KR20160125182A - Substrate transfering apparatus - Google Patents

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KR20160125182A
KR20160125182A KR1020150056044A KR20150056044A KR20160125182A KR 20160125182 A KR20160125182 A KR 20160125182A KR 1020150056044 A KR1020150056044 A KR 1020150056044A KR 20150056044 A KR20150056044 A KR 20150056044A KR 20160125182 A KR20160125182 A KR 20160125182A
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Abstract

The present invention relates to a substrate transfer apparatus, which prevents defects caused by the contact of a substrate transferred on the top of a roller by the rotation of the roller by forming a herringbone-shaped groove in the roller coupled to a shaft functioning as a rotary shaft and rotated. The fluid in the engraved groove of the herringbone-shaped groove is pumped to a bent part formed in the center of the roller when the roller is rotated in the fluid and forms an oil film in the bent part, thereby lifting and transferring the substrate on the top of the roller.

Description

기판 이송장치{Substrate transfering apparatus}[0001] Substrate transferring apparatus [

본 발명은 비접촉식 이송 장치에 관한 것으로, 기판 표면 손상없이 이송되도록 한 기판 이송장치에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a non-contact type transfer device, and more particularly, to a substrate transfer device that is transferred without damaging the substrate surface.

일반적으로, 인쇄회로기판은 현상, 수세, 에칭, 박리, 건조와 같은 다단의 공정을 거쳐 제조되고 이러한 공정을 위해 현상장치, 수세장치, 박리장치와 같은 설비가 사용된다.In general, a printed circuit board is manufactured through a multi-step process such as development, washing, etching, peeling, and drying, and a facility such as a developing apparatus, a flushing apparatus, and a peeling apparatus is used for such a process.

인쇄회로기판은 상기 설비를 사용하는 공정, 또는 다른 공정 간에 이송이 필요하고 이를 위해, 기판 이송을 위한 이송장치가 구비되어야 한다. 이때, 이송장치는 주로 컨베이어(conveyer)등이 사용되나, 컨베이어 등은 접촉이 수반되는 이송 롤러(roller)를 구비한 장치로서 인쇄회로기판이 이송 롤러에 의해 반송 과정에서 인쇄회로기판의 불량이 야기될 수 있다.The printed circuit board needs to be transferred between processes using the equipment, or between other processes, and for this purpose, a transfer device for transferring the substrate must be provided. At this time, a conveying device is mainly used as a conveyor, but a conveyor or the like is a device having a conveying roller accompanied by a contact. When a printed circuit board is conveyed by a conveying roller, .

인쇄회로기판의 다기능, 슬림화 추세에 따라 저중량화, 박판화 및 소형화의 과제에 직면해 있고, 인쇄회로기판도 작아짐에 따라 배선폭, 피치 간격등도 미세화되고 있다.As printed circuit boards are becoming more versatile and slimmer, they are faced with the problem of weight reduction, thinning, and miniaturization. As printed circuit boards also become smaller, wiring widths and pitch intervals are becoming smaller.

따라서, 이송롤러가 인쇄회로기판에 접촉됨에 의한 표면 손상이 민감해지며, 표면이 손상된 인쇄회로기판의 전처리 및 후처리 공정에서 불량이 야기되는 문제가 있다.
Therefore, there is a problem that surface damage due to the contact of the transport roller with the printed circuit board becomes sensitive, and defects are caused in the preprocessing and post-treatment process of the printed circuit board having the damaged surface.

대한민국 공개특허공보 제2004-0054533호Korean Patent Publication No. 2004-0054533

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 유체 내에 함침된 구동롤러의 회전에 의해 기판의 리프팅과 이송이 동시에 이루어도록 이송롤러 외주면에 헤링본 형상의 홈이 구비된 기판 이송장치를 제공하는데 목적이 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been devised to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus having a herringbone-shaped groove on the outer circumferential surface of a transfer roller so that the substrate is lifted and transferred simultaneously by rotation of a driving roller impregnated in a fluid .

