KR20150129262A

KR20150129262A - Substrate reversal unit

Info

Publication number: KR20150129262A
Application number: KR1020140055842A
Authority: KR
Inventors: 이주석; 김종백; 한상이; 유대연; 정태훈; 정석진; 김남의
Original assignee: 주식회사 제우스
Priority date: 2014-05-09
Filing date: 2014-05-09
Publication date: 2015-11-19
Also published as: KR102064803B1

Abstract

A substrate reversal unit is disclosed. The disclosed substrate reversal unit comprises: a reversal body unit supported to be rotated by a reversal driving unit for forward rotation; a substrate mounting unit provided to the reversal body unit to support a substrate; a reversal support unit spaced from the substrate mounting unit to face the substrate mounting unit; and a reciprocating unit provided to the reversal body unit to enable the reversal support unit to reciprocate.

Description

SUBSTRATE REVERSAL UNIT < RTI ID = 0.0 >

본 발명은 기판반전유닛에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판을 안정되게 흡착 지지할 수 있고, 흡착된 기판을 원활하게 이송시키거나 반전시킬 수 있는 기판반전유닛에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate reversing unit, and more particularly, to a substrate reversing unit capable of stably supporting and holding a substrate, and capable of smoothly transferring or reversing a sucked substrate.

일반적으로, 정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Device), PDP(Plasma Display Panel) 등 다양한 평판표시장치(FPD, Flat Panel Display)는 두 개의 유리기판을 합착하여 만든다.2. Description of the Related Art [0002] In recent years, various flat panel display devices (FPD, Flat Panel Display) such as a liquid crystal device (LCD) and a plasma display panel (PDP) Display) is made by attaching two glass substrates together.

평판표시장치는 계속적으로 연구되고 있으며, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다. 이러한 표시장치 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송 신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Flat panel displays have been continuously studied, and some have already been used as display devices in various devices. Among these display devices, LCDs are mostly used in place of CRTs (Cathode Ray Tube) for the purpose of a portable type image display device because of their excellent image quality, light weight, thinness and low power consumption. And a monitor for receiving and displaying a broadcast signal and a monitor for a computer.

여기서 표시장치로써, 화상의 품질을 높이는 작업은 상술한 특징 및 장점과 배치되는 면이 많이 있다. 따라서, 액정표시소자가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저소비전력의 특징을 유지하면서도 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.Here, as the display device, the work of raising the quality of the image has many aspects that are arranged with the above-described features and advantages. Therefore, in order for a liquid crystal display device to be used in various parts as a general screen display device, it can be said that the key to development is how much high-quality images such as high brightness and large area can be realized while maintaining the features of light weight, thinness and low power consumption have.

또한, 표시장치가 대형화되면서 유리기판 전체에 균일한 힘을 가하여 합착이 균일하게 이루어지도록 해야 한다.Further, it is necessary to uniformly apply a uniform force to the entire glass substrate while the display device is becoming large, so that the adhesion is uniform.

관련 선행기술로는 대한민국 등록특허공보 제10-0687460호 (2007. 02. 21. 등록, 발명의 명칭 : 평판 디스플레이 제조 장비의 진공 합착기) 가 있다.
A related prior art is Korean Registered Patent No. 10-0687460 (registered on Feb. 21, 2007, entitled "Vacuum Sealer for Flat Panel Display Manufacturing Equipment").

본 발명의 목적은 기판을 안정되게 흡착 지지할 수 있고, 흡착된 기판을 원활하게 이송시키거나 반전시킬 수 있는 기판반전유닛을 제공하는 것이다.
It is an object of the present invention to provide a substrate reversing unit capable of stably supporting and holding a substrate, and capable of smoothly transporting or reversing an adsorbed substrate.

본 발명에 따른 기판반전유닛은 정역회전을 위한 반전구동부에 회전 가능하게 지지되는 반전바디부; 상기 반전바디부에 구비되어 기판을 지지하는 기판안착부; 상기 기판안착부와 마주보도록 이격 배치되는 반전지지부; 및 상기 반전바디부에 구비되어 상기 반전지지부를 왕복 이동시키는 왕복구동부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.The substrate reversing unit according to the present invention includes: a reversing body part rotatably supported by an inversion driving part for normal and reverse rotation; A substrate seating part provided on the inverting body part to support the substrate; An inverting support portion disposed to face the substrate seating portion and spaced apart from the substrate supporting portion; And a reciprocating driver provided on the inverting body to reciprocate the inverting support; And a control unit.

여기서, 상기 왕복구동부는, 왕복 이동을 위해 정역회전되는 왕복모터부; 상기 왕복모터부에 결합되어 상기 왕복모터부의 회전 방향을 전환시키는 제1전환블럭; 상기 제1전환블럭의 회전력을 전달하는 한 쌍의 제1전달스크류; 상기 제1전달스크류의 회전 방향을 전환시키는 제3전환블럭; 및 상기 반전지지부에 결합되고, 상기 제3전환블럭의 회전력으로 왕복 이동되는 왕복지지부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the reciprocating drive unit may include: a reciprocating motor unit rotated forward and backward for reciprocating movement; A first switching block coupled to the reciprocating motor portion to switch the rotational direction of the reciprocating motor portion; A pair of first transmission screws for transmitting rotational force of the first switching block; A third switching block for switching the rotation direction of the first delivery screw; And a reciprocating support unit coupled to the inverting support unit and reciprocatingly moved by a rotational force of the third switching block; And a control unit.

여기서, 상기 왕복구동부는, 상기 제1전달스크류의 회전 방향을 전환시키는 제2전환블럭; 및 상기 제2전환블럭의 회전력을 상기 제3전환블럭에 전달하는 한 쌍의 제2전달스크류; 를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the reciprocating driving unit may include a second switching block for switching the rotating direction of the first delivery screw; And a pair of second transmission screws for transmitting the rotational force of the second conversion block to the third conversion block; And further comprising:

여기서, 상기 반전지지부는, 상기 왕복구동부에 결합되는 지지바디부; 상기 지지바디부에 이격 배치되는 다수의 지지돌부; 및 상기 지지돌부와 상기 기판의 접촉 상태를 감지하는 왕복감지부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the inverting support portion may include: a support body portion coupled to the reciprocating driving portion; A plurality of support protrusions spaced apart from the support body part; And a reciprocating sensing unit for sensing a contact state between the supporting protrusion and the substrate. And a control unit.

여기서, 상기 지지돌부는, 상기 지지바디부에 결합되는 다수의 설치돌부; 상기 설치돌부에 결합되고, 단부에 탄성 변형이 가능한 탄성패드가 구비된 지지패드부; 및 상기 설치돌부에 구비되어 상기 지지패드부를 탄성 지지하는 충격흡수부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the support protrusion may include a plurality of mounting protrusions coupled to the support body, A support pad portion coupled to the mounting projection and having an elastic pad capable of being elastically deformed at an end thereof; And an impact absorbing portion provided on the mounting projection portion and elastically supporting the support pad portion; And a control unit.

여기서, 상기 지지돌부는, 상기 기판안착부에 구비되는 다수의 흡착부와 마주보도록 구비하는 것을 특징으로 한다.Here, the support protrusions are provided to face a plurality of adsorption units provided on the substrate seating unit.

여기서, 상기 기판안착부에 안착된 상기 기판을 정렬하는 얼라인부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the aligning portion aligns the substrate placed on the substrate seating portion; And further comprising:

여기서, 상기 얼라인부는, 상기 반전바디부에 결합되는 하판부; 상기 안착바디부에 결합되는 상판부; 상기 하판부에 결합되고, 상기 상판부를 제1방향으로 왕복 이동시키는 제1작동부; 상기 제1작동부에서 이격되어 상기 하판부에 결합되고, 상기 상판부를 상기 제1방향과 평행한 방향으로 왕복 이동시키는 제2작동부; 상기 제1작동부와 상기 제2작동부에서 이격되어 상기 하판부에 결합되고, 상기 상판부를 상기 제1방향에 수직인 제2방향으로 왕복 이동시키는 제3작동부; 및 상기 제1작동부 내지 상기 제3작동부의 왕복 이동량을 결정하기 위해 상기 기판의 안착 상태를 감지하는 세 개의 기판감지부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the alignment portion may include: a lower plate coupled to the inverting body; An upper plate coupled to the seating body; A first actuating part coupled to the lower plate part and reciprocating the upper plate part in a first direction; A second actuating part spaced apart from the first actuating part and coupled to the lower plate part and reciprocating the upper plate part in a direction parallel to the first direction; A third actuating part spaced apart from the first actuating part and the second actuating part and coupled to the lower plate part and reciprocating the upper plate part in a second direction perpendicular to the first direction; And three substrate sensing units for sensing a seating state of the substrate to determine a reciprocating amount of the first actuating part to the third actuating part; And a control unit.

여기서, 상기 얼라인부는, 상기 제1작동부 내지 상기 제3작동부에서 이격되어 상기 제1작동부 내지 상기 제3작동부의 동작에 따라 상기 제1방향 또는 상기 제2방향으로 상기 상판부를 이동시키는 작동지지부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the alignment portion is spaced apart from the first operation portion to the third operation portion, and moves the upper plate portion in the first direction or the second direction according to the operation of the first operation portion and the third operation portion An actuation support; And further comprising:

여기서, 상기 제1작동부 내지 상기 제3작동부는, 왕복 이동량에 따라 작동스크류를 회전시키는 작동모터부; 상기 작동스크류에 왕복 이동 가능하게 결합되는 제1가이드; 상기 하판부와 상기 상판부 중 적어도 하나에 구비되고, 상기 제1가이드에 왕복 이동 가능하게 결합되는 제2가이드; 및 상기 제1가이드의 왕복 이동 한계를 설정하는 작동감지부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.Here, the first actuating part to the third actuating part may include: an actuating motor part for rotating the actuating screw according to reciprocating movement amount; A first guide reciprocally coupled to the operating screw; A second guide provided on at least one of the lower plate portion and the upper plate portion and reciprocally coupled to the first guide; An operation sensing unit for setting a reciprocating movement limit of the first guide; And a control unit.

여기서, 상기 제1작동부 내지 상기 제3작동부는, 상기 제1가이드와 상기 제2가이드 사이에 회전 가능하게 결합되는 회전볼부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
Here, the first actuating part to the third actuating part may include: a rotation ball part rotatably coupled between the first guide and the second guide; And further comprising:

본 발명에 따른 기판반전유닛은 기판을 안정되게 흡착 지지할 수 있고, 흡착된 기판을 원활하게 이송시키거나 반전시킬 수 있다.The substrate reversing unit according to the present invention can stably support and hold the substrate, and can smoothly transport or invert the adsorbed substrate.

또한, 본 발명은 합착된 기판을 흡착 지지할 때, 합착된 기판 사이에 구비되는 씰이 기판에서 분리(씰 터짐 현상)되는 것을 방지할 수 있다.Further, according to the present invention, it is possible to prevent the seals provided between the bonded substrates from separating from the substrate (seal breaking phenomenon) when the bonded substrates are attracted and supported.

또한, 본 발명은 기판의 흡착력을 향상시키고, 기판이 이송되거나 반전되는 과정에서 기판이 기판안착부에서 분리되는 것을 예방하며, 기판의 파손을 방지할 수 있다.Further, the present invention improves the attraction force of the substrate, prevents the substrate from being separated from the substrate seating portion in the process of transferring or reversing the substrate, and prevents breakage of the substrate.

또한, 본 발명은 기판이 이송되거나 반전될 때, 기판의 편평도를 안정되게 유지시킬 수 있다.Further, the present invention can stably maintain the flatness of the substrate when the substrate is transported or inverted.

또한, 본 발명은 기판을 흡착할 때, 기판의 외형이 변형되는 것을 방지하고, 기판에 표면에 얼룩(무라, むら)이 발생되는 것을 방지할 수 있다.Further, the present invention can prevent the outer shape of the substrate from being deformed when the substrate is sucked, and prevent the occurrence of unevenness (mura) on the surface of the substrate.

또한, 본 발명은 기판의 반전을 용이하게 하고, 기판의 출렁임(기판이 요동치는 것)을 방지하며, 기판의 출렁임에 의한 기판의 파손을 방지할 수 있다.Further, the present invention facilitates the inversion of the substrate, prevents the protrusion of the substrate (oscillation of the substrate), and prevents the breakage of the substrate due to the protrusion of the substrate.

또한, 본 발명은 기판의 반전 동작에서 연결라인의 꼬임을 방지할 수 있다.Further, the present invention can prevent the twist of the connection line in the reversal operation of the substrate.

또한, 본 발명은 연결라인의 탈락, 분리, 이탈, 늘어짐, 단선, 피복 벗겨짐 등을 방지하며, 연결라인의 사용 수명을 연장할 수 있다.Further, the present invention can prevent the detachment, detachment, separation, slacking, disconnection, peeling of the cover and the like of the connection line and prolong the service life of the connection line.

또한, 본 발명은 케이블베어 갈림 문제를 해결하고, 케이블베어에서 연결라인이 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
In addition, the present invention can solve the problem of cable breakage and prevent the detachment of the connection line from the cable bear.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 탈착 상태를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛에서 기판안착부의 주요 부분을 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛에서 반전지지부의 주요 부분을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛에서 왕복구동부의 주요 부분을 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛에서 얼라인부의 주요 부분을 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛에서 얼라인부와 기판의 관계를 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛에서 기판의 지지 상태를 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛에서 기판의 반전 상태를 도시한 도면이다.1 is a view illustrating a substrate according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view illustrating a state in which a substrate is removed according to an embodiment of the present invention.
3 is a view showing a substrate reversing unit according to an embodiment of the present invention.
4 is a view showing a main portion of a substrate seating portion in a substrate reversing unit according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing a main part of an inversion support in a substrate inversion unit according to an embodiment of the present invention.
6 is a view showing a main part of a reciprocating driver in a substrate inverting unit according to an embodiment of the present invention.
7 is a view showing a main portion of an alignment portion in a substrate inversion unit according to an embodiment of the present invention.
8 is a diagram showing the relationship between the alignment portion and the substrate in the substrate reversing unit according to the embodiment of the present invention.
9 is a view showing a state of supporting a substrate in a substrate reversing unit according to an embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a diagram showing the substrate inversion state in the substrate reversing unit according to an embodiment of the present invention. FIG.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 기판반전유닛의 일 실시예를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.Hereinafter, an embodiment of the substrate reversing unit according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In this process, the thicknesses of the lines and the sizes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation.

또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
In addition, the terms described below are defined in consideration of the functions of the present invention, which may vary depending on the intention or custom of the user, the operator. Therefore, definitions of these terms should be made based on the contents throughout this specification.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판을 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판의 탈착 상태를 도시한 도면이다.FIG. 1 is a view showing a substrate according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view showing a state of attaching / detaching a substrate according to an embodiment of the present invention.

도 1과 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판(100)은 합착부(112)를 포함하고, 적층부(111)를 더 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2, a substrate 100 according to an embodiment of the present invention includes a joining portion 112 and may further include a lamination portion 111.

합착부(112)는 LCD(Liquid Crystal Device), PDP(Plasma Display Panel) 등 다양한 평판표시장치(FPD, Flat Panel Display) 또는 태양전지셀 등으로 이루어질 수 있고, 제1기판부(101)와 제2기판부(102)를 합착하여 만든다.The adhesive portion 112 may be formed of various flat panel displays (FPDs) such as a liquid crystal device (LCD), a plasma display panel (PDP), or a solar cell, 2 substrate parts 102 are bonded together.

이때, 제1기판부(101)와 제2기판부(102) 사이에 삽입되는 씰부(103)가 각각 제1기판부(101)와 제2기판부(102)에 결합될 수 있다. 씰부(103)는 제1기판부(101)와 제2기판부(102) 사이 간격을 유지할 수 있다. 또한, 씰부(103)는 제1기판부(101)와 제2기판부(102) 사이를 밀봉하여 상판부(101)와 하판부(102) 사이의 이격 공간을 밀폐시킬 수 있다.The seal portion 103 inserted between the first substrate portion 101 and the second substrate portion 102 may be coupled to the first substrate portion 101 and the second substrate portion 102, respectively. The seal portion 103 can maintain a gap between the first substrate portion 101 and the second substrate portion 102. [ The seal portion 103 may seal the gap between the upper plate portion 101 and the lower plate portion 102 by sealing the first substrate portion 101 and the second substrate portion 102.

적층부(111)는 합착부(112)의 양면에 중 적어도 어느 한 면에 부착될 수 있다. 적층부(111)는 제1기판부(101)의 표면 또는 제2기판부(102)의 표면에 스크래치가 발생되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 적층부(111)는 제1기판부(101)와 제2기판부(102)를 보호하여 기판(100)이 파손되는 것을 방지할 수 있다.The laminated portion 111 may be attached to at least one of both surfaces of the bonded portion 112. The laminated portion 111 can prevent scratches from being generated on the surface of the first substrate portion 101 or the surface of the second substrate portion 102. [ The laminated portion 111 protects the first substrate portion 101 and the second substrate portion 102 to prevent the substrate 100 from being damaged.

본 발명의 일 실시예에서 기판(100)은 적층부(111)와, 합착부(112)와, 적층부(111)가 부착된 합착부(112) 중 어느 하나를 의미할 수 있다.In one embodiment of the present invention, the substrate 100 may refer to any one of a lamination portion 111, a bonding portion 112, and a bonding portion 112 to which the lamination portion 111 is attached.

여기서, 기판(100)에는 코너컷(113)이 형성될 수 있다.Here, a corner cut 113 may be formed on the substrate 100.

코너컷(113)은 적층부(111)의 일부가 노출되도록 기판(100)의 둘레에 형성된다. 코너컷(113)의 형성에 따라 합착부(112)에서 적층부(111)를 용이하게 분리할 수 있다.
The corner cut 113 is formed around the substrate 100 so that a part of the laminated portion 111 is exposed. The formation of the corner cuts 113 allows the laminated portion 111 to be easily separated from the bonded portion 112. [

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛을 도시한 도면으로써, 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛은 기판(100)을 안정되게 흡착 지지할 수 있고, 흡착된 기판(100)을 원활하게 이송시키거나 반전시킬 수 있는 장치이다. 기판반전유닛은 반전바디부(10)와, 기판안착부(20)와, 반전지지부(30)와, 왕복구동부(40)를 포함한다.
FIG. 3 is a view illustrating a substrate reversing unit according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, the substrate reversing unit according to an embodiment of the present invention can stably support the substrate 100 , And is capable of smoothly transferring or reversing the adsorbed substrate 100. The substrate reversing unit includes a reversing body portion 10, a substrate seating portion 20, an inverting support portion 30, and a reciprocating driving portion 40.

반전바디부(10)는 정역회전을 위한 반전구동부(11)에 회전 가능하게 지지된다. 반전바디부(10)는 동일선 상에 결합되는 반전축부(12)와 비틀림부(13)를 중심으로 180도 또는 360도 회전 가능하게 결합된다. 이때, 반전바디부(10)에는 완충부(14)가 구비되어 왕복구동부(40)의 동작에 따라 반전지지부(30)가 충돌하는 것을 방지하고, 반전지지부(30)의 충격을 완화시킬 수 있다.The reversing body 10 is rotatably supported by the reversing driver 11 for normal and reverse rotation. The inverted body part 10 is coupled to the inverted shaft part 12 coupled on the same line so as to rotate 180 or 360 degrees about the twisted part 13. [ At this time, the buffering part 14 is provided in the inverting body part 10 to prevent the inverting supporting part 30 from colliding with the operation of the reciprocating driving part 40, and to mitigate the impact of the inverting supporting part 30 .

반전축부(12)에는 반전바디부(10)를 정역회전시키는 반전구동부(11)가 결합된다. 여기서, 반전축부(12)와 비틀림부(13)는 본체(A)에 지지되어 반전바디부(10)의 정역회전을 원활하게 할 수 있다.The inversion driving unit 11 for rotating the inversion body unit 10 in the forward and reverse directions is coupled to the inversion axis unit 12. Here, the inverting shaft portion 12 and the twist portion 13 are supported by the main body A, so that the normal rotation of the inverting body portion 10 can be smoothly performed.

비틀림부(13)는 기판안착부(20) 또는 반전지지부(30) 또는 얼라인부(50)와의 연결을 위한 연결라인(미도시)이 관통 고정된다. 비틀림부(13)는 연결라인(미도시)의 선 꼬임을 억제 또는 방지하고, 연결라인(미도시)을 통합하여 정리하기 위한 케이블베어의 설치를 생략할 수 있으며, 케이블베어에서 연결라인(미도시)이 이탈되거나 케이블베어에 의한 연결라인(미도시)의 손상을 방지할 수 있다.The torsion portion 13 is fixedly connected to a connection line (not shown) for connection with the substrate seating portion 20 or the inverted support portion 30 or the alignment portion 50. The twist portion 13 may suppress or prevent line twist of the connection line (not shown), and may eliminate the installation of cable bails for unifying the connection lines (not shown) (Not shown) due to the cable bare can be prevented.

연결라인(미도시)은 전기적 연결을 위한 케이블과 흡착력에 따른 유체의 이동을 위한 유체라인 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 비틀림부(13)에 고정되는 연결라인(미도시)의 비틀림은 반전바디부(10)의 정역 회전 각도인 180도 또는 360도에 대하여 90도 또는 180도로 작아지게 되어 연결라인(미도시)에 가해지는 응력을 감소시키고, 연결라인(미도시)의 수명을 연장시킬 수 있다.The connection line (not shown) may include at least one of a cable for electrical connection and a fluid line for fluid movement depending on the attraction force. The twist of the connection line (not shown) fixed to the twist portion 13 becomes 90 degrees or 180 degrees with respect to 180 degrees or 360 degrees of the normal and reverse rotation angles of the reversing body 10, It is possible to reduce the applied stress and prolong the life of the connecting line (not shown).

도시되지 않았지만, 비틀림부(13)는 연결라인(미도시)이 통과하는 비틀림관통부(미도시)와, 연결라인(미도시)의 양단부를 각각 고정시키는 비틀림고정부(미도시)를 포함할 수 있다.Although not shown, the twist portion 13 includes a torsional through portion (not shown) through which a connecting line (not shown) passes and a torsional fixing portion (not shown) that fixes both ends of a connecting line .

여기서, 비틀림관통부(미도시)는 본체(A)와 반전바디부(10)에 각각 구비되는 한 쌍의 비틀림브라켓부(미도시)와, 한 쌍의 비틀림브라켓부(미도시) 사이에 회전 가능하게 삽입 지지되는 비틀림베어링부(미도시)를 포함할 수 있다.Here, the torsional penetration portion (not shown) includes a pair of torsion bracket portions (not shown) provided respectively in the main body A and the reversing body portion 10 and a pair of torsion bracket portions (Not shown) which can be inserted and supported.

또한, 비틀림관통부(미도시)와 비틀림고정부(미도시) 중 적어도 어느 하나에는 연결라인(미도시)이 삽입되는 비틀림홀부(미도시)가 형성된 비틀림지지부(미도시)가 설치될 수 있다. 이때, 비틀림홀부(미도시)에는 연결라인(미도시)이 삽입 지지되는 비틀림소켓부(미도시)가 삽입 결합될 수 있다.In addition, a torsion support (not shown) having a torsion hole portion (not shown) in which a connection line (not shown) is inserted may be installed on at least one of the torsional penetration portion (not shown) and the torsional fixing portion . At this time, a torsion socket portion (not shown) into which a connecting line (not shown) is inserted can be inserted into the torsion hole portion (not shown).

상술한 비틀림부(13)를 통해 기판(100)의 반전 동작에서 연결라인(미도시)의 꼬임을 방지할 수 있고, 연결라인의 사용 수명을 연장할 수 있다.
It is possible to prevent the twist of the connecting line (not shown) in the reversing operation of the substrate 100 through the above-described twist portion 13, and to extend the service life of the connecting line.

기판안착부(20)는 반전바디부(10)에 구비되어 기판(100)을 지지한다.The substrate seating part 20 is provided in the reversing body part 10 to support the substrate 100.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛에서 기판안착부의 주요 부분을 도시한 도면으로써, 도 3과 도 4를 참조하면, 기판안착부(20)는 안착바디부(21)와, 안착프레임부(22)와, 흡착부(23)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 3 and 4, the substrate seating unit 20 includes a seating body unit 21, a mounting body unit 21, A seat frame section 22, and a suction section 23.

안착바디부(21)는 반전바디부(10)에 결합된다. 안착바디부(21)는 흡착부(23))를 배치하기 위한 기초틀로써, 종횡으로 배열되는 프레임의 결합으로 이루어질 수 있다.The seating body 21 is coupled to the inverting body 10. The seat body 21 may be a frame for arranging the suction unit 23, and may be a combination of frames arranged longitudinally and laterally.

안착프레임부(22)는 안착바디부(21)에 이격 배치된다. 안착프레임부(22)는 다수 개가 안착바디부(21)에 등간격으로 배치됨으로써, 흡착부(23)의 배치를 원활하게 할 수 있다. 이때, 안착프레임부(22)는 중공 관 형상으로 구비되어 흡착부(23)와 연통되도록 할 수 있다.The seating frame portion 22 is disposed apart from the seating body portion 21. [ A plurality of the seating frame portions 22 are arranged at equal intervals in the seating body portion 21, so that the arrangement of the suction portions 23 can be made smooth. At this time, the seating frame part 22 is provided in the shape of a hollow tube so as to communicate with the suction part 23.

흡착부(23)는 안착프레임부(22)에 이격 배치되어 기판(100)을 흡착 지지한다. 흡착부(23)는 흡착력에 의해 기판(100)을 흡착 지지함으로써, 기판(100)을 반전시킬 때, 흡착부(23)에서 기판(100)이 분리 또는 이탈되는 것을 방지할 수 있다.The adsorption section 23 is spaced apart from the seating frame section 22 to attract and support the substrate 100. The adsorption section 23 can adsorb and support the substrate 100 by the attraction force so as to prevent the substrate 100 from being separated or separated from the adsorption section 23 when the substrate 100 is reversed.

흡착부(23)는 안착프레임부(22)에 고정되어 기판(100)에 흡착력을 전달하는 중공의 흡착관부(231)와, 흡착관부(231)의 단부에 구비되어 전달되는 흡착력에 의해 기판(100)을 흡착 지지하는 흡착판부(232)를 포함하고, 다수 개의 흡착관부(231)를 상호 연결하여 흡착력을 분배 전달하는 분배라인부(233)를 더 포함할 수 있다.The adsorption section 23 has a hollow adsorption tube section 231 which is fixed to the seating frame section 22 and transmits the adsorption force to the substrate 100 and a hollow adsorption tube section 231 which is provided at the end of the adsorption tube section 231, And a dispensing line unit 233 that connects the plurality of suction tube units 231 to each other and distributes the suction force.

여기서, 흡착판부(232)의 중심은 중공의 흡착관부(231)와 연통되도록 관통 형성되고, 기판(100)이 지지되는 흡착판부(232)의 일측면에는 중심으로부터 방사상으로 길게 형성되는 흡착홈부(미도시)가 함몰 형성됨으로써, 기판(100)의 흡착력을 안정화시키고, 흡착력에 의해 기판(100)이 변형되거나 제1기판부(101) 또는 제2기판부(102)에서 씰부(103)가 분리되는 것을 방지하며, 기판(100)에 얼룩이 생기는 것을 방지할 수 있다.The center of the attracting plate portion 232 is formed so as to communicate with the hollow attracting tube portion 231 and is formed on one side of the attracting plate portion 232 on which the substrate 100 is supported, The suction force of the substrate 100 is stabilized and the substrate 100 is deformed by the suction force or the seal portion 103 is separated from the first substrate portion 101 or the second substrate portion 102 And it is possible to prevent the substrate 100 from being stained.

또한, 흡착관부(231)는 중공 관 형상의 안착프레임부(22)에 연결되고, 분배라인부(233)는 안착프레임부(22)에 연결됨에 따라 안정된 흡착력을 흡착판부(232)에 전달할 수 있다.
The adsorption tube portion 231 is connected to the seating frame portion 22 in the shape of a hollow tube and the distribution line portion 233 is connected to the seating frame portion 22 so that a stable adsorption force can be transmitted to the adsorption plate portion 232 have.

반전지지부(30)는 기판안착부(20)와 마주보도록 기판안착부(20)에서 이격 배치된다.The inverted support portion 30 is spaced apart from the substrate seating portion 20 so as to face the substrate seating portion 20.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛에서 반전지지부의 주요 부분을 도시한 도면으로써, 도 3과 도 5를 참조하면, 반전지지부(30)는 지지바디부(31)와, 지지돌부(32)와, 왕복감지부(33)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 3 and 5, the inversion support 30 includes a support body portion 31, a support body 31, A protruding portion 32, and a round trip sensing portion 33.

지지바디부(31)는 왕복구동부(40)에 결합된다. 지지바디부(31)는 기판안착부(20)의 상측으로 이격되어 왕복구동부(40)에 결합된다. 지지바디부(31)는 지지돌부(32)를 배치하기 위한 기초틀로써, 종횡으로 배열되는 프레임의 결합으로 이루어질 수 있다.The supporting body portion 31 is coupled to the reciprocating driving portion 40. The supporting body part 31 is separated from the upper side of the substrate seating part 20 and is coupled to the reciprocating driving part 40. The supporting body part 31 may be a frame for arranging the supporting protrusions 32, and may be a combination of frames arranged longitudinally and laterally.

지지돌부(32)는 다수 개가 지지바디부(31)에 이격 배치된다. 지지돌부(32)는 기판안착부(20)에 구비되는 다수의 흡착부(23)와 마주보도록 구비됨으로써, 반전된 상태에서 기판안착부(20)가 기판(100)에서 이격될 때, 기판(100)의 처짐을 방지하고, 기판(100)의 출렁이는 것을 방지할 수 있다. 특히, 대형 기판 또는 플렉시블 기판이 적용되는 경우, 그 효과를 배가시킬 수 있다.A plurality of the support protrusions 32 are disposed apart from the support body 31. The supporting protrusions 32 are provided to face the plurality of suction portions 23 provided on the substrate seating portion 20 so that when the substrate seating portions 20 are separated from the substrate 100 in the inverted state, 100 can be prevented from being sagged and the substrate 100 can be prevented from slipping. Particularly, when a large substrate or a flexible substrate is applied, the effect can be doubled.

지지돌부(32)는 설치돌부(321)와, 지지패드부(323)와, 충격흡수부(325)를 포함하고, 길이조절부(327)를 더 포함할 수 있다.The supporting protrusion 32 may further include a mounting portion 321, a supporting pad portion 323 and a shock absorbing portion 325 and may further include a length adjusting portion 327.

설치돌부(321)는 다수 개가 지지바디부(31)에 결합된다. 설치돌부(321)는 상술한 안착프레임부(22)와 같이 다수개 가 지지바디부(31)에 이격 배치됨으로써, 지지패드부(323)의 배치를 원활하게 할 수 있다. 또한, 설치돌부(321)는 중공의 관 형상으로 구비되어 지지패드부(323)에 연통됨으로써, 지지패드부(323)에 흡착력을 제공할 수 있다.A plurality of mounting protrusions 321 are coupled to the support body 31. A plurality of the mounting projections 321 are spaced apart from the supporting body 31 like the above-described seating frame portions 22, so that the supporting pad portions 323 can be smoothly arranged. The mounting protrusion 321 is provided in the shape of a hollow tube and communicates with the supporting pad portion 323, thereby providing the supporting pad portion 323 with an attraction force.

지지패드부(323)는 설치돌부(321)에 결합된다. 지지패드부(323)는 단부에 탄성 변형이 가능한 탄성패드(324)가 구비됨으로서, 지지패드부(323)가 기판에 접촉될 때, 기판(100)에 가해지는 충격을 완화하고, 기판(100)이 파손되는 것을 방지할 수 있다. 지지패드부(323)는 상술한 흡착부(23)와 같이 흡착력을 제공하도록 구성되어 기판을 흡착 지지할 수 있다.The supporting pad portion 323 is engaged with the mounting projection portion 321. The supporting pad portion 323 is provided with an elastic pad 324 capable of being elastically deformed at an end portion thereof so that the impact applied to the substrate 100 is relieved when the supporting pad portion 323 contacts the substrate, Can be prevented from being damaged. The support pad portion 323 is configured to provide an attraction force like the above-described attraction portion 23 so as to attract and support the substrate.

충격흡수부(325)는 설치돌부(321)에 구비되어 지지패드부(323)를 탄성 지지한다. 충격흡수부(325)는 지지돌부(32)에 가해지는 힘에 따라 탄성 변형되면서 지지돌부(32)에 가해지는 충격을 흡수할 수 있고, 지지돌부(32)와 기판(100)의 접속 상태를 안정되게 유지시킬 수 있다.The shock absorbing portion 325 is provided on the mounting projection portion 321 to elastically support the support pad portion 323. The shock absorbing portion 325 is elastically deformed in accordance with the force applied to the support protrusion 32 to absorb an impact applied to the support protrusion 32 and the connection state between the support protrusion 32 and the substrate 100 And can be stably maintained.

기판안착부(20)에 기판(100)이 안착된 상태에서 상술한 탄성패드(324) 또는 충격흡수부(325)를 통해 기판(100)을 가압함에 따라 기판안착부(20)에서 기판(100)의 흡착 지지력을 향상시키고, 기판(100)의 반전 동작에서 기판(100)의 미끄러짐 또는 기판(100)의 분리를 방지할 수 있다.The substrate 100 is pressed against the substrate 100 through the elastic pad 324 or the impact absorbing portion 325 while the substrate 100 is seated on the substrate seating portion 20, And it is possible to prevent slipping of the substrate 100 or separation of the substrate 100 in the reversing operation of the substrate 100. [

길이조절부(327)는 설치돌부(321) 또는 충격흡수부(325)에 구비되어 지지패드부(323)의 돌출 길이를 조절한다. 지지돌부(32)가 기판(100)을 지지할 때, 길이조절부(327)를 통해 지지패드부(323)의 돌출 길이를 조절함으로써, 지지패드부(323)와 기판(100)이 이격되는 것을 방지하고, 기판(100)의 처짐과 기판(100)의 출렁임을 방지할 수 있다.The length adjusting portion 327 is provided on the mounting protrusion 321 or the shock absorbing portion 325 to adjust the protruding length of the supporting pad portion 323. The protruding length of the support pad portion 323 is adjusted through the length adjusting portion 327 when the support protruding portion 32 supports the substrate 100 so that the support pad portion 323 and the substrate 100 are separated from each other And it is possible to prevent the substrate 100 from sagging and the substrate 100 from being swollen.

왕복감지부(33)는 지지돌부(32)와 기판(100)의 접촉 상태를 감지한다. 왕복감지부(33)는 왕복구동부(40)에 의해 왕복 이동되는 지지바디부(31)의 위치를 감지함으로써, 지지돌부(32)와 기판(100)의 접촉 상태를 감지할 수 있다. 왕복감지부(33)는 지지바디부(31)의 왕복 이동 위치를 나타내는 왕복단자부(331)와, 왕복단자부(331)와의 접촉을 통해 왕복단자부(331)의 위치를 감지하는 왕복센싱부(332)를 포함함으로써, 반전지지부(30)가 기판(100)을 지지할 때, 반전지지부(30)가 기판(100)을 가압하는 것을 억제 또는 방지할 수 있고, 지지돌부(32)에 의해 기판(100)에 가해지는 충격을 완화시킬 수 있다.
The reciprocation sensing unit 33 senses the contact state between the support protrusion 32 and the substrate 100. [ The reciprocation sensing unit 33 can detect the contact state of the support protrusion 32 and the substrate 100 by sensing the position of the support body 31 reciprocating by the reciprocating driver 40. [ The reciprocating sensing part 33 includes a reciprocating terminal part 331 indicating the reciprocating position of the supporting body part 31 and a reciprocating sensing part 332 sensing the position of the reciprocating terminal part 331 through contact with the reciprocating terminal part 331. [ It is possible to suppress or prevent the inverted support 30 from pressing the substrate 100 when the inverted support 30 supports the substrate 100 and to prevent the substrate 100 100 can be relieved.

왕복구동부(40)는 반전바디부(10)에 구비되어 반전지지부(30)를 왕복 이동시킨다.The reciprocating driver 40 is provided in the inverting body 10 to reciprocate the inverting support 30.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛에서 왕복구동부의 주요 부분을 도시한 도면으로써, 도 3과 도 6을 참조하면, 왕복구동부(40)는 왕복모터부(41)와, 제1전환블럭(42)과, 제1전달스크류(43)와, 제3전환블럭(46)과, 왕복지지부(47)를 포함하고, 제2전환블럭(44)과, 제2전달스크류(45)를 더 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 3 and 6, the reciprocating drive unit 40 includes a reciprocating motor unit 41, a reciprocating motor unit 41, 1 switching block 42, a first transfer screw 43, a third switching block 46 and a reciprocating support portion 47 and includes a second switching block 44 and a second transfer screw 45 ).

왕복모터부(41)는 회전력을 발생시킨다. 왕복모터부(41)는 변위에 따라 회전수를 정밀하게 제어할 수 있는 것이 유리하다. 왕복모터부(41)는 반전바디부(10)에 안정되게 결합 고정될 수 있다.The reciprocating motor unit 41 generates rotational force. It is advantageous that the reciprocating motor unit 41 can precisely control the number of rotations in accordance with the displacement. The reciprocating motor portion 41 can be stably fixed to the reversing body portion 10.

제1전환블럭(42)은 왕복모터부(41)에 결합되어 왕복모터부(41)의 회전 방향을 전환시킨다. 제1전환블럭(42)은 모듈박스 내에서 치합되는 베벨기어의 조립체로 구성될 수 있고, 왕복모터부(41)의 회전력을 정밀하게 전달 전환시킬 수 있다. 제1전환블럭(42)은 반전바디부(10)에 안정되게 결합 고정될 수 있다.The first switching block 42 is coupled to the reciprocating motor unit 41 to change the direction of rotation of the reciprocating motor unit 41. The first conversion block 42 can be configured as an assembly of bevel gears meshed in the module box, and can precisely transfer and convert the rotational force of the reciprocating motor portion 41. [ The first conversion block 42 can be stably fixed to the reversing body 10.

제1전달스크류(43)는 제1전환블럭(42)에 결합되어 제1전환블럭(42)의 회전력을 전달한다. 제1전달스크류(43)는 제1전환블럭(42)을 통해 전환된 회전력을 제2전환블럭(44) 또는 제3전환블럭(46)에 전달한다. 제1전달스크류(43)는 한 쌍이 제1전환블럭(42)의 양단부에 각각 구비되고, 제1전환블럭(42)의 회전력으로 동일한 방향으로 회전될 수 있다.The first transfer screw 43 is coupled to the first transfer block 42 to transfer the rotational force of the first transfer block 42. The first transfer screw 43 transfers the rotational force converted through the first switching block 42 to the second switching block 44 or the third switching block 46. The pair of first transmission screws 43 are provided at both ends of the first conversion block 42 and can be rotated in the same direction by the rotational force of the first conversion block 42.

제3전환블럭(46)은 반전바디부(10)에 구비되어 반전지지부(30)를 왕복 이동시킨다. 제3전환블럭(46)은 제1전달스크류(43) 또는 제2전달스크류(45)를 통해 전달되는 회전력으로 왕복지지부(47)를 왕복 이동시킴으로써, 반전지지부(30)를 왕복 이동시킬 수 있다. 제3전환블럭(46)은 모듈박스 내에서 치합되는 랙피니언기어의 조립체로 구성될 수 있고, 왕복모터부(41)의 회전력을 정밀하게 전달 전환시킬 수 있다. 제3전환블럭(46)은 반전바디부(10)에 안정되게 결합 고정될 수 있다.The third switching block 46 is provided in the inverting body 10 to reciprocate the inverting support 30. The third switching block 46 can reciprocate the inverting support portion 30 by reciprocating the reciprocating support portion 47 with a rotational force transmitted through the first transmission screw 43 or the second transmission screw 45 . The third switching block 46 may be constituted by an assembly of rack pinion gear meshed in the module box, and can precisely transfer and convert the rotational force of the reciprocating motor portion 41. [ And the third switching block 46 can be stably fixed to the reversing body 10.

왕복지지부(47)는 반전지지부(30)에 결합되고, 제3전환블럭(46)의 회전력으로 왕복 이동된다. 왕복지지부(47)는 제3전환블럭(46)에 왕복 이동 가능하게 결합되고, 제3전환블럭(46)의 동작으로 왕복 이동됨으로써, 반전지지부(30)가 왕복 이동되고, 반전지지부(30)의 지지돌부(32)가 기판(100)을 접촉 지지할 수 있다.The reciprocating support portion 47 is coupled to the inverting support portion 30 and is reciprocally moved by the rotational force of the third switching block 46. The reciprocating support portion 47 is reciprocally moved to the third switching block 46 and is reciprocated by the operation of the third switching block 46 so that the reversing supporting portion 30 is reciprocated, The support protrusions 32 of the substrate 100 can contact and support the substrate 100.

제2전환블럭(44)은 반전바디부(10)에 구비되어 제1전달스크류(43)의 회전 방향을 전환시킨다. 제2전환블럭(44)은 한 쌍의 제1전달스크류(43) 단부에 각각 결합된다. 제2전환블럭(44)은 모듈박스 내에서 치합되는 베벨기어의 조립체로 구성될 수 있고, 왕복모터부(41)의 회전력을 정밀하게 전달 전환시킬 수 있다. 제2전환블럭(44)은 반전바디부(10)에 안정되게 결합 고정될 수 있다.The second switching block 44 is provided in the reversing body 10 to change the direction of rotation of the first delivery screw 43. The second switching block 44 is coupled to the ends of the pair of first delivery screws 43, respectively. The second switching block 44 may be constituted by an assembly of bevel gears meshed in the module box, and can precisely transfer and convert the rotational force of the reciprocating motor portion 41. [ The second switching block 44 can be stably fixed to the reversing body 10.

제2전달스크류(45)는 제2전환블럭(44)의 회전력을 제3전환블럭(46)에 전달한다. 제2전달스크류(45)는 제2전환블럭(44)을 통해 전환된 회전력을 제3전환블럭(46)에 전달한다. 제2전달스크류(45)는 한 쌍이 제2전환블럭(44)의 양단부에 각각 구비되고, 제2전환블럭(44)의 회전력으로 동일한 방향으로 회전될 수 있다.
The second transfer screw 45 transfers the turning force of the second switching block 44 to the third switching block 46. The second transfer screw 45 transfers the rotational force converted through the second transfer block 44 to the third transfer block 46. The pair of second transmission screws 45 are provided at both ends of the second switching block 44 and can be rotated in the same direction by the rotational force of the second switching block 44.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛은 얼라인부(50)를 더 포함할 수 있다. 얼라인부(50)는 기판안착부(20)에 안착된 기판(100)을 정렬한다. 얼라인부(50)는 수평 방향에서 제1방향과 제1방향에 수직인 제2방향으로 기판(100)을 이동시키거나 기판(100)을 평면 상태에서 회전시킬 수 있다.The substrate reversing unit according to an embodiment of the present invention may further include an aligning portion 50. The alignment portion (50) aligns the substrate (100) seated on the substrate seating portion (20). The alignment portion 50 may move the substrate 100 in a first direction in a horizontal direction and in a second direction perpendicular to the first direction or may rotate the substrate 100 in a planar state.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛에서 얼라인부의 주요 부분을 도시한 도면이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛에서 얼라인부와 기판의 관계를 도시한 도면이다.7 is a view showing a main portion of the alignment portion in the substrate reversing unit according to the embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a view showing the relationship between the alignment portion and the substrate in the substrate reversing unit according to the embodiment of the present invention FIG.

도 3과 도 7과 도 8을 참조하면, 얼라인부(50)는 하판부(51)와, 상판부(52)와, 제1작동부(53)와, 제2작동부(54)와, 제3작동부(55)와, 세 개의 기판감지부(56, 57, 58)를 포함하고, 작동지지부(59)를 더 포함할 수 있다.3 and 7 and 8, the aligning portion 50 includes a lower plate portion 51, an upper plate portion 52, a first actuating portion 53, a second actuating portion 54, 3 operating portion 55 and three substrate sensing portions 56, 57 and 58 and may further include an operation support portion 59. [

하판부(51)는 반전바디부(10)에 결합된다. 상판부(52)는 안착바디부(21)에 결합된다.The lower plate portion 51 is coupled to the reversing body portion 10. The upper plate portion 52 is coupled to the seating body portion 21.

제1작동부(53)는 하판부(51)에 결합되고, 상판부(52)를 제1방향으로 왕복 이동시킨다. 제2작동부(54)는 제1작동부(53)에서 이격되어 하판부(51)에 결합되고, 상판부(52)를 제1방향과 평행한 방향으로 왕복 이동시킨다. 제3작동부(55)는 제1작동부(53)와 제2작동부(54)에서 이격되어 하판부(51)에 결합되고, 상판부(52)를 제1방향에 수직인 제2방향으로 왕복 이동시킨다.The first actuating part 53 is coupled to the lower plate part 51 and reciprocates the upper plate part 52 in the first direction. The second actuating part 54 is separated from the first actuating part 53 and coupled to the lower plate part 51 to reciprocate the upper plate part 52 in a direction parallel to the first direction. The third actuating part 55 is separated from the first actuating part 53 and the second actuating part 54 and is coupled to the lower plate part 51. The upper end of the upper plate part 52 is moved in the second direction perpendicular to the first direction Reciprocating.

여기서, 제1작동부(53) 내지 제3작동부(55)는 각각 작동모터부(551)와, 제1가이드(553)와, 제2가이드(554)와, 작동감지부(556)를 포함하고, 회전볼부(555)를 더 포함할 수 있다.The first actuating part 53 to the third actuating part 55 may include an actuating motor part 551, a first guide 553, a second guide 554 and an operation sensing part 556 And may further include a rotation ball portion 555.

작동모터부(551)는 왕복 이동량에 따라 작동스크류(552)를 회전시킨다. 작동모터부(551)는 작동스크류(552)를 회전시키기 위한 회전력을 발생시킨다. 작동모터부(551)는 변위에 따라 회전수를 정밀하게 제어할 수 있는 것이 유리하다. 제1가이드(553)는 작동스크류(552)에 왕복 이동 가능하게 결합된다. 제2가이드(554)는 제1가이드(553)에 왕복 이동 가능하게 결합된다. 제2가이드(554)는 하판부(51)와 상판부(52) 중 적어도 하나에 구비될 수 있다. 작동감지부(556)는 제1가이드(553)의 왕복 이동 한계를 설정한다. 작동감지부(556)는 작동모터부(551)에 의해 왕복 이동되는 제1가이드(553)의 위치를 감지함으로써, 제1가이드(553)의 왕복 이동 한계를 설정한다. 작동감지부(556)는 제1가이드(553)의 왕복 이동 위치를 나타내는 작동단자부(557)와, 작동단자부(557)와의 접촉을 통해 작동단자부(557)의 위치를 감지하는 작동센싱부(558)를 포함함으로써, 안착된 기판(100)의 왕복 이동량과 평면 상태에서의 기판(100) 회전량을 제한하고, 기판(100)을 정렬할 때, 기판(100)이 반전바디부(10) 또는 본체(A)에 충돌되는 것을 방지하며, 기판(100)을 보호할 수 있다.The operation motor unit 551 rotates the operation screw 552 in accordance with the reciprocating movement amount. The operation motor unit 551 generates a rotational force for rotating the actuation screw 552. It is advantageous that the operating motor section 551 can precisely control the number of rotations in accordance with the displacement. The first guide 553 is reciprocally coupled to the operating screw 552. The second guide 554 is coupled to the first guide 553 so as to reciprocate. The second guide 554 may be provided on at least one of the lower plate portion 51 and the upper plate portion 52. The operation detecting unit 556 sets the reciprocating limit of the first guide 553. The operation detecting unit 556 detects the position of the first guide 553 that is reciprocated by the operation motor unit 551, thereby setting the reciprocating limit of the first guide 553. The operation sensing portion 556 includes an operation terminal portion 557 indicating the reciprocating position of the first guide 553 and an operation sensing portion 558 sensing the position of the operation terminal portion 557 through contact with the operation terminal portion 557 The amount of reciprocating movement of the mounted substrate 100 and the amount of rotation of the substrate 100 in a planar state are limited so that the substrate 100 can be moved to the inversion body 10 or It is possible to prevent the substrate 100 from colliding with the main body A, and to protect the substrate 100.

회전볼부(555)는 제1가이드(553)와 제2가이드(554) 사이에 회전 가능하게 결합된다. 회전볼부(555)는 제1작동부(53) 내지 제3작동부(55)의 연계 동작에서 기판(100)을 평면 상태에서 회전시킬 수 있다. 회전볼부(555)가 더 포함됨으로써, 안착된 기판(100)의 왕복 이동량과 평면 상태에서의 기판(100) 회전량을 용이하게 제한할 수 있다.The rotary ball portion 555 is rotatably coupled between the first guide 553 and the second guide 554. The rotation ball portion 555 can rotate the substrate 100 in a planar state in the linking operation of the first operating portion 53 to the third operating portion 55. [ By further including the rotating ball portion 555, it is possible to easily limit the amount of reciprocating movement of the substrate 100 on which the substrate 100 is mounted and the amount of rotation of the substrate 100 in a planar state.

일예로, 제2가이드(554)가 하판부(51)에 구비되는 경우, 제1가이드(553)는 상판부(52)에 구비되고, 회전볼부(555)가 제1가이드(553)와 제2가이드(554) 사이에 회전 가능하게 삽입됨으로써, 기판안착부(20)에 안착된 기판(100)을 왕복 이동시키거나 기판(100)을 평면 상태에서 회전시킴으로써, 기판(100)을 안정되게 정렬할 수 있다.For example, when the second guide 554 is provided on the lower plate portion 51, the first guide 553 is provided on the upper plate portion 52, and the rotation ball portion 555 is provided on the first guide 553 and on the second The substrate 100 can be stably aligned by reciprocally moving the substrate 100 seated on the substrate seating portion 20 or rotating the substrate 100 in a planar state by being rotatably inserted between the guides 554 .

다른 예로, 제2가이드(554)가 상판부에 구비되는 경우, 제1가이드(553)는 하판부(51)에서 슬라이드 이동 가능하게 결합되거나 하판부(51)에서 이격 배치되고, 회전볼부(555)가 제1가이드(553)와 제2가이드(554) 사이에 회전 가능하게 삽입됨으로써, 기판안착부(20)에 안착된 기판(100)을 왕복 이동시키거나 기판(100)을 평면 상태에서 회전시킴으로써, 기판(100)을 안정되게 정렬할 수 있다.The first guide 553 is slidably engaged with the lower plate portion 51 or spaced apart from the lower plate portion 51 and the rotation guide portion 555 is provided on the lower plate portion 51, Is rotatably inserted between the first guide 553 and the second guide 554 so that the substrate 100 mounted on the substrate seating portion 20 is reciprocated or the substrate 100 is rotated in a planar state , The substrate 100 can be stably aligned.

또 다른 예로, 제2가이드(554)가 하판부(51)와 상판부(52)에 모두 구비되는 경우, 제1가이드(553)는 한 쌍의 제2가이드(554) 사이에 구비될 수 있다. 이에 따라 기판안착부(20)에 안착된 기판(100)을 왕복 이동시키거나 기판(100)을 평면 상태에서 회전시킴으로써, 기판(100)을 안정되게 정렬할 수 있다. 여기서, 제1가이드(553)와 제2가이드(554) 사이에는 회전볼부(555)가 회전 가능하게 삽입됨으로써, 기판(100)의 왕복 이동이나 기판(100)의 회전을 부드럽게 할 수 있다.As another example, when the second guide 554 is provided in both the lower plate portion 51 and the upper plate portion 52, the first guide 553 may be provided between the pair of second guides 554. [ Thus, the substrate 100 can be stably aligned by reciprocating the substrate 100 mounted on the substrate seating unit 20 or rotating the substrate 100 in a planar state. Here, the rotation ball 555 is rotatably inserted between the first guide 553 and the second guide 554, so that the reciprocating movement of the substrate 100 and the rotation of the substrate 100 can be smooth.

기판감지부(56, 57, 58)는 제1작동부(53) 내지 제3작동부(55)에 대응하여 세 개가 구비되고, 제1작동부(53) 내지 제3작동부(55)의 왕복 이동량을 결정하기 위해 기판(100)의 안착 상태를 감지한다. 기판감지부(56, 57, 58)는 제1작동부(53)의 동작을 위해 기판(100)을 감지하는 제1기판감지부(56)와, 제2작동부(54)의 동작을 위해 기판(100)을 감지하는 제2기판감지부(57)와, 제3작동부(55)의 동작을 위해 기판(100)을 감지하는 제3기판감지부(58)로 구분할 수 있다. 기판감지부(56, 57, 58)는 기판(100)의 가장자리에 배치되는 포토센서로 구성되어 기판(100)의 안착 상태를 정밀하게 감지할 수 있다.Three substrate detecting portions 56, 57 and 58 corresponding to the first to third actuating portions 53 to 55 are provided and the first to third actuating portions 53 to 55 And senses the seating state of the substrate 100 to determine the amount of reciprocation. The substrate sensing units 56, 57 and 58 include a first substrate sensing unit 56 for sensing the substrate 100 for operation of the first operation unit 53 and a second substrate sensing unit 56 for sensing the operation of the second operation unit 54. [ A second substrate sensing part 57 sensing the substrate 100 and a third substrate sensing part 58 sensing the substrate 100 for the operation of the third operating part 55. The substrate sensing units 56, 57, and 58 may include a photosensor disposed at the edge of the substrate 100 to precisely detect the seating state of the substrate 100.

작동지지부(59)는 제1작동부(53) 내지 제3작동부(55)에서 이격되어 제1작동부(53) 내지 제3작동부(55)의 동작에 따라 제1방향 또는 제2방향으로 상판부(52)를 이동시킨다.The operation supporting portion 59 is spaced apart from the first operating portion 53 to the third operating portion 55 and moves in the first direction or the second direction 55 according to the operation of the first operating portion 53 to the third operating portion 55 The upper plate 52 is moved.

작동지지부(59)는 상술한 제1가이드(553)와 제2가이드(554)를 포함하고, 회전볼부(555)를 더 포함할 수 있다. 작동지지부(59)는 제1작동부(53) 내지 제3작동부(55)에서 작동모터부(551)와 작동감지부(556)가 생략된 구성을 통해 제1작동부(53) 내지 제3작동부(55)와 연계되어 하판부(51) 상에서 상판부(52)를 4점 지지하고, 기판(100)의 왕복 이동이나 기판(100)의 회전을 안정화시키며, 기판(100)의 정렬 동작을 부드럽게 할 수 있다.
The operation support portion 59 includes the first guide 553 and the second guide 554 described above and may further include a rotation ball portion 555. [ The operation supporting portion 59 is provided in the first operating portion 53 to the third operating portion 55 with the operation motor portion 551 and the operation sensing portion 556 omitted, 3 operation part 55 to support the upper plate part 52 at four points on the lower plate part 51 to stabilize the reciprocal movement of the substrate 100 and the rotation of the substrate 100, Can be softened.

지금부터는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛의 동작에 대하여 설명한다.The operation of the substrate reversing unit according to one embodiment of the present invention will now be described.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛에서 기판의 지지 상태를 도시한 도면이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판반전유닛에서 기판의 반전 상태를 도시한 도면이다.FIG. 9 is a view showing a state of supporting a substrate in a substrate reversing unit according to an embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a diagram illustrating an inverted state of a substrate in the substrate reversing unit according to an embodiment of the present invention.

도 9를 참조하면, 반전지지부(30)를 기판안착부(20) 측으로 이동시키기 위해 왕복모터부(41)가 동작되면, 왕복모터부(41)의 회전력은 제1전환블럭(42)과, 제1전달스크류(43)와, 제2전환블럭(44)과, 제2전달스크류(45)와, 제3전환블럭(46)을 거쳐 왕복지지부(47)에 전달된다. 그러면, 왕복지지부(47)는 제3전환블럭(46)에서 기판안착부(20) 측으로 이동됨으로써, 지지돌부(32)의 지지패드부(323)가 기판안착부(20)에 안착된 기판(100)에 접촉될 수 있다.9, when the reciprocating motor portion 41 is operated to move the inverting support portion 30 to the substrate seating portion 20 side, the rotational force of the reciprocating motor portion 41 is transmitted to the first switching block 42, Is transmitted to the reciprocating support portion 47 through the first transfer screw 43, the second transfer block 44, the second transfer screw 45 and the third transfer block 46. Then, the reciprocating support portion 47 is moved from the third switching block 46 to the substrate seating portion 20 side so that the supporting pad portion 323 of the supporting projection portion 32 is moved to the substrate 0.0 > 100). &Lt; / RTI >

이때, 왕복감지부(33)의 감지 동작으로 왕복모터부(41)가 정지됨으로써, 반전지지부(30)의 지지돌부(32)가 기판안착부(20)에 안착된 기판(100)을 지지하게 된다.At this time, the reciprocating motor unit 41 is stopped by the sensing operation of the reciprocation sensing unit 33, so that the support protrusion 32 of the inverting support unit 30 supports the substrate 100 which is seated on the substrate seating unit 20 do.

반대로 왕복모터부(41)가 동작되면, 왕복지지부(47)는 제3전환블럭(46)에서 복귀함으로써, 지지돌부(32)의 지지패드부(323)가 기판안착부(20)에서 이격될 수 있다. 이때, 왕복감지부(33)의 감지 동작으로 왕복모터부(41)가 정지됨으로써, 반전지지부(30)의 지지돌부(32)가 기판안착부(20)에서 이격될 수 있다. 기판(100)이 반전된 상태에서는 반전지지부(30)의 지지돌부(32)에 기판(100)이 안착된 상태에서 기판(100)이 기판안착부(20)에서 이격될 수 있다.Conversely, when the reciprocating motor portion 41 is operated, the reciprocating support portion 47 is returned from the third switching block 46 so that the support pad portion 323 of the support projecting portion 32 is separated from the substrate seating portion 20 . At this time, the reciprocating motor unit 41 is stopped by the sensing operation of the reciprocation sensing unit 33, so that the support protrusion 32 of the inverting support unit 30 can be spaced apart from the substrate seating unit 20. The substrate 100 may be spaced apart from the substrate seating portion 20 in a state where the substrate 100 is mounted on the supporting protrusions 32 of the inversion supporting portion 30 in a state in which the substrate 100 is inverted.

도 10을 참조하면, 반전구동부(11)의 동작에 따라 반전바디부(10)는 반전축부(12)와 비틀림부(13)를 중심으로 정회전됨으로써, 기판(100)이 기판안착부(20)와 반전지지부(30)에 의해 지지된 상태에서 기판(100)을 180도 또는 360도 회전시켜 기판(100)을 반전시킬 수 있다.10, according to the operation of the inversion driving unit 11, the inversion body unit 10 is rotated in the forward direction about the inversion axis unit 12 and the twist unit 13 so that the substrate 100 is moved to the substrate seating unit 20 The substrate 100 may be rotated by 180 degrees or 360 degrees in a state where the substrate 100 is supported by the substrate supporting unit 30 and the inverting support unit 30.

반대로 반전구동부(11)의 동작에 따라 반전바디부(10)는 반전축부(12)와 비틀림부(13)를 중심으로 역회전됨으로써, 기판(100)이 기판안착부(20)와 반전지지부(30)에 의해 지지된 상태에서 기판(100)을 180도 또는 360도 회전시켜 기판(100)을 원위치로 복귀시킬 수 있다.Conversely, according to the operation of the inversion driving unit 11, the inversion body unit 10 is reversely rotated about the inversion axis unit 12 and the twist unit 13, whereby the substrate 100 is moved to the substrate seating unit 20 and the inversion support unit 30, the substrate 100 may be rotated 180 degrees or 360 degrees to return the substrate 100 to the original position.

또한, 반전구동부(11)의 동작에 따라 반전바디부(10)는 반전축부(12)와 비틀림부(13)를 중심으로 역회전됨으로써, 기판안착부(20)와 반전지지부(30)가 상호 이격된 상태에서 반전바디부(10)를 180도 또는 360도 회전시켜 원위치로 복귀됨에 따라 새로운 기판(100)을 투입할 수 있다.
The reversing body 10 is reversely rotated about the reversing axis 12 and the twist 13 in accordance with the operation of the reversing driver 11 so that the substrate seating 20 and the reversing support 30 are mutually rotated The reversing body 10 is rotated by 180 degrees or 360 degrees in the separated state, and the new substrate 100 can be charged as it returns to the original position.

상술한 기판반전유닛에 따르면, 기판(100)을 안정되게 흡착 지지할 수 있고, 흡착된 기판(100)을 원활하게 이송시키거나 반전시킬 수 있다.According to the substrate reversing unit described above, the substrate 100 can be stably supported and supported, and the attracted substrate 100 can be smoothly transferred or reversed.

또한, 본 발명은 합착된 기판(100)을 흡착 지지할 때, 합착된 기판(100) 사이에 구비되는 씰부(103)가 기판(100)에서 분리(씰 터짐 현상)되는 것을 방지할 수 있고, 기판(100)의 흡착력을 향상시키며, 기판(100)이 이송되거나 반전되는 과정에서 기판(100)이 기판안착부(20)에서 분리되는 것을 예방하며, 기판(100)의 파손을 방지할 수 있다.In addition, the present invention can prevent the seal portion 103 provided between the bonded substrates 100 from separating (sealing) from the substrate 100 when the bonded substrate 100 is attracted and supported, The attracting force of the substrate 100 is improved and the substrate 100 is prevented from being separated from the substrate seating portion 20 during the process of transferring or reversing the substrate 100 and the breakage of the substrate 100 can be prevented .

또한, 본 발명은 기판(100)이 이송되거나 반전될 때, 기판(100)의 편평도를 안정되게 유지시킬 수 있고, 기판(100)을 흡착할 때, 기판(100)의 외형이 변형되는 것을 방지하며, 기판(100)에 표면에 얼룩이 발생되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the present invention can stably maintain the flatness of the substrate 100 when the substrate 100 is conveyed or inverted, and prevents the substrate 100 from being deformed when the substrate 100 is sucked And it is possible to prevent the surface of the substrate 100 from being contaminated.

또한, 본 발명은 기판(100)의 반전을 용이하게 하고, 기판안착부(20) 또는 반전지지부(30)에 전달되는 기판(100)의 출렁임을 방지하며, 기판(100)의 출렁임에 의한 기판(100)의 파손을 방지할 수 있다.In addition, the present invention facilitates the inversion of the substrate 100, prevents the substrate 100 from being entangled in the substrate seating portion 20 or the inversion support portion 30, It is possible to prevent breakage of the battery 100.

또한, 본 발명은 기판의 반전 동작에서 연결라인(미도시)의 꼬임을 방지할 수 있고, 연결라인(미도시)의 탈락, 분리, 이탈, 늘어짐, 단선, 피복 벗겨짐 등을 방지하며, 연결라인(미도시)의 사용 수명을 연장할 수 있고, 케이블베어 갈림 문제를 해결하고, 케이블베어에서 연결라인(미도시)이 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
In addition, the present invention can prevent the twist of the connection line (not shown) in the reversal operation of the substrate and prevent the connection line (not shown) from falling off, separating, separating, slacking, disconnection, It is possible to extend the service life of the cable bare (not shown), to solve the problem of breaking the cable and to prevent the connection line (not shown) from being detached from the cable bare.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. I will understand.

따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
Accordingly, the true scope of protection of the present invention should be defined by the claims.

A: 본체 100: 기판 101: 제1기판부
102: 제2기판부 103: 씰부 111: 적층부
112: 합착부 113: 코너컷부
10: 반전바디부 11: 반전구동부 12: 반전축부
13: 비틀림부 14: 완충부 20: 기판안착부
21: 안착바디부 22: 안착프레임부 23: 흡착부
231: 흡착관부 232: 흡착판부 233: 분배라인부
30: 반전지지부 31: 지지바디부 32: 지지돌부
321: 설치돌부 323: 지지패드부 324: 탄성패드
325: 충격흡수부 327: 길이조절부 33: 왕복감지부
331: 왕복단자부 332: 왕복센싱부 40: 왕복구동부
41: 왕복모터부 42: 제1전환블럭 43: 제1전달스크류
44: 제2전환블럭 45: 제2전달스크류 46: 제3전환블럭
47: 왕복지지부 50: 얼라인부 51: 하판부
52: 상판부 53: 제1작동부 54: 제2작동부
55: 제3작동부 551: 작동모터부 552: 작동스크류
553: 제1가이드 554: 제2가이드 555: 회전돌부
556: 작동감지부 557: 작동단자부 558: 작동센싱부
56: 제1기판감지부 57: 제2기판감지부 58: 제3기판감지부
59: 작동지지부A: main body 100: substrate 101: first substrate portion
102: second substrate portion 103: seal portion 111: laminated portion
112: Adhesive portion 113: Corner cut portion
10: inverted body part 11: inverted driving part 12: inverted shaft part
13: twist portion 14: buffer portion 20: substrate seating portion
21: seat body 22: seat frame 23:
231: suction pipe section 232: suction plate section 233: distribution line section
30: inverted support part 31: support body part 32:
321: mounting protrusion 323: supporting pad portion 324: elastic pad
325: shock absorbing part 327: length adjusting part 33:
331: a reciprocating terminal portion 332: a reciprocating sensing portion 40:
41: reciprocating motor part 42: first switching block 43: first delivery screw
44: second conversion block 45: second transmission screw 46: third conversion block
47: reciprocating support part 50: aligning part 51: lower plate part
52: upper plate portion 53: first operating portion 54: second operating portion
55: third operating portion 551: operating motor portion 552: operating screw
553: first guide 554: second guide 555:
556: Operation detection unit 557: Operation terminal unit 558: Operation sensing unit
56: first substrate sensing part 57: second substrate sensing part 58: third substrate sensing part
59:

Claims

An inversion body part rotatably supported by an inversion driving part for normal and reverse rotation;
A substrate seating part provided on the inverting body part to support the substrate;
An inverting support portion disposed to face the substrate seating portion and spaced apart from the substrate supporting portion; And
A reciprocating driver provided in the inverting body to reciprocate the inverting support; Wherein the substrate reversing unit comprises:

The method according to claim 1,
The reciprocating drive unit includes:
A reciprocating motor portion rotated forward and backward for reciprocating movement;
A first switching block coupled to the reciprocating motor portion to switch the rotational direction of the reciprocating motor portion;
A pair of first transmission screws for transmitting rotational force of the first switching block;
A third switching block for switching the rotation direction of the first delivery screw; And
A reciprocating support portion coupled to the inverting support portion and reciprocatingly moved by a rotational force of the third switching block; Wherein the substrate reversing unit comprises:

3. The method of claim 2,
The reciprocating drive unit includes:
A second switching block for switching the rotational direction of the first delivery screw; And
A pair of second transmission screws for transmitting the rotational force of the second conversion block to the third conversion block; Further comprising: a substrate reversing unit for reversing the substrate.

4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The inversion support portion
A support body coupled to the reciprocating driver;
A plurality of support protrusions spaced apart from the support body part; And
A reciprocating sensing unit for sensing a contact state between the supporting protrusions and the substrate; Wherein the substrate reversing unit comprises:

5. The method of claim 4,
The support protruding portion,
A plurality of mounting projections coupled to the support body;
A support pad portion coupled to the mounting projection and having an elastic pad capable of being elastically deformed at an end thereof; And
An impact absorbing portion provided on the mounting projection portion and elastically supporting the supporting pad portion; Wherein the substrate reversing unit comprises:

5. The method of claim 4,
The support protruding portion,
Wherein the substrate reversing unit is provided to face a plurality of adsorption units provided on the substrate seating unit.

4. The method according to any one of claims 1 to 3,
An alignment portion for aligning the substrate placed on the substrate seating portion; Further comprising: a substrate reversing unit for reversing the substrate.

8. The method of claim 7,
The aligning portion
A lower plate coupled to the inverting body;
An upper plate coupled to the seating body;
A first actuating part coupled to the lower plate part and reciprocating the upper plate part in a first direction;
A second actuating part spaced apart from the first actuating part and coupled to the lower plate part and reciprocating the upper plate part in a direction parallel to the first direction;
A third actuating part spaced apart from the first actuating part and the second actuating part and coupled to the lower plate part and reciprocating the upper plate part in a second direction perpendicular to the first direction; And
Three substrate sensing portions for sensing a seating state of the substrate to determine a reciprocating amount of the first operating portion to the third operating portion; Wherein the substrate reversing unit comprises:

9. The method of claim 8,
The aligning portion
An operation support portion spaced apart from the first operation portion to the third operation portion and moving the upper plate portion in the first direction or the second direction according to the operation of the first operation portion and the third operation portion; Further comprising: a substrate reversing unit for reversing the substrate.

9. The method of claim 8,
Wherein the first operation unit to the third operation unit comprises:
An operation motor unit for rotating the operation screw according to reciprocating movement amount;
A first guide reciprocally coupled to the operating screw;
A second guide provided on at least one of the lower plate portion and the upper plate portion and reciprocally coupled to the first guide; And
An operation sensing unit for setting a reciprocating movement limit of the first guide; Wherein the substrate reversing unit comprises:

11. The method of claim 10,
Wherein the first operation unit to the third operation unit comprises:
A rotating ball portion rotatably coupled between the first guide and the second guide; Further comprising: a substrate reversing unit for reversing the substrate.