KR20160003139U - 기화기 흐름 측정 시스템 - Google Patents

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Abstract

기화기 흐름 측정 시스템이 개시된다.
개시되는 기화기 흐름 측정 시스템은 복수 개의 챔버를 향해 각각 유동되는 각 액상 유체를 각각 기화시킬 수 있는 복수 개의 기화기를 통해 기화된 각 기상 유체의 각 유량값을 감지하는 복수 개의 유량계로부터 상기 각 기상 유체의 각 유량값을 각각 전달받는 복수 개의 로컬 컨트롤러; 복수 개의 상기 로컬 컨트롤러로부터 상기 각 기상 유체의 각 유량값을 전달받아, 상기 각 챔버로 향하는 상기 각 기상 유체의 각 유량값의 이상 여부를 판단하는 메인 컨트롤러; 및 상기 메인 컨트롤러에 의해 판단된 상기 각 기상 유체의 각 유량값의 이상 여부를 표시하는 표시 부재;를 포함한다.
개시되는 기화기 흐름 측정 시스템에 의하면, 기화기 흐름 측정 시스템이 복수 개의 로컬 컨트롤러, 메인 컨트롤러 및 표시 부재를 포함함에 따라, 복수 개의 각 챔버로 향하는 각 기화 유체의 유량이 요구 유량에 부합되는지 여부를 실시간으로 감지할 수 있게 되고, 각 챔버에 대한 예방 보수 주기도 실시간으로 제어될 수 있게 되는 장점이 있다.

Description

기화기 흐름 측정 시스템{Vaporizer flow measuring system}
본 고안은 기화기 흐름 측정 시스템에 관한 것이다.
반도체, 엘이디 및 엘씨디 중 적어도 하나를 제조할 수 있는 장치에는 다양한 유체가 적용되고, 이러한 유체 중에는 액상 유체로 챔버를 향해 공급되다가 기화기를 통해 기화되어 기상 유체로 변화된 다음 챔버로 최종 공급되는 것들이 많다.
반도체, 엘이디, 엘씨디 등의 제조에는 다수 개의 챔버가 적용되고, 각 챔버에는 캐리어 이송을 위한 리니어 모션 시스템(LMS, linear motion system)이 적용될 수 있는데, 이러한 리니어 모션 시스템의 예로 제시될 수 있는 것이 아래 공개특허문헌이다.
그러나, 종래에는, 상기 리니어 모션 시스템에 대한 직접적인 제어가 쉽지 않을 뿐만 아니라, 각 챔버로 향하는 각 기화 유체의 실제 유량이 요구되는 유량에 부합되는지 제대고 감지할 수 있는 수단이 없어, 각 챔버로 향하는 각 기화 유체의 유량이 요구되는 유량에 비해 부족한 경우 등의 비정상적 경우에도 전체 시스템이 그러한 비정상적 상황 아래 계속 운전되는 단점이 있었다.
공개특허 제 10-2011-0079888호, 공개일자: 2011.07.11., 발명의 명칭: 리니어 모션 시스템을 제어하기 위한 방법 및 장치
본 고안은 복수 개의 각 챔버로 향하는 각 기화 유체의 유량이 요구 유량에 부합되는지 여부를 감지할 수 있는 기화기 흐름 측정 시스템을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 고안의 일 측면에 따른 기화기 흐름 측정 시스템은 복수 개의 챔버를 향해 각각 유동되는 각 액상 유체를 각각 기화시킬 수 있는 복수 개의 기화기를 통해 기화된 각 기상 유체의 각 유량값을 감지하는 복수 개의 유량계로부터 상기 각 기상 유체의 각 유량값을 각각 전달받는 복수 개의 로컬 컨트롤러; 복수 개의 상기 로컬 컨트롤러로부터 상기 각 기상 유체의 각 유량값을 전달받아, 상기 각 챔버로 향하는 상기 각 기상 유체의 각 유량값의 이상 여부를 판단하는 메인 컨트롤러; 및 상기 메인 컨트롤러에 의해 판단된 상기 각 기상 유체의 각 유량값의 이상 여부를 표시하는 표시 부재;를 포함한다.
본 고안의 일 측면에 따른 기화기 흐름 측정 시스템에 의하면, 기화기 흐름 측정 시스템이 복수 개의 로컬 컨트롤러, 메인 컨트롤러 및 표시 부재를 포함함에 따라, 복수 개의 각 챔버로 향하는 각 기화 유체의 유량이 요구 유량에 부합되는지 여부를 실시간으로 감지할 수 있게 되고, 각 챔버에 대한 예방 보수 주기도 실시간으로 제어될 수 있게 되는 효과가 있다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 기화기 흐름 측정 시스템의 구성을 개략적으로 보이는 도면.
도 2는 본 고안의 다른 실시예에 따른 기화기 흐름 측정 시스템의 구성을 개략적으로 보이는 도면.
이하에서는 도면을 참조하여 본 고안의 일 실시예에 따른 기화기 흐름 측정 시스템에 대하여 설명한다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 기화기 흐름 측정 시스템의 구성을 개략적으로 보이는 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 기화기 흐름 측정 시스템(100)은 복수 개의 로컬 컨트롤러(110, 120, 130)와, 메인 컨트롤러(140)와, 표시 부재(150)를 포함한다.
도면 번호 10, 20 및 30은 복수 개의 챔버이고, 도면 번호 11, 21 및 31은 상기 각 챔버(10, 20, 30)로 향하는 유체가 유동되는 배관이며, 도면 번호 13, 23 및 33은 상기 각 배관(11, 21, 31)을 따라 유동되는 각 액상 유체를 기화시키는 복수 개의 기화기이고, 도면 번호 12, 22 및 32는 상기 각 기화기(13, 23, 33)에 의해 기화되어 상기 각 배관(11, 21, 31)을 따라 유동되는 각 기상 유체의 각 실제 유량을 측정하는 복수 개의 유량계이다.
복수 개의 상기 각 로컬 컨트롤러(110, 120, 130)는 상기 각 유량계(12, 22, 32)에 의해 측정된 상기 각 기상 유체의 각 실제 유량값을 출력전압값 형태로 상기 각 유량계(12, 22, 32)로부터 전달받는 것이다.
상기 메인 컨트롤러(140)는 복수 개의 상기 로컬 컨트롤러(110, 120, 130)로부터 상기 각 기상 유체의 각 유량값을 전달받아, 상기 각 챔버(10, 20, 30)로 향하는 상기 각 기상 유체의 각 유량값의 이상 여부를 판단하는 것이다.
본 실시예에서는, 상기 각 로컬 컨트롤러(110, 120, 130)가 상기 메인 컨트롤러(140)에 각각 직렬로 연결된다.
상기 표시 부재(150)는 상기 메인 컨트롤러(140)에 의해 판단된 상기 각 기상 유체의 각 유량값의 이상 여부를 표시하는 것이다.
본 실시예에서는, 상기 표시 부재(150)가 상기 각 기상 유체의 각 유량값을 시각적으로 표시하는 디스플레이 부재(151)와, 상기 각 기상 유체의 각 유량값을 청각적으로 표시하는 알람 부재(152)를 포함한다.
한편, 상기 메인 컨트롤러(140)는 상기 각 챔버(10, 20, 30)들에 대한 예방 보수(PM, preventive maintenance) 주기를 설정하는 등 제어하는 예방 복수 제어 부재(160)에도 상기 각 챔버(10, 20, 30)로 향하는 상기 각 기상 유체의 각 유량값의 이상 여부에 대한 판단 결과를 전달하여, 상기 예방 보수 제어 부재(160)가 상기 각 챔버(10, 20, 30), 상기 각 기화기(13, 23, 33) 등에 대한 예방 보수 주기를 조정 및 설정할 수 있다.
이하에서는 상기 기화기 흐름 측정 시스템(100)의 작동에 대하여 간단히 설명한다.
먼저, 상기 각 유량계(12, 22, 32)가 상기 각 기화기(13, 23, 33)에 의해 기화되어 상기 각 배관(11, 21, 31)을 따라 유동되는 각 기상 유체의 각 실제 유량을 측정한 다음, 상기 각 유량계(12, 22, 32)에 의해 측정된 상기 각 기상 유체의 각 실제 유량값을 출력전압값 형태로 복수 개의 상기 각 로컬 컨트롤러(110, 120, 130)로 전달한다.
그러면, 상기 각 로컬 컨트롤러(110, 120, 130)는 상기 각 기상 유체의 각 유량값을 상기 메인 컨트롤러(140)로 전달하고, 그에 따라 상기 메인 컨트롤러(140)는 전달받은 상기 각 기상 유체의 각 유량값을 미리 설정된 요구 전압값과 비교하여 그 이상 여부를 판단한다.
상기와 같이 판단된 이상 여부는 상기 표시 부재(150)로 전달되어 시각적 및/또는 청각적으로 표시되어, 복수 개의 각 챔버(10, 20, 30)로 향하는 각 기화 유체의 유량이 요구 유량에 부합되는지 여부를 실시간으로 감지할 수 있게 된다.
상기와 같이, 상기 기화기 흐름 측정 시스템(100)이 복수 개의 로컬 컨트롤러(110, 120, 130), 메인 컨트롤러(140) 및 표시 부재(150)를 포함함에 따라, 복수 개의 각 챔버(10, 20, 30)로 향하는 각 기화 유체의 유량이 요구 유량에 부합되는지 여부를 실시간으로 감지할 수 있게 되고, 각 챔버(10, 20, 30)에 대한 예방 보수 주기도 실시간으로 제어될 수 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 고안의 다른 실시예에 따른 기화기 흐름 측정 시스템에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서 상기된 본 고안의 일 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고 여기서는 생략하기로 한다.
도 2는 본 고안의 다른 실시예에 따른 기화기 흐름 측정 시스템의 구성을 개략적으로 보이는 도면이다.
도 2를 참조하면, 본 실시예에서는, 각 로컬 컨트롤러(210, 220, 230)가 메인 컨트롤러(240)에 대해 병렬로 연결된다.
예를 들어, 하나의 로컬 컨트롤러(230)가 다른 하나의 로컬 컨트롤러(220)에 연결되고, 상기 다른 하나의 로컬 컨트롤러(220)가 또 다른 하나의 로컬 컨트롤러(210)에 연결되며, 상기 또 다른 하나의 로컬 컨트롤러(210)가 상기 메인 컨트롤러(240)에 연결되도록 구성될 수 있다.
상기와 같이 구성되면, 각 로컬 컨트롤러(210, 220, 230)만 각 챔버(10, 20, 30)에 설치하기만 하면 본 실시예에 따른 기화기 흐름 측정 시스템(200)이 작동될 수 있어서, 메인 컨트롤러와 로컨 컨트롤러를 일체 유닛으로 형성한 경우 또는 각 로컬 컨트롤러를 메인 컨트롤러에 대해 직렬로 연결하는 경우에 비해 전선 연결 구조가 간명화되고 작동 오류가 감소될 수 있는 효과가 있다.
상기에서 본 고안은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 실용신안등록청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 고안의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 고안의 일 측면에 따른 기화기 흐름 측정 시스템에 의하면, 복수 개의 각 챔버로 향하는 각 기화 유체의 유량이 요구 유량에 부합되는지 여부를 감지할 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
100 : 기화기 흐름 측정 시스템
110, 120, 130 : 복수 개의 로컬 컨트롤러
140 : 메인 컨트롤러
150 : 표시 부재

Claims (2)

  1. 복수 개의 챔버를 향해 각각 유동되는 각 액상 유체를 각각 기화시킬 수 있는 복수 개의 기화기를 통해 기화된 각 기상 유체의 각 유량값을 감지하는 복수 개의 유량계로부터 상기 각 기상 유체의 각 유량값을 각각 전달받는 복수 개의 로컬 컨트롤러;
    복수 개의 상기 로컬 컨트롤러로부터 상기 각 기상 유체의 각 유량값을 전달받아, 상기 각 챔버로 향하는 상기 각 기상 유체의 각 유량값의 이상 여부를 판단하는 메인 컨트롤러; 및
    상기 메인 컨트롤러에 의해 판단된 상기 각 기상 유체의 각 유량값의 이상 여부를 표시하는 표시 부재;를 포함하는 기화기 흐름 측정 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 로컬 컨트롤러는 상기 메인 컨트롤러에 대해 병렬로 연결되는 것을 특징으로 하는 기화기 흐름 측정 시스템.
KR2020150001461U 2015-03-09 2015-03-09 기화기 흐름 측정 시스템 KR20160003139U (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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