KR20160125195A - 압전 진동 모듈 - Google Patents

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KR20160125195A
KR20160125195A KR1020150056069A KR20150056069A KR20160125195A KR 20160125195 A KR20160125195 A KR 20160125195A KR 1020150056069 A KR1020150056069 A KR 1020150056069A KR 20150056069 A KR20150056069 A KR 20150056069A KR 20160125195 A KR20160125195 A KR 20160125195A
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Abstract

본 발명은 압전 진동 모듈에 관한 것으로 케이스의 고정부에 일측이 고정되는 진동 플레이트, 상기 진동 플레이트와 일면을 접하고 있는 압전체, 상기 압전체에 전원을 인가할 수 있는 연성 회로 기판 및 상기 진동 플레이트의 타측과 결합되는 중량체를 포함한다. 또한, 진동 플레이트의 일측만 케이스에 고정하여 구동 주파수를 낮추고 진동 플레이트의 길이를 짧게 제작할 수 있으며 진동 플레이트의 고정되지 않은 끝부분에 중량체를 부착해 구동 주파수를 더욱 낮추고 진동력을 배가시키며 압전 진동 모듈의 전체적인 두께를 얇게 제작할 수 있는 것을 목적으로 한다.

Description

압전 진동 모듈{Piezoelectric vibration module}
본 발명은 압전 진동 모듈에 관한 것으로, 보다 상세하게는 휴대용 전자기기에 탑재되어 진동을 발생시키는 장치에 관한 것이다.
일반적으로 휴대전화, 전자책(E-book) 단말기, 게임기, 태블릿PC, PMP 등의 휴대용 전자기기에 있어서 진동 기능은 메시지, 전화 등의 정보 알림 기능, 사용자의 조작감을 높이기 위한 햅틱 기능 등으로 이용되고 있는데 이러한 진동 기능을 구현하기 위한 진동발생장치는 기술의 발달에 따라 소형화, 집적화, 다양화, 고기능화를 요구하고 있다.
진동발생장치는 사용자가 좀 더 직관적인 경험을 할 수 있고 다양한 촉감을 느낄 수 있도록 하기 위해 압전 물질을 이용한 방식이 다양한 형태로 개발 및 적용되고 있다. 압전 물질(Piezoelectric material)은 압력을 가하면 전압이 얻어지고(기계에너지를 전기에너지로 바꾸는 압전효과), 반대로 전압을 가하면 압전물질 내의 압력 변화로 인해 부피나 길이가 증감(전기에너지를 기계에너지로 바꾸는 역 압전효과)한다.
이러한 압전 물질의 성질을 이용한 압전 진동 모듈은 교류 전원이 인가되면 진동하는 압전체가 양쪽 또는 중앙부가 고정된 진동 플레이트 일면에 접착제로 접합되어 있으며, 구동 주파수를 낮추고 진동력을 배가시키기 위해 중량체를 부착하는 형태가 일반적이다.
한국등록특허 10-1319974 에서는 압전 진동 모듈의 진동 플레이트 양쪽이 케이스에 고정된 형태인 것을 확인할 수 있다. 이렇게 진동 플레이트의 양쪽 끝을 고정할 경우에는 압전체가 부착되어있는 진동 플레이트의 중심부에서 강한 진동이 발생하게 되어 구동 중 압전체의 파손 및 크랙 등의 문제가 발생할 가능성이 클 뿐만 아니라, 구동하는 주파수를 낮추고 진동을 극대화하기 위해 진동 플레이트의 길이가 길어지고 중량체 또한 무거워지는 단점이 있다.
