KR20160085041A - Fine circuit board and its manufacturing method - Google Patents

Fine circuit board and its manufacturing method Download PDF

Info

Publication number
KR20160085041A
KR20160085041A KR1020150001897A KR20150001897A KR20160085041A KR 20160085041 A KR20160085041 A KR 20160085041A KR 1020150001897 A KR1020150001897 A KR 1020150001897A KR 20150001897 A KR20150001897 A KR 20150001897A KR 20160085041 A KR20160085041 A KR 20160085041A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
circuit board
master mold
resin
epoxy resin
mold
Prior art date
Application number
KR1020150001897A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102412346B1 (en
Inventor
성낙훈
Original Assignee
성낙훈
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 성낙훈 filed Critical 성낙훈
Priority to KR1020150001897A priority Critical patent/KR102412346B1/en
Publication of KR20160085041A publication Critical patent/KR20160085041A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102412346B1 publication Critical patent/KR102412346B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0277Bendability or stretchability details
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/107Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern by filling grooves in the support with conductive material

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

The present invention relates to a circuit board having a microcircuit and a manufacturing method thereof. The present invention manufactures and uses a master mold on which the microcircuit is formed via a concave part and a convex part from an electroforming mold having the microcircuit formed via the concave part and the convex part. The master mold of the present invention is manufactured by a fluoroplastic material. According to the present invention, the concave part of the master mold is filled with silver paste, and the silver paste is hardened through a heating apparatus. Then, an epoxy resin is applied to the surface part of the convex part of the master mold and the exposed surface part of the hardened silver paste. A polyimide film is bonded to an upper part of the epoxy resin. After hardening the epoxy resin, the circuit board having a microcircuit is manufactured by separating the master mold. Thereby, the circuit board having a microcircuit can be manufactured by a simple method with excellent productivity.

Description

미세회로 기판과 그 제조방법{Fine circuit board and its manufacturing method}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a micro-

본 발명은 기판에 회로를 형성하는 방법과 그에 의한 회로기판에 대한 것이다. The present invention relates to a method of forming a circuit on a substrate and a circuit board therefor.

기판은 플렉시블한 것과 휘지 않는 형태를 모두 포함한다.The substrate includes both flexible and non-flexible forms.

일반적으로 플렉시블한 것을 FPCB라 칭한다. 휘지 아니하는 회로기판을 PCB라 칭한다.Generally, a flexible one is called an FPCB. A circuit board that is not bent is called a PCB.

본 발명의 회로기판은 실버페이스트를 경화하여 회로부로 구성을 한다. 경화된 실버페이스트를 회로로 구성하는 기술은 다양하게 존재한다. 기판에 어떤 방법으로 경화된 실버페이스트를 접합시키는지가 중요하다.The circuit board of the present invention is constituted by a circuit portion by curing a silver paste. There are various techniques for constituting a cured silver paste by a circuit. It is important how the cured silver paste is bonded to the substrate in some way.

또한 어떠한 방법으로 실버페이스트를 회로로 구성시키는가도 중요하다. 이러한 공법에 따라서 제품의 질과 생산성을 현격하게 달라진다. 본 발명은 경화되어진 실버페이스트 회로를 금형에서 먼저 제작한 후, 상기 경화된 실버페이스트 회로부를 기판에 접합시키는 방법을 선택한다.It is also important how the silver paste is constructed in a circuit. According to this method, the quality and productivity of the product are significantly changed. The present invention selects a cured silver paste circuit first in a mold and then joins the cured silver paste circuit to the substrate.

이와 같은 동일한 과정으로 제작을 한다 하더라도, 어떤 금형을 사용하느냐에 따라서 제품의 품질이 결정될 뿐만 아니라, 같은 공정을 밟는다 하더라도 금형의 성격에 따라서 제품의 제작이 불가능할 수가 있다. 본 발명은 가장 생산성이 있고 정밀한 회로기판을 제작하는 방법을 제공한다.
Even if the same process is used, not only the quality of the product is determined according to which mold is used, but even if the same process is performed, the product may not be manufactured depending on the nature of the mold. The present invention provides a method for fabricating a circuit board that is most productive and precise.

일반적으로 회로를 만들기 위하여서는, 기판에 얇게 동 박막이 형성된 것을 사용한다. 상기 동박막의 위에 포토리지스트를 도포하고, 노광과 현상 및 에칭을 통하여 미세회로를 제작한다.Generally, in order to make a circuit, a thin copper film is formed on a substrate. A photoresist is coated on the copper thin film, and a fine circuit is formed through exposure, development, and etching.

실버페이스트를 충진하여 미세회로를 만드는 기술로는, 기판에 음각을 형성하고, 상기 음각부에 실버페이스트를 충진하여 회로를 만드는 기술이 공지되어져 있다.Techniques for making a fine circuit by filling a silver paste include a technique of forming a depressed portion on a substrate and filling the depressed portion with a silver paste to form a circuit.

본 발명은 종래의 이러한 기술을 바탕으로 발명이 되었다.The present invention has become an invention on the basis of this conventional technique.

본 발명은 금형에 회로부를 형성하고, 상기 회로부를 금형내에서 다른 기판에 접합을 시키고, 기판과 기판에 접합된 회로부를 금형으로부터 탈형을 시키는 공법을 제시한다.The present invention proposes a method of forming a circuit portion in a mold, joining the circuit portion to another substrate in the mold, and releasing the circuit portion bonded to the substrate from the mold.

이러한 작업을 위하여, 금형을 이형성이 탁월한 테프론 수지로 제작을 하며, 회로부는 테프론 수지 금형의 음각부에 실버페이스트를 충진하여 형성한다.For this work, the mold is made of Teflon resin with excellent releasability, and the circuit part is formed by filling the engraved part of Teflon resin mold with silver paste.

본 발명에서 기판은 화학적으로 안정성이 큰 폴리이미드 필름을 사용하며, 상기 회로부를 에폭시수지를 통하여 실버페이스트와 접합시킨다.In the present invention, a polyimide film having high chemical stability is used as a substrate, and the circuit portion is bonded to the silver paste through an epoxy resin.

회로부가 에폭시 수지를 통하여 기판에 견고히 결합된 후에는 금형을 분리시킨다.
After the circuit part is firmly bonded to the substrate through the epoxy resin, the mold is separated.

본 발명에서는 미세한 회로기판을 종래의 에칭방법에 의하여 하지 않고, 생산성이 뛰어나며 초정밀 미세 회로기판을 만들 수가 있도록 한다. In the present invention, a fine circuit board is not produced by a conventional etching method, and an ultra-precision micro circuit board having excellent productivity can be produced.

회로기판이 플렉시블한 경우에 흔히 FPCB라 칭한다.When the circuit board is flexible, it is often referred to as FPCB.

본 발명은 FPCB를 포함할 뿐만 아니라, 기판이 휘지아니하는 견고한 기판의 제작에도 적용이 됨은 물론이다. 에칭공정으로 FPCB를 제작할 경우, 매 제품마다 여러 가지의 공정이 반드시 필요가 되어진다.It goes without saying that the present invention is applicable not only to the FPCB but also to the manufacture of a rigid substrate without bending the substrate. When an FPCB is manufactured by an etching process, various processes are necessarily required for each product.

구리 박막이 형성된 기판에 포토리지스를 균일하게 도포한다. 그 후 노광작업을 통하여 패턴의 형상대로 노광부를 형성한다. 그 후 현상작업과 에칭공정을 통하여 필요로 하는 회로기판을 제작한다.The photoresist is uniformly applied to the substrate on which the copper thin film is formed. Thereafter, an exposure unit is formed in the shape of the pattern through an exposure operation. Then, a necessary circuit board is manufactured through a developing operation and an etching process.

본 발명은 이러한 노광 현상 에칭 공정을 거치지 않고, 회로부로 만들어진 실버페이스트를 기판에 접착시키는 방법으로 미세회로 기판을 제작하게 한다. 본 발명에서 중요한 점은 실버페이스트의 회로부를 깨끗하고 균일하게 정밀하게 형성할 수가 있다는 것이다.The present invention allows a microcircuit substrate to be manufactured by a method of adhering a silver paste made of a circuit part to a substrate without going through such an exposure development etching process. An important point of the present invention is that the circuit portion of the silver paste can be formed precisely, cleanly, and uniformly.

일반적으로 실버페이스트를 사용하여 회로를 구성할 경우, 프린트 방법을 통하여 회로를 구성한다. 그러나 본 발명에서는 금형의 오목부에 실버페이스트를 충진하여 금형의 형태대로 회로부를 구성하는 것이 특징이다.Generally, when a circuit is formed using a silver paste, a circuit is formed by a printing method. However, the present invention is characterized in that the recess is filled with a silver paste to form a circuit part in the form of a mold.

