KR20150136444A - Polarizing axis detector, apparatus and method for measuring polarization, and apparatus for irradiating polarized light - Google Patents

Polarizing axis detector, apparatus and method for measuring polarization, and apparatus for irradiating polarized light Download PDF

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KR20150136444A
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Abstract

The present invention is to provide a polarization axis detector which detects a polarization axis of polarized light with high precision even when luminance is frequently changed from a light source, a polarization measuring apparatus, a polarization measuring method, and a polarized light emitting apparatus. The polarization axis detector comprises: a first polarized light detecting unit (311) which includes a detection polarizer (311a) rotating for detecting a polarization axis and a first luminance sensor (311b) which detects luminance of the polarized light from a light source passing through the detection polarizer (311a); and a second polarized light detecting unit (312) which includes a second luminance sensor (312a) which directly detects luminance information of the polarized light from the light source and is provided in parallel with the first polarized light detecting unit (311). The polarization measuring apparatus calculates the polarization characteristics of polarized light from the light source on the basis of the luminance information detected in the first polarized light detecting unit (311) and the luminance information detected in the second polarized light detecting unit (312).

Description

편광축 검출기, 편광 측정 장치, 편광 측정 방법 및 편광광 조사 장치{POLARIZING AXIS DETECTOR, APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING POLARIZATION, AND APPARATUS FOR IRRADIATING POLARIZED LIGHT}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a polarization axis detector, a polarization measuring apparatus, a polarization measuring method, and a polarizing light irradiating apparatus.

본 발명은, 편광광의 편광축을 측정하기 위한 편광축 검출기, 편광 측정 장치, 편광 측정 방법 및 편광광 조사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a polarization axis detector, a polarization measurement device, a polarization measurement method, and a polarized light irradiation device for measuring a polarization axis of a polarized light.

최근, 액정 패널을 비롯한 액정 표시 소자의 배향막이나, 시야각 보상 필름의 배향층 등의 배향 처리에 관하여, 소정 파장의 편광광을 조사하여 배향을 행하는, 광 배향으로 불리는 기술이 채용되고 있다.BACKGROUND ART Recently, a technique called optical alignment, in which alignment is performed by irradiating a polarized light of a predetermined wavelength with respect to an alignment treatment of an alignment layer of a liquid crystal display element including a liquid crystal panel, an orientation layer of a view angle compensation film, and the like, is employed.

광 배향에 이용하는 조사 장치는, 일반적으로, 광원과 편광자를 구비하고, 광원의 광을 편광자에 통과시켜 얻어지는 편광광을 조사한다. 광 배향 기술에 있어서는, 조사 장치로부터 조사된 편광광의 편광축(광 조사면에 있어서의 편광광의 축)이, 원하는 편광축으로 되어 있는지 여부가 매우 중요하다. 이 때문에, 편광자의 각도를 소정의 각도로 세팅한 후, 실제로 편광광 조사를 행하여 편광축을 측정하여, 원하는 편광축으로 되어 있지 않으면 편광자의 각도를 수정하는 작업이 필요해진다.In general, an irradiation device used for photo-alignment is provided with a light source and a polarizer, and irradiates a polarized light obtained by passing light of the light source through a polarizer. In the optical alignment technique, it is very important whether or not the polarization axis of the polarized light irradiated from the irradiation device (the axis of the polarized light on the light irradiation surface) is a desired polarization axis. For this reason, it is necessary to set the angle of the polarizer to a predetermined angle, then measure the polarization axis by actually performing polarized light irradiation, and correct the angle of the polarizer if it is not the desired polarization axis.

종래의 편광축 측정 방법으로는, 예를 들면 특허 문헌 1에 기재된 기술이 있다. 이 기술은, 조사 장치가 구비하는 제1의 편광자와는 별도로, 편광축을 검출하기 위한 제2의 편광자를 설치하고, 제1의 편광자 및 제2의 편광자를 순서대로 통과한 광을 제2의 편광자를 회전시키면서 검출하고, 그 검출 결과에 의거하여 편광광의 편광 특성을 측정하는 것이다. 구체적으로는, 제2의 편광자가 회전했을 때의 검출광의 광량의 주기적인 변화를 나타내는 변화 곡선을 구하여, 그 변화 곡선으로부터 상기 편광 특성으로서 편광축 및 소광비를 측정한다.As a conventional polarization axis measuring method, for example, there is a technique described in Patent Document 1. In this technique, a second polarizer for detecting the polarization axis is provided separately from the first polarizer provided in the irradiation device, and the light that has passed through the first polarizer and the second polarizer in order is called a second polarizer And the polarization characteristic of the polarized light is measured based on the detection result. Specifically, a change curve indicating a periodic change in the amount of detection light when the second polarizer rotates is obtained, and the polarization axis and the extinction ratio are measured as the polarization characteristics from the change curve.

일본국 특허공개 2014－20890호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2014-20890

상기 특허 문헌 1에 기재된 기술에서는, 광원으로서 방전 램프를 이용하고 있다. 방전 램프에는, 아크의 흔들림에 기인하는 광량의 경시 변화가 존재하고, 제2의 편광자를 회전시키고 있는 동안에도, 광량은 시시각각으로 변화한다. 그러나 상기 특허 문헌 1에 기재된 기술에 있어서는, 이 방전 램프의 아크의 흔들림을 고려하고 있지 않으므로, 편광광의 편광축의 측정 정밀도가 낮다.In the technique described in Patent Document 1, a discharge lamp is used as a light source. In the discharge lamp, there is a change with time in the quantity of light due to the fluctuation of the arc, and the quantity of light changes instantaneously while the second polarizer is being rotated. However, in the technique described in Patent Document 1, since the arc of the arc of the discharge lamp is not considered, the measurement accuracy of the polarization axis of the polarized light is low.

여기서, 본 발명은, 광원으로부터의 광에 시간마다의 조도 변동이 있는 경우에도, 편광광의 편광축을 고정밀도로 검출할 수 있는 편광축 검출기, 편광 측정 장치, 편광 측정 방법 및 편광광 조사 장치를 제공하는 것을 과제로 하고 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a polarization axis detector, a polarization measurement device, a polarization measurement method, and a polarized light irradiation device that can accurately detect the polarization axis of polarized light even when the light from the light source fluctuates with time It is a task.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 관련된 편광축 검출기의 일양태는, 광원으로부터 조사되는 편광광의 편광축을 검출하는 편광축 검출기로서, 상기 편광축을 검출하기 위한 회전 가능한 검출용 편광자와, 상기 검출용 편광자를 통과한 상기 광원으로부터의 편광광의 조도 정보를 검출하는 제1의 조도 센서를 가지는 제1의 편광광 검출부와, 상기 광원으로부터의 편광광의 조도 정보를 직접 검출하는 제2의 조도 센서를 가지고, 상기 제1의 편광광 검출부에 병설되는 제2의 편광광 검출부를 구비한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a polarization axis detector for detecting a polarization axis of a polarized light emitted from a light source, the polarization axis detector comprising: a rotatable detection polarizer for detecting the polarization axis; And a second illuminance sensor for directly detecting illuminance information of the polarized light from the light source, wherein the first illuminance sensor detects the illuminance information of the polarized light from the light source, And a second polarized-light detecting unit provided in parallel with the polarized-light detecting unit.

