마련되어 있어 턴 테이블(79)의 반경 방향으로 변형 가능한 판 스프링부(88)가 배치되어 있다. 턴 테이블(79)을 회전축(79b)의 둘레로 회전하여, 위치 결정용 부재(87)가 판 스프링부(88)(탄성 부재)에 걸렸을 때에 턴 테이블(79)의 회전을 정지함으로써, 개구(79a)의 위치를 방전 램프(1 또는 1N)를 램프 반송계(56)와의 사이에서 주고 받는 위치에 정확하게 위치 결정할 수 있다. 또, 도시하지 않지만, 램프의 방향(Z축 둘레)을 위치 결정할 수 있도록 개구(79a)의 근방에는, 도 2의 (C)의 구멍(27A, 27B)과 감합(嵌合, 끼워 맞춤)하는 핀 등이 마련되어 있다. As shown in Fig. 11, on the side surface of the turntable 79, a semicircular positioning member 87 having a concave portion at its center and corresponding to a plurality of openings 79a is provided, A plate spring portion 88 capable of deforming in the radial direction of the turntable 79 is disposed in the side surface of the turntable 79 with a convex portion engageable with the concave portion of the positioning member 87. [ The turntable 79 is rotated around the rotating shaft 79b to stop the rotation of the turntable 79 when the positioning member 87 is caught by the leaf spring portion 88 (elastic member) 79a can be precisely positioned at the position where the discharge lamp 1 or 1N is exchanged with the lamp return system 56. [ Although not shown, in the vicinity of the opening 79a for fitting the direction of the lamp (Z-axis perimeter), the hole 27A, 27B of FIG. 2C is fitted Pins and the like are provided.

이하, 본 실시 형태의 광원 장치(30)에서, 교환 장치(50)를 이용하여 방전 램프(1)를 교환할 때의 동작의 일례에 대해 설명한다. 이 교환 동작은 광원 제어계(32)에 의해서 제어된다. 처음에 작업자(미도시)는, 도 4의 (A)에 나타내어지는 바와 같이, 교환 장치(50)의 케이싱(51)의 램프 교환문(45)을 열고, 미사용의 방전 램프(1N)의 구금부(26)를 보관부(54)의 턴 테이블(79)의 개구(79a)에 끼워 넣으며, 방전 램프(1N)의 구금부(26)의 플랜지부(26a)를 매개로 하여 턴 테이블(79)에 장착한다(방전 램프의 보충). 턴 테이블(79)은 전원 오프인 상태에서는, 수동으로 회전 가능하게 되어 있고, 도 11을 참조하여 설명한 바와 같이, 소정의 위치 결정용 부재(87)가 판 스프링부(88)에 걸리도록 턴 테이블(79)을 회전시킴으로써, 턴 테이블(79)의 회전각을 수동으로 정확하게 설정할 수 있다. 또, 턴 테이블(79)은 전동으로 회전시켜, 램프를 설치하도록 해도 괜찮다. An example of the operation when the discharge lamp 1 is replaced with the replacement apparatus 50 in the light source apparatus 30 of the present embodiment will be described below. This exchange operation is controlled by the light source control system 32. 4 (A), the operator (not shown) opens the lamp replacement door 45 of the casing 51 of the exchange apparatus 50 and opens the discharge lamp 1N of the unused discharge lamp 1N The turntable 79 is inserted into the opening 79a of the turntable 79 of the storage part 54 via the flange part 26a of the housing part 26 of the discharge lamp 1N, ) (Supplement of discharge lamp). The turntable 79 is manually rotatable in the power-off state, and as described with reference to Fig. 11, the turntable 79 is fixed to the turntable 88 so that the predetermined positioning member 87 is caught by the plate- The rotation angle of the turntable 79 can be set manually and accurately by rotating the rotary table 79. Further, the turn table 79 may be rotated by electric power to install a lamp.

또, 방전 램프의 보충은, 도 1의 전원부(20)로부터의 전력의 공급을 정지하여, 도 4의 (B)의 하부 하우징(31A) 내의 방전 램프(1)가 소등하고 있는 상태에서 행하는 것이 바람직하다. 다만, 하부 하우징(31A) 내의 방전 램프(1)의 광이 외부로 누출되지 않는 조치를 실시하고, 턴 테이블(79)을 절연 재료로 형성해 두는 것에 의해서, 방전 램프(1)의 점등 중에 턴 테이블(79)과의 사이에서 램프 교환을 행할 수 있도록 해도 좋다. 일례로서, 도 4의 (A)에서는 방전 램프(1, 1N)를 턴 테이블(79)에 6개 셋팅(보충) 가능하지만, 사용이 끝난 램프를 회수하기 위해서, 턴 테이블(79)에 빈 곳을 만들어 둔다. 도 4의 (A) 및 (B)는, 램프 하우스(31) 내에 방전 램프(1)가 들어가 있는 경우를 나타내고 있으므로, 턴 테이블(79)에는, 방전 램프(1N)가 5개 셋팅된다. 이 후, 램프 교환문(45)이 닫혀진다.The supplement of the discharge lamp is performed by stopping the supply of the electric power from the power supply unit 20 in Fig. 1 and in the state in which the discharge lamp 1 in the lower housing 31A in Fig. 4 (B) desirable. However, by taking measures to prevent the light from the discharge lamp 1 in the lower housing 31A from leaking to the outside and by forming the turn table 79 with an insulating material, during the lighting of the discharge lamp 1, It is also possible to perform the lamp exchange with the lamp controller 79. In FIG. 4A, six discharge lamps 1 and 1N can be set in the turntable 79, but in order to recover the used lamp, . 4A and 4B show the case where the discharge lamp 1 is contained in the lamp house 31. Therefore, five discharge lamps 1N are set on the turntable 79. Fig. Thereafter, the lamp replacement door 45 is closed.

그 후, 임의의 타이밍(예를 들면, 플레이트(P)의 교환시나 장치의 메인터넌스시)에 방전 램프(1)를 방전 램프(1N)로 교환할 수 있다. 혹은, 방전 램프(1)의 누적 사용 시간이 허용 시간에 이르렀을 때에, 광원 제어계(32)는 주제어계(14)에 그 취지의 정보를 송신하고, 주제어계(14)는 노광 장치(EX)의 노광 동작을 정지하도록 해도 괜찮다. 광원 제어계(32)는, 전원부(20)로부터의 방전 램프(1)에 대한 전력의 공급을 정지시켜, 방전 램프(1)를 소등시킨 후, 교환 장치(50)를 작동시켜 방전 램프(1)를 보관부(54)에 보관되어 있는 방전 램프(1N)로 교환한다. Thereafter, the discharge lamp 1 can be replaced with the discharge lamp 1N at an arbitrary timing (for example, during replacement of the plate P or maintenance of the apparatus). Alternatively, when the cumulative use time of the discharge lamp 1 reaches the allowable time, the light source control system 32 transmits the information to that effect to the main control system 14, and the main control system 14 controls the exposure apparatus EX, It is also possible to stop the exposure operation. The light source control system 32 stops the supply of electric power to the discharge lamp 1 from the power source unit 20 to turn off the discharge lamp 1 and then operates the exchange device 50 to turn on the discharge lamp 1, Is replaced with the discharge lamp 1N stored in the storage unit 54.

즉, 먼저 도 4의 (B)에서, 램프 하우스(31) 내에서 방전 램프(1) 및 타원 거울(2)을 일체적으로 지지하는 인출부(36)를, 인출 구동 유닛(60)에 의해서 화살표A1으로 나타내는 바와 같이 ＋X방향의 소정의 위치까지 인출한다. 이 결과, 인출부(36)는, 도 6의 (B)에 나타내는 위치까지 인출된다. 이 때에, 인출부(36)와 함께 클램프 기구(52), 중계 부재(64), 및 구동 유닛(72)도 일체적으로 ＋X방향의 케이싱(51)의 내부로 인출된다. 또, 도 6의 (A)는 도 6의 (B)의 인출부(36) 및 교환 장치(50)를 나타내는 일부를 단면으로 한 평면도이다. 또, 이하에서 참조하는 도 8, 도 10의 (B) 등에서는, 도면의 착종(錯綜)을 피하기 위해, 복수의 방전 램프(1N) 중 일부의 도시를 생략하고 있다. 4 (B), the draw-out drive unit 60, which integrally supports the discharge lamp 1 and the elliptic mirror 2 in the lamp house 31, And is drawn out to a predetermined position in the + X direction as indicated by an arrow A1. As a result, the lead portion 36 is drawn to the position shown in FIG. 6 (B). At this time, the clamp mechanism 52, the relay member 64, and the drive unit 72 together with the lead portion 36 are also integrally drawn out into the casing 51 in the + X direction. 6 (A) is a plan view of a part of the drawing portion 36 and the exchanging device 50 of Fig. 6 (B) taken in section. 8 and 10B and the like which are referred to below, some of the plurality of discharge lamps 1N are omitted in order to avoid confusion in the drawing.

다음으로, 도 7의 (B)를 참조하여 설명한 바와 같이, 구동 유닛(72)의 구동부(76)에 의해 클램프 기구(52)의 구동 레버(69)를 하부로 당겨, 방전 램프(1)의 구금부(28)의 단자부(28a)를 강한 힘으로 급전 블록(66)에 꽉 누르고 있던 롤러(70)를 연결 핀(P51)(지점)을 축으로 회전시켜, 롤러(70)를 단자부(28a) 보다도 높은 위치가 되도록 단자부(28a)로부터 분리시킨다. 그 후, 구동부(77)(도 4의 (B) 참조)에 의해서, 클램프 기구(52) 및 구동부(76)를 지지하는 가동 테이블(75)을 퇴피 방향(D)을 따라서 화살표 A2로 나타내는 방향으로 퇴피시킨다. 이 때, 롤러(70)는 구금부(28)의 상부를 통과하게 된다. 7 (B), the drive lever 69 of the clamp mechanism 52 is pulled downward by the drive unit 76 of the drive unit 72, and the drive lever 69 of the discharge lamp 1 The roller 70 which has pressed the terminal portion 28a of the housing 28 to the power supply block 66 with strong force is rotated about the connecting pin P51 (point) to rotate the roller 70 to the terminal portion 28a ) From the terminal portion 28a. Thereafter, the movable table 75 supporting the clamping mechanism 52 and the driving unit 76 is moved in the retreating direction D in the direction indicated by the arrow A2 by the driving unit 77 (see Fig. 4 (B) . At this time, the roller 70 passes through the upper portion of the holding portion 28.

그 후, 도 8에 나타내는 바와 같이, 구동 유닛(34)의 구동부(40)에 의해 레버(38)를 시계 방향으로 회전시켜, 음극측 구금부(26)의 고정부(26h)의 클램프를 해제한다. 이것에 의해서, 구금부(26)는 지지 부재(33)로부터 빼낼 수 있다. 또, 도면의 착종을 피하기 위해, 이하에서 참조하는 도 10의 (B) 등에서는, 구금부(26)용 구동 유닛(34)의 도시를 생략한다. 또, 음극측 구금부(26)의 클램프 해제를 양극측 구금부(28)의 클램프 해제 전에 행해도 상관없다.8, the lever 38 is rotated in the clockwise direction by the drive unit 40 of the drive unit 34 to release the clamp of the fixed portion 26h of the negative electrode claw portion 26 do. Thereby, the retaining portion 26 can be pulled out from the support member 33. [ 10 (B) and the like referred to hereinafter, the illustration of the drive unit 34 for the claw 26 is omitted. The clamp releasing of the negative electrode side retaining portion 26 may be performed before the clamp releasing of the positive electrode side retaining portion 28. [

다음으로, 램프 반송계(56)의 선회축(83)을 선회시켜 파지 클로 개폐 기구(85)를 방전 램프(1)의 구금부(28)의 상부로 이동시킨다. 그리고, 화살표 A3로 나타내는 바와 같이, 램프 반송계(56)의 Z축 구동 기구(84)에 의해서 파지 클로 개폐 기구(85)를 강하(降下)시키고, 파지 클로 개폐 기구(85)는, 그 저면의 3개의 클로부(86)를 닫는 것에 의해서 구금부(28)의 피파지부(28e)를 파지한다(도 9의 (B) 참조). 그 후, 도 10의 (B)에 화살표 A5로 나타내는 바와 같이 Z축 구동 기구(84)에 의해서, 방전 램프(1)를 파지하고 있는 클로부(86)를 상승시킨다. 이 때에, 방전 램프(1)의 음극측 구금부(26)의 하단이 인출부(36)의 상면보다도 높아지는 위치(즉, 타원 거울(2)의 상면보다도 높아지는 위치)까지 방전 램프(1)를 상승시킨다. Next, the pivot shaft 83 of the ramp return system 56 is pivoted to move the gripping claw opening / closing mechanism 85 to the upper portion of the holding portion 28 of the discharge lamp 1. Then, as indicated by an arrow A3, the grip claw opening / closing mechanism 85 is lowered by the Z-axis driving mechanism 84 of the ramp carrier system 56, and the grip claw opening / And the three claw portions 86 of the crotch portion 28 are closed to grip the finger 28a of the crotch portion 28 (see Fig. 9 (B)). Thereafter, the claw portion 86 holding the discharge lamp 1 is raised by the Z-axis driving mechanism 84 as indicated by the arrow A5 in Fig. 10 (B). At this time, the discharge lamp 1 is brought to the position where the lower end of the cathode-side holding portion 26 of the discharge lamp 1 is higher than the upper face of the lead portion 36 (i.e., the position higher than the upper face of the elliptical mirror 2) .

그 후, 도 10의 (A)에 화살표 A6로 나타내는 바와 같이, 선회축(83)에 의해서, 방전 램프(1)를 파지한 파지 클로 개폐 기구(85)를 약 180도 선회시켜, 방전 램프(1)를 턴 테이블(79)의 상부로 이동시킨다. 이 때에, 보관부(54)의 구동부(80)에 의해서 턴 테이블(79)을 회전시켜, 턴 테이블(79)의 비어 있는 개구(79a)를 파지 클로 개폐 기구(85)(방전 램프(1))의 하부로 이동시킨다. 이 상태에서, 파지 클로 개폐 기구(85)를 강하시켜, 방전 램프(1)의 구금부(26)의 선단부가 개구(79a) 내에 수용되고 나서 클로부(86)를 개방함으로써, 사용이 끝난 방전 램프(1)는 턴 테이블(79)의 위치(A7)에 재치된다. Thereafter, as shown by the arrow A6 in Fig. 10 (A), the grip claw opening / closing mechanism 85 holding the discharge lamp 1 is turned by about 180 degrees by the pivot shaft 83, 1 to the upper portion of the turntable 79. At this time, the turntable 79 is rotated by the driving part 80 of the storage part 54 to move the empty opening 79a of the turntable 79 to the gripping claw opening / closing mechanism 85 (discharge lamp 1) . In this state, the gripping claw opening / closing mechanism 85 is lowered to open the claw portion 86 after the tip portion of the claw portion 26 of the discharge lamp 1 is housed in the opening 79a, The lamp 1 is placed at the position A7 of the turntable 79. [

그 후, 램프 반송계(56)의 파지 클로 개폐 기구(85)를 상승시켜, 화살표 A8로 나타내는 바와 같이, 턴 테이블(79)을 약 60도 회전시키고, 위치(A9)에 있는 미사용의 방전 램프(1N)를 파지 클로 개폐 기구(85)의 아래로 이동시킨다. 그 후, 다시 파지 클로 개폐 기구(85)를 강하시켜, 클로부(86)에 의해서 미사용의 방전 램프(1N)의 구금부(28)의 피파지부(28e)를 파지한 후, 파지 클로 개폐 기구(85)를 상승시킨다. 그리고, 방전 램프(1)의 반출시와 반대의 움직임에 의해서, 점선의 화살표 B1으로 나타내는 바와 같이, 선회축(83)에 의해서 파지 클로 개폐 기구(85)를 약 180도 선회시키고, 도 10의 (B)에 점선의 화살표 B2로 나타내는 바와 같이, 방전 램프(1N)를 파지하는 파지 클로 개폐 기구(85)를 강하시켜, 방전 램프(1N)의 음극측 구금부(26)를 지지 부재(33)에 재치한다. 그 후, 도 8에 점선의 화살표 B3로 나타내는 바와 같이, 파지 클로 개폐 기구(85)를 상승시켜, 도 6의 (B)에 나타내는 바와 같이, 구동 유닛(34)에 의해서 음극측 구금부(26)를 지지 부재(33)에 클램핑한다. Thereafter, the grip claw opening / closing mechanism 85 of the lamp return system 56 is raised to rotate the turntable 79 about 60 degrees as shown by an arrow A8, and the unused discharge lamp (1N) is moved below the gripping claw opening / closing mechanism (85). Thereafter, the gripping claw opening / closing mechanism 85 is further lowered to grip the gripped portion 28e of the holding portion 28 of the unused discharge lamp 1N by the claw portion 86, (85). The grip claw opening and closing mechanism 85 is turned by about 180 degrees by the pivot shaft 83 as shown by the dotted line arrow B1 by the reverse movement of the discharge lamp 1, The gripping claw opening and closing mechanism 85 for gripping the discharge lamp 1N is lowered so that the cathode side claw portion 26 of the discharge lamp 1N is supported by the support member 33 ). Thereafter, as shown by an arrow B3 in Fig. 8, the gripping claw opening / closing mechanism 85 is raised so that the negative electrode side detaching portion 26 (see Fig. 6 ) To the support member (33).

게다가, 도 8의 구동부(77)에 의해서, 도 7의 (B)에 나타내는 바와 같이, 클램프 기구(52)를 지지하는 가동 테이블(75)을 퇴피 방향(D)을 따라서 화살표 B4로 나타내는 방향(방전 램프(1N)에 가까워지는 방향)으로 이동시키고, 급전 블록(66)을 방전 램프(1N)의 구금부(28)의 단자부(28a)에 맞닿게 한다. 그 후, 구동부(76)가 가동부를 밀어냄으로써(에어 실린더의 경우에는, 흡인력을 서서히 약하게 함으로써), 인장 코일 스프링(68)의 힘에 의해서 구동 레버(69)가 연결 핀(P51)을 중심으로 회전하여, 롤러(70)가 단자부(28a)에 접촉하여 단자부(28a)를 급전 블록(66)에 강하게 꽉 누른다. 그 결과, 양극측 구금부(28)에 대한 급전이 전력 로스(loss)없이 가능해진다. 또, 음극측 구금부(26)의 클램프를 양극측 구금부(28)의 클램핑 후에 행해도 상관없다. 7B, the movable table 75 supporting the clamping mechanism 52 is moved in the retreat direction D in the direction indicated by the arrow B4 (Fig. 7B) And the power supply block 66 is brought into contact with the terminal portion 28a of the housing portion 28 of the discharge lamp 1N. Thereafter, the drive lever 69 is rotated about the connecting pin P51 by the force of the tension coil spring 68 by pushing the movable portion (in the case of the air cylinder, by gradually weakening the attracting force) The roller 70 comes into contact with the terminal portion 28a to strongly push the terminal portion 28a against the power supply block 66. [ As a result, power supply to the positive electrode side holding portion 28 becomes possible without power loss. The clamping of the negative electrode side holding portion 26 may be performed after the clamping of the positive electrode side holding portion 28. [

이 때, 방전 램프(1N)의 음극측 구금부(26)는 구동 유닛(34)(도 6의 (B) 참조)에 의해서 지지 부재(33)에 고정되어 있기 때문에, 만일 급전 블록(66)의 퇴피 방향(D)의 위치가 고정된 상태에서, 양극측 구금부(28)에 대한 급전 블록(66)의 위치가 어긋나 있으면, 방전 램프(1N)에 큰 힘이 가해져 방전 램프(1N)를 파손할 우려가 있다. 그것을 막기 위해서, 본 실시 형태에서는, 도 7의 (A)에 나타내는 바와 같이, 급전 블록(66)이 장착되는 기준 레버(67)는, 리니어 가이드(71H)에 의해서, 방향(D1)(방전 램프(1N)에 대해서 반경 방향)으로 이동 가능하게 되어 있기 때문에, 그 급전 블록(66)의 위치 결정 오차를 보정(흡수)할 수 있다. 또, 리니어 가이드(71H)를 대신하여 가동 테이블(75)을 방향(D1)으로 이동 가능하게 해도 괜찮다. At this time, since the negative electrode side holding portion 26 of the discharge lamp 1N is fixed to the supporting member 33 by the drive unit 34 (see Fig. 6 (B)), If the position of the power supply block 66 with respect to the positive electrode side holding portion 28 is shifted in a state where the position of the discharge lamp 1N in the retreating direction D is fixed, a large force is applied to the discharge lamp 1N, There is a risk of damage. 7 (A), the reference lever 67 to which the power feed block 66 is mounted is rotated by the linear guide 71H in the direction D1 (In the radial direction with respect to the power supply block 1N), the positioning error of the power supply block 66 can be corrected (absorbed). It is also possible to move the movable table 75 in the direction D1 instead of the linear guide 71H.

또, 구금부(28)용 클램프 기구(52)는, 구동 레버(69)의 회전 방향 및 선회 방향(Z축에 평행한 축의 둘레의 회전 방향)으로는 강성이 낮고, 기준 레버(67) 및/또는 구동 레버(69)가 휘는 것에 의해서 그 회전 방향 및 선회 방향의 위치 결정 오차를 흡수할 수 있도록 되어 있다. 게다가, 급전 블록(66)의 구금부(28)와의 접촉면인 홈부(66a)(도 5 참조)는, 단면(斷面) 형상이 Z방향의 위치에 의하지 않고 일정한 V형이기 때문에, 구금부(28)와 급전 블록(66)과의 사이에서 Z방향의 위치가 어긋나도 문제가 되지 않는다. The clamping mechanism 52 for the retaining portion 28 has a low rigidity in the rotating direction and the turning direction of the driving lever 69 (the rotating direction around the axis parallel to the Z axis) And / or the drive lever 69 is bent, it is possible to absorb positioning errors in the rotational direction and the swirling direction. In addition, since the groove 66a (see FIG. 5), which is the contact surface of the power supply block 66 with the housing portion 28, has a constant V-shape in cross section regardless of the position in the Z direction, 28 and the power supply block 66 are displaced in the Z direction.

도 6의 (B)에 나타내는 바와 같이, 방전 램프(1N)의 구금부(28)에 대한 클램프 기구(52)에 의한 급전 블록(66)의 클램프가 완료되면, 인출 구동 유닛(60)에 의해서, 도 4의 (B)에 점선의 화살표 B5로 나타내는 바와 같이 베이스 테이블(62)을 -X방향으로 이동시키는 것에 의해서, 인출부(36)를 하부 하우징(31A) 내의 원래의 위치까지 되돌린다. 이것에 의해서, 사용이 끝난 방전 램프(1)가 미사용의 방전 램프(1N)와 교환되게 된다. 6 (B), when the clamping of the power supply block 66 by the clamping mechanism 52 to the clamping portion 28 of the discharge lamp 1N is completed, the pulling drive unit 60 , The lead table 36 is returned to the original position in the lower housing 31A by moving the base table 62 in the -X direction as indicated by an arrow B5 indicated by a dotted line in Fig. Thereby, the used discharge lamp 1 is replaced with the unused discharge lamp 1N.

다음으로, 본 실시 형태의 방전 램프(1)의 제조 방법의 일례에 대해 도 32의 (B)의 플로우차트를 참조하여 설명한다. Next, an example of a manufacturing method of the discharge lamp 1 of the present embodiment will be described with reference to the flowchart of FIG. 32 (B).

먼저, 도 32의 (B)의 스텝 220에서, 도 12에 나타내는 바와 같이, 내부에 양극(EL1) 및 음극(EL2)(도 2의 (A) 참조)이 설치된 유리관(25)의 막대 모양부(25b)측에 금속제의 막대 모양의 구금관(口金管)(226)(소형 구금 부재)이 마련되고, 막대 모양부(25c)측에 금속제의 막대 모양의 구금관(228)(소형 구금 부재)이 마련된 유리 부재(램프 본체)를 제조(준비)한다. 구금관(228 및 226)은 각각 양극(EL1) 및 음극(EL2)에 전기적으로 접속되어 있다. 구금관(228 및 226)은 각각 유리관(25)의 씰링부에 용착 등에 의해 일체적으로 고정되어 있다. First, as shown in Fig. 12, in step 220 of Fig. 32 (B), a rod-like portion of a glass tube 25 provided with a positive electrode EL1 and a negative electrode EL2 (see Fig. Shaped small-diameter gold pipe 226 (small-sized gold-plated member) is provided on the side of the rod-shaped portion 25b, Is prepared (prepared). The gold bulbs 228 and 226 are electrically connected to the positive electrode EL1 and the negative electrode EL2, respectively. The spherical metal pipes 228 and 226 are integrally fixed to the sealing portion of the glass tube 25 by welding or the like.

