KR20150145082A

KR20150145082A - Transfer device

Info

Publication number: KR20150145082A
Application number: KR1020140074418A
Authority: KR
Inventors: 김광일; 송욱용; 박성범; 박태준; 허준영; 김상문
Original assignee: (주)한화
Priority date: 2014-06-18
Filing date: 2014-06-18
Publication date: 2015-12-29
Also published as: KR101724388B1

Abstract

A transfer device according to the present invention comprises: a transfer table which transfers an object; and a magnetic part which pulls the transfer part on the transfer table in a gravity direction using magnetic force, wherein the transfer table can magnetically rise using the force from the magnetic part. Therefore, the present invention prevents particle generation caused by a mechanical contact by allowing the transfer table to magnetically rise.

Description

TRANSFER DEVICE

본 발명은 대상물을 이송하는 장치에 관한 것이다.
The present invention relates to an apparatus for conveying objects.

대상물의 자동 가공을 위해 대상물을 이송하는 수단이 마련될 수 있다.Means may be provided for transporting the object for automatic machining of the object.

예를 들어 대상물이 실리는 운반대에 바퀴를 형성하고, 해당 바퀴가 레일을 따라 굴러가도록 함으로써 대상물을 이송할 수 있다.For example, an object can be transported by forming a wheel on a carrier carrying the object and causing the wheel to roll along the rail.

그러나, 바퀴와 레일의 물리적 접촉으로 인하여 분진 등의 파티클이 발생될 수 있다. 이러한 파티클은 대상물을 오염시키게 되고, 대상물의 가공 공정의 신뢰도를 저하시킬 수 있다.However, due to the physical contact between the wheel and the rail, particles such as dust can be generated. Such particles may contaminate the object and reduce the reliability of the processing of the object.

한국등록특허공보 제1087236호에는 궤도차를 이용하여 대상물을 이송하는 기술이 개시되고 있으나, 궤도차와 레일 간의 마찰로 발생되는 파티클에 대한 대책은 개시되지 않고 있다.
Korean Patent Registration No. 1087236 discloses a technique for transporting an object by using a trolley, but measures against particle generated by friction between the trolley and the rail are not disclosed.

한국등록특허공보 제1087236호Korean Patent Registration No. 1087236

본 발명은 파티클 발생이 억제되는 이송 장치를 제공하기 위한 것이다.The present invention is to provide a transfer device in which particle generation is suppressed.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description are exemplary and explanatory and are not intended to limit the invention to the precise forms disclosed. Other objects, which will be apparent to those skilled in the art, It will be possible.

본 발명의 이송 장치는 대상물을 운반하는 운반대 및 중력 방향으로 상기 운반대의 위에서 자력으로 상기 운반대를 잡아당기는 자력부를 포함하고, 상기 운반대는 상기 자력부의 힘으로 자기 부상될 수 있다.The conveying apparatus of the present invention includes a carrier for conveying an object and a magnetic force portion for pulling the carrier by magnetic force from above the carrier in the gravity direction, and the carrier can be magnetically levitated by the force of the magnetic force portion.

본 발명의 이송 장치는 대상물이 수용되는 챔버부, 상기 챔버부에 형성된 작업 공간에서 상기 대상물을 제1 방향으로 운반하는 운반대, 상기 챔버부에서 상기 작업 공간의 상부에 설치되고, 자력으로 상기 운반대를 잡아당기는 자력부, 상기 챔버부에서 상기 작업 공간의 상부에 설치되고, 상기 제1 방향으로 상기 운반대를 이동시키는 힘을 상기 운반대에 제공하는 이송부를 포함할 수 있다.A transfer device of the present invention is a transfer device for transferring an object in a first direction in a work space formed in the chamber part, a transfer part installed in an upper part of the work space in the chamber part, And a transfer unit installed on the chamber in the chamber to provide a force for moving the pallet in the first direction to the pallet.

본 발명의 이송 장치는 제1 방향으로 운반대를 이송하는 챔버 모듈 및 상기 챔버 모듈에 상기 제1 방향을 따라 복수로 설치되고, 상기 제1 방향으로 상기 운반대를 이송시키는 힘을 제공하는 이송부를 포함하고, 상기 운반대의 운반 거리는 상기 제1 방향을 따라 배치되는 상기 챔버 모듈의 개수에 비례하며, 상기 제1 방향을 따라 배치된 복수의 상기 챔버 모듈에 마련된 상기 각 이송부 사이의 거리는 모두 동일할 수 있다.
The conveying apparatus of the present invention includes a chamber module for conveying a pallet in a first direction and a conveying portion provided for the chamber module in plural along the first direction and providing a force for conveying the pallet in the first direction Wherein the transport distance of the pallet is proportional to the number of the chamber modules disposed along the first direction and the distances between the respective transport sections provided for the plurality of chamber modules disposed along the first direction may be all the same have.

본 발명의 이송 장치는 대상물을 운반하는 운반대를 자기 부상시킴으로써 기계적 접촉에 의한 파티클 발생을 원천적으로 방지할 수 있다.The conveying device of the present invention can originally prevent generation of particles due to mechanical contact by magnetic levitation of the carrier carrying the object.

또한, 자력부, 이송부를 챔버부의 상부에 배치함으로써 운반대의 아래에 작업 공간이 형성되도록 할 수 있다. 이에 따르면 대상물의 가공에 이용되는 각종 기구, 가스관 등을 자력부, 이송부에 대해 용이하게 회피시켜 배치할 수 있다.In addition, by disposing the magnetic portion and the transfer portion on the upper portion of the chamber portion, a work space can be formed below the pallet. Accordingly, various mechanisms, gas pipes, and the like used for processing the object can be easily disposed and arranged to the magnetic portion and the transfer portion.

또한, 본 발명에 따르면 운반대를 이송하는 챔버부를 모듈화함으로써 운반대의 이송 거리를 자유롭게 설정할 수 있다.
In addition, according to the present invention, the transferring distance of the pallet can be freely set by modularizing the chamber unit for transferring the pallet.

도 1은 본 발명의 이송 장치를 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명의 이송 장치를 구성하는 자력 모듈과 자성체의 단면을 나타낸 개략도이다.
도 3은 본 발명의 이송 장치를 구성하는 다른 자력 모듈을 나타낸 개략도이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 다른 이송 장치를 나타낸 개략도이다.1 is a schematic view showing a conveying apparatus of the present invention.
2 is a schematic view showing a cross section of a magnetic force module and a magnetic body constituting the transfer device of the present invention.
3 is a schematic view showing another magnetic force module constituting the transfer device of the present invention.
4 and 5 are schematic views showing another transfer device of the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The sizes and shapes of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience. In addition, terms defined in consideration of the configuration and operation of the present invention may be changed according to the intention or custom of the user, the operator. Definitions of these terms should be based on the content of this specification.

도 1은 본 발명의 이송 장치를 나타낸 개략도이다.1 is a schematic view showing a conveying apparatus of the present invention.

도 1에 도시된 이송 장치는 운반대(110) 및 자력부(130)를 포함할 수 있다.1 may include a carrier 110 and a magnetic force part 130. [

운반대(110)는 대상물(미도시)을 운반할 수 있다. 이송 장치의 궁국적인 목적은 기판 등의 가공 대상물을 이송하는 것일 수 있다. 그런데, 대상물이 이송 장치에 물리적으로 접촉되면 훼손될 수 있으므로, 별도의 운반대(110)가 이용될 수 있다.The pallet 110 can carry an object (not shown). The ultimate goal of the transfer device may be to transfer the object to be processed such as a substrate. However, since the object may be damaged if it is physically brought into contact with the transfer apparatus, a separate pallet 110 may be used.

구체적으로 운반대(110)는 대상물이 거치되거나 매달리는 받침, 팔레트 등일 수 있다. 따라서, 운반대(110)가 이송되면 운반대(110)에 실린 대상물 역시 이송될 수 있다.Specifically, the pallet 110 may be a pedestal, a pallet, or the like on which the object is mounted or suspended. Accordingly, when the pallet 110 is transported, the object placed on the pallet 110 can also be transported.

운반대(110)가 이송 장치 또는 대상물의 가공 수단에 물리적으로 접촉될 경우 앞에서 살펴본 바와 같이 파티클이 발생될 수 있다. 이를 방지하기 위해 자력부(130)가 이용될 수 있다.When the pallet 110 is physically contacted with the transfer device or the processing means of the object, particles may be generated as described above. To prevent this, the magnetic force unit 130 may be used.

자력부(130)는 중력 방향으로 운반대(110)의 위에서 자력으로 운반대(110)를 잡아당길 수 있다. 이에 따르면 운반대(110)는 자력부(130)의 힘에 의해 자기 부상될 수 있다.The magnetic force part 130 can pull the pallet 110 by magnetic force from the pallet 110 in the gravity direction. According to this, the pallet 110 can be magnetically levitated by the force of the magnetic force unit 130.

자기 부상에 의하면 운반대(110)가 다른 부재와의 마찰 없이 공중에 뜬 상태가 되므로 이송 과정에서 파티클이 발생되는 현상을 원천적으로 방지할 수 있다.According to the magnetic levitation, since the carrier 110 floats in the air without friction with other members, it is possible to prevent the generation of particles in the transportation process.

운반대(110)를 중력의 반대 방향으로 밀어 올리는 것으로도 자기 부상을 달성할 수 있으나, 이에 따르면 운반대(110)의 움직임을 규제하는 것이 어려울 수 있다. 일예로, 운반대(110)가 제1 방향으로 이송될 때, 평면상으로 제1 방향과 다른 방향으로 운반대(110)가 움직이는 것, 소위 탈선을 방지할 필요가 있다. 그런데, 운반대(110)를 밀어 올리는 구성에 의하면 자석의 특성상 운반대(110)가 탈선되는 현상을 방지하기가 어려울 수 있다. 따라서, 자력부(130)는 운반대(110)를 잡아당기도록 구성되는 것이 유리하다.Magnetic levitation can also be achieved by pushing the pallet 110 in the opposite direction of gravity, but it may be difficult to regulate the movement of the pallet 110. For example, when the pallet 110 is transported in the first direction, there is a need to prevent movement of the pallet 110 in a direction different from the first direction, that is, so-called deviation. However, according to the structure of pushing up the pallet 110, it may be difficult to prevent the pallet 110 from being deviated due to the characteristics of the magnet. Therefore, it is advantageous that the magnetic force part 130 is configured to pull the pallet 110.

운반대(110)는 제1 방향으로 이동할 수 있다. 일예로, xyz 공간에서 제1 방향은 x축 방향일 수 있다. 자력부(130)에는 실질적으로 운반대(110)를 잡아당기는 자력을 생성하는 자력 모듈(131)이 마련될 수 있다. 제1 방향으로 이동하는 운반대(110)를 이동 거리에 상관없이 균일하게 위(z축의 양의 방향)로 잡아당기기 위해 자력 모듈(131)은 제1 방향으로 연장될 수 있다.The pallet 110 can move in the first direction. For example, the first direction in the xyz space may be the x-axis direction. The magnetic force unit 130 may be provided with a magnetic force module 131 that generates a magnetic force that substantially pulls the pallet 110. The magnetic force module 131 may extend in the first direction to pull the carrier 110 moving in the first direction uniformly upwards (in the positive direction of the z axis) regardless of the moving distance.

운반대(110)가 x축 방향이 아닌 y축 방향으로 이동하는 현상, 즉 운반대(110)가 탈선하는 현상을 방지하기 위해 자력 모듈(131)의 단면은 양단이 중력 방향(z축의 음의 방향)로 돌출된 형상을 가질 수 있다. 그리고, 운반대(110)에 마련된 자성체(111)의 단면은 자력 모듈(131)의 돌출 부분에 대응하여 양단이 중력의 반대 방향(z축의 양의 방향)으로 돌출된 형상을 가질 수 있다.In order to prevent the phenomenon that the carrier 110 moves in the y-axis direction other than the x-axis direction, that is, the phenomenon that the carrier band 110 is deviated, the cross section of the magnetic force module 131 has both ends in the gravity direction Direction). The cross section of the magnetic body 111 provided on the pallet 110 may have a shape in which both ends of the magnetic body 111 protrude in the opposite direction of gravity (positive direction of the z axis) corresponding to the protruding portion of the magnetic force module 131.

도 2는 본 발명의 이송 장치를 구성하는 자력 모듈(131)과 자성체(111)의 단면을 나타낸 개략도이다.2 is a schematic view showing a cross section of the magnetic force module 131 and the magnetic body 111 constituting the transfer device of the present invention.

자력 모듈(131)의 보호, 대상물의 보호 및 안전 사고의 방지를 위해 자력부(130)에는 제1 방향으로 연장되는 자력 케이스(139)가 마련될 수 있다. 이때, 자력 모듈(131)은 자력 케이스(139)의 내부에 설치될 수 있다.The magnetic force unit 130 may be provided with a magnetic force case 139 extending in a first direction to protect the magnetic force module 131, protect the object, and prevent a safety accident. At this time, the magnetic force module 131 may be installed inside the magnetic force case 139.

자력 모듈(131)의 양단에는 중력 방향으로 돌출된 돌출부(133)가 마련되고, 돌출부(133)에는 코일(137)이 감길 수 있다. 이렇게 형성된 자력 모듈(131)은 소위, 전자석을 형성할 수 있다.At both ends of the magnetic force module 131, protrusions 133 protruding in the gravity direction are provided, and the coils 137 are wound around the protrusions 133. The magnetic force module 131 thus formed can form a so-called electromagnet.

자성체(111)는 운반부와 일체로 형성되거나 운반부에 체결되는 요소일 수 있다. 그리고, 자력 모듈(131)에서 생성된 자력에 반응하는 물체일 수 있다. 일예로 자성체(111)는 자석에 붙는 성질의 금속 또는 영구 자석일 수 있다.The magnetic body 111 may be an element integrally formed with the carrier or fastened to the carrier. And may be an object responsive to the magnetic force generated by the magnetic force module 131. For example, the magnetic body 111 may be a metal or permanent magnet attached to the magnet.

금속 또는 영구 자석의 경우 외부로부터의 전력 공급이 불필요하다. 따라서, 공중에 부상되는 운반대(110)에 전력 공급을 위한 케이블 등이 마련되지 않으므로 설비상 유리하다.In the case of metal or permanent magnets, power supply from the outside is unnecessary. Therefore, it is advantageous in terms of facilities because there is no cable or the like for supplying electric power to the pallet 110 floating in the air.

자력 모듈(131)에는 중력의 반대 방향으로 돌출된 2개의 돌출부(133), 각 돌출부(133)를 연결하는 연결부(135)가 마련될 수 있다.The magnetic force module 131 may be provided with two protrusions 133 protruding in the opposite direction of gravity and a connecting portion 135 connecting the protrusions 133.

자력 모듈(131)의 돌출부(133)와 이에 대면하는 자성체(111)의 돌출 부분에 의하면 도 2의 점선과 같이 원형의 자력선이 형성된다. 원형의 자력선을 유지하려는 성질에 따라 운반대(110)가 y축 방향으로 탈선되는 현상을 신뢰성 있게 방지할 수 있다.A protruding portion 133 of the magnetic force module 131 and a protruding portion of the magnetic body 111 facing the magnetic force module 131 form a circular magnetic force line as shown by the dotted line in FIG. It is possible to reliably prevent the carriage 110 from being deviated in the y-axis direction according to the property of keeping the circular magnetic force lines.

한편, 자력의 강도를 증가시키기 위해 연결부(135)는 도 3과 같이 제1 영구 자석(136)을 포함할 수 있다.Meanwhile, in order to increase the strength of the magnetic force, the connection portion 135 may include a first permanent magnet 136 as shown in FIG.

도 3은 본 발명의 이송 장치를 구성하는 다른 자력 모듈(131)을 나타낸 개략도이다.3 is a schematic view showing another magnetic force module 131 constituting the transfer device of the present invention.

살펴보면, 자력 모듈(131)에서 2개의 돌출부(133)를 연결하는 연결부(135)가 제1 영구 자석(136)으로 이루어지고 있다. 점선으로 형성된 자력선의 방향에 맞게 제1 영구 자석(136)을 설치하면 자력의 강도가 증가하게 되고, 그 증가분만큼 자력부(130)에서 생성되는 자력을 줄일 수 있다. 따라서, 도 3의 구성에 따르면 자력부(130)에서 소모하는 전력을 줄일 수 있다.The connecting portion 135 connecting the two protrusions 133 of the magnetic force module 131 is formed of the first permanent magnet 136. If the first permanent magnet 136 is disposed in the direction of the line of magnetic force formed by the dotted line, the strength of the magnetic force is increased and the magnetic force generated by the magnetic force portion 130 can be reduced by the increased amount. Therefore, according to the configuration of FIG. 3, the power consumed by the magnetic force unit 130 can be reduced.

다만, 제1 방향으로 연장되는 제1 영구 자석(136)의 각 좌표의 자력을 모두 동일하게 유지하기 어려우므로 자력부(130)의 제어가 보다 어려워질 수 있다.However, since it is difficult to keep all the magnetic forces of the respective coordinates of the first permanent magnet 136 extending in the first direction all the same, the control of the magnetic force part 130 can be more difficult.

따라서, 제1 영구 자석(136)의 선택은 전력 소모, 자력 제어, 사업 정책 등을 고려하여 결정되는 것이 좋다.Therefore, the selection of the first permanent magnet 136 is preferably determined in consideration of power consumption, magnetic force control, business policy, and the like.

다시 도 1로 돌아가서 이송 장치에는 운반대(110)를 제1 방향으로 이송시키는 이송부(150)가 마련될 수 있다.Referring back to FIG. 1, the transfer device may be provided with a transfer unit 150 for transferring the transfer platform 110 in the first direction.

이송부(150)와 운반대(110)가 물리적으로 접촉되면 파티클이 발생되므로 자력부(130)를 도입한 의미를 상실하게 된다. 따라서, 이송부(150)는 중력 방향으로 운반대(110)의 위에 운반대(110)로부터 이격되어 설치될 수 있다. 그리고, 자력으로 운반대(110)를 제1 방향으로 이송시킬 수 있다.When the transferring part 150 and the carrier 110 are physically contacted, particles are generated and thus the meaning of introducing the magnetic part 130 is lost. Accordingly, the transfer unit 150 can be installed on the pallet 110 in the gravity direction, spaced from the pallet 110. Then, the pallet 110 can be transported in the first direction by the magnetic force.

이를 위해 이송부(150)에는 제1 방향으로 연장되는 코일 모듈이 마련될 수 있다. 코일 모듈에는 제1 방향을 축으로 하여 코일이 감길 수 있다. 그리고, 운반대(110)의 상면에서 코일 모듈에 대면하는 위치에는 제2 영구 자석(113)이 마련될 수 있다. 제2 영구 자석(113)은 코일 모듈이 구동되면 제1 방향으로 이동할 수 있다.To this end, the transfer unit 150 may be provided with a coil module extending in the first direction. The coil module can be wound around the first direction as an axis. A second permanent magnet 113 may be provided at a position facing the coil module on the top surface of the pallet 110. The second permanent magnet 113 can move in the first direction when the coil module is driven.

이러한 구성에 따르면 이송부(150)와 제2 영구 자석(113)은 서로 연합하여 소위 리니어 모터를 형성하는 것으로 볼 수도 있다. 이때에도 자력부(130)와 마찬가지로 전력 공급이 필요한 코일을 운반대(110)가 아닌 이송부(150)에 마련함으로써 공중으로 부상된 운반대(110)의 움직임을 제한하지 않을 수 있다.According to such a configuration, the transfer unit 150 and the second permanent magnet 113 may be considered to form a so-called linear motor. At this time, similarly to the magnetic force unit 130, the coils requiring power supply may be provided in the conveyance unit 150 instead of the conveyance unit 110, so that the movement of the conveyance platform 110 floated in the air can be prevented.

이송부(150)에 의하면 운반대(110)에 놓여지는 대상물의 위치가 제한될 수 있다. 이러한 문제를 해소하기 위해 이송부(150)는 적절한 위치에 설치될 수 잇다.The position of the object placed on the pallet 110 can be limited by the transfer unit 150. To solve this problem, the transfer unit 150 can be installed at an appropriate position.

도면에서는 이송부(150)가 운반대(110)의 상면 중앙에 배치되고 있다.In the drawing, the transfer unit 150 is disposed at the center of the upper surface of the pallet 110.

이와 달리 이송부(150)는 운반대(100)의 상면 일측에 치우쳐 배치될 수 있다. 이에 따르면 대상물을 운반대(110)의 상면에 놓을 수 있다.Alternatively, the transfer unit 150 may be disposed on one side of the top surface of the pallet 100. Accordingly, the object can be placed on the upper surface of the pallet 110.

위 실시예에서는 이송부(150)가 2개의 자력부(130)에 사이에 배치되고 있는데, 이와 달리 한개의 자력부(130)-이송부(150)-다른 자력부(130)와 같이 배치될 수도 있다. 이러한 구성에 의해서도 대상물을 운반대(110)의 상면에 놓을 수 있다.In the above embodiment, the transfer unit 150 is disposed between the two magnetic force units 130. Alternatively, the transfer unit 150 may be arranged as one magnetic force unit 130, the transfer unit 150, and the other magnetic force unit 130 . With this arrangement, the object can be placed on the upper surface of the pallet 110. [

이와 달리 이송부(150)는 운반대(110)의 하면에 설치될 수도 있다. 이때에도 이송부(150)는 운반대(110)의 하면 일측에 형성되거나 2개의 자력부(130) 외측에 형성될 수 있다.Alternatively, the transfer unit 150 may be installed on the lower surface of the pallet 110. At this time, the transfer unit 150 may be formed on one side of the lower surface of the pallet 110 or on the outside of the two magnetic units 130.

신뢰성 있게 운반대(110)를 자기 부상시키기 위해 자력부(130)와 자성체(111)의 이격 거리는 작을수록 좋다. 그렇다고 자성체(111)가 자력부(130)에 붙게 되면 운반대(110)가 제1 방향으로 움직일 수 없으므로 자력부(130)의 정밀 제어가 요구된다. 이와 함께 제어 오류 등으로 인하여 운반대(110)가 자력부(130)에 붙거나 중력 방향으로 떨어지는 현상을 방지하기 위한 보완 수단이 마련될 수 있다.The smaller the distance between the magnetic portion 130 and the magnetic body 111 is, the smaller the distance between the magnetic portion 130 and the magnetic body 111 is to reliably float the carrier 110. However, when the magnetic body 111 is attached to the magnetic force unit 130, the carrier 110 can not move in the first direction, so that precise control of the magnetic force unit 130 is required. In addition, supplementary means may be provided to prevent a phenomenon that the pallet 110 adheres to the magnetic force unit 130 due to a control error or falls in the gravity direction.

예를 들어 본 발명의 이송 장치에는 제1 가이드부(170)가 더 포함될 수 있다.For example, the transporting apparatus of the present invention may further include a first guide unit 170.

제1 가이드부(170)는 운반대(110)가 중력 방향 또는 중력의 반대 방향으로 설정 범위 내에서 유동하도록 가이드할 수 있다. 일예로 제1 가이드부(170)는 운반대(110)의 이동 방향인 제1 방향을 따라 연장되는 레일을 포함할 수 있다.The first guide portion 170 can guide the pallet 110 to flow in the gravitational direction or in the opposite direction of the gravitational force within the set range. For example, the first guide portion 170 may include a rail extending along a first direction that is the direction of movement of the pallet 110.

레일에 대응하여 운반대(110)에는 중력 방향 또는 중력의 반대 방향으로의 자유도가 위 설정 범위로 제한되도록 레일에 끼워지는 제2 가이드부(115)가 마련될 수 있다.The second guide portion 115 may be provided on the pallet 110 in correspondence to the rails so that the degree of freedom in the gravity direction or in the opposite direction of gravity is limited to the predetermined range.

일예로, 레일에는 제1 방향에 직교하는 방향(y축 방향)을 따라 오목부가 형성될 수 있다. 그리고, 제2 가이드부(115)는 운반대(110)에서 y축 방향으로 돌출되고 위 오목부에 삽입되는 바퀴일 수 있다. 이러한 구성에 따르면 바퀴는 레일의 오목부를 형성하는 양 턱부의 사이에서만 유동될 수 있다. 따라서, 자력부(130)의 자력이 지나치게 세더라도 바퀴가 상부 턱부에 걸리므로 운반대(110)가 자력부(130)에 붙는 현상을 방지할 수 있다. 그리고, 자력부(130)의 자력이 지나치게 약하더라도 바퀴가 하부 턱부에 걸리므로 운반대(110)가 자유 낙하하는 현상을 방지할 수 있다.For example, the rail may be provided with a recess along a direction (y-axis direction) orthogonal to the first direction. The second guide portion 115 may be a wheel that protrudes in the y-axis direction on the pallet 110 and is inserted into the upper concave portion. According to this configuration, the wheel can only flow between the both jaw portions forming the concave portion of the rail. Therefore, even if the magnetic force of the magnetic force part 130 is excessively large, the wheels are caught by the upper jaw part, so that the phenomenon that the carrier belt 110 adheres to the magnetic force part 130 can be prevented. Even if the magnetic force of the magnetic force part 130 is too weak, the wheels are caught by the lower jaw part, so that the phenomenon of free fall of the carrier 110 can be prevented.

이송 장치는 대상물이 수용되는 챔버부(190)를 포함할 수 있다.The transfer device may include a chamber portion 190 in which an object is received.

운반대(110)는 챔버부(190)에 형성된 대상물의 작업 공간(199)에서 대상물을 제1 방향으로 운반할 수 있다. 이때, 자력부(130)는 챔버부(190)에서 작업 공간(199)의 상부에 설치되고 자력으로 운반대(110)를 잡아당길 수 있다. 그리고, 이송부(150)는 작업 공간(199)의 상부에 설치되고, 제1 방향으로 운반대(110)를 이동시키는 힘을 운반대(110)에 제공할 수 있다.The pallet 110 can transport the object in the first direction in the work space 199 of the object formed in the chamber part 190. [ At this time, the magnetic force part 130 is installed in the upper part of the work space 199 in the chamber part 190 and can pull the carrier 110 by the magnetic force. The transfer unit 150 is installed at an upper portion of the work space 199 and can provide a force to the pallet 110 to move the pallet 110 in the first direction.

이러한 구성에 따르면 대상물의 이송에 관여하는 운반대(110), 자력부(130) 및 이송부(150)가 대상물의 작업 공간(199)의 상측에 모두 위치한다. 따라서, 대상물에 반응 가스를 공급하는 가스관, 대상물을 가공하는 각종 공작 기구 등을 작업 공간(199)의 하부에 위치시킬 수 있다. 이에 따르면 가스관, 공작 기구의 설치가 용이해지고, 넓은 작업 공간(199)을 제공할 수 있다.According to this configuration, the carrier 110, the magnetic force unit 130, and the transfer unit 150, which are involved in the conveyance of the object, are all located on the upper side of the work space 199 of the object. Accordingly, a gas pipe for supplying the reaction gas to the object, various work tools for processing the object, and the like can be positioned below the work space 199. This makes it easy to install the gas pipe and the machine tool, and it is possible to provide a wide working space 199.

한편, 이송 장치에는 중력 방향 상으로 운반대(110)의 위치를 감지하는 센서부(120) 및 운반대(110)의 위치를 이용하여 자력부(130)에서 생성되는 자력을 제어하는 제어부(140)가 마련될 수 있다.The transfer unit includes a sensor unit 120 for sensing the position of the pallet 110 in the gravity direction and a controller 140 for controlling the magnetic force generated in the magnetic unit 130 using the position of the pallet 110 May be provided.

이때, 센서부(120)는 운반대(110)의 아래에 위치하는 것이 좋다. 센서부(120)는 다양하게 설치될 수 있다. 일예로 센서부(120)는 챔버부(190)에서 작업 공간(199)을 형성하는 밑면으로부터 자력부(130)를 향해 돌출된 브릿지(bridge)(160)의 단부에 설치될 수 있다. 센서부(120)는 자력부(130)의 자력 제어에 이용되는 것이므로, 자력 모듈(131)에서 돌출부(133)에 대면하는 위치에 마련되는 것이 좋다.At this time, the sensor unit 120 may be located below the pallet 110. The sensor unit 120 may be variously installed. For example, the sensor unit 120 may be installed at an end of a bridge 160 protruding from the bottom surface of the chamber unit 190 forming the work space 199 toward the magnetic force unit 130. Since the sensor unit 120 is used for controlling the magnetic force of the magnetic force unit 130, it is preferable that the sensor unit 120 is provided at a position facing the protrusion 133 in the magnetic force module 131.

브릿지(160)는 챔버부(190)의 측면으로부터 돌출될 수도 있으나, 자력부(130), 이송부(150), 각종 공작 기계에서 발생되는 미세 진동에 의해 중력 방향으로 떨릴 수 있다. 이에 따르면 중력 방향으로 운반대(110)가 일정 위치에 위치하더라도 브릿지(160)가 떨릴 때마다 운반대(110)의 위치가 변동하는 것으로 파악될 수 있다. 이러한 현상을 방지하기 위해 브릿지(160)는 챔버부(190)의 상면 또는 하면으로부터 돌출되는 것이 좋다. 그리고, 챔버부(190)의 상부에 설치된 자력부(130)와의 간섭을 피하기 위해 브릿지(160)는 챔버부(190)의 밑면으로부터 돌출되는 것이 바람직하다.Although the bridge 160 may protrude from the side surface of the chamber part 190, the bridge 160 may shake in the gravity direction due to the micro vibrations generated from the magnetic force part 130, the transfer part 150, and various machine tools. Accordingly, even if the pallet 110 is positioned at a predetermined position in the gravity direction, it can be understood that the position of the pallet 110 is changed every time the bridge 160 vibrates. In order to prevent such a phenomenon, the bridge 160 may protrude from the upper surface or the lower surface of the chamber portion 190. It is preferable that the bridge 160 protrude from the bottom surface of the chamber part 190 to avoid interference with the magnetic force part 130 installed on the upper part of the chamber part 190.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명의 이송 장치는 대상물을 운반하는 운반대(110)를 자기 부상시키는 자력부(130), 운반대(110)와의 물리적 접촉 없이 운반대(110)를 제1 방향으로 이송시키는 이송부(150)를 포함함으로써, 운반대(110)와 다른 부재의 물리적 마찰로 인해 발생되는 파티클을 원천적으로 제거할 수 있다.As described above, the transfer apparatus of the present invention includes a magnetic force unit 130 for magnetically levitating a carrier 110 carrying an object, a transfer unit 110 for transferring the carrier 110 in a first direction without physical contact with the carrier 110, The particles generated due to the physical friction between the pallet 110 and the other member can be removed originally.

한편, 이상에서 살펴본 자력부(130)와 이송부(150)에 의하면, 물리적 접촉으로 운반대(110)를 이송시키는 방식과 비교하여 구성이 복잡할 수 있다. 따라서, 상대적으로 운반대(110)의 운반 거리를 자유롭게 설정하는 것이 어려울 수 있다.According to the magnetic force unit 130 and the transfer unit 150 as described above, the configuration of the magnetic force unit 130 and the transfer unit 150 may be complicated as compared with a method of transferring the carrier 110 by physical contact. Therefore, it may be difficult to freely set the transportation distance of the pallet 110 relatively.

이하에서는 운반대(110)의 운반 거리를 자유롭게 설정하는 방안에 대해서 살펴보도록 한다.Hereinafter, a method of freely setting the transportation distance of the pallet 110 will be described.

도 4 및 도 5는 본 발명의 다른 이송 장치를 나타낸 개략도이다. 도 5는 도 4의 각 챔버 모듈에서 전면 커버 및 상부 커버가 제거된 상태를 나타낸다.4 and 5 are schematic views showing another transfer device of the present invention. Fig. 5 shows a state in which the front cover and the top cover are removed from the respective chamber modules of Fig.

도 4 및 도 5에 도시된 이송 장치는 챔버 모듈, 이송부(150) 및 자력부(130)를 포함할 수 있다.4 and 5 may include a chamber module, a transfer part 150, and a magnetic part 130. [

챔버 모듈은 제1 방향으로 운반대(110)를 이송할 수 있다. 이때의 챔버 모듈은 앞에서 살펴본 챔버부(190)를 포함할 수 있다.The chamber module may transport the pallet 110 in a first direction. The chamber module may include the chamber 190 as described above.

이송부(150)는 챔버 모듈에 제1 방향을 따라 복수로 설치되고, 제1 방향으로 운반대(110)를 이송시키는 힘을 제공할 수 있다.The transfer unit 150 may be provided in the chamber module in a plurality of directions along the first direction and may provide a force for transferring the pallet 110 in the first direction.

이때, 운반대(110)의 운반 거리는 제1 방향을 따라 배치되는 챔버 모듈의 개수에 비례할 수 있다. 예를 들어 길이가 L1인 제1 챔버 모듈(210)과 제2 챔버 모듈(220)이 제1 방향을 따라 연결되면, 두 챔버 모듈 간의 이격 거리를 무시할 경우 운반대(110)의 총 운반 거리는 L1의 두배로 증가한다. 이런 식으로 n개의 챔버 모듈이 제1 방향을 따라 연속하여 배치된다면 운반대(110)의 총 운반 거리는 n×L1이 될 것이다.At this time, the transport distance of the pallet 110 may be proportional to the number of chamber modules disposed along the first direction. For example, when the first chamber module 210 and the second chamber module 220 having the length of L1 are connected along the first direction, if the distance between the two chamber modules is neglected, the total carrying distance of the pallet 110 is L1 . In this way, if n chamber modules are arranged consecutively along the first direction, the total carrying distance of the pallet 110 will be n x L1.

그런데, 하나의 챔버 모듈에 제1 방향으로 연장되는 하나의 이송부(150)만 마련된다면 복수의 챔버 모듈의 연결시 반드시 각 이송부(150) 간의 단절 구간이 발생한다.However, if only one transfer part 150 extending in the first direction is provided in one chamber module, a disconnecting interval between the transfer parts 150 necessarily occurs when connecting the plurality of chamber modules.

예를 들어 L1 길이의 제1 챔버 모듈(210)에 L1 길이의 이송부(150) ①이 마련되고, L1 길이의 제2 챔버 모듈(220)에 L1 길이의 이송부(150) ②가 마련된 경우를 가정한다. 이때, 제1 챔버 모듈(210)과 제2 챔버 모듈(220)을 서로 밀착시키더라도 이송부(150) ①과 이송부(150) ②의 단절로 인하여 이송부(150)에서 운반대(110)에 제공되는 이송력이 불규칙해질 수 있다. 결과적으로 운반대(110)를 균일하고 안정된 속도로 이송시킬 수 없다.For example, assume that the first chamber module 210 having the length L1 is provided with the conveying unit 150 of length L1 and the conveying unit 150 having the length L1 is provided to the second chamber module 220 having the length L1 do. Even if the first chamber module 210 and the second chamber module 220 are closely contacted with each other, the first chamber module 210 and the second chamber module 220 are provided to the pallet 110 in the transfer unit 150 due to disconnection of the transfer unit 150 and the transfer unit 150 The conveying force may become irregular. As a result, the carriage 110 can not be transported at a uniform and stable speed.

이러한 문제를 해소하기 위해 각 챔버 모듈에는 챔버 모듈의 길이 L1보다 작은 길이 L2를 갖는 이송부(150)가 제1 방향을 따라 복수로 설치될 수 있다.In order to solve this problem, each chamber module may be provided with a plurality of transfer units 150 having a length L2 smaller than the length L1 of the chamber module along the first direction.

그리고, 제1 방향을 따라 배치된 복수의 챔버 모듈에 마련된 각 이송부(150) 사이의 거리 L3는 모두 동일할 수 있다.The distances L3 between the respective transferring parts 150 provided in the plurality of chamber modules arranged along the first direction may be the same.

예를 들어 제1 챔버 모듈(210)에 이송부 ①과 이송부 ②가 설치되고, 제2 챔버 모듈(220)에 이송부 ③과 이송부 ④가 설치된 경우를 가정한다.For example, it is assumed that the first chamber module 210 has the transfer part 1 and the transfer part 2, and the second chamber module 220 has the transfer part 3 and the transfer part 4.

이때, 제1 챔버 모듈(210)에 설치된 이송부 ①과 이송부 ②의 간격은 이송부 ②와 이송부 ③의 간격과 동일하도록 설정될 수 있다.At this time, the interval between the transfer unit 1 and the transfer unit 2 installed in the first chamber module 210 can be set to be equal to the interval between the transfer unit 2 and the transfer unit 3.

이러한 구성에 따르면 복수의 챔버 모듈이 연결된 상태에서 운반대(110)가 어느 위치가 위치하더라도 운반대(110)에 규칙적인 이송력을 제공할 수 있다.According to such a configuration, when the plurality of chamber modules are connected, the pallet 110 can provide a regular conveying force to the pallet 110 regardless of its position.

자력부(130)는 자력으로 운반대(110)를 부상시키게 되는데, 이송부(150)처럼 제1 방향을 따라 복수로 마련되고 서로 이격되도록 배치되는 것이 불합리할 수 있다. 만약, 자력부(130)가 도 5의 이송부(150)와 같이 설치된다면 각 자력부(130)의 사이 구간에서 운반대(110)는 자력을 받지 못한다. 운반대(110)의 길이가 각 자력부(130)의 간격보다 충분히 길다면 비록 일부 구간에서 자력을 받지 못하더라도 전체적인 자기 부상에는 별다른 문제가 없을 수 있다. 그러나, 운반대(110)에서 자력을 받는 부분은 위로 상승하고, 자력을 받지 못하는 부분은 중력에 의해 아래로 하강하게 된다. 즉, 운반대(110)의 재질 및 구조에 따른 정도의 차이는 있으나 평탄도가 보장되기 힘들다.The magnetic force unit 130 floats the carrier 110 by a magnetic force. It may be unreasonable to arrange a plurality of the carrier units 150 in the first direction, such as the transfer unit 150, and to be spaced apart from each other. If the magnetic force part 130 is installed as the transfer part 150 of FIG. 5, the carrier 110 does not receive the magnetic force in the interval between the magnetic force parts 130. If the length of the carrier 110 is sufficiently longer than the interval between the magnetic force portions 130, even if the magnetic force is not received in a certain section, there is no problem in the entire magnetic levitation. However, the portion of the pallet 110 that receives the magnetic force rises to the top, and the portion that does not receive the magnetic force falls downward due to gravity. That is, although there is a difference in degree depending on the material and structure of the pallet 110, the flatness is hardly guaranteed.

따라서, 자력부(130)는 운반대(110)의 이송 구간 내에서 일체로 형성되는 것이 좋다. 예를 들어 L1 길이의 챔버 모듈 2개가 연결된다면 자력부(130)의 길이는 2×L1일 수 있으며 각 챔버 모듈을 관통하도록 설치될 수 있다.Therefore, it is preferable that the magnetic force part 130 is integrally formed within the transporting section of the pallet 110. For example, if two chamber modules of L1 length are connected, the length of the magnetic force part 130 may be 2 x L1 and may be installed to penetrate each chamber module.

또한, 운반대(110)의 운반 거리만큼 제1 방향을 따라 연장되고, 각 챔버 모듈을 관통하는 자력부(130)에 의하면 복수의 챔버 모듈을 용이하고 신뢰성 있게 정렬시킬 수 있다.In addition, the plurality of chamber modules can be easily and reliably aligned by the magnetic force portion 130 extending along the first direction by the conveyance distance of the carrier 110 and passing through each chamber module.

제1 챔버 모듈(210)과 제2 챔버 모듈(220)이 연결된 경우, 제1 챔버 모듈(210)의 출구로부터 출력되는 운반대(110)는 제2 챔버 모듈(220)의 입구로 입력될 수 있다. 이를 위해서는 제1 챔버 모듈(210)의 출구와 제2 챔버 모듈(220)의 입구가 정렬되어야 함은 자명하다.When the first chamber module 210 and the second chamber module 220 are connected, the carrier belt 110 output from the outlet of the first chamber module 210 can be input to the inlet of the second chamber module 220 have. To this end, it is clear that the outlet of the first chamber module 210 and the inlet of the second chamber module 220 should be aligned.

그런데, 제1 챔버 모듈(210)과 제2 챔버 모듈(220)의 연결 수단이 없다면, 현실적으로 이러한 정렬은 불가능에 가깝다.However, if there is no means for connecting the first chamber module 210 and the second chamber module 220, this alignment is practically impossible.

연결 수단이 마련되더라도 해당 연결 수단이 각 챔버 모듈에서 서로 대면하는 커버의 외면에 마련된다면 커버 간의 정렬은 이루어지겠지만, 이때의 정렬로 각 챔버 모듈에 마련된 출구와 입구까지 정렬된 것으로 보장하기 어렵다.If the connecting means is provided on the outer surface of the cover facing each other in each of the chamber modules, alignment between the covers will be made. However, it is difficult to ensure alignment with the outlet and the inlet provided in each chamber module.

그런데, 자력부(130)는 제1 챔버 모듈(210)의 출구에서 나와 제2 챔버 모듈(220)의 입구로 들어가므로 자력부(130)를 이용해 제1 챔버 모듈(210)과 제2 챔버 모듈(220)을 정렬시키면 신뢰성 있게 입구와 출구를 정렬시킬 수 있다. 이는 자력부(130)가 운반대(110)의 운반 경로 상에 마련되고, 각 챔버 모듈을 관통하는 길이로 형성되기 때문에 가능하다.Since the magnetic force part 130 comes out of the outlet of the first chamber module 210 and enters the entrance of the second chamber module 220, the magnetic force part 130 is used to move the first chamber module 210 and the second chamber module 220, The inlet and outlet can be reliably aligned. This is possible because the magnetic force part 130 is provided on the conveyance path of the pallet 110 and is formed to have a length penetrating each chamber module.

한편, 챔버 모듈보다 긴 길이를 가질 수 있는 자력부(130) 전부를 하나의 코일로 감는 것은 현실적으로 어렵다.On the other hand, it is practically difficult to wind all the magnetic parts 130 having a length longer than the chamber module with one coil.

따라서, 자력부(130)에는 제1 방향을 따라 연장되는 자력 케이스(139), 자력 케이스(139)의 내부에 설치되는 복수의 자력 모듈(131)이 마련될 수 있다. 자력 케이스(139)의 내부에서 각 자력 모듈(131)은 제1 방향을 따라 설정 간격으로 배치될 수 있다. 자력 모듈(131)에는 코일(137)이 감길 수 있다. 참고로, 자력 케이스(139)의 연장 길이는 운반대(110)의 운반 거리와 동일할 수 있다.Accordingly, the magnetic force unit 130 may be provided with a magnetic force case 139 extending along the first direction, and a plurality of magnetic force modules 131 installed inside the magnetic force case 139. In the magnetic force case 139, the respective magnetic force modules 131 may be disposed at predetermined intervals along the first direction. The coil 137 may be wound on the magnetic force module 131. For reference, the extension length of the magnetic force case 139 may be the same as the transportation distance of the pallet 110.

각 자력 모듈(131)의 이격 구간으로 인해 운반대(110)의 평탄도가 훼손되는 것을 방지하기 위해 자력 케이스(139)에는 자력 모듈(131)의 이격 구간에도 자력 모듈(131)의 자력이 미치도록 하는 수단이 마련될 수 있다.The magnetic force of the magnetic force module 131 is also applied to the magnetic force case 139 in the interval of the magnetic force module 131 in order to prevent the flatness of the carrier 110 from being damaged due to the separation interval of each magnetic force module 131 May be provided.

그럼에도 불구하고, 이격 구간의 자력은 자력 모듈(131)이 위치한 구간에 비하여 저하될 수 있다. 이로 인해 운반대(110)의 평탄도가 미세하게 훼손될 수 있다.Nevertheless, the magnetic force of the separation section can be lowered compared to the section in which the magnetic force module 131 is located. The flatness of the pallet 110 may be finely damaged.

자력부(130)는 서로 평행하게 배치된 제1 자력부(221)와 제2 자력부(222)를 포함할 수 있다. 이때, 이격 구간으로 인한 문제를 해소하기 위해 제1 방향 상으로 제1 자력부(221)의 자력 모듈(131)의 위치와 제2 자력부(222)의 자력 모듈(131)의 위치는 서로 다를 수 있다.The magnetic force unit 130 may include a first magnetic force unit 221 and a second magnetic force unit 222 arranged in parallel with each other. In order to solve the problem caused by the interval, the position of the magnetic force module 131 of the first magnetic force part 221 and the position of the magnetic force module 131 of the second magnetic force part 222 are different from each other in the first direction .

도 5에는 제1 방향 상으로 하나의 자력 모듈(131)이 커버하는 길이가 2×L4일 때, 제1 자력부(221)의 자력 모듈(131)과 제2 자력부(222)의 자력 모듈(131)이 L4만큼 차이 나도록 배치되는 경우가 개시된다.5 shows the relationship between the magnetic force modules 131 of the first magnetic force section 221 and the magnetic force modules of the second magnetic force section 222 when the length covered by one magnetic force module 131 in the first direction is 2 x L4. (131) are arranged so as to differ by L4.

이에 따르면 제1 자력부(221)의 이격 구간과 제2 자력부(222)의 이격 구간이 서로 엇갈리게 대면하므로, 어느 한 자력부(130)에서 모자란 자력을 다른 자력부(130)에서 보충할 수 있다.Accordingly, the gap between the first magnetic force part 221 and the second magnetic force part 222 faces each other in a staggered manner, so that the magnetic force of the one magnetic force part 130 can be supplemented by the other magnetic force part 130 have.

이상에서 살펴본 바와 같이, 도 4 및 도 5에 도시된 이송부(150), 자력부(130)에 의하면 이송 장치를 모듈시켜 챔버 모듈을 형성할 수 있다. 그 결과 자유롭고 용이하게 운반대(110)의 운반 거리를 조절할 수 있다.As described above, according to the transfer unit 150 and the magnetic force unit 130 shown in FIGS. 4 and 5, the transfer module can be modularized to form the chamber module. As a result, the carrying distance of the pallet 110 can be freely and easily adjusted.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
While the invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the following claims.

110...운반대 111...자성체
113...제2 영구 자석 115...제2 가이드부
120...센서부 130...자력부
131...자력 모듈 133...돌출부
135...연결부 136...제1 영구 자석
137...코일 139...자력 케이스
140...제어부 150...이송부
160...브릿지 170...제1 가이드부
190...챔버부 199...작업 공간
210...제1 챔버 모듈 220...제2 챔버 모듈
221...제1 자력부 222...제2 자력부110 ... Carrier 111 ... Magnetic body
113 ... second permanent magnet 115 ... second guide portion
120 ... sensor part 130 ... magnetic part
131 ... magnetic force module 133 ... protrusion
135 ... connection 136 ... first permanent magnet
137 ... coil 139 ... magnetic force case
140 ... control unit 150 ... transfer unit
160 ... bridge 170 ... first guide portion
190 ... chamber part 199 ... working space
210 ... first chamber module 220 ... second chamber module
221 ... first magnetic force part 222 ... second magnetic force part

Claims

A carrier carrying the object; And
And a magnetic force portion for pulling the carrier by a magnetic force from above the carrier in a gravitational direction,
And the carrier is magnetically levitated by the force of the magnetic force portion.

The method according to claim 1,
The carrier moves in a first direction,
Wherein the magnetic force unit is provided with a magnetic force module extending in the first direction,
Wherein a cross section of the magnetic force module has both ends protruded in the gravity direction,
Wherein the carrier is provided with a magnetic body facing the magnetic force module,
Wherein a cross section of the magnetic body has a shape in which both ends of the magnetic body protrude in a direction opposite to the gravitational force corresponding to a protruding portion of the magnetic force module.

3. The method of claim 2,
Wherein the magnetic force module is provided with two protrusions protruding in a direction opposite to the gravity, and a connecting portion connecting the protrusions,
Wherein the connecting portion includes a first permanent magnet.

The method according to claim 1,
And a transfer unit installed on the pallet in the gravity direction and spaced apart from the pallet to transfer the pallet in a first direction,
A coil module extending in the first direction is provided to the transfer unit,
And a second permanent magnet moving in the first direction when the coil module is driven is provided at a position facing the coil module on the top surface of the carrier.

The method according to claim 1,
And a first guide portion for guiding the pallet to flow in the gravitational direction or in a direction opposite to the gravitational force within a set range,
Wherein the first guide portion includes a rail extending along a first direction which is a movement direction of the pallet,
Wherein the pallet is provided with a second guide portion fitted to the rail so that the degree of freedom in the gravity direction or the direction opposite to gravity is limited to the set range.

A chamber part in which an object is accommodated;
A carrier for carrying the object in a first direction in a work space formed in the chamber part;
A magnetic force part installed at an upper portion of the work space in the chamber part and pulling the pallet by magnetic force;
A conveying part installed on the upper part of the work space in the chamber part and providing a force for moving the pallet in the first direction to the pallet;
.

The method according to claim 6,
A sensor unit for sensing a position of the pallet in a gravity direction; And
And a control unit for controlling the magnetic force generated by the magnetic force unit using the position of the carrier,
Wherein the sensor unit is installed in a bridge protruding from the bottom surface of the chamber part forming the work space toward the magnetic force part.

A chamber module for transporting a pallet in a first direction; And
And a transfer unit installed in the chamber module in plural along the first direction and providing a force for transferring the pallet in the first direction,
Wherein the transport distance of the pallet is proportional to the number of chamber modules disposed along the first direction,
And the distance between the respective transferring portions provided in the plurality of chamber modules arranged along the first direction are all the same.

9. The method of claim 8,
And a magnetic force portion for lifting the carrier by a magnetic force,
Wherein the magnetic force portion extends along the first direction by a conveyance distance of the pallet, and is installed to penetrate the respective chamber modules.

10. The method of claim 9,
A plurality of magnetic force modules are provided at predetermined intervals along the first direction in the magnetic force portion,
Wherein the magnetic force portion includes a first magnetic force portion and a second magnetic force portion arranged in parallel with each other,
Wherein the position of the magnetic force module of the first magnetic force portion and the position of the magnetic force module of the second magnetic force portion are different from each other in the first direction.