KR20160071854A - Light emitting device - Google Patents

Light emitting device Download PDF

Info

Publication number
KR20160071854A
KR20160071854A KR1020140179554A KR20140179554A KR20160071854A KR 20160071854 A KR20160071854 A KR 20160071854A KR 1020140179554 A KR1020140179554 A KR 1020140179554A KR 20140179554 A KR20140179554 A KR 20140179554A KR 20160071854 A KR20160071854 A KR 20160071854A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
electrode
bulk
light emitting
electrodes
contact
Prior art date
Application number
KR1020140179554A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102347483B1 (en
Inventor
김창연
채종현
Original Assignee
서울바이오시스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 서울바이오시스 주식회사 filed Critical 서울바이오시스 주식회사
Priority to KR1020140179554A priority Critical patent/KR102347483B1/en
Priority to PCT/KR2015/012153 priority patent/WO2016076637A1/en
Priority to DE112015005124.4T priority patent/DE112015005124T5/en
Priority to TW104219887U priority patent/TWM521810U/en
Priority to CN201521031647.7U priority patent/CN205488228U/en
Publication of KR20160071854A publication Critical patent/KR20160071854A/en
Priority to US15/244,744 priority patent/US10249798B2/en
Priority to KR1020210194338A priority patent/KR102461968B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102347483B1 publication Critical patent/KR102347483B1/en
Priority to KR1020220140129A priority patent/KR102550004B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/64Heat extraction or cooling elements
    • H01L33/647Heat extraction or cooling elements the elements conducting electric current to or from the semiconductor body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
    • H01L33/26Materials of the light emitting region
    • H01L33/30Materials of the light emitting region containing only elements of group III and group V of the periodic system
    • H01L33/32Materials of the light emitting region containing only elements of group III and group V of the periodic system containing nitrogen
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/36Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
    • H01L33/38Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape
    • H01L33/382Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape the electrode extending partially in or entirely through the semiconductor body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/52Encapsulations
    • H01L33/54Encapsulations having a particular shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/52Encapsulations
    • H01L33/56Materials, e.g. epoxy or silicone resin
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/62Arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body, e.g. lead-frames, wire-bonds or solder balls

Abstract

Disclosed is a light-emitting device which has improved heat dissipation efficiency and mechanical stability. The light-emitting device includes: a light-emitting structure; a first contact electrode and a second contact electrode each of which is placed above the light-emitting structure and is an ohmic contact which comes in contact with a first conduction-type semiconductor layer and a second conduction-type semiconductor layer, respectively; an insulating layer which is placed above the light-emitting structure and insulates the first contact electrode and the second contact electrode; a first bulk electrode and a second bulk electrode each of which is placed above the light-emitting structure and electrically connected to the first contact electrode and the second contact electrode, respectively; an insulating support which includes a first opening and a second opening which covers the side surface and a part of the top surface of the first bulk electrode and the second bulk electrode and exposes the top surface of the first bulk electrode and the second bulk electrode in part; and a first pad electrode and a second pad electrode each of which fills, at least in part, the first opening and the second opening, respectively. The area of the region exposed by the first opening and the second opening of the top surface of the first bulk electrode and the second bulk electrode is smaller than the horizontal cross-sectional area of the first bulk electrode and the second bulk electrode, respectively.

Description

발광 소자{LIGHT EMITTING DEVICE}[0001] LIGHT EMITTING DEVICE [0002]

본 발명은 발광 소자에 관한 것으로, 특히, 열 방출 효율과 기계적 안정성이 향상된 발광 소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light emitting device, and more particularly to a light emitting device having improved heat dissipation efficiency and mechanical stability.

최근 소형 고출력 발광 소자에 대한 요구가 증가하면서, 방열 효율이 우수한 대면적 플립칩형 발광 소자의 수요가 증가하고 있다. 플립칩형 발광 소자의 전극은 직접 2차 기판에 접합되며, 또한 플립칩형 발광 소자에 외부 전원을 공급하기 위한 와이어를 이용하지 않으므로, 수평형 발광 소자에 비해 열 방출 효율이 매우 높다. 따라서 고밀도 전류를 인가하더라도 효과적으로 열을 2차 기판 측으로 전도시킬 수 있어서, 플립칩형 발광 소자는 고출력 발광원으로 적합하다.In recent years, there is an increasing demand for a small-sized high-output light-emitting device, and a demand for a large-area flip-chip type light-emitting device having excellent heat dissipation efficiency is increasing. Since the electrode of the flip chip type light emitting device is directly bonded to the secondary substrate and the wire for supplying external power to the flip chip type light emitting device is not used, the heat emission efficiency is much higher than that of the horizontal type light emitting device. Therefore, even when a high-density current is applied, the heat can be effectively conducted to the secondary substrate side, so that the flip chip type light emitting device is suitable as a high output light emitting source.

또한, 발광 소자의 소형화 및 고출력을 위하여, 발광 소자를 별도의 하우징 등에 패키징하는 공정을 생략하고, 발광 소자 자체를 패키지로서 이용하는 칩 스케일 패키지(Chip Scale Package)에 대한 요구가 증가하고 있다. 특히, 플립칩형 발광 소자의 전극은 패키지의 리드와 유사한 기능을 할 수 있어서, 이러한 칩 스케일 패키지에 있어서도 유용하게 플립칩형 발광 소자가 적용될 수 있다.In addition, there is an increasing demand for a chip scale package that uses a light emitting device itself as a package, omitting the step of packaging the light emitting device into a separate housing for the miniaturization and high output of the light emitting device. In particular, the electrode of the flip chip type light emitting element can perform a similar function to the lead of the package, and a flip chip type light emitting element can be applied to such a chip scale package.

이러한 칩 스케일 패키지 형태의 소자를 고출력 발광 장치로서 이용하는 경우, 상기 칩 스케일 패키지에 고밀도의 전류가 인가된다. 고밀도의 전류가 인가되면, 그만큼 발광 칩으로부터 발생하는 열도 증가되며, 이에 따라 고출력 발광 장치의 열 방출 효율이 발광 장치의 신뢰성을 좌우하는 큰 요인이 된다. 따라서, 열 방출 효율이 높고, 기계적 안정성이 우수하여 신뢰성이 높은 고출력 칩 스케일 패키지가 요구된다.When such a chip scale package type device is used as a high output light emitting device, a high density current is applied to the chip scale package. When a high-density current is applied, the heat generated from the light emitting chip is increased correspondingly, and accordingly, the heat dissipation efficiency of the high-output light emitting device is a factor that affects the reliability of the light emitting device. Accordingly, there is a demand for a high-output chip scale package having high heat emission efficiency, excellent mechanical stability, and high reliability.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 열을 효과적으로 방출시킬 수 있고, 기계적으로 안정적인 구조를 갖는 발광 소자를 제공하는 것이다.A problem to be solved by the present invention is to provide a light emitting device capable of effectively emitting heat and having a mechanically stable structure.

본 발명의 일 측면에 따른 발광 소자는, 제1 도전형 반도체층, 제2 도전형 반도체층 및 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층의 사이에 위치하는 활성층을 포함하는 발광 구조체; 상기 발광 구조체 상에 위치하며, 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층에 각각 오믹 컨택하는 제1 컨택 전극 및 제2 컨택 전극; 상기 발광 구조체 상에 위치하며, 상기 제1 컨택 전극 및 제2 컨택 전극을 절연시키는 절연층; 상기 발광 구조체 상에 위치하며, 상기 제1 및 제2 컨택 전극 각각에 전기적으로 연결된 제1 벌크 전극 및 제2 벌크 전극; 상기 제1 벌크 전극 및 제2 벌크 전극의 측면 및 일부 상면을 덮고, 상기 제1 벌크 전극 및 제2 벌크 전극의 상면을 부분적으로 노출시키는 제1 개구부 및 제2 개구부를 포함하는 절연지지체; 및 각각 상기 제1 및 제2 개구부를 적어도 부분적으로 채우는 제1 패드 전극 및 제2 패드 전극을 포함하고, 상기 제1 및 제2 벌크 전극 상면 중 상기 제1 및 제2 개구부에 의해 노출되는 영역의 면적은 각각 상기 제1 및 제2 벌크 전극의 수평 단면적보다 작다.A light emitting device according to an aspect of the present invention includes: a light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, a second conductive semiconductor layer, and an active layer disposed between the first and second conductive semiconductor layers; A first contact electrode and a second contact electrode located on the light emitting structure and ohmically contacting the first and second conductive type semiconductor layers, respectively; An insulating layer disposed on the light emitting structure and insulating the first and second contact electrodes; A first bulk electrode and a second bulk electrode that are located on the light emitting structure and are electrically connected to the first and second contact electrodes, respectively; An insulating support including a first opening and a second opening covering the side surfaces and a part of the upper surface of the first and second bulk electrodes and partially exposing the upper surfaces of the first and second bulk electrodes; And a first pad electrode and a second pad electrode, respectively, at least partially filling the first and second openings, respectively, wherein a portion of the upper surface of the first and second bulk electrodes exposed by the first and second openings Sectional areas of the first and second bulk electrodes, respectively.

이에 따라, 기계적 안정성 및 방열 특성이 향상된 발광 소자가 제공될 수 있다.Thus, a light emitting device having improved mechanical stability and heat dissipation characteristics can be provided.

상기 제1 및 제2 벌크 전극 간의 이격 거리는 상기 제1 및 제2 개구부 간의 이격 거리보다 작을 수 있다.The spacing distance between the first and second bulk electrodes may be less than the spacing distance between the first and second openings.

나아가, 상기 제1 및 제2 벌크 전극 간의 이격 거리는 100㎛ 이하일 수 있다.Further, the distance between the first and second bulk electrodes may be 100 mu m or less.

또한, 상기 제1 및 제2 개구부 간의 이격 거리는 80㎛ 이상일 수 있다.The distance between the first and second openings may be 80 占 퐉 or more.

상기 절연지지체는 상기 제1 및 제2 벌크 전극의 측면을 덮는 하부 절연지지체, 및 상기 제1 및 제2 벌크 전극 상면의 일부를 덮는 상부 절연지지체를 포함할 수 있고, 상기 하부 및 상부 절연지지체는 서로 동일한 물질로 형성되거나, 또는 서로 다른 물질로 형성될 수 있다.The insulative support may include a lower insulative support covering the sides of the first and second bulk electrodes and an upper insulative support covering a portion of the upper surfaces of the first and second bulk electrodes, They may be formed of the same material, or may be formed of different materials.

또한, 상기 상부 절연지지체는, 상기 제1 벌크 전극과 상기 하부 절연지지체 간의 계면 및 상기 제2 벌크 전극과 상기 하부 절연지지체 간의 계면을 덮을 수 있다.The upper insulating support may cover an interface between the first bulk electrode and the lower insulating support and an interface between the second bulk electrode and the lower insulating support.

상기 하부 및 상부 절연지지체는 서로 다른 물질로 형성될 수 있고, 상기 상부 절연지지체는 포토레지스트 또는 포토솔더레지스트를 포함할 수 있다.The lower and upper insulative supports may be formed of different materials, and the upper insulative support may include photoresist or photo solder resists.

상기 제1 패드 전극의 상면, 제2 패드 전극의 상면 및 상기 절연지지체의 상면은 서로 동일한 높이로 나란하게 위치할 수 있다.The upper surface of the first pad electrode, the upper surface of the second pad electrode, and the upper surface of the insulating support may be positioned at the same height.

상기 절연층은 제1 절연층 및 제2 절연층을 포함할 수 있고, 상기 제1 절연층은 상기 제2 컨택 전극을 부분적으로 덮을 수 있으며, 상기 제1 컨택 전극은 상기 제1 절연층을 부분적으로 덮을 수 있고, 상기 제2 절연층은 상기 제1 컨택 전극을 부분적으로 덮어, 상기 제1 컨택 전극과 상기 제2 컨택 전극을 부분적으로 노출시키는 제3 개구부 및 제4 개구부를 포함할 수 있다.The insulating layer may include a first insulating layer and a second insulating layer, the first insulating layer may partially cover the second contact electrode, and the first contact electrode may partially cover the first insulating layer, And the second insulating layer may include a third opening and a fourth opening partially covering the first contact electrode and partially exposing the first contact electrode and the second contact electrode.

상기 제1 벌크 전극은 상기 제3 개구부를 통해 상기 제1 컨택 전극과 전기적으로 연결될 수 있고, 상기 제2 벌크 전극은 상기 제4 개구부를 통해 상기 제2 컨택 전극과 전기적으로 연결될 수 있다.The first bulk electrode may be electrically connected to the first contact electrode through the third opening and the second bulk electrode may be electrically connected to the second contact electrode through the fourth opening.

상기 발광 소자는, 상기 제2 컨택 전극과 상기 제2 벌크 전극 사이에 위치하는 연결 전극을 더 포함할 수 있다.The light emitting device may further include a connection electrode positioned between the second contact electrode and the second bulk electrode.

상기 연결 전극의 상면은 상기 제1 컨택 전극과 동일한 물질로 형성될 수 있다.The upper surface of the connection electrode may be formed of the same material as the first contact electrode.

또한, 상기 연결 전극의 상면은 상기 제1 컨택 전극의 상면과 동일한 높이로 위치할 수 있다.The upper surface of the connection electrode may be positioned at the same height as the upper surface of the first contact electrode.

상기 발광 구조체는 상기 제1 도전형 반도체층을 부분적으로 노출시키는 하나 이상의 홀을 포함할 수 있고, 상기 제1 컨택 전극은 상기 하나 이상의 홀을 통해 상기 제1 도전형 반도체층과 전기적으로 연결될 수 있다.The light emitting structure may include at least one hole partially exposing the first conductive type semiconductor layer, and the first contact electrode may be electrically connected to the first conductive type semiconductor layer through the at least one hole .

본 발명의 또 다른 측면에 따른 발광 소자는, 제1 도전형 반도체층, 제2 도전형 반도체층 및 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층의 사이에 위치하는 활성층을 포함하는 발광 구조체; 상기 발광 구조체 상에 위치하며, 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층에 각각 오믹 컨택하는 제1 컨택 전극 및 제2 컨택 전극; 상기 발광 구조체 상에 위치하며, 상기 제1 컨택 전극 및 제2 컨택 전극을 절연시키는 절연층; 상기 발광 구조체 상에 위치하며, 상기 제1 및 제2 컨택 전극 각각에 전기적으로 연결된 제1 벌크 전극 및 제2 벌크 전극; 및 상기 제1 벌크 전극 및 제2 벌크 전극의 측면 및 일부 상면을 덮고, 상기 제1 벌크 전극 및 제2 벌크 전극의 상면을 부분적으로 노출시키는 제1 개구부 및 제2 개구부를 포함하는 절연지지체를 포함하고, 상기 제1 및 제2 개구부 간의 이격 거리는 상기 제1 및 제2 벌크 전극 간의 이격 거리보다 클 수 있다. A light emitting device according to another aspect of the present invention includes: a light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, a second conductive semiconductor layer, and an active layer disposed between the first and second conductive semiconductor layers; A first contact electrode and a second contact electrode located on the light emitting structure and ohmically contacting the first and second conductive type semiconductor layers, respectively; An insulating layer disposed on the light emitting structure and insulating the first and second contact electrodes; A first bulk electrode and a second bulk electrode that are located on the light emitting structure and are electrically connected to the first and second contact electrodes, respectively; And an insulating support including a first opening and a second opening covering the side surfaces and a part of the upper surface of the first and second bulk electrodes and partially exposing the upper surfaces of the first and second bulk electrodes And the distance between the first and second openings may be greater than the distance between the first and second bulk electrodes.

상기 제2 도전형 반도체층은 p형 반도체층일 수 있고, 제2 벌크 전극의 상면 중 상기 제2 개구부에 의해 노출된 부분의 면적은, 상기 제2 벌크 전극과 상기 제2 컨택 전극이 접하는 부분의 면적보다 클 수 있다.The second conductive semiconductor layer may be a p-type semiconductor layer, and an area of a portion of the upper surface of the second bulk electrode exposed by the second opening may be larger than an area of the portion of the second bulk electrode in contact with the second bulk electrode Area.

또한, 상기 제1 도전형 반도체층은 n형 반도체층일 수 있고, 제1 벌크 전극의 상면 중 상기 제1 개구부에 의해 노출된 부분의 면적은, 상기 제1 벌크 전극와 상기 제1 컨택 전극이 접하는 부분의 면적보다 작을 수 있다.The first conductive semiconductor layer may be an n-type semiconductor layer, and an area of a portion of the upper surface of the first bulk electrode exposed by the first opening may be larger than an area of the first bulk electrode contacting the first bulk electrode . ≪ / RTI >

상기 제1 벌크 전극의 수평 단면적은 상기 제2 벌크 전극의 수평 단면적보다 클 수 있다.The horizontal cross-sectional area of the first bulk electrode may be greater than the horizontal cross-sectional area of the second bulk electrode.

본 발명의 또 다른 측면에 따른 발광 소자는, 제1 도전형 반도체층, 제2 도전형 반도체층 및 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층의 사이에 위치하는 활성층을 포함하는 발광 구조체; 상기 발광 구조체 상에 위치하며, 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층에 각각 오믹 컨택하는 제1 컨택 전극 및 제2 컨택 전극; 상기 발광 구조체 상에 위치하며, 상기 제1 컨택 전극 및 제2 컨택 전극을 절연시키는 절연층; 상기 발광 구조체 상에 위치하며, 상기 제1 및 제2 컨택 전극 각각에 전기적으로 연결된 제1 벌크 전극 및 제2 벌크 전극; 및 상기 제1 벌크 전극 및 제2 벌크 전극의 측면 및 일부 상면을 덮고, 상기 제1 벌크 전극 및 제2 벌크 전극의 상면을 부분적으로 노출시키는 제1 개구부 및 제2 개구부를 포함하는 절연지지체를 포함하고, 상기 절연지지체는 상기 제1 및 제2 벌크 전극의 사이 및 상기 제1 및 제2 벌크 전극이 서로 대향하는 측면 상부의 상기 제1 및 제2 벌크 전극의 일부 상면 상에 위치한다.A light emitting device according to another aspect of the present invention includes: a light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, a second conductive semiconductor layer, and an active layer disposed between the first and second conductive semiconductor layers; A first contact electrode and a second contact electrode located on the light emitting structure and ohmically contacting the first and second conductive type semiconductor layers, respectively; An insulating layer disposed on the light emitting structure and insulating the first and second contact electrodes; A first bulk electrode and a second bulk electrode that are located on the light emitting structure and are electrically connected to the first and second contact electrodes, respectively; And an insulating support including a first opening and a second opening covering the side surfaces and a part of the upper surface of the first and second bulk electrodes and partially exposing the upper surfaces of the first and second bulk electrodes And the insulating support is located on a portion of the upper surface of the first and second bulk electrodes on the upper side of the first and second bulk electrodes and on the upper side of the first and second bulk electrodes facing each other.

상기 절연지지체는 상기 제1 및 제2 벌크 전극의 외곽 측면 및 상기 제1 및 제2 벌크 전극의 외곽 측면 상부의 상기 제1 및 제2 벌크 전극의 일부 상면 상에 위치할 수 있다.The insulating support may be located on the outer side surfaces of the first and second bulk electrodes and on the upper surfaces of the first and second bulk electrodes on the outer side surfaces of the first and second bulk electrodes.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상부 절연지지체 및 하부 절연지지체를 포함하며, 벌크 전극들의 측면과 일부 상면을 덮는 절연지지체를 포함하는 발광 소자를 제공할 수 있다. 이에 따라, 열 방출 효율이 높고, 기계적 안정성이 뛰어나며, 습기와 같은 외부 요소에 의한 오염 확률이 낮아 신뢰성이 높은 발광 소자가 제공될 수 있다.According to embodiments of the present invention, it is possible to provide a light emitting device including an upper insulating support and a lower insulating support and including an insulating support covering a side surface and a part of an upper surface of the bulk electrodes. Accordingly, a light emitting device having high heat emission efficiency, excellent mechanical stability, low probability of contamination by external factors such as moisture and high reliability can be provided.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 소자를 설명하기 위한 단면도 및 평면도이다.
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 소자를 설명하기 위한 단면도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 소자를 설명하기 위한 단면도 및 평면도이다.
1 and 2 are a cross-sectional view and a plan view illustrating a light emitting device according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to another embodiment of the present invention.
4 and 5 are a cross-sectional view and a plan view illustrating a light emitting device according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 구성요소의 폭, 길이, 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 또한, 하나의 구성요소가 다른 구성요소의 "상부에" 또는 "상에" 있다고 기재된 경우 각 부분이 다른 부분의 "바로 상부" 또는 "바로 상에" 있는 경우뿐만 아니라 각 구성요소와 다른 구성요소 사이에 또 다른 구성요소가 개재된 경우도 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The following embodiments are provided by way of example so that those skilled in the art can sufficiently convey the spirit of the present invention. Therefore, the present invention is not limited to the embodiments described below, but may be embodied in other forms. In the drawings, the width, length, thickness, etc. of components may be exaggerated for convenience. It is also to be understood that when an element is referred to as being "above" or "above" another element, But also includes the case where another component is interposed between the two. Like reference numerals designate like elements throughout the specification.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 발광 소자를 설명하기 위한 단면도 및 평면도이다. 도 1은 도 2의 I-I'선에 대응하는 영역의 단면을 도시한다.1 and 2 are a cross-sectional view and a plan view illustrating a light emitting device according to an embodiment of the present invention. Fig. 1 shows a cross section of a region corresponding to line I-I 'in Fig.

도 1 및 도 2를 참조하면, 발광 소자(100)는 발광 구조체(120), 제1 컨택 전극(130), 제2 컨택 전극(140), 절연층(150, 160), 제1 및 제2 벌크 전극(171, 173) 및 절연지지체(180)를 포함한다. 나아가, 발광 소자(100)는 성장 기판(미도시), 파장변환부(미도시) 및 연결 전극(145)을 더 포함할 수 있다.1 and 2, a light emitting device 100 includes a light emitting structure 120, a first contact electrode 130, a second contact electrode 140, insulating layers 150 and 160, first and second Bulk electrodes 171 and 173, and an insulating support 180. Further, the light emitting device 100 may further include a growth substrate (not shown), a wavelength conversion unit (not shown), and a connection electrode 145.

발광 구조체(120)는 제1 도전형 반도체층(121), 제1 도전형 반도체층(121) 상에 위치하는 활성층(123), 및 활성층(123) 상에 위치하는 제2 도전형 반도체층(125)을 포함할 수 있다. 제1 도전형 반도체층(121), 활성층(123) 및 제2 도전형 반도체층(125)은 Ⅲ-Ⅴ 계열 화합물 반도체를 포함할 수 있고, 예를 들어, (Al, Ga, In)N과 같은 질화물계 반도체를 포함할 수 있다. 제1 도전형 반도체층(121)은 n형 불순물 (예를 들어, Si)을 포함할 수 있고, 제2 도전형 반도체층(125)은 p형 불순물 (예를 들어, Mg)을 포함할 수 있다. 또한, 그 반대일 수도 있다. 활성층(123)은 다중양자우물 구조(MQW)를 포함할 수 있다.The light emitting structure 120 includes a first conductivity type semiconductor layer 121, an active layer 123 located on the first conductivity type semiconductor layer 121, and a second conductivity type semiconductor layer 125). The first conductivity type semiconductor layer 121, the active layer 123 and the second conductivity type semiconductor layer 125 may include a III-V compound semiconductor, for example, (Al, Ga, In) N, And may include the same nitride-based semiconductor. The first conductivity type semiconductor layer 121 may include an n-type impurity (for example, Si) and the second conductivity type semiconductor layer 125 may include a p-type impurity (for example, Mg) have. It may also be the opposite. The active layer 123 may comprise a multiple quantum well structure (MQW).

발광 구조체(120)는 제2 도전형 반도체층(125) 및 활성층(123)이 부분적으로 제거되어 제1 도전형 반도체층(121)이 부분적으로 노출된 영역을 포함할 수 있다. 예를 들어, 도시된 바와 같이, 발광 구조체(120)는 제2 도전형 반도체층(125) 및 활성층(123)을 관통하여 제1 도전형 반도체층(121)을 노출시키는 적어도 하나의 홀(120a)을 포함할 수 있다. 또한, 홀(120a)은 복수로 형성될 수도 있으며, 홀(120a)의 형태 및 배치가 도시된 바에 한정되는 것은 아니다. 또한, 제1 도전형 반도체층(121)이 부분적으로 노출된 영역은, 제2 도전형 반도체층(125) 및 활성층(123)을 부분적으로 제거하여 제2 도전형 반도체층(125) 및 활성층(123)을 포함하는 메사를 형성함으로써 제공될 수도 있다. The light emitting structure 120 may include a region in which the first conductivity type semiconductor layer 121 is partially exposed because the second conductivity type semiconductor layer 125 and the active layer 123 are partially removed. The light emitting structure 120 may include at least one hole 120a that exposes the first conductivity type semiconductor layer 121 through the second conductivity type semiconductor layer 125 and the active layer 123. For example, ). In addition, the holes 120a may be formed in plural, and the shape and arrangement of the holes 120a are not limited to those shown in the drawings. The region where the first conductivity type semiconductor layer 121 is partially exposed may be formed by partially removing the second conductivity type semiconductor layer 125 and the active layer 123 to form the second conductivity type semiconductor layer 125 and the active layer 123). ≪ / RTI >

또한, 발광 구조체(120)는 그 하면의 거칠기가 증가되어 형성된 러프니스(R)를 더 포함할 수 있다. 러프니스(R)는 습식 식각, 건식 식각, 전기화학 식각 중 적어도 하나의 방법을 이용하여 형성할 수 있으며, 예를 들어, PEC 식각 또는 KOH 및 NaOH를 포함하는 식각 용액을 이용한 식각 방법 등을 이용하여 러프니스(R)를 형성할 수 있다. 러프니스(R)가 형성됨에 따라, 제1 도전형 반도체층(121)의 표면에 형성된 ㎛ 내지 nm 스케일의 돌출부 및/또는 오목부를 포함할 수 있다. 발광 구조체(120)의 표면에 러프니스를 형성함으로써, 발광 소자의 추출 효율을 향상시킬 수 있다.Further, the light emitting structure 120 may further include a roughness R formed by increasing the roughness of its bottom surface. Roughness (R) can be formed using at least one of wet etching, dry etching, and electrochemical etching. For example, PEC etching or etching using KOH and NaOH So that the roughness R can be formed. The first conductive semiconductor layer 121 may include protrusions and / or recesses having a size of from 탆 to nm scale formed on the surface of the first conductivity type semiconductor layer 121 as the roughness R is formed. By forming the roughness on the surface of the light emitting structure 120, the extraction efficiency of the light emitting element can be improved.

또한, 발광 구조체(120)는 제1 도전형 반도체층(121)의 아래에 위치하는 성장 기판(미도시)을 더 포함할 수도 있다. 성장 기판은 발광 구조체(120)를 성장시킬 수 있는 기판이면 한정되지 않는다. 예를 들어, 상기 성장 기판은 사파이어 기판, 실리콘 카바이드 기판, 실리콘 기판, 질화갈륨 기판, 질화알루미늄 기판 등일 수 있다. 이러한 성장 기판은 공지의 기술을 이용하여 발광 구조체(120)로부터 분리되어 제거될 수 있다.The light emitting structure 120 may further include a growth substrate (not shown) positioned under the first conductive type semiconductor layer 121. The growth substrate is not limited as long as it can grow the light emitting structure 120. For example, the growth substrate may be a sapphire substrate, a silicon carbide substrate, a silicon substrate, a gallium nitride substrate, an aluminum nitride substrate, or the like. Such a growth substrate can be separated and removed from the light emitting structure 120 using a known technique.

제2 컨택 전극(140)은 제2 도전형 반도체층(125) 상에 위치하며, 제2 도전형 반도체층(125)과 오믹 컨택할 수 있다. 또한, 제2 컨택 전극(140)은 제2 도전형 반도체층(125)의 상면을 적어도 부분적으로 덮을 수 있으며, 나아가, 제2 도전형 반도체층(125)의 상면을 전반적으로 덮도록 배치될 수 있다. 또한, 발광 구조체(120)의 홀(120a)이 형성된 위치를 제외한 나머지 영역에서 단일체로 제2 도전형 반도체층(125)의 상면을 덮도록 형성될 수 있다. 이에 따라, 발광 구조체(120)의 전체에 대해 전류를 균일하게 공급하여, 전류 분산 효율이 향상될 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.The second contact electrode 140 is located on the second conductive semiconductor layer 125 and may be in ohmic contact with the second conductive semiconductor layer 125. The second contact electrode 140 may cover the upper surface of the second conductive type semiconductor layer 125 at least partially and further may cover the upper surface of the second conductive type semiconductor layer 125 have. In addition, the second conductive semiconductor layer 125 may be formed to cover the upper surface of the second conductive semiconductor layer 125 as a single body in regions other than the positions where the holes 120a of the light emitting structure 120 are formed. Accordingly, current can be uniformly supplied to the entire light emitting structure 120, and the current dispersion efficiency can be improved. However, the present invention is not limited thereto.

제2 컨택 전극(140)은 제2 도전형 반도체층(125)에 오믹 컨택할 수 있는 물질을 포함할 수 있고, 예를 들어, 금속 물질 및/또는 도전성 산화물을 포함할 수 있다.The second contact electrode 140 may include a material that can be in ohmic contact with the second conductive semiconductor layer 125 and may include, for example, a metal material and / or a conductive oxide.

제2 컨택 전극(140)이 금속 물질을 포함하는 경우, 제2 컨택 전극(140)은 반사층 및 상기 반사층을 덮는 커버층을 포함할 수 있다. 상술한 바와 같이, 제2 컨택 전극(140)은 제2 도전형 반도체층(125)과 오믹 컨택되는 것과 더불어, 광을 반사시키는 기능을 할 수 있다. 따라서, 상기 반사층은 높은 반사도를 가지면서 제2 도전형 반도체층(125)과 오믹 접촉을 형성할 수 있는 금속을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 반사층은 Ni, Pt, Pd, Rh, W, Ti, Al, Mg, Ag 및 Au 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 또한, 상기 반사층은 단일층 또는 다중층을 포함할 수 있다.When the second contact electrode 140 includes a metal material, the second contact electrode 140 may include a reflective layer and a cover layer covering the reflective layer. As described above, the second contact electrode 140 can perform the function of reflecting light in addition to ohmic contact with the second conductive type semiconductor layer 125. Accordingly, the reflective layer may include a metal having high reflectivity and capable of forming an ohmic contact with the second conductive semiconductor layer 125. For example, the reflective layer may include at least one of Ni, Pt, Pd, Rh, W, Ti, Al, Mg, Ag and Au. Also, the reflective layer may comprise a single layer or multiple layers.

상기 커버층은 상기 반사층과 다른 물질 간의 상호 확산을 방지할 수 있고, 외부의 다른 물질이 상기 반사층에 확산하여 상기 반사층이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 상기 커버층은 상기 반사층의 하면 및 측면을 덮도록 형성될 수 있다. 상기 커버층은 상기 반사층과 함께 제2 도전형 반도체층(125)과 전기적으로 연결될 수 있어서, 상기 반사층과 함께 전극 역할을 할 수 있다. 상기 커버층은, 예를 들어, Au, Ni, Ti, Cr 등을 포함할 수 있으며, 단일층 또는 다중층을 포함할 수도 있다. The cover layer may prevent mutual diffusion between the reflective layer and other materials, and may prevent external substances from diffusing to the reflective layer and damaging the reflective layer. Accordingly, the cover layer may be formed to cover the bottom surface and the side surface of the reflective layer. The cover layer may be electrically connected to the second conductivity type semiconductor layer 125 together with the reflective layer so as to serve as an electrode together with the reflective layer. The cover layer may comprise, for example, Au, Ni, Ti, Cr, etc., and may comprise a single layer or multiple layers.

한편, 제2 컨택 전극(140)이 도전성 산화물을 포함하는 경우, 상기 도전성 산화물은 ITO, ZnO, AZO, IZO 등일 수 있다. 제2 컨택 전극(140)이 도전성 산화물을 포함하는 경우, 금속을 포함하는 경우에 비해 더 넓은 영역의 제2 도전형 반도체층(125)의 상면을 커버할 수 있다. 즉, 홀(120a)의 상부 테두리로부터 제2 컨택 전극(140)까지의 이격 거리는 제2 컨택 전극(140)이 도전성 산화물로 형성된 경우에 상대적으로 더 짧게 형성될 수 있다. 이 경우, 제2 컨택 전극(140)과 제2 도전형 반도체층(125)이 접촉하는 부분에서 제1 컨택 전극(130)과 제1 도전형 반도체층(121)이 접촉하는 부분까지의 최단 거리가 상대적으로 더 짧아질 수 있어서, 발광 소자(100)의 순방향 전압(Vf)이 감소될 수 있다.On the other hand, when the second contact electrode 140 includes a conductive oxide, the conductive oxide may be ITO, ZnO, AZO, IZO, or the like. When the second contact electrode 140 includes a conductive oxide, the upper surface of the second conductive type semiconductor layer 125 can cover a wider region than the case where the second contact electrode 140 includes a metal. That is, the distance from the upper edge of the hole 120a to the second contact electrode 140 may be relatively shorter when the second contact electrode 140 is formed of a conductive oxide. In this case, the shortest distance from the portion where the second contact electrode 140 and the second conductivity type semiconductor layer 125 are in contact to the portion where the first contact electrode 130 and the first conductivity type semiconductor layer 121 are in contact with each other the method can be relatively shorter, there can be reduced the forward voltage (V f) of the light emitting element 100. the

또한, 제2 컨택 전극(140)이 ITO를 포함하고, 제1 절연층(150)이 SiO2를 포함하며, 제1 컨택 전극(130)이 Ag를 포함하는 경우, ITO/SiO2/Ag 적층 구조를 포함하는 전방위 반사기가 형성될 수 있다.In the case where the second contact electrode 140 includes ITO, the first insulating layer 150 includes SiO 2 , and the first contact electrode 130 includes Ag, the ITO / SiO 2 / Ag laminated structure May be formed.

절연층(150, 160)은 제1 절연층(150) 및 제2 절연층(160)을 포함할 수 있다. 또한, 절연층(150, 160)은 제1 및 제2 컨택 전극(130, 140)을 부분적으로 덮을 수 있다. 이하, 제1 절연층(150)에 관하여 먼저 설명하며, 제2 절연층(160)과 관련된 내용은 후술하여 설명한다.The insulating layers 150 and 160 may include a first insulating layer 150 and a second insulating layer 160. In addition, the insulating layers 150 and 160 may partly cover the first and second contact electrodes 130 and 140. Hereinafter, the first insulating layer 150 will be described first, and the contents related to the second insulating layer 160 will be described later.

제1 절연층(150)은 발광 구조체(120)의 상면 및 제2 컨택 전극(140)을 부분적으로 덮을 수 있다. 또한, 제1 절연층(150)은 홀(120a)의 측면을 덮되, 홀(120a)에 노출된 제1 도전형 반도체층(121)을 부분적으로 노출시킬 수 있다. 제1 절연층(150)은 홀(120a)에 대응하는 부분에 위치하는 개구부와 제2 컨택 전극(140)의 일부를 노출시키는 개구부를 포함할 수 있다. 상기 개구부들을 통해 제1 도전형 반도체층(121) 및 제2 컨택 전극(140)이 부분적으로 노출될 수 있다. The first insulating layer 150 may partially cover the upper surface of the light emitting structure 120 and the second contact electrode 140. The first insulating layer 150 covers the side surface of the hole 120a and may partially expose the first conductive type semiconductor layer 121 exposed in the hole 120a. The first insulating layer 150 may include an opening portion located at a portion corresponding to the hole 120a and an opening portion exposing a portion of the second contact electrode 140. [ The first conductive semiconductor layer 121 and the second contact electrode 140 may be partially exposed through the openings.

제1 절연층(150)은 절연성의 물질을 포함할 수 있으며, 예를 들어, SiO2, SiNx, MgF2 등을 포함할 수 있다. 나아가, 제1 절연층(150)은 다중층을 포함할 수 있고, 굴절률이 다른 물질이 교대로 적층된 분포 브래그 반사기를 포함할 수도 있다. The first insulating layer 150 may include an insulating material, for example, SiO 2 , SiN x , MgF 2, or the like. Further, the first insulating layer 150 may include multiple layers, and may include a distributed Bragg reflector in which materials having different refractive indices are alternately stacked.

제2 컨택 전극(140)이 도전성 산화물을 포함하는 경우, 제1 절연층(150)이 분포 브래그 반사기를 포함하여 발광 소자(100a)의 발광 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 이와 달리, 제2 컨택 전극(140)이 도전성 산화물을 포함하며, 제1 절연층(150)을 투명 절연 산화물(예를 들어, SiO2)로 형성함으로써, 제2 컨택 전극(140), 제1 절연층(150) 및 제1 컨택 전극(130)의 적층 구조에 의해 형성되는 전방위 반사기를 형성할 수도 있다.When the second contact electrode 140 includes a conductive oxide, the first insulating layer 150 may include a distributed Bragg reflector to improve the luminous efficiency of the light emitting device 100a. Alternatively, the second contact electrode 140 may include a conductive oxide, and the first insulating layer 150 may be formed of a transparent insulating oxide (e.g., SiO 2 ). The second contact electrode 140, An omnidirectional reflector formed by a laminated structure of the first insulating layer 150 and the first contact electrode 130 may be formed.

나아가, 도시된 바와 달리, 제1 절연층(150)은 발광 구조체(120)의 적어도 일부의 측면을 더 덮을 수 있다. 제1 절연층(150)이 발광 구조체(120)의 측면을 덮는 정도는, 발광 소자의 제조 과정에서 칩 단위 개별화(isolation)의 여부에 따라 달라질 수 있다. 즉, 본 실시예와 같이 제1 절연층(150)은 발광 구조체(120)의 상면만 덮도록 형성될 수도 있고, 이와 달리, 발광 소자(100)의 제조 과정에서 웨이퍼를 칩 단위로 개별화한 후에 제1 절연층(150)을 형성하는 경우에는 발광 구조체(120)의 측면까지 제1 절연층(150)에 덮일 수 있다.Further, unlike the illustrated embodiment, the first insulating layer 150 may further cover at least a portion of the side surface of the light emitting structure 120. [ The extent to which the first insulating layer 150 covers the side surface of the light emitting structure 120 may vary depending on the chip unit isolation in the manufacturing process of the light emitting device. That is, the first insulating layer 150 may be formed to cover only the upper surface of the light emitting structure 120, as in the present embodiment, or alternatively, the individual wafers may be individualized in the manufacturing process of the light emitting device 100 In the case of forming the first insulating layer 150, the first insulating layer 150 may be covered to the side of the light emitting structure 120.

제1 컨택 전극(130)은 발광 구조체(120)를 부분적으로 덮을 수 있으며, 홀(120a) 및 상기 홀(120a)에 대응하는 부분에 위치하는 제1 절연층(150)의 개구부를 통해 제1 도전형 반도체층(121)과 오믹 컨택할 수 있다. 제1 컨택 전극(130)은 제1 절연층(150)의 일부 영역을 제외한 다른 부분을 전체적으로 덮도록 형성될 수 있다. 또한, 제1 컨택 전극(130)은 제1 절연층(150)에 의해 제2 컨택 전극(140)과 전기적으로 절연될 수 있다.The first contact electrode 130 may partly cover the light emitting structure 120 and may include a first contact electrode 130 through an opening of the first insulating layer 150 located at a portion corresponding to the hole 120a and the hole 120a. The ohmic contact with the conductive semiconductor layer 121 can be achieved. The first contact electrode 130 may be formed to cover the entirety of the first insulating layer 150 except for a part thereof. The first contact electrode 130 may be electrically insulated from the second contact electrode 140 by the first insulating layer 150.

제1 컨택 전극(130)이 일부 영역을 제외하고 발광 구조체(120)의 상면을 전반적으로 덮도록 형성됨으로써, 전류 분산 효율이 더욱 향상될 수 있다. 또한, 제2 컨택 전극(140)에 의해 덮이지 않는 부분을 제1 컨택 전극(130)이 커버할 수 있으므로, 광을 더욱 효과적으로 반사시켜 발광 소자(100)의 발광 효율을 향상시킬 수 있다.The first contact electrode 130 is formed so as to cover the entire upper surface of the light emitting structure 120 except for a part of the region, thereby further improving the current dispersion efficiency. In addition, since the first contact electrode 130 can cover a portion not covered by the second contact electrode 140, the light can be more effectively reflected, and the light emitting efficiency of the light emitting device 100 can be improved.

제1 컨택 전극(130)은 제1 도전형 반도체층(121)과 오믹 컨택함과 아울러, 광을 반사시키는 역할을 할 수 있다. 따라서, 제1 컨택 전극(130)은 단일층 또는 다중층으로 이루어질 수 있고, Al층과 같은 고반사성 금속층을 포함할 수 있다. 상기 고반사 금속층은 Ti, Cr 또는 Ni 등의 접착층 상에 형성될 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 컨택 전극(130)은 Ni, Pt, Pd, Rh, W, Ti, Al, Mg, Ag 및 Au 중 적어도 하나를 포함할 수도 있다.The first contact electrode 130 may serve to reflect the light as well as the ohmic contact with the first conductive semiconductor layer 121. Accordingly, the first contact electrode 130 may be a single layer or a multilayer, and may include a highly reflective metal layer such as an Al layer. The highly reflective metal layer may be formed on an adhesive layer such as Ti, Cr or Ni. The first contact electrode 130 may include at least one of Ni, Pt, Pd, Rh, W, Ti, Al, Mg, Ag and Au.

또한, 도시된 바와 달리, 제1 컨택 전극(130)은 발광 구조체(120)의 측면까지 덮도록 형성될 수도 있다. 제1 컨택 전극(130)이 발광 구조체(120)의 측면에도 형성되는 경우, 활성층(123)으로부터 측면으로 방출되는 광을 상부로 반사시켜 발광 소자(100)의 상면으로 방출되는 광의 비율을 증가시킬 수 있다.In addition, unlike the first embodiment, the first contact electrode 130 may be formed to cover the side surface of the light emitting structure 120. When the first contact electrode 130 is also formed on the side surface of the light emitting structure 120, the light emitted to the side from the active layer 123 is reflected upward to increase the ratio of light emitted to the upper surface of the light emitting device 100 .

한편, 상기 발광 소자(100)는 연결 전극(145)을 더 포함할 수 있다.The light emitting device 100 may further include a connection electrode 145.

연결 전극(145)은 제2 컨택 전극(140) 상에 위치할 수 있고, 제1 절연층(150)의 개구부를 통해 제2 컨택 전극(140)과 전기적으로 연결될 수 있다. 나아가, 연결 전극(145)은 제2 컨택 전극(140)과 제2 벌크 전극(173)을 서로 전기적으로 연결시킬 수 있다. 또한, 연결 전극(145)은 제1 절연층(150)을 부분적으로 덮도록 형성될 수 있으며, 제1 컨택 전극(130)과 서로 이격되어 절연될 수 있다.The connection electrode 145 may be located on the second contact electrode 140 and may be electrically connected to the second contact electrode 140 through the opening of the first insulation layer 150. Further, the connection electrode 145 may electrically connect the second contact electrode 140 and the second bulk electrode 173 to each other. In addition, the connection electrode 145 may be formed to partially cover the first insulating layer 150, and may be isolated from the first contact electrode 130 and isolated from each other.

연결 전극(145)의 상면은 제1 컨택 전극(130)의 상면과 대체로 동일한 높이로 형성될 수 있다. 또한, 연결 전극(145)은 제1 컨택 전극(130)과 동일 공정에서 형성될 수 있다. 이에 따라, 연결 전극(145)과 제1 컨택 전극(130)은 서로 동일한 물질을 포함할 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 연결 전극(145)과 제1 컨택 전극(130)은 서로 다른 물질을 포함할 수 있다. The upper surface of the connection electrode 145 may be formed to have substantially the same height as the upper surface of the first contact electrode 130. In addition, the connection electrode 145 may be formed in the same process as the first contact electrode 130. Accordingly, the connection electrode 145 and the first contact electrode 130 may include the same material. However, the present invention is not limited thereto, and the connection electrode 145 and the first contact electrode 130 may include different materials.

제2 절연층(160)은 제1 컨택 전극(130)을 부분적으로 덮을 수 있으며, 제1 컨택 전극(130)을 부분적으로 노출시키는 제1 개구부(160a), 및 제2 컨택 전극(140)을 부분적으로 노출시키는 제2 개구부(160b)를 포함할 수 있다. 제1 및 제2 개구부(160a, 160b) 각각은 하나 이상 형성될 수 있다. The second insulating layer 160 may partially cover the first contact electrode 130 and may have a first opening 160a partially exposing the first contact electrode 130 and a second opening 160a partially exposing the second contact electrode 140. [ And a second opening 160b that partially exposes the second opening 160b. At least one of the first and second openings 160a and 160b may be formed.

제2 절연층(160)은 절연성의 물질을 포함할 수 있으며, 예를 들어, SiO2, SiNx, MgF2을 포함할 수 있다. 나아가, 제2 절연층(160)은 다중층을 포함할 수 있고, 굴절률이 다른 물질이 교대로 적층된 분포 브래그 반사기를 포함할 수도 있다.The second insulating layer 160 may include an insulating material, and may include, for example, SiO 2 , SiN x , and MgF 2 . Further, the second insulating layer 160 may include multiple layers and may include a distributed Bragg reflector in which materials having different refractive indices are alternately stacked.

제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173)은 발광 구조체(120) 상에 위치할 수 있고, 제1 벌크 전극(171) 및 제2 벌크 전극(173)은 각각 제1 컨택 전극(130) 및 제2 컨택 전극(140)에 전기적으로 연결될 수 있다. 특히, 제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173) 각각은 제1 및 제2 컨택 전극(130, 140)과 직접적으로 접촉하여 전기적으로 연결될 수 있다. 이때, 제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173)은 각각 제1 및 제2 개구부(160a, 160b)를 통해 제1 및 제2 컨택 전극(130, 140)에 전기적으로 연결될 수 있다.The first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 may be positioned on the light emitting structure 120 and the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 may be located on the first contact electrode 130 and the second contact electrode 140, respectively. In particular, the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 may be in direct contact with and electrically connected to the first and second contact electrodes 130 and 140, respectively. At this time, the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 may be electrically connected to the first and second contact electrodes 130 and 140 through the first and second openings 160a and 160b, respectively .

제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173)은 수십㎛ 이상의 두께를 가질 수 있고, 예컨대, 약 70 내지 80㎛의 두께를 가질 수 있다. 벌크 전극들(171, 173)이 상술한 범위의 두께를 가짐으로써, 상기 발광 소자는 그 자체로 칩 스케일 패키지로 이용될 수 있다. The first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 may have a thickness of several tens of micrometers or more, and may have a thickness of, for example, about 70 to 80 micrometers. By having the bulk electrodes 171, 173 have a thickness in the above-mentioned range, the light emitting element can be used as a chip scale package by itself.

제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173)은 단일층 또는 다중층으로 이루어질 수 있고, 전기적 도전성을 갖는 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173)은 각각 Cu, Pt, Au, Ti, Ni, Al, Ag등을 포함할 수 있다. 또한, 이와 달리, 소결된 형태의 금속 입자들 및 상기 금속 입자들 사이에 개재된 비금속성 물질을 포함할 수도 있다. The first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 may be formed of a single layer or multiple layers and may include a material having electrical conductivity. For example, the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 may include Cu, Pt, Au, Ti, Ni, Al, Ag, and the like. Alternatively, it may alternatively comprise a sintered form of metal particles and a nonmetallic material interposed between the metal particles.

한편, 제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173) 간의 이격 거리(Y)는 소정 수치 이하로 형성될 수 있고, 상기 소정 수치는 상기 발광 소자(100)를 별도의 기판 상에 실장할 때 요구되는 발광 소자(100)의 실장면에 노출된 전극 패드들 간의 최소한의 수치일 수 있다. 구체적으로 예를 들어, 소정의 발광 소자를 별도의 2차 기판 상에 실장하기 위하여 솔더링을 이용하는 경우, 쇼트 방지를 위하여 상기 소정의 발광 소자의 실장면에 노출된 전극 패드들 간의 거리는 일반적으로 약 250㎛ 이상일 것이 요구된다. 또한, 소정의 발광 소자를 별도의 2차 기판 상에 실장하기 위하여 공정 본딩(Eutectic bonding)을 이용하는 경우, 쇼트 방지를 위하여 상기 소정의 발광 소자의 실장면에 노출된 전극 패드들 간의 거리는 일반적으로 약 80㎛ 이상일 것이 요구된다. 본 실시예에 따르면, 제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173) 간의 이격 거리(Y)는 이러한 소정 수치 이하일 수 있으며, 예컨대 약 250㎛ 이하일 수 있고, 또한, 약 100㎛ 이하일 수 있으며, 나아가, 약 80㎛ 이하일 수 있다. 제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173) 간의 이격 거리(Y)를 소정 수치 이하로 함으로써, 제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173)의 수평 단면적 및 부피를 상대적으로 더욱 크게 할 수 있어, 발광 소자(100) 구동 시 발생하는 열을 효과적으로 방출시킬 수 있다. 이와 관련하여 후술하여 추가적으로 상세하게 설명한다.The distance Y between the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 may be less than a predetermined value and the predetermined value may be determined by mounting the light emitting device 100 on a separate substrate, It may be a minimum value between the electrode pads exposed in the mounting scene of the light emitting device 100 required when the light emitting device 100 is exposed. Specifically, for example, when soldering is used to mount a predetermined light emitting element on a separate secondary substrate, the distance between the electrode pads exposed to the mounting surface of the predetermined light emitting element for preventing a short circuit is generally about 250 Mu m or more. When eutectic bonding is used to mount a predetermined light emitting device on a separate secondary substrate, the distance between the electrode pads exposed to the mounting surface of the predetermined light emitting device for preventing the short circuit is generally about < RTI ID = 0.0 & It is required to be at least 80 탆. According to the present embodiment, the distance Y between the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 may be less than this predetermined value, for example, may be about 250 占 퐉 or less, and may be about 100 占 퐉 or less And further, it may be about 80 탆 or less. The horizontal cross-sectional area and the volume of the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 can be set relatively to each other by setting the spacing distance Y between the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 to a predetermined value or less. So that the heat generated when the light emitting device 100 is driven can be effectively released. This will be described in further detail below.

또한, 제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173)은 서로 다른 부피를 가질 수 있고, 또한, 제1 벌크 전극(171)의 수평 단면적은 제2 벌크 전극(173)의 수평 단면적보다 클 수 있다. 이때, 제1 도전형 반도체층(121)은 n형 반도체층일 수 있고, 제2 도전형 반도체층(125)은 p형 반도체층일 수 있다. 일반적으로 발광 소자(100)가 구동 시 발생하는 열은 p형 전극 역할을 하는 제2 벌크 전극(173)에 비해 n형 전극 역할을 하는 제1 벌크 전극(171)에 더욱 집중된다. 따라서, 제1 벌크 전극(171)의 수평 단면적을 제2 벌크 전극(173)의 수평 단면적보다 크게 하여 발광 소자(100)의 열 방출 효율을 향상시킬 수 있다.The first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 may have different volumes and the horizontal cross sectional area of the first bulk electrode 171 may be larger than the horizontal cross sectional area of the second bulk electrode 173. [ It can be big. At this time, the first conductive semiconductor layer 121 may be an n-type semiconductor layer, and the second conductive semiconductor layer 125 may be a p-type semiconductor layer. Generally, heat generated when the light emitting device 100 is driven is more concentrated in the first bulk electrode 171 serving as an n-type electrode than the second bulk electrode 173 serving as a p-type electrode. Therefore, the horizontal cross-sectional area of the first bulk electrode 171 may be larger than the horizontal cross-sectional area of the second bulk electrode 173, thereby improving the heat emission efficiency of the light emitting device 100.

절연지지체(180)는 발광 구조체(120) 상에 위치하며, 벌크 전극들(171, 173)의 측면 및 벌크 전극들(171, 173)의 상면을 부분적으로 덮는다. 또한, 절연지지체(180)는 제1 벌크 전극(171) 및 제2 벌크 전극(173)의 상면을 부분적으로 노출시키는 제3 개구부(180a) 및 제4 개구부(180b)를 포함할 수 있다.The insulating support 180 is located on the light emitting structure 120 and partially covers the side surfaces of the bulk electrodes 171 and 173 and the upper surfaces of the bulk electrodes 171 and 173. In addition, the insulating support 180 may include a third opening 180a and a fourth opening 180b partially exposing the upper surfaces of the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173.

절연지지체(180)는 하부 절연지지체(181) 및 상부 절연지지체(183)를 포함할 수 있으며, 하부 절연지지체(181)는 벌크 전극들(171, 173)의 측면을 둘러쌀 수 있고, 상부 절연지지체(183)는 벌크 전극들(171, 173)의 상면을 부분적으로 덮을 수 있다. 또한, 상부 절연지지체(183)는 하부 절연지지체(181)와 벌크 전극들(171, 173) 간의 계면을 덮을 수 있다.The insulative support 180 may include a lower insulative support 181 and an upper insulative support 183 and the lower insulative support 181 may surround the sides of the bulk electrodes 171 and 173, The support 183 may partly cover the upper surface of the bulk electrodes 171, 173. The upper insulating support 183 may cover the interface between the lower insulating support 181 and the bulk electrodes 171 and 173.

절연지지체(180)는 전기적으로 절연성을 가지며, 제1 벌크 전극(171) 및 제2 벌크 전극(173)의 측면을 덮어, 효과적으로 이들을 서로 절연시킨다. 동시에, 절연지지체(180)는 제1 벌크 전극(171) 및 제2 벌크 전극(173)을 지지하는 역할을 할 수 있다. The insulating support 180 is electrically insulative and covers the sides of the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173, effectively insulating them from each other. At the same time, the insulating support 180 may serve to support the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173.

상부 절연지지체(183)에 의해 벌크 전극들(171, 173)의 상면이 부분적으로 덮여, 제1 및 제2 전극(171, 173)의 상면 중 노출된 부분(171a, 173a)의 면적은 각각 제1 벌크 전극(171)의 수평 단면적 및 제2 벌크 전극(173)의 수평 단면적보다 작을 수 있다. 특히, 상부 절연지지체(183)는 제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173)이 서로 대향하는 측면 주변의 벌크 전극들(171, 173)의 상면 상에 위치할 수 있다. 따라서, 제1 벌크 전극(171)의 노출된 상면(171a)과 제2 벌크 전극(173)의 노출된 상면(173a) 간의 이격 거리(X)는 제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173) 간의 이격 거리(Y)보다 크다.The upper surfaces of the bulk electrodes 171 and 173 are partially covered by the upper insulating support 183 and the areas of the exposed portions 171a and 173a in the upper surface of the first and second electrodes 171 and 173 are Sectional area of the first bulk electrode 171 and the horizontal cross-sectional area of the second bulk electrode 173. In particular, the upper insulating support 183 may be positioned on the upper surface of the bulk electrodes 171, 173 around the side surfaces of the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 facing each other. The distance X between the exposed top surface 171a of the first bulk electrode 171 and the exposed top surface 173a of the second bulk electrode 173 is less than the distance X between the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173. [ Is greater than the separation distance (Y).

이와 관련하여 구체적으로 설명하면, 상기 노출된 상면들(171a, 173a)과 별도의 기판 사이에 도전성 물질(예를 들어, 솔더, 도전성 접착제, 공정(Eutectic) 물질 등)을 형성하여 발광 소자(100)와 상기 별도의 기판을 접착함으로써 발광 소자(100)를 상기 별도의 기판 상에 실장시킬 수 있다. 접착을 위해 형성한 도전성 물질에 의해 벌크 전극들(171, 173) 간에 전기적 쇼트가 발생하는 것을 방지하기 위하여, 상술한 바와 같이 노출된 상면들(171a, 173a) 사이의 이격 거리(X)는 소정 수치 이상이 될 것이 요구된다. 본 발명에 따르면, 절연지지체(180)가 벌크 전극들(171, 173)의 상면을 부분적으로 덮도록 형성됨으로써, 제1 벌크 전극(171)의 노출된 상면(171a)과 제2 벌크 전극(173)의 노출된 상면(173a) 간의 이격 거리(X)가 제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173) 간의 이격 거리(Y)보다 크게 형성될 수 있다. 따라서, 상기 이격 거리(X)를 벌크 전극들(171, 173) 간에 전기적 쇼트가 발생하는 것을 방지할 수 있는 소정 수치 이상으로 형성함과 동시에, 벌크 전극들(171, 173) 간의 이격 거리(Y)는 벌크 전극들(171, 173) 간에 전기적 쇼트가 발생하는 것을 방지할 수 있는 소정 수치 이하로 형성할 수 있다. 따라서, 발광 소자(100)의 열 방출 효율을 향상시킴과 동시에, 발광 소자(100)의 실장 과정에서 전기적 쇼트가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다.In detail, a conductive material (for example, solder, conductive adhesive, eutectic material or the like) is formed between the exposed upper surfaces 171a and 173a and a separate substrate to form the light emitting device 100 And the separate substrate are adhered to each other so that the light emitting device 100 can be mounted on the separate substrate. In order to prevent electrical shorting between the bulk electrodes 171 and 173 due to the conductive material formed for adhesion, the spacing distance X between the exposed upper surfaces 171a and 173a as described above is set to a predetermined distance It is required to be above the numerical value. The insulating support 180 is formed so as to partially cover the upper surfaces of the bulk electrodes 171 and 173 so that the exposed top surface 171a of the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 The spacing distance X between the exposed upper surfaces 173a of the first and second bulk electrodes 171 and 173 may be greater than the spacing distance Y between the first and second bulk electrodes 171 and 173. Therefore, the separation distance X is set to be not less than a predetermined value capable of preventing electrical short-circuiting between the bulk electrodes 171 and 173, and the separation distance Y between the bulk electrodes 171 and 173 May be formed to be less than a predetermined value that can prevent electrical shorting between the bulk electrodes 171 and 173. Accordingly, it is possible to effectively improve heat dissipation efficiency of the light emitting device 100 and to prevent the occurrence of an electrical short in the mounting process of the light emitting device 100. [

제1 벌크 전극(171)의 노출된 상면(171a)과 제2 벌크 전극(173)의 노출된 상면(173a) 간의 이격 거리(X)는 제한되지 않으나, 솔더링을 통해 발광 소자(100)를 별도의 기판에 실장하는 경우 상기 이격 거리(X)는 약 250㎛ 이상일 수 있고, 나아가, 공정 본딩을 통해 발광 소자(100)를 별도의 기판에 실장하는 경우 상기 이격 거리(X)는 약 80㎛ 이상일 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.The distance X between the exposed upper surface 171a of the first bulk electrode 171 and the exposed upper surface 173a of the second bulk electrode 173 is not limited but the light emitting device 100 may be separately soldered The spacing distance X may be about 250 μm or more. Further, when the light emitting device 100 is mounted on a separate substrate through process bonding, the spacing distance X may be about 80 μm or more . However, the present invention is not limited thereto.

또한, 상부 절연지지체(183)는 제1 벌크 전극(171)의 노출된 상면(171a)과 제2 벌크 전극(173)의 노출된 상면(173a) 간의 이격 거리(X)가 소정 수치 이상으로 형성되도록 벌크 전극들(171, 173)이 서로 대향하는 측면 상부 주변 영역에 배치되면 충분하고, 그 외의 영역에서 배치되는 형태는 제한되지 않는다. 예를 들어, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 제1 및 제2 벌크 전극(171, 173)의 사이에 위치하는 절연지지체(180)는, 그 단면이 'T'형상을 가질 수 있고, 나아가, 상기 제1 및 제2 벌크 전극(171, 173)의 외곽 측면을 덮는 절연지지체(180)는 그 단면이 'ㄱ' 형상을 가질 수 있다.The upper insulating support 183 is formed such that the distance X between the exposed upper surface 171a of the first bulk electrode 171 and the exposed upper surface 173a of the second bulk electrode 173 is not less than a predetermined value It is sufficient that the bulk electrodes 171 and 173 are arranged in the peripheral region of the upper side of the side opposite to each other so as to be arranged in the other region. For example, as shown in FIGS. 1 and 2, the insulating support 180 positioned between the first and second bulk electrodes 171 and 173 may have a "T" shape in cross section Further, the insulating support 180 covering the outer side surfaces of the first and second bulk electrodes 171 and 173 may have a cross-sectional shape.

또한, 절연지지체(180)와 벌크 전극들(171, 173)은 서로 다른 물질로 형성될 수 있는데, 특히, 절연지지체(180)는 절연성 폴리머 및/또는 절연성 세라믹을 포함할 수 있고, 벌크 전극들(171, 173)은 금속성 물질을 포함할 수 있다. 이에 따라, 절연지지체(180)와 벌크 전극들(171, 173) 간의 계면에서 박리 또는 크랙이 발생할 수 있고, 서로 다른 물질이 접합됨으로 인하여 발생할 수 있는 스트레스 및 스트레인에 의한 파손이 발생할 수 있다. 절연지지체(180) 및/또는 벌크 전극들(171, 173)이 파손되면, 발광 구조체(120)가 오염될 수 있고, 나아가, 발광 구조체(120)에 크랙 등이 발생할 수 있어, 발광 소자(100)의 신뢰성이 떨어질 수 있다. 본 발명의 실시예들에 따르면, 절연지지체(180)가 벌크 전극들(171, 173)의 측면 및 벌크 전극들(171, 173)의 상면을 부분적으로 덮도록 형성됨으로써, 절연지지체(180) 및 벌크 전극들(171, 173) 간의 기계적 안정성이 향상될 수 있다. 따라서, 발광 소자(100)의 신뢰성이 향상될 수 있다.In addition, the insulating support 180 and the bulk electrodes 171 and 173 may be formed of different materials. In particular, the insulating support 180 may include an insulating polymer and / or an insulating ceramic, (171, 173) may include a metallic material. Accordingly, peeling or cracking may occur at the interface between the insulating support 180 and the bulk electrodes 171 and 173, and breakage due to stress and strain may occur due to bonding of different materials. If the insulating support 180 and / or the bulk electrodes 171 and 173 are broken, the light emitting structure 120 may be contaminated and a crack or the like may be generated in the light emitting structure 120, ) May be less reliable. According to embodiments of the present invention, the insulating support 180 is formed to partially cover the side surfaces of the bulk electrodes 171 and 173 and the upper surfaces of the bulk electrodes 171 and 173, The mechanical stability between the bulk electrodes 171 and 173 can be improved. Therefore, the reliability of the light emitting element 100 can be improved.

또한, 발광 소자(100)의 기계적 안정성이 향상됨으로써, 발광 구조체(120)로부터 성장 기판(미도시)을 분리하는 과정에서 발광 구조체(120)가 파손되는 것을 방지할 수 있다.In addition, since the mechanical stability of the light emitting device 100 is improved, it is possible to prevent the light emitting structure 120 from being damaged in the process of separating the growth substrate (not shown) from the light emitting structure 120.

나아가, 하부 절연지지체(181)와 상부 절연지지체(183)는 서로 동일한 물질 또는 서로 다른 물질로 형성될 수 있다.Further, the lower insulating support 181 and the upper insulating support 183 may be formed of the same material or different materials.

하부 절연지지체(181)와 상부 절연지지체(183)가 서로 동일한 물질로 형성되는 경우, 절연지지체(180)는, 예를 들어, EMC(Epoxy Molding Compound), Si 수지와 같은 물질을 포함할 수 있다. 또한, 절연지지체(180)는 TiO2입자와 같은 광 반사성 및 광 산란 입자를 포함할 수도 있다. When the lower insulating support 181 and the upper insulating support 183 are formed of the same material, the insulating support 180 may include a material such as EMC (Epoxy Molding Compound) or Si resin . The insulating substrate 180 may include a light-reflective and light-scattering particles, such as TiO 2 particles.

하부 절연지지체(181)와 상부 절연지지체(183)가 서로 다른 물질로 형성되는 경우, 상부 절연지지체(183)는 하부 절연지지체(181)에 비해 낮은 취성 및/또는 낮은 흡습성을 갖는 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 하부 절연지지체(181)는 EMC(Epoxy Molding Compound), Si 수지와 같은 물질을 포함할 수 있고, 상부 절연지지체(183)는 포토레지스트(PR) 및/또는 포토솔더레지스트(PSR)와 같은 물질을 포함할 수 있다.When the lower insulating support 181 and the upper insulating support 183 are formed of different materials, the upper insulating support 183 is formed of a material having lower embrittlement and / or lower hygroscopicity than the lower insulating support 181 . For example, the lower insulating support 181 may include a material such as an epoxy molding compound (EMC), a Si resin, and the upper insulating support 183 may include a photoresist PR and / or a photo solder resist (PSR) ≪ / RTI >

상부 절연지지체(183)가 취성이 상대적으로 낮은 물질로 형성됨으로써, 하부 절연지지체(181)에 비해 깨지거나 크랙이 발생할 확률이 낮아, 하부 절연지지체(181)와 벌크 전극들(171, 173)간의 계면을 통해 외부 오염 물질이 침투하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상부 절연지지체(183)가 흡습성이 상대적으로 낮은 물질로 형성됨으로써, 하부 절연지지체(181)와 벌크 전극들(171, 173)간의 계면을 통해 외부 오염 물질이 침투하는 것을 방지할 수 있다. 예를 들어, 하부 절연지지체(181)가 EMC와 같이 흡습성이 높은 물질로 형성되는 경우, PSR과 같은 물질로 형성된 상부 절연지지체(183)에 의해 발광 소자(100)가 습기로부터 더욱 효과적으로 보호될 수 있다. 특히, 상부 절연지지체(183)가 하부 절연지지체(181)와 벌크 전극들(171, 173)간의 계면을 덮도록 형성되는 경우, 더욱 효과적으로 상술한 발광 소자(100) 보호 기능이 발휘될 수 있다.Since the upper insulating support 183 is formed of a material having a relatively low brittleness so that the probability of cracking or cracking is lower than that of the lower insulating support 181 and the lower insulation supporting body 183 is formed between the lower insulating support 181 and the bulk electrodes 171 and 173 It is possible to prevent foreign contaminants from penetrating through the interface. Since the upper insulating support 183 is formed of a material having a relatively low hygroscopicity, external contaminants can be prevented from penetrating through the interface between the lower insulating support 181 and the bulk electrodes 171 and 173. For example, when the lower insulating support 181 is formed of a highly hygroscopic material such as EMC, the upper insulating support 183 formed of a material such as PSR can protect the light emitting element 100 more effectively from moisture have. Particularly, when the upper insulating support 183 is formed to cover the interface between the lower insulating support 181 and the bulk electrodes 171 and 173, the above-described protection function of the light emitting device 100 can be more effectively exerted.

한편, 제1 벌크 전극(171)의 노출된 상면(171a)의 면적은 제1 벌크 전극(171)과 제1 컨택 전극(130)이 접하는 영역의 면적보다 작을 수 있고, 제2 벌크 전극(173)의 노출된 상면(173a)의 면적은 제2 벌크 전극(173)과 제2 컨택 전극(140)이 접하는 영역의 면적보다 클 수 있다. 이 경우, 제1 벌크 전극(171)의 수평 단면적이 제2 벌크 전극(173)의 수평 단면적보다 클 수 있다.The area of the exposed upper surface 171a of the first bulk electrode 171 may be smaller than the area of the first bulk electrode 171 in contact with the first contact electrode 130 and the area of the second bulk electrode 173 May be larger than the area of the region where the second bulk electrode 173 and the second contact electrode 140 are in contact with each other. In this case, the horizontal cross-sectional area of the first bulk electrode 171 may be larger than the horizontal cross-sectional area of the second bulk electrode 173.

즉, 제1 벌크 전극(171)의 수평 단면적을 제2 벌크 전극(173)의 수평 단면적보다 크게 하여 발광 소자(100)의 열 방출 효율을 향상시킬 수 있다. 동시에, 제1 벌크 전극(171)의 수평 단면적과 제2 벌크 전극(173)의 수평 단면적 간의 비율보다 제1 벌크 전극(171)의 노출된 상면(171a)의 면적과 제2 벌크 전극(173)의 노출된 상면(173a)의 면적 간의 비율을 더욱 낮게 하여, 발광 소자(100)가 실장되는 면에 노출된 상면들(171a, 173a)의 면적을 대체로 유사하게 할 수 있다. 따라서, 발광 소자(100)을 별도의 기판에 실장하는 공정을 변화시키지 않고도, 열 방출 효율이 더욱 향상된 발광 소자(100)가 제공될 수 있다.That is, the horizontal cross-sectional area of the first bulk electrode 171 may be greater than the horizontal cross-sectional area of the second bulk electrode 173, thereby improving the heat emission efficiency of the light emitting device 100. The area of the exposed upper surface 171a of the first bulk electrode 171 is larger than the ratio of the horizontal cross sectional area of the first bulk electrode 171 and the horizontal cross sectional area of the second bulk electrode 173 to the area of the second bulk electrode 173, The area between the upper surfaces 171a and 173a exposed on the surface on which the light emitting device 100 is mounted can be made substantially similar. Therefore, the light emitting device 100 having a further improved heat emission efficiency can be provided without changing the process of mounting the light emitting device 100 on a separate substrate.

몇몇 실시예들에서, 도시된 바와 달리, 절연지지체(180)는 발광 구조체(120) 측면까지 덮을 수도 있으며, 이 경우, 발광 구조체(120)에서 방출된 광의 발광 각도가 달라질 수 있다. 예를 들어, 절연지지체(180)가 발광 구조체(120) 측면의 적어도 일부까지 더 덮는 경우, 발광 구조체(120)의 측면으로 방출된 광 중 일부가 발광 구조체(120)의 하면으로 반사될 수 있다. 이와 같이, 절연지지체(180)가 배치되는 영역을 조절함으로써, 발광 소자(100)의 발광 각도를 조절할 수 있다.In some embodiments, unlike the illustrated structure, the insulating support 180 may cover the side of the light emitting structure 120, in which case the light emitting angle of the light emitted from the light emitting structure 120 may vary. A portion of the light emitted to the side of the light emitting structure 120 may be reflected to the bottom surface of the light emitting structure 120 when the insulating support 180 covers at least a part of the side surface of the light emitting structure 120 . Thus, by adjusting the region where the insulative support body 180 is disposed, the light emission angle of the light emitting element 100 can be adjusted.

한편, 발광 소자(100)는 파장변환부(미도시)를 더 포함할 수 있고, 파장변환부에 의해 발광 구조체(120)로부터 방출된 광이 파장변환되어 다양한 색의 광을 구현할 수 있는 발광 소자(100)가 제공될 수 있다. 예를 들어, 파장변환부가 적색 및 녹색의 광을 방출하는 형광체를 포함하고, 발광 구조체(120)로부터 청색 광이 방출되는 경우, 발광 소자(100)는 백색광을 방출할 수 있다. 이에 따라, 소형화된 고출력 웨이퍼 레벨 백색 발광 장치가 제공될 수 있다.The light emitting device 100 may further include a wavelength converting unit (not shown). The light emitting device 100 may include a light emitting device 120 capable of realizing various colors of light by wavelength- (100) may be provided. For example, when the wavelength converter includes a phosphor emitting red and green light, and the blue light is emitted from the light emitting structure 120, the light emitting device 100 may emit white light. Thus, a miniaturized high output wafer level white light emitting device can be provided.

상기 파장변환부의 배치 위치는 제한되지 않으며, 예컨대, 발광 구조체(120)의 하면 상에 형성될 수 있고, 나아가, 발광 구조체(120)의 측면을 더 덮도록 형성될 수도 있다.The position of the wavelength conversion portion is not limited and can be formed on the lower surface of the light emitting structure 120 and further formed to cover the side surface of the light emitting structure 120, for example.

도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 소자를 설명하기 위한 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating a light emitting device according to another embodiment of the present invention.

도 3의 발광 소자(200)는 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 발광 소자(100)와 대체로 유사하며, 제1 패드 전극(191) 및 제2 패드 전극(193)을 더 포함하는 점에서 차이가 있다. 이하 차이점을 중심으로 본 실시예의 발광 소자(200)에 대해 설명하며, 동일한 구성에 대해서는 상세한 설명을 생략한다.The light emitting device 200 of FIG. 3 is substantially similar to the light emitting device 100 described with reference to FIGS. 1 and 2 and includes a first pad electrode 191 and a second pad electrode 193, . The light emitting device 200 of the present embodiment will be mainly described below, and detailed description of the same configuration will be omitted.

도 1 및 도 2를 참조하면, 발광 소자(100)는 발광 구조체(120), 제1 컨택 전극(130), 제2 컨택 전극(140), 절연층(150, 160), 제1 및 제2 벌크 전극(171, 173), 절연지지체(180), 제1 패드 전극(191) 및 제2 패드 전극(193)을 포함한다. 나아가, 발광 소자(100)는 성장 기판(미도시), 파장변환부(미도시) 및 연결 전극(145)을 더 포함할 수 있다.1 and 2, a light emitting device 100 includes a light emitting structure 120, a first contact electrode 130, a second contact electrode 140, insulating layers 150 and 160, first and second The first pad electrode 191, and the second pad electrode 193, as shown in FIG. Further, the light emitting device 100 may further include a growth substrate (not shown), a wavelength conversion unit (not shown), and a connection electrode 145.

제1 패드 전극(191) 및 제2 패드 전극(193)은 각각 제1 벌크 전극(171) 및 제2 벌크 전극(173) 상에 위치할 수 있으며, 또한, 각각 절연지지체(180)의 제3 개구부(180a) 및 제4 개구부(180b)를 적어도 부분적으로 채울 수 있다. 이에 따라, 제1 패드 전극(191)과 제2 패드 전극(193)은 각각 제1 벌크 전극(171)의 노출된 상면(171a) 및 제2 벌크 전극(173)의 노출된 상면(173a)을 덮을 수 있다. 따라서 제1 및 제2 패드 전극(191, 193) 간의 이격 거리는 제1 벌크 전극(171)의 노출된 상면(171a)과 제2 벌크 전극(173)의 노출된 상면(173a) 간의 이격 거리(X)에 대응될 수 있다.The first pad electrode 191 and the second pad electrode 193 may be located on the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 respectively and may also be located on the third The opening 180a and the fourth opening 180b at least partially. The first pad electrode 191 and the second pad electrode 193 are connected to the exposed upper surface 171a of the first bulk electrode 171 and the exposed upper surface 173a of the second bulk electrode 173, Can be covered. The distance between the first and second pad electrodes 191 and 193 is equal to the distance X between the exposed top surface 171a of the first bulk electrode 171 and the exposed top surface 173a of the second bulk electrode 173 ). ≪ / RTI >

또한, 도시된 바와 같이, 제1 패드 전극(191)과 제2 패드 전극(193)의 상면은 절연지지체(180)의 상면과 대체로 동일한 높이로 나란하게(flush) 위치할 수 있다. 이 경우, 발광 소자(100)의 상면은 대체로 평평하게 형성될 수 있다.The top surface of the first pad electrode 191 and the top surface of the second pad electrode 193 may be flush with the top surface of the insulating support 180 at substantially the same height. In this case, the upper surface of the light emitting element 100 may be formed to be generally flat.

제1 및 제2 패드 전극(191, 193)은, 절연지지체(180)의 개구부들을 채우도록 도금 등의 방법을 이용하여 형성될 수 있다. 이 후, 제1 및 제2 패드 전극(191, 193) 및 절연지지체(180)를 물리적 및/또는 화학적 방법, 예컨대, 래핑 또는 CMP 등이 방법을 이용하여 부분적으로 제거함으로써, 제1 패드 전극(191)과 제2 패드 전극(193)의 상면은 절연지지체(180)의 상면을 대체로 동일한 높이로 나란하게 형성할 수 있다.The first and second pad electrodes 191 and 193 may be formed by plating or the like so as to fill the openings of the insulating support 180. Thereafter, the first and second pad electrodes 191 and 193 and the insulating support 180 are partially removed by a physical and / or chemical method such as lapping or CMP to form the first pad electrode 191 and the upper surface of the second pad electrode 193 may be formed to be substantially parallel to the upper surface of the insulating support 180.

제1 패드 전극(191)과 제2 패드 전극(193)은 도전성 물질, 특히, 금속성 물질을 포함할 수 있고, 예를 들어, Ni, Pt, Pd, Rh, W, Ti, Al, Au, Sn, Cu, Ag, Bi, In, Zn, Sb, Mg, Pb 등을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 패드 전극(191, 193)은 벌크 전극들(171, 173)과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수도 있고, 서로 다른 물질로 형성될 수도 있다. 제1 및 제2 패드 전극(191, 193)은 증착 또는 도금 방법을 이용하여 형성될 수 있으며, 예컨대, 무전해 도금을 이용하여 형성할 수 있다.The first pad electrode 191 and the second pad electrode 193 may include a conductive material such as a metallic material such as Ni, Pt, Pd, Rh, W, Ti, Al, , Cu, Ag, Bi, In, Zn, Sb, Mg, Pb and the like. The first and second pad electrodes 191 and 193 may include substantially the same material as the bulk electrodes 171 and 173, or may be formed of different materials. The first and second pad electrodes 191 and 193 may be formed using a deposition or plating method, and may be formed using electroless plating, for example.

발광 소자(200)가 제1 및 제2 패드 전극(191, 193)을 더 포함함으로써, 발광 소자(200)의 상면(발광 소자(200)가 별도의 기판에 실장되는 면일 수 있다)이 대체로 평평하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 발광 소자(200)을 별도의 기판 상에 실장하는 공정이 용이해질 수 있다. Since the light emitting element 200 further includes the first and second pad electrodes 191 and 193, the upper surface of the light emitting element 200 (the surface on which the light emitting element 200 is mounted on a separate substrate) . Accordingly, the step of mounting the light emitting device 200 on a separate substrate can be facilitated.

또한, 발광 소자(200) 제조 공정 중 발광 구조체(120)로부터 성장 기판(미도시)을 분리하는 과정에서, 성장 기판이 위치하는 면에 반대하는 면에 단차가 존재하는 경우 성장 기판의 분리 중에 발광 구조체(120)에 크랙 또는 파손이 발생할 확률이 높아진다. 본 실시예에 따르면, 제1 및 제2 패드 전극(191, 193)에 의해 성장 기판이 위치하는 면에 반대하여 위치하는 면이 대체로 평평하게 형성되어, 성장 기판 분리 과정에서 발광 구조체(120)에 데미지가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 발광 소자(200) 제조 공정의 수율이 향상될 수 있고, 제조된 발광 소자(200)의 신뢰성이 향상될 수 있다.Also, in the process of separating the growth substrate (not shown) from the light emitting structure 120 during the manufacturing process of the light emitting device 200, if there is a step on the surface opposite to the surface on which the growth substrate is located, The probability that the structure 120 cracks or breaks occurs is increased. According to the present embodiment, the first and second pad electrodes 191 and 193 are formed to have a flat surface opposite to the surface on which the growth substrate is disposed, It is possible to prevent damage from occurring. Accordingly, the yield of the manufacturing process of the light emitting device 200 can be improved, and the reliability of the manufactured light emitting device 200 can be improved.

도 4 및 도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 발광 소자를 설명하기 위한 단면도 및 평면도이다.4 and 5 are a cross-sectional view and a plan view illustrating a light emitting device according to another embodiment of the present invention.

본 실시예의 발광 소자(300)는 도 1 및 도 2의 발광 소자(200)와 비교하여 발광 구조체(120)의 구조가 상이하다. 이에 따라, 다른 나머지 구성들의 상호 구조 관계 등에 차이가 있으며, 이하 차이점을 중심으로 상세하게 설명한다. 동일한 구성에 대해서는 상세한 설명을 생략한다.The light emitting device 300 of this embodiment differs from the light emitting device 200 of FIGS. 1 and 2 in the structure of the light emitting structure 120. Accordingly, there is a difference in the mutual structure relation of the other remaining components, and the following description will be focused on the differences. Detailed description of the same configuration will be omitted.

도 4의 (a)는 본 실시예에 따른 발광 소자의 평면도이고, (b)는 홀(120h)의 위치 및 제1 개구부(160a)와 제2 개구부(160b)의 위치를 설명하기 위한 평면도이며, 도 5는 도 4의 (a)와 (b)의 Ⅱ-Ⅱ'선에 대응하는 영역의 단면을 도시하는 단면도이다.4A is a plan view of the light emitting device according to the present embodiment, FIG. 4B is a plan view for explaining the positions of the holes 120h and the positions of the first and second openings 160a and 160b And Fig. 5 is a cross-sectional view showing a cross section of a region corresponding to the II-II 'line of Figs. 4 (a) and 4 (b).

도 4 및 도 5를 참조하면, 발광 소자(300)는 발광 구조체(120), 제1 컨택 전극(130), 제2 컨택 전극(140), 절연층(150, 160), 제1 및 제2 벌크 전극(171, 173) 및 절연지지체(180)를 포함한다. 나아가, 발광 소자(300)는 성장 기판(미도시), 파장변환부(미도시), 제1 패드 전극(191) 및 제2 패드 전극(193)을 더 포함할 수 있다.4 and 5, the light emitting device 300 includes the light emitting structure 120, the first contact electrode 130, the second contact electrode 140, the insulating layers 150 and 160, the first and second Bulk electrodes 171 and 173, and an insulating support 180. Furthermore, the light emitting device 300 may further include a growth substrate (not shown), a wavelength conversion unit (not shown), a first pad electrode 191, and a second pad electrode 193.

발광 구조체(120)는 제2 도전형 반도체층(125) 및 활성층(123)이 부분적으로 제거되어 제1 도전형 반도체층(121)이 부분적으로 노출된 영역을 포함할 수 있다. 예를 들어, 도시된 바와 같이, 발광 구조체(120)는 제2 도전형 반도체층(125) 및 활성층(123)을 관통하여 제1 도전형 반도체층(121)을 노출시키는 복수의 홀(120h)을 포함할 수 있다. 홀(120h)들은 발광 구조체(120)의 전체에 걸쳐 대체로 규칙적으로 위치할 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 홀(120h)의 배치 형태 및 개수는 다양하게 변형될 수 있다.The light emitting structure 120 may include a region in which the first conductivity type semiconductor layer 121 is partially exposed because the second conductivity type semiconductor layer 125 and the active layer 123 are partially removed. The light emitting structure 120 includes a plurality of holes 120h through the second conductivity type semiconductor layer 125 and the active layer 123 to expose the first conductivity type semiconductor layer 121, . ≪ / RTI > The holes 120h may be positioned substantially regularly throughout the light emitting structure 120. [ However, the present invention is not limited thereto, and the arrangement and the number of the holes 120h may be variously modified.

또한, 제1 도전형 반도체층(121)이 노출된 형태는 홀(120h)과 같은 형태에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 제1 도전형 반도체층(121) 노출되는 영역은 라인 형태, 홀 및 라인이 복합된 형태 등으로 형성될 수 있다. Also, the exposed form of the first conductivity type semiconductor layer 121 is not limited to the hole 120h. For example, the exposed region of the first conductive semiconductor layer 121 may be formed in a line shape, a combination of holes and lines, or the like.

제2 컨택 전극(140)은 제2 도전형 반도체층(125) 상에 위치하여, 오믹 컨택될 수 있다. 제2 컨택 전극(140)은 제2 도전형 반도체층(125)의 상면을 전반적으로 덮도록 배치될 수 있으며, 나아가, 제2 도전형 반도체층(125)의 상면을 거의 완전히 덮도록 형성될 수 있다. 제2 컨택 전극(140)은 발광 구조체(120) 전체에 걸쳐 단일체로 형성될 수 있으며, 이 경우, 제2 컨택 전극(140)은 복수의 홀(120h)의 위치에 대응하는 개구 영역들을 포함할 수 있다. 이에 따라, 발광 구조체(120)의 전체에 대해 전류를 균일하게 공급하여, 전류 분산 효율이 향상될 수 있다.The second contact electrode 140 may be on ohmic contact with the second conductive semiconductor layer 125. The second contact electrode 140 may be disposed so as to cover the entire upper surface of the second conductive type semiconductor layer 125 and may be formed to substantially completely cover the upper surface of the second conductive type semiconductor layer 125. [ have. The second contact electrode 140 may be formed as a single body over the whole of the light emitting structure 120. In this case, the second contact electrode 140 includes openings corresponding to the positions of the plurality of holes 120h . Accordingly, current can be uniformly supplied to the entire light emitting structure 120, and the current dispersion efficiency can be improved.

다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제2 컨택 전극(140)은 복수의 단위 유닛들로 형성될 수도 있다.However, the present invention is not limited thereto, and the second contact electrode 140 may be formed of a plurality of unit units.

제1 절연층(150)은 발광 구조체(120)의 상면 및 제2 컨택 전극(140)을 부분적으로 덮을 수 있다. 제1 절연층(150)은 복수의 홀(120h)들의 측면을 덮되, 홀(120h)의 하면에 위치하는 제1 도전형 반도체층(121)을 부분적으로 노출시키는 개구부를 포함할 수 있다. 따라서 상기 개구부는 복수의 홀(120h)이 배치된 위치에 대응하여 위치할 수 있다. 또한, 제1 절연층(150)은 제2 컨택 전극(140)의 일부를 노출시키는 개구부를 포함할 수 있다. 나아가, 제1 절연층(150)은 발광 구조체(120)의 적어도 일부의 측면을 더 덮을 수 있다.The first insulating layer 150 may partially cover the upper surface of the light emitting structure 120 and the second contact electrode 140. The first insulating layer 150 may cover the side surfaces of the plurality of holes 120h and may include openings partially exposing the first conductive type semiconductor layer 121 located on the lower surface of the hole 120h. Accordingly, the openings may be positioned corresponding to the positions where the plurality of holes 120h are disposed. In addition, the first insulating layer 150 may include an opening exposing a part of the second contact electrode 140. Further, the first insulating layer 150 may further cover at least a part of the side surface of the light emitting structure 120.

제1 컨택 전극(130)은 발광 구조체(120)를 부분적으로 덮을 수 있으며, 홀들(120h) 및 상기 홀들(120h)에 대응하는 부분에 위치하는 제1 절연층(150)의 개구부를 통해 제1 도전형 반도체층(121)과 오믹 컨택할 수 있다. 또한, 도시된 바와 달리, 제1 컨택 전극(130)은 발광 구조체(120)의 측면까지 덮도록 형성될 수도 있다. The first contact electrode 130 may partly cover the light emitting structure 120 and may be electrically connected to the first contact electrode 130 through the openings of the first insulating layer 150 located at the portions corresponding to the holes 120h and the holes 120h. The ohmic contact with the conductive semiconductor layer 121 can be achieved. In addition, unlike the first embodiment, the first contact electrode 130 may be formed to cover the side surface of the light emitting structure 120.

제2 절연층(160)은 제1 컨택 전극(130)을 부분적으로 덮을 수 있으며, 제1 컨택 전극(130)을 부분적으로 노출시키는 제1 개구부(160a), 및 제2 컨택 전극(140)을 부분적으로 노출시키는 제2 개구부(160b)를 포함할 수 있다. 제1 및 제2 개구부(160a, 160b) 각각은 하나 이상 형성될 수 있다. 또한, 상기 개구부들(160a, 160b)은 서로 반대하여 위치하는 측면들에 각각 치우쳐 위치할 수 있다.The second insulating layer 160 may partially cover the first contact electrode 130 and may have a first opening 160a partially exposing the first contact electrode 130 and a second opening 160a partially exposing the second contact electrode 140. [ And a second opening 160b that partially exposes the second opening 160b. At least one of the first and second openings 160a and 160b may be formed. In addition, the openings 160a and 160b may be biased toward opposite sides.

제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173)은 발광 구조체(120) 상에 위치할 수 있고, 제1 벌크 전극(171) 및 제2 벌크 전극(173)은 각각 제1 컨택 전극(130) 및 제2 컨택 전극(140)에 전기적으로 연결될 수 있다. The first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 may be positioned on the light emitting structure 120 and the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 may be located on the first contact electrode 130 and the second contact electrode 140, respectively.

한편, 제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173) 간의 이격 거리(Y)는 소정 수치 이하로 형성될 수 있고, 예컨대 약 250㎛ 이하일 수 있고, 나아가, 약 80㎛ 이하일 수 있다. 또한, 제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173)은 서로 다른 부피를 가질 수 있고, 또한, 제1 벌크 전극(171)의 수평 단면적은 제2 벌크 전극(173)의 수평 단면적보다 클 수 있다. On the other hand, the distance Y between the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 may be less than or equal to a predetermined value, for example, about 250 m or less, and further, about 80 m or less. The first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 may have different volumes and the horizontal cross sectional area of the first bulk electrode 171 may be larger than the horizontal cross sectional area of the second bulk electrode 173. [ It can be big.

절연지지체(180)는 발광 구조체(120) 상에 위치하며, 벌크 전극들(171, 173)의 측면 및 벌크 전극들(171, 173)의 상면을 부분적으로 덮는다. 또한, 절연지지체(180)는 제1 벌크 전극(171) 및 제2 벌크 전극(173)의 상면을 부분적으로 노출시키는 제3 개구부(180a) 및 제4 개구부(180b)를 포함할 수 있다. 절연지지체(180)는 하부 절연지지체(181) 및 상부 절연지지체(183)를 포함할 수 있으며, 하부 절연지지체(181)는 벌크 전극들(171, 173)의 측면을 둘러쌀 수 있고, 상부 절연지지체(183)는 벌크 전극들(171, 173)의 상면을 부분적으로 덮을 수 있다. 또한, 상부 절연지지체(183)는 하부 절연지지체(181)와 벌크 전극들(171, 173) 간의 계면을 덮을 수 있다.The insulating support 180 is located on the light emitting structure 120 and partially covers the side surfaces of the bulk electrodes 171 and 173 and the upper surfaces of the bulk electrodes 171 and 173. In addition, the insulating support 180 may include a third opening 180a and a fourth opening 180b partially exposing the upper surfaces of the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173. The insulative support 180 may include a lower insulative support 181 and an upper insulative support 183 and the lower insulative support 181 may surround the sides of the bulk electrodes 171 and 173, The support 183 may partly cover the upper surface of the bulk electrodes 171, 173. The upper insulating support 183 may cover the interface between the lower insulating support 181 and the bulk electrodes 171 and 173.

상부 절연지지체(183)에 의해 벌크 전극들(171, 173)의 상면이 부분적으로 덮여, 제1 및 제2 전극(171, 173)의 상면 중 노출된 부분(171a, 173a)의 면적은 각각 제1 벌크 전극(171)의 수평 단면적 및 제2 벌크 전극(173)의 수평 단면적보다 작을 수 있다. 특히, 상부 절연지지체(183)는 제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173)이 서로 대향하는 측면 주변의 벌크 전극들(171, 173)의 상면 상에 위치할 수 있다. 따라서, 제1 벌크 전극(171)의 노출된 상면(171a)과 제2 벌크 전극(173)의 노출된 상면(173a) 간의 이격 거리(X)는 제1 벌크 전극(171)과 제2 벌크 전극(173) 간의 이격 거리(Y)보다 크다.The upper surfaces of the bulk electrodes 171 and 173 are partially covered by the upper insulating support 183 and the areas of the exposed portions 171a and 173a in the upper surface of the first and second electrodes 171 and 173 are Sectional area of the first bulk electrode 171 and the horizontal cross-sectional area of the second bulk electrode 173. In particular, the upper insulating support 183 may be positioned on the upper surface of the bulk electrodes 171, 173 around the side surfaces of the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 facing each other. The distance X between the exposed top surface 171a of the first bulk electrode 171 and the exposed top surface 173a of the second bulk electrode 173 is less than the distance X between the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173. [ Is greater than the separation distance (Y).

제1 벌크 전극(171)의 노출된 상면(171a)과 제2 벌크 전극(173)의 노출된 상면(173a) 간의 이격 거리(X)는 제한되지 않으나, 솔더링을 통해 발광 소자(100)를 별도의 기판에 실장하는 경우 상기 이격 거리(X)는 약 250㎛ 이상일 수 있고, 나아가, 공정 본딩을 통해 발광 소자(100)를 별도의 기판에 실장하는 경우 상기 이격 거리(X)는 약 80㎛ 이상일 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.The distance X between the exposed upper surface 171a of the first bulk electrode 171 and the exposed upper surface 173a of the second bulk electrode 173 is not limited but the light emitting device 100 may be separately soldered The spacing distance X may be about 250 μm or more. Further, when the light emitting device 100 is mounted on a separate substrate through process bonding, the spacing distance X may be about 80 μm or more . However, the present invention is not limited thereto.

나아가, 하부 절연지지체(181)와 상부 절연지지체(183)는 서로 동일한 물질 또는 서로 다른 물질로 형성될 수 있다.Further, the lower insulating support 181 and the upper insulating support 183 may be formed of the same material or different materials.

특히, 하부 절연지지체(181)와 상부 절연지지체(183)가 서로 다른 물질로 형성되는 경우, 상부 절연지지체(183)는 하부 절연지지체(181)에 비해 낮은 취성 및/또는 낮은 흡습성을 갖는 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 하부 절연지지체(181)는 EMC(Epoxy Molding Compound), Si 수지와 같은 물질을 포함할 수 있고, 상부 절연지지체(183)는 포토레지스트(PR) 및/또는 포토솔더레지스트(PSR)와 같은 물질을 포함할 수 있다.In particular, when the lower insulating support 181 and the upper insulating support 183 are formed of different materials, the upper insulating support 183 may be made of a material having lower embrittlement and / or lower hygroscopicity than the lower insulating support 181 . For example, the lower insulating support 181 may include a material such as an epoxy molding compound (EMC), a Si resin, and the upper insulating support 183 may include a photoresist PR and / or a photo solder resist (PSR) ≪ / RTI >

한편, 제1 벌크 전극(171)의 노출된 상면(171a)의 면적은 제1 벌크 전극(171)과 제1 컨택 전극(130)이 접하는 영역의 면적보다 작을 수 있고, 제2 벌크 전극(173)의 노출된 상면(173a)의 면적은 제2 벌크 전극(173)과 제2 컨택 전극(140)이 접하는 영역의 면적보다 클 수 있다. 이 경우, 제1 벌크 전극(171)의 수평 단면적이 제2 벌크 전극(173)의 수평 단면적보다 클 수 있다.The area of the exposed upper surface 171a of the first bulk electrode 171 may be smaller than the area of the first bulk electrode 171 in contact with the first contact electrode 130 and the area of the second bulk electrode 173 May be larger than the area of the region where the second bulk electrode 173 and the second contact electrode 140 are in contact with each other. In this case, the horizontal cross-sectional area of the first bulk electrode 171 may be larger than the horizontal cross-sectional area of the second bulk electrode 173.

제1 패드 전극(191) 및 제2 패드 전극(193)은 각각 제1 벌크 전극(171) 및 제2 벌크 전극(173) 상에 위치할 수 있으며, 또한, 각각 절연지지체(180)의 제3 개구부(180a) 및 제4 개구부(180b)를 적어도 부분적으로 채울 수 있다. 이에 따라, 제1 패드 전극(191)과 제2 패드 전극(193)은 각각 제1 벌크 전극(171)의 노출된 상면(171a) 및 제2 벌크 전극(173)의 노출된 상면(173a)을 덮을 수 있다. 따라서 제1 및 제2 패드 전극(191, 193) 간의 이격 거리는 제1 벌크 전극(171)의 노출된 상면(171a)과 제2 벌크 전극(173)의 노출된 상면(173a) 간의 이격 거리(Y)에 대응될 수 있다. 또한, 도시된 바와 같이, 제1 패드 전극(191)과 제2 패드 전극(193)의 상면은 절연지지체(180)의 상면과 대체로 동일한 높이로 나란하게(flush) 위치할 수 있다. 이 경우, 발광 소자(100)의 상면은 대체로 평평하게 형성될 수 있다.
The first pad electrode 191 and the second pad electrode 193 may be located on the first bulk electrode 171 and the second bulk electrode 173 respectively and may also be located on the third The opening 180a and the fourth opening 180b at least partially. The first pad electrode 191 and the second pad electrode 193 are connected to the exposed upper surface 171a of the first bulk electrode 171 and the exposed upper surface 173a of the second bulk electrode 173, Can be covered. The spacing distance between the first and second pad electrodes 191 and 193 is set to a distance Y between the exposed upper surface 171a of the first bulk electrode 171 and the exposed upper surface 173a of the second bulk electrode 173 ). ≪ / RTI > The top surface of the first pad electrode 191 and the top surface of the second pad electrode 193 may be flush with the top surface of the insulating support 180 at substantially the same height. In this case, the upper surface of the light emitting element 100 may be formed to be generally flat.

이상에서, 본 발명의 다양한 실시예들에 대하여 설명하였지만, 상술한 각각의 실시예들 및 특징들에 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 실시예들에서 설명하는 기술적 특징들의 결합 및 치환을 통하여 변경된 발명 역시 본 발명의 범위에 모두 포함되며, 본 발명의 특허청구범위에 의한 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형과 변경이 가능하다.
While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiment, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the following claims.

Claims (20)

제1 도전형 반도체층, 제2 도전형 반도체층 및 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층의 사이에 위치하는 활성층을 포함하는 발광 구조체;
상기 발광 구조체 상에 위치하며, 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층에 각각 오믹 컨택하는 제1 컨택 전극 및 제2 컨택 전극;
상기 발광 구조체 상에 위치하며, 상기 제1 컨택 전극 및 제2 컨택 전극을 절연시키는 절연층;
상기 발광 구조체 상에 위치하며, 상기 제1 및 제2 컨택 전극 각각에 전기적으로 연결된 제1 벌크 전극 및 제2 벌크 전극;
상기 제1 벌크 전극 및 제2 벌크 전극의 측면 및 일부 상면을 덮고, 상기 제1 벌크 전극 및 제2 벌크 전극의 상면을 부분적으로 노출시키는 제1 개구부 및 제2 개구부를 포함하는 절연지지체; 및
각각 상기 제1 및 제2 개구부를 적어도 부분적으로 채우는 제1 패드 전극 및 제2 패드 전극을 포함하고,
상기 제1 및 제2 벌크 전극 상면 중 상기 제1 및 제2 개구부에 의해 노출되는 영역의 면적은 각각 상기 제1 및 제2 벌크 전극의 수평 단면적보다 작은 발광 소자.
A light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, a second conductive semiconductor layer, and an active layer disposed between the first and second conductive semiconductor layers;
A first contact electrode and a second contact electrode located on the light emitting structure and ohmically contacting the first and second conductive type semiconductor layers, respectively;
An insulating layer disposed on the light emitting structure and insulating the first and second contact electrodes;
A first bulk electrode and a second bulk electrode that are located on the light emitting structure and are electrically connected to the first and second contact electrodes, respectively;
An insulating support including a first opening and a second opening covering the side surfaces and a part of the upper surface of the first and second bulk electrodes and partially exposing the upper surfaces of the first and second bulk electrodes; And
A first pad electrode and a second pad electrode at least partially filling the first and second openings, respectively,
Wherein an area of the upper surface of the first and second bulk electrodes exposed by the first and second openings is smaller than a horizontal cross-sectional area of the first and second bulk electrodes, respectively.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 및 제2 벌크 전극 간의 이격 거리는 상기 제1 및 제2 개구부 간의 이격 거리보다 작은 발광 소자.
The method according to claim 1,
Wherein a distance between the first and second bulk electrodes is smaller than a distance between the first and second openings.
청구항 2에 있어서,
상기 제1 및 제2 벌크 전극 간의 이격 거리는 100㎛ 이하인 발광 소자.
The method of claim 2,
And the distance between the first and second bulk electrodes is 100 mu m or less.
청구항 2에 있어서,
상기 제1 및 제2 개구부 간의 이격 거리는 80㎛ 이상인 발광 소자.
The method of claim 2,
And the distance between the first and second openings is 80 mu m or more.
청구항 1에 있어서,
상기 절연지지체는 상기 제1 및 제2 벌크 전극의 측면을 덮는 하부 절연지지체, 및 상기 제1 및 제2 벌크 전극 상면의 일부를 덮는 상부 절연지지체를 포함하고,
상기 하부 및 상부 절연지지체는 서로 동일한 물질로 형성되거나, 또는 서로 다른 물질로 형성된 발광 소자.
The method according to claim 1,
The insulative support comprising a lower insulative support covering the sides of the first and second bulk electrodes and an upper insulative support covering a portion of the upper surfaces of the first and second bulk electrodes,
The lower and upper insulating supports may be formed of the same material or may be formed of different materials.
청구항 5에 있어서,
상기 상부 절연지지체는, 상기 제1 벌크 전극과 상기 하부 절연지지체 간의 계면 및 상기 제2 벌크 전극과 상기 하부 절연지지체 간의 계면을 덮는 발광 소자.
The method of claim 5,
The upper insulating support covering an interface between the first bulk electrode and the lower insulating support and an interface between the second bulk electrode and the lower insulating support.
청구항 1에 있어서,
상기 하부 및 상부 절연지지체는 서로 다른 물질로 형성되고,
상기 상부 절연지지체는 포토레지스트 또는 포토솔더레지스트를 포함하는 발광 소자.
The method according to claim 1,
The lower and upper insulative supports are formed of different materials,
Wherein the upper insulating support comprises a photoresist or photo solder resist.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 패드 전극의 상면, 제2 패드 전극의 상면 및 상기 절연지지체의 상면은 서로 동일한 높이로 나란하게 위치하는 발광 소자.
The method according to claim 1,
Wherein the upper surface of the first pad electrode, the upper surface of the second pad electrode, and the upper surface of the insulating support are positioned at the same height.
청구항 1에 있어서,
상기 절연층은 제1 절연층 및 제2 절연층을 포함하고,
상기 제1 절연층은 상기 제2 컨택 전극을 부분적으로 덮고,
상기 제1 컨택 전극은 상기 제1 절연층을 부분적으로 덮으며,
상기 제2 절연층은 상기 제1 컨택 전극을 부분적으로 덮어, 상기 제1 컨택 전극과 상기 제2 컨택 전극을 부분적으로 노출시키는 제3 개구부 및 제4 개구부를 포함하는 발광 소자.
The method according to claim 1,
Wherein the insulating layer includes a first insulating layer and a second insulating layer,
The first insulating layer partially covering the second contact electrode,
The first contact electrode partially covering the first insulating layer,
The second insulating layer partially covering the first contact electrode and including a third opening and a fourth opening partially exposing the first contact electrode and the second contact electrode.
청구항 9에 있어서,
상기 제1 벌크 전극은 상기 제3 개구부를 통해 상기 제1 컨택 전극과 전기적으로 연결되고,
상기 제2 벌크 전극은 상기 제4 개구부를 통해 상기 제2 컨택 전극과 전기적으로 연결된 발광 소자.
The method of claim 9,
The first bulk electrode is electrically connected to the first contact electrode through the third opening,
And the second bulk electrode is electrically connected to the second contact electrode through the fourth opening.
청구항 9에 있어서,
상기 제2 컨택 전극과 상기 제2 벌크 전극 사이에 위치하는 연결 전극을 더 포함하는 발광 소자.
The method of claim 9,
And a connection electrode located between the second contact electrode and the second bulk electrode.
청구항 11에 있어서,
상기 연결 전극의 상면은 상기 제1 컨택 전극과 동일한 물질로 형성된 발광 소자.
The method of claim 11,
And the upper surface of the connection electrode is formed of the same material as the first contact electrode.
청구항 11에 있어서,
상기 연결 전극의 상면은 상기 제1 컨택 전극의 상면과 동일한 높이로 위치하는 발광 소자.
The method of claim 11,
And the upper surface of the connection electrode is located at the same height as the upper surface of the first contact electrode.
청구항 1에 있어서,
상기 발광 구조체는 상기 제1 도전형 반도체층을 부분적으로 노출시키는 하나 이상의 홀을 포함하고,
상기 제1 컨택 전극은 상기 하나 이상의 홀을 통해 상기 제1 도전형 반도체층과 전기적으로 연결되는 발광 소자.
The method according to claim 1,
Wherein the light emitting structure includes at least one hole for partially exposing the first conductive type semiconductor layer,
Wherein the first contact electrode is electrically connected to the first conductive type semiconductor layer through the at least one hole.
제1 도전형 반도체층, 제2 도전형 반도체층 및 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층의 사이에 위치하는 활성층을 포함하는 발광 구조체;
상기 발광 구조체 상에 위치하며, 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층에 각각 오믹 컨택하는 제1 컨택 전극 및 제2 컨택 전극;
상기 발광 구조체 상에 위치하며, 상기 제1 컨택 전극 및 제2 컨택 전극을 절연시키는 절연층;
상기 발광 구조체 상에 위치하며, 상기 제1 및 제2 컨택 전극 각각에 전기적으로 연결된 제1 벌크 전극 및 제2 벌크 전극; 및
상기 제1 벌크 전극 및 제2 벌크 전극의 측면 및 일부 상면을 덮고, 상기 제1 벌크 전극 및 제2 벌크 전극의 상면을 부분적으로 노출시키는 제1 개구부 및 제2 개구부를 포함하는 절연지지체를 포함하고,
상기 제1 및 제2 개구부 간의 이격 거리는 상기 제1 및 제2 벌크 전극 간의 이격 거리보다 큰 발광 소자.
A light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, a second conductive semiconductor layer, and an active layer disposed between the first and second conductive semiconductor layers;
A first contact electrode and a second contact electrode located on the light emitting structure and ohmically contacting the first and second conductive type semiconductor layers, respectively;
An insulating layer disposed on the light emitting structure and insulating the first and second contact electrodes;
A first bulk electrode and a second bulk electrode that are located on the light emitting structure and are electrically connected to the first and second contact electrodes, respectively; And
And an insulating support including a first opening and a second opening covering the side surfaces and a part of the upper surface of the first and second bulk electrodes and partially exposing the upper surfaces of the first and second bulk electrodes ,
Wherein a distance between the first and second openings is larger than a distance between the first and second bulk electrodes.
청구항 15에 있어서,
상기 제2 도전형 반도체층은 p형 반도체층이고,
제2 벌크 전극의 상면 중 상기 제2 개구부에 의해 노출된 부분의 면적은, 상기 제2 벌크 전극과 상기 제2 컨택 전극이 접하는 부분의 면적보다 큰 발광 소자.
16. The method of claim 15,
The second conductivity type semiconductor layer is a p-type semiconductor layer,
The area of the upper surface of the second bulk electrode exposed by the second opening is larger than the area of the portion where the second bulk electrode and the second contact electrode are in contact with each other.
청구항 15에 있어서,
상기 제1 도전형 반도체층은 n형 반도체층이고,
제1 벌크 전극의 상면 중 상기 제1 개구부에 의해 노출된 부분의 면적은, 상기 제1 벌크 전극와 상기 제1 컨택 전극이 접하는 부분의 면적보다 작은 발광 소자.
16. The method of claim 15,
The first conductivity type semiconductor layer is an n-type semiconductor layer,
An area of a portion of the upper surface of the first bulk electrode exposed by the first opening is smaller than an area of a portion of the first bulk electrode in contact with the first bulk electrode and the first contact electrode.
청구항 16 또는 청구항 17에 있어서,
상기 제1 벌크 전극의 수평 단면적은 상기 제2 벌크 전극의 수평 단면적보다 큰 발광 소자.
The method according to claim 16 or 17,
Wherein a horizontal cross-sectional area of the first bulk electrode is larger than a horizontal cross-sectional area of the second bulk electrode.
제1 도전형 반도체층, 제2 도전형 반도체층 및 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층의 사이에 위치하는 활성층을 포함하는 발광 구조체;
상기 발광 구조체 상에 위치하며, 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층에 각각 오믹 컨택하는 제1 컨택 전극 및 제2 컨택 전극;
상기 발광 구조체 상에 위치하며, 상기 제1 컨택 전극 및 제2 컨택 전극을 절연시키는 절연층;
상기 발광 구조체 상에 위치하며, 상기 제1 및 제2 컨택 전극 각각에 전기적으로 연결된 제1 벌크 전극 및 제2 벌크 전극; 및
상기 제1 벌크 전극 및 제2 벌크 전극의 측면 및 일부 상면을 덮고, 상기 제1 벌크 전극 및 제2 벌크 전극의 상면을 부분적으로 노출시키는 제1 개구부 및 제2 개구부를 포함하는 절연지지체를 포함하고,
상기 절연지지체는 상기 제1 및 제2 벌크 전극의 사이 및 상기 제1 및 제2 벌크 전극이 서로 대향하는 측면 상부의 상기 제1 및 제2 벌크 전극의 일부 상면 상에 위치하는 발광 소자.
A light emitting structure including a first conductive semiconductor layer, a second conductive semiconductor layer, and an active layer disposed between the first and second conductive semiconductor layers;
A first contact electrode and a second contact electrode located on the light emitting structure and ohmically contacting the first and second conductive type semiconductor layers, respectively;
An insulating layer disposed on the light emitting structure and insulating the first and second contact electrodes;
A first bulk electrode and a second bulk electrode that are located on the light emitting structure and are electrically connected to the first and second contact electrodes, respectively; And
And an insulating support including a first opening and a second opening covering the side surfaces and a part of the upper surface of the first and second bulk electrodes and partially exposing the upper surfaces of the first and second bulk electrodes ,
Wherein the insulating support is positioned on a part of the upper surface of the first and second bulk electrodes on the upper side of the first and second bulk electrodes and the side opposite the first and second bulk electrodes.
청구항 19에 있어서,
상기 절연지지체는 상기 제1 및 제2 벌크 전극의 외곽 측면 및 상기 제1 및 제2 벌크 전극의 외곽 측면 상부의 상기 제1 및 제2 벌크 전극의 일부 상면 상에 위치하는 발광 소자.
The method of claim 19,
Wherein the insulating support is located on the outer side surfaces of the first and second bulk electrodes and on the upper surfaces of the first and second bulk electrodes on the outer side surfaces of the first and second bulk electrodes.
KR1020140179554A 2014-11-12 2014-12-12 Light emitting device KR102347483B1 (en)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140179554A KR102347483B1 (en) 2014-12-12 2014-12-12 Light emitting device
PCT/KR2015/012153 WO2016076637A1 (en) 2014-11-12 2015-11-12 Light emitting device
DE112015005124.4T DE112015005124T5 (en) 2014-11-12 2015-11-12 Light emitting diode
TW104219887U TWM521810U (en) 2014-12-12 2015-12-11 Light emitting device
CN201521031647.7U CN205488228U (en) 2014-12-12 2015-12-11 Light -emitting device
US15/244,744 US10249798B2 (en) 2014-11-12 2016-08-23 Light emitting device
KR1020210194338A KR102461968B1 (en) 2014-12-12 2021-12-31 Light emitting device
KR1020220140129A KR102550004B1 (en) 2014-12-12 2022-10-27 Light emitting device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140179554A KR102347483B1 (en) 2014-12-12 2014-12-12 Light emitting device

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210194338A Division KR102461968B1 (en) 2014-12-12 2021-12-31 Light emitting device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160071854A true KR20160071854A (en) 2016-06-22
KR102347483B1 KR102347483B1 (en) 2022-01-07

Family

ID=56365056

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140179554A KR102347483B1 (en) 2014-11-12 2014-12-12 Light emitting device
KR1020210194338A KR102461968B1 (en) 2014-12-12 2021-12-31 Light emitting device
KR1020220140129A KR102550004B1 (en) 2014-12-12 2022-10-27 Light emitting device

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210194338A KR102461968B1 (en) 2014-12-12 2021-12-31 Light emitting device
KR1020220140129A KR102550004B1 (en) 2014-12-12 2022-10-27 Light emitting device

Country Status (3)

Country Link
KR (3) KR102347483B1 (en)
CN (1) CN205488228U (en)
TW (1) TWM521810U (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI784652B (en) * 2016-05-11 2022-11-21 晶元光電股份有限公司 Light-emitting device and manufacturing method thereof
CN111864037B (en) * 2019-04-26 2022-08-02 成都辰显光电有限公司 Micro-element array substrate, display panel and preparation method thereof
CN114093988A (en) * 2021-11-18 2022-02-25 聚灿光电科技(宿迁)有限公司 Inverted Mini LED chip and manufacturing method thereof

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014128574A1 (en) * 2013-02-19 2014-08-28 Koninklijke Philips N.V. A light emitting die component formed by multilayer structures

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014128574A1 (en) * 2013-02-19 2014-08-28 Koninklijke Philips N.V. A light emitting die component formed by multilayer structures

Also Published As

Publication number Publication date
KR102347483B1 (en) 2022-01-07
KR20220004002A (en) 2022-01-11
CN205488228U (en) 2016-08-17
TWM521810U (en) 2016-05-11
KR102550004B1 (en) 2023-07-03
KR20220154641A (en) 2022-11-22
KR102461968B1 (en) 2022-11-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101142965B1 (en) Wafer-level light emitting diode package and method of fabricating the same
US8026527B2 (en) LED structure
US10249798B2 (en) Light emitting device
KR101138952B1 (en) Wafer-level light emitting diode package having plurality of light emitting cells and method of fabricating the same
KR102407827B1 (en) Light emitting device
KR102461968B1 (en) Light emitting device
KR101423717B1 (en) Light emitting diode package having plurality of light emitting cells and method of fabricating the same
US9728698B2 (en) Light emitting device package having improved heat dissipation efficiency
KR20160149827A (en) Light emitting device including multiple wavelength conversion units and method of making the same
KR101660020B1 (en) Wafer-level light emitting diode package and method of fabricating the same
KR20120031473A (en) Wafer-level light emitting diode package having plurality of light emitting cells and method of fabricating the same
KR102263066B1 (en) Light emitting device
KR20160010176A (en) Light emitting device having improved thermal dissipation efficiency and method of fabricating the same
JP2006073618A (en) Optical element and manufacturing method thereof
KR101654339B1 (en) Wafer-level light emitting diode package and method of fabricating the same
KR20210069026A (en) Light emitting device and method of fabricating the same
KR101873505B1 (en) Wafer-level light emitting diode package
KR101797561B1 (en) Wafer-level light emitting diode package and method of fabricating the same
KR101731058B1 (en) Wafer-level light emitting diode package and method of fabricating the same
KR20160099430A (en) Light-emitting device including metal bulk
US20210376212A1 (en) Semiconductor light emitting device and method of manufacturing the same
KR102475409B1 (en) Light-emitting diode including metal bulk
KR101775664B1 (en) Wafer-level light emitting diode package and method of fabricating the same
KR20160046539A (en) Light emitting device and method of fabricating the same
KR20160112295A (en) Light-emitting diode including metal bulk

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right