KR20160090971A - 표시장치용 표시패널 및 표시패널 검사 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 표시장치용 표시패널 및 그 검사방법에 관한 것으로서, 특히 어레이 테스트(Array Test)를 수행하기 위한 오토 프로브(Auto Probe) 검사 영역을 포함하되, 검사 영역은 각 컬러별 테스트 인에이블 스위칭 소자와, 모든 테스트 인에이블 스위칭 소자에 공통으로 연결되는 단일의 테스트 데이터 입력 라인을 구비함으로써 오토 프로브 검사 영역의 폭을 감소시키고, 별도의 컨택홀 또는 점핑홀이 필요없는 오토 프로브 검사 영역을 가지는 표시패널을 제공하는 것이다

Description

표시장치용 표시패널 및 표시패널 검사 방법{Display Panel For Display Device and Test Method therefor}

본 발명은 표시장치용 표시패널 및 그 검사방법에 관한 것으로서, 특히 어레이 테스트(Array Test)를 수행하기 위한 오토 프로브(Auto Probe) 검사 영역을 포함하는 표시패널 및 그를 이용한 검사 방법에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 화상을 표시하기 위한 표시장치에 대한 요구가 다양한 형태로 증가하고 있으며, 근래에는 액정표시장치(LCD: Liquid Crystal Display), 플라즈마표시장치(PDP: Plasma Display Panel), 유기전계발광표시장치(OLED: Organic Light Emitting Diode Display Device)와 같은 여러 가지 표시장치가 활용되고 있다.

이러한 표시장치 중 액정 표시장치(LCD)는 박막 트랜지스터를 포함하는 어레이 기판과, 컬러필터 및/또는 블랙매트릭스 등을 구비한 상부기판과, 그 사이에 형성되는 액정물질층을 포함하여 구성되며, 화소 영역의 양 전극 사이에 인가되는 전계에 따라 액정층의 배열 상태가 조절되고 그에 따라 광의 투과도가 조절되어 화상이 표시되는 장치이다.

또한, OLED 표시장치 등은 스위칭 트랜지스터 및 구동 트랜지스터 등의 박막 트랜지스터와 제1 및 제2전극과, 그 사이에 배치되는 유기발광 물질층을 포함하는 제1기판과, 그 상부에 합착되는 제2기판을 포함하여 구성되며, 화소 영역의 양 전극 사이에 인가되는 전압 또는 전류의 크기에 따라 유기물의 발광 정도가 조절되어 화상이 표시되는 장치이다.

한편, 표시패널 또는 표시패널용 어레이 기판의 제조 공정이 완료된 이후에 표시패널의 전기적 특성 등의 결함이 있는지 검사하는 검사 공정이 수행되며, 이러한 검사 공정에서는 모든 데이터 패드에 동시에 신호를 인가하여 전기적으로 단선 또는 단락된 곳이 없는지 검사하는 소위 어레이 테스트(Array Test) 공정을 포함할 수 있다.

이러한 검사 공정은 오토 프로브(Auto Probe) 장치를 이용하여 표시패널에 형성된 오토 프로브 검사 영역에 테스트 신호를 인가한 후 그 테스트 신호가 표시패널 내부의 게이트 라인 또는 데이터 라인으로 전달되는지 확인하는 방식으로 수행될 수 있다.

이를 위해서, 표시패널의 비표시영역, 더 구체적으로는 데이터 구동회로인 데이터 IC(D-IC)가 장착되는 영역인 D-IC 입력 범퍼 패드 영역과 D-IC 출력 범퍼 패드 영역 사이에는 전술한 검사 공정을 위한 오토 프로브 검사 영역이 형성된다.

이러한 오토 프로브 검사 영역은 크게 각 R, G, B의 컬러별 서브 픽셀의 데이터 라인별로 테스트 데이터 신호를 인가하기 위한 3개의 테스트 데이터 입력 라인과, 각 칼러별로 입력되는 테스트 데이터을 해당되는 데이터 라인으로 전달하기 위한 스위칭 회로로서의 3개의 인에이블 회로 구간을 포함한다.

3개의 인에이블 회로(R Enable, G Enable, B Enable)는 게이트 전극, 소스 및 드레인 전극을 가지는 박막 트랜지스터(Transistor; Tr)인 R 인에이블 트랜지스터, G 인에이블 트랜지스터, B 인에이블 트랜지스터로 구현될 수 있으며, 각 칼러별 인에이블 트랜지스터의 게이트 전극에는 해당 컬러의 픽셀 테스트를 위한 테스트 인에이블 신호가 입력되고, 소스 전극은 해당되는 컬러의 테스트 데이터 입력 라인과 전기적으로 연결되고, 드레인 전극은 해당되는 데이터 라인과 전기적으로 연결된다.

이와 같이, 이러한 오토 프로브 검사 영역은 R, G, B 컬러별로 각각 1개의 인에이블 회로구간과 1개의 테스트 데이터 입력 라인 구간이 필요하며, 따라서 전체적으로 6 구간의 영역이 필요하므로 오토 프로브 검사 영역이 커지는 단점이 있었다.

또한, 3개 컬러별 테스트 데이터 입력라인 구간에서는 각 컬러별 테스트 데이터 입력 라인과 해당되는 인에이블 트랜지스터의 소스 전극을 전기적으로 연결하여야 하므로 테스트 데이터 입력 라인과 인에이블 트랜지스터의 소스 전극으로의 소스 연결배선은 다른 레이어로 형성될 수 밖에 없고, 따라서 테스트 데이터 입력라인과 해당되는 소스 연결배선을 연결하기 위하여 별도의 컨택홀(Contact Hole) 또는 점핑홀(Jumping Hole)을 형성해야 하였다.

따라서, 오토 프로브 검사 영역의 크기(폭)이 커지므로 내로우 베젤(Narrow Bezel)을 달성하는데 장애가 되고, 별도의 컨택홀을 형성하여야 하므로 전기적 특성(저항 등)이 저하되거나 불량 발생 가능성이 커지는 등의 문제점이 있었다.