금형의 오목부에만 실버페이스트가 충진되고, 다른 부위에는 실버페이스트가 전혀 묻어 있지 않도록 하는 것이 본 발명의 핵심기술이 된다. 이를 위하여 본 발명에서는 테프론 수지로 만들어진 마스타금형을 사용한다. It is a core technology of the present invention that only silver paste is filled in the concave portion of the mold and no silver paste is applied to other portions. For this purpose, a master mold made of Teflon resin is used in the present invention.

테프론 수지 금형의 특성중의 하나는 탁월한 이형성을 들 수가 있다. 테프론 수지 금형에 있어서, 오목부를 제외한 면을 경면으로 만든 것도 필요하다. 테프론 수지의 탁월한 이형성을 바탕으로, 경면으로 만들어진 금형의 표면에는 실버페이스트를 묻더라도, 한번 스퀴즈로 훑게 되면 실버페이스트가 깨끗하게 제거가 된다. One of the characteristics of the Teflon resin mold is its excellent releasability. In the Teflon resin mold, it is also necessary to make the surface except for the concave portion a mirror surface. Based on the excellent releasability of the Teflon resin, even if silver paste is applied to the surface of the mirror-finished mold, the silver paste is cleanly removed once it is squeezed.

또한 실버페이스트를 가열하여 경화시킨 후, 테프론 수지 금형으로부터 분리하여 낼 때, 탈형이 극히 용이한 것이 특징이다.Further, it is characterized in that the silver paste is hardened by heating, and then separated from the Teflon resin mold.

양산으로 제품을 생산하기 위해, 반복적으로 작업을 실시할 수가 있는 특징이 있다. 실버페이스트의 회로선폭은 1 마이크로미터수준으로 얼마든지 제작이 가능하다. 마스타금형의 정밀도를 정밀하게 하더라도 제품의 정밀도를 마스타금형의 정밀도에 얼마든지 대응이 가능하다. In order to produce products by mass production, there is a characteristic that it can be repeatedly performed. The line width of the silver paste can be as much as 1 micrometer. Even if the precision of the master mold is precise, the accuracy of the product can be matched to the precision of the master mold.

또한 마스타금형의 오목부를 깊게 하면, 실버페이스트로 구성되는 회로의 두께가 두껍게 할 수가 있다. 따라서 본 발명으로 만들어지는 미세회로기판은 통전성을 탁월하게 높일 수가 있게 된다.
Further, if the concave portion of the master die is deepened, the thickness of the circuit composed of the silver paste can be increased. Therefore, the microcircuit substrate made of the present invention can excellently increase the conductivity.

본 발명은 이형층이 형성되거나, 이형성이 있는 소재로 형성된 금형을 사용한다. 금형에는 오목부를 구비한다. The present invention uses a die formed of a material having a releasing layer or a releasing property. The mold is provided with a recess.

상기 금형의 오목부에만 실버페이스트를 충진하며, 충진 후 가열하여 실버페이스트를 경화시킨다. 상기 경화된 실버페이스트를 갖는 이형성 금형과 기판을 접착성 수지를 통하여 접합시킨다. 상기 접착성 수지가 완전히 경화가 되었을 때, 탈형시킨다.Only the concave portion of the mold is filled with a silver paste, and after filling and heating, the silver paste is cured. The releasable mold having the cured silver paste is bonded to the substrate through an adhesive resin. When the adhesive resin is completely cured, it is demolded.

기판에는 실버페이스트가 접착제에 의하여 견고히 결합되어져 있다. Silver paste is firmly bonded to the substrate by an adhesive.

기판에 형성된 실버페이스트의 회로와 회로 사이에 있는 공간부를 매우는 공정을 통하여 더욱 견고한 회로를 구성할 수도 있다. 이를 위하여서, 기판에 형성된 실버페이스트와 실버페이스트로 형성되는 오목부에 다시 수지를 충진시키어 경화시킨다. The circuit of the silver paste formed on the substrate and the space between the circuits can be formed by a very rigid circuit. To this end, a concave portion formed of a silver paste and a silver paste formed on a substrate is filled with a resin and cured.

이 같은 공정을 통하여 회로가 매립된 형태를 가지게 한다. 매립된 회로는 기판에 결합력이 견고하여 기판으로부터 탈락되는 일이 없게된다.
Through such a process, the circuit is buried. The buried circuit is firmly coupled to the substrate and is not separated from the substrate.

본 발명 경제적은 정밀한 회로기판을 양산할 수가 있다.The present invention can economically produce a precise circuit board.

초정밀한 회로기판의 제작에 있어서, 기존의 공법에서는 노광 현상 에칭의 공정이 필수적이었다.In the fabrication of an ultra-precise circuit board, a process of exposure and development etching is essential in the existing method.

그러나 본 발명에서는 불소수지로 제작된 마스타금형에서 회로부를 간단한 방법으로 제작을 한다.However, in the present invention, a circuit part is formed by a simple method in a master mold made of a fluororesin.

물론 기판의 소재는 다양한 소재를 사용을 할 수가 있다. 가장 보편적으로 FPCB에서 사용이 되는 폴리이미드 필름을 사용할 수가 있음은 물론이다.Of course, the substrate material can be made of various materials. Of course, polyimide films that are most commonly used in FPCB can be used.

폴리이미드 필름은 화학적으로 안정되며, 내구성이 검정되어진 소재이다.The polyimide film is chemically stable and durable.

본 발명에 의하여 제작이 되는 폴리이미드 필름을 기판으로 하는 FPCB제품은 평탄도를 유지할 수가 있는 장점이 있다.The FPCB product using the polyimide film produced by the present invention as a substrate is advantageous in that flatness can be maintained.

마스타금형에 액상의 폴리이미드 수지를 도포시키고, 폴리이미드 수지를 경화시켜서 기판으로 사용하고자 할 경우, 통상 가열에 의하여 폴리이미드 기판에 휨이 생기는 현상이 발생한다. When a liquid polyimide resin is applied to a master mold and the polyimide resin is cured to be used as a substrate, there is a phenomenon that the polyimide substrate is warped by heating.

본 발명은 이러한 휨(컬링현상)을 방지하기 위하여, 이미 폴리이미드 필름으로 제작이 된 필름을 에폭시 수지로 접합시키는 공법을 채택한다.In order to prevent such warping (curling phenomenon), the present invention adopts a method in which a film already made of a polyimide film is bonded to an epoxy resin.

이 경우에는 컬링현상이 방지가 된다.
In this case, the curling phenomenon is prevented.

도 1은 모형금형에 대한 설명도이다.
도 2, 도 3은 마스타 금형의 설명도이다.
도 4는 마스타금형에 실버페이스트를 충진하는 것을 설명하는 설명도이다.
도 5는 기판과 경화된 실버페이스트를 접착제를 통하여 결합시키는 것을 설명하는 설명도이다.
도 6은 마스타금형으로부터 탈형시킨 회로기판을 설명한다.
도 7은 매립형 회로기판을 제작하는 것을 설명하는 설명도이다.
도 8은 매립형 회로기판의 연마공정을 설명하는 설명도이다.
도 9는 완전매립형 회로기판에 대한 설명도이다.
도 10, 도 11은은 개구부를 형성한 완전매립형 회로기판의 설명도이다.
도 12는 탈형을 용이하게 하기 위한 테이퍼 구조에 대한 설명도이다.
1 is an explanatory diagram of a mold die.
Figs. 2 and 3 are explanatory views of a master die.
Fig. 4 is an explanatory diagram for explaining filling a master mold with a silver paste. Fig.
Fig. 5 is an explanatory diagram for explaining bonding of a substrate and a cured silver paste through an adhesive. Fig.
Fig. 6 illustrates a circuit board demolded from a master mold.
7 is an explanatory view for explaining the production of a buried circuit board.
8 is an explanatory view for explaining a polishing process of a buried circuit board.
9 is an explanatory diagram of a fully buried circuit board.
Figs. 10 and 11 are explanatory diagrams of a fully buried type circuit board on which openings are formed. Fig.
12 is an explanatory diagram of a taper structure for facilitating demoulding.

도 1은 모형금형에 대한 설명도이다.1 is an explanatory diagram of a mold die.

본 발명에서는 모형금형은 마스타금형을 제작하기 위한 금형으로 정의한다.In the present invention, a model mold is defined as a mold for manufacturing a master mold.

본 발명에서 모형금형은 전주가공 또는 레이저 가공에 의하여 가공이 된다. In the present invention, a model die is processed by electroforming or laser processing.

전주가공을 통하여 제작한다는 것은, 통전되는 기판에 포토리지스트를 도포한 하고, 상기 포토리지스트에 패턴을 통한 노광작업을 시행한다. 상기 노광작업 이후에는 현상공정을 거치며, 상기 현상공정 후에는 도금을 두텁게 실시한다.In the case of manufacturing through electroforming, a photoresist is coated on a substrate to be energized, and exposure is performed on the photoresist through a pattern. After the exposure process, a development process is performed, and after the development process, plating is performed thickly.

