KR20160037865A - 연속 검사 공정을 위한 엑스레이 검사 장치 - Google Patents

연속 검사 공정을 위한 엑스레이 검사 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20160037865A
KR20160037865A KR1020160033654A KR20160033654A KR20160037865A KR 20160037865 A KR20160037865 A KR 20160037865A KR 1020160033654 A KR1020160033654 A KR 1020160033654A KR 20160033654 A KR20160033654 A KR 20160033654A KR 20160037865 A KR20160037865 A KR 20160037865A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
inspection
module
conveyor module
inlet
detector
Prior art date
Application number
KR1020160033654A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102000945B1 (ko
Inventor
김형철
류덕현
장용한
박송훈
Original Assignee
(주)자비스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)자비스 filed Critical (주)자비스
Priority to KR1020160033654A priority Critical patent/KR102000945B1/ko
Publication of KR20160037865A publication Critical patent/KR20160037865A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102000945B1 publication Critical patent/KR102000945B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • G01N23/043—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using fluoroscopic examination, with visual observation or video transmission of fluoroscopic images
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G15/00—Conveyors having endless load-conveying surfaces, i.e. belts and like continuous members, to which tractive effort is transmitted by means other than endless driving elements of similar configuration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G21/00—Supporting or protective framework or housings for endless load-carriers or traction elements of belt or chain conveyors
    • B65G21/10—Supporting or protective framework or housings for endless load-carriers or traction elements of belt or chain conveyors movable, or having interchangeable or relatively movable parts; Devices for moving framework or parts thereof
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G23/00—Driving gear for endless conveyors; Belt- or chain-tensioning arrangements
    • B65G23/02—Belt- or chain-engaging elements
    • B65G23/04—Drums, rollers, or wheels
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G23/00—Driving gear for endless conveyors; Belt- or chain-tensioning arrangements
    • B65G23/24—Gearing between driving motor and belt- or chain-engaging elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/02—Food
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T7/00—Details of radiation-measuring instruments
    • G01T7/02—Collecting means for receiving or storing samples to be investigated and possibly directly transporting the samples to the measuring arrangement; particularly for investigating radioactive fluids
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2812/00—Indexing codes relating to the kind or type of conveyors
    • B65G2812/02—Belt or chain conveyors
    • B65G2812/02128—Belt conveyors
    • B65G2812/02138—Common features for belt conveyors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/60—Specific applications or type of materials
    • G01N2223/643—Specific applications or type of materials object on conveyor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/60—Specific applications or type of materials
    • G01N2223/646—Specific applications or type of materials flaws, defects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
    • G01N2291/023—Solids

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

본 발명은 연속 검사 공정을 위한 엑스레이 검사 장치에 관한 것이고, 구체적으로 회전 벨트 구조로 형성되어 연속적으로 투입되는 피검사 대상의 검사가 가능하도록 하면서 이와 동시에 내부 유닛의 점검이 용이하여 검사 능률 및 장치 운용 효율성이 향상될 수 있도록 하는 연속 검사 공정을 위한 엑스레이 검사 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 검사 장치는 엑스레이 튜브(112) 및 디텍터(111)가 배치된 검사 챔버(R); 검사 챔버(R)의 한쪽 면 및 다른 쪽 면에 형성된 투입구(117) 및 배출구(117a); 엑스레이 튜브(112)와 디텍터(111) 사이로 피검사 대상을 이송시키는 컨베이어 모듈(14); 및 투입구(117) 또는 배출구(117a)에 설치되는 차폐 커튼 모듈(15)을 포함하고, 상기 컨베이어 모듈(14)은 투입구(117)로부터 배출구(117a)로 연장되는 회전 벨트 구동 구조가 된다.