이와 같이, 검출용 편광자를 통과하지 않은 광원으로부터의 편광광을 검출하는 제2의 편광광 검출부를 제1의 편광광 검출부에 병설한다. 이 때문에, 2개의 편광광 검출부에서 동일한 편광광의 흔들림을 볼 수 있어, 제2의 편광광 검출부에서 검출한 편광광의 조도 정보를, 제1의 편광광 검출부에서 검출한 편광광의 조도 정보의 기준치로 할 수 있다. 따라서, 광원의 출력의 편차나 깜박거림 등에 의해 광원으로부터의 편광광의 조도가 시간마다 변동하는 경우에도, 그 조도 변동을 고려한 편광축의 검출이 가능해진다.In this manner, a second polarized light detecting portion for detecting the polarized light from the light source that has not passed through the detecting polarizer is juxtaposed to the first polarized light detecting portion. Therefore, the same polarized light fluctuation can be seen in the two polarized light detecting portions, and the illuminance information of the polarized light detected by the second polarized light detecting portion is set as the reference value of the illuminance information of the polarized light detected by the first polarized light detecting portion . Therefore, even when the illuminance of the polarized light from the light source fluctuates from time to time due to deviation or flickering of the output of the light source, the polarization axis can be detected in consideration of the variation in the illuminance.

또한, 상기의 편광축 검출기에 있어서, 상기 광원은 선상 광원이며, 상기 제1의 조도 센서와 상기 제2의 조도 센서는, 상기 선상 광원이 연장되는 방향을 따라서 나란히 설치되어 있는 것이 바람직하다.In the above-described polarization axis detector, it is preferable that the light source is a linear light source, and the first illuminance sensor and the second illuminance sensor are arranged side by side along the direction in which the linear light source extends.

이와 같이, 광원을 선형 광원으로 했을 때, 2개의 조도 센서를 선형 광원의 조도 변화가 적은 방향으로 나란히 배치하므로, 장소마다의 의존성을 줄일 수 있어, 신뢰성이 있는 측정 결과가 얻어진다.Thus, when the light source is a linear light source, the two illuminance sensors are arranged side by side in a direction in which the variation in the illuminance of the linear light source is small, so that dependence on each place can be reduced and a reliable measurement result can be obtained.

또한, 본 발명에 관련된 편광 측정 장치의 일양태는, 상기의 어느 하나의 편광축 검출기와, 상기 편광축 검출기로 검출한 조도 정보에 의거하여 상기 편광광을 측정하는 편광광 측정부를 구비하고, 상기 편광광 측정부는, 상기 검출용 편광자를 복수의 지정 각도로 회전시키는 회전 제어부와, 상기 복수의 지정 각도에 있어서 상기 제1의 조도 센서로 검출한 조도 정보인 검출 조도치와, 상기 제1의 조도 센서에 의한 상기 검출 조도치의 검출에 동기하여 상기 제2의 조도 센서로 검출한 조도 정보인 참조 조도치에 의거하여, 상기 검출 조도치에 포함되는 상기 광원으로부터 조사되는 편광광의 시간마다의 조도 변동에 의한 오차를 보정한 보정 후 조도치를 연산하는 조도 정보 보정부와, 상기 검출용 편광자의 회전 각도와 상기 조도 정보 보정부에서 연산한 보정 후 조도치의 관계를 나타내는 편광광 각도 특성을 연산하고, 해당 편광광 각도 특성을 기초로 상기 광원으로부터의 편광광의 편광 특성을 연산하는 편광 특성 연산부를 구비한다.One aspect of the polarization measuring apparatus according to the present invention includes any one of the polarization axis detectors described above and a polarized light measuring unit that measures the polarized light based on the illuminance information detected by the polarization axis detector, The measurement unit may include a rotation control unit that rotates the detection polarizer at a plurality of specified angles, a detected roughness value that is roughness information detected by the first roughness sensor at the plurality of specified angles, An error caused by variation in illuminance of the polarized light irradiated from the light source included in the detected roughness value on the basis of the reference roughness value which is the roughness information detected by the second roughness sensor in synchronization with the detection of the detected roughness value An illuminance information correcting section for calculating an illuminance correction value obtained by correcting the rotation angle of the detecting polarizer and the illuminance information correcting section, Calculating a polarized light angle characteristic showing the relationship between the corrected luminance value, and on the basis of the polarized light having a polarization angle characteristic property computing unit for computing the polarization of light polarization characteristics from the light source.

이와 같이, 제2의 편광광 검출부에서 검출한 참조 조도치를 이용하여, 제1의 편광광 검출부에서 검출한 검출 조도치에 포함되는 광원으로부터의 편광광의 시간마다의 조도 변동에 의한 오차를 보정하므로, 상기 오차를 보정한 편광광 각도 특성을 연산할 수 있다. 따라서, 검출용 편광자를 회전하고 있는 동안에 광원으로부터의 편광광이 변동한 경우에도, 해당 편광광의 편광 특성을 좋은 정밀도로 연산할 수 있다.As described above, since the reference illuminance value detected by the second polarized light detecting portion is used to correct the error caused by the variation in illuminance of the polarized light from the light source included in the detected illuminated value detected by the first polarized light detecting portion, It is possible to calculate the polarized light angle characteristic in which the error is corrected. Therefore, even when the polarized light from the light source fluctuates while the detection polarizer is rotating, the polarization characteristic of the polarized light can be calculated with good accuracy.

또한, 상기의 편광 측정 장치에 있어서, 상기 조도 정보 보정부는, 상기 제1의 조도 센서로 검출한 상기 검출 조도치를, 해당 검출 조도치의 검출에 동기하여 상기 제2의 조도 센서로 검출한 상기 참조 조도치로 나눔으로써, 상기 보정 후 조도치를 연산하는 것이 바람직하다. 이와 같이, 나눗셈만의 비교적 용이한 수법으로, 적절히 검출 조도치에 포함되는 광원으로부터의 편광광의 조도 변동에 의한 오차를 보정할 수 있다.In the above-described polarization measurement apparatus, the illumination information correction unit may calculate the illumination illuminance value detected by the first illuminance sensor, based on the reference illuminance detected by the second illuminance sensor in synchronization with the detection of the detected illuminance value It is preferable to calculate the roughness value after the correction. As described above, the error caused by the variation in the illuminance of the polarized light from the light source included in the detection roughness value can be corrected appropriately by the relatively easy method of division only.

또한, 상기의 편광 측정 장치에 있어서, 상기 조도 정보 보정부는, 상기 제1의 조도 센서로 검출한 상기 검출 조도치로부터, 상기 복수의 지정 각도에 있어서 상기 제2의 조도 센서로 검출한 각 참조 조도치의 평균치와 상기 검출 조도치의 검출에 동기하여 상기 제2의 조도 센서로 검출한 상기 참조 조도치와의 차분을 뺌으로써, 상기 보정 후 조도치를 연산하는 것이 바람직하다. 이와 같이, 뺄셈과 평균치 산출만의 비교적 용이한 수법으로, 적절히 검출 조도치에 포함되는 광원으로부터의 편광광의 조도 변동에 의한 오차를 보정할 수 있다.In the above-described polarization measurement apparatus, the illumination information correction section may obtain, from the detected roughness values detected by the first roughness sensor, the respective reference roughness detected by the second roughness sensor at the plurality of specified angles And calculates the post-correction roughness value by subtracting the difference between the average value of the detected roughness values and the reference roughness value detected by the second roughness sensor in synchronization with the detection of the detected roughness value. As described above, the error caused by the variation in the illuminance of the polarized light from the light source included in the detection roughness value can be corrected with a relatively easy method of only subtraction and average value calculation.

또한, 상기의 편광 측정 장치에 있어서, 상기 편광 특성 연산부는, 상기 편광광 각도 특성을 기초로, 상기 검출용 편광자를 통과한 상기 광원으로부터의 편광광의 조도가 극치가 되는 상기 검출용 편광자의 회전 각도를 특정하고, 특정한 회전 각도에 의거하여 상기 편광 특성으로서 상기 편광광의 편광축 각도를 연산하는 편광축 각도 연산부를 구비하는 것이 바람직하다. 이에 따라, 좋은 정밀도로 편광축 각도를 연산할 수 있다.In the above-described polarization measurement device, the polarization characteristic calculation unit may calculate, based on the polarized light angle characteristic, a rotation angle of the polarizing element for detection whose intensity of the polarized light from the light source that has passed through the detection polarizer is an extreme value And a polarization axis angle computing unit for computing the polarization axis angle of the polarized light as the polarization characteristic based on the specific rotation angle. Thus, the angle of the polarization axis can be calculated with good accuracy.

