KR20150137322A - 다이 이젝팅 장치 - Google Patents

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KR20150137322A
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Abstract

다이를 이젝팅하기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는, 다이싱 테이프에 부착된 다이를 상방으로 밀어올리기 위한 이젝팅 유닛이 내장되며 개방된 하부를 갖는 후드와, 상기 후드의 개방된 하부에 삽입되는 본체를 포함하는 다이 이젝터와, 상기 다이 이젝터의 일측에 배치되며 교체용 이젝팅 유닛이 내장된 적어도 하나의 교체용 후드가 수납된 후드 수납 유닛과, 상기 후드를 상기 교체용 후드로 교체하기 위하여 상기 다이 이젝터와 상기 후드 수납 유닛 사이에서 상기 후드 및 상기 교체용 후드를 이송하는 후드 이송 유닛을 포함한다. 이때, 상기 후드 및 상기 교체용 후드의 외측면에는 인식 코드가 부착되며, 상기 인식 코드를 읽기 위한 코드 리더기가 상기 후드 수납 유닛에 인접하도록 배치된다.

Description

다이 이젝팅 장치{Apparatus for ejecting dies}
본 발명의 실시예들은 다이 이젝팅 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 반도체 제조 공정에서 기판 상에 반도체 소자가 형성된 다이들을 본딩하기 위하여 웨이퍼로부터 상기 다이들을 분리하는 다이 이젝팅 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로서 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있으며, 상기 웨이퍼는 다이싱 공정을 통해 복수의 다이들로 분할될 수 있으며 상기 다이들은 본딩 공정을 통해 기판 상에 본딩될 수 있다.
상기 다이 본딩 공정을 수행하기 위한 장치는 상기 다이들을 다이싱 테이프로부터 픽업하기 위한 픽업 모듈과 상기 픽업된 다이를 기판 상에 본딩하기 위한 본딩 모듈을 포함할 수 있다. 이때, 상기 다이들은 다이 이젝팅 장치에 의해 상기 다이싱 테이프로부터 선택적으로 분리될 수 있다.
일반적으로, 상기 다이 이젝팅 장치는 상기 다이를 상기 다이싱 테이프로부터 분리시키기 위하여 상기 다이를 상방으로 밀어올리는 이젝팅 유닛과 상기 이젝팅 유닛을 수용하는 후드와 상기 이젝팅 유닛을 수직 방향으로 이동시키는 구동부 및 상기 구동부를 수용하는 하우징 등을 포함할 수 있다. 상기와 같은 다이 이젝팅 장치에 관한 예들은 대한민국 등록특허 제10-0975500호 및 대한민국 공개특허 제10-2009-0108447호 등에 개시되어 있다.
한편, 상기 다이들의 크기에 대응하도록 상기 이젝팅 유닛과 후드를 교체하는 경우 상기 이젝팅 유닛과 후드의 배치각 정렬 및 중심 정렬 등에 상당히 많은 시간이 소요되기 때문에 상기 다이 이젝팅 장치를 이용하는 다이 본딩 설비의 가동율이 현저히 저하되는 문제점이 발생된다.
본 발명의 실시예들은 다이 이젝팅 유닛과 후드의 교체를 매우 간단하게 수행할 수 있는 다이 이젝팅 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예들에 따르면, 다이 이젝팅 장치는, 다이싱 테이프에 부착된 다이를 상방으로 밀어올리기 위한 이젝팅 유닛이 내장되며 개방된 하부를 갖는 후드와, 상기 후드의 개방된 하부에 삽입되는 본체를 포함하는 다이 이젝터와, 상기 다이 이젝터의 일측에 배치되며 교체용 이젝팅 유닛이 내장된 적어도 하나의 교체용 후드가 수납된 후드 수납 유닛과, 상기 후드를 상기 교체용 후드로 교체하기 위하여 상기 다이 이젝터와 상기 후드 수납 유닛 사이에서 상기 후드 및 상기 교체용 후드를 이송하는 후드 이송 유닛을 포함할 수 있다. 이때, 상기 후드 및 상기 교체용 후드의 외측면에는 인식 코드가 부착될 수 있으며, 상기 인식 코드를 읽기 위한 코드 리더기가 상기 후드 수납 유닛에 인접하도록 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 후드 이송 유닛은, 상기 후드 또는 교체용 후드를 파지하기 위한 후드 그리퍼와, 상기 후드 그리퍼를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부와, 상기 후드 그리퍼를 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부와, 상기 후드 또는 교체용 후드의 배치각을 조절하기 위하여 상기 후드 그리퍼를 회전시키는 회전 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 다이 이젝터의 상부에는 상기 다이싱 테이프를 지지하기 위한 스테이지가 배치될 수 있으며, 상기 스테이지의 일측에는 복수의 웨이퍼들이 수납되는 카세트가 배치될 수 있다. 상기 후드 수납 유닛은 상기 스테이지를 중심으로 상기 카세트의 반대측에 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 후드 그리퍼는 상기 카세트로부터 상기 웨이퍼들 중 하나를 인출하여 상기 스테이지 상으로 이동시키기 위한 카세트 그리퍼와 함께 상기 수평 구동부에 의해 수평 방향으로 이동될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 후드 그리퍼는 상기 후드 또는 교체용 후드를 파지하기 위하여 서로 마주하는 한 쌍의 그리핑 부재들을 포함할 수 있으며, 상기 후드 그리핑 부재들은 그리퍼 구동부에 의해 서로 반대 방향으로 이동될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 그리핑 부재들 사이에는 상기 후드 그리퍼의 하강 높이를 제한하기 위한 스토퍼가 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 그리핑 부재들의 일측에는 상기 후드 또는 교체용 후드를 검출하기 위한 제1 센서가 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 후드 및 상기 교체용 후드의 외측면에는 그루브가 형성될 수 있으며, 상기 그리핑 부재들의 하부에는 상기 그루브와 대응하는 돌출부가 각각 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 후드 수납 유닛은, 원반 형태를 갖는 회전 스테이지와, 상기 회전 스테이지 상에 장착되며 상기 후드 및 상기 교체용 후드를 각각 수납하기 위한 복수의 후드 수납부들과, 상기 회전 스테이지를 회전시키기 위한 제2 회전 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 각각의 상기 후드 수납부들은, 상기 후드의 개방된 하부에 삽입되도록 구성된 척과, 상기 척의 측면으로부터 돌출 가능하도록 구성되며 상기 후드의 개방된 하부 내측면에 밀착되어 상기 후드를 파지하기 위한 복수의 밀착 부재들을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 척의 내부에는 수직 방향으로 이동 가능하게 구성되고 소정의 경사도를 갖는 상부 경사 측면이 형성된 피스톤이 구비될 수 있으며, 각각의 상기 밀착 부재들은 상기 후드의 개방된 하부 내측면에 밀착되는 외측면과 상기 피스톤의 상부 경사 측면에 밀착되는 내측면을 갖고, 상기 피스톤의 수직 방향 이동에 의해 상기 후드의 개방된 하부 내측면에 밀착될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 척에는 상기 밀착 부재들의 이동 통로가 구비되며 상기 이동 통로는 상기 척의 내측에서 외측을 향하여 점차 상승되는 기울기를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 피스톤에는 영구자석이 내장되며 상기 밀착 부재들은 상기 영구자석의 자기력에 의해 상기 상부 경사 측면에 항시 밀착될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 코드 리더기의 상부 또는 하부에는 상기 교체용 후드를 검출하기 위한 제2 센서가 배치될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 인식 코드로는 QR 코드 또는 바코드가 사용될 수 있으며, 상기 코드 리더기로는 QR 코드 리더기 또는 바코드 리더기가 사용될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 다이 이젝터의 상부에는 상기 후드 이송 유닛에 의해 교체된 상기 교체용 이젝팅 유닛 및 교체용 후드의 배치각이 올바르게 정렬되었는지를 확인하는 비전 유닛이 배치될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 교체용 후드에 부착된 인식 코드로부터 상기 교체용 후드와 교체용 이젝팅 유닛에 대한 정보를 획득할 수 있으며, 이를 이용하여 상기 후드의 교체를 용이하게 수행할 수 있다.
특히, 상기 후드 이송 유닛의 회전 구동부를 이용하여 상기 교체용 후드의 배치각을 조절할 수 있으며, 비전 유닛을 이용하여 상기 교체용 후드의 배치각이 올바른지를 확인할 수 있으므로, 상기 후드의 교체에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.
또한, 상기 복수의 후드 수납부들에 다양한 종류의 반도체 다이들에 대응하는 복수의 교체용 이젝트 유닛들과 교체용 후드들을 미리 마련하고, 상기 교체용 이젝트 유닛들과 교체용 후드들을 선택적으로 사용함으로써, 상기 후드의 교체에 소요되는 시간을 충분히 단축시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 스테이지를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 다이 이젝터를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 4 및 도 5는 도 3에 도시된 다이 이젝터를 이용하여 다이를 이젝팅하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도들이다.
도 6은 도 3에 도시된 후드와 본체를 설명하기 위한 측면도이다.
도 7은 도 3에 도시된 후드와 이젝팅 유닛의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 8은 도 1에 도시된 후드 이송 유닛과 후드 수납 유닛을 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 9는 도 1에 도시된 후드 이송 유닛과 후드 수납 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 10은 도 1에 도시된 후드 수납 유닛을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 11은 도 1에 도시된 후드 수납부를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 12 및 도 13은 도 1에 도시된 후드 수납부의 동작을 설명하기 위한 개략적인 확대 단면도들이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 2는 도 1에 도시된 스테이지를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다. 또한, 도 3은 도 2에 도시된 다이 이젝터를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 다이 이젝팅 장치(100)는 반도체 다이들(20)로 이루어진 웨이퍼(10)로부터 상기 다이들(20)을 분리하여 기판 상에 본딩하기 위한 다이 본딩 공정에서 바람직하게 사용될 수 있다. 특히, 상기 웨이퍼(10)는 다이싱 테이프(32)에 부착된 상태로 제공될 수 있으며 상기 다이싱 테이프(32)는 상기 웨이퍼(10)보다 큰 직경을 갖는 대략 원형 링 형태의 마운트 프레임(30)에 장착될 수 있다.
상기 마운트 프레임(30)은 스테이지(40) 상에 배치된 클램프(42)에 의해 파지될 수 있으며 상기 다이싱 테이프(32)의 가장자리 부위는 상기 스테이지(40) 상에 배치된 확장 링(44)에 의해 지지될 수 있다. 상기 클램프(42)는 상기 다이싱 테이프(32)를 확장시키기 위하여 수직 하방으로 상기 마운트 프레임(30)을 이동시킬 수 있으며 이에 의해 상기 다이싱 테이프(32)는 상기 확장 링(44)에 의해 확장될 수 있다. 결과적으로 상기 다이싱 테이프(32)에 부착된 다이들(20) 사이의 간격이 확장될 수 있다.
상기 스테이지(40)의 하부에는 상기 다이들(20)을 상기 다이싱 테이프(32)로부터 분리시키기 위하여 상기 다이들(20)을 선택적으로 상승시키기 위한 다이 이젝팅 장치(100)가 구비될 수 있으며, 상기 스테이지(40)의 상부에는 상기 다이 이젝팅 장치(100)에 의해 상승된 다이(20)를 픽업하기 위한 픽업 장치(50)가 구비될 수 있다.
또한, 상기 다이 본딩 공정을 수행하기 위한 장치(1)는 도 1에 도시된 바와 같이 복수의 웨이퍼들(10)이 수납된 카세트(12)와 상기 카세트(12)로부터 상기 웨이퍼들(10) 중 하나를 인출하여 상기 스테이지(40) 상으로 이동시키기 위한 웨이퍼 그리퍼(60; wafer gripper)를 포함할 수 있다.
상기 웨이퍼 그리퍼(60)는 수평 구동부(230)에 의해 수평 방향으로 이동될 수 있으며 상기 카세트(12)와 상기 스테이지(40) 사이에는 상기 웨이퍼 그리퍼(60)에 의해 이송되는 웨이퍼(10)를 안내하기 위한 가이드 레일(70)이 배치될 수 있다.
한편, 도시되지는 않았으나, 상기 클램프(42)는 대략 원형 링 형태를 가질 수 있다. 특히, 상기 클램프(42)는 상기 웨이퍼 그리퍼(60)의 이동 경로를 제공하기 위하여 서로 마주하는 두 개의 클램핑 부재들로 나누어질 수 있으며 상기 웨이퍼 그리퍼(60)는 상기 클램핑 부재들 사이를 통해 이동될 수 있다.
상기 다이 이젝팅 장치(100)는 상기 다이싱 테이프(32)로부터 상기 다이들(20)을 이젝팅하기 위하여 사용될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 다이 이젝팅 장치(100)는 다이 이젝터(102)를 포함할 수 있다. 상기 다이 이젝터(102)는 상기 다이들(20)을 상방으로 밀어올리기 위한 이젝팅 유닛(110)과, 상기 이젝팅 유닛(110)이 내장된 후드(120)와, 상기 이젝팅 유닛(110)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 구동부(130)와 상기 구동부(130)를 수용하는 본체(140)를 포함할 수 있다.
상기 이젝팅 유닛(110)은 상기 다이들(20) 중 하나를 선택적으로 이젝팅하기 위하여 상기 선택된 다이(20)를 상방으로 밀어올릴 수 있다. 상기 구동부(130)는 상기 이젝팅 유닛(110)과 결합되는 헤드(132)와 구동력을 전달하기 위한 구동축(134)을 포함할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 구동축(134)은 상기 구동력을 제공하기 위한 동력 제공부(미도시)와 연결될 수 있으며, 상기 동력 제공부는 모터, 실린더, 동력 전달 요소들, 등을 이용하여 다양한 방법으로 구성될 수 있다. 일 예로서, 상기 동력 제공부는 수평 방향으로 배치된 모터와, 상기 모터의 회전축에 연결된 캠 플레이트와, 상기 캠 플레이트 상에 배치된 캠 팔로워 등을 포함할 수 있다.
상기 이젝팅 유닛(110)은 상부가 개방된 공기 챔버(112)를 가질 수 있다. 상기 공기 챔버(112)에는 상기 구동축(134)을 통하여 압축 공기가 제공될 수 있다. 이때, 상기 이젝팅 유닛(110)의 상부면은 상기 다이(20)보다 작은 면적을 가질 수 있다.
상기 후드(120)는 상기 이젝팅 유닛(110)이 내장되는 내부 공간을 가질 수 있다. 예를 들면, 상기 후드(120)는 하부가 개방된 원형 튜브 형태를 가질 수 있다. 특히, 상기 후드(120)는 상기 이젝팅 유닛(110)이 수직 방향으로 이동될 수 있도록 사각 형태의 관통홀(122A)이 형성된 상부 패널(122)과 상기 상부 패널(122)로부터 하방으로 연장하며 개방된 하부를 갖는 원통형 측벽(124)을 포함할 수 있다.
상기 이젝팅 유닛(110)은 상기 원통형 측벽(124) 내에 배치되는 서포트 부재(114)와 상기 서포트 부재(114) 상에 배치되며 상기 관통홀(122A) 내에 삽입되는 이젝트 부재(116)를 포함할 수 있다. 특히, 상기 이젝트 부재(116)는 상부가 개방된 대략 사각 튜브 형태를 가질 수 있으며, 상기 서포트 부재(114)는 대략 원반 형태를 가질 수 있다.
상기 측벽(124)의 개방된 하부는 상기 본체(140)와 결합될 수 있으며 상기 구동부(130)의 헤드(132)와 구동축(134)은 상기 본체(140) 내부에서 수직 방향으로 이동될 수 있다.
일 예로서, 상기 본체(140)는 원형 튜브 형태의 하우징(142)을 포함할 수 있으며, 상기 구동축(134)과 헤드(132)는 상기 하우징(142) 내에 배치될 수 있다. 상기 하우징(142)은 상기 후드(120)의 개방된 하부에 삽입될 수 있다. 이때, 도시된 바와 같이 상기 하우징(142)의 상부 외측면에는 상기 하우징(142)이 삽입되는 정도를 제한하기 위한 걸림턱이 구비될 수 있다.
한편, 상기 측벽(124)의 내측면에는 상기 이젝팅 유닛(110)의 하방 이동을 제한하며 또한 상기 후드(120)와 상기 이젝팅 유닛(110)이 상기 본체(140)와 구동부(130)로부터 분리된 경우 상기 이젝팅 유닛(110)을 지지하기 위한 서포트 링(126)이 구비될 수 있다. 일 예로서, 상기 서포트 링(126)으로는 스냅 링이 사용될 수 있다.
상기 후드(120) 내에 수용되는 이젝팅 유닛(110)은 상기 상부 패널(122)에 구비된 관통홀(122A)에 의해 수평 방향으로의 이동은 제한되며 수직 방향으로만 이동 가능하며, 특히 상방으로의 이동은 상기 상부 패널(122)에 의해 제한되고 하방으로의 이동은 상기 서포트 링(126)에 의해 제한될 수 있다. 결과적으로, 상기 이젝팅 유닛(110)은 상기 후드(120) 내에 내장된 상태에서 상기 후드(120) 내에서 소정 거리 수직 방향으로만 이동이 허용될 수 있으며, 필요시 상기 이젝팅 유닛(110)과 상기 후드(120)는 함께 교체될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 다이들(20)의 크기 변화에 대응하기 위하여 상기 이젝팅 유닛(110)의 교체가 필요한 경우 상기 후드(120)와 이젝팅 유닛(110)을 동시에 교체할 수 있다. 특히, 다양한 종류의 다이들(20)에 대응하도록 교체용 이젝팅 유닛(110A)이 각각 내장된 교체용 후드들(120A; 도 8 참조)을 미리 준비하고 해당 다이의 크기와 형태에 따라 교체용 이젝팅 유닛들(110A)과 교체용 후드들(120A)을 선택적으로 사용할 수 있다.
상기와 같이 미리 교체용 세트들을 준비하고, 교체 작업이 요구되는 경우 빠른 시간 내에 상기 후드(120)와 이젝팅 유닛(110)의 교체 작업을 수행할 수 있으므로, 상기 후드(120)와 이젝팅 유닛(110)으로 이루어진 세트 교체 작업에 소요되는 시간이 감소될 수 있으며, 이에 따라 상기 다이 이젝팅 장치(100)를 포함하는 다이 본딩 설비의 가동율이 크게 향상될 수 있다.
특히, 상기 다이 이젝팅 장치(100)는 도 1에 도시된 바와 같이 상기 이젝팅 유닛(110)이 내장된 상기 후드(120)를 교체하기 위하여 상기 후드(120)를 픽업하여 이동시키는 후드 이송 유닛(200)과 상기 후드 이송 유닛(200)에 의해 이송된 후드(120)를 수납하기 위한 후드 수납 유닛(300)을 포함할 수 있다. 상기 후드 수납 유닛(300)에는 상기 다이들(20)의 크기 및 형상 변화에 대응하기 위하여 각각 교체용 이젝팅 유닛(110A)이 내장된 교체용 후드들(120A)이 보관될 수 있다. 상기 후드 이송 유닛(200)과 후드 수납 유닛(300)에 대하여는 후술하기로 한다.
상기 후드(120)와 상기 본체(140) 사이의 결합 구조 및 상기 이젝팅 유닛(110)과 상기 구동부(130) 사이의 결합 구조는 상기 이젝팅 유닛(110)과 후드(120)의 교체를 보다 간단하게 수행할 수 있도록 구성될 수 있다.
일 예로서, 도시되지는 않았으나, 상기 하우징(142)의 상부 외측면에는 반경 방향으로 탄성 지지되는 볼, 스프링 등이 구비될 수 있으며, 상기 측벽(124)의 내측면에는 상기 볼, 스프링 등이 삽입되는 리세스가 구비될 수 있다. 다른 예로서, 상기 하우징(142)과 측벽(124)은 자기력을 이용하여 결합될 수도 있다. 즉, 상기 하우징(142) 또는 측벽(124)에 영구자석을 장착하여 상기 하우징(142)과 측벽(124)을 결합할 수도 있다. 상술한 바와 같이 후드(120)와 본체(140)를 결합하는 방법에 대하여는 대한민국 등록특허공보 제10-1271291호, 대한민국 등록실용신안공보 제20-0466085호 및 제20-0468690호에 상세히 개시되어 있으므로 이에 대한 추가적인 상세 설명은 생략하기로 한다.
한편, 상기 구동축(134)은 중공 형태를 가질 수 있으며, 상기 헤드(132)에는 상기 구동축(134)의 중공과 상기 공기 챔버(112)를 연결하기 위한 관통홀이 구비될 수 있다.
도 4 및 도 5는 도 3에 도시된 다이 이젝터를 이용하여 다이를 이젝팅하는 방법을 설명하기 위한 개략적인 단면도들이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 도시되지는 않았으나, 상기 다이 이젝터(102)는 별도의 구동부(미도시)에 의해 상기 후드(120)의 상부 패널(122)이 상기 다이싱 테이프(32)에 밀착되도록 상승될 수 있다.
이어서, 상기 이젝팅 유닛(110)은 상기 구동부(130)에 의해 상기 상부 패널(122)의 상부면으로부터 도 4에 도시된 바와 같이 돌출되도록 상승될 수 있으며, 이에 의해 상기 선택된 다이(20)가 상기 다이싱 테이프(32)와 함께 상방으로 밀어올려질 수 있다. 이때, 상기 상부 패널(122)에는 상기 다이싱 테이프(32)의 일부 영역을 흡착하기 위한 복수의 진공홀들(122B; 도 3 참조)이 구비될 수 있다.
예를 들면, 도시된 바와 같이 상기 이젝팅 유닛(110)이 위치되는 관통홀(122A) 주변에 복수의 진공홀들(122B)이 구비될 수 있으며, 상기 선택된 다이(20)의 주변에 위치되는 다이싱 테이프(32)의 일부 영역을 흡착할 수 있다. 이는 상기 선택된 다이(20)의 주변에 위치되는 다이싱 테이프(32)의 일부 영역을 흡착함으로써 상기 선택된 다이(20)가 상기 다이싱 테이프(32)로부터 용이하게 분리되도록 하기 위함이다.
특히, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 이젝팅 유닛(110)이 상기 상부 패널(122)로부터 상방으로 돌출되는 경우 상기 선택된 다이(20)의 가장자리 부위가 상기 다이싱 테이프(32)로부터 분리될 수 있다.
이어서, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 공기 챔버(112) 내부에 공기가 주입되면 상기 이젝팅 유닛(110)의 상부면이 상기 다이싱 테이프(32)에 밀착된 상태이므로 상기 이젝팅 유닛(32)의 상부에 위치되는 다이싱 테이프(32)가 부분적으로 부풀어오를 수 있으며, 이에 의해 상기 선택된 다이(20)가 상기 다이싱 테이프(32)로부터 점차 분리될 수 있다.
한편, 상기 공기는 상기 구동축(134) 및 헤드(132)를 통하여 제공될 수 있으며, 상기 본체(140)를 통하여 상기 후드(120) 내측으로 진공이 제공될 수 있다. 이때, 도시된 바와 같이 상기 본체(140)와 상기 원통형 측벽(124) 사이 그리고 상기 이젝팅 유닛(110)과 상기 헤드(132) 사이에는 각각 밀봉 부재(150,152)가 개재될 수 있다.
도 6은 도 3에 도시된 후드와 본체를 설명하기 위한 측면도이다.
도 6을 참조하면, 상기 하우징(142)의 상부 외측면에는 상기 후드(120)와 이젝팅 유닛(110)의 배치각 정렬을 위한 정렬핀들(144)이 구비될 수 있으며 이에 대응하여 상기 후드(120)의 개방된 하부에는 상기 정렬핀들(144)이 삽입되는 정렬홈들(129)이 구비될 수 있다. 예를 들면, 상기 하우징(142)은 4개의 정렬핀들(144)을 구비할 수 있으며, 상기 후드(120)는 4개의 정렬홈들(129)을 구비할 수 있다. 특히, 상기 정렬핀들(144)과 정렬홈들(129)은 동일한 간격, 예를 들면, 90° 간격으로 이격될 수 있다.
도 7은 도 3에 도시된 후드와 이젝팅 유닛의 다른 예를 설명하기 위한 개략적인 단면도이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 후드(170)는 복수의 관통홀들이 형성된 상부 패널(172)과 상기 상부 패널(172)로부터 하방으로 연장하는 원통형 측벽(174)을 포함할 수 있으며, 이젝팅 유닛(160)은 상기 상부 패널(172)의 관통홀들(172A)에 삽입되는 이젝트 핀들(162)과 상기 후드(170) 내에 배치되어 상기 이젝트 핀들(162)을 지지하는 서포트 부재(164)를 포함할 수 있다.
상기 서포트 부재(164)에는 도시된 바와 같이 상기 구동부(130)의 헤드(132)에 구비되는 영구자석들(136)에 대응하는 영구자석(166)이 구비될 수 있으며, 상기 영구자석들(136,166)에 의해 발생되는 자기력에 의해 상기 이젝팅 유닛(160)과 상기 헤드(132)가 서로 결합될 수 있다. 또한 상기 이젝트 핀들(162) 역시 상기 서포트 부재(164)에 구비되는 영구자석(166)의 자기력에 의해 상기 서포트 부재(164)에 결합될 수 있다.
특히, 상기 이젝트 핀들(162)은 상기 다이(20)에 대응하도록 배치될 수 있다. 즉, 상기 다이(20)의 크기에 따라 상기 이젝트 핀들(162)의 위치들이 달라질 수 있다.
도 8은 도 1에 도시된 후드 이송 유닛과 후드 수납 유닛을 설명하기 위한 개략적인 정면도이고, 도 9는 도 1에 도시된 후드 이송 유닛과 후드 수납 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이며, 도 10은 도 1에 도시된 후드 수납 유닛을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 8 내지 도 10을 참조하면, 상기 후드 이송 유닛(200)은 상기 이젝팅 유닛(110)과 후드(120)를 교체하기 위하여 상기 후드(120) 및 상기 후드 수납 유닛(300)에 수납된 교체용 후드(120A)를 픽업하여 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 후드 수납 유닛(300)은 상기 후드(120)와 상기 교체용 후드(120A)를 수납하기 위한 복수의 후드 수납부들(310)을 포함할 수 있다.
상기 후드 이송 유닛(200)은 상기 후드(120)를 상기 본체(140)로부터 픽업하여 상기 후드 수납부들(310) 중 하나에 수납할 수 있으며, 또한 상기 후드 수납부들(310) 중 다른 하나에 수납된 교체용 후드(120A)를 픽업하여 상기 본체(140)에 장착할 수 있다.
상기 후드 이송 유닛(200)은 상기 후드(120) 또는 교체용 후드(120A)를 파지하기 위한 후드 그리퍼(210)와, 상기 후드 그리퍼(210)의 파지 및 해제 동작을 위한 그리퍼 구동부(220)와, 상기 후드 그리퍼(210)를 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부(230)와, 상기 후드 그리퍼(210)를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부(240)와, 상기 후드 그리퍼(210)를 회전시키기 위한 회전 구동부(250)를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 웨이퍼 그리퍼(60)와 상기 후드 그리퍼(210)는 상기 수평 구동부(230)를 공통으로 사용할 수 있다. 일 예로서, 도 1에 도시된 바와 같이 상기 카세트(12)와, 상기 다이 이젝터(102)와 상기 스테이지(40) 및 상기 후드 수납 유닛(300)은 수평 방향으로 일직선 상에 배치될 수 있으며, 상기 수평 구동부(230)는 상기 웨이퍼 그리퍼(60)와 상기 후드 그리퍼(210)를 상기 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 후드 수납 유닛(300)은 상기 다이 이젝터(102)를 중심으로 상기 카세트(12)와 대향하는 상기 다이 이젝터(102)의 일측에 배치될 수 있으며, 상기 수평 구동부(230)는 상기 카세트(12)와 상기 다이 이젝터(102) 및 상기 후드 수납 유닛(300)이 배열된 방향으로 상기 웨이퍼 그리퍼(60)와 후드 그리퍼(210)를 이동시킬 수 있다.
상기 수직 구동부(240)는 상기 후드(120)와 이젝팅 유닛(110)을 상기 본체(140)와 구동부(130)로부터 분리시키고, 상기 후드(120)와 이젝팅 유닛(110)을 상기 후드 수납부들(310) 중 하나에 수납하기 위하여 상기 후드 그리퍼(210)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다. 일 예로서, 상기 수평 구동부(230)와 상기 수직 구동부(240)는 모터와 볼 스크루 및 볼 너트 등의 구동기와 리니어 모션 가이드와 같은 가이드 부재를 이용하여 각각 구성될 수 있다.
상기 회전 구동부(250)는 상기 후드(120)와 이젝팅 유닛(110)의 배치각을 조절하기 위하여 상기 후드 그리퍼(210)를 회전시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 회전 구동부(250)는 상기 후드 그리퍼(210)를 90° 간격으로 회전시킬 수 있으며, 모터를 이용하여 구성될 수 있다. 다른 예로서, 상기 회전 구동부(250)는 랙과 피니언 및 상기 랙을 수평 이동시키기 위한 공압 실린더를 이용하여 구성될 수도 있다.
상기 후드 그리퍼(210)는 상기 후드(120)를 파지하기 위하여 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 후드 그리퍼(210)는 상기 후드(120)를 파지하기 위하여 서로 마주하는 한 쌍의 그리핑 부재들을 포함할 수 있다. 상기 그리퍼 구동부(220)는 상기 그리핑 부재들을 서로 반대 방향으로 이동시킬 수 있으며, 일 예로서, 상기 그리핑 부재들을 이동시키기 위한 공압 실린더들을 포함할 수 있다. 다른 예로서, 상기 그리퍼 구동부(220)는 상기 그리핑 부재들과 연결되며 서로 마주하도록 배치된 한 쌍의 랙들과 상기 랙들 사이에 배치된 피니언 및 상기 랙들 중 하나와 연결된 공압 실린더를 이용하여 구성될 수도 있다.
그러나, 상기 수평 구동부(230), 수직 구동부(240), 회전 구동부(250) 및 그리퍼 구동부(220)의 세부 구성들은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
한편, 상기 후드(120)의 외측면에는 그루브(128; 도 3 참조)가 구비될 수 있으며, 상기 각각의 그리핑 부재들의 하단부에는 상기 후드(120)를 파지하기 위하여 상기 그루브(128)와 대응하는 돌출부가 각각 구비될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 그리핑 부재들 사이에는 상기 후드 그리퍼(210)의 하강 높이를 제한하기 위한 스토퍼(260)가 배치될 수 있다. 특히, 상기 스토퍼(260)는 상기 후드 그리퍼(210)가 상기 후드(120) 또는 교체용 후드(120A)를 파지하기 위한 높이를 조절하기 위하여 사용될 수 있다. 일 예로서, 상기 스토퍼(260)는 완충을 위하여 유연성을 갖는 물질, 예를 들면, 고무 재질로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 후드 그리퍼(210)의 일측에는 상기 후드(120) 또는 교체용 후드(120A)를 검출하기 위한 제1 센서(270)가 구비될 수 있다. 상기 제1 센서(270)는 상기 후드 그리퍼(210)의 하강이 상기 스토퍼(260)에 의해 제한된 경우 상기 후드(120) 또는 교체용 후드(120A)를 검출하기 위하여 사용될 수 있다.
특히, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 후드(120) 및 교체용 후드들(120A)의 외측면에는 각각 인식 코드(121; 도 6 참조)가 부착될 수 있으며, 상기 후드 수납 유닛(300)의 일측에는 상기 인식 코드를 읽기 위한 코드 리더기(400)가 배치될 수 있다. 일 예로서, 상기 후드(120) 및 교체용 후드들(120A)의 외측면에는 각각 4개의 인식 코드들(121)이 90° 간격으로 부착될 수 있으며, 상기 코드 리더기(400)는 상기 후드(120) 또는 교체용 후드들(120A) 중 하나의 인식 코드(121)에 포함된 정도를 획득할 수 있다.
상기 인식 코드(121)는 상기 후드(120) 및 각각의 교체용 후드들(120A)에 대한 정보를 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 인식 코드(121)에는 상기 후드(120) 및 교체용 후드들(120A)의 직경, 상기 이젝팅 유닛(110) 및 교체용 이젝팅 유닛들(110A)의 상부면적 또는 이젝트 핀들(162)의 개수 및 위치, 상기 교체용 이젝팅 유닛(110A)의 배치 각도 등의 정보가 저장될 수 있다. 일 예로서, 상기 인식 코드(121)로는 QR 코드(Quick Response Code) 또는 바코드가 사용될 수 있으며, 상기 코드 리더기(400)로는 QR 코드 리더기 또는 바코드 리더기가 사용될 수 있다.
상기 후드 수납 유닛(300)은 복수의 후드 수납부들(310)이 장착된 회전 스테이지(302)를 포함할 수 있다. 상기 회전 스테이지(302)는 베이스 패널(304) 상에 회전 가능하도록 배치될 수 있으며, 또한 상기 회전 스테이지(302)를 회전시키기 위한 제2 회전 구동부(306)가 상기 베이스 패널(304) 상에 배치될 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 회전 구동부(306)는 모터와 벨트 및 풀리들을 이용하여 구성될 수 있다. 상기 회전 스테이지(302)는 대략 원반 형태를 가질 수 있으며, 상기 후드 수납부들(310)은 상기 회전 스테이지(302) 상에 원주 방향으로 일정 간격 이격되도록 배치될 수 있다.
상기 이젝팅 유닛(110) 및 후드(120)에 대한 교체가 필요한 경우 상기 후드 이송 유닛(200)은 상기 본체(140)로부터 상기 이젝팅 유닛(110) 및 후드(120)를 분리시키고 이어서 상기 이젝팅 유닛(110) 및 후드(120)를 상기 후드 수납부들(310) 중 빈 후드 수납부(310)에 수납할 수 있다. 이때, 상기 제2 회전 구동부(306)는 상기 빈 후드 수납부(310)가 상기 후드 이송 유닛(200)의 이송 경로 아래에 위치하도록 상기 회전 스테이지(302)를 회전시킬 수 있다. 또한, 상기 제2 회전 구동부(306)는 상기 후드 수납부들(310)에 수납된 교체용 후드들(120A) 중 하나를 선택하여 상기 선택된 교체용 후드(120A)가 상기 후드 이송 유닛(200)의 이송 경로 아래에 위치되도록 상기 회전 스테이지(302)를 회전시킬 수 있다.
상기 코드 리더기(400)는 상기 제2 회전 구동부(306)에 의해 선택된 교체용 이젝팅 유닛(110A) 및 교체용 후드(120A)에 관한 정보를 획득할 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 후드 이송 유닛(200)과 상기 후드 수납 유닛(300)의 동작은 제어부(미도시)에 의해 제어될 수 있으며, 상기 제어부는 상기 획득된 정보를 이용하여 상기 선택된 교체용 이젝팅 유닛(110A)과 교체용 후드(120A)가 올바르게 선택되었는지를 확인할 수 있다.
상기 코드 리더기(400)의 상부 또는 하부에는 상기 코드 리더기(400)에 상기 교체용 후드들(120A) 중 하나가 인접하게 위치되었는지를 확인하기 위한 제2 센서(410)가 배치될 수 있다. 일 예로서, 상기 제1 및 제2 센서들(270, 410)로는 광 센서가 사용될 수 있다.
상기와 같이 교체용 이젝팅 유닛(110A) 및 교체용 후드(120A)가 선택된 후 상기 후드 이송 유닛(200)은 상기 교체용 후드(120A)를 파지하고 픽업할 수 있으며, 이어서 상기 교체용 이젝팅 유닛(110A)과 상기 교체용 후드(120)를 상기 구동부(130) 및 본체(140)에 장착할 수 있다.
한편, 도 1을 참조하면, 상기 다이 이젝터(102)의 상부에는 상기 교체된 후드(120A) 및 이젝팅 유닛(110A)의 배치각이 올바르게 정렬되었는지 확인하기 위한 비전 유닛(500)이 배치될 수 있다. 상기 비전 유닛(500)은 상기 다이싱 테이프(32) 상의 다이들(20)을 검사하기 위하여 사용될 수도 있다.
또 한편으로, 도시된 바에 의하면, 상기 코드 리더기(400)와 상기 제2 회전 구동부(306)가 상기 회전 스테이지(302)의 양측에 각각 배치되고 있으나, 상기 코드 리더기(400)와 제2 회전 구동부(306)의 위치는 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
도 11은 도 1에 도시된 후드 수납부를 설명하기 위한 개략적인 구성도이며, 도 12 및 도 13은 도 1에 도시된 후드 수납부의 동작을 설명하기 위한 개략적인 확대 단면도들이다.
도 10 내지 도 13을 참조하면, 각각의 상기 후드 수납부들(310)은 상기 후드(120)의 개방된 하부에 삽입되도록 구성된 척(320)과 상기 척(320)의 외측면으로부터 돌출 가능하도록 구성되며 상기 개방된 후드(120)의 하부 내측면에 밀착되어 상기 후드(120)를 파지하기 위한 복수의 밀착 부재들(330)을 포함할 수 있다.
상기 척(320)은 상기 회전 스테이지(302) 상에 장착될 수 있으며 상기 척(320)의 내부에는 수직 방향으로 이동 가능하게 구성되며 상기 밀착 부재들(330)을 구동하기 위한 피스톤(340)이 배치될 수 있다. 특히, 상기 피스톤(340)은 상기 회전 스테이지(302)의 하부에 배치되는 피스톤 구동부(360)에 의해 수직 방향으로 이동될 수 있으며, 상기 회전 스테이지(302)에는 상기 피스톤 구동부(360)의 구동축이 통과되는 관통홀이 구비될 수 있다. 일 예로서, 상기 피스톤 구동부(360)는 공압 또는 유압 실린더 등을 이용하여 구성될 수 있으나, 상기 피스톤 구동부(360)의 구성은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.
상기 피스톤(340)은 대략 원통 형태를 가질 수 있으며, 도시된 바와 같이 소정의 경사도를 갖는 상부 경사 측면(342)이 구비될 수 있다. 특히, 상기 각각의 밀착 부재(330)는 상기 후드(120)의 개방된 하부 내측면에 밀착되는 외측면과 상기 피스톤(340)의 상부 경사 측면(342)에 밀착되는 내측면을 가질 수 있으며, 상기 밀착 부재들(330)의 내측면이 상기 피스톤(340)의 상부 경사 측면(342) 상에서 미끄러짐 운동이 가능하다.
특히, 도시된 바와 같이, 상기 피스톤(340)의 수직 방향 이동에 의해 상기 밀착 부재(330)는 상기 척(320)의 외측 또는 내측으로 이동될 수 있으며, 이에 의해 상기 후드(120)의 파지 및 해제가 가능하다.
한편, 상기 척(320)에는 상기 밀착 부재들(330)이 이동되는 통로(322)가 구비될 수 있으며, 상기 이동 통로(322)는 상기 척(320)의 내측에서 외측을 향하여 점차 상승되는 기울기를 가질 수 있다. 따라서, 도시된 바와 같이 상기 피스톤(340)이 상승되는 경우 상기 밀착 부재들(330)은 상기 피스톤(340)의 상부 경사 측면(342) 상에서 미끄러짐 운동될 수 있으며 또한 상기 척(320)의 외측으로 돌출될 수 있다.
상기와 같은 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 후드 이송 유닛(200)에 의해 이송된 후드(120)가 상기 척(320)에 결합된 후, 상기 피스톤(340)이 상승될 수 있으며 이에 의해 상기 밀착 부재들(330)이 상기 후드(120)의 개방된 하부 내측면에 밀착될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 피스톤(340)에는 영구자석(350)이 내장될 수 있으며 이에 의해 상기 밀착 부재들(330)은 상기 영구자석(350)의 자기력에 의해 상기 상부 경사 측면(342) 상에 항시 밀착된 상태가 유지될 수 있으며, 결과적으로 상기 피스톤(340)의 상승 및 하강에 의해 상기 척(320)의 외측 및 내측으로 이동될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 교체용 후드(120A)에 부착된 인식 코드(121)로부터 상기 교체용 후드(120A)와 교체용 이젝팅 유닛(110A)에 대한 정보를 획득할 수 있으며, 이를 이용하여 상기 후드(120)의 교체를 용이하게 수행할 수 있다.
특히, 상기 후드 이송 유닛(200)의 회전 구동부(250)를 이용하여 상기 교체용 이젝팅 유닛(110A)과 교체용 후드(120A)의 배치각을 조절할 수 있으며, 비전 유닛(500)을 이용하여 상기 교체용 이젝팅 유닛(110A)과 교체용 후드(120A)의 배치각이 올바른지를 확인할 수 있으므로, 상기 후드(120)의 교체에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다.
또한, 상기 복수의 후드 수납부들(310)에 다양한 종류의 반도체 다이들(20)에 대응하는 복수의 교체용 이젝트 유닛들(110A)과 교체용 후드들(120A)을 미리 마련하고, 상기 교체용 이젝트 유닛들(110A)과 교체용 후드들(120A)을 선택적으로 사용함으로써, 상기 후드(120)의 교체에 소요되는 시간을 충분히 단축시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 웨이퍼 20 : 다이
30 : 마운트 프레임 32 : 다이싱 테이프
40 : 스테이지 60 : 웨이퍼 그리퍼
100 : 다이 이젝팅 장치 102 : 다이 이젝터
110 : 이젝팅 유닛 120 : 후드
121 : 인식 코드 122 : 상부 패널
124 : 원통형 측벽 126 : 서포트 링
128 : 그루브 129 : 정렬홈
130 : 구동부 132 : 헤드
134 : 구동축 140 : 본체
142 : 하우징 144 : 정렬핀
200 : 후드 이송 유닛 210 : 후드 그리퍼
220 : 그리퍼 구동부 230 : 수평 구동부
240 : 수직 구동부 250 : 회전 구동부
260 : 스토퍼 270 : 제1 센서
300 : 후드 수납 유닛 302 : 회전 스테이지
310 : 후드 수납부 320 : 척
330 : 밀착 부재 340 : 피스톤
400 : 코드 리더기 410 : 제2 센서
500 : 비전 유닛

Claims (16)

  1. 다이싱 테이프에 부착된 다이를 상방으로 밀어올리기 위한 이젝팅 유닛이 내장되며 개방된 하부를 갖는 후드와, 상기 후드의 개방된 하부에 삽입되는 본체를 포함하는 다이 이젝터;
    상기 다이 이젝터의 일측에 배치되며 교체용 이젝팅 유닛이 내장된 적어도 하나의 교체용 후드가 수납된 후드 수납 유닛; 및
    상기 후드를 상기 교체용 후드로 교체하기 위하여 상기 다이 이젝터와 상기 후드 수납 유닛 사이에서 상기 후드 및 상기 교체용 후드를 이송하는 후드 이송 유닛을 포함하되,
    상기 후드 및 상기 교체용 후드의 외측면에는 인식 코드가 부착되며, 상기 인식 코드를 읽기 위한 코드 리더기가 상기 후드 수납 유닛에 인접하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.
  2. 제1항에 있어서, 후드 이송 유닛은,
    상기 후드 또는 교체용 후드를 파지하기 위한 후드 그리퍼;
    상기 후드 그리퍼를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부;
    상기 후드 그리퍼를 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부; 및
    상기 후드 또는 교체용 후드의 배치각을 조절하기 위하여 상기 후드 그리퍼를 회전시키는 회전 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 다이 이젝터의 상부에는 상기 다이싱 테이프를 지지하기 위한 스테이지가 배치되고, 상기 스테이지의 일측에는 복수의 웨이퍼들이 수납되는 카세트가 배치되며, 상기 후드 수납 유닛은 상기 스테이지를 중심으로 상기 카세트의 반대측에 배치되는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 후드 그리퍼는 상기 카세트로부터 상기 웨이퍼들 중 하나를 인출하여 상기 스테이지 상으로 이동시키기 위한 카세트 그리퍼와 함께 상기 수평 구동부에 의해 수평 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 후드 그리퍼는 상기 후드 또는 교체용 후드를 파지하기 위하여 서로 마주하는 한 쌍의 그리핑 부재들을 포함하며, 상기 후드 그리핑 부재들은 그리퍼 구동부에 의해 서로 반대 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 그리핑 부재들 사이에는 상기 후드 그리퍼의 하강 높이를 제한하기 위한 스토퍼가 배치되는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 그리핑 부재들의 일측에는 상기 후드 또는 교체용 후드를 검출하기 위한 제1 센서가 배치되는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 후드 및 상기 교체용 후드의 외측면에는 그루브가 형성되어 있으며, 상기 그리핑 부재들의 하부에는 상기 그루브와 대응하는 돌출부가 각각 형성되어 있는 것을 특징으로 다이 이젝팅 장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 후드 수납 유닛은,
    원반 형태를 갖는 회전 스테이지;
    상기 회전 스테이지 상에 장착되며 상기 후드 및 상기 교체용 후드를 각각 수납하기 위한 복수의 후드 수납부들; 및
    상기 회전 스테이지를 회전시키기 위한 제2 회전 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.
  10. 제9항에 있어서, 각각의 상기 후드 수납부들은,
    상기 후드의 개방된 하부에 삽입되도록 구성된 척; 및
    상기 척의 측면으로부터 돌출 가능하도록 구성되며 상기 후드의 개방된 하부 내측면에 밀착되어 상기 후드를 파지하기 위한 복수의 밀착 부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 척의 내부에는 수직 방향으로 이동 가능하게 구성되고 소정의 경사도를 갖는 상부 경사 측면이 형성된 피스톤이 구비되며,
    각각의 상기 밀착 부재들은 상기 후드의 개방된 하부 내측면에 밀착되는 외측면과 상기 피스톤의 상부 경사 측면에 밀착되는 내측면을 갖고, 상기 피스톤의 수직 방향 이동에 의해 상기 후드의 개방된 하부 내측면에 밀착되는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 척에는 상기 밀착 부재들의 이동 통로가 구비되며 상기 이동 통로는 상기 척의 내측에서 외측을 향하여 점차 상승되는 기울기를 갖는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.
  13. 제11항에 있어서, 상기 피스톤에는 영구자석이 내장되며 상기 밀착 부재들은 상기 영구자석의 자기력에 의해 상기 상부 경사 측면에 항시 밀착되어 있는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.
  14. 제1항에 있어서, 상기 코드 리더기의 상부 또는 하부에 배치되며 상기 교체용 후드를 검출하기 위한 제2 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.
  15. 제1항에 있어서, 상기 인식 코드는 QR 코드 또는 바코드이며, 상기 코드 리더기는 QR 코드 리더기 또는 바코드 리더기인 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.
  16. 제1항에 있어서, 상기 다이 이젝터의 상부에 배치되며 상기 후드 이송 유닛에 의해 교체된 상기 교체용 이젝팅 유닛 및 교체용 후드의 배치각이 올바르게 정렬되었는지를 확인하는 비전 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다이 이젝팅 장치.
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