상기 두터운 도금체를 기판으로부터 탈형하여 제작되어 얻어지는 것이 전주가공을 통하여 제작되는 모형금형이 된다. The mold is manufactured by demolding the thick plated body from the substrate and is obtained through electroforming.

모형금형의 표면은 오목부(2)와 볼록부(1)가 형성되어 진다.The surface of the model die is formed with the concave portion 2 and the convex portion 1.

초정밀한 미세회로를 구성하기 위하여서는 수 마이크로미터의 선폭을 갖는 오목부와 볼록부의 구성이 필수적이다. In order to construct an ultra-fine microcircuit, the configuration of the concave portion and the convex portion having a line width of several micrometers is essential.

상기 오목부와 볼록부에 의하여 미세한 회로가 구성이 되게 된다.The concave portion and the convex portion constitute a fine circuit.

본 발명에서는 오목부와 볼록부의 크기를 조절하여, 초정밀한 회로부를 구성할 수가 있도록 한다. 회로부의 선폭의 크기는 1 마이크로미터에서 수 십 마이크로미터로 하며, 회로부의 깊이는 수 마이크로미터에서 수 십 마이크로미터에 이르도록 한다.According to the present invention, the sizes of the concave portion and the convex portion are adjusted, thereby making it possible to construct a highly precise circuit portion. The line width of the circuit portion is from 1 micrometer to several tens of micrometers, and the depth of the circuit portion is several micrometers to tens of micrometers.

이러한 정밀한 오목부와 볼록부를 형성하기 위하여서는, 스테인레스 평판과 같은 도전성 평판에 포토리지스트를 균일하게 도포하고, 포토마스크를 사용하여 포토리지스트에 노광 및 현상을 하고, 현상 후 도금공정을 행하는 전주가공물을 만든다. In order to form such fine concave portions and convex portions, a photoresist is uniformly applied to a conductive flat plate such as a stainless flat plate, exposure and development are performed on the photoresist using a photomask, Make the workpiece.

감광층의 두께가 회로부의 두께와 일치하게 된다.The thickness of the photosensitive layer coincides with the thickness of the circuit part.

이 전주가공물이 모형금형이 된다. This prismatic work becomes a model mold.

이때, 감광층을 노광시킴에 있어서, 감광층을 테이퍼 지게 노광을 시킴으로 전주가공물이 용이하게 탈형되도록 하는 것이 바람직하다.At this time, in exposing the photosensitive layer, it is preferable that exposure of the photosensitive layer is tapered to easily demould the poling workpiece.

전주가공물이 용이하게 탈형이 된다는 것은 이후의 마스타금형이 용이하게 탈형이 되는 것을 의미하며, 이는 후술할 경화되어진 실버페이스트의 탈형이 용이하다는 것을 의미한다.The fact that the electroformed workpiece is easily demoulded means that the following master mold can easily be demolded, which means that it is easy to demold the hardened silver paste to be described later.

이와같이 감광층을 테이퍼지게 노광을 시키는 것은 핵심기술의 하나이다. 이같이 테이퍼지게 노광을 시키는 것을 노광기의 기능에 달려져 있다. The tapered exposure of the photosensitive layer is one of the key technologies. Such a tapered exposure is dependent on the function of the exposure device.

테이퍼진 것에 대한 것은 도 12를 참고로 설명을 하겠다.The taper will be described with reference to FIG.

도전성 기판(31)에 포도리지스터(29)가 테이퍼 진 형상으로 노광이 되게 한다.And causes the conductive substrate 31 to be exposed in a tapered shape.

공간부는 역테이퍼(30)의 형상으로 구성된다.The space portion is configured in the shape of a reverse taper (30).

도전체(33)에 전기를 통전시키어 도금을 실행하면, 공간부에 채워진 전주도금체(32)는 역테이퍼의 형상을 제작이 된다. When the electric conductor 33 is electrically energized to perform plating, the electroformed plated body 32 filled in the space portion is formed into a reverse taper shape.

전주도금이 완성되면, 전주가공물(34)을 도전성 기판(35)으로부터 탈형을 시킨다. 이때, 테이퍼가 있음으로 인하여 탈형이 용이하게 된다.When electroplating is completed, the electrophotographic workpiece 34 is demolded from the electroconductive substrate 35. At this time, demoulding can be facilitated due to the presence of the taper.

본 발명에서는 이같이 탈형을 용이하게 하도록 테이퍼 진 오목부와 볼록부를 형성하는 것이 본 발명의 핵심기술의 하나로 한다.In the present invention, one of the core technologies of the present invention is to form the tapered concave portion and the convex portion to facilitate the demoulding.

본 발명에서는 이러한 테이퍼진 노광을 행하기 위하여 본 발명인이 발명한 렌티큐라를 이용한 선광원 노광기를 사용하면 용이하게 테어퍼진 노광을 시킬 수가 있다.In the present invention, in order to perform such a tapered exposure, the touched exposure can be easily performed by using the linear light source exposing apparatus using the lenticular according to the present invention.

모형금형을 제작함에 있어서, 또다른 실시예로서는 레이저 가공을 들 수가 있다. 그러나 레이저 가공을 할 경우에는 테이퍼진 회로부를 제작하는 것이 용이하지 않다.In manufacturing the model mold, another embodiment is laser processing. However, it is not easy to manufacture a tapered circuit part when performing laser processing.

가공방법으로서는 레이저 가공을 통하여 수 마이크로미터의 회로부의 선폭을 가공할 수가 있는 것이다.As a processing method, a line width of a circuit part of several micrometers can be processed through laser processing.

일반적으로 이러한 미세 정밀한 모형금형(3)은 도금에 의한 전주가공물이거나 금속기판에 레이저로 가공을 하는 것이 일반적이므로, 본 발명에서 모형금형은 금속금형이 된다.
In general, such fine precise mold 3 is a polished electroforming work or a metal substrate is processed by a laser, so that the mold is a metal mold in the present invention.

도 2, 도 3은 마스타 금형의 설명도이다.Figs. 2 and 3 are explanatory views of a master die.

도 1에서 설명한 모형금형으로부터 복제되는 금형을 만들 수가 있다. It is possible to make a mold replicated from the mold die described in Fig.

모형금형(6)에 액상의 수지를 부어서 마스타금형(4)를 제작할 수가 있다.The master mold 4 can be manufactured by pouring the liquid resin into the mold die 6.

또는 모형금형에 필름 형태로 만들어진 수지 필름 또는 평판의 형태로 만들어진 수지판재에 열을 가열하여 프레스를 통하여 수지로 제작이 되는 마스타금형을 만들 수가 있다.Alternatively, a master mold made of a resin can be produced by heating a heat to a resin plate made in the form of a resin film or a flat plate made of a film in a mold.

본 발명에서의 가장 대표적인 실시예로는, 전주가공에 의한 모형금형에 평판형태의 테프론 수지로 형성된 판재를 놓고, 가열 및 가압하여 성형한다. As a most typical embodiment of the present invention, a sheet material formed of a Teflon resin in the form of a flat plate is placed on a model die by electroforming, and the sheet is molded by heating and pressing.

성형이 마치면 냉각 후 탈형을 하게 되면, 정밀하게 모형금형의 형상을 복제한 마스타금형이 만들어 진다.Once the molding is finished, if the mold is demolded after cooling, a Master mold is produced, which replicates the shape of the mold precisely.

또 다른 실시예로서는 필름 형태의 테프론 수지를 사용하고, 상기 필름에는 평판의 형태를 유지하도록 하기 위하여, 금속판재 등의 보강재를 구성하여 가공을 할 수가 있다. As another embodiment, a Teflon resin film may be used, and a reinforcing material such as a metal plate may be formed and processed to maintain the shape of the flat plate.

수지로 만드는 것 중에서 테프론 수지로 마스타금형을 만드는 이유로는 탈형의 용이함을 위한 이유가 가장 크다. 테프론 수지는 이형성이 탁월하여, 상기 테프론 수지로 만든 마스타금형에는 실버페이스트가 접착이 되지 못한다.The reason for making a master mold with Teflon resin among the ones made of resin is the greatest reason for ease of demoulding. The Teflon resin is excellent in releasability, and the silver paste can not be adhered to the master mold made of the Teflon resin.

또한 상기 테프론 수지의 마스타금형에는 접착제로 사용되는 에폭시 수지가 접착력을 발휘할 수가 없다는 점을 본 발명에서 이용을 하는 것이다.It is to be noted that the epoxy resin used as an adhesive in the master mold of the Teflon resin can not exert an adhesive force in the present invention.

본 발명에서의 또다른 실시예로는 금속으로 구성되는 마스타금형을 사용할 수가 있다. 이 경우에는 상기 금속의 마스타 금형에 이형층을 형성하여야 한다.As another embodiment of the present invention, a master die made of metal can be used. In this case, a release layer should be formed on the master mold of the metal.