Description

연속 검사 공정을 위한 엑스레이 검사 장치{Apparatus for Continuous Inspection Process With X-ray}
본 발명은 연속 검사 공정을 위한 엑스레이 검사 장치에 관한 것이고, 구체적으로 회전 벨트 구조로 형성되어 연속적으로 투입되는 피검사 대상의 검사가 가능하도록 하면서 이와 동시에 내부 유닛의 점검이 용이하여 검사 능률 및 장치 운용 효율성이 향상될 수 있도록 하는 연속 검사 공정을 위한 엑스레이 검사 장치에 관한 것이다.
비파괴 검사의 하나에 해당되는 엑스레이 검사는 건축, 토목, 자동차 부품, 전자 부품, 농산물, 전자 또는 의료 분야에서 결함 관리 또는 생산품의 품질 관리에 적용되고 있다. 예를 들어 비파괴 검사는 포장 식품물의 이물질 포함 여부, 포장 소재의 결함 또는 포장 장치의 결함을 탐지하기 위하여 적용될 수 있다. 또한 엑스레이 검사는 부품실장 생산 과정에서 인쇄회로기판의 생산 라인에 적용되어 부품의 납땜 상태를 실시간으로 검사하기 위하여 사용될 수 있다.
엑스레이 검사는 다양한 부품 또는 제품에 대하여 행해질 수 있고 각각의 검사 방법의 적용을 위하여 서로 다른 검사 장치가 적용될 필요가 있다. 각각의 검사 장치에서 장치의 운용을 위한 장치의 유지 또는 보수를 위한 점검이 요구될 수 있다. 비교적 간단한 제품의 검사의 경우 검사 구조가 그에 따라 간단해지면서 유지 또는 점검이 편리한 구조가 될 필요가 있다. 예를 들어 일부 장치의 수리 또는 점검을 위하여 장치 전체가 분해되어야 한다면 장치의 운용 효율성이 문제가 될 수 있다.
엑스레이 검사와 관련된 선행기술로 특허등록번호 제1133048호 ‘배터리 검사장치’가 있다. 상기 검사 과정에서 방사선의 누설을 방지하기 위한 차폐 격벽을 가진 검사 룸; 배터리를 이송하는 로딩 부분; 배터리를 외부로 이송하는 언-로딩 부분; 및 각각의 스테이지로 배터리를 이송시키는 이송 부분을 포함하고, 이송 부분은 격벽에 형성된 통공 부분을 통하여 경로를 형성하고 그리고 각각의 검사 스테이지를 향하는 방향으로 순차적으로 배치된 이송 지그를 포함하는 엑스레이 검사 장치에 대하여 개시한다.
엑스레이 검사와 관련된 다른 선행기술로 특허등록번호 제0978054호 ‘배터리 엑스레이 검사장치’가 있다. 상기 선행기술은 엑스레이 튜브 및 디텍터를 포함하고, 검사 룸의 전면에 슬라이딩 도어가 형성되고, 슬라이딩 측면 부분에 센서가 설치되고, 엑스레이 튜브와 디텍터 사이에 평면을 따라 이동이 가능한 이동 테이블이 배치되고 그리고 이동 테이블에 피검사 대상이 배치되는 검사 트레이를 가진 엑스레이 검사 장치에 대하여 개시한다.
선행기술의 엑스레이 검사 장치의 경우 예를 들어 장치 내부에 오류가 발생되는 경우 내부 점검이 어렵고 구조가 복잡하여 제품에 따라 장치 운용의 효율성이 감소될 수 있다는 문제점을 가진다.
본 발명은 선행기술이 가진 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.
본 발명의 목적은 회전 벨트 구조로 형성되어 연속 검사가 가능하도록 하고 이와 동시에 결합 구조의 이점으로 인하여 장치 내부 점검이 용이하여 검사 효율성 및 장치 운용 능률이 향상될 수 있도록 하는 엑스레이 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 엑스레이 검사 장치는 엑스레이 튜브 및 디텍터가 배치된 검사 챔버; 검사 챔버의 한쪽 면 및 다른 쪽 면에 형성된 투입구 및 배출구; 엑스레이 튜브와 디텍터 사이로 피검사 대상을 이송시키는 컨베이어 모듈; 및 투입구 또는 배출구에 설치되는 차폐 커튼 모듈을 포함하고, 상기 컨베이어 모듈은 투입구로부터 배출구로 연장되는 회전 벨트 구동 구조가 된다.
본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 컨베이어 모듈 또는 차폐 커튼 모듈은 검사 챔버로부터 분리 가능하다.
본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 컨베이어 모듈은 상기 피검사 대상의 이송을 위한 회전 벨트, 회전 벨트의 작동을 위한 한 쌍의 회전 부재 및 한 쌍의 회전 부재의 회전을 위한 동력 전달 수단으로 이루어진다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 차폐 커튼 모듈은 적어도 하나의 차폐 커튼, 차폐 커튼의 고정을 위한 고정 베이스 및 고정 베이스의 측면에 형성된 가이드를 포함한다.
본 발명에 따른 검사 장치는 컨베이어 모듈이 회전 벨트 구조로 형성되어 피검사 대상의 연속적인 검사가 가능하도록 한다는 이점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 검사 장치는 필요한 경우 장치 본체로부터 일부 장치를 분리하는 것에 의하여 도어의 설치 및 개방의 필요성이 없이 내부 점검이 가능하도록 하면서 이송 컨베이어와 디텍터가 분리된 구조로 이루어져 유지 또는 보수가 용이하면서 이와 동시에 내부 점검이 용이하도록 한다는 장점을 가진다. 예를 들어 컨베이어의 분리 구조와 같은 구조적인 이점으로 인하여 별도로 도어가 설치되지 않아도 내부 청소가 용이하다는 이점은 가진다. 추가로 본 발명에 따른 장치는 설계 및 제조가 간단해지도록 한다는 장점을 가진다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 검사 장치의 실시 예에 대한 사시도 및 정면도를 각각 도시한 것이다.
