KR20160009547A - 테이블 장치 및 반송 장치 - Google Patents

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도시노리 사토
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닛뽄 세이꼬 가부시기가이샤
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Abstract

테이블 장치(100)는, 수평면 내에 있어서 이동 가능한 제 1 부재(1)와, 제 1 부재에 대하여 상대 이동 가능한 제 2 부재(2)와, 적어도 일부가 제 1 부재에 배치되어, 제 1 부재의 이동에 의해 수평면과 직교하는 제 1 축과 평행한 방향으로 제 2 부재가 이동하도록 제 2 부재를 가이드하는 제 1 가이드 장치(4)와, 제 2 부재에 지지되는 테이블(10)과, 상면측의 적어도 일부가 테이블에 접속되는 제 3 부재(3)와, 제 3 부재의 측면과의 사이에 기체를 공급 가능한 제 1 공급구(15)를 가지고, 제 1 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 제 3 부재의 측면과의 사이에 기체 베어링을 형성하여, 제 1 축과 평행한 방향으로 제 3 부재를 이동 가능하게 지지하는 베어링 부재(5)와, 제 1 부재를 이동하기 위한 동력을 발생하는 액추에이터(7)와, 제 3 부재의 하면이 면하는 공간에 면하도록 배치되어, 공간에 기체를 공급하는 제 2 공급구를 가지는 중력 보상 장치(60)를 구비한다.

Description

테이블 장치 및 반송 장치{TABLE DEVICE AND CONVEYANCE DEVICE}
본 발명은, 테이블 장치 및 반송 장치에 관한 것이다.
반송 장치에 있어서, 예를 들면 특허문헌 1에 개시되어 있는 바와 같은, 이동 가능한 테이블을 구비하는 테이블 장치가 사용된다.
일본국 공개특허 특개2004-195620호
테이블 장치에 있어서, 예를 들면 테이블의 중량에 의해, 테이블을 이동하기 위한 액추에이터에 부하가 걸릴 가능성이 있다. 액추에이터에 부하가 걸려, 그 액추에이터가 발열하면, 주위의 부재가 열변형하여, 테이블의 위치 결정 정밀도가 저하될 가능성이 있다.
본 발명은, 액추에이터에 걸리는 부하를 저감하여, 위치 결정 정밀도의 저하를 억제할 수 있는 테이블 장치 및 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 테이블 장치는, 수평면 내에 있어서 이동 가능한 제 1 부재와, 상기 제 1 부재에 대하여 상대 이동 가능한 제 2 부재와, 적어도 일부가 상기 제 1 부재에 배치되어, 상기 제 1 부재의 이동에 의해 상기 수평면과 직교하는 제 1 축과 평행한 방향으로 상기 제 2 부재가 이동하도록 상기 제 2 부재를 가이드하는 제 1 가이드 장치와, 상기 제 2 부재에 지지되는 테이블과, 상면, 하면 및 상기 상면과 상기 하면을 연결하는 측면을 가지고, 상기 상면측의 적어도 일부가 상기 테이블에 접속되는 제 3 부재와, 상기 제 3 부재의 측면과의 사이에 기체를 공급 가능한 제 1 공급구를 가지고, 상기 제 1 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 제 3 부재의 측면과의 사이에 기체 베어링을 형성하여, 상기 제 1 축과 평행한 방향으로 상기 제 3 부재를 이동 가능하게 지지하는 베어링 부재와, 상기 제 1 부재를 이동하기 위한 동력을 발생하는 액추에이터와, 상기 제 3 부재의 하면이 면하는 공간에 면하도록 배치되어, 상기 공간에 기체를 공급하는 제 2 공급구를 가지는 중력 보상 장치를 구비한다.
따라서, 제 2 공급구로부터 제 3 부재의 하면에 면하는 공간에 공급된 기체에 의해, 액추에이터에 대한 테이블의 중량의 작용이 저감된다. 즉, 중력 보상 장치가, 중력의 작용에 의해 테이블로부터 액추에이터로 전달되는 힘이 저감되도록, 제 2 공급구로부터 공간에 기체를 공급하기 때문에, 액추에이터에 걸리는 부하가 저감된다. 그 때문에, 액추에이터의 발열이 억제되어, 액추에이터의 주위의 부재의 열변형이 억제된다. 또, 테이블 장치의 부재의 열변형이 억제되기 때문에, 테이블의 위치 결정 정밀도의 저하가 억제되어, 테이블 장치의 성능의 저하가 억제된다. 또, 본 발명에 의하면, 제 3 부재와 베어링 부재와의 사이에 형성되는 기체 베어링에 의해, 제 3 부재가 접속된 테이블은, 목표 궤도로 이동 가능하다. 예를 들면, 베어링 부재가 제 3 부재를 제 1 축과 평행한 방향으로 곧게 이동하도록, 제 3 부재를 이동 가능하게 지지(가이드)함으로써, 그 제 3 부재가 접속된 테이블은, 제 1 축과 평행한 방향으로 곧게 이동 가능하다. 즉, 기체 베어링을 형성 가능한 베어링 부재에 의해, 제 3 부재 및 테이블의 이동에 있어서의 진직성(眞直性)의 저하가 억제된다. 즉, 제 3 부재와 베어링 부재와의 사이에 기체 베어링이 형성됨으로써, 베어링 부재는, 비접촉으로 제 3 부재를 지지한다. 이것에 의해, 제 3 부재는, 원활하게 제 1 축과 평행한 방향으로 이동 가능하다. 베어링 부재가 제 3 부재와 접촉하면, 제 3 부재의 이동에 대하여 저항력이 발생할 가능성이 있다. 그 결과, 테이블 및 제 3 부재를 곧게 이동하려고 함에도 불구하고, 테이블 및 제 3 부재가 곧게 이동하지 않을 가능성이 있다. 또, 베어링 부재가 제 3 부재와 접촉하면, 제 3 부재의 이동에 의해 진동이 발생할 가능성이 있다. 제 3 부재에 진동이 발생하면, 테이블도 진동하고, 그 결과, 테이블의 위치 결정 정밀도가 저하될 가능성이 있다. 본 발명에 있어서는, 베어링 부재가 제 3 부재를 비접촉으로 이동 가능하게 지지하기 때문에, 테이블 및 제 3 부재는 곧게 이동 가능하다. 또, 진동의 발생이 억제된다. 그 결과, 테이블의 위치 결정 정밀도의 저하가 억제되어, 테이블 및 그 테이블에 지지되는 물체를 목표 위치에 배치할 수 있다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 상기 제 3 부재는, 상기 제 1 축과 평행한 방향으로 긴 막대 형상의 부재이고, 상기 베어링 부재는, 상기 제 3 부재의 측면의 주위에 배치되는 통 형상의 부재이며, 상기 제 1 공급구는, 상기 제 3 부재의 측면과 대향하도록 배치되고, 상기 제 1 축과 평행한 방향에 관한 상기 제 3 부재의 이동 범위에 있어서, 상기 제 1 공급구는, 상기 제 3 부재의 측면과 계속하여 대향한다.
따라서, 제 3 부재의 이동 범위에 있어서, 제 3 부재와 베어링 부재와의 사이에 기체 베어링을 계속하여 형성할 수 있어, 제 3 부재와 베어링 부재의 비접촉 상태를 유지할 수 있다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 상기 제 1 축과 평행한 방향에 관하여, 상기 제 3 부재의 치수는, 상기 베어링 부재의 치수보다 크다.
따라서, 베어링 부재의 상단부로부터 돌출하는 제 3 부재와 테이블을 원활하게 접속할 수 있다. 또, 베어링 부재의 하단부로부터도 제 3 부재가 돌출함으로써, 베어링 부재의 상단부측과 하단부측의 질량(중량)의 밸런스가 향상된다. 이것에 의해, 제 3 부재는, 곧게 이동 가능하다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 적어도 일부가 상기 제 3 부재 및 상기 베어링 부재의 주위에 배치되어, 상기 베어링 부재를 지지하는 지지 부재를 구비하고, 상기 제 2 공급구는, 상기 제 3 부재의 하면과 상기 지지 부재의 내면에 의하여 규정되는 공간에 기체를 공급한다.
따라서, 제 3 부재의 하면과 지지 부재의 내면에 의해 닫혀진 공간에 기체가 공급되기 때문에, 제 2 공급구로부터 공급된 기체에 의해 공간의 압력을 양호하게 조정할 수 있다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 상기 중력 보상 장치는, 상기 하면이 면하는 공간의 압력이 상기 지지 부재의 외측의 공간의 압력보다 높아지도록, 상기 제 2 공급구로부터 기체를 공급한다.
따라서, 중력 보상 장치는, 테이블의 자중에 의한 연직 방향 하향으로의 힘을 상쇄하도록, 제 3 부재 및 테이블에 대하여 상향의 힘을 가할 수 있다. 그 때문에, 액추에이터에 걸리는 부하가 저감된다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 상기 수평면과 평행한 상기 제 3 부재의 단면의 외형은 원형이다.
따라서, 제 3 부재(3)의 제조에 있어서, 높은 가공 정밀도를 용이하게 얻을 수 있어, 목표 형상을 용이하게 얻을 수 있다. 그 때문에, 그 제 3 부재의 측면과 베어링 부재와의 사이에 형성되는 간극의 치수가 불균일해지는 것이 억제된다. 따라서, 제 3 부재와 베어링 부재와의 사이에 형성되는 기체 베어링의 성능의 저하가 억제되어, 제 3 부재(3)의 목표 궤도로부터 벗어나 이동되는 것이 억제된다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 상기 제 3 부재는 적어도 2개 배치되고, 상기 테이블의 제 1 부위 및 상기 제 1 부위와는 다른 상기 테이블의 제 2 부위의 각각에 접속된다.
따라서, 테이블에 접속된 복수의 제 3 부재에 의해, 예를 들면 테이블의 회전이 억제된다. 이것에 의해, 테이블의 위치 결정 정밀도가 향상된다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 상기 제 3 부재의 이동 범위에 있어서, 상기 제 1 축과 평행한 방향에 관하여, 상기 제 3 부재의 중심은, 상기 베어링 부재의 일단부와 타단부와의 사이에 계속하여 배치된다.
따라서, 제 3 부재의 이동 중에 있어서도, 베어링 부재의 상단부측과 하단부측의 질량(중량)의 밸런스가 향상되기 때문에, 제 3 부재는, 곧게 이동 가능하다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 상기 액추에이터에 의해, 상기 제 1 부재가 상기 수평면 내의 제 2 축과 평행한 방향으로 이동되고, 상기 제 2 축과 평행한 방향에 관한 상기 제 2 부재의 이동을 억제하는 억제 부재를 구비한다.
따라서, 제 2 축과 평행한 방향으로 제 1 부재가 이동하더라도, 제 2 부재가 제 2 축과 평행한 방향으로 이동하는 것이 억제된다. 이것에 의해, 제 2 축과 평행한 방향에 관한 제 1 부재의 이동이, 제 1 축과 평행한 방향에 관한 제 2 부재의 이동에 효율적으로 변환된다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 적어도 일부가 상기 억제 부재에 배치되어, 상기 제 2 부재를 상기 제 1 축과 평행한 방향으로 가이드하는 제 2 가이드 장치를 가진다.
따라서, 제 2 부재는, 제 2 가이드 장치에 가이드되어 제 1 축과 평행한 방향으로 이동 가능하다. 제 2 부재가 제 1 축과 평행한 방향으로 이동함으로써, 그 제 2 부재에 지지되어 있는 테이블도, 제 2 부재와 함께 제 1 축과 평행한 방향으로 이동 가능하다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 상기 제 2 부재와 상기 테이블과의 사이에 배치되어, 상기 테이블을 유연하게 지지하는 지지 장치를 구비한다.
따라서, 억제 부재(제 2 가이드 장치)와 제 2 부재의 접촉에 의해, 제 2 부재가 원하지 않은 이동(진동)을 하더라도, 지지 장치에 의해, 그 원하지 않은 이동(진동)이 테이블로 전달되는 것이 억제된다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 상기 지지 장치는, 구면 베어링을 포함한다.
따라서, 억제 부재(제 2 가이드 장치)와 제 2 부재의 접촉에 의해, 제 2 부재가 진동하거나, 제 2 부재가 목표 궤도로부터 벗어나 이동하더라도, 구면 베어링의 내륜 부재와 외륜 부재의 상대 이동에 의해, 그 원하지 않은 이동(진동)을 흡수하여, 테이블로 전달되는 것이 억제된다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반송 장치는, 상기의 테이블 장치를 구비한다.
따라서, 반송 장치는, 테이블에 지지되어 있는 물체를 목표 위치로 반송할 수 있다. 또, 반송 장치의 부재의 열변형 및 반송 장치에 의해 반송되는 물체의 열변형이 억제된다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 제조 장치는, 상기의 테이블 장치를 구비한다.