이러한 배경에서, 본 발명의 목적은, 오토 프로브 검사를 위하여 표시패널의 비표시 영역에 형성되는 오토 프로브 검사영역의 크기를 감소시키고 그 구조를 단순하게 할 수 있는 표시패널을 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 표시패널의 오토 프로브 검사 영역이 1개의 테스트 데이터 입력 라인만을 구비함으로써 오토 프로브 검사 영역의 폭을 감소시켜 표시패널 하부의 베젤을 최소화 할 수 있는 표시패널을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 각 컬러별 오토 프로브 인에이블 트랜지스터의 소스 전극으로 연장되는 소스 연결 배선과 동일한 레이어에 1개의 테스트 데이터 입력 라인을 형성함으로써, 별도의 컨택홀 또는 점핑홀이 필요없는 오토 프로브 검사 영역을 가지는 표시패널을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 각 컬러별 오토 프로브 인에이블 트랜지스터와 1개의 단일 테스트 데이터 입력 라인을 구비한 표시 패널의 검사 방법에서, 각 칼러별 테스트 과정에서의 혼색현상을 방지하기 위하여 단일 테스트 입력 라인을 통해서 입력되는 각 칼러별 테스트 데이터 사이에 일정 시간구간의 접지 신호 구간을 포함하도록 하는 테스트 방법을 제공하는 것이다.

전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는, 게이트 라인과 데이터 라인의 교차영역에 정의되는 다수의 화소를 포함하는 표시영역(A/A)과, 비표시 영역(NA)에 배치되어 화소 또는 데이터 라인의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사 영역을 포함하는 표시패널로서, 상기 검사 영역은, 2 이상의 컬러별로 1 이상 구비되는 테스트 인에이블 스위칭 소자와, 상기 테스트 인에이블 스위칭 소자의 1개 전극에 공통적으로 연결되어 테스트 테이터를 입력하는 단일 테스트 데이터 라인을 포함하는 표시패널을 제공한다.

본 발명의 다른 실시예에서는, 표시패널의 비표시영역에 배치되는 R 인에이블 트랜지스터, G 인에이블 트랜지스터 및 B 인에이블 트랜지스터와, 상기 인에이블 트랜지스터들의 일정 단자에 공통적으로 연결되어 테스트 테이터를 인가하는 단일 테스트 데이터 라인을 이용한 표시패널 검사방법으로서, 제1 컬러에 대한 검사 기간(T) 동안 제 1 테스트 인에이블 ON 신호를 해당되는 인에이블 트랜지스터로 인가하는 제1단계와, 상기 검사 기간(T)의 제1기간(T1) 동안 상기 제1 컬러에 대한 제 1 테스트 데이터의 ON 신호를 상기 단일 테스트 데이터 라인에 인가하고, 검사기간(T)의 나머지 제2기간(T2) 동안은 상기 제 1 테스트 데이터의 OFF 신호를 상기 단일 테스트 데이터 라인에 인가하는 제2단계, 및 제2 컬러에 대하여 상기 제1단계 및 제2단계를 반복하여 수행하는 제3단계를 포함하는 표시패널 검사 방법을 제공한다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 표시패널의 오토 프로브 검사 영역이 1개의 테스트 데이터 입력 라인만을 구비함으로써 오토 프로브 검사 영역의 폭을 감소시켜 표시패널 하부의 베젤을 감소시킬 수 있다.

또한, 1개의 단일 테스트 데이터 라인을 RGB의 각 컬러별 인에이블 트랜지스터의 소스 전극 및 그로의 소스 연결 배선과 동일한 레이어로 형성함으로써, 별도의 컨택홀 또는 점핑홀이 필요없어서 구조가 단순해지며, 전기적 특성이 향상되고 불량 가능성이 감소되는 효과가 있다.

또한, 단일 테스트 데이터 입력 라인을 통한 테스트 공정에서 각 칼러별 테스트 데이터 사이에 일정 시간구간의 접지 신호 구간을 포함시켜 테스트가 완료된 색상의 충전 전하를 완전히 방전함으로써, 각 칼러별 테스트 과정에서의 혼색현상을 방지할 수 있다.

도 1은 종래의 표시장치용 어레이 기판 또는 표시패널의 평면을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 일반적인 오토 프로브 검사 영역의 구조 및 등가 회로를 도시한다.
도 3은 도 2에 의한 오토 프로브 검사 영역의 확대도로서, 상측 도면은 평면도 하측 도면은 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 표시패널의 오토 프로브 검사 영역의 평면도이다.
도 5는 도 4의 실시예에 의한 오토 프로브 검사 영역의 단면도이다.
도 6은 도 2에 의한 실시예에서의 테스트 신호의 타이밍도로서 컬러별 테스트 인에이블 신호와 테스트 데이터의 타이밍도를 모두 도시한다.
도 7은 도 4의 실시예에서 기존의 테스트 신호 타이밍도를 이용하는 경우의 혼색 현상을 도시한다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 의한 오토 프로브 테스트 공정에서의 타이밍도를 도시한다.

이하, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가질 수 있다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 수 있다.

또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질, 차례, 순서 또는 개수 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 다른 구성 요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성 요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.

도 1은 일반적인 표시장치의 표시패널 또는 어레이 기판의 일 예를 도시한다.

이러한 액정 표시장치(LCD)의 표시패널 또는 OLED 표시장치의 표시패널로 사용될 수 있는 표시 패널(100)은 사용자에게 이미지를 제공하는 액티브 영역(active area, AA)과 상기 액티브 영역(AA)의 주변 영역인 비액티브 영역(non-active area, NA)으로 정의되며, 표시 패널은 통상 박막 트랜지스터 등이 형성되어 화소영역이 정의되는 어레이기판인 제1기판과, 블랙매트릭스 및/또는 칼라필터층 등이 형성된 상부 기판으로서의 제2기판이 합착되어 제조된다.

물론, OLED 표시패널인 경우에는 상기 제2기판은 보호기판으로서의 기능만 할 수도 있다.

