KR20160069289A - 유기 발광 표시 장치 및 이를 제조하기 위한 박막 증착용 마스크 - Google Patents

유기 발광 표시 장치 및 이를 제조하기 위한 박막 증착용 마스크 Download PDF

Info

Publication number
KR20160069289A
KR20160069289A KR1020140175061A KR20140175061A KR20160069289A KR 20160069289 A KR20160069289 A KR 20160069289A KR 1020140175061 A KR1020140175061 A KR 1020140175061A KR 20140175061 A KR20140175061 A KR 20140175061A KR 20160069289 A KR20160069289 A KR 20160069289A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light emitting
organic light
layer
organic
emitting layer
Prior art date
Application number
KR1020140175061A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102293507B1 (ko
Inventor
성덕경
박지호
정성부
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020140175061A priority Critical patent/KR102293507B1/ko
Priority to US14/959,706 priority patent/US9929218B2/en
Priority to CN201510887975.5A priority patent/CN105679793B/zh
Publication of KR20160069289A publication Critical patent/KR20160069289A/ko
Priority to US15/895,375 priority patent/US10283573B2/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102293507B1 publication Critical patent/KR102293507B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80—Constructional details
    • H10K59/88—Dummy elements, i.e. elements having non-functional features
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80—Constructional details
    • H10K59/84—Parallel electrical configurations of multiple OLEDs
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
    • H10K71/166—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using selective deposition, e.g. using a mask

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

전술한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치가 제공된다. 유기 발광 표시 장치는 발광 영역 및 발광 영역을 둘러싸는 베젤 영역을 갖는 기판 및 유기 발광 소자를 포함한다. 유기 발광 소자는 유기 발광층을 포함하고, 기판 상에서 발광 영역에 복수의 열로 배치된다. 복수의 열 각각에는 서로 상이한 개수의 화소가 배열되며, 유기 발광층은 복수의 열에 대응하여 배치되는 것을 특징으로 한다.