또한, 상기의 편광 측정 장치에 있어서, 상기 편광 특성 연산부는, 상기 편광광 각도 특성을 기초로, 상기 검출용 편광자를 통과한 상기 광원으로부터의 편광광의 조도의 최대치와 최소치를 특정하고, 특정한 최대치와 최소치에 의거하여 상기 편광 특성으로서 상기 편광광의 소광비를 연산하는 소광비 연산부를 구비하는 것이 바람직하다. 이에 따라, 좋은 정밀도로 소광비를 연산할 수 있다.In the above-described polarization measurement apparatus, the polarization characteristic calculation section may specify a maximum value and a minimum value of the illuminance of the polarized light from the light source that has passed through the detection polarizer, based on the polarized light angle characteristic, And an extinction ratio calculating unit for calculating the extinction ratio of the polarized light as the above-mentioned polarization characteristic based on the minimum value. Thus, the extinction ratio can be calculated with good accuracy.

또한, 본 발명에 관련된 편광 측정 방법의 일양태는, 광원으로부터 조사되는 편광광을 측정하는 편광 측정 방법으로서, 상기 편광축을 검출하기 위한 검출용 편광자를 복수의 지정 각도로 회전하고, 각 지정 각도에 있어서 해당 검출용 편광자를 통과한 상기 광원으로부터의 편광광의 조도 정보인 검출 조도치를 검출하는 단계와, 상기 검출용 편광자를 통과한 상기 광원으로부터의 편광광의 조도 정보를 검출하는 타이밍과 동기하여, 상기 검출용 편광자를 통과하지 않는 상기 광원으로부터의 편광광의 조도 정보인 참조 조도치를 직접 검출하는 단계를 구비한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a polarization measurement method for measuring polarized light emitted from a light source, comprising: rotating a detection polarizer for detecting the polarization axis at a plurality of specified angles; Detecting a detected illuminance value that is illumination information of the polarized light from the light source that has passed through the detection polarizer; and detecting, in synchronization with the timing of detecting illumination information of the polarized light from the light source that has passed through the detection polarizer, And directly detecting a reference illuminance value which is illuminance information of the polarized light from the light source not passing through the polarizer for use.

이와 같이, 검출용 편광자를 통과한 광원으로부터의 편광광과, 검출용 편광자를 통과하지 않는 광원으로부터의 편광광을 동일한 타이밍에서 검출한다. 이 때문에, 참조 조도치를, 검출 조도치의 기준치로 하여, 광원으로부터의 편광광의 조도가 시간마다 변동하는 경우에도, 그 조도 변동을 고려한 편광축의 검출이 가능해진다.Thus, the polarized light from the light source that has passed through the detection polarizer and the polarized light from the light source that does not pass through the detection polarizer are detected at the same timing. Therefore, even when the illuminance of the polarized light from the light source fluctuates from time to time with the reference illuminance value as the reference value of the detected illuminance value, the polarization axis can be detected in consideration of the fluctuation of the illuminance.

또한, 상기의 편광 측정 방법에 있어서, 상기 복수의 지정 각도에 있어서 검출한 상기 검출 조도치와 상기 참조 조도치에 의거하여, 상기 검출 조도치에 포함되는 상기 광원으로부터 조사되는 편광광의 시간마다의 조도 변동에 의한 오차를 보정한 보정 후 조도치를 연산하는 단계와, 상기 검출용 편광자의 회전 각도와 상기 보정 후 조도치의 관계를 나타내는 편광광 각도 특성을 연산하는 단계와, 상기 편광광 각도 특성을 기초로 상기 광원으로부터의 편광광의 편광 특성을 연산하는 단계를 구비하는 것이 바람직하다.In the above-described polarization measurement method, it is preferable that, based on the detected roughness values and the reference roughness values detected at the plurality of specified angles, a roughness of the polarized light emitted from the light source included in the detected roughness value Calculating a post-correction illuminance value obtained by correcting an error caused by the variation, calculating a polarized light angle characteristic indicating a relationship between a rotation angle of the detection polarizer and the post-correction illuminance value, And calculating a polarization characteristic of the polarized light from the light source.

이와 같이, 참조 조도치를 이용하여 검출 조도치에 포함되는 광원으로부터의 편광광의 시간마다의 조도 변동에 의한 오차를 보정할 수 있다. 이 때문에, 상기 오차를 보정한 편광광 각도 특성을 연산할 수 있다. 따라서, 검출용 편광자를 회전하고 있는 동안에 광원으로부터의 편광광이 변동한 경우에도, 상기 편광광의 편광 특성을 좋은 정밀도로 연산할 수 있다.As described above, it is possible to correct the error caused by the variation in illuminance of the polarized light from the light source included in the detected roughness value by time, using the reference illuminance value. Therefore, it is possible to calculate the polarized light angle characteristic in which the error is corrected. Therefore, even when the polarized light from the light source fluctuates while the detection polarizer is rotated, the polarization characteristic of the polarized light can be calculated with good precision.

또한, 본 발명에 관련된 편광광 조사 장치의 일양태는, 배향막에 편광광을 조사하여 광 배향을 행하는 편광광 조사 장치로서, 선형 광원과, 상기 선형 광원의 연장되는 방향을 따라서 설치된 복수의 편광자를 가지고, 상기 선형 광원의 광을 상기 편광자에 의해서 편광한 편광광을 조사하는 광 조사부와, 상기 광 조사부가 조사하는 편광광을 측정하는 상기의 어느 하나의 편광 측정 장치를 구비한다.An embodiment of the polarized light irradiating apparatus according to the present invention is a polarized light irradiating apparatus for irradiating a polarized light to an alignment film to perform photo alignment, comprising a linear light source and a plurality of polarizers provided along the extending direction of the linear light source A light irradiating part for irradiating the linear light source with the polarized light polarized by the polarizer; and any one of the above-mentioned polarimetry measuring devices for measuring the polarized light irradiated by the light irradiating part.

이에 따라, 편광 측정 장치가 광 조사부로부터 조사되는 편광광의 편광 특성을 좋은 정밀도로 측정할 수 있다. 따라서, 광 조사부로부터 조사되는 편광광의 편광축이 원하는 편광축으로 되어 있는지 여부를 적절히 판단할 수 있다.Thus, the polarization measuring apparatus can measure the polarization characteristic of the polarized light emitted from the light irradiating unit with good precision. Therefore, it is possible to appropriately determine whether or not the polarization axis of the polarized light emitted from the light irradiating unit is a desired polarization axis.

본 발명의 편광축 검출기에서는, 검출용 편광자를 통과한 광원으로부터의 편광광을 검출하는 제1의 편광광 검출부에, 검출용 편광자를 통과하지 않는 광원으로부터의 편광광을 검출하는 제2의 편광광 검출부를 병설한다. 이 때문에, 광원으로부터의 편광광의 조도가 시간마다 변동하는 경우에도, 그 조도 변동을 고려한 편광축의 검출이 가능해진다.In the polarization axis detector of the present invention, the first polarized light detecting portion for detecting the polarized light from the light source that has passed through the detecting polarizer, the second polarized light detecting portion for detecting the polarized light from the light source not passing through the detecting polarizer, . Therefore, even when the illuminance of the polarized light from the light source fluctuates from time to time, the polarization axis can be detected in consideration of the variation in the illuminance.

