KR20160117462A - 이방성 도전 필름 및 그 제조 방법 - Google Patents

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    • H01L2224/29339—Silver [Ag] as principal constituent
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    • H01L2224/29344—Gold [Au] as principal constituent
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    • H01L2224/29338—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/29347—Copper [Cu] as principal constituent
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    • H01L2224/29355—Nickel [Ni] as principal constituent
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    • H01L2224/29338—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/29357—Cobalt [Co] as principal constituent
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    • H01L2224/29363—Base material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than 1550°C
    • H01L2224/29364—Palladium [Pd] as principal constituent
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    • H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
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    • H01L2224/321—Disposition
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    • H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/32227—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the layer connector connecting to a bond pad of the item
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    • H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
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    • H01L2224/81203—Thermocompression bonding, e.g. diffusion bonding, pressure joining, thermocompression welding or solid-state welding
    • H01L2224/81204—Thermocompression bonding, e.g. diffusion bonding, pressure joining, thermocompression welding or solid-state welding with a graded temperature profile
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    • H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
    • H01L2224/819—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector with the bump connector not providing any mechanical bonding
    • H01L2224/81901—Pressing the bump connector against the bonding areas by means of another connector
    • H01L2224/81903—Pressing the bump connector against the bonding areas by means of another connector by means of a layer connector
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    • H01L2224/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
    • H01L2224/81905—Combinations of bonding methods provided for in at least two different groups from H01L2224/818 - H01L2224/81904
    • H01L2224/81907—Intermediate bonding, i.e. intermediate bonding step for temporarily bonding the semiconductor or solid-state body, followed by at least a further bonding step
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    • H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/831—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector the layer connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus
    • H01L2224/83101—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector the layer connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus as prepeg comprising a layer connector, e.g. provided in an insulating plate member
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    • H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/832—Applying energy for connecting
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    • H01L2224/83204—Thermocompression bonding, e.g. diffusion bonding, pressure joining, thermocompression welding or solid-state welding with a graded temperature profile
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    • H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/838—Bonding techniques
    • H01L2224/8385—Bonding techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone, epoxy, polyimide, polyester
    • H01L2224/83851—Bonding techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone, epoxy, polyimide, polyester being an anisotropic conductive adhesive
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    • H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/838—Bonding techniques
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Abstract

이방성 도전 필름 (1) 은, 제 1 절연성 수지층 (2) 및 제 2 절연성 수지층 (3) 을 갖는다. 제 1 절연성 수지층 (2) 은 광중합 수지에 의해 형성되고, 제 2 절연성 수지층 (3) 이 열카티온 혹은 열아니온 중합성 수지, 광카티온 혹은 광아니온 중합성 수지, 열라디칼 중합성 수지 또는 광라디칼 중합성 수지에 의해 형성되고, 제 1 절연성 수지층 (2) 의 제 2 절연성 수지층 (3) 측 표면에, 이방성 도전 접속용의 도전 입자 (10) 가 단층으로 배치되어 있다. 이방성 도전 필름 전체의 탄성률이 0.13 ㎫ 이상이다.

Description

이방성 도전 필름 및 그 제조 방법{ANISOTROPIC ELECTROCONDUCTIVE FILM AND METHOD FOR PRODUCING SAME}
본 발명은, 이방성 도전 필름 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
IC 칩 등의 전자 부품의 실장에 이방성 도전 필름은 널리 사용되고 있으며, 최근에는 고밀도 실장에 대한 적용의 관점에서, 도통 신뢰성이나 절연성의 향상, 도전 입자 포착률의 향상, 제조 비용의 저감 등을 목적으로, 단층으로 배치된 이방성 도전 접속용의 도전 입자와 2 층 구조의 절연성 수지층에 의해 형성된 이방성 도전 필름이 제안되어 있다 (특허문헌 1).
이 이방성 도전 필름은, 점착층에 단층으로 또한 조밀하게 도전 입자를 배치하고, 그 점착층을 2 축 연신 처리함으로써 도전 입자가 배열된 시트를 형성하고, 그 시트 상의 도전 입자를 열경화성 수지와 잠재성 경화제를 함유하는 절연성 수지층에 전사하고, 또한 전사한 도전 입자 상에, 열경화성 수지를 함유하지만 잠재성 경화제를 함유하지 않는 다른 절연성 수지층을 라미네이트함으로써 제조된다 (특허문헌 1).
일본 특허 제4789738호 명세서
그러나, 특허문헌 1 의 이방성 도전 필름은, 잠재성 경화제를 함유하고 있지 않은 절연성 수지층을 사용하고 있기 때문에, 이방성 도전 접속시의 가열에 의해, 잠재성 경화제를 함유하고 있지 않은 절연성 수지층에 비교적 큰 수지 흐름이 발생하기 쉽고, 그 흐름을 따라 도전 입자도 흐르기 쉬워지기 때문에, 2 축 연신에 의해 도전 입자를 단층이며 균등한 간격으로 배열시켰음에도 불구하고, 도전 입자 포착률의 저하, 쇼트의 발생 (절연성의 저하) 등의 문제가 발생한다.
또, 이방성 도전 필름의 탄성이 약하고, 이방성 도전 접속을 하는 경우의 가압착 후에 리페어하면, 필름이 파단되거나 접속면에 수지가 남거나 한다는 문제도 있었다.
본 발명의 목적은, 이상의 종래 기술의 문제점을 해결하는 것으로, 단층으로 배치한 도전 입자를 갖는 다층 구조의 이방성 도전 필름에 있어서, 양호한 도전 입자 포착률, 양호한 도통 신뢰성 및 양호한 리페어성을 실현하는 것이다.
본 발명자는, 광중합성 수지층의 편면에 도전 입자를 단층으로 배치하고, 자외선을 조사함으로써 광중합 수지에 도전 입자를 고정화시키고, 추가로 고정화한 도전 입자 상에, 열 또는 광에 의해 중합하는 중합성 수지층을 적층한 이방성 도전 필름은 도전 입자 포착률이나 도통 신뢰성이 우수하고, 또한 이방성 도전 필름 전체의 탄성률을 높여 필름의 탄성을 강하게 하면, 이방성 도전 접속시에 용융된 절연성 수지층이 비어져 나오는 것을 억제할 수 있고, 가압착 후의 리페어성도 향상되는 것을 알아내어, 본 발명을 완성시키기에 이르렀다.
즉, 본 발명은, 제 1 절연성 수지층 및 제 2 절연성 수지층이 적층되어 있는 이방성 도전 필름으로서,
제 1 절연성 수지층이, 광중합 수지에 의해 형성되고,
제 2 절연성 수지층이, 열카티온 혹은 열아니온 중합성 수지, 광카티온 혹은 광아니온 중합성 수지, 열라디칼 중합성 수지 또는 광라디칼 중합성 수지에 의해 형성되고,
제 1 절연성 수지층의 제 2 절연성 수지층측 표면에, 이방성 도전 접속용의 도전 입자가 단층으로 배치되고,
이방성 도전 필름 전체의 탄성률이 0.13 ㎫ 이상인 이방성 도전 필름을 제공한다.
특히, 제 1 절연성 수지층과 제 2 절연성 수지층 사이에 결정성 수지에 의해 형성된 중간층을 갖는 양태를 제공한다.
또한, 제 2 절연성 수지층은, 가열에 의해 중합 반응을 개시하는 열중합 개시제를 사용한 열중합성 수지층인 것이 바람직하지만, 광에 의해 중합 반응을 개시하는 광중합 개시제를 사용한 광중합성 수지층이어도 된다. 열중합 개시제와 광중합 개시제를 병용한 열ㆍ광중합성 수지층이어도 된다.
또, 본 발명은, 상기 서술한 이방성 도전 필름의 제조 방법으로서, 이하의 공정 (A) ∼ (C) :
공정 (A)
광중합성 수지층에, 도전 입자를 단층으로 배치하는 공정 ;
공정 (B)
도전 입자를 배치한 광중합성 수지층에 대해 자외선을 조사함으로써 광중합 반응시켜, 표면에 도전 입자가 고정화된 제 1 절연성 수지층을 형성하는 공정 ;
공정 (C)
열카티온 혹은 열아니온 중합성 수지, 광카티온 혹은 광아니온 중합성 수지, 열라디칼 중합성 수지 또는 광라디칼 중합성 수지에 의해 형성된 제 2 절연성 수지층을 형성하는 공정 ;
를 갖고,
공정 (B) 에 있어서, 이방성 도전 필름 전체의 탄성률이 0.13 ㎫ 이상이 되도록 광중합 반응을 실시함으로써 제 1 절연성 수지층을 형성하고,
공정 (C) 에서 형성한 제 2 절연성 수지층을, 공정 (B) 에서 형성한 제 1 절연성 수지층의 도전 입자측에 적층하는 제조 방법을 제공한다.
또, 상기 서술한 이방성 도전 필름의 제조 방법의 다른 방법으로서, 이하의 공정 (A) ∼ (D) :
공정 (A)
광중합성 수지층에, 도전 입자를 단층으로 배치하는 공정 ;
공정 (B)
도전 입자를 배치한 광중합성 수지층에 대해 자외선을 조사함으로써 광중합 반응시켜, 표면에 도전 입자가 고정화된 제 1 절연성 수지층을 형성하는 공정 ;
공정 (C)
열카티온 혹은 열아니온 중합성 수지, 광카티온 혹은 광아니온 중합성 수지, 열라디칼 중합성 수지 또는 광라디칼 중합성 수지에 의해 형성된 제 2 절연성 수지층을 형성하는 공정 ;
공정 (D)
공정 (B) 에서 형성한 제 1 절연성 수지층의 도전 입자측에, 결정성 수지에 의해 형성된 중간층과 제 2 절연성 수지층이 순차적으로 적층되어 있는 적층체를 형성하는 공정 ;
를 갖는 제조 방법을 제공한다.
또한, 본 발명은, 상기 서술한 이방성 도전 필름으로 제 1 전자 부품을 제 2 전자 부품에 이방성 도전 접속시킨 접속 구조체를 제공한다.
본 발명의 이방성 도전 필름은, 광중합성 수지층을 광중합시킨 제 1 절연성 수지층, 열 또는 광으로 중합하는 제 2 절연성 수지층이 적층되어 있으며, 또한, 제 1 절연성 수지층의 제 2 절연성 수지층측 표면에는, 이방성 도전 접속용의 도전 입자가 단층으로 배치되어 있다. 이 때문에, 도전 입자를, 광중합한 제 1 절연성 수지층에 의해 단단히 고정화시킬 수 있어, 이방성 도전 접속시의 수지 흐름에 의해 도전 입자가 단자면 방향으로 흐르는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명의 이방성 도전 필름에 의하면, 양호한 도전 입자 포착률, 도통 신뢰성 및 낮은 쇼트 발생률을 실현할 수 있다.
특히, 제 1 절연성 수지층을 형성함에 있어서, 광중합성 수지를 광중합시킬 때 자외선을 도전 입자측으로부터 조사하면, 도전 입자의 하방 (뒤쪽) 의 광중합성 수지는, 도전 입자의 그림자가 되기 때문에 자외선이 충분히 조사되지 않게 된다. 그 때문에, 도전 입자의 그림자가 된 광중합 수지는, 그림자가 되지 않은 광중합 수지에 비해 상대적으로 경화율이 낮아져, 이방성 도전 접속시에 도전 입자가 양호하게 압입되어, 한층 더 양호한 도통 신뢰성, 쇼트 발생률의 저하를 실현할 수 있다.
한편, 제 1 절연성 수지층을 형성함에 있어서, 광중합성 수지에 도전 입자의 반대측 내지는 양면측으로부터 자외선을 조사하면, 도전 입자의 고정화가 촉진되어, 이방성 도전 필름의 제조 라인에서 안정된 품질을 확보할 수 있다. 또, 이방성 도전 필름의 제조 후의 릴로의 권취나, 이방 도전 접속시에 있어서의 필름의 릴로부터의 인출 공정에서 이방성 도전 필름에 불필요한 외부 응력이 가해져도, 이방성 도전 접속 전의 도전 입자의 배열에 외부 응력의 영향이 잘 미치지 않게 된다.
또, 일반적으로, 릴에 권취된 이방성 도전 필름은, 이방성 도전 필름에 가해지는 응력에 의해, 절연성 수지층이 비어져 나올 것이 염려되고, 탄성이 약함 (강성이 낮음) 으로써 가압착 후에 리페어하기 어려워질 것도 염려되는데, 본 발명의 이방성 도전 필름은, 필름 전체의 탄성률이 0.13 ㎫ 이상으로, 필름에 탄성이 있기 때문에, 절연성 수지층이 비어져 나오는 것을 억제할 수 있고, 가압착 후의 리페어성도 향상시킬 수 있다. 또, 필름에 탄성이 있음으로써 가압착시의 기판에 고정화시킬 때에도, 필름의 어긋남이나 휨에 의한 도전 입자의 배열의 흐트러짐을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 이방성 도전 필름에 있어서, 제 2 절연성 수지층이 열에 의해 반응하는 중합성 수지로 형성되어 있는 경우, 그것을 사용한 전자 부품의 이방성 도전 접속은, 통상의 이방성 도전 필름을 사용하는 접속 방법과 마찬가지로 실시할 수 있다.
한편, 본 발명의 이방성 도전 필름에 있어서, 제 2 절연성 수지층이 광에 의해 반응하는 중합성 수지로 형성되어 있는 경우, 그것을 사용한 제 1 전자 부품과 제 2 전자 부품의 이방성 도전 접속은, 접속 툴에 의한 압입을, 광반응이 종료될 때까지 실시하면 된다. 이 경우에 있어서도, 접속 툴 등은 수지 유동이나 입자의 압입을 촉진시키기 위해 가열해도 된다. 또, 제 2 절연성 수지층에 있어서, 열에 의해 반응하는 중합성 수지와 광에 의해 반응하는 중합성 수지가 병용되어 있는 경우에도, 상기와 마찬가지로 광반응이 종료될 때까지 접속 툴에 의한 압입을 실시하고, 또한 가열을 실시하면 된다.
또, 제 1 전자 부품과 제 2 전자 부품을, 광반응을 이용하여 이방성 도전 접속시키는 경우에는, 투광성을 갖는 전자 부품측으로부터 광조사하면 된다.
도 1 은, 본 발명의 제 1 실시예의 이방성 도전 필름 (1A) 의 단면도이다.
도 2 는, 본 발명의 제 2 실시예의 이방성 도전 필름 (1B) 의 단면도이다.
도 3a 는, 제 1 실시예의 이방성 도전 필름의 제조 방법의 공정 (A) 의 설명도이다.
도 3b 는, 제 1 실시예의 이방성 도전 필름의 제조 방법의 공정 (B) 의 설명도이다.
도 3c 는, 제 1 실시예의 이방성 도전 필름의 제조 방법의 공정 (B) 의 설명도이다.
도 3d 은, 제 1 실시예의 이방성 도전 필름의 제조 방법의 공정 (C) 의 설명도이다.
도 3e 는, 제 1 실시예의 이방성 도전 필름의 제조 방법의 공정 (C) 에 이어지는 공정의 설명도이다.
도 3f 는, 제 1 실시예의 이방성 도전 필름의 제조 방법의 공정 (C) 에 이어지는 공정의 설명도이다.
도 4a 는, 제 2 실시예의 이방성 도전 필름의 제조 방법에 있어서의 공정 (D) 의 방법 (ⅰ) 의 설명도이다.
도 4b 는, 제 2 실시예의 이방성 도전 필름의 제조 방법에 있어서의 공정 (D) 의 방법 (ⅰ) 의 설명도이다.
도 4c 는, 제 2 실시예의 이방성 도전 필름의 제조 방법의 공정 (D) 의 방법 (ⅰ) 에 의해 얻어진 이방성 도전 필름의 단면도이다.
도 5 는, 제 2 실시예의 이방성 도전 필름의 제조 방법에 있어서의 공정 (D) 의 방법 (ⅱ) 의 설명도이다.
도 6 은, 제 2 실시예의 이방성 도전 필름의 제조 방법의 공정 (D) 의 방법 (ⅱ) 에 의해 얻어진 이방성 도전 필름의 단면도이다.
이하, 본 발명의 이방성 도전 필름의 일례를 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 또한, 각 도면 중에서 동일한 부호는, 동일 또는 동등한 구성 요소를 나타내고 있다. 또, 본 발명에 있어서 탄성률은, 이방성 도전 필름의 점도를 회전식 레오미터 (TA Instruments 사) 를 사용하여 30 ℃ 에서 비틀림 방향으로 일정 변위 (측정 압력 0 ∼ 5 g) 를 가하여, 시간에 따른 응력의 변화를 측정하고, 0.1 min 경과 시점에서의 접착 재료의 응력 (탄성률) 을 측정하여, 산출한 것이다.
＜＜이방성 도전 필름＞＞
도 1 은, 본 발명의 제 1 실시예의 이방성 도전 필름 (1A) 의 단면도이다. 이 이방성 도전 필름 (1A) 에서는, 제 1 절연성 수지층 (2) 과 제 2 절연성 수지층 (3) 이 적층되고, 이방성 도전 접속용의 도전 입자 (10) 가, 제 1 절연성 수지층 (2) 의 제 2 절연성 수지층 (3) 측의 표면 (2a) 에, 이방성 도전 접속용의 도전 입자가 단층으로 배치되어 있다.
또, 도 2 는, 본 발명의 제 2 실시예의 이방성 도전 필름 (1B) 의 단면도이다. 이 이방성 도전 필름 (1B) 은, 제 1 절연성 수지층 (2) 과 제 2 절연성 수지층 (3) 사이에, 결정성 수지에 의해 형성된 중간층 (4) 을 갖는 점에서 제 1 실시예의 이방성 도전 필름 (1A) 과 상이하다.
어느 이방성 도전 필름 (1A, 1B) 도, 이방성 도전 필름 전체의 탄성률이 0.13 ㎫ 이상이며, 이로써 탄성이 있는 필름이 되었다. 단, 도 1 의 제 1 실시예의 이방성 도전 필름 (1A) 에서는, 필름의 탄성의 강도에 제 1 절연성 수지층 (2) 의 탄성률이 크게 기여하고, 도 2 의 제 2 실시예의 이방성 도전 필름 (1B) 에서는, 필름의 탄성의 강도에 중간층 (4) 의 탄성률이 크게 기여하고 있는 점에서 쌍방은 상이하다. 그 이외의 점에서는, 제 1, 제 2 이방성 도전 필름 (1A, 1B) 은 동일하게 구성되어 있다.
＜제 1 절연성 수지층 (2)＞
본 발명의 이방성 도전 필름 (1A, 1B) 을 구성하는 제 1 절연성 수지층 (2) 은, 광중합 수지에 의해 형성되어 있다. 예를 들어, 아크릴레이트 화합물과 광라디칼 중합 개시제를 함유하는 광라디칼 중합성 수지층을 광라디칼 중합시켜 형성된다. 제 1 절연성 수지층 (2) 이 광중합하고 있음으로써, 도전 입자 (10) 를 적당히 고정화시킬 수 있다. 즉, 이방성 도전 접속시에 이방성 도전 필름 (1A) 이 가열되어도 제 1 절연성 수지층 (2) 은 잘 흐르지 않기 때문에, 수지 흐름에 의해 도전 입자 (10) 가 불필요하게 흘러 쇼트가 발생하는 것을 크게 억제할 수 있다.
여기에서, 제 1 실시예의 이방성 도전 필름 (1A) 에서는, 제 1 절연성 수지층 (2) 의 탄성률이 0.06 ㎫ 이상이 되도록 광중합 반응시키고 있으며, 이로써 이방성 도전 필름 (1A) 전체의 탄성률이 0.13 ㎫ 이상이 되도록 하여 필름에 탄성을 갖게 하고 있다.
이와 같은 제 1 절연성 수지층 (2) 의 탄성률의 조정은, 제 1 절연성 수지층 (2) 을 형성하는 광중합성 수지층으로의 자외선의 조사량이나 탄성체의 배합 등으로 경화율을 조정함으로써 실시할 수 있다.
또, 제 1, 제 2 실시예의 이방성 도전 필름 (1A, 1B) 에 있어서, 제 1 절연성 수지층 (2) 내의, 도전성 입자 (10) 가 제 2 절연성 수지층 (3) 측에 존재하는 영역 (2X) (즉, 도전 입자 (10) 와 제 1 절연성 수지층 (2) 의 외측 표면 (2b) 사이에 위치하는 영역) 의 경화율이, 도전 입자 (10) 가 제 2 절연성 수지층 (3) 측에 존재하지 않는 영역 (2Y) 의 경화율에 비해 낮은 것이 바람직하다. 제 1 절연성 수지층 (2) 의 영역 (2X) 에는, 광경화가 진행되고 있지 않은 아크릴레이트 화합물과 광라디칼 중합 개시제가 잔존하고 있어도 된다. 이방성 도전 필름 (1A, 1B) 이 이와 같은 영역 (2X) 을 가짐으로써, 이방성 도전 접속시에 영역 (2X) 의 절연성 수지가 배제되기 쉬워지기 때문에, 도전 입자 (10) 가 제 1 절연성 수지층 (2) 의 평면 방향으로는 잘 이동하지 않지만, 두께 방향으로는 양호하게 압입되게 된다. 따라서, 도전 입자 포착률을 향상시키고, 또한 도통 신뢰성과 절연성도 향상시킬 수 있다.
여기에서, 경화율은 비닐기의 감소 비율로서 정의되는 수치이며, 도전 입자 (1) 의 두께 방향의 압입성의 점에서, 제 1 절연성 수지층의 영역 (2X) 의 경화율은 바람직하게는 40 ∼ 80 ％ 이고, 영역 (2Y) 의 경화율은 바람직하게는 70 ∼ 100 ％ 이며, 또한 제 1 실시예의 이방성 도전 필름 (1A) 에서는, 제 1 절연성 수지층 (2) 의 탄성률을 0.06 ㎫ 이상으로 하는 점에서, 제 1 절연성 수지층 (2) 의 필름 전체적인 경화율을 75 ∼ 100 ％ 로 하는 것이 바람직하다.
(아크릴레이트 화합물)
아크릴레이트 단위가 되는 아크릴레이트 화합물로는, 종래 공지된 광중합성 아크릴레이트를 사용할 수 있다. 예를 들어, 단관능 (메트)아크릴레이트 (여기에서, (메트)아크릴레이트에는 아크릴레이트와 메타크릴레이트가 포함된다), 2 관능 이상의 다관능 (메트)아크릴레이트를 사용할 수 있다. 본 발명에 있어서는, 이방성 도전 접속시에 절연성 수지층을 열경화할 수 있도록, 아크릴계 모노머의 적어도 일부에 다관능 (메트)아크릴레이트를 사용하는 것이 바람직하다.
제 1 절연성 수지층 (2) 에 있어서의 아크릴레이트 화합물의 함유량은, 지나치게 적으면 이방성 도전 접속시에 제 1 절연성 수지층 (2) 과 제 2 절연성 수지층 (3) 의 점도차를 주기 어려워지는 경향이 있고, 지나치게 많으면 경화 수축이 커 작업성이 저하되는 경향이 있기 때문에, 바람직하게는 2 ∼ 70 질량％, 보다 바람직하게는 10 ∼ 50 질량％ 이다.
(중합 개시제)
제 1 절연성 수지층의 형성에 사용하는 광중합 개시제로는, 공지된 광중합 개시제 중에서 적절히 선택하여 사용할 수 있다. 예를 들어, 아세토페논계 광중합 개시제, 벤질케탈계 광중합 개시제, 인계 광중합 개시제 등의 광라디칼 중합 개시제 등을 들 수 있다.
또, 광중합 개시제에 더하여, 열중합 개시제를 사용해도 된다. 열중합 개시제로는, 예를 들어, 유기 과산화물이나 아조계 화합물 등의 열라디칼 중합 개시제 등을 들 수 있다. 특히, 기포의 원인이 되는 질소를 발생시키지 않는 유기 과산화물을 바람직하게 사용할 수 있다.
광중합 개시제의 사용량은, 아크릴레이트 화합물 100 질량부에 대해, 지나치게 적으면 광중합이 충분히 진행되지 않고, 지나치게 많으면 강성 저하의 원인이 되기 때문에, 바람직하게는 0.1 ∼ 25 질량부, 보다 바람직하게는 0.5 ∼ 15 질량부이다.
(그 밖의 수지와 중합 개시제)
제 1 절연성 수지층 (2) 에는, 필요에 따라 에폭시 화합물과, 열카티온 혹은 열아니온 중합 개시제 또는 광카티온 혹은 광아니온 중합 개시제를 함유시켜도 된다. 이로써, 층간 박리 강도를 향상시킬 수 있다. 에폭시 화합물과 함께 사용하는 중합 개시제에 대해서는, 제 2 절연성 수지층 (3) 에서 설명한다. 제 1 절연성 수지층 (2) 에는, 필요에 따라 추가로 페녹시 수지, 불포화 폴리에스테르수지, 포화 폴리에스테르 수지, 우레탄 수지, 부타디엔 수지, 폴리이미드 수지, 폴리아미드 수지, 폴리올레핀 수지 등의 막 형성 수지를 병용할 수 있다.
제 1 절연성 수지층 (2) 의 층 두께는, 지나치게 얇으면 도전 입자 포착률이 저하되는 경향이 있고, 지나치게 두꺼우면 도통 저항이 높아지는 경향이 있기 때문에, 바람직하게는 1.0 ∼ 6.0 ㎛, 보다 바람직하게는 2.0 ∼ 5.0 ㎛ 이다.
제 1 절연성 수지층 (2) 의 형성은, 광중합성 수지와 광중합 개시제를 함유하는 광중합성 수지층에, 필름 전사법, 금형 전사법, 잉크젯법, 정전 부착법 등의 수법에 의해 도전 입자를 단층으로 부착시키고, 자외선을 조사함으로써 실시할 수 있다. 이 경우, 자외선 조사는, 도전 입자측으로부터 조사하는 것이 바람직하지만, 도전 입자와 반대측으로부터 조사해도 된다. 특히, 자외선을 도전 입자측으로부터만 조사하는 것이, 제 1 절연성 수지층의 영역 (2X) 의 경화율을, 영역 (2Y) 의 경화율에 비해 상대적으로 낮게 억제할 수 있는 점에서 바람직하다.
여기에서, 광중합은, 1 단계 (즉, 1 회의 광조사) 로 실시해도 되지만, 2 단계 (즉, 2 회의 광조사) 로 실시해도 된다. 이 경우, 2 단계째의 광조사는, 제 1 절연성 수지층 (2) 의 편면에 제 2 절연성 수지층 (3) 을 형성한 후에, 산소 함유 분위기 (대기 중) 하에서 제 1 절연성 수지층 (2) 의 타면측으로부터, 영역 (2X) 의 경화율이 영역 (2Y) 의 경화율보다 낮아지도록 조사 강도를 조정하거나 또는 마스크를 사용하여 실시하는 것이 바람직하다.
이와 같은 2 단계의 광중합을 실시하는 경우에, 도전 입자 (10) 의 두께 방향의 압입성의 점에서, 제 1 절연성 수지층의 영역 (2X) 의 제 1 단계에 있어서의 경화율은 바람직하게는 10 ∼ 50 ％ 이고, 제 2 단계에 있어서의 경화율은 바람직하게는 40 ∼ 80 ％ 이고, 영역 (2Y) 의 제 1 단계에 있어서의 경화율은 바람직하게는 30 ∼ 90 ％ 이고, 제 2 단계에 있어서의 경화율은 바람직하게는 75 ∼ 100 ％ 이다.
또, 2 단계의 광중합을 실시하는 경우에, 중합 개시제로서 1 종류만 사용할 수도 있지만, 반응을 개시하는 파장 대역이 상이한 2 종류의 광중합 개시제를 사용하는 것이 택성 향상을 위해서 바람직하다. 예를 들어, LED 광원으로부터의 파장 365 ㎚ 의 광으로 라디칼 반응을 개시하는 이르가큐어 (IRGACURE) 369 (BASF 재팬 (주)) 와, 고압 수은 램프 광원으로부터의 광으로 라디칼 반응을 개시하는 이르가큐어 (IRGACURE) 2959 (BASF 재팬 (주)) 를 병용하는 것이 바람직하다. 이와 같이 2 종류의 상이한 경화제를 사용함으로써 수지의 결합이 복잡화되기 때문에, 이방성 도전 접속시의 수지의 열 유동의 거동을 보다 정밀하게 제어하는 것이 가능해진다.
광중합 후의 제 1 절연성 수지층 (2) 의 최저 용융 점도는, 제 2 절연성 수지층 (3) 의 최저 용융 점도보다 높은 것이 바람직하고, 구체적으로는 레오미터로 측정한 [제 1 절연성 수지층 (2) 의 최저 용융 점도 (m㎩ㆍs)]/[제 2 절연성 수지층 (3) 의 최저 용융 점도 (m㎩ㆍs)] 의 수치가, 바람직하게는 1 ∼ 1000, 보다 바람직하게는 4 ∼ 400 이다. 또한, 각각의 바람직한 최저 용융 점도는, 제 1 절연성 수지층 (2) 에 대해서는 100 ∼ 100000 m㎩ㆍs, 보다 바람직하게는 500 ∼ 50000 m㎩ㆍs 이다. 제 2 절연성 수지층 (3) 에 대해서는, 바람직하게는 0.1 ∼ 10000 m㎩ㆍs, 보다 바람직하게는 0.5 ∼ 1000 m㎩ㆍs 이다.
＜도전 입자＞
도전 입자 (10) 로는, 종래 공지된 이방성 도전 필름에 사용되고 있는 것 중에서 적절히 선택하여 사용할 수 있다. 예를 들어, 니켈, 코발트, 은, 구리, 금, 팔라듐 등의 금속 입자, 금속 피복 수지 입자 등을 들 수 있다. 2 종 이상을 병용할 수도 있다.
도전 입자의 평균 입경으로는, 지나치게 작으면 배선 높이의 편차를 흡수할 수 없어 저항이 높아지는 경향이 있고, 지나치게 커도 쇼트의 원인이 되는 경향이 있기 때문에, 바람직하게는 1 ∼ 10 ㎛, 보다 바람직하게는 2 ∼ 6 ㎛ 이다.
이와 같은 도전 입자의 제 1 절연성 수지층 (2) 중의 입자량은, 지나치게 적으면 입자 포착수가 저하되어 이방성 도전 접속이 어려워지고, 지나치게 많으면 쇼트될 것이 염려되기 때문에, 바람직하게는 1 평방㎜ 당 50 ∼ 50000 개, 보다 바람직하게는 200 ∼ 30000 개이다.
제 1 절연성 수지층 (2) 의 두께 방향에 있어서의 도전 입자 (10) 의 위치는, 도 1, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 제 1 절연성 수지층 (2) 내에 매몰되지 않고, 제 2 절연성 수지층 (3) 에 파고들어 있는 것이 바람직하다. 도전 입자 (10) 가 제 1 절연성 수지층 (2) 에 매몰되어 있으면, 전자 부품을 이방성 도전 접속시킨 접속 구조체의 도통 저항이 높아질 것이 염려되기 때문이다. 파고드는 정도 (즉, 제 1 절연성 수지층 (2) 으로부터 돌출되어 있는 정도) 는, 도전 입자 포착률과 도통 저항의 밸런스로부터, 바람직하게는 도전 입자 (10) 의 평균 입자 직경의 10 ∼ 90 ％, 보다 바람직하게는 20 ∼ 80 ％ 이다.
＜제 2 절연성 수지층 (3)＞
제 2 절연성 수지층 (3) 은, 열카티온 혹은 열아니온 중합성 수지, 광카티온 혹은 광아니온 중합성 수지, 열라디칼 중합성 수지 또는 광라디칼 중합성 수지에 의해 형성된다. 보다 구체적으로는, 에폭시 화합물과, 열카티온 혹은 열아니온 중합 개시제 또는 광카티온 혹은 광아니온 중합 개시제를 함유하는, 열 또는 광에 의해 중합하는 중합성 수지층, 또는 아크릴레이트 화합물과, 열라디칼 또는 광라디칼 중합 개시제를 함유하는 열 또는 광에 의해 라디칼 중합하는 중합성 수지층으로 이루어지는 것이다.
(에폭시 화합물)
제 2 절연성 수지층 (3) 을 형성하는 에폭시 화합물로는, 분자 내에 2 개 이상의 에폭시기를 갖는 화합물 혹은 수지를 바람직하게 들 수 있다. 이들은 액상이어도 되고, 고체상이어도 된다.
(열카티온 중합 개시제)
제 2 절연성 수지층 (3) 을 형성하는 열카티온 중합 개시제로는, 에폭시 화합물의 열카티온 중합 개시제로서 공지된 것을 채용할 수 있으며, 예를 들어, 열에 의해 산을 발생시키는 요오드늄염, 술포늄염, 포스포늄염, 페로센류 등을 사용할 수 있으며, 특히, 온도에 대해 양호한 잠재성을 나타내는 방향족 술포늄염을 바람직하게 사용할 수 있다.
열카티온 중합 개시제의 배합량은, 지나치게 적어도 경화 불량이 되는 경향이 있고, 지나치게 많아도 제품 라이프가 저하되는 경향이 있기 때문에, 에폭시 화합물 100 질량부에 대해, 바람직하게는 2 ∼ 60 질량부, 보다 바람직하게는 5 ∼ 40 질량부이다.
(열아니온 중합 개시제)
제 2 절연성 수지층 (3) 을 형성하는 열아니온 중합 개시제로는, 에폭시 화합물의 열아니온 중합 개시제로서 공지된 것을 채용할 수 있으며, 예를 들어, 열에 의해 염기를 발생시키는 지방족 아민계 화합물, 방향족 아민계 화합물, 2 급 또는 3 급 아민계 화합물, 이미다졸계 화합물, 폴리메르캅탄계 화합물, 삼불화붕소-아민 착물, 디시안디아미드, 유기산 하이드라지드 등을 사용할 수 있으며, 특히 온도에 대해 양호한 잠재성을 나타내는 캡슐화 이미다졸계 화합물을 바람직하게 사용할 수 있다.
열아니온 중합 개시제의 배합량은, 지나치게 적어도 경화 불량이 되는 경향이 있고, 지나치게 많아도 제품 라이프가 저하되는 경향이 있기 때문에, 에폭시 화합물 100 질량부에 대해, 바람직하게는 2 ∼ 60 질량부, 보다 바람직하게는 5 ∼ 40 질량부이다.
(광카티온 중합 개시제 및 광아니온 중합 개시제)
에폭시 화합물용의 광카티온 중합 개시제 또는 광아니온 중합 개시제로는, 공지된 것을 적절히 사용할 수 있다.
(아크릴레이트 화합물)
제 2 절연성 수지층 (3) 을 형성하는 아크릴레이트 화합물은, 제 1 절연성 수지층 (2) 에 관하여 설명한 아크릴레이트 화합물 중에서 적절히 선택하여 사용할 수 있다.
(열라디칼 중합 개시제)
또, 제 2 절연성 수지층 (3) 에 아크릴레이트 화합물을 함유시키는 경우에, 아크릴레이트 화합물과 함께 사용하는 열라디칼 중합 개시제로는, 제 1 절연성 수지층 (2) 에 관하여 설명한 열라디칼 중합 개시제 중에서 적절히 선택하여 사용할 수 있다.
열라디칼 중합 개시제의 사용량은, 지나치게 적으면 경화 불량이 되고, 지나치게 많으면 제품 라이프의 저하가 되기 때문에, 아크릴레이트 화합물 100 질량부에 대해, 바람직하게는 2 ∼ 60 질량부, 보다 바람직하게는 5 ∼ 40 질량부이다.
(광라디칼 중합 개시제)
아크릴레이트 화합물용의 광라디칼 중합 개시제로는, 공지된 광라디칼 중합 개시제를 사용할 수 있다.
광라디칼 중합 개시제의 사용량은, 지나치게 적으면 경화 불량이 되고, 지나치게 많으면 제품 라이프의 저하가 되기 때문에, 아크릴레이트 화합물 100 질량부에 대해, 바람직하게는 2 ∼ 60 질량부, 보다 바람직하게는 5 ∼ 40 질량부이다.
(제 2 절연성 수지층 (3) 의 층 두께)
제 2 절연성 수지층 (3) 의 층 두께는, 이방성 도전 접속시의 도전 입자 포착성의 점에서, 바람직하게는 3 ∼ 20 ㎛, 보다 바람직하게는 5 ∼ 15 ㎛ 이다.
＜중간층 (4)＞
중간층 (4) 은, 도 2 에 나타낸 제 2 실시예의 이방성 도전 필름 (1B) 에 있어서, 제 1 절연성 수지층과 제 2 절연성 수지층 사이에 형성되는 층으로서, 결정성 수지에 의해 형성되어 있다.
중간층 (4) 을 형성하는 결정성 수지로는, 상온에서 단단한 것이 바람직하고, 중간층 (4) 과 제 1 절연성 수지층 (2) 의 적층 필름의 탄성률이 0.14 ㎫ 이상이 되도록 하는 것이 바람직하다. 이로써, 이방성 도전 필름 (1B) 전체적인 탄성률을 0.13 ㎫ 이상으로 할 수 있다. 따라서, 절연성 수지층이 비어져 나오는 것을 억제하고, 또 가압착 후의 리페어성을 향상시킬 수 있다.
또, 중간층 (4) 을 형성하는 결정성 수지는, 이방성 도전 접속의 가압착시의 열로는 용융되지 않고, 본압착의 열을 가함으로써 용융되는 것이 바람직하다. 본압착에서는 용융되도록 함으로써, 이방성 도전 접속에 있어서의 도통 신뢰성을 유지할 수 있다. 또한, 중간층 (4) 을 형성하는 수지는, 이방성 도전 필름의 제조 용이성의 점에서 내용제성, 내열성을 갖는 것이 바람직하다.
중간층 (4) 을 형성하는 결정성 수지로는, 예를 들어, PET 등의 폴리에스테르, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌 등의 폴리올레핀, 나일론, 아이오노머 등을 들 수 있다.
중간층 (4) 의 두께는, 이방성 도전 필름의 제조에서부터 이방성 도전 접속 공정까지의 여러 가지 취급성의 점에서, 전체 두께의 5 ∼ 40 ％ 의 범위로 하는 것이 바람직하다.
＜＜이방성 도전 필름의 제조 방법＞＞
본 발명의 제 1 실시예의 이방성 도전 필름 (1A) 은, 다음의 공정 (A) ∼ (C) 를 실시하여 제조할 수 있다.
(공정 (A))
도 3a 에 나타내는 바와 같이, 필요에 따라 박리 필름 (30) 상에 형성한 광중합성 수지층 (20) 에, 도전 입자 (10) 를 단층으로 배치한다. 도전 입자 (10) 를 단층으로 광중합성 수지층 (20) 에 배치하는 방법으로는, 특별히 제한은 없으며, 일본 특허 제4789738호의 실시예 1 의 도전 입자를 점착제로 고정시킨 수지 필름의 2 축 연신 조작을 이용하는 방법이나, 일본 공개특허공보 2010-33793호의 금형을 사용하는 방법 등을 채용할 수 있다. 또한, 도전 입자 (10) 의 배치로는, 종횡으로 소정 간격으로 배열시키는 것이 바람직하다. 또, 접속 대상의 사이즈, 도통 신뢰성, 절연성, 도전 입자 포착률 등을 고려하여, 2 차원적인 최근접 입자간 거리를 1 ∼ 100 ㎛ 정도로 하는 것이 바람직하다.
(공정 (B))
다음으로, 도전 입자 (10) 를 배치한 광중합성 수지층 (20) 에 대해 자외선 (UV) 을 조사함으로써 광중합 반응시켜, 표면에 도전 입자 (10) 가 고정화된 제 1 절연성 수지층 (2) 을 형성한다. 이 경우, 바람직하게는 도 3b 에 나타내는 바와 같이, 도전 입자 (10) 측으로부터 자외선 (UV) 을 조사한다. 이로써, 도 3c 에 나타내는 바와 같이, 제 1 절연성 수지층 (2) 에 있어서, 도전성 입자 (10) 가 제 2 절연성 수지층 (3) 측에 존재하는 영역 (2X) (제 1 절연성 수지층 (2) 의 박리 필름 (30) 측 표면 (2b) 과 도전 입자 (10) 사이에 위치하는 영역) 의 제 1 절연성 수지층의 경화율을, 도전 입자 (10) 가 제 2 절연성 수지층 (3) 측에 존재하지 않는 영역 (2Y) 의 경화율보다 낮게 할 수 있다. 따라서, 이방 도전 접속시의 도전 입자 (10) 의 압입이 용이해지고, 또한 도전 입자 (10) 의 접속 평면 방향의 유동을 억제할 수도 있다.
또, 이 광중합 반응에서는, 이방성 도전 필름 (1A) 전체의 탄성률이 0.13 ㎫ 이상이 되도록 제 1 절연성 수지층 (2) 의 경화율을 조정한다.
(공정 (C))
한편, 도 3d 에 나타내는 바와 같이, 박리 필름 (31) 상에, 열카티온 혹은 열아니온 중합성 수지, 광카티온 혹은 광아니온 중합성 수지, 열라디칼 중합성 수지 또는 광라디칼 중합성 수지에 의해 형성된 제 2 절연성 수지층 (3) 을 통상의 방법에 의해 형성한다.
그 후, 도 3e 에 나타내는 바와 같이, 공정 (C) 에서 형성한 제 2 절연성 수지층 (3) 과, 공정 (B) 에서 형성한 제 1 절연성 수지층 (2) 의 도전 입자 (10) 를 대향시켜, 도 3f 에 나타내는 바와 같이 열압착시킨다. 이 경우, 열압착에 의해 과대한 열중합이 발생하지 않도록 한다. 그리고, 박리 필름 (30, 31) 을 제거함으로써 도 1 의 이방성 도전 필름 (1A) 을 얻을 수 있다.
한편, 본 발명의 제 2 실시예의 이방성 도전 필름 (1B) 의 제조 방법으로는, 먼저, 제 1 실시예의 이방성 도전 필름 (1A) 의 제조 방법과 마찬가지로, 공정 (A), (B), (C) 를 실시한다.
다음으로, 공정 (D) 에서, 도 4c 또는 도 6 에 나타내는 바와 같이, 공정 (B) 에서 형성한 제 1 절연성 수지층의 도전 입자측에, 결정성 수지에 의해 형성된 중간층과 제 2 절연성 수지층이 순차적으로 적층되어 있는 적층체를 형성하는데, 이 공정 (D) 는 다음의 (ⅰ) 또는 (ⅱ) 의 방법으로 실시할 수 있다.
방법 (ⅰ)
공정 (C) 에서 형성한 제 2 절연성 수지층 (3) 의 표면에, 도 4a 에 나타내는 바와 같이, 결정성 수지에 의해 형성된 중간층 (4) 을 적층한다. 다음으로, 도 4b 에 나타내는 바와 같이, 그 적층체의 중간층 (4) 과 공정 (B) 에서 도전 입자 (10) 를 고정시킨 제 1 절연성 수지층 (2) 의 도전 입자 (10) 측의 표면을 대향시켜, 도 4c 에 나타내는 바와 같이, 이들을 열압착시킨다. 그리고, 박리 필름 (30, 31) 을 제거함으로써 도 2 의 이방성 도전 필름 (1B) 을 얻을 수 있다.
방법 (ⅱ)
공정 (B) 에서 도전 입자 (10) 를 고정시킨 제 1 절연성 수지층 (2) 의 도전 입자 (10) 측의 표면에, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 결정성 수지에 의해 형성된 중간층 (4) 을 적층하고, 그 위에 공정 (C) 에서 형성한 제 2 절연성 수지층 (3) 을 대향시켜, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 이들을 열압착하여 적층한다. 그리고, 박리 필름 (30, 31) 을 제거함으로써 도 2 의 이방성 도전 필름 (1B) 을 얻을 수 있다.
또한, 도 5 및 도 6 에서는, 제 1 절연성 수지층 (2) 으로부터의 도전 입자 (10) 의 돌출량이, 도 2 에 나타낸 이방성 도전 필름 (1B) 보다 적은데, 이것은, 본 발명에 있어서, 제 1 절연성 수지층 (2) 으로부터의 도전 입자 (10) 의 돌출량은 여러 가지로 바꿀 수 있는 것을 나타내고 있다.
＜＜접속 구조체＞＞
본 발명의 이방성 도전 필름 (1A, 1B) 은, IC 칩, IC 모듈 등의 제 1 전자 부품과, 플렉시블 기판, 유리 기판 등의 제 2 전자 부품을 이방성 도전 접속시킬 때에 바람직하게 적용할 수 있다. 이와 같이 하여 얻어지는 접속 구조체도 본 발명의 일부이다. 또한, 이방성 도전 필름의 제 1 절연성 수지층 (2) 측을 플렉시블 기판 등의 제 2 전자 부품측에 배치하고, 제 2 절연성 수지층 (3) 측을 IC 칩 등의 제 1 전자 부품측에 배치하는 것이 도통 신뢰성을 높이는 점에서 바람직하다.
실시예
이하, 본 발명을 실시예에 의해 구체적으로 설명한다.
실시예 1 ∼ 6, 비교예 1
일본 특허 제4789738호의 실시예 1 의 조작에 준하여 도전 입자가 단층으로 배열되어 있으며, 표 1 에 나타내는 배합 (질량부) 에 따라 형성한 제 1 절연성 수지층과, 중간층과, 제 2 절연성 수지층이 적층된 이방성 도전 필름을, 제 1 절연성 수지층의 탄성률 또는 중간층의 탄성률을 바꾸어 제작하였다.
구체적으로는, 먼저, 아크릴레이트 화합물 및 광라디칼 중합 개시제 등을 아세트산에틸 또는 톨루엔으로 고형분이 50 질량％ 가 되도록 혼합액을 조제하였다. 이 혼합액을, 두께 50 ㎛ 의 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름에, 건조 두께가 3 ㎛ 가 되도록 도포하고, 80 ℃ 의 오븐 중에서 5 분간 건조시킴으로써, 제 1 절연성 수지층의 전구층인 광라디칼 중합성 수지층을 형성하였다.
다음으로, 얻어진 광라디칼 중합성 수지층의 표면에, 평균 입자 직경 4 ㎛ 의 도전 입자 (Ni/Au 도금 수지 입자, AUL704, 세키스이 화학 공업 (주)) 를, 도전 입자간의 최근접 거리를 4 ㎛ 가 되도록 단층에 격자상으로 배열시켰다. 또한, 이 도전 입자측으로부터 광라디칼 중합성 수지층에 대해, 파장 365 ㎚, 적산 광량 4000 mJ/㎠ 의 자외선을 조사함으로써, 표면에 도전 입자가 고정된 제 1 절연성 수지층을 형성하였다. 이 경우, 자외선의 조사량을 바꿈으로써, 표 1 에 나타내는 바와 같이, 제 1 절연성 수지층의 탄성률을 바꾸었다.
또, 제 2 절연성 수지층을 형성하기 위해, 열경화성 수지 및 중합 개시제 등을 아세트산에틸 또는 톨루엔으로 고형분이 50 질량％ 가 되도록 혼합액을 조제하였다. 이 혼합액을, 두께 50 ㎛ 의 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름에, 건조 두께가 12 ㎛ 가 되도록 도포하고, 80 ℃ 의 오븐 중에서 5 분간 건조시킴으로써 제 2 절연성 수지층을 형성하였다.
한편, 중간층으로서, 융점이 상이한 3 종의 결정성 수지 (니혼 폴리에틸렌(주) 제조의 노바텍 EVA LV211A (mp.100 ℃), 노바텍 HD HF560 (mp.130 ℃), 프라임 폴리머사 제조의 프라임 폴리프로 F329RA (mp.160 ℃)) 를 두께 5 ㎛ 의 필름이 되도록 연신 처리하여 준비하였다.
이와 같이 하여 얻어진, 도전 입자가 고정되어 있는 제 1 절연성 수지층과, 결정성 폴리에스테르 필름 중간층과 제 2 절연성 수지층을, 도전 입자가 내측이 되도록 라미네이트함으로써 실시예 1 ∼ 6 및 비교예 1 의 이방성 도전 필름을 얻었다. 이 경우, 실시예 1 및 비교예 1 에서는 중간층을 형성하지 않았다.
실시예 7
광라디칼 중합성 수지층에 대한 자외선 조사를, 도전 입자측과, 도전 입자와 반대측으로부터, 적산 광량 2000 mJ/㎠ 씩 실시하는 것 이외에는, 실시예 2 와 동일하게 하여 이방성 도전 필름을 얻었다.
평가
각 실시예 및 비교예의 이방성 도전 필름에 대하여, (a) 이방성 도전 필름 전체의 탄성률, (b) 제 1 절연성 수지층의 탄성률, (c) 제 1 절연성 수지층과 중간층의 적층체의 탄성률, (d) 이방성 도전 필름의 가압착 리페어성, (e) 이방성 도전 필름을 사용하여 이방성 도전 접속시킨 접속 구조체 샘플의 실장 입자 포착률, (f) 동일 접속 구조체 샘플의 초기 도통성, 을 다음과 같이 평가 내지 측정하였다. 결과를 표 1 에 나타낸다.
(a) (b) (c) 의 탄성률
회전식 레오미터 (TA Instruments 사) 를 사용하여, 30 ℃ 에서 비틀림 방향으로 정변위 (定變位) (측정 압력 0 ∼ 5 g) 를 가하여, 시간에 따른 응력의 변화를 측정하고, 0.1 min 경과 시점에서의 필름의 응력 (탄성률) 을 구하였다.
(d) 가압착 리페어성
필름의 압착성의 평가용 유리 (전체 표면 ITO 코트, 유리 두께 0.7 ㎜) 에 대해, 각 이방성 도전 필름의 가압착을 실시하였다. 이 경우, 평가용 유리에 1.5 ㎜ 폭으로 슬릿한 이방성 도전 필름의 제 1 절연성 수지층을, 툴 폭 1.5 ㎜ 의 가압착기로, 완충재로서 150 ㎛ 두께의 테플론 (등록 상표) 을 사용하여, 70 ℃, 1 ㎫, 2 초의 조건으로 가압착하였다.
그 후, 이방성 도전 필름을 평가용 유리로부터 90°방향으로 기계적으로 잡아당김으로써 박리하고, 박리 도중에 이방성 도전 필름이 파단되어 평가용 유리의 표면에 수지가 남는 상태를 NG, 이방성 도전 필름이 파단되지 않고, 이방성 도전 필름 전체를 박리할 수 있었을 경우를 OK 라고 평가하였다.
(e) 실장 입자 포착률
각 이방성 도전 필름을 사용하여, 0.5×1.8×20.0 ㎜ 의 크기의 IC 칩 (범프 사이즈 30×85 ㎛, 범프 높이 15 ㎛, 범프 피치 50 ㎛) 을, 0.5×50×30 ㎜ 의 크기의 코닝사 제조의 유리 배선 기판 (1737F) 에 180 ℃, 80 ㎫, 5 초라는 조건으로 실장하여 접속 구조체 샘플을 얻었다.
「실장 입자 포착률」
[가열ㆍ가압 전의 접속 구조체 샘플의 범프 상에 존재하는 도전 입자의 수] 에 대한, [가열ㆍ가압 후의 접속 구조체 샘플의 범프 상에서 실제로 포착되어 있는 도전 입자의 수] 의 비율 (％) 을 이하의 식에 의해 구하여, 실장 입자 포착률로 하였다.
또한, 가열 가압 전의 접속 구조체 샘플의 범프 상에 존재하는 도전 입자의 수는, 가열ㆍ가압 전의 ACF 의 도전 입자의 개수 밀도와 범프 면적으로부터 산출하고, 가열 가압 후의 접속 구조체 샘플의 범프 상에 존재하는 도전 입자의 수는 광학 현미경의 관찰에 의해 구하였다.
실용상, 50 ％ 이상인 것이 바람직하다.
실장 입자 포착률 (％)
＝{[가열 가압 후의 펌프 상의 도전 입자수]/[가열 가압 전의 범프 상의 도전 입자수]}×100
(f) 초기 도통성
접속 구조체 샘플의 도통 저항을 측정하였다.
Figure pct00001
표 1 로부터 알 수 있는 바와 같이, 각 실시예 및 비교예의 이방성 도전 필름의 두께는 모두 동일하다. 실시예 1 ∼ 6 의 이방성 도전 필름은, 필름 전체의 탄성률이 0.13 ∼ 0.25 ㎫ 의 범위에 있어, 모두 양호한 가압착 리페어성을 나타냈다. 이 중, 실시예 2 ∼ 4 의 이방성 도전 필름은, 제 1 절연성 수지층의 탄성률이 공통되지만, 중간층의 탄성률이 상이하고, 실시예 5 의 이방성 도전 필름은, 제 1 절연성 수지층의 탄성률은 비교적 낮지만, 중간층의 탄성률이 높고, 실시예 6 의 이방성 도전 필름은, 제 1 절연성 수지층의 탄성률이 높음으로써, 필름 전체의 탄성률이 높아졌다.
실시예 7 은, 실시예 2 에 비해 실장 입자 포착률이 약간 떨어졌지만, 실용상 문제는 없으며, 필름 전체의 탄성률, 가압착 리페어성, 초기 도통성에 대해서는 실시예 2 와 마찬가지로 바람직한 결과를 나타냈다.
그에 반해, 비교예 1 의 이방성 도전 필름은, 필름 전체의 탄성률이 낮음으로써 가압착 리페어성이 떨어졌다.
또한, 각 실시예 및 비교예의 이방성 도전 필름에 있어서, 실장 포착률 및 초기 도통성은 양호하였다.
산업상 이용가능성
본 발명의 이방성 도전 필름은, 광라디칼 중합성 수지층을 광라디칼 중합시킨 제 1 절연성 수지층과, 열카티온 혹은 열아니온 중합성 수지, 광카티온 혹은 광아니온 중합성 수지, 열라디칼 중합성 수지 또는 광라디칼 중합성 수지에 의해 형성된 제 2 절연성 수지층이 적층되고, 제 1 절연성 수지층의 제 2 절연성 수지층측 표면에 도전 입자가 단층으로 배치되어 있기 때문에, 양호한 도전 입자 포착률에 의한 우수한 초기 도통성, 도통 신뢰성, 낮은 쇼트 발생률을 나타낸다. 또한, 이방성 도전 필름 전체의 탄성률의 조정에 의해 탄성이 강한 필름이 되었기 때문에, 절연성 수지층이 비어져 나오거나, 이방성 도전 접속의 가압착시에 위치가 어긋나거나, 가압착 후에 리페어하기 어렵다는 문제가 잘 발생하지 않는다. 따라서, 본 발명의 이방성 도전 필름은, IC 칩 등의 전자 부품의 배선 기판으로의 이방성 도전 접속에 유용하다. 전자 부품의 배선은 협소화가 진행되고 있어, 본 발명은, 협소화된 전자 부품을 이방성 도전 접속시키는 경우에 특히 유용해진다.
1A, 1B : 이방성 도전 필름
2 : 제 1 절연성 수지층
2a : 제 1 절연성 수지층의 표면
2b : 제 1 절연성 수지층의 외측 표면
2X : 제 1 절연성 수지층에 있어서, 제 2 절연성 수지층측에 도전 입자가 존재하는 영역
2Y : 제 1 절연성 수지층에 있어서, 제 2 절연성 수지층측에 도전 입자가 존재하지 않는 영역
3 : 제 2 절연성 수지층
4 : 중간층
10 : 도전 입자
20 : 광중합성 수지층
30 : 박리 필름
31 : 박리 필름

Claims (11)

  1. 제 1 절연성 수지층 및 제 2 절연성 수지층이 적층되어 있는 이방성 도전 필름으로서,
    제 1 절연성 수지층이, 광중합 수지에 의해 형성되고,
    제 2 절연성 수지층이, 열카티온 혹은 열아니온 중합성 수지, 광카티온 혹은 광아니온 중합성 수지, 열라디칼 중합성 수지 또는 광라디칼 중합성 수지에 의해 형성되고,
    제 1 절연성 수지층의 제 2 절연성 수지층측 표면에, 이방성 도전 접속용의 도전 입자가 단층으로 배치되고,
    이방성 도전 필름 전체의 탄성률이 0.13 ㎫ 이상인, 이방성 도전 필름.
  2. 제 1 항에 있어서,
    제 1 절연성 수지층의 탄성률이 0.06 ㎫ 이상인, 이방성 도전 필름.
  3. 제 1 항에 있어서,
    제 1 절연성 수지층과 제 2 절연성 수지층 사이에 결정성 수지에 의해 형성된 중간층을 갖는, 이방성 도전 필름.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    제 1 절연성 수지층과 중간층의 적층 필름의 탄성률이 0.14 ㎫ 이상인, 이방성 도전 필름.
  5. 제 1 항에 기재된 이방성 도전 필름의 제조 방법으로서, 이하의 공정 (A) ∼ (C) :
    공정 (A)
    광중합성 수지층에, 도전 입자를 단층으로 배치하는 공정 ;
    공정 (B)
    도전 입자를 배치한 광중합성 수지층에 대해 자외선을 조사함으로써 광중합 반응시켜, 표면에 도전 입자가 고정화된 제 1 절연성 수지층을 형성하는 공정 ;
    공정 (C)
    열카티온 혹은 열아니온 중합성 수지, 광카티온 혹은 광아니온 중합성 수지, 열라디칼 중합성 수지 또는 광라디칼 중합성 수지에 의해 형성된 제 2 절연성 수지층을 형성하는 공정 ;
    를 갖고,
    공정 (B) 에 있어서, 이방성 도전 필름 전체의 탄성률이 0.13 ㎫ 이상이 되도록 광중합 반응을 실시함으로써 제 1 절연성 수지층을 형성하고,
    공정 (C) 에서 형성한 제 2 절연성 수지층을, 공정 (B) 에서 형성한 제 1 절연성 수지층의 도전 입자측에 적층하는 제조 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    공정 (B) 에 있어서, 광중합성 수지층에 대해 자외선을 도전 입자측으로부터 조사하는 이방성 도전 필름의 제조 방법.
  7. 제 1 항에 기재된 이방성 도전 필름의 제조 방법으로서, 이하의 공정 (A) ∼ (D) :
    공정 (A)
    광중합성 수지층에, 도전 입자를 단층으로 배치하는 공정 ;
    공정 (B)
    도전 입자를 배치한 광중합성 수지층에 대해 자외선을 조사함으로써 광중합 반응시켜, 표면에 도전 입자가 고정화된 제 1 절연성 수지층을 형성하는 공정 ;
    공정 (C)
    열카티온 혹은 열아니온 중합성 수지, 광카티온 혹은 광아니온 중합성 수지, 열라디칼 중합성 수지 또는 광라디칼 중합성 수지에 의해 형성된 제 2 절연성 수지층을 형성하는 공정 ;
    공정 (D)
    공정 (B) 에서 형성한 제 1 절연성 수지층의 도전 입자측에, 결정성 수지에 의해 형성된 중간층과 제 2 절연성 수지층이 순차적으로 적층되어 있는 적층체를 형성하는 공정 ;
    를 갖는 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    공정 (C) 에서 제 2 절연성 수지층을 형성한 후, 그 제 2 절연성 수지층에, 결정성 수지에 의해 형성된 중간층을 적층하고, 그 적층체와 공정 (B) 에서 형성한 제 1 절연성 수지층을 적층함으로써 공정 (D) 를 실시하는 제조 방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    공정 (B) 에서 형성한 제 1 절연성 수지층의 도전 입자측에, 결정성 수지에 의해 형성된 중간층 및 공정 (C) 에서 형성한 제 2 절연성 수지층을 순차적으로 적층함으로써 공정 (D) 를 실시하는 제조 방법.
  10. 제 7 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    공정 (B) 에 있어서, 광중합성 수지층에 대해 자외선을 도전 입자측으로부터 조사하는 이방성 도전 필름의 제조 방법.
  11. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 기재된 이방성 도전 필름으로 제 1 전자 부품을 제 2 전자 부품에 이방성 도전 접속시킨 접속 구조체.
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