KR20160081920A

KR20160081920A - 진공 펌프를 위한 구동 및 제어 장치, 진공 펌프, 및 진공 펌프를 위한 제어 회로 기판을 제조하기 위한 방법

Info

Publication number: KR20160081920A
Application number: KR1020167012289A
Authority: KR
Inventors: 마르쿠스 리스만; 라이너 횔처; 로베르트 슈톨레; 이오아니스 아나스타시아디스
Original assignee: 욀리콘 라이볼트 바쿰 게엠베하
Priority date: 2013-11-11
Filing date: 2014-11-10
Publication date: 2016-07-08
Also published as: DE102013222905A1; WO2015067810A1; JP6457513B2; KR102312641B1; CN105765224B; CN105765224A; JP2016538459A; EP3069026A1; EP3069026B1; US20160319823A1

Abstract

진공 영역(18)을 대기압하에 있는 영역(20)으로부터 분리시키는 분리 벽(16) 내에, 핀(24)이 전류 관통부로서 제공된다. 핀(24)은 예를 들어 유리(26) 내에 캐스팅된다. 본 발명에 따르면, 특히 허용 오차 때문에 일어날 수 있는 힘 또는 응력이 유리 내로 도입되는 것을 방지하기 위해, 플러그-인 접점(28)이 별개의 캐리어 플레이트(30) 상에 배열된다. 캐리어 플레이트(30)는 가요성 케이블(32)에 의해 제어 장치(12)에 연결된다.

Description

진공 펌프를 위한 구동 및 제어 장치, 진공 펌프, 및 진공 펌프를 위한 제어 회로 기판을 제조하기 위한 방법{DRIVING AND CONTROL DEVICE FOR A VACUUM PUMP, VACUUM PUMP, AND METHOD FOR PRODUCING A CONTROL CIRCUIT BOARD FOR A VACUUM PUMP}

본 발명은 진공 펌프를 위한 구동 및 제어 장치, 진공 펌프, 및 진공 펌프를 위한 제어 회로 기판을 제공하기 위한 방법에 관한 것이다.

진공 펌프는 펌프 하우징 내에 적어도 하나의 로터 요소를 갖는다. 예를 들어 터보분자 펌프에서, 이는 로터 디스크 내에 형성된 복수의 로터 블레이드(rotor blade)를 갖는 로터이다. 예를 들어, 로터 요소는 또한 홀웩 스테이지(Holweck stage)의 실질적으로 중공형(hollow)인 원통형 로터일 수 있다. 적어도 하나의 로터 요소는 펌프 하우징 내에 회전가능하게 지지되는 로터 샤프트에 의해 지탱된다. 또한, 적어도 하나의 로터 요소와 협력하는 적어도 하나의 스테이터 요소가 펌프 하우징 내에 배열된다. 터보분자 펌프에서, 스테이터 요소는 인접한 로터 디스크 사이에 배열되는, 블레이드를 갖는 복수의 디스크-형상의 스테이터 디스크에 의해 형성된다. 홀웩 스테이지에서, 스테이터 요소는 정지해 있는 나선형 홈이다. 또한, 진공 펌프는 전형적으로 전기 모터인 구동 장치를 갖는다. 이 점에 있어서, 모터 로터는 전통적으로 로터 샤프트 상에 직접 배열된다. 특히 콤팩트한 펌프 구조의 실현을 위해, 모터 스테이터는 진공이 만연하는 진공 펌프의 영역 내에 배열된다. 그 결과, 전력 공급 장치가 예를 들어 펌프 하우징의 분리 벽을 통해 진공 영역 내로 안내되어야 한다. 진공-기밀 전류 관통(vacuum-tight current lead-through)을 위해, 전기를 전도하기 위해 분리 벽을 통해 포스트(post) 또는 핀(pin)을 통과시켜, 전기 도체가 양측에서 핀(pin)에 연결될 수 있게 하는 것이 알려져 있다. 진공-기밀 밀봉의 경우에, 핀은 유리 또는 다른 적합한 봉지재 덩어리(encapsulation mass) 내에 캐스팅(casting)된다. 그러한 봉지재에 의해, 분리 벽의 두 측 사이에 압력차가 존재하는 경우에도 충분한 기밀이 보장될 수 있다.