또한, 해당 편광축 검출기를 구비하는 편광 측정 장치에서는, 제2의 편광광 검출부에서 검출한 참조 조도치를 이용하여, 제1의 편광광 검출부에서 검출한 검출 조도치를 보정할 수 있으므로, 검출용 편광자를 회전하고 있는 동안에 광원으로부터의 편광광이 변동한 경우에도, 해당 편광광의 편광 특성을 좋은 정밀도로 연산할 수 있다.Further, in the polarization measuring apparatus provided with the polarization axis detector, the detection illuminance value detected by the first polarized light detecting section can be corrected by using the reference illuminance value detected by the second polarized light detecting section, The polarization characteristics of the polarized light can be calculated with good precision even when the polarized light from the light source fluctuates during the operation.

도 1은 본 실시 형태의 편광 광 조사 장치를 나타내는 개략 구성도이다.
도 2는 광 조사부의 길이 방향에 직교하는 방향의 단면도이다.
도 3은 광 조사부의 길이 방향의 단면도이다.
도 4는 편광자의 배치예를 나타내는 도면이다.
도 5는 편광축 검출기의 주요부를 나타내는 사시도이다.
도 6은 편광축 검출기의 주요부를 나타내는 단면 사시도이다.
도 7은 제1의 편광광 검출부의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 8은 편광 측정 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 9는 제어부에서 실행하는 편광 측정 처리 순서를 나타내는 플로차트이다.
도 10은 편광광의 각도 특성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 11은 본 실시 형태의 효과를 설명하는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a schematic configuration diagram showing a polarized light irradiation apparatus according to the present embodiment. Fig.
2 is a cross-sectional view in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the light irradiation portion.
3 is a longitudinal sectional view of the light irradiating portion.
4 is a view showing an example of the arrangement of polarizers.
5 is a perspective view showing a main part of a polarization axis detector.
6 is a cross-sectional perspective view showing a main part of the polarization axis detector.
7 is a schematic diagram showing the configuration of the first polarized light detecting portion.
8 is a block diagram showing a configuration of a polarization measurement apparatus.
9 is a flowchart showing a polarization measurement processing procedure executed by the control unit.
10 is a diagram showing an example of angular characteristics of the polarized light.
11 is a view for explaining the effect of the present embodiment.

이하, 본 발명의 실시의 형태를 도면에 의거하여 설명한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은, 본 실시 형태의 편광광 조사 장치를 나타내는 개략 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram showing a polarized light irradiation apparatus of the present embodiment.

편광광 조사 장치(100)는, 광 조사부(10A 및 10B)와, 워크(W)를 반송하는 반송부(20)를 구비한다. 여기서, 워크(W)는, 광 배향막이 형성된, 예를 들면 액정 패널의 크기로 정형된 직사각형상의 기판이다.The polarized light irradiating apparatus 100 includes light irradiation units 10A and 10B and a transport unit 20 for transporting the work W. Here, the work W is a rectangular substrate formed with a photo alignment film, for example, shaped to the size of a liquid crystal panel.

편광광 조사 장치(100)는, 광 조사부(10A 및 10B)로부터 소정 파장의 편광광(편광한 광)을 조사하면서, 반송부(20)에 의해서 워크(W)를 직선 이동시켜, 워크(W)의 광 배향막에 상기 편광광을 조사하여 광 배향 처리를 하는 것이다.The polarized light irradiating apparatus 100 linearly moves the work W by the carry section 20 while irradiating a polarized light (polarized light) of a predetermined wavelength from the light irradiating sections 10A and 10B, ) Is irradiated with the polarized light to perform the photo alignment treatment.

광 조사부(10A 및 10B)는, 선형의 광원인 방전 램프(11)와, 방전 램프(11)의 광을 반사하는 미러(12)를 각각 구비한다. 또한, 광 조사부(10A)는, 그 광 출사측에 배치된 편광자 유닛(13A)을 구비하고, 광 조사부(10B)는, 그 광 출사측에 배치된 편광자 유닛(13B)을 구비한다. 또한, 광 조사부(10A 및 10B)는, 각각 램프 하우스(14)를 구비한다. 방전 램프(11), 미러(12) 및 편광자 유닛(13A)(또는 13B)은, 램프 하우스(14)에 수용되어 있다.The light irradiation units 10A and 10B each include a discharge lamp 11 which is a linear light source and a mirror 12 which reflects the light of the discharge lamp 11. [ The light irradiation unit 10A has a polarizer unit 13A disposed on the light output side and the light irradiation unit 10B has a polarizer unit 13B disposed on the light output side thereof. Each of the light irradiation units 10A and 10B has a lamp house 14. The discharge lamp 11, the mirror 12 and the polarizer unit 13A (or 13B) are accommodated in the lamp house 14. [

광 조사부(10A) 및 광 조사부(10B)는, 방전 램프(11)의 길이 방향을 워크(W)의 반송 방향(X방향)에 직교하는 방향(Y방향)에 일치시킨 상태에서, 워크(W)의 반송 방향(X방향)을 따라서 병설되어 있다.The light irradiating unit 10A and the light irradiating unit 10B are arranged in such a manner that the longitudinal direction of the discharge lamp 11 coincides with the direction (Y direction) orthogonal to the carrying direction (X direction) (X direction).

여기서, 광 조사부(10A)의 구체적 구성에 대하여 설명한다.Here, a specific configuration of the light irradiation unit 10A will be described.

도 2는, 광 조사부(10A)의 길이 방향에 직교하는 방향의 단면도이며, 도 3은, 광 조사부(10A)의 길이 방향의 단면도이다. 광 조사부(10A)와 광 조사부(10B)는 동일한 구성을 가지므로, 여기서는 광 조사부(10A)의 구성에 대하여 설명한다.Fig. 2 is a cross-sectional view in the direction orthogonal to the longitudinal direction of the light irradiation portion 10A, and Fig. 3 is a cross-sectional view in the longitudinal direction of the light irradiation portion 10A. Since the light irradiation unit 10A and the light irradiation unit 10B have the same configuration, the configuration of the light irradiation unit 10A will be described here.

방전 램프(11)는, 장척상의 롱 아크형 방전 램프이다. 방전 램프(11)는, 예를 들면, 파장 200nm~400nm의 자외광을 조사한다.The discharge lamp 11 is a long arc type discharge lamp. The discharge lamp 11 irradiates, for example, ultraviolet light having a wavelength of 200 nm to 400 nm.

광 배향막의 재료로는, 파장 254nm의 광으로 배향되는 것, 파장 313nm의 광으로 배향되는 것, 파장 365nm의 광으로 배향되는 것 등이 알려져 있고, 광원의 종류는 필요한 파장에 따라서 적절히 선택한다.As a material for the photo alignment layer, it is known that the material is oriented with light having a wavelength of 254 nm, oriented with light having a wavelength of 313 nm, and oriented with light having a wavelength of 365 nm, and the kind of light source is appropriately selected according to the required wavelength.

또한, 광원으로는, 자외광을 방사하는 LED나 LD를 직선형으로 나란히 배치한 선상 광원을 이용할 수도 있다. 그 경우, LED나 LD를 배열하는 방향이 램프의 길이 방향에 상당한다.Also, as the light source, a linear light source in which LEDs or LDs emitting ultraviolet light are arranged in a straight line may be used. In this case, the direction in which the LED or LD is arranged corresponds to the longitudinal direction of the lamp.

미러(12)는, 방전 램프(11)로부터의 방사광을 소정의 방향으로 반사하는 것이며, 도 2에 나타내는 바와 같이 단면이 타원형의 홈통형상 집광경이다. 미러(12)는, 그 길이 방향이 방전 램프(11)의 길이 방향과 일치하도록 배치되어 있다.The mirror 12 reflects the radiation light from the discharge lamp 11 in a predetermined direction and is a trough-shaped focusing mirror with an elliptical cross section as shown in Fig. The mirror 12 is arranged such that its longitudinal direction coincides with the longitudinal direction of the discharge lamp 11. [

램프 하우스(14)는, 그 저면에, 광 조사부(10A)로부터 조사되는 광이 통과하는 광 출사구(14a)를 가진다. 광 출사구(14a)에는, 여기를 통과하는 광을 편광하기 위한 편광자를 가지는 편광자 유닛(13A)이 부착되어 있다.The lamp house 14 has a light output port 14a through which the light irradiated from the light irradiating section 10A passes. The light output port 14a is provided with a polarizer unit 13A having a polarizer for polarizing the light passing through the excitation.

편광자 유닛(13A)은, 도 4에 도시하는 바와 같이, 복수의 편광자(13Aa)를 프레임(13Ab) 내에 나란히 배치하여 구성되어 있다. 이와 같이, 방전 램프(11)의 바로 아래에, 복수의 편광자(13Aa)가 해당 방전 램프(11)의 길이 방향을 따라서 나란히 배치되어 있다.The polarizer unit 13A is constituted by arranging a plurality of polarizers 13Aa side by side in the frame 13Ab as shown in Fig. As described above, a plurality of polarizers 13Aa are arranged side by side along the longitudinal direction of the discharge lamp 11 immediately below the discharge lamp 11. [

편광자(13Aa)는, 와이어 그리드형 편광 소자이며, 편광자(13Aa)의 개수는, 편광광을 조사하는 영역의 크기에 맞추어 적절히 선택한다. 또한, 각 편광자(13Aa)는, 각각 투과축이 동일 방향을 향하도록 배치되어 있다.The polarizer 13Aa is a wire grid type polarizing element and the number of the polarizers 13Aa is appropriately selected in accordance with the size of the region irradiated with the polarized light. Each of the polarizers 13Aa is arranged such that their transmission axes are directed in the same direction.

편광자 유닛(13B)도, 편광자 유닛(13A)과 동일한 구성을 가진다.The polarizer unit 13B also has the same configuration as the polarizer unit 13A.

다만, 광 조사부를 2단으로 배열한 2등(燈)식의 경우, 편광자 유닛(13B)의 편광자(13Ba)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 편광자(13Aa)의 이음매와 편광자(13Ba)의 이음매가, 워크(W)의 반송 방향(X방향)에 있어서 서로 겹치지 않도록, 반송 방향에 직교하는 방향(Y방향)으로 위치를 어긋나게 하여 배치한다. 이에 따라, 광 조사부(10A 및 10B)는 균일한 에너지 분포로 편광광을 조사할 수 있다.4, the polarizer 13Ba of the polarizer unit 13B is disposed between the joint of the polarizer 13Aa and the junction of the polarizer 13Ba and the polarizer 13Ba of the polarizer 13Ba, (Y direction) orthogonal to the conveying direction so that the joints do not overlap with each other in the conveying direction (X direction) of the work W. Thus, the light irradiation portions 10A and 10B can irradiate the polarized light with a uniform energy distribution.

도 1로 돌아가, 반송부(20)는, 진공 흡착 등의 방법에 의해 워크(W)를 흡착 유지하는 평판형상의 워크 스테이지(21)와, 워크 스테이지(21)의 이동 방향을 따라서 연장되는 2개의 가이드(22)와, 워크 스테이지(21)의 이동 기구를 일례로서 구성하는 전자석(23)을 구비한다.1, the carry section 20 includes a workpiece stage 21 in the form of a flat plate for sucking and holding the workpiece W by vacuum adsorption or the like, Guides 22 and an electromagnet 23 constituting a moving mechanism of the workpiece stage 21 as an example.

여기서는, 상기 이동 기구로서, 예를 들면, 리니어 모터 스테이지를 채용한다. 리니어 모터 스테이지는, 바둑판 형상으로 강자성체의 볼록극이 설치된 평면상의 플래튼 위에 이동체(워크 스테이지)를 에어에 의해 부상시키고, 이동체에 자력을 인가하여, 이동체와 플래튼의 볼록극과의 사이의 자력을 변화시킴으로써 이동체(워크 스테이지)를 이동하는 기구이다.Here, as the moving mechanism, for example, a linear motor stage is employed. In the linear motor stage, a moving body (workstage) is floated by a air on a planar platen provided with a convex pole of a ferromagnetic body in a checkerboard shape, and a magnetic force is applied to the moving body so that a magnetic force between the moving body and the convex pole of the platen (Workpiece stage) by moving the movable body (workpiece stage).

워크 스테이지(21)는, 그 1변의 방향이 스테이지 이동 방향(X방향)을 향하도록 배치됨과 더불어, 가이드(22)에 의해서 진직도를 보상한 상태로 왕복 이동 가능하게 지지되어 있다.The workpiece stage 21 is arranged so that the direction of one side thereof faces the stage moving direction (X direction), and is supported by the guide 22 so as to reciprocate in a state compensating for the straightness.

본 명세서에 있어서, 워크 스테이지(21)의 이동 방향이 X방향이며, X방향에 수직인 수평 방향이 Y방향, 연직 방향이 Z방향이다. 또한, 워크(W)는 직사각형상이며, 1변의 방향이 X방향을 향하고, 다른쪽의 변이 Y방향을 향한 자세로 워크 스테이지(21) 상에 유지되어 있는 것으로 한다.In this specification, the moving direction of the workpiece stage 21 is the X direction, the horizontal direction perpendicular to the X direction is the Y direction, and the vertical direction is the Z direction. It is assumed that the workpiece W is rectangular in shape and that one side is oriented in the X direction and the other side is held on the workpiece stage 21 in the Y direction.

워크 스테이지(21)의 이동 경로는, 광 조사부(10A 및 10B)의 바로 아래를 통과하도록 설계되어 있다. 그리고 반송부(20)는, 워크(W)를 광 조사부(10A 및 10B)에 의한 편광광의 조사 위치에 반송하고, 또한 그 조사 위치를 통과시키도록 구성되어 있다. 이 통과 과정에서, 워크(W)의 광 배향막이 광 배향 처리된다.The movement path of the workpiece stage 21 is designed to pass directly under the light irradiation portions 10A and 10B. The transport section 20 is configured to transport the workpiece W to the irradiation position of the polarized light by the irradiation sections 10A and 10B and to pass the irradiation position. In this passing process, the photo alignment layer of the work W is photo-aligned.

또한, 편광광 조사 장치(100)는, 편광 측정 장치(30)를 구비한다. 편광 측정 장치(30)는, 편광축 검출기(31)와, 편광축 검출기(31)를 가이드(22)에 따라서 X방향으로 반송하기 위한 X방향 반송부(32)와, 편광축 검출기(31)를 Y방향으로 반송하기 위한 Y방향 반송부(33)를 구비한다. 또한, 이 편광 측정 장치(30)는, 편광축 검출기(31), X방향 반송부(32), Y방향 반송부(33) 외에, 후술하는 제어부(34) 및 모니터(35)도 구비하고 있다.In addition, the polarized light irradiating apparatus 100 is provided with the polarization measuring apparatus 30. [ The polarization measurement device 30 includes a polarization axis detector 31 and an X direction transfer section 32 for transferring the polarization axis detector 31 in the X direction along the guide 22 and a polarization axis detector 31 in the Y direction And a Y-direction transporting unit 33 for transporting the Y- The polarization measuring apparatus 30 also includes a control section 34 and a monitor 35 which will be described later, in addition to the polarization axis detector 31, the X direction conveying section 32, and the Y direction conveying section 33.