Description

유기 발광 표시 장치 및 이를 제조하기 위한 박막 증착용 마스크{ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY APPARATUS AND THIN FILM DEPOSITION MASK FOR MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 이를 제조하기 위한 박막 증착용 마스크에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다양한 형태를 갖는 유기 발광 표시 장치 및 이를 제조하기 위한 박막 증착용 마스크에 관한 것이다.
다양한 형상의 전자 디바이스를 제조하기 위해서 다양한 형상을 갖는 표시 장치가 개발되고 있다. 그 중에서도 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display; OLED)는 자체 발광형 표시 장치로서, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD)와는 달리 별도의 광원이 필요하지 않아 다양한 형상으로 제조하는데 용이하다. 또한 유기 발광 표시 장치는 액정 표시 장치에 비하여 보다 경량 박형으로 제조 가능하여 다양한 형상의 전자 디바이스에 적용하는데 장점이 있다.
또한, 유기 발광 표시 장치는 저전압 구동에 따라 소비 전력 측면에서 유리할 뿐만 아니라, 응답 속도, 시야각 및 대비비(contrast ratio)도 우수한 장점이 있다.
유기 발광 표시 장치에서 빛을 발광하기 위한 유기 발광층은 유기물로 이루어지며 다양한 방법으로 유기 발광 표시 장치의 기판 상에 형성된다. 유기물을 형성하는 방법 중에서, 목표하는 형상의 유기 발광층을 빠른 시간에 형성하기 위해서 내구성과 강도가 높은 메탈 마스크를 이용하는 방법이 채용될 수 있다.
한편, 직사각형이 아닌 다양한 형상의 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서는, 목표하는 형상의 유기 발광층을 형성하기 위한 슬릿(slit)을 갖는 메탈 마스크가 필요하다. 그러나, 다양한 형상을 갖도록 메탈 마스크의 슬릿의 크기와 위치를 기존의 직사각형의 구조에서 변경하는 경우, 유기 발광층의 두께 균일도가 현저하게 감소하는 문제가 있었다.
[관련기술문헌]
1. 박막 증착용 마스크 및 이를 이용한 유기전계발광 소자의 제조방법 (한국특허출원번호 제2008-0085738호)
종래의 유기 발광 표시 장치는 직사각형의 형상을 가지므로, 화소들은 동일한 길이를 갖는 복수의 열로 배열되었다. 그러나, 다양한 형태의 유기 발광 표시 장치, 예를 들어, 원형의 유기 발광 표시 장치의 화소들은 서로 상이한 길이를 갖는 복수의 열로 배열된다.
복수의 열로 유기 발광층을 형성하기 위해서는 직사각형의 유기 발광 표시 장치를 제조할 때 사용되던 동일한 길이를 갖는 슬릿의 마스크를 이용하는 방식과, 복수의 열에 대응하는 슬릿의 마스크를 이용하는 방식이 사용될 수 있다.
동일한 길이를 갖는 슬릿의 마스크를 사용하면, 유기 발광층의 두께가 균일하게 형성되고, 다양한 형상의 유기 발광 표시 장치에 범용적으로 사용될 수 있다. 그러나, 형성되는 유기 발광층의 재료가 원치 않는 영역에 추가적으로 형성된다는 문제점이 있다.
유기 발광층의 재료가 원치 않는 영역에 추가적으로 형성되면, 추가적으로 형성된 유기 발광의 재료로 유기 발광층을 통과하는 전류가 누설될 수도 있으며, 도전성 물질들이 유기 발광층의 전도성의 물질들에 의해 단락될 수도 있다.
이에, 복수의 열에 대응하는 슬릿의 마스크를 이용하면, 원하는 영역에 유기 발광층을 형성할 수 있으나, 유기 발광층의 두께에 대한 균일도가 낮아질 수 있다. 특히, 인접하는 슬릿의 길이가 서로 상이한 경우, 더 긴 슬릿을 통해 형성된 유기 발광층의 두께 균일도가 낮을 수 있다.
이에, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 직사각형이 아닌 유기 발광 표시 장치에서 원하지 않는 영역에 유기 발광층의 재료가 형성되는 것을 최소화하는 동시에 유기 발광층의 두께 균일도가 높은 유기 발광 표시 장치 및 이를 제조하기 위한 박막 증착용 마스크를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
전술한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치가 제공된다. 유기 발광 표시 장치는 발광 영역 및 발광 영역을 둘러싸는 베젤 영역을 갖는 기판 및 유기 발광 소자를 포함한다. 유기 발광 소자는 유기 발광층을 포함하고, 기판 상에서 발광 영역에 복수의 열로 배치된다. 복수의 열 각각에는 서로 상이한 개수의 화소가 배열되며, 유기 발광층은 복수의 열에 대응하여 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 유기 발광 표시 장치는 복수의 열과 평행하고, 복수의 열 중 최외곽 열에서의 유기 발광층과 동일한 길이의 더미 유기물층을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 더미 유기물층은 유기 발광층과 동일한 물질로 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 더미 유기물층은 최외곽 열에서의 유기 발광층 양측에 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 복수의 열은 중앙으로 갈수록 화소의 개수가 증가하도록 배열된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 발광 영역은 원형인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 발광 영역은 다각형인 것을 특징으로 한다.
전술한 바와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크가 제공된다. 박막 증착용 마스크는 베이스 및 슬릿부를 포함한다. 슬릿부는 베이스를 관통하고, 서로 상이한 길이를 가지며, 서로 평행한 복수의 슬릿을 갖는다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 슬릿부는 복수의 슬릿과 평행하고 복수의 슬릿 중 최외곽 슬릿과 동일한 길이를 갖는 적어도 하나의 더미 슬릿을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 적어도 하나의 더미 슬릿은 복수의 슬릿 양측에 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 복수의 슬릿은 중앙으로 갈수록 복수의 슬릿의 길이가 증가하도록 배열된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 슬릿부는 원형인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 슬릿부는 다각형인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 박막 증착용 마스크는 슬릿부에 인접하여 배치되는 버퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
기타 실시예의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명에서의 박막 증착용 마스크를 이용함으로써, 직사각형이 아닌 다양한 형상을 갖는 유기 발광 표시 장치에서 유기 발광층의 균일한 두께를 구현할 수 있으며, 이에 따라 신뢰성이 향상된 유기 발광 표시 장치를 제공할 수 있는 효과가 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1의 선 II-II'를 따르는 유기 발광 표시 장치의 개략적인 단면도이다.
도 3은 도 1의 선 III-III'를 따르는 유기 발광 표시 장치의 개략적인 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위한 박막 증착용 마스크의 개략적인 평면도이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위한 박막 증착용 마스크의 개략적인 평면도들이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형상으로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서 상에서 언급된 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.
구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.
위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.
소자 또는 층이 다른 소자 또는 층 "상에 (on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 도시된 것이며, 본 발명이 도시된 구성의 크기 및 두께에 반드시 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하며, 당업자가 충분히 이해할 수 있듯이 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시 가능할 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들을 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 개략적인 평면도이다. 도 2는 도 1의 선 II-II'를 따르는 유기 발광 표시 장치의 개략적인 단면도이다. 도 3은 도 1의 선 III-III'를 따르는 유기 발광 표시 장치의 개략적인 단면도이다. 도 1에서는 설명의 편의를 위해 기판(110) 위의 유기 발광층(142)의 일부와 더미 유기물층(142a)만을 도시하였다. 도 1 내지 도 3을 참조하면, 유기 발광 표시 장치(100)는 기판(110), 박막 트랜지스터(120), 평탄화층(133), 유기 발광층(142)을 포함하는 유기 발광 소자(140), 더미 유기물층(142a) 및 배선(151)을 포함한다.
유기 발광 표시 장치(100)는 유기 발광층(142)에서 발광된 빛이 박막 트랜지스터(120)가 형성된 기판(110)의 상면 방향으로 방출되는 탑 에미션(top emission) 방식의 유기 발광 표시 장치이다.
기판(110)은 기판(110) 상에 형성된 다양한 엘리먼트들을 지지한다. 도 1을 참조하면, 기판(110)은 평면상 일부 원형의 형상을 가진다. 도 1에서는 예시적으로 손목시계형 전자 디바이스에 채용될 수 있는 유기 발광 표시 장치(100)의 기판(110)을 도시한다. 그러나 이에 제한되지 않고 기판(110)은 일부 원형이 아닌 완전한 원형 또는 다양한 다각형의 형상을 가질 수도 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판(110)은 발광 영역(AA) 및 베젤 영역(BA)을 갖는다. 발광 영역(AA)은 유기 발광 소자(140)가 형성되는 복수의 서브 화소 영역(SP)을 포함한다. 발광 영역(AA)은 형성된 유기 발광층(142)에 의해 정의된다. 도 1에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크에 의해 형성된 유기 발광층(142)을 설명하기 위해, 하나의 색의 유기 발광층(142)이 증착된 모습이 도시된다. 즉, 도 1의 복수의 서브 화소 영역(SP)은 하나의 색에 대한 서브 화소 영역(SP)이다. 베젤 영역(BA)은 발광 영역(AA)을 둘러싸고, 기판(110)의 외곽 가장자리를 따라 형성된 영역으로 유기 발광 소자(140)를 구동하기 위한 회로부와 배선(151)이 배치된다.
기판(110)은 절연 물질로 구성될 수 있다. 예를 들어, 기판(110)은 플렉서블한 물질로 이루어질 수 있다. 플렉서블한 물질은 폴리이미드(polyimide; PI)를 비롯하여 폴리에테르이미드(polyetherimide; PEI), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(polyethyelene terephthalate; PET), 폴리카보네이트(PC), 폴리메탈메틸크릴레이트(PMMA), 폴리스타이렌(PS), 스타이렌아크릴나이트릴코폴리머(SAN), 실리콘-아크릴 수지 등을 포함한다.
기판(110) 상에는 액티브층, 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터(120)가 형성된다. 게이트 전극과 액티브층은 게이트 절연막에 의해 절연되며, 게이트 전극과 소스 전극 및 드레인 전극은 층간 절연막(131)에 의해 절연된다. 박막 트랜지스터(120)는 제한되지 않고 다양한 구조의 박막 트랜지스터, 예를 들어 코플라나(coplanar) 구조 또는 바텀 게이트 구조가 사용될 수 있다. 유기 발광 표시 장치(100)는 소스 전극 및 드레인 전극, 또는 게이트 전극과 동일한 물질로 이루어지는 다양한 배선을 포함할 수 있다.
박막 트랜지스터(120) 상에는 소스 전극, 드레인 전극 및 액티브층의 노출된 일부를 덮는 패시베이션층(132)이 형성된다. 패시베이션층(132)은 박막 트랜지스터(120)의 구성요소들을 수분이나 산소 등으로부터 보호한다. 도 2를 참조하면, 패시베이션층(132)은 발광 영역(AA)으로부터 기판(110)의 베젤 영역(EA)을 향해 연장되어 형성되며, 기판(110)의 전면에 형성되고, 배선(151)을 덮도록 형성된다.
패시베이션층(132) 상에는 평탄화층(133)이 형성된다. 평탄화층(133)은 박막 트랜지스터(120)의 드레인 전극 또는 소스 전극의 적어도 일부를 노출시키는 컨택홀을 갖는다. 평탄화층(133) 상에는 애노드(141), 유기 발광층(142), 캐소드(143)를 포함하는 유기 발광 소자(140)가 형성된다. 애노드(141)는 평탄화층(133)의 컨택홀을 통해 박막 트랜지스터(120)의 소스 전극 또는 드레인 전극과 연결된다. 애노드(141)의 양 측면에는 뱅크(134)가 배치된다. 뱅크(134)는 테이퍼(taper) 형상으로 형성된다.
유기 발광층(142)은 빛을 발광하기 위한 층으로, 빛을 발광하기 위한 유기 발광 재료로 이루어진다. 유기 발광층(142)은 제한되지 않고 다양한 색을 발광할 수 있는 재료로 이루어질 수 있다. 도 1을 참조하면, 유기 발광층(142)은 발광 영역(AA) 내측으로 형성된다.
도 1을 참조하면, 유기 발광층(142)은 발광 영역(AA) 내에서 서로 상이한 길이를 갖는 복수의 열로 배치된다. 복수의 열 중 최외곽 열의 길이(D1)는 인접한 열의 길이(D2)보다 작다. 복수의 열 각각에는 열의 길이에 따라 서로 상이한 개수의 화소가 배열되며, 중앙으로 갈수록 화소의 개수가 증가하도록 배열된다. 이에 따라 복수의 열의 길이는 점점 증가하며, 유기 발광층(142)의 외곽을 잇는 선은 실질적으로 원형을 이룬다. 발광 영역(AA)도 유기 발광층(142)에 형성 영역에 대응하여 원형으로 정의된다.
도 2는 유기 발광 표시 장치(100)의 유기 발광층(142)을 길이 방향에 따라 절단한 단면도이다. 도 2를 참조하면, 유기 발광층(142)은 복수의 애노드(141)에 걸쳐 배치된다. 그리고, 유기 발광층(142)은 발광 영역(AA)이 끝나는 부분까지 형성된다.
종래와 같이 동일한 길이의 슬릿을 갖는 박막 증착용 마스크를 사용하는 경우, 유기 발광층의 재료가 발광 영역(AA)을 넘어 베젤 영역(BA)에 형성될 수 있다. 베젤 영역(BA)에 형성되는 유기 발광층의 재료는 예를 들어, VSS 배선과 캐소드와 같은 도전성 물질들을 연결시키거나 유기 발광층에서부터의 전류가 누설되는 경로를 생성하여 유기 발광 표시 장치의 신뢰성을 떨어뜨릴 수 있다.
그러나, 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치(100)의 유기 발광층(142)은 상이한 길이의 슬릿을 갖는 박막 증착용 마스크를 사용하여 형성된다. 이에 따라 유기 발광층(142)은 목표하는 영역에만 형성될 수 있다. 여분의 유기 발광층(142)의 재료에 의해 발생하는 문제들이 방지될 수 있으므로, 직사각형이 아닌 유기 발광 표시 장치(100)의 신뢰성이 향상될 수 있다.
또한, 유기 발광 표시 장치(100)는 복수의 열 중 최외곽 열에 인접한 더미 유기물층(142a)을 포함한다. 더미 유기물층(142a)은 유기 발광층(142)을 균일한 두께로 기판(110) 전면에 형성시키기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착용 마스크에 의해 나타나는 구조물이다. 더미 유기물층(142a)은 유기 발광층(142)에 평행하게 배치되고, 최외곽 열의 유기 발광층(142)과 동일한 길이(D1)를 가진다. 더미 유기물층(142a)은 최외곽 열의 유기 발광층(142) 양측에 배치된다.
도 3은 유기 발광층(142)의 길이 방향에 수직한 방향으로 유기 발광 표시 장치(100)를 절단한 단면도이다. 유기 발광층(142)과 평행하게 형성된 더미 유기물층(142a)은 베젤 영역(BA)에 배치될 수 있다. 도 3에서는 더미 유기물층(142a)이 패시베이션층(132) 상에 배치된 것으로 도시되었으나, 이에 제한되지 않고 더미 유기물층(142a)은 평탄화층(133) 상에 배치될 수 있으며, 캐소드(143)와 일부 접할 수도 있다. 그러나 캐소드(143)와 VSS 배선이 연결되는 영역에는 배치되지 않는다. 또한, 도 1에서 더미 유기물층(142a)이 하나의 열인 것으로 도시되나 이에 제한되지 않고 더미 유기물층(142a)은 복수의 열로 구성될 수 있다. 더미 유기물층(142a)은 유기 발광층(142)과는 상이한 두께를 가질 수도 있다.
더미 유기물층(142a)은 안정적인 두께를 확보하기 위해 형성 초기의 안정화 층으로서 기능한다. 더미 유기물층(142a)은 발광 영역(AA) 내의 유기 발광층(142)이 형성되기 직전에 유기 발광층(142)보다 먼저 형성된다. 다음으로, 유기 발광층(142)이 최외곽 열에서부터 중앙의 열까지 순차적으로 형성된다. 이에 따라, 최외곽 열의 유기 발광층(142)은, 형성 공정의 초기에 형성되는 더미 유기물층(142a)이 없을 때보다 상대적으로 균일한 두께를 갖게 된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 직사각형이 아닌 유기 발광 표시 장치(100)에서는 더미 유기물층(142a)을 통해 보다 균일한 두께의 유기 발광층(142)이 구현할 수 있다.
유기 발광층(142) 상에는 캐소드(143)가 형성된다. 유기 발광 표시 장치(100)가 탑 에미션 방식의 유기 발광 표시 장치(100)인 경우, 캐소드(143)는 매우 얇은 두께의 일함수가 낮은 금속성 물질 또는 투명 도전성 산화물(transparent conductive oxide; TCO)로 형성된다. 캐소드(143)가 금속성 물질로 형성되는 경우, 캐소드(143)는 수백 Å 이하의 두께로 형성되며, 캐소드(143)가 이러한 두께로 형성된 경우, 캐소드(143)는 실질적으로 반투과층이 되어, 실질적으로 투명한 층이 된다.
도면에 도시되지는 않았으나, 유기 발광 소자(140) 상에는 봉지부가 포함될 수 있다. 봉지부는 유기물층과 무기물층이 교번하여 적층된 박막 봉지 구조를 가질 수 있다. 박막 봉지 구조에서 무기물층은 외부에서 침투할 수 있는 수분, 공기 또는 물리적 충격으로부터 유기 발광 소자(140)를 보호한다. 유기물층은 공정상 발생할 수 있는 이물 또는 파티클을 커버하도록 기능할 수 있다.
도 1은 유기 발광 표시 장치(100)를 탑 에미션 방식의 유기 발광 표시 장치(100)로 설명하였으나, 이에 제한되지 않고, 유기 발광 표시 장치(100)는 유기 발광층에서 발광된 빛이 박막 트랜지스터가 형성된 기판 방향으로 방출되는 바텀 에미션(bottom emission) 방식의 유기 발광 표시 장치일 수도 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위한 박막 증착용 마스크의 개략적인 평면도이다. 박막 증착용 마스크(400)는 전술된 도 1 내지 도 3의 유기 발광 표시 장치(100)의 유기 발광층(142)을 증착하기 위한 공정에 사용되는 마스크이다. 박막 증착용 마스크(400)가 사용되는 공정은 마스크의 일측으로부터 순서대로 유기 발광층의 재료가 증착되는 공정인 한 특별히 제한되지 않는다.
도 4를 참조하면, 박막 증착용 마스크(400)는 베이스(410) 및 슬릿부를 포함한다. 베이스(410)는 니켈, 니켈 합금 또는 다른 금속으로 이루어질 수 있다. 슬릿부는 베이스(410)를 관통하고, 서로 상이한 길이(D3, D4)를 가지며, 서로 평행한 복수의 슬릿(420)을 갖는다. 복수의 슬릿(420) 사이에는 립(430)이 형성된다. 슬릿(420)의 길이에 따라 립(430)의 길이도 상이할 수 있다. 복수의 슬릿(420)은 중앙으로 갈수록 슬릿(420)의 길이가 증가하도록 배열된다. 복수의 슬릿(420)을 이으면 원형의 선을 이룰 수 있으며, 슬릿부는 평면상 원형의 형상을 가질 수 있다.
또한, 슬릿부는 더미 유기물층을 형성하고, 유기 발광층의 두께 균일도를 향상시키기 위한 적어도 하나의 더미 슬릿(440)을 포함한다. 더미 슬릿(440)은 복수의 슬릿(420)과 평행하며, 최외곽 슬릿(420)과 동일한 길이(D3)를 갖는다. 더미 슬릿(440)은 복수의 슬릿(420) 양측에 배치된다. 즉, 복수의 슬릿(420)은 그 중심을 기준으로 대칭되도록 배치될 수 있다.
유기 발광층의 물질이 더미 슬릿(440)을 통해 먼저 증착되고, 이 때에는 유기 발광층의 물질이 원하는 두께로 증착되지 않을 수 있다. 그러나, 반복되는 더미 슬릿(440) 이후 동일한 길이의 최외곽 슬릿(420)을 통해 실제 유기 발광층이 증착되면, 이 때에는, 공정이 안정화되어 유기 발광 표시 장치의 균일한 두께가 달성될 수 있다.
또한, 박막 증착용 마스크(400)는 슬릿부에 인접하여 배치되는 버퍼(450)를 포함한다. 버퍼(450)는 슬릿부 이외의 영역, 즉 복수의 슬릿(420)이 배치되지 않는 영역에 배치될 수 있있다. 버퍼(450)는 박막 증착용 마스크(400)의 베이스(410)에서 볼록하게 돌출된 부분이다. 버퍼(450)는 박막 증착용 마스크(400)가 유기 발광층의 증착을 위해 배치되기 전에 스트래칭될 때 복수의 슬릿(420)의 폭이 균등하게 늘어나도록 한다. 이에 따라, 유기 발광층의 형성 시 유기 발광층의 두께 균일도와 복수의 열 사이의 폭 균일도를 더욱 향상시킬 수 있다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 다양한 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위한 박막 증착용 마스크의 개략적인 평면도들이다. 도 5 및 6의 박막 증착용 마스크(500, 600)에서 베이스(410) 및 립(530, 630)은 도 4에서의 베이스(410) 및 립(430)과 실질적으로 동일하므로 중복되는 부분에 대한 설명은 생략한다. 또한, 도 5 및 도 6에서는 버퍼의 도시를 생략하였으나, 버퍼는 제한되지 않고 베이스(410) 상에 형성될 수 있다.
다양한 형상의 유기 발광 표시 장치를 제조하기 위해서 박막 증착용 마스크(500, 600)는 다양한 형상의 슬릿부를 가질 수 있다. 슬릿부는 서로 다른 길이를 갖는 복수의 슬릿(520, 620)을 원하는 형태로 배치하여 복수의 열의 유기 발광층을 다양한 다각형으로 형성하도록 구성될 수 있다.
도 5를 참조하면, 복수의 슬릿(520)이 최외곽에서 중앙을 향해 길이가 증가하다가 일부 다시 감소하고, 가장 중앙에서 슬릿(520)은 가장 긴 길이를 갖는다. 도 6을 참조하면, 복수의 슬릿(620)이 하단이 나란하게 배치되는 동시에 최외곽에서 중앙을 향해 길이가 증가한다. 이러한 슬릿(620)의 배치를 통해 다각형의 유기 발광층을 구성할 수 있으며, 더미 슬릿(540, 640)을 통해 유기 발광층의 두께 편차는 최소화될 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100 : 유기 발광 표시 장치
110 : 기판
120 : 박막 트랜지스터
131 : 층간절연막
132 : 패시베이션층
133 : 평탄화층
134 : 뱅크
140 : 유기 발광 소자
141 : 애노드
142 : 유기 발광층
142a : 더미 유기물층
143 : 캐소드
151 : 배선
400, 500, 600 : 박막 증착용 마스크
410 : 베이스
420, 520, 620 : 슬릿
430, 530, 630 : 립
440, 530, 630 : 더미 슬릿
450 : 버퍼

Claims (14)

  1. 발광 영역 및 상기 발광 영역을 둘러싸는 베젤 영역을 갖는 기판; 및
    유기 발광층을 포함하고, 상기 기판 상에서 상기 발광 영역에 복수의 열로 배치되는 유기 발광 소자를 포함하고,
    상기 복수의 열 각각에는 서로 상이한 개수의 화소가 배열되며,
    상기 유기 발광층은 상기 복수의 열에 대응하여 배치되는 것을 특징으로 하는, 유기 발광 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 열과 평행하고, 상기 복수의 열 중 최외곽 열에서의 유기 발광층과 동일한 길이의 더미 유기물층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 유기 발광 표시 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 더미 유기물층은 상기 유기 발광층과 동일한 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는, 유기 발광 표시 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 더미 유기물층은 상기 최외곽 열에서의 유기 발광층 양측에 배치되는 것을 특징으로 하는, 유기 발광 표시 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 열은 중앙으로 갈수록 상기 화소의 개수가 증가하도록 배열된 것을 특징으로 하는, 유기 발광 표시 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 발광 영역은 원형인 것을 특징으로 하는, 유기 발광 표시 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 발광 영역은 다각형인 것을 특징으로 하는, 유기 발광 표시 장치.
  8. 베이스; 및
    상기 베이스를 관통하고, 서로 상이한 길이를 가지며, 서로 평행한 복수의 슬릿을 갖는 슬릿부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막 증착용 마스크.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 슬릿부는 상기 복수의 슬릿과 평행하고 상기 복수의 슬릿 중 최외곽 슬릿과 동일한 길이를 갖는 적어도 하나의 더미 슬릿을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막 증차용 마스크.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 더미 슬릿은 상기 복수의 슬릿 양측에 배치되는 것을 특징으로 하는, 박막 증착용 마스크.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 복수의 슬릿은 중앙으로 갈수록 상기 복수의 슬릿의 길이가 증가하도록 배열된 것을 특징으로 하는, 박막 증착용 마스크.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 슬릿부는 원형인 것을 특징으로 하는, 박막 증착용 마스크.
  13. 제8항에 있어서,
    상기 슬릿부는 다각형인 것을 특징으로 하는, 박막 증착용 마스크.
  14. 제8항에 있어서,
    상기 슬릿부에 인접하여 배치되는 버퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 박막 증착용 마스크.
KR1020140175061A 2014-12-08 2014-12-08 유기 발광 표시 장치 및 이를 제조하기 위한 박막 증착용 마스크 KR102293507B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140175061A KR102293507B1 (ko) 2014-12-08 2014-12-08 유기 발광 표시 장치 및 이를 제조하기 위한 박막 증착용 마스크
US14/959,706 US9929218B2 (en) 2014-12-08 2015-12-04 Organic light emitting display apparatus and thin film deposition mask for manufacturing the same
CN201510887975.5A CN105679793B (zh) 2014-12-08 2015-12-07 有机发光显示装置和用于制造该有机发光显示装置的薄膜沉积掩模
US15/895,375 US10283573B2 (en) 2014-12-08 2018-02-13 Organic light emitting display apparatus and thin film deposition mask for manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140175061A KR102293507B1 (ko) 2014-12-08 2014-12-08 유기 발광 표시 장치 및 이를 제조하기 위한 박막 증착용 마스크

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160069289A true KR20160069289A (ko) 2016-06-16
KR102293507B1 KR102293507B1 (ko) 2021-08-24

Family

ID=56095041

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140175061A KR102293507B1 (ko) 2014-12-08 2014-12-08 유기 발광 표시 장치 및 이를 제조하기 위한 박막 증착용 마스크

Country Status (3)

Country Link
US (2) US9929218B2 (ko)
KR (1) KR102293507B1 (ko)
CN (1) CN105679793B (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017154234A1 (ja) * 2016-03-10 2017-09-14 鴻海精密工業股▲ふん▼有限公司 蒸着マスク、蒸着装置、蒸着方法及び有機ｅｌ表示装置の製造方法
KR102632617B1 (ko) * 2016-08-08 2024-02-02 삼성디스플레이 주식회사 마스크 조립체, 이를 이용한 표시 장치의 제조장치, 이를 이용한 표시 장치의 제조방법 및 표시 장치
CN106206669B (zh) * 2016-08-31 2018-12-07 昆山维信诺科技有限公司 用于异形oled产品的布线方法以及异形oled产品
CN111910149A (zh) * 2020-07-09 2020-11-10 杭州电子科技大学 一种周期性多方向厚度梯度薄膜的制备方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090052155A (ko) * 2007-11-20 2009-05-25 엘지디스플레이 주식회사 유기발광표시장치
WO2014119548A1 (ja) * 2013-02-04 2014-08-07 シャープ株式会社 蒸着装置および蒸着方法
KR20140109261A (ko) * 2013-03-05 2014-09-15 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 표시 장치 및 전자 기기

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4366736B2 (ja) 1998-11-10 2009-11-18 凸版印刷株式会社 電子線一括露光用マスクおよびそのマスクホルダー
JP3823916B2 (ja) * 2001-12-18 2006-09-20 セイコーエプソン株式会社 表示装置及び電子機器並びに表示装置の製造方法
JP4072422B2 (ja) * 2002-11-22 2008-04-09 三星エスディアイ株式会社 蒸着用マスク構造体とその製造方法、及びこれを用いた有機ｅｌ素子の製造方法
KR100538325B1 (ko) 2002-12-31 2005-12-22 엘지.필립스 엘시디 주식회사 일렉트로 루미네센스 표시소자와 그 제조방법 및 장치
KR20050083062A (ko) * 2004-02-19 2005-08-25 삼성전자주식회사 표시장치, 이의 제조 방법 및 유기물 적하 장치
KR101241140B1 (ko) 2006-06-26 2013-03-08 엘지디스플레이 주식회사 섀도우마스크와 이를 이용한 유기전계발광소자 및 그제조방법
US7638438B2 (en) 2006-12-12 2009-12-29 Palo Alto Research Center Incorporated Solar cell fabrication using extrusion mask
JP5338266B2 (ja) 2007-11-20 2013-11-13 セイコーエプソン株式会社 有機エレクトロルミネッセンス装置および有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法
US8159644B2 (en) 2008-05-11 2012-04-17 Nlt Technologies, Ltd. Non-rectangular pixel array and display device having same
JP5328726B2 (ja) * 2009-08-25 2013-10-30 三星ディスプレイ株式會社 薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光ディスプレイ装置の製造方法
KR101174875B1 (ko) * 2010-01-14 2012-08-17 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치
JP6142194B2 (ja) * 2012-11-15 2017-06-07 株式会社ブイ・テクノロジー 蒸着マスクの製造方法及び蒸着マスク
KR102168681B1 (ko) * 2013-11-11 2020-10-22 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
KR102216676B1 (ko) * 2014-07-07 2021-02-18 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치 제조 방법
KR102269134B1 (ko) * 2014-09-29 2021-06-25 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 유기 발광 표시 장치용 증착 마스크

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090052155A (ko) * 2007-11-20 2009-05-25 엘지디스플레이 주식회사 유기발광표시장치
WO2014119548A1 (ja) * 2013-02-04 2014-08-07 シャープ株式会社 蒸着装置および蒸着方法
KR20140109261A (ko) * 2013-03-05 2014-09-15 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 표시 장치 및 전자 기기

Also Published As

Publication number Publication date
CN105679793A (zh) 2016-06-15
CN105679793B (zh) 2019-04-26
US20160163775A1 (en) 2016-06-09
KR102293507B1 (ko) 2021-08-24
US10283573B2 (en) 2019-05-07
US9929218B2 (en) 2018-03-27
US20180175124A1 (en) 2018-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10236336B2 (en) Organic electroluminescence display device with spacers
US9825109B2 (en) Display device
US8487310B2 (en) Organic light-emitting display apparatus
US8581273B2 (en) Organic EL device
US8890151B2 (en) Organic light-emitting display apparatus
US9299961B2 (en) OLED display panel
CN113141779B (zh) 显示基板及其制作方法和显示装置
JP2008135325A (ja) 有機ｅｌ表示装置とその製造方法
US11081663B2 (en) Organic electroluminescent display panel with auxiliary electrodes, method for manufacturing the same, and display device using the same
US9847484B2 (en) Mask and method of manufacturing display device by using the same
KR102334410B1 (ko) 박막 증착용 마스크 어셈블리
US11563064B2 (en) Array substrate, display device, and method for fabricating an array substrate
US20140319475A1 (en) Organic light emitting diode display and manufacturing method thereof
CN111900260A (zh) 一种显示面板及其制备方法、显示装置
JP2015103427A (ja) 表示装置の製造方法
US10283573B2 (en) Organic light emitting display apparatus and thin film deposition mask for manufacturing the same
KR102212764B1 (ko) 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
US12101961B2 (en) Display device having thin-film encapsulation layer located at a first dam and manufacturing method therefor
US9972667B2 (en) Display device
CN116828898A (zh) 显示面板及其制备方法
CN115472655A (zh) 显示面板及其制备方法、显示装置
KR20150087617A (ko) 표시 기판용 박막 트랜지스터, 표시 기판 및 표시 기판의 제조 방법
KR102534929B1 (ko) 유기전계발광표시장치
KR102402525B1 (ko) 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
US11937489B2 (en) Water absorption layer mounted on light emitting layer for array substrate

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant