KR20160003846U - 기판처리장치에 사용되는 실링구조 - Google Patents

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Abstract

실링구조의 일 실시예는, 제1배관의 일단에 돌출형성되고 원통형으로 구비되는 플랜지; 원통형으로 형성되고, 상기 제1배관과 연통되도록 배치되는 제2배관; 상기 제2배관의 외주면 착탈가능하도록 장착되고, 상기 플랜지와 대면하도록 장착되는 푸시링(push ring); 상기 플랜지와 상기 푸시링 사이에 배치되어 상기 플랜지와 상기 푸시링이 서로 밀착함에 따라 상기 제1배관과 상기 제2배관의 연통부위를 실링하는 실링부재; 및 상기 플랜지와 상기 푸시링을 가압하여 서로 밀착시키는 클램프를 포함할 수 있다.

Description

기판처리장치에 사용되는 실링구조{Sealing structure used in Substrate disposition apparatus}
실시예는, 용이하게 결합 및 분리가 가능하고, 조립시 파손발생을 현저히 줄일 수 있는 기판처리장치에 사용되는 실링구조에 관한 것이다.
이 부분에 기술된 내용은 단순히 실시예에 대한 배경 정보를 제공할 뿐 종래기술을 구성하는 것은 아니다.
일반적으로 반도체 메모리 소자, 액정표시장치, 유기발광장치 등은 기판상에 복수회의 반도체 공정을 실시하여 원하는 형상의 구조물을 적층하여 제조한다.
반도체 제조공정은 기판상에 소정의 박막을 증착하는 공정, 박막의 선택된 영역을 노출시키는 포토리소그래피(photolithography) 공정, 선택된 영역의 박막을 제거하는 식각 공정, 기판에 결정을 성장시키는 공정 등을 포함한다.
이러한 반도체를 제조하는 기판 처리공정은 해당 공정을 위해 최적의 환경이 조성된 공정챔버를 포함하는 기판처리장치에서 진행된다.
기판처리장치에는 기판 처리공정을 진행하기 위한 다수의 하부장치, 부품들이 배치되며, 기판 처리공정에 사용되는 소스물질, 공정가스 기타의 유체를 상기 하부장치 또는 부품들에 보내기 위한 배관들이 구비될 수 있다.
이러한 배관들은 서로 연결될 수 있고, 그 연결부위에 생기는 틈새로 유체가 외부로 유출되는 것을 차단하기 위한 실링구조가 형성될 수 있다.
일반적으로 실링구조에서는 실링을 위한 여러 장치 또는 부품을 서로 결합시킬 필요가 있다. 이러한 결합기구로 결합강도가 높은 볼트, 나사못 등의 고정부재가 일반적으로 사용된다.
그러나, 이러한 높은 결합강도를 가지는 고정부재는 결합과정에서 실링구조를 구성하는 장치 또는 부품들이 파손될 우려가 있다. 또한, 실링구조가 장기간 사용될 경우 결합에 사용되는 이러한 고정부재에 의해 실링구조를 구성하는 장치 또는 부품들이 파손될 우려가 있다.
또한, 실링구조를 구성하는 장치 또는 부품들이 세라믹 등과 같이 경도가 높은 재질로 형성되는 경우, 고정부재를 결합하기 위한 관통구 등을 상기 장치 또는 부품에 형성하기 어려워, 결과적으로 실링구조의 조립 및 분해가 어려워 질 수 있는 문제가 있다.
따라서, 실시예는, 용이하게 결합 및 분리가 가능하고, 조립시 파손발생을 현저히 줄일 수 있는 기판처리장치에 사용되는 실링구조에 관한 것이다.
실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 실시예가 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
실링구조의 일 실시예는, 제1배관의 일단에 돌출형성되고 원통형으로 구비되는 플랜지; 원통형으로 형성되고, 상기 제1배관과 연통되도록 배치되는 제2배관; 상기 제2배관의 외주면 착탈가능하도록 장착되고, 상기 플랜지와 대면하도록 장착되는 푸시링(push ring); 상기 플랜지와 상기 푸시링 사이에 배치되어 상기 플랜지와 상기 푸시링이 서로 밀착함에 따라 상기 제1배관과 상기 제2배관의 연통부위를 실링하는 실링부재; 및 상기 플랜지와 상기 푸시링을 가압하여 서로 밀착시키는 클램프를 포함할 수 있다.
상기 실링부재는 상기 제2배관의 외주면을 감싸도록 구비되는 것일 수 있다.
상기 실링부재는 오링(O-ring)으로 형성되는 것일 수 있다.
상기 플랜지는, 상기 제2배관의 외주면을 따라 형성되고 상기 실링부재가 안착하는 안착홈을 구비하는 것일 수 있다.
상기 안착홈에 안착되는 상기 실링부재는 상기 플랜지에 의해 가압되어 상기 제1배관과 상기 제2배관의 연통부위를 실링하는 것일 수 있다.
상기 플랜지는 상기 푸시링과 밀착하는 면의 타면 중 적어도 일부가 경사면으로 형성되는 것일 수 있다.
상기 클램프는 상기 플랜지의 상기 경사면을 가압하는 것일 수 있다.
상기 푸시링은 상기 플랜지와 밀착하는 면의 타면 중 적어도 일부가 곡면으로 형성되는 것일 수 있다.
상기 클램프는 상기 푸시링의 상기 곡면을 가압하는 것일 수 있다.
상기 푸시링은, 상기 플랜지를 가압하는 제1가압부; 및 상기 제1가압부로부터 돌출형성되고, 상기 실링부재를 가압하는 제2가압부를 포함하는 것일 수 있다.
상기 실링부재는 상기 제2가압부에 의해 가압되어 상기 제1배관과 상기 제2배관의 연통부위를 실링하는 것일 수 있다.
상기 플랜지 또는 상기 제2배관은 세라믹(ceramic) 재질로 형성되는 것일 수 있다.
실시예의 실링구조에서는, 클램프를 이용하여 용이하게 결합 및 분리가 가능하므로, 부품의 조립을 용이하게 할 수 있다.
또한, 각 부품에 볼트 등의 고정부재를 사용하지 않으므로, 이러한 고정부재에 의한 부품의 변형, 파손을 방지할 수 있다.
또한, 실링부재에 의한 1차적 실링과 플랜지와 푸시링에 의한 2차적 실링이 가능하므로 배관의 연통부위에서 유체의 유출을 효과적으로 차단할 수 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 실링구조를 나타낸 분해 사시도이다.
도 2는 일 실시예에 따른 실링구조를 나타낸 분해 단면도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 실링구조를 나타낸 단면도이다.
도 4는 도 3의 A부분의 일 실시예를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 3의 A부분의 다른 실시예를 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 실시예를 상세히 설명한다. 실시예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 실시예를 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 실시예의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다.
"제1", "제2" 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는 데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 또한, 실시예의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것일 뿐이고, 실시예의 범위를 한정하는 것이 아니다.
또한, 이하에서 이용되는 "상/상부/위" 및 "하/하부/아래" 등과 같은 관계적 용어들은, 그런 실체 또는 요소들 간의 어떠한 물리적 또는 논리적 관계 또는 순서를 반드시 요구하거나 내포하지는 않으면서, 어느 한 실체 또는 요소를 다른 실체 또는 요소와 구별하기 위해서만 이용될 수도 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 실링구조를 나타낸 분해 사시도이다. 도 2는 일 실시예에 따른 실링구조를 나타낸 분해 단면도이다. 실시예의 실링구조는, 플랜지(100), 제2배관(200), 푸시링(push ring)(300), 실링부재(400) 및 클램프(500)를 포함할 수 있다.
플랜지(100)는 제1배관(10)의 일단에 돌출형성되고 원통형으로 구비될 수 있다. 이때, 상기 플랜지(100)는 제1배관(10)의 일단에 일체로 형성될 수 있다. 한편, 상기 제1배관(10)은 기판처리장치에 구비되고, 예를 들어, 제2배관(200)으로부터 유입되는 유체를 가열하거나 냉각하는 블록형 장치의 일부로 구비될 수도 있다.
상기 플랜지(100)는 실링구조가 결합하는 경우, 상기 푸시링(300)과 대면하도록 구비될 수 있고, 또한 상기 플랜지(100)와 상기 푸시링(300)은 서로 대면하는 부위가 서로 밀착될 수 있다.
이러한 플랜지(100)와 푸시링(300)이 밀착하는 구조로 인해, 적어도 플랜지(100)와 푸시링(300)이 서로 대면하여 밀착하는 부위에서는 일정정도 제1배관(10)과 제2배관(200)을 통과하는 유체의 외부유출을 방지하는 실링의 역할을 할 수 있다.
구체적으로, 실링부재(400)가 결합된 경우, 상기 플랜지(100)는 상기 제1배관(10)으로부터 상기 제2방향의 길이방향으로 돌출되는 제1돌출부위와 상기 제1돌출부위로부터 절곡되는 제2돌출부위로 구비될 수 있다.
상기 제1돌출부위 및 상기 제1돌출부위는 전체로 보아 원통형으로 형성될 수 있다. 상기 원통형의 제1돌출부위 내주에는 상기 제2배관(200)이 단부가 삽입되어 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)은 서로 연통될 수 있다.
상기 제2돌출부위의 일면은 상기 제2배관(200)의 길이방향과 수직하게 형성될 수 있고, 상기 일면은 상기 푸시링(300)의 일면과 대면하여 클램프(500)에 의해 서로 밀착될 수 있다.
한편, 상기 제2돌출부위에는 경사면(100a)이 형성될 수 있다. 상기 경사면(100a)은 상기 플랜지(100)의 상기 푸시링(300)과 밀착하는 상기 일면의 타면 중 적어도 일부에 형성될 수 있다.
상기 경사면(100a)은 클램프(500)에 의해 가압되고, 경사면(100a)이 가압됨에 따라 제1돌출부위를 구비하는 상기 플랜지(100)와 상기 푸시링(300)은 서로 밀착할 수 있다.
상기 플랜지(100)와 상기 푸시링(300)이 서로 밀착함에 따라 상기 실링부재(400)는 가압되어 상기 제2배관(200)의 외주면에 밀착함으로써 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)의 연통부위를 실링할 수 있다.
한편, 상기 플랜지(100)에는 안착홈(110)이 형성될 수 있다. 상기 안착홈(110)은 상기 제2배관(200)의 외주면을 따라 형성되고 상기 실링부재(400)가 안착하는 부위이다.
구체적으로, 상기 안착홈(110)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 플랜지(100)의 상기 제2돌출부위의 하부에 상기 플랜지(100)의 일부가 함몰되어 형성되고, 단면으로 보아 곡선 형상, 부채꼴 형상으로 함몰되어 형성될 수 있다.
이때, 상기 안착홈(110)에 안착되는 상기 실링부재(400)는 상기 플랜지(100)에 의해 가압되어 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)의 연통부위를 실링할 수 있다.
구체적으로, 상기 실링부재(400)는 상기 안착홈(110)의 표면, 상기 푸시링(300)의 제1가압부(310) 및 상기 제2배관(200)의 외주면에 의해 가압되고, 가압에 의해 상기 안착홈(110)의 표면, 상기 푸시링(300)의 제1가압부(310) 및 상기 제2배관(200)의 외주면에 밀착하여 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)의 연통부위를 실링할 수 있다. 이에 관한 자세한 설명은 도 3, 도 4 및 도 5를 참조하여 설명한다.
제2배관(200)은 원통형으로 형성될 수 있고, 상기 제1배관(10)과 연통되도록 배치될 수 있다. 제2배관(200)에는 유체가 유동할 수 있고, 상기 유체는 상기 제1배관(10)으로부터 상기 제2배관(200)으로 유동하거나, 반대로 상기 제2배관(200)으로부터 상기 제1배관(10)으로 유동할 수도 있다.
한편, 상기 플랜지(100) 또는 제2배관(200)은 세라믹(ceramic) 재질로 형성될 수 있다. 일반적으로 결합강도가 높은 볼트, 나사못 등의 고정부재를 제1배관과 제2배관의 결합기구를 사용할 경우, 상기 플랜지(100) 또는 제2배관(200)에는 상기 고정부재가 삽입되는 홈 또는 홀을 복수로 형성할 필요가 있다.
그러나, 실시예에서 상기 플랜지(100) 또는 제2배관(200)를 세라믹 재질로 형성하는 경우, 세라믹의 물성(property)적 특성으로 인해 상기 홈 또는 홀을 형성하기가 어려우며, 형성과정에서 상기 플랜지(100) 또는 제2배관(200)이 파손될 우려가 있다.
또한, 상기 플랜지(100) 또는 제2배관(200)에 형성된 홈 또는 홀에 상기 고정부재가 체결되는 경우, 체결된 상기 고정부재에 의해 상기 플랜지(100) 또는 제2배관(200)이 파손된 우려가 있다.
따라서, 상기 플랜지(100) 또는 제2배관(200)를 세라믹 재질로 형성하는 경우, 실시예의 실링구조는 상기 플랜지(100) 또는 제2배관(200)의 파손을 방지할 수 있는 효과가 있다.
푸시링(300)은 상기 제2배관(200)의 외주면 착탈가능하도록 장착될 수 있고, 상기 플랜지(100)와 대면하도록 장착될 수 있다. 상기 푸시링(300)은 실링구조가 결합하는 경우, 상기 플랜지(100)와 대면하도록 구비될 수 있고, 또한 클램프(500)에 의해 가압되어 상기 플랜지(100)와 상기 푸시링(300)은 서로 대면하는 부위가 서로 밀착될 수 있다.
상기한 바와 같이, 이러한 플랜지(100)와 푸시링(300)이 밀착하는 구조로 인해, 적어도 플랜지(100)와 푸시링(300)이 서로 대면하여 밀착하는 부위에서는 일정정도 제1배관(10)과 제2배관(200)을 통과하는 유체의 외부유출을 방지하는 실링의 역할을 할 수 있다.
상기 푸시링(300)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1가압부(310) 및 제2가압부(320)를 포함할 수 있다. 상기 제1가압부(310)는 일면이 상기 플랜지(100)의 일면과 대면 및 밀착하고, 상기 클램프(500)에 의해 가압됨에 따라 상기 플랜지(100)를 가압할 수 있다.
상기한 바와 같이 상기 플랜지(100)의 일면과 상기 푸시링(300)의 일면이 클램프(500)에 의해 가압되어 서로 밀착하는 부위가 형성되고, 이러한 밀착부위에서는 일정정도 제1배관(10)과 제2배관(200)을 통과하는 유체의 외부유출을 방지하는 실링의 역할을 할 수 있다.
상기 제2가압부(320)는 상기 제1가압부(310)로부터 제1배관(10) 방향으로 향하여 돌출형성되고, 상기 실링부재(400)와 대향되는 위치에 구비되어, 실링구조가 결합하는 경우, 상기 실링부재(400)를 제2배관(200)의 길이방향으로 가압할 수 있다.
상기한 바와 같이, 상기 실링부재(400)는 상기 안착홈(110)의 표면, 상기 푸시링(300)의 제1가압부(310) 및 상기 제2배관(200)의 외주면에 의해 가압되어 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)의 연통부위를 실링할 수 있다.
한편, 상기 푸시링(300)에는 곡면(300a)이 형성될 수 있다. 상기 곡면(300a)은 상기 제1가압부(310)에 형성될 수 있고, 상기 푸시링(300)의 상기 플랜지(100)와 밀착하는 상기 제1가압부(310)의 일면의 타면 중 적어도 일부에 형성될 수 있다.
상기 곡면(300a)은, 상기 곡면(300a)과 마찬가지로, 클램프(500)에 의해 가압되고, 곡면(300a)이 가압됨에 따라 제1가압부(310)를 구비하는 상기 푸시링(300)과 상기 플랜지(100)는 서로 밀착할 수 있다. 따라서, 상기 플랜지(100)와 상기 푸시링(300)이 서로 밀착함에 따라 상기 실링부재(400)는 가압되어 상기 제2배관(200)의 외주면에 밀착함으로써 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)의 연통부위를 실링할 수 있다.
실링부재(400)는 상기 플랜지(100)와 상기 푸시링(300) 사이에 배치될 수 있다. 상기 실링부재(400)는 상기 제2가압부(320)에 의해 가압되어 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)의 연통부위를 실링할 수 있다.
구체적으로, 상기 실링부재(400)는, 실링구조가 결합하는 경우, 상기 플랜지(100)의 안착홈(110)에 안착하고, 상기 푸시링(300)의 제2가압부(320)에 의해 상기 제2배관(200)의 길이방향으로 가압될 수 있다. 또한, 상기 실링부재(400)는 상기 제2배관(200)의 외주면을 감싸도록 구비될 수 있다.
이러한 구조로 인해, 실링구조가 결합되는 경우, 상기 플랜지(100)와 상기 푸시링(300)이 서로 밀착함에 따라, 상기 실링부재(400)는 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)의 연통부위를 효과적으로 실링할 수 있다.
한편, 상기 실링부재(400)는 상기 플랜지(100), 푸시링(300) 및 제2배관(200)의 외주면에 의해 가압되어 제1배관(10)과 제2배관(200)의 연통부위를 효과적으로 실링할 수 있도록, 가압력에 의해 그 형상이 다소 변형될 수 있는 재질로 형성될 수 있다.
이는 실링부재(400)가 가압력을 받아 변형되면서 제1배관(10)과 제2배관(200)을 유동하는 유체가 유출될 수 있는 틈새를 효과적으로 밀폐할 수 있기 때문이다.
따라서, 상기 실링부재(400)는, 가압력에 의해 형상의 변형이 발생하여 상기 틈새를 효과적으로 밀폐할 수 있는 재질, 예를 들어, 알루미늄, 폴리머(polymer) 등으로 형성될 수 있다.
한편, 상기 제1배관(10)과 제2배관(200)을 유동하는 유체가 고온인 경우 또는 상기 제1배관(10) 또는 제2배관(200)이 가열되는 경우, 상기 실링부재(400)는 고온에 견딜 수 있는 재질로 형성될 수도 있다.
또한, 상기 실링부재(400)는 원통형인 제2배관(200)을 감싸도록 배치되므로 이에 적합한 형상의 것이 사용될 수 있다. 따라서, 상기 실링부재(400)는, 예를 들어, 단면이 원형, 타원형 기타 곡선형의 외형을 가지는 오링(O-ring)으로 형성될 수 있다.
클램프(500)는 상기 플랜지(100)와 상기 푸시링(300)을 가압하여 서로 밀착시키는 역할을 할 수 있다. 상기 클램프(500)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 중공으로 형성되고 양측은 직경방향으로 내측으로 돌출되도록 형성되고, 이러한 한 쌍의 돌출부위는 각각 상기 플랜지(100)와 푸시링(300)을 가압하여 이들을 서로 밀착되도록 할 수 있다.
상기 클램프(500)는 상기 플랜지(100)와 푸시링(300)에 착탈이 용이하게 하기 위해, 예를 들어, 그 직경을 가로질러 잘린 한 쌍으로 구비될 수 있다. 따라서, 클램프(500)의 각 피스들은 플랜지(100)와 푸시링(300)에 각각 결합하여 상기 플랜지(100)와 푸시링(300)을 밀착시킬 수 있다.
상기 클램프(500)는 플랜지(100)와 푸시링(300)에 결합된 상태를 견고하게 유지하기 위해, 클램프(500)의 각 피스들은 결합기구(미도시)에 의해 서로 결합할 수 있다. 또한, 상기 클램프(500)의 각 피스들 사이의 결합과 분리를 용이하게 하기 위해, 예를 들어, 상기 결합기구는 별도의 기구없이 작업자의 수작업으로 각 피스들을 서로 결합 또는 분리할 수 있는 스크류결합기구(미도시)가 사용될 수 있다.
또한, 상기 클램프(500)는 상기 플랜지(100)와 푸시링(300)을 밀착시키고, 상기 플랜지(100)와 푸시링(300)에 용이하게 결합 및 분리가능한 것이라면 상기한 실시예 이외의 다른 구조를 가진 것들을 사용할 수도 있다.
도 3은 일 실시예에 따른 실링구조를 나타낸 단면도이다. 도 4는 도 3의 A부분의 일 실시예를 나타낸 도면이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 제1배관(10)(10') 사이에 제2배관(200)이 연결될 수 있고, 이에 따라, 제1배관(10)과 제2배관(200)의 연통부위도 2개로 형성될 수도 있다. 이에 따라, 플랜지(100), 푸시링(300), 실링부재(400) 및 클램프(500)도 한 쌍으로 구비될 수 있다.
실링구조가 결합된 경우, 도 4에 도시된 바와 같이, 클램프(500)의 상기 한 쌍의 돌출부위 중 하나는 상기 플랜지(100)의 경사면(100a)을 가압하고, 다른 하나는 상기 푸시링(300)의 곡면(300a)을 가압할 수 있다.
클램프(500)에 의해 경사면(100a)과 곡면(300a)이 가압됨에 따라, 플랜지(100)의 상기 제2돌출부위와 푸시링(300)의 상기 제2가압부(320)는 서로 밀착되어, 유체가 상기 실링부재(400)를 통과하여 외부로 유출되는 것을 막아 2차적인 실링을 할 수 있다.
또한, 클램프(500)에 의해 경사면(100a)과 곡면(300a)이 가압됨에 따라, 상기 플랜지(100)와 상기 푸시링(300)이 이들 사이에 배치되는 실링부재(400)를 가압하여, 상기 제1배관(10)과 제2배관(200)의 연통부위의 빈틈을 통해 유체가 외부로 유출되는 것을 막아 1차적인 실링을 할 수 있다.
이때, 상기 실링부재(400)는 상기 안착홈(110)의 표면, 상기 푸시링(300)의 제1가압부(310) 및 상기 제2배관(200)의 외주면에 의해 가압될 수 있다. 따라서, 실링부재(400)는 가압되어 변형이 발생할 수 있다.
상기 실링부재(400)는 이러한 변형으로 인해 상기 안착홈(110)의 표면, 상기 푸시링(300)의 제1가압부(310) 및 상기 제2배관(200)의 외주면 더욱 밀착되어 유체가 외부로 유출될 수 있는 틈새를 효과적으로 차단할 수 있다.
한편, 상기 제1배관(10)과 제2배관(200)은 세정, 보수 등을 위해 용이하게 착탈가능하게 구비될 수 있다. 이를 위해 상기 푸시링(300)은 상기 제2배관(200)의 외주에 착탈 가능하도록 구비될 수 있다.
이러한 구조로 인해 상기 푸시링(300)의 내주면과 상기 제2배관(200)의 외주면에, 도 4에 도시된 바와 같이, 이격공간(S)이 형성될 수 있고, 실링부재(400)를 통과한 유체가 상기 이격공간(S)을 통해 외부로 유출될 수도 있다.
이러한, 유체의 외부유출을 차단하기 위해, 예를 들어, 상기 이격공간(S)을 테이프, 필름 등의 형태를 가진 차단재로 매워 3차적인 실링을 할 수도 있다.
한편, 플랜지(100)의 실링부재(400)와 접촉하여 상기 실링부재(400)를 가압하는 면은, 도 4에 도시된 바와 같이 상측방향으로 경사를 형성하는 곡선면으로 형성될 수 있다.
상기 곡선면은 상기 실링부재(400)를 측방향 및 하측방향으로 동시에 가압할 수 있다. 이러한 구조로 인해, 상기 실링부재(400)는 플랜지(100)에 의해 측방향 및 하측방향으로 가압되어, 하측의 제2배관(200)의 표면과 밀착함과 동시에 제2가압부의 단면에 밀착할 수 있다.
따라서, 상기 실링부재(400)는 상기 이격공간(S)를 효과적으로 밀폐하여 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)의 연통부위를 실링할 수 있다.
도 5는 도 3의 A부분의 다른 실시예를 나타낸 도면이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 도 4의 실시예와 반대로, 곡선면이 푸시링(300)의 제2가압부(320)에 형성될 수도 있다.
상기 제2가압부(300)에 형성되는 곡선면은 상기 실링부재(400)를 측방향 및 하측방향으로 동시에 가압할 수 있다. 따라서, 상기 실링부재(400)는 푸시링(300)에 의해 측방향 및 하측방향으로 가압되어, 하측의 제2배관(200)의 표면과 밀착함과 동시에 제2가압부의 단면에 밀착할 수 있다.
따라서, 상기 도4의 실시예와 마찬가지로, 상기 실링부재(400)는 상기 이격공간(S)를 효과적으로 밀폐하여 상기 제1배관(10)과 상기 제2배관(200)의 연통부위를 실링할 수 있다.
실시예의 실링구조에서는, 클램프(500)를 이용하여 용이하게 결합 및 분리가 가능하므로, 부품의 조립을 용이하게 할 수 있다.
또한, 각 부품에 볼트 등의 고정부재를 사용하지 않으므로, 이러한 고정부재에 의한 부품의 변형, 파손을 방지할 수 있다.
또한, 실링부재(400)에 의한 1차적 실링과 플랜지(100)와 푸시링(300)에 의한 2차적 실링이 가능하므로 배관의 연통부위에서 유체의 유출을 효과적으로 차단할 수 있다.
실시예와 관련하여 전술한 바와 같이 몇 가지만을 기술하였지만, 이외에도 다양한 형태의 실시가 가능하다. 앞서 설명한 실시예들의 기술적 내용들은 서로 양립할 수 없는 기술이 아닌 이상은 다양한 형태로 조합될 수 있으며, 이를 통해 새로운 실시형태로 구현될 수도 있다.
10, 10': 제1배관
100: 플랜지
100a: 경사면
110: 안착홈
200: 제2배관
300: 푸시링
300a: 곡면
310: 제1가압부
320: 제2가압부
400: 실링부재
500: 클램프
S: 이격공간

Claims (12)

  1. 제1배관의 일단에 돌출형성되고 원통형으로 구비되는 플랜지;
    원통형으로 형성되고, 상기 제1배관과 연통되도록 배치되는 제2배관;
    상기 제2배관의 외주면 착탈가능하도록 장착되고, 상기 플랜지와 대면하도록 장착되는 푸시링(push ring);
    상기 플랜지와 상기 푸시링 사이에 배치되어 상기 플랜지와 상기 푸시링이 서로 밀착함에 따라 상기 제1배관과 상기 제2배관의 연통부위를 실링하는 실링부재; 및
    상기 플랜지와 상기 푸시링을 가압하여 서로 밀착시키는 클램프
    를 포함하는 실링구조.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 실링부재는 상기 제2배관의 외주면을 감싸도록 구비되는 것을 특징으로 하는 실링구조.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 실링부재는 오링(O-ring)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 실링구조.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 플랜지는,
    상기 제2배관의 외주면을 따라 형성되고 상기 실링부재가 안착하는 안착홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 실링구조.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 안착홈에 안착되는 상기 실링부재는 상기 플랜지에 의해 가압되어 상기 제1배관과 상기 제2배관의 연통부위를 실링하는 것을 특징으로 하는 실링구조.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 플랜지는 상기 푸시링과 밀착하는 면의 타면 중 적어도 일부가 경사면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 실링구조.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 클램프는 상기 플랜지의 상기 경사면을 가압하는 것을 특징으로 하는 실링구조.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 푸시링은 상기 플랜지와 밀착하는 면의 타면 중 적어도 일부가 곡면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 실링구조.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 클램프는 상기 푸시링의 상기 곡면을 가압하는 것을 특징으로 하는 실링구조.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 푸시링은,
    상기 플랜지를 가압하는 제1가압부; 및
    상기 제1가압부로부터 돌출형성되고, 상기 실링부재를 가압하는 제2가압부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 실링구조.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 실링부재는 상기 제2가압부에 의해 가압되어 상기 제1배관과 상기 제2배관의 연통부위를 실링하는 것을 특징으로 하는 실링구조.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 플랜지 또는 상기 제2배관은 세라믹(ceramic) 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 실링구조.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070011630A (ko) * 2007-01-03 2007-01-24 우양호 탈·부착이 용이한 배관의 이음구
KR20080023940A (ko) * 2006-09-12 2008-03-17 삼성전자주식회사 가스배관 및 이를 구비한 반도체 제조설비
KR100822219B1 (ko) * 2007-10-26 2008-04-16 주식회사 한국피이엠 관 커플러
KR20140065793A (ko) * 2012-11-22 2014-05-30 에스엘티 주식회사 진공배관용 주름관 및 이와 파이프의 결합구조체
KR20140006204U (ko) * 2013-12-31 2014-12-10 성도엔지니어링 주식회사 배관 연결을 위한 배관 플랜지

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080023940A (ko) * 2006-09-12 2008-03-17 삼성전자주식회사 가스배관 및 이를 구비한 반도체 제조설비
KR20070011630A (ko) * 2007-01-03 2007-01-24 우양호 탈·부착이 용이한 배관의 이음구
KR100822219B1 (ko) * 2007-10-26 2008-04-16 주식회사 한국피이엠 관 커플러
KR20140065793A (ko) * 2012-11-22 2014-05-30 에스엘티 주식회사 진공배관용 주름관 및 이와 파이프의 결합구조체
KR20140006204U (ko) * 2013-12-31 2014-12-10 성도엔지니어링 주식회사 배관 연결을 위한 배관 플랜지

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