편광축 검출기(31)는, 광 조사부(10A 및 10B)로부터 조사되는 편광광의 편광축(광 조사면에 있어서의 편광광의 축)을 검출한다.The polarization axis detector 31 detects the polarization axis (the axis of the polarized light on the light irradiation surface) of the polarized light emitted from the light irradiation units 10A and 10B.

X방향 반송부(32)는, 편광축 검출기(31)를 X방향으로 이동시키는 이동 기구이며, 예를 들면, 상술한 반송부(20)와 동일한 구성을 가진다. 즉, 편광축 검출기(31)의 이동 경로는, 광 조사부(10A 및 10B)의 바로 아래를 통과하도록 설계되어 있다. X방향 반송부(32)는, X방향에 있어서, 편광축 검출기(31)를 광 조사부(10A 및 10B)에 의한 편광광의 조사 위치에 반송한다.The X-direction carrying section 32 is a moving mechanism for moving the polarization axis detector 31 in the X direction, and has the same structure as the carrying section 20 described above, for example. That is, the movement path of the polarization axis detector 31 is designed to pass directly under the light irradiation portions 10A and 10B. The X-direction carry section 32 conveys the polarization axis detector 31 to the irradiation position of the polarized light by the light irradiation sections 10A and 10B in the X direction.

Y방향 반송부(33)는, 편광축 검출기(31)를 Y방향으로 이동시키는 이동 기구이다. Y방향 반송부(33)는, 편광축 검출기(31)가 광 조사부(10A 및 10B)에 의한 편광광의 조사 위치에 있는 상태에서, 편광축 검출기(31)를 Y방향(편광자 유닛(13A 및 13B)의 편광자의 배열 방향)으로 이동한다.The Y-direction carry section 33 is a moving mechanism for moving the polarization axis detector 31 in the Y direction. The Y-direction conveying section 33 rotates the polarization axis detector 31 in the Y direction (in the Y direction (the direction of the polarizers 13A and 13B) while the polarization axis detector 31 is at the irradiation position of the polarized light by the light irradiation sections 10A and 10B The arrangement direction of the polarizers).

본 실시 형태에서는, 편광자 유닛(13A 및 13B)의 각 편광자의 바로 아래(각 편광자의 중앙 위치)를, 각각 편광축을 측정하는 위치(이하, 「편광 측정 위치」라고도 한다)로 하고, 편광축 검출기(31)는, 각 편광 측정 위치에 있어서 편광축을 측정하는 것으로 한다.In the present embodiment, the positions directly under the respective polarizers of the polarizers 13A and 13B (the central positions of the respective polarizers) are set as positions for measuring the polarization axes (hereinafter also referred to as " polarization measurement positions "), 31) measure the polarization axes at the respective polarization measurement positions.

이하, 편광축 검출기(31)의 구체적 구성에 대하여, 도 5 및 도 6을 참조하면서 설명한다. 편광축 검출기(31)는, 제1의 편광광 검출부(311)와, 제2의 편광광 검출부(312)를 구비한다. Hereinafter, the specific configuration of the polarization axis detector 31 will be described with reference to Figs. 5 and 6. Fig. The polarization axis detector 31 includes a first polarized light detecting portion 311 and a second polarized light detecting portion 312.

제1의 편광광 검출부(311)는, 편광축을 검출하기 위한 검출용 편광자(이하, 「검광자 」라고도 한다)(311a)와, 검출용 편광자(311a)를 통과한 편광광을 검출하기 위한 제1의 조도 센서(311b)를 구비한다. 제1의 조도 센서(311b)는, 검출용 편광자(311a)를 통과한 편광광을 수광하는 수광부(311c)(도 6)를 구비한다. 수광부(311c)는 지지 부재(311d)에 의해서 편광축 검출기(31)의 케이스에 고정되어 있다.The first polarized light detector 311 includes a detection polarizer 311a for detecting a polarization axis and a detector 311a for detecting polarized light having passed through the detection polarizer 311a 1 illuminance sensor 311b. The first illuminance sensor 311b has a light receiving portion 311c (FIG. 6) that receives polarized light having passed through the detecting polarizer 311a. The light receiving portion 311c is fixed to the case of the polarization axis detector 31 by a supporting member 311d.

도 7은, 제1의 편광광 검출부(311)의 구성을 나타내는 모식도이다. 이 도 7에서는, 제1의 편광광 검출부(311)가 광 조사부(10A)로부터 조사되는 편광광을 검출하는 경우의 구성을 나타내고 있다.Fig. 7 is a schematic diagram showing the configuration of the first polarized light detecting portion 311. Fig. 7 shows a configuration in which the first polarized light detecting portion 311 detects polarized light irradiated from the light irradiating portion 10A.

도 7에 나타내는 바와 같이, 광 조사부(10A)의 방전 램프(11)로부터의 광(방사광(L1))은 편광자 유닛(13A)을 통과하여 직선 편광되고, 이 편광광(L2)이 검출용 편광자(311a)에 입사된다. 수광부(311c)는, 이때 검출용 편광자(311a)를 통과한 광을 검출광(L3)으로서 수광한다.7, the light (emitted light L1) from the discharge lamp 11 of the light irradiating unit 10A passes through the polarizer unit 13A and is linearly polarized, and the polarized light L2 is reflected by the polarizing plate (311a). The light receiving unit 311c receives the light that has passed through the detecting polarizer 311a at this time as the detection light L3.

검출용 편광자(311a)는, 예를 들면 와이어 그리드형 편광 소자이다. 또한, 검출용 편광자(311a)는, 직선 편광자이면 임의의 편광자를 이용할 수 있다.The detecting polarizer 311a is, for example, a wire grid type polarizing element. The detecting polarizer 311a can be any polarizer as long as it is a linear polarizer.

또한, 검출용 편광자(311a)는, 그 법선 방향 S를 회전축으로 하여, 180° 이상의 검출 측정 범위 내에 걸쳐 회전가능하게 구성되어 있다. 검출용 편광자(311a)의 회전은, 미리 설정한 기준 위치(P0)로부터의 회전 각도(θ)에 의해서 규정한다.The detection polarizer 311a is configured to be rotatable within a detection measurement range of 180 degrees or more with its normal direction S as a rotation axis. The rotation of the detection polarizer 311a is defined by the rotation angle [theta] from the preset reference position P0.

검출용 편광자(311a)의 회전 각도(θ)가, 편광자 유닛(13A)을 구성하는 편광자(13Aa)의 투과축(T1)의 방향과 검출용 편광자(311a)의 투과축(T2)의 방향이 일치하는 각도일 때, 수광부(311c)에서 수광하는 광의 조도는 최대가 된다. 또한, 검출용 편광자(311a)의 회전 각도(θ)가, 투과축(T2)이 투과축(T1)에 직교하는 각도일 때, 수광부(311c)에서 수광하는 광의 조도는 최소가 된다.The rotation angle of the detection polarizer 311a is set such that the direction of the transmission axis T1 of the polarizer 13Aa constituting the polarizer unit 13A and the direction of the transmission axis T2 of the detection polarizer 311a are The illuminance of the light received by the light receiving portion 311c becomes maximum when the angle is the same. The illuminance of the light received by the light receiving section 311c is minimized when the rotation angle [theta] of the detection polarizer 311a is an angle at which the transmission axis T2 is orthogonal to the transmission axis T1.

즉, 수광부(311c)가 수광하는 광의 조도는, 검출용 편광자(311a)의 회전 각도에 따라 주기적으로 변동한다. 따라서, 검출용 편광자(311a)를 회전시키면서 수광부(311c)가 수광하는 광의 조도를 감시함으로써, 광 조사부(10A, 10B)로부터 조사되는 편광광의 편광축 각도를 측정할 수 있다.That is, the illuminance of the light received by the light receiving unit 311c changes periodically in accordance with the rotation angle of the detecting polarizer 311a. Therefore, by monitoring the illuminance of the light received by the light receiving section 311c while rotating the detecting polarizer 311a, it is possible to measure the angle of polarization axis of the polarized light emitted from the light irradiating sections 10A and 10B.