KR 1319974 B1
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로 진동 플레이트의 일측을 케이스에 고정하여 구동 주파수를 낮추고 진동 플레이트의 길이를 짧게 제작할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한 진동 플레이트의 타측 끝부분에 중량체를 부착해 구동 주파수를 더욱 낮추고 진동력을 배가시키며 압전 진동 모듈의 전체적인 두께를 얇게 제작할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위한 압전 진동 모듈은 케이스의 고정부에 일측이 고정되는 진동 플레이트, 상기 진동 플레이트와 일면을 접하고 있는 압전체, 상기 압전체에 전원을 인가할 수 있는 연성 회로 기판 및 상기 진동 플레이트의 타측과 결합되는 중량체를 포함한다.
상기 압전체는 상기 진동 플레이트의 양면 모두에 부착할 수 있고 상기 진동 플레이트 사이에 접착제를 매개체로 결합하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 압전체의 양 끝단 또는 한쪽 끝단에 대응하는 진동 플레이트 상에 상기 진동 플레이트의 1~50% 두께의 홈이 형성되어 있고 상기 홈에 상기 접착제가 유입되는 것을 특징으로 한다.
상기 진동 플레이트의 재질은 열팽창계수가 0.5 ~ 20 * (10-6 ㎝/㎝/℃) 사이인 것을 특징으로 하고 상기 진동 플레이트의 표면에 돌기 형태의 요철이 형성되며 상기 진동 플레이트의 표면 거칠기 전체 평균(Ra)이 0.5um 이상인 것을 특징으로 한다.
상기 압전체는 그린시트, 복수의 제 1 전극, 복수의 제 2 전극, 외부 전극 패드를 포함하고 상기 제 1 전극, 상기 제 2 전극은 모서리가 곡선 형상이며 상기 그린시트의 일면에 상기 제 1 전극, 상기 제 2 전극이 교대로 적층되어 있고 상기 각 제 1 전극 및 제 2 전극 사이의 간격은 50um 이하인 것을 특징으로 한다.
상기 그린시트의 경계와 상기 제 1 전극 경계 및 상기 제 2 전극 경계 사이의 거리가 적어도 0.05mm 이상이고 상기 제 1 전극, 상기 제 2 전극에 지름이 50um 이상인 비아홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 외부 전극 패드는 상기 압전체와 상기 연성 회로 기판 사이에 형성되어 있고 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극은 복수의 상기 제 1 전극끼리 혹은 복수의 상기 제 2 전극끼리 서로 연결되어 있으며 각 외부 전극 패드와도 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 중량체는 상기 진동 플레이트와 결합되는 중량체 결합부 및 상기 중량체 결합부와 연장되고 상기 진동 플레이트의 옆면과 일정 거리 이상 이격되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 고정부는 진동 플레이트의 일측 및 상기 케이스의 옆면과 결합되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 진동 플레이트의 종단부와 마주보고 있고 상기 케이스의 양면에 고정되어 있는 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면 압전 진동 모듈은 진동 플레이트의 일측을 케이스에 고정하여 구동 주파수를 낮추고 진동 플레이트의 길이를 짧게 제작할 수 있다.
또한 진동 플레이트의 고정되지 않은 끝부분에 중량체를 부착해 구동 주파수를 더욱 낮추고 진동력을 배가시키며 압전 진동 모듈의 전체적인 두께를 얇게 제작할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈의 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈의 우측면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 압전 진동 모듈의 압전체 부착방법을 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제 1 전극 및 제 2 전극을 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 다수의 제 1 전극과 다수의 제 2 전극이 적층된 것을 나타낸 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 숏트 방지 홈을 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 관한 구성 및 동작을 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈을 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈은 연성 회로 기판(미도시), 연성 회로 기판과 일면이 결합되고 교류 전압에 의해 수축 및 팽창하는 압전체(200), 압전체와 접착제를 통해 부착 되어있는 진동 플레이트(300), 진동 플레이트에 부착되어 진동력을 배가시키고 주파수를 낮추기 위한 중량체(400)를 포함한다.