본 발명의 상기 목적은,The above object of the present invention is achieved,

본 발명은 회전이 가능하며 축으로 기능하는 샤프트 및 헤링본 형상의 홈이 형성된 이송롤러가 샤프트와 결합된 구동롤러를 포함하고, 구동롤러 회전에 의해 발생되는 유막에 의해 기판의 리프팅 및 이송이 되는 기판 이송장치가 제공됨에 의해서 달성된다.The present invention relates to an apparatus and a method for driving a substrate, which is capable of rotating and includes a shaft functioning as a shaft and a conveying roller having a herringbone-shaped groove formed therein and a driving roller coupled with the shaft, A transfer device is provided.

이때, 헤링본 형상의 홈은 음각으로 형성되어 있어 이송롤러가 유체 내부에서 회전할 때, 홈에 존재하던 유체가 롤러 중앙부로 펌핑되면서 이송롤러 표면에 유막을 형성할 수 있다.
At this time, the herringbone-shaped grooves are formed at a negative angle, so that when the transporting roller rotates inside the fluid, the fluid existing in the grooves is pumped to the center of the roller to form an oil film on the surface of the transporting roller.

본 발명의 실시예에 따른 이송 장치는 이송 롤러 외주면에 형성된 홈에 존재하던 유체가 이송롤러가 회전함에 따라 이송롤러 외주면 중앙부에 유막을 형성하고, 유막이 기판을 부상시킬 수 있는 장점이 있다.The transfer device according to the embodiment of the present invention is advantageous in that the fluid existing in the grooves formed on the outer circumferential surface of the transfer roller forms an oil film at the center of the outer circumferential surface of the transfer roller as the transfer roller rotates and the oil film can float the substrate.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송은 이송롤러와 직접 접촉하지 않으면서 가능하므로, 이송롤러와 기판 접촉에 의한 기판의 손상을 방지할 수 있으므로 고신뢰성의 기판을 제조할 수 있는 이점이 있다.
In addition, since the substrate transfer according to the embodiment of the present invention can be performed without directly contacting the transfer roller, it is possible to prevent the substrate from being damaged by contact between the transfer roller and the substrate, .

도 1은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 일실시예 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 이송롤러의 정면도.
도 3은 도 2의 이송롤러의 홈을 확대한 단면도.
도 4는 도 2의 이송롤러의 홈을 확대한 단면도.
도 5는 도 2의 이송롤러의 홈을 확대한 단면도.
도 6은 이송롤러의 다른 실시예 사시도.
도 7은 본 발명에 따른 이송 장치에 의해 이송된 인쇄회로기판의 SEM 사진.1 is a perspective view of a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention;
2 is a front view of a conveying roller according to the present invention;
Fig. 3 is an enlarged cross-sectional view of the groove of the conveying roller of Fig. 2; Fig.
FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of the groove of the conveying roller of FIG. 2; FIG.
Fig. 5 is an enlarged cross-sectional view of the groove of the conveying roller of Fig. 2; Fig.
6 is a perspective view of another embodiment of the transport roller.
7 is a SEM photograph of a printed circuit board transferred by a transfer device according to the present invention.

본 명세서에 사용된 용어는 특정 실시 예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only, and is not intended to be limiting of the invention. As used herein, the singular forms "a," "an," and "the" include singular forms unless the context clearly dictates otherwise. Also, " comprise "and / or" comprising "when used herein should be interpreted as excluding the presence or addition of the mentioned forms, numbers, steps, operations, elements, elements and / It is not.

본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시 예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서에서, 제1, 제2 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The objectives, specific advantages, and novel features of the present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings, in which: FIG. It should be noted that, in the present specification, the reference numerals are added to the constituent elements of the drawings, and the same constituent elements have the same numerical numbers as much as possible even if they are displayed on different drawings. In the following description, well-known functions or constructions are not described in detail since they would obscure the invention in unnecessary detail. In this specification, the terms first, second, etc. are used to distinguish one element from another, and the element is not limited by the terms.

이하, 첨부된 도면을 통하여 본 발명을 상세히 설명한다.
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 일실시예 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 이송롤러의 정면도이며, 도 3은 도 2의 이송롤러의 홈을 확대한 단면도이고, 도 4는 도 2의 이송롤러의 홈을 확대한 단면도이며, 도 5는 도 2의 이송롤러의 홈을 확대한 단면도이다.2 is a front view of a conveyance roller according to the present invention, FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view of a groove of the conveyance roller of FIG. 2, and FIG. 4 is a cross- 2 is an enlarged cross-sectional view of the grooves of the conveying roller, and FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of the grooves of the conveying roller of FIG.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 유체 내에서 기판을 이송할 수 있도록 복수개가 병렬로 배치된 구동롤러(110)로 구성될 수 있다.As shown in FIG. 1, the substrate transfer apparatus 100 according to the present invention may include a plurality of drive rollers 110 arranged in parallel so as to transfer substrates in the fluid.

구동롤러(110)는 회전축을 이루는 샤프트(110) 및 샤프트(110)와 결합되어 회동하며 기판(10)을 지지하는 이송롤러(112)로 구성될 수 있다. The driving roller 110 may be composed of a shaft 110 constituting the rotating shaft and a conveying roller 112 rotating and rotating with the shaft 110 in combination with the shaft 110.

샤프트(111)는 기판을 지지하며 이송롤러(112)를 회전시키는 회전부재로서, 모터와 같은 회전수단에 의해 회전축이 회전하고, 회전축과 연결된 이송롤러(112)에 회전력을 전달하여 기판(10)을 이송한다.The shaft 111 is a rotary member for supporting the substrate and rotating the conveying roller 112. The rotary shaft rotates by a rotating means such as a motor and transmits a rotational force to the conveying roller 112 connected to the rotary shaft, .

이송롤러(112)는 통형으로 구성되어 상부에 기판이 지지될 수 있다. 일정간격으로 이격된 복수의 구동롤러(110)가 회전하면 상부에 지지되는 기판(10)을 롤러 회전방향에 따라 이송 방향이 결정될 수 있다.The transporting roller 112 is configured in a cylindrical shape so that the substrate can be supported on the upper portion. When the plurality of drive rollers 110 spaced apart at regular intervals are rotated, the transport direction of the substrate 10 supported on the upper portion can be determined according to the roller rotation direction.

이송롤러(112) 표면에는 헤링본(herringbone) 형상의 홈(114)을 구비할 수 있다. 헤링본 형상은 인접 부위에서 서로 반대방향을 향해 빗각으로 배열한 구조로서 'V'자 형을 구성할 수 있다.The surface of the conveying roller 112 may have a groove 114 in the form of a herringbone. The herringbone shape is a structure that is arranged in an oblique direction toward the opposite direction at adjacent portions, and can form a 'V' shape.

홈(114)은 음각으로 형성되어 유체가 유지될 수 있는 공간을 구비할 수 있다. 본 발명에 따른 기판이송장치(100)는 유체 내에서 동작하므로 구동롤러(110) 회전시 홈(114)에 존재하던 유체(20)는 이송롤러(112) 중앙부로 펌핑될 수 있다.The grooves 114 may be formed at an obtuse angle to have a space in which the fluid can be held. The substrate transfer apparatus 100 according to the present invention operates in the fluid so that the fluid 20 existing in the groove 114 when the drive roller 110 rotates can be pumped to the center of the transfer roller 112.

이송롤러(112)가 회전하면, 홈(114)에 존재하던 유체(20)는 샤프트(110) 회전시 이송롤러(112) 중심 수직선을 기준으로 측단부에서 중심 방향으로 형성된 유압에 의해 이동되는 것이다.The fluid 20 existing in the groove 114 is moved by the hydraulic pressure formed in the center direction at the side end portion with respect to the central vertical line of the conveying roller 112 when the shaft 110 rotates .

이때, 이송롤러(112) 중앙부는 유체의 유압이 가장 높게 형성되고, 중앙부에 모인 유체는 분산되기 전에 이송롤러 중앙부 표면에 유막을 형성할 수 있다.At this time, the oil pressure of the fluid is highest in the central portion of the transporting roller 112, and the oil film can be formed on the surface of the center portion of the transporting roller before the fluid collected in the central portion is dispersed.

이송롤러 표면에 형성된 유막이 기판을 리프트시키므로 기판과 직접 접촉이 없이 기판 이송을 가능하게 할 수 있다. 다시 말해, 이송롤러(112)에 형성된 유막은 기판을 부상시키고, 유막의 표면장력에 의해 기판과 밀착되고 있어 기판의 이탈없이 이송될 수 있다.Since the oil film formed on the surface of the transport roller lifts the substrate, it is possible to transport the substrate without contacting the substrate directly. In other words, the oil film formed on the transporting roller 112 floats the substrate, is brought into close contact with the substrate by the surface tension of the oil film, and can be transported without departing from the substrate.