이형층을 형성하기 위하여서는 이형제를 코팅하거나 이형물질을 도포하여야 한다.In order to form the releasing layer, a releasing agent should be coated or a releasing material should be applied.

본 발명에서는 모형금형으로부터 다수개의 마스타금형을 복제하여 제작을 할 수가 있다. 이 같이 모형금형으로부터 복제되어진 금형을 다수 개를 제작할 수가 있는데, In the present invention, a plurality of master molds can be duplicated from a model mold to produce the master mold. In this way, a plurality of molds replicated from the molds can be produced.

본 발명에서는 이를 마스타금형이라 칭한다. In the present invention, this is referred to as master mold.

모형금형(6)의 오목부가 마스타금형(4)의 볼록부(5)가 되며, 모형금형의 볼록부는 마스타금형의 오목부가 된다.The concave portion of the model mold 6 becomes the convex portion 5 of the master mold 4 and the convex portion of the model mold becomes the concave portion of the master mold.

마스타금형을 사용하여 제품을 만들 경우, 금형으로부터 탈형이 되는 제품이 마스타금형으로부터 잘 떨어져 나오는 것이 중요하다.When making a product using master mold, it is important that the product to be demolded from the mold comes off well from the master mold.

이러한 탈형을 위하여서 마스타금형의 표면에 이형층을 형성하거나 이형을 위한 코팅을 통하여 탈형이 용이하게 할 수가 있다. For this demolding, a release layer may be formed on the surface of the master mold or a coating for release may be used to facilitate demoulding.

마스타금형을 만드는 소재는 금속이나 다양한 형태의 수지를 사용할 수가 있다.The master mold can be made of metal or various types of resin.

본 발명의 실시예로서는 테프론 수지를 사용한 것을 들 수가 있다. Examples of the present invention include those using a Teflon resin.

테프론 수지로 마스타금형을 제작하게 되면, 테프론 수지 금형 자체가 이형성이 뛰어나다. 이 경우에는 마스타금형에 이형층이나 이형을 위한 코팅이 필요가 없게 된다. 모형금형으로부터 탈형시킨 것이 도 3의 마스타금형(7)이 된다.When a master mold is made of Teflon resin, the Teflon resin mold itself is excellent in releasability. In this case, there is no need for a mold release layer or coating for mold release on the master mold. The master mold 7 shown in Fig. 3 is deformed from the model die.

도 4는 마스타금형에 실버페이스트를 충진하는 것을 설명하는 설명도이다.Fig. 4 is an explanatory diagram for explaining filling a master mold with a silver paste. Fig.

테프론 수지로 만든 마스타금형의 실시예를 중심으로 설명을 한다.The embodiment of the master mold made of Teflon resin will be mainly described.

본 발명에서 사용이 되는 테프론수지 또는 불소수지에 대하여 상술한다.The Teflon resin or the fluororesin used in the present invention will be described in detail.

테프론수지는 일반 플라스틱류보다 우수한 특성을 가지고 있으며, 일반 플라스틱에 비하여 내열성,내약품성,내저온성,전기절연성,고주파특성이 등이 매우 뛰어나며, 비점착성과 저마찰 특성도 갖추고 있다. Teflon resin is superior to general plastics and has superior heat resistance, chemical resistance, low temperature resistance, electrical insulation, and high frequency characteristics compared to general plastics. It also has non-tackiness and low friction characteristics.

불소수지는 불소수지 원료를 사용하여 압축, 압출 성형하여 여러 종류의 소재 제작이 가능하다.Fluorine resins can be made into various types of materials by compression and extrusion molding using fluororesin raw materials.

테프론 수지 표면 위에는 거의 모든 물질이 달라붙지 않는 특징이 있다. On the surface of the Teflon resin, almost all materials do not stick together.

불소수지의 융점은 제품 종류에 따라서 다르나 270도에서 327도 사이의 범주이다. The melting point of fluoropolymer varies from 270 ° C to 327 ° C depending on the product type.

테프론은 -260도씨에서 +260도씨까지 사용할 수 있으며 단시간 사용의 경우 300도씨에서도 견디어 내며 TEFLON FEP는 232도씨에서 연속사용이 가능하다.Teflon can be used at -260 degrees Celsius to +260 degrees Celsius, and it can stand at 300 degrees Celsius for a short time, and TEFLON FEP can be used continuously at 232 degrees Celsius.

테프론 표면에는 물이나 기름이 잘 묻지 않는다. 따라서 표면이 오염되지 않을 뿐만 아니라 쉽게 청소할 수 있다. 테프론의 마찰계수는 일반적으로 속도, 부하에 따라 약간씩 차이가 있지만 약 0.5~0.20이다. 테프론은 일반적으로 모든 화학제품에 안정성을 보여준다. 테프론은 광역의 주파수내에서도 매우 높은 전기적 특성을 가지고 있다. 비절연성은 물론 우수한 표면 저항율을 갖는다. 극히 낮은 온도에서도 그 물리적 특징이 변하지 않고 유지된다. 테프론은 영하 260도씨의 낮은 온도에서도 사용된다. Teflon surface does not get wet with oil or oil. Thus, the surface is not only contaminated but also easily cleaned. The coefficient of friction of Teflon is generally about 0.5 ~ 0.20 although it varies slightly depending on speed and load. Teflon is generally stable for all chemicals. Teflon has very high electrical properties even in a wide frequency range. It has a non-insulating property as well as an excellent surface resistivity. Its physical characteristics remain unchanged even at extremely low temperatures. Teflon is used at temperatures as low as -260 degrees Celsius.

본 발명에서의 테프론 수지로 만든 마스타 금형은 일반 금형에 테프론 코팅을 행한 것으로 용이하게 대체를 할 수가 있다. 따라서 본 발명의 테프론 수지 금형은 테프론코팅 금형이라는 단어로 대체가 가능하며, 이것 역시 본 발명의 청구대상으로 한다.The master mold made of the Teflon resin in the present invention can be easily replaced by Teflon coating the general mold. Therefore, the Teflon resin mold of the present invention can be replaced with the Teflon coated mold, which is also claimed in the present invention.

본 발명에서는 먼저, 테프론 수지로 만들어진 마스타금형의 오목부에 실버페이스트(8)를 충진한다.In the present invention, first, a silver paste 8 is filled in a concave portion of a master mold made of Teflon resin.

스퀴즈(9)를 통하여 실버페이스트(10)는 마스타금형의 오목부에만 들어가게 한다.The silver paste 10 is allowed to enter only the concave portion of the master mold through the squeeze 9.

테프론 수지로 만든 마스타 금형의 볼록부의 평면이 깨끗하고, 경면이 되어질수록 볼록부에 묻어 있는 실버페이스트의 제거는 용이하여 진다.The surface of the convex part of the master mold made of Teflon resin is clean, and the more easily the mirror surface is made, the easier it is to remove the silver paste on the convex part.

마스타 금형의 볼록부의 평면이 깨끗하고, 경면이 되면 스퀴즈로 한번 훑어 지나가더라도 볼록부의 평면에 묻은 실버페이스트는 깨끗하게 제거가 된다.The surface of the convex portion of the master mold is clean, and when it becomes a mirror surface, the silver paste on the flat surface of the convex portion is cleanly removed even if it is squeezed once by the squeeze.

이것은 본 발명에 있어서 대단히 중요한 기술이 된다.This is a very important technique in the present invention.

이형층이 형성된 마스타금형 또는 테프론 수지 마스타금형에서는, 마스타금형의 볼록부에 묻어진 실버페이스트는 스퀴즈에 의하여 용이하게 제거된다.In the master mold or the Teflon resin master mold having the release layer formed, the silver paste embedded in the convex portion of the master mold is easily removed by squeezing.

오목부에 충진된 실버페이스트는 가열하여 경화시킨다.The silver paste filled in the recess is cured by heating.

경화되어진 실버페이스트는 전기가 통하는 회로부의 역할을 하게 된다.The cured silver paste serves as a circuit for electricity.

실버페이스트가 경화된 이후에, 마스타금형의 볼록수의 상부와 실버페이스트의 상부면을 연마한다. After the silver paste is cured, the upper surface of the convex water of the master mold and the upper surface of the silver paste are polished.

불소수지의 마스타금형의 볼록부의 표면부에 스퀴즈로 정리된 실버페이스트가 조금은 미소하게 남아있을 수가 있다. 이같이 잔존되어진 미소의 실버페이스트는 경화되어진 후에는 볼록부의 표면부에 어떤 결합력이 없이 그냥 엊혀져 있는 상태가 된다.A silver paste arranged by squeezing on the surface portion of the convex portion of the master mold of the fluorine resin may remain a little small. The silver pastes remaining as such remain in a state in which they are not tacked to the surface portion of the convex portion without any binding force after being cured.

이를 입도가 극히 미세한 연마제를 통하여 연마하여 제거한다. 이러한 연마를 통하여 불소수지의 마스타금형의 표면은 더욱 매끄러워 지게 된다.It is polished and removed through an abrasive having an extremely fine particle size. Through this polishing, the surface of the master mold of the fluororesin becomes smoother.

경우에 따라서는 연마없이 작업을 진행시킬 수가 있다.In some cases, the work can proceed without grinding.

본 발명에서의 또다른 실시예로, 실버페이스트를 충진하지 않고, 스파트링에 의하여 금속층을 마스타금형의 오목부에 충진하는 것을 들 수가 있다.In another embodiment of the present invention, the metal layer is filled in the concave portion of the master mold by sputtering without filling the silver paste.

물론 스파트링에 의하여 볼록부에도 금속층이 형성이 된다.Of course, the metal layer is also formed in the convex portions by sputtering.

오목부에 금속층이 거의 다 충진되었을 때, 볼록부에 쌓여진 금속층은 제거한다.When the metal layer is almost filled in the concave portion, the metal layer deposited on the convex portion is removed.

이형성이 강한 테프론 수지 금형의 경우에는 볼록부에 쌓여진 금속층의 제거는 용이하다.
In the case of a Teflon resin mold having high releasability, it is easy to remove the metal layer deposited on the convex portion.

도 5는 기판과 경화된 실버페이스트를 접착제를 통하여 결합시키는 것을 설명하는 설명도이다.Fig. 5 is an explanatory diagram for explaining bonding of a substrate and a cured silver paste through an adhesive. Fig.

기판은 경질기판, 투명기판, 불투명 기판, 에폭시 기판, 경질의 수지 기판, 필름, 투명 필름, 불투명 필름, 폴리이미드 필름, 투명 폴리이미드 필름, 불투명 폴리이미드 필름 등의 다양한 형태가 적용이 된다. The substrate may be of various types such as a rigid substrate, a transparent substrate, an opaque substrate, an epoxy substrate, a rigid resin substrate, a film, a transparent film, an opaque film, a polyimide film, a transparent polyimide film and an opaque polyimide film.

휘어지는 소재의 기판을 사용할 경우 FPCB 기판이 되는 것이다.When the substrate of the bent material is used, it becomes an FPCB substrate.

FPCB의 가장 대표적인 기판 소재는 폴리이미드 필름이 사용된다.Polyimide film is used as the most typical substrate material of FPCB.

접합제 역시 다양한 것이 사용이 가능하다. 각종 접착성 수지, 유브이 수지, 폴리이미드 수지, 에폭시 수지 등이 사용되어진다. A variety of bonding agents can also be used. Various adhesive resins, urethane resins, polyimide resins, epoxy resins, and the like can be used.

제품에 필요한 특성에 따라서 접착제가 선택된다.The adhesive is selected according to the properties required for the product.

본 발명의 가장 대표적인 실시예로서는 에폭시 수지를 사용한다. An epoxy resin is used as the most representative embodiment of the present invention.

그 이유로는 공기가 통하는 않은 상태에서도 자체 경화가 일어나기 때문이다. This is because self-curing occurs even in the absence of air.

또한 잘 깨어지지 아니하고 접착력이 우수하기 때문이다.Also, it is not broken well and has excellent adhesive strength.

만약 폴리이미드 수지를 사용하게 될 경우에는 방출되어지는 가스가 외부로 빠져 나가도록 하는 구조를 제공하여야만 폴리이미드 수지가 경화가 된다. If a polyimide resin is to be used, the polyimide resin must be cured if it is required to provide a structure for allowing the released gas to escape to the outside.

에폭시 수지는 폴리이미드 필름과 접착이 용이하며, 접착강도가 좋다.Epoxy resins are easy to adhere to polyimide films and have good adhesive strength.

또한 충격에도 강하며, 휨에도 견딜 수가 있다.It is also resistant to impact and can withstand bending.

또한 에폭시 수지는 경화된 실버페이스트에도 접착성이 우수하다.The epoxy resin also has excellent adhesion to cured silver paste.

폴리이미드 필름(11)과, 경화된 실버페이스트가 충진된 마스타금형을, 에폭시 수지(13)에 의하여 접합을 시킨다. A polyimide film (11) and a master mold filled with a cured silver paste are bonded by an epoxy resin (13).

액상의 에폭시 수지를 마스타금형의 표면에 균일하게 도포시키어 실시할 수가 있다.A liquid epoxy resin can be uniformly applied to the surface of the master mold.

액상의 에폭시 수지를 폴리이미드 필름에 균일하게 도포시키어 실시를 할 수도 있다.It may be carried out by uniformly applying a liquid epoxy resin to the polyimide film.

이때, 균일한 에폭시 수지의 도포막을 형성하는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable to form a coating film of a uniform epoxy resin.

이를 위하여 롤러(12)를 사용하여 일정한 두께를 유지시킬 수가 있다.For this purpose, the rollers 12 can be used to maintain a constant thickness.

스파트링에 의하여 오목부에 금속층이 쌓여지고, 볼록부에 쌓여진 금속층은 제거된 경우의 실시예에 대하여, 에폭시 수지를 통하여 폴리이이드 필름층에 결합을 시킬 수가 있음으로 물론이다.
It is a matter of course that bonding to the polyimide film layer through the epoxy resin can be carried out with respect to the embodiment in which the metal layer is piled up in the concave portion by sputtering and the metal layer stacked on the convex portion is removed.

도 6은 마스타금형으로부터 탈형시킨 회로기판을 설명한다.Fig. 6 illustrates a circuit board demolded from a master mold.

에폭시 수지를 도포한 후, 가열하여 경화시킨다. After applying the epoxy resin, it is cured by heating.

에폭시 수지(16)는 통기성이 전혀 없는 상태에서도 경화가 가능하다. The epoxy resin 16 can be cured even when no air permeability is present.

폴리이미드 수지를 접합제로 선택할 경우에는, 통기성이 전혀 없는 상태에서는 경화가 일어나지 않게 되므로, 먼저 적당한 온도에서 폴리이미드 수지를 경화를 시킨 후, 접합을 시킬 필요가 있다.When the polyimide resin is selected as the bonding agent, curing does not occur in the absence of air permeability. Therefore, it is necessary to first cure the polyimide resin at an appropriate temperature, and then to bond it.

에폭시 수지(16)는 폴리이미드 필름(17)과의 결합도가 뛰어나다.The epoxy resin 16 is excellent in bonding with the polyimide film 17.

또한 에폭시 수지는 경화된 실버페이스트(15)와의 결합도도 뛰어나다.The epoxy resin is also excellent in bonding with the cured silver paste 15.

에폭시 수지는 가장 용도가 넓은 플라스틱의 하나이며 접착제, 도료, 적층품, 주형품, 성형품등으로서 화학, 전기, 기계, 토목공업의 분야에서 다하고 있는 역할은 대단히 중요한 것이다. Epoxy resin is one of the most widely used plastics, and its role in the fields of chemical, electrical, mechanical, and civil engineering is very important, such as adhesives, paints, laminated products, molds and molded products.

에폭시는 반응성이 크기 때문에 경화제와 함께 사용한다. 에폭시 수지는 경화제에 반응해, 그 성질은 경화제의 종류나 배합비, 혹은 경화조건 등에 의해서 크게 달라진다. 에폭시 수지는 규소수지, 불소수지, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌등을 제외하고는 무엇이든 접착할 수가 있다. 에폭시 수지 접착제는 액상, 페이스트상, 분말상, 봉상 등 여러 가지가 있으며, 액상이 가장 널리 사용되고 있다. Epoxy is used with curing agents because of its high reactivity. The epoxy resin reacts with the curing agent, and the properties thereof greatly vary depending on the type and the compounding ratio of the curing agent, the curing conditions, and the like. The epoxy resin can be adhered to anything except silicon resin, fluororesin, polyethylene, polypropylene and the like. Epoxy resin adhesives are available in various forms such as liquid, paste, powder, and stick, and liquid is most widely used.

에폭시 수지는 동박의 접착에도 사용된다. Epoxy resin is also used for adhesion of copper foil.

전자부품의 봉입성형(엔캡슐레이션)용으로 사용되기도 한다. It is also used for encapsulation of electronic components (encapsulation).

압축성형의 경우, 성형조건은 성형온도 140~160℃, 성형압력 100~200kgf/㎠, 경화시간 약 100~200sec/mm 이며, 성형후의 아프터 베이킹 함으로써 성형품의 성능은 더욱 향상된다. In the case of compression molding, the molding conditions are a molding temperature of 140 to 160 ° C, a molding pressure of 100 to 200 kgf / cm 2, and a curing time of about 100 to 200 sec / mm.

이 성형재료는 경화 때에 휘발물질을 부생하지 않으므로 경화물의 치수변화가 적고 전기적 성질도 양호하다. 또한 유동성이 풍부하고 비교적 저압에서도 성형할 수 있으므로 복잡한 형상이나 인서트가 많은 성형품에 적합한 것이다. Since this molding material does not produce volatile substances as a by-product at the time of curing, the dimensional change of the cured product is small and the electrical properties are good. In addition, since it is rich in fluidity and can be molded even at a relatively low pressure, it is suitable for molded articles having many complicated shapes and inserts.

