KR20160078217A

KR20160078217A - 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치

Info

Publication number: KR20160078217A
Application number: KR1020150127278A
Authority: KR
Inventors: 마사노부 소야마
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2014-12-24
Filing date: 2015-09-08
Publication date: 2016-07-04
Also published as: CN105729640B; CN105729640A; JP2016120598A; TWI680953B; TW201623172A; JP6471491B2

Abstract

[과제] 스크라이브 라인의 가공 정밀도를 향상시킨다.
[해결 수단] 스크라이브 방법은, 스텝 (a) 및 스텝 (b)를 포함한다. 스텝 (a)는, 제1 커터(1)에 의해서, 기판(W)의 표면에 제1 스크라이브 라인을 형성한다. 제1 커터(1)는, 스텝 (a)에 있어서, 기판(W)의 표면 측에 배치되고, 기판(W)을 향하는 방향으로 하중이 걸리고 있다. 스텝 (b)는, 제2 커터(2)에 의해서, 기판(W)의 하부면에 제2 스크라이브 라인을 형성한다. 제2 커터(2)는, 스텝 (b)에 있어서, 기판(W)의 하부면 측에 배치되고, 기판(W)을 향하는 방향에 있어서 고정되어 있다.

Description

스크라이브 방법 및 스크라이브 장치{SCRIBE METHOD AND SCRIBE APPARATUS}

본 발명은 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치에 관한 것이다.

제1 기판과 제2기판으로 이루어진 접합 기판은, 제1 및 제2기판의 각각 형성된 스크라이브 라인을 따라서 브레이크된다. 예를 들면, 특허문헌 1에는, 접합 기판의 제1 및 제2기판에 스크라이브 라인을 형성하는 장치가 개시되어 있다. 이 스크라이브 장치는, 제1 커터에 의해서 상부면으로부터 기판을 압압하는 동시에, 제2 커터에 의해서 하부면으로부터 기판을 압압하여, 기판의 양면에 스크라이브 라인을 형성하고 있다.

JP

2011-194628

A

최근, 기판의 박형화가 진행되고 있다. 이러한 얇은 기판에서는, 기판의 상부면에 형성된 스크라이브 라인이나, 기판의 하부면에 형성된 스크라이브 라인의 가공 정밀도가 중요하게 되므로, 스크라이브 라인의 가공 정밀도를 향상시키는 것이 바람직하다.

본 발명의 과제는, 스크라이브 라인의 가공 정밀도를 향상시키는 것에 있다.

본 발명의 제1측면에 따른 스크라이브 방법은, 기판의 양면에 스크라이브 라인을 형성하는 방법이다. 이 스크라이브 방법은, 스텝 (a) 및 스텝 (b)를 포함한다. 스텝 (a)는, 제1 커터에 의해서, 기판의 한쪽 면에 제1 스크라이브 라인을 형성한다. 제1 커터는, 스텝 (a)에 있어서, 기판의 한쪽 면 측에 배치되고, 기판을 향하는 방향으로 하중이 걸리고 있다. 스텝 (b)는, 제2 커터에 의해서, 기판의 다른 쪽 면에 제2 스크라이브 라인을 형성한다. 제2 커터는, 스텝 (b)에 있어서, 기판의 다른 쪽 면 측에 배치되고, 기판을 향하는 방향에 있어서 고정되어 있다.

이 방법에 따르면, 기판의 한쪽 면 측으로부터만 하중이 걸리고, 기판의 다른 쪽 면 측으로부터는 하중이 걸리지 않는다. 이 때문에, 스크라이브 라인을 형성할 때의 가공 정밀도를 향상시킬 수 있다.

바람직하게는, 스텝 (a)에 있어서, 제1 백업 롤러와 제1 커터에 의해서, 기판을 압접한다. 제1 백업 롤러는, 스텝 (a)에 있어서, 기판의 다른 쪽 면 측에 배치되고, 기판을 향하는 방향에 있어서 고정되어 있다. 바람직하게는, 스텝 (b)에 있어서, 제2 백업 롤러와, 상기 제2 커터에 의해서, 상기 기판을 압접한다. 제2 백업 롤러는, 스텝 (b)에 있어서, 기판의 한쪽 면 측에 배치되고, 기판을 향하는 방향으로 하중이 걸리고 있다.

제1 커터와 제2 커터에 의해서, 기판을 압접해도 된다.

바람직하게는, 제1 커터 및 제2 커터 중 적어도 한쪽은 커터 휠이다.

본 발명의 제2측면에 따른 스크라이브 장치는, 기판의 양면에 스크라이브 라인을 형성하는 장치이다. 이 스크라이브 장치는, 제1 커터와 제2 커터를 구비한다. 제1 커터는, 기판의 한쪽 면 측에 배치되고, 기판을 향하는 방향으로 하중이 걸리고 있다. 제2 커터는, 기판의 다른 쪽 면 측에 배치되고, 기판을 향하는 방향에 있어서 고정되어 있다.

본 발명에 따르면, 스크라이브 라인의 가공 정밀도를 향상시킬 수 있다.

도 1은 스크라이브 장치의 개략 측면도;
도 2는 스크라이브 장치의 개략 정면도;
도 3은 변형예에 따른 스크라이브 장치의 측면도.

이하, 본 발명에 따른 스크라이브 방법 및 스크라이브 장치의 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1은 스크라이브 장치의 개략 측면도이고, 도 2는 스크라이브 장치의 개략 정면도이다. 또, 가공 대상 기판(W)은, 접합 기판으로서, 제1 기판(101)과 제2기판(102)을 구비한다. 이하의 실시형태에서는, 제1 기판(101)이 윗쪽을 향하고 있고, 제2기판(102)이 아래쪽을 향하고 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 스크라이브 장치(10)는 제1 커터(1), 제2 커터(2), 제1 백업 롤러(3) 및 제2 백업 롤러(4)를 구비하고 있다.

제1 커터(1)는 기판(W)의 한쪽 면 측에 배치되어 있다. 또, 본 실시형태에서는, 제1 커터(1)는 기판(W)의 표면 측에 배치되어 있다. 즉, 제1 커터(1)는 제1 기판(101)에 제1 스크라이브 라인을 형성하기 위한 부재이다.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 커터(1)는, 커터 휠로서, 제1 홀더(도시 생략)에 회전가능하게 유지되어 있다. 이 제1 커터(1)는, 제1 스크라이브 라인을 형성하는 동안, 기판(W)을 향하는 방향으로 하중이 걸리고 있다. 즉, 제1 커터(1)는 아래쪽에 하중이 걸리고 있다.

제2 커터(2)는, 기판(W)의 다른 쪽 면 측에 배치되어 있다. 구체적으로는, 제2 커터(2)는 기판(W)의 하부면 측에 배치되어 있다. 즉, 제2 커터(2)는 제2기판(102)에 제2 스크라이브 라인을 형성하기 위한 부재이다.

제2 커터(2)는, 커터 휠로서, 제2 홀더(도시 생략)에 회전가능하게 유지되어 있다. 이 제2 커터(2)는, 제2 스크라이브 라인을 형성하는 동안, 기판(W)을 향하는 방향에 있어서, 고정되어 있다. 즉, 제2 커터(2)는, 제2 스크라이브 라인을 형성하는 동안, 기판(W)을 향하는 방향으로 하중이 걸리지 않고 있다. 또한, 제2 커터(2)는, 제2 스크라이브 라인을 형성하고 있지 않을 때에는, 상하 방향으로 이동가능해도 된다.

제1 백업 롤러(3)는 기판(W)의 다른 쪽 면 측에 배치되어 있다. 구체적으로는, 제1 백업 롤러(3)는 기판(W)의 하부면 측에 배치되어 있다. 제1 백업 롤러(3)는 회전가능하게 유지되어 있다. 제1 백업 롤러(3)는 제1 커터(1)의 아래쪽에 배치되어 있다. 이 제1 백업 롤러(3)과 제1 커터(1)에 의해서 기판(W)을 압접한다.

제1 백업 롤러(3)는, 제1 스크라이브 라인을 형성하는 동안, 기판(W)을 향하는 방향에 있어서, 고정되어 있다. 즉, 제1 백업 롤러(3)는, 제1 스크라이브 라인을 형성하는 동안, 기판(W)을 향하는 방향으로 하중이 걸리지 않고 있다. 또, 제1 스크라이브 라인을 형성하고 있지 않을 때에는, 제1 백업 롤러(3)는 상하 방향으로 이동가능해도 된다.

제2 백업 롤러(4)는, 기판(W)의 한쪽 면 측에 배치되어 있다. 구체적으로는, 제2 백업 롤러(4)는 기판(W)의 표면 측에 배치되어 있다. 제2 백업 롤러(4)는 회전가능하게 유지되어 있다. 제2 백업 롤러(4)는 제2 커터(2)의 윗쪽에 배치되어 있다. 이 제2 백업 롤러(4)와 제2 커터(2)에 의해서 기판(W)을 압접한다.

제2 백업 롤러(4)는, 제2 스크라이브 라인을 형성하는 동안, 기판(W)을 향하는 방향으로 하중이 걸리고 있다. 즉, 제2 백업 롤러(4)는 아래쪽으로 하중이 걸리고 있다.

다음에, 전술한 스크라이브 장치(10)를 사용한 스크라이브 방법에 대해서 설명한다. 이 스크라이브 방법은, 다음 스텝 (a) 및 스텝 (b)를 구비하고 있다. 또, 스텝 (a)와 스텝 (b)는 병행하여 행해진다. 즉, 제1 스크라이브 라인과 제2 스크라이브 라인은 동시에 형성된다.

스텝 (a)에서는, 기판(W)에 제1 스크라이브 라인을 형성한다. 즉, 기판(W)의 제1 기판(101)에 제1 스크라이브 라인을 형성한다. 상세하게는, 제1 커터(1)와 제1 백업 롤러(3)에 의해서 기판(W)을 압접한다. 여기에서, 제1 백업 롤러(3)는 기판(W)을 향하는 방향에 있어서 고정되어 있다. 즉, 고정된 제1 백업 롤러(3) 측에 제1 커터(1)을 이동시킴으로써, 기판(W)을 압접하고 있다. 또한, 제1 커터(1)에 걸리는 하중은, 0.1 내지 1.0N 정도이다.

전술한 바와 같이, 제1 커터(1)와 제1 백업 롤러(3)에 의해서 기판(W)을 압접한 상태에서, 제1 커터(1) 및 제1 백업 롤러(3)를 기판(W)이 뻗는 방향으로 이동시킨다. 즉, 제1 커터(1) 및 제1 백업 롤러(3)를 수평방향으로 이동시킨다. 혹은, 제1 커터(1)와 제1 백업 롤러(3)에 의해서 기판(W)을 압접한 상태에서, 기판(W)을 수평방향으로 이동시킨다. 이것에 의해, 제1 스크라이브 라인이 형성된다.

스텝 (b)에서는, 기판(W)에 제2 스크라이브 라인을 형성한다. 즉, 기판(W)의 제2기판(102)에 제2 스크라이브 라인을 형성한다. 상세하게는, 제2 커터(2)와 제2 백업 롤러(4)에 의해서 기판(W)을 압접한다. 여기에서, 제2 커터(2)는, 기판(W)을 향하는 방향에 있어서, 고정되어 있다. 즉, 고정된 제2 커터(2) 측에 제2 백업 롤러(4)를 이동시킴으로써, 기판(W)을 압접하고 있다. 또한, 제2 백업 롤러(4)에 걸리는 하중은, 제1 커터(1)에 걸리는 하중과 실질적으로 동일하다.

전술한 바와 같이, 제2 커터(2)와 제2 백업 롤러(4)에 의해서 기판(W)을 압접한 상태에서, 제2 커터(2) 및 제2 백업 롤러(4)을 기판(W)이 뻗는 방향으로 이동시킨다. 즉, 제2 커터(2) 및 제2 백업 롤러(4)을 수평방향으로 이동시킨다. 혹은, 제2 커터(2)와 제2 백업 롤러(4)에 의해서 기판(W)을 압접한 상태에서, 기판(W)을 수평방향으로 이동시킨다. 이것에 의해, 제2 스크라이브 라인이 형성된다.

이상과 같이, 본 실시형태에서는, 기판(W)의 윗쪽에 배치된 제1 커터(1) 및 제2 백업 롤러(4)에만 하중이 걸린다. 즉, 기판(W)의 아래쪽에 배치된 제2 커터(2) 및 제1 백업 롤러(3)에는, 하중이 걸리지 않는다. 이 때문에, 제1 및 제2 스크라이브 라인을 형성할 때의 가공 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한, 하중을 가하기 위한 장치는, 기판(W)의 윗쪽에만 배치되므로, 스크라이브 장치(10)를 간소화할 수 있다.

[변형예]

이상, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 이들로 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 한에 있어서 여러 가지 변경이 가능하다.

변형예 1

도 3에 나타낸 바와 같이, 제1 커터(1)와 제2 커터(2)에 의해서, 기판(W)을 압접해도 된다. 이 경우, 제1 커터(1)에만 하중이 걸리고, 제2 커터(2)에는 하중이 걸리지 않고 있다.

1: 제1 커터 2: 제2 커터
3: 제1 백업 롤러 4: 제2 백업 롤러
10: 스크라이브 장치 W: 기판

Claims

기판의 양면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법으로서,
(a) 상기 기판의 한쪽 면 측에 배치되고 또한 상기 기판을 향하는 방향으로 하중이 걸린 제1 커터에 의해서, 상기 기판의 한쪽 면에 제1 스크라이브 라인을 형성하는 스텝과,
(b) 상기 기판의 다른 쪽 면 측에 배치되고 또한 상기 기판을 향하는 방향에 있어서 고정된 제2 커터에 의해서, 상기 기판의 다른 쪽 면에 제2 스크라이브 라인을 형성하는 스텝을 포함하는, 스크라이브 방법.
제1항에 있어서, 상기 스텝 (a)에 있어서, 상기 기판의 다른 쪽 면 측에 배치되고 또한 상기 기판을 향하는 방향에 있어서 고정된 제1 백업 롤러와, 상기 제1 커터에 의해 상기 기판을 압접하고,
상기 스텝 (b)에 있어서, 상기 기판의 한쪽 면 측에 배치되고 또한 상기 기판을 향하는 방향으로 하중이 걸린 제2 백업 롤러와, 상기 제2 커터에 의해서, 상기 기판을 압접하는, 스크라이브 방법.
제1항에 있어서, 상기 제1 커터와 상기 제2 커터에 의해서, 상기 기판을 압접하는, 스크라이브 방법.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 커터 및 상기 제2 커터 중 적어도 한쪽은, 커터 휠인, 스크라이브 방법.
기판의 양면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 장치로서,
상기 기판의 한쪽 면 측에 배치되고, 상기 기판을 향하는 방향으로 하중이 걸린 제1 커터와,
상기 기판의 다른 쪽 면 측에 배치되고, 상기 기판을 향하는 방향에 있어서 고정된 제2 커터를 포함하는, 스크라이브 장치.