진공 영역 밖에 위치된 제어 수단에의 핀의 연결은 가요성 라인에 의해 이루어진다. 이러한 경우에, 가요성 라인을 제공하는 것이 필요한데, 왜냐하면 핀의 유리 봉지재가 기계적 장력에 극히 취약하기 때문이다. 그러한 장력은 예를 들어 특히 핀과 커넥터 사이의 허용 오차(tolerance)로 인해 일어날 수 있다. 이는, 가요성 라인이 제공되는 않는다면, 조립 시에 유리 봉지재에 대한 손상을 유발할 것이다. 그러나, 그러한 가요성 라인을 제공하는 것은 제조에 관하여, 그리고 특히 조립에 관하여 상당한 노력을 의미한다. 전류 관통부의 핀 상에 가요성 라인을 갖는 대응하는 플러그 접점(plug contact)을 플러깅(plugging)하는 것은 손으로 이루어져야 한다. 여기서, 특히 유리 봉지재가 과도한 힘에 의해 손상되지 않도록 상당한 주의를 기울여야 한다. 따라서, 제조 및 조립이 비싸다. 또한, 다소 큰 공간이 필요하다.

전류 관통부에 대한 연결을 단순화하는 것이 본 발명의 목적이다.

본 목적은 청구항 1에 한정된 바와 같은 진공 펌프를 위한 구동 및 제어 장치, 청구항 10에 한정된 바와 같은 진공 펌프뿐만 아니라, 청구항 11에 한정된 바와 같은 진공 펌프를 위한 제어 회로 기판을 제조 및 조립하기 위한 방법을 갖는 본 발명에 따라 달성된다.

본 발명의 진공 펌프를 위한 구동 및 제어 장치는 분리 벽(separating wall) 또는 베이스 벽(base wall)을 갖는다. 특히, 이것은 진공 펌프 하우징의 일부분, 또는 진공 펌프 하우징에 연결되도록 구성된 부분이다. 분리 벽은 진공 펌프 내의 진공 영역 - 이 진공 영역 내에 전기 모터 센서 및 다른 전기 구성요소와 같은 구동 장치가 배열됨 - 과, 다른 영역의 분리를 제공한다. 이러한 영역은 진공 펌프 밖에 있는 영역 또는 진공 펌프 내에 위치된 다른 영역 - 그러나, 이 영역 내에서 보다 낮은 진공 및 특히 대기압이 지배함 - 일 수 있다. 분리 벽의 일측에 전기 장치가 진공 영역 내에 배열되는 반면, 제어 장치가 분리 벽의 다른 측에, 즉 진공 영역 밖에 배열되며, 여기서 제어 장치는 진공 펌프의 챔버 내에 직접 배열된 제어 장치, 또는 외부 제어 장치일 수 있다.

분리 벽은 진공-기밀 전류 관통부를 갖는다. 전형적으로, 이것은 분리 벽 내에 진공-기밀 방식으로 배열된 하나의 또는 복수의 핀 또는 포스트에 의해 형성된다. 이것은 특히, 바람직하게는 유리 봉지에 의해, 핀을 분리 벽 내에 캐스팅함으로써 수행될 수 있다. 전류 관통부는 제 1 전류 도체에 의해 전기 장치에 연결된다. 전형적으로, 이것은 가요성 도체이며, 여기서 연결 와이어가 보통 핀에 납땜된다. 전류 관통부와 제어 장치 사이의 연결은 제 2 전류 도체를 통해 이루어진다. 본 발명에 따르면, 제 2 전류 도체는 전류 관통부에 직접 연결된 플러그 접점으로서 구성된다. 이에 의해, 정확한 저비용 연결이 간단한 방식으로 이루어질 수 있다. 본 발명에 따르면, 플러그 접점은 적어도 하나의 연결 웨브(connecting web)를 통해 제어 장치에 연결된다.

본 발명의 개발에 있어서, 제어 장치의 적어도 일부분이 분리 벽에 연결될 수 있는 제어 회로 기판으로서 구성된다. 예를 들어, 제어 회로 기판은 진공 펌프 내의 진공 영역으로부터 회피된 분리 벽의 측에 스크류로 고정되거나 달리 직접 고정된다.

