KR20160122086A - 노광 장치와 그 검사 방법 - Google Patents

Abstract

[과제] 프린트 배선 기판 등의 노광 장치에 있어서, 광원이 되는 방전등이 순정품인지 여부를 검출할 수 있는 노광 장치와 그 검사 방법을 제공한다.
[해결수단] 방전등(1)과, 백열등(2)과, 리플렉터 용기(3)로 구성된 1 내지 복수의 광원 장치(4)와, 상기 광원 장치(4)를 장착하는 프레임(5)과, 상기 백열등(2)에 전류를 공급하는 정전류 전원(8)과, 상기 정전류 전원(8)으로부터의 상기 전류를 온·오프하는 스위치(10)와, 상기 스위치(10)를 소정의 시간으로 온·오프하는 제어부(9)와, 상기 백열등(2)의 양단 전압을 측정하는 측정부(11)와, 상기 양단 전압과 소정의 전압 범위를 비교하는 비교부(12)와, 상기 비교 결과를 사용하여, 상기 방전등(1)이 순정품인지 여부를 판정하는 판정부(13)와, 표시부(14)를 구비하는 것을 특징으로 하는 노광 장치(100).

Description

노광 장치와 그 검사 방법{EXPOSURE DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING THE SAME}

본 발명은, 프린트 배선 기판 등의 노광에 사용하는 노광 장치에 있어서, 광원이 되는 방전등이 순정품인지 여부를 검출하기 위한 백열등을 구비한 노광 장치와 그 검사 방법에 관한 것이다.

종래, 전자 기기에 부품을 실장하기 위해 수지나 유리 에폭시재의 기판 위에 구리 등의 금속으로 배선 패턴을 형성한 프린트 배선 기판이 사용되고 있다. 이들 프린트 배선 기판 위로의 배선 패턴의 형성에는 포토 에칭 기술이 사용되고 있다. 이것은, 배선이 되는 금속층이 전면에 형성된 기판 위 전면에, 감광성의 약제인 포토 레지스트를 도포하고, 이것에 배선 패턴과 동일한 포토 마스크를 통해서 노광 장치로부터의 조사광을 조사한다. 포토 레지스트에는, 조사광에 의해 포토 레지스트의 용해성이 저하되는 네거티브형 포토 레지스트와, 반대로 조사광에 의해 포토 레지스트의 용해성이 증대하는 포지티브형 포토 레지스트가 있다. 조사광에 의해 용해성이 상대적으로 증대한 포토 레지스트 부분을 화학 처리해서 제거하고, 노출된 금속층을 에칭에 의해 제거하면 포토 레지스트가 남은 부분의 아래에 있는 금속층만이 남고, 포토 레지스트를 제거함으로써 배선 패턴이 기판 위에 형성된다. 포지티브형, 네거티브형 어느 쪽의 포토 레지스트에 조사광을 조사하는 경우에도, 조사면 전면에 걸쳐서 균일한 노광량을 확보하기 위해서, 균일한 조도로 일정한 시간, 안정적인 조사광의 조사가 필요하다.

한편, 프린트 배선 기판에 있어서, 제조 공정의 효율화를 위해 프린트 배선 기판을 대형화하고, 기판 완성 후에 분할하여 소형화하고, 원하는 전자 기기에 사용하는 것이 행해지고 있다. 프린트 배선 기판의 대형화에 따라, 노광 장치 메이커는 광원인 방전등을 고조도로 대형화하거나, 또는 복수의 저조도의 소형의 방전등을 사용한 다등(多燈)의 광원으로서 균일한 노광량을 확보하려고 하고 있다. 예를 들어, 8kW의 고압 방전등의 광원을 1등 사용하는 대신에 2kW의 고압 방전등의 광원을 4등 사용하는 등이다. 저조도의 방전등은 고조도의 방전등에 비하여 제조 난이도나 제조 비용에 있어서 우위이며, 다등의 광원을 갖는 노광 장치가 다수 판매되어 있다.

하지만, 광원의 다등화에 따라, 균일한 노광량의 확보의 필요성에서 복수의 방전등끼리의 균질성이 보다 중요해지고 있다. 그 때문에, 노광 장치의 성능을 안정시켜, 신뢰성이 높은 프린트 배선 기판을 제조하려면, 동일 메이커에 의해, 동일 재료, 동일 공법으로 제작된 순정품의 방전등만을 사용하는 것이 필요해져, 방전등이 순정품인지 여부를 식별하는 장치 및 검사 방법이 필요해졌다.

노광 장치에 한정되지 않고 광학 장치에 있어서, 사용되고 있는 방전등이나 광원을 식별하는 방법은 몇 가지 알려져 있다(예를 들어, 일본국 특허공보 특공평7-52677호(특허문헌 1), 일본국 공표특허공보 특표2010-527504호(특허문헌 2), 및 일본국 공개특허공보 특개소62-43059호(특허문헌 3) 참조.). 예를 들어, 특허문헌 1에 기재된 램프 이상 검출 장치에서는, 할로겐 램프 등 필라멘트를 사용한 백열 전구에 소정의 전압을 공급하고, 필라멘트가 반 정도 나간 상태시의 전류값과, 필라멘트가 정상시의 전류값을 비교하여 이상이 있는 램프를 검출한다고 하고 있다. 하지만, 이래서는, 램프의 수명은 검출할 수 있어도, 램프가 순정품인지 여부를 식별하는 것은 곤란하다.

또한, 예를 들어 특허문헌 2에서는, 백열등 또는 형광등이란 광원과 병렬로 저항 및 콘덴서가 접속된 회로를 접속하고, 이 광원의 양단에 소정의 전압을 공급했을 때의 시간 상수(저항값과 용량값의 곱)를 측정하여 광원이 백열등인지 형광등인지를 검출한다고 하고 있다. 하지만, 이것으로는, 시간 상수가 큰 차이(백열등과 형광등에서는 시간 상수는 크게 다르다.)는 검출할 수 있어도, 동일 백열등 간에서의 순정품인지 여부를 식별하는 것은 곤란하다. 또한, 예를 들어 특허문헌 3에서는, 동일 백열 전구의 밸브 내에 봉입된 복수의 필라멘트에 자외선을 방사하면서, 그것들 필라멘트간의 방전 개시 전압을 측정하여, 불량품을 검출한다고 하고 있다. 하지만, 이것으로는 불량품은 검출할 수 있어도, 램프가 순정품인지 여부를 식별하는 것은 곤란하다.

일본국 특허공보 특공평7-52677호 일본국 공표특허공보 특표2010-527504호 일본국 공개특허공보 특개소62-43059호

순정품의 광원을 다른 메이커에 의해 제조된 유사품의 광원과 식별하기 위해서는 특허문헌 1 및 3과 같이 , 광원이 불량인지 여부, 또는 특허문헌 2와 같이 다른 종류의 광원인지 여부를 식별하는 것보다도, 더욱 정밀도가 높은 식별 장치가 필요하다. 또한, 복수의 광원의 검사 시간이 노광 장치의 기동 시간을 크게 초과하지 않을 것과, 노광 장치 전체의 비용을 크게 늘리지 않을 것이라는 과제도 동시에 해결할 필요가 있다.

본 발명은 전술한 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 프린트 배선 기판 등의 노광에 사용하는 노광 장치에 있어서, 광원이 되는 방전등이 순정품 인지 여부를 고정밀도, 단시간 및 저비용으로 식별하기 위한 백열등을 구비한 노광 장치와 그 검사 방법을 제공하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에서의 청구항 1에 기재된 발명은, 예를 들어 도 1에 도시된 바와 같이, 제 1 노광 장치(100)를 다음과 같이 구성하였다. 즉, 제 1 노광 장치(100)는,

광원이 되는 방전등(1)과, 상기 방전등(1)이 순정품 인지 여부를 검출하는 백열등(2)과, 상기 방전등(1) 및 상기 백열등(2)이 장착된 리플렉터 용기(3)로 구성된 1 내지 복수의 광원 장치(4)와, 상기 광원 장치(4)를 피조사물을 향해 장착하는 프레임(5)과, 상기 백열등(2)에 전류를 공급하는 정전류 전원(8)과, 상기 정전류 전원(8)으로부터의 상기 전류를 온·오프하는 스위치(10)와, 상기 방전등(1)의 점등 중에 상기 스위치(10)를 온·오프하여 상기 백열등(2)을 소정 시간 점등하는 제어부(9)와, 점등 중의 상기 백열등(2)의 양단 전압을 측정하는 측정부(11)와, 상기 측정부(11)에서 측정된 상기 양단 전압과 방전등(1)의 정품 여부를 판정하는 소정의 상한값 및 하한값의 전압 범위를 비교하는 비교부(12)와, 상기 비교부(12)로부터의 신호를 받아, 상기 양단 전압이 상기 소정의 상한값 및 하한값의 전압 범위 내의 경우에는, 검사 대상 방전등이 순정품이라고 판정하고, 상기 양단 전압이 상기 소정의 상한값 및 하한값의 전압 범위 외의 경우에는, 검사 대상 방전등이 비순정품이라고 판정하는 판정부(13)와, 판정 결과를 표시하는 표시부(14)를 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 2에 기재된 발명은, 예를 들어 도 1에 도시한 바와 같이, 제 2 노광 장치(101)를 다음과 같이 구성하였다. 즉, 제 2 노광 장치(101)는,

광원이 되는 방전등(1)과, 상기 방전등(1)이 순정품인지 여부를 검출하는 백열등(2)과, 상기 방전등(1) 및 상기 백열등(2)이 장착된 리플렉터 용기(3)로 구성된 1 내지 복수의 광원 장치(4)와, 상기 광원 장치(4)를 피조사물을 향해 장착하는 프레임(5)과, 상기 백열등(2)에 전류를 공급하는 정전류 전원(8)과, 상기 정전류 전원(8)으로부터의 상기 전류를 온·오프하는 스위치(10)와, 상기 방전등(1)의 점등 중에 상기 스위치(10)를 온·오프하여 상기 백열등(2)을 소정 시간 점등하는 제어부(9)와, 점등 중의 상기 백열등(2)의 양단 전압을 2회, 각각 소정 시간에 측정하는 측정부(15)와, 상기 측정부(15)에서 상기 백열등(2)의 1회째 측정시의 전압과 2회째 측정시의 전압의 차와, 방전등의 정품 여부를 판정하는 소정의 상한값 및 하한값의 전압차 범위를 비교하는 비교부(16)과, 상기 비교부(16)로부터의 신호를 받아, 상기 1회째 측정시의 전압과 2회째 측정시의 전압의 차가 상기 소정의 상한값 및 하한값의 전압차 범위 내의 경우에는, 검사 대상 방전등이 순정품이라고 판정하고, 상기 1회째 측정시의 전압과 2회째 측정시의 전압의 차가 상기 소정의 상한값 및 하한값의 전압차 범위 외의 경우에는, 검사 대상 방전등이 비순정품이라고 판정하는 판정부(17)와, 판정 결과를 표시하는 표시부(14)를 구비하는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 3에 기재된 발명은, 상기 방전등(1)의 검사 방법에 관한 것으로,

광원이 되는 상기 방전등(1)과, 상기 방전등(1)이 순정품인지 여부를 검출하는 상기 백열등(2)과, 상기 방전등(1) 및 상기 백열등(2)이 장착된 상기 리플렉터 용기(3)로 구성된 복수의 상기 광원 장치(4)가 장비된 청구항 1에 기재된 노광 장치(100) 또는 청구항 2에 기재된 노광 장치(101)에 있어서, 상기 제어부(9)는, 상기 방전등(1)의 점등 중에 상기 백열등(2)을 순차 온·오프하여 상기 방전등(1)의 정품 여부를 순차 검사하는 것을 특징으로 한다.

청구항 1에 기재된 발명에 의하면, 동일한 리플렉터 용기에 수납된 방전등과 백열등에 있어서, 방전등은 광원으로서, 백열등은 방전등이 순정인지 여부를 식별하기 위한 고유의 전압을 발생하는 저항 장치와 같이 이용된다. 백열등을 리플렉터 용기에 내장하기 전에, 백열등 단체(單體)에 정전류를 공급하고, 소정 시간 경과 후의 백열등의 양단의 전압을 측정한다. 같은 조건으로 복수개의 백열등의 양단의 전압을 측정하고, 전압 분포 범위를 확정한다. 그 후, 동일한 리플렉터 용기에 수납된 방전등과 백열등에 있어서, 상기와 같은 조건으로 측정한 백열등의 양단의 전압과 상기의 전압 분포 범위를 비교하여, 측정한 전압이 그 전압 분포 범위 내이면, 측정한 백열등과 동일한 리플렉터 용기 내의 방전등은 순정품이라고 식별할 수 있다. 상기의 노광 장치에 있어서는, 상기의 비교 판정을 모든 방전등에 대하여 순차로 행하여, 단시간, 저비용 및 고정밀도로 방전등이 순정품인지 여부를 식별할 수 있다. 또한, 상기의 발명에서는, 백열등의 양단의 전압을 1회 측정하면 순정품인지 여부의 식별이 가능하다.

본 발명의 노광 장치에서 사용하는 것은 통상의 백열등이며, 그 필라멘트의 재질은 텅스텐 등으로 필라멘트가 발하는 열에 의해 필라멘트의 저항값은 고유의 온도 변화를 나타낸다. 그 때문에, 백열등에 정전류를 공급한 직후에서, 아직 필라멘트의 온도가 낮을 때에는 그 저항값이 매우 작고(수Ω 정도), 이때의 백열등의 양단의 전압을 측정하고, 다음에 필라멘트의 온도가 충분히 상승했을 때(섭씨 600도 이상)에는, 그 저항값은 수배로 증가되어 있고, 이때의 전압을 측정하여, 양자의 전압의 차를 측정하면 필라멘트에 고유한 전압차가 된다.

청구항 2에 기재된 발명에 의하면, 상기의 필라멘트에 고유의 온도에 의한 전압차를 이용함으로써, 더욱 고정밀도로 순정품을 식별하는 것이 가능하다. 백열등을 리플렉터 용기에 내장하기 전에, 백열등 단체에 정전류를 공급하여, 우선 백열등으로의 정전류 공급 개시 직후에서 필라멘트의 온도가 낮을 때의 백열등의 양단의 전압을 측정하고, 다음에 소정 시간 경과 후에서 필라멘트의 온도가 충분히 상승했을 때의 양단의 전압을 측정하여, 양자의 전압차를 측정한다. 같은 조건으로 복수개의 백열등의 양단의 전압을 측정하여, 전압차 분포 범위를 확정한다. 그 후, 동일한 리플렉터 용기에 수납된 방전등과 백열등에 있어서, 상기와 같은 조건으로 측정한 백열등의 전압차와 상기의 전압차 분포 범위를 비교하여, 측정한 전압차가 그 전압차 분포 범위 내이면, 백열등과 동일한 리플렉터 용기 내의 방전등은 순정품이라고 식별할 수 있다. 상기의 노광 장치에 있어서는, 상기의 비교 판정을 모든 방전등에 대하여 순차로 행하여, 단시간, 저비용 및 보다 고정밀도로 방전등이 순정품인지 여부를 식별할 수 있다.

상기의 발명에서는, 백열등의 양단의 전압을 2회 측정하고, 1회째와 2회째의 온도에 의한 전압차를 측정하여 비교하기 때문에, 백열등 대신에, 백열등의 필라멘트와 동일한 저항값을 갖는 고정 저항기 등이 접속된 순정품이 아닌 방전등을 구비한 광학 장치를 비교 판정한 경우에서도, 고정 저항기 등의 온도에 의한 전압차가 백열등과는 크게 다르기 때문에, 그 광학 장치의 방전등은 순정품이 아니라고 식별할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예의 노광 장치를 도시한 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예의 광원부를 도시한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예의 광원 장치를 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예 1의 스위치의 온·오프와 백열등의 양단 전압 측정의 타이밍을 도시한 타이밍도이다.
도 5는 본 발명의 실시예 2의 스위치의 온·오프와 백열등의 양단 전압 측정의 타이밍을 도시한 타이밍도이다.

이하, 본 발명을 도 1 내지 5에 의해 설명한다. 또한, 각 부호에 있어서, 각 부위를 상위 개념으로 나타내는 경우에는 알파벳의 순번을 붙이지 않고 아라비아 숫자만으로 나타내고, 각 부위를 구별할 필요가 있는 경우(즉 하위 개념으로 나타내는 경우)에는 알파벳 소문자의 순번을 아라비아 숫자로 붙여서 구별한다. 또한, 도면의 설명에서는, 동일 요소에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략한다.

도 3은, 본 발명에 따른 일 실시예의 광원 장치(4)를 도시한 단면도이다. 방전등(1)은, 수은등의 발광 물질이 봉입된 내부 공간(1a)을 갖는 발광부(1b) 및 발광부(1b)의 내부 공간(1a)을 밀봉하는 한 쌍의 밀봉부(1c)를 갖는 발광관(1d)과, 발광부(1b) 내에 서로 대향하여 배치된 한 쌍의 전극(1e)과, 급전에 사용되는 한 쌍의 급전 와이어(1f)를 갖는다. 백열등(2)은 통상의 백열등이며, 필라멘트(2a)에 는 텅스텐 등을 코일 형상으로 가공한 것이 사용된다. 텅스텐의 저항값은 상온에서는 매우 작지만, 필라멘트의 발열(섭씨 600도 이상)에 의해, 저항값이 수배로 커진다. 리플렉터 용기(3)의 재질로서는, 유리 또는 알루미늄 등을 생각할 수 있고, 내측에는 회전 방출면을 갖는 반사면(3a)이 형성된다. 리플렉터 용기(3)는 밥공기 형상 바닥부의 외측에 베이스부(3b)가 피복되고, 그 접합부는 접착제(3e)로 고착된다. 또한 베이스부(3b)의 바닥부는 커버부(3c)로 덮이고, 그 접합부는 꼭지쇠 구조로 고정된다. 베이스부(3b) 및 커버부(3c)는 내부에 백열등(2)을 수용하는 수용 공간(3g)을 갖는 부재이고, 절연성 및 열전도성이 높은 재료로 형성하는 것이 적합하다.

방전등(1)의 밀봉부(1c)의 한쪽이 리플렉터 용기(3)의 밥공기형상 바닥부에 형성된 삽입 구멍(3f)에 삽입되고, 삽입 구멍(3f)과는 접착제 등으로 고착되어 있다. 또한, 밀봉부(1c)의 한쪽은, 베이스부(3b)의 삽입 구멍(3d)을 관통하여 커버부(3c)의 내부 공간에 도달하도록 배치된다. 백열등(2)은, 베이스부(3b)와 커버부(3c)에 의해 형성되는 수용 공간(3g)에 배치된다. 광원 장치(4)에는, 방전등(1)의 한 쌍의 급전 와이어(1f)와 백열등(2)의 한 쌍의 급전 와이어(2b)의 합계 4개의 급전 와이어가 접속되어 있다.

도 2는, 본 발명에 따른 일 실시예의 광원부(6)의 평면도이다. 프레임(5)에 광원 장치(4)가 세로 방향으로 4열, 가로 방향으로 6열씩 각각 장착되어 광원부(6)를 구성하고 있다.

도 1은, 본 발명의 실시예 1 및 2의 노광 장치를 도시한 개략도이고, 피조사물에 조사광을 조사하는 광원부(6)에는 복수의 광원 장치(4)가 장착되고, 각각의 광원 장치(4)에는, 방전등(1)에 전력을 공급하는 점등 회로(7) 및 백열등(2)에 정전류를 공급하는 정전류 전원(8)이 접속되어 있다. 정전류 전원(8)과 백열등(2) 사이에는 정전류를 온·오프하는 스위치(10)가 직렬로 접속되고, 이 스위치(10)는 제어부(9)에 의해 온·오프된다. 또한, 정전류 전원(8)과 백열등(2) 사이에는 직렬로 저항(30)이 접속되어, 백열등(2)이 단락 고장난 경우, 정전류 전원(8)을 보호한다. 백열등(2)의 양단은 전압이 측정 가능하도록 측정부(11)에도 접속되고, 저항(1la)은 측정부(11)의 내부 저항을 나타내고 있고, 백열등(2)의 필라멘트(2a)의 저항값에 비하여 충분히 큰 저항값(수MΩ 정도)이고, 그 때문에 측정부(11)는 필라멘트(2a)에서 발생하는 전압을 정확하게 측정할 수 있다.

비교부(12)에는 미리 소정의 조건으로 측정된 복수의 순정품 검출용의 백열등의 전압 분포 범위가 등록되어 있고, 판정부(13)는 비교부(12)의 비교 결과에서 방전등이 순정품인지 여부를 판정하고, 표시부(14)는 그 판정 결과를 표시한다. 도 1에 있어서, 참조 번호가 괄호로 기재되어 있는 측정부(15), 비교부(16), 판정부(17) 및 노광 장치(101)는 실시예 2에 있어서, 실시예 1의 측정부(11), 비교부(12), 판정부(13)와 각각 동일한 구성으로 사용되고, 그 경우에는 노광 장치(101)인 것을 나타내고 있다. 비교부(16)에는 미리 소정의 조건으로, 복수의 순정품 검출용의 백열등을 소정의 시간 간격으로 2회 측정했을 때의 전압차의 분포 범위가 등록되어 있다.

도 1에 있어서, 노광 장치(100)의 전원 스위치가 투입되면, 점등 회로(7)는 모든 방전등(1)에 전력을 공급한다. 통상 방전등(1)이 완전하게 작동하기 위해서는 몇 분이 필요하다. 노광 장치(100)의 전원 스위치 투입 직후에 제어부(9)는 광원 장치(4) 내의 제 1 백열등(2)에 접속된 제 1 스위치(10)를 온으로 하고, 정전류 전원(8)으로부터 정전류를 공급한다. 제 1 스위치(10)의 온시부터 소정 시간 후, 예를 들어 10초 후에 제 1 백열등(2)의 양단 전압을 측정부(11)가 측정하고, 그 결과를 비교부(12)에 보내고, 비교부(12)는 그 결과와 비교부(12F)에 미리 등록된 복수의 순정품 검출용의 백열등의 전압 분포 범위를 비교하여, 등록 전압 범위 내인지 여부를 판정부(13)에 보내고, 등록 전압 범위 내이면 판정부(13)는 대응하는 방전등(1)은 순정품이라고 판정하고, 등록 범위 외라면 대응하는 방전등(1)은 비순정품이라고 판정하여, 그 판정 결과를 표시부(14)에 표시한다. 측정에서 표시까지의 검사는 자동으로 이루어지기 때문에 극히 단시간에 종료한다.

제 1 백열등(2)의 전압 측정 종료 후, 제어부(9)는 제 1 백열등(2)에 접속된 제 1 스위치(10)를 오프로 하고, 제 2 백열등(2)에 접속된 제 2 스위치(10)를 온으로 하고, 정전류 전원(8)으로부터 정전류를 공급한다. 이후는, 제 1 백열등(2)의 경우와 마찬가지로 대응하는 방전등(1)이 순정품인지 여부를 판정하고, 모든 백열등(2)의 검사를 종료할 때까지 동일한 검사를 수행한다.

광원부(6)가 24등의 방전등으로 구성되어 있는 경우에는, 1등당 예를 들어 10초 걸리고, 이 경우에는 240초(4분)로 검사를 종료한다. 그 때문에, 일반적인 방전등이 제대로 작동되기까지의 시간이 몇 분 정도이고, 노광 장치 전체의 기동 시간이 통상 10분 정도인 것을 고려하면, 충분히 짧은 시간에 검사를 종료할 수 있다.

이때, 백열등(2)의 전압이 등록 전압 범위 밖이고, 판정부(13)가 대응하는 방전등(1)은 비순정품이라고 판정한 경우에는, 표시부(14)가 해당하는 방전등의 위치를 특정하는 정보의 표시 및 그 방전등이 비순정품인지를 표시하여, 제어부(9)가 검사를 일단 중단하고, 그 후, 오퍼레이터 등에 의한 확인 후, 검사를 재스타트할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 다른 대응으로서, 비순정품의 방전 등을 검출한 경우도 검사를 중단하지 않고 모든 방전등의 검사를 행하여, 검사 결과를 표시부(14)에서 표시하는 경우와 동일한 정보를 별도, 기억 장치 등에 저장하고, 모든 방전등의 검사 종료 후, 비순정품의 방전등의 위치 정보 등을 일괄 표시할 수 있도록 하는 것이 보다 바람직하다.

도 4에는, 스위치(10)의 온·오프의 타이밍과 측정부(11)에서의 측정 타이밍의 관계를 도시하고 있다. 도 4에서는 제 1 백열등(2)에 접속된 제 1 스위치(10)가 온이 되었을 때부터 소정 시간 후에 제 1 백열등(2)의 양단의 전압이 측정되고, 측정 직후에 제 1 백열등(2)에 접속된 제 1 스위치(10)가 오프가 되고, 제 2 백열등(2)에 접속된 제 2 스위치(10)가 온이 되고, 소정 시간 후에 제 2 백열등(2)의 양단의 전압이 측정되고, 이후 마찬가지로 모든 백열등(2)의 양단 전압이 측정되는 것을 나타내고 있다. 상기의 구성은, 종래의 다등 타입의 노광 장치에, 정전류 전원(8), 스위치(10), 제어부(9), 측정부(11), 비교부(12), 판정부(13), 표시부(14)를 추가한 구성이며, 특히 제어부(9), 비교부(12), 판정부(13)는 1대의 마이크로 컴퓨터 등에서도 실현 가능하여, 노광 장치의 비용을 크게 늘리지 않는다.

도 1에 있어서, 실시예 1과 다른 요소는 측정부(15)(내부 저항은 저항(15a)), 비교부(16), 판정부(17)이며, 다른 요소는 동일하다. 실시예 1과 동일한 요소는 설명을 생략한다. 노광 장치(101)의 전원 스위치 투입 직후에, 광원 장치(4) 안의 제 1 백열등(2)에 접속된 제 1 스위치(10)를 온으로 하고 정전류 전원(8)으로부터 정전류를 공급한다. 그 직후에 제 1 백열등(2)의 양단 전압을 측정부(15)가 1회째의 측정을 하고, 그 결과를 비교부(16)에 보낸다. 다음에 1회째의 측정으로부터 소정 시간 후, 예를 들어 10초 후에 제 1 백열등(2)의 양단 전압을 측정부(15)가 2회째의 측정을 하여, 그 결과를 비교부(16)에 보내고, 비교부(16)는 2회의 측정 전압의 차의 전압과, 비교부(16)에 미리 등록된 복수의 순정품 검출용의 백열등의 전압차 분포 범위를 비교하여, 등록한 전압차 범위 내인지 여부를 판정부(17)에 보내고, 등록 범위 내이면 판정부(17)가 대응하는 방전등(1)은 순정품이라고 판정하고, 등록 범위 외라면 대응하는 방전등(1)은 비순정품이라고 판정하여, 그 판정 결과를 표시부(14)에 표시한다. 측정에서 표시까지의 검사는 자동으로 이루어지기 때문에 극히 단시간에 종료한다.

제 1 백열등(2)의 2회의 전압 측정 종료 후, 제어부(9)는 제 1 백열등(2)에 제 1 스위치(10)를 오프로 하고, 제 2 백열등(2)에 접속된 제 2 스위치(10)를 온으로 하여, 정전류 전원(8)으로부터 정전류를 공급한다. 이후는, 제 1 백열등(2)의 경우와 동일하게 대응하는 방전등(1)이 순정품인지 여부를 판정하고, 모든 백열등의 검사를 종료할 때까지 동일한 검사를 행한다.

도 5에는, 스위치(10)의 온·오프의 타이밍과 측정부(15)에서의 측정 타이밍의 관계를 도시하고 있다. 도 5에서는 제 1 백열등(2)에 접속된 제 1 스위치(10)가 온이 된 직후에 1회째의 제 1 백열등(2)의 양단의 전압 측정이 행해지고, 또한 소정 시간 후에 2회째의 제 1 백열등(2)의 양단의 전압 측정이 행해지고, 2회째의 측정 직후에 제 1 백열등(2)에 접속된 제 1 스위치(10)가 오프가 되고, 제 2 백열등(2)에 접속된 제 2 스위치(10)가 온이 되고, 그 직후에 1회째의 제 2 백열등(2)의 양단의 전압 측정이 행해지고, 또한 소정 시간 후에 2회째의 제 2 백열등(2)의 양단의 전압 측정이 행해지고, 2회째의 측정 직후에 제 2 백열등(2)에 접속된 제 2 스위치(10)가 오프가 되고, 이후 마찬가지로 모든 백열등(2)의 양단 전압이 2회씩 측정되는 것을 나타내고 있다.

실시예 2에서는, 1회째 및 2회째의 전압 측정 시간의 설정은 스위치(10)가 온 상태인 시간대는 어느 시간이라도 설정 가능하다. 백열등의 전압차가 등록한 전압차 범위 밖이고, 판정부(17)가 대응하는 방전등(1)은 비순정품이라고 판정한 경우에는, 실시예 1의 경우와 동일한 대응을 취하는 것이 바람직하다. 또한, 실시 예 1에 있어서, 제어부(9), 측정부(11), 비교부(12), 판정부(13), 표시부(14)를 컨트롤하는 컴퓨터 프로그램의 변경으로 하드웨어 구성을 변경하지 않고, 실시예 2를 실현하는 것도 가능하다.

본 발명의 노광 장치(100)(101)에서는 광원 장치(4)의 대수가 많고, 그것들의 백열등(2)의 검사 시간이 노광 장치(100)(101)의 기동 시간을 크게 초과하는 경우에는, 제어부(9), 정전류 전원(8), 측정부(11)(15), 비교부(12)(16), 판정부(13)(17), 표시부(14)를 백열등(2)의 검사에 필요한 대수분을 증설하고, 이것들을 병렬로 가동시켜, 백열등(2)의 검사를 병행하여 행함으로써, 검사 시간을 증가시키지 않고 광원 장치(4)의 대수 증가에 대응하여 검사를 할 수 있다.

본 발명은, 프린트 배선 기판 위에 배선 패턴을 형성하는 노광 공정용의 노광 장치뿐만 아니라, 방전등을 이용한 액정 표시 패널용, 반도체 디바이스용 등, 모든 노광 장치와 부품의 외관 검사 장치 등 복수의 램프를 갖는 광원 장치에 있어서, 순정품의 방전 등이 필요한 장치에 이용 가능하다.

Claims (3)

1. 광원이 되는 방전등과, 상기 방전등이 순정품인지 여부를 검출하는 백열등과, 상기 방전등 및 상기 백열등이 장착된 리플렉터 용기로 구성된 1 내지 복수의 광원 장치와,
   상기 광원 장치를 피조사물을 향해서 장착하는 프레임과,
   상기 백열등에 전류를 공급하는 정전류 전원과,
   상기 정전류 전원으로부터의 상기 전류를 온·오프하는 스위치와,
   상기 방전등의 점등 중에 상기 스위치를 온·오프하여 상기 백열등을 소정 시간 점등하는 제어부와,
   점등 중의 상기 백열등의 양단 전압을 측정하는 측정부와,
   상기 측정부에서 측정된 상기 양단 전압과 방전등의 정품 여부를 판정하는 소정의 상한값 및 하한값의 전압 범위를 비교하는 비교부와,
   상기 비교부로부터의 신호를 받아, 상기 양단 전압이 상기 소정의 상한값 및 하한값의 전압 범위 내의 경우는, 검사 대상 방전등이 순정품이라고 판정하고, 상기 양단 전압이 상기 소정의 상한값 및 하한값의 전압 범위 외의 경우는, 검사 대상 방전등이 비순정품이라고 판정하는 판정부와,
   판정 결과를 표시하는 표시부를 구비하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
2. 광원이 되는 방전등과, 상기 방전등이 순정품인지 여부를 검출하는 백열등과, 상기 방전등 및 상기 백열등이 장착된 리플렉터 용기로 구성된 1 내지 복수의 광원 장치와,
   상기 광원 장치를 피조사물을 향해서 장착하는 프레임과,
   상기 백열등에 전류를 공급하는 정전류 전원과,
   상기 정전류 전원으로부터의 상기 전류를 온·오프하는 스위치와,
   상기 방전등의 점등 중에 상기 스위치를 온·오프하여 상기 백열등을 소정 시간 점등하는 제어부와,
   점등 중의 상기 백열등의 양단 전압을 2회, 각각 소정 시간에 측정하는 측정부와,
   상기 측정부에서 상기 백열등의 1회째 측정시의 전압과 2회째 측정시의 전압의 차와, 방전등의 정품 여부를 판정하는 소정의 상한값 및 하한값의 전압차 범위를 비교하는 비교부와,
   상기 비교부로부터의 신호를 받아, 상기 1회째 측정시의 전압과 2회째 측정시의 전압의 차가 상기 소정의 상한값 및 하한값의 전압차 범위 내의 경우는, 검사 대상 방전등이 순정품이라고 판정하고, 상기 1회째 측정시의 전압과 2회째 측정시의 전압의 차가 상기 소정의 상한값 및 하한값의 전압차 범위 외의 경우는, 검사 대상 방전등이 비순정품이라고 판정하는 판정부와,
   판정 결과를 표시하는 표시부를 구비하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 노광 장치에서 방전등의 검사 방법에 있어서,
   광원이 되는 상기 방전등과, 상기 방전등이 순정품인지 여부를 검출하는 상기 백열등과, 상기 방전등 및 상기 백열등이 장착된 상기 리플렉터 용기로 구성된 복수의 상기 광원 장치가 장비되고,
   상기 제어부는, 상기 방전등의 점등 중에 상기 백열등을 순차 온·오프하여 상기 방전등의 정품 여부를 순차 검사하는 것을 특징으로 하는 방전등의 검사 방법.

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