치수안정성, 전기적 성능이 뛰어나기 때문에 주로 인서트가 많은 전기부품이나 치수정도가 요구되는 기계부품에 사용된다. Dimensional stability and electrical performance, it is mainly used for electric parts with many inserts and mechanical parts requiring dimensional accuracy.

전자부품의 트랜스퍼 봉입성형에 일반화되고, 특히 반도체에 있어서는 그 대부분이 에폭시수지로 밀봉되고 있다.In the case of semiconductors, most of them are encapsulated with an epoxy resin.

에폭시 수지가 경화되어, 경화된 실버페이스트와 폴리이미드 필름이 접착이 된 이후에는 마스타금형으로부터 기판을 탈착시킨다.After the epoxy resin is cured and the cured silver paste and the polyimide film are adhered, the substrate is detached from the master mold.

마스타금형으로부터 탈착되어진 기판은 폴리이미드 필름에 회로부가 구성된 회로기판이 된다. 회로부와 회로부 사이에는 공간부(14)가 존재한다.The substrate that has been detached from the master mold becomes a circuit board having a circuit portion formed on the polyimide film. There is a space portion 14 between the circuit portion and the circuit portion.

이형층이 형성된 마스타금형 또는 테프론 수지로 만들어진 마스타금형은 이형성이 탁월하므로 탈형이 용이하다.Master molds made of master mold or teflon resin with mold releasing layer are excellent in releasing property, so demoulding is easy.

폴리이미드 필름을 사용하고, 에폭시 수지를 접착제로 사용한 경우, 탈형 되어진 회로기판은 폴리이미드 FPCB가 된다. When a polyimide film is used and an epoxy resin is used as an adhesive, the circuit board subjected to demoulding becomes a polyimide FPCB.

본 발명에서는 회로의 선폭이 수 마이크로미터의 초정밀한 회로의 구성이 얼마든지 가능하다. In the present invention, it is possible to construct a circuit having a very high precision of several micrometers in line width of a circuit.

본 발명의 방법으로 제작된 폴리이미드 회로기판은 평판도를 유지할 수가 있는 특징이 있다. The polyimide circuit board manufactured by the method of the present invention is characterized in that the flatness can be maintained.

폴리이미드 필름은 잘 휘어지며, 환경에 따라서 컬현상이 발생한다. The polyimide film bends well and curling occurs depending on the environment.

컬현상이란 말리는 현상을 설명한다. The curl phenomenon describes the phenomenon of drying.

폴리이미드 필름에 결합되는 에폭시와 경화된 실버페이스트 또는 스파트링에 의하여 형성된 금속층은 폴리이미드 필름이 평탄도를 유지하도록 하는 데 기여를 한다.The epoxy bonded to the polyimide film and the metal layer formed by the cured silver paste or spots contribute to maintaining the flatness of the polyimide film.

본 발명에서의 폴리이미드 회로기판은 컬현상이 없으므로 적층하여 다층의 기판을 제작
Since the polyimide circuit board of the present invention has no curling phenomenon, it can be laminated to form a multilayer substrate

도 7은 매립형 회로기판을 제작하는 것을 설명하는 설명도이다.7 is an explanatory view for explaining the production of a buried circuit board.

폴리이미드 필름은 높은 열 안정성 및 효과적인 기계적 특성을 가진다. 폴리이미드(PI) 필름은 영상 400도 이상의 고온이나 영하 269도의 저온을 견디며, 얇고 굴곡성이 뛰어난 첨단 고기능성 산업용 소재이다.Polyimide films have high thermal stability and effective mechanical properties. Polyimide (PI) film is a high-tech, high-performance industrial material that can withstand temperatures of 400 degrees Celsius or higher and a temperature of minus 269 degrees Celsius, and is thin and flexible.

내화학성, 내마모성도 강해 열악한 환경에서 안정적인 성능 유지가 필요한 분야에 널리 쓰인다. 주로 연성회로기판(FPCB)의 원판에 사용된다. It has strong chemical resistance and abrasion resistance and is widely used in areas that require stable performance in harsh environments. It is mainly used for a disk of a flexible circuit board (FPCB).

폴리이미드는 내열성 고분자로, 기계적 강도가 높고 충격에 강하며 치수안정성이 좋다. 전기절연성과 내마모성, 내약품성도 좋다. 또한 난연성이다. 단점은 대부분 열경화성으로 성형성이 나쁘다.Polyimide is a heat-resistant polymer with high mechanical strength, impact resistance and dimensional stability. Electrical insulation, abrasion resistance and chemical resistance are also good. It is also flame retardant. The disadvantages are mostly thermosetting and poor moldability.

전자기기의 소형화 및 고집적화에 따라 필름 형태의 폴리이미드가 FPC의 용도에서 크게 각광받는 소재가 되었다. As electronic equipment has become smaller and more highly integrated, film-shaped polyimide has become a popular material for FPC applications.

폴리이미드 필름은 COF(Chip On Flexible Printed Circuit 혹은 Chip On Film 등으로 발전하여, 단순히 구부릴 수 있는 전기도선 역할 뿐 아니라 부품의 표면실장이 가능한 정도의 치수안정성과 기계적 물성을 가진다.The polyimide film is developed as a COF (Chip On Flexible Printed Circuit or Chip On Film), and has not only a function as a bendable electric conductor but also a dimensional stability and a mechanical property to the extent that the component can be surface-mounted.

동박적층 폴리이미드필름은 내열 난연성 에폭시계 접착제를 사용하여 폴리이미드 필름과 동박을 적층시킨 연성회로기판(FPCB)용 재료이다. 탁월한 내열성과 내화학성, 그리고 우수한 전기적, 기계적 특성을 모두 지니고 있어 휴대폰, 디지털 카메라등의 고기능성, 소형화, 경량화가 요구되는 제품에 매우 적합한 재료이다.The copper-clad laminated polyimide film is a material for a flexible circuit board (FPCB) in which a polyimide film and a copper foil are laminated using a heat-resistant flame-retardant epoxy adhesive. It has excellent heat resistance, chemical resistance, and excellent electrical and mechanical properties, making it an ideal material for products requiring high functionality, miniaturization, and light weight, such as mobile phones and digital cameras.

본 발명에서 탈형되어진 폴리이미드 회로기판에서, 회로부와 이웃하는 회로부의 사이에는 공간부(14)가 형성되어져 있다. In the polyimide circuit substrate demolded in the present invention, the space portion 14 is formed between the circuit portion and the neighboring circuit portion.

이러한 공간부를 비전도성의 수지로 매립하게 되면 더욱 회로부가 기판에 견고히 부착을 하게 된다.When the space portion is filled with the nonconductive resin, the circuit portion is firmly attached to the substrate.

이러한 목적을 위하여, 실시예로서, 공간부에 에폭시 수지를 충진하고, 충진된 에폭시 수지(18)를 경화를 시킨다.For this purpose, as an embodiment, the space portion is filled with an epoxy resin, and the filled epoxy resin 18 is cured.

본 발명에서는 회로부의 측면은 매립이 되고, 표면은 노출된 상태를 매립형 회로기판이라 정의한다. In the present invention, the side surface of the circuit portion is buried, and the exposed surface is defined as a buried circuit board.

충진되어지는 비도전성 수지는 액상의 폴리이미드 수지를 사용할 수도 있다.The non-conductive resin to be filled may be a liquid polyimide resin.

액상의 폴리이미드 수지가 공기중에서 가열에 의하여 경화가 용이하기 때문이다.
This is because the liquid polyimide resin is easily cured by heating in air.

도 8은 매립형 회로기판의 연마공정을 설명하는 설명도이다.8 is an explanatory view for explaining a polishing process of a buried circuit board.

에폭시 수지가 경화 된 후, 회로기판의 표면을 미세연마기(19)를 통하여 깨끗하게 정리를 한다.
After the epoxy resin is cured, the surface of the circuit board is cleanly cleaned through the fine grinder 19.

도 9는 완전매립형 회로기판에 대한 설명도이다.9 is an explanatory diagram of a fully buried circuit board.

탈형되어진 폴리이미드 회로기판은, 폴리이미드필름(23)에 경화된 회로부(21)가 에폭시 수지층(22)에 결합된 상태이다.In the polyimide circuit substrate that has been demolded, the circuit portion 21 cured to the polyimide film 23 is bonded to the epoxy resin layer 22.

이때, 회로부와 이웃하는 회로부의 사이에는 공간부가 형성되어져 있다.At this time, a space portion is formed between the circuit portion and the neighboring circuit portion.

이러한 공간부를 포함한 회로부의 상부 전체를 비전도성의 수지(20)로 덮으면 회로부가 기판에 견고히 부착을 하게 될 뿐만 아니라, 회로가 절연 된다. When covering the entire upper portion of the circuit portion including the space portion with the nonconductive resin 20, not only the circuit portion is firmly attached to the substrate but also the circuit is insulated.

실시예로서, 비전도성 수지는 에폭시 수지를 사용한다. 물론 비전도성 수지는 폴리이미드 수지도 사용을 할 수가 있다.As an example, an epoxy resin is used as the nonconductive resin. Of course, polyimide resins can also be used for nonconductive resins.

본 발명에서는 회로부의 측면과 회로부의 표면까지 완전히 매립된 회로기판을 완전매립형 회로기판이라 정의한다.
In the present invention, a circuit board completely buried up to the side surface of the circuit portion and the surface of the circuit portion is defined as a fully buried circuit board.

도 10, 도 11은은 개구부를 형성한 완전매립형 회로기판의 설명도이다.Figs. 10 and 11 are explanatory diagrams of a fully buried type circuit board on which openings are formed. Fig.

도 11에서와 같이 완전매립형 회로기판에서 상부의 일부를 절개하여 개구부를 형성시킨 것을 개구부를 형성한 완전매립형 회로기판이라 정의한다. As shown in FIG. 11, a completely buried circuit board is defined as a fully buried type circuit board in which an opening is formed by cutting an upper portion of a top-buried circuit board to form an opening.

이같이 개구부를 형성하여 일부의 회로부를 노출시키어, 노출된 회로부에 전기적 연결을 할 수가 있도록 하기 위한 것이다.The opening is thus formed to expose a part of the circuit part so as to be electrically connected to the exposed circuit part.

이를 제작하기 위하여서는 먼저, 도 10과 같이 제작공정이 필요하다. First, as shown in FIG. 10, a fabrication process is required to fabricate this.

먼저 도 7에서와 같이 매립형 회로기판의 일부에 덮개(25)를 구성한다. First, a lid 25 is formed on a part of the buried circuit board as shown in FIG.

덮개는 접착테이프 등과 같은 소재를 사용할 수가 있다. The cover may be made of a material such as an adhesive tape or the like.

또한 덮개를 형성하기 위하여, 감광재를 사용할 수도 있다.Also, a photosensitive material may be used to form a cover.

이를 위하여 먼저 매립형 회로기판의 상부에 감광재를 도포한다.To this end, a photosensitive material is first applied to the top of the buried circuit board.

상기 감광재에 노광 및 현상공정을 통하여 필요한 부위만 감광재를 남기어 정밀하게 덮개를 제작할 수가 있다. 감광재를 사용하여 덮개를 형성한 경우, 덮개의 제거도 용이하게 된다. 즉 화학적으로 처리하여 쉽게 덮개의 제거가 가능하게 된다.It is possible to precisely manufacture the cover by leaving the photosensitive material only in the necessary portion through the exposure and development process to the photosensitive material. When the lid is formed using the photosensitive material, the lid can be easily removed. That is, the cover can be easily removed by chemical treatment.

덮개(25)를 형성 후, 매립형회로기판의 상부에 비도전성 수지(24)를 도포하고, 경화시킨다.After the lid 25 is formed, a non-conductive resin 24 is applied to the top of the buried circuit board and cured.

비도전성 수지(24)의 하부에는 회로부(26) 사이 사이에 에폭시 수지(27)가 충진된 상태이다. In the lower portion of the non-conductive resin 24, an epoxy resin 27 is filled between the circuit portions 26.

상기 비도전성 수지는 액상의 에폭시 수지로 할 수가 있다. The non-conductive resin may be a liquid epoxy resin.

또는 액상의 폴리이미드 수지를 사용할 수가 있다.Or a liquid polyimide resin can be used.

비도전성 수지가 경화된 후에, 덮개(25)를 제거한다.After the non-conductive resin is cured, the cover 25 is removed.

덮개가 제거된 부분은 도 11에서와 같이 회로부(28)가 노출된다. The circuit part 28 is exposed as shown in Fig.

노출된 회로부(28)는 전기적으로 다른 회로에 연결을 시킬 수가 있다.
The exposed circuit portion 28 can be electrically connected to another circuit.

도 12는 탈형을 용이하게 하기 위한 테이퍼 구조에 대한 설명도이다.12 is an explanatory diagram of a taper structure for facilitating demoulding.

전주가공물을 통하여 금형을 제작할 때, 포토리지스트에 대하여 테이퍼진 노광작업을 실시하여 제작을 시작한다.When manufacturing a mold through a preformed workpiece, tapered exposure work is performed on the photoresist to start manufacturing.

도전체 평판(31) 위에 포토리리스트(29)를 노광시키어, 테이퍼 진 구조로 노광과 현상을 진행한다. The photoresist 29 is exposed on the conductive flat plate 31, and exposure and development are progressed with a tapered structure.

테이퍼 진 포토리지스트(29)와 테이퍼 진 공간부(30)가 형성된다.A tapered photoresist 29 and a tapered space portion 30 are formed.

도전체 평판(33)에 전기를 연결하여 도금을 시작하면 전주가공물(32)가 형성된다.When the plating is started by connecting electricity to the conductive flat plate 33, the electroforming workpiece 32 is formed.

전주가공물(34)을 도전체 평판(35)로부터 탈형시키면 탈형이 용이한 금형이 만들어 진다.
When the electrophotographic workpiece 34 is demoulded from the conductive flat plate 35, a mold can be easily demoulded.

본 발명은 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판의 제작방법과 그 방법으로 만들어진 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판을 포함한다.The present invention includes a method of manufacturing a flexible circuit board having a microcircuit and a flexible circuit board having a microcircuit made by the method.

본 발명은 통전회로로 구성되는 회로부가 에폭시 수지에 의하여 폴리이드미 필름기판에 결합된 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판과 그 제작방법을 포함한다.The present invention includes a flexible circuit board having a microcircuit and a method of manufacturing the same, characterized in that a circuit portion constituted by an energizing circuit is bonded to a polyimide film substrate by an epoxy resin.

또한 본 발명은 회로기판이 매립형 또는 완전매립형으로 구성된 것도 포함한다.The present invention also includes a circuit board configured as a buried type or a completely buried type.

본 발명은, 본 발명에 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환 변형이 가능하므로, 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에만 한정되는 것은 아니다.
It will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It is not.

1: 볼록부 2: 오목부 3: 모형금형 4: 마스타금형
5: 볼록부 6: 모형금형 7: 마스타금형 8: 실버페이스트
9: 스퀴즈 10: 실버페이스트 11: 폴리이미드 필름
12: 롤러 13: 에폭시 수지 14: 공간부
15: 경화된 실버페이스트 16: 에폭시 수지 17: 폴리이미드 필름
18: 충진된 에폭시 수지 19: 미세연마기 20: 비전도성의 수지
21: 회로부 22: 에폭시 수지층 23: 폴리이미드필름
24: 비도전성 수지 25: 덮개 26: 회로부 27: 에폭시 수지
28: 회로부
1: convex part 2: concave part 3: model mold 4: master mold
5: convex part 6: model mold 7: master mold 8: silver paste
9: Squeeze 10: Silver paste 11: Polyimide film
12: roller 13: epoxy resin 14:
15: Cured silver paste 16: Epoxy resin 17: Polyimide film
18: filled epoxy resin 19: fine grinding machine 20: nonconductive resin
21: circuit part 22: epoxy resin layer 23: polyimide film
24: non-conductive resin 25: lid 26: circuit part 27: epoxy resin
28:

Claims (18)

오목부와 볼록부를 통하여 미세회로가 형성된 전주금형으로부터, 오목부와 볼록부를 통하여 미세회로가 형성된 마스타금형을 제작하고;
상기 마스타금형의 오목부에 실버페이스트를 충진하고, 가열장치를 통하여 상기 실버페이스를 경화시키며;
마스타금형의 볼록부의 표면부와 경화된 실버페이스트의 노출 표면부에 에폭시 수지를 도포하며;
상기 에폭시 수지를 통하여 폴리이미드 필름을 접합시키고, 에폭시 수지를 경화시킨 후;
마스타금형을 탈형시키는 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판의 제작방법.
Preparing a master mold in which a microcircuit is formed through a concave portion and a convex portion from an electroforming die in which a fine circuit is formed through a concave portion and a convex portion;
Filling a concave portion of the master mold with a silver paste, and curing the silver face through a heating device;
Applying an epoxy resin to the surface portion of the convex portion of the master mold and the exposed surface portion of the cured silver paste;
Joining the polyimide film through the epoxy resin, and curing the epoxy resin;
And removing the master mold from the master mold.
제 1항에 있어서, 상기 마스타 금형은 테프론 수지로 제작되는 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판의 제작방법.The method of manufacturing a flexible circuit board according to claim 1, wherein the master mold is made of Teflon resin. 제 1항에 있어서, 마스타 금형은 금속 또는 수지로서 제작되는 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판의 제작방법.The method of manufacturing a flexible circuit board according to claim 1, wherein the master mold is fabricated as a metal or a resin. 제 3항에 있어서, 금형의 표면에 이형층을 형성하여 사용하는 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판의 제작방법.The method of manufacturing a flexible circuit board having a microcircuit according to claim 3, wherein a release layer is formed on the surface of the mold. 제 1항에서 제 4항의 어느 한 항에 있어서, 에폭시 수지를 대신하여 폴리이미드 수지 또는 유브이 수지 액상수지로 사용하는 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판의 제작방법.The method for manufacturing a flexible circuit board according to any one of claims 1 to 4, wherein the flexible circuit board is used as a polyimide resin or a liquid resin for a liquid epoxy resin instead of an epoxy resin. 제 1항에서 제 6항의 어느 한 항에 의하여 제작된 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판.A flexible circuit board having a microcircuit, which is manufactured by any one of claims 1 to 6. 통전회로로 구성되는 경화된 실버페이스트가 에폭시 수지에 의하여 폴리이드미 필름기판에 결합된 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판.Wherein a cured silver paste constituted by an energizing circuit is bonded to the polyimide film substrate by an epoxy resin. 제 7항에 있어서, 실버페이스트가 매립형으로 구성된 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판.8. The flexible circuit board according to claim 7, wherein the silver paste is embedding-type. 제 7항에 있어서, 실버페이스트가 완전매립형으로 구성된 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판.8. The flexible circuit board according to claim 7, wherein the silver paste is formed in a completely buried form. 오목부와 볼록부를 통하여 미세회로가 형성된 전주금형으로부터, 오목부와 볼록부를 통하여 미세회로가 형성된 마스타 금형을 제작하고;
상기 마스타 금형의 오목부에 스파터링에 의하여 금속층을 형성하고;
마스타 금형의 볼록부의 표면부와 오목부의 스파터링 금속층에 에폭시 수지를 도포하며;
상기 에폭시 수지를 통하여 폴리이미드 필름을 접합시키고, 에폭시 수지를 경화시킨 후;
마스타 금형을 탈형시키는 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판의 제작방법.
Preparing a master mold in which a microcircuit is formed through a concave portion and a convex portion from an electroforming die in which a fine circuit is formed through a concave portion and a convex portion;
Forming a metal layer on the concave portion of the master mold by sputtering;
Applying an epoxy resin to the surface portion of the convex portion of the master mold and the sputtering metal layer of the concave portion;
Joining the polyimide film through the epoxy resin, and curing the epoxy resin;
And removing the master mold from the master mold.
제 10항에 있어서, 상기 마스타 금형은 테프론 수지로 제작되는 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판의 제작방법.The method of manufacturing a flexible circuit board according to claim 10, wherein the master mold is made of Teflon resin. 제 10항에 있어서, 마스타 금형은 금속 또는 수지로서 제작되는 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판의 제작방법.The method of manufacturing a flexible circuit board according to claim 10, wherein the master die is fabricated as a metal or a resin. 제 12항에 있어서, 금형의 표면에 이형층을 형성하여 사용하는 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판의 제작방법.13. The manufacturing method of a flexible circuit board having a microcircuit according to claim 12, wherein a release layer is formed on the surface of the mold. 제 10항에서 제 13항의 어느 한 항에 있어서, 에폭시 수지를 대신하여 폴리이미드 수지 또는 유브이 수지 액상수지로 사용하는 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판의 제작방법.The method for manufacturing a flexible circuit board according to any one of claims 10 to 13, wherein the resin is used as a polyimide resin or a liquid resin for a dielectric resin instead of an epoxy resin. 제 10항에서 제 14항의 어느 한 항에 의하여 제작된 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판.A flexible circuit board having a microcircuit, which is manufactured by any one of claims 10 to 14. 마스타금형의 오목부에 통전회로로 구성되는 스파트링에 의한 금속층이, 에폭시 수지에 의하여 폴리이드미 필름기판에 결합된 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판.Wherein a metal layer formed by a spark ring constituted by an energizing circuit in a concave portion of the master mold is bonded to the polyimide film substrate by an epoxy resin. 제 16항에 있어서, 스파터링 금속층이 매립형으로 구성된 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판.17. The flexible circuit board according to claim 16, wherein the sputtering metal layer is formed in a buried shape. 제 16항에 있어서, 스파터링 금속층이 완전매립형으로 구성된 것을 특징으로 하는 미세회로를 가지는 플렉시블 회로기판.
17. The flexible circuit board according to claim 16, wherein the sputtering metal layer is formed in a completely buried form.
KR1020150001897A 2015-01-07 2015-01-07 Fine circuit board and its manufacturing method KR102412346B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150001897A KR102412346B1 (en) 2015-01-07 2015-01-07 Fine circuit board and its manufacturing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020150001897A KR102412346B1 (en) 2015-01-07 2015-01-07 Fine circuit board and its manufacturing method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160085041A true KR20160085041A (en) 2016-07-15
KR102412346B1 KR102412346B1 (en) 2022-06-22

Family

ID=56505953

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150001897A KR102412346B1 (en) 2015-01-07 2015-01-07 Fine circuit board and its manufacturing method

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102412346B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101851920B1 (en) * 2018-01-17 2018-04-27 주식회사에이피에스케미칼 Process for Producing Molded Grating Using Phenol Resins and Molded Grating for Producing The Same
CN109195346A (en) * 2018-10-15 2019-01-11 安徽银点电子科技有限公司 A kind of preparation method of printed circuit board

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060061037A (en) * 2004-12-01 2006-06-07 삼성전기주식회사 Embedded capacitor printed circuit board and method for fabricating the same
KR20070037323A (en) * 2005-09-30 2007-04-04 미쓰이 긴조꾸 고교 가부시키가이샤 Method for manufacturing printed wiring board, and printed wiring board using the same
JP2010239101A (en) * 2009-03-30 2010-10-21 Hidejiro Ono Method of forming pattern and printing machine
KR20140037635A (en) * 2012-09-19 2014-03-27 성낙훈 Circuit board produced filled with a conductive paste

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060061037A (en) * 2004-12-01 2006-06-07 삼성전기주식회사 Embedded capacitor printed circuit board and method for fabricating the same
KR20070037323A (en) * 2005-09-30 2007-04-04 미쓰이 긴조꾸 고교 가부시키가이샤 Method for manufacturing printed wiring board, and printed wiring board using the same
JP2010239101A (en) * 2009-03-30 2010-10-21 Hidejiro Ono Method of forming pattern and printing machine
KR20140037635A (en) * 2012-09-19 2014-03-27 성낙훈 Circuit board produced filled with a conductive paste

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101851920B1 (en) * 2018-01-17 2018-04-27 주식회사에이피에스케미칼 Process for Producing Molded Grating Using Phenol Resins and Molded Grating for Producing The Same
CN109195346A (en) * 2018-10-15 2019-01-11 安徽银点电子科技有限公司 A kind of preparation method of printed circuit board

Also Published As

Publication number Publication date
KR102412346B1 (en) 2022-06-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100782412B1 (en) Method for forming transcriptional circuit and method for manufacturing circuit board
US8033014B2 (en) Method of making a molded interconnect device
TW201212738A (en) Wiring board
CN104519666B (en) A kind of flexible die made for FPC and preparation method thereof
CN110430666A (en) A kind of preparation method of 3D printing circuit board
KR20160092686A (en) Fine circuit board and its manufacturing method
KR102412346B1 (en) Fine circuit board and its manufacturing method
KR20160104346A (en) The production method of the flexible circuit board having a fine circuit characterized by stripping from the master mold and it's product
TW202005484A (en) Flexible circuit board substrate and method of manufacturing the same
CN108282968B (en) printed circuit board substrate and manufacturing method thereof
JP6434833B2 (en) Electroforming mold, electroforming mold and electroforming mold manufacturing method
CN109302806B (en) Preparation method of circuit board
JP2015133342A (en) Wiring board manufacturing method
CN115551206A (en) Packaging substrate and preparation method thereof, and packaging substrate heat dissipation detection system and method
CN105818509B (en) Glass microballoon film and shell and the manufacture craft of the shell using the film
KR101991286B1 (en) Method for the continuous production of copper transparent electrode circuit film using mold and the copper transparent electrode circuit film prepared therefrom
Gal et al. Fabrication of micro piezoelectric rod array using metallic mold system for mass production
TWI740144B (en) Adapter board and method for making the same
KR100526053B1 (en) Mold using amorphous fluorine resin and fabrication method thereof
JPH11307904A (en) Molded circuit component and its manufacture
CN206452594U (en) A kind of use liquid photosensitive PI flexible electric circuit board
JPH077242A (en) Smooth board and manufacture thereof
KR101138553B1 (en) Flexible Laminate THEREON AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
KR100851068B1 (en) Stamper and PCB manufacturing method using thereof
WO2022006789A1 (en) Method for preparing composite circuit board

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
N231 Notification of change of applicant
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant