JP2011177625A - Ultraviolet irradiation apparatus - Google Patents

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JP2011177625A JP2010042924A JP2010042924A JP2011177625A JP 2011177625 A JP2011177625 A JP 2011177625A JP 2010042924 A JP2010042924 A JP 2010042924A JP 2010042924 A JP2010042924 A JP 2010042924A JP 2011177625 A JP2011177625 A JP 2011177625A
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Narifumi Tadokoro
成文 田所
Shohei Maeda
祥平 前田
Makoto Yashima
誠 八島
Yoshitaka Fujita
義貴 藤田
Shoko Kuratani
晶子 倉谷
Masahiro Fujita
正弘 藤田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To safely and definitely achieve lamp replacement even though a lamp is not lit or in high temperature status just after it goes off even in a longer ultraviolet irradiation lamp. <P>SOLUTION: The ultraviolet irradiation apparatus includes a lamp unit section 11 principally composing an ultraviolet lamp 13 that irradiates with ultraviolet rays in a lamp house 10 and an irradiation section 12, with which the ultraviolet rays are radiated from the lamp unit section 11. The ultraviolet lamp 13 may be mounted on a carrier 26 that are taken in and out of the lamp unit section 11, a replacement lamp is conveyed inside the lamp unit section 11 using the carrier 26 in lamp replacement, and the ultraviolet lamp 13 is replaced at a predetermined position through a working port formed on a side of the lamp house 10. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

この発明は、紫外線を含む光を放射する管状のランプを内蔵し、光出射口から紫外線を照射させ、印刷関連でのインク乾燥、半導体関連での微細露光、液晶関連での接着剤硬化等の用途に用いられる紫外線照射装置に関する。   This invention incorporates a tubular lamp that radiates light including ultraviolet light, and irradiates ultraviolet light from a light exit port, such as ink drying for printing, fine exposure for semiconductors, adhesive curing for liquid crystals, etc. The present invention relates to an ultraviolet irradiation device used for applications.

従来の紫外線照射装置は、紫外線を含む光を放射させる管状のランプを内蔵し、光出射口から紫外線を被照射体に照射させている。交換のためのランプは、光照射器本体からランプの長手方向に沿って引き出して取り外しできるように構成されている。(例えば、特許文献1)   A conventional ultraviolet irradiation device has a built-in tubular lamp that emits light containing ultraviolet rays, and irradiates the irradiated object with ultraviolet rays from a light exit port. The replacement lamp is configured so that it can be pulled out from the light irradiator body along the longitudinal direction of the lamp and removed. (For example, Patent Document 1)

特開2006−35436公報JP 2006-35436 A

上記した特許文献1の技術は、液晶関連の接着硬化の用途に用いた場合の紫外線を放射させるランプとしての全長がせいぜい1400mm程度のエキシマランプや超高圧水銀ランプ等が用いられている。   In the technique of Patent Document 1 described above, an excimer lamp or an ultrahigh pressure mercury lamp having a total length of about 1400 mm at most is used as a lamp that emits ultraviolet rays when used for adhesive curing related to liquid crystal.

近年、一度に作製可能な液晶パネル数を増やす目的から大型化が進められている。これに伴い、ランプ全長が1500〜3000mm程度と長尺化の傾向にある。このため、ランプの交換のため単純にランプの長手方向に沿って引き出して取り出すことでは、ランプ取り出し作業時における接触による破損や長いがゆえに交換の作業性が悪くなる、という問題があった。また、ランプの不点灯直後や消灯直後のランプは高温であり、高い温度でのランプの交換は作業性が悪くなる、という問題があった。   In recent years, an increase in size has been promoted in order to increase the number of liquid crystal panels that can be manufactured at one time. Along with this, the total length of the lamp tends to be about 1500 to 3000 mm. Therefore, simply pulling out and taking out along the longitudinal direction of the lamp for exchanging the lamp has a problem that the workability of exchanging is deteriorated due to damage or longness due to contact during the taking out of the lamp. In addition, the lamp immediately after the lamp is not turned on or immediately after the lamp is turned off has a high temperature, and there is a problem that workability is deteriorated when the lamp is replaced at a high temperature.

この発明の目的は、長尺のランプであっても、不点灯や消灯直後における高温状態でのランプ交換を、安全にかつ確実に作業できるようにした紫外線照射装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an ultraviolet irradiation device capable of safely and reliably performing lamp replacement in a high temperature state immediately after non-lighting or extinguishing even for a long lamp.

上記した課題を解決するために、この発明の紫外線照射装置は、紫外線を放射する紫外線ランプが配置されたランプユニット部と該ランプユニット部から放射される紫外線が照射される照射部が箱状のランプハウスの内部に構成された紫外線照射装置において、前記ランプユニット部に出し入れされるキャリアに紫外線ランプを載置可能とし、前記紫外線ランプの交換時に前記キャリアを使用して、前記ランプユニット部内に交換用紫外線ランプを搬送し、前記ランプハウスの側面に形成された作業口を介して前記紫外線ランプを使用時の位置に交換することを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, an ultraviolet irradiation device according to the present invention includes a lamp unit portion in which an ultraviolet lamp that emits ultraviolet rays is disposed, and an irradiation portion that is irradiated with ultraviolet rays emitted from the lamp unit portion. In an ultraviolet irradiation device configured inside a lamp house, an ultraviolet lamp can be placed on a carrier that is taken in and out of the lamp unit, and the carrier is used when the ultraviolet lamp is replaced, and the lamp unit is exchanged in the lamp unit. The ultraviolet lamp is transported, and the ultraviolet lamp is exchanged to a position at the time of use through a work port formed on a side surface of the lamp house.

この発明によれば、長尺ランプであった場合でもランプの交換作業性の向上を図るとともに、不点灯や消灯直後の高温のままでのランプ交換の作業性向上を図ることが可能となる。   According to the present invention, it is possible to improve the workability of replacing the lamp even when it is a long lamp, and to improve the workability of replacing the lamp at a high temperature immediately after the lamp is not turned on or turned off.

この発明の紫外線照射装置に関する一実施形態について説明するための側断面図である。It is a sectional side view for demonstrating one Embodiment regarding the ultraviolet irradiation device of this invention. 図1のI−I’線断面図である。It is the I-I 'sectional view taken on the line of FIG. 図1要部を拡大して示した一部切欠斜視図である。1 is a partially cutaway perspective view showing an enlarged main part. 図1要部を抜き出し拡大して示した正面図である。It is the front view which extracted and expanded and showed the principal part of FIG. 図1要部を拡大して示した一部切欠側面図である。1 is a partially cutaway side view showing an enlarged main part. 図5の左側面図である。FIG. 6 is a left side view of FIG. 5. ランプが取り付けられた状態について説明するための図1に相当する側断面図である。It is a sectional side view equivalent to FIG. 1 for demonstrating the state to which the lamp | ramp was attached. ランプ交換の説明について用いる一部切欠側面図である。It is a partially cutaway side view used about description of lamp replacement | exchange. ランプ交換の説明について用いる一部切欠側面図である。It is a partially cutaway side view used about description of lamp replacement | exchange.

以下、この発明を実施するための形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図1〜図6は、この発明の紫外線照射装置に関する一実施形態について説明するための、図1は側断面図、図2は図1のI−I’線断面図、図3は図1要部を拡大して示した一部切欠斜視図、図4は図1要部を抜き出し拡大して示した正面図、図5は図1要部を拡大して示した一部切欠側面図、図6は図5の左側面図である。   1 to 6 are diagrams for explaining an embodiment of the ultraviolet irradiation apparatus according to the present invention. FIG. 1 is a side sectional view, FIG. 2 is a sectional view taken along line II ′ of FIG. 1, and FIG. 4 is a partially cutaway perspective view showing an enlarged view, FIG. 4 is a front view showing the main portion of FIG. 1 extracted and enlarged, and FIG. 5 is a partially cutaway side view showing the enlarged main portion of FIG. 6 is a left side view of FIG.

まず、図1、図2において、10は、システム全体が収容される箱状のランプハウスであり、このランプハウス10は、ランプを保持するランプユニット部11と被照射物に紫外線を照射させるための照射部12から構成される。   First, in FIGS. 1 and 2, reference numeral 10 denotes a box-shaped lamp house that accommodates the entire system. The lamp house 10 irradiates the lamp unit 11 that holds the lamp and the irradiated object with ultraviolet rays. The irradiation part 12 is comprised.