박막 트랜지스터가 형성되는 어레이기판 또는 제1기판은 다시, 제1방향으로 연장되는 다수의 게이트 라인(GL)과, 제1방향과 수직인 제2방향으로 연장되는 다수의 데이터 라인(DL)을 포함하며, 각각의 게이트 라인과 데이터 라인에 의하여 하나의 화소영역(Pixel; P)이 정의된다. 하나의 화소영역(P) 내에는 1 이상의 박막 트랜지스터가 형성되며, 각 박막 트랜지스터의 게이트 또는 소스 전극은 각각 게이트 라인 및 데이터 라인과 연결될 수 있다.

이러한 표시패널(100)의 상부 또는 하부의 비표시 영역에는 각 데이터 라인(DL)의 단부에 데이터 신호 인가용 신호패드로서의 데이터 패드가 형성되어 있으며, 표시패널의 하부에는 데이터 라인의 구동을 위한 소스 출력신호를 생성하여 제공하는 데이터 구동회로인 D-IC가 실장된다.

한편, 어레이 기판의 제조 공정이 완료된 이후에 패널의 전기적 특성 등의 결함이 있는지 검사하는 소위 어레이 테스트(Array Test) 공정 또는 오토 프로브 검사 공정 등이 수행되며, 이러한 검사 공정에서는 특정한 데이터 라인 및 게이트 라인에 동시에 신호를 인가하여 해당되는 화소를 On/Off 여부를 검사함으로써, 각 라인 또는 배선 등이 전기적으로 단선 또는 단락된 곳이 없는지를 검사하게 된다.

이러한 검사 공정은 오토 프로브(Auto Probe) 장치를 이용하여 표시패널에 형성된 오토 프로브 검사 영역에 테스트 신호를 인가함으로써 수행될 수 있는데, 이를 위해서, 표시패널의 비표시영역에는 일정한 구조의 오토 프로브 검사 영역이 형성되어 있다.

본 명세서에서 오토 프로브 검사 영역은 오토 프로브 장치 등과 접촉하여 표시패널의 전기적 특성을 테스트 하기 위하여 표시패널의 비표시 영역에 형성되는 모든 형태의 검사용 패턴을 포함하는 것으로 해석되어야 하며, 반드시 오토 프로브 검사 영역이라는 표현에 한정되는 것은 아니며 테스트 영역, 검사영역, 쇼팅바 영역 등 다른 용어가 사용될 수도 있을 것이다.

도 1의 우측 확대도면은 오토 프로브 검사를 위한 설계 영역이 포함된 비표시 영역을 확대 도시한 것으로서, 오토 프로브 검사를 위한 설계 영역(120)은 비표시 영역에 형성된 D-IC 출력 패드영역(110)과 D-IC 입력 범퍼 패드영역(130) 사이에 형성된다. 또한, 오토 프로브 검사를 위한 설계 영역(120) 좌우측에는 오토 프로브 검사를 위한 신호 입력핀 등이 배치되는 검사 패드 영역(120’)이 형성될 수 있다.

어레이 기판 또는 표시패널의 테스트 공정이 완료된 이후 해당되는 D-IC가 장착된 이후에는, D-IC 입력 범퍼 패드영역(130)으로 소정의 제어 신호 또는 데이터 신호가 입력되고 그 입력 신호가 D-IC에서 처리된 후 출력되는 신호가 D-IC 출력 패드영역(110)을 경유하여 표시패널의 표시영역으로 인가됨으로써 표시장치가 구동된다.

도 2는 이러한 일반적인 오토 프로브 검사 영역의 구조 및 등가 회로를 도시하며, 도 3은 도 2에 의한 오토 프로브 검사 영역의 확대도로서, 상측 도면은 평면도 하측 도면은 단면도이다.

도 2 및 도 3과 같이, 일반적인 오토 프로브 검사 영역은 각 칼러별 테스트 데이터 신호를 인가하기 위한 테스트 데이터 라인구간(240)과, 테스트 데이터 신호를 해당되는 데이터 라인(패드)로 스위칭하기 위한 테스트 인에이블 소자구간(230)을 포함할 수 있다.

테스트 인에이블 소자구간(230)은 다시 R 인에이블 구간(232), G 인에이블 구간(234) 및 B 인에이블 구간(236)을 포함하며, 각 컬러별 인에이블 구간에는 각 컬러별로 스위칭되는 박막 트랜지스터와 같은 스위칭 소자인 R 인에이블 Tr(231), G 인에이블 Tr(233), B 인에이블 Tr(235)가 형성되어 있다.

또한, 각 칼러별 테스트 데이터 신호를 인가하기 위한 테스트 데이터 라인구간(240) 역시 R 테스트 데이터 라인(242), G 테스트 데이터 라인(244), B 테스트 데이터 라인(246)을 포함하여 구성된다.

도 3을 참고하면, R 인에이블 구간에는 R 인에이블 트랜지스터(310)가 형성되어 있으며, 이러한 R 인에이블 트랜지스터(310)는 다시 R 인에이블 신호가 인가되는 게이트 전극(312)과, 하부에 형성된 R 테스트 데이터 라인(340)과 전기적으로 연결되는 소스 전극(316)과, 상부의 데이터 패드(320)에 전기적으로 연결되는 드레인 전극(318)을 포함할 수 있다. 물론, 활성층으로서 게이트 전압 또는 소스 전압에 의하여 스위칭되는 반도체층(314)도 형성되어 있다.

한편, R 인에이블 트랜지스터(310)의 소스 전극(316) 및 드레인 전극(318)과 일체로 연장되는 소스 연결 배선(332) 및 드레인 연결 배선(322)이 형성되고, 드레인 연결배선(322)는 R 인에이블 트랜지스터(310)의 드레인 전극(318)을 해당되는 R 데이터 라이 또는 R 데이터 패드(320)로 연결하며, 소스 연결배선(332)은 R 인에이블 트랜지스터(310)의 소스 전극(316)을 R 테스트 데이터 라인(340)으로 연결한다.