도 2a는 본 발명에 따른 검사 장치에 적용될 수 있는 차폐 커튼 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2b 및 도 2c는 도 2a의 차폐 커튼 모듈이 검사 장치에서 분리되는 과정에 대한 실시 예를 도시한 것이다.
도 3a는 본 발명에 따른 검사 장치에서 적용될 수 있는 회전 벨트 구조를 가지는 컨베이어 모듈(14)의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3b, 도 3c 및 도 3d는 도 3c의 컨베이어 모듈이 검사 장치에서 분리되는 과정에 대한 실시 예를 도시한 것이다.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 검사 장치의 실시 예에 대한 사시도 및 정면도를 각각 도시한 것이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 검사 장치(10)는 엑스레이 튜브(112) 및 디텍터(111)가 배치된 검사 챔버(R); 검사 챔버(R)의 한쪽 면 및 다른 쪽 면에 형성된 투입구(117) 및 배출구(117a); 엑스레이 튜브(112)와 디텍터(111) 사이로 피검사 대상을 이송시키는 컨베이어 모듈(14); 및 투입구(117) 또는 배출구(117a)에 설치되는 차폐 커튼 모듈(15)을 포함하고, 상기 컨베이어 모듈(14)은 투입구(117)로부터 배출구(117a)로 연장되는 회전 벨트 구동 구조가 된다.
본 발명에 따른 검사 장치(10)는 예를 들어 금속, 돌, 유리, 플라스틱 또는 뼈와 같은 식품 가공품의 내부 이물질 또는 제품 내부의 빈 공간(void) 또는 균열(crack)과 같은 제품 내부의 결함 또는 밀봉 포장이 된 제품의 일부 구성요소의 누락 또는 제품의 하자를 자동으로 검출하기 위하여 적용될 수 있다. 추가로 본 발명은 적절한 설계 변경을 통하여 다양한 형태의 의료 제품 또는 전자 제품의 하자 검출을 위하여 적용될 수 있고 본 발명은 피검사 대상의 종류에 의하여 제한되지 않는다.
피검사 대상(D)은 적절한 이송 수단(121)에 의하여 연속적으로 이송이 되어 컨베이어 모듈(14)에 의하여 투입구(117)를 통하여 검사 챔버(R)의 내부로 투입이 될 수 있다. 구체적으로 이송 수단(121)에 의하여 이송이 된 피검사 대상(D)은 컨베이어 모듈(14)로 전달이 될 수 있고 컨베이어 모듈(14)은 피검사 대상(D)을 투입구(117)을 통하여 검사 챔버(R)의 내부로 이송시킬 수 있다. 컨베이어 모듈(14)은 외부의 이송 수단(121)에 필요한 경우 적절한 부가 수단에 의하여 연결될 수 있는 구조를 가질 수 있다. 예를 들어 이송 수단(121)은 피검사 대상이 이송이 되는 컨베이어가 될 수 있고 본 발명에 따른 검사 장치(10)는 컨베이어의 중간 부분 또는 임의의 적절한 위치에 삽입 또는 연결이 되도록 설치될 수 있다. 그리고 피검사 대상은 컨베이어와 같은 이송 수단(121)으로부터 컨베이어 모듈(14)로 이송이 될 수 있다. 그리고 검사 챔버(R)에서 검사되어 다시 컨베이어 모듈(14)로부터 컨베이어와 같은 배출 수단(131)으로 이송이 될 수 있다. 이와 같은 구조에서 이송 수단(121)과 배출 수단(131)은 실질적으로 피검사 대상의 이송을 위한 일련의 연속된 이송 유닛이 될 수 있다. 다만 본 발명은 다양한 제품의 검사에 적용이 될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
투입구(117)에 검사 챔버(R)로부터 누출될 수 있는 엑스레이를 차단하기 위한 차폐 커튼 모듈(15)이 설치될 수 있고 피검사 대상(D)은 차폐 커튼 모듈(15)을 거쳐 엑스레이 튜브(112) 및 디텍터(111) 사이로 통과하면서 검사가 될 수 있다. 컨베이어 모듈(14)은 투입구(117)로부터 배출구(117a)로 연장되는 구조로 가질 수 있고 이와 같은 구조로 인하여 피검사 대상(D)은 엑스레이 튜브(112)와 디텍터(111) 사이로 연속적으로 이송이 되면서 검사가 될 수 있다. 구체적으로 컨베이어 모듈(14)은 회전 벨트 구동 구조가 될 수 있다. 본 명세서에서 회전 벨트 구동 구조란 마주 보면서 일정 간격으로 이격되도록 배치된 한 쌍의 회전 부재의 위쪽으로 아래쪽으로 그리고 다시 위쪽으로 이송 벨트 또는 이송 판이 연속적으로 그리고 계속적으로 회전이 되는 구조를 의미한다. 이송 벨트 또는 이송 판은 회전을 위한 적절한 구조를 가질 수 있고 회전 부재는 모터와 같은 적절한 구동 수단에 연결된 기어 또는 벨트와 같은 동력 전달 수단에 의하여 작동될 수 있다. 회전 벨트 구동 구조는 예를 들어 독립적으로 형성될 수 있으면서 구조적으로 간단하고 다양한 제품의 이송에 적용될 수 있도록 한다는 이점을 가진다.
검사 챔버(R) 내부의 엑스레이 튜브(112)는 컨베이어 모듈(14)의 아래쪽 또는 위쪽에 배치될 수 있고 그리고 디텍터(111)는 엑스레이 튜브(112)로부터 방출되어 피검사 대상(D)을 투과하는 엑스레이를 탐지할 수 있는 적절한 위치에 배치될 수 있다. 엑스레이 튜브(112) 또는 디텍터(111)는 이 분야에 공지된 임의의 형상이 될 수 있고 그리고 연속적으로 이송이 되는 피검사 대상(D)의 검사가 가능하도록 검사 챔버(R) 내부의 적절한 위치에 배치될 수 있다. 그리고 피검사 대상(D)의 검사 과정은 검사 챔버(R)의 외부에 설치된 디스플레이 유닛(16)에 의하여 확인이 될 수 있다.