연성 회로 기판(미도시)은 압전체(200)에 교류 전원을 인가하기 위한 구성요소이며, 압전체(200)가 압전 진동 모듈 안에서 수축 또는 팽창에 따라 여러 방향으로 진동하므로 오목 또는 볼록하게 구부러질 수 있도록 유연성과 탄성력이 있는 금속 재질로 제작되어 압전체(200)와 결합될 수 있다.
압전체(200)는 수 ~ 수십 um 두께의 그린 시트의 일면에 일정한 형태의 내부 전극 패턴인 제 1 전극과 제 2 전극을 도전성 페이스트 공정으로 인쇄하며, 각 전극을 교대로 쌓아올려 제작한다. 압전체(200)는 전원공급장치를 통해 외부로부터 전원이 인가되면, 전압이 인가되는 방향에 따라 그 길이 방향으로 수축 또는 팽창하게 되는 특성을 갖는다. 따라서 이러한 특성을 지니는 압전체(200)가 결합된 연성 회로 기판(미도시) 또한 압전체(200)의 수축 또는 팽창에 따라 휘어지게 되어 진동을 발생시킨다.
그린 시트는 일반적으로 전기 전도도가 우수한 전극 또는 수동 소자를 인쇄하기 위한 시트로서, PZT계(PbZrTiO3) 압전 세라믹으로 구성되는 원료 분말을 사용할 수 있다.
준비된 원료분말에 첨가제로 PVB계 바인더(binder)를 원료 분말 대비 약 6wt% 정도 측량한 후 톨루엔/알코올(toluene/alcohol)계 솔벤트(solvent)에 용해시켜 투입한다. 그 후, 소형 볼밀로 약 24시간 동안 밀링(milling) 및 혼합하여 슬러리(slurry)를 제조한다. 이러한 슬러리를 닥터 블레이드(doctor blade) 등의 방법으로 원하는 사이즈의 그린 시트를 제작할 수 있다.
제조된 그린 시트에는 내부 전극용 패턴을 인쇄할 수 있는데 내부 전극은 Ag 또는 AgPd 등이 있지만 Ag는 녹는점이 대략 960도이기 때문에 그린시트 제작 후 소결 시 녹을 수 있어 주로 AgPd를 내부 전극으로 사용하나, 기판의 재질에 따른 소결 온도에 따라서 Ag 역시 내부 전극으로 사용될 수 있다.
제작된 그린 시트의 일면에 원하는 층수만큼 제 1 전극과 제 2 전극을 적층한 후에 소성을 통해 일체화 하고 다이싱 공정을 통해 적층된 전극을 원하는 크기로 절단한다. 소성 전에 미리 절단(Knife cut)한 이후 소성하는 방법과, 절단하는 방법은 도 6에서 자세히 설명한다.
또한 압전체(200)를 구성함에 있어서 적층된 각 전극층의 제 1 전극은 제 1 전극끼리, 제 2 전극은 제 2 전극끼리 연결되어 있어야 하며 각 전극에 전원이 인가되어야 하므로 각 전극과 연결될 수 있는 외부 전극 패드가 압전체(200) 외부에 형성 될 수 있다. 전극을 적층하는 방법과 적층된 전극에 외부 전극 패드를 연결하는 방법은 도 7에서 자세히 설명한다.
진동 플레이트(300)는 긴 막대 판 형태로 압전체(200)와 일면이 접착제로 접합되어 있고 옆면이 케이스(미도시)의 한 면에 고정되어 있으며 진동 플레이트 종단부에 중량체(400)가 연결되어 있다.
진동 플레이트(300)와 압전체(200)를 부착할 때 접착제를 사용하며 접착제는 열 경화 수지, UV 경화 수지, 상온 경화 수지, 열 경화 Tape 또는 혐기성 접착제 등을 사용할 수 있다. 열 경화 접착제를 사용할 경우 접착력이 우수한 장점이 있지만 고온에서 접합이 이루어지기 때문에 압전체(200)와 진동 플레이트(300)의 열팽창계수가 서로 달라 평평한 형태가 아닌 휘어진 형태로 제작이 될 수 있다.
이러한 문제를 방지하기 위해 진동 플레이트(300)의 재질은 압전체(200)와 열팽창계수가 유사한 인바(Invar), 코바(Kovar)가 사용될 수 있고 열팽창계수 차이는 크지만 가격이 저렴한 서스(SUS) 재질도 사용할 수 있으며 일반적으로는 열팽창계수가 0.5 ~ 20 * (10-6 ㎝/㎝/℃) 인 재질을 사용 가능하나 이에 한정된 것은 아니다.
압전체(200)와 진동 플레이트(300)를 좀 더 강하게 접합하기 위해 압전체(200)가 접합되는 진동 플레이트(300) 표면에 돌기 형태의 요철을 생성할 수 있으며 일반적으로는 표면 거칠기를 임의로 조정해 압전체(200)와 좀 더 강한 접착력을 유지하도록 제작할 수 있다. 압전체(200)와 진동 플레이트(300)의 접합은 도 8에서 자세히 설명한다.
또한, 진동 플레이트(300)의 한 면만을 케이스에 고정하는 경우, 압전체(200)의 진동에 따라 진동 플레이트(300)가 같이 진동하게 되고 진동 플레이트 종단부에서 가장 큰 진동을 발생시켜 압전 진동 모듈의 진동을 구현할 뿐만 아니라 구동 주파수를 낮출 수 있고, 기존의 중앙 고정 진동 플레이트(300) 방식보다 길이를 짧게 제작할 수 있다.
중량체(400)는 진동 플레이트 종단부에 결합되며 중량체(400)의 재질은 비중이 큰 텅스텐을 사용 가능하나 재질을 한정하는 것은 아니며 적은 체적으로도 높은 중량을 나타낼 수 있는 재질이면 사용 가능하다. 중량체(400)의 비중이 클수록 소형/초박형 압전 진동 모듈 제작 시 구동 주파수를 더 낮출 수 있으며 진동이 더 강해질 수 있다. 중량체(400)에 대해서는 도 3과 도 4에서 자세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈의 정면도이다.
도 2를 참조하면 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈은 적어도 한번 이상 구부러진 연성 회로 기판(100), 연성 회로 기판과 일면이 결합되고 교류 전압에 의해 수축 및 팽창하는 압전체(200), 압전체와 접착제를 통해 부착 되어있는 진동 플레이트(300), 진동 플레이트에 부착되어 진동력을 배가시키고 주파수를 낮추기 위한 중량체(400), 진동 플레이트(300)를 케이스(600)에 고정시키기 위한 고정부(601), 중량체(400)의 진동폭을 제한하는 스토퍼(500)를 포함한다.
도 2를 설명하기에 앞서, 스토퍼(500), 고정부(601)의 구조를 제외한 다른 구성요소들은 도 1에서 이미 설명하였으므로 스토퍼, 고정부를 제외한 설명은 생략하기로 한다.
스토퍼(500)는 케이스(600) 안쪽의 양면에 설치되어 있고 진동 플레이트 종단부(301) 및 중량체 결합부(401)와 마주보고 있다. 스토퍼(500)는 진동 플레이트(300)와 동일한 재질 또는 외부 충격에 의한 신뢰성을 확보하기 위해 일정한 두께를 갖는 완충테이프, 폼테이프 등의 재질을 케이스에 접착함으로써 스토퍼로 사용될 수 있다. 스토퍼는 진동 플레이트 종단부(301) 및 중량체(400)와 일정 거리 이상 이격 되어있어 교류 전압에 의해 압전체(200)가 진동 운동을 할 때 진동 폭을 제한할 수 있다.
고정부(601)는 진동 플레이트(300)의 일측 및 케이스(600) 옆면과 결합되어 있고, 교류 전압에 의해 압전체(200)가 진동운동을 하게 되면 압전체(200), 압전체(200)와 연결되어 있는 진동 플레이트(300) 및 중량체(400)가 같이 진동하게 되는데 진동 플레이트 종단부(301)에서 진동에 의한 가장 큰 변위를 발생시킬 수 있다.
이로 인해 압전체(200)로부터 발생되는 진동 주파수를 낮출 수 있을 뿐만 아니라 진동 플레이트(300)의 길이를 짧게 제작할 수 있어 전체적인 압전 진동 모듈의 크기를 줄이고 단가를 낮출 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈의 평면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 압전 진동 모듈의 우측면도이다.
도 3과 도 4를 설명하기에 앞서, 진동플레이트 종단부(301), 중량체 결합부(401)의 결합 구조를 제외하고 다른 구성요소들은 도 1에서 이미 설명하였으므로 진동플레이트 종단부, 중량체 결합부를 제외한 설명은 생략하기로 한다.
도 3을 참조하면, 중량체(400)는 'ㄷ'자 형태로 제작되어 중량체 결합부(401)가 진동 플레이트 종단부(301)에 결합되어 있다. 또한 중량체 결합부(401)로부터 연장된 부분은 진동 플레이트(300)의 옆면과 일정 거리 이상 이격되어 있는데 이는 압전체(200)의 진동운동을 방해하지 않으면서 충격으로부터 압전체(200)를 보호하는 역할 뿐만 아니라 진동을 더욱 크게 하는 역할을 하고 있다. 도 4 역시 중량체(400)는 'ㄷ'자 형태로 제작되어 있는데, 이는 도 3과 마찬가지로 압전체(200)의 진동운동을 방해하지 않는 범위 내에서 충격을 보호할 뿐만 아니라 진동을 더욱 크게 하도록 도와준다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 압전 진동 모듈의 압전체 부착방법을 나타낸 도면이다.
도 5를 참조하면 압전 진동 모듈은 도 5-1과 같이 압전체(200)가 진동 플레이트(300)의 하면에 결합되는 형태가 일반적이지만 압전체(200)를 부착하는 위치에 따라 도 5-2와 같이 압전체(200)가 진동 플레이트(300)의 상면에 결합될 수도 있고 도 5-3과 같이 압전체(200)가 진동 플레이트(300)의 양면에 결합 될 수도 있다. 특히 압전체(200)가 진동 플레이트(300)의 양면에 결합 될 경우 한면에 결합 되었을 때보다 더욱 큰 진동을 낼 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제 1 전극 및 제 2 전극을 나타낸 도면이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 제 1 전극(201) 및 제 2 전극(202)은 외부로 노출되지 않도록 균일한 폭으로 잘려 압전체(200) 외부와 간격을 유지하고 있으며 그 간격은 적어도 0.05mm 이상일 수 있다.
이는 내부 전극이 외부 표면에 노출될 경우, 연성 회로 기판(100)을 통해 교류 전압을 인가하여 압전 진동 모듈을 구현할 때 제 1 전극(201)과 제 2 전극(202)의 간격이 가까워져 단락될 가능성이 있고, 이로 인해 압전 진동 모듈이 정상적으로 작동되지 않거나 파손될 수 있기 때문에 전극이 외부에 노출되지 않도록 하기 위함이다.
또한 압전체(200)는 일반적으로 사각 형태로 형성되는데 제 1 전극(201) 및 제 2 전극(202) 제작시 사각 형태의 내부 패턴 모서리 부분을 곡선 모양(모서리 부분이 R 값을 가지도록)으로 제작할 수 있도록 하여 전극에 교류 전압을 인가할 때 전압이 꼭지점 부분에 집중되지 않고 고르게 인가될 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 다수의 제 1 전극(201)과 다수의 제 2 전극(202)이 적층된 것을 나타낸 도면이다
도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따라 다수의 제 1 전극(201)과 다수의 제 2 전극(202)을 제 1 전극 - 제 2 전극 - 제 1 전극 - 제 2 전극과 같이 교대로 적층할 수 있고, 각 층의 두께를 조절 가능하며, 제 1 전극은 제 1 전극끼리, 제 2 전극은 제 2 전극끼리 연결할 수 있다. 또한, 전극에 전원 인가를 위한 외부 전극 패드(203)가 압전체(200)의 외부에 형성되어 있어 연결된 전극과 외부 전극 패드(203)가 결합되도록 도 7과 같은 구조를 구성할 수 있다.
현재 일반적으로 사용되고 있는 LRA(Linear Resonance Actuator)와 같은 VCM(Voice coil motor) 방식은 구동전압이 3Vrms 이하로 낮은 전압에서 구동되는데, 일반적인 압전 진동 모듈에 사용된 압전체(200)의 층 두께는 50~100um 수준으로 구동 시 상당히 높은 교류 전압이 요구된다.
이러한 높은 구동 전압으로 인해 별도의 증폭기(Amplifier)를 포함한 구동 회로가 필요하게 되고 전체적인 제품의 단가가 증가되므로 이를 해결하기 위해 LRA 수준의 낮은 전압에서도 구동이 가능하도록 압전체(200)의 각 층 두께를 50um 이내로 구현할 수 있다.
제 1 전극(201) 및 제 2 전극(202) 간 연결과 전원을 인가하기 위한 외부 전극을 결합하기 위해 제 1 전극(201) 및 제 2 전극(202)에 일정한 크기의 비아홀을 형성해 전극을 채워서 각 전극을 연결시키는 Via Filling 방법을 사용할 수 있다. 다른 방법으로는, 각 전극의 일부를 외부로 노출시킨 후 이 부분에 도전성 수지 또는 도전성 페이스트를 도포해 결합하는 방법을 사용할 수 있다.
또한 압전체(200)의 외면에 결합되어 교류 전압을 인가할 수 있는 외부 전극 패드(203)는 압전 진동 모듈 제작 과정에서 연성 회로 기판과 부착되는데 도전성 수지 또는 도전성 페이스트를 사용할 수 있고, 솔더링(Soldering)을 통해서도 부착이 가능하다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 숏트 방지 홈을 나타낸 도면이다.
도 8에 따르면 압전체(200)를 진동 플레이트(300)에 접합할 때 압전체(200)와 진동 플레이트(300)를 좀 더 강하게 접합하기 위해 압전체(200)가 접합되는 진동 플레이트(300) 표면 거칠기를 임의로 조정해 압전체(200)와 좀 더 강한 접착력을 유지하도록 제작할 수 있다. 일례로 요철 모양의 돌기를 형성할 수도 있고, 표면의 평균 거칠기를 나타내는 척도인 Ra(표면 거칠기 전체 평균)가 0.5um 이상일 수도 있다.
또한, 접착제의 두께가 얇아 압전체(200) 측면 전극으로 인해 기기가 단락될 수 있다. 이를 개선하기 위해 진동 플레이트(300)와 압전체(200)가 맞닿는 한쪽 끝부분 또는 양 끝부분에 진동 플레이트 홈(302)을 생성하고 진동 플레이트 홈(302)에 접착제를 채워 넣는다. 홈의 두께는 진동 플레이트(300)의 두께의 1~50% 정도로 형성될 수 있고 적당하게는 진동 플레이트(300)의 두께의 10~20% 정도이다.
이로 인해 진동 플레이트(300)와 압전체(200)가 맞닿아 생기는 단락을 방지하여 안정적으로 전압 구동을 할 수 있을 뿐만 아니라, 압전 진동 모듈 구동 시 압전체(200)의 양 끝 부분에 집중된 응력을 홈에 채워진 접착제로 인해 응력이 분산되는 효과가 있어 압전 진동 모듈을 장기간 사용하더라도 안정적인 동작이 가능하다.
이와 같이, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 실시 형태로 실시될 수 있다는 것을 인지할 수 있을 것이다. 따라서 이상에서 기술한 실시 예들은 예시적인 것일 뿐이며, 그 범위를 제한해놓은 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 또한, 도면에 도시된 순서도들은 본 발명을 실시함에 있어서 가장 바람직한 결과를 달성하기 위해 예시적으로 도시된 순차적인 순서에 불과하며, 다른 추가적인 단계들이 제공되거나, 일부 단계가 삭제될 수 있음은 물론이다.
또한, 본 명세서는 그 제시된 구체적인 용어에 의해 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 따라서, 이상에서 기술한 실시예를 참조하여 본 발명을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않으면서도 본 실시예들에 대한 개조, 변경 및 변형을 가할 수 있다.
100 - 연성 회로 기판
200 - 압전체
201 - 제 1 전극
202 - 제 2 전극
203 - 외부 전극 패드
300 - 진동 플레이트
301 - 진동 플레이트 종단부
302 - 진동 플레이트 홈
400 - 중량체
401 - 중량체 결합부
500 - 스토퍼
600 - 케이스
601 - 고정부

Claims (19)

  1. 케이스의 고정부에 일측이 고정되는 진동 플레이트;
    상기 진동 플레이트와 일면을 접하고 있는 압전체;
    상기 압전체에 전원을 인가할 수 있는 연성 회로 기판; 및
    상기 진동 플레이트의 타측과 결합되는 중량체;
    를 포함하는 압전 진동 모듈.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 압전체는 상기 진동 플레이트의 양면 모두에 부착할 수 있는 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 압전체와 상기 진동 플레이트 사이에 접착제를 매개체로 결합하는 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 압전체의 한쪽 끝단 또는 양 끝단에 대응하는 진동 플레이트 상에 상기 진동 플레이트의 1~50% 두께의 홈이 형성 되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 홈에 상기 접착제가 유입되는 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 진동 플레이트의 재질은 열팽창계수가 0.5 ~ 20 * (10-6 ㎝/㎝/℃) 사이인 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 진동 플레이트의 표면에 돌기 형태의 요철이 형성된 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 진동 플레이트의 표면 거칠기 전체 평균(Ra)이 0.5um 이상인 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 압전체는 그린시트, 복수의 제 1 전극, 복수의 제 2 전극, 외부 전극 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 제 1 전극, 상기 제 2 전극은 모서리가 곡선 형상인 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
  11. 제 9항에 있어서,
    상기 그린시트의 일면에 상기 제 1 전극, 상기 제 2 전극이 교대로 적층된 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 그린시트의 일면에 적층된 상기 각 제 1 전극 및 제 2 전극 사이의 간격은 50um 이하인 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
  13. 제 9항에 있어서,
    상기 그린시트의 경계와 상기 제 1 전극 경계 및 상기 제 2 전극 경계 사이의 거리가 적어도 0.05mm 이상인 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
  14. 제 9항에 있어서,
    상기 제 1 전극, 상기 제 2 전극에 지름이 50um 이상인 비아홀이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
  15. 제 9항에 있어서,
    상기 외부 전극 패드는 상기 압전체와 상기 연성 회로 기판 사이에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
  16. 제 9항에 있어서,
    상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극은 복수의 상기 제 1 전극끼리 혹은 복수의 상기 제 2 전극끼리 서로 연결되어 있고 각 외부 전극 패드와도 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
  17. 제 1항에 있어서,
    상기 중량체는 상기 진동 플레이트와 결합되는 중량체 결합부 및 상기 중량체 결합부와 연장되고 상기 진동 플레이트의 옆면과 일정 거리 이상 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
  18. 제 1항에 있어서,
    상기 고정부는 진동 플레이트의 일측 및 상기 케이스의 옆면과 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
  19. 제 1항에 있어서,
    상기 진동 플레이트의 종단부와 마주보고 있고 상기 케이스의 양면에 고정되어 있는 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 진동 모듈.
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