따라서, 반도체 제조 장치는, 목표 위치에 배치된 물체를 처리할 수 있다. 또, 반도체 제조 장치의 부재의 열변형 및 물체의 열변형이 억제된다. 따라서, 그 물체로부터 불량인 제품이 제조되어버리는 것이 억제된다.
본 발명의 테이블 장치 및 반송 장치에 의하면, 액추에이터에 걸리는 부하가 저감되어, 위치 결정 정밀도의 저하가 억제된다.
도 1은, 본 실시형태에 관련된 테이블 장치의 일례를 나타낸 정면도이다.
도 2는, 도 1의 A-A선 화살표로 나타낸 도면이다.
도 3은, 본 실시형태에 관련된 테이블 장치의 일례를 나타낸 측면도이다.
도 4는, 본 실시형태에 관련된 테이블 장치의 일례를 나타낸 측면도이다.
도 5는, 도 1의 일부를 확대한 도면이다.
도 6은, 본 실시형태에 관련된 가이드 장치의 일례를 나타낸 도면이다.
도 7은, 본 실시형태에 관련된 기체 베어링의 일례를 나타낸 도면이다.
도 8은, 본 실시형태에 관련된 기체 베어링의 일례를 나타낸 단면도이다.
도 9는, 본 실시형태에 관련된 테이블 장치의 동작의 일례를 나타낸 도면이다.
도 10은, 본 실시형태에 관련된 기체 베어링의 일례를 나타낸 단면도이다.
도 11은, 본 실시형태에 관련된 반송 장치 및 반도체 제조 장치의 일례를 나타낸 도면이다.
도 12는, 본 실시형태에 관련된 반송 장치 및 검사 장치의 일례를 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명에 관련된 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명하지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 이하에서 설명하는 각 실시형태의 요건은, 적절히 조합할 수 있다. 또, 일부의 구성 요소를 이용하지 않는 경우도 있다. 이하의 설명에 있어서는, XYZ 직교 좌표계를 설정하고, 이 XYZ 직교 좌표계를 참조하면서 각 부의 위치 관계에 대하여 설명한다. 수평면 내의 일방향을 X축 방향, 수평면 내에 있어서 X축 방향과 직교하는 방향을 Y축 방향, X축 방향 및 Y축 방향의 각각과 직교하는 방향(즉 연직 방향)을 Z축 방향이라고 한다. 또, X축, Y축 및 Z축 둘레의 회전(경사) 방향을 각각, θX, θY 및 θZ 방향이라고 한다. X축은, YZ 평면과 직교한다. Y축은, XZ 평면과 직교한다. Z축은, XY 평면과 직교한다.
도 1은, 본 실시형태에 관련된 테이블 장치(100)의 일례를 나타낸 도면이다. 도 2는, 도 1의 A-A선 화살표로 나타낸 도면이다. 도 3은, 도 1의 테이블 장치(100)를 -X측으로부터 본 도면이다. 도 4는, 도 1의 테이블 장치(100)를 +X측으로부터 본 도면이다. 도 5는, 도 1의 일부를 확대한 도면이다.
테이블 장치(100)는, 물체(S)를 지지 가능한 테이블(10)과, XY 평면 내(수평면 내)에 있어서 이동 가능한 제 1 부재(1)와, 제 1 부재(1)에 대하여 상대 이동 가능한 제 2 부재(2)와, 적어도 일부가 제 1 부재(1)에 배치되어, 제 1 부재(1)의 이동에 의해 Z축 방향으로 제 2 부재(2)가 이동하도록 제 2 부재(2)를 가이드하는 가이드 장치(4)와, 테이블(10)의 적어도 일부에 접속되는 제 3 부재(3)와, 제 3 부재(3)와의 사이에 기체 베어링(5G)을 형성하여, Z축 방향으로 제 3 부재(3)를 이동 가능하게 지지하는 베어링 부재(5)와, 베어링 부재(5)를 지지하는 지지 부재(6)와, 제 1 부재(1)를 이동하는 액추에이터(7)를 구비하고 있다. 베어링 부재(5)는, 제 3 부재(3)와의 사이에 기체를 공급 가능한 공급구(15)를 가진다. 베어링 부재(5)는, 그 공급구(15)로부터 공급되는 기체에 의해, 제 3 부재(3)와의 사이에 기체 베어링(5G)을 형성하여, 그 제 3 부재(3)를 비접촉 지지한다.
또, 테이블 장치(100)는, 액추에이터(7)에 대한 테이블(10)의 중량의 작용을 저감하기 위한 중력 보상 장치(60)를 구비하고 있다. 중력 보상 장치(60)는, 기체를 공급 가능한 공급구(62)를 가지고, 그 공급구(62)로부터 기체를 공급하여, 액추에이터(7)에 대한 테이블(10)의 중량의 작용을 저감한다.
또, 테이블 장치(100)는, 베이스 부재(8)를 구비하고 있다. 본 실시형태에 있어서, 베이스 부재(8)는, 제 1 베이스 부재(81)와, 제 1 베이스 부재(81)를 지지하는 제 2 베이스 부재(82)를 포함한다. 베이스 부재(8)는, 예를 들면 테이블 장치(100)가 설치되는 시설(예를 들면 공장)의 플로어면 등에 배치된다.
테이블(10)은, 제 2 부재(2)에 지지된다. 제 3 부재(3)는, 테이블(10)의 적어도 일부에 접속된다. 테이블(10)은, +Z 방향을 향하는 상면(10A)과, 상면(10A)의 반대 방향(-Z 방향)을 향하는 하면(10B)을 가진다. 물체(S)는, 테이블(10)의 상면(10A)에 놓여진다. 상면(10A)은, 물체(S)를 지지 가능하다.
제 1 부재(1), 제 2 부재(2) 및 제 3 부재(3)의 각각은, 테이블(10)의 하면(10B)측(-Z측)에 배치된다. 제 2 부재(2)는, 테이블(10)의 하면(10B)측에 있어서, 테이블(10)을 지지한다. 제 3 부재(3)는, 테이블(10)의 하면(10B)에 접속된다.
제 1 부재(1), 제 2 부재(2) 및 제 3 부재(3)의 각각은, 가동 부재이다. 제 1 부재(1), 제 2 부재(2) 및 제 3 부재(3)의 각각은, 테이블(10)의 하방의 공간(-Z측의 공간)에 있어서 이동한다. 제 1 부재(1), 제 2 부재(2) 및 제 3 부재(3)의 각각은, 베이스 부재(8)의 상방의 공간(+Z측의 공간)에 있어서 이동한다.
제 1 부재(1)는, XY 평면 내에 있어서 이동 가능하다. 본 실시형태에 있어서, 제 1 부재(1)는, X축 방향으로 이동 가능하다. XZ 평면 내에 있어서의 제 1 부재(1)의 외형은, 대략 삼각형(쐐기형)이다. 도 1 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 제 1 부재(1)는, XY 평면과 평행한 하면(1B)과, XY 평면에 대하여 경사진 경사면(1G)과, Z축과 평행한 측면(1S)을 가진다. 경사면(1G) 및 측면(1S)은, 하면(1B)보다 상측(+Z측)에 배치된다. 경사면(1G)은, +X 방향을 향하여 상방(+Z 방향)으로 경사진다. 경사면(1G)의 하단부와 하면(1B)의 -X측의 단부가 연결된다. 경사면(1G)의 상단부와 측면(1S)의 상단부가 연결된다. 측면(1S)의 하단부와 하면(1B)의 +X측의 단부가 연결된다.
제 2 부재(2)는, 제 1 부재(1)로 이동 가능하게 지지된다. 제 1 부재(1)와 제 2 부재(2)는 상대 이동 가능하다. 제 2 부재(2)는, 제 1 부재(1)의 상방(+Z측)에 있어서, 제 1 부재(1)에 대하여 상대 이동한다.
제 2 부재(2)는, 적어도 Z축 방향으로 이동 가능하다. 본 실시형태에 있어서는, X축 방향에 관한 제 1 부재(1)의 이동에 의해, 제 2 부재(2)가 Z축 방향으로 이동한다. XZ 평면 내에 있어서의 제 2 부재(2)의 외형은, 대략 삼각형(쐐기형)이다. 도 1 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 제 2 부재(2)는, XY 평면과 평행한 상면(2A)과, XY 평면에 대하여 경사진 경사면(2G)과, Z축과 평행한 측면(2S)을 가진다. 상면(2A)은, 측면(2S) 및 경사면(2G)보다 상측(+Z측)에 배치된다. 경사면(2G)은, +X 방향을 향하여 상방(+Z 방향)으로 경사진다. 본 실시형태에 있어서, 경사면(1G)과 경사면(2G)은 평행하다. 경사면(2G)의 상단부와 상면(2A)의 +X측의 단부가 연결된다. 경사면(2G)의 하단부와 측면(2S)의 하단부가 연결된다. 측면(2S)의 상단부와 상면(2A)의 -X측의 단부가 연결된다.
가이드 장치(4)는, X축 방향에 관한 제 1 부재(1)의 이동에 의해, Z축 방향으로 제 2 부재(2)가 이동하도록 제 2 부재(2)를 가이드한다. 가이드 장치(4)의 적어도 일부는, 제 1 부재(1)에 배치된다. 본 실시형태에 있어서, 가이드 장치(4)는, 제 1 부재(1)에 배치된 레일(41)과, 제 2 부재(2)에 배치되어, 레일(41)을 이동 가능한 슬라이더(42)를 포함한다. 레일(41)은, 제 1 부재(1)의 경사면(1G)에 배치된다. 슬라이더(42)는, 제 2 부재(2)의 경사면(2G)에 배치된다.
가이드 장치(4)는, 직동형의 베어링을 포함한다. 본 실시형태에 있어서, 가이드 장치(4)는, 구름 베어링을 포함한다. 구름 베어링은, 전동체(轉動體)를 가진다. 전동체는, 볼 및 롤러의 일방 또는 양방을 포함한다. 즉, 구름 베어링은, 볼 베어링 및 롤러 베어링의 일방 또는 양방을 포함한다. 본 실시형태에 있어서, 가이드 장치(4)는, 직동형 볼 베어링(linear ball bearing)을 포함한다.
도 6은, 본 실시형태에 관련된 가이드 장치(4)의 일례를 나타낸 도면이다. 레일(41)은, 상방을 향하는 표면(41A)과, 표면(41A)의 양측에 배치되는 측면(41B)과, 측면(41B)의 각각에 형성된 홈(41C)을 가진다. 슬라이더(42)는, 레일(41)의 표면(41A)과 대향 가능한 제 1 대향면(42A)과, 레일(41)의 측면(41B)과 대향 가능한 제 2 대향면(42B)과, 적어도 일부가 레일(41)의 홈(41C)에 배치되는 전동체(볼)(42T)를 가진다. 볼(42T)은 홈(41C)의 내면에 접촉하면서 굴러간다. 홈(41C)을 따라 볼(42T)이 굴러감으로써, 슬라이더(42)는 레일(41)을 원활하게 이동 가능하다.
본 실시형태에 있어서, 레일(41)은, XY 평면에 대하여 경사지도록, 제 1 부재(1)(경사면(1G))에 배치된다. 레일(41)은, 레일(41)의 표면(41A)이 XY 평면에 대하여 경사지도록 배치된다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에 있어서, XY 평면에 대한 레일(41)(표면(41A))의 경사 각도는 θ이다. 각도(θ)는, 0도보다 크고, 90도보다 작다. 슬라이더(42)는, 제 1 대향면(42A)과 레일(41)의 표면(41A)이 평행이 되도록, 제 2 부재(2)(경사면(2G))에 배치된다. 본 실시형태에 있어서, 슬라이더(42)는, 제 2 부재(2)의 경사면(2G)에 2개 배치된다. 또한, 슬라이더(42)는, 제 2 부재(2)에 1개 배치되어도 된다. 3개 이상의 복수의 슬라이더(42)가 제 2 부재(2)에 배치되어도 된다.
제 2 부재(2)는, X축 방향에 관한 제 1 부재(1)의 이동에 의해, Z축 방향으로 이동하도록 가이드 장치(4)에 가이드된다. 제 1 부재(1)가 -X 방향으로 이동하면, 제 2 부재(2)는 +Z 방향으로 이동(상승)한다. 제 1 부재(1)가 +X 방향으로 이동하면, 제 2 부재(2)는 -Z 방향으로 이동(하강)한다. 테이블(10)은, 제 2 부재(2)에 지지되어 있다. 그 때문에, Z축 방향에 관한 제 2 부재(2)의 이동(승강)에 의해, 테이블(10)도, 제 2 부재(2)와 함께 이동(승강)한다. 즉, 제 2 부재(2)가 +Z 방향으로 이동(상승)하면, 테이블(10)은 제 2 부재(2)와 함께 +Z 방향으로 이동한다. 제 2 부재(2)가 -Z 방향으로 이동(하강)하면, 테이블(10)은 제 2 부재(2)와 함께 -Z 방향으로 이동한다.
또한, 가이드 장치(4)에 있어서, 제 1 부재(1)의 경사면(1G)에 슬라이더(42)가 배치되고, 제 2 부재(2)의 경사면(2G)에 레일(41)이 배치되어도 된다.
제 1 부재(1)의 외형은, 대략 삼각형(쐐기형)이다. 제 2 부재(2)의 외형도, 대략 삼각형(쐐기형)이다. 즉, 본 실시형태에 있어서, 테이블 장치(100)는, 소위, 쐐기형 승강 장치를 포함한다. 제 1 부재(1)를, 쐐기 부재(제 1 쐐기 부재)(1)라고 칭해도 된다. 제 2 부재(2)를, 쐐기 부재(제 2 쐐기 부재)(2)라고 칭해도 된다.
액추에이터(7)는, 제 1 부재(1)를 XY 평면 내에 있어서 이동 가능하다. 액추에이터(7)는, 제 1 부재(1)를 이동하기 위한 동력을 발생한다. 액추에이터(7)는, 제 1 부재(1)가 XY 평면 내에 있어서 이동하도록 동력을 발생한다. 본 실시형태에 있어서는, 액추에이터(7)의 작동에 의해, 제 1 부재(1)는 X축 방향으로 이동한다. 액추에이터(7)는, 회전 모터를 포함하고, 공급되는 전력에 의해 작동한다. 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 액추에이터(7)와 제 1 부재(1)는, 동력 전달 장치(11)를 통하여 접속된다. 액추에이터(7)의 동력(구동력)은, 동력 전달 장치(11)를 통하여, 제 1 부재(1)로 전달된다.
본 실시형태에 있어서, 동력 전달 장치(11)는, 액추에이터(7)의 회전 운동을 직선 운동으로 변환한다. 본 실시형태에 있어서, 액추에이터(회전 모터)(7)의 샤프트는, θX 방향으로 회전한다. 동력 전달 장치(11)는, θX 방향의 회전 운동을, X축 방향의 직선 운동으로 변환하여, 제 1 부재(1)로 전달한다. 제 1 부재(1)는, 동력 전달 장치(11)를 통하여 전달되는 액추에이터(7)의 동력(구동력)에 의해, X축 방향으로 이동한다.
본 실시형태에 있어서, 동력 전달 장치(11)는, 볼 나사(11B)를 포함한다. 볼 나사(11B)는, 액추에이터(7)의 작동에 의해 회전하는 나사 축과, 제 1 부재(1)에 접속되어, 나사 축의 주위에 배치되는 너트와, 나사 축과 너트와의 사이에 배치되는 볼을 포함한다. 볼 나사(11B)의 나사 축은, 지지 베어링(12)에 의해 회전 가능하게 지지된다. 본 실시형태에 있어서, 볼 나사(11B)는, θX 방향으로 회전한다. 볼 나사(11B)가 θX 방향으로 회전함으로써, 너트 및 그 너트가 접속되어 있는 제 1 부재(1)가 X축 방향으로 이동(직선 이동)한다.
액추에이터(7)가 볼 나사(11B)의 나사 축을 일방향으로 회전시키면, 그 나사 축의 회전에 의해, 제 1 부재(1)가 +X 방향으로 이동한다. 액추에이터(7)가 볼 나사(11B)의 나사 축을 역방향으로 회전시키면, 그 나사 축의 회전에 의해, 제 1 부재(1)가 -X 방향으로 이동한다. 즉, 액추에이터(7)의 회전 방향(볼 나사(11B)의 나사 축의 회전 방향)에 의거하여, X축 방향에 관한 제 1 부재(1)의 이동 방향(+X 방향 및 -X 방향 중 어느 일방의 방향)이 결정된다. 제 1 부재(1)의 이동 방향에 의거하여, Z축 방향에 관한 제 2 부재(2)(테이블(10))의 이동 방향(-Z 방향 및 +Z 방향 중 어느 일방의 방향)이 결정된다.
도 1 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 테이블 장치(100)는, 제 1 부재(1)를 가이드하는 가이드 장치(9)를 가진다. 가이드 장치(9)는, 제 1 부재(1)를 X축 방향으로 가이드한다. 가이드 장치(9)는, 액추에이터(7)의 작동에 의해, X축 방향으로 제 1 부재(1)가 이동하도록 제 1 부재(1)를 가이드한다. 가이드 장치(9)의 적어도 일부는, 베이스 부재(8)에 배치된다. 본 실시형태에 있어서, 가이드 장치(9)는, 베이스 부재(8)에 배치된 레일(91)과, 제 1 부재(1)에 배치되어, 레일(91)을 이동 가능한 슬라이더(92)를 포함한다. 레일(91)은, 베이스 부재(8)의 상면에 배치된다. 슬라이더(92)는, 제 1 부재(1)의 하면(1B)에 배치된다.
가이드 장치(9)는, 직동형의 베어링을 포함한다. 본 실시형태에 있어서, 가이드 장치(9)는, 직동형 볼 베어링(linear ball bearing)을 포함한다. 제 1 부재(1)는, 액추에이터(7)의 작동에 의해, X축 방향으로 이동하도록 가이드 장치(9)에 가이드된다. 가이드 장치(9)는, 도 6을 참조하여 설명한 가이드 장치(4)와 동등한 구조이다. 가이드 장치(9)에 대한 상세한 설명은 생략한다.
또한, 가이드 장치(9)에 있어서, 베이스 부재(8)의 상면에 슬라이더(92)가 배치되고, 제 1 부재(1)의 하면(1B)에 레일(91)이 배치되어도 된다.
테이블 장치(100)는, X축 방향에 관한 제 2 부재(2)의 이동을 억제하는 억제 부재(13)를 구비하고 있다. 억제 부재(13)는, 제 1 부재(1) 및 제 2 부재(2)보다 -X측에 배치된다. X축 방향에 관하여, 제 2 부재(2)의 적어도 일부는, 제 1 부재(1)와 억제 부재(13)와의 사이에 배치된다. 억제 부재(13)는, 베이스 부재(8)에 고정된다.
예를 들면 -X 방향으로의 제 1 부재(1)의 이동에 의해, 제 2 부재(2)가 제 1 부재(1)와 함께 -X 방향으로 이동할 가능성이 있다. 또, +X 방향으로의 제 1 부재(1)의 이동에 의해, 제 2 부재(2)가 제 1 부재(1)와 함께 +X 방향으로 이동할 가능성이 있다. 본 실시형태에 있어서는, 억제 부재(13)에 의해, 제 2 부재(2)가 X축 방향으로 이동하는 것이 억제된다. 이것에 의해, X축 방향에 관한 제 1 부재(1)의 이동이, Z축 방향에 관한 제 2 부재(2)의 이동에 효율적으로 변환된다.
또, 억제 부재(13)는, X축 방향으로 작용하는 제 2 부재(2)로부터의 힘을 받아낸다. 그 때문에, 제 3 부재(3) 및 베어링 부재(5)에 대하여 제 2 부재(2)로부터 X축 방향에 관한 힘이 작용하는 것이 억제된다. 이것에 의해, 제 3 부재(3)와 베어링 부재(5)와의 사이의 간극의 치수가 유지되고, 기체 베어링(5G)은 제 3 부재(3)를 Z축 방향으로 가이드 가능하다.
본 실시형태에 있어서, 테이블 장치(100)는, 적어도 일부가 억제 부재(13)에 배치되어, 제 2 부재(2)를 가이드하는 가이드 장치(14)를 가진다. 가이드 장치(14)는, 제 2 부재(2)를 Z축 방향으로 가이드한다. 도 1 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에 있어서, 가이드 장치(14)는, 억제 부재(13)에 배치된 레일(141)과, 제 2 부재(2)에 배치되어, 레일(141)을 이동 가능한 슬라이더(142)를 포함한다. 슬라이더(142)는, 제 2 부재(2)의 측면(2S)에 배치된다. 레일(141)은, 슬라이더(142)와 대향하도록, 억제 부재(13)의 측면(13S)에 배치된다.
가이드 장치(14)는, 직동형의 베어링을 포함한다. 본 실시형태에 있어서, 가이드 장치(14)는, 직동형의 구름 베어링을 포함한다. 가이드 장치(14)가, 도 6을 참조하여 설명한 바와 같은, 직동형 볼베어링(linear ball bearing)을 포함해도 된다.
또한, 가이드 장치(14)에 있어서, 억제 부재(13)의 측면(13S)에 슬라이더(142)가 배치되고, 제 2 부재(2)의 측면(2S)에 레일(141)이 배치되어도 된다.
또한, 본 실시형태에 있어서, 가이드 장치(4)는, 전동체를 가지는 구름 베어링을 포함하는 것으로 하였다. 가이드 장치(4)가, 전동체를 가지지 않는 직동형의 슬라이딩 베어링을 포함해도 되고, 직동형의 기체 베어링을 포함해도 된다. 또한, 가이드 장치(4)가, 슬라이더를 가지지 않아도 된다. 예를 들면, 제 2 부재(2)가 Z축 방향으로 이동하도록, 제 1 부재(1)에 설치된 레일을 따라 제 2 부재(2)의 경사면(2G)이 이동되어도 된다. 이 경우, 제 1 부재(1)에 설치된 레일이, 제 2 부재(2)를 가이드하는 가이드 장치로서 기능한다. 마찬가지로, 가이드 장치(9)가, 직동형의 슬라이딩 베어링을 포함해도 되고, 직동형의 기체 베어링을 포함해도 된다. 또한, 가이드 장치(9)가, 슬라이더를 가지지 않아도 된다. 마찬가지로, 가이드 장치(14)가, 직동형의 슬라이딩 베어링을 포함해도 되고, 직동형의 기체 베어링을 포함해도 된다. 또한, 가이드 장치(14)가, 슬라이더를 가지지 않아도 된다.
제 3 부재(3)는, Z축 방향으로 이동 가능하다. 제 3 부재(3)는, 기체 베어링(5G)을 형성 가능한 베어링 부재(5)에 이동 가능하게 지지된다. 베어링 부재(5)는, 제 3 부재(3)를 Z축 방향으로 이동 가능하게 지지한다. 제 3 부재(3)와 베어링 부재(5)와의 사이에 기체가 공급됨으로써, 그 제 3 부재(3)와 베어링 부재(5)와의 사이에 기체 베어링(5G)이 형성된다. 제 3 부재(3)와 베어링 부재(5)와의 사이에 기체 베어링(5G)이 형성됨으로써, 제 3 부재(3)는, 베어링 부재(5)에 비접촉 지지된다.
도 7은, 제 3 부재(3), 베어링 부재(5) 및 지지 부재(6)의 XZ 평면과 평행한 단면도이다. 도 8은, 제 3 부재(3), 베어링 부재(5) 및 지지 부재(6)의 XY 평면과 평행한 단면도이다. 본 실시형태에 있어서, 제 3 부재(3)는, Z축 방향으로 긴 막대 형상의 부재이다. 제 3 부재(3)는, +Z 방향을 향하는 상면(3A)과, -Z 방향을 향하는 하면(3B)과, 상면(3A)과 하면(3B)을 연결하는 측면(외면)(3C)을 가진다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에 있어서, XY 평면과 평행한 제 3 부재(3)의 단면의 외형은, 원형이다. 즉, 제 3 부재(3)는, Z축 방향으로 긴 원기둥 형상의 부재이다. 제 3 부재(3)의 축은, Z축과 평행하다. 또한, 제 3 부재(3)의 내부가 공동(空洞)이어도 된다. 예를 들면, 제 3 부재(3)가 Z축 방향으로 긴 원통 형상의 부재여도 된다.
베어링 부재(5)는, 제 3 부재(3)의 측면(3C)의 주위에 배치되는 통 형상의 부재이다. 베어링 부재(5)는, 원통 형상의 부재이다. 베어링 부재(5)의 축은, Z축과 평행하다. 본 실시형태에 있어서, 제 3 부재(3)의 축과 베어링 부재(5)의 축은 일치한다. 바꾸어 말하면, 제 3 부재(3)의 축과 베어링 부재(5)의 축은 동일한 축이다. 베어링 부재(5)는, 제 3 부재(3)의 측면(3C)과 대향 가능한 내면(5C)을 가진다. 내면(5C)을, 베어링면(5C)이라고 칭해도 된다. 본 실시형태에 있어서, 베어링 부재(5)는, 베어링 부재(5)의 축과 평행한 Z축 방향에 관하여, 2개 배치된다. 이하의 설명에 있어서, Z축 방향으로 배치되는 2개의 베어링 부재(5) 중, +Z측에 배치되는 베어링 부재(5)를 적절히, 제 1 베어링 부재(51)라고 칭하고, 제 1 베어링 부재(51)보다 -Z측에 배치되는 베어링 부재(5)를 적절히, 제 2 베어링 부재(52)라고 칭한다.
지지 부재(6)는, 베어링 부재(5)를 지지한다. 베어링 부재(5)는, 지지 부재(6)에 고정된다. 지지 부재(6)는, 베어링 부재(5)를 통하여, 제 3 부재(3)를 이동 가능하게 지지한다. 본 실시형태에 있어서, 지지 부재(6)는, 적어도 일부가 제 3 부재(3) 및 베어링 부재(5)의 주위에 배치되는 통 형상의 부재이다. 지지 부재(6)의 축은, Z축과 평행하다. 본 실시형태에 있어서, 제 3 부재(3)의 축과 베어링 부재(5)의 축과 지지 부재(6)의 축은 일치한다. 바꾸어 말하면, 제 3 부재(3)의 축과 베어링 부재(5)의 축과 지지 부재(6)의 축은 동일한 축이다. 도 3 및 도 4 등에 나타낸 바와 같이, 지지 부재(6)는, 지지 장치(14S)에 지지된다. 지지 장치(14S)는, 베이스 부재(8)에 고정된다. 본 실시형태에 있어서, 지지 부재(6)는, 지지 장치(14S)를 통하여, 베이스 부재(8)에 지지된다. 지지 부재(6)는, 지지 장치(14S)에 고정된다. 본 실시형태에 있어서는, 베이스 부재(8)에 대한 지지 부재(6)의 위치가 고정된다.
본 실시형태에 있어서, 지지 부재(6)는, 지지 부재(6)의 하면과 베이스 부재(8)의 상면이 접촉하도록 배치된다.
도 7 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 베어링 부재(5)는, 지지 부재(6)의 내면에 배치된다. 베어링 부재(5)는, 제 3 부재(3)의 측면(3C)의 주위에 배치된다. 베어링 부재(5)의 내면(5C)과, 제 3 부재(3)의 측면(외면)(3C)이 대향한다. 베어링 부재(5)의 내면(5C)은, 간극을 통하여, 제 3 부재(3)의 측면(3C)과 대향한다.
베어링 부재(5)는, 제 3 부재(3)를 비접촉으로 지지한다. 베어링 부재(5)는, 제 3 부재(3)의 측면(3C)과의 사이에 기체를 공급 가능한 공급구(15)를 가진다. 본 실시형태에 있어서, 공급구(15)는, 제 3 부재(3)의 측면(3C)과 대향하도록 배치된다. 공급구(15)는, 베어링 부재(5)의 내면(5C)에 배치된다. 공급구(15)로부터 공급되는 기체에 의해, 제 3 부재(3)의 측면(3C)과 베어링 부재(5)의 내면(5C)과의 사이에 기체 베어링(5G)이 형성된다. 기체 베어링(5G)에 의해, 제 3 부재(3)의 측면(3C)과 베어링 부재(5)의 내면(5C)과의 사이에 간극이 형성된다. 본 실시형태에 있어서, 공급구(15)는, 공기(압축 공기)를 공급한다.
제 3 부재(3)의 측면(3C)의 주위에 형성되는 기체 베어링(5G)에 의해, X축 방향 및 Y축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 이동이 제한된다. 기체 베어링(5G)에 의해, X축 방향 및 Y축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 이동이 억제되고, Z축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 이동이 허용된다.
본 실시형태에 있어서, 베어링 부재(5)는, 다공체(다공질 부재)를 포함한다. 다공체는, 예를 들면 일본국 특허 제5093056호, 일본국 공개특허 특개2007-120527호 등에 개시되어 있는 바와 같은 그라파이트(카본 그라파이트)제여도 된다. 또한, 다공체가 세라믹제여도 된다. 공급구(15)는, 다공체의 구멍을 포함한다. 본 실시형태에 있어서, 다공체의 구멍(공급구)(15)으로부터 기체가 공급된다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에 있어서는, 베어링 부재(5)와 지지 부재(6)와의 사이에 캐비티(16)가 형성된다. 기체 공급 장치(17)로부터 캐비티(16)에 기체가 공급된다. 캐비티(16)에 공급된 기체는, 베어링 부재(5)의 내부(다공체의 구멍)를 통과하여, 베어링 부재(5)의 내면(5C)에 도달하고, 그 내면(5C)에 배치된 공급구(15)로부터, 내면(5C)과 외면(3C)과의 사이의 공간에 공급된다. 이것에 의해, 내면(5C)과 외면(3C)과의 사이에 기체 베어링(5G)이 형성된다. 내면(5C)과 외면(3C)이 비접촉 상태가 된다.
본 실시형태에 있어서, 베어링 부재(5)와 제 3 부재(3)와의 사이에 공급된 기체의 적어도 일부가 배출되는 배기구(18)가 설치된다. 배기구(18)는, 지지 부재(6)에 배치된다. 배기구(18)는, 제 1 베어링 부재(51)와 제 2 베어링 부재(52)와의 사이에 배치된다.
제 3 부재(3)는, 테이블(10)에 접속된다. 제 3 부재(3)는, 제 3 부재(3)의 상면(3A)과 테이블(10)의 하면(10B)이 대향하도록, 테이블(10)에 접속된다. 본 실시형태에 있어서, 제 3 부재(3)의 상면(3A)측의 적어도 일부가 테이블(10)에 접속된다. 바꾸어 말하면, 제 3 부재(3)의 상단부의 적어도 일부가 테이블(10)에 접속된다. 제 3 부재(3)의 상면(3A)과 테이블(10)의 하면(10B)은, 접촉해도 되고, 접촉하지 않아도 된다. 제 3 부재(3)는, 테이블(10)에 고정된다. 볼트와 같은 고정 부재에 의해, 테이블(10)에 대하여 제 3 부재(3)가 고정된다.
상술한 바와 같이, 액추에이터(7)의 작동에 의해, 제 1 부재(1)가 X축 방향으로 이동된다. X축 방향에 관한 제 1 부재(1)의 이동에 의해, 제 2 부재(2) 및 그 제 2 부재(2)에 지지되어 있는 테이블(10)이 Z축 방향으로 이동한다. 본 실시형태에 있어서는, Z축 방향에 관한 테이블(10)의 이동에 의해, 그 테이블(10)에 접속되어 있는 제 3 부재(3)가 테이블(10)과 함께 Z축 방향으로 이동한다. 제 3 부재(3)는, 베어링 부재(5)(기체 베어링(5G))에 가이드되어 Z축 방향으로 이동한다. 본 실시형태에 있어서, 베어링 부재(5)는, Z축 방향으로 제 3 부재(3)가 이동하도록 그 제 3 부재(3)를 가이드하는 가이드 장치로서 기능한다. 제 3 부재(3)의 측면(3C)과 대향하는 베어링 부재(5)의 내면(5C)을, 가이드면(5C)이라고 칭해도 된다. 본 실시형태에 있어서, 측면(3C) 및 내면(5C)의 각각은, Z축과 평행하다.
Z축 방향에 관하여, 제 3 부재(3)의 치수는, 베어링 부재(5)의 치수보다 크다(길다). 본 실시형태에 있어서는, Z축 방향에 관하여, 제 3 부재(3)의 상면(3A)과 하면(3B)과의 거리는, 제 1 베어링 부재(51)의 +Z측의 단부(상단부)와 제 2 베어링 부재(52)의 -Z측의 단부(하단부)와의 거리보다 크다.
도 7 등에 나타낸 바와 같이, Z축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 중심(G3)과 베어링 부재(5)의 중심(G5)이 일치하는 상태에 있어서, 상면(3A)을 포함하는 제 3 부재(3)의 +Z측의 단부(상단부)는, 베어링 부재(5)(제 1 베어링 부재(51))의 +Z측의 단부(상단부)보다 +Z측에 배치되고, 하면(3B)을 포함하는 제 3 부재(3)의 -Z측의 단부(하단부)는, 베어링 부재(5)(제 2 베어링 부재(52))의 -Z측의 단부(하단부)보다 -Z측에 배치된다. 바꾸어 말하면, Z축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 중심(G3)과 베어링 부재(5)의 중심(G5)이 일치하는 상태에 있어서, 제 3 부재(3)의 상단부 및 하단부의 각각은, 베어링 부재(5)(제 1 베어링 부재(51) 및 제 2 베어링 부재(52))의 외측에 배치된다.
또한, 본 실시형태에 있어서, Z축 방향에 관한 베어링 부재(5)의 중심(G5)은, 제 1 베어링 부재(51)의 상단부와 제 2 베어링 부재(52)의 하단부와의 사이의 중심이다. 베어링 부재(5)가 1개인 경우, Z축 방향에 관한 베어링 부재(5)의 중심(G5)은, 그 베어링 부재(5)의 상단부와 하단부와의 사이의 중심이다. 베어링 부재(5)가 Z축 방향에 관하여 3개 이상의 복수 배치되는 경우, Z축 방향에 관한 베어링 부재(5)의 중심(G5)은, 복수의 베어링 부재 중 가장 +Z측에 배치되는 베어링 부재의 상단부와, 가장 -Z측에 배치되는 베어링 부재의 하단부와의 사이의 중심이다.
또, 도 7 등에 나타낸 바와 같이, Z축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 중심(G3)과 베어링 부재(5)의 중심(G5)이 일치하는 상태에 있어서, 상면(3A)을 포함하는 제 3 부재(3)의 +Z측의 단부(상단부)는, 지지 부재(6)의 +Z측의 단부(상단부)보다 +Z측에 배치된다. 바꾸어 말하면, Z축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 중심(G3)과 베어링 부재(5)의 중심(G5)이 일치하는 상태에 있어서, 제 3 부재(3)의 상단부는, 지지 부재(6)의 외측에 배치된다.
도 9는, Z축 방향에 관하여 테이블(10) 및 제 3 부재(3)가 이동하는 상태의 일례를 나타낸 도면이다. 본 실시형태에 있어서는, Z축 방향에 관하여 테이블(10) 및 제 3 부재(3)가 이동 가능한 이동 범위(이동량, 스트로크)가 정해져 있다. 본 실시형태에 있어서는, 액추에이터(7)의 작동량(회전량)에 의거하여, X축 방향에 관한 제 1 부재(1)의 이동 범위가 결정된다. 또, X축 방향에 관한 제 1 부재(1)의 이동 범위에 의거하여, Z축 방향에 관한 제 2 부재(2)(테이블(10))의 이동 범위가 결정된다. 또, 제 3 부재(3)는, 테이블(10)에 접속되어 있고, Z축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 이동 범위는, Z축 방향에 관한 테이블(10)의 이동 범위에 의거하여 결정된다. 도 9에 나타낸 바와 같이, Z축 방향에 관하여, 테이블(10) 및 제 3 부재(3)는, 위치(Z1)와, 위치(Z1)보다 +Z측의 위치(Z2)와의 사이를 이동 가능하다. 즉, 테이블(10) 및 제 3 부재(3)가 Z축 방향으로 이동 가능한 이동 범위는, 위치(Z1)와 위치(Z2)와의 사이의 범위이다.
본 실시형태에 있어서는, Z축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 이동 범위에 있어서, 제 3 부재(3)의 상단부는, 지지 부재(6)의 외측에 계속하여 배치된다. Z축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 이동 범위에 있어서, 제 3 부재(3)의 상단부 및 하단부의 각각은, 베어링 부재(5)(제 1 베어링 부재(51) 및 제 2 베어링 부재(52))의 외측에 계속하여 배치된다.
Z축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 이동 범위에 있어서, 베어링 부재(5)의 내면(5C)은, 제 3 부재(3)의 측면(3C)과 계속하여 대향한다. Z축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 이동 범위에 있어서, 공급구(15)는, 제 3 부재(3)의 측면(3C)과 계속하여 대향한다. 바꾸어 말하면, Z축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 이동 범위에 있어서, 제 3 부재(3)가 가장 -Z측의 위치(Z1)에 배치된 상태에 있어서도, 베어링 부재(5)의 공급구(15)와 제 3 부재(3)의 측면(3C)은 대향한다. Z축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 이동 범위에 있어서, 테이블(10)이 가장 +Z측의 위치(Z2)에 배치된 상태에 있어서도, 베어링 부재(5)의 공급구(15)와 제 3 부재(3)의 측면(3C)은 대향한다. 즉, Z축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 이동 범위의 전부(全部)에 있어서, 베어링 부재(5)의 공급구(15)와 제 3 부재(3)의 측면(3C)은 계속하여 대향한다. 이것에 의해, 제 3 부재(3)의 이동 범위에 있어서, 제 3 부재(3)와 베어링 부재(5)와의 사이에 기체 베어링(5G)이 계속하여 형성된다.
또, 본 실시형태에 있어서는, Z축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 이동 범위에 있어서, Z축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 중심(G3)은, 베어링 부재(5)의 상단부와 하단부의 사이에 계속하여 배치된다. 바꾸어 말하면, Z축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 이동 범위에 있어서, 중심(G3)은 베어링 부재(5)의 외측에 배치되지 않는다. 본 실시형태에 있어서는, 중심(G3)이 베어링 부재(5)의 외측에 배치되지 않도록, Z축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 이동 범위가 정해진다.
또한, 본 실시형태에 있어서, 베어링 부재(5)의 상단부는, 제 1 베어링 부재(51)의 상단부이다. 베어링 부재(5)의 하단부는, 제 2 베어링 부재(52)의 하단부이다. 베어링 부재(5)가 1개인 경우, 베어링 부재(5)의 상단부는, 그 1개의 베어링 부재(5)의 상단부이고, 베어링 부재(5)의 하단부는, 그 1개의 베어링 부재(5)의 하단부이다. 또, 베어링 부재(5)가 Z축 방향에 관하여 3개 이상의 복수 배치되는 경우, 베어링 부재(5)의 상단부는, 복수의 베어링 부재 중 가장 +Z측에 배치되는 베어링 부재의 상단부이다. 베어링 부재(5)의 하단부는, 복수의 베어링 부재 중 가장 -Z측에 배치되는 베어링 부재의 하단부이다.
도 1, 도 3, 도 4, 도 7 및 도 9 등에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에 있어서, 제 3 부재(3)의 하면(3B)은, 베이스 부재(8)로부터 떨어져 있다. 본 실시형태에 있어서, 제 3 부재(3)는, 테이블(10)과 접속되고, 테이블(10) 이외의 부재와는 접속되지 않는다. 본 실시형태에 있어서는, 제 3 부재(3)의 상면(3A)에 테이블(10)이 접속되고, 측면(3C)의 주위에 베어링 부재(5) 및 지지 부재(6)가 비접촉 상태로 배치되며, 제 3 부재(3)의 하면(3B)에 부재는 접속되지 않는다.
본 실시형태에 있어서, 지지 부재(6)는, 지지 부재(6)의 하면과 베이스 부재(8)의 상면이 접촉하도록 배치된다. 지지 부재(6)의 하단부는, 제 3 부재(3)의 하단부보다 하측(-Z측)에 배치된다. 제 3 부재(3)의 하면(3B)과 지지 부재(6)의 내면에 의하여 공간(63)이 규정된다. 제 3 부재(3)의 하면(3B)은, 공간(63)에 면한다. 본 실시형태에 있어서, 공간(63)은, 제 3 부재(3)의 하면(3B)과 지지 부재(6)의 내면과 베이스 부재(8)의 상면으로 둘러싸인 공간을 포함한다.
중력 보상 장치(60)는, 제 3 부재(3)의 하면(3B)이 면하는 공간(63)에 기체를 공급 가능한 공급구(62)를 가진다. 중력 보상 장치(60)는, 액추에이터(7)에 대한 테이블(10)의 중량의 작용이 저감되도록, 공급구(62)로부터 기체를 공급한다. 중력 보상 장치(60)를, 자중(自重) 보상 장치(60)라고 칭해도 되고, 자중 캔슬 장치(60)라고 칭해도 된다.
중력 보상 장치(60)는, 기체를 공급 가능한 기체 공급 장치(61)와, 기체 공급 장치(61)로부터의 기체가 흐르는 유로(64)를 가진다. 본 실시형태에 있어서, 유로(64)의 적어도 일부는, 베이스 부재(8)의 내부에 형성된다. 유로(64)는, 기체 공급 장치(61)와 공급구(62)를 연결한다. 유로(64)의 일단부에 공급구(62)가 배치된다. 본 실시형태에 있어서, 공급구(62)는, 유로(64)의 일단부의 개구를 포함한다. 유로(64)의 타단부가 기체 공급 장치(61)와 접속된다. 기체 공급 장치(61)로부터 공급된 기체는, 유로(64)를 거쳐, 공급구(62)로 보내진다. 공급구(62)는, 기체 공급 장치(61)로부터의 기체를 공간(63)에 공급한다.
공급구(62)는, 공간(63)에 면하도록 배치된다. 본 실시형태에 있어서, 공급구(62)는, 베이스 부재(8)의 상면에 배치된다. 공급구(62)는, 제 3 부재(3)의 하면(3B)과 대향하도록 배치된다. 또한, 공급구(62)는, 공간(63)에 면하도록, 지지 부재(6)의 내면에 배치되어도 된다.
기체 공급 장치(61)는, 단위시간당 기체 공급량을 조정 가능한 유량 조정 장치를 포함한다. 유량 조정 장치는, 레귤레이터를 포함한다. 기체 공급 장치(61)는, 유량 조정 장치를 이용하여, 공급구(62)로부터 공간(63)에 공급되는 단위시간당 기체 공급량을 조정 가능하다. 공급구(62)로부터의 기체 공급량이 조정됨으로써, 공간(63)의 압력이 조정된다. 공급구(62)로부터의 기체 공급량이 많으면, 공간(63)의 압력이 높아진다. 공급구(62)로부터의 기체 공급량이 적으면, 공간(63)의 압력이 낮아진다. 기체 공급 장치(61)는, 공급구(62)로부터 공간(63)에 공급되는 기체 공급량을 조정함으로써, 공간(63)의 압력을 조정 가능하다. 본 실시형태에 있어서, 공급구(62)로부터 공기(압축 공기)가 공급된다.
중력 보상 장치(60)는, 액추에이터(7)에 대한 테이블(10)의 중량의 작용이 저감되도록, 공급구(62)로부터 기체를 공급한다. 중력의 작용에 의해, 테이블(10)은 -Z방향의 힘을 발생한다. 그 테이블(10)의 힘은, 제 2 부재(2), 제 1 부재(1), 및 동력 전달 장치(11)를 통하여, 액추에이터(7)로 전달된다. 중력 보상 장치(60)는, 테이블(10)로부터 액추에이터(7)로 전달되는 힘이 저감되도록, 공급구(62)로부터 기체를 공급한다. 중력 보상 장치(60)는, 중력의 작용에 의해 테이블(10) 및 제 3 부재(3)가 발생시킨 힘이, 액추에이터(7)로 전달되는 것을 억제하도록, 공급구(62)로부터 기체를 공급한다.
본 실시형태에 있어서, 중력 보상 장치(60)는, 액추에이터(7)에 대한 테이블(10) 및 제 3 부재(3)의 중량의 작용이 저감되도록, 공급구(62)로부터 기체를 공급한다. 중력 보상 장치(60)는, 중력의 작용에 의해 테이블(10) 및 제 3 부재(3)로부터 액추에이터(7)로 전달되는 힘이 저감되도록, 공급구(62)로부터 기체를 공급한다. 중력 보상 장치(60)는, 테이블(10) 및 제 3 부재(3)의 자중에 의한 -Z방향으로의 힘을 상쇄하도록, 제 3 부재(3) 및 테이블(10)에 대하여 +Z방향으로 힘을 가한다. 바꾸어 말하면, 중력 보상 장치(60)는, 중력의 작용에 의한 -Z방향으로의 힘이 캔슬되도록, 제 3 부재(3) 및 테이블(10)에 +Z방향의 힘을 가한다. 즉, 중력 보상 장치(60)는, 테이블(10) 및 제 3 부재(3)를 밀어 올리도록, 테이블(10) 및 제 3 부재(3)의 하방의 공간(63)에 기체를 공급한다. 본 실시형태에 있어서, 중력 보상 장치(60)는, 공간(63)의 압력이 지지 부재(6)의 외측의 공간의 압력보다 높아지도록, 공급구(62)로부터 기체를 공급한다. 공간(65)은, 테이블(10)의 주위의 공간을 포함한다. 공간(65)은, 제 3 부재(3)의 상면(3A)의 주위의 공간을 포함한다. 공간(65)은, 공간(63)에 대한 외부 공간이다. 본 실시형태에 있어서, 공간(65)의 압력은, 대기압이다. 중력 보상 장치(60)는, 공간(63)의 압력이 대기압보다 높아지도록, 공급구(62)로부터 공간(63)에 기체를 공급한다.
중력 보상 장치(60)는, 테이블(10)에 놓여지는 물체(S)의 중량을 고려하여, 공간(63)에 기체를 공급해도 된다. 즉, 중력 보상 장치(60)는, 액추에이터(7)에 대한 테이블(10), 제 3 부재(3) 및 물체(S)의 중량의 작용이 저감되도록, 공급구(62)로부터 기체를 공급해도 된다. 바꾸어 말하면, 중력 보상 장치(60)는, 중력의 작용에 의해 테이블(10), 제 3 부재(3) 및 물체(S)로부터 액추에이터(7)로 전달되는 힘이 저감되도록, 공급구(62)로부터 기체를 공급해도 된다.
본 실시형태에 있어서, XY 평면과 평행한 제 3 부재(3)의 단면의 외형은, 원형이다. 또, 본 실시형태에 있어서, 제 3 부재(3)는 적어도 2개 배치된다. 즉, 테이블 장치(100)는, 제 3 부재(3)를 복수 가진다. 본 실시형태에 있어서, 복수의 제 3 부재(3)는, XY 평면 내에 있어서 테이블(10)의 다른 복수의 부위의 각각에 접속된다. 베어링 부재(5), 지지 부재(6) 및 공급구(62)는, 복수의 제 3 부재(3)의 각각에 대응하여 배치된다. 테이블(10)에 복수의 제 3 부재(3)가 접속되고, 그들 복수의 제 3 부재(3)가 베어링 부재(5) 및 지지 부재(6)에 지지됨으로써, XY 평면 내에 있어서의 테이블(10)의 이동이 억제된다. 즉, 복수의 제 3 부재(3)가 XY 평면 내에 있어서 테이블(10)의 다른 복수의 부위의 각각에 접속된다. 그들 복수의 제 3 부재(3)가 베어링 부재(5) 및 지지 부재(6)에 지지됨으로써, θZ 방향에 관한 테이블(10)의 이동(회전)이 억제된다.
예를 들면, 2개(두개)의 제 3 부재(3)가 테이블(10)에 접속되는 경우, 그들 제 3 부재(3)는, 테이블(10)의 제 1 부위와, 그 제 1 부위와는 다른 테이블(10)의 제 2 부위와의 각각에 접속된다. 3개(세개)의 제 3 부재(3)가 테이블(10)에 접속되는 경우, 그들 제 3 부재(3)는, 테이블(10)의 제 1 부위와, 그 제 1 부위와는 다른 테이블(10)의 제 2 부위와, 그들 제 1 부위 및 제 2 부위와는 다른 테이블(10)의 제 3 부위와의 각각에 접속된다.
도 1, 도 2, 도 3 및 도 4 등에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에 있어서, 4개(네개)의 제 3 부재(3)가 테이블(10)에 접속된다. 그들 제 3 부재(3)는, 테이블(10)의 하면(10B)의 제 1 부위와, 제 1 부위와는 다른 테이블(10)의 하면(10B)의 제 2 부위와, 제 1 부위 및 제 2 부위와는 다른 테이블(10)의 하면(10B)의 제 3 부위와, 제 1 부위, 제 2 부위 및 제 3 부위와는 다른 테이블(10)의 하면(10B)의 제 4 부위와의의 각각에 접속된다. 제 1 부위, 제 2 부위, 제 3 부위 및 제 4 부위는, 하면(10B)의 중심의 주위에 배치된다. 본 실시형태에 있어서, 복수의 제 3 부재(3)는, 제 1 부재(1) 및 제 2 부재(2)의 주위의 적어도 일부에 배치된다. 베어링 부재(5) 및 지지 부재(6)는, 4개(네개)의 제 3 부재(3)의 각각에 대응하여 배치된다.
또한, 테이블 장치(100)는, 5개(다섯개) 이상의 임의의 복수의 제 3 부재(3)를 가져도 된다. 베어링 부재(5) 및 지지 부재(6)는, 복수의 제 3 부재(3)의 각각에 대응하여 배치된다. 테이블(10)에 복수의 제 3 부재(3)가 접속되고, 그들 복수의 제 3 부재(3)가 베어링 부재(5) 및 지지 부재(6)에 지지됨으로써, XY 평면 내에 있어서의 테이블(10)의 이동이 억제된다.
도 1 등에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에 있어서, 테이블 장치(100)는, 제 2 부재(2)와 테이블(10)과의 사이에 배치되어, 테이블(10)을 유연하게 지지하는 지지 장치(19)를 가진다. 제 2 부재(2)는, 지지 장치(19)를 통하여, 테이블(10)을 지지한다. 본 실시형태에 있어서, 지지 장치(19)는, 구면 베어링(23)을 포함한다. 구면 베어링(23)은, Z축 방향에 관한 하중을 받도록 배치된다. 지지 장치(19)는, 외면이 구면인 내륜 부재(20)와, 내륜 부재(20)의 외면과 구면 접촉하는 지지면을 가지는 외륜 부재(21)를 포함한다. 본 실시형태에 있어서, 외륜 부재(21)는, 제 2 부재(2)의 상면(2A)에 배치된다. 내륜 부재(20)는, 접속 부재(22)를 통하여 테이블(10)의 하면(10B)에 접속된다. 테이블(10)이 지지 장치(19)를 통하여 제 2 부재(2)에 지지되어 있기 때문에, 테이블(10)과 제 2 부재(2)는 상대 이동 가능하다. 본 실시형태에 있어서는, 지지 장치(19)에 의해, Z축 방향에 관한 테이블(10)과 제 2 부재(2)와의 상대 이동이 억제(제한)되고, Z축 방향 이외의 방향(X축, Y축, θX, θY 및 θZ 방향)에 관한 테이블(10)과 제 2 부재(2)의 상대 이동이 허용된다.
본 실시형태에 있어서, 접속 부재(22)(지지 장치(19))는, 테이블(10)의 하면(10B)의 중앙부에 접속된다. 복수(4개)의 제 3 부재(3)는, 접속 부재(22)를 둘러싸는 것처럼 배치된다. 복수의 제 3 부재(3)의 각각은, 테이블(10)의 하면(10B)의 주연부(周緣部)에 접속된다.
본 실시형태에 있어서는, 억제 부재(13)(가이드 장치(14))의 적어도 일부가 제 2 부재(2)에 접촉한다. 그 때문에, 억제 부재(13)와 제 2 부재(2)의 상대 이동에 의해, 제 2 부재(2)가 진동하거나, 제 2 부재(2)가 목표 궤도로부터 벗어나 이동할 가능성이 있다. 본 실시형태에 있어서는, 테이블(10)이 지지 장치(19)를 통하여 제 2 부재(2)에 지지되어 있기 때문에, 억제 부재(13)(가이드 장치(14))와 제 2 부재(2)의 접촉에 의해, 제 2 부재(2)가 진동하거나, 제 2 부재(2)가 목표 궤도로부터 벗어나 이동하더라도, 테이블(10)(내륜 부재(20))과 제 2 부재(2)(외륜 부재(21))의 상대 이동에 의해, 그 원하지 않은 이동(진동)이 흡수된다. 이것에 의해, 테이블(10)이 목표 궤도로부터 벗어나 이동하거나, 제 2 부재(2)의 진동이 테이블(10)로 전달되는 것이 억제된다.
다음으로, 상술한 테이블 장치(100)의 동작의 일례에 대하여 설명한다. 액추에이터(7)의 작동에 의해, 동력 전달 장치(11)를 통하여, 제 1 부재(1)에 액추에이터(7)의 동력이 전달된다. 액추에이터(7)의 작동에 의해, 제 1 부재(1)가 X축 방향으로 이동한다. 제 1 부재(1)는, 가이드 장치(9)로 가이드되어 X축 방향으로 이동한다. 가이드 장치(9)에 의해, 제 1 부재(1)는, X축 방향으로 목표 궤도(원하는 궤도)로 이동된다. 본 실시형태에 있어서는, 가이드 장치(9)에 의해, 제 1 부재(1)는, X축 방향으로 곧게 이동 가능하다.
X축 방향에 관한 제 1 부재(1)의 이동에 의해, 제 2 부재(2)가 Z축 방향으로 이동한다. 제 2 부재(2)는, 가이드 장치(4)로 가이드되어 Z축 방향으로 이동한다. 또, 억제 부재(13)에 의해, 제 2 부재(2)는, X축 방향에 관한 이동이 억제되면서, Z축 방향으로 이동한다. 또, 제 2 부재(2)는, 가이드 장치(14)에 가이드되어 Z축 방향으로 이동한다. 제 2 부재(2)가 Z축 방향으로 이동함으로써, 그 제 2 부재(2)에 지지되어 있는 테이블(10)도, 제 2 부재(2)와 함께 Z축 방향으로 이동한다.
본 실시형태에 있어서는, 테이블(10)에 접속된 제 3 부재(3)와, 그 제 3 부재(3)를 이동 가능하게 지지하는 베어링 부재(5)와의 사이에 기체 베어링(5G)이 형성된다. 기체 베어링(5G)은, 제 3 부재(3)가 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동하는 것을 억제하면서, 그 제 3 부재(3)가 Z축 방향으로 이동하는 것을 허용한다. 또, 기체 베어링(5G)에 의해, 베어링 부재(5)는, 제 3 부재(3)를 비접촉으로 지지한다. 즉, 제 3 부재(3)와의 사이에 기체 베어링(5G)을 형성하는 베어링 부재(5)는, 제 3 부재(3)가 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동하는 것을 억제하면서, 그 제 3 부재(3)를 Z축 방향으로 이동 가능하게 비접촉 지지한다. 베어링 부재(5)는, 비접촉으로, 제 3 부재(3)를 Z축 방향으로 가이드한다. 이것에 의해, 제 3 부재(3) 및 그 제 3 부재(3)에 접속된 테이블(10)은, Z축 방향으로 목표 궤도(원하는 궤도)로 이동된다. 본 실시형태에 있어서는, 제 3 부재(3)와의 사이에 기체 베어링(5G)을 형성 가능한 베어링 부재(5)에 의해, 제 3 부재(3) 및 그 제 3 부재(3)에 접속된 테이블(10)은, Z축 방향으로 곧게 이동 가능하다.
테이블(10)에 지지된 물체(S)가 목표 위치에 배치되도록, 액추에이터(7)가 작동한다. 본 실시형태에 있어서는, 제 3 부재(3)를 비접촉으로 Z축 방향으로 가이드하는 기체 베어링(5G)을 형성 가능한 베어링 부재(5)가 설치되어 있다. 그 때문에 테이블(10)의 목표 궤도(원하는 궤도)로 이동시킬 수 있다. 그 때문에, 테이블 장치(100)는, 물체(S)를 목표 위치에 배치할 수 있다.
예를 들면, 액추에이터(7)의 동력을 사용하여 테이블(10)을 +Z 방향으로 이동하는 경우, 또는 액추에이터(7)의 동력을 사용하여 Z축 방향에 관한 테이블(10)의 위치를 유지하는 경우, 그 액추에이터(7)에 부하가 걸릴 가능성이 있다. 즉, 테이블(10)을 상승시키기 위해, 또는 테이블(10)의 위치를 유지하기 위해, 액추에이터(7)는 소정의 동력(토크)을 계속하여 발생하지 않으면 안 된다. 이 경우, 액추에이터(7)에 대하여 소정의 전력(전류)을 계속하여 공급하지 않으면 안 된다. 그 결과, 액추에이터(7)가 발열할 가능성이 있다. 액추에이터(7)가 발열하면, 주위의 부재가 열변형할 가능성이 있다. 그 결과, 테이블(10)의 위치 결정 정밀도가 저하되거나, 테이블(10)이 목표 궤도로부터 벗어나 이동하는 등, 테이블 장치(100)의 성능이 저하될 가능성이 있다. 또, 액추에이터(7)의 발열에 의해 테이블(10)에 지지되어 있는 물체(S)가 열변형할 가능성이 있다.
본 실시형태에 있어서는, 중력 보상 장치(60)가 설치되어 있다. 그 때문에, 테이블(10)을 +Z 방향으로 이동하는 경우, 또는 Z축 방향에 관한 테이블(10)의 위치를 유지하는 경우에 있어서, 액추에이터(7)가 발생하는 동력(토크)은 작아도 된다. 즉, 액추에이터(7)에 공급하는 전력(전류)은 작아도 된다. 그 때문에, 액추에이터(7)의 발열이 억제된다. 그 결과, 주위의 부재의 열변형 및 물체(S)의 열변형이 억제된다.
또, 중력 보상 장치(60)가 설치되어 있기 때문에, 테이블(10)에 탑재되는 물체(S)의 질량(중량)이 크더라도, 액추에이터(7)에 걸리는 부하가 저감된다. 또, 중력 보상 장치(60)가 설치되어 있기 때문에, 액추에이터(7)가 발생하는 동력이 작아도 된다. 그 때문에, 액추에이터(7)의 소형화가 도모된다.
또, 중력 보상 장치(60)에 의해 공간(63)의 압력이 높여져 있기 때문에, 정전 등의 이상(비상 정지)이 생겨, 액추에이터(7)가 동력을 발생하지 않게 되더라도, 테이블(10)이 급격하게 하강(낙하)하는 것이 억제된다. 예를 들면, 테이블(10)의 낙하 방지를 위한 전자 브레이크를 생략할 수 있기 때문에, 그 전자 브레이크에 기인하는 발열(열변형)도 없어진다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 의하면, 제 3 부재(3)와의 사이에 기체 베어링(5G)을 형성하여, Z축 방향으로 제 3 부재(3)를 이동 가능하게 지지(가이드)하는 베어링 부재(5)를 설치하였기 때문에, 그 제 3 부재(3)가 접속된 테이블(10)은, 목표 궤도(원하는 궤도)로 이동 가능하다. 본 실시형태에 있어서, 베어링 부재(5)는, 제 3 부재(3)가 Z축 방향으로 곧게 이동하도록, 제 3 부재(3)를 이동 가능하게 지지한다. 이것에 의해, 그 제 3 부재(3)가 접속된 테이블(10)은, Z축 방향으로 곧게 이동 가능하다. 즉, 기체 베어링(5G)을 형성 가능한 베어링 부재(5)에 의해, 제 3 부재(3) 및 테이블(10)의 이동에 있어서의 진직성의 저하가 억제된다. 이것에 의해, 테이블(10)에 지지되어 있는 물체(S)는 목표 위치에 배치된다.
본 실시형태에 있어서, 제 3 부재(3)와 베어링 부재(5)와의 사이에 기체 베어링(5G)이 형성되고, 베어링 부재(5)는, 비접촉으로 제 3 부재(3)를 지지한다. 이것에 의해, 제 3 부재(3)는, 원활하게 Z축 방향으로 이동 가능하다. 베어링 부재가 제 3 부재(3)와 접촉하면, 제 3 부재(3)의 이동에 대하여 저항력이 발생할 가능성이 있다. 그 결과, 테이블(10) 및 제 3 부재(3)를 곧게 이동하려고 했음에도 불구하고, 테이블(10) 및 제 3 부재(3)가 곧게 이동하지 않을 가능성이 있다. 또, 베어링 부재가 제 3 부재(3)와 접촉하면, 제 3 부재(3)의 이동에 의해 진동이 발생할 가능성이 있다. 제 3 부재(3)에 진동이 발생하면, 테이블(10)도 진동한다. 그 결과, 테이블(10)의 위치 결정 정밀도가 저하될 가능성이 있다. 본 실시형태에 있어서는, 베어링 부재(5)가 제 3 부재(3)를 비접촉으로 이동 가능하게 지지하기 때문에, 테이블(10) 및 제 3 부재(3)는 곧게 이동 가능하다. 또, 진동의 발생이 억제된다. 그 결과, 테이블(10)의 위치 결정 정밀도의 저하가 억제되고, 테이블(10) 및 그 테이블(10)에 지지되는 물체(S)를 목표 위치에 배치할 수 있다.
또, 본 실시형태에 있어서는, 테이블 장치(100)는, 제 1 부재(1) 및 제 2 부재(2)의 상대 이동에 의해 테이블(10)을 이동하는 쐐기형 승강 장치를 포함한다. 그 때문에, 각도(θ)를 조정함으로써, X축 방향에 관한 제 1 부재(1)의 이동량과 Z축 방향에 관한 제 2 부재(2)의 이동량의 비(감속비, 분해능)를 조정할 수 있다.
또, 본 실시형태에 있어서는, 중력 보상 장치(60)가 설치되기 때문에, 액추에이터(7)에 걸리는 부하가 저감된다. 그 때문에, 액추에이터(7)의 발열이 억제되고, 테이블 장치(100)에 있어서, 액추에이터(7)의 주위의 부재의 열변형이 억제된다. 액추에이터(7)의 주위의 부재는, 가이드 장치(4)의 부재, 가이드 장치(9)의 부재, 가이드 장치(14)의 부재, 제 1 부재(1), 제 2 부재(2), 제 3 부재(3), 지지 부재(6) 및 테이블(10)의 적어도 하나를 포함한다. 그 때문에, 테이블(10)의 위치 결정 정밀도가 저하되거나, 테이블(10)이 목표 궤도로부터 벗어나 이동하는 것이 억제된다. 그 결과, 테이블 장치(100)의 성능의 저하가 억제된다.
또, 본 실시형태에 있어서는, Z축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 이동 범위에 있어서, 공급구(15)는, 제 3 부재(3)의 측면(3C)과 계속하여 대향한다. 이것에 의해, 제 3 부재(3)의 이동 범위에 있어서, 제 3 부재(3)와 베어링 부재(5)와의 사이에 기체 베어링(5G)을 계속하여 형성할 수 있어, 제 3 부재(3)와 베어링 부재(5)의 비접촉 상태를 유지할 수 있다.
또, 본 실시형태에 있어서는, Z축 방향에 관하여, 제 3 부재(3)의 치수는, 베어링 부재(5)의 치수보다 크다. 이것에 의해, 베어링 부재(5)의 상단부로부터 돌출하는 제 3 부재(3)와 테이블(10)을 원활하게 접속할 수 있다. 또, 베어링 부재(5)의 하단부로부터도 제 3 부재(3)가 돌출함으로써, 베어링 부재(5)의 상단부측과 하단부측의 질량(중량)의 밸런스가 향상된다. 이것에 의해, 제 3 부재(3)는, 곧게 이동 가능하다.
또, 본 실시형태에 있어서는, 제 3 부재(3)의 이동 범위에 있어서, 제 3 부재(3)의 중심(G3)은, 베어링 부재(5)의 상단부(일단부)와 하단부(타단부)와의 사이에 계속하여 배치된다. 이것에 의해, 제 3 부재(3)의 이동 중에 있어서도, 베어링 부재(5)의 상단부측과 하단부측의 질량(중량)의 밸런스가 향상되기 때문에, 제 3 부재(3)는, 곧게 이동 가능하다.
또, 본 실시형태에 있어서는, 제 3 부재(3)의 단면의 외형은, 원형이다. 베어링 부재(5)는, 제 3 부재(3)의 측면(3C)의 주위에 배치되는 원통 형상의 부재이다. 단면의 외형이 원형인 제 3 부재(3)의 가공은, 예를 들면 각(角)형인 제 3 부재의 가공에 비해, 높은 가공 정밀도를 용이하게 얻을 수 있는 가능성이 높다. 바꾸어 말하면, 외형이 원형인 제 3 부재(3)를 제조하는 경우의 쪽이, 외형이 각형인 제 3 부재(3)를 제조하는 경우보다, 목표 형상을 용이하게 얻을 수 있는 가능성이 높다. 또, 단면이 원형인 내면(5C)을 가지는 베어링 부재(5)를 제조하는 쪽이, 단면이 각형인 내면을 가지는 베어링 부재를 제조하는 것보다, 높은 가공 정밀도(목표 형상)를 용이하게 얻을 수 있는 가능성이 높다. 예를 들면, 각형의 제 3 부재 및 베어링 부재를 제조하는 경우, 그 제 3 부재의 모서리부와 베어링 부재와의 사이에 형성되는 간극의 치수와, 그 제 3 부재의 평면부와 베어링 부재와의 사이에 형성되는 간극의 치수가 동일해지도록 제 3 부재 및 베어링 부재를 제조하는 것은 곤란할 가능성이 있다. 본 실시형태에 의하면, 원형의 제 3 부재(3) 및 베어링 부재(5)를 이용함으로써, 그 제 3 부재(3)의 측면(3C)과 베어링 부재(5)의 내면(5C)과의 사이에 형성되는 간극의 치수가 불균일해지는 것이 억제된다. 따라서, 그 제 3 부재(3)의 측면(3C)과 베어링 부재(5)의 내면(5C)과의 사이에 형성되는 간극에 있어서, 압력이 불균일해지는 것이 억제된다. 그 때문에, 기체 베어링(5G)의 성능의 저하가 억제되고, 제 3 부재(3)가 목표 궤도로부터 벗어나 이동되는 것이 억제된다.
또, 본 실시형태에 있어서는, 제 3 부재(3)는 적어도 2개 배치되고, 테이블(10)의 다른 부위의 각각에 접속된다. 따라서, 테이블에 접속된 복수의 제 3 부재(3)에 의해, 예를 들면 테이블(10)의 회전이 억제된다. 이것에 의해, 테이블(10)의 위치 결정 정밀도가 향상된다. 즉, 본 실시형태에 있어서, 제 3 부재(3)의 단면의 외형은, 원형이다. 베어링 부재(5)는, 제 3 부재(3)의 측면(3C)의 주위에 배치되는 원통 형상의 부재이다. 그 때문에, 베어링 부재(5)의 내측에서, 제 3 부재(3)가 θZ 방향으로 이동(회전)되어버릴 가능성이 있다. 테이블(10)에 접속되는 제 3 부재(3)가 1개인 경우, 베어링 부재(5)에 대한 제 3 부재(3)의 회전에 의해, 그 테이블(10)도 회전되어버릴 가능성이 있다. 본 실시형태에 있어서는, 제 3 부재(3)는 복수 배치된다. 따라서, 그들 복수의 제 3 부재(3)가 베어링 부재(5) 및 지지 부재(6)에 지지됨으로써, θZ 방향에 관한 테이블(10)의 이동(회전)이 억제된다.
또, 본 실시형태에 있어서는, 억제 부재(13)가 설치된다. 그 때문에, X축 방향으로 제 1 부재(1)가 이동하더라도, 제 2 부재(2)가 X축 방향으로 이동하는 것이 억제된다. 이것에 의해, X축 방향에 관한 제 1 부재(1)의 이동이, Z축 방향에 관한 제 2 부재(2)의 이동으로 효율적으로 변환된다.
또, 본 실시형태에 있어서는, 테이블(10)이 지지 장치(19)를 통하여 제 2 부재(2)에 지지되어 있다. 그 때문에, 억제 부재(13)(가이드 장치(14))와 제 2 부재(2)의 접촉에 의해, 제 2 부재(2)가 원하지 않은 이동(진동)을 하더라도, 지지 장치(19)에 의해, 그 원하지 않은 이동(진동)이 테이블(10)로 전달되는 것이 억제된다.
또한, 본 실시형태에 있어서, 억제 부재(13)는 생략되어도 된다. 제 2 부재(2)는 테이블(10)에 연결되고, 그 테이블(10)에 제 3 부재(3)가 접속되어 있다. 기체 베어링(5G)에 의해, X축 방향 및 Y축 방향에 관한 제 3 부재(3)의 이동이 억제되어 있다. 그 때문에, 억제 부재(13)가 생략되어도, 제 2 부재(2) 및 테이블(10)이 X축 방향으로 이동하는 것이 억제된다.
또한, 본 실시형태에 있어서, 지지 장치(19)는 생략되어도 된다. 제 2 부재(2)가 테이블(10)에 고정되어도 된다. 제 2 부재(2)가 접속 부재를 통하여 테이블(10)에 고정되어도 된다.
또한, 본 실시형태에 있어서는, 베어링 부재(5)가 다공체를 포함하고, 그 다공체의 구멍으로부터 공급되는 기체에 의해 기체 베어링(5G)이 형성되는, 소위, 다공질 스로틀 방식을 예로 들어 설명하였다. 기체 베어링(5G)을 형성하기 위한 베어링 부재(5)의 스로틀 방식은, 다공질 스로틀에 한정되지 않는다. 예를 들면, 다공체를 이용하지 않는 자성(自成) 스로틀 방식이어도 되고, 오리피스 스로틀 방식이어도 되며, 베어링면(가이드면)에 설치된 홈을 통하여 기체를 공급하는 표면 스로틀 방식이어도 된다. 예를 들면 오리피스 스로틀 방식의 베어링 부재(5)의 경우, 기체를 공급하는 공급구(15)는, 오리피스의 개구를 포함한다.
또한, 본 실시형태에 있어서는, XY 평면과 평행한 단면의 제 3 부재(3)의 외형이 원형인 것으로 하였다. 도 10에 나타낸 바와 같이, XY 평면과 평행한 단면의 제 3 부재(30)의 외형이, 다각형이어도 된다. 도 10에 나타낸 예에서는, 제 3 부재(30)의 단면의 외형은, 사각형이다. 또한, 제 3 부재(30)의 단면의 외형은, 사각형에 한정되지 않으며, 그 외의 다각형이어도 된다. 베어링 부재(50)는, 제 3 부재(30)의 측면과의 사이에 일정한 간극이 형성되도록, 제 3 부재(30)의 단면의 형상에 의거하여 정해져도 된다. 도 10에 나타낸 예에 있어서는, 제 3 부재(30)가, 베어링 부재(50)의 내측에서 θZ 방향으로 이동(회전)하는 것이 억제된다. 제 3 부재(30)는, 테이블(10)에 1개(한개) 접속되어도 된다. 2개(두개) 이상의 복수의 제 3 부재(30)가 테이블(10)에 접속되어도 된다.
도 11은, 본 실시형태에 관련된 테이블 장치(100)를 구비하는 반도체 제조 장치(200)의 일례를 나타낸 도면이다. 반도체 제조 장치(200)는, 반도체 디바이스를 제조 가능한 반도체 디바이스 제조 장치를 포함한다. 반도체 제조 장치(200)는, 반도체 디바이스를 제조하기 위한 물체(S)를 반송 가능한 반송 장치(300)를 포함한다. 반송 장치(300)는, 본 실시형태에 관련된 테이블 장치(100)를 포함한다. 또한, 도 11에 있어서는, 테이블 장치(100)를 간략하여 도시한다.
본 실시형태에 있어서, 물체(S)는, 반도체 디바이스를 제조하기 위한 기판이다. 물체(S)로부터 반도체 디바이스가 제조된다. 물체(S)는, 반도체 웨이퍼를 포함해도 되고, 유리판을 포함해도 된다. 물체(S)에 디바이스 패턴(배선 패턴)이 형성됨으로써, 반도체 디바이스가 제조된다.
반도체 제조 장치(200)는, 처리 위치(PJ1)에 배치된 물체(S)에 대하여, 디바이스 패턴을 형성하기 위한 처리를 행한다. 테이블 장치(100)는, 테이블(10)에 지지된 물체(S)를 처리 위치(PJ1)에 배치한다. 반송 장치(300)는, 테이블 장치(100)의 테이블(10)에 물체(S)를 반송(반입) 가능한 반입 장치(301)와, 테이블(10)로부터 물체(S)를 반송(반출) 가능한 반출 장치(302)를 포함한다. 반입 장치(301)에 의해, 처리 전의 물체(S)가 테이블(10)로 반송(반입)된다. 테이블 장치(100)에 의해, 테이블(10)에 지지된 물체(S)가 처리 위치(PJ1)까지 반송된다. 반출 장치(302)에 의해, 처리 후의 물체(S)가 테이블(10)로부터 반송(반출)된다.
테이블 장치(100)는, 테이블(10)을 이동하여, 테이블(10)에 지지된 물체(S)를 처리 위치(PJ1)로 이동한다. 상술한 실시형태에서 설명한 바와 같이, 테이블(10)은, 제 3 부재(3)와 접속되어 있다. 제 3 부재(3)는, 베어링 부재(5)에 의해 비접촉으로 가이드된다. 그 때문에, 테이블 장치(100)는, 테이블(10)을 목표 궤도로 이동 가능하며, 테이블(10)에 지지된 물체(S)를 처리 위치(목표 위치)(PJ1)에 배치 가능하다.
예를 들면, 반도체 제조 장치(200)가, 광학계(201)를 통하여 물체(S)의 디바이스 패턴을 계측하는 계측 장치를 포함하는 경우, 처리 위치(PJ1)는, 광학계(201)의 초점의 위치(계측 위치)를 포함한다. 처리 위치(PJ1)에 물체(S)가 배치됨으로써, 반도체 제조 장치(200)는, 광학계(201)를 통하여, 물체(S)에 형성된 디바이스 패턴의 화상을 취득 가능하다. 반도체 제조 장치(200)가, 물체(S)에 막을 형성하는 성막 장치를 포함하는 경우, 처리 위치(PJ1)는, 막을 형성하기 위한 재료를 공급 가능한 위치이다. 처리 위치(PJ1)에 물체(S)가 배치됨으로써, 디바이스 패턴을 형성하기 위한 막이 물체(S)에 형성된다.
처리 위치(PJ1)에 있어서 물체(S)가 처리된 후, 그 처리 후의 물체(S)가 반출 장치(302)에 의해 테이블(10)로부터 반송된다. 반출 장치(302)에 의해 반송(반출)된 물체(S)는, 후공정을 행하는 처리 장치로 반송된다.
본 실시형태에 있어서는, 테이블 장치(100)는, 물체(S)를 처리 위치(목표 위치)(PJ1)에 배치 가능하다. 그 때문에, 불량인 제품이 제조되어버리는 것이 억제된다. 즉, 테이블 장치(100)에 의해, 반도체 제조 장치(200)에 있어서의 물체(S)의 위치 결정 정밀도의 저하가 억제되기 때문에, 불량인 제품의 발생이 억제된다.
또, 본 실시형태에 있어서는, 중력 보상 장치(60)에 의해, 테이블 장치(100)의 액추에이터(7)에 걸리는 부하가 저감되어, 액추에이터(7)의 발열이 억제된다. 그 때문에, 물체(S)의 열변형이 억제된다. 또, 액추에이터(7)의 주위의 부재의 열변형이 억제된다. 액추에이터(7)의 주위의 부재는, 테이블 장치(100)의 부재를 포함한다. 그 때문에, 테이블(10)의 위치 결정 정밀도가 저하되거나, 테이블(10)이 목표 궤도로부터 벗어나 이동하는 것이 억제된다. 따라서, 테이블 장치(100)는, 물체(S)를 처리 위치(목표 위치)(PJ1)에 배치 가능하다. 액추에이터(7)의 주위의 부재는, 테이블 장치(100)의 부재뿐만 아니라, 반송 장치(300)(반입 장치(301) 및 반출 장치(302))의 부재도 포함한다. 반송 장치(300)의 열변형이 억제됨으로써, 반송 장치(300)의 성능의 저하가 억제된다. 따라서, 반송 장치(300)는, 물체(S)를 목표 위치로 반송 가능하다. 액추에이터(7)의 주위의 부재는, 반도체 제조 장치(200)의 부재도 포함한다. 예를 들면, 광학계(201)의 열변형이 억제됨으로써, 반도체 제조 장치(200)의 성능의 저하가 억제된다. 또, 액추에이터(7)의 발열이 억제됨으로써, 광학계(201)에 입사하는 광의 진행 방향이 변화되거나, 광이 통과하는 공간에 있어서 굴절률이 변화되는 것이 억제된다.
도 12는, 본 실시형태에 관련된 테이블 장치(100)를 구비하는 검사 장치(400)의 일례를 나타낸 도면이다. 검사 장치(400)는, 반도체 제조 장치(200)에 의해 제조된 물체(반도체 디바이스)(S2)를 검사한다. 검사 장치(400)는, 물체(S2)를 반송 가능한 반송 장치(300B)를 포함한다. 반송 장치(300B)는, 본 실시형태에 관련된 테이블 장치(100)를 포함한다. 또한, 도 12에 있어서는, 테이블 장치(100)를 간략하여 도시한다.
검사 장치(400)는, 검사 위치(PJ2)에 배치된 물체(S2)의 검사를 행한다. 테이블 장치(100)는, 테이블(10)에 지지된 물체(S2)를 검사 위치(PJ2)에 배치한다. 반송 장치(300B)는, 테이블 장치(100)의 테이블(10)에 물체(S2)를 반송(반입) 가능한 반입 장치(301B)와, 테이블(10)로부터 물체(S2)를 반송(반출) 가능한 반출 장치(302B)를 포함한다. 반입 장치(301B)에 의해, 검사 전의 물체(S2)가 테이블(10)로 반송(반입)된다. 테이블 장치(100)에 의해, 테이블(10)에 지지된 물체(S2)가 검사 위치(PJ2)까지 반송된다. 반출 장치(302B)에 의해, 검사 후의 물체(S2)가 테이블(10)로부터 반송(반출)된다.
테이블 장치(100)는, 테이블(10)을 이동하여, 테이블(10)에 지지된 물체(S2)를 검사 위치(PJ2)로 이동한다. 상술한 실시형태에서 설명한 바와 같이, 테이블(10)은, 제 3 부재(3)와 접속되어 있다. 제 3 부재(3)는, 베어링 부재(5)에 의해 비접촉으로 가이드된다. 그 때문에, 테이블 장치(100)는, 테이블(10)을 목표 궤도로 이동 가능하며, 테이블(10)에 지지된 물체(S2)를 검사 위치(목표 위치)(PJ2)에 배치 가능하다.
본 실시형태에 있어서, 검사 장치(400)는, 검출광을 이용하여 물체(S2)의 검사를 광학적으로 행한다. 검사 장치(400)는, 검출광을 사출 가능한 조사 장치(401)와, 조사 장치(401)로부터 사출되어, 물체(S2)에서 반사된 검출광의 적어도 일부를 수광 가능한 수광 장치(402)를 포함한다. 본 실시형태에 있어서, 검사 위치(PJ2)는, 검출광의 조사 위치를 포함한다. 검사 위치(PJ2)에 물체(S2)가 배치됨으로써, 물체(S2)의 상태가 광학적으로 검사된다.
검사 위치(PJ2)에 있어서 물체(S2)의 검사가 행해진 후, 그 검사 후의 물체(S2)가 반출 장치(302B)에 의해 테이블(10)로부터 반송된다.
본 실시형태에 있어서는, 테이블 장치(100)는, 물체(S2)를 검사 위치(목표 위치)(PJ2)에 배치 가능하기 때문에, 검사 불량의 발생을 억제할 수 있다. 즉, 검사 장치(400)는, 물체(S2)가 불량인지의 여부를 양호하게 판단할 수 있다. 이것에 의해, 예를 들면 불량인 물체(S2)가 후공정으로 반송되거나, 출하되는 것이 억제된다.
또, 본 실시형태에 있어서는, 중력 보상 장치(60)에 의해, 테이블 장치(100)의 액추에이터(7)에 걸리는 부하가 저감되어, 액추에이터(7)의 발열이 억제된다. 그 때문에, 물체(S2)의 열변형이 억제된다. 또, 액추에이터(7)의 주위의 부재의 열변형이 억제된다. 액추에이터(7)의 주위의 부재는, 테이블 장치(100)의 부재를 포함한다. 그 때문에, 테이블(10)의 위치 결정 정밀도가 저하되거나, 테이블(10)이 목표 궤도로부터 벗어나 이동하는 것이 억제된다. 따라서, 테이블 장치(100)는, 물체(S2)를 검사 위치(목표 위치)(PJ2)에 배치 가능하다. 이것에 의해, 검사 불량의 발생이 억제된다. 액추에이터(7)의 주위의 부재는, 테이블 장치(100)의 부재뿐만 아니라, 반송 장치(300B)(반입 장치(301B) 및 반출 장치(302B))의 부재도 포함한다. 반송 장치(300B)의 열변형이 억제됨으로써, 반송 장치(300B)의 성능의 저하가 억제된다. 따라서, 반송 장치(300B)는, 물체(S2)를 목표 위치로 반송 가능하다. 액추에이터(7)의 주위의 부재는, 검사 장치(400)의 부재도 포함한다. 예를 들면, 조사 장치(401) 및 수광 장치(402)의 열변형이 억제됨으로써, 검사 장치(400)의 성능의 저하가 억제된다. 또, 액추에이터(7)의 발열이 억제됨으로써, 조사 장치(401)로부터 사출되는 검출광의 진행 방향이 변화되거나, 검출광이 통과하는 공간에 있어서 굴절률이 변화되는 것이 억제된다. 따라서, 검사 장치(400)는, 검사 불량의 발생을 억제할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서는, 테이블(10)이 Z축 방향으로 이동하는 것으로 하였다. 본 실시형태에 있어서, 테이블(10)이 Z축에 대하여 경사진 방향으로 이동되어도 된다. 제 1 부재(1)가 XY 평면에 대하여 경사진 방향으로 이동되어도 되고, 제 2 부재(2)가 Z축에 대하여 경사진 방향으로 이동되어도 된다. 베어링 부재(5)에 비접촉 지지된 제 3 부재(3)는, 그 경사진 방향으로 테이블(10)을 가이드 가능하다. 베어링 부재(5)에 비접촉 지지되는 제 3 부재(3)에 의해, 테이블(10)은, 그 경사진 방향으로 곧게 이동 가능하다.
1: 제 1 부재
2: 제 2 부재
3: 제 3 부재
4: 가이드 장치
5: 베어링 부재
5G: 기체 베어링
6: 지지 부재
7: 액추에이터
8: 베이스 부재
9: 가이드 장치
10: 테이블
11: 동력 전달 장치
12: 지지 베어링
13: 억제 부재
14: 가이드 장치
15: 공급구
16: 캐비티
17: 기체 공급 장치
18: 배기구
19: 지지 장치
23: 구면 베어링
60: 중력 보상 장치
61: 기체 공급 장치
62: 공급구
63: 공간
64: 유로
65: 공간
100: 테이블 장치
200: 반도체 제조 장치
300: 반송 장치
400: 검사 장치

Claims (13)

  1. 수평면 내에 있어서 이동 가능한 제 1 부재와,
    상기 제 1 부재에 대하여 상대 이동 가능한 제 2 부재와,
    적어도 일부가 상기 제 1 부재에 배치되어, 상기 제 1 부재의 이동에 의해 상기 수평면과 직교하는 제 1 축과 평행한 방향으로 상기 제 2 부재가 이동하도록 상기 제 2 부재를 가이드하는 제 1 가이드 장치와,
    상기 제 2 부재에 지지되는 테이블과,
    상면, 하면 및 상기 상면과 상기 하면을 연결하는 측면을 가지고, 상기 상면측의 적어도 일부가 상기 테이블에 접속되는 제 3 부재와,
    상기 제 3 부재의 측면과의 사이에 기체를 공급 가능한 제 1 공급구를 가지고, 상기 제 1 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 제 3 부재의 측면과의 사이에 기체 베어링을 형성하여, 상기 제 1 축과 평행한 방향으로 상기 제 3 부재를 이동 가능하게 지지하는 베어링 부재와,
    상기 제 1 부재를 이동하기 위한 동력을 발생하는 액추에이터와,
    상기 제 3 부재의 하면이 면하는 공간에 면하도록 배치되어, 상기 공간에 기체를 공급하는 제 2 공급구를 가지는 중력 보상 장치를 구비하는 테이블 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 3 부재는, 상기 제 1 축과 평행한 방향으로 긴 막대 형상의 부재이고,
    상기 베어링 부재는, 상기 제 3 부재의 측면의 주위에 배치되는 통 형상의 부재이며,
    상기 제 1 공급구는, 상기 제 3 부재의 측면과 대향하도록 배치되고,
    상기 제 1 축과 평행한 방향에 관한 상기 제 3 부재의 이동 범위에 있어서, 상기 제 1 공급구는, 상기 제 3 부재의 측면과 계속하여 대향하는 테이블 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제 1 축과 평행한 방향에 관하여, 상기 제 3 부재의 치수는, 상기 베어링 부재의 치수보다 큰 테이블 장치.
  4. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    적어도 일부가 상기 제 3 부재 및 상기 베어링 부재의 주위에 배치되어, 상기 베어링 부재를 지지하는 지지 부재를 구비하고,
    상기 제 2 공급구는, 상기 제 3 부재의 하면과 상기 지지 부재의 내면에 의하여 규정되는 공간에 기체를 공급하는 테이블 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 중력 보상 장치는, 상기 하면이 면하는 공간의 압력이 상기 지지 부재의 외측의 공간의 압력보다 높아지도록, 상기 제 2 공급구로부터 기체를 공급하는 테이블 장치.
  6. 제 2항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 수평면과 평행한 상기 제 3 부재의 단면의 외형은 원형인 테이블 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 제 3 부재는 적어도 2개 배치되고, 상기 테이블의 제 1 부위 및 상기 제 1 부위와는 다른 상기 테이블의 제 2 부위의 각각에 접속되는 테이블 장치.
  8. 제 2항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 3 부재의 이동 범위에 있어서, 상기 제 1 축과 평행한 방향에 관하여, 상기 제 3 부재의 중심은, 상기 베어링 부재의 일단부와 타단부와의 사이에 계속하여 배치되는 테이블 장치.
  9. 제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 액추에이터에 의해, 상기 제 1 부재가 상기 수평면 내의 제 2 축과 평행한 방향으로 이동되고,
    상기 제 2 축과 평행한 방향에 관한 상기 제 2 부재의 이동을 억제하는 억제 부재를 구비하는 테이블 장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    적어도 일부가 상기 억제 부재에 배치되어, 상기 제 2 부재를 상기 제 1 축과 평행한 방향으로 가이드하는 제 2 가이드 장치를 가지는 테이블 장치.
  11. 제 9항 또는 제 10항에 있어서,
    상기 제 2 부재와 상기 테이블과의 사이에 배치되어, 상기 테이블을 유연하게 지지하는 지지 장치를 구비하는 테이블 장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 지지 장치는, 구면 베어링을 포함하는 테이블 장치.
  13. 제 1항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 기재된 테이블 장치를 구비하는 반송 장치.
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