검사가 된 피검사 대상(D)은 컨베이어 모듈(14)에 의하여 배출구(117a)로 이송이 될 수 있다. 배출구(117a)에 차폐 커튼 모듈(15)이 설치될 수 있고 그리고 배출구(117a)를 통과하여 검사 챔버(R)로부터 배출이 된 피검사 대상(D)은 적절한 배출 수단(131)에 의하여 컬렉터로 이송이 될 수 있다. 위에서 설명이 된 것처럼, 배출 수단(131)은 이송 수단(121)과 동일 또는 유사한 이송 구조가 될 수 있고 이송 수단(121)과 함께 피검사 대상을 이송하기 위한 하나의 이송 경로를 형성할 수 있다.
검사 챔버(R)를 비롯한 검사와 관련된 장치는 적절한 프레임(F)에 설치될 수 있고 본 발명은 프레임(F)의 구조에 의하여 제한되지 않는다.
본 발명에 따르면, 검사와 관련된 적어도 일부의 장치는 모듈 구조로 되어 검사 본체에 분리 가능하도록 결합이 될 수 있다. 예를 들어 컨베이어 모듈(14) 및 차폐 커튼 모듈(15)은 모듈 구조로 되어 프레임(F)과 검사 챔버(R)가 결합된 검사 본체로부터 분리가 가능한 구조를 가질 수 있다. 예를 들어 컨베이어 모듈(14)은 디텍터(111)와 분리된 구조로 제조될 수 있다. 그리고 도 1b에 도시된 것처럼, 컨베이어 모듈(14)은 디텍터(111)의 위쪽에 설치될 수 있다. 이와 같은 구조는 컨베이어 모듈(14)은 검사 챔버(R)로부터 분리하여 디텍터(111)의 점검 또는 클리닝(cleaning)이 가능하도록 한다는 이점을 가진다.
본 명세서에서 모듈 구조란 기능 및 작동 면에서 다른 부분과 구별이 될 수 있고 다른 부분과 독립적으로 제조되어 차후에 결합이 될 수 있는 구조를 말한다. 그리고 분리 가능이란 모듈의 일부를 손상시키지 않고 예를 들어 볼트, 너트, 스크루, 홈 결합 또는 후크 결합과 같은 고정 수단에 의하여 다른 부분에 결합이 되어 구조적 또는 기능적으로 결합이 될 수 있는 것을 말한다. 만약 용접, 납땜 또는 접착 수단이 사용된다면 분리 가능한 결합이 되기 어렵다. 분리 가능한 구조는 모듈 구조를 전제로 하고 그리고 기능적 또는 구조적으로 다른 부분과 구분될 수 있는 것을 전제로 한다.
컨베이어 모듈(14) 또는 차폐 커튼 모듈(15)은 기능적으로 또는 구조적으로 검사 본체와 구별이 되고 그리고 검사 본체에 분리 가능하도록 결합이 될 수 있다. 예를 들어 엑스레이 튜브(112) 또는 디텍터(111)의 점검이 요구되는 경우 또는 오작동의 발생으로 인하여 수리가 요구되는 경우 컨베이어 모듈(14) 또는 차폐 커튼 모듈(15)이 검사 본체로부터 분리가 될 수 있다. 다른 한편으로 컨베이어 모듈(14) 또는 차폐 커튼 모듈(15)의 수리 또는 교체가 요구되는 경우 검사 본체로부터 컨베이어 모듈(14) 또는 차폐 커튼 모듈(15)이 분리될 수 있다. 본 명세서에서 컨베이어 모듈(14) 또는 차폐 커튼 모듈(15)의 분리 가능한 결합이 실시 예로 제시되지만 검사 장치(10)의 다른 부분이 검사 장치(10)에 분리 가능하도록 결합이 될 수 있다.
본 발명에 따른 검사 장치(10)에 물품의 검사를 위한 센서(S)가 설치될 수 있고 센서(S)는 피검사 대상의 탐지가 가능한 이 분야에 공지된 임의의 형태가 될 수 있고 본 발명은 센서(S)의 종류에 의하여 제한되지 않는다. 센서(S)는 투입구(117) 또는 배출구(117a)에 설치될 수 있다.
아래에서 분리 가능한 모듈 구조를 가지는 컨베이어 모듈(14) 및 차폐 커튼 모듈(15)의 실시 예에 대하여 설명이 된다.
도 2a는 본 발명에 따른 검사 장치에 적용될 수 있는 차폐 커튼 모듈(15)의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2a를 참조하면, 차폐 커튼 모듈(15)은 적어도 하나의 차폐 커튼(151a, 151b, 151c), 차폐 커튼(151a, 151b, 151c)의 고정을 위한 고정 베이스(153) 및 고정 베이스(153)의 측면에 형성된 가이드(154)를 포함한다.
차폐 커튼(151a, 151b, 151c)은 예를 들어 강철 커튼 또는 납 커튼과 같은 것이 될 수 있지만 이에 제한되지 않고 차폐 구조에 따라 적용될 수 있는 이 분야에서 공지된 임의의 차폐 소재로 만들어질 수 있다. 차폐 커튼(151a, 151b, 151c)은 적어도 하나가 될 수 있고 각각의 차폐 커튼(151a, 151b, 151c)은 이송 방향을 따라 나란히 또는 병렬로 배치될 수 있다. 그리고 각각의 차폐 커튼(151a, 151b, 151c)은 다수 개의 스트립(ST)으로 이루어져 피검사 대상(D)이 이송 경로를 따라 이송이 용이하게 될 수 있도록 한다. 스트립(ST)은 피검사 대상(D)에 따라 다양하게 형성될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
