KR20160121753A - 증착 장치 - Google Patents

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KR20160121753A
KR20160121753A KR1020150051136A KR20150051136A KR20160121753A KR 20160121753 A KR20160121753 A KR 20160121753A KR 1020150051136 A KR1020150051136 A KR 1020150051136A KR 20150051136 A KR20150051136 A KR 20150051136A KR 20160121753 A KR20160121753 A KR 20160121753A
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Abstract

본 개시의 일 실시예는, 기화된 증착 물질을 분사하는 분사기가 구비된 선형 증착원; 상기 증착 물질이 수용되어 기화되는 도가니; 소정의 간격을 사이에 두고 배치되며, 상기 선형 증착원과 상기 도가니의 상부면을 연결하는 제1 연결부와 제2 연결부; 및 상기 도가니 내부에 배치되며 상기 증착 물질에 열을 인가하는 히터;를 포함하며, 상기 도가니의 상부면은 상기 제1 연결부 및 상기 제2 연결부 사이에서 연속적으로 배치되는 제1 철부 및 제2 철부 형상으로 형성되는 증착 장치를 제공할 수 있다.

Description

증착 장치{Deposition Apparatus}
본 개시의 실시예들은 증착 장치에 관한 것이다.
유기 발광 표시 장치(Organic light emitting display device)는 스마트 폰, 태블릿 퍼스널 컴퓨터, 초슬림 노트북, 디지털 카메라, 비디오 카메라, 휴대 정보 단말기와 같은 모바일 기기용 표시 장치나, 초박형 텔레비전과 같은 전자/전기 제품에 적용할 수 있어서 각광받고 있다. 유기 발광 표시 장치는 소정의 증착 물질을 기화시키고, 생성된 기체 분자를 글래스 기판에 부착시킴으로써 글래스 기판을 성막하는 증착법에 의해 형성될 수 있다.
증착법은 소정의 증착 물질을 기화하는 기화부와 기화된 기체 분자를 글래스 기판에 성막하는 분사기구를 포함하는 증착 장치에 의해 구현될 수 있다. 종래 증착 장치에서, 증착 물질을 기화하는 기화부와 기화된 유기 분자를 글래스 기판을 향해 분사하는 분사 기구는 동일한 공정 챔버 내에 배치되었다. 따라서, 기화부에 유입된 증착 물질을 기화하고, 분사 기구로부터 증착 물질을 글래스 기판에 분사하여 증착 물질을 글래스 기판에 부착시키는 일련의 성막 공정은 동일한 공정 챔버 내에서 수행되었다.
그러나 상기 일련의 성막 공정 과정이 동일한 공정 챔버 내에서 이루어지는 경우, 기화부로부터 발생한 고열이 각종 센서 등의 부품으로 전해져 각 부품의 특성을 악화시키거나 부품 자체를 파손시킬 수 있다.
이에 반해, 기화부와 분사 기구를 별도의 공정 챔버에 배치하고 분사 기구가 배치된 공정 챔버 내부가 진공 상태로 유지되는 경우, 증착 물질의 분자가 글래스 기판에 도달하기 전에 공정 챔버 내의 잔존 기체 분자에 충돌할 확률은 매우 낮아질 수 있으며, 이에 따라 기화부로부터 발생한 열이 처리실 내의 다른 부품으로 전해지지 않을 수 있다. 따라서, 분사 기구의 진공도를 유지함과 동시에 기화부의 고온 상태를 유지하기 위해 증착 장치의 기화부와 분사 기구는 분리 배치될 수 있다.
다만, 상술한 바와 같이 기화부와 분사 기구가 분리된 분리형 증착 장치, 특히 대면적 표시 장치에 대한 증착 장치에서 기화부의 기체 유동의 특성에 따라 일부 증착 물질의 변성이 발생될 수 있다.
본 개시의 실시예들은 증착 물질의 변성이 발생되지 않는 기화부를 구비하는 분리형 증착 장치를 제공한다.
본 개시의 일 실시예에 따른 증착 장치는, 기화된 증착 물질을 분사하는 분사기가 구비된 선형 증착원; 상기 증착 물질이 수용되어 기화되는 도가니; 소정의 간격을 사이에 두고 배치되며, 상기 선형 증착원과 상기 도가니의 상부면을 연결하는 제1 연결부와 제2 연결부; 및 상기 도가니 내부에 배치되며 상기 증착 물질에 열을 인가하는 히터;를 포함하며, 상기 도가니의 상부면은 상기 제1 연결부 및 상기 제2 연결부 사이에서 연속적으로 배치되는 제1 철부 및 제2 철부 형상으로 형성될 수 있다.
본 실시예에서, 상기 도가니가 일 방향으로 연장되도록 형성되고, 상기 제1 철부 및 상기 제2 철부는 상기 일 방향에 대해 반시계 방향으로 제1 각도만큼 기울어진 제1 경사부와 상기 일 방향에 대해 시계 방향으로 제2 각도만큼 기울어진 제2 경사부로 형성될 수 있다.
본 실시예에서, 상기 제1 철부와 상기 제2 철부를 연결하는 제1 이음부는 곡면 형상으로 형성될 수 있다.
본 실시예에서, 상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부를 연결하는 제2 이음부는 곡면 형상으로 형성될 수 있다.
본 실시예에서, 상기 히터부는 복수개의 제1 히터 및 복수개의 제2 히터로 형성되며, 상기 복수개의 제1 히터는 일 방향으로 연장되도록 형성되고, 소정의 간격을 사이에 두고 서로 이격되도록 나란히 배치되며, 상기 복수개의 제2 히터는 상기 일 방향과 수직한 방향으로 연장되도록 형성되고, 소정의 간격을 사이에 두고 서로 이격되도록 나란히 배치될 수 있다.
본 실시예에서, 상기 도가니 및 상기 히터 사이에 배치된 온도 감지부 및 상기 온도 감지부에 의해 감지된 상기 도가니의 온도에 따라 상기 히터에 전원을 공급되는 전원부에 온도 제어 신호를 송신하는 온도 제어 장치를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에서, 상기 선형 증착원 및 상기 도가니를 제1 방향으로 이동시키는 이송부;를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에서, 상기 선형 증착원으로부터 상기 증착 물질이 분사되는 기판이 대면적일 수 있다.
본 실시예에서, 기화된 증착 물질을 분사하는 분사기가 구비된 선형 증착원; 상기 증착 물질이 수용되어 기화되는 도가니; 소정의 간격을 사이에 두고 배치되며, 상기 선형 증착원과 상기 도가니의 상부면을 연결하는 제1 연결부와 제2 연결부; 및 상기 도가니 내부에 배치되며 상기 증착 물질에 열을 인가하는 히터;를 포함하며, 상기 히터는 상기 도가니의 상부면과 마주보도록 배치되며, 상기 제1 연결부 및 상기 제2 연결부 사이에서 연속적으로 배치되는 제1 요부 및 제2 요부 형상으로 형성될 수 있다.
본 실시예에서, 상기 도가니가 일 방향으로 연장되도록 형성되고, 상기 제1 요부 및 상기 제2 요부는 상기 일 방향에 대해 시계 방향으로 제1 각도만큼 기울어진 제1 경사 히터부와 상기 일 방향에 대해 반시계 방향으로 제2 각도만큼 기울어진 제2 경사 히터부로 형성될 수 있다.
본 실시예에서, 상기 제1 경사 히터부 및 상기 제2 경사 히터부는 복수개의 제1 히터 및 복수개의 제2 히터로 형성되며, 상기 복수개의 제1 히터는 일 방향으로 연장되도록 형성되고, 소정의 간격을 사이에 두고 서로 이격되도록 나란히 배치되며, 상기 복수개의 제2 히터는 상기 일 방향과 수직한 방향으로 연장되도록 형성되고, 소정의 간격을 사이에 두고 서로 이격되도록 나란히 배치될 수 있다.
본 실시예에 따른 증착 장치는 증착 물질의 유동 특성이 개선된 기화부를 포함할 수 있으며, 이에 따라 기화부 내부에 배치된 증착 물질의 변성을 감소시킬 수 있다.
또한, 기화부 내부에 배치된 증착 물질의 변성이 감소됨에 따라 분사 기구에 의해 분사되는 성막 및 잔사의 순도가 향상될 수 있으므로 표시 장치에 대한 불량률을 낮출 수 있다.
도 1a는 본 개시의 일 실시예에 따른 증착 장치를 도시한 개략도이다. 도 1b는 도 1a의 선형 증착원 및 기화부의 사시도이다.
도 2는 도 1b의 A-A선에 따른 단면도이다.
도 3a는 기화부와 제1 연결부 및 제2 연결부에 대한 개략적인 사시도이다. 도 3b는 도 3a에 도시된 기화부와 제1 연결부 및 제2 연결부를 B-B선에 따라 절단한 단면도이다.
도 4a는 본 개시의 일 실시예에 따른 기화부와 제1 연결부 및 제2 연결부에 대한 개략적인 사시도이다. 도 4b는 도 4a에 도시된 기화부와 제1 연결부 및 제2 연결부를 C-C선을 따라 절단한 단면도이다.
도 5a는 본 개시의 다른 실시예에 따른 기화부와 제1 연결부 및 제2 연결부에 대한 개략적인 사시도이다.
도 5b는 도 5a에 도시된 기화부와 제1 연결부 및 제2 연결부를 D-D선을 따라 절단한 단면도이다.
도 6은 본 개시의 또 다른 실시예에 따른 기화부와 제1 연결부 및 제2 연결부에 대한 개략적인 단면도이다.
본 개시는 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 개시의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 개시는 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 개시의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도 1a는 본 개시의 일 실시예에 따른 증착 장치(10)를 도시한 개략도이다. 도 1b는 도 1a의 기화부 및 선형 증착원의 사시도이다. 도 2는 도 1b의 A-A선에 따른 단면도이다.
도 1a, 도 1b 및 도 2를 참조하면, 본 개시의 일 실시예에 따른 증착 장치(10)는 공정 챔버(100), 상기 공정 챔버(100)의 내부에 위치하는 선형 증착원(200), 상기 선형 증착원(200)의 하부에 배치되는 기화부(300) 및 상기 선형 증착원(200)에 대향하도록 위치하는 기판 홀더(500)을 포함할 수 있다.
상기 공정 챔버(100)는 증착 공정을 수행하기 위한 공간을 제공하기 위한 것으로, 기판(G)의 반출입을 위한 반출입구(미도시) 및 상기 공정 챔버(100) 내부의 압력을 제어하며 상기 기판(G) 상에 증착되지 않은 증착 물질을 배기시키기 위하여 진공 펌프(미도시)와 연결되는 배기단(미도시)을 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 공정 챔버(100)는 상기 증착 물질이 상기 기판(G) 상에 일정 패턴으로 증착되도록 상기 선형 증착원(200)과 기판 홀더(500) 사이에 위치하며, 다수의 슬릿(slit)을 포함하는 마스크 조립체(K)를 더 포함할 수 있다.
상기 기판 홀더(500)는 상기 공정 챔버(100) 내측으로 반입되는 기판(G)을 안착시키기 위한 것으로, 증착 공정 동안 상기 기판(G)을 고정하기 위한 별도의 고정 부재(미도시)를 더 포함할 수 있다.
여기서, 본 개시의 실시 예에 따른 증착 장치(10)는 상기 선형 증착원(200)이 상기 공정 챔버(100)의 하부에 위치하고, 상기 기판 홀더(500)가 상기 공정 챔버(100)의 상부에 위치하도록 하여, 상기 기판 홀더(500)에 의해 상기 기판(G)이 지면과 수평하도록 고정되는 것으로 도시하고 있으나, 상기 선형 증착원(200)은 상기 공정 챔버(100)의 일측 측면에 위치하고, 상기 기판 홀더(500)는 상기 공정 챔버(100)의 타측 측면에 위치하도록 하여, 상기 기판 홀더(500)에 고정된 상기 기판(G)이 지면과 70 내지 110°의 각을 갖도록 함으로써, 중력에 의한 기판 처짐을 방지할 수도 있다.
선형 증착원(200)은 기화부(300)로부터 전달된 증착 물질을 상기 기판(G) 상에 분사함으로써, 상기 기판(G) 상에 상기 증착 물질을 성막시키기 위한 것이다. 상기 선형 증착원(200)은 일 방향, 예를 들어 제1 방향(T)으로 연장된 길이를 갖는다. 선형 증착원(200)의 상부에는 복수의 분사기(210)가 배치될 수 있다. 복수의 분사기(210)는, 그 길이 방향이 기판(G)의 진행 방향에 대하여 대략 수직이 되도록 서로 평행하게 등간격으로 배치될 수 있다. 일 예로서, 각 분사기(210)는, 그 길이 방향이 기판(G)의 폭과 동등한 정도의 길이를 가지며, 형상 및 구조가 모두 동일하게 형성될 수 있으나 본 개시가 이에 제한되는 것은 아니다. 또한, 공정 챔버(100)의 내부에서는 상기 복수의 분사기(210)로부터 분사된 기체 분자에 의해 기판(G)에 연속적으로 성막 처리가 실시될 수 있다.
증착 장치(10)는 이송부(600)를 더 포함할 수 있다. 이송부(600)는 선형 증착원(200) 및 기화부(300)를 상기 제1 방향(T)으로 이동 시키는 역할을 한다. 이송부(600)는 볼 스크류(ball screw, 610), 볼 스크류(610)를 회전시키는 모터(630), 및 선형 증착원(200) 및 기화부(300)의 이동 방향을 제어하기 위한 가이드(620)를 포함할 수 있다. 증착 장치(10)가 이송부(600)에 의해 이동됨에 따라 증착 장치(10)는 보다 넓은 면적에 증착 물질(M)을 증착시킬 수 있으며, 이에 따라 선형 증착원(200)으로부터 증착 물질(M)이 분사되는 기판(G)은 대면적을 구비하도록 형성될 수 있다.
기화부(300)는 증착 물질을 기화시키기 위한 가열부로서, 도가니(310) 및 복수의 히터(400)를 포함할 수 있다. 도가니(310)는 상이한 종류의 증착 물질(M)이 성막의 원료로서 저장될 수 있는 저장 부재이다. 본 개시의 일 실시예에 따른 도가니(310)의 내부에는 증착 물질(M)이 수용될 수 있는 공간이 형성될 수 있으며, 도가니(310)의 양 단부에는 기화된 증착 물질(M)이 후술하게 될 제1 연결부(710)와 제2 연결부(720)를 통해 선형 증착원(200)으로 이동될 수 있도록 복수의 개구부(311, 312)가 배치될 수 있다. 일 예로서, 도가니(310)는 일 방향, 예를 들어 제1 방향(T)을 따라 연장되도록 형성될 수 있다.
히터(400)는 도가니(310)의 하부면과 마주보도록 도가니(310)의 상부에 배치되어 증착 물질(M)에 열을 인가할 수 있다. 일 예로서, 히터(400)는 복수개의 제1 히터(410; 도 3a 참조) 및 복수개의 제2 히터(420; 도 3a 참조)로 형성될 수 있다. 이 때 복수개의 제1 히터(410)는 일 방향, 예를 들어 도가니(310)의 길이 방향을 따라 연장되도록 형성되고, 상기 복수개의 제1 히터(410)는 소정의 간격을 사이에 두고 서로 이격되도록 나란히 배치될 수 있다. 복수개의 제2 히터(420)는 상기 일 방향과 수직한 방향으로 연장되도록 형성될 수 있으며, 상기 복수개의 제2 히터(420) 또한 소정의 간격을 사이에 두고 서로 이격되도록 나란히 배치될 수 있다. 히터(400)는, 예를 들어 발열 코일로 형성될 수 있으며, 상술한 바와 같이 도가니(310)의 상부에 배치되어 도가니(310)의 하부에 배치된 증착 물질(M)에 열을 인가할 수 있다.
온도 제어 장치(430)는 히터(400)의 발열 정도를 제어할 수 있는 제어수단으로서, 저장 매체(431), 프로세서(433), 입출력 인터페이스(434), 온도 감지부(435)를 포함할 수 있다. 저장 매체(431)에는, 예를 들어, 히터(400)의 온도와 증착 물질(M)의 성막 두께에 대한 관계를 나타내는 데이터 또는 히터를 피드백 제어하기 위한 프로그램 등이 저장될 수 있다. 온도 감지부(435)는 도가니(310)의 내부 온도를 측정할 수 있는 감지 부재이다. 프로세서(433)는 저장 매체(431)에 저장된 각종 데이터 또는 프로그램을 이용하여 입출력 인터페이스(434)에 입력된 입력 신호 및 온도 감지부(435)에 의해 감지된 도가니(310) 내부의 온도를 이용하여 증착 물질(M)의 기체 분자의 생성 속도를 연산하고, 연산된 생성 속도로부터 히터(400)에 인가되는 전압을 연산할 수 있다. 프로세서(433)는 전원부(440)으로 온도 제어 신호를 송신할 수 있으며, 전원부(440)은 프로세서(433)로부터 송신된 온도 제어 신호에 기초하여 원하는 전압을 각 히터에 인가할 수 있다.
기화부(300)는 복수의 연결부(700)를 이용하여 선형 증착원(200)과 연결될 수 있다. 일 예로서, 제1 연결부(710) 및 제2 연결부(720)는 소정의 간격을 사이에 두고 도가니(310)의 양 측부에 배치될 수 있으며, 제1 연결부(710) 및 제2 연결부(720)에 의해 선형 증착원(200)과 기화부(300)는 상호간에 연결될 수 있다. 이에 따라 기화부(300)에서 기화된 증착 물질(M)은 제1 연결부(710) 및 제2 연결부(720)를 통하여 선형 증착원(200)까지 전달될 수 있다.
기화부(300)는 또한, 제1 연결부(710)와 제2 연결부(720)에 기화된 증착 물질을 공급할지 여부를 제어할 수 있는 제1 밸브(340), 증착 물질을 도가니(310)에 공급할지 여부를 제어할 수 있는 제2 밸브(350) 및 가스 공급부(360)를 더 포함할 수 있다.
제1 밸브(340)는 제1 연결부(710) 및 제2 연결부(720)에 각각 배치될 수 있으며, 제1 밸브(340)의 개폐를 조작함으로써, 증착 물질(M)을 제1 공정 챔버(100)에 공급할지 여부를 제어할 수 있다. 제2 밸브(350)는 원료 저장부(351) 및 도가니(310) 사이에 배치될 수 있으며, 제2 밸브(350)의 개폐를 조작함으로써 성막 원료를 도가니(310)에에 공급할지 여부를 제어할 수 있다.
도가니(310)에는 제2 공정 챔버(100)의 내부와 도가니(310)의 내부를 연결하는 가스 공급부(360)이 배치될 수 있다. 가스 공급부(360)는 가스 공급원(361)으로부터 도가니(310)의 내부에 불활성 가스(예를 들어, Ar 가스)를 공급하기 위하여 이용된다. 공급된 불활성 가스는 도가니(310)의 내부에 존재하는 증착 물질(M)을 복수의 연결부(700)를 통해 선형 증착원(200)까지 운반하는 캐리어 가스로서 기능할 수 있다. 다만, 본 개시가 이에 제한되는 것은 아니며, 별도의 캐리어 가스 없이도 증착 물질(M)은 복수의 연결부(700)를 통해 선형 증착원(200)까지 이동될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의상 캐리어 가스가 포함된 증착 물질(M)을 증착 물질(M)로 통칭한다.
도 3a는 기화부(300)와 제1 연결부(710) 및 제2 연결부(720)에 대한 개략적인 사시도이다. 도 3b는 도 3a에 도시된 기화부(300)와 제1 연결부(710) 및 제2 연결부(720)을 B-B선에 따른 단면도이다.
선형 증착원(200)과 기화부(300)가 분리된 증착 장치(10)에서 증착 물질(M)은 연결부(710, 720)를 통과하여 기화부(300)로부터 선형 증착원(200)로 유동할 수 있으므로, 연결부(710, 720)에 인접한 영역과 연결부(710, 720)에 인접하지 않은 영역 사이에 압력 차이가 발생될 수 있다. 이에 따라 도가니(310) 내부에서 증착 물질(M)의 유동이 일정하지 않을 수 있으며, 이로 인해 증착 물질(M)의 변성이 발생될 수 있다.
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 일 예로서 제1 히터(410)와 제2 히터(420)는 도가니(310)의 상부에 교차되도록 배치되어 증착 물질(M)에 열을 인가할 수 있다. 이 때, 제1 히터(410)와 제2 히터(420)는 도가니(310)의 상부면을 따라 일정하게 배치될 수 있으며, 이에 따라 제1 히터(410) 및 제2 히터(420)와 마주보도록 배치된 증착 물질(M)의 모든 영역에 일정한 열, 예를 들어 200oC 내지 500oC의 열을 인가할 수 있다.
증착 물질(M)은 제1 히터(410)와 제2 히터(420)에 의해 기화될 수 있다, 이 때, 증착 물질(M)은 제1 히터(410)와 제2 히터(420)에 의해 일정한 열량을 인가 받을 수 있으므로, 증착 물질(M)의 기화 속도는 도가니(310)의 길이 방향을 따라 일정하게 유지될 수 있다. 즉, 증착 물질(M)의 표면으로부터 인접한 제1 영역(D1)에서 증착 물질(M)은 일정한 속도로 기화될 수 있으며, 이로 인해 기화된 증착 물질(M)은 제1 영역(D1) 전반에 걸쳐 일정한 속도로 상승할 수 있다.
기화된 증착 물질(M)은 도가니(310)의 상부면에 인접한 제3 영역(D3)까지 상승될 수 있다. 상술한 바와 같이 제3 영역(D3)의 양 단부에는 제1 연결부(710) 및 제2 연결부(720)와 연결된 제1 개구부(311) 및 제2 개구부(312)를 통해 증착 물질(M)이 지속적으로 상승할 수 있다. 그러나, 제1 개구부(311)와 제2 개구부(312) 사이에 배치된 증착 물질(M)은 도가니(310)의 상부면에 의해 유동이 차단되어 정체될 수 있다. 이로 인해, 제1 개구부(311)와 제2 개구부(312)가 배치된 제3-2 영역(D3-2)의 압력은 제1 개구부(311)와 제2 개구부(312) 사이에 배치된 제3-1영역(D3-1)의 압력 보다 작을 수 있다.
제3-1영역(D3-1)와 제3-2 영역(D3-2)의 압력 차이에 따라, 제1 영역(D1)에 배치된 증착 물질(M)의 유동 방향은 제1 영역(D1)과 제3 영역(D3) 사이에 배치된 제2 영역(D2)에서 제3-2 영역(D3-2)으로 변화하게 된다. 일 예로서, 제3-2 영역(D3-2)의 압력이 제3-1영역(D3-1)의 압력보다 작기 때문에, 제1 영역(D1)의 양 단부에서 기화된 증착 물질(M)뿐만 아니라 제1 영역(D1)의 중앙부에서 기화된 증착 물질(M)의 유동 방향 또한 상대적 압력이 작은 제3-2 영역(D3-2)을 향하도록 변화될 수 있다.
반면, 제3-1영역(D3-1)의 제1 압력은 제3-2 영역(D3-2)의 제2 압력과 비교하여 상대적으로 높기 때문에 제1 영역(D1)에서 기화된 새로운 증착 물질(M)이 유입되지 못한 채 종래 배치되었던 증착 물질(M)이 계속하여 잔존하게 된다. 이에 따라 제3-1영역(D3-1)에 잔존하는 증착 물질(M)은 변성될 수 있으며, 변성된 증착 물질(M)이 기판(G)에 증착되는 경우 성막의 순도 저하를 초래하여 표시 장치의 불량을 발생 시킬 수 있다.
도 4a는 본 개시의 일 실시예에 따른 기화부(300)와 제1 연결부(710) 및 제2 연결부(720)에 대한 개략적인 사시도이다. 도 4b는 도 4a에 도시된 기화부(300)와 제1 연결부(710) 및 제2 연결부(720)를 C-C선을 따라 절단한 단면도이다. 도 5a는 본 개시의 다른 실시예에 따른 기화부(300)와 제1 연결부(710) 및 제2 연결부(720)에 대한 개략적인 사시도이다. 도 5b는 도 5a에 도시된 기화부(300)와 제1 연결부(710) 및 제2 연결부(720)를 D-D선을 따라 절단한 단면도이다.
상술한 바와 같이 제3 영역(D3)의 압력 분포 차이에 의해 증착 물질(M)이 제3-1영역(D3-1)에 잔존하게 된다. 따라서, 도가니(310)의 상부면 형상을 변화시켜 제3 영역(D3)의 압력 분포를 변화시키는 경우, 제3-1영역(D3-1)에 증착 물질(M)의 유동을 발생시킬 수 있다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 도가니(310)의 상부면은 제1 연결부(710) 및 제2 연결부(720) 사이에서 연속적으로 배치되는 제1 철부(313; 凸部) 및 제2 철부(314)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 제1 철부(313) 및 제2 철부(314)는 도가니(310)의 폭 방향으로 연장되도록 형성되고, 제1 연결부(710) 및 제2 연결부(720) 사이에서 대칭되도록 배치될 수 있다. 이 때, 제1 철부(313) 및 제2 철부(314)는 도가니(310)의 길이 방향에 대해 소정의 각도를 이루도록 기울어진 제1 경사부(313-1, 314-1) 및 제2 경사부(313-2, 314-2)를 구비할 수 있다. 일 예로서, 제1 경사부(313-1, 314-1)는 도가니(310)의 길이 방향에 대해 제1 각도(θ1), 예를 들어 20도 내지 60도만큼 반시계 방향으로 경사지도록 배치되는 판상 부재이며, 제2 경사부(313-2, 314-2)는 도가니(310)의 길이 방향에 대해 제2 각도(θ2), 예를 들어 20도 내지 60도만큼 시계 방향으로 경사지도록 배치되는 판상 부재이다.
제3-1 영역(D3-1)과 제3-2 영역(D3-2) 사이에 배치되는 제3-3 영역(D3-3) 및 제3-4 영역(D3-4)에 제1 철부(313) 및 제2 철부(314)가 배치됨에 따라 제3-3 영역(D3-3) 및 제3-4 영역(D3-4)은 제3-1 영역(D3-1)과 비교하여 히터(400)와 도가니(310)의 상부면 사이에 상대적으로 많은 공간을 확보할 수 있다. 이에 따라 동일한 유입 속도를 구비한 증착 물질(M)이 제3-1영역(D3-1), 제3-3 영역(D3-3) 및 제3-4 영역(D3-4)에 유입되는 경우, 제3-3 영역(D3-3) 및 제3-4 영역(D3-4)의 제3 및 제4 압력(P3, P4)는 제3-1영역(D3-1)의 제1 압력 보다 작을 수 있다.
제3-1 영역(D3-1)과 제3-3 영역(D3-3) 및 제3-4 영역(D3-4)의 압력 차이에 따라 제3-1 영역(D3-1)에 유입된 증착 물질(M)은 제3-3 영역(D3-3) 및 제3-4 영역(D3-4)을 따라 제3-2 영역(D3-2)까지 이동될 수 있다. 따라서, 제3-1 영역(D3-1)에 유입된 증착 물질(M)은 제3-2 영역(D3-2)까지 이동될 수 있으며, 제1 연결부(710) 및 제2 연결부(720)를 통해 선형 증착원(100)으로 이송될 수 있다. 이에 따라 제3-1영역(D3-1)에 유입된 증착 물질(M)은 제3-1영역(D3-1)에 정체되지 않을 수 있으며 증착 물질(M)의 변성을 방지할 수 있다.
제3-1 영역(D3-1)과 제3-2 영역(D3-2) 사이에서 발생되는 증착 물질(M)의 유동이 보다 용이하게 이루어지도록 제1 철부(313) 및 제2 철부(314) 사이의 제1 이음부(214)와 제1 경사부(313-1, 314-1) 및 제2 경사부(313-2, 314-2) 사이의 제2 이음부(215)의 형상이 변화될 수 있다.
도 5a 및 도 5b를 참조하면, 제1 이음부(214)와 제2 이음부(215)는 도가니(310)의 폭 방향으로 따라 연장된 곡면 형상으로 형성될 수 있다. 제3-1 영역(D3-1)에 증착 물질(M)이 유입되는 경우, 증착 물질(M)의 유동은 제1 이음부(214)와 제2 이음부(215)의 곡면 형상을 따라 진행될 수 있다. 이에 따라 증착 물질(M)은 제3-1 영역(D3-1)에 정체 됨이 없이 제3-2 영역(D3-2)까지 보다 용이하게 전달될 수 있으며, 제3-1 영역(D3-1)에 유입된 증착 물질(M)의 변성이 방지 될 수 있다.
도 6은 본 개시의 일 실시예에 따른 기화부(300)와 제1 연결부(710) 및 제2 연결부(720)에 대한 개략적인 단면도이다. 설명의 편의성을 위해 도 4a 및 도 4b와 동일한 구성에 대한 설명은 생략한다.
상술한 바와 같이 제3 영역(D3)의 압력 분포 차이에 의해 증착 물질(M)이 제3-1영역(D3-1)에 잔존하게 된다. 이 때, 도가니(310)의 상부면 형상을 변화시키는 것뿐만 아니라 히터(400)의 형상을 변화시킴으로써 제3 영역(D3)의 압력 분포를 변화시키는 경우에도 제3-1영역(D3-1)에 유입된 증착 물질(M)의 유동을 발생시킬 수 있다.
도 6을 참조하면, 히터(400)는 도가니(310)의 상부면과 마주보도록 배치될 수 있으며, 제1 연결부(710) 및 제2 연결부(720) 사이에 배치되는 제1 요부(431; 凹部) 및 제2 요부(432)를 포함할 수 있다. 일 예로서, 제1 요부(431) 및 제2 요부(432)는 제1 연결부(710) 및 제2 연결부(720) 사이에서 대칭되도록 배치될 수 있으며, 제1 요부(431) 및 제2 요부(432)는 도가니(310)의 길이 방향에 대해 소정의 각도를 이루도록 기울어진 제1 경사 히터부(431-1, 432-1) 및 제2 경사 히터부(431-2, 432-2)를 구비할 수 있다. 일 예로서, 제1 경사 히터부(431-1, 432-1)는 도가니(310)의 길이 방향에 대해 제1 각도(θ1)만큼 시계 방향으로 경사지도록 배치되는 제1 히터(410) 및 제2 히터(420)의 격자 구조이며, 제1 경사 히터부(431-1, 432-1)는 도가니(310)의 길이 방향에 대해 제2 각도(θ2)만큼 반시계 방향으로 경사지도록 배치되는 제1 히터(410) 및 제2 히터(420)의 격자 구조이다.
제3-1 영역(D3-1)과 제3-2 영역(D3-2) 사이에 배치되는 제3-3 영역(D3-3) 및 제3-4 영역(D3-4)에 제1 요부(431) 및 제2 요부(432)가 배치됨에 따라 제3-3 영역(D3-3) 및 제3-4 영역(D3-4)은 제3-1 영역(D3-1)과 비교하여 히터(400)와 도가니(310)의 상부면 사이에 상대적으로 많은 공간을 확보할 수 있다. 이에 따라 동일한 유입 속도를 구비한 증착 물질(M)이 제3-1영역(D3-1), 제3-3 영역(D3-3) 및 제3-4 영역(D3-4)에 유입되는 경우, 제3-3 영역(D3-3) 및 제3-4 영역(D3-4)의 제3 및 제4 압력는 제3-1영역(D3-1)의 제1 압력 보다 작을 수 있다.
제3-1 영역(D3-1)과 제3-3 영역(D3-3) 및 제3-4 영역(D3-4)의 압력 차이에 따라 제3-1 영역(D3-1)에 유입된 증착 물질(M)이 제3-2 영역(D3-2)까지 이동되는 방식은 도 4a 및 도 4b에서 서술된 내용과 실질적으로 일치하므로 여기서는 서술을 생략한다.
한편, 이와 같이 본 개시는 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 개시의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

Claims (11)

  1. 기화된 증착 물질을 분사하는 분사기가 구비된 선형 증착원;
    상기 증착 물질이 수용되어 기화되는 도가니;
    소정의 간격을 사이에 두고 배치되며, 상기 선형 증착원과 상기 도가니의 상부면을 연결하는 제1 연결부와 제2 연결부; 및
    상기 도가니 내부에 배치되며 상기 증착 물질에 열을 인가하는 히터;를 포함하며,
    상기 도가니의 상부면은 상기 제1 연결부 및 상기 제2 연결부 사이에서 연속적으로 배치되는 제1 철부 및 제2 철부 형상으로 형성되는
    증착 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 도가니가 일 방향으로 연장되도록 형성되고,
    상기 제1 철부 및 상기 제2 철부는 상기 일 방향에 대해 반시계 방향으로 제1 각도만큼 기울어진 제1 경사부와 상기 일 방향에 대해 시계 방향으로 제2 각도만큼 기울어진 제2 경사부로 형성되는,
    증착 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 철부와 상기 제2 철부를 연결하는 제1 이음부는 곡면 형상으로 형성되는
    증착 장치.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 연결부와 상기 제2 연결부를 연결하는 제2 이음부는 곡면 형상으로 형성되는
    증착 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 히터는 복수개의 제1 히터 및 복수개의 제2 히터로 형성되며,
    상기 복수개의 제1 히터는 일 방향으로 연장되도록 형성되고, 소정의 간격을 사이에 두고 서로 이격되도록 나란히 배치되며, 상기 복수개의 제2 히터는 상기 일 방향과 수직한 방향으로 연장되도록 형성되고, 소정의 간격을 사이에 두고 서로 이격되도록 나란히 배치되는,
    증착 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 도가니 및 상기 히터 사이에 배치된 온도 감지부 및 상기 온도 감지부에 의해 감지된 상기 도가니의 온도에 따라 상기 히터에 전원을 공급되는 전원부에 온도 제어 신호를 송신하는 온도 제어 장치를 더 포함하는,
    증착 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 선형 증착원 및 상기 도가니를 제1 방향으로 이동시키는 이송부;를 더 포함하는,
    증착 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 선형 증착원으로부터 상기 증착 물질이 분사되는 기판이 대면적인,
    증착 장치.
  9. 기화된 증착 물질을 분사하는 분사기가 구비된 선형 증착원;
    상기 증착 물질이 수용되어 기화되는 도가니;
    소정의 간격을 사이에 두고 배치되며, 상기 선형 증착원과 상기 도가니의 상부면을 연결하는 제1 연결부와 제2 연결부; 및
    상기 도가니 내부에 배치되며 상기 증착 물질에 열을 인가하는 히터;를 포함하며,
    상기 히터는 상기 도가니의 상부면과 마주보도록 배치되며, 상기 제1 연결부 및 상기 제2 연결부 사이에서 연속적으로 배치되는 제1 요부 및 제2 요부 형상으로 형성되는
    증착 장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 도가니가 일 방향으로 연장되도록 형성되고,
    상기 제1 요부 및 상기 제2 요부는 상기 일 방향에 대해 시계 방향으로 제1 각도만큼 기울어진 제1 경사 히터부와 상기 일 방향에 대해 반시계 방향으로 제2 각도만큼 기울어진 제2 경사 히터부로 형성되는,
    증착 장치.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 제1 경사 히터부 및 상기 제2 경사 히터부는 복수개의 제1 히터 및 복수개의 제2 히터로 형성되며,
    상기 복수개의 제1 히터는 일 방향으로 연장되도록 형성되고, 소정의 간격을 사이에 두고 서로 이격되도록 나란히 배치되며, 상기 복수개의 제2 히터는 상기 일 방향과 수직한 방향으로 연장되도록 형성되고, 소정의 간격을 사이에 두고 서로 이격되도록 나란히 배치되는,
    증착 장치.
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