ランプユニット部11は、エキシマランプや超高圧水銀ランプ等の紫外線を発光させる紫外線ランプ13の両端の封止部に取着された例えばセラミック製の口金131,132を支持するためのフック141,142が天板15あるいはフレーム16に固定される。口金131,132がフック141,142に係合された後に口金131,132がフック141,142から外れることを防止するために、抜け防止材144を配置している。   The lamp unit 11 includes hooks 141 and 142 for supporting, for example, ceramic bases 131 and 132 attached to sealing portions at both ends of an ultraviolet lamp 13 that emits ultraviolet rays such as an excimer lamp and an ultrahigh pressure mercury lamp. Is fixed to the top plate 15 or the frame 16. In order to prevent the caps 131 and 132 from being detached from the hooks 141 and 142 after the caps 131 and 132 are engaged with the hooks 141 and 142, a removal preventing member 144 is disposed.

口金131,132内では、紫外線ランプ両端のそれぞれ電極が図示しない電力供給用の外部リード線の一端と電気的に接続され、リード線の他端は口金131,132が外側に取り出し、電源に接続される。   In the caps 131 and 132, the electrodes at both ends of the ultraviolet lamp are electrically connected to one end of an external lead wire for power supply (not shown), and the other end of the lead wire is taken out by the caps 131 and 132 and connected to the power source. Is done.

抜け防止材144は、支軸143を中心として図中矢印方向に回動自在で、口金131,132がフック141,142に係合された後に、抜け防止材144を時計方向に回動させた後、ネジ145で固定している。これにより、口金131,132はフック141,142から外れることを防止することができる。   The removal prevention member 144 is rotatable about the support shaft 143 in the direction of the arrow in the figure, and after the bases 131 and 132 are engaged with the hooks 141 and 142, the removal prevention member 144 is rotated clockwise. After that, it is fixed with screws 145. Thereby, the bases 131 and 132 can be prevented from coming off the hooks 141 and 142.

171,172は、天板15あるいはフレーム16に固定されたフレーム18に支持され、紫外線ランプ13から発光される紫外線を反射させる反射板である。紫外線ランプ13から発光された紫外線と反射板171,172で反射された紫外線は、ランプユニット部11と照射部12との間に形成される照射口19を介して照射部12に照射される。   Reference numerals 171 and 172 denote reflection plates which are supported by the top plate 15 or the frame 18 fixed to the frame 16 and reflect the ultraviolet light emitted from the ultraviolet lamp 13. The ultraviolet rays emitted from the ultraviolet lamp 13 and the ultraviolet rays reflected by the reflectors 171 and 172 are applied to the irradiation unit 12 through an irradiation port 19 formed between the lamp unit unit 11 and the irradiation unit 12.

照射口19は、赤外線カットフィルタ20、紫外線カットフィルタ21、石英ガラス22を積層した格好で塞がれており、照射部12内に特定波長の紫外線のみが照射されるようにしてある。   The irradiation port 19 is closed in a fashion of laminating an infrared cut filter 20, an ultraviolet cut filter 21, and quartz glass 22, and only the ultraviolet rays having a specific wavelength are irradiated into the irradiation unit 12.

23は、ランプハウス10の天板15に開けた開口部に取り付けられ、ランプユニット部11内に外部の空気を取り入れる吸気口である。24,25は、紫外線ランプ13の長手方向の両端と対向するランプハウス10の側面に設けた荒れた開口部に取り付けられ、ランプユニット部11内の空気を外部に取り出す排気口である。外気を送風機等を用いて吸気口23からランプユニット部11内に取り込み、ランプユニット部11内の温度を下げるとともに、温まった空気を排気口24,25から外部に排気するようにしている。図示しないが、吸気口23はダクトを用いて送風機等の外気を取り込む手段と接続され、同様に排気口24,25はダクトなどを用いて所定の位置まで排気を行うようにしている。   Reference numeral 23 denotes an air inlet that is attached to an opening opened in the top plate 15 of the lamp house 10 and takes outside air into the lamp unit 11. Reference numerals 24 and 25 denote exhaust ports which are attached to rough openings provided on the side surfaces of the lamp house 10 facing both ends in the longitudinal direction of the ultraviolet lamp 13 and take out the air in the lamp unit 11 to the outside. Outside air is taken into the lamp unit portion 11 from the air inlet 23 using a blower or the like, and the temperature in the lamp unit portion 11 is lowered, and the warm air is exhausted to the outside through the exhaust ports 24 and 25. Although not shown, the intake port 23 is connected to a means for taking in outside air such as a blower using a duct. Similarly, the exhaust ports 24 and 25 exhaust air to a predetermined position using a duct or the like.

26は、ランプユニット部11内外を出入り可能なランプ交換のキャリアである。図3〜図6にも示すように、キャリア26は、紫外線ランプ13の長さとほぼ同様の長さを有する長方形状のフレーム261に、長手方向に直交する例えば2本のリブ262を一体的に形成している。キャリア26のフレーム261、リブ262を残した他の部分は、紫外線を通過させる開口263で形成される。キャリア26は、ランプユニット部11内外を出入りさせるためにランプハウス10の側面に図示しない開閉扉が設置される。この開閉扉は、ランプ交換時等に開かれ、通常はネジ等の固定手段で固定されている。   Reference numeral 26 denotes a lamp replacement carrier that can go in and out of the lamp unit 11. As shown in FIGS. 3 to 6, the carrier 26 is integrally formed with, for example, two ribs 262 orthogonal to the longitudinal direction on a rectangular frame 261 having substantially the same length as the ultraviolet lamp 13. Forming. Other portions of the carrier 26 except for the frame 261 and the ribs 262 are formed with openings 263 through which ultraviolet rays pass. The carrier 26 is provided with an opening / closing door (not shown) on the side surface of the lamp house 10 so that the inside and outside of the lamp unit 11 can enter and exit. This open / close door is opened when the lamp is replaced, and is usually fixed by a fixing means such as a screw.

フレーム261の長手方向の側面には、キャリア26をスムースに走行させるためのスライダー264,265が形成される。また、フレーム261とリブ262の上面には、紫外線ランプ13を一時的に保持するため、上部にランプ受け部が形成された保持部266が直線上に複数箇所に取り付けてある。   On the side surface in the longitudinal direction of the frame 261, sliders 264 and 265 for smoothly running the carrier 26 are formed. In addition, on the upper surfaces of the frame 261 and the rib 262, in order to temporarily hold the ultraviolet lamps 13, holding portions 266 having lamp receiving portions formed on the upper portions are attached to a plurality of locations on a straight line.

キャリア26のスライダー264,265は、ランプユニット部11内の側面側に形成された例えばフレーム16の一部をスライダー264,265の受けるレール271,272とし、その上部にガイド281,282が形成される。スライダー264はレール271とガイド281の間を、スライダー265はレール272とガイド282の間をそれぞれ自在に摺動させることで、紫外線ランプ13が搭載された状態のキャリア26を、ランプユニット部11の内外を出し入れさせることができる。   For the sliders 264 and 265 of the carrier 26, for example, a part of the frame 16 formed on the side surface side in the lamp unit portion 11 is used as rails 271 and 272 that are received by the sliders 264 and 265, and guides 281 and 282 are formed on the upper portions thereof. The The slider 264 freely slides between the rail 271 and the guide 281, and the slider 265 freely slides between the rail 272 and the guide 282, so that the carrier 26 on which the ultraviolet lamp 13 is mounted can be attached to the lamp unit 11. The inside and outside can be taken in and out.

スライダー264,265には、滑車を取り付けてレール271,272上を転がすようにすることで、よりスムースなキャリア26の出し入れが可能となる。また、レール271,272側の断面を逆Vの山構造とし、スライダー264,265側を逆Vの谷構造として摩擦を軽減させることでも、キャリア26をスムースな走行を実現させることが可能である。   By attaching pulleys to the sliders 264 and 265 and rolling them on the rails 271 and 272, the carrier 26 can be taken in and out more smoothly. Further, the carrier 26 can be smoothly run by reducing the friction by setting the cross section on the rails 271 and 272 side to a reverse V mountain structure and the sliders 264 and 265 side to a reverse V valley structure. .

図7は、キャリア26がランプユニット部11に収容されるとともに、紫外線ランプ13が交換された状態の側断面図である。キャリア26は、ランプ交換後もランプユニット部11内に残った状態となる。キャリア26はリブ262を残して開口263で中抜けの状態となっている。このため、紫外線ランプ13から放射された紫外線は、開口263、赤外線カットフィルタ20、紫外線カットフィルタ21、石英ガラス22をそれぞれ介して所望の波長の紫外線を照射部12に照射させることができる。   FIG. 7 is a side sectional view showing a state where the carrier 26 is accommodated in the lamp unit 11 and the ultraviolet lamp 13 is replaced. The carrier 26 remains in the lamp unit portion 11 after the lamp replacement. The carrier 26 is in a hollow state at the opening 263 with the rib 262 remaining. For this reason, the ultraviolet rays radiated from the ultraviolet lamp 13 can irradiate the irradiation unit 12 with ultraviolet rays having a desired wavelength through the openings 263, the infrared cut filter 20, the ultraviolet cut filter 21, and the quartz glass 22.

次に図8、図9も参照して紫外線ランプ13の交換について説明する。図8、図9はそれぞれ図1の右側面側の要部を拡大し切欠した状態の一部切欠側面図である。   Next, replacement of the ultraviolet lamp 13 will be described with reference to FIGS. 8 and 9 are partially cutaway side views in which the main part on the right side surface of FIG. 1 is enlarged and cut away.

図8、図9において、ランプハウス10の両側面に取り付けられた排気口24,25は、ヒンジ81で開閉できる扉82に取着されている。扉82は、使用時においてはネジ83で留められている。図9に示す91は、排気口24,25の位置に排気口24,25よりもやや大きめに開けられたランプ交換用の作業口である。   8 and 9, the exhaust ports 24 and 25 attached to both side surfaces of the lamp house 10 are attached to a door 82 that can be opened and closed by a hinge 81. The door 82 is fastened with screws 83 during use. Reference numeral 91 shown in FIG. 9 denotes a lamp replacement work port opened at a position slightly larger than the exhaust ports 24 and 25 at the positions of the exhaust ports 24 and 25.

ここで、紫外線ランプ13の取り外しについて、図1も参照しながら説明する。まず、図8の扉82を留めてあるネジ83を外し、ヒンジ81の作用で扉82を開ける。図9の抜け防止材144を留めてあるネジ145を外して抜け防止材144を矢印方向に回動させる。これで、口金131,132はフック141,142から外すことができる。口金131,132とともに紫外線ランプ13をキャリア26の保持部266に載せる。図示しない開閉扉を開け、この開閉扉を介してキャリア26をランプハウス10の外側に引き出すことにより、紫外線ランプ13を取り出せる。   Here, the removal of the ultraviolet lamp 13 will be described with reference to FIG. First, the screw 83 holding the door 82 in FIG. 8 is removed, and the door 82 is opened by the action of the hinge 81. The screw 145 holding the drop prevention member 144 of FIG. 9 is removed, and the drop prevention member 144 is rotated in the direction of the arrow. Thus, the bases 131 and 132 can be detached from the hooks 141 and 142. The ultraviolet lamp 13 is placed on the holding part 266 of the carrier 26 together with the bases 131 and 132. The ultraviolet lamp 13 can be taken out by opening an open / close door (not shown) and pulling out the carrier 26 to the outside of the lamp house 10 through the open / close door.

次に、上記した取り出し作業後に引き続きランプを交換する場合について説明する。まず、不良品の紫外線ランプ13が取り除かれたキャリア26の保持部266に、口金131,132が封止部に取り付けられた交換用の紫外線ランプ13を載せ、キャリア26をランプユニット部11内に移動させる。次に、開かれた扉82の作業口91から口金131,132を取り上げ、抜け防止材144を反時計方向に回動させた状態で、口金131,132をフック141,142に係合させる。そして抜け防止材144をネジ145で留め、口金131,132がフック141,142から外れないようにする。最後に、扉82を閉め、ネジ83でネジ留めする。   Next, a case where the lamp is continuously replaced after the above-described take-out operation will be described. First, the replacement ultraviolet lamp 13 with the caps 131 and 132 attached to the sealing part is placed on the holding part 266 of the carrier 26 from which the defective ultraviolet lamp 13 has been removed, and the carrier 26 is placed in the lamp unit part 11. Move. Next, the caps 131 and 132 are picked up from the work port 91 of the opened door 82, and the caps 131 and 132 are engaged with the hooks 141 and 142 in a state where the removal preventing member 144 is rotated counterclockwise. The stoppers 144 are fastened with screws 145 so that the bases 131 and 132 are not detached from the hooks 141 and 142. Finally, the door 82 is closed and screwed with a screw 83.

この実施形態では、キャリアにランプを載せてランプハウス内に出し入れすることでランプの交換が可能なことから、紫外線ランプ全長が1500〜3000mm程度と長尺なものであった場合でも、交換作業時における接触による破損や長いがゆえに交換の作業性が悪くなることを解消することができる。   In this embodiment, the lamp can be replaced by placing the lamp on the carrier and taking it in and out of the lamp house. Therefore, even when the total length of the ultraviolet lamp is as long as about 1500 to 3000 mm, It is possible to solve the problem that the workability of replacement is deteriorated due to breakage due to contact and the long time.

また、紫外線ランプの不点灯直後や消灯直後の紫外線ランプが高温な状態であったとしても、口金を抱えて紫外線ランプの下方に既に配置されたキャリア上に単に載せるだけの作業で事済むことから、高温時におけるランプ交換の作業性向上を図ることができる。   In addition, even if the ultraviolet lamp immediately after the ultraviolet lamp is not turned on or immediately after it is turned off, it is only necessary to hold the base and place it on the carrier already placed below the ultraviolet lamp. In addition, it is possible to improve the workability of lamp replacement at high temperatures.

さらに、ランプ使用時のキャリアは、ランプハウス内に配置され、紫外線はキャリアを介して紫外線照射部側に照射可能としたことにより、不使用時のキャリアの取り扱いについても好都合である。   Furthermore, the carrier when the lamp is used is arranged in the lamp house, and ultraviolet rays can be irradiated to the ultraviolet irradiation portion side through the carrier, which is convenient for handling the carrier when not in use.

この発明は、上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、ランプ交換のために扉に設けられた排気口の先に取り付けられたダクトは、ダクトを取り付けたまま扉を開閉させるために、フレキシブルなダクトを用いると都合がよい。   The present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, it is convenient to use a flexible duct as the duct attached to the end of the exhaust port provided in the door for lamp replacement in order to open and close the door with the duct attached.

10 ランプハウス
11 ランプユニット部
12 照射部
13 紫外線ランプ
131,132 口金
141,142 フック
144 抜け防止材
145,83 ネジ
16,18,261 フレーム
171,172 反射板
19 照射口
23 吸気口
24,25 排気口
26 キャリア
262 リブ
263 開口
264,265 スライダー
271,272 レール
281,282 ガイド
81 ヒンジ
82 扉
91 作業口
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Lamp house 11 Lamp unit part 12 Irradiation part 13 Ultraviolet lamp 131,132 Base 141,142 Hook 144 Removal prevention material 145,83 Screw 16,18,261 Frame 171,172 Reflector 19 Irradiation port 23 Intake port 24,25 Exhaust Port 26 Carrier 262 Rib 263 Opening 264, 265 Slider 271, 272 Rail 281, 282 Guide 81 Hinge 82 Door 91 Work port

Claims (3)

紫外線を放射する紫外線ランプが配置されたランプユニット部と該ランプユニット部から放射される紫外線が照射される照射部が箱状のランプハウスの内部に構成された紫外線照射装置において、
前記ランプユニット部に出し入れされるキャリアに紫外線ランプを載置可能とし、前記紫外線ランプの交換時に前記キャリアを使用して、前記ランプユニット部内に交換用紫外線ランプを搬送し、前記ランプハウスの側面に形成された作業口を介して前記紫外線ランプを使用時の位置に交換することを特徴とする紫外線照射装置。
In the ultraviolet irradiation apparatus in which the lamp unit part in which the ultraviolet lamp that radiates ultraviolet rays is arranged and the irradiation part to which the ultraviolet ray emitted from the lamp unit part is irradiated are configured inside the box-shaped lamp house,
An ultraviolet lamp can be placed on a carrier that is taken in and out of the lamp unit portion, and when the ultraviolet lamp is replaced, the carrier is used to carry the replacement ultraviolet lamp into the lamp unit portion, and on the side of the lamp house. An ultraviolet irradiation apparatus, wherein the ultraviolet lamp is exchanged to a position at the time of use through a formed work port.
前記キャリアは、前記ランプユニット部内の前記ランプと前記照射部との間に配置させ、紫外線照射時には、前記キャリアに形成された開口を介して紫外線を前記照射部に照射させたことを特徴とする請求項1記載の紫外線照射装置。   The carrier is disposed between the lamp and the irradiation unit in the lamp unit unit, and the ultraviolet irradiation unit is irradiated with ultraviolet rays through an opening formed in the carrier at the time of ultraviolet irradiation. The ultraviolet irradiation device according to claim 1. 前記作業口を塞ぐ開閉扉には、前記ランプユニット部で発生した熱を排気する排気口が取り付けられたことを特徴とする請求項1または2記載の紫外線照射装置。   The ultraviolet irradiation apparatus according to claim 1, wherein an exhaust port for exhausting heat generated in the lamp unit portion is attached to the open / close door that closes the work port.
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