고정 베이스(153)는 각각의 차폐 커튼(151a, 151b, 151c)이 고정될 수 있도록 플레이트 구조를 가질 수 있고 고정 베이스(153)의 측면에 가이드(154)가 형성될 수 있다. 가이드(154)는 차폐 커튼 모듈(15)이 검사 챔버에 형성된 홈을 따라 슬라이딩 방식으로 이동이 가능하도록 한다. 가이드(154)는 고정 베이스(153)의 양 측면의 적어도 일부에 형성될 수 있고 제시된 실시 예는 예시적인 것으로 슬라이딩이 가능한 다양한 구조로 만들어질 수 있다. 고정 베이스(153)의 전면에 밀폐 머리(152)가 형성될 수 있다. 밀폐 머리(152)는 검사 챔버의 투입구의 위쪽 부분에 결합될 수 있는 적절한 형상을 가지면서 이와 동시에 차폐 커튼 모듈(15)의 결합 또는 분리 과정에서 손잡이 기능을 가질 수 있다. 필요에 따라 차폐 커튼(151a, 151b, 151c)의 적어도 일부는 휘어질 수 있는 소재 또는 휘어질 수 있는 구조를 가질 수 있다. 도 2a에 도시된 것처럼, 각각의 차폐 커튼(151a, 151b, 151c)은 고정 베이스(153)의 위쪽으로 돌출되도록 형성될 수 있다. 차폐 커튼 모듈(15)이 검사 챔버에 슬라이딩 방식으로 결합 또는 분리가 되는 과정에서 차폐 커튼(151a, 151b, 151c)의 돌출된 부분은 결합되는 부분의 위쪽 천정과 접하여 휘어질 수 있고 그리고 휘어진 상태로 결합된다. 이로 인하여 검사 챔버 내부의 엑스레이가 외부로 방출되는 것이 완전히 차단이 될 수 있다.
검사 챔버에 결합이 될 수 있는 다양한 구조를 가지는 차폐 커튼 모듈(15)이 본 발명에 다른 검사 장치에 적용이 될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
아래에서 차폐 커튼 모듈(15)이 검사 챔버에 분리가 되는 과정에 대하여 설명이 된다.
도 2b 및 도 2c는 도 2a의 차폐 커튼 모듈이 검사 장치에서 분리되는 과정에 대한 실시 예를 도시한 것이다.
도 2b를 참조하면, 차폐 커튼 모듈의 분리를 위하여 검사 장치가 이송 라인에서 분리될 될 수 있다. 그리고 차폐 커튼 모듈(15)의 분리를 위하여 필요한 경우 커튼 모듈(15)을 검사 챔버(R) 또는 투입구(117)에 고정하기 위한 나사 또는 볼트와 같은 해제 가능한 고정 수단이 제거될 수 있다. 이후 밀폐 머리(152)를 이용하여 차폐 커튼 모듈(15)이 검사 챔버(R)의 내부로부터 외부로 슬라이딩 방식으로 당겨질 수 있다. 예를 들어 검사 챔버(R)의 내부에 가이드(154)와 대응되는 홈이 형성될 수 있고 가이드(154)가 홈을 따라 슬라이딩이 될 수 있다. 그리고 도 2c에 도시된 것과 같이 밀폐 커튼 모듈(15)은 검사 챔버(R) 또는 프레임(F)으로부터 완전히 분리가 될 수 있다. 그리고 이후 점검이 완료되면 다시 차폐 커튼 모듈(15)이 검사 챔버에 결합이 될 수 있다.
엑스레이 튜브 또는 디텍터와 같은 내부 장치의 점검을 위하여 필요에 따라 컨베이어 모듈(14)이 분리될 수 있다. 컨베이어 모듈(14)이 검사 챔버(R)에 분리 가능하도록 결합이 되도록 하기 위하여 컨베이어 모듈(14)은 모듈 구조로 만들어져야 하고 이와 동시에 분리 가능한 구조를 가져야 한다.
도 3a는 본 발명에 따른 검사 장치에서 적용될 수 있는 회전 벨트 구조를 가지는 컨베이어 모듈(14)의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3a를 참조하면, 컨베이어 모듈(14)은 피검사 대상이 로딩이 되어 이송이 되도록 하는 회전 벨트(141), 회전 벨트(141)의 회전을 위하여 마주보도록 배치된 한 쌍의 회전 부재(143, 143a), 한 쌍의 회전 부재(143, 143a)를 고정시키는 고정 부재(142, 142a) 및 한 쌍의 회전 부재(143, 143a)에 회전 동력을 전달하기 위한 예를 들어 기어와 같은 동력 전달 수단(144)을 포함할 수 있다. 추가로 컨베이어 모듈(14)은 고정 부재(142, 142a)의 측면에 설치된 체결 가이드(146) 및 고정 부재(142, 142a)의 끝 부분에 형성된 회전 고정 부분(147)을 포함할 수 있다.
회전 벨트(141)는 플라스틱, 섬유, 고무, 금속 또는 비금속과 같이 이 분야에서 공지된 임의의 소재로 만들어질 수 있고 일정한 폭을 가진 판 형상으로 만들어질 수 있다. 회전 벨트(141)는 한 쌍의 회전 부재(143, 143a)에 의하여 양쪽이 지지되어 회전이 될 수 있다. 회전 부재(143, 143a)는 일정한 간격을 두고 서로 마주보도록 배치될 수 있고 봉 또는 막대 형상으로 연장되는 구조를 가질 수 있다. 각각의 회전 부재(143, 143a)의 양 끝은 고정 부재(142, 142a)의 양 끝에 회전 가능하도록 고정될 수 있다.
회전 부재(143)의 한 끝에 동력 전달 수단(144)이 결합될 수 있다. 동력 전달 수단(144)은 예를 들어 모터와 같은 구동 수단에 의하여 전달되는 동력을 전달받아 회전 부재(143)를 회전시킬 수 있는 기어와 같은 이 분야에서 공지된 임의의 수단이 될 수 있다. 동력 전달 수단(144)은 예를 들어 하나의 회전 부재(143)의 한쪽 끝에 결합이 되어 하나의 회전 부재(143)를 회전시킬 수 있다. 하나의 회전 부재(143)의 회전에 따라 회전 벨트(141)가 회전이 될 수 있고 이에 따라 다른 회전 부재(143a)가 회전이 될 수 있다.
동력 전달 수단(144)은 다양한 위치에 설치될 수 있고 회전 부재(143, 143a) 및 그에 따른 회전 벨트(14)의 회전이 가능하도록 하는 임의의 구조를 가질 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
체결 가이드(146)는 컨베이어 모듈(14)을 검사 본체에 고정시키면서 이와 동시에 컨베이어 모듈(146)이 슬라이딩 방식으로 검사 본체로부터 분리가 되도록 하는 기능을 가질 수 있다. 검사 본체에 체결 가이드(146)에 대응되는 잠금 수단 또는 가이드가 설치될 수 있다.