다음의 스텝 222에서, 도 2의 (A)의 사용이 끝난 방전 램프(1)로부터 음극측 구금부(26) 및 양극측 구금부(28)를 떼어낸다. 또, 도 12의 구금부(26 및 28)의 형상은, 도 2의 (A)의 구금부(26 및 28)에 비해 간략화하여 나타내어져 있다. 이 경우, 일례로서, 구금관(228)의 단부의 중앙에 위치 결정용의 작은 볼록부(228a)가 마련되고, 그 볼록부(228a)를 둘러싸도록 복수의 나사 구멍(228b)이 마련되어 있다. 또, 원통 모양의 구금부(28)의 내면의 상부의 중앙에, 볼록부(228a)를 수용할 수 있는 구멍부(h4)가 형성되고, 나사 구멍(228b)에 대응한 위치에 볼트용의 복수의 개구(28k)가 형성되어 있다. 개구(28k)의 상부에는 볼트(BA1)의 헤드부를 수용할 수 있는 카운터 보어부(counter bore部)가 형성되어 있다. At the next step 222, the negative electrode side retaining portion 26 and the positive electrode side retaining portion 28 are removed from the used discharge lamp 1 shown in Fig. 2A. The configuration of the claw portions 26 and 28 in Fig. 12 is simplified as compared with that of the claw portions 26 and 28 in Fig. 2A. In this case, as an example, a small convex portion 228a for positioning is provided at the center of the end portion of the round metal tube 228, and a plurality of screw holes 228b are provided so as to surround the convex portion 228a. A hole h4 capable of accommodating the convex portion 228a is formed at the center of the upper portion of the inner surface of the cylindrical fitting portion 28, A plurality of openings 28k are formed. A counter bore portion capable of receiving the head portion of the bolt BA1 is formed on the upper portion of the opening 28k.

또, 구금관(226)의 단부(226a)에 직경이 작은 감합부(226b)가 마련되고, 감합부(226b)의 단면(端面)에 복수의 나사 구멍(226c)이 형성되어 있다. 또, 구금부(26)의 플랜지부(26a)의 상부에 감합부(226b)에 감합 가능한 짧은 원통 모양의 연결부(26p)가 마련되고, 플랜지부(26a)의 저면에 나사 구멍(226c)에 대응한 위치에 볼트용의 복수의 개구(26q)가 형성되어 있다. 개구(26q)의 단부에는 볼트(BA2)의 헤드부를 수용할 수 있는 카운터 보어부가 형성되어 있다. An engagement portion 226b having a smaller diameter is provided at the end portion 226a of the spherical metal pipe 226 and a plurality of screw holes 226c are formed at an end surface of the engagement portion 226b. A short cylindrical connecting portion 26p that can be fitted to the fitting portion 226b is provided on the upper portion of the flange portion 26a of the fitting portion 26 and a screw hole 226c is formed on the bottom face of the flange portion 26a And a plurality of openings 26q for bolts are formed at corresponding positions. At the end of the opening 26q, a counter bore portion capable of receiving the head portion of the bolt BA2 is formed.

그리고, 스텝 224에서, 구금관(228)을 덮도록 복수의 볼트(BA1)를 매개로 하여 구금부(28)를 연결하고, 구금관(226)에 복수의 볼트(BA2)를 매개로 하여 구금부(26)를 연결하는 것에 의해서, 방전 램프(1)가 완성된다. 또, 스텝 222에서, 사용이 끝난 방전 램프(1)로부터 구금부(28 및 26)를 떼어내기 위해서는, 각각 볼트(BA1 및 BA2)를 느슨하게 하면 된다. In step 224, the cage 28 is connected via a plurality of bolts BA1 so as to cover the crown bore 228, and the crown 226 is detained by a plurality of bolts BA2 The discharge lamp 1 is completed. In order to remove the retaining portions 28 and 26 from the used discharge lamp 1 in Step 222, the bolts BA1 and BA2 may be loosened, respectively.

이 방전 램프(1)의 제조 방법에 의하면, 사용이 끝난 방전 램프(1)로부터 떼어낸 구금부(26, 28)를 재이용할 수 있기 때문에, 복잡한 형상의 구금부(26, 28)의 제조 개수를 적게 할 수 있어, 방전 램프(1)의 제조 코스트를 억제할 수 있다. According to the manufacturing method of the discharge lamp 1, since the detaching portions 26 and 28 removed from the used discharge lamp 1 can be reused, the number of manufacturing processes of the complex portions 26 and 28 The manufacturing cost of the discharge lamp 1 can be reduced.

또, 구금부(26, 28)를 재이용하는(환언하면, 사용이 끝난 방전 램프(1)로부터 구금부(26, 28)를 떼어내는) 대신에, 예를 들면 별도 제조된 구금부(26, 28)의 적어도 일방을 준비하고, 그것을 램프 본체(구금관(226, 228))에 장착하여 방전 램프(1)를 구성해도 괜찮다. 또, 구금부(26, 28) 중 적어도 일방을 재이용하는 경우에, 구금부(26, 28)의 전체를 재이용하는 대신에, 구금부(26, 28) 중 적어도 일부(예를 들면, 단자부(28a), 피파지부(28e) 및 방열부(28i) 중 적어도 하나의 부품(part))만 재이용하도록 해도 괜찮다. Instead of the reuse of the cage portions 26 and 28 (in other words, the cage portions 26 and 28 are removed from the used discharge lamp 1), for example, separately prepared cage portions 26 and 28, It is also possible to form at least one of the discharge lamp 1 and the discharge lamp 1 by arranging them in the lamp body (the gold bulb 226, 228). In place of reusing the whole of the cage portions 26 and 28, at least one of the cage portions 26 and 28 (for example, the terminal portion 28b, 28b, 28a, 28a, 28b, 28a, 28a and 28i) may be reused.

또, 도 12의 예에서는, 구금관(228)의 측면과 구금부(28)의 내면과의 사이에는 공간이 마련되어 있고, 예를 들면 전력 케이블(24)과 평행하게 배치된 가요성을 가지는 튜브(미도시)를 매개로 하여 그 공간에 예를 들면 고압 에어를 통과시키는 것에 의해, 점등 중의 방전 램프(1)의 방열(램프 냉각)을 효율적으로 행할 수 있도록 되어 있다. 또, 구금관(228, 226)과 구금부(28, 26)와의 결합시, 볼트의 풀러짐을 방지하기 위해, 볼트 체결과 내열 접착제의 주입(注入)을 병용해도 좋다. 12, a space is provided between the side surface of the spherical crown 228 and the inner surface of the crotch portion 28. For example, a flexible tube (not shown) disposed parallel to the power cable 24, (Lamp cooling) of the discharge lamp 1 during lighting by efficiently passing, for example, high-pressure air through the space between the discharge lamp 1 and the discharge lamp 1 (not shown). Bolt tightening and injection of a heat-resisting adhesive may be used in combination to prevent the bolts from being unwound when the spherical bridges 228 and 226 are engaged with the retaining portions 28 and 26.

또, 구금관(228, 226)과 구금부(28, 26)와의 결합은, 볼트 체결이 아니라, 용접 등에 의해 구금관(228, 226)과 구금부(28, 26)를 일체적으로 형성해도 좋다. It should be noted that the coupling between the spherical metal pipes 228 and 226 and the cage portions 28 and 26 may be achieved not by bolting but by integrally forming the spherical cages 228 and 226 and the cage portions 28 and 26 good.

또, 도 12의 예에서는, 구금부(26 및 28)의 양쪽 모두를 떼어낼 수 있도록 하고 있지만, 예를 들면 음극측 구금부(26)는, 구금관(226)과 일체적으로 형성해 두어도 괜찮다. In the example of Fig. 12, both of the claw portions 26 and 28 can be detached. However, for example, the cathode claw portion 26 may be formed integrally with the crown portion 226 .

또, 사용이 끝난 방전 램프(1)의 구금부(26, 28)를 재이용하지 않는 경우에는, 음극측 구금부(26) 및 양극측 구금부(28)를 각각 구금관(226 및 228)과 일체적으로 형성해 두어도 괜찮다. When the cuvette portions 26 and 28 of the used discharge lamp 1 are not to be reused, the negative electrode side cuvette portion 26 and the positive electrode side cuvette portion 28 are respectively connected to the cuvettes 226 and 228 It may be formed integrally.

위에서 설명한 바와 같이 본 실시 형태의 노광 장치(EX)는 광원 장치(30)를 구비하고 있다. 광원 장치(30)는, 발광부를 형성하기 위한 양극(EL1)(제1 전극) 및 음극(EL2)(제2 전극)이 내부에 마련된 유리관(25)(유리 부재)과, 그 발광부에 대해서 유리관(25)의 양극(EL1)측 및 음극(EL2)측에 각각 마련된 구금부(28)(제1 구금 부재) 및 구금부(26)(제2 구금 부재)를 가지는 방전 램프(1)를 발광시키기 위한 광원 장치이다. 그리고, 광원 장치(30)는, 방전 램프(1)를 보관하는 보관부(54)와, 방전 램프(1)의 구금부(26)를 착탈 가능하게 지지하는 지지 부재(33)(지지부)와, 지지 부재(33)에 지지된 방전 램프(1)의 구금부(28)에 전력 케이블(24)이 연결된 급전 블록(66)(전력을 전달하는 부재)을 착탈 가능하게 연결하는 클램프 기구(52)(연결부)와, 지지 부재(33)에 의한 구금부(26)의 지지 및 클램프 기구(52)에 의한 구금부(28)에 대한 급전 블록(66)의 연결이 해제되어 있는 상태에서, 구금부(28)를 유지하여 방전 램프(1)를 보관부(54)와 지지 부재(33)와의 사이에서 반송하는 램프 반송계(56)(반송부)를 구비하고 있다. As described above, the exposure apparatus EX of the present embodiment includes the light source device 30. [ The light source device 30 includes a glass tube 25 (glass member) in which a cathode EL1 (first electrode) and a cathode EL2 (second electrode) for forming a light emitting portion are provided, A discharge lamp 1 having a cage portion 28 (first cementing member) and a cage portion 26 (second cementing member) provided on the anode EL1 side and the cathode EL2 side of the glass tube 25 And is a light source device for emitting light. The light source device 30 includes a storage section 54 for storing the discharge lamp 1, a support member 33 (support section) for detachably supporting the chamber section 26 of the discharge lamp 1, A clamping mechanism 52 for detachably connecting a feed block 66 (a member for transmitting electric power) to which the electric power cable 24 is connected to the claw portion 28 of the discharge lamp 1 supported by the support member 33 In a state where the support of the retaining portion 26 by the support member 33 and the connection of the power supply block 66 to the retaining portion 28 by the clamping mechanism 52 are released, And a lamp conveyance system 56 (conveying section) for conveying the discharge lamp 1 between the storage section 54 and the support member 33 while holding the section 28. [

본 실시 형태의 광원 장치(30)에 의하면, 방전 램프(1)의 구금부(28)에 급전 블록(66)(전력 케이블(24)의 단부)을 착탈 가능하게 연결하는 클램프 기구(52)가 마련되어 있기 때문에, 사용이 끝난 방전 램프(1)를 지지 부재(33)로부터 취출할 때에는, 클램프 기구(52)에 의해서 구금부(28)로부터 급전 블록(66)을 떼어내고, 미사용의 방전 램프(1)를 지지 부재(33)에 장착할 때에는, 클램프 기구(52)에 의해서 구금부(28)에 급전 블록(66)을 연결함으로써, 방전 램프(1)의 교환을 효율적으로 행할 수 있다. The light source device 30 of the present embodiment has the clamp mechanism 52 for detachably connecting the feed block 66 (end portion of the electric power cable 24) to the claw portion 28 of the discharge lamp 1 When the used discharge lamp 1 is taken out from the supporting member 33, the feed block 66 is removed from the claw portion 28 by the clamping mechanism 52, and an unused discharge lamp The discharge lamp 1 can be efficiently exchanged by connecting the feed block 66 to the nipping portion 28 by the clamp mechanism 52 when mounting the discharge lamp 1 on the support member 33. [

또, 사용이 끝난 방전 램프(1)의 온도가 높은 경우에도, 방전 램프(1)의 온도가 낮아질 때까지 기다리지 않고 방전 램프(1)를 교환할 수 있기 때문에, 램프 교환 시간을 단축할 수 있다. Further, even when the temperature of the used discharge lamp 1 is high, since the discharge lamp 1 can be replaced without waiting for the temperature of the discharge lamp 1 to become low, the lamp replacement time can be shortened .

또, 광원 장치(30)의 클램프 기구(52) 및 램프 반송계(56)(교환 장치(50))는, 종래의 광원 장치(방전 램프의 음극측 구금부를 소정의 지지 부재에 의해 지지하고 있는 장치)에, 적은 개조(改造)에 의해 덧붙이는 것이 가능하다. 이 개조된 광원 장치에서 본 실시 형태의 방전 램프(1)를 사용하는 것에 의해서, 방전 램프의 교환을 효율적으로 자동적으로 행할 수 있다. The clamp mechanism 52 and the lamp return system 56 (replacement device 50) of the light source device 30 are arranged in the same manner as the conventional light source device (in which the cathode side cage portion of the discharge lamp is supported by the predetermined support member Device) can be added by a little modification. By using the discharge lamp 1 of the present embodiment in this modified light source apparatus, the discharge lamp can be exchanged automatically and efficiently.

또, 본 실시 형태의 클램프 기구(52)는, 구동 레버(69)의 단부(롤러(70))가 구금부(28)의 단자부(28a)에 접하는 작용점의 근처에 연결 핀(P51)(지점)이 마련되고, 인장 코일 스프링(68)을 마련한 위치 및 구동부(76)에 의해서 구동 레버(69)를 인입하는 위치(역점(力点))가 램프 하우스(31)(타원 거울(2)) 밖에 배치되어 있기 때문에, 넓은 스페이스를 사용하여 구금부(28)를 클램핑하기 위한 큰 힘을 용이하게 얻을 수 있다. 또, 클램프 기구(52)의 구동 유닛(72)을 램프 하우스(31)의 밖에 배치하여, 램프 하우스(31)로부터 떨어진 장소에서 클램프 기구(52)를 조작할 수 있기 때문에, 클램프 기구(52) 및 구동 유닛(72)을 종래의 광원 장치에 작은 개조에 의해 덧붙일 수 있다. The clamping mechanism 52 of the present embodiment is configured such that the connection pin P51 is provided near the point of action where the end portion (roller 70) of the drive lever 69 contacts the terminal portion 28a of the holding portion 28 And a position at which the drive lever 69 is retracted by the drive unit 76 (point of force) is provided outside the lamp house 31 (the oval mirror 2) It is possible to easily obtain a large force for clamping the holding portion 28 by using a large space. Since the clamping mechanism 52 can be operated at a position away from the lamp house 31 by disposing the drive unit 72 of the clamping mechanism 52 outside the lamp house 31, And the drive unit 72 can be added to the conventional light source device by small modification.

또, 본 실시 형태의 방전 램프(1)는, 발광부를 형성하기 위한 양극(EL1) 및 음극(EL2)이 내부에 마련된 유리관(25)(유리 부재)과, 그 발광부에 대해서 유리관(25)의 양극(EL1)측 및 음극(EL2)측에 각각 마련된 구금부(28) 및 구금부(26)를 가진다. 그리고, 구금부(28)는, 전력 케이블(24)이 연결된 급전 블록(66)(전력을 전달하는 부재)이 접촉 가능하고, 또한 급전 블록(66)과의 전기적인 접촉 저항을 작게 하기 위해서, 급전 블록(66)과 면접촉 가능한 평면부(28b, 28c)가 마련된 단자부(28a)(피연결부)와, 램프 반송계(56)(반송부)에 의해서 유지 가능한 비평면부(구멍부(h1, h2, h3))를 포함하는 피파지부(28e)(피유지부)를 가진다. The discharge lamp 1 of the present embodiment has a glass tube 25 (glass member) in which a cathode EL1 and a cathode EL2 for forming a light emitting portion are provided and a glass tube 25 for the light emitting portion, And a holding portion 28 and a holding portion 26 provided on the anode EL1 side and the cathode EL2 side, respectively. In order to reduce the electrical contact resistance with the feed block 66, the feed block 66 (power transmitting member) to which the power cable 24 is connected can be brought into contact with the housing portion 28, The terminal portion 28a (connected portion) provided with the planar portions 28b and 28c that are in surface contact with the power supply block 66 and the non-planar portion (the holes h1 and h2) that can be held by the ramp carrier system 56 h2, h3)) (subject to be held).

이 방전 램프(1)에 의하면, 본 실시 형태의 광원 장치(30)에 사용한 경우, 클램프 기구(52)(연결부)에 의해서 전력 케이블(24)에 연결된 급전 블록(66)을 그 단자부(28a)에 용이하게 면접촉시킬 수 있음과 아울러, 램프 반송계(56)에 의해서 그 피파지부(28e)를 유지하여 방전 램프(1)를 효율적으로 반송할 수 있다. According to the discharge lamp 1, when used in the light source device 30 of the present embodiment, the power supply block 66 connected to the power cable 24 is connected to the terminal portion 28a by the clamp mechanism 52 (connection portion) So that the discharge lamp 1 can be efficiently transported by holding the pedestal portion 28e by means of the lamp conveyance system 56. Further,

또, 피파지부(28e)에는, 예를 들면 클로부(86)의 핀(86a)을 끼워넣을 수 있는 구멍부(h1, h2, h3)를 포함하는 비평면부가 마련되어 있기 때문에, 방전 램프(1)를 안전하게 반송할 수 있다. 또, 피파지부(28e)에는, 비평면부를 마련하는 대신에, 예를 들면 하부로 갈수록 단면적이 작은 경사부를 마련해 두어도 괜찮다. 이 경사부를 클로부(86)에 의해 파지하는 것에 의해서도, 방전 램프(1)를 안전하게 반송할 수 있다. Since the non-planar surface portion including the holes h1, h2 and h3 capable of fitting the pin 86a of the claw portion 86 is provided in the finger grip 28e, the discharge lamp 1 ) Can be safely transported. Instead of providing the non-planar surface portion, for example, an inclined portion having a smaller sectional area toward the lower portion may be provided in the finger grip portion 28e. The discharge lamp 1 can be safely transported by gripping the inclined portion with the claw portion 86. [

또, 본 실시 형태의 노광 장치(EX)는, 상기의 광원 장치(30)와, 광원 장치(30)의 방전 램프(1)로부터 발생하는 광(노광광(IL))에 의해 마스크(M)를 조명하는 조명 광학계(13)(조명계)와, 노광광(IL)의 아래에서 마스크(M)의 패턴의 상(像)을 플레이트(P)(기판)에 투영하는 투영 광학계(PL)를 구비하고 있다. 노광 장치(EX)에 의하면, 방전 램프(1)의 교환 시간을 단축할 수 있기 때문에, 노광 공정의 스루풋(throughtput)을 향상시킬 수 있다. The exposure apparatus EX of the present embodiment is characterized in that the light source device 30 and the mask M are formed by light (exposure light IL) generated from the discharge lamp 1 of the light source device 30. [ And a projection optical system PL for projecting an image of the pattern of the mask M onto the plate P (substrate) under the exposure light IL . According to the exposure apparatus EX, since the replacement time of the discharge lamp 1 can be shortened, the throughput of the exposure process can be improved.

또, 본 실시 형태의 방전 램프의 교환 방법은, 도 32의 (A)의 플로우차트에서 나타내는 바와 같이, 클램프 기구(52)에 의해서, 방전 램프(1)의 양극측 구금부(28)의 단자부(28a)(피연결부)에 면접촉하고 있음과 아울러 전력 케이블(24)이 연결된 급전 블록(66)을, 단자부(28a)로부터 이탈시키는 스텝 202와, 구동 유닛(34)에 의해서 방전 램프(1)의 음극측 구금부(26)를 지지 부재(33)로부터 이탈 가능하게 하는(구금부(26)의 클램프를 해제하는) 스텝 204와, 램프 반송계(56)에 의해서 방전 램프(1)의 구금부(28)의 비평면부를 포함하는 피파지부(28e)(피유지부)를 유지하여 방전 램프(1)를 보관부(54)로 반송하는 스텝 206을 포함하고 있다.As shown in the flowchart of Fig. 32 (A), the clamping mechanism 52 of the discharge lamp replacing method of the present embodiment is arranged so that the terminal portion of the positive electrode side holding portion 28 of the discharge lamp 1 A step 202 for releasing the power supply block 66 connected to the power cable 24 from the terminal portion 28a while being in surface contact with the discharge lamp 28a (connected portion) Of the discharge lamp 1 by the lamp return system 56 in such a manner that the cathode side claw 26 of the discharge lamp 1 is released from the support member 33 (releasing the clamp of the cage 26) And a step 206 of holding the plasma discharge section 28e (to-be-held section) including the non-planar surface portion of the cage section 28 and conveying the discharge lamp 1 to the storage section 54. [

이 교환 방법에 의하면, 방전 램프(1)의 반출을 효율적으로 행할 수 있다. According to this exchange method, the discharging of the discharge lamp 1 can be performed efficiently.

또, 그 교환 방법은, 램프 반송계(56)에 의해서, 보관부(54)에 있는 미사용의 방전 램프(1N)의 구금부(28)의 피파지부(28e)를 유지하고, 방전 램프(1N)의 구금부(26)가 지지 부재(33)에 의해서 지지 가능한 위치까지, 방전 램프(1N)를 반송하는 스텝 208과, 구동 유닛(34)에 의해서 방전 램프(210)의 구금부(26)를 지지 부재(33)에 클램핑하는 스텝 210과, 클램프 기구(52)에 의해서, 방전 램프(1N)의 구금부(28)의 단자부(28a)에, 전력 케이블(24)이 연결된 급전 블록(66)을 면접촉시키는(급전 블록(66)을 이용하여 구금부(28)를 클램핑하는) 스텝 212를 포함하고 있다. 이것에 의해서, 미사용의 방전 램프(1N)의 지지 부재(33)에의 설치를 효율적으로 행할 수 있다. The replacing method is such that the lamp carrier system 56 holds the to-be-crushed portion 28e of the nipping portion 28 of the unused discharge lamp 1N in the storage portion 54 and the discharge lamp 1N A step 208 of conveying the discharge lamp 1N to a position where the cage 26 of the discharge lamp 210 can be supported by the support member 33; A power supply block 66 connected to the power cable 24 is connected to the terminal portion 28a of the nipping portion 28 of the discharge lamp 1N by the clamp mechanism 52, (The clamping portion 28 is clamped by using the power supply block 66). This makes it possible to efficiently install the unused discharge lamp 1N on the supporting member 33. [

또, 본 실시 형태의 방전 램프(1)의 점등 방법은, 방전 램프(1N)의 양극측 구금부(28)의 단자부(28a)(피연결부)에 전력 케이블(24)이 연결된 급전 블록(66)을 면접촉시키는 스텝 212와, 방전 램프(1N)의 구금부(26)를 전력이 공급 가능한 지지 부재(33)에 의해 지지하는 스텝 210과, 전력 케이블(24) 및 지지 부재(33)를 매개로 하여 방전 램프(1N)에 전력을 공급하여 방전 램프(1N)를 점등하는 스텝 214를 포함한다. 이 점등 방법에 의하면, 단자부(28a)와 급전 블록(66)이 면접촉하고 있기 때문에, 작은 전력 로스로 방전 램프(1)를 점등할 수 있다. 그 후, 스텝 214에서 그 방전 램프(1)로부터의 광을 이용하여 노광 장치(EX)에 의해서 노광이 행하여진다. The lighting method of the discharge lamp 1 according to the present embodiment is characterized in that the power supply block 66 connected with the power cable 24 is connected to the terminal portion 28a (connected portion) of the positive electrode side holding portion 28 of the discharge lamp 1N A step 210 of supporting the power cable 24 and the supporting member 33 by face contact with each other by a supporting member 33 capable of supplying electric power; And a step 214 of supplying electric power to the discharge lamp 1N to light the discharge lamp 1N via the medium. According to this lighting method, since the terminal portion 28a and the power supply block 66 are in surface contact with each other, the discharge lamp 1 can be lighted with a small power loss. Thereafter, in step 214, exposure is performed by the exposure apparatus EX using the light from the discharge lamp 1.

또, 위에서 설명한 실시 형태에서는 이하와 같은 변형이 가능하다. In the above-described embodiment, the following modifications are possible.

먼저, 위에서 설명한 실시 형태에서는, 급전 블록(66)에 전력 케이블(24)을 이용하여 전력을 공급하고 있지만, 급전 블록(66)(방전 램프(1))에 전력을 공급하는 방법으로서는, 전력 케이블(24)을 이용하지 않고, 기준 레버(67) 및 급전 블록(66)을 사용하여(도통(道通)하여) 행해도 좋다. 또, 급전 블록(66)에는, 전력 뿐만 아니라, 구금부(28)의 냉각용 압축 공기도 방전 램프(1)에 공급할 수 있도록 해도 좋다. First, in the above-described embodiment, electric power is supplied to the power supply block 66 by using the power cable 24. As a method of supplying electric power to the power supply block 66 (discharge lamp 1) (By conduction) by using the reference lever 67 and the power supply block 66 without using the power supply 24. The power supply block 66 may be capable of supplying not only the power but also the compressed air for cooling the crotch portion 28 to the discharge lamp 1. [

또, 위에서 설명한 실시 형태의 급전 블록(66)의 클램프 기구(52)는, 도 7의 (A)에 나타내는 바와 같이, 방전 램프(1)에 클램프 기구 구동 유닛(72)으로부터 힘이 작용하는 것을 방지하기 위해서, 방전 램프(1)의 반경 방향(D1)에 기준 레버(67)를 미동할 수 있도록 리니어 가이드(71H)를 구비하고 있었다. 이것에 대해서, 도 13의 (A) 및 (B)의 변형예의 클램프 기구(52A)로 나타내는 바와 같이, 기준 레버(67)의 선단부에, 급전 블록(66)과 평행하게 Z방향으로 신장시킴과 아울러 하단부에 급전 블록(66)을 지지할 수 있는 돌기부가 있는 L자형의 가이드 부재(71S)를 고정하며, 이 가이드 부재(71S)와 급전 블록(66)과의 사이에, 급전 블록(66)을 가이드 부재(71S)에 대해서 화살표 A10로 나타내는 바와 같이 Z방향으로 미동 가능하게 하기 위한 리니어 가이드(71V)를 마련해도 좋다. 7 (A), the clamp mechanism 52 of the power supply block 66 of the embodiment described above is configured such that a force acts on the discharge lamp 1 from the clamp mechanism drive unit 72 The linear guide 71H is provided in the radial direction D1 of the discharge lamp 1 so that the reference lever 67 can be moved. On the other hand, as shown by the clamping mechanism 52A of the modified example of FIGS. 13A and 13B, in the tip portion of the reference lever 67, in the Z direction parallel to the feed block 66 An L-shaped guide member 71S having a protruding portion capable of supporting the power supply block 66 is fixed to a lower end portion of the power supply block 66. A power supply block 66 is interposed between the guide member 71S and the power supply block 66, May be provided on the guide member 71S so as to be movable in the Z direction as indicated by an arrow A10.

이 변형예의 클램프 기구(52A)에 의하면, 예를 들면 방전 램프(1)의 사용중에 방전 램프(1)가 열팽창했을 때에는, 방전 램프(1)의 구금부(28)가 급전 블록(66)과 일체적으로 리니어 가이드(71V)를 매개로 하여 가이드 부재(71S)에 대해서 ＋Z방향으로 변위할 수 있기 때문에, 방전 램프(1)에 작용하는 응력을 감소시킬 수 있다. 이 때문에, 광원 장치(30)로부터 공급하는 광속의 출력을 보다 안정화할 수 있다. According to the clamping mechanism 52A of this modified example, when the discharge lamp 1 is thermally expanded during use of the discharge lamp 1, for example, the claw portion 28 of the discharge lamp 1 is connected to the power supply block 66 It is possible to integrally displace in the + Z direction with respect to the guide member 71S via the linear guide 71V, so that the stress acting on the discharge lamp 1 can be reduced. Therefore, the output of the light flux supplied from the light source device 30 can be further stabilized.

또, 방전 램프(1)의 구금부(28)의 단자부(28a)와 급전 블록(66)과의 접촉을 확실히 행하여 접촉 저항을 줄이기 위해서, 예를 들면 급전 블록(66)의 V자형의 홈부(66a)(도 5 참조)의 표면(접촉면)에 복수의 요철의 패턴(이른바 컨택트)을 마련해도 좋다. 이것에 의해서, 이른바 접점 추종에 의해서, 방전 램프(1)의 교환을 반복하여 V자형의 홈부(66a)의 표면이 마모해도, 구금부(28)와 급전 블록(66)과의 사이의 전기적인 접촉이 확실히 계속하여 행하여진다. In order to securely contact the terminal portion 28a of the housing portion 28 of the discharge lamp 1 and the power supply block 66 and reduce the contact resistance, for example, a V-shaped groove portion (not shown) of the power supply block 66 A plurality of uneven patterns (so-called contacts) may be provided on the surface (contact surface) of the electrodes 66a and 66a (see FIG. 5). Thereby, even if the surface of the V-shaped groove portion 66a is repeatedly worn by repeating the replacement of the discharge lamp 1 by so-called contact following, the electrical connection between the claw portion 28 and the power supply block 66 The contact is surely continued.

또, 도 7의 (A)의 클램프 기구 구동 유닛(72)은, 클램프 기구(52)의 기준 레버(67) 및 구동 레버(69)를 상하(Z방향)로 개폐하도록 구성했지만, 좌우(방전 램프(1)의 길이 방향에 수직인 방향)로 개폐하도록 해도 상관없다. 그렇게 하는 것에 의해서, 클램프 기구(52)는, 구동부(77)에 의해 클램프 기구(52)를 X방향으로 이동시킬 때에, 구동 레버(69)의 선단부의 롤러(70)를 구금부(28)보다 높은 위치까지 퇴피시킬 필요가 없게 된다. 즉, 클램프 기구(52)의 개폐 동작만에 의해, 방전 램프(1)의 상부에 클램프 기구(52)의 구성 부재가 없게 되기 때문에, 방전 램프(1)를 Z방향으로 반송할 수 있게 된다. The clamp mechanism drive unit 72 of Fig. 7A is configured to open and close the reference lever 67 and the drive lever 69 of the clamp mechanism 52 up and down (Z direction) Or in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the lamp 1). The clamping mechanism 52 moves the roller 70 at the distal end of the drive lever 69 toward the crotch portion 28 when the clamping mechanism 52 is moved in the X direction by the drive portion 77 It is not necessary to retract to a high position. That is, since the constituent members of the clamp mechanism 52 are not provided on the discharge lamp 1 only by the opening / closing operation of the clamp mechanism 52, the discharge lamp 1 can be transported in the Z direction.

또, 위에서 설명한 실시 형태 및 그 변형예에서는, 방전 램프(1)의 음극측 구금부(26)의 구동 유닛(34)와 도 13의 (B)에 나타내는 구금부(28)의 클램프 기구(52A)의 클램프 기구 구동 유닛(72)은 서로 독립하여 구동부를 구비하고 있다. 이것에 대해서, 도 14의 (A)에 나타내는 변형예와 같이, 구동부를 공통화해도 괜찮다. The driving unit 34 of the negative electrode side claw portion 26 of the discharge lamp 1 and the clamping mechanism 52A of the claw portion 28 shown in Fig. Clamp mechanism driving unit 72 is provided with a driving unit independently of each other. On the other hand, as in the modification shown in Fig. 14A, the driver may be used in common.

도 14의 (A)에서, 클램프 기구(52A)의 구동 레버(69)의 ＋X방향의 선단부에는 구동부(76) 대신에 와이어 로프(89D)의 일단부가 고정되어 있고, 와이어 로프(89D)의 타단부는, 지지 부재(65)의 하부에 Y축에 평행한 축 둘레로 회전 가능하게 지지된 풀리(pulley)(89C)를 매개로 하여 ＋X방향으로 연장되어 있다. 와이어 로프(89D)의 타단부는 리니어 액추에이터(76)의 가동 로드(89A)의 선단에 원기둥 모양의 장착 부재(89B)를 매개로 하여 고정되어 있다. 리니어 액추에이터(76)는, 베이스 테이블(62)의 상면에 고정되어 있고, 가동 로드(89A)를 베이스 테이블(62)의 가이드 부재(61)(도 4의 (B) 참조)를 따른 X방향으로 구동시킬 수 있다. 14A, one end of a wire rope 89D is fixed to the distal end portion of the drive lever 69 of the clamp mechanism 52A in the + X direction instead of the drive portion 76, The end portion extends in the + X direction via a pulley 89C rotatably supported around an axis parallel to the Y axis at the lower portion of the support member 65. [ The other end of the wire rope 89D is fixed to the distal end of the movable rod 89A of the linear actuator 76 via a cylindrical mounting member 89B. The linear actuator 76 is fixed to the upper surface of the base table 62 and moves the movable rod 89A in the X direction along the guide member 61 (see FIG. 4 (B)) of the base table 62 Can be driven.

지지 부재(65)가 고정되어 있는 가동 테이블(75A)은, 슬라이더(74)를 매개로 하여 가이드 부재(73)의 상면에 X방향으로 이동 가능하게 재치되어 있다. 가동 테이블(75A)의 ＋X방향의 단부에는, X방향으로 긴 긴 구멍(75Aa)이 마련되어 있고, 긴 구멍(75Aa) 내에 장착 부재(89B)의 일부가 삽입되어 있다. 또, 가동 테이블(75A)의 -X방향의 단부에는, -X방향의 선단에 롤러(89F)를 구비하는 편(片)지지의 로드(89G)가 -X방향으로 연장하여 장착되어 있다. 또, 가동 테이블(75A)에는, 베이스 테이블(62)의 -X방향의 단부로부터 인장 코일 스프링(89E)에 의해, -X방향을 향하는 가압력이 부여되고 있고, 가동 테이블(75)은, 도 14의 (A)의 위치에서 스토퍼(미도시)에 -X방향으로 밀어 붙여져 정지(靜止)하고 있다. 그리고, 인장 코일 스프링(89E)은, 클램프 기구(52A)의 구동 레버(69)를 구동하기 위한 인장 코일 스프링(68)보다도 장력이 크게 설정되어 있다. The movable table 75A to which the support member 65 is fixed is placed on the upper surface of the guide member 73 via the slider 74 so as to be movable in the X direction. An end portion of the movable table 75A in the + X direction is provided with an elongated hole 75Aa in the X direction and a part of the mounting member 89B is inserted into the elongated hole 75Aa. A rod 89G supporting a piece having a roller 89F at the tip end in the -X direction is attached to the end in the -X direction of the movable table 75A so as to extend in the -X direction. The movable table 75 is provided with a pressing force directed toward the -X direction by the tension coil spring 89E from the end in the -X direction of the base table 62, (Not shown) in the -X direction at the position (A) of FIG. The tensile coil spring 89E has a greater tension than the tension coil spring 68 for driving the drive lever 69 of the clamp mechanism 52A.

게다가, 방전 램프(1)의 음극측 구금부(26)의 고정부(26h)에 コ자형의 레버(38A)의 일방의 단부(38Aa)가 접촉하고, 이 단부(38Aa)는 지지 부재(33) 내에 일단이 고정된 인장 코일 스프링(39)에 의해서 고정부(26h)측으로 가압되어 있다. 레버(38A) 및 인장 코일 스프링(39)을 포함하여 구금부(26)의 클램프 기구(34A)가 구성되어 있다. 방전 램프(1)를 지지 부재(33)에 고정하고 있는 상태에서는, 로드(89G)의 선단의 롤러(89F)는, 레버(38A)의 단부(38Aa)와 타방의 단부(38Ab)와의 사이에 위치하고 있다. 와이어 로프(89D), 풀리(89C), 리니어 액추에이터(76L), 가동 테이블(75A), 인장 코일 스프링(89E), 및 로드(89A) 등을 포함하여, 클램프 기구(52A 및 34A)를 구동하는 구동 유닛(72A)이 구성되어 있다. One end portion 38Aa of the U-shaped lever 38A is brought into contact with the fixing portion 26h of the negative electrode side retaining portion 26 of the discharge lamp 1 and the end portion 38Aa is in contact with the support member 33 And is urged toward the fixing portion 26h by a tension coil spring 39 whose one end is fixed. The clamp mechanism 34A of the claw portion 26 including the lever 38A and the tension coil spring 39 is constituted. The roller 89F at the tip of the rod 89G is positioned between the end 38Aa of the lever 38A and the end 38Ab of the rod 89G in the state where the discharge lamp 1 is fixed to the support member 33 Is located. The clamp mechanisms 52A and 34A including the wire rope 89D, the pulley 89C, the linear actuator 76L, the movable table 75A, the tension coil spring 89E and the rod 89A, And a drive unit 72A is constituted.

다음으로, 구동 유닛(72A)의 동작에 대해 설명한다. 도 14의 (A)는, 도 6의 (B)에 나타내는 바와 같이, 인출 구동 유닛(60)에 의해서 방전 램프(1)를 지지하는 지지 부재(33)가 램프 하우스(31) 밖으로 인출된 상태를 나타낸다. 이 상태에서는, 리니어 액추에이터(76L)의 가동 로드(89A)의 선단의 장착 부재(89B)는, 긴 구멍(75Aa) 내의 가동 범위의 -X방향의 단부 부근에 위치하고 있다. 다음으로, 리니어 액추에이터(76L)의 가동 로드(89A)를 ＋X방향으로 구동하면, 풀리(89C)를 매개로 하여 와이어 로프(89D)가 하부로 당겨져, 도 14의 (B)에 나타내는 바와 같이, 클램프 기구(52A)의 구동 레버(69)의 ＋X방향의 단부가 내려져, 급전 블록(66) 및 롤러(70)에 의한 구금부(28)의 클램프가 해제된다. Next, the operation of the drive unit 72A will be described. 14A shows a state in which the support member 33 for supporting the discharge lamp 1 by the drawing drive unit 60 is drawn out from the lamp house 31 as shown in Fig.6B, . In this state, the mounting member 89B at the tip of the movable rod 89A of the linear actuator 76L is located near the end in the -X direction of the movable range in the long hole 75Aa. Next, when the movable rod 89A of the linear actuator 76L is driven in the + X direction, the wire rope 89D is pulled downward via the pulley 89C, and as shown in Fig. 14B, The end in the + X direction of the drive lever 69 of the clamp mechanism 52A is lowered and the clamp of the cage portion 28 by the feed block 66 and the roller 70 is released.

게다가, 리니어 액추에이터(76L)의 가동 로드(89A)를 ＋X방향으로 구동하면, 가동 로드(89A)의 선단의 장착 부재(89B)가 긴 구멍(75Aa)의 ＋X방향측의 내면에 접촉하여, 와이어 로프(89D)는 그것 이상 당겨지지 않지만, 그 대신에 장착 부재(89B)는, 가동 테이블(75A)을 당기면서 ＋X방향으로의 이동을 계속한다. 그 결과, 가동 테이블(75A) 상에 있는 클램프 기구(52A) 및 지지 부재(65)가 전체로서 ＋X방향으로 이동하고, 방전 램프(1)의 상부로부터 클램프 기구(52A)가 퇴피한다. 또, 가동 테이블(75A)의 ＋X방향으로의 퇴피의 도중(途中), 혹은 퇴피의 최후에, 도 15에 나타내는 바와 같이, 가동 테이블(75A)에 장착된 로드(89G)의 선단의 롤러(89F)가, 음극측의 클램프 기구(34A)의 레버(38A)의 타방의 단부(38Ab)에 접촉하여, 레버(38A)를 회전시켜, 음극측 구금부(26)의 지지 부재(33)에 대한 클램프를 해제한다. Further, when the movable rod 89A of the linear actuator 76L is driven in the + X direction, the mounting member 89B at the tip of the movable rod 89A comes into contact with the inner surface on the + X direction side of the long hole 75Aa, The rope 89D is not pulled more than that, but instead the mounting member 89B continues to move in the + X direction while pulling the movable table 75A. As a result, the clamping mechanism 52A and the supporting member 65 on the movable table 75A move as a whole in the + X direction, and the clamping mechanism 52A is retracted from the upper portion of the discharge lamp 1. [ 15, a roller 89F at the front end of a rod 89G mounted on the movable table 75A, as shown in Fig. 15, is moved halfway (in the middle) of the retraction of the movable table 75A in the + X direction, Of the clamping mechanism 34A of the clamping mechanism 34A on the other side of the lever 38A rotates the lever 38A to rotate the lever 38A against the support member 33 of the negative electrode- Release the clamp.

그 후, 도 10의 (B)에 나타내는 바와 같이, 램프 반송계(56)에 의해서 방전 램프(1)의 교환이 행하여진다. 방전 램프(1)가 교환된 다음은, 위에서 설명한 동작과 반대의 동작에 의해서 음극측 구금부(26)가 클램핑되고, 가동 테이블(75A)의 -X방향으로의 이동에 의해, 클램프 기구(52A)의 급전 블록(66)이 방전 램프(1)의 구금부(28)에 접촉하고, 다음으로 구동 레버(69)의 단부가 상승하여 다시 롤러(70) 및 급전 블록(66)에 의해서 구금부(28)를 클램핑한다. 　Thereafter, as shown in Fig. 10 (B), the discharge lamp 1 is exchanged by the lamp return system 56. Fig. After the discharge lamp 1 has been exchanged, the cathode side claw portion 26 is clamped by the opposite operation to the above-described operation, and the movement of the movable table 75A in the -X direction causes the clamp mechanism 52A Of the power supply block 66 contacts the claw 28 of the discharge lamp 1 and then the end of the drive lever 69 rises and the roller 70 and feed block 66 again move the claw (28).

이와 같이 구동 유닛(72A)을 이용하는 것에 의해서, 1개의 리니어 액추에이터(76L)(구동부)를 이용하여, 클램프 기구(52A)의 해제 및 퇴피, 및 클램프 기구(34A)의 해제, 및 이들 동작과 반대의 동작을 행하게 하는 것이 가능하다. 즉, 3개의 동작을 1개의 액추에이터에 의해 제어하고 있기 때문에, 제조 코스트를 저감할 수 있다. 또, 액추에이터의 수는 예를 들면 2개로 해도 괜찮다. By using the drive unit 72A as described above, the release and retraction of the clamp mechanism 52A and the release of the clamp mechanism 34A are performed by using one linear actuator 76L (drive unit) It is possible to perform the operation of FIG. That is, since three operations are controlled by one actuator, the manufacturing cost can be reduced. The number of actuators may be two, for example.

위에서 설명한 설명에서는, 클램프 기구(52A)의 구동 레버(69)를 당기는 힘이 가동 테이블(75A)을 ＋X방향으로 슬라이드시키는 힘보다도 약하게 설정해 두었기 때문에, 구동 레버(69)를 끝까지 당길 때까지, 가동 테이블(75A)이 ＋X방향으로 이동하지 않도록 되어 있었다. 그렇지만, 상기와 같은 일련의 움직임이 가능한 구성이면, 어떤 기구를 사용해도 좋다. The force for pulling the drive lever 69 of the clamp mechanism 52A is set to be weaker than the force for sliding the movable table 75A in the + X direction. Therefore, until the drive lever 69 is pulled to the end, The movable table 75A is prevented from moving in the + X direction. However, any mechanism may be used as long as the above-described series of motions is possible.

[제2 실시 형태][Second Embodiment]

제2 실시 형태에 대해 도 16~도 18을 참조하여 설명한다. 본 실시 형태의 광원 장치도 도 1의 노광 장치(EX)의 조명 광학계(13)에 노광용 조명광을 공급하기 위해서 사용된다. 위에서 설명한 제1 실시 형태에서는, 방전 램프(1)의 양극측 구금부(28)용 클램프 기구를 구동하는 구동 유닛(72)은, 인출 구동 유닛(60)의 가동 테이블(75)에 의해 지지하고 있지만, 본 실시 형태에서는 그 구동 유닛을 램프 하우스 내에 마련한다. 또, 도 16~도 18에서 도 4의 (A), (B)에 대응하는 부분에는 동일한 부호를 부여하여 그 상세한 설명을 생략한다. The second embodiment will be described with reference to Figs. 16 to 18. Fig. The light source device of the present embodiment is also used to supply illumination light for exposure to the illumination optical system 13 of the exposure apparatus EX in Fig. In the first embodiment described above, the drive unit 72 for driving the clamping mechanism for the positive electrode side holding portion 28 of the discharge lamp 1 is supported by the movable table 75 of the take-out drive unit 60 However, in this embodiment, the drive unit is provided in the lamp house. In Figs. 16 to 18, the same reference numerals are given to the portions corresponding to Figs. 4A and 4B, and a detailed description thereof will be omitted.

도 16은, 본 실시 형태에 관한 광원 장치(30A)를 나타낸다. 광원 장치(30A)는, 방전 램프(1)의 양극측 구금부(28)를 클램핑하는 클램프 기구(52B), 클램프 기구(52B)를 구동하는 구동 유닛(72B), 방전 램프(1)의 보관부(54), 및 램프 반송계(56A)를 구비하고 있다. 도 16에서, 램프 하우스(31)의 하부 하우징(31A) 내의 -X방향의 단부에, 지지대(75C)를 매개로 하여 평판 모양의 베이스 부재(75B)가 고정되고, 베이스 부재(75B)의 상면에 구동부(76)를 매개로 하여 구동 레버(69)의 일방의 단부가 지지되고, 지지대(75C)의 상면에 지지 부재(65)를 매개로 하여 기준 레버(67A)의 일방의 단부가 지지되며, 기준 레버(67A)의 타방의 단부의 선단에 급전 블록(66)이 고정되고, 구동 레버(69)의 타방의 단부의 선단에 롤러(70)가 장착되며, 상부 하우징(31B)의 저부와 구동 레버(69)와의 사이에, 구동 레버(69)의 -X방향의 단부를 당겨올리는 인장 코일 스프링(68)이 장착되어 있다. 또, 지지 부재(65)의 상면과 기준 레버(67A)의 -X방향의 단부와의 사이에는, 기준 레버(67A)를 -X방향으로 미동 가능하게 지지하는 리니어 가이드(71H)(도 16에서는 미도시. 도 7의 (A) 참조)가 배치되어 있다. Fig. 16 shows a light source device 30A according to the present embodiment. The light source device 30A includes a clamp mechanism 52B for clamping the positive electrode side holding portion 28 of the discharge lamp 1, a drive unit 72B for driving the clamp mechanism 52B, A part 54, and a lamp return system 56A. 16, a plate-shaped base member 75B is fixed to the end in the -X direction of the lower housing 31A of the lamp house 31 via a support base 75C, One end of the drive lever 69 is supported by the drive unit 76 via the drive unit 76 and one end of the reference lever 67A is supported on the upper surface of the support base 75C via the support member 65 The power supply block 66 is fixed to the tip end of the other end of the reference lever 67A and the roller 70 is mounted on the tip end of the other end of the drive lever 69 and the bottom portion of the upper housing 31B A tension coil spring 68 for pulling up the end in the -X direction of the drive lever 69 is mounted between the drive lever 69 and the drive lever 69. A linear guide 71H (refer to FIG. 16) is provided between the upper surface of the support member 65 and the end of the reference lever 67A in the -X direction so as to support the reference lever 67A in the- (Not shown) (see Fig. 7 (A)).

본 실시 형태에서는, 방전 램프(1)가, 도 2의 (A)의 경우에 대해서 180도 회전한 각도로 지지 부재(33)에 지지되어 있다. 그리고, 급전 블록(66)은 방전 램프(1)의 양극측 구금부(28)의 단자부(28a)의 -X방향측의 평면부(28b, 28c)(도 2의 (B) 참조)에 접촉하고, 구동부(76)의 힘을 느슨하게 함으로써, 구동 레버(69)가 인장 코일 스프링(68)의 힘에 의해서 시계 방향으로 회전하여, 구동 레버(69)의 선단의 롤러(70)가 단자부(28a)의 배면을 -X방향으로 가압함으로써, 급전 블록(66)과 롤러(70)과의 사이에 단자부(28a)가 클램핑된다. 기준 레버(67A), 구동 레버(69), 및 롤러(70)를 포함하여 클램프 기구(52B)가 구성되고, 구동부(76), 지지 부재(65), 및 인장 코일 스프링(68)을 포함하여, 클램프 기구(52B)용 구동 유닛(72B)이 구성되어 있다. In the present embodiment, the discharge lamp 1 is supported on the support member 33 at an angle rotated by 180 degrees with respect to the case of Fig. 2A. The power supply block 66 is brought into contact with the flat portions 28b and 28c (see Fig. 2 (B)) on the -X direction side of the terminal portion 28a of the positive electrode side claw portion 28 of the discharge lamp 1 The driving lever 69 is rotated in the clockwise direction by the force of the tension coil spring 68 so that the roller 70 at the front end of the driving lever 69 is rotated by the terminal portion 28a Is pressed in the -X direction, the terminal portion 28a is clamped between the power supply block 66 and the roller 70. As shown in Fig. A clamping mechanism 52B including a reference lever 67A, a drive lever 69 and a roller 70 is constituted and includes a drive unit 76, a support member 65 and a tension coil spring 68 And a drive unit 72B for the clamp mechanism 52B.

또, 베이스 부재(75B)의 상면에 중계 부재(64A)가 고정되고, 급전 블록(66)에 일단이 연결된 전력 케이블(24)의 타단이 중계 부재(64A)의 상부에 연결되며, 지지 부재(33)에 일단이 연결된 가요성을 가져 길이에 여유가 있는 전력 케이블(미도시)의 타단이 중계 부재(64A)의 하부에 연결되고, 전력 케이블(24) 등은 연장 케이블(미도시)을 매개로 하여 전원부(미도시)에 접속되어 있다. 게다가, 하부 하우징(31A) 내에서 방전 램프(1)의 상부에 있는 차광 부재(42A)에는, ＋X방향의 단부에 방전 램프(1)를 통과시키는 개구(미도시)가 마련되고, -X방향의 단부에 클램프 기구(52B)를 배치하기 위한 개구(미도시)가 마련되어 있다. 또, 방전 램프(1)의 음극측 구금부(26)를 지지 부재(33)에 클램핑하는 구동 유닛(34)(도 4의 (B) 참조)은 제1 실시 형태와 동일하기 때문에, 도 16 등에서는, 그 구동 유닛(34)의 도시를 생략한다. The other end of the power cable 24 to which the relay member 64A is fixed on the upper surface of the base member 75B and the other end of which is connected to the power supply block 66 is connected to the upper portion of the relay member 64A, The other end of the power cable (not shown) having flexibility at one end is connected to the lower portion of the relay member 64A and the power cable 24 or the like is connected to an extension cable And is connected to a power source (not shown). In addition, an opening (not shown) for passing the discharge lamp 1 is provided at the end in the + X direction in the light shielding member 42A on the upper portion of the discharge lamp 1 in the lower housing 31A, (Not shown) for arranging the clamping mechanism 52B at the end of the clamping mechanism 52B. Since the drive unit 34 (see Fig. 4 (B)) for clamping the negative electrode side retaining portion 26 of the discharge lamp 1 to the support member 33 is the same as that of the first embodiment, The illustration of the drive unit 34 is omitted.

또, 교환 장치(50A)의 케이싱(51) 내에, 가이드 부재(61), 베이스 테이블(62A), 베이스 테이블(62A)의 Z방향으로 돌출된 선단부(62Aa)와 인출부(36)를 연결하는 연결 부재(43), 및 구동부(63)를 포함하는 인출 구동 유닛(60A)이 설치되어 있다. 게다가, 케이싱(51) 내에, 저면에 설치된 가늘고 긴 지지 부재(90A)와, 지지 부재(90A)의 상단에 고정된 X방향으로 긴 X축 가이드 부재(90B)와, X축 가이드 부재(90B)에 X방향으로 이동 가능하게 지지되는 X축 구동 기구(90X)와, X축 구동 기구(90X)에 지지되는 Z축 구동 기구(84)와, Z축 구동 기구(84)의 하단에 마련된 파지 클로 개폐 기구(85)와, 파지 클로 개폐 기구(85)에 마련된 복수의 클로부(86)를 포함하는 램프 반송계(56A)가 설치되어 있다. 케이싱(51) 내에는 방전 램프(1)의 보관부(54)도 설치되어 있다. 인출 구동 유닛(60A), 램프 반송계(56A), 및 보관부(54)를 포함하여 교환 장치(50A)가 구성되어 있다. 이 외의 구성은 도 4의 (B)의 광원 장치와 동일하다. The guide member 61, the base table 62A and the leading end portion 62Aa projecting in the Z direction of the base table 62A and the lead portion 36 are connected to each other in the casing 51 of the exchange device 50A A connecting member 43, and a driving unit 63 are provided. The X-axis guide member 90B and the X-axis guide member 90B are fixed to the upper end of the support member 90A. The X-axis guide member 90B and the X- A Z-axis driving mechanism 84 supported by the X-axis driving mechanism 90X and a Z-axis driving mechanism 84 which is supported by the Z-axis driving mechanism 84 so as to be movable in the X- A ramp carrier system 56A including a plurality of claw portions 86 provided in an opening and closing mechanism 85 and a claw opening and closing mechanism 85 is provided. A storage portion 54 of the discharge lamp 1 is also provided in the casing 51. The exchange device 50A is configured including the draw-out drive unit 60A, the lamp conveyance system 56A, and the storage unit 54. [ The other configuration is the same as that of the light source device of Fig. 4 (B).

본 실시 형태에서, 방전 램프(1)를 교환하는 경우에는, 먼저, 도 17에 나타내는 바와 같이, 구동 유닛(72B)의 구동부(76)에 의해서 화살표 A21로 나타내는 방향으로 클램프 기구(52B)의 구동 레버(69)의 단부를 끌어 내려, 구동 레버(69)의 선단부의 롤러(70)를 양극측 구금부(28)로부터 분리시킨다. 그 후, 인출 구동 유닛(60A)이 인출부(36)를 ＋X방향으로 케이싱(51) 내의 소정의 위치까지 인출한다. 다음으로, 화살표 A23으로 나타내는 바와 같이, 램프 반송계(56A)의 파지 클로 개폐 기구(85) 및 클로부(86)가 -Z방향으로 강하하여 양극측 구금부(28)를 파지하여, 음극측 구금부(26)의 클램프가 구동 유닛(미도시)에 의해서 해제된다. 또, 클로부(86)가 구금부(28)를 파지하기 전에 구금부(26)의 클램프가 해제되도록 해도 괜찮다. 그 후, 화살표 A24로 나타내는 바와 같이, 파지 클로 개폐 기구(85)가 상승하여, 방전 램프(1)의 음극측 구금부(26)를 타원 거울(2)보다도 보다 높은 위치까지 이동한다. In the present embodiment, when replacing the discharge lamp 1, first, as shown in Fig. 17, the drive unit 76 of the drive unit 72B drives the clamp mechanism 52B in the direction indicated by the arrow A21 The end of the lever 69 is pulled down and the roller 70 at the tip end of the drive lever 69 is separated from the positive electrode side retaining portion 28. Thereafter, the draw-out drive unit 60A draws the draw-out portion 36 to the predetermined position in the casing 51 in the + X direction. Next, as shown by the arrow A23, the grip claw opening / closing mechanism 85 and the claw portion 86 of the ramp carrier system 56A descend in the -Z direction to grip the positive electrode side holding portion 28, The clamp of the holding portion 26 is released by the drive unit (not shown). It is also possible that the clamp of the claw portion 26 is released before the claw portion 86 grasps the claw portion 28. [ Thereafter, as shown by the arrow A24, the gripping claw opening / closing mechanism 85 moves upward to move the cathode side holding portion 26 of the discharge lamp 1 to a position higher than the elliptic mirror 2.

그 후, X축 구동 기구(90X)는, 화살표 A25로 나타내는 바와 같이, X축 가이드 부재(90B)를 따라서 ＋X방향으로 이동하여, 파지 클로 개폐 기구(85)를 보관부(54)의 턴 테이블(79)의 상부의 위치(A27)로 이동한다. 다음으로, 화살표 A26으로 나타내는 바와 같이, 파지 클로 개폐 기구(85)는 강하하여, 방전 램프(1)를 턴 테이블(79)의 비어 있는 개구에 재치한다. 다음으로, 파지 클로 개폐 기구(85)는 한 번 상승하고, 턴 테이블(79)이 회전하여 미사용의 방전 램프(1N)를 파지 클로 개폐 기구(85)의 하부로 이동시킨 후, 다시, 파지 클로 개폐 기구(85)가 강하하여 미사용의 방전 램프(1N)를 파지하여 상승한다. Thereafter, the X-axis driving mechanism 90X moves in the + X direction along the X-axis guide member 90B as indicated by an arrow A25 to move the gripping claw opening and closing mechanism 85 to the turn table To the position A27 of the upper part of the upper surface 79 of the housing. Next, as shown by the arrow A26, the gripping claw opening and closing mechanism 85 is lowered to place the discharge lamp 1 in the empty opening of the turntable 79. [ Next, the gripping claw opening / closing mechanism 85 rises once, the turn table 79 rotates to move the unused discharge lamp 1N to the lower portion of the gripping claw opening / closing mechanism 85, The opening and closing mechanism 85 is lowered to grip the unused discharge lamp 1N and rise.

그 후, 방전 램프(1)를 반출했을 때와 반대의 동작에 의해서, 방전 램프(1N)를 지지 부재(33)에 설치하고, 인출 구동 유닛(60A)에 의해서 인출부(36)를 하부 하우징(31A) 내로 되돌린다. 그리고, 도 16에 나타내는 바와 같이, 구동 유닛(72B)에 의해 클램프 기구(52B)를 구동하여 방전 램프(1N)의 양극측 구금부(28)를 클램핑함으로써, 방전 램프(1)의 교환이 완료된다. Thereafter, the discharge lamp 1N is mounted on the support member 33 by the operation opposite to that in the case of discharging the discharge lamp 1, and the draw-out drive unit 60A causes the lead- (31A). 16, the clamp mechanism 52B is driven by the drive unit 72B to clamp the positive electrode side holding portion 28 of the discharge lamp 1N, thereby completing the replacement of the discharge lamp 1 do.

본 실시 형태에 의하면, 양극측 구금부(28)의 클램프 기구(52B)의 구동 유닛(72B)은, 슬라이드 기구를 가지지 않기 때문에, 전체로서 광원 장치(30A)의 구성이 간소화되어, 제조 코스트를 저감할 수 있다. 또, 양극측 구금부(28)에 급전하는 급전 블록(66)에 연결되어 있는 전력 케이블(24)은, 인출되어 있지 않으므로, 인출 구동 유닛(60A)에 의해서 구동되는 부분의 구성을 간소화할 수 있다. The drive unit 72B of the clamp mechanism 52B of the positive electrode side holding portion 28 does not have a slide mechanism and therefore the structure of the light source device 30A as a whole is simplified, Can be reduced. Since the power cable 24 connected to the power supply block 66 that feeds the positive electrode side holding portion 28 is not drawn out, the structure of the portion driven by the drawing driving unit 60A can be simplified have.

또, 본 실시 형태의 램프 반송계(56A)는, X축 구동 기구(90X) 및 Z축 구동 기구(84)를 이용하여 직동(直動) 방식에 의해 파지 클로 개폐 기구(85)를 구동하고 있기 때문에, 턴 테이블(79)에 원주(圓周)를 따라서 방전 램프(1, 1N)가 근접하여 배치되어 있어도, 파지 클로 개폐 기구(85)와 턴 테이블(79)과의 사이의 위치 결정을 용이하게 행할 수 있다. The ramp carrier system 56A of the present embodiment drives the grip claw opening and closing mechanism 85 by a linear motion method using the X axis driving mechanism 90X and the Z axis driving mechanism 84 The positioning between the gripping claw opening and closing mechanism 85 and the turntable 79 can be easily carried out even if the discharge lamps 1 and 1N are arranged close to the turntable 79 along the circumference, .

본 실시 형태에서는, 이하와 같은 변형이 가능하다. In the present embodiment, the following modifications are possible.

먼저, 본 실시 형태의 램프 반송계(56A)를 대신하여 제1 실시 형태의 램프 반송계(56), 또는 다축(多軸) 로봇 핸드 등을 사용해도 괜찮다. First, instead of the lamp delivery system 56A of the present embodiment, the lamp delivery system 56 of the first embodiment or a multi-axis robotic hand or the like may be used.

또, 램프 반송계(56A)를 대신하여, 도 18의 변형예의 광원 장치(30B)에서 나타내는 바와 같이, 선회형(旋回型) 램프 반송계(56B)를 구비해도 괜찮다. Instead of the lamp return system 56A, as shown in the light source device 30B of the modified example of Fig. 18, a revolving lamp return system 56B may be provided.

도 18에서, 램프 반송계(56B)는, 케이싱(51) 내의 저면에 설치된 가늘고 긴 지지 부재(90C)와, 지지 부재(90C)의 상단에 고정된 선회 구동부(90D)와, 선회 구동부(90D)에 의해서 Z축에 평행한 축 둘레로 선회되는 선회부(90E)와, 선회부(90E)의 양단에 고정되어 각각 Z방향으로 이동 가능한 Z축 구동 기구(84A, 84B)와, Z축 구동 기구(84A, 84B)의 하단부에 마련된 파지 클로 개폐 기구(85A, 85B)와, 파지 클로 개폐 기구(85A, 85B)에 의해서 개폐되는 각각 복수의 클로부(86A, 86B)를 구비하고 있다. 램프 반송계(56B)에 의해 방전 램프(1)의 반송을 행하는 경우, 일례로서, 일방의 파지 클로 개폐 기구(85A)에 의해 클로부(86A)를 매개로 하여 사용이 끝난 방전 램프(1)의 구금부(28)를 파지하고, 타방의 파지 클로 개폐 기구(85B)에 의해 클로부(86B)를 매개로 하여 턴 테이블(79)의 미사용의 방전 램프(1N)의 구금부(28)를 파지한다. 18, the lamp return system 56B includes an elongated support member 90C provided on the bottom surface of the casing 51, a swivel drive unit 90D fixed to the upper end of the support member 90C, a swivel drive unit 90D A Z-axis drive mechanism 84A, 84B fixed to both ends of the swivel 90E and movable in the Z direction, a Z-axis drive mechanism 84A, The gripping claw opening and closing mechanisms 85A and 85B provided at the lower ends of the mechanisms 84A and 84B and the plurality of claw portions 86A and 86B opened and closed by the gripping claw opening and closing mechanisms 85A and 85B. When the discharge lamp 1 is carried by the lamp return system 56B, the discharge lamp 1 is used by way of the claw portion 86A by one of the gripping claw opening and closing mechanisms 85A as an example, The holding portion 28 of the unused discharge lamp 1N of the turntable 79 is held by the other gripping claw opening and closing mechanism 85B via the claw portion 86B Grasp it.

그리고, Z축 구동 기구(84A, 84B)를 매개로 하여 방전 램프(1, 1N)를 상승시킨 후, 선회 구동부(90D)에 의해서 선회부(90E)를 180도 회전시키고 나서, Z축 구동 기구(84A, 84B)를 매개로 하여 방전 램프(1, 1N)를 강하시킴으로써, 지지 부재(33)와 턴 테이블(79)과의 사이에서 고속으로 방전 램프(1, 1N)를 교환할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 케이싱(51) 내에 지지 부재(33)에 지지되어 있는 방전 램프(1)의 경사진 상부에 클램프 기구(52B)가 없기 때문에, 선회부(90E)의 회전에 의해서, 파지 클로 개폐 기구(85A)의 클로부(86A)(또는 파지 클로 개폐 기구(85B)의 클로부(86B))는 시계 방향 또는 반시계 방향 중 어느 방향으로 회전해도 클램프 기구(52B)와 접촉할 우려가 없다. After the discharge lamps 1 and 1N are raised via the Z-axis driving mechanisms 84A and 84B, the swivel driving unit 90D rotates the swivel unit 90E by 180 degrees, The discharge lamps 1 and 1N can be exchanged at a high speed between the support member 33 and the turntable 79 by lowering the discharge lamps 1 and 1N via the discharge lamps 84A and 84B. Since the clamp mechanism 52B is not provided on the inclined upper portion of the discharge lamp 1 supported by the support member 33 in the casing 51 in the casing 51, by the rotation of the turn portion 90E, The claw portion 86A of the opening / closing mechanism 85A (or the claw portion 86B of the claw opening / closing mechanism 85B) is likely to come into contact with the clamping mechanism 52B even if the claw portion 86A is rotated in either clockwise or counterclockwise direction none.

[제3 실시 형태][Third embodiment]

제3 실시 형태에 대해 도 19의 (A)~도 25의 (B)를 참조하여 설명한다. 본 실시 형태의 광원 장치도 도 1의 노광 장치(EX)의 조명 광학계(13)에 노광용 조명광을 공급하기 위해서 사용된다. 본 실시 형태의 방전 램프는, 양극측 구금부의 형상 및 이 구금부의 클램프 기구의 구성이 위에서 설명한 실시 형태와 다르다. 또, 도 19의 (A)~도 25의 (B)에서 도 2의 (A), 및 도 4의 (A), (B), 및 도 16에 대응하는 부분에는 동일한 부호를 부여하여 그 상세한 설명을 생략한다. The third embodiment will be described with reference to Figs. 19 (A) to 25 (B). The light source device of the present embodiment is also used to supply illumination light for exposure to the illumination optical system 13 of the exposure apparatus EX in Fig. The discharge lamp of the present embodiment differs from the above-described embodiment in the shape of the positive electrode side holding portion and the structure of the clamping mechanism of this holding portion. 19A to FIG. 25B to FIG. 2A, and FIGS. 4A, 4B, and 16 are denoted by the same reference numerals and detailed descriptions thereof are omitted. The description will be omitted.

도 19의 (A)는, 본 실시 형태에 관한 방전 램프(1A)를 나타낸다. 도 19의 (A)에서, 방전 램프(1A)는, 벌브부(25Aa) 및 이것을 사이에 끼우도록 고정된 원통 모양의 2개의 막대 모양부(25Ab, 25Ac)로 이루어지는 유리관(25A)과, 일방의 막대 모양부(25Ab)의 단부에 연결된 음극측 구금부(126)와, 타방의 막대 모양부(25Ac)의 단부에 연결된 양극측 구금부(128)를 구비하고 있다. 구금부(128, 126)는 각각 벌브부(25Aa) 내의 양극 및 음극(미도시)에 전기적으로 접속되어 있다. 구금부(126 및 128)는 전기 전도율 및 열전도율이 양호한 금속제이다. Fig. 19A shows a discharge lamp 1A according to the present embodiment. 19A, the discharge lamp 1A includes a glass tube 25A composed of a bulb portion 25Aa and two cylindrical bar-like portions 25Ab and 25Ac fixed to sandwich the bulb portion 25Aa, And a positive electrode side detaching portion 128 connected to an end of the other bar-shaped portion 25Ac. The negative electrode side detaching portion 126 is connected to the end of the rod-shaped portion 25Ab. The claw portions 128 and 126 are electrically connected to the positive electrode and the negative electrode (not shown) in the bulb portion 25Aa, respectively. The claw portions 126 and 128 are made of a metal having good electrical conductivity and thermal conductivity.

또, 음극측 구금부(126)에는, 막대 모양부(25Ab)로부터 개방단측으로 순서대로, 막대 모양부(25Ab)보다 직경이 큰 원통 모양의 접속부(126k)와, 막대 모양부(25Ab)의 외경의 2배 정도의 외경의 고리 띠 모양의 플랜지부(126a)와, 막대 모양부(25Ab)의 외경보다도 약간 큰 외경의 원기둥 모양의 축부(126b)와, 축부(126b) 보다도 외경이 작은 원기둥 모양의 소경부(126f)와, 축부(126b)보다 약간 작은 외경, 혹은 축부(126b)와 대략 동일한 외형의 원기둥 모양의 고정부(126h)와, 면취부(面取部)(126i)와, 소경부(126f)보다 직경이 작은 선단부(126j)가 형성되어 있다. 방전 램프(1A)를 후술의 도 20의 (B)의 지지 부재(33)에 재치할 때에, 플랜지부(126a)는 지지 부재(33)의 중앙의 개구를 둘러싸는 단차부에 맞닿는다. 또, 고정부(126h)는, 도 4의 (B)의 구동 유닛(34)에 의해서 도 20의 (B)의 지지 부재(33)에 클램핑될 수 있다. 또, 도 20의 (B)에서는 구동 유닛(34)의 도시는 생략하고 있다. The negative electrode side detaching portion 126 is provided with a cylindrical connecting portion 126k having a diameter larger than that of the rod portion 25Ab and a cylindrical connecting portion 126k having a diameter larger than that of the rod portion 25Ab Shaped flange portion 126a having an outer diameter of about twice the outer diameter and a cylindrical portion 126b having an outer diameter slightly larger than the outer diameter of the rod portion 25Ab and a cylindrical portion 126b having an outer diameter smaller than that of the shaft portion 126b, Shaped fixing portion 126h having an outer diameter slightly smaller than that of the shaft portion 126b or substantially the same as the outer diameter of the shaft portion 126b, a chamfered portion 126i, And a distal end portion 126j having a smaller diameter than the small diameter portion 126f is formed. The flange portion 126a abuts the step portion surrounding the opening of the center of the support member 33 when the discharge lamp 1A is mounted on the support member 33 of Fig. The fixing portion 126h can be clamped to the supporting member 33 of Fig. 20 (B) by the driving unit 34 of Fig. 4 (B). 20 (B), the illustration of the drive unit 34 is omitted.

또, 양극측 구금부(128)는, 방전 램프(1A)의 유리관(25A)의 막대 모양부(25Ac)측으로부터 개방단측으로 순서대로, 막대 모양부(25Ac)의 직경보다도 약간 큰 외경의 원통 모양의 접속부(128k)와, 막대 모양부(25Ac)의 직경과 거의 동일한 외경의 원통 모양의 중간부(128m)와, 복수의 고리 띠 모양의 방열 핀(128j)이 형성된 방열부(128i)와, 단자부(128a)를 구비하고 있다. 단자부(128a)는, 선단부를 향해서 순서대로, 점차 직경이 작아지는 원추의 측면 모양이 볼록한 연결부(128b)와, 접속부(128k)보다 직경이 작은 원기둥 모양의 축부(128c)와, 직경이 점차 작아지고 다시 커지는 오목부(e1)와, 축부(128c)와 거의 동일한 직경의 원기둥 모양의 선단부(128d)와, 면취부(e2)를 가진다. The positive electrode side retaining portion 128 is a cylindrical portion having a diameter slightly larger than the diameter of the rod portion 25Ac in order from the side of the rod portion 25Ac of the glass tube 25A of the discharge lamp 1A to the open end side, Shaped connecting portion 128k and a cylindrical intermediate portion 128m having an outer diameter substantially equal to the diameter of the bar shaped portion 25Ac and a heat radiating portion 128i having a plurality of annular band shaped radiating fins 128j, And a terminal portion 128a. The terminal portion 128a has a cylindrical portion 128c having a diameter smaller than that of the connection portion 128k and a cylindrical portion 128c having a diameter gradually smaller than the diameter of the connection portion 128k A cylindrical end portion 128d having a diameter substantially equal to that of the shaft portion 128c and a chamfered portion e2.

도 19의 (B)에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 양극측 구금부(128)에 전력 케이블(24)을 착탈 가능하게 연결하기 위해서, 복수의 원통 모양의 부재를 조합시켜 구성되는 부재(이하, '급전 소켓'이라고 함)(152)를 이용한다. 도 19의 (B)에서, 급전 소켓(152)은, 구금부(128)의 연결부(128b)와 동일한 형상의 오목한 접촉면(153a)이 형성된 고리 띠 모양의 연결부(153)와, 연결부(153)의 상부에 고정된 원통 모양의 외통부(154)와, 외통부(154)의 선단의 플랜지부(154a)에 맞닿는 단차부(155a)가 형성되며, 연결부(153)와 외통부(154)와의 사이에 배치된 하단이 원통 모양의 버튼 스위치부(155)와, 연결부(153)와 버튼 스위치부(155)와의 사이에 장착되는 압축 코일 스프링(156)을 가진다. 연결부(153), 외통부(154), 및 내통부(155)는 전기 전도율 및 열전도율이 양호한 금속제이다. 19B, in this embodiment, in order to detachably connect the power cable 24 to the positive electrode side detaching portion 128, a member (for example, (Hereinafter referred to as " feed socket ") 152 is used. 19 (B), the feeding socket 152 includes a ring-shaped connecting portion 153 formed with a concave contact surface 153a having the same shape as the connecting portion 128b of the claw portion 128, a connecting portion 153, And a stepped portion 155a abutting against the flange portion 154a at the tip end of the outer tube portion 154 is formed and disposed between the connecting portion 153 and the outer tube portion 154 And a compression coil spring 156 which is mounted between the connection portion 153 and the button switch portion 155. The compression coil spring 156 has a cylindrical shape. The connection portion 153, the outer tube portion 154, and the inner tube portion 155 are made of a metal having good electrical conductivity and thermal conductivity.

연결부(153)는, 외통부(154)의 저면에 예를 들면 볼트(미도시) 등에 의해 고정되고, 외통부(154)의 외면에는 오목부(154b)가 형성되며, 전력 케이블(24)의 단부는 외통부(154)의 외면에 연결되어 있다. 또, 연결부(153)는, 구금부(128)의 축부(128c) 및 선단부(128d)에 느슨하게 감합하는 내면(153b)과, 각각 구체(救體)(볼베어링)(157)가 배치된 복수의 개구(h4)(도 24 참조)가 마련된 리테이너부(153c)를 가진다. 버튼 스위치부(155)의 하단의 오목부에는, 구체(157)를 외측으로 퇴피시키기 위한 테이퍼부(155b)가 형성되며, 그 오목부의 상면에는 구금부(128)의 선단부(128d)에 접촉 가능한 작은 오목부(155d)가 형성되어 있다. The connecting portion 153 is fixed to the bottom surface of the outer tube 154 by bolts (not shown) or the like and the outer surface of the outer tube 154 is provided with a recess 154b. And is connected to the outer surface of the outer tube 154. The connecting portion 153 has an inner surface 153b for loosely fitting the shaft portion 128c and the tip portion 128d of the fitting portion 128 and a plurality of And a retainer portion 153c provided with an opening h4 (see Fig. 24). A tapered portion 155b for retreating the sphere 157 to the outside is formed in the concave portion at the lower end of the button switch portion 155. The upper surface of the concave portion can be brought into contact with the tip portion 128d of the cage portion 128 A small concave portion 155d is formed.

도 19의 (B)의 형태에서는, 연결부(153)의 리테이너부(153c)에 유지된 복수의 구체(157)는, 단자부(128a)의 오목부(e1) 내에 들어가 있고, 압축 코일 스프링(156)에 의해서 버튼 스위치부(155)로부터 연결부(153)측으로 가압력이 작용하여, 연결부(153)의 접촉면(153a)은 단자부(128a)의 연결부(128b)에 밀어 붙여진다. 이 때, 전력 케이블(24)에 공급되는 전력(전류)은, 외통부(154) 및 연결부(153)를 매개로 하여 작은 전기 저항(접촉 저항)으로 구금부(128)에 공급된다. 19B, a plurality of spheres 157 held in the retainer portion 153c of the connecting portion 153 are accommodated in the concave portion e1 of the terminal portion 128a, and the compression coil spring 156 A pressing force is applied from the button switch portion 155 to the connection portion 153 side so that the contact surface 153a of the connection portion 153 is pushed against the connection portion 128b of the terminal portion 128a. At this time, the electric power (electric current) supplied to the electric power cable 24 is supplied to the claw portion 128 with a small electric resistance (contact resistance) via the external cylinder portion 154 and the connecting portion 153.

또, 도 19의 (B)의 급전 소켓(152)에서는, 일례로서, 외통부(154)에 통기 구멍(154c)이 형성되고, 전력 케이블(24) 내에 마련된 송풍관(미도시)을 매개로 하여 외부로부터 통기 구멍(154c)에 냉각된 공기를 공급할 수 있도록 구성되어 있다. 그 공기는, 연결부(153)와 외통부(154)와의 사이의 공간에 공급되어, 구금부(128)를 효율적으로 냉각할 수 있다. 또, 그 냉각된 공기를 공급하는 기구는 생략 가능하고, 이 경우에는, 통기 구멍(154c)은 마련할 필요가 없다. 급전 소켓(152)의 구금부(128)로부터의 떼어냄 및 구금부(128)에의 장착을 행하는 기구에 대해서는 후술한다. In the power feed socket 152 shown in Fig. 19 (B), a vent hole 154c is formed in the outer tube 154 as an example, and a vent hole (not shown) So that it is possible to supply the cooled air to the ventilation hole 154c. The air is supplied to the space between the connecting portion 153 and the outer cylinder 154, so that the claw portion 128 can be efficiently cooled. In addition, the mechanism for supplying the cooled air can be omitted. In this case, it is not necessary to provide the vent hole 154c. The mechanism for detaching the feeding socket 152 from the holding portion 128 and mounting the feeding socket 152 on the holding portion 128 will be described later.

도 20의 (A)는, 본 실시 형태에 관한 광원 장치(30C)를 나타내는 일부를 잘라낸 평면도, 도 20의 (B)는 도 20의 (A)의 일부를 잘라낸 측면도이다. 도 20의 (B)에서, 하부 하우징(31A) 내의 인출부(36)에 고정된 지지 부재(33)에 방전 램프(1A)의 음극측 구금부(126)의 플랜지부(126a)가 설치되고, 고정부(126h)가 구동 유닛(34)(도 4의 (B) 참조)에 의해서 지지 부재(33)에 클램핑되어 있다. 또, 인출부(36)의 ＋X방향의 단부의 상면에 중계 부재(64)가 고정되고, 중계 부재(64)의 선단부에 전력 케이블(24)의 일단이 연결되며, 전력 케이블(24)의 타단은 급전 소켓(152)을 매개로 하여 방전 램프(1A)의 양극측 구금부(128)에 연결되어 있다. 또, 지지 부재(33)에 연결된 전력 케이블(미도시)도 중계 부재(64)에 연결되어 있다. FIG. 20A is a plan view of a part of the light source device 30C according to the present embodiment, and FIG. 20B is a side view showing a part of FIG. 20A. 20B, the flange portion 126a of the negative electrode side claw portion 126 of the discharge lamp 1A is installed on the support member 33 fixed to the lead portion 36 in the lower housing 31A , And the fixing portion 126h is clamped to the support member 33 by the drive unit 34 (see Fig. 4 (B)). The relay member 64 is fixed to the upper surface of the end portion of the lead portion 36 in the + X direction and one end of the power cable 24 is connected to the distal end portion of the relay member 64, Is connected to the positive electrode side detaching portion 128 of the discharge lamp 1A via the power supply socket 152. [ Also, a power cable (not shown) connected to the support member 33 is also connected to the relay member 64.

또, 케이싱(51) 내에, 인출부(36)를 케이싱(51)측으로 인출하는 인출 구동 유닛(60A), 방전 램프(1A) 및 미사용의 방전 램프(1A)(이하, '방전 램프(1AN)'라고 함)를 보관하는 보관부(54), 램프 반송계(56C), 및 방전 램프(1A)의 구금부(128)에 대한 급전 소켓(152)의 착탈을 행하는 기구(이하, '급전 소켓 교체용 구동 유닛'이라고 함)(72C)가 설치되어 있다. 인출 구동 유닛(60A), 보관부(54), 램프 반송계(56C), 및 구동 유닛(72C)을 포함하여 광원 장치(30C)의 교환 장치(50C)가 구성되어 있다. 도 20의 (A) 및 (B)에 나타내는 바와 같이, 램프 반송계(56C)는, 저면에 가이드 부재(61)에 대해서 -Y방향측에 설치된 가늘고 긴 지지 부재(90A)와, 지지 부재(90A)의 상단에 고정된 X방향으로 긴 X축 가이드 부재(90B)와, X축 가이드 부재(90B)에 X방향으로 이동 가능하게 지지되는 X축 구동 기구(90X)와, X축 구동 기구(90X)에 지지되는 Z축 구동 기구(84B)와, Z축 구동 기구(84B)의 하단에 마련되어, 방전 램프(1A)의 양극측 구금부(128)를 파지하는 파지부(162)를 가진다. In addition, a discharge driving unit 60A, a discharge lamp 1A and an unused discharge lamp 1A (hereinafter referred to as 'discharge lamp 1AN'), which draw out the lead portion 36 toward the casing 51, A lamp carrier system 56C and a mechanism for attaching and detaching the feeder sockets 152 to the cage portions 128 of the discharge lamps 1A (Hereinafter referred to as " replacement drive unit ") 72C. The replacing device 50C of the light source device 30C is constituted including the drawing driving unit 60A, the storing part 54, the lamp conveying system 56C and the driving unit 72C. 20A and 20B, the lamp delivery system 56C includes an elongated support member 90A provided on the bottom surface in the -Y direction with respect to the guide member 61, An X-axis driving mechanism 90X supported by the X-axis guide member 90B so as to be movable in the X-direction, and an X-axis driving mechanism 90B And a grip portion 162 provided at the lower end of the Z-axis driving mechanism 84B and gripping the positive electrode side holding portion 128 of the discharge lamp 1A.

또, 급전 소켓 교체용 구동 유닛(72C)은, 저면에 가이드 부재(61)에 대해서＋Y방향측에 설치된 가늘고 긴 지지 부재(90F)와, 지지 부재(90F)의 상단에 Z축에 평행한 축의 둘레로 거의 30도의 범위 내에서 선회(旋回) 가능하게 연결된 선회부(90G)와, 선회부(90G)의 선단의 수납부(90R) 내에 마련된 Z축 구동 기구(84A)와, Z축 구동 기구(84A)의 하단에 마련되어, 방전 램프(1A)의 구금부(128)에 대한 급전 소켓(152)의 착탈을 행하는 부재(이하, '파지부'라고 함)(160)를 가진다. The power supply socket replacement drive unit 72C includes an elongated support member 90F provided on the bottom surface in the + Y direction with respect to the guide member 61 and an elongated support member 90F provided on the top of the support member 90F, A Z-axis drive mechanism 84A provided in the housing portion 90R at the tip of the turn portion 90G, and a Z-axis drive mechanism 84A provided in the housing portion 90R of the turn portion 90G, (Hereinafter, referred to as a grip portion) 160 provided at the lower end of the discharge lamp portion 84A for performing attachment / detachment of the power supply socket 152 to the claw portion 128 of the discharge lamp 1A.

본 실시 형태에서, 방전 램프(1A)의 교환을 행하는 경우, 제1 실시 형태와 마찬가지로, 도 21에 화살표 A31로 나타내는 바와 같이, 인출 구동 유닛(60A)이, 방전 램프(1A)를 지지하는 인출부(36)를 케이싱(51) 내의 소정의 위치까지 인출한다. 다음으로, 인출된 방전 램프(1A)의 상공에서 대기하고 있던 구동 유닛(72C)의 파지부(160)가 강하하여 급전 소켓(152)을 방전 램프(1A)의 구금부(128)로부터 떼어 급전 소켓(152)만을 들어 올린다. In the present embodiment, when the discharge lamp 1A is replaced, as shown by an arrow A31 in Fig. 21, the take-out drive unit 60A performs the discharge The portion 36 is drawn out to a predetermined position in the casing 51. [ The grasping portion 160 of the drive unit 72C waiting on the drawn discharge lamp 1A is lowered to pull the feeder socket 152 away from the claw portion 128 of the discharge lamp 1A, Only the socket 152 is lifted.

다음으로, 도 25의 (A)에 화살표 A38로 나타내는 바와 같이, 선회부(90G)를 약 30도 선회하여 급전 소켓(152)을 유지하고 있는 파지부(160)를 방전 램프(1A)의 상부로부터 퇴피시킨다. 그 후, 램프 반송계(56C)에서, 화살표 A36으로 나타내는 바와 같이 X축 구동 기구(90X)를 방전 램프(1A)의 상부로 이동시킨다. 그리고, 도 25의 (B)에 나타내는 바와 같이, Z축 구동 기구(84B)에 의해서 파지부(162)를 방전 램프(1A)의 구금부(128)에 강하시켜, 파지부(162)에 의해서 예를 들면 구금부(128)의 선단부(128d)(도 19의 (A) 참조)를 유지한다. 그 후, 화살표 A37로 나타내는 바와 같이, 방전 램프(1A)를 타원 거울(2)보다 높게 들어 올린 후, 도 17의 예와 마찬가지로, 램프 반송계(56C)를 이용하여, 방전 램프(1A)를 보관부(54)에 설치하고, 보관부(54)로부터 미사용의 방전 램프(1AN)를 지지 부재(33)에 재치한다. 그 후, 구동 유닛(72C)에 의해서 방전 램프(1AN)의 구금부(128)에 급전 소켓(152)을 장착하고, 인출 구동 유닛(60A)에 의해서 인출부(36)를 하부 하우징(31A) 내로 되돌림으로써, 방전 램프(1A)의 교환이 완료된다. Next, as shown by an arrow A38 in Fig. 25 (A), the grip portion 160 holding the power supply socket 152 by turning the turn portion 90G by about 30 degrees is disposed on the upper portion of the discharge lamp 1A . Thereafter, in the ramp carrier system 56C, the X-axis driving mechanism 90X is moved to the upper portion of the discharge lamp 1A as indicated by an arrow A36. 25 (B), the grip portion 162 is lowered by the Z-axis driving mechanism 84B to the nipping portion 128 of the discharge lamp 1A, and the grip portion 162 For example, the distal end portion 128d (see Fig. 19 (A)) of the crotch portion 128 is retained. Thereafter, as shown by an arrow A37, the discharge lamp 1A is lifted higher than the elliptic mirror 2, and then the discharge lamp 1A is rotated by the ramp carrier system 56C in the same manner as in the example of Fig. And the unused discharge lamp 1AN is placed on the support member 33 from the storage portion 54. The discharge lamp 1AN is mounted on the support member 33. [ Thereafter, the power supply socket 152 is mounted on the housing unit 128 of the discharge lamp 1AN by the drive unit 72C and the lead unit 36 is mounted on the lower housing 31A by the lead- The replacement of the discharge lamp 1A is completed.

다음으로, 본 실시 형태의 도 21의 구동 유닛(72C)의 파지부(160)의 구성 등에 대해, 도 22의 (A)~도 24를 참조하여 설명한다. Next, the structure and the like of the gripper 160 of the drive unit 72C of Fig. 21 of the present embodiment will be described with reference to Figs. 22A to 24B.

도 22의 (A)에 나타내는 바와 같이, 구동 유닛(72C)의 Z축 구동 기구(84A)의 하단에 고정된 파지부(160)는, Z축 구동 기구(84A)에 고정되어, Z축에 평행한 축 둘레로 거의 등각도 간격으로 배치된 3개의 암부(164a, 164b, 164c)(164c는 미도시)를 가지는 제1 링크부(164)와, 제1 링크부(164)의 중앙의 저면에 고정되어 중앙에 등각도 간격으로 3개소의 개구(166a)가 형성되고, Z방향으로 구동 가능한 피스톤부(165)와, 개구(166a)에 각각 일단부가 설치된 거의 T자형의 3개의 제2 링크부(167A, 167B, 167C)(167C는 미도시)를 가진다. 게다가, 파지부(160)는, 3개의 암부(164a, 164b, 164c)에 회전 가능한 지점(E1) 등을 매개로 하여 연결됨과 아울러, 3개의 제2 링크부(167A, 167B, 167C)에 회전 가능한 지점(E4) 등을 매개로 하여 연결된 3개의 암부(169A, 169B, 169C)(169C는 미도시)와, 3개의 암부(164a, 164b, 164c)에 회전 가능한 지점(E2) 등을 매개로 하여 연결됨과 아울러, 3개의 제2 링크부(167A, 167B, 167C)에 회전 가능한 지점(E3) 등을 매개로 하여 연결된 3개의 제3 링크부(168A, 168B, 168C)(168C는 미도시)를 가진다. 또, 이하에서는, Z축에 평행한 축 둘레로 거의 등각도 간격으로 배치된 3개의 암부(169A, 169B, 169C) 등을 간단히 암부(169A, 169B) 등이라고 한다. 22 (A), the grip portion 160 fixed to the lower end of the Z-axis drive mechanism 84A of the drive unit 72C is fixed to the Z-axis drive mechanism 84A, A first link portion 164 having three arm portions 164a, 164b, and 164c (164c is not shown) disposed at substantially equal angular intervals around a parallel axis, A piston portion 165 which is fixed to the center of the opening 166a and has three openings 166a formed at equal angular intervals and which can be driven in the Z direction, Parts 167A, 167B, and 167C (167C is not shown). In addition, the grip portion 160 is connected to the three arm portions 164a, 164b, and 164c through a rotatable point E1 and the like, and rotates to the three second link portions 167A, 167B, and 167C The three arm portions 169A, 169B and 169C (169C is not shown) connected to each other through the possible point E4 and the like and the three arm portions 164a, 164b and 164c via the rotatable point E2 And three third link portions 168A, 168B, and 168C (not shown) connected to the three second link portions 167A, 167B, and 167C via a rotatable point E3, . In the following description, three arm portions 169A, 169B, and 169C arranged at substantially equal angular intervals around an axis parallel to the Z axis are simply referred to as arm portions 169A and 169B.

파지부(160)에 의해 급전 소켓(152)을 방전 램프(1A)의 구금부(128)로부터 떼어내는 경우, 도 22의 (B)에 나타내는 바와 같이, 파지부(160)를 강하시켜, 암부(169A, 169B)의 선단의 볼록부가 급전 소켓(152)의 외통부(154)의 오목부(154b)에 대향하는 위치에서 파지부(160)의 강하를 정지시킨다. 다음으로, 도 23의 (A)에 화살표 A32로 나타내는 바와 같이, 중앙의 피스톤부(165)가 밀어 내려지면, 제1 링크부(164), 제2 링크부(167A, 167B) 및 제3 링크부(168A, 168B)로 이루어지는 링크 기구의 작동에 의해서, 암부(169A, 169B)의 선단은 내측으로 이동하고, 그 선단의 볼록부는 외통부(154)의 오목부(154b)에 걸려진다. When the power supply socket 152 is detached from the housing portion 128 of the discharge lamp 1A by the grip portion 160, the grip portion 160 is lowered as shown in FIG. 22 (B) The convex portion of the distal ends of the grip portions 169A and 169B stops the drop of the grip portion 160 at a position facing the concave portion 154b of the outer tube 154 of the feed socket 152. [ 23 (A), when the central piston portion 165 is pushed down, the first link portion 164, the second link portions 167A, 167B, and the third link The distal ends of the arm portions 169A and 169B are moved inward by the operation of the link mechanism including the arms 168A and 168B and the convex portions at the distal ends thereof are caught by the concave portions 154b of the outer tube portion 154. [

다음으로, 도 23의 (B)에 화살표 A33으로 나타내는 바와 같이, 피스톤부(165)가 급전 소켓(152)의 버튼 스위치부(155)를 밀어 내리면, 급전 소켓(152) 내의 구체(157)가 버튼 스위치부(155)의 테이퍼부(155b)(도 24 참조)를 따라서 외측으로 이동하여, 구금부(128)의 단자부(128a)에 대한 클램프는 해제된다. 이 때, 파지부(160)의 위에서 설명한 링크 기구는, 이른바 토글(toggle) 기구로 되어 있기 때문에, 피스톤부(165)가 크게 하부로 이동해도, 암부(169A, 169B)의 위치는 거의 변하지 않다. 이 때문에, 3개의 암부(169A, 169B)에 의해 급전 소켓(152)을 지지하면서, 급전 소켓(152)에 의한 구금부(128)의 클램프를 해제할 수 있다. 따라서, 방전 램프(1A)에는 아래에 밀어 내려지는 힘은 걸리지 않는다. Next, when the piston portion 165 pushes down the button switch portion 155 of the feed socket 152, as shown by an arrow A33 in FIG. 23 (B), the sphere 157 in the feed socket 152 The clamp portion of the holding portion 128 moves to the outside along the tapered portion 155b (see Fig. 24) of the button switch portion 155, and the clamp to the terminal portion 128a of the holding portion 128 is released. At this time, since the above-described link mechanism of the gripper 160 is a so-called toggle mechanism, the position of the arm portions 169A and 169B does not substantially change even if the piston portion 165 moves greatly downward . Therefore, clamping of the claw portion 128 by the feeder sockets 152 can be released while supporting the feeder sockets 152 by the three arm portions 169A, 169B. Therefore, the downward pushing force is not applied to the discharge lamp 1A.

그 후, 도 24에 화살표 A35로 나타내는 바와 같이, 구동 유닛(72C)의 Z축 구동 기구(84A)를 구동하여, 급전 소켓(152)을 유지한 파지부(160)를 상승시킴으로써, 방전 램프(1A)의 구금부(128)로부터 급전 소켓(152)을 상부로 떼어낼 수 있다. 또, 위에서 설명한 동작과 반대의 동작에 의해서, 급전 소켓(152)을 구금부(128)에 장착할 수 있다. Thereafter, the Z-axis driving mechanism 84A of the drive unit 72C is driven to raise the gripper 160 holding the power supply socket 152, as indicated by an arrow A35 in Fig. 24, The feeding socket 152 can be detached from the detaching portion 128 of the main body 1A. In addition, by the operation opposite to the above-described operation, the feed socket 152 can be attached to the housing portion 128. [

또, 본 실시 형태에서는, 이하와 같은 변형이 가능하다. In the present embodiment, the following modifications are possible.

먼저, 본 실시 형태의 급전 소켓 교체용 구동 유닛(72C)에는, 도 20의 (B)에 나타내는 바와 같이 선회부(90G)가 마련되어 있지만, 선회부(90G)를 마련하지 않고, Z축 구동 기구(84A) 및 파지부(160)를 X축을 따라 이동시켜도 괜찮다. 이 경우에는, 인출부(36)(방전 램프(1A))를 하부 하우징(31A) 밖으로 인출한 곳에서 일단, 인출부(36)를 정지(停止)시키고, Z축 구동 기구(84A)에 의해서 파지부(160)를 강하시켜, 파지부(160)에 의해 방전 램프(1A)로부터 급전 소켓(152)을 떼어내어, 급전 소켓(152)을 유지한 파지부(160)를 상승시킨다. 그 후, 다시 인출 구동 유닛(60A)에 의해서, 인출부(36)를 ＋X방향으로 인출한 후, 램프 반송계(56C)에 의해서 방전 램프(1A)를 교환하게 된다. 이 경우에는, 구동 유닛(72C)에 선회부(90G)를 마련할 필요가 없기 때문에, 구동 유닛(72C)의 제조 코스트를 저감할 수 있다. 20B, the turnable portion 90G is provided in the power supply socket replacement drive unit 72C of the present embodiment, but the turnable portion 90G is not provided and the Z- The grip portion 84A and the grip portion 160 may be moved along the X axis. In this case, the lead portion 36 is stopped (stopped) once the lead portion 36 (the discharge lamp 1A) is drawn out from the lower housing 31A, and the lead portion 36 is stopped by the Z-axis drive mechanism 84A The grasping portion 160 is lowered and the grasping portion 160 removes the feed grating 152 from the discharge lamp 1A to raise the grasping portion 160 holding the feed grating 152. [ Thereafter, the lead-out drive unit 60A again draws the lead-out portion 36 in the + X direction, and then the discharge lamp 1A is replaced by the lamp return system 56C. In this case, since it is not necessary to provide the swivel portion 90G in the drive unit 72C, the manufacturing cost of the drive unit 72C can be reduced.

또, 도 20의 (B)에서, 램프 반송계(56C)의 X축 가이드 부재(90B)를 따라서, 파지부(162)용 Z축 구동 기구(84B)와 함께, 파지부(160)용 Z축 구동 기구(84A)를 X방향으로 이동 가능하게 지지해도 괜찮다. 이 구성에서는, 파지부(160)에 의해 방전 램프(1A)의 급전 소켓(152)을 떼어낸 후, 파지부(160)를 Z축 구동 기구(84B)를 따라서 -X방향의 단부로 이동시킨 후, 파지부(162)를 방전 램프(1A)의 상부로 이동시켜, 방전 램프(1A)를 교환할 수 있다. 그 때문에, 위에서 설명한 변형예와 같이 인출부(36)(인출 구동 유닛(60A))를 2개소에서 정지시킬 필요는 없다. 따라서, 인출 구동 유닛(60A)의 구동부(63)로서, 예를 들면 에어 실린더 등을 사용할 수 있다. 20 (B), along with the X-axis guide member 90B of the ramp-carrying system 56C, together with the Z-axis driving mechanism 84B for the gripper 162, the Z for the gripper 160 The shaft driving mechanism 84A may be movably supported in the X direction. In this configuration, after the power supply socket 152 of the discharge lamp 1A is detached by the grip portion 160, the grip portion 160 is moved to the end in the -X direction along the Z-axis drive mechanism 84B The grip portion 162 is moved to the upper portion of the discharge lamp 1A so that the discharge lamp 1A can be exchanged. Therefore, it is not necessary to stop the lead portion 36 (lead-out drive unit 60A) at two places as in the above-described modified example. Therefore, for example, an air cylinder or the like can be used as the driving unit 63 of the drawing driving unit 60A.

또, 방전 램프(1A)의 제조 방법으로서, 위에서 설명한 방전 램프(1)과 동일한 제조 방법을 이용할 수 있다. 즉, 램프 본체(유리 부재)와 구금부(126, 128)를 각각 준비하고, 그들을 서로 연결함으로써 방전 램프(1A)를 구성할 수 있다. 이 때 구금부(126, 128)는, 예를 들면 사용이 끝난 방전 램프(1A)로부터 떼어낸 것을 재이용하도록 준비해도 괜찮다. 또, 구금부(126, 128) 중 적어도 일방을 재이용하는 경우에, 구금부(126, 128) 전체를 재이용하는 대신에, 구금부(126, 128) 중 적어도 일부(예를 들면, 단자부(128a) 및 방열부(128i) 중 적어도 하나의 부품)만 재이용하도록 해도 괜찮다. As the manufacturing method of the discharge lamps 1A, the same manufacturing method as that of the discharge lamps 1 described above can be used. That is, the discharge lamp 1A can be configured by preparing the lamp body (glass member) and the nipping portions 126 and 128, respectively, and connecting them to each other. At this time, the detents 126 and 128 may be prepared to be reused, for example, a detached one from the used discharge lamp 1A. It is also possible to use at least one of the claws 126 and 128 (for example, the terminal portions 128a and 128b) in place of reusing the entire cage portions 126 and 128 when reusing at least one of the cage portions 126 and 128. [ And at least one of the heat radiating portion 128i) may be reused.

[제4 실시 형태][Fourth Embodiment]

제4 실시 형태에 대해 도 26의 (A)~도 27을 참조하여 설명한다. 본 실시 형태의 광원 장치도 노광 장치의 조명 광학계에 노광용 조명광을 공급하기 위해서 사용된다. 본 실시 형태의 광원 장치는 복수(일례로서 3개)의 램프 하우스를 구비하고, 복수의 램프 하우스 내의 방전 램프로부터 사출되는 광을 합성하여 노광 장치의 조명 광학계에 공급하는 것이다. 또, 도 26의 (A)~도 30에서 도 1, 및 도 4의 (A), (B)에 대응하는 부분에는 동일한 부호를 부여하여 그 상세한 설명을 생략한다. The fourth embodiment will be described with reference to Figs. 26A to 27. Fig. The light source device of the present embodiment is also used for supplying illumination light for exposure to the illumination optical system of the exposure apparatus. The light source device of the present embodiment includes a plurality (three, for example) of lamp houses, and combines the light emitted from the discharge lamps in the plurality of lamp houses and supplies them to the illumination optical system of the exposure apparatus. 26A to FIG. 30, the same reference numerals are assigned to the parts corresponding to FIG. 1, FIG. 4A and FIG. 4B, and detailed description thereof is omitted.

도 26의 (A) 및 (B)는, 각각 본 실시 형태에 관한 노광 장치(EXA)를 나타내는 평면도, 도 27은, 노광 장치(EXA)를 나타내는 일부를 잘라낸 측면도이다. 도 26의 (A)에서, 노광 장치(EXA)의 조명 광학계 및 노광 본체부(도 1의 노광 장치(EX)로부터 광원 장치(30)를 제외한 부분)가, 상자 모양의 챔버(92) 내에 배치되어 있다. 노광 장치(EXA)는 광원 장치(30D)를 구비하고 있다. 광원 장치(30D)는, 챔버(92)의 옥상(RT)에 방사상(放射狀)으로 설치된 제1, 제2, 및 제3 램프 하우스(29A, 29B, 29C)과, 옥상(RT)에 설치된 램프 하우스(29A, 29B, 29C)로부터 사출되는 광속을 합성하여 아래층의 조명 광학계(미도시)에 공급하는 합성부(93)와, 램프 하우스(29A~29C) 내의 사용이 끝난 방전 램프(1)를 교환하는 교환 장치(50D)와, 방전 램프(1) 및 미사용의 방전 램프(1N)를 보관하는 보관부(54)를 구비하고 있다. 보관부(54)는 커버(미도시)에 의해 덮여 있다. 26A and 26B are respectively a plan view showing the exposure apparatus EXA according to the present embodiment and FIG. 27 is a side view showing a part of the exposure apparatus EXA. 26A, the illumination optical system of the exposure apparatus EXA and the exposure main body portion (the portion excluding the light source device 30 from the exposure apparatus EX in Fig. 1) are arranged in a box-like chamber 92 . The exposure apparatus EXA includes a light source device 30D. The light source device 30D includes first, second and third lamp houses 29A, 29B and 29C provided radially on the roof RT of the chamber 92, A synthesizing section 93 for synthesizing the luminous fluxes emitted from the lamp houses 29A, 29B and 29C and supplying them to an illumination optical system (not shown) in the lower layer, a used discharge lamp 1 in the lamp houses 29A to 29C, And a storage unit 54 for storing the discharge lamp 1 and the unused discharge lamp 1N. The storage portion 54 is covered by a cover (not shown).

램프 하우스(29A~29C)는, 각각 도 4의 (B)의 사용시의 방전 램프(1) 및 타원 거울(2)이 수용되는 하부 하우징(31A), 및 미러(3) 및 창 부재(4)가 배치된 상부 하우징(31B)을 가진다(도 27 참조). 또, 도 26의 (A), (B)에서는, 램프 하우스(29A~29C) 중 하부 하우징(31A)만이 도시되어 있다. 램프 하우스(29A~29C)의 사용시의 방전 램프(1)의 양극측 구금부(28)에는, 각각 도 4의 (B)의 클램프 기구(52)에 의해서 전력 케이블(24)의 급전 블록(66)이 연결되어 있다. The lamp houses 29A to 29C each have a lower housing 31A in which the discharge lamp 1 and the elliptical mirror 2 are accommodated in use and a mirror 3 and a window member 4, (See Fig. 27). 26A and 26B, only the lower housing 31A of the lamp houses 29A to 29C is shown. The positive electrode side holding portion 28 of the discharge lamp 1 at the time of using the lamp houses 29A to 29C is connected to the power supply block 66 of the power cable 24 by the clamp mechanism 52 of Fig. ).

또, 교환 장치(50D)는, 램프 하우스(29A, 29B, 29C)에 각각 근접하여 배치된 케이싱(51A, 51B, 51C)과, 케이싱(51A~51C) 내에 각각 배치되어, 대응하는 램프 하우스(29A~29C) 내의 방전 램프(1)를 지지하는 인출부(36)를 케이싱(51A~51C) 내로 인출하는 도 4의 (B)의 인출 구동 유닛(60)을 구비하고 있다. 케이싱(51A~51C)의 높이는, 하부 하우징(31A)의 높이와 거의 동일하고(도 27 참조), 케이싱(51A~51C)의 상면에는, 개폐식 커버(미도시)가 마련되어 있다. 또, 교환 장치(50D)는, 케이싱(51A~51C) 내에 각각 배치되어, 인출된 방전 램프(1)의 양극측 구금부(28)의 클램프 기구(52)에 의한 클램프를 해제하는 도 4의 (B)의 구동 유닛(72C), 케이싱(51A~51C) 내에 각각 배치되어, 인출된 방전 램프(1)의 음극측 구금부(26)의 클램프를 해제하는 도 4의 (B)의 구동 유닛(34)과, 케이싱(51A~51C)으로 인출된 인출부(36)(지지 부재(33))에 지지되어 있는 사용이 끝난 방전 램프(1)를 교환하는 램프 반송계(56D)를 구비하고 있다. The switching device 50D is provided with a casing 51A, 51B and 51C arranged in the vicinity of the lamp houses 29A, 29B and 29C, respectively, And a draw-out drive unit 60 of Fig. 4 (B) which draws out the draw-out portion 36 for supporting the discharge lamp 1 in the casing 51A to 29C into the casings 51A to 51C. The height of the casings 51A to 51C is almost the same as the height of the lower housing 31A (see Fig. 27), and on the upper surfaces of the casings 51A to 51C, a retractable cover (not shown) is provided. The replacement apparatus 50D is disposed in each of the casings 51A to 51C and has a structure in which the clamping mechanism 52 of the positive electrode side claw portion 28 of the discharge lamp 1, The driving unit 72C of the driving unit B and the driving unit of Fig. 4B, which are disposed in the casings 51A to 51C, respectively, to release the clamp of the negative electrode side claw portion 26 of the drawn- And a lamp carrier system 56D for replacing the used discharge lamp 1 supported by the lead portion 36 (support member 33) drawn out to the casings 51A to 51C have.

또, 램프 반송계(56D)는, 옥상(RT)의 케이싱(51C)에 근접하여 마련된 지주(支柱)(90H)와, 지주(90H)에 지지되어 Y방향으로 연장된 Y축 구동부(90I)와, Y축 구동부(90I)에 의해서 Y방향으로 구동되는 선회 구동부(90D)와, 선회 구동부(90D)에 의해서 Z축에 평행한 축 둘레로 선회되는 선회부(90E)와, 선회부(90E)의 양단에 고정된 Z축 구동 기구(84A 및 84B)와, Z축 구동 기구(84A 및 84B)의 하단에 연결된 파지 클로 개폐 기구(85A 및 85B)와, 파지 클로 개폐 기구(85A 및 85B)에 의해서 개폐되는 복수의 클로부(86A 및 86B)를 구비하고 있다. Y축 구동부(90I)는, 예를 들면 볼나사 방식 또는 리니어 모터 방식 등에 의해 선회 구동부(90D)를 Y방향으로 구동한다. 이와 같이 램프 반송계(56D)는, 2개의 파지 클로 개폐 기구(85A, 85B)를 구비하고 있기 때문에, 동시에 2개의 방전 램프(1)(또는 미사용의 방전 램프(1N))를 파지할 수 있다. 또, 방전 램프(1, 1N)의 회전각을 조정하기 위해서, Z축 구동 기구(84A, 84B)와 파지 클로 개폐 기구(85A, 85B)와의 사이에 회전축(미도시)을 마련해도 좋다. The ramp carrier system 56D has a column 90H provided close to the casing 51C on the roof RT and a Y-axis driver 90I supported on the column 90H and extending in the Y- A swiveling portion 90D driven by the Y-axis driving portion 90I in the Y direction, a swivel portion 90E swiveling about an axis parallel to the Z axis by the swivel driving portion 90D, a swivel portion 90E A gripping claw opening and closing mechanisms 85A and 85B connected to the lower ends of the Z axis driving mechanisms 84A and 84B and gripping claw opening and closing mechanisms 85A and 85B connected to the lower ends of the Z axis driving mechanisms 84A and 84B, And a plurality of claw portions 86A and 86B which are opened and closed by the claw portions 86A and 86B. The Y-axis driving section 90I drives the swing driving section 90D in the Y-direction by, for example, a ball screw method or a linear motor method. Since the lamp return system 56D includes two grip claw opening and closing mechanisms 85A and 85B as described above, it is possible to grasp two discharge lamps 1 (or the unused discharge lamp 1N) at the same time . A rotation shaft (not shown) may be provided between the Z-axis driving mechanisms 84A, 84B and the gripping claw opening / closing mechanisms 85A, 85B to adjust the rotation angles of the discharge lamps 1, 1N.

또, 도 27에 나타내는 바와 같이, 광원 장치(30D)는, 챔버(92)의 측면에 설치된 엘리베이터(95)와, 엘리베이터(95) 내에서 1층에 가까운 위치(P7)와 옥상(RT)에 가까운 위치(P6)와의 사이에서 승강하는 승강부(94)를 구비하고 있다. 승강부(94)의 상면에는 보관부(54)(구동부(80) 및 턴 테이블(79))가 설치되어 있다. 27, the light source device 30D includes an elevator 95 installed on the side surface of the chamber 92, a position P7 close to the first floor in the elevator 95, And an elevating portion 94 that ascends and descends between the position P6 and the close position P6. A storage portion 54 (a drive portion 80 and a turn table 79) is provided on the upper surface of the elevating portion 94. [

본 실시 형태에서, 예를 들면 램프 하우스(29B, 29C) 내의 방전 램프(1)를 교환하는 경우에는, 도 26의 (A)에 나타내는 바와 같이, 케이싱(51B, 51C) 내에 방전 램프(1)를 지지하는 인출부(36)를 인출한다. 그리고, 일례로서, 램프 반송계(56D)의 일방의 파지 클로 개폐 기구(85A) 및 클로부(86A)에 의해 보관부(54)에 있는 미사용의 방전 램프(1N)를 파지하여, 파지 클로 개폐 기구(85A)를 상승시킨다. 그 후, 도 26의 (B)에 점선으로 나타내는 바와 같이, 램프 반송계(56D)의 선회부(90E)를 케이싱(51B)의 상부로 이동시키고, 타방의 파지 클로 개폐 기구(85B) 및 클로부(86B)에 의해 케이싱(51B) 내의 방전 램프(1N)를 파지하며, 일방의 파지 클로 개폐 기구(85A) 및 클로부(86A)에 의해서 유지되어 있는 방전 램프(1N)를 케이싱(51B)의 인출부(36)(지지 부재(33))에 설치한다. 이 때의 방전 램프(1)의 구금부(28)에 대한 클램프 기구(52)의 해제 등의 동작은 제1 실시 형태와 동일하다. In the present embodiment, for example, when replacing the discharge lamp 1 in the lamp house 29B, 29C, the discharge lamp 1 is placed in the casing 51B, 51C as shown in Fig. Out portion 36 for supporting the lower surface of the wafer W. As one example, the unused discharge lamp 1N in the storage part 54 is gripped by one of the gripping claw opening and closing mechanisms 85A and claw parts 86A of the lamp delivery system 56D, Thereby raising the mechanism 85A. Thereafter, as shown by the dotted line in (B) of Fig. 26, the pivotal portion 90E of the ramp carrier system 56D is moved to the upper portion of the casing 51B, and the other pawl claw opening / closing mechanism 85B and the claw The discharge lamp 1N held in the casing 51B is held by the gripping claw opening and closing mechanism 85A and the claw portion 86A in one of the casing 51B, (The support member 33) of the base member 36. [ The operation of releasing the clamp mechanism 52 with respect to the holding portion 28 of the discharge lamp 1 at this time is the same as in the first embodiment.

그 후, 도 26의 (B)에 실선으로 나타내는 바와 같이, 램프 반송계(56D)의 선회부(90E)를 케이싱(51C)의 상부로 이동시키고, 일방의 파지 클로 개폐 기구(85A) 및 클로부(86A)에 의해 케이싱(51C) 내의 방전 램프(1)를 파지하고, 파지 클로 개폐 기구(85A, 85B)를 상승시켜, 선회부(90E)를 보관부(54)의 상부로 이동시키며, 클로부(86A, 86B)에 의해 파지되어 있는 2개의 사용이 끝난 방전 램프(1)를 보관부(54)의 턴 테이블(79)에 재치한다. 그 후, 일방의 파지 클로 개폐 기구(85A) 및 클로부(86A)에 의해 턴 테이블(79)의 미사용의 방전 램프(1N)를 파지하고, 선회부(90E)를 케이싱(51C)의 상부로 이동시켜, 케이싱(51) 내의 인출부(36)에 방전 램프(1)를 재치한 후, 케이싱(51B, 51C) 내의 인출부(36)를 램프 하우스(29B, 29C)의 하부 하우징(31A) 내로 되돌림으로써, 램프 하우스(29B, 29C) 내의 방전 램프(1)의 미사용의 방전 램프(1N)로의 교환이 완료된다. 램프 하우스(29A) 내의 방전 램프(1)의 교환도 동일하게 행할 수 있다. Thereafter, as shown by the solid line in Fig. 26 (B), the turn portion 90E of the ramp return system 56D is moved to the upper portion of the casing 51C, and one gripping claw opening / closing mechanism 85A and the claw The discharge lamp 1 in the casing 51C is held by the arm 86A and the gripping claw opening and closing mechanisms 85A and 85B are raised to move the swivel portion 90E to the upper portion of the storage portion 54, The two used discharge lamps 1 held by the claw portions 86A and 86B are placed on the turntable 79 of the storage portion 54. Then, Thereafter, the unused discharge lamp 1N of the turntable 79 is gripped by one of the gripping claw opening / closing mechanisms 85A and 86A, and the swivel portion 90E is moved to the upper portion of the casing 51C The lead portions 36 in the casings 51B and 51C are inserted into the lower housing 31A of the lamp houses 29B and 29C after the discharge lamp 1 is mounted on the lead portions 36 in the casing 51. Then, The replacement of the discharge lamp 1 in the lamp house 29B, 29C with the unused discharge lamp 1N is completed. The replacement of the discharge lamp 1 in the lamp house 29A can also be performed in the same manner.

또, 보관부(54)의 턴 테이블(79)에 있는 사용이 끝난 방전 램프(1)가 많아졌을 때에는, 도 27에 나타내는 바와 같이, 엘리베이터(95)에 의해서 보관부(54)를 1층의 위치(P7)로 이동시킨다. 그리고, 작업자가 엘리베이터(95)의 1층의 램프 교환문(45A)을 열어, 턴 테이블(79)의 사용이 끝난 방전 램프(1)를 회수하고, 미사용의 방전 램프(1N)를 보충한다. 그 후, 엘리베이터(95)에 의해서 보관부(54)를 옥상(RT)에 가까운 위치(P6)까지 이동시킴으로써, 광원 장치(30D) 내의 복수의 방전 램프(1)의 교환을 행할 수 있다. 27, when the used discharge lamp 1 in the turn table 79 of the storage part 54 is increased, the storage part 54 is moved by the elevator 95 to the one- To the position P7. Then, the operator opens the one-storey lamp replacement door 45A of the elevator 95, recovers the used discharge lamp 1 of the turn table 79, and replenishes the unused discharge lamp 1N. Thereafter, a plurality of discharge lamps 1 in the light source device 30D can be exchanged by moving the storage part 54 to the position P6 close to the roof RT by the elevator 95. [

본 실시 형태에 의하면, 작업자는 복수의 램프 하우스(29A~29C)에 대해서, 1개소에서 방전 램프의 보충 및 회수가 가능하므로 효율이 좋다. 또, 1쌍의 파지 클로 개폐 기구(85A, 85B) 및 클로부(86A, 86B)를 구비하고 있기 때문에, Y축 구동부(90I)를 따른 선회부(90E)의 주행 거리가 길어져도, 방전 램프의 교환을 단시간에 행할 수 있다. According to the present embodiment, the operator is able to replenish and collect the discharge lamps at a single location with respect to the plurality of lamp houses 29A to 29C, so that the efficiency is high. Since the pair of grip claw opening and closing mechanisms 85A and 85B and the claw portions 86A and 86B are provided, even if the travel distance of the turning portion 90E along the Y-axis driving portion 90I is long, Can be performed in a short time.

또, 각 램프 하우스(29A~29C)에 대응하여 배치되는 케이싱(51A~51C) 내에는 인출 구동 유닛(60) 및 클램프 기구(52)용 구동 유닛(72C)만을 장착하면 되기 때문에, 챔버(92)의 옥상(RT)의 설치 면적을 줄일 수 있어, 좁은 옥상(RT)에서도 광원 장치(30D)를 용이하게 설치할 수 있다. Since only the drawing drive unit 60 and the drive unit 72C for the clamp mechanism 52 are mounted in the casings 51A to 51C arranged corresponding to the respective lamp houses 29A to 29C, (RT) of the light source device 30D can be reduced, and the light source device 30D can be easily installed even in a narrow roof (RT).

또, 방전 램프의 교환 시간을 보다 단축하기 위해서, 방전 램프를 보관하는 턴 테이블(79)의 수나 램프 반송계(56D)의 수를 늘려, 램프 교환 시간을 단축하도록 해도 좋다. In order to further shorten the replacement time of the discharge lamp, the number of turn tables 79 for storing discharge lamps and the number of lamp delivery systems 56D may be increased to shorten the lamp replacement time.

또, 방전 램프 보충용 턴 테이블과 회수용 턴 테이블을 나누어 배치해도 좋다. Further, the discharge lamp replenishing turn table and the rotating turn table may be separately arranged.

또, 복수의 램프 하우스(29A~29C)의 상부를 횡단하도록 배치한 Y축 구동부(90I)(램프 반송계(56D)의 주행축)는, 옥상(RT)에 복수의 지주에 의해서 장착되어 있어도 좋고, 챔버(92)와는 분리하여 배치된 예를 들면 공장의 천정부에 현수(懸垂)하도록 지지되어 있어도 좋다. 또, 램프 하우스(29A~29C)도 챔버(92)로부터 떨어진 장소에 함께 마련되어 있어도 좋다. The Y-axis driving portion 90I (the running axis of the ramp-carrying system 56D) arranged so as to traverse the upper portions of the plurality of lamp houses 29A to 29C is mounted on the roof RT by a plurality of supports Or may be supported so as to hang on a ceiling portion of a factory disposed separately from the chamber 92, for example. Also, the lamp houses 29A to 29C may be provided together at a place away from the chamber 92. [

[제5 실시 형태][Fifth Embodiment]

제5 실시 형태에 대해 도 28~도 31의 (B)를 참조하여 설명한다. 위에서 설명한 실시 형태에서는, 방전 램프(1, 1A)의 음극측 구금부(26, 126)를 지지 부재(33)에 위치 결정하여 고정한 상태에서, 양극측 구금부(28, 128)를 램프 반송계(56, 56C) 등의 클로부(86) 또는 파지부(160) 등에 의해 파지하고 있지만, 방전 램프(1, 1A)의 형상 정밀도가 낮은 경우에는, 클로부(86) 또는 파지부(160) 등에 의해 구금부(28, 128)를 파지할 수 없을 우려가 있다. 방전 램프(1, 1A)의 형상 정밀도가 낮은 경우에, 클로부(86) 또는 파지부(160) 등의 로봇 핸드에 의해 구금부(28, 128)를 파지할 수 있기 위해서는, 로봇 핸드에는, 컴플라이언스(compliance) 기능(유연성)이 필요하다. 그래서, 본 실시 형태에서는, 방전 램프와의 위치 관계에 대해서 유연성을 가지는 방전 램프의 파지 기구, 및 이러한 파지 기구에 의해 파지하는데 적합한 형상의 구금을 가지는 방전 램프를 제공한다. 이 방전 램프 및 파지 기구는, 각각 예를 들면 도 4의 (B)의 광원 장치(30) 중의 방전 램프(1) 및 램프 반송계(56)에 사용할 수 있는 것이다. 또, 도 28~도 31의 (B)에서 도 19의 (A) 및 (B)에 대응하는 부분에는 동일한 부호를 부여하여 그 상세한 설명을 생략한다. The fifth embodiment will be described with reference to Figs. 28 to 31 (B). In the above-described embodiment, the anode side claw portions 26, 126 of the discharge lamps 1, 1A are positioned and fixed to the support member 33, and the anode side claw portions 28, The claw portion 86 or the grip portion 160 of the discharge lamps 1 and 1A is gripped by the claw portion 86 or the grip portion 160 of the discharge lamps 1 and 2, There is a possibility that the custody units 28 and 128 can not be gripped by the cushion. In order to be able to grip the claw portions 28 and 128 by the robot hand such as the claw portion 86 or the grip portion 160 when the shape accuracy of the discharge lamps 1 and 1A is low, There is a need for compliance functionality (flexibility). Thus, in the present embodiment, there is provided a discharge lamp gripping mechanism having flexibility with respect to a positional relationship with a discharge lamp, and a discharge lamp having a fitting having a shape suitable for gripping by the gripping mechanism. The discharge lamp and the holding mechanism can be used for the discharge lamp 1 and the lamp return system 56 in the light source unit 30 of Fig. 4B, for example. In FIGS. 28 to 31B, parts corresponding to parts (A) and (B) of FIG. 19 are denoted by the same reference numerals and detailed description thereof is omitted.

도 28은, 본 실시 형태에 관한 방전 램프(1B)를 나타낸다. 도 28에서, 방전 램프(1B)는, 유리관(25A)과, 유리관(25A)의 일방의 막대 모양부(25Ab)의 단부에 연결된 음극측 구금부(126)와, 유리관(25A)의 타방의 막대 모양부(25Ac)의 단부에 연결된 양극측 구금부(128A)를 구비하고 있다. 구금부(128A, 126)는 각각 유리관(25A)의 벌브부(25Aa) 내의 양극 및 음극(미도시)에 전기적으로 접속되어 있다. 구금부(126 및 128A)는 전기 전도율 및 열전도율이 양호한 금속제이다. Fig. 28 shows a discharge lamp 1B according to the present embodiment. 28, the discharge lamp 1B includes a glass tube 25A, a cathode-side holding portion 126 connected to an end of one rod portion 25Ab of the glass tube 25A, And a positive electrode side detaching portion 128A connected to an end of the bar-shaped portion 25Ac. The cage portions 128A and 126 are electrically connected to the positive electrode and the negative electrode (not shown) in the bulb portion 25Aa of the glass tube 25A, respectively. The claw portions 126 and 128A are made of metal having good electrical conductivity and thermal conductivity.

또, 양극측 구금부(128A)에는, 방전 램프(1B)의 막대 모양부(25Ac)측으로부터 개방단측으로 순서대로, 막대 모양부(25Ac)의 직경보다도 약간 큰 외경의 원통 모양의 접속부(128Ak)와, 막대 모양부(25Ac)의 직경과 거의 동일한 외경의 원통 모양의 중간부(128Am)와, 복수의 고리 띠 모양의 방열 핀(128Aj)이 형성된 방열부(128Ai)와, 방열 핀(128Aj)의 반경보다도 약간 큰 반경을 가지는 구체의 일부인 구대부(救帶部)(128Ae)(피유지부 또는 피파지부)와, 도 2의 (A)의 단자부(128a)와 동일 형상의 단자부(128Aa)가 형성되어 있다. 구대부(128Ae)는, 그 구체의 방전 램프(1B)의 길이 방향을 따른 양단부를 대칭으로, 그 길이 방향에 수직인 면으로 자른 형상이다. 구대부(128Ae)의 높이(방전 램프(1B)의 길이 방향의 길이)는, 그 구체의 반경의 2/3 정도로 설정되어 있다. 구금부(128A)는, 열전도율 및 전기 전도율이 양호한 금속(예를 들면 놋쇠)으로 일체적으로 형성되어 있다. 또, 구금부(128A)를, 개별로 제조한 각 부분(구대부(128Ae), 단자부(128Aa))를 연결하여 형성해도 괜찮다. The positive electrode side retaining portion 128A is provided with a cylindrical connection portion 128Ak having an outer diameter slightly larger than the diameter of the rod portion 25Ac in this order from the rod portion 25Ac side to the open end side of the discharge lamp 1B. A heat dissipation portion 128Ai formed with a plurality of annular band-like heat dissipation fins 128Aj, and a heat dissipation fin 128Aj having a plurality of annular band-like heat dissipation fins 128Aj, (A to-be-held portion or a notched portion) which is a part of a sphere having a radius slightly larger than the radius of the terminal portion 128Aa Is formed. The bulb portion 128Ae has a shape in which both ends along the longitudinal direction of the bulb 1B of the bulb are symmetrical and cut into a plane perpendicular to the longitudinal direction. The height of the bulb 128Ae (the length in the longitudinal direction of the discharge lamp 1B) is set to about 2/3 of the radius of the bulb. The retaining portion 128A is integrally formed of a metal (for example, brass) having a good thermal conductivity and an excellent electrical conductivity. It is also possible to form the holding portion 128A by connecting the individual portions (the bulged portion 128Ae and the terminal portion 128Aa) individually.

도 29의 (A)는, 본 실시 형태에 관한 파지 기구로서의 핸드부(85D)를 나타내는 일부를 잘라낸 평면도, 도 29의 (B)는, 도 29의 (A)의 일부를 잘라낸 정면도이다. 또, 도 29의 (A)는 도 29의 (B)의 A-A선을 따른 단면도이기도 하다. 또, 도 29의 (A), (B)에서, 지지되는 방전 램프(1B)의 길이 방향을 따라서 Z축을 취하고, Z축에 수직인 면내의 직교하는 방향으로 X축 및 Y축을 취하여 설명한다. 또, X축, Y축, 및 Z축에 평행한 축 둘레의 회전 방향을 각각 θx, θy, 및 θz 방향이라고도 하기도 한다. 또, 도 29의 (B)에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태의 핸드부(85D)는, 일례로서 도 4의 (B)의 램프 반송계(56)의 Z축 구동 기구(84)에 파지 클로 개폐 기구(85)를 대신하여 장착할 수 있다. 29A is a plan view showing a part of the hand portion 85D as a gripping mechanism according to the present embodiment, and FIG. 29B is a front view of a portion of FIG. 29A cut away. 29A is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG. 29B. 29 (A) and 29 (B), the Z-axis is taken along the longitudinal direction of the supported discharge lamp 1B, and the X-axis and the Y-axis are taken in orthogonal directions in the plane perpendicular to the Z-axis. The rotation directions about the axes parallel to the X axis, the Y axis, and the Z axis are also referred to as? X,? Y, and? Z directions, respectively. 29 (B), the hand portion 85D of the present embodiment is, as an example, the same as the hand grip 85D of the present embodiment in which the Z-axis driving mechanism 84 of the lamp- It can be mounted in place of the opening / closing mechanism 85.

도 29의 (A), (B)에서, 핸드부(85D)는, X방향 및 Y방향의 컴플리언스 기구(유연성을 가지는 기구)를 구비하고 있다. 29A and 29B, the hand portion 85D is provided with a compliance mechanism (a flexible mechanism) in the X direction and the Y direction.

핸드부(85D)는, Z축 구동 기구(84)의 저면에 고정된, 직방체이고 하부로 뚫린 상자 형상의 케이스(172)와, 케이스(172)의 하단에 고정되어, 외형이 케이스(172)와 동일하고 높이가 낮은, 직사각형의 프레임 모양의 프레임 부재(173a)를 가진다. 프레임 부재(173a)의 두께(XY면내의 폭)는 전체 둘레에 걸쳐서(각부(角部)를 제외함) 동일하고, 그 두께는, 케이스(172)의 측면부의 두께보다도 넓다. The hand portion 85D is a rectangular parallelepiped box-shaped case 172 fixed to the bottom surface of the Z-axis driving mechanism 84. The hand portion 85D is fixed to the lower end of the case 172, Shaped frame member 173a which is the same as the frame member 173a and has a low height. The thickness of the frame member 173a (width in the XY plane) is the same throughout the whole circumference (excluding corner portions), and its thickness is wider than the thickness of the side surface portion of the case 172.

또, 프레임 부재(173a)의 저면에는, 중앙부에 원형의 구멍이 뚫린 직사각형의 평판 모양의 하판(173b)이 고정되어 있다. 하판(173b)은 예를 들면 금속(스테인리스 등)으로 형성되어 있다. 또, 프레임 부재(173a)의 상면이고 케이스(172)의 내부에는, 케이스(172)의 내면에 미소(微少)한 간극으로, 평면에서 볼 때 직사각형이고 두께가 얇은, 중앙부에 원형의 구멍이 뚫린 평판 모양의 상판(177)이 배치되어 있다. 상판(177)은 예를 들면 합성 수지(樹脂)(플라스틱 등)로 형성되어 있다. 상판(177)의 구멍 지름은 하판(173b)의 구멍 지름과 거의 동일하다. A rectangular flat plate-like lower plate 173b having a circular hole at its center is fixed to the bottom surface of the frame member 173a. The lower plate 173b is formed of, for example, metal (stainless steel or the like). In the inside of the case 172, on the upper surface of the frame member 173a, there is formed a minute gap in the inner surface of the case 172, a rectangular hole which is rectangular in plan view and thin in thickness, An upper plate 177 of a flat plate shape is disposed. The upper plate 177 is formed of, for example, a synthetic resin (plastic). The hole diameter of the upper plate 177 is almost the same as the hole diameter of the lower plate 173b.

케이스(172)의 내부의 천정과 상판(177)의 상면과의 사이에는, 복수의 압축 코일 스프링(180)이 압축된 상태로 장착되어 있고, 상판(177)은 프레임 부재(173a)에 위로부터 소정의 힘으로 밀어 붙여져 있다. 또, 압축 코일 스프링(180)에는 가이드봉(181)이 마련되어 있다. A plurality of compression coil springs 180 are mounted in a compressed state between the ceiling inside the case 172 and the upper surface of the upper plate 177. The upper plate 177 is attached to the frame member 173a from above And is pushed by a predetermined force. The compression coil spring 180 is provided with a guide rod 181.

핸드부(85D)는, 하단부에 원판 모양의 장착 부재(175)를 매개로 하여 복수(예를 들면 3개)의 Z방향으로 연장된 손가락부(86D)를 가지고 있고, 장착 부재(175) 내의 개폐 장치(미도시)에 의해, 평면에서 볼 때, 방사상으로 동기하여(동일 속도로 동일 거리만큼) 복수의 손가락부(86D)를 개폐할 수 있도록 되어 있다. The hand portion 85D has a plurality of (for example, three) finger portions 86D extending in the Z direction via a disk-shaped mounting member 175 at a lower end portion thereof, (Not shown) can open and close the plurality of fingers 86D in a radial synchronous manner (at the same speed and at the same distance) when viewed in a plan view.

장착 부재(175)의 상면에는, 원통 부재(174)가 상하 방향(Z방향)으로 연장하여 장착되어 있다. 원통 부재(174)는, 원기둥 모양의 부재라도 좋다. 원통 부재(174)의 Z방향의 중간 위치에는 평면에서 볼 때, 직사각형의 플랜지부(174a)가 마련되어 있다. 원통 부재(174)(플랜지부(174a))는, 예를 들면 금속(알루미늄 합금등)으로 형성되어 있다. 원통 부재(174)의 플랜지부(174a)를 사이에 끼우는 원통 모양인 부분의 직경은 하판(173b) 및 상판(177)의 구멍 지름보다도 작고, 플랜지부(174a)의 외형의 폭은 하판(173b) 및 상판(177)의 구멍 지름보다도 크다. 상판(177)과 하판(173b)이 원통 부재(174)의 직사각형의 플랜지부(174a)를 상하로부터 사이에 끼우도록, 원통 부재(174)의 원통부가 상판(177)과 하판(173b)의 구멍에 삽입 통과되어 있다. 원통 부재(174)의 상하의 단부는, 중간의 원통부보다도 직경이 큰 헤드부(174b) 및 연결부(174c)로 되어 있다. On the upper surface of the mounting member 175, a cylindrical member 174 is mounted extending in the vertical direction (Z direction). The cylindrical member 174 may be a cylindrical member. At the intermediate position of the cylindrical member 174 in the Z direction, a rectangular flange portion 174a is provided as seen in plan view. The cylindrical member 174 (flange portion 174a) is formed of, for example, a metal (aluminum alloy or the like). The diameter of the cylindrical portion sandwiching the flange portion 174a of the cylindrical member 174 is smaller than the hole diameter of the lower plate 173b and the upper plate 177 and the width of the outer shape of the flange portion 174a is smaller than the diameter of the lower plate 173b And the hole diameter of the upper plate 177. The cylindrical portion of the cylindrical member 174 is inserted into the hole of the upper plate 177 and the lower plate 173b so that the upper plate 177 and the lower plate 173b sandwich the rectangular flange portion 174a of the cylindrical member 174 from above and below. As shown in Fig. The upper and lower ends of the cylindrical member 174 are the head portion 174b and the connecting portion 174c, which are larger in diameter than the intermediate cylindrical portion.

플랜지부(174a)의 두께(Z방향의 폭)는, 프레임 부재(173a)의 두께(Z방향의 폭)보다도 얇다. 따라서, 상판(177)과 하판(173b)과의 사이에는, 플랜지부(174a)가 Z방향으로 변위 가능한 간극이 있다. 플랜지부(174a)를 포함하는 원통 부재(174)는, 장착 부재(175)의 일부라도 좋고, 원통 부재(174)의 저부에, 손가락부(86D)를 개폐시키는 액추에이터 등이 장착되어 있어도 좋다. The thickness (width in the Z direction) of the flange portion 174a is thinner than the thickness (width in the Z direction) of the frame member 173a. Thus, between the upper plate 177 and the lower plate 173b, there is a clearance where the flange portion 174a can displace in the Z direction. The cylindrical member 174 including the flange portion 174a may be a part of the mounting member 175 and an actuator or the like for opening and closing the finger portion 86D may be mounted on the bottom of the cylindrical member 174. [

또, 도 29의 (A)에 나타내는 바와 같이, 상판(177)과 하판(173b)과의 사이에는, 플랜지부(174a)를 내포하도록, 평면에서 볼 때 직사각형이고 Z방향의 두께가, 프레임 부재(173a)의 두께보다도 작으며, 또한 플랜지부(174a)의 두께와 거의 동일한 소형의 직사각형의 프레임 모양 부재(이하, '소형 프레임 모양 부재'라고 함)(173c)가 배치되어 있다. 소형 프레임 모양 부재(173c)의 길이(서로 마주 보는 변(邊) 중, 긴 쪽(Y방향)의 길이)는, 프레임 부재(173a)의 일방이 서로 마주 보는 평행한 내면 사이의 길이(Y방향 중 치수)보다 약간 짧고, 소형 프레임 모양 부재(173c)의 폭(서로 마주 보는 변 중, 짧은 쪽(X방향)의 길이)은, 프레임 부재(173a)의 타방이 서로 마주 보는 평행한 내면 사이의 길이(X방향 중 치수)보다도 충분히 짧게 설정되어 있다. 또, 소형 프레임 모양 부재(173c)의 직사각형의 구멍의 X방향의 폭(X방향중 치수)은, 플랜지부(174a)의 X방향의 길이보다 약간 길고, 소형 프레임 모양 부재(173c)의 직사각형의 구멍의 Y방향의 길이(Y방향 중 치수)는, 플랜지부(174a)의 Y방향 길이보다도 충분히 길게 설정되어 있다. 그 때문에, 플랜지부(174a)(즉, 원통 부재(174))는, 소형 프레임 모양 부재(173c)와 함께(소형 프레임 모양 부재(173c)를 플랜지부(174a)가 밀어) X방향으로 이동 가능하고, 플랜지부(174a)는 소형 프레임 모양 부재(173c)의 내벽면을 따라서 Y방향으로 이동 가능하다. 또, 플랜지부(174a)는, 소형 프레임 모양 부재(173c)의 X방향의 내벽과 Y방향의 외벽에 의해서, θz 방향의 회전이 규제되고 있다. As shown in Fig. 29 (A), between the upper plate 177 and the lower plate 173b, a rectangular shape in plan view and a thickness in the Z direction are formed so as to enclose the flange portion 174a, (Hereinafter, referred to as a "small frame member") 173c which is smaller than the thickness of the flange portion 173a and approximately equal to the thickness of the flange portion 174a. The length of the small frame member 173c (the length in the long side (Y direction) of the sides facing each other) is determined by the length between the parallel inner surfaces of one side of the frame member 173a facing each other And the width of the small frame member 173c (the length in the short side (X direction) of the sides facing each other) is slightly shorter than the width of the frame member 173a between the parallel inner surfaces facing each other Is set to be sufficiently shorter than the length (dimension in the X direction). The width in the X direction (dimension in the X direction) of the rectangular hole of the small-sized frame member 173c is slightly longer than the length in the X direction of the flange portion 174a, and the rectangular shape of the small frame member 173c The length of the hole in the Y direction (dimension in the Y direction) is set to be sufficiently longer than the length in the Y direction of the flange portion 174a. Therefore, the flange portion 174a (i.e., the cylindrical member 174) can move in the X direction (with the flange portion 174a being pushed by the small frame member 173c) together with the small frame member 173c And the flange portion 174a is movable in the Y direction along the inner wall surface of the small-sized frame member 173c. In the flange portion 174a, the rotation in the? Z direction is restricted by the X-direction inner wall and the Y-direction outer wall of the small-sized frame member 173c.

또, 원통 부재(174)의 상판(177)보다 위의 부분에는, 도 29의 (B)에 나타내는 바와 같이, 방사상으로 배치한 3개 이상의 막대 모양 부재(178)를 매개로 하여 인장 코일 스프링(179)의 일단이 장착되어 있다. 인장 코일 스프링(179)의 타단은, 케이스(172)의 천정으로서, 인장 코일 스프링(179)의 일단측의 장착 위치보다도 외측(평면에서 볼 때, 원통 부재(174)를 중심으로 하여 반경 방향의 외측)에, 방사상으로 약간 당겨 늘려진 상태로 장착되어 있다. 그 때문에, 원통 부재(174)에는, 방사상으로 경사진 상부로 당기는 힘이 주어지고 있고, 반대 방향으로 팽팽해진 인장 코일 스프링(179)의 힘의 균형에 의해서, 중심 위치에 머물러 있다. 이 때, 원통 부재(174)에 장착 부재(175)를 매개로 하여 장착된 손가락부(86D)가 어느 것도 파 지키지 않은 상태에서, 장착 부재(175) 및 손가락부(86D)의 자중을 이겨내어, 플랜지부(174a)의 상면이 상판(177)에 가볍게 접촉하도록, 인장 코일 스프링(179)의 힘과 장착 각도가 결정되어 있다. 또, 이 때, 복수의 압축 코일 스프링(180)의 힘에 의해서, 상판(177)이 상부로 들어 올려지지 않을 정도로, 압축 코일 스프링(180)의 힘이 결정되어 있다.As shown in Fig. 29 (B), a tension coil spring (spring) 177 is inserted through three or more rod-shaped members 178 arranged in a radial manner in a portion of the cylindrical member 174 above the upper plate 177, 179 are mounted. The other end of the tension coil spring 179 is a ceiling of the case 172. The other end of the tension coil spring 179 is located outside the mounting position of the one end side of the tension coil spring 179 And is mounted in a state slightly pulled radially. Therefore, the cylindrical member 174 is given a radially tilting upward force, and stays at the center position due to the balance of the force of the tension coil spring 179 which is tightened in the opposite direction. At this time, the weight of the mounting member 175 and the finger portion 86D is overcome in a state in which the finger portion 86D mounted on the cylindrical member 174 via the mounting member 175 is not caught , The force and the mounting angle of the tension coil spring 179 are determined so that the upper surface of the flange portion 174a comes into light contact with the upper plate 177. [ At this time, the force of the compression coil spring 180 is determined by the force of the plurality of compression coil springs 180 such that the upper plate 177 is not lifted upward.

그 결과, 인장 코일 스프링(179)에 의해 매달아 올려져 있는 원통 부재(174)(즉, 장착 부재(175) 및 손가락부(86D))는, 플랜지부(174a)와 합성 수지제의 상판(177)과의 사이의 마찰 저항에 의해서, 진동적으로 되는 것을 억제함과 아울러, 낮은 마찰 계수에 의해 수평 방향의 이동이 저해되는 것을 방지하고 있다. As a result, the cylindrical member 174 (that is, the mounting member 175 and the finger portion 86D) hung by the tension coil spring 179 is pressed against the flange portion 174a and the synthetic resin upper plate 177 To prevent vibrations, and to prevent the movement in the horizontal direction from being hindered by a low coefficient of friction.

손가락부(86D)의 내측은, 도 28의 방전 램프(1B)의 구금부(128)의 구대부(128Ae)의 표면을 따르는(감합 가능한) 곡률로 오목 모양으로 형성되어 있다. 장착 부재(175)의 저면의 복수의 손가락부(86D)의 밑부분의 중앙에는, 원기둥 모양의 안내 블록(176)이 고정되어 있고, 안내 블록(176)의 선단으로부터 손가락부(86D)에 마련한 오목부의 곡률 중심까지의 Z방향의 거리가, 방전 램프(1B)의 구금부(128)의 선단으로부터 구대부(128Ae)의 중심까지의 Z방향(방전 램프(1B)의 길이 방향)의 거리와 거의 동일하게 되도록, 안내 블록(176)의 Z방향의 높이가 조정되어 있다. 그 때문에, 안내 블록(176)이 방전 램프(1B)의 구금부(128A)의 선단에 접촉한 상태에서, 손가락부(86D)를 닫으면, 방전 램프(1B)의 구대부(128Ae)에 손가락부(86D)의 오목부가 감합하여, 확실히 방전 램프(1B)를 파지할 수 있도록 되어 있다. 또, 안내 블록(176)은 생략할 수도 있다. The inside of the finger portion 86D is formed in a concave shape with a curvature (fittable) along the surface of the bulb portion 128Ae of the bulge portion 128 of the discharge lamp 1B in Fig. A cylindrical guide block 176 is fixed to the center of the lower portions of the plurality of finger portions 86D on the bottom surface of the mounting member 175 and is provided on the finger portion 86D from the tip end of the guide block 176 The distance in the Z direction to the center of curvature of the concave portion is smaller than the distance in the Z direction (the longitudinal direction of the discharge lamp 1B) from the tip of the housing portion 128 of the discharge lamp 1B to the center of the bulb portion 128Ae The height of the guide block 176 in the Z direction is adjusted so as to be substantially the same. Therefore, when the finger portion 86D is closed while the guide block 176 is in contact with the tip end of the claw portion 128A of the discharge lamp 1B, the tip portion 128Ae of the discharge lamp 1B, The discharge lamp 1B can be surely gripped by fitting the concave portion of the discharge lamp 86D. The guide block 176 may be omitted.

다음으로, 본 실시 형태의 방전 램프(1B) 및 핸드부(85D)에 의해서, 핸드부(85D)에 대해서 6자유도 방향(X, Y, Z방향, 및 θx, θy, θz 방향)으로 어긋나게 놓여진 방전 램프(1B)를 자동적으로 파지하는 동작에 대해 상세하게 설명한다. Next, the discharge lamp 1B and the hand portion 85D of the present embodiment are shifted in the six degrees of freedom direction (X, Y, Z directions and? X,? Y,? Z directions) with respect to the hand portion 85D The operation of automatically gripping the discharged discharge lamp 1B will be described in detail.

도 30의 (A)에 나타내는 바와 같이, 방전 램프(1B)의 양극측 구금부(128A)는, 예를 들면, 설계상의 보내고 받음 위치로부터 θy 방향으로 경사지고, ＋X방향으로 어긋나 있는 것으로 한다. 핸드부(85D)는, 미도시한 X방향 및 Y방향으로의 구동 기구(예를 들면 도 4의 (B)의 선회축(83))에 의해서, 방전 램프(1B)의 상부의 X방향 및 Y방향의 목표 위치로 이동한다. 다음으로, 장착 부재(175)가 복수의 손가락부(86D)를 벌려(열린 상태로 하여), Z축 구동 기구(84)에 의해서 손가락부(86D)는 방전 램프(1B)의 파지 위치까지 강하해 간다. 그리고, 장착 부재(175)의 중앙부에 마련된 안내 블록(176)에 방전 램프(1B)의 구금부(128A)의 선단부가 접촉하는 높이에서 핸드부(85D)는 강하를 정지하고, 손가락부(86D)는 폐동작을 개시한다. As shown in Fig. 30 (A), the anode-side holding portion 128A of the discharge lamp 1B is inclined in the? Y direction from the transmitting and receiving position in the design, and is displaced in the + X direction, for example. The hand portion 85D is moved in the X direction and the Y direction in the upper portion of the discharge lamp 1B by the drive mechanism (for example, the pivot shaft 83 in Fig. 4B) Direction to the target position in the Y direction. The finger portion 86D is lowered to the gripping position of the discharge lamp 1B by the Z-axis driving mechanism 84 by the mounting member 175 so that the plurality of finger portions 86D are opened I'll go. The hand portion 85D stops descending at a height at which the distal end portion of the claw portion 128A of the discharge lamp 1B is brought into contact with the guide block 176 provided at the center of the mounting member 175 and the finger portion 86D ) Starts the closing operation.

이 때, 방전 램프(1B)의 Z방향 길이가 목표로 하는 길이보다도 긴 경우에는, 안내 블록(176)이 구금부(128A)에 접촉한 후에도 핸드부(85D)는 강하를 계속하게 된다. 그 때, 안내 블록(176)이 방전 램프(1B)를 하부(－Z방향)로 밀지 않도록, 플랜지부(174a)가 상판(177)을 복수의 압축 코일 스프링(180)의 힘을 이겨내어, 상부(＋Z방향)로 밀어 올린다. 그 결과, 방전 램프(1B)에는 큰 힘이 걸리지 않는다. 한편, 방전 램프(1B)의 Z방향의 길이가 목표로 하는 길이보다도 짧은 경우에는, 손가락부(86D)의 오목부의 곡률 중심의 위치와 구금부(128A)의 구대부(128Ae)의 중심 위치가 Z방향으로 어긋나 있다. 이 상태에서 손가락부(86D)를 닫으면, 손가락부(86D)에 마련된 오목부의 하부의 가장자리가 구대부(128Ae)의 Z방향의 중심보다 하부에 접촉한다. 그 후, 손가락부(86D)를 더 닫으면, 상판(177)에 접촉하고 있던 플랜지부(174a)가 인장 코일 스프링(179)의 힘을 이겨내어 하판(173b)과의 사이의 간극분만큼 하부로 이동하는 것이 가능하기 때문에, 손가락부(86D)는 구대부(128Ae)의 곡률을 가지는 표면으로 안내되어 하부로 이동하고, 손가락부(86D)의 오목부와 구대부(128Ae)의 표면이 감합하도록, 손가락부(86D)는 구대부(128Ae)에 밀착한다. At this time, when the Z-direction length of the discharge lamp 1B is longer than the target length, the hand portion 85D continues to be lowered even after the guide block 176 contacts the detaching portion 128A. The flange portion 174a overcomes the force of the plurality of compression coil springs 180 to the upper plate 177 so that the guide block 176 does not push the discharge lamp 1B downward (-Z direction) And push it upward (+ Z direction). As a result, a large force is not applied to the discharge lamp 1B. On the other hand, when the length of the discharge lamp 1B in the Z direction is shorter than the target length, the position of the center of curvature of the concave portion of the finger portion 86D and the center position of the bulb portion 128Ae of the claw portion 128A Z direction. When the finger portion 86D is closed in this state, the lower edge of the concave portion provided in the finger portion 86D comes into contact with the lower portion than the center of the bulge portion 128Ae in the Z direction. The finger portion 86D is further closed so that the flange portion 174a that has contacted the upper plate 177 overcomes the force of the tension coil spring 179 and moves downward by a distance corresponding to the gap with the lower plate 173b The finger portion 86D is guided by the surface having the curvature of the bulb portion 128Ae and moves to the lower portion so that the concave portion of the finger portion 86D and the surface of the bulb portion 128Ae fit , And the finger portion 86D is in close contact with the bulb portion 128Ae.

이것은, 손가락부(86D)에 마련한 오목부가 구대부(128Ae)를 사이에 끼우는 것에 의해서, 구심(求心) 작용을 일으켜, 플랜지부(174a)와 하판(173b)과의 사이의 간극분만큼 하부로 손가락부(86D)를 이동시킬 수 있도록 한 것이다. 그 외에, 핸드부(85D)에서, 방전 램프(1B)가 짧았을 때를 고려하여, Z축 구동 기구(84)에 의해서 핸드부(85D)를 항상 목표로 하는 높이 보다도 -Z방향으로 이동시켜, 안내 블록(176)이 구금부(128A)의 선단에 접촉하고 나서 손가락부(86D)의 폐동작을 행하도록 해도 좋다. This is because the concave portion provided in the finger portion 86D interposes the bulb portion 128Ae to cause a centripetal action and the lower portion of the finger portion 86D is spaced apart by a distance corresponding to the gap between the flange portion 174a and the lower plate 173b So that the finger portion 86D can be moved. In addition, in consideration of the case where the discharge lamp 1B is short in the hand portion 85D, the hand portion 85D is always moved by the Z-axis driving mechanism 84 in the -Z direction with respect to the target height , The guide block 176 may contact the distal end of the holding portion 128A and then perform the closing operation of the finger portion 86D.

손가락부(86D)가 폐동작을 행하면, 도 30의 (B)에 나타내는 바와 같이, 구금부(128A)가 경사져 있기 때문에, ＋X방향측의 손가락부(86D)가 -X방향측의 손가락부(86D)보다도 먼저 구금부(128A)에 접촉하지만, -X방향측의 손가락부(86D)도 구금부(128A)에 접촉하도록, 손가락부(86D)를 동기하여 더 닫아 가면, 도 31의 (A)에 나타내는 바와 같이, ＋X방향측의 손가락부(86D)가 구금부(128A)로부터 받는 반력(反力)에 의해서, 핸드부(85D)에는 전체를 ＋X방향으로 미는 힘이 걸린다. 그 결과, 인장 코일 스프링(179)의 힘의 균형, 및 플랜지부(174a)와 상판(177)과의 마찰에 의해서 평형이 유지되어 있었던 원통 부재(174)는, 인장 코일 스프링(179)의 균형력 및 플랜지부(174a)와 상판(177)과의 마찰력을 이겨내어, ＋X방향으로 용이하게 이동하면서, 3개의 손가락부(86D)에 의해 구금부(128A)의 구대부(128Ae)를 확실히 파지한다. 이 때, 구금부(128A)가 θx, θy, θz 방향으로 경사져 있어도, 구대부(128Ae)의 구면(球面)이 시프트해도, 그 형상은 변화하지 않기 때문에, 손가락부(86D)는 회전 방향의 컴플라이언스 기능이 없어도 구금부(128A)를 확실히 파지할 수 있다. When the finger portion 86D is closed, as shown in Fig. 30 (B), since the claw portion 128A is inclined, the finger portion 86D on the + X direction side faces the finger portion When the finger portion 86D is further closed in synchronism with the holding portion 128A so that the finger portion 86D on the -X direction side also contacts the holding portion 128A, , The pressing force in the + X direction is applied to the hand portion 85D by the reaction force (reaction force) received from the holding portion 128A by the finger portion 86D on the + X direction side. As a result, the balance of the force of the tension coil spring 179 and the balance of the cylindrical member 174 held by the friction between the flange portion 174a and the upper plate 177 are equal to the balance of the tension coil spring 179 The frictional force between the flange portion 174a and the upper plate 177 is surpassed so that the three finger portions 86D can easily grip the bulb portion 128Ae of the holding portion 128A while easily moving in the + do. At this time, even if the holding portion 128A is inclined in the directions of? X,? Y, and? Z, the shape of the finger portion 86D does not change even if the spherical surface of the ball portion 128Ae shifts. The custody unit 128A can be reliably held without the compliance function.

그리고, 도 31의 (B)에 나타내는 바와 같이, 손가락부(86D)가 방전 램프(1B)의 구금부(128A)를 파지하여, Z축 구동 기구(84)를 구동하여 핸드부(85D)에 의해서 방전 램프(1B)를 들어 올리려고 하면, 인장 코일 스프링(179)에 의해서 경사진 상부로 힘이 주어져, 상판(177)에 접촉하고 있던 플랜지부(174a)는, 방전 램프(1B)의 무게에 의해서 하부로 이동하여, 플랜지부(174a)는 하판(173b)에 접촉한다. 하판(173b)과 플랜지부(174a)와의 사이의 마찰 계수는 비교적 크기 때문에, 손가락부(86D)는 인장 코일 스프링(179)의 힘의 균형에 의한 구심력(求心力)을 이겨내어 ＋X방향으로 어긋난 위치를 유지하면서(컴플라이언스·오프의 상태로) 상승한다. 그 결과, 핸드부(85D)를 X방향 및/또는 Y방향으로 이동하는 것에 의해서, 방전 램프(1B)의 형상 오차에 관계없이, 방전 램프(1B)를 목표로 하는 위치(예를 들면 도 4의 (B)의 보관부(54)의 턴 테이블(79)의 상부)로 이동할 수 있어, 방전 램프(1B)를 미사용의 방전 램프와 교환할 수 있다. 31 (B), the finger portion 86D grasps the holding portion 128A of the discharge lamp 1B, drives the Z-axis driving mechanism 84 to move the hand portion 85D The flange portion 174a which has been in contact with the upper plate 177 is displaced by the tensile coil spring 179 in the direction of the weight of the discharge lamp 1B And the flange portion 174a comes into contact with the lower plate 173b. Since the coefficient of friction between the lower plate 173b and the flange portion 174a is comparatively large, the finger portion 86D overcomes the centripetal force due to the balance of the force of the tension coil spring 179, (In a state of compliance / off). As a result, by moving the hand portion 85D in the X direction and / or the Y direction, regardless of the shape error of the discharge lamp 1B, the position at which the discharge lamp 1B is aimed To the upper portion of the turn table 79 of the storage portion 54 of the discharge lamp 1B of the discharge lamp 1B so that the discharge lamp 1B can be exchanged for an unused discharge lamp.

또, 위에서 설명한 실시 형태에서는, 손가락부(86D)에 상향의 큰 힘이 걸린 경우에, 압축 코일 스프링(180)에 의해 하부로 밀어 붙여져 있는 상판(177)을, 플랜지부(174a)가 밀어 올려, 그 큰 힘을 상부로 놓아주는 기능(버퍼 기능)을 가지고 있었다. 그와 같이 손가락부(86D)가 Z방향으로 놓아주는 기구는, 그러한 기구에 한정되지 않고, 핸드부(85D)의 전체를 Z방향으로 구동하는 기구를 Z축 구동 기구(84)에 마련해도 좋다. In the embodiment described above, when a large upward force is applied to the finger portion 86D, the flange portion 174a pushes up the upper plate 177 which is pushed down by the compression coil spring 180 , And a function of releasing the large force to the upper side (buffer function). The mechanism for releasing the finger portion 86D in the Z direction is not limited to such a mechanism and a mechanism for driving the entire hand portion 85D in the Z direction may be provided in the Z axis driving mechanism 84 .

또, 위에서 설명한 실시 형태에서는, 양극측 구금부(128A)의 손가락부(86D)가 파지하는 부위(구대부(128Ae))에 대해서만 설명했지만, 도 4의 (B)의 전력 케이블(24)의 단부의 급전 블록(66)을 예를 들면 도 28의 단자부(128Aa)에 연결하기 위해서, 단자부(128Aa)의 형상을 도 2의 (A)의 단자부(28a), 또는 도 3의 (B)~(E)의 단자부(28aa~28Da) 등의 형상으로 하면 좋다. In the embodiment described above, only the portion held by the finger portion 86D of the positive electrode side claw portion 128A (the claw portion 128Ae) is described. However, in the power cable 24 of FIG. The shape of the terminal portion 128Aa is changed so that the shape of the terminal portion 28a of the terminal portion 28a of Figure 2A or the terminal portion 28Aa of Figure 3B to the terminal portion 128Aa of Figure 28, The terminal portions 28aa to 28da of the terminal E and the like.

또, 방전 램프(1B)의 제조 방법으로서, 위에서 설명한 방전 램프(1, 1A)와 동일한 제조 방법을 이용할 수 있다. 즉, 램프 본체(유리 부재)와 구금부(126, 128A)를 각각 준비하고, 그들을 서로 연결함으로써 방전 램프(1B)를 구성할 수 있다. 이 때 구금부(126, 128A)는, 예를 들면 사용이 끝난 방전 램프(1B)로부터 떼어낸 것을 재이용하도록 준비해도 괜찮다. 또, 구금부(126, 128A) 중 적어도 일방을 재이용하는 경우에, 구금부(126, 128A)의 전체를 재이용하는 대신에, 구금부(126, 128A)의 적어도 일부(예를 들면, 단자부(128Aa), 구대부(128Ae) 및 방열부(128Ai) 중 적어도 하나의 부품)만 재이용하도록 해도 괜찮다. 　As the manufacturing method of the discharge lamp 1B, the same manufacturing method as that of the discharge lamps 1 and 1A described above can be used. That is, the discharge lamp 1B can be configured by preparing the lamp body (glass member) and the nipping portions 126 and 128A respectively and connecting them to each other. At this time, the detents 126 and 128A may be prepared to reuse, for example, a detached one from the used discharge lamp 1B. When at least one of the cage portions 126 and 128A is to be reused, instead of reusing the entire cage portions 126 and 128A, at least a part of the cage portions 126 and 128A (e.g., 128Aa, the bulb portion 128Ae, and the heat radiation portion 128Ai) may be reused.

또, 상기의 각 실시 형태의 교환 장치(50) 등은 전자동 방식에 의해 방전 램프(1, 1A, 1B) 등의 교환을 행하지만, 예를 들면 클램프 기구(52) 및 구동 유닛(72)만을 사용하여, 인출부(36)의 인출 및 램프 반송계(56) 등에 의한 방전 램프(1, 1A, 1B)의 반송의 일부를 메뉴얼 조작으로 행하도록 해도 괜찮다. The exchange device 50 or the like in each of the above embodiments exchanges the discharge lamps 1, 1A, 1B or the like by a fully automatic method. However, for example, only the clamp mechanism 52 and the drive unit 72 It is also possible to manually carry out a part of the conveyance of the discharge lamp 1 (1A, 1B) by the draw-out portion 36 and the lamp conveyance system 56 or the like.

또, 상기의 각 실시 형태의 교환 장치에서는, 턴 테이블(79)의 각 개구(79a)마다 램프를 교환하는(즉, 미사용 램프를 셋팅(보충)하고, 사용이 끝난 램프를 회수하는) 경우로 했지만, 예를 들면, 구동부(80)에 대해서 턴 테이블(79)을 착탈 가능하게 하여, 턴 테이블(79)의 개구(79a)에 램프를 셋팅한(끼워 넣은) 상태에서 턴 테이블(79)과 함께 램프를 교환하도록 해도 괜찮다. 그 경우, 턴 테이블(79)을 램프의 반송용 캐리어로서 사용해도 괜찮다. In the replacing apparatus of each of the above embodiments, when the lamps are exchanged for each opening 79a of the turntable 79 (that is, the unused lamp is set (replenished) and the used lamp is recovered) The turntable 79 is detachably attached to the drive unit 80 and the turntable 79 is rotated in a state where the lamp is set in the opening 79a of the turntable 79 It is okay to exchange lamps together. In this case, the turntable 79 may be used as a carrier for transferring the lamp.

위에서 설명한 각 실시 형태의 노광 장치 또는 이들 노광 장치를 이용하는 노광 방법을 사용하여, 기판(플레이트(P)) 상에 소정의 패턴(회로 패턴, 전극 패턴 등)을 형성하는 것에 의해서, 액정 표시 소자 등의 액정 디바이스를 제조할 수 있다. 이하, 도 33의 스텝(S401~S404)를 참조하여, 이 제조 방법의 일례에 대해 설명한다. By forming predetermined patterns (circuit patterns, electrode patterns, and the like) on the substrate (plate P) by using the exposure apparatus of each of the above-described embodiments or the exposure method using these exposure apparatuses, Of the liquid crystal device can be manufactured. Hereinafter, an example of this manufacturing method will be described with reference to the steps S401 to S404 in Fig.

도 33의 스텝 S401(패턴 형성 공정)에서는, 먼저, 노광 대상의 기판 상에 포토레지스트(photoresist)를 도포하여 감광 기판(플레이트(P))을 준비하는 도포 공정, 상기의 노광 장치를 이용하여 액정 표시 소자용 마스크의 패턴을 그 감광 기판 상에 전사 노광하는 노광 공정, 및 그 감광 기판을 현상(現像)하는 현상 공정이 실행된다. 이 도포 공정, 노광 공정, 및 현상 공정을 포함하는 리소그래피 공정에 의해서, 그 기판 상에 소정의 레지스터 패턴이 형성된다. 이 리소그래피 공정에 이어서, 그 레지스터 패턴을 가공용 마스크로 한 에칭 공정, 및 레지스트 박리 공정등을 거쳐, 그 기판 상에 다수의 전극 등을 포함하는 소정 패턴이 형성된다. 그 리소그래피 공정 등은, 플레이트(P) 상의 레이어수에 따라 복수회 실행된다. In step S401 (pattern formation step) in Fig. 33, first, a coating step of applying a photoresist on a substrate to be exposed to prepare a photosensitive substrate (plate P) An exposure step of transferring and exposing the pattern of the mask for a display element onto the photosensitive substrate and a developing step of developing the photosensitive substrate are carried out. A predetermined resist pattern is formed on the substrate by a lithography process including the coating process, the exposure process, and the developing process. Following the lithography process, a predetermined pattern including a plurality of electrodes and the like is formed on the substrate through an etching process using the resist pattern as a processing mask and a resist stripping process. The lithography process or the like is executed a plurality of times in accordance with the number of layers on the plate P. [

그 다음의 스텝 S402(칼라 필터 형성 공정)에서는, 빨강(R), 초록(G), 파랑(B)에 대응한 3개의 미세한 필터의 세트를 매트릭스 모양으로 다수 배열하던지, 또는 빨강(R), 초록(G), 파랑(B)의 3개의 스트라이프 모양의 복수의 필터의 세트를 수평 주사선(走査線) 방향으로 배열하는 것에 의해서 칼라 필터를 형성한다. 그 다음의 스텝 S403(셀 조립 공정)에서는, 예를 들면 스텝 S401에서 얻어지는 소정 패턴을 가지는 기판과 스텝 S402에서 얻어진 칼라 필터와의 사이에 액정을 주입하여, 액정 패널(액정 셀)을 제조한다. In the next step S402 (color filter forming step), a large number of three sets of fine filters corresponding to red (R), green (G) and blue (B) are arranged in a matrix shape, A color filter is formed by arranging a plurality of sets of three stripe-shaped filters of green (G) and blue (B) in the horizontal scanning direction. In the next step S403 (cell assembly process), for example, liquid crystal is injected between the substrate having the predetermined pattern obtained in step S401 and the color filter obtained in step S402 to manufacture a liquid crystal panel (liquid crystal cell).

그 후의 스텝 S404(모듈 립조 공정)에서는, 그와 같이 하여 조립된 액정 패널(액정 셀)에 표시 동작을 행하게 하기 위한 전기 회로, 및 백 라이트 등의 부품을 장착하여, 액정 표시 소자로서 완성시킨다. 위에서 설명한 액정 표시 소자의 제조 방법에 의하면, 노광 장치에서 방전 램프의 교환을 효율적으로 행할 수 있기 때문에, 높은 스루풋이 얻어진다.In the subsequent step S404 (module lubrication process), an electric circuit for causing a liquid crystal panel (liquid crystal cell) thus assembled to perform a display operation, and components such as a backlight are mounted and completed as a liquid crystal display device. According to the above-described method of manufacturing a liquid crystal display element, since the discharge lamp can be efficiently exchanged in the exposure apparatus, high throughput is obtained.

또, 본 발명은, 액정 표시 소자의 제조 프로세스에의 적용에 한정되지 않고, 예를 들면, 플라즈마 디스플레이 등의 디스플레이 장치의 제조 프로세스나, 촬상 소자(CCD 등), 마이크로 머신, MEMS(Microelectromechanical Systems：미소(微小) 전기 기계 시스템), 세라믹스 웨이퍼 등을 기판으로서 이용하는 박막(薄膜) 자기(磁氣) 헤드, 및 반도체 소자 등의 각종 디바이스의 제조 프로세스에도 널리 적용할 수 있다. The present invention is not limited to the application to the liquid crystal display device manufacturing process and can be applied to a manufacturing process of a display device such as a plasma display or a manufacturing process of an image pickup device (CCD, etc.), a micromachine, a MEMS (Microelectromechanical Systems: A thin film magnetic head using a ceramics wafer or the like as a substrate, and a semiconductor device or the like.

또, 위에서 설명한 실시 형태의 광원 장치는, 위에서 설명한 스텝ㆍ앤드(and)ㆍ스캔 방식의 주사 노광형 투영 노광 장치(스캐너 등) 외에, 스텝ㆍ앤드ㆍ리피트(repeat) 방식의 투영 노광 장치(스테퍼(stepper) 등)의 노광 광원에도 적용할 수 있다. 또, 위에서 설명한 실시 형태의 광원 장치는, 투영 광학계를 사용하지 않은 프록시미티(proximity) 방식 혹은 컨택트 방식의 노광 장치의 광원 장치, 또는 노광 장치 이외의 기기의 광원에도 적용할 수 있다. The light source device of the above-described embodiment may be a step-and-repeat exposure type projection exposure apparatus (stepper) or the like, in addition to the step-and-scan type scanning exposure type projection exposure apparatus stepper, etc.). The light source device of the embodiment described above can be applied to a light source device of a proximity or contact type exposure apparatus that does not use a projection optical system, or a light source of an apparatus other than the exposure apparatus.

이와 같이 본 발명은 위에서 설명한 실시 형태에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 구성을 취할 수 있다. As described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various configurations can be adopted without departing from the gist of the present invention.

또, 본원에 기재한 상기 공보, 각 국제공개 팜플렛, 미국특허, 또는 미국특허출원공개 명세서에서의 개시를 원용하여 본 명세서의 기재의 일부로 한다. 또, 명세서, 특허 청구의 범위, 도면, 및 요약을 포함하는 2014년 3월 28일부로 제출된 일본국특허출원 제2014－070609호의 모든 개시 내용은, 전부 그대로 인용하여 본원에 넣어져 있다.Also, the disclosures in the above-mentioned publications, each of the international publication pamphlets, US patents, or U.S. patent application publications described herein are incorporated herein by reference. In addition, the entire disclosure of Japanese Patent Application No. 2014-070609, filed on March 28, 2014, including the specification, claims, drawings and summary, is incorporated herein by reference in its entirety.

EX - 노광 장치 M - 마스크
P - 플레이트 PL - 투영 광학계
1 - 방전 램프 1N - 미사용의 방전 램프
2 - 타원 거울 13 - 조명 광학계
20 - 전원부 23, 24 - 전력 케이블
25 - 유리관 25a - 벌브부
26 - 음극측 구금부 28 - 양극측 구금부
28a - 단자부 28e - 피(被)파지부
30 - 광원 장치 31 - 램프 하우스
32 - 광원 제어계 33 - 지지 부재
36 - 인출부 50 - 교환 장치
52 - 클램프 기구 54 - 보관부
56 - 램프 반송계 60 - 인출 구동 유닛
72 - 클램프 기구의 구동 유닛EX - Exposure device M - Mask
P-plate PL - projection optics
1 - discharge lamp 1N - unused discharge lamp
2 - Ellipse Mirror 13 - Lighting optics
20 - Power supply 23, 24 - Power cable
25 - Glass tube 25a - Bulb part
26 - Cathode side cage part 28 - Cathode side cage part
28a - terminal portion 28e -
30 - Light source device 31 - Lamp house
32 - Light source control system 33 - Support member
36 - Drawer 50 - Exchanger
52 - Clamping mechanism 54 - Storage part
56 - Lamp return system 60 - Draw-out drive unit
72 - Drive unit of clamping mechanism

Claims

A glass member provided with a first electrode and a second electrode for forming a light emitting portion and a second electrode member provided on the first electrode side and the second electrode side of the glass member with respect to the light emitting portion, And a discharge lamp having a first opening and a second opening,
A storage unit for storing the discharge lamp,
A support portion detachably supporting the second opening of the discharge lamp;
A connection portion detachably connecting a member for transmitting electric power to the first coupling member of the discharge lamp supported by the support portion;
Wherein the first holding member is held by the support portion of the support member and the member for transmitting the electric power to the first detachment member by the connection portion is released, And a conveying section that conveys the recording medium between the storage section and the support section.

The method according to claim 1,
An unused discharge lamp is stored in the storage portion,
The return section holds the first winding member of the unused discharge lamp and conveys the unused discharge lamp to a position where the second winding member of the unused discharge lamp can be supported by the supporting section .

The method according to claim 1 or 2,
Wherein the first opening of the discharge lamp comprises:
Wherein a member for transmitting the electric power is contactable and a contact portion which is in surface contact with the member is provided so as to reduce an electrical contact resistance with the member,
And a to-be-held portion including a non-planar portion or an inclined portion that can be held by the carrying portion.

The method of claim 3,
The connected portion of the first coupling member includes two planar portions arranged so as to intersect with each other,
Wherein the connecting portion includes a first conductive member connected to the member for transmitting the electric power and having a V-shaped groove capable of contacting with the connected portion of the first opening member, and a second conductive member, And a second member that can be pressed to the side of the light source device.

The method of claim 4,
Wherein the connection portion has a first guide member for supporting the first member so as to be displaceable in a direction along a plane perpendicular to two plane portions of the connected portion of the first coupling member.

The method according to claim 4 or 5,
Wherein the connection portion has a second guide member that supports the first member so as to be displaceable in a direction along two planar portions of the connected portion of the first coupling member.

The method of claim 3,
Wherein the connected portion of the first coupling member includes a substantially axially symmetric surface,
Wherein the connection portion includes an annular conductive first member connected to the member for transmitting the electric power and capable of contacting the connected portion of the first member and a second member having a conductive shape capable of pressing the first member toward the first member And a second member.

The method of claim 7,
The connected portion of the first coupling member has a concave portion that is substantially axisymmetric,
Wherein the second member has a cylindrical tip end portion and an axially symmetrical tapered portion gradually increasing in inner diameter from the tip end portion,
Wherein the connecting portion has a plurality of spheres mountable between the tip portion of the second member or the taper portion and the concave portion of the first member,
Wherein when the plurality of spheres are in the tapered portion of the second member, the connecting portion can be detached from the first member.

The method according to any one of claims 3 to 8,
A hole is formed in the to-be-held portion of the first member,
Wherein the conveying portion includes a hand portion having a protruding portion engageable with a hole of the to-be-kept portion of the first coupling member and holding the first coupling member therebetween; And a moving unit for moving the hand unit in a state where the hand unit is held.

The method according to any one of claims 3 to 8,
Wherein the to-be-maintained portion of the first coupling member has an axisymmetric portion whose surface is spherical,
The conveying portion includes a hand portion capable of holding the to-be-held portion of the first claw member so as to be sandwiched therebetween, a cushioning portion displaced in accordance with an angle difference between the hand portion and the first claw member,
Characterized in that the hand unit includes a moving unit for moving the hand unit and the buffer unit in a state in which the hand unit is holding the to-be-maintained unit of the first cantilever member.

The method according to any one of claims 1 to 10,
And a slide unit which moves the discharge lamp and the holding unit integrally to a position where the carrying unit can hold the first opening member of the discharge lamp.

The method according to any one of claims 1 to 11,
Wherein the second separating member has a flange portion and a stepped portion,
Wherein the support portion includes a support member for supporting the second caterpillar through the flange portion of the second caterpillar member and a support member for supporting the second caterpillar through the stepped portion of the second caterpillar member, And a first lever member detachably fixing the member,
Wherein the connecting portion has a conductive member which is connected to the member for transmitting the electric power and which can be brought into contact with the first claw member and a second lever member capable of pressing the first claw member toward the conductive member,
And a common driver for driving the first and second lever members.

The method according to any one of claims 1 to 12,
Wherein the storage portion is disposed in a second layer below the first layer in which the connection portion, the holding portion, and the carry portion are disposed,
And a lifting portion for moving the storage portion to the second layer during the replacement of the discharge lamp.

The method according to any one of claims 1 to 13,
A plurality of light sources including the discharge lamp, the connection unit, and the support unit are provided,
Wherein the transport section and the storage section are commonly used for the plurality of light source sections.

The method according to any one of claims 1 to 14,
A support member on which the second opening of the discharge lamp is detachably mounted,
And a condensing mirror provided on the support member for condensing light generated from the discharge lamp.

16. The method of claim 15,
Wherein the condensing mirror includes a reflecting surface for reflecting the light generated from the discharge lamp and an opening surrounded by the reflecting surface,
Wherein the support portion supports the second opening member in a state in which a part of the glass member is inserted into the opening.

A light source device according to any one of claims 1 to 16,
An illumination system for illuminating the mask with light emitted from the discharge lamp of the light source device,
And a projection optical system for projecting an image of the pattern of the mask onto a substrate.

Forming a pattern of a photosensitive layer (photosensitive layer) on a substrate by using the exposure apparatus according to claim 17;
And processing the substrate on which the pattern is formed.

There is provided an exchange method for exchanging a discharge lamp having a glass member forming a light emitting portion and a first and a second separate members provided so as to sandwich the glass member,
A member which is in surface contact with a connection portion of the first opening member of the discharge lamp and which transmits electric power is detached from the connection portion,
The second opening of the discharge lamp is made detachable from the supporting member,
Holding the to-be-maintained portion including the non-planar surface portion or the inclined portion of the first opening of the discharge lamp to transport the discharge lamp to the storage portion.

The method of claim 19,
The unsealed discharge lamp is held in the unsealed discharge lamp in the storage portion while holding the to-be-maintained portion of the unsealed discharge lamp, to the position where the second detaching member of the unused discharge lamp can be supported by the support member, ,
Supporting the second opening member of the unused discharge lamp by the supporting member,
And a surface contact of a member to which the member for transmitting the electric power is connected, to the connected portion of the first opening member of the unused discharge lamp.

There is provided a lighting method for lighting a discharge lamp having a glass member forming a light emitting portion and a first and a second separating member sandwiching the glass member,
Contacting the member for transmitting electric power to the connected portion of the first opening member of the discharge lamp,
Supporting the second winding member of the discharge lamp by a supporting member capable of supplying electric power,
And supplying electric power to the discharge lamp via the member for transmitting the electric power and the support member to light the discharge lamp.

23. The method of claim 21,
And holding the to-be-maintained portion including the non-planar portion or the inclined portion of the first opening of the discharge lamp to transport the discharge lamp from the storage portion to the support member.

A first electrode and a second electrode provided on the first electrode side and the second electrode side of the glass member with respect to the light emitting portion; A discharge lamp having a detaching member,
The first opening member,
A connected portion capable of being brought into surface contact with the member so as to make contact with the member for transmitting electric power and to reduce the electrical contact resistance with the member;
And a to-be-maintained portion including an uneven surface portion or an inclined portion that can be held by the carry portion.

24. The method of claim 23,
Wherein the connected portion of the first coupling member includes two planar portions arranged so as to cross each other.

24. The method of claim 23,
Wherein the connected portion of the first coupling member includes a substantially axially symmetric surface.

26. The method according to any one of claims 23 to 25,
Wherein the to-be-held portion of the first opening member is formed with a hole capable of engaging with the projection of the carry portion.

26. The method according to any one of claims 23 to 25,
Characterized in that the to-be-maintained portion of the first opening member has an axisymmetric portion whose surface is spherical in shape in which the carrying portion can be held.

28. The method according to any one of claims 23 to 27,
Wherein a heat dissipation fin is provided between the glass member and the portion to be connected and the portion to be held among the first opening members.

28. The method according to any one of claims 23 to 28,
Wherein the second separating member has a flange portion capable of being mounted on the supporting member, a small diameter portion having a smaller sectional area than the flange portion, and a step portion having a larger sectional area than the small diameter portion.

A method of manufacturing a discharge lamp according to any one of claims 23 to 29,
Preparing a glass member having a conductive member connected at one end thereof,
And a cover member having the connected portion and the held portion formed thereon,
And fixing the covering member so as to cover the conductive member at one end side of the glass member.

A method of manufacturing a discharge lamp according to any one of claims 23 to 29,
Preparing a glass member provided at one end with a first conductive member electrically connected to the first electrode or the second electrode,
Preparing a second conductive member having the portion to be connected and the portion to be held,
And connecting the second conductive member to the first conductive member on one end side of the glass member.