본 발명의 특히 바람직한 실시예에서, 베이스 플레이트 또는 베이스 요소가 추가로 제공된다. 이것은 바람직하게는 분리 벽에, 직접적으로 또는 간접적으로 고정된다. 특히 바람직한 실시예에서, 베이스 플레이트 또는 베이스 요소는 제어 회로 기판을 고정시키는 역할을 한다. 또한, 다른 바람직한 실시예에서, 플러그 접점은 베이스 플레이트 또는 베이스 요소에 고정될 수 있다.

이러한 바람직한 실시예에서, 제어 회로 기판이 먼저, 특히 스크류에 의해, 베이스 플레이트 또는 베이스 요소에 고정되는 것이 조립의 목적을 위해 바람직하다. 이어서, 플러그 접점 또는 플러그 접점을 지탱하는 요소가 또한 바람직하게는 스크류에 의해, 베이스 플레이트 또는 베이스 요소 상에 유지되지만, 아직 고정되지 않아 플러그 접점은 여전히 이동가능하다. 다음 단계에서, 베이스 플레이트 또는 베이스 요소가 분리 벽에 연결되며, 이때 플러그 접점은 전류 관통부 상에 플러깅된다. 플러그 커넥터와 베이스 플레이트 또는 베이스 요소 사이의 여전히 느슨한 연결로 인해, 전류 관통부 내로의 힘 또는 모멘트의 유발이 회피된다. 그 후에, 베이스 플레이트 또는 베이스 요소가 분리 벽 또는 펌프 또는 펌프 하우징의 다른 부분에 고정된다. 이러한 고정 후에만 그리고 이에 따라 제어 회로 기판의 위치의 한정 후에만, 플러그 접점이 특히 대응하는 스크류를 조임으로써, 베이스 플레이트 또는 베이스 요소 상에 고정된다. 이에 의해, 가능한 존재하는 허용 오차가 플러그 접점이 고정되기 전에 보상되는 것이 보장된다. 플러그 접점은 허용 오차가 보상된 후에만 고정된다.

제어 회로 기판이 분리 벽 또는 베이스 플레이트 상에 고정되는 상기 실시예 양자에서, 플러그 접점이 제 2 전류 도체의 일부인 가요성 케이블을 통해 제어 회로 기판에 연결되는 것이 바람직하다. 또한, 플러그 접점이 적어도 하나의 연결 웨브를 통해 제어 회로 기판에 연결되는 것이, 특히 조립을 단순화한다는 관점하에서 바람직하다. 특히, 이것은 플러그 접점뿐만 아니라 회로 기판 상에 배열된 다른 전자 구성요소의 위치설정이 또한 자동적으로 이루어질 수 있다는 점에서 유리하다.

적어도 하나의 연결 웨브가 플러그 접점에 직접 연결되거나, 캐리어 플레이트(carrier plate)가 추가로 제공된다. 캐리어 플레이트는, 이 캐리어 플레이트가 플러그 접점을 지탱하는 상태로, 적어도 하나의 연결 웨브를 통해 제어 회로 기판에 연결된다. 캐리어 플레이트는 회로 기판의 플레이트-형상의 메인 캐리어의 일부분일 수 있다. 여기서, 캐리어 플레이트는 예를 들어 적어도 하나의 연결 웨브만이 남도록 회로 기판 내의 대응하는 리세스(recess)에 의해 만들어질 수 있다. 이러한 특히 바람직한 실시예에서, 캐리어 플레이트는 특히 간단한 방식으로 만들어질 수 있고, 플러그 접점은 캐리어 플레이트 내에 간단한 방식으로, 특히 자동적으로 위치될 수 있다.

바람직한 실시예에서, 적어도 하나의 연결 웨브는 소정의 가요성을 갖는다. 이것은 적어도 하나의 연결 웨브의 상대적으로 얇은 설계에 의해 달성될 수 있다. 적어도 하나의 연결 웨브가 절단될 수 있는 것이 특히 바람직하다. 따라서, 특히 베이스 플레이트 또는 분리 벽 상에의 제어 회로 기판의 조립 전에 적어도 하나의 연결 웨브를 절단하는 것이 가능하다. 이에 의해, 플러그 접점을 지탱하는 캐리어 플레이트를, 예를 들어 스크류 고정에 의해, 베이스 플레이트 또는 분리 벽 상에 견고하게 고정시키는 것이 가능하게 된다. 이것은 또한 제어 회로 기판에 대해서도 가능하다.

허용 오차의 보상을 위해, 제어 회로 기판을 분리 벽 상에 조립할 때, 플러그 접점을 전류 관통부의 핀 상에 플러깅하면서 동시에 제어 회로 기판이 먼저 분리 벽 상에 놓이는 것이 바람직하다. 다음 단계에서, 플러그 접점, 특히 플러그 접점의 캐리어 플레이트가 예를 들어 스크류 연결에 의해 분리 벽에 고정식으로 연결될 수 있으며, 이때 적어도 하나의 연결 웨브는 가능하게는 이러한 연결 전에 절단된다. 다음 단계에서, 제어 회로 기판이 특히 또한 스크류 연결에 의해, 분리 벽에 확고하게 고정될 수 있다.

허용 오차의 보상을 위해, 제어 회로 기판을 베이스 플레이트 상에 장착할 때, 제어 회로 기판이 먼저 베이스 플레이트 상에 고정된다. 이어서 플러그 접점 또는 캐리어 플레이트가 최종적인 고정 없이, 베이스 플레이트 상에 느슨하게 고정된다. 이어서, 베이스 플레이트가 특히 스크류 연결에 의해, 직접적으로 또는 간접적으로 분리 벽에 고정식으로 연결되며, 베이스 플레이트에 느슨하게 연결된 플러그 접점은 이전에 플러깅된다. 여기서, 적어도 하나의 연결 웨브의 절단이 특히 이러한 단계 전에 행해진다. 그 후에, 베이스 플레이트 또는 베이스 요소가 분리 벽 상에 고정되고, 마지막으로 플러그 접점 또는 플러그 접점의 캐리어 플레이트가 베이스 플레이트 상에 고정된다.

제어 회로 기판을 고정시키는 전술된 변형예 양자에서, 연결 웨브가 가요성이거나 절단된다면, 힘 및 장력이 플러그 접점을 통해 전류 관통부 내로 유발되지 않는다. 장력으로 이어질 수 있는 발생하는 허용 오차가 절단가능한 또는 가요성인 연결 웨브와 조합하여, 플러그 접점이 특히 캐리어 플레이트 상에 배열되는 본 발명의 설계에 의해 보상된다.

또한, 본 발명은 펌프 하우징 내에 배열된, 그리고 특히 회전가능 방식으로 지지된 로터 샤프트를 갖는 진공 펌프에 관한 것이다. 샤프트는 적어도 하나의 로터 요소를 지탱한다. 또한, 적어도 하나의 스테이터 요소가 펌프 하우징 내에 배열되어, 로터 요소와 협력한다. 또한, 본 발명에 따르면 그리고 구동 및 제어 장치에 대응하여, 분리 벽이 진공 영역을 한정하기 위해 제공된다. 분리 벽은 또한 예를 들어 핀 등을 갖는 전류 관통부를 포함한다. 구동 장치 및/또는 다른 전기 장치가, 특히 펌프 하우징의 일부분인 분리 벽의 일측에 배열되는 반면, 제어 장치는 다른 측에 배열된다. 여기서, 전기 장치는 펌프의 진공 영역 내에 배열되는 반면, 제어 장치는 보다 낮은 진공, 특히 대기압을 갖는 영역 내에 배열된다. 본 발명에 따르면, 구동 및 제어 장치에 관하여 상기에 기술된 바와 같이, 제 1 전류 도체가 구동 장치에 연결되고 제 2 전류 도체가 제어 장치에 연결되며, 제 2 전류 도체는 전류 관통부에 직접 연결되는 플러그 접점을 갖는다. 본 발명의 진공 펌프는 바람직하게는 구동 및 제어 장치의 다양한 실시예에 관하여 상기에 기술된 바와 같이 개발된다. 이에 따라 구동 및 제어 장치의 개개의 상기에 기술된 특징이 또한 본 발명의 진공 펌프의 바람직한 특징을 나타낸다.

본 발명은 또한 진공 펌프를 위한 제어 회로 기판을 제조 및 장착하기 위한 방법에 관한 것이다.

먼저, 메인 캐리어 및 캐리어 플레이트를 갖는 회로 제어 기판이 제조된다. 회로 기판 캐리어의 메인 캐리어는 전자 구성요소 등을 수용하는 역할을 한다. 캐리어 플레이트는 플러그 접점을 수용하는 역할을 하며, 본 발명에 따르면, 적어도 하나의 연결 웨브에 의해 메인 캐리어에 연결된다.

회로 기판 캐리어의 제조 후에, 메인 캐리어에는 전자 구성요소가 장비되며, 이는 바람직한 실시예에서 자동 방식으로 또는 자동화된 방식으로 행해진다. 그 후에, 플러그 접점이 캐리어 플레이트 상에 배열되며, 이는 바람직하게는 자동 방식으로 또는 자동화된 방식으로 또한 행해질 수 있다. 본 발명에 따르면, 적어도 하나의 연결 웨브는 조립을 위해 또는 조립 동안에 절단된다. 이에 의해, 본 발명의 구동 및 제어 장치, 그리고 본 발명이 진공 펌프에 관하여 상기에 기술된 허용 오차 보상이 간단한 방식으로 달성될 수 있다.

회로 기판 캐리어의 제조를 위해, 예를 들어 전자 회로 기판에 일반적으로 사용되는 일체형의 평평한 캐리어 재료로부터 회로 기판 캐리어를 제조하는 바람직하며, 여기서 플러그 접점을 수용하는 캐리어 플레이트는 리세스가 형성되도록 제조된다. 여기서, 리세스는 캐리어 플레이트를 유지하기 위해 적어도 하나의 연결 웨브가 남도록 형성된다. 리세스는 밀링(milling), 커팅(cutting) 등에 의해 제조될 수 있다.

제어 회로 기판, 즉 메인 캐리어 및/또는 캐리어 플레이트는 바람직하게는 진공 영역의 경계를 정하는 분리 벽 상에 또는 베이스 플레이트 상에 상기에 기술된 바와 같이 장착된다. 여기서, 진공 펌프에 관하여 상기에 기술된 바와 같이, 플러그 접점은 바람직하게는 전류 관통부 또는 대응하는 핀 상에 직접 플러깅된다.

본 방법은 구동 및 제어 장치의 다양한 실시예뿐만 아니라 진공 펌프에 관하여 상기에 기술된 바와 같은 유리한 방식으로 개발된다.

본 발명이 바람직한 실시예 및 첨부 도면을 참조하여 상세히 기술될 것이다.

도 1은 베이스 플레이트 상에 장착된 구동 및 제어 장치의 개략 단면도,
도 2는 제어 회로 기판 및 플러그 접점의 개략 평면도,
도 3은 분리 벽 상에 장착된 구동 및 제어 장치의 개략 단면도,
도 4는 제어 회로 기판 및 플러그 접점의 추가의 실시예의 개략 단면도,
도 5는 도 4에 예시된 제어 회로 기판 및 플러그 접점의 개략 단면도, 및
도 6은 플러그 접점이 제 위치에 있는 상태의 도 5에 예시된 제어 회로 기판의 개략 단면도.

예시된 제 1 실시예(도 1 및 도 2)에서, 제어 장치는 회로 기판(12) 상에 배열된 단지 개략적으로 예시된 복수의 전자 구성요소(10)를 갖는다. 회로 기판(12)은 예를 들어 주파수 변환기, 추가의 제어 장치 등에 연결된다. 전기 모터와 같은 개략적으로 예시된 구동 장치(14)가 진공 펌프를 구동시키기 위해 제공된다. 여기서, 전기 모터는 전형적으로 구동될 진공 펌프의 로터 샤프트에 직접 연결된다. 전기 모터 대신에, 이것은 온도 센서, 회전 속도 센서 및/또는 다른 전자 장치일 수 있다. 진공 펌프의 분리 벽(16)에 관해서, 전자 장치는 진공이 만연하는 영역(18) 내에 배열된다. 분리 벽은 보다 낮은 진공 또는 특히 대기압이 만연하는 영역(20)으로부터, 진공 영역(18)을 특히 기밀하게 분리시킨다. 장치(14)는 전류 도체(22)를 통해 핀(24)에 연결된다. 핀(24)은 분리 벽을 관통하고 이에 따라 전류 관통부(current lead-through)를 나타낸다. 밀봉 목적을 위해, 핀(24)은 예를 들어 유리(26) 내에 캐스팅된다.

특히 대기압이 만연하는 영역(20)에서, 핀(24)은 플러그 접점(28)에 연결된다. 플러그 접점은 캐리어 플레이트(carrier plate)(30) 상에 배열되는데, 예를 들어 캐리어 플레이트(30) 상에 접착된다. 전기적 연결을 위해, 캐리어 플레이트(30)는, 예시된 실시예에서 리본 케이블(ribbon cable)(32)인 가요성 케이블을 통해 제어 회로 기판(12)에 연결된다. 예시된 실시예에서, 캐리어 플레이트(30)는 스크류(screw)(34)에 의해 베이스 플레이트(base plate)(25)에 고정된다. 조립 후에 제어 회로 기판(12)에 대한 연결이 예시된 실시예에서 가요성 리본 케이블(32)만을 통해 수행되기 때문에, 제어 회로 기판(12)은 캐리어 플레이트(30) 내로 힘을 유발하지 않고, 이에 따라 핀(24)으로의 힘이 유발되지 않는다. 이에 의해 봉지재(26)가 대응하는 힘 또는 장력에 의해 손상되지 않는 것이 보장된다. 베이스 플레이트(35)는 스크류(37)에 의해 분리 벽(16)에 연결된다.

본 발명의 이러한 바람직한 실시예에서, 장착을 위해, 제어 회로 기판(12)이 먼저 스크류(38)를 사용하여 베이스 플레이트(35) 상에 고정된다. 그 후에, 스크류(34)가 플러그 접점(28) 내로 약간 조여지는 반면, 플러그 접점(28)은 아직 고정되지 않아 여전히 이동가능하다. 다음 조립 단계에서, 베이스 플레이트(35)가 분리 벽(16) 상에 놓이거나 플러깅되며, 여기서 예를 들어 중심설정 돌출부, 중심설정 핀 등이 제공될 수 있다. 여기서, 플러그 접점(28)이 핀(24) 상에 플러깅된다. 플러그 접점(28)이 아직 고정되어 있지 않기 때문에, 봉지재(26) 내로 유발되는 대응하는 힘 또는 장력-이는 봉지재를 손상시킬 수 있음 - 없이 플러깅이 이루어질 수 있다. 이러한 고정에 의해, 플러그 접점(28)을 약간 변위시키는 것이 여전히 가능하다. 베이스 플레이트(35)의 고정 후에, 플러그 접점(28)이 또한 스크류(34)를 사용하여 고정될 수 있다.

제어 회로 기판(12)을 제조하기 위해, 제어 회로 기판은 회로 기판 캐리어(42)를 갖는다(도 2). 전자 구성요소(10)뿐만 아니라 도체 경로 등이 그것 상에 배열된다. 장비를 위해, 예시된 실시예의 캐리어 플레이트(30)가 4개의 연결 웨브(connecting web)(44)를 통해 회로 기판 캐리어(42)에 연결된다. 이에 의해, 플러그(28)를 자동 방식으로 또는 자동화된 방식으로 또한 위치설정하는 것이 가능하다. 베이스 플레이트(35) 상에의 조립 전에 또는 조립 동안에, 연결 웨브(44)가 절단된다.

다른 바람직한 실시예(도 3)에서, 유사하거나 동일한 구성요소가 동일한 도면 부호에 의해 지시된다.

이러한 실시예의 본질적인 차이는, 제어 회로 기판(12) 및 플러그 접점(18)이 베이스 플레이트(35)(도 1) 상에 배열되지 않고 분리 벽(16) 상에 배열된다는 것이다. 제어 회로 플레이트(12)는, 도 2에 예시된 바와 같이, 웨브(44)를 통해 캐리어 플레이트(30)에 연결된다. 또한, 리본 케이블(32)이 전기적 접촉 목적을 위해 제공된다. 조립을 위해, 캐리어 플레이트(30)로부터의 그리고 이에 따라 봉지재 덩어리(26)로의 힘의 전달을 방지하기 위해, 웨브(44)가 절단된다.

조립을 위해, 제어 장치(12)가 먼저 스크류(33)에 의해 분리 벽(16) 상에 고정된다. 동시에, 플러그 접점(28)이 아직 고정되지 않은 채로 핀(24) 상에 플러깅된다. 플러그 접점(28)은 제어 회로 기판(12)이 스크류(33)에 의해 분리 벽(16) 상에 고정된 후에만 고정된다. 이어서, 플러그 접점(28)이 스크류(29)에 의해 고정된다.

도 4 내지 도 6은 제어 회로 기판뿐만 아니라 플러그 접점의 다른 바람직한 실시예를 예시한다. 이것은, 2개의 실시예를 참조하여 상기에 논의된 바와 같이, 가능하게는 분리 벽(16) 또는 베이스 플레이트(35)에 연결될 수 있는 독립적인 발명이다. 도 4 내지 도 6에 예시된 제어 회로 기판(46)에는 또한 복수의 전자 구성요소(10)가 장비된다. 캐리어 플레이트(48)가 제어 회로 기판(46) 밖에 배열된다. 가능하게는, 연결 웨브(52)가 회로 기판 캐리어(50)뿐만 아니라 캐리어 플레이트(48)를 장비(equipping)하기 위해 제공될 수 있고, 이어서 웨브가 조립을 위해 절단된다. 그러나, 이들 연결 웨브(52)는 또한 생략될 수 있다. 리본 케이블로서 또한 설계될 수 있는 도체(54)가 제어 회로 기판(46)을 캐리어 플레이트(48) 또는 캐리어 플레이트(48) 상에 배열된 플러그 접점(28)에 연결한다. 가능하게는, 캐리어 플레이트 또는 회로 기판(48)이 생략될 수 있다. 이러한 실시예에서, 도체(54) 또는 대응하는 리본 케이블이 플러그 접점(28)에 직접 연결된다.

특히, 연결 웨브(52)가 제공된다면, 회로 기판(46)뿐만 아니라 캐리어 플레이트(48)의 자동 장비가 수행될 수 있다. 조립을 위해, 웨브(52)가 존재하는 경우, 웨브(52)는 절단되고, 플러그 접점(28)과 함께 캐리어 플레이트(48)는 도 5에 예시된 위치로부터 도 6에 예시된 위치로 이동된다. 이러한 목적을 위해, 회로 기판 캐리어(50)에는 통로 보어(56)가 제공된다. 플러그 접점(54)의 실질적으로 원통형인 돌출부(58)가 조립을 위해 보어(56)를 통해 삽입되며, 보어(56)의 직경은 원통형 돌출부(58)의 직경보다 크다. 이어서 조립을 위해, 플러그 접점(28)이 상기 실시예에 대해 기술된 바와 같이, 스크류에 의해 분리 벽(16) 또는 베이스 플레이트(35) 상에 고정될 수 있다. 이것은 2개의 스크류(60)를 이용하여 행해질 수 있다. 조립 시에, 플러그 접점(28)이 다시 핀(24) 상에 플러깅되며, 여기서 플러그 접점(28)과 제어 회로 기판(46)의 기계적 분리로 인해, 봉지재(26) 내로의 힘 또는 장력의 유발이 회피된다.

Claims

진공 펌프를 위한 구동 및 제어 장치로서,
진공 펌프의 진공 영역(18) 내에 배열된 전기 장치(14),
상기 진공 펌프의 진공 영역(18) 밖에 배열된 제어 장치(12, 46),
상기 진공 영역(18)의 경계를 정하기 위한 분리 벽(separating wall)(16), 및
상기 분리 벽(16) 내에 진공-기밀 방식으로 배열되고, 제 1 전류 도체(22)를 통해 상기 전기 장치(14)에 그리고 제 2 전류 도체(28, 32)를 통해 상기 제어 장치(12, 46)에 연결된 전류 관통부(current lead-through)(24)를 갖는, 상기 진공 펌프를 위한 구동 및 제어 장치에 있어서,
상기 제 2 전류 도체(28, 32)는 상기 전류 관통부(24)에 직접 연결된 플러그 접점(plug contact)(28, 58)을 갖고, 상기 플러그 접점은 조립 전에, 적어도 하나의 연결 웨브(connecting web)(44)를 통해 상기 제어 장치(12)에 연결되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 구동 및 제어 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 제어 장치(12, 46)는 상기 분리 벽(16)에 연결된 제어 회로 기판(12, 46)을 갖는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 구동 및 제어 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 플러그 접점(28, 58)은 상기 분리 벽(16) 상에 고정되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 구동 및 제어 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 제어 장치(12, 46)는 바람직하게는 상기 분리 벽(16) 상에 고정된 베이스 플레이트(base plate)(35)에 고정되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 구동 및 제어 장치.
제 4 항에 있어서,
상기 플러그 접점(28, 58)은 상기 베이스 플레이트(35) 상에 고정되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 구동 및 제어 장치.
제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 플러그 접점(28, 58)은 가요성 도체(32)를 통해 상기 제어 회로 기판(12, 46)에 연결되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 구동 및 제어 장치.
제 2 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 플러그 커넥터(28, 58)의 적어도 하나의 연결 웨브(44, 52)는 상기 제어 회로 기판(12, 46)에 연결되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 구동 및 제어 장치.
제 7 항에 있어서,
상기 플러그 접점(28, 58)은 캐리어 플레이트(carrier plate)(30) 상에 배열되고, 상기 연결 웨브(44, 52)는 상기 캐리어 플레이트(30) 상에 연결되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 구동 및 제어 장치.
제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
상기 연결 웨브(44, 52)는 허용 오차-보상 조립(tolerance-compensating assembly)을 위해 절단되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프를 위한 구동 및 제어 장치.
진공 펌프로서,
펌프 챔버 내에 배열된 로터 샤프트(rotor shaft)로서, 적어도 하나의 로터 요소를 지탱하는, 상기 로터 샤프트,
펌프 하우징 내에 배열되고, 상기 적어도 하나의 로터 요소와 협력하는 적어도 하나의 스테이터 요소,
상기 진공 펌프의 진공 영역(18) 내에 배열된 전기 장치(14),
상기 진공 펌프의 진공 영역(18) 밖에 배열된 제어 장치(12, 46),
상기 진공 영역(18)의 경계를 정하기 위한 분리 벽(16), 및
상기 분리 벽(16) 내에 진공-기밀 방식으로 배열되고, 제 1 전류 도체(22)를 통해 상기 전기 장치(14)에 그리고 제 2 전류 도체(28, 32)를 통해 상기 제어 장치(12, 46)에 연결된 전류 관통부(24)를 포함하는, 상기 진공 펌프에 있어서,
상기 제 2 전류 도체(28, 32)는 상기 전류 관통부(24)에 직접 연결된 플러그 접점(28, 58)을 갖고, 상기 플러그 접점은, 조립 전에, 적어도 하나의 연결 웨브(44)를 통해 상기 제어 장치(12)에 연결되는 것을 특징으로 하는
진공 펌프.
진공 펌프를 위한 제어 회로 기판을 제조 및 장착하기 위한 방법에 있어서,
메인 캐리어(main carrier)(42, 50), 및 적어도 하나의 연결 웨브(44, 52)를 통해 상기 메인 캐리어(42, 50)에 연결된 캐리어 플레이트(30, 48)를 갖는 회로 기판 캐리어를 제조하는 단계,
상기 메인 캐리어(42, 50)에 전자 구성요소(10)를 장비(equipping)하는 단계,
상기 캐리어 플레이트(30, 48) 상에 플러그 접점(28, 59)을 배열하는 단계, 및
조립을 위해 또는 조립 동안에, 상기 적어도 하나의 연결 웨브(44, 52)를 절단하는 단계를 포함하는
진공 펌프를 위한 제어 회로 기판 제조 및 장착 방법.
제 11 항에 있어서,
상기 메인 캐리어(42, 50) 및/또는 상기 캐리어 플레이트(30, 48)는 제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항의 구동 및 제어 장치의 분리 벽(16) 또는 베이스 플레이트(35)에 조립되고, 상기 플러그 접점(28, 59)은 바람직하게는, 특히 상기 전류 관통부(24) 상에 또는 내로 플러깅(plugging)됨으로써, 상기 전류 관통부(24)에 직접 연결되는
진공 펌프를 위한 제어 회로 기판 제조 및 장착 방법.
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,
상기 플러그 접점(28, 58)은 상기 전류 관통부(24) 상에 플러깅된 후에 특히 외측으로부터 상기 베이스 플레이트(35)에 고정되는
진공 펌프를 위한 제어 회로 기판 제조 및 장착 방법.