회전 고정 부분(147)은 회전 부재(143a)의 회전이 가능한 임의의 구조를 가질 수 있고 예를 들어 한 쌍의 끝 부분이 분기된 가지(branch) 형상의 끝 부분에 회전 부재(143a)의 끝 부분이 삽입되어 회전이 되도록 하는 구조를 가질 수 있다. 추가로 분기된 가지는 설치 유닛(22)에 고정될 수 있다.
추가로 컨베이어 모듈(14)에 체결 커넥터(148)가 설치될 수 있다. 체결 커넥터(148)는 검사 본체에 결합된 컨베이어 모듈(14)을 볼트 또는 스크루와 같은 고정 수단에 의하여 고정하기 위한 것으로 이 분야에서 공지된 다양한 구조로 만들어질 수 있다.
컨베이어 모듈(14)은 검사 본체에 분리 가능하도록 결합될 수 있는 다양한 구조를 가질 수 있고 제시된 실시 예는 예시적인 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다.
아래에서 컨베이어 모듈(14)이 검사 본체로부터 분리가 되는 과정에 대하여 설명이 된다.
도 3b, 도 3c 및 도 3d는 도 3c의 컨베이어 모듈이 검사 장치에서 분리되는 과정에 대한 실시 예를 도시한 것이다.
도 3b를 참조하면 컨베이어 모듈(14)은 투입구(117)로부터 외부로 돌출되어 배치가 될 수 있고 설치 유닛(22)에 한쪽 끝이 고정이 될 수 있다. 도 3b에 제시된 실시 예에서 설명의 편의를 위하여 차폐 커튼 모듈이 제거된 상태가 도시되어 있지만 컨베이어 모듈(14)은 차폐 커튼 모듈과 별도로 검사 본체에 분리 또는 결합이 될 수 있다. 또한 설치 유닛(22)의 앞쪽에 동력 연결 유닛(23)이 설치될 수 있다. 설치 유닛(22)의 내부에 예를 들어 모터와 같은 동력 발생 수단이 설치될 수 있고 그리고 동력 연결 유닛(23)으로 동력이 전달될 수 있다. 컨베이어 모듈(14)은 동력 연결 유닛(23)으로부터 전달된 동력에 의하여 작동이 될 수 있다.
도 3c를 참조하면, 컨베이어 모듈(14)의 한쪽 끝은 설치 유닛(22)에 고정이 될 수 있고 체결 가이드(146)가 고정 브래킷(311)에 결합되어 컨베이어 모듈(14)이 검사 본체에 안정적으로 고정되도록 할 수 있다. 동력 전달 수단(144)은 동력 연결 유닛(23)에 설치된 기어와 같은 연결 수단(231)에 결합되어 회전이 될 수 있다.
컨베이어 모듈(14)의 분리를 위하여 고정 브래킷(311)으로부터 체결 가이드(146)의 결합이 해제되고 그리고 회전 부재(143)의 고정 수단이 해제될 수 있다. 그리고 컨베이어 모듈(14)의 배출구(117a)에 형성된 고정 수단이 풀어질 수 있다. 이와 같은 방식으로 컨베이어 모듈(14)의 검사 본체에 대한 고정 수단이 모두 해제가 되면 컨베이어 모듈(14)이 검사 본체의 앞쪽으로 당겨져서 분리가 될 수 있다.
도 3d는 컨베이어 모듈(14)이 분리된 검사 본체를 도시한 것이다. 컨베이어 모듈(14)의 분리 또는 지지를 위하여 회전 가능한 회전 받침 부재(35)가 컨베이어 모듈(14)의 아래쪽에 설치될 수 있다. 회전 받침 부재(35)는 컨베이어 모듈(35)이 슬라이딩 방식으로 검사 본체로부터 분리 또는 결합이 되는 것을 보조하기 위한 임의의 적절한 형상을 가질 수 있다. 다른 한편으로 회전 받침 부재(35)는 검사 본체에 결합된 컨베이어 모듈(14)을 안정적으로 작동하도록 지지하는 기능을 가질 수 있다.
컨베이어 모듈(14)이 분리되고 그리고 필요에 따라 차폐 커튼 모듈이 분리가 되면 예를 들어 디텍터와 같은 장치의 점검이 가능하고 필요에 따라 내부 클리닝이 가능하게 된다. 이와 같이 본 발명에 따른 검사 장치는 별도로 도어가 설치되지 않아도 내부 점검이 가능하도록 한다는 장점을 가진다.
도 3a 내지 3d에 제시된 컨베이어 모듈(14)의 분리 구조는 예시적인 것으로 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
본 발명에 따른 검사 장치는 컨베이어 모듈이 회전 벨트 구조로 형성되어 피검사 대상의 연속적인 검사가 가능하도록 한다는 이점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 검사 장치는 필요한 경우 장치 본체로부터 일부 장치를 분리하는 것에 의하여 도어의 설치 및 개방의 필요성이 없이 내부 점검이 가능하도록 하면서 이송 컨베이어와 디텍터가 분리된 구조로 이루어져 유지 또는 보수가 용이하면서 이와 동시에 내부 점검이 용이하도록 한다는 장점을 가진다. 예를 들어 컨베이어의 분리 구조와 같은 구조적인 이점으로 인하여 별도로 도어가 설치되지 않아도 내부 청소가 용이하다는 이점은 가진다. 추가로 본 발명에 따른 장치는 설계 및 제조가 간단해지도록 한다는 장점을 가진다.
위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.
10: 검사 장치 14: 컨베이어 모듈
15: 차폐 커튼 모듈 16: 디스플레이 유닛
22: 설치 유닛
23: 연결 유닛 35: 회전 받침 부재
111: 디텍터 112: 엑스레이 튜브
117: 투입구 117a: 배출구
121: 이송 수단 131: 배출 수단
141: 회전 벨트 143, 143a: 회전 부재
144: 동력 전달 수단 146: 체결 가이드
148: 체결 커넥터 151a, 151b, 151c: 차폐 커튼
152: 밀폐 머리 153: 고정 베이스
154: 가이드

Claims (2)

  1. 엑스레이 튜브(112) 및 디텍터(111)가 배치된 검사 챔버(R);
    검사 챔버(R)의 한쪽 면 및 다른 쪽 면에 형성된 투입구(117) 및 배출구(117a);
    엑스레이 튜브(112)와 디텍터(111) 사이로 피검사 대상을 이송시키는 컨베이어 모듈(14); 및
    투입구(117) 또는 배출구(117a)에 설치되는 차폐 커튼 모듈(15);을 포함하고,
    상기 컨베이어 모듈(14)은 투입구(117)로부터 배출구(117a)로 연장되는 회전 벨트 구동 구조로 디텍터(111)의 위쪽에 설치되고,
    상기 컨베이어 모듈(14)은 상기 피검사 대상의 이송을 위한 회전 벨트(141), 회전 벨트(141)의 작동을 위한 한 쌍의 회전 부재(143, 143a) 및 한 쌍의 회전 부재(143, 143a)의 회전을 위한 동력 전달 수단(144)으로 이루어지고, 상기 컨베이어 모듈(14)의 아래쪽에 회전 가능한 회전 받침 부재(35)가 설치되어 컨베이어 모듈(14)이 슬라이딩 방식으로 검사 챔버(R)에 분리 또는 결합이 되는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사 장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 차폐 커튼 모듈(15)은 적어도 하나의 차폐 커튼(151a, 151b, 151c), 차폐 커튼(151a, 151b, 151c)의 고정을 위한 고정 베이스(153) 및 고정 베이스(153)의 측면에 형성된 가이드(154)를 포함하고,
    각각의 차폐 커튼(151a, 151b, 151c)은 고정 베이스(153)의 위쪽으로 돌출되도록 형성될 수 있고, 차폐 커튼 모듈(15)이 검사 챔버에 슬라이딩 방식으로 결합 또는 분리가 되는 과정에서 차폐 커튼(151a, 151b, 151c)의 돌출된 부분은 결합되는 부분의 위쪽 천정과 접하여 휘어질 수 있는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사 장치.














KR1020160033654A 2016-03-21 2016-03-21 연속 검사 공정을 위한 엑스레이 검사 장치 KR102000945B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160033654A KR102000945B1 (ko) 2016-03-21 2016-03-21 연속 검사 공정을 위한 엑스레이 검사 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160033654A KR102000945B1 (ko) 2016-03-21 2016-03-21 연속 검사 공정을 위한 엑스레이 검사 장치

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140002247A Division KR20150082825A (ko) 2014-01-08 2014-01-08 연속 검사 공정을 위한 엑스레이 검사 장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160037865A true KR20160037865A (ko) 2016-04-06
KR102000945B1 KR102000945B1 (ko) 2019-07-17

Family

ID=55790701

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160033654A KR102000945B1 (ko) 2016-03-21 2016-03-21 연속 검사 공정을 위한 엑스레이 검사 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102000945B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109799248A (zh) * 2019-03-13 2019-05-24 河南华探检测技术有限公司 一种封头焊缝检测系统
CN111532681A (zh) * 2018-10-15 2020-08-14 金洁 一种进出口传送检查设备

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003279500A (ja) * 2002-03-25 2003-10-02 Anritsu Sanki System Co Ltd Ｘ線異物検出装置
JP3113068U (ja) * 2005-05-12 2005-09-02 株式会社島津製作所 Ｘ線異物検査装置
JP2008275450A (ja) * 2007-04-27 2008-11-13 Anritsu Sanki System Co Ltd Ｘ線異物検出装置
KR20110113944A (ko) * 2010-04-12 2011-10-19 (주)자비스 벨트컨베이어용 구동로울러 착탈장치

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3113068B2 (ja) * 1992-06-18 2000-11-27 ダイセル化学工業株式会社 ガス発生器のガス冷却・濾過構造

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003279500A (ja) * 2002-03-25 2003-10-02 Anritsu Sanki System Co Ltd Ｘ線異物検出装置
JP3113068U (ja) * 2005-05-12 2005-09-02 株式会社島津製作所 Ｘ線異物検査装置
JP2008275450A (ja) * 2007-04-27 2008-11-13 Anritsu Sanki System Co Ltd Ｘ線異物検出装置
KR20110113944A (ko) * 2010-04-12 2011-10-19 (주)자비스 벨트컨베이어용 구동로울러 착탈장치

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111532681A (zh) * 2018-10-15 2020-08-14 金洁 一种进出口传送检查设备
CN111547453A (zh) * 2018-10-15 2020-08-18 金洁 一种用于进出口传送检查的装置
CN111532681B (zh) * 2018-10-15 2021-08-06 吴连生 一种进出口传送检查设备
CN109799248A (zh) * 2019-03-13 2019-05-24 河南华探检测技术有限公司 一种封头焊缝检测系统

Also Published As

Publication number Publication date
KR102000945B1 (ko) 2019-07-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101707220B1 (ko) 배터리 검사용 엑스레이 검사 장치 및 그에 의한 배터리 검사 방법
KR20190013014A (ko) 내부 결함 및 접합 부위의 검사가 가능한 엑스레이 검사 장치
KR101654818B1 (ko) 엑스레이 검사 트레이 모듈 및 이에 의한 경사 방향 검사가 가능한 엑스레이 검사 장치
KR102000945B1 (ko) 연속 검사 공정을 위한 엑스레이 검사 장치
US7593504B2 (en) X-ray inspection apparatus
KR101669510B1 (ko) 그립 구조의 엑스레이 검사 장치
KR101654819B1 (ko) 엑스레이 검사를 위한 이동 스테이지 및 이를 가진 엑스레이 검사 장치
KR20160060810A (ko) 평판형 물체의 비파괴 검사 장치
KR20150082825A (ko) 연속 검사 공정을 위한 엑스레이 검사 장치
KR102000944B1 (ko) 교체 방식 모듈 구조의 엑스레이 검사 장치
KR101957667B1 (ko) 선형 축 이동 구조의 엑스레이 검사 장치
KR102000955B1 (ko) 다수 개 부품의 동시 검사를 위한 엑스레이 검사 장치 및 그 방법
KR102389547B1 (ko) 이송 유도 수단 연결 구조의 엑스레이 검사 장치
CN206363037U (zh) 透光式负压承载台
KR20150082808A (ko) 교체 방식 모듈 구조의 엑스레이 검사 장치
JPH11183407A (ja) Ｘ線異物検査装置
KR20200003451A (ko) 이송 유도 수단 연결 구조의 엑스레이 검사 장치
JP4438991B2 (ja) Ｘ線検査装置
KR20180018468A (ko) 다중 검사 및 다중 배출 경로 구조의 엑스레이 검사 장치
CN206363036U (zh) 液晶屏外观图像采集装置及通用检测设备
KR20170059193A (ko) 조립 및 구조 특성이 향상된 엑스레이 장치
JP2006071514A (ja) Ｘ線検査装置
CN211014123U (zh) 一种环锻件无损检测装置
KR20200068180A (ko) 간섭 회피 검사를 위한 엑스레이 검사 장치
TWI629471B (zh) 檢測裝置及其檢測流程

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant