KR20160019609A - Substrate reversal device - Google Patents

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KR20160019609A KR1020140103834A KR20140103834A KR20160019609A KR 20160019609 A KR20160019609 A KR 20160019609A KR 1020140103834 A KR1020140103834 A KR 1020140103834A KR 20140103834 A KR20140103834 A KR 20140103834A KR 20160019609 A KR20160019609 A KR 20160019609A
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Abstract

The present invention discloses a substrate reversal device. The substrate reversal device includes a reversal body part which is rotatably combined with a reversal driving part for rotation and reverse rotation, a reversal shaft part which is combined with the reversal body part and forms a rotation center in the reversal body part, a pin-type support part which is combined with the reversal body part or the reversal shaft part and includes an adsorption unit or a support unit which is separately arranged in vertical and horizontal directions, a bar-type support part which includes a pressurization bar unit which is separated from the pin-type support part to face the pin-type support part with a substrate as the center and is separated as being in a cylinder or elliptic cylinder shape, and a reciprocating driving part which allows one of the pin-type support part and the bar-type support part to reciprocate to pressurize the substrate.

Description

기판반전장치{SUBSTRATE REVERSAL DEVICE}[0001] SUBSTRATE REVERSAL DEVICE [0002]

본 발명은 기판반전장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판반전장치에서 면접촉을 통해 기판을 안정되게 가압하여 파지할 수 있고, 기판의 이송 동작이나 반전 동작에서 기판의 유동을 억제 또는 방지할 수 있는 기판반전장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate reversing apparatus, more particularly, to a substrate reversing apparatus capable of stably pressing and gripping a substrate through surface contact, and capable of suppressing or preventing the substrate from flowing in a transporting operation or a reversing operation of the substrate To a substrate inverting apparatus.

일반적으로, 정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Device), PDP(Plasma Display Panel) 등 다양한 평판표시장치(FPD, Flat Panel Display)는 두 개의 유리기판을 합착하여 만든다.2. Description of the Related Art [0002] In recent years, various flat panel display devices (FPD, Flat Panel Display) such as a liquid crystal device (LCD) and a plasma display panel (PDP) Display) is made by attaching two glass substrates together.

평판표시장치는 계속적으로 연구되고 있으며, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다. 이러한 표시장치 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송 신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Flat panel displays have been continuously studied, and some have already been used as display devices in various devices. Among these display devices, LCDs are mostly used in place of CRTs (Cathode Ray Tube) for the purpose of a portable type image display device because of their excellent image quality, light weight, thinness and low power consumption. And a monitor for receiving and displaying a broadcast signal and a monitor for a computer.

여기서 표시장치로써, 화상의 품질을 높이는 작업은 상술한 특징 및 장점과 배치되는 면이 많이 있다. 따라서, 액정표시소자가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저소비전력의 특징을 유지하면서도 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.Here, as the display device, the work of raising the quality of the image has many aspects that are arranged with the above-described features and advantages. Therefore, in order for a liquid crystal display device to be used in various parts as a general screen display device, it can be said that the key to development is how much high-quality images such as high brightness and large area can be realized while maintaining the features of light weight, thinness and low power consumption have.

또한, 표시장치가 대형화되면서 유리기판 전체에 균일한 힘을 가하여 합착이 균일하게 이루어지도록 해야 한다.Further, it is necessary to uniformly apply a uniform force to the entire glass substrate while the display device is becoming large, so that the adhesion is uniform.

관련 선행기술로는 대한민국 등록특허공보 제10-0687460호(2007. 02. 21. 등록, 발명의 명칭 : 평판 디스플레이 제조 장비의 진공 합착기)가 있다.A related prior art is Korean Registered Patent No. 10-0687460 (registered on Feb. 21, 2007, entitled "Vacuum Sealer for Flat Panel Display Manufacturing Equipment").

본 발명의 목적은 기판반전장치에서 면접촉을 통해 기판을 안정되게 가압하여 파지할 수 있고, 기판의 이송 동작이나 반전 동작에서 기판의 유동을 억제 또는 방지할 수 있는 기판반전장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a substrate reversing device capable of stably pressing and grasping a substrate through surface contact in a substrate reversing device and capable of suppressing or preventing the flow of substrates in a transporting operation or a reversing operation of the substrate.

본 발명에 따른 기판반전장치는 정역회전을 위한 반전구동부에 회전 가능하게 결합되는 반전바디부; 상기 반전구동부가 결합되고, 상기 반전바디부에서 회전 중심을 형성하는 반전축부; 상기 반전바디부 또는 상기 반전축부에 결합되고, 종횡으로 이격 배치되는 흡착유닛 또는 지지유닛이 포함되는 핀형지지부; 기판을 중심으로 상기 핀형지지부와 마주보도록 이격 배치되고, 가압력에 의해 면접촉으로 변경되면서 기판에 밀착되는 가압바유닛이 포함되는 바형지지부; 및 기판을 가압하도록 상기 핀형지지부와 상기 바형지지부 중 어느 하나를 왕복 이동시키는 왕복구동부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.The substrate reversing apparatus according to the present invention includes: a reversing body part rotatably coupled to an inversion driving part for normal and reverse rotation; A reversing shaft part coupled to the reversing driving part and forming a rotation center in the reversing body part; A pin-shaped support portion coupled to the inverting body portion or the inverting shaft portion and including a suction unit or a support unit that is vertically and horizontally spaced apart; A bar-shaped support portion disposed to face the fin-shaped support portion with respect to the substrate, the bar-shaped support portion including a pressure bar unit that is in contact with the substrate while being changed into surface contact by a pressing force; And a reciprocating driver for reciprocating any one of the pin support portion and the bar support portion so as to press the substrate; And a control unit.

여기서, 상기 핀형지지부와 상기 바형지지부 중 어느 하나에 안착된 기판을 정렬하는 얼라인부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the aligning portion aligns the substrate placed on one of the pin-shaped support portion and the bar-shaped support portion; And further comprising:

여기서, 상기 가압바유닛에서 중심을 지나는 가상의 직선은, 상기 흡착유닛의 배치 방향에 따른 가상의 직선 또는 상기 지지유닛의 배치 방향에 따른 가상의 직선과 실질적으로 평행하게 배치되고, 상기 가상의 직선들은 기판에 수직인 가상의 평면에 형성되는 것을 특징으로 한다.Here, the virtual straight line passing through the center of the pressure bar unit is arranged substantially parallel to an imaginary straight line along the placement direction of the adsorption unit or an imaginary straight line along the placement direction of the support unit, Are formed in a virtual plane perpendicular to the substrate.

여기서, 상기 핀형지지부는, 안착바디부; 상기 안착바디부에서 돌출되어 종횡으로 이격 배치되는 안착프레임부; 및 흡착력에 의해 기판을 흡착 지지하도록 상기 안착프레임부에 결합되는 흡착유닛; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the fin-shaped support portion includes a seating body portion; A seating frame portion projecting from the seating body portion and spaced apart from each other in the longitudinal direction and the lateral direction; And a suction unit coupled to the seating frame unit to hold the substrate by suction force; And a control unit.

여기서, 상기 핀형지지부는, 지지바디부; 상기 지지바디부에서 돌출되어 종횡으로 이격 배치되는 설치돌부; 및 탄성력에 의해 기판을 탄성 지지하도록 상기 설치돌부에 결합되는 지지유닛; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the fin-shaped support portion includes a support body portion; A mounting protrusion protruding from the support body and spaced longitudinally and laterally; And a support unit coupled to the mounting projection to elastically support the substrate by an elastic force; And a control unit.

본 발명에 따른 기판반전장치는 정역회전을 위한 반전구동부에 회전 가능하게 결합되는 반전바디부; 상기 반전구동부가 결합되고, 상기 반전바디부에서 회전 중심을 형성하는 반전축부; 기판을 중심으로 상호 마주보도록 이격 배치되고, 가압력에 의해 면접촉으로 변경되면서 기판에 밀착되는 가압바유닛이 포함되는 한 쌍의 바형지지부; 및 기판을 가압하도록 상기 한 쌍의 바형지지부 중 어느 하나를 왕복 이동시키는 왕복구동부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.The substrate reversing apparatus according to the present invention includes: a reversing body part rotatably coupled to an inversion driving part for normal and reverse rotation; A reversing shaft part coupled to the reversing driving part and forming a rotation center in the reversing body part; A pair of bar-shaped supporters spaced apart from each other with respect to the substrate, the bar-shaped supporter including a pressurizing bar unit that is in surface contact with the substrate and is in close contact with the substrate by a pressing force; And a reciprocating driver for reciprocating any one of the pair of bar-shaped supports to press the substrate; And a control unit.

여기서, 상기 한 쌍의 바형지지부 중 어느 하나에 안착된 기판을 정렬하는 얼라인부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the aligning part aligns the substrate placed on one of the pair of bar supporting parts; And further comprising:

여기서, 기판을 중심으로 상호 마주보는 가압바유닛 중 어느 하나에서 중심을 지나는 가상의 직선은, 기판을 중심으로 상호 마주보는 가압바유닛 중 다른 하나에서 중심을 지나는 가상의 직선과 실질적으로 평행하게 배치되고, 상기 가상의 직선들은 기판에 수직인 가상의 평면에 형성되는 것을 특징으로 한다.Here, a virtual straight line passing through the center of one of the pressing bar units opposed to each other with respect to the substrate is disposed substantially parallel to an imaginary straight line passing through the center of the other of the pressing bar units facing each other with respect to the substrate And the imaginary straight lines are formed in a virtual plane perpendicular to the substrate.

여기서, 상기 얼라인부는, 하판부; 상기 하판부와 마주보도록 이격 배치되는 상판부; 상기 하판부에 결합되고, 상기 상판부를 제1방향으로 왕복 이동시키는 제1작동부; 상기 제1작동부에서 이격되어 상기 하판부에 결합되고, 상기 상판부를 상기 제1방향과 평행한 방향으로 왕복 이동시키는 제2작동부; 상기 제1작동부와 상기 제2작동부에서 이격되어 상기 하판부에 결합되고, 상기 상판부를 상기 제1방향에 수직인 제2방향으로 왕복 이동시키는 제3작동부; 및 상기 제1작동부 내지 상기 제3작동부의 왕복 이동량을 결정하기 위해 상기 기판의 안착 상태를 감지하는 세 개의 기판감지부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the alignment portion may include a lower plate portion; An upper plate part spaced apart from the lower plate part; A first actuating part coupled to the lower plate part and reciprocating the upper plate part in a first direction; A second actuating part spaced apart from the first actuating part and coupled to the lower plate part and reciprocating the upper plate part in a direction parallel to the first direction; A third actuating part spaced apart from the first actuating part and the second actuating part and coupled to the lower plate part and reciprocating the upper plate part in a second direction perpendicular to the first direction; And three substrate sensing units for sensing a seating state of the substrate to determine a reciprocating amount of the first actuating part to the third actuating part; And a control unit.

여기서, 상기 얼라인부는, 상기 제1작동부 내지 상기 제3작동부에서 이격되어 상기 제1작동부 내지 상기 제3작동부의 동작에 따라 상기 제1방향 또는 상기 제2방향으로 상기 상판부를 이동시키는 작동지지부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the alignment portion is spaced apart from the first operation portion to the third operation portion, and moves the upper plate portion in the first direction or the second direction according to the operation of the first operation portion and the third operation portion An actuation support; And further comprising:

여기서, 상기 제1작동부 내지 상기 제3작동부는, 왕복 이동량에 따라 작동스크류를 회전시키는 작동모터부; 상기 작동스크류에 왕복 이동 가능하게 결합되는 제1가이드; 상기 하판부와 상기 상판부 중 적어도 하나에 구비되고, 상기 제1가이드에 왕복 이동 가능하게 결합되는 제2가이드; 및 상기 제1가이드의 왕복 이동 한계를 설정하는 작동감지부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the first actuating part to the third actuating part may include: an actuating motor part for rotating the actuating screw according to reciprocating movement amount; A first guide reciprocally coupled to the operating screw; A second guide provided on at least one of the lower plate portion and the upper plate portion and reciprocally coupled to the first guide; An operation sensing unit for setting a reciprocating movement limit of the first guide; And a control unit.

여기서, 상기 제1작동부 내지 상기 제3작동부는, 상기 제1가이드와 상기 제2가이드 사이에 회전 가능하게 결합되는 회전볼부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the first actuating part to the third actuating part may include: a rotation ball part rotatably coupled between the first guide and the second guide; And further comprising:

여기서, 상기 왕복구동부는, 왕복 이동을 위해 정역회전되는 왕복모터부; 상기 왕복모터부에 결합되어 상기 왕복모터부의 회전 방향을 전환시키는 제1전환블럭; 상기 제1전환블럭의 회전력을 전달하는 한 쌍의 제1전달스크류; 상기 제1전달스크류의 회전 방향을 전환시키는 제3전환블럭; 및 기판을 가압하도록 상기 제3전환블럭의 회전력으로 왕복 이동되는 왕복지지부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the reciprocating drive unit may include: a reciprocating motor unit rotated forward and backward for reciprocating movement; A first switching block coupled to the reciprocating motor portion to switch the rotational direction of the reciprocating motor portion; A pair of first transmission screws for transmitting rotational force of the first switching block; A third switching block for switching the rotation direction of the first delivery screw; And a reciprocating support portion reciprocatingly moved by the rotational force of the third switching block to press the substrate; And a control unit.

여기서, 상기 왕복구동부는, 상기 제1전달스크류의 회전 방향을 전환시키는 제2전환블럭; 및 상기 제2전환블럭의 회전력을 상기 제3전환블럭에 전달하는 한 쌍의 제2전달스크류; 를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the reciprocating driving unit may include a second switching block for switching the rotating direction of the first delivery screw; And a pair of second transmission screws for transmitting the rotational force of the second conversion block to the third conversion block; And further comprising:

여기서, 상기 바형지지부는, 바형바디부; 상기 바형바디부에서 상호 평행하게 돌출되는 이격프레임부; 및 가압력에 의해 면접촉으로 변경되면서 기판에 밀착되도록 상기 이격프레임부에 결합되는 가압바유닛; 을 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the bar supporting portion may include a bar body portion; A spacing frame portion projecting in parallel to each other in the bar body portion; And a pressure bar unit coupled to the spaced-apart frame portion so as to be brought into close contact with the substrate while being changed into surface contact by a pressing force; And a control unit.

여기서, 상기 가압바유닛은, 가압력에 의해 면접촉으로 변경되면서 기판에 밀착되는 탄성가압부; 및 상기 탄성가압부의 길이 방향을 따라 상기 탄성가압부에 가압력을 전달하는 탄성고정부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the pressure bar unit may include an elastic pressing unit that is brought into close contact with the substrate while being changed into surface contact by a pressing force; And an elastic fixing part for transmitting a pressing force to the elastic pressing part along a longitudinal direction of the elastic pressing part; And a control unit.

여기서, 상기 탄성가압부는, 상기 탄성고정부에서 연장되는 한 쌍의 응력분산부; 및 기판에 밀착되도록 기설정된 곡률을 가지고 상기 한 쌍의 응력분산부 양단부를 연결하는 밀착변형부; 를 포함하고, 상기 탄성가압부에는, 상기 응력분산부와 상기 밀착변형부에 의해 중심을 관통하는 분산홀부; 가 포함되는 것을 특징으로 한다.Here, the elastic pressing portion may include: a pair of stress dispersing portions extending from the elastic fixing portion; And a contact deforming portion connecting the both ends of the pair of stress dispersing portions with a predetermined curvature so as to be in close contact with the substrate. Wherein the elastic pressing portion includes a dispersion hole portion passing through the center by the stress dispersing portion and the contact deforming portion; Is included.

여기서, 상기 탄성고정부는, 상기 탄성가압부의 길이 방향으로 연장되도록 상기 탄성가압부에서 돌출 형성되는 탄성바디부; 및 상기 탄성바디부에서 교차되는 방향으로 돌출 형성되는 탄성날개부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.The elastic fixing part may include an elastic body protruding from the elastic pressing part to extend in the longitudinal direction of the elastic pressing part; And an elastic blade part protruding in a direction intersecting the elastic body part; And a control unit.

여기서, 상기 이격프레임부는, 상기 바형바디부에서 종횡으로 돌출되는 이격바; 및 상기 탄성고정부가 결합되도록 상기 가압바유닛의 길이 방향을 따라 상기 이격바를 연결 고정시키는 설치바; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the spacing frame portion may include a spacing bar projecting longitudinally and laterally from the bar body portion; And a mounting bar for connecting and securing the spacing bar along the longitudinal direction of the pressure bar unit so that the elastic fixing unit is engaged; And a control unit.

여기서, 상기 설치바에는, 상기 탄성고정부가 삽입 지지되는 고정홈부; 및 상기 탄성고정부가 상기 고정홈부에 삽입된 상태를 유지시키도록 상기 고정홈부에서 돌출 형성되는 고정턱부; 가 포함되는 것을 특징으로 한다.Here, the installation bar may include: a fixing groove portion into which the elastic fixing portion is inserted and supported; And a fixing jaw portion protruding from the fixing groove portion to maintain the elastic fixing portion inserted into the fixing groove portion; Is included.

본 발명에 따른 기판반전장치는 기판반전장치에서 면접촉을 통해 기판을 안정되게 가압하여 파지할 수 있고, 기판의 이송 동작이나 반전 동작에서 기판의 유동을 억제 또는 방지할 수 있다.The substrate reversing apparatus according to the present invention can stably press and grip the substrate through the surface contact in the substrate reversing apparatus and can suppress or prevent the substrate from flowing in the transporting operation or the reversing operation of the substrate.

또한, 본 발명은 왕복구동부를 통한 기판의 가압력을 최소화할 수 있고, 핀형지지부 또는 바형지지부를 통한 기판의 가압 위치를 안정되게 조절할 수 있다.Further, the present invention can minimize the pressing force of the substrate through the reciprocating driving portion, and can stably adjust the pressing position of the substrate through the pin-shaped supporting portion or the bar supporting portion.

또한, 본 발명은 기판을 가압함에 있어서, 기판에 균일한 가압력을 전달할 수 있고, 가압력의 불균형에 따라 기판이 파손되는 것을 방지할 수 있다.In addition, in pressing the substrate, the present invention can transmit a uniform pressing force to the substrate and prevent the substrate from being damaged according to unbalance of the pressing force.

또한, 본 발명은 합착된 기판을 양측에서 가압 지지할 때, 합착된 기판 사이에 구비된 씰부가 기판에서 분리(씰 터짐 현상)되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the present invention can prevent the seal portion provided between the bonded substrates from separating from the substrate (seal burst phenomenon) when the bonded substrate is pressed and supported from both sides.

또한, 본 발명은 가압바유닛과 기판의 면접촉을 용이하게 할 수 있다.Further, the present invention can facilitate surface contact between the pressure bar unit and the substrate.

또한, 본 발명은 가압바유닛에 가해지는 가압력을 안정되게 분산시키고, 가압바유닛의 탄성 변형에 따른 응력을 안정되게 분산시킬 수 있다.Further, the present invention can stably disperse the pressing force applied to the pressing bar unit, and can stably disperse the stress due to the elastic deformation of the pressing bar unit.

또한, 본 발명은 가압력에 따라 가압바유닛에서 기판과의 접촉 면적을 증대시킴은 물론 기판이 이송되거나 반전되는 과정에서 기판이 분리되는 것을 예방하고, 기판의 파손을 방지할 수 있다.Further, according to the present invention, it is possible to increase the contact area with the substrate in the pressure bar unit according to the pressing force, prevent the substrate from being separated during the process of transferring or reversing the substrate, and prevent the substrate from being damaged.

또한, 본 발명은 바형지지부에서 가압바유닛이 안정되게 고정될 수 있도록 하고, 기판의 반전 동작에 따라 바형지지부에서 가압바유닛이 분리되는 것을 방지할 수 있다.In addition, according to the present invention, the pressurizing bar unit can be stably fixed in the bar-shaped support portion, and the pressurizing bar unit can be prevented from being detached from the bar-shaped support portion according to the reversing operation of the substrate.

또한, 본 발명은 기판의 가압력에 따라 바형지지부에서 가압바유닛의 결합력을 증대시키고, 가압바유닛의 탈부착을 편리하게 할 수 있다.Further, according to the present invention, it is possible to increase the engaging force of the pressing bar unit in the bar supporting portion according to the pressing force of the substrate, and to facilitate attachment and detachment of the pressing bar unit.

또한, 본 발명은 바형지지부에서 가압바유닛의 유동을 최소화시키고, 기판이 이송되거나 반전될 때, 기판의 편평도를 안정되게 유지시킬 수 있다.Further, the present invention minimizes the flow of the pressurizing bar unit in the bar support and can maintain the flatness of the substrate stably when the substrate is transported or inverted.

또한, 본 발명은 가압바유닛이 기판을 가압할 때, 기판의 외형이 변형되는 것을 방지하고, 기판의 표면에 얼룩(무라, むら)이 발생되는 것을 방지할 수 있다.Further, according to the present invention, it is possible to prevent the outer shape of the substrate from being deformed when the pressing bar unit presses the substrate, and to prevent the occurrence of unevenness (mura) on the surface of the substrate.

또한, 본 발명은 가압바유닛에 의한 기판의 가압 여부에 따라 가압바유닛과 기판의 접착력을 억제 또는 방지할 수 있다.Further, the present invention can suppress or prevent the adhesive force between the pressure bar unit and the substrate depending on whether the substrate is pressed by the pressure bar unit.

또한, 본 발명은 기판에서 가압바유닛이 분리될 때, 가압바유닛을 따라 기판이 이동되는 것을 방지하고, 기판의 반전을 용이하게 하며, 기판의 출렁임(기판이 요동치는 것)을 방지하고, 기판의 출렁임에 의한 기판의 파손을 방지할 수 있다.In addition, the present invention prevents the substrate from moving along the pressurizing bar unit when the pressurizing bar unit is separated from the substrate, facilitates reversal of the substrate, prevents the substrate from swirling (substrate swinging) It is possible to prevent the breakage of the substrate due to the protrusion of the substrate.

또한, 본 발명은 기판의 반전 동작에서 연결라인의 꼬임을 방지할 수 있다.Further, the present invention can prevent the twist of the connection line in the reversal operation of the substrate.

또한, 본 발명은 연결라인의 탈락, 분리, 이탈, 늘어짐, 단선, 피복 벗겨짐 등을 방지하며, 연결라인의 사용 수명을 연장할 수 있다.Further, the present invention can prevent the detachment, detachment, separation, slacking, disconnection, peeling of the cover and the like of the connection line and prolong the service life of the connection line.

또한, 본 발명은 케이블베어 갈림 문제를 해결하고, 케이블베어에서 연결라인이 이탈되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the present invention can solve the problem of cable breakage and prevent the detachment of the connection line from the cable bear.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 탈착 상태를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치를 도시한 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치를 도시한 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치에서 핀형지지부를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치에서 핀형지지부의 변형예를 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치에서 바형지지부을 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치에서 가압바유닛의 결합 상태를 도시한 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치에서 바형지지부의 변형예를 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치에서 왕복구동부의 주요 부분을 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치에서 얼라인부의 주요 부분을 도시한 도면이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치에서 얼라인부와 기판의 관계를 도시한 도면이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치의 동작 상태를 도시한 측면도이다.
도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판반전장치를 도시한 측면도이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치의 동작 상태를 도시한 측면도이다.1 is a view illustrating a substrate according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view illustrating a state in which a substrate is removed according to an embodiment of the present invention.
3 is a front view showing a substrate inverting apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a side view showing a substrate inverting apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a view illustrating a pin-shaped support portion in the substrate reversing device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a view showing a modification of the pin-shaped supporting portion in the substrate reversing device according to the embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a view showing a bar support in the substrate reversing device according to an embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 8 is a perspective view illustrating a state in which a pressurizing bar unit is engaged in a substrate reversing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a view showing a modified example of the bar supporting portion in the substrate reversing device according to the embodiment of the present invention.
10 is a view showing a main part of a reciprocating driver in a substrate inverting apparatus according to an embodiment of the present invention.
11 is a view showing a main part of the alignment portion in the substrate reversing device according to an embodiment of the present invention.
12 is a diagram showing the relationship between the alignment portion and the substrate in the substrate inverting apparatus according to an embodiment of the present invention.
13 is a side view showing an operation state of the substrate reversing device according to an embodiment of the present invention.
14 is a side view showing a substrate inverting apparatus according to another embodiment of the present invention.
15 is a side view showing an operation state of the substrate reversing apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 기판반전장치의 일 실시예를 설명한다.Hereinafter, an embodiment of a substrate inverting apparatus according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다. 또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
In this process, the thicknesses of the lines and the sizes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation. In addition, the terms described below are defined in consideration of the functions of the present invention, which may vary depending on the intention or custom of the user, the operator. Therefore, definitions of these terms should be made based on the contents throughout this specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판을 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 탈착 상태를 도시한 도면이다.FIG. 1 is a view showing a substrate according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view showing a state of attaching / detaching a substrate according to an embodiment of the present invention.

도 1과 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판(100)은 합착부(112)를 포함하고, 적층부(111)를 더 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2, a substrate 100 according to an embodiment of the present invention includes a joining portion 112 and may further include a lamination portion 111.

합착부(112)는 LCD(Liquid Crystal Device), PDP(Plasma Display Panel) 등 다양한 평판표시장치(FPD, Flat Panel Display) 또는 태양전지셀 등으로 이루어질 수 있고, 제1기판부(101)와 제2기판부(102)를 합착하여 만든다.The adhesive portion 112 may be formed of various flat panel displays (FPDs) such as a liquid crystal device (LCD), a plasma display panel (PDP), or a solar cell, 2 substrate parts 102 are bonded together.

이때, 제1기판부(101)와 제2기판부(102) 사이에 삽입되는 씰부(103)가 각각 제1기판부(101)와 제2기판부(102)에 결합될 수 있다. 씰부(103)는 제1기판부(101)와 제2기판부(102) 사이 간격을 유지할 수 있다. 또한, 씰부(103)는 제1기판부(101)와 제2기판부(102) 사이를 밀봉하여 상판부(101)와 하판부(102) 사이의 이격 공간을 밀폐시킬 수 있다.The seal portion 103 inserted between the first substrate portion 101 and the second substrate portion 102 may be coupled to the first substrate portion 101 and the second substrate portion 102, respectively. The seal portion 103 can maintain a gap between the first substrate portion 101 and the second substrate portion 102. [ The seal portion 103 may seal the gap between the upper plate portion 101 and the lower plate portion 102 by sealing the first substrate portion 101 and the second substrate portion 102.

적층부(111)는 합착부(112)의 양면에 중 적어도 어느 한 면에 부착될 수 있다. 적층부(111)는 제1기판부(101)의 표면 또는 제2기판부(102)의 표면에 스크래치가 발생되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 적층부(111)는 제1기판부(101)와 제2기판부(102)를 보호하여 기판(100)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.The laminated portion 111 may be attached to at least one of both surfaces of the bonded portion 112. The laminated portion 111 can prevent scratches from being generated on the surface of the first substrate portion 101 or the surface of the second substrate portion 102. [ The laminated portion 111 protects the first substrate portion 101 and the second substrate portion 102 to prevent the substrate 100 from being damaged.

본 발명의 일 실시예에서 기판(100)은 적층부(111)와, 합착부(112)와, 적층부(111)가 부착된 합착부(112) 중 어느 하나를 의미할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the substrate 100 may refer to any one of a lamination portion 111, a bonding portion 112, and a bonding portion 112 to which the lamination portion 111 is attached.

여기서, 기판(100)에는 코너컷(113)이 형성될 수 있다.Here, a corner cut 113 may be formed on the substrate 100.

코너컷(113)은 적층부(111)의 일부가 노출되도록 기판(100)의 둘레에 형성된다. 코너컷(113)의 형성에 따라 합착부(112)에서 적층부(111)를 용이하게 분리할 수 있다.
The corner cut 113 is formed around the substrate 100 so that a part of the laminated portion 111 is exposed. The formation of the corner cuts 113 allows the laminated portion 111 to be easily separated from the bonded portion 112. [

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치를 도시한 정면도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치를 도시한 측면도이다.FIG. 3 is a front view showing a substrate inverting apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a side view showing a substrate inverting apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 3과 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치는 반전바디부(10)와, 반전축부(12)와, 핀형지지부(20)와, 바형지지부(60)와, 왕복구동부(40)를 포함하고, 얼라인부(50)를 더 포함할 수 있다.3 and 4, a substrate inverting apparatus according to an embodiment of the present invention includes an inverting body 10, an inverting shaft 12, a pin-shaped support 20, a bar support 60, And a reciprocating driving part 40, and may further include an aligning part 50.

반전바디부(10)는 정역회전을 위한 반전구동부(11)에 회전 가능하게 결합된다. 이때, 반전바디부(10)에는 완충부(14)가 구비될 수 있다. 완충부(14)는 핀형지지부(20) 또는 바형지지부(60)의 충격을 완화시킬 수 있다. 또한, 완충부(14)는 왕복구동부(40)의 동작에 따라 핀형지지부(20) 또는 바형지지부(60)가 반전바디부(10)에 충돌하는 것을 방지할 수 있다. The inversion body part 10 is rotatably coupled to the inversion driving part 11 for forward and reverse rotation. At this time, the reversing body 10 may be provided with a buffer 14. The buffer portion 14 can relieve the impact of the pin-shaped support portion 20 or the bar-shaped support portion 60. [ The cushioning portion 14 can prevent the pin-shaped support portion 20 or the bar-shaped support portion 60 from colliding with the reversing body portion 10 in accordance with the operation of the reciprocating driving portion 40.

반전축부(12)는 반전바디부(10)에는 회전 중심을 형성하는 반전축부(12)가 구비된다. 반전바디부(10)는 동일선 상에 결합되는 반전축부(12)와 비틀림부(13)를 중심으로 180도 또는 360도 회전 가능하게 결합된다. The inversion shaft portion 12 is provided with an inversion shaft portion 12 which forms a rotation center in the inversion body portion 10. The inverted body part 10 is coupled to the inverted shaft part 12 coupled on the same line so as to rotate 180 or 360 degrees about the twisted part 13. [

반전축부(12)에는 반전바디부(10)를 정역회전시키는 반전구동부(11)가 결합된다. 반전축부(12)는 반전바디부(10)에서 회전 중심을 형성한다. 여기서, 반전구동부(11)와 비틀림부(13)는 본체(A)에 지지되어 반전바디부(10)의 정역회전을 원활하게 할 수 있다.The inversion driving unit 11 for rotating the inversion body unit 10 in the forward and reverse directions is coupled to the inversion axis unit 12. The inversion shaft portion 12 forms a center of rotation in the reversing body portion 10. Here, the inversion driving unit 11 and the twist unit 13 are supported by the main body A, so that the inversion and rotation of the inversion body unit 10 can be smoothly performed.

본 발명의 일 실시예에서 반전축부(12)는 반전바디부(10)에 고정되어 반전바디부(10)의 회전 중심을 형성한다. 또한, 반전바디부(10)는 반전축부(12)를 기준으로 상측부와 하측부로 구획되고, 상측부와 하측부에 각각 핀형지지부(20)와 바형지지부(60)가 구비될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the inverting shaft 12 is fixed to the inverting body 10 to form the center of rotation of the inverting body 10. The inverted body 10 may be divided into an upper portion and a lower portion with respect to the inverted shaft portion 12 and a pin shaped support portion 20 and a bar shaped support portion 60 may be provided on the upper and lower portions, respectively.

비틀림부(13)는 후술하는 핀형지지부(20) 또는 왕복구동부(40) 또는 얼라인부(50)와의 연결을 위한 연결라인(미도시)이 관통 고정된다. 비틀림부(13)는 연결라인(미도시)의 선 꼬임을 억제 또는 방지하고, 연결라인(미도시)을 통합하여 정리하기 위한 케이블베어의 설치를 생략할 수 있으며, 케이블베어에서 연결라인(미도시)이 이탈되거나 케이블베어에 의한 연결라인(미도시)의 손상을 방지할 수 있다.The twist portion 13 is fixedly connected to a connection line (not shown) for connection with the pin-shaped support portion 20 or the reciprocating drive portion 40 or the aligning portion 50 to be described later. The twist portion 13 may suppress or prevent line twist of the connection line (not shown), and may eliminate the installation of cable bails for unifying the connection lines (not shown) (Not shown) due to the cable bare can be prevented.

연결라인(미도시)은 전기적 연결을 위한 케이블과 흡착력에 따른 유체의 이동을 위한 유체라인 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 비틀림부(13)에 고정되는 연결라인(미도시)의 비틀림은 반전바디부(10)의 정역 회전 각도인 180도 또는 360도에 대하여 90도 또는 180도로 작아지게 되어 연결라인(미도시)에 가해지는 응력을 감소시키고, 연결라인(미도시)의 수명을 연장시킬 수 있다.The connection line (not shown) may include at least one of a cable for electrical connection and a fluid line for fluid movement depending on the attraction force. The twist of the connection line (not shown) fixed to the twist portion 13 becomes 90 degrees or 180 degrees with respect to 180 degrees or 360 degrees of the normal and reverse rotation angles of the reversing body 10, It is possible to reduce the applied stress and prolong the life of the connecting line (not shown).

도시되지 않았지만, 비틀림부(13)는 연결라인(미도시)이 통과하는 비틀림관통부(미도시)와, 연결라인(미도시)의 양단부를 각각 고정시키는 비틀림고정부(미도시)를 포함할 수 있다.Although not shown, the twist portion 13 includes a torsional through portion (not shown) through which a connecting line (not shown) passes and a torsional fixing portion (not shown) that fixes both ends of a connecting line .

상술한 비틀림부(13)를 통해 기판(100)의 반전 동작에서 연결라인(미도시)의 꼬임을 방지할 수 있고, 연결라인의 사용 수명을 연장할 수 있다.
It is possible to prevent the twist of the connecting line (not shown) in the reversing operation of the substrate 100 through the above-described twist portion 13, and to extend the service life of the connecting line.

핀형지지부(20)는 반전바디부(10) 또는 반전축부(12)에 결합된다. 그리고, 바형지지부(60)는 기판(100)을 중심으로 핀형지지부(20)와 마주보도록 이격 배치된다. 핀형지지부(20)가 반전바디부(10)에 결합되는 경우, 후술하는 바형지지부(60)는 핀형지지부(20)와 마주보는 위치에서 반전바디부(10) 또는 반전축부(12)에 결합될 수 있다. 또한, 핀형지지부(20)가 반전축부(12)에 결합되는 경우, 후술하는 바형지지부(60)는 핀형지지부(20)와 마주보는 위치에서 반전바디부(10)에 결합될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서는 핀형지지부(20)가 반전바디부(10)에 결합되고, 바형지지부(60)가 반전축부(12)에 결합된 것에 대하여 설명한다.The pin-shaped support portion 20 is coupled to the reversing body portion 10 or the inverting shaft portion 12. [ The bar-shaped support portion 60 is disposed so as to face the pin-shaped support portion 20 with the substrate 100 as a center. When the pin-shaped support portion 20 is coupled to the inverted body portion 10, the bar-shaped support portion 60 described later is inserted into the inverted body portion 10 or the inverted shaft portion 12 at a position facing the pin- Can be combined. When the pin-shaped support portion 20 is coupled to the inverted shaft portion 12, a bar-shaped support portion 60 to be described later can be coupled to the inverted body portion 10 at a position facing the pin- The pin support portion 20 is coupled to the inverting body portion 10 and the bar supporting portion 60 is coupled to the inverting shaft portion 12 in the embodiment of the present invention.

핀형지지부(20)는 종횡으로 이격 배치되는 흡착유닛(23) 또는 지지유닛(32)이 포함된다. The fin-shaped supporting portion 20 includes a suction unit 23 or a supporting unit 32 which are vertically and horizontally spaced apart.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치에서 핀형지지부를 도시한 도면으로서, 도 3과 도 4 그리고 도 5를 참조하면, 핀형지지부(20)는 반전바디부(10)에 구비되어 기판(100)을 지지한다. 핀형지지부(20)는 안착바디부(21)와, 안착프레임부(22)와, 흡착유닛(23)을 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 3, 4 and 5, the pin-shaped support portion 20 is connected to the inverted body portion 10, So as to support the substrate 100. The pin-shaped support portion 20 may include a seating body portion 21, a seating frame portion 22, and a suction unit 23. [

안착바디부(21)는 반전바디부(10)에 결합된다. 안착바디부(21)는 흡착유닛(23)를 배치하기 위한 기초틀로써, 종횡으로 배열되는 프레임의 결합으로 이루어질 수 있다.The seating body 21 is coupled to the inverting body 10. The seat body 21 may be a frame for arranging the suction unit 23, and may be composed of frames arranged longitudinally and laterally.

안착프레임부(22)는 안착바디부(21)에서 돌출되어 종횡으로 이격 배치된다. 안착프레임부(22)는 다수 개가 안착바디부(21)에 등간격으로 배치됨으로써, 흡착유닛(23)의 배치를 원활하게 할 수 있다. 이때, 안착프레임부(22)는 중공 관 형상으로 구비되어 흡착유닛(23)과 연통되도록 할 수 있다.The seat frame part 22 protrudes from the seat body 21 and is spaced longitudinally and laterally. A plurality of the seat frame portions 22 are arranged at equal intervals in the seating body portion 21, so that the arrangement of the suction unit 23 can be made smooth. At this time, the seating frame part 22 is provided in the shape of a hollow tube so as to communicate with the absorption unit 23.

흡착유닛(23)은 흡착력에 의해 기판(100)을 흡착 지지하도록 안착프레임부(22)에 결합된다. 흡착유닛(23)은 안착프레임부(22)에 이격 배치되어 기판(100)을 흡착 지지한다. 흡착유닛(23)은 흡착력에 의해 기판(100)을 흡착 지지함으로써, 기판(100)을 반전시킬 때, 흡착유닛(23)에서 기판(100)이 분리 또는 이탈되는 것을 방지할 수 있다.The absorption unit 23 is coupled to the seating frame unit 22 to attract and support the substrate 100 by the attraction force. The adsorption unit 23 is disposed apart from the seating frame unit 22 to adsorb and support the substrate 100. The suction unit 23 can prevent the substrate 100 from being detached or separated from the suction unit 23 when the substrate 100 is inverted by sucking and supporting the substrate 100 by the suction force.

흡착유닛(23)은 안착프레임부(22)에 고정되어 기판(100)에 흡착력을 전달하는 중공의 흡착관부(231)와, 흡착관부(231)의 단부에 구비되어 전달되는 흡착력에 의해 기판(100)을 흡착 지지하는 흡착판부(232)를 포함하고, 다수 개의 흡착관부(231)를 상호 연결하여 흡착력을 분배 전달하는 분배라인부(233)를 더 포함할 수 있다.The adsorption unit 23 includes a hollow adsorption tube portion 231 fixed to the seating frame portion 22 for transmitting the adsorption force to the substrate 100 and a hollow adsorption tube portion 231 formed at the end of the adsorption tube portion 231, And a dispensing line unit 233 that connects the plurality of suction tube units 231 to each other and distributes the suction force.

여기서, 흡착판부(232)의 중심은 중공의 흡착관부(231)와 연통되도록 관통 형성되고, 기판(100)이 지지되는 흡착판부(232)의 일측면에는 중심으로부터 방사상으로 길게 형성되는 흡착홈부(미도시)가 함몰 형성됨으로써, 기판(100)의 흡착력을 안정화시키고, 흡착력에 의해 기판(100)이 변형되거나 제1기판부(101) 또는 제2기판부(102)에서 씰부(103)가 분리되는 것을 방지하며, 기판(100)에 얼룩이 생기는 것을 방지할 수 있다.The center of the attracting plate portion 232 is formed so as to communicate with the hollow attracting tube portion 231 and is formed on one side of the attracting plate portion 232 on which the substrate 100 is supported, The suction force of the substrate 100 is stabilized and the substrate 100 is deformed by the suction force or the seal portion 103 is separated from the first substrate portion 101 or the second substrate portion 102 And it is possible to prevent the substrate 100 from being stained.

또한, 흡착관부(231)는 중공 관 형상의 안착프레임부(22)에 연결되고, 분배라인부(233)는 안착프레임부(22)에 연결됨에 따라 안정된 흡착력을 흡착판부(232)에 전달할 수 있다.The adsorption tube portion 231 is connected to the seating frame portion 22 in the shape of a hollow tube and the distribution line portion 233 is connected to the seating frame portion 22 so that a stable adsorption force can be transmitted to the adsorption plate portion 232 have.

핀형지지부(20)를 통해 기판(100)이 가압됨에 따라 핀형지지부(20)에서 기판(100)의 흡착 지지력을 향상시키고, 기판(100)의 반전 동작에서 기판(100)의 미끄러짐 또는 기판(100)의 분리를 방지할 수 있다.As the substrate 100 is pressed through the pin-shaped support portion 20, the attraction force of the substrate 100 to the pin-shaped support portion 20 is improved and the slip of the substrate 100 in the reverse operation of the substrate 100, (100) can be prevented from being separated.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치에서 핀형지지부의 변형예를 도시한 도면으로써, 도 3과 도 4 그리고 도 6을 참조하면, 핀형지지부(20)는 반전바디부(10)에 구비되어 기판(100)을 지지한다. 핀형지지부(20)는 지지바디부(31)와, 설치돌부(34)와, 지지유닛(32)을 포함할 수 있다.3, 4, and 6, the pin-shaped support portion 20 includes an inverted body portion (not shown). The inverted body portion 10 to support the substrate 100. The pin-shaped support portion 20 may include a support body portion 31, a mounting projection portion 34, and a support unit 32. [

지지바디부(31)는 반전바디부(10)에 결합된다. 지지바디부(31)는 지지유닛(32)을 배치하기 위한 기초틀로써, 종횡으로 배열되는 프레임의 결합으로 이루어질 수 있다.The supporting body part (31) is coupled to the reversing body part (10). The supporting body portion 31 may be formed as a frame for arranging the supporting unit 32, and may be a combination of frames arranged longitudinally and laterally.

설치돌부(34)는 다수 개가 지지바디부(31)에 결합된다. 설치돌부(34)는 지지바디부(31)에서 돌출되어 종횡으로 이격 배치된다. 설치돌부(34)는 상술한 안착프레임부(22)와 같이 다수 개가 지지바디부(31)에 이격 배치됨으로써, 지지유닛(32)의 배치를 원활하게 할 수 있다.A plurality of mounting protrusions (34) are coupled to the support body part (31). The mounting protrusions 34 protrude from the support body 31 and are spaced longitudinally and laterally. A plurality of mounting projections 34 are arranged on the support body portion 31 in a spaced manner as in the above-described seating frame portion 22, thereby facilitating the arrangement of the support units 32. [

지지유닛(32)은 탄성력에 의해 기판(100)을 탄성 지지하도록 설치돌부(34)에 결합된다. 지지유닛(32)은 설치돌부(34)에 결합되어 기판(100)을 지지할 수 있다. 지지유닛(32)은 지지패드부(323)와, 충격흡수부(325)를 포함하고, 길이조절부(327)를 더 포함할 수 있다.The supporting unit 32 is coupled to the mounting projecting portion 34 to elastically support the substrate 100 by an elastic force. The support unit 32 may be coupled to the mounting protrusion 34 to support the substrate 100. The support unit 32 may further include a support pad portion 323 and an impact absorption portion 325 and may further include a length adjustment portion 327. [

지지패드부(323)는 설치돌부(34)에 결합된다. 지지패드부(323)는 단부에 탄성 변형이 가능한 탄성패드(324)가 구비됨으로서, 지지패드부(323)가 기판(100)에 접촉될 때, 기판(100)에 가해지는 충격을 완화하고, 기판(100)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.The supporting pad portion 323 is engaged with the mounting projection portion 34. The support pad portion 323 is provided with an elastic pad 324 capable of elastically deforming at an end portion thereof so that the impact applied to the substrate 100 is alleviated when the support pad portion 323 contacts the substrate 100, It is possible to prevent the substrate 100 from being broken.

충격흡수부(325)는 설치돌부(34)에 구비되어 지지패드부(323)를 탄성 지지한다. 충격흡수부(325)는 지지패드부(323)에 가해지는 힘에 따라 탄성 변형되면서 지지패드부(323)에 가해지는 충격을 흡수할 수 있고, 지지패드부(323)와 기판(100)의 접속 상태를 안정되게 유지시킬 수 있다.The shock absorbing part 325 is provided on the mounting projection part 34 to elastically support the support pad part 323. The shock absorbing portion 325 is elastically deformed in accordance with the force applied to the support pad portion 323 and can absorb an impact applied to the support pad portion 323, The connection state can be stably maintained.

길이조절부(327)는 설치돌부(34) 또는 충격흡수부(325)에 구비되어 지지패드부(323)의 돌출 길이를 조절한다. 지지패드부(323)가 기판(100)을 지지할 때, 길이조절부(327)를 통해 지지패드부(323)의 돌출 길이를 조절함으로써, 지지패드부(323)와 기판(100)이 이격되는 것을 방지하고, 기판(100)의 처짐과 기판(100)의 출렁임을 방지할 수 있다.The length adjusting portion 327 is provided on the mounting protrusion 34 or the shock absorbing portion 325 to adjust the protruding length of the supporting pad portion 323. The protruding length of the support pad portion 323 is adjusted through the length adjusting portion 327 when the support pad portion 323 supports the substrate 100 so that the support pad portion 323 and the substrate 100 are spaced apart from each other It is possible to prevent the substrate 100 from sagging and the substrate 100 from being swollen.

바형지지부(60)는 가압력에 의해 면접촉으로 변경되면서 기판(100)에 밀착되는 가압바유닛(63)이 포함된다. 바형지지부(60)는 가압력에 의해 선접촉에서 면접촉으로 변경될 수 있다.The bar-shaped support portion 60 includes a pressure bar unit 63 which is brought into close contact with the substrate 100 while being changed into surface contact by a pressing force. The bar-shaped support portion 60 can be changed from a line contact to a surface contact by a pressing force.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치에서 바형지지부을 도시한 도면이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치에서 가압바유닛의 결합 상태를 도시한 사시도이며, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치에서 바형지지부의 변형예를 도시한 도면이다.FIG. 7 is a view showing a bar support unit in the substrate reversing apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 8 is a perspective view showing a state in which the pressure bar unit is engaged in the substrate reversing apparatus according to an embodiment of the present invention, 9 is a view showing a modified example of the bar supporting portion in the substrate reversing device according to the embodiment of the present invention.

도 3과 도 4 그리고 도 7 내지 도 9를 참조하면, 바형지지부(60)는 반전축부(12)에 구비되어 기판(100)을 지지한다. 바형지지부(60)는 바형바디부(61)와, 이격프레임부(62)와, 가압바유닛(63)을 포함할 수 있다.3, 4 and 7 to 9, the bar supporting portion 60 is provided on the inverting shaft portion 12 to support the substrate 100. As shown in FIG. The bar-shaped support portion 60 may include a bar-shaped body portion 61, a spacing frame portion 62, and a pressure bar unit 63.

바형바디부(61)는 반전축부(12)에 결합된다. 바형바디부(61)는 가압바유닛(63)을 배치하기 위한 기초틀로써, 종횡으로 배열되는 프레임의 결합으로 이루어질 수 있다.The bar-shaped body portion 61 is coupled to the inverting shaft portion 12. The bar body 61 may be formed as a base frame for arranging the pressure bar unit 63, and may be a combination of frames arranged longitudinally and laterally.

이격프레임부(62)는 바형바디부(61)에서 상호 평행하기 돌출된다. 이격프레임부(62)는 이격바(623)와 설치바(624)를 포함하고, 고정바(621)를 더 포함하며, 고정브라켓부(622)를 더 포함할 수 있다. 이격바(623)는 바형바디부(61)에서 종횡으로 돌출된다. 이격바(623)는 다수 개가 바형바디부(61)에서 이격 배치됨으로써, 가압바유닛(63)의 배치를 원활하게 할 수 있다. 설치바(624)는 가압바유닛(63)의 길이 방향을 따라 이격바(623)를 연결 고정시킨다. 설치바(624)에는 후술하는 탄성고정부(64)가 결합된다. 여기서 설치바(624)에는 고정홈부(625)와 고정턱부(626)가 포함될 수 있다. 고정턱부(626)는 후술하는 탄성고정부(64)가 삽입 지지된다. 고정턱부(626)는 후술하는 탄성바디부(641)와 탄성날개부(643)가 삽입 지지될 수 있다. 고정턱부(626)는 후술하는 탄성고정부(64)의 삽입 상태를 유지시킨다. 고정턱부(626)는 고정홈부(625)에서 돌출 형성된다. 고정턱부(626)는 후술하는 탄성날개부(643)가 고정홈부(625)에 삽입된 상태에서 걸림 결합된다.The spacing frame portions 62 project parallel to each other at the bar-shaped body portion 61. The spacing frame portion 62 includes a spacing bar 623 and a mounting bar 624 and further includes a fixing bar 621 and may further include a fixing bracket portion 622. [ The spacing bars 623 project longitudinally and laterally from the bar-shaped body portion 61. The plurality of spacing bars 623 are spaced apart from the bar-shaped body portion 61, so that the arrangement of the pressure bar units 63 can be facilitated. The installation bar 624 connects and secures the spacing bars 623 along the longitudinal direction of the pressure bar unit 63. An elastic fixing portion 64, which will be described later, is coupled to the mounting bar 624. [ The mounting bar 624 may include a fixing groove portion 625 and a fixing jaw portion 626. The fixed jaw portion 626 is inserted and supported by an elastic fixing portion 64 to be described later. The fixed jaw portion 626 can be inserted and supported by the elastic body portion 641 and the elastic wing portion 643, which will be described later. The fixed jaw portion 626 maintains the inserted state of the elastic fixing portion 64, which will be described later. The fixed jaw portion 626 is protruded from the fixed groove portion 625. The fixed jaw portion 626 is engaged with the elastic wing portion 643, which will be described later, in a state where the elastic wing portion 643 is inserted into the fixing groove portion 625.

이격프레임부(62)는 도시되지 않았지만, 상술한 충격흡수(325)를 더 포함할 수 있고, 상술한 길이조절부(327)를 더 포함할 수 있다.Although not shown, the spacing frame portion 62 may further include the above-described shock absorber 325, and may further include the length adjuster 327 described above.

충격흡수부(325)는 이격바(623)에 구비되어 설치바(624)를 탄성 지지한다. 충격흡수부(325)는 설치바(624)에 가해지는 힘에 따라 탄성 변형되면서 설치바(624)에 가해지는 충격을 흡수할 수 있고, 가압바유닛(63)과 기판(100)의 접속 상태를 안정되게 유지시킬 수 있다.The impact absorbing portion 325 is provided on the spacing bar 623 to elastically support the mounting bar 624. The impact absorbing portion 325 is elastically deformed in accordance with the force applied to the mounting bar 624 to absorb the impact applied to the mounting bar 624 and the connection state between the pressure bar unit 63 and the substrate 100 Can be stably maintained.

길이조절부(327)는 이격바(623) 또는 충격흡수부(325)에 구비되어 설치바(624)의 평행도를 조절한다. 길이조절부(327)는 기판(100)에 대하여 가압바유닛(63)이 평행하도록 이격바(623)의 돌출 길이를 조절할 수 있다. 가압바유닛(63)이 기판(100)을 지지할 때, 길이조절부(327)를 통해 이격바(623)의 돌출 길이 또는 설치바(624)의 평행도를 조절함으로써, 가압바유닛(63)과 기판(100)이 이격되는 것을 방지하고, 가압바유닛(63)이 균일하게 기판(100)에 밀착될 수 있다.The length adjusting portion 327 is provided on the spacing bar 623 or the impact absorbing portion 325 to adjust the parallelism of the mounting bar 624. The length adjusting portion 327 can adjust the protruding length of the spacing bar 623 so that the pressing bar unit 63 is parallel to the substrate 100. [ The pressing bar unit 63 is adjusted by adjusting the protruding length of the spacing bar 623 or the parallelism of the mounting bar 624 through the length adjusting portion 327 when the pressing bar unit 63 supports the substrate 100. [ And the pressure bar unit 63 can be uniformly adhered to the substrate 100. In addition,

고정바(621)는 설치바와 평행하도록 바형바디부(61)에 결합된다. 고정바(621)에는 이격바(623)가 배치됨으로써, 이격프레임부(62)를 모듈화하여 바형바디부(61)에 배치할 수 있다. 고정브라켓부(622)는 바형바디부(61)에서 고정바(621)를 고정시킨다. 고정브라켓부(622)는 "ㄱ" 형상의 단면을 가지고 고정바(621)와 바형바디부(61)에 결합 고정될 수 있다.The fixed bar 621 is coupled to the bar-shaped body portion 61 so as to be parallel to the installation bar. The spacing bars 623 are disposed on the fixed bar 621 so that the spacing frame portions 62 can be modularized and disposed on the bar-shaped body portion 61. The fixing bracket portion 622 fixes the fixing bar 621 in the bar-shaped body portion 61. The fixing bracket portion 622 may have a cross-sectional shape and may be fixedly coupled to the fixed bar 621 and the bar-shaped body portion 61.

가압바유닛(63)은 가압력에 의해 면접촉으로 변경되면서 기판(100)에 밀착된다. 가압바유닛(63)은 이격프레임부(62)에 결합된다. 가압바유닛(63)은 가압력에 의해 선접촉에서 면접촉으로 변경될 수 있다. 가압바유닛(63)은 탄성가압부(65)와 탄성고정부(64)를 포함할 수 있다.The pressing bar unit 63 is brought into close contact with the substrate 100 while being changed into surface contact by a pressing force. The pressure bar unit 63 is coupled to the spacing frame portion 62. The pressure bar unit 63 can be changed from a line contact to a surface contact by a pressing force. The pressure bar unit 63 may include an elastic pressing portion 65 and an elastic fixing portion 64.

탄성가압부(65)는 가압력에 의해 면접촉으로 변경되면서 기판(100)에 밀착된다. 탄성가압부(65)는 원기둥 또는 타원기둥 형상으로 가압력에 의해 탄성 변형될 수 있다. 탄성가압부(65)는 가압력에 의해 선접촉에서 면접촉으로 변경될 수 있다. 탄성가압부(65)는 탄성고정부(64)에서 연장되는 한 쌍의 응력분산부(653)와, 기판(100)에 밀착되도록 기설정된 곡률을 가지고 한 쌍의 응력분산부(653) 양단부를 연결하는 밀착변형부(652)를 포함할 수 있다. 이때, 탄성가압부(65)에는 분산홀부(651)가 중심을 관통한다. 분산홀부(651)는 응력분산부(653)와 밀착변형부(652)에 의해 탄성가압부(65)의 중심을 관통한다.The elastic pressing portion 65 is brought into close contact with the substrate 100 while being changed into surface contact by a pressing force. The elastic pressing portion 65 can be elastically deformed by a pressing force in the form of a cylinder or an elliptic column. The elastic pressing portion 65 can be changed from a line contact to a surface contact by a pressing force. The elastic pressing portion 65 has a pair of stress dispersing portions 653 extending from the elastic fixing portion 64 and a pair of stress dispersing portions 653 having predetermined curvatures so as to be in close contact with the substrate 100 And may include a tightly deforming portion 652 for connecting. At this time, the elastic pressing portion 65 penetrates the dispersion hole portion 651 at the center. The dispersion hole portion 651 passes through the center of the elastic pressing portion 65 by the stress dispersing portion 653 and the contact deforming portion 652.

여기서, 밀착변형부(652)는 응력분산부(653)보다 탄성 변형량이 크게 형성될 수 있다. 응력분산부(653)와 밀착변형부(652)는 동일 두께에 대하여 탄성 변형량을 달리 함으로써, 탄성가압부(65)가 기판(100)을 가압할 때, 밀착변형부(652)의 밀착 면적을 증대시키고, 응력분산부(653)가 밀착변형부(652)를 안정되게 탄성 지지할 수 있도록 한다.Here, the tightly deformed portion 652 may be formed to have a greater amount of elastic deformation than the stress dispersing portion 653. The stress distributing portion 653 and the tightly deforming portion 652 have different amounts of elastic deformation with respect to the same thickness so that when the elastic pressing portion 65 presses the substrate 100, So that the stress dispersing section 653 can stably and elastically support the contact deforming section 652.

또한, 밀착변형부(652)는 응력분산부(653)보다 작은 두께로 형성될 수 있다. 또한, 응력분산부(653)는 탄성고정부(64)에서 밀착변형부(652)로 갈수록 두께가 작아지도록 할 수 있다. 응력분산부(653)와 밀착변형부(652)는 동일 물질에 대하여 두께를 달리함으로써, 탄성가압부(65)가 기판(100)을 가압할 때, 밀착변형부(652)의 밀착 면적을 증대시키고, 응력분산부(653)가 밀착변형부(652)를 안정되게 탄성 지지할 수 있도록 한다. 또한, 탄성가압부(65)의 성형을 편리하게 하고, 탄성가압부(65)의 파손을 억제 또는 방지할 수 있다.Further, the tightly deformed portion 652 may be formed to have a smaller thickness than the stress dispersing portion 653. In addition, the thickness of the stress dispersing section 653 can be reduced from the elastic fixing section 64 to the close contact deforming section 652. The stress distributing portion 653 and the tightly deforming portion 652 have different thicknesses for the same material to increase the contact area of the tightly deformed portion 652 when the elastic pressing portion 65 presses the substrate 100 So that the stress dispersing section 653 can elastically support the contact deforming section 652 in a stable manner. Further, the elastic pressing portion 65 can be easily formed, and the breakage of the elastic pressing portion 65 can be suppressed or prevented.

탄성고정부(64)는 탄성가압부(65)의 길이 방향을 따라 탄성가압부(65)에 가압력을 전달한다. 탄성고정부(64)는 탄성가압부(65)의 둘레면에서 법선 방향으로 연장될 수 있다. 탄성고정부(64)는 탄성을 가지고 설치바(624)의 고정홈부(625)에 삽입 지지된다. 이때, 탄성고정부(64)에는 분산홀부(651)와 평행하도록 흡수홀부(642)가 중심을 관통할 수 있다. 탄성고정부(64)는 탄성가압부(65) 또는 응력분산부(653)와 동일한 재질로 이루어져 가압바유닛(63)의 성형을 편리하게 하고, 탄성가압부(65)의 파손을 억제 또는 방지할 수 있다. 탄성고정부(64)는 탄성가압부(65)에서 돌출 형성되는 탄성바디부(641)와, 탄성바디부(641)에서 교차되는 방향으로 돌출 형성되는 탄성날개부(643)를 포함할 수 있다. 이때, 흡수홀부(642)는 탄성바디부(641)의 중심을 관통할 수 있다.The elastic fixing part (64) transmits a pressing force to the elastic pressing part (65) along the longitudinal direction of the elastic pressing part (65). The elastic fixing part (64) can extend in the normal direction on the peripheral surface of the elastic pressing part (65). The elastic fixing portion 64 is inserted and supported in the fixing groove portion 625 of the mounting bar 624 with elasticity. At this time, the elastic fixing portion 64 can penetrate the center of the absorption hole portion 642 so as to be parallel to the dispersion hole portion 651. The elastic fixing portion 64 is made of the same material as the elastic pressing portion 65 or the stress dispersing portion 653 to facilitate the molding of the pressing bar unit 63 and to suppress or prevent breakage of the elastic pressing portion 65. [ can do. The elastic fixing portion 64 may include an elastic body portion 641 protruding from the elastic pressing portion 65 and an elastic wing portion 643 protruding in the direction intersecting the elastic body portion 641 . At this time, the absorbing hole portion 642 can penetrate the center of the elastic body portion 641.

흡수홀부(642)는 탄성바디부(641)의 탄성 변형에 따라 탄성바디부(641)의 단면적을 줄일 수 있고, 탄성바디부(641)가 탄성 변형되면서 고정홈부(625)에 용이하게 삽입되도록 한다. 흡수홀부(642)는 도 7에 도시된 바와 같이 분산홀부(651)와 분리될 수 있다. 또한, 흡수홀부(642)는 도 8에 도시된 바와 같이 분산홀부(651)와 연통될 수 있다. 흡수홀부(642)와 분산홀부(651)가 상호 연통되는 경우, 탄성바디부(641)를 고정홈부(625)에 용이하게 삽입되도록 할 수 있다. 더불어 분산홀부(651)와 연통된 흡수홀부(642)는 가압바유닛(63)이 기판(100)을 가압할 때, 응력분산부(653)와 연동하여 탄성바디부(641)에서 확장되는 효과를 나타내고, 고정홈부(625)에서 탄성바디부(641)의 고정 상태를 향상시킬 수 있다.The absorbing hole portion 642 can reduce the cross sectional area of the elastic body portion 641 in accordance with the elastic deformation of the elastic body portion 641 and allow the elastic body portion 641 to be elastically deformed to be easily inserted into the fixing groove portion 625 do. The absorption hole portion 642 can be separated from the dispersion hole portion 651 as shown in Fig. Further, the absorption hole portion 642 can communicate with the dispersion hole portion 651 as shown in Fig. The elastic body portion 641 can be easily inserted into the fixing groove portion 625 when the absorption hole portion 642 and the dispersion hole portion 651 are communicated with each other. The absorbing hole portion 642 communicated with the dispersion hole portion 651 has an effect of being extended in the elastic body portion 641 in cooperation with the stress dispersing portion 653 when the pressing bar unit 63 presses the substrate 100 And the fixing state of the elastic body portion 641 in the fixing groove portion 625 can be improved.

가압바유닛(63)은 밀착고정부(66)를 더 포함할 수 있다. 밀착고정부(66)는 탄성날개부(643)에서 이격되어 밀착홈부(661)가 형성되도록 탄성가압부(65)와 탄성바디부(641) 중 적어도 어느 하나에서 연장된다. 밀착고정부(66)를 더 포함함에 따라 밀착홈부(661)에는 고정턱부(626)가 삽입 지지됨으로써, 가압바유닛(63)과 설치바(624) 또는 가압바유닛(63)과 이격프레임부(62)의 결합력을 향상시키고, 이격프레임부(62) 또는 설치바(624)에서 가압바유닛(63)이 이탈 또는 분리되는 것을 방지할 수 있다.The pressure bar unit 63 may further include a tightly fixed portion 66. The tight fitting portion 66 extends from at least one of the elastic pressing portion 65 and the elastic body portion 641 so as to be spaced apart from the elastic wing portion 643 to form the contact groove portion 661. [ The fixing jaw portion 626 is inserted into and supported by the tight contact groove portion 661 so that the pressing bar unit 63 and the mounting bar 624 or the pressure bar unit 63 and the spacing frame portion It is possible to prevent the pressure bar unit 63 from being separated or separated from the spacing frame portion 62 or the mounting bar 624. [

가압바유닛(63)은 반전코팅부(67)를 더 포함할 수 있다. 반전코팅부(67)는 탄성가압부(65)와 탄성고정부(64) 중 적어도 탄성가압부(65)를 감싼다. 반전코팅부(67)는 탄성가압부(65)가 기판(100)을 가압할 때, 기판(100)의 표면에 얼룩(무라, むら)이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 반전코팅부(67)는 기판(100)이 반전될 때, 탄성가압부(65)에서 기판(100)이 미끄러지는 것을 방지할 수 있다. 또한, 반전코팅부(67)는 가압바유닛(63)이 기판(100)에서 분리될 때, 가압바유닛(63)을 따라 기판(100)의 이동 또는 출렁임이 이동되는 것을 방지할 수 있고, 기판(100)의 이동 또는 기판(100)의 출렁임으로 인한 기판(100)의 파손을 방지할 수 있다.The pressure bar unit 63 may further include an inversion coating unit 67. The inversion coating portion 67 surrounds at least the elastic pressing portion 65 of the elastic pressing portion 65 and the elastic fixing portion 64. The inversion coating portion 67 can prevent unevenness on the surface of the substrate 100 when the elastic pressing portion 65 presses the substrate 100. [ In addition, the reverse coating portion 67 can prevent the substrate 100 from slipping at the elastic pressing portion 65 when the substrate 100 is reversed. In addition, the reversal coating portion 67 can prevent the movement of the substrate 100 along the pressing bar unit 63 or the swirling movement thereof when the pressing bar unit 63 is separated from the substrate 100, It is possible to prevent the substrate 100 from being damaged due to the movement of the substrate 100 or the protrusion of the substrate 100.

상술한 핀형지지부(20)와 바형지지부(60)에 있어서, 가압바유닛(63)에서 중심을 지나는 가상의 직선은 흡착유닛(23)의 배치 방향에 따른 가상의 직선 또는 지지유닛(32)의 배치 방향에 따른 가상의 직선과 실질적으로 평행하게 배치된다. 또한, 가상의 직선들은 기판(100)에 수직인 가상의 평면에 모두 형성된다. 이에 따라 기판(100)에 가해지는 가압력이 의해 기판(100)이 휘어지거나 기판(100)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.
The imaginary line passing through the center of the pressing bar unit 63 in the pin-shaped support portion 20 and the bar-shaped support portion 60 described above is a virtual straight line or an imaginary straight line along the arrangement direction of the adsorption unit 23, And is arranged substantially parallel to an imaginary straight line along the arrangement direction of the antenna. In addition, imaginary straight lines are all formed in a virtual plane perpendicular to the substrate 100. Accordingly, it is possible to prevent the substrate 100 from being bent or the substrate 100 from being damaged by the pressing force applied to the substrate 100.

왕복구동부(40)는 기판(100)을 가압하도록 핀형지지부(20)와 바형지지부(60) 중 어느 하나를 왕복 이동시킨다. 여기서, 왕복구동부(40)의 배치 구조를 한정하는 것은 아니고, 핀형지지부(20) 또는 바형지지부(60)가 왕복 이동되도록 반전바디부(10)와, 반전축부(12)와, 핀형지지부(20)와, 바형지지부(60)와, 왕복구동부(40)를 다앙하게 배치할 수 있다. 일예로, 반전바디부(10)에 왕복구동부(40)가 결합되어 핀형지지부(20) 또는 바형지지부(60)를 왕복 이동시킬 수 있다. 또한, 반전축부(12)에 왕복구동부(40)가 결합되어 핀형지지부(20) 또는 바형지지부(60)를 왕복 이동시킬 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 왕복구동부(40)는 반전바디부(10)에 결합되어 핀형지지부(20)를 왕복 이동시키는 것으로 설명한다.The reciprocating driver 40 reciprocates one of the pin-shaped support portion 20 and the bar-shaped support portion 60 so as to press the substrate 100. In this case, the arrangement structure of the reciprocating drive unit 40 is not limited, and the inverted body unit 10, the inverted shaft unit 12, the pin-shaped support unit 60, The rod-shaped support portion 20, the bar-shaped support portion 60, and the reciprocating drive portion 40 can be arranged in a wide range. For example, the reciprocating drive unit 40 is coupled to the inverting body 10 to reciprocate the pin-shaped support unit 20 or the bar-shaped support unit 60. Further, the reciprocating drive portion 40 is coupled to the inverting shaft portion 12, so that the pin-shaped support portion 20 or the bar-shaped support portion 60 can reciprocate. In the embodiment of the present invention, the reciprocating drive unit 40 is described as being coupled to the reversing body unit 10 to reciprocate the pin-shaped support unit 20. [

도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치에서 왕복구동부의 주요 부분을 도시한 도면으로서, 도 3과 도 4 그리고 도 10을 참조하면, 왕복구동부(40)는 왕복모터부(41)와, 제1전환블럭(42)과, 제1전달스크류(43)와, 제3전환블럭(46)과, 왕복지지부(47)를 포함하고, 제2전환블럭(44)과, 제2전달스크류(45)를 더 포함하며, 왕복감지부(33)를 더 포함할 수 있다.3, 4, and 10, the reciprocating drive unit 40 includes a reciprocating motor unit 41, a reciprocating motor unit 41, A first switching block 42, a first transfer screw 43, a third switching block 46 and a reciprocating support portion 47, the second switching block 44, Further includes a screw (45), and may further include a round trip sensor (33).

왕복모터부(41)는 회전력을 발생시킨다. 왕복모터부(41)는 변위에 따라 회전수를 정밀하게 제어할 수 있는 것이 유리하다. 왕복모터부(41)는 반전바디부(10)에 안정되게 결합 고정될 수 있다.The reciprocating motor unit 41 generates rotational force. It is advantageous that the reciprocating motor unit 41 can precisely control the number of rotations in accordance with the displacement. The reciprocating motor portion 41 can be stably fixed to the reversing body portion 10.

제1전환블럭(42)은 왕복모터부(41)에 결합되어 왕복모터부(41)의 회전 방향을 전환시킨다. 일예로, 제1전환블럭(42)은 모듈박스 내에서 치합되는 베벨기어의 조립체로 구성될 수 있고, 왕복모터부(41)의 회전력을 정밀하게 전달 전환시킬 수 있다. 제1전환블럭(42)은 반전바디부(10)에 안정되게 결합 고정될 수 있다.The first switching block 42 is coupled to the reciprocating motor unit 41 to change the direction of rotation of the reciprocating motor unit 41. For example, the first conversion block 42 may be configured as an assembly of bevel gears meshed within the module box, and the rotational force of the reciprocating motor portion 41 can be precisely transferred and transferred. The first conversion block 42 can be stably fixed to the reversing body 10.

제1전달스크류(43)는 제1전환블럭(42)에 결합되어 제1전환블럭(42)의 회전력을 전달한다. 제1전달스크류(43)는 제1전환블럭(42)을 통해 전환된 회전력을 제2전환블럭(44) 또는 제3전환블럭(46)에 전달한다. 제1전달스크류(43)는 한 쌍이 제1전환블럭(42)의 양단부에 각각 구비되고, 제1전환블럭(42)의 회전력으로 동일한 방향으로 회전될 수 있다.The first transfer screw 43 is coupled to the first transfer block 42 to transfer the rotational force of the first transfer block 42. The first transfer screw 43 transfers the rotational force converted through the first switching block 42 to the second switching block 44 or the third switching block 46. The pair of first transmission screws 43 are provided at both ends of the first conversion block 42 and can be rotated in the same direction by the rotational force of the first conversion block 42.

제3전환블럭(46)은 반전바디부(10)에 구비되어 핀형지지부(20)를 왕복 이동시킨다. 제3전환블럭(46)은 제1전달스크류(43) 또는 제2전달스크류(45)를 통해 전달되는 회전력으로 왕복지지부(47)를 왕복 이동시킴으로써, 핀형지지부(20)를 왕복 이동시킬 수 있다. 일예로, 제3전환블럭(46)은 모듈박스 내에서 치합되는 랙피니언기어의 조립체로 구성될 수 있고, 왕복모터부(41)의 회전력을 정밀하게 전달 전환시킬 수 있다. 제3전환블럭(46)은 반전바디부(10)에 안정되게 결합 고정될 수 있다.The third switching block 46 is provided in the reversing body 10 to reciprocate the pin-shaped supporting portion 20. [ The third switching block 46 reciprocates the reciprocating support portion 47 with a rotational force transmitted through the first delivery screw 43 or the second delivery screw 45 to reciprocate the pin- have. For example, the third switching block 46 can be configured as an assembly of rack and pinion gear meshed in the module box, and can precisely transfer and change the rotational force of the reciprocating motor portion 41. And the third switching block 46 can be stably fixed to the reversing body 10.

왕복지지부(47)는 핀형지지부(20)에 결합되고, 제3전환블럭(46)의 회전력으로 왕복 이동된다. 왕복지지부(47)는 제3전환블럭(46)에 왕복 이동 가능하게 결합되고, 제3전환블럭(46)의 동작으로 왕복 이동됨으로써, 핀형지지부(20)가 왕복 이동되고, 핀형지지부(20)의 흡착유닛(23) 또는 지지유닛(32)이 기판(100)을 접촉 지지할 수 있다.The reciprocating support portion 47 is coupled to the pin-shaped support portion 20, and is reciprocated by the rotational force of the third switching block 46. The reciprocating support portion 47 is reciprocally coupled to the third switching block 46 and is reciprocated by the operation of the third switching block 46 so that the pin-shaped supporting portion 20 is reciprocated, The adsorption unit 23 or the support unit 32 of the substrate 20 can contact and support the substrate 100.

제2전환블럭(44)은 반전바디부(10)에 구비되어 제1전달스크류(43)의 회전 방향을 전환시킨다. 제2전환블럭(44)은 한 쌍의 제1전달스크류(43) 단부에 각각 결합된다. 일예로, 제2전환블럭(44)은 모듈박스 내에서 치합되는 베벨기어의 조립체로 구성될 수 있고, 왕복모터부(41)의 회전력을 정밀하게 전달 전환시킬 수 있다. 제2전환블럭(44)은 반전바디부(10)에 안정되게 결합 고정될 수 있다.The second switching block 44 is provided in the reversing body 10 to change the direction of rotation of the first delivery screw 43. The second switching block 44 is coupled to the ends of the pair of first delivery screws 43, respectively. For example, the second switching block 44 can be configured as an assembly of bevel gears meshing within the module box, and can precisely transfer and convert the rotational force of the reciprocating motor portion 41. [ The second switching block 44 can be stably fixed to the reversing body 10.

제2전달스크류(45)는 제2전환블럭(44)의 회전력을 제3전환블럭(46)에 전달한다. 제2전달스크류(45)는 제2전환블럭(44)을 통해 전환된 회전력을 제3전환블럭(46)에 전달한다. 제2전달스크류(45)는 한 쌍이 제2전환블럭(44)의 양단부에 각각 구비되고, 제2전환블럭(44)의 회전력으로 동일한 방향으로 회전될 수 있다.The second transfer screw 45 transfers the turning force of the second switching block 44 to the third switching block 46. The second transfer screw 45 transfers the rotational force converted through the second transfer block 44 to the third transfer block 46. The pair of second transmission screws 45 are provided at both ends of the second switching block 44 and can be rotated in the same direction by the rotational force of the second switching block 44.

왕복감지부(33)는 핀형지지부(20) 또는 바형지지부(60)가 기판(100)을 가압 지지할 때, 기판(100)의 가압 상태를 감지한다. 일예로, 왕복감지부(33)는 왕복구동부(40)에 의해 왕복 이동되는 안착바디부(21) 또는 지지바디부(31)의 위치를 감지함으로써, 기판(100)의 가압 상태를 감지할 수 있다.The round trip sensing portion 33 senses the pressing state of the substrate 100 when the pin-shaped supporting portion 20 or the bar-shaped supporting portion 60 presses and supports the substrate 100. For example, the reciprocation sensing unit 33 senses the pressing state of the substrate 100 by sensing the position of the seating body 21 or the supporting body 31 reciprocating by the reciprocating driving unit 40 have.

왕복감지부(33)는 왕복 이동되는 핀형지지부(20) 또는 바형지지부(60)의 왕복 이동 위치를 나타내는 왕복단자부(331)와, 왕복단자부(331)의 위치를 감지하는 왕복센싱부(332)를 포함할 수 있다. 왕복센싱부(332)는 왕복단자부(331)와의 접촉을 통해 왕복단자부(331)의 위치를 감지할 수 있다.The reciprocation sensing part 33 includes a reciprocating terminal part 331 indicating a reciprocating position of the reciprocating pin-shaped supporting part 20 or the bar supporting part 60, a reciprocating sensing part 332 sensing the position of the reciprocating terminal part 331, ). The reciprocating sensing part 332 can detect the position of the reciprocating terminal part 331 through contact with the reciprocating terminal part 331.

본 발명의 일 실시예에서 핀형지지부(20)가 기판(100)을 가압할 때, 기판(100)의 가압 상태를 조절할 수 있고, 기판(100)에 가해지는 충격을 완화시킬 수 있다.
In one embodiment of the present invention, when the pin-shaped supporting portion 20 presses the substrate 100, the pressing state of the substrate 100 can be adjusted, and the impact applied to the substrate 100 can be mitigated.

얼라인부(50)는 핀형지지부(20)와 바형지지부(60) 중 어느 하나에 안착된 기판(100)을 정렬한다. 여기서, 얼라인부(50)의 배치 구조를 한정하는 것은 아니고, 반전바디부(10)와, 반전축부(12)와, 핀형지지부(20)와, 바형지지부(60)와, 왕복구동부(40)와, 얼라인부(50)를 다양하게 배치할 수 있다. 일예로, 반전바디부(10) 또는 반전축부(12)에 얼라인부(50)가 결합되고, 얼라인부(50)에 핀형지지부(20) 또는 바형지지부(60)가 결합됨으로써, 얼라인부(50)가 핀형지지부(20) 또는 바형지지부(60)에 안착된 기판(100)을 정렬할 수 있다. 또한, 왕복구동부(40)에 얼라인부(50)가 결합되고, 얼라인부(50)에 핀형지지부(20) 또는 바형지지부(60)가 결합됨으로써, 얼라인부(50)가 핀형지지부(20) 또는 바형지지부(60)에 안착된 기판(100)을 정렬할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 얼라인부(50)는 반전축부(12)에 결합되고, 바형지지부(50)가 얼라인부(50)에 결합됨으로써, 얼라인부(50)가 바형지지부(60)에 안착된 기판(100)을 정렬하는 것으로 설명한다.The alignment portion 50 aligns the substrate 100 that is seated on one of the pin-shaped support portion 20 and the bar-shaped support portion 60. The inverted shaft portion 12, the pin-shaped support portion 20, the bar-shaped support portion 60, and the reciprocating drive portion 40 (not shown) are not limited to the arrangement structure of the alignment portion 50, And the alignment portion 50 can be arranged in various ways. For example, the aligning portion 50 is coupled to the reversing body portion 10 or the inverting shaft portion 12, and the pin-shaped supporting portion 20 or the bar supporting portion 60 is engaged with the aligning portion 50, 50 can be aligned on the pin-shaped support 20 or on the bar-shaped support 60. The aligning portion 50 is engaged with the reciprocating drive portion 40 and the pin supporting portion 20 or the bar supporting portion 60 is engaged with the aligning portion 50 so that the aligning portion 50 is engaged with the pin- Or the substrate 100 seated on the bar-shaped support portion 60 can be aligned. In one embodiment of the present invention, the aligning portion 50 is coupled to the inverting shaft portion 12 and the bar supporting portion 50 is coupled to the aligning portion 50 so that the aligning portion 50 is seated on the bar supporting portion 60 The substrate 100 is aligned.

도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치에서 얼라인부의 주요 부분을 도시한 도면이고, 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치에서 얼라인부와 기판의 관계를 도시한 도면이다.FIG. 11 is a view showing a main part of the alignment portion in the substrate reversing device according to the embodiment of the present invention, and FIG. 12 is a view showing the relationship between the alignment portion and the substrate in the substrate reversing device according to the embodiment of the present invention FIG.

도 3과 도 4 그리고 도 11과 도 12를 참조하면, 얼라인부(50)는 바형지지부(60)에 안착된 기판(100)을 정렬한다. 얼라인부(50)는 수평 방향에서 제1방향과 제1방향에 수직인 제2방향으로 기판(100)을 이동시키거나 기판(100)을 평면 상태에서 회전시킬 수 있다.Referring to FIGS. 3, 4, 11 and 12, the aligning portion 50 aligns the substrate 100 seated on the bar supporting portion 60. The alignment portion 50 may move the substrate 100 in a first direction in a horizontal direction and in a second direction perpendicular to the first direction or may rotate the substrate 100 in a planar state.

얼라인부(50)는 하판부(51)와, 상판부(52)와, 제1작동부(53)와, 제2작동부(54)와, 제3작동부(55)와, 세 개의 기판감지부(56, 57, 58)를 포함하고, 작동지지부(59)를 더 포함할 수 있다.The alignment section 50 includes a lower plate section 51, an upper plate section 52, a first actuating section 53, a second actuating section 54, a third actuating section 55, And may further include an operation support portion 59. The operation support portion 59 may be formed of a flexible material.

하판부(51)는 반전축부(12)에 결합된다. 상판부(52)는 하판부(51)와 마주보도록 이격 배치된다. 상판부(52)는 바형바디부(60)에 결합된다.The lower plate portion 51 is coupled to the inverting shaft portion 12. The upper plate portion 52 is spaced apart from the lower plate portion 51 so as to face the lower plate portion 51. The upper plate portion 52 is coupled to the bar-shaped body portion 60.

제1작동부(53)는 하판부(51)에 결합되고, 상판부(52)를 제1방향으로 왕복 이동시킨다. 제2작동부(54)는 제1작동부(53)에서 이격되어 하판부(51)에 결합되고, 상판부(52)를 제1방향과 평행한 방향으로 왕복 이동시킨다. 제3작동부(55)는 제1작동부(53)와 제2작동부(54)에서 이격되어 하판부(51)에 결합되고, 상판부(52)를 제1방향에 수직인 제2방향으로 왕복 이동시킨다.The first actuating part 53 is coupled to the lower plate part 51 and reciprocates the upper plate part 52 in the first direction. The second actuating part 54 is separated from the first actuating part 53 and coupled to the lower plate part 51 to reciprocate the upper plate part 52 in a direction parallel to the first direction. The third actuating part 55 is separated from the first actuating part 53 and the second actuating part 54 and is coupled to the lower plate part 51. The upper end of the upper plate part 52 is moved in the second direction perpendicular to the first direction Reciprocating.

여기서, 제1작동부(53) 내지 제3작동부(55)는 각각 작동모터부(551)와, 제1가이드(553)와, 제2가이드(554)와, 작동감지부(556)를 포함하고, 회전볼부(555)를 더 포함할 수 있다.The first actuating part 53 to the third actuating part 55 may include an actuating motor part 551, a first guide 553, a second guide 554 and an operation sensing part 556 And may further include a rotation ball portion 555.

작동모터부(551)는 왕복 이동량에 따라 작동스크류(552)를 회전시킨다. 작동모터부(551)는 작동스크류(552)를 회전시키기 위한 회전력을 발생시킨다. 작동모터부(551)는 변위에 따라 회전수를 정밀하게 제어할 수 있는 것이 유리하다. 제1가이드(553)는 작동스크류(552)에 왕복 이동 가능하게 결합된다. 제2가이드(554)는 제1가이드(553)에 왕복 이동 가능하게 결합된다. 제2가이드(554)는 하판부(51)와 상판부(52) 중 적어도 하나에 구비될 수 있다. 작동감지부(556)는 제1가이드(553)의 왕복 이동 한계를 설정한다. 작동감지부(556)는 작동모터부(551)에 의해 왕복 이동되는 제1가이드(553)의 위치를 감지함으로써, 제1가이드(553)의 왕복 이동 한계를 설정한다. 작동감지부(556)는 제1가이드(553)의 왕복 이동 위치를 나타내는 작동단자부(557)와, 작동단자부(557)와의 접촉을 통해 작동단자부(557)의 위치를 감지하는 작동센싱부(558)를 포함함으로써, 안착된 기판(100)의 왕복 이동량과 평면 상태에서의 기판(100) 회전량을 제한하고, 기판(100)을 정렬할 때, 기판(100)이 반전바디부(10) 또는 본체(A)에 충돌되는 것을 방지하며, 기판(100)을 보호할 수 있다.The operation motor unit 551 rotates the operation screw 552 in accordance with the reciprocating movement amount. The operation motor unit 551 generates a rotational force for rotating the actuation screw 552. It is advantageous that the operating motor section 551 can precisely control the number of rotations in accordance with the displacement. The first guide 553 is reciprocally coupled to the operating screw 552. The second guide 554 is coupled to the first guide 553 so as to reciprocate. The second guide 554 may be provided on at least one of the lower plate portion 51 and the upper plate portion 52. The operation detecting unit 556 sets the reciprocating limit of the first guide 553. The operation detecting unit 556 detects the position of the first guide 553 that is reciprocated by the operation motor unit 551, thereby setting the reciprocating limit of the first guide 553. The operation sensing portion 556 includes an operation terminal portion 557 indicating the reciprocating position of the first guide 553 and an operation sensing portion 558 sensing the position of the operation terminal portion 557 through contact with the operation terminal portion 557 The amount of reciprocating movement of the mounted substrate 100 and the amount of rotation of the substrate 100 in a planar state are limited so that the substrate 100 can be moved to the inversion body 10 or It is possible to prevent the substrate 100 from colliding with the main body A, and to protect the substrate 100.

회전볼부(555)는 제1가이드(553)와 제2가이드(554) 사이에 회전 가능하게 결합된다. 회전볼부(555)는 제1작동부(53) 내지 제3작동부(55)의 연계 동작에서 기판(100)을 평면 상태에서 회전시킬 수 있다. 회전볼부(555)가 더 포함됨으로써, 안착된 기판(100)의 왕복 이동량과 평면 상태에서의 기판(100) 회전량을 용이하게 제한할 수 있다.The rotary ball portion 555 is rotatably coupled between the first guide 553 and the second guide 554. The rotation ball portion 555 can rotate the substrate 100 in a planar state in the linking operation of the first operating portion 53 to the third operating portion 55. [ By further including the rotating ball portion 555, it is possible to easily limit the amount of reciprocating movement of the substrate 100 on which the substrate 100 is mounted and the amount of rotation of the substrate 100 in a planar state.

일예로, 제2가이드(554)가 하판부(51)에 구비되는 경우, 제1가이드(553)는 상판부(52)에 구비되고, 회전볼부(555)가 제1가이드(553)와 제2가이드(554) 사이에 회전 가능하게 삽입됨으로써, 핀형지지부(20)에 안착된 기판(100)을 왕복 이동시키거나 기판(100)을 평면 상태에서 회전시킴으로써, 기판(100)을 안정되게 정렬할 수 있다.For example, when the second guide 554 is provided on the lower plate portion 51, the first guide 553 is provided on the upper plate portion 52, and the rotation ball portion 555 is provided on the first guide 553 and on the second The substrate 100 can be stably aligned by rotating the substrate 100 reciprocally or by rotating the substrate 100 in a planar state by being rotatably inserted between the guide 554 .

다른 예로, 제2가이드(554)가 상판부에 구비되는 경우, 제1가이드(553)는 하판부(51)에서 슬라이드 이동 가능하게 결합되거나 하판부(51)에서 이격 배치되고, 회전볼부(555)가 제1가이드(553)와 제2가이드(554) 사이에 회전 가능하게 삽입됨으로써, 핀형지지부(20)에 안착된 기판(100)을 왕복 이동시키거나 기판(100)을 평면 상태에서 회전시킴으로써, 기판(100)을 안정되게 정렬할 수 있다.The first guide 553 is slidably engaged with the lower plate portion 51 or spaced apart from the lower plate portion 51 and the rotation guide portion 555 is provided on the lower plate portion 51, Is rotatably inserted between the first guide 553 and the second guide 554 so that the substrate 100 mounted on the pin-shaped supporting portion 20 is reciprocated or the substrate 100 is rotated in a planar state , The substrate 100 can be stably aligned.

또 다른 예로, 제2가이드(554)가 하판부(51)와 상판부(52)에 모두 구비되는 경우, 제1가이드(553)는 한 쌍의 제2가이드(554) 사이에 구비될 수 있다. 이에 따라 핀형지지부(20)에 안착된 기판(100)을 왕복 이동시키거나 기판(100)을 평면 상태에서 회전시킴으로써, 기판(100)을 안정되게 정렬할 수 있다. 여기서, 제1가이드(553)와 제2가이드(554) 사이에는 회전볼부(555)가 회전 가능하게 삽입됨으로써, 기판(100)의 왕복 이동이나 기판(100)의 회전을 부드럽게 할 수 있다.As another example, when the second guide 554 is provided in both the lower plate portion 51 and the upper plate portion 52, the first guide 553 may be provided between the pair of second guides 554. [ Accordingly, the substrate 100 mounted on the pin-shaped supporting portion 20 is reciprocated or the substrate 100 is rotated in a planar state, whereby the substrate 100 can be stably aligned. Here, the rotation ball 555 is rotatably inserted between the first guide 553 and the second guide 554, so that the reciprocating movement of the substrate 100 and the rotation of the substrate 100 can be smooth.

기판감지부(56, 57, 58)는 제1작동부(53) 내지 제3작동부(55)에 대응하여 세 개가 구비되고, 제1작동부(53) 내지 제3작동부(55)의 왕복 이동량을 결정하기 위해 기판(100)의 안착 상태를 감지한다. 기판감지부(56, 57, 58)는 제1작동부(53)의 동작을 위해 기판(100)을 감지하는 제1기판감지부(56)와, 제2작동부(54)의 동작을 위해 기판(100)을 감지하는 제2기판감지부(57)와, 제3작동부(55)의 동작을 위해 기판(100)을 감지하는 제3기판감지부(58)로 구분할 수 있다. 기판감지부(56, 57, 58)는 기판(100)의 가장자리에 배치되는 포토센서로 구성되어 기판(100)의 안착 상태를 정밀하게 감지할 수 있다.Three substrate detecting portions 56, 57 and 58 corresponding to the first to third actuating portions 53 to 55 are provided and the first to third actuating portions 53 to 55 And senses the seating state of the substrate 100 to determine the amount of reciprocation. The substrate sensing units 56, 57 and 58 include a first substrate sensing unit 56 for sensing the substrate 100 for operation of the first operation unit 53 and a second substrate sensing unit 56 for sensing the operation of the second operation unit 54. [ A second substrate sensing part 57 sensing the substrate 100 and a third substrate sensing part 58 sensing the substrate 100 for the operation of the third operating part 55. The substrate sensing units 56, 57, and 58 may include a photosensor disposed at the edge of the substrate 100 to precisely detect the seating state of the substrate 100.

작동지지부(59)는 제1작동부(53) 내지 제3작동부(55)에서 이격되어 제1작동부(53) 내지 제3작동부(55)의 동작에 따라 제1방향 또는 제2방향으로 상판부(52)를 이동시킨다.The operation supporting portion 59 is spaced apart from the first operating portion 53 to the third operating portion 55 and moves in the first direction or the second direction 55 according to the operation of the first operating portion 53 to the third operating portion 55 The upper plate 52 is moved.

작동지지부(59)는 상술한 제1가이드(553)와 제2가이드(554)를 포함하고, 회전볼부(555)를 더 포함할 수 있다. 작동지지부(59)는 제1작동부(53) 내지 제3작동부(55)에서 작동모터부(551)와 작동감지부(556)가 생략된 구성을 통해 제1작동부(53) 내지 제3작동부(55)와 연계되어 하판부(51) 상에서 상판부(52)를 4점 지지하고, 기판(100)의 왕복 이동이나 기판(100)의 회전을 안정화시키며, 기판(100)의 정렬 동작을 부드럽게 할 수 있다.
The operation support portion 59 includes the first guide 553 and the second guide 554 described above and may further include a rotation ball portion 555. [ The operation supporting portion 59 is provided in the first operating portion 53 to the third operating portion 55 with the operation motor portion 551 and the operation sensing portion 556 omitted, 3 operation part 55 to support the upper plate part 52 at four points on the lower plate part 51 to stabilize the reciprocal movement of the substrate 100 and the rotation of the substrate 100, Can be softened.

지금부터는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치의 동작에 대하여 설명한다.The operation of the substrate inverting apparatus according to an embodiment of the present invention will now be described.

도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치의 동작 상태를 도시한 측면도으로써, 도 3 내지 도 13을 참조하면, 핀형지짖부(20)와 바형지지부(60)가 상호 이격된 상태에서 기판(100)이 투입되어 도 4에 도시된 바와 같이 핀형지지부(20)에 안착된다. 기판(100)이 안착된 상태에서 왕복구동부(40)가 동작됨에 따라 핀형지지부(20)는 바형지지부(60)를 향해 이동되고, 왕복감지부(33)의 감지 동작에 따라 기판(100)은 핀형지지부(20)와 바형지지부(60) 사이에서 가압 지지된다. 이때, 가압바유닛(63)에서 중심을 지나는 가상의 직선은 흡착유닛(23)의 배치 방향에 따른 가상의 직선 또는 지지유닛(32)의 배치 방향에 따른 가상의 직선과 실질적으로 평행하게 배치된다. 또한, 가상의 직선들은 기판(100)에 수직인 가상의 평면에 모두 형성된다. 이에 따라 기판(100)에 가해지는 가압력이 의해 기판(100)이 휘어지거나 기판(100)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.FIG. 13 is a side view showing an operation state of the substrate reversing apparatus according to an embodiment of the present invention. Referring to FIGS. 3 to 13, when the pin-type paper-making unit 20 and the bar-shaped supporting unit 60 are spaced apart from each other The substrate 100 is put into the pin-shaped support portion 20 as shown in FIG. The pin-shaped support portion 20 is moved toward the bar-shaped support portion 60 as the reciprocating drive portion 40 is operated while the substrate 100 is seated, Shaped support portion 20 and the bar-shaped support portion 60. As shown in Fig. At this time, an imaginary straight line passing through the center of the pressure bar unit 63 is arranged substantially parallel to an imaginary straight line in accordance with the placement direction of the absorption unit 23 or an imaginary straight line along the placement direction of the support unit 32 . In addition, imaginary straight lines are all formed in a virtual plane perpendicular to the substrate 100. Accordingly, it is possible to prevent the substrate 100 from being bent or the substrate 100 from being damaged by the pressing force applied to the substrate 100.

반전구동부(10)의 동작으로 기판(100)을 180도 회전시킨 다음, 왕복구동부(40)의 동작으로 바형지지부(60)에서 핀형지지부(20)가 이격된다. 이때, 얼라인부(50)를 동작시켜 기판(100)을 정렬한 다음, 기판(100)을 다음 공정으로 배출한다.The substrate 100 is rotated 180 degrees by the operation of the inversion driving unit 10 and then the pin shaped support unit 20 is separated from the bar supporting unit 60 by the operation of the reciprocating driving unit 40. At this time, the alignment section 50 is operated to align the substrate 100, and then the substrate 100 is discharged to the next process.

여기서, 기판(100)을 바형지지부(600)에 안착시키는 경우에는, 얼라인부(50)를 통해 기판(100)을 정렬한 다음, 기판(100)을 반전시켜야 한다. 이때, 상술한 가상의 직선들이 기판(100)에 수직인 가상의 평면에 형성되지 않을 수 있다.
Here, when the substrate 100 is placed on the bar-shaped support portion 600, the substrate 100 is aligned through the alignment portion 50, and then the substrate 100 is inverted. At this time, the virtual straight lines described above may not be formed in a virtual plane perpendicular to the substrate 100.

지금부터는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판반전장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, a substrate inverting apparatus according to another embodiment of the present invention will be described.

도 14는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판반전장치를 도시한 측면도이고, 도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판반전장치의 동작 상태를 도시한 측면도이다.FIG. 14 is a side view showing a substrate inverting apparatus according to another embodiment of the present invention, and FIG. 15 is a side view showing an operation state of the substrate inverting apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 14와 도 15를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판반전장치는 반전바디부(10)와, 반전축부(12)와, 핀형지지부(20)와, 바형지지부(60)와, 왕복구동부(40)를 포함하고, 얼라인부(50)를 더 포함할 수 있다.14 and 15, a substrate inverting apparatus according to another embodiment of the present invention includes an inverting body 10, an inverting shaft 12, a pin-shaped support 20, a bar support 60, And a reciprocating driving part 40, and may further include an aligning part 50.

본 발명의 다른 실시예에서는 한 쌍의 바형지지부(60)를 통해 기판(100)을 반전시키는 것이다.In another embodiment of the present invention, the substrate 100 is inverted through a pair of bar-like supports 60.

여기서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판반전장치에서 본원발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치와 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고, 이에 대한 설명은 생략한다.Here, in the substrate inverting apparatus according to another embodiment of the present invention, the same components as those of the substrate inverting apparatus according to an embodiment of the present invention are denoted by the same reference numerals, and a description thereof will be omitted.

다만, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판반전장치는 반전바디부(10)와, 반전축부(12)와, 왕복구동부(40)를 포함하고, 얼라인부(50)를 더 포함하는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전장치에서 한 쌍의 바형지지부(60)를 포함한다. 한 쌍의 바형지지부는 기판(100)을 중심으로 상호 마주보도록 이격 배치되고, 원기둥 또는 타원기둥 형상으로 이격 배치되는 가압바유닛(63)이 포함된다.However, the substrate inverting apparatus according to another embodiment of the present invention includes the inverting body portion 10, the inverting shaft portion 12, the reciprocating driving portion 40, and the alignment portion 50, And includes a pair of bar support portions 60 in the substrate reversal device according to one embodiment. The pair of bar-shaped supports include a pressure bar unit 63 spaced apart from each other with respect to the substrate 100 so as to face each other and spaced apart in a columnar or elliptical columnar shape.

본 발명의 다른 실시예에 따른 기판반전장치에서 바형지지부(60)는 본 발명의 일 실시예에 따른 바형지지부(60)와 동일한 구성으로 동일한 도면 부호를 부여하고, 이에 대한 설명은 생략한다. 이때, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판반전장치에서 한 쌍의 바형지지부(60)는 각각 왕복구동부(40)와 얼라인부(50)에 결합된다. 다시 말해, 왕복구동부(40)는 기판(100)을 가압하도록 한 쌍의 바형지지부(60) 중 어느 하나를 왕복 이동시킨다. 또한, 얼라인부(50)는 한 쌍의 바형지지부(60) 중 어느 하나에 안착된 기판(100)을 정렬한다.In the substrate reversing device according to another embodiment of the present invention, the bar supporting portion 60 has the same configuration as that of the bar supporting portion 60 according to the embodiment of the present invention, and the description thereof will be omitted. At this time, in the substrate reversing apparatus according to another embodiment of the present invention, the pair of bar supporting portions 60 are respectively coupled to the reciprocating driving portion 40 and the aligning portion 50. In other words, the reciprocating driver 40 reciprocates any one of the pair of bar-shaped supports 60 so as to press the substrate 100. In addition, the alignment portion 50 aligns the substrate 100 seated on any one of the pair of bar-shaped supports 60.

이때, 기판(100)을 중심으로 상호 마주보는 가압바유닛(63) 중 어느 하나에서 중심을 지나는 가상의 직선은 기판(100)을 중심으로 상호 마주보는 가압바유닛(63) 중 다른 하나에서 중심을 지나는 가상의 직선과 실질적으로 평행하게 배치된다. 또한, 가상의 직선들은 기판(100)에 수직인 가상의 평면에 모두 형성된다. 그러면, 기판(100)에 가해지는 가압력이 의해 기판(100)이 휘어지거나 기판(100)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.At this time, a hypothetical straight line passing through the center of one of the pressing bar units 63 facing each other with respect to the substrate 100 is shifted from the other one of the pressing bar units 63, And is disposed substantially parallel to the imaginary straight line passing through. In addition, imaginary straight lines are all formed in a virtual plane perpendicular to the substrate 100. Thus, it is possible to prevent the substrate 100 from being bent or the substrate 100 from being damaged by the pressing force applied to the substrate 100. [

상술한 기판반전장치에 따르면, 기판반전장치에서 면접촉을 통해 기판(100)을 안정되게 가압하여 파지할 수 있고, 기판(100)의 이송 동작이나 반전 동작에서 기판(100)의 유동을 억제 또는 방지할 수 있다. 또한, 왕복구동부(40)를 통한 기판(100)의 가압력을 최소화할 수 있고, 핀형지지부(20) 또는 바형지지부(60)를 통한 기판(100)의 가압 위치를 안정되게 조절할 수 있다. 또한, 기판(100)을 가압함에 있어서, 기판(100)에 균일한 가압력을 전달할 수 있고, 가압력의 불균형에 따라 기판(100)이 파손되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 합착된 기판(100)을 양측에서 가압 지지할 때, 합착된 기판(100) 사이에 구비된 씰부(103)가 기판(100)에서 분리(씰 터짐 현상)되는 것을 방지할 수 있다.According to the substrate inverting apparatus described above, the substrate 100 can be stably pressed and held through the surface contact in the substrate inverting apparatus, and the flow of the substrate 100 in the transporting operation or the reversing operation of the substrate 100 can be suppressed . In addition, the pressing force of the substrate 100 through the reciprocating driver 40 can be minimized, and the pressing position of the substrate 100 through the pin-shaped supporting portion 20 or the bar-shaped supporting portion 60 can be stably controlled. In addition, when the substrate 100 is pressed, a uniform pressing force can be transmitted to the substrate 100, and the substrate 100 can be prevented from being damaged due to the imbalance in pressing force. In addition, when the bonded substrate 100 is pressed and supported from both sides, it is possible to prevent the sealing portion 103 provided between the bonded substrates 100 from being separated from the substrate 100 (seal burst phenomenon).

또한, 가압바유닛(63)과 기판(100)의 면접촉을 용이하게 할 수 있다. 또한, 가압바유닛(63)에 가해지는 가압력을 안정되게 분산시키고, 가압바유닛(63)의 탄성 변형에 따른 응력을 안정되게 분산시킬 수 있다. 또한, 가압력에 따라 가압바유닛(63)에서 기판(100)과의 접촉 면적을 증대시킴은 물론 기판(100)이 이송되거나 반전되는 과정에서 기판(100)이 분리되는 것을 예방하고, 기판(100)의 파손을 방지할 수 있다. 또한, 바형지지부(60)에서 가압바유닛(63)이 안정되게 고정될 수 있도록 하고, 기판(100)의 반전 동작에 따라 바형지지부(60)에서 가압바유닛(63)이 분리되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 기판(100)의 가압력에 따라 바형지지부(60)에서 가압바유닛(63)의 결합력을 증대시키고, 가압바유닛(63)의 탈부착을 편리하게 할 수 있다. 또한, 바형지지부(60)에서 가압바유닛(63)의 유동을 최소화시키고, 기판(100)이 이송되거나 반전될 때, 기판(100)의 편평도를 안정되게 유지시킬 수 있다. 또한, 가압바유닛(63)이 기판(100)을 가압할 때, 기판(100)의 외형이 변형되는 것을 방지하고, 기판(100)의 표면에 얼룩(무라, むら)이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 가압바유닛(63)에 의한 기판(100)의 가압 여부에 따라 가압바유닛(63)과 기판(100)의 접착력을 억제 또는 방지할 수 있다. 또한, 기판(100)에서 가압바유닛(63)이 분리될 때, 가압바유닛(63)을 따라 기판(100)이 이동되는 것을 방지하고, 기판(100)의 반전을 용이하게 하며, 기판(100)의 출렁임(기판(100)이 요동치는 것)을 방지하고, 기판(100)의 출렁임에 의한 기판(100)의 파손을 방지할 수 있다.Further, the surface contact between the pressure bar unit 63 and the substrate 100 can be facilitated. Further, the pressing force applied to the pressing bar unit 63 can be stably dispersed, and the stress due to the elastic deformation of the pressing bar unit 63 can be stably dispersed. It is also possible to increase the contact area with the substrate 100 in the pressing bar unit 63 according to the pressing force and to prevent the substrate 100 from being separated during the process of transferring or reversing the substrate 100, Can be prevented from being damaged. The pressing bar unit 63 can be stably fixed in the bar supporting portion 60 and the pressing bar unit 63 can be prevented from being detached from the bar supporting portion 60 in accordance with the reversing operation of the substrate 100 . In addition, depending on the pressing force of the substrate 100, the bar supporting portion 60 can increase the coupling force of the pressing bar unit 63 and can facilitate attachment and detachment of the pressing bar unit 63. [ In addition, it is possible to minimize the flow of the pressure bar unit 63 in the bar-shaped support portion 60 and to maintain the flatness of the substrate 100 stably when the substrate 100 is conveyed or inverted. It is also possible to prevent deformation of the outer shape of the substrate 100 when the pressing bar unit 63 presses the substrate 100 and prevent unevenness on the surface of the substrate 100 . In addition, adhesion force between the pressure bar unit 63 and the substrate 100 can be suppressed or prevented depending on whether the substrate 100 is pressed by the pressure bar unit 63. Further, when the pressure bar unit 63 is detached from the substrate 100, the substrate 100 is prevented from moving along the pressure bar unit 63, the substrate 100 is easily reversed, It is possible to prevent the substrate 100 from being broken by the protrusion of the substrate 100. In addition,

또한, 기판(100)의 반전 동작에서 연결라인(미도시)의 꼬임을 방지할 수 있다. 또한, 연결라인(미도시)의 탈락, 분리, 이탈, 늘어짐, 단선, 피복 벗겨짐 등을 방지하며, 연결라인(미도시)의 사용 수명을 연장할 수 있다. 또한, 케이블베어 갈림 문제를 해결하고, 케이블베어에서 연결라인(미도시)이 이탈되는 것을 방지할 수 있다.Further, it is possible to prevent twisting of the connection line (not shown) in the reversing operation of the substrate 100. [ In addition, it is possible to prevent the connection line (not shown) from being separated, separated, separated, slacked, broken, peeling off, and the service life of the connection line (not shown). In addition, it is possible to solve the cable-burr problem and prevent the connection line (not shown) from being detached from the cable bear.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. I will understand.

따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.Accordingly, the true scope of protection of the present invention should be defined by the claims.

10: 반전바디부 11: 반전구동부 12: 반전축부
13: 비틀림부 14: 완충부 20: 핀형지지부
21: 안착바디부 22: 안착프레임부 23: 흡착유닛
231: 흡착관부 232: 흡착판부 233: 분배라인부
31: 지지바디부 32: 지지유닛 323: 지지패드부
324: 탄성패드 325: 충격흡수부 327: 길이조절부
34: 설치돌부 40: 왕복구동부 41: 왕복모터부
42: 제1전환블럭 43: 제1전달스크류 44: 제2전환블럭
45: 제2전달스크류 46: 제3전환블럭 47: 왕복지지부
33: 왕복감지부 331: 왕복단자부 332: 왕복센싱부
50: 얼라인부 51: 하판부 52: 상판부
53: 제1작동부 54: 제2작동부 55: 제3작동부
551: 작동모터부 552: 작동스크류 553: 제1가이드
554: 제2가이드 555: 회전돌부 556: 작동감지부
557: 작동단자부 558: 작동센싱부 56: 제1기판감지부
57: 제2기판감지부 58: 제3기판감지부 59: 작동지지부
60: 바형지지부 61: 바형바디부 62: 이격프레임부
621: 고정바 622: 고정브라켓부 623: 이격바
624: 설치바 625: 고정홈부 626: 고정턱부
63: 가압바유닛 64: 탄성고정부 641: 탄성바디부
642: 흡수홀부 643: 탄성날개부 65: 탄성가압부
651: 분산홀부 652: 밀착변형부 653: 응력분산부
66: 밀착고정부 661: 밀착홈부 67: 반전코팅부
A: 본체 100: 기판 101: 제1기판부
102: 제2기판부 103: 씰부 111: 적층부
112: 합착부 113: 코너컷부10: inverted body part 11: inverted driving part 12: inverted shaft part
13: twist portion 14: buffer portion 20: pin-
21: seat body 22: seat frame 23: suction unit
231: suction pipe section 232: suction plate section 233: distribution line section
31: support body part 32: support unit 323: support pad part
324: elastic pad 325: shock absorbing part 327: length adjusting part
34: mounting protrusion 40: reciprocating drive part 41: reciprocating motor part
42: first conversion block 43: first transmission screw 44: second conversion block
45: second delivery screw 46: third switching block 47: reciprocating support
33: Reciprocating sensing part 331: Reciprocating terminal part 332: Reciprocating sensing part
50: aligning portion 51: lower plate portion 52: upper plate portion
53: first operating portion 54: second operating portion 55: third operating portion
551: operating motor section 552: operating screw 553: first guide
554: second guide 555: rotating projection 556:
557: Operation terminal part 558: Operation sensing part 56: First substrate sensing part
57: second substrate sensing part 58: third substrate sensing part 59:
60: bar-shaped support part 61: bar-shaped body part 62:
621: Fixing bar 622: Fixing bracket part 623:
624: mounting bar 625: fixing groove portion 626: fixing jaw
63: pressure bar unit 64: elastic fixing part 641: elastic body part
642: absorbing hole portion 643: elastic wing portion 65: elastic pressing portion
651: dispersion hole portion 652: tightly deformed portion 653: stress dispersion portion
66: tight contact portion 661: tight contact groove 67: reverse coating portion
A: main body 100: substrate 101: first substrate portion
102: second substrate portion 103: seal portion 111: laminated portion
112: Adhesive portion 113: Corner cut portion

Claims (20)

정역회전을 위한 반전구동부에 회전 가능하게 결합되는 반전바디부;
상기 반전구동부가 결합되고, 상기 반전바디부에서 회전 중심을 형성하는 반전축부;
상기 반전바디부 또는 상기 반전축부에 결합되고, 종횡으로 이격 배치되는 흡착유닛 또는 지지유닛이 포함되는 핀형지지부;
기판을 중심으로 상기 핀형지지부와 마주보도록 이격 배치되고, 가압력에 의해 면접촉으로 변경되면서 기판에 밀착되는 가압바유닛이 포함되는 바형지지부; 및
기판을 가압하도록 상기 핀형지지부와 상기 바형지지부 중 어느 하나를 왕복 이동시키는 왕복구동부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.An inversion body rotatably coupled to an inversion driving unit for forward and reverse rotation;
A reversing shaft part coupled to the reversing driving part and forming a rotation center in the reversing body part;
A pin-shaped support portion coupled to the inverting body portion or the inverting shaft portion and including a suction unit or a support unit that is vertically and horizontally spaced apart;
A bar-shaped support portion disposed to face the fin-shaped support portion with respect to the substrate, the bar-shaped support portion including a pressure bar unit that is in contact with the substrate while being changed into surface contact by a pressing force; And
A reciprocating driver for reciprocating any one of the pin-shaped support and the bar-shaped support to press the substrate; And the substrate reversing device. 제1항에 있어서,
상기 핀형지지부와 상기 바형지지부 중 어느 하나에 안착된 기판을 정렬하는 얼라인부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.The method according to claim 1,
An aligning portion for aligning a substrate placed on one of the pin-shaped supporting portion and the bar-shaped supporting portion; Further comprising: a substrate holder for holding the substrate; 제1항에 있어서,
상기 가압바유닛에서 중심을 지나는 가상의 직선은, 상기 흡착유닛의 배치 방향에 따른 가상의 직선 또는 상기 지지유닛의 배치 방향에 따른 가상의 직선과 실질적으로 평행하게 배치되고,
상기 가상의 직선들은 기판에 수직인 가상의 평면에 형성되는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.The method according to claim 1,
The imaginary straight line passing through the center of the pressure bar unit is arranged substantially parallel to an imaginary straight line along the placement direction of the absorption unit or an imaginary straight line along the placement direction of the support unit,
Wherein the virtual straight lines are formed in a virtual plane perpendicular to the substrate. 제1항에 있어서,
상기 핀형지지부는,
안착바디부;
상기 안착바디부에서 돌출되어 종횡으로 이격 배치되는 안착프레임부; 및
흡착력에 의해 기판을 흡착 지지하도록 상기 안착프레임부에 결합되는 흡착유닛; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.The method according to claim 1,
The pin-
A seating body;
A seating frame portion projecting from the seating body portion and spaced apart from each other in the longitudinal direction and the lateral direction; And
An adsorption unit coupled to the seating frame part for adsorbing and supporting the substrate by an adsorption force; Wherein the substrate inverting apparatus comprises: 제1항에 있어서,
상기 핀형지지부는,
지지바디부;
상기 지지바디부에서 돌출되어 종횡으로 이격 배치되는 설치돌부; 및
탄성력에 의해 기판을 탄성 지지하도록 상기 설치돌부에 결합되는 지지유닛; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.The method according to claim 1,
The pin-
A support body portion;
A mounting protrusion protruding from the support body and spaced longitudinally and laterally; And
A supporting unit coupled to the mounting projection to elastically support the substrate by an elastic force; Wherein the substrate inverting apparatus comprises: 정역회전을 위한 반전구동부에 회전 가능하게 결합되는 반전바디부;
상기 반전구동부가 결합되고, 상기 반전바디부에서 회전 중심을 형성하는 반전축부;
기판을 중심으로 상호 마주보도록 이격 배치되고, 가압력에 의해 면접촉으로 변경되면서 기판에 밀착되는 가압바유닛이 포함되는 한 쌍의 바형지지부; 및
기판을 가압하도록 상기 한 쌍의 바형지지부 중 어느 하나를 왕복 이동시키는 왕복구동부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.An inversion body rotatably coupled to an inversion driving unit for forward and reverse rotation;
A reversing shaft part coupled to the reversing driving part and forming a rotation center in the reversing body part;
A pair of bar-shaped supporters spaced apart from each other with respect to the substrate, the bar-shaped supporter including a pressurizing bar unit that is in surface contact with the substrate and is in close contact with the substrate by a pressing force; And
A reciprocating driver for reciprocating any one of the pair of bar-shaped supports to press the substrate; And the substrate reversing device. 제6항에 있어서,
상기 한 쌍의 바형지지부 중 어느 하나에 안착된 기판을 정렬하는 얼라인부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.The method according to claim 6,
An aligning portion for aligning a substrate placed on one of the pair of bar supporting portions; Further comprising: a substrate holder for holding the substrate; 제6항에 있어서,
기판을 중심으로 상호 마주보는 가압바유닛 중 어느 하나에서 중심을 지나는 가상의 직선은, 기판을 중심으로 상호 마주보는 가압바유닛 중 다른 하나에서 중심을 지나는 가상의 직선과 실질적으로 평행하게 배치되고,
상기 가상의 직선들은 기판에 수직인 가상의 평면에 형성되는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.The method according to claim 6,
An imaginary straight line passing through the center of one of the pressing bar units opposed to each other with respect to the substrate is disposed substantially parallel to an imaginary straight line passing through the center of the other of the pressing bar units facing each other with respect to the substrate,
Wherein the virtual straight lines are formed in a virtual plane perpendicular to the substrate. 제2항 또는 제7항에 있어서,
상기 얼라인부는,
하판부;
상기 하판부와 마주보도록 이격 배치되는 상판부;
상기 하판부에 결합되고, 상기 상판부를 제1방향으로 왕복 이동시키는 제1작동부;
상기 제1작동부에서 이격되어 상기 하판부에 결합되고, 상기 상판부를 상기 제1방향과 평행한 방향으로 왕복 이동시키는 제2작동부;
상기 제1작동부와 상기 제2작동부에서 이격되어 상기 하판부에 결합되고, 상기 상판부를 상기 제1방향에 수직인 제2방향으로 왕복 이동시키는 제3작동부; 및
상기 제1작동부 내지 상기 제3작동부의 왕복 이동량을 결정하기 위해 상기 기판의 안착 상태를 감지하는 세 개의 기판감지부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.8. The method according to claim 2 or 7,
The aligning portion
Lower plate;
An upper plate part spaced apart from the lower plate part;
A first actuating part coupled to the lower plate part and reciprocating the upper plate part in a first direction;
A second actuating part spaced apart from the first actuating part and coupled to the lower plate part and reciprocating the upper plate part in a direction parallel to the first direction;
A third actuating part spaced apart from the first actuating part and the second actuating part and coupled to the lower plate part and reciprocating the upper plate part in a second direction perpendicular to the first direction; And
Three substrate sensing portions for sensing a seating state of the substrate to determine a reciprocating amount of the first operating portion to the third operating portion; And the substrate reversing device. 제9항에 있어서,
상기 얼라인부는,
상기 제1작동부 내지 상기 제3작동부에서 이격되어 상기 제1작동부 내지 상기 제3작동부의 동작에 따라 상기 제1방향 또는 상기 제2방향으로 상기 상판부를 이동시키는 작동지지부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.10. The method of claim 9,
The aligning portion
An operation support portion spaced apart from the first operation portion to the third operation portion and moving the upper plate portion in the first direction or the second direction according to the operation of the first operation portion and the third operation portion; Further comprising: a substrate holder for holding the substrate; 제9항에 있어서,
상기 제1작동부 내지 상기 제3작동부는,
왕복 이동량에 따라 작동스크류를 회전시키는 작동모터부;
상기 작동스크류에 왕복 이동 가능하게 결합되는 제1가이드;
상기 하판부와 상기 상판부 중 적어도 하나에 구비되고, 상기 제1가이드에 왕복 이동 가능하게 결합되는 제2가이드; 및
상기 제1가이드의 왕복 이동 한계를 설정하는 작동감지부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.10. The method of claim 9,
Wherein the first operation unit to the third operation unit comprises:
An operation motor unit for rotating the operation screw according to reciprocating movement amount;
A first guide reciprocally coupled to the operating screw;
A second guide provided on at least one of the lower plate portion and the upper plate portion and reciprocally coupled to the first guide; And
An operation sensing unit for setting a reciprocating movement limit of the first guide; And the substrate reversing device. 제11항에 있어서,
상기 제1작동부 내지 상기 제3작동부는,
상기 제1가이드와 상기 제2가이드 사이에 회전 가능하게 결합되는 회전볼부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.12. The method of claim 11,
Wherein the first operation unit to the third operation unit comprises:
A rotating ball portion rotatably coupled between the first guide and the second guide; Further comprising: a substrate holder for holding the substrate; 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 왕복구동부는,
왕복 이동을 위해 정역회전되는 왕복모터부;
상기 왕복모터부에 결합되어 상기 왕복모터부의 회전 방향을 전환시키는 제1전환블럭;
상기 제1전환블럭의 회전력을 전달하는 한 쌍의 제1전달스크류;
상기 제1전달스크류의 회전 방향을 전환시키는 제3전환블럭; 및
기판을 가압하도록 상기 제3전환블럭의 회전력으로 왕복 이동되는 왕복지지부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.9. The method according to any one of claims 1 to 8,
The reciprocating drive unit includes:
A reciprocating motor portion rotated forward and backward for reciprocating movement;
A first switching block coupled to the reciprocating motor portion to switch the rotational direction of the reciprocating motor portion;
A pair of first transmission screws for transmitting rotational force of the first switching block;
A third switching block for switching the rotation direction of the first delivery screw; And
A reciprocating supporter reciprocated by the rotational force of the third switching block to press the substrate; And the substrate reversing device. 제13항에 있어서,
상기 왕복구동부는,
상기 제1전달스크류의 회전 방향을 전환시키는 제2전환블럭; 및
상기 제2전환블럭의 회전력을 상기 제3전환블럭에 전달하는 한 쌍의 제2전달스크류; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.14. The method of claim 13,
The reciprocating drive unit includes:
A second switching block for switching the rotational direction of the first delivery screw; And
A pair of second transmission screws for transmitting the rotational force of the second conversion block to the third conversion block; Further comprising: a substrate holder for holding the substrate; 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 바형지지부는,
바형바디부;
상기 바형바디부에서 상호 평행하게 돌출되는 이격프레임부; 및
가압력에 의해 면접촉으로 변경되면서 기판에 밀착되도록 상기 이격프레임부에 결합되는 가압바유닛; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.9. The method according to any one of claims 1 to 8,
The bar-
A bar type body part;
A spacing frame portion projecting in parallel to each other in the bar body portion; And
A pressure bar unit coupled to the spaced-apart frame portion so as to be in contact with the substrate while being changed into surface contact by a pressing force; Wherein the substrate inverting apparatus comprises: 제15항에 있어서,
상기 가압바유닛은,
가압력에 의해 면접촉으로 변경되면서 기판에 밀착되는 탄성가압부; 및
상기 탄성가압부의 길이 방향을 따라 상기 탄성가압부에 가압력을 전달하는 탄성고정부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.16. The method of claim 15,
Wherein the pressure bar unit comprises:
An elastic pressing portion that is brought into close contact with the substrate while being changed into surface contact by a pressing force; And
An elastic fixing part for transmitting a pressing force to the elastic pressing part along a longitudinal direction of the elastic pressing part; And the substrate reversing device. 제16항에 있어서,
상기 탄성가압부는,
상기 탄성고정부에서 연장되는 한 쌍의 응력분산부; 및
기판에 밀착되도록 기설정된 곡률을 가지고 상기 한 쌍의 응력분산부 양단부를 연결하는 밀착변형부; 를 포함하고,
상기 탄성가압부에는, 상기 응력분산부와 상기 밀착변형부에 의해 중심을 관통하는 분산홀부; 가 포함되는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.17. The method of claim 16,
The elastic pressing portion
A pair of stress dispersion parts extending from the elastic fixing part; And
A contact deforming portion connecting the both ends of the pair of stress dispersing portions with a predetermined curvature so as to be in close contact with the substrate; Lt; / RTI >
Wherein the elastic pressing portion includes a dispersion hole portion passing through the center by the stress dispersing portion and the contact deforming portion; Wherein the substrate inverting apparatus comprises: 제16항에 있어서,
상기 탄성고정부는,
상기 탄성가압부의 길이 방향으로 연장되도록 상기 탄성가압부에서 돌출 형성되는 탄성바디부; 및
상기 탄성바디부에서 교차되는 방향으로 돌출 형성되는 탄성날개부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.17. The method of claim 16,
Wherein the elastic fixing portion comprises:
An elastic body portion protruding from the elastic pressing portion to extend in the longitudinal direction of the elastic pressing portion; And
An elastic blade portion protruding in a direction intersecting the elastic body portion; And the substrate reversing device. 제18항에 있어서,
상기 이격프레임부는,
상기 바형바디부에서 종횡으로 돌출되는 이격바; 및
상기 탄성고정부가 결합되도록 상기 가압바유닛의 길이 방향을 따라 상기 이격바를 연결 고정시키는 설치바; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.19. The method of claim 18,
The spacing frame portion
A spacing bar projecting longitudinally and laterally from the bar body portion; And
A mounting bar for connecting and securing the spacing bar along a longitudinal direction of the pressure bar unit so that the elastic fixing unit is engaged; And the substrate reversing device. 제19항에 있어서,
상기 설치바에는,
상기 탄성고정부가 삽입 지지되는 고정홈부; 및
상기 탄성고정부가 상기 고정홈부에 삽입된 상태를 유지시키도록 상기 고정홈부에서 돌출 형성되는 고정턱부; 가 포함되는 것을 특징으로 하는 기판반전장치.20. The method of claim 19,
In the installation bar,
A fixing groove portion in which the elastic fixing portion is inserted and supported; And
A fixing jaw protruding from the fixing groove so as to maintain the state where the elastic fixing portion is inserted into the fixing groove; Wherein the substrate inverting apparatus comprises:
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