KR20160109748A - 캐리어 유닛 및 이를 저장하는 시스템 - Google Patents

캐리어 유닛 및 이를 저장하는 시스템 Download PDF

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Abstract

캐리어 유닛은 수납부 및 커버부를 포함한다. 상기 수납부는 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 대응되는 수납 공간을 포함하여, 상기 프로브 카드를 수납한다. 상기 커버부는 상기 수납부를 커버한다. 이에, 상기 수납부 및 상기 커버부는 상기 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 무관하게 일정한 규격을 갖는다.

Description

캐리어 유닛 및 이를 저장하는 시스템{CARRIER UNIT AND SYSTEM FOR STOCKING THE SAME}
본 발명은 캐리어 유닛 및 이를 저장하는 시스템에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 반도체 칩들이 형성된 웨이퍼의 전기적인 성능을 검사하기 위한 프로브 카드를 수납하는 캐리어 유닛 및 이를 저장하는 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 집적회로 소자, 발광 소자 등과 같은 반도체 칩들은 기판으로서 사용되는 웨이퍼 상에 일련의 반복적인 미세 처리 공정들을 수행함으로써 형성될 수 있다. 예를 들면, 기판 상에 막을 형성하는 증착 공정, 상기 막을 특정 패턴들로 형성하기 위한 식각 공정, 상기 패턴들에 전기적인 특성들을 부여하기 위한 이온 주입 공정 또는 확산 공정, 상기 패턴들이 형성된 기판으로부터 불순물들을 제거하기 위한 세정 및 린스 공정 등을 반복적으로 수행함으로써 다양한 형태의 반도체 칩들이 웨이퍼 상에 형성될 수 있다.
상기와 같이 반도체 칩들이 형성된 후 상기 웨이퍼로부터 상기 반도체 칩들의 전기적인 성능을 검사하기 위한 검사(EDS) 공정이 수행될 수 있다. 상기 검사(EDS) 공정은 다수의 팁들을 갖는 프로브 카드를 포함하는 프로브 스테이션과 전기적인 신호를 제공하는 테스터에 의해 수행될 수 있다. 이때, 상기 프로브 카드는 상기 반도체 칩들의 종류 및 상기 웨이퍼의 사이즈에 따라 다양한 종류가 사용되고 있다.
이에, 상기 프로브 카드를 그 모양 및 사이즈에 따라 스토커들에 구분하여 저장할 수밖에 없음에 따라, 매우 많은 종류의 스토커들이 필요할 뿐만 아니라 이의 설치를 위해 매우 넓은 설치 공간이 필요한 것이 현실이다.
대한민국 특허공개 제10-2013-0025316호 (공개일; 2013.03.11, 프로브 카드 컨테이너)
본 발명의 목적은 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 무관하게 상기 프로브 카드를 일정하게 규격화하여 수납하는 캐리어 유닛을 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기한 캐리어 유닛을 저장하는 시스템을 제공하는 것이다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 캐리어 유닛은 수납부 및 커버부를 포함한다.
상기 수납부는 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 대응되는 수납 공간을 포함하여, 상기 프로브 카드를 수납한다. 상기 커버부는 상기 수납부를 커버한다. 이에, 상기 수납부 및 상기 커버부는 상기 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 무관하게 일정한 규격을 갖는다.
상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 캐리어 유닛 저장 시스템은 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 대응되는 수납 공간을 포함하여 상기 프로브 카드를 수납하는 수납부 및 상기 수납부를 커버하는 커버부를 포함하는 캐리어 유닛이 다수 적재 저장되는 적재부를 구비한 적어도 하나의 스토커를 포함한다. 이에, 상기 수납부 및 상기 커버부는 상기 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 무관하게 일정한 규격을 갖는다.
일 실시예에 따른 상기 저장 시스템은 상기 스토커와 인접하게 설치되며 외부로부터 상기 프로브 카드가 수납된 캐리어 유닛이 탑재된 대차가 도킹되는 도킹부 및 상기 도킹부와 상기 스토커 사이에 설치되며 상기 대차에 탑재된 캐리어 유닛을 상기 적재부에 적재시키는 이송부를 더 포함할 수 있다.
다른 실시예에 따른 상기 저장 시스템은 상기 스토커와 인접하게 설치되며, 외부로부터 상기 프로브 카드가 탑재된 대차가 도킹되는 도킹부 및 상기 도킹부와 상기 스토커 사이에 설치되며 상기 대차에 탑재된 프로브 카드를 상기 적재부에 적재된 캐리어 유닛에 수납시키는 이송부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예 따른 상기 프로브 카드 및 상기 수납부 각각은 각각의 정보가 입력된 제1 및 제2 RFID들을 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 이송부는 상기 프로브 카드와 상기 수납부의 서로 매칭되는지 여부를 확인하기 위하여 상기 제1 및 제2 RFID들 각각에 입력된 정보를 매칭하는 카드 적합부를 포함할 수 있다.
이러한 캐리어 유닛 및 이를 저장하는 시스템에 따르면, 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 대응되는 수납 공간을 포함하여 상기 프로브 카드를 수납하는 수납부 및 상기 수납부를 커버하는 커버부로 구성된 캐리어 유닛을 상기 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 무관하게 일정한 규격을 갖도록 제작하여 스토커에 적재 저장함으로써, 배경기술에서와 같이 상기 스토커를 상기 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 따라 구분하여 설치할 필요가 없게 된다.
이에 따라, 결과적으로 상기 프로브 카드를 적재하는 스토커들의 개수를 줄일 수 있으므로, 비교적 좁은 설치 공간에 적은 비용으로 상기 스토커들을 설치할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 유닛을 저장하는 저장 시스템을 개념적으로 나타낸 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 캐리어 유닛을 구체적으로 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 캐리어 유닛을 결합한 도면이다.
이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 유닛을 저장하는 저장 시스템을 개념적으로 나타낸 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 캐리어 유닛을 구체적으로 나타낸 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시된 캐리어 유닛을 결합한 도면이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 저장 시스템(1000)은 캐리어 유닛(10)이 적재 저장되는 적재부(110)를 구비한 적어도 하나의 스토커(100)를 포함한다.
여기서, 상기 캐리어 유닛(10)은 웨이퍼로부터 제조된 반도체 칩들의 전기적인 성능을 검사하기 위하여 상기 반도체 칩들에 검사 신호를 인가하는 프로브 카드(20)를 수납한다.
이에, 상기 캐리어 유닛(10)은 수납부(12) 및 커버부(16)를 포함한다. 상기 수납부(12)는 상기 검사하고자 하는 반도체 칩들의 종류에 따라 모양 및 사이즈가 달라지는 프로브 카드(20)에 대응되는 수납 공간(13)을 포함하여 상기 프로브 카드(20)를 수납한다.
상기 커버부(16)는 상기 수납부(12)의 상부를 커버한다. 이때, 상기 커버부(16)는 상기 캐리어 유닛(10)을 핸들링하는 도중 상기 수납부(12)와 분리되지 않도록 볼트 결합과 같이 강한 결합력으로 상기 수납부(12)를 커버할 수 있다. 또한, 상기 커버부(16)는 상기 수납부(12)에 상기 프로브 카드(20)가 수납되어 있는지 여부를 육안으로 확인할 수 있도록 상기 수납 공간(13)의 일부를 노출시키는 개구부(미도시)가 형성될 수 있다.
이와 같은 수납부(12) 및 커버부(16)는 상기 프로브 카드(20)의 모양 및 사이즈에 무관하게 일정한 규격을 가질 수 있다. 구체적으로, 상기 수납부(12)의 수납 공간(13)만 상기 프로브 카드(20)의 모양 및 사이즈에 따라 변경하고 그 외관은 항상 일정한 규격을 가질 수 있다. 이에, 상기 수납부(12)에는 상기 수납 공간(13)에 수납될 수 있는 프로브 카드(20)에 대한 정보가 입력된 제1 RFID(14)가 장착될 수 있다. 또한, 상기 프로브 카드(20)에는 상기 제1 RFID(14)와의 매칭 여부를 통하여 적합한 수납 공간(13)을 갖는 수납부(12)에 수납될 수 있도록 제2 RFID(22)가 장착될 수 있다.
상기와 같은 캐리어 유닛(10)의 일정한 규격에 따라 상기 스토커(100)의 적재부(110)도 상기 프로브 카드(20)의 모양 및 사이즈에 무관하게 모두 동일한 구조를 가질 수 있다.
이와 같이, 상기 프로브 카드(20)의 모양 및 사이즈에 대응되는 수납 공간(13)을 포함하여 상기 프로브 카드(20)를 수납하는 수납부(12) 및 상기 수납부(12)를 커버하는 커버부(16)로 구성된 캐리어 유닛(10)을 상기 프로브 카드(20)의 모양 및 사이즈에 무관하게 일정한 규격을 갖도록 제작하여 상기 스토커(100)의 적재부(110)에 적재 저장함으로써, 배경기술에서와 같이 상기 스토커(100)를 상기 프로브 카드(20)의 모양 및 사이즈에 따라 구분하여 설치할 필요가 없게 된다.
이에 따라, 결과적으로 상기 프로브 카드(20)를 적재하는 스토커(100)들의 개수를 줄일 수 있으므로, 비교적 좁은 설치 공간에 적은 비용으로 상기 스토커(100)들을 설치할 수 있다.
한편, 상기 저장 시스템(1000)은 실질적으로 상기 프로브 카드(20)를 상기 캐리어 유닛(10)을 이용하여 상기 스토커(100)의 적재부(110)에 적재 저장하기 위하여 도킹부(200) 및 이송부(300)를 더 포함할 수 있다.
상기 도킹부(200)는 상기 스토커(100)와 인접하게 설치된다. 상기 도킹부(200)는 외부로부터 상기 프로브 카드(20)가 탑재된 대차(30)가 도킹된다. 여기서, 상기 대차(30)는 작업자에 의해 수동적으로 이동하거나 작업 공간의 특정 라인을 따라 자동적으로 이동할 수 있도록 구성될 수 있다. 이와 달리, 상기 대차(30)는 작업 공간의 천장에 설치된 OHT(Overhead Hoist Transport)로 대신하여 설명될 수 있다.
상기 이송부(300)는 상기 도킹부(200)와 상기 스토커(100) 사이에 설치된다. 상기 이송부(300)는 상기 대차(30)에 탑재된 프로브 카드(20)를 상기 적재부(110)에 적재된 캐리어 유닛(10)에 수납시킨다. 이때, 상기 이송부(300)는 상기 프로브 카드(20)가 이에 대응되는 상기 캐리어 유닛(10)에 정확하고 안정적으로 수납되도록 하기 위하여 상기 제1 및 제2 RFID(14, 22)들을 서로 매칭시키는 카드 적합부(310)를 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 카드 적합부(310)는 상기 프로브 카드(20)를 상기 캐리어 유닛(10)에 수납시키기 전에, 상기 제1 및 제2 RFID(14, 22)들로부터 정보들을 수신하여 이의 매칭 여부를 검사한 후, 상기 프로브 카드(20)가 상기 캐리어 유닛(10)에 적합한지 여부를 확인하여 상기 이송부(300)에 전달한다. 이러면, 상기 이송부(300)는 상기 카드 적합부(310)로부터 전달된 결과를 통해 상기 프로브 카드(20)와 상기 캐리어 유닛(10)이 적합하다고 판단될 경우에는 상기의 수납 동작을 정상적으로 수행하고, 부적합하다고 판단될 경우에는 상기의 수납 동작을 정지한 후, 새로운 캐리어 유닛(10)을 검색하던지 외부로 반출시킬 수 있다.
본 실시예에서는 상기 적재부(110)에 상기 캐리어 유닛(10)이 이미 배치되어 있는 것으로 설명하였지만, 상기 대차(30)로부터 상기 프로브 카드(20)를 상기 캐리어 유닛(10)에 이미 수납된 상태로 이송하여 상기 적재부(110)에 직접 적재될 수 있음을 이해할 수 있다. 이 경우, 상기 스토커(100)가 아닌 상기 대차(30) 또는 그 외 다른 장소에서 상기 프로브 카드(20)를 상기 캐리어 유닛(10)에 수납할 때 적합하게 수납될 수 있도록 상기 제1 및 제2 RFID(14, 22)들의 매칭 공정이 진행될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 캐리어 유닛 12 : 수납부
13 : 수납 공간 14 : 제1 RFID
16 : 커버부 20 : 프로브 카드
22 : 제2 RFID 30 : 대차
100 : 스토커 110 : 적재부
200 : 도킹부 300 : 이송부
310 : 카드 적합부 1000 : 저장 시스템

Claims (5)

  1. 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 대응되는 수납 공간을 포함하여, 상기 프로브 카드를 수납하는 수납부; 및
    상기 수납부를 커버하는 커버부를 포함하며,
    상기 수납부 및 상기 커버부는 상기 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 무관하게 일정한 규격을 갖는 것을 특징으로 하는 캐리어 유닛.
  2. 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 대응되는 수납 공간을 포함하여 상기 프로브 카드를 수납하는 수납부 및 상기 수납부를 커버하는 커버부를 포함하는 캐리어 유닛이 다수 적재 저장되는 적재부를 구비한 적어도 하나의 스토커를 포함하며,
    상기 수납부 및 상기 커버부는 상기 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 무관하게 일정한 규격을 갖는 것을 특징으로 하는 캐리어 유닛 저장 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 스토커와 인접하게 설치되며, 외부로부터 상기 프로브 카드가 수납된 캐리어 유닛이 탑재된 대차가 도킹되는 도킹부; 및
    상기 도킹부와 상기 스토커 사이에 설치되며, 상기 대차에 탑재된 캐리어 유닛을 상기 적재부에 적재시키는 이송부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 유닛 저장 시스템.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 스토커와 인접하게 설치되며, 외부로부터 상기 프로브 카드가 탑재된 대차가 도킹되는 도킹부; 및
    상기 도킹부와 상기 스토커 사이에 설치되며, 상기 대차에 탑재된 프로브 카드를 상기 적재부에 적재된 캐리어 유닛에 수납시키는 이송부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 유닛 저장 시스템.
  5. 제4항에 있어서, 상기 프로브 카드 및 상기 수납부 각각은 각각의 정보가 입력된 제1 및 제2 RFID들을 포함하며,
    상기 이송부는 상기 프로브 카드와 상기 수납부의 서로 매칭되는지 여부를 확인하기 위하여 상기 제1 및 제2 RFID들 각각에 입력된 정보를 매칭하는 카드 적합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 유닛 저장 시스템.
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