간단히 표시하기 위하여, 도 3에서는 R 인에이블 트랜지스터(310)만을 도시하였으나, G 및 B에 대해서도 동일한 구조의 인에이블 트랜지스터가 형성되어야 할 것이다. 즉, 도 3의 G 인에이블 구간에는 R 인에이블 트랜지스터와 동등한 구조의 G 인에이블 트랜지스터가 형성되고 그 G 인에이블 트랜지스터의 소스 전극은 아래의 G 테스트 데이터 라인(350)에 연결될 것이다.

또한, 각 R, G, B 테스트 데이터 라인(340, 350, 360)의 일단에는 테스트 테이터 입력 패드(344, 354, 364)가 형성되어 있다.

이상과 같은 구조의 오토 프로브 검사 영역을 이용한 테스트 공정을 개략적으로 살펴보면, 우선 오토 프로브 장치를 이용하여 R 테스트 데이터 라인(340)에 신호를 인가함과 동시에 R 인에이블 트랜지스터를 ON 시키면 모든 R 데이터 라인에 신호가 인가되고, 그와 동시에 해당되는 게이트 라인 출력신호도 인가하면 모든 적색(R) 화소가 ON 됨으로써 적색 화소에 대한 검사를 수행할 수 있고, 이어서 동일한 방식으로 G 및 B의 화소도 검사하게 된다.

한편, 도 2 및 도 3과 같은 일반적인 오토 프로브 검사 영역은 R, G, B의 각 컬러별 테스트 인에이블 구간과 컬러별 테스트 데이터 입력 구간이 별도로 형성되어야 하므로 총 6개 구간으로 구성된다. 따라서, 오토 프로브 검사 영역의 폭이 커지게 되어 결과적으로 비표시영역의 증가로 인해서 표시패널 하부의 베젤이 커진다는 단점이 있다.

또한, 도 2 및 도 3과 같은 일반적인 오토 프로브 검사 영역에서는 각 컬러별 인에이블 트랜지스터의 소스 전극 및 그의 연결 배선은 소스/드레인 레이어에서 세로 방향으로 형성되고, 그 연결 배선 각각은 아래에 있는 가로방향으로 연장되는 각 컬러별 테스트 데이터 라인에 선택적으로 연결되어야 한다.

예를 들면, 도 3에는 도시하지는 않았지만, R 인에이블 트랜지스터(310)의 옆에 있는 G 인에이블 트랜지스터의 소스 전극 및 그로부터의 소스 연결 배선은 세로 방향으로 연장하여 R 테스트 데이터 라인(340) 아래에 있는 G 테스트 데이터 라인(350)에 연결되어야 하며, 구조상 R 테스트 데이터 라인(340)을 가로질러 연장될 수 밖에 없다.

그러나, G 인에이블 트랜지스터의 소스 전극 및 그로부터의 소스 연결 배선이 R 테스트 데이터 라인(340)과 접촉하면 안되기 때문에, 결과적으로 각 컬러별 테스트 데이터 라인(340, 350, 360)은 해당되는 인에이블 트랜지스터의 소스 전극 및 소스 연결 배선(332)과 다른 레이어로 형성될 수 밖에 없다.

따라서, 도 3에 도시한 바와 같이, 각 컬러별 테스트 데이터 라인은 게이트 금속 레이어에 형성되고, 각 컬러별 인에이블 트랜지스터의 소스 전극 및 소스 연결 배선은 그와 상이한 금속 레이어인 소스/드레인 레이어에 형성된다.

그러므로, 각 컬러별 인에이블 트랜지스터의 소스 전극 및 소스 연결 배선을 해당되는 테스트 데이터 라인에 연결하기 위해서는, 테스트 데이터 라인 상부에 일정한 컨택홀(334) 또는 점핑홀을 형성하여야 한다.

즉, 게이트 레이어인 테스트 데이터 라인(340) 상부에 도포되는 게이트 절연층(302) 등의 일부 영역을 제거하여 컨택홀(334)을 형성하고, 그 위에 소스/드레인 레이어를 증착하여야 한다는 것이다.

따라서, 도 2 및 도 3과 같은 일반적인 오토 프로브 검사 영역의 구조에서는 컨택홀 또는 점핑홀을 형성하여야 하므로 어레이 기판 또는 표시 패널의 제조 공정이 복잡해지고, 인에이블 트랜지스터와 테스트 데이터 라인 사이의 저항이 증가하여 전기적 특성이 감소하는 등의 단점이 있었다.

이에 본 발명의 일실시예에서는 표시패널 또는 어레이 기판의 검사 영역에서 2 이상의 컬러 각각에 대응되는 1 이상의 컬러별 테스트 인에이블 스위칭 소자와, 1 이상의 컬러별 테스트 인에이블 스위칭 소자의 하나의 전극에 공통적으로 연결되어 테스트 신호를 입력하는 단일 테스트 데이터 라인이 형성된 구조를 제안한다.

이하에서는 도 4 내지 도 8을 참고로 본 발명의 구체적인 구성에 대하여 설명한다.

도 4는 본 발명의 일실시예에 의한 오토 프로브 검사 영역의 구조를 도시하는 평면도이고, 도 5는 도 4의 I-I’을 따라 절단한 단면을 도시한다.

도 4와 같이, 본 발명의 일 실시예에 의한 표시패널은 게이트 라인과 데이터 라인의 교차영역에 정의되는 다수의 화소를 포함하는 표시영역(A/A)과, 비표시 영역(NA)에 배치되어 화소 또는 데이터 라인의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사 영역을 포함하며, 검사 영역은 2 이상의 컬러, 예를 들면 R, G, B를 위한 테스트 인에이블 스위칭 소자로서의 R 인에이블 트랜지스터(440), G 인에이블 트랜지스터(450), B 인에이블 트랜지스터(460)과, 3개의 인에이블 트랜지스터의 1개 단자 또는 1개 전극, 예를 들면, 소스 전극에 공통적으로 연결되어 테스트 테이터를 입력하는 단일 테스트 데이터 라인(480)을 포함하여 구성된다.

전술한 테스트 인에이블 스위칭 소자는 R 인에이블 트랜지스터, G 인에이블 트랜지스터 및 B 인에이블 트랜지스터를 포함할 수 있으나 그에 한정되는 것은 아니며, 다른 컬러의 화소를 포함하는 경우 해당 컬러의 인에이블 트랜지스터를 구비할 수 있고, 컬러별이 아닌 일정한 기준으로 그룹핑될 수 있다.

즉, 예를 들면, 우수 데이터 라인을 위한 인에이블 트랜지스터와, 기수 데이터 라인을 위한 인에이블 트랜지스터 등과 같이 일정한 검사 기준별로 다수의 데이터 라인 그룹별로 인에이블 트랜지스터가 구비될 수 있을 것이다.

도 4와 같이, 각 인에이블 트랜지스터(440, 450, 460)는 게이트 금속 레이어에 형성되는 게이트 전극(442, 452, 462)과 그 상부의 반도체층(463) 및 반도체층 상부의 소스/드레인 전극 레이어에 서로 이격되어 형성되는 소스 전극(444, 454, 464) 및 드레인 전극(446, 456, 466)을 포함하여 구성된다.

이러한 인에이블 트랜지스터의 제조 공정에 대해서는 도 5를 참고로 아래에서 더 상세하게 설명한다.

한편, 단일 테스트 데이터 라인(480)는 각 인에이블 트랜지스터(440, 450, 460)의 소스 전극(444, 454, 464) 모두와 전기적으로 연결되며, 도 4에서와 같이 단일 테스트 데이터 라인(480)은 제2 소스 연결 배선(474)을 통해서 B 인에이블 트랜지스터의 소스 전극(464)와 연결되고, B 인에이블 트랜지스터의 소스 전극(464)은 다시 제1 소스 연결배선(472)를 통해 G 인에이블 트랜지스터의 소스 전극(454)와 연결되고, G 인에이블 트랜지스터의 소스 전극(454)은 제1 소스 연결배선(472)를 통해 R 인에이블 트랜지스터의 소스 전극(444)와 연결된다.

이러한 R 인에이블 트랜지스터, G 인에이블 트랜지스터 및 B 인에이블 트랜지스터의 소스 전극(444, 454, 464)과, 제1 소스 연결 배선(472) 제 2 소스 연결배선(474) 및 단일 테스트 데이터 라인(480)은 모두 동일한 레이어, 더 구체적으로는 소스/드레인 금속 레이어 상에서 일체로 연장 형성된다.

따라서, 도 4의 실시예에 의하면, 도 2 및 도 3과 같은 방식에서 인에이블 트랜지스터의 소스 전극과 해당되는 테스트 데이터 라인을 연결하기 위하여 필요했던 컨택홀이 필요 없게되므로, 오토 프로브 검사 영역의 구조가 단순해질 뿐 아니라, 컨택홀에 형성에 따른 문제점인 저항 증가, 불량 발생 가능성 등의 우려도 없어지게 되는 것이다.

또한, 도 4의 실시예에서는, 오토 프로브 검사 영역이 R 인에이블 구간(412), G 인에이블 구간(414) 및 B 인에이블 구간(416)의 3개 구간으로 이루어지는 인에이블 영역(410)과 1개의 구간으로 이루어지는 테스트 데이터 라인 구간(410)의 총 4개 구간으로 구성되므로, 도 2 및 도 3의 방식에서 총 6개 구간이 필요한 것에 비하여 검사 영역의 폭 또는 길이가 감소되어 내로우 베젤(Narrow Bezel)이 가능하게 된다.

도 4의 실시예에서, 각 인에이블 트랜지스터의 드레인 전극(446, 456, 466)은 각각 해당되는 데이터 라인 또는 데이터 패드(430)에 전기적으로 연결된다.

각 인에이블 트랜지스터의 게이트 전극은 게이트 금속 레이어에서 일정한 폭으로 길게 가로로 연장되는 게이트 전극 라인 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 해당되는 게이트 전극 라인에 인에이블 신호를 인가하면 해당되는 컬러의 인에이블 트랜지스터가 모두 동시에 ON 될 수 있게 된다.

또한, 단일 테스트 데이터 라인(480)의 일 단부에는 오토 프로브 장치의 단자와 접촉하기 위한 테스트 데이터 패드(482)가 형성되어 있다.

이러한 검사 영역을 통한 테스트 과정을 설명하면, 우선 R 화소 또는 R 화소를 위한 데이터 라인 등을 검사하기 위하여 일정한 검사 기간(T)동안 R 인에이블 트랜지스터의 게이트 전극으로 R 테스트 인에이블 신호를 인가하고, 동시에 단일 테스트 데이터 라인에는 테스트 데이터(ON 신호)를 인가한다.

그러면, 단일 테스트 데이터 라인을 통해 테스트 ON 신호가 R 인에이블 트랜지스터의 소스 전극으로 인가되고, R 인에이블 트랜지스터가 ON 된 상태이기 때문에 드레인 전극을 통해 테스트 데이터인 ON 신호가 해당되는 데이터 라인으로 인가되어, 모든 R 화소가 동시에 구동되며, 그 상태에서 화소를 검사하게 되는 것이다.

한편, 도 2 및 도 3과 같은 검사 영역 구조에서는 각 컬러별로 따로 테스트 데이터가 입력되므로 검사 기간 내내 모든 인에이블 트랜지스터가 항상 ON 되어 있어도 무방하며, 따라서 모든 인에이블 트랜지스터의 게이트 전극 라인이 하나의 패턴으로 형성될 수 있다. 즉, 도 2 및 도 3의 방식에서는, R, G, B 인에이블 트랜지스터의 게이트 전극들이 모두 전기적으로 연결될 수 있다.

그러나, 도 4의 실시예에서는 각 컬러별 검사 주기 동안 해당되는 인에이블 트랜지스터를 따로 구동하여야 하므로, R 인에이블 트랜지스터, G 인에이블 트랜지스터 및 B 인에이블 트랜지스터의 게이트 전극은 전기적으로 서로 연결되지 않아야 한다. 따라서, 도 4에서와 같이, 인에이블 트랜지스터의 게이트 전극(442, 453, 462) 라인들은 서로 이격되어 평행하게 연장 형성되어 전기적으로 연결되지 않도록 배치된다.

도 5는 본 발명의 일실시예에 의한 오토 프로브 검사 영역의 단면도로서, 도 4의 I-I’ 라인을 따라 절단한 도면이다.

도 5를 참고로 본 발명의 일실시예에 의한 오토프로브 검사 영역의 형성 공정을 설명한다.

우선 투명한 절연기판 예를 들어 유리 또는 플라스틱으로 이루어진 기판 상에 저저항 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금(AlNd), 구리(Cu), 구리합금, 몰리브덴(Mo) 및 몰리브덴 합금(MoTi) 중 하나 또는 둘 이상의 물질로 구성되는 게이트 금속재료를 기판 전면에 증착하여 제 1 금속층을 형성하고, 제 1 금속층을 포토레지스트의 도포, 포토 마스크를 이용한 노광, 노광된 포토레지스트의 현상, 제 1 금속층의 일부 식각 및 포토레지스트의 스트립(strip) 등의 일련의 단위 공정을 포함하는 마스크 공정 또는 포토리소그래피 공정을 진행하여 패터닝함으로써 R 인에이블 트랜지스터의 게이트 전극(442) 라인, G 인에이블 트랜지스터의 게이트 전극(452) 라인 및 B 인에이블 트랜지스터의 게이트 전극(462) 라인을 형성한다.

물론, 이 과정에서 동시에 각 화소영역으로 연결되는 게이트 라인(미도시)과, 구동 TFT 또는 화소 TFT의 게이트 전극이 함께 형성된다.

다음으로, 필요한 영역에 투과영역을 갖는 마스크를 위치시킨 후, 제 1 무기절연물질 예를들면 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx) 중 어느 하나를 증착함으로써 무기절연물질로 이루어진 게이트 절연층(402)을 형성한다.

물론, 게이트 절연층(402)은 도 5에서는 단일층으로 도시하였으나, 각각 다른 재료로 이루어진 2 이상의 복수층 구조를 가질 수도 있을 것이다.

다음으로, 게이트 절연층(402) 상부로 산화물 반도체 물질로서 징크 옥사이드(ZnO) 계열의 산화물 예를들면 IGZO(Indium Gallium Zinc Oxide), ZTO(Zinc Tin Oxide), ZIO(Zinc Indium Oxide) 중 어느 하나를 증착하거나 또는 도포하여 산화물 반도체 물질층을 형성하고, 상기 산화물 반도체 물질층(미도시)을 마스크 공정을 진행하여 패터닝함으로써 인에이블 트랜지스터의 게이트 전극(462) 상부에 아일랜드 형태의 활성층 또는 반도체층(463)을 형성한다.

반도체층(463)은 폴리실리콘으로 구성될 수 있으나, 이에 제한되지 않고 산화물반도체 또는 순수 및 불순물 비정질 실리콘 중 하나로 구성될 수 있다.

이후, 반도체층(463) 상부에는 콘택저항을 줄이기 위하여 오믹접촉층을 형성하고, 그 상부에 소스/드레인 전극 층을 형성한다.

더 구체적으로 설명하면, 반도체층(463) 및/또는 오믹접촉층이 형성된 이후, 구리(Cu), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 탄탈륨(Ta), 몰리브덴 합금(Mo alloy)등의 재료로 이루어지는 소스/드레인 금속층을 기판 전면에 증착하여 제 2 금속층을 형성하고, 제 2 금속층을 마스크 공정 또는 포토리소그래피 공정을 진행하여 패터닝함으로써 인에이블 트랜지스터의 소스 전극(444, 454, 464) 및 드레인 전극(446, 456, 466)과, 단일 테스트 데이터 라인(480) 및 소스 연결 배선(472, 474), 테스트 데이퍼 패드(482) 등을 동시에 형성한다.

물론, 이 과정에서 동시에 각 화소영역으로 연결되는 데이터 라인(미도시)과 데이터 패드(430) 등이 이 함께 형성될 수 있다.

즉, 도 5에서와 같이, 인에이블 트랜지스터의 소스/드레인 전극과 테스트 데이터 라인(480)이 동일한 레이어로 형성되므로, 둘을 연결하기 위하여 사용되던 종래의 컨택홀이 필요 없게 되는 것이다.

본 발명의 실시예는 액정 표시패널에만 적용되는 것은 아니며, 유기 전계 발광 표시패널, 전기 영동 디스플레이, 플라즈마 표시패널 등 모든 형태의 표시패널에 모두 적용될 수 있다.

즉, 다수의 게이트 라인(스캔 라인)과 데이터 라인(소스 라인)으로 화소가 정의된 어레이 기판을 포함하며, 그 어레이 기판 또는 화소의 전기적 특성을 검사하기 위하여 오토 프로브 공정이 수행되어야 하는 경우라면, 모든 형태의 표시패널에 모두 적용될 수 있을 것이다.

도 6은 도 2에 의한 실시예에서의 테스트 신호의 타이밍도로서 컬러별 테스트 인에이블 신호와 테스트 데이터의 타이밍도를 모두 도시한다.

도 6의 (a)와 같이, 도 2 및 도 3에 의한 오토 프로브 검사 구조에서는, 각 컬러별 검사 주기(T)동안 해당되는 컬러의 인에이블 트랜지스터의 게이트 전극에 인에이블 ON 신호를 인가하여 해당되는 인에이블 트랜지스터를 스위치 ON 시킨다. 동시에 해당 검사 주기동안 해당되는 컬러의 테스트 데이터 라인을 통해서 테스트 ON 데이터를 인가하여 해당되는 컬러의 데이터 라인으로 테스트 신호가 입력되도록 한다.

이 상태에서 게이트 라인에 게이트 출력신호를 인가하면 해당되는 컬러의 화소가 모두 구동되며, 그 화소를 검사함으로써 제 1 컬러의 화소에 대한 오토 프로브 검사 공정이 수행된다.

다음 검사 주기 동안 동일한 방식으로 다음 컬러인 제2 컬러의 화소에 대한 검사 공정이 수행된다.

한편, 도 2 및 도 3의 오토 프로브 검사 구조에서는 각 컬러의 검사 주기 동안 컬러별 테스트 데이터가 따로 인가되기 때문에, 결과적으로 인에이블 트랜지스터가 항상 ON되어 있어도 무방하다.

즉, 도 6의 (b)와 같이,R, G, B 인에이블 트랜지스터의 게이트 전극에 항상 ON 신호를 인가하여 트랜지스터를 구동시킨 상태에서, 각 컬러별 검사주기 동안 해당되는 컬러의 데스트 데이터를 입력하여 검사하면 된다는 것이다.

따라서, 도 2 및 도 3과 같은 검사 영역 구조에서는, 각 컬러별 인에이블 트랜지스터의 게이트 전극이 모두 전기적으로 서로 연결되어 있어도 무방하며, 전체 검사 공정 내내 모든 인에이블 트랜지스터가 스위칭 ON 될 수 있다.

도 7은 도 4의 실시예에서 기존의 테스트 신호 타이밍도를 이용하는 경우의 혼색 현상을 도시한다.

도 4 및 도 5와 같은 오토 프로브 검사 영역에서는 데스트 데이터 라인이 단일로 형성되므로 컬러별로 구분되는 테스트 데이터를 입력할 수 없게 된다.

따라서, 도 7과 같이, 제1 컬러(R)의 검사주기 동안 R 인에이블 트랜지스터에 R 인에이블 신호(T 동안 On 신호가 인가)가 인가되고, 동시에 그 검사 주기 동안 단일 테스트 데이터 라인을 통해 R 테스트 데이터가 인가된다. 다음 제 2 컬러(G)의 검사 주기가 되면 R 인에이블 신호는 OFF가 되고, G 인에이블 신호(ON)가 G 인에이블 트랜지스터로 입력되고, 단일 테스트 데이터 라인에는 제2 컬러인 G를 위한 테스트 데이터가 입력된다.

결과적으로, 특정한 컬러의 검사 주기 동안 해당되는 컬러의 인에이블 트랜지스터는 별도로 ON/OFF 제어되지만, 단일의 테스트 데이터 라인을 통해 입력되는 테스트 신호는 결국 항상 ON 상태로 인가되는 것이다. 즉, 도 7의 (a)와 같이 테스트 데이터는 항상 ON 신호이되 다만 각 컬러의 검사 주기별로 용도가 구분될 뿐이다.

한편, 제1 컬러의 검사 주기 동안 화소를 구동한 상태에서 제2 컬러의 검사주기로 진행하게 되면, 제 2 컬러의 검사 주기의 일정 기간동안 제1 컬러의 화소에 충전된 전하가 서서히 방전되는 현상이 발생한다.

즉, 제 2 컬러의 검사주기의 앞부분 일정 시간 동안 제1 컬러의 화소가 일부 켜져서 제1 컬러와 제2 컬러가 혼색되어 보이는 현상이 발생되며, 따라서 해당되는 컬러의 테스트가 불완전해 질 우려가 있다.

도 7의 (b)와 같이, R의 검사 주기(T)를 거쳐 G의 검사 주기(T’)로 진입하더라도 R 화소를 구동했던 전하가 서서히 방전됨으로써, R과 G가 혼색된 혼색구간(710)이 발생할 수 있다. 마찬가지로, G 검사 주기(T’) 이후의 B 검사 주기(T”) 초반에도 G와 B가 혼색된 혼색구간(720)이 발생될 수 있다.

이러한, 혼색현상을 방지하기 위하여, 도 8 과 같은 오토 프로브 검사 공정이 사용될 수 있다.

즉, 표시패널의 비표시영역에 배치되는 R 인에이블 트랜지스터, G 인에이블 트랜지스터 및 B 인에이블 트랜지스터와, 상기 인에이블 트랜지스터들의 일정 단자에 공통적으로 연결되어 테스트 테이터를 인가하는 단일 테스트 데이터 라인을 이용한 표시패널 검사방법으로서, 제1 컬러에 대한 검사 기간(T) 동안 제 1 테스트 인에이블 ON 신호를 해당되는 인에이블 트랜지스터로 인가하는 제1단계와, 검사 기간(T)의 제1구간(T1) 동안 제1 컬러에 대한 제 1 테스트 데이터의 ON 신호를 상기 단일 테스트 데이터 라인에 인가하고, 검사기간(T)의 나머지 제2구간(T2) 동안은 제 1 테스트 데이터의 OFF 신호를 상기 단일 테스트 데이터 라인에 인가하는 제2단계와, 제2 컬러에 대하여 상기 제1단계 및 제2단계를 반복하여 수행하는 제3단계를 포함할 수 있다.

또한, 제1단계에서 제 1 테스트 인에이블 ON 신호가 해당되는 인에이블 트랜지스터의 게이트 전극으로 인가되고, 상기 단일 테스트 데이터 라인을 통하여 입력된 제 1 테스트 데이터는 해당되는 인에이블 트랜지스터의 소스 전극으로 인가된다.

즉, 도 8과 같이, R 검사 기간(T) 동안 R 인에이블 트랜지스터에는 계속 R 인에이블 ON 신호를 인가하되, 단일 테스트 데이터 라인을 통한 R 테스트 데이터를 인가함에 있어서는 R 검사 기간(T)의 제1 구간(T1) 동안에는 R 테스트 데이터를 ON 으로 입력하고, 이어서 나머지 제2 구간(T2) 동안에는 R 테스트 테이터를 OFF 신호로 인가한다.

따라서, 각 컬러의 검사 기간의 후반부인 제2구간(T2) 동안 일종의 접지 또는 그라운드가 됨으로써, R 화소를 구동했던 전하들이 순간적으로 모두 방전되며, 따라서 도 7과 같은 혼색 현상이 발생하지 않게 되는 것이다.

이상과 같이, 본 발명의 일 실시예에 의하면 표시패널의 오토 프로브 검사 영역이 1개의 테스트 데이터 입력 라인만을 구비함으로써 오토 프로브 검사 영역의 폭을 감소시켜 표시패널 가장자리의 베젤 및 D-IC의 크기 등을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.

실제로, 도 2 및 도 3과 같은 오토 프로브 검사 영역에서는 3개의 인에이블 트랜지스터 영역과 3개의 테스트 데이터 라인 구간의 총 6개 구간이 포함되어 검사 영역의 폭이 약500 μm의 공간이 필요하였으나, 도 4 및 도 5 의 실시예로 검사 영역을 구현한 결과 그 폭이 약270 μm로 감소하였다. 결과적으로 오토 프로브 검사 영역의 폭이 50% 가까이 감소함을 확인하였다.

또한, 1개의 단일 테스트 데이터 입력 라인을 R, G, B의 각 컬러별 인에이블 트랜지스터의 소스 전극 및 그로의 소스 연결 배선과 동일한 레이어로 형성함으로써, 별도의 컨택홀 또는 점핑홀이 필요없어서 구조가 단순해지며, 전기적 특성이 향상되고 불량 가능성이 감소되는 효과가 있다.

또한, 단일 테스트 데이터 입력 라인을 통한 검사 공정에서 각 칼러별 테스트 데이터 사이에 일정 시간 구간의 접지 신호 또는 OFF 신호 구간을 포함시켜 테스트가 완료된 컬러의 충전 전하를 완전히 방전함으로써, 각 컬러별 테스트 과정에서의 혼색현상을 방지하는 효과가 있다.

이상에서의 설명 및 첨부된 도면은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 나타낸 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 구성의 결합, 분리, 치환 및 변경 등의 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

440, 450, 460 : R, G, B 인에이블 트랜지스터
442, 452, 462 : 게이트 전극 444, 454, 464 : 소스 전극
446, 456, 466 : 드레인 전극 472, 474 : 제1 및 제2 소스 연결 배선
480 : 단일 테스트 데이터 라인 482 : 테스트 데이터 패드

Claims (9)

1. 게이트 라인과 데이터 라인의 교차영역에 정의되는 다수의 화소를 포함하는 표시영역(A/A)과, 비표시 영역(NA)에 배치되어 화소 또는 데이터 라인의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사 영역을 포함하는 표시패널로서, 상기 검사 영역은,
   2 이상의 컬러별로 1 이상 구비되는 테스트 인에이블 스위칭 소자;
   상기 테스트 인에이블 스위칭 소자의 1개 전극에 공통적으로 연결되어 테스트 테이터를 입력하는 단일 테스트 데이터 라인;
   을 포함하는 표시패널.
2. 제1항에 있어서,
   상기 테스트 인에이블 스위칭 소자는 R 인에이블 트랜지스터, G 인에이블 트랜지스터 및 B 인에이블 트랜지스터를 포함하는 표시패널.
3. 제2항에 있어서,
   상기 R 인에이블 트랜지스터, G 인에이블 트랜지스터 및 B 인에이블 트랜지스터의 소스 전극은 소스 연결 배선을 통해 상기 단일 테스트 데이터 라인과 전기적으로 연결되는 표시패널.
4. 제3항에 있어서
   상기 소스 연결배선은 제1컬러의 인에이블 트랜지스터의 소스 전극과 제2컬러의 인에이블 트랜지스터의 소스 전극을 연결하는 제1 소스 연결배선과, 최외곽 컬러의 인에이블 트랜지스터의 소스 전극과 상기 단일 테스트 데이터 라인을 연결하는 제 2 소스 연결배선을 포함하는 표시패널.
5. 제2항에 있어서,
   상기 R 인에이블 트랜지스터, G 인에이블 트랜지스터 및 B 인에이블 트랜지스터 각각은 각 컬러별 테스트 인에이블 신호가 인가되는 게이트 전극과, 상기 단일 테스트 데이터 라인에 전기적으로 연결되는 소스 전극과, 해당되는 데이터 라인에 전기적으로 연결되는 드레인 전극을 포함하는 표시패널.
6. 제5항에 있어서,
   상기 R 인에이블 트랜지스터, G 인에이블 트랜지스터 및 B 인에이블 트랜지스터의 게이트 전극은 전기적으로 서로 연결되지 않는 표시패널.
7. 표시패널의 비표시영역에 배치되는 R 인에이블 트랜지스터, G 인에이블 트랜지스터 및 B 인에이블 트랜지스터와, 상기 인에이블 트랜지스터들의 일정 단자에 공통적으로 연결되어 테스트 테이터를 인가하는 단일 테스트 데이터 라인을 이용한 표시패널 검사방법으로서,
   제1 컬러에 대한 검사 기간(T) 동안 제 1 테스트 인에이블 ON 신호를 해당되는 인에이블 트랜지스터로 인가하는 제1단계;
   상기 검사 기간(T)의 제1기간(T1) 동안 상기 제1 컬러에 대한 제 1 테스트 데이터의 ON 신호를 상기 단일 테스트 데이터 라인에 인가하고, 검사기간(T)의 나머지 제2기간(T2) 동안은 상기 제 1 테스트 데이터의 OFF 신호를 상기 단일 테스트 데이터 라인에 인가하는 제2단계;
   제2 컬러에 대하여 상기 제1단계 및 제2단계를 반복하여 수행하는 제3단계;를 포함하는 표시패널 검사 방법.
8. 제7항에 있어서,
   상기 제1단계에서 제 1 테스트 인에이블 ON 신호가 해당되는 인에이블 트랜지스터의 게이트 전극으로 인가되고, 상기 단일 테스트 데이터 라인을 통하여 입력된 제 1 테스트 데이터는 해당되는 인에이블 트랜지스터의 소스 전극으로 인가되는 표시패널 검사 방법.
9. 제7항에 있어서,
   상기 제2기간(T2) 동안 제1 컬러에 대응되는 화소 충전 전하가 방전되어 상기 제3단계에서 상기 제2 컬러와 혼색되지 않는 표시패널 검사 방법.

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