따라서, 이송 롤러(112)와 접촉에 의해 발생되는 기판 불량 예를 들면, 롤러(112)에 이물질의 접착, 롤러(120)에 의해 가압된 기판 표면의 회로층의 손상 등을 방지할 수 있다.
Therefore, it is possible to prevent a substrate failure caused by contact with the conveyance roller 112, for example, adhesion of foreign matter to the roller 112, damage of the circuit layer on the substrate surface pressed by the roller 120, and the like.

본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 유체 내에서 동작할 수 있다. 이때, 이송롤러의 홈(114)에 존재하던 유체는 샤프트(111)가 회전하여 이송롤러 중앙부로 유동되더라도 계속 공급될 수 있기 때문에 유체를 공급하기 위한 별도의 주입 장치는 부가될 필요가 없다.The substrate transfer apparatus 100 according to the present invention can operate in fluid. At this time, since the fluid existing in the groove 114 of the transporting roller can be continuously supplied even if the shaft 111 rotates and flows to the center of the transporting roller, a separate injection device for supplying the fluid need not be added.

본 발명은 웨팅(Wetting) 공정이 필요한 기판의 제조 공정 사용될 수 있다. 웨팅공정은 예를 들어 케미칼(Chemical) 표면처리, 에칭공정 등 화학 반응이 요구되는 표면 처리 공정에서 유체 속을 통하게 되는 수평 이송 장치에 활용될 수 있다. 또한, LCD 비접촉 반송, 웨이퍼 반송, 세정 등에도 활용할 수 있다.The present invention can be used in a manufacturing process of a substrate requiring a wetting process. The wetting process can be applied to a horizontal transfer device that passes through a fluid in a surface treatment process requiring a chemical reaction, such as a chemical surface treatment or an etching process. It can also be utilized for LCD non-contact transportation, wafer transportation, cleaning and the like.

따라서, 유막을 형성하는 유체는 프로세스 별로 종류가 달라질 수 있으므로 이를 특별히 제한할 필요가 없다. 예를 들면, 기판의 수세 공정에서는 이송롤러(112)가 물에 침지되어 있어서 홈(114)에 물이 존재하므로 롤러 회전시 이송롤러 표면에 수막을 형성할 수 있다. 도금 공정에서는 이송롤러(112)가 도금액에 침지되어 있어 홈(114)에 도금액이 존재하므로 이송롤러 포면에 도금액막을 형성할 수 있는 것이다.Therefore, it is not necessary to limit the fluid for forming the oil film to the kind different depending on the process. For example, in the washing step of the substrate, the feed roller 112 is immersed in water, and water is present in the grooves 114, so that a water film can be formed on the surface of the feed roller during the rotation of the rollers. In the plating process, the transfer roller 112 is immersed in the plating liquid, and the plating liquid exists in the groove 114, so that the plating liquid film can be formed on the transfer roller surface.

유압 발생홈(120)은 드릴 비트(drill bit)를 통해 음각의 홈을 형성할 수 있고, 그 단면은 사각형, 원 또는 삼각형으로 형성될 수 있다.The hydraulic pressure generating groove 120 may be formed with a recessed groove through a drill bit, and the cross section may be formed into a square, a circle, or a triangle.

일반적으로, 유체의 이동속도는 구동롤러(112)의 회전 속도 및 홈(114)의 폭과 깊이에 따라 가변될 수 있다. 그러나, 샤프트(111)의 회전 각속도가 일정한 때에는, 동일 사이즈의 폭을 가진 경우, 사각형의 보다는 삼각형 또는 원형의 단면을 가진 홈을 구비한 이송롤러(112)가 이송롤러 표면에 유막을 효과적으로 형성할 수 있다.In general, the moving velocity of the fluid may vary depending on the rotational speed of the driving roller 112 and the width and depth of the groove 114. However, when the rotational angular velocity of the shaft 111 is constant, the conveying roller 112 having a groove having a triangular or circular cross section rather than a quadrangular shape effectively forms an oil film on the conveying roller surface .

또한, 홈(114)은 측단부에서 중앙부 방향으로 폭과 깊이가 감소할 수 있다. 홈에 존재하던 유체가 샤프트(111)의 회전에 의해 일정한 유동성이 형성된 경우, 연속의 정리에 단면적이 작은 중앙부에 높은 유압이 형성되므로 유막이 이송롤러(112) 표면에 폭넓게 형성되고, 그 높이도 높아져 기판(10)의 비접촉 이송에 효과적일 수 있다.In addition, the groove 114 may have a reduced width and depth in a side-to-center direction. When the fluid present in the grooves has a constant fluidity due to the rotation of the shaft 111, a high oil pressure is formed in the central portion having a small cross-sectional area in the continuous arrangement, so that the oil film is formed broadly on the surface of the feed roller 112, So that it can be effective for non-contact feeding of the substrate 10.

이송롤러(112)는 샤프트(110) 양단에 설치되어 기판의 가장자리를 지지하며 이송시킬 수 있다. The conveying roller 112 is installed at both ends of the shaft 110 to support and convey the edge of the substrate.

그리고, 샤프트(111)는 기판 처짐을 방지하는 보조롤러(113)을 구비할 수 있다. 보조롤러(113)는 기판을 지지하며 기판 주앙부의 처짐을 방지할 수 있다. 보조롤러(113)는 박형 또는 코어가 존재하지 않는 기판의 제조 공정 또는 이송 공정에서 처짐에 의한 휨을 방지함과 동시에 기판을 지지하며 이송할 수 있다.The shaft 111 may have an auxiliary roller 113 for preventing the substrate from sagging. The auxiliary roller 113 supports the substrate and can prevent sagging of the substrate chuck. The auxiliary roller 113 can support and transport the substrate while preventing deflection caused by sagging in a manufacturing process or a transferring process of a thin or core-free substrate.

이때, 보조롤러(113)는 기판의 면적을 고려하여 복수개로 구성될 수 있다.At this time, the sub-rollers 113 may be constituted by a plurality of units in consideration of the area of the substrate.

보조 롤러(113) 원주면에는 헤링본 형상의 홈(114)이 형성될 수 있다. 홈의 구조 및 기능에 대한 설명은 앞서 설명한 바와 같기에 생략한다.
A herringbone-shaped groove 114 may be formed on the circumferential surface of the auxiliary roller 113. The description of the structure and function of the groove is as described above, so it is omitted.

한편, 도 5는 구동롤러(110)의 다른 실시예 사시도이다. 도시된 바와 같이, 구동롤러(110)는 샤프트(111)와 샤프트와 결합되어 회동하는 이송롤러를 포함하며, 이송롤러 표면에는 유압 발생홈(121)이 구비된다.On the other hand, Fig. 5 is a perspective view of another embodiment of the driving roller 110. Fig. As shown in the figure, the driving roller 110 includes a shaft 111 and a conveying roller that rotates in combination with the shaft, and a hydraulic pressure generating groove 121 is formed on the conveying roller surface.

유압 발생홈(120)은 제1 유압 발생홈(121a)과 제2 유압 발생홈(121b)이 이송롤러(112) 표면에 음각으로 형성되어 있고, 이송롤러(112)가 회전할 때 유압 발생홈(120)에 있던 유체를 이송롤러(112) 중앙부로 펌핑할 수 있다.The first hydraulic pressure generating groove 121a and the second hydraulic pressure generating groove 121b are formed on the surface of the conveying roller 112 at an oblique angle so that when the conveying roller 112 rotates, The fluid in the feed roller 120 may be pumped to the center of the feed roller 112.

각 유압 발생홈(121a, 121b)은 샤프트(111)의 회전축에 경사지게 형성되어 소정의 각을 이루고 있고, 이송롤러 회전 방향 중심선을 기준으로 대향되게 형성될 수 있다.Each of the oil pressure generating grooves 121a and 121b may be formed to be inclined at a predetermined angle with respect to the rotational axis of the shaft 111 and be opposed to each other with respect to the rotational center line of the conveying roller.

이때, 제1 유압 발생홈(121a)과 제2 유압 발생홈(121b)은 이송롤러 회전방향 중심선에는 유압 발생홈이 연결되지 않기 때문에 헤링본 구조에서 이음부가 단절된 구조를 형성할 수 있다.At this time, since the oil pressure generating grooves are not connected to the center lines of the first and second oil pressure generating grooves 121a and 121b in the direction of rotation of the transporting rollers, a structure in which the joints are disconnected in the herringbone structure can be formed.

이송롤러 중심부 표면에는 음각이 형성되지 않기 때문에 샤프트(111)가 회전하여 유압 발생홈(120)에 존재하는 유체가 이송롤러(112) 중심부로 항하면서 넓은 유막이 형성될 수 있다.A large oil film can be formed as the shaft 111 rotates and the fluid present in the oil pressure generating groove 120 moves toward the center of the transporting roller 112. [

따라서, 이송롤러(112)는 기판 이송 과정에서 기판을 비접촉으로 지지 및 이송할 수 있기 때문에 기판의 신뢰성을 보다 향상시킬 수 있다.Therefore, the conveying roller 112 can support and convey the substrate in a noncontact manner during the transferring of the substrate, so that the reliability of the substrate can be further improved.

제1 유압 발생홈(121a)과 제2 유압 발생홈(121b)은 수직 단면이 사각형, 원 또는 삼각형으로 형성될 수 있다. 유압 발생홈(121)에 존재하는 유체는 바닥이 좁고 상부로 넓은 홈에 의해 이동 속도가 증가하고 이에 따라 이송롤러(112) 표면에 유막이 용이하게 형성될 수 있다.The first hydraulic pressure generating groove 121a and the second hydraulic pressure generating groove 121b may have a vertical cross section of a quadrangle, a circle, or a triangle. The fluid present in the oil pressure generating groove 121 is narrowed in the bottom and the moving speed is increased by the wide groove on the top, and thus the oil film can be easily formed on the surface of the transporting roller 112.

유압 발생홈(120)은 드릴 비트(drill bit)를 통해 음각의 홈을 형성할 수 있음은 앞서 설명한 바와 같다.
As described above, the oil pressure generating grooves 120 can form grooves of a concave shape through a drill bit.

도 6은 비접촉 이송에 따른 기판 표면의 SEM 사진이다.6 is an SEM photograph of the surface of the substrate according to non-contact transport.

기판은 블랙 옥사이드 처리(Black Oxide)가 된 경우 침상 구조를 지녀야 하는데, 기판과 롤러(120)와 접촉에 의해 침상구조가 무너질 수 있다.The substrate should have a needle-like structure when it is made of black oxide, and the needle-shaped structure may collapse by contact with the substrate and the roller 120.

침상구조가 무너진 경우, 가시광선의 반사율이 증가하기 때문에 기판의 광처리가 필요한 프로세스에서는 문제가 형성될 수 있다.When the needle-like structure is collapsed, the reflectance of the visible light increases, so that a problem may be caused in a process requiring the light processing of the substrate.

본 발명에서는 유막에 의해 기판이 이송되어 침상구조 변형을 가하지 않게 되므로 기판 제조의 신뢰성을 높일 수 있다.
In the present invention, since the substrate is transferred by the oil film and the needle-shaped structure is not deformed, the reliability of the substrate manufacturing can be improved.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예는 본 발명을 실시함에 있어서 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
The foregoing detailed description is illustrative of the present invention. It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are intended to provide further explanation only as the same may be varied in scope or effect. Changes or modifications are possible within the scope. The foregoing embodiments are intended to illustrate the best mode of carrying out the invention and are not to be construed to limit the scope of the present invention to the practice of other situations known in the art for using other inventions such as the present invention, Various changes are possible. Accordingly, the foregoing description of the invention is not intended to limit the invention to the precise embodiments disclosed. It is also to be understood that the appended claims are intended to cover such other embodiments.

10. 기판
20. 유체
30. 이송조
100. 기판 이송장치.
110. 구동롤러
111. 샤프트
112. 이송롤러
113. 보조롤러
114. 홈
120. 유압 발생홈
121a. 제1 유압 발생홈
121b. 제2 유압 발생홈
130. 보조 롤러10. Substrate
20. Fluid
30. Feeding tank
100. A substrate transfer apparatus.
110. Drive roller
111. Shaft
112. Feed roller
113. Auxiliary rollers
114. Home
120. Hydraulic generating groove
121a. The first hydraulic pressure generating groove
121b. The second hydraulic pressure generating groove
130. Auxiliary roller

Claims (12)

유체 내에 복수 개가 병렬로 배치되어 기판을 이송하는 구동롤러로 구성된 기판 이송장치에 있어서,
상기 구동롤러는,
샤프트;
상기 샤프트에 설치되고, 기판을 부상(浮上)시켜 이송하는 이송롤러;를 포함하되,
상기 이송롤러는 헤링본 형상의 홈이 형성된 기판 이송장치.
A substrate transfer apparatus comprising a plurality of drive rollers arranged in parallel in a fluid to transfer a substrate,
The drive roller
shaft;
And a transfer roller installed on the shaft for transferring the substrate by floating the substrate,
Wherein the conveying roller has a herringbone-shaped groove.
제1항에 있어서,
상기 홈은 음각으로 형성된 기판 이송장치.
The method according to claim 1,
Wherein the groove is formed at an obtuse angle.
제1항에 있어서,
상기 홈은 수직 단면이 사각형, 원 또는 삼각형으로 형성된 기판 이송장치.
The method according to claim 1,
Wherein the groove has a vertical cross section formed into a square, a circle, or a triangle.
제1항에 있어서,
상기 홈은 단부에서 중앙부 방향으로 폭과 깊이가 감소하는 기판 이송장치.
The method according to claim 1,
Wherein the groove is reduced in width and depth in an end-to-center direction.
제1항에 있어서,
상기 구동롤러가 회전시, 상기 홈에 존재하는 유체가 상기 이송롤러 중앙부로 이동하여 유막을 형성하는 기판 이송장치.
The method according to claim 1,
Wherein when the driving roller rotates, fluid present in the groove moves to the center of the conveying roller to form an oil film.
제1항에 있어서,
상기 이송롤러는 상기 샤프트 양단에 형성된 기판 이송장치.
The method according to claim 1,
Wherein the conveying roller is formed at both ends of the shaft.
제6항에 있어서,
상기 샤프트는 기판 처짐을 방지하는 적어도 하나 이상의 보조롤러를 포함하는 기판 이송장치.
The method according to claim 6,
Wherein the shaft includes at least one or more auxiliary rollers for preventing substrate deflection.
제7항에 있어서,
상기 보조롤러는 헤링본 형상의 홈이 형성된 기판 이송장치.
8. The method of claim 7,
Wherein the auxiliary roller has a herringbone-shaped groove.
유체내에 복수개가 병렬로 배치되어 기판을 지지 및 이송하는 구동롤러로 구성된 기판 이송장치에 있어서,
상기 구동롤러는,
샤프트;
상기 샤프트에 설치되어 기판을 부상시켜 이송하는 이송롤러;를 포함하되,
상기 이송롤러 표면에는 유압 발생홈이 형성된 기판 이송장치.
A substrate transfer apparatus comprising a plurality of transfer rollers arranged in parallel in a fluid to support and transfer a substrate,
The drive roller
shaft;
And a conveying roller installed on the shaft and lifting the substrate to convey the substrate,
And a hydraulic pressure generating groove is formed on the surface of the conveying roller.
제9항에 있어서,
상기 유압 발생홈은 제1 유압 발생홈과 제2 유압발생홈이 대칭으로 형성된 기판 이송장치.
10. The method of claim 9,
Wherein the first oil pressure generating groove and the second oil pressure generating groove are symmetrically formed in the oil pressure generating groove.
제10항에 있어서,
상기 제1 유압 발생홈과 제2 유압발생홈은 수직 단면이 사각형, 원 또는 삼각형으로 형성된 기판 이송장치.
11. The method of claim 10,
Wherein the first hydraulic pressure generating groove and the second hydraulic pressure generating groove have a vertical cross section formed in a quadrangle, a circle or a triangle.
제10항에 있어서,
상기 제1 유압 발생홈과 제2 유압발생홈은 음각으로 형성된 기판 이송장치.


11. The method of claim 10,
Wherein the first hydraulic pressure generating groove and the second hydraulic pressure generating groove are formed at an engraved angle.


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