검출용 편광자(311a)를 회전 가능하게 구성하기 위해서, 제1의 편광광 검출부(311)는, 검출용 편광자(311a)를 회전하기 위한 회전 기구를 구비한다. 해당 회전 기구는, 예를 들면, 도 5 및 도 6에 나타내는 로터리 액츄에이터(311e)와, 로터리 액츄에이터(311e)에 고정된 회전자(311f)를 구비한다.In order to make the detecting polarizer 311a rotatable, the first polarized light detecting portion 311 has a rotating mechanism for rotating the detecting polarizer 311a. The rotation mechanism includes, for example, a rotary actuator 311e shown in Figs. 5 and 6 and a rotor 311f fixed to the rotary actuator 311e.

로터리 액추에이터(311e)는, 후술하는 제어부(34)에 의해서 구동 제어된다. 검출용 편광자(311a)는 회전자(311f)에 고정되어 있고, 제어부(34)가, 로터리 액추에이터(311e)를 구동 제어하여 회전자(311f)를 회전시킴으로써, 검출용 편광자(311a)가 회전한다. 이에 따라, 검출용 편광자(311a)와 제1의 조도 센서(311b)(수광부(311c))가 상대적으로 회전한다.The rotary actuator 311e is driven and controlled by a control unit 34, which will be described later. The detection polarizer 311a is fixed to the rotor 311f and the control unit 34 drives the rotary actuator 311e to rotate the rotor 311f so that the detection polarizer 311a rotates . As a result, the detecting polarizer 311a and the first illuminance sensor 311b (light receiving section 311c) rotate relatively.

또한, 도 6에 나타내는 바와 같이, 제1의 조도 센서(311b)는, 수광부(311c)로의 입사광을 제한하는 개구부(311g)를 가진다. 개구부(311g)는, 광 조사부(10A, 10B)의 편광자 유닛(13A, 13B)이 비스듬히 입사하는 광도 통과시켜 편광광을 생성하는 것에 맞추어, 이들 비스듬한 입사 성분에 의한 편광광을 집어넣도록, 입사각이 예를 들면 0°~65° 범위의 편광광을 수광부(311c)에 입사하는 형상으로 되어 있다.As shown in Fig. 6, the first illuminance sensor 311b has an opening 311g for limiting the incident light to the light receiving portion 311c. The openings 311g are formed so that the polarizer units 13A and 13B of the light irradiating units 10A and 10B pass light incident at an angle and generate polarized light, For example, the polarized light in the range of 0 DEG to 65 DEG enters the light-receiving portion 311c.

또한, 제1의 편광광 검출부(311)는, 제1의 조도 센서(311b)를 냉각하기 위한 냉각 기구를 구비한다. 해당 냉각 기구는, 예를 들면 공냉 방식에 의한 것이며, 외부로부터 냉기를 집어넣는 냉기 공급부(311h)를 구비한다.The first polarized light detecting portion 311 is provided with a cooling mechanism for cooling the first illuminance sensor 311b. The cooling mechanism is, for example, an air cooling type, and has a cold air supply portion 311h for inserting cold air from the outside.

또한, 냉각 기구는, 수냉 방식에 의한 것을 채용할 수도 있다. 다만, 수냉 밸브가 파손된 경우의 영향 등을 감안하면, 공냉 방식을 채용하는 것이 바람직하다.The cooling mechanism may be a water-cooling type. However, considering the influence of the water-cooled valve being damaged, it is preferable to adopt the air-cooling system.

또한, 제2의 편광광 검출부(312)는, 제1의 편광광 검출부(311)에 있어서 검출용 편광자(311a)와, 이 검출용 편광자(311a)를 회전시키기 위한 회전 기구를 구비하지 않는 것을 제외하고는, 제1의 편광광 검출부(311)와 동일한 구성을 가진다.The second polarized light detecting section 312 includes a detecting polarizer 311a and a rotating mechanism for rotating the detecting polarizer 311a in the first polarized light detecting section 311 And has the same configuration as that of the first polarized light detecting portion 311 except for the first polarized light detecting portion 311.

즉, 제2의 편광광 검출부(312)는, 도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 광 조사부(10A, 10B)로부터의 편광광을 그대로 입사하고, 해당 편광광의 조도를 검출하는 제2의 조도 센서(312a)를 구비한다. 제2의 조도 센서(312a)는, 광 조사부(10A, 10B)로부터의 편광광을 직접 수광하는 수광부(312b)(도 6)를 구비한다.5 and 6, the second polarized light detecting unit 312 detects the polarized light from the light irradiating units 10A and 10B as it is and detects the illuminance of the polarized light as it is, And a sensor 312a. The second illuminance sensor 312a has a light receiving section 312b (FIG. 6) that directly receives polarized light from the light irradiating sections 10A and 10B.

제2의 조도 센서(312a)는, 지지 부재(312c)에 의해서, 수광부(312b)의 높이 위치가 제1의 조도 센서(311b)의 수광부(311c)의 높이 위치와 동등해지도록 지지되어 있다. 지지 부재(312c)는, 편광광 검출기(31)의 케이스에 고정되어 있다.The second illuminance sensor 312a is supported such that the height position of the light receiving section 312b is equal to the height position of the light receiving section 311c of the first illuminance sensor 311b by the support member 312c. The support member 312c is fixed to the case of the polarized light detector 31. [

또한, 도 6에 나타내는 바와 같이, 제2의 조도 센서(312a)는, 수광부(312b)로의 입사광을 제한하는 개구부(312d)를 가진다. 개구부(312d)는, 상술한 개구부(311f)와 마찬가지로, 입사각이 예를 들면 0°~65° 범위의 편광광을 수광부(312b)에 입사하는 형상으로 되어 있다.6, the second illuminance sensor 312a has an opening 312d for limiting the incident light to the light-receiving portion 312b. Like the opening 311f described above, the opening 312d has such a shape that the incident light enters the light-receiving portion 312b with the polarized light in the range of, for example, 0 to 65 degrees.

또한, 제2의 편광광 검출부(312)는, 제2의 조도 센서(312a)를 냉각하기 위한 냉각 기구를 구비한다. 해당 냉각 기구는, 예를 들면 공냉 방식에 의한 것이며, 외부로부터 냉기를 집어넣는 냉기 공급부(312e)를 구비한다.The second polarized light detecting unit 312 includes a cooling mechanism for cooling the second illuminance sensor 312a. The cooling mechanism is, for example, an air cooling type, and has a cool air supply portion 312e for inserting cool air from the outside.

또한, 냉각 기구는 수냉 방식에 의한 것을 채용할 수도 있다. 다만, 수냉 밸브가 파손된 경우의 영향 등을 감안하면, 공냉 방식을 채용하는 것이 바람직하다.The cooling mechanism may be a water-cooling type. However, considering the influence of the water-cooled valve being damaged, it is preferable to adopt the air-cooling system.

제2의 조도 센서(312a)는, 제1의 조도 센서(311b)와 동일한 파장역에 감도를 가지는 것임이 바람직하다. 다만, 방전 램프(11)의 방사광을 동시에 검출할 수 있으면, 상이한 파장역에 감도를 가지는 것이어도 된다. The second illuminance sensor 312a preferably has sensitivity in the same wavelength range as that of the first illuminance sensor 311b. However, as long as the radiation of the discharge lamp 11 can be detected at the same time, it may have sensitivity to different wavelength regions.

구체적으로는, 제1의 조도 센서(311b) 및 제2의 조도 센서(312a)는, 예를 들면 200nm~400nm의 파장역에 감도를 가지는 것임이 바람직하다. 보다 구체적으로는, 제1의 조도 센서(311b) 및 제2의 조도 센서(312a)는, 예를 들면, 파장 254nm, 313nm, 365nm의 조도가 측정하기 쉬운 것이 바람직하다.Specifically, it is preferable that the first roughness sensor 311b and the second roughness sensor 312a have sensitivity in a wavelength range of, for example, 200 nm to 400 nm. More specifically, it is preferable that the first roughness sensor 311b and the second roughness sensor 312a can easily measure the illuminance of, for example, wavelengths of 254 nm, 313 nm and 365 nm.

또한, 제1의 조도 센서(311b)의 수광부(311c)와 제2의 조도 센서(312a)의 수광부(312b)는, 방전 램프(11)의 관축 방향(길이 방향)을 따라서 병설된다. 방전 램프(11)의 관축 방향은, 편광축 검출기(31)를 이동시키는 Y방향과 동일한 방향이다.The light receiving portion 311c of the first illuminance sensor 311b and the light receiving portion 312b of the second illuminance sensor 312a are juxtaposed along the tube axis direction (longitudinal direction) of the discharge lamp 11. The tube axis direction of the discharge lamp 11 is the same as the Y direction in which the polarization axis detector 31 is moved.

이는, 방전 램프(11)로부터 방사되는 광은, 관경 방향에서는 조도 변화가 크고, 관축 방향에서는 조도 변화가 작기 때문이다. 이와 같이, 수광부(311c)와 수광부(312b)를 방전 램프(11)의 관축 방향(길이 방향)을 따라서 병설함으로써, 제1의 조도 센서(311b)와 제2의 조도 센서(312a)가 검출하는 광의 조도의 차를 줄일 수 있다. This is because the light radiated from the discharge lamp 11 has a large change in illuminance in the radial direction and a small change in illuminance in the tube axis direction. In this way, the first light intensity sensor 311b and the second light intensity sensor 312a detect the light intensity of the light emitted from the light source 311c and the light receiver 312b along the tube axis direction (longitudinal direction) of the discharge lamp 11 The difference in light intensity can be reduced.

또한, 제1의 편광광 검출부(311) 및 제2의 편광광 검출부(312)가, 각각 수광부를 냉각하기 위한 냉각 기구를 가지는 경우에 대하여 설명했는데, 방전 램프(11)로부터 방사되는 열은, Y방향 반송부(32) 등을 통하여 편광축 검출부(31)의 하측으로부터도 전달된다. 이 때문에, 편광축 검출부(31)의 케이스의 저부에 단열 부재를 설치하거나, 회전 기구를 부상시켜도 된다.The first polarized light detecting section 311 and the second polarized light detecting section 312 each have a cooling mechanism for cooling the light receiving section. The heat radiated from the discharge lamp 11 is, Direction conveying section 32, and the like, as well as from the lower side of the polarization axis detecting section 31. Therefore, a heat insulating member may be provided at the bottom of the case of the polarization axis detecting section 31, or the rotating mechanism may be floated.

다음에, 편광 측정 장치(30)를 구성하는 제어부(34)에 대하여 설명한다.Next, the control unit 34 constituting the polarization measurement device 30 will be described.

도 8은, 편광 측정 장치(30)의 구성을 나타내는 블록도이다.Fig. 8 is a block diagram showing the configuration of the polarization measurement device 30. As shown in Fig.

상술한 것처럼, 편광 측정 장치(30)는, 편광축 검출기(31), X방향 반송부(32), Y방향 반송부(33), 제어부(34) 및 모니터(35)를 구비한다.As described above, the polarization measurement device 30 includes a polarization axis detector 31, an X-direction transfer section 32, a Y-direction transfer section 33, a control section 34, and a monitor 35. [

제어부(34)는, 회전자 제어부(34a)와, 입력 신호 변환부(34b)와, 편광 특성 연산부(34c)와, 화상 표시부(34d)와, 반송 제어부(34e)를 구비한다.The control unit 34 includes a rotor control unit 34a, an input signal conversion unit 34b, a polarization characteristic calculation unit 34c, an image display unit 34d, and a transport control unit 34e.

회전자 제어부(34a)는, 제1의 편광광 검출부(311)에 대하여 로터리 액추에이터(311d)를 구동 제어하기 위한 구동 지령을 출력한다. 본 실시 형태에서는, 각 편광 측정 위치에 있어서, 검광자(311a)를 미리 설정한 회전 각도 범위 θ1≤θ≤θ2 내에서 복수의 지정 각도로 회전하고, 각 지정 각도로 제1의 조도 센서(311b)가 편광광을 측정한다. 회전 각도 범위는, 제1의 조도 센서(311b)가 검출하는 편광광의 조도가 최소가 되는 검광자(311a)의 각도(설정 기준치 θa)를 넘어, 예를 들면 ±20°의 범위로 설정한다.The rotor control unit 34a outputs a drive command for driving and controlling the rotary actuator 311d to the first polarized light detecting unit 311. [ In the present embodiment, at each of the polarization measurement positions, the analyzer 311a is rotated at a plurality of specified angles within a preset rotation angle range? 1???? 2, and the first light intensity sensor 311b ) Measures the polarized light. The rotation angle range is set within a range of, for example, 20 deg., Beyond the angle (setting reference value [theta] a) of the analyzer 311a at which the illuminance of the polarized light detected by the first illuminance sensor 311b is minimized.

예를 들면, 설정 기준치 θa가 120°로 설정되어 있는 경우에는, 회전 각도 범위는 100°≤θ≤140°가 된다.For example, when the setting reference value? A is set to 120 °, the rotation angle range is 100 °??? 140 °.

또한, 본 실시 형태에서는, 상기 회전 각도 범위에 있어서, 예를 들면, θ=θa를 제외하고 10°씩 편광광을 측정하는 각도 위치를 설정한다. 즉, 회전 각도 범위가 100°≤θ≤140°인 경우,θ＝θ1＝100°, θ＝110°,θ＝130°, θ＝θ2＝140°에서 편광광을 측정한다. 회전자 제어부(34a)는, 검광자(311a)를 상기 4개의 각도 위치 중 어느 하나로 하기 위해서, 로터리 액츄에이터(311d)에 대하여 구동 지령을 출력한다.In this embodiment, in the rotation angle range, for example, an angular position for measuring the polarized light by 10 degrees is set except for? =? A. That is, when the rotation angle range is 100 °??? 140 °, the polarized light is measured at θ = θ1 = 100 °, θ = 110 °, θ = 130 ° and θ = θ2 = 140 °. The rotor control unit 34a outputs a drive command to the rotary actuator 311d in order to make the analyzer 311a one of the four angular positions.

입력 신호 변환부(34b)는, 제1의 조도 센서(311b)가 검출한 조도 정보인 검출 조도치(조도 카운트치)(Cd), 및 제2의 조도 센서(312a)가 검출한 조도 정보인 참조 조도치(조도 카운트치)(Cr)를 입력하고, 이들의 검출 신호를 증폭하여 편광 특성 연산부(34c)에 출력한다.The input signal converting section 34b converts the detected roughness value (roughness count value) Cd, which is the roughness information detected by the first roughness sensor 311b, and the roughness information detected by the second roughness sensor 312a (Illuminance count value) Cr, amplifies these detection signals, and outputs the amplified detection signals to the polarization characteristic calculation section 34c.

여기서, 제1의 조도 센서(311b)와 제2의 조도 센서(312a)는, 동일한 타이밍에서 수광광의 조도를 검출하는 것이며, 입력 신호 변환부(34b)는, 2개의 센서에서 동시에 검출된 2개의 검출 신호를 입력하도록 구성되어 있다.Here, the first illuminance sensor 311b and the second illuminance sensor 312a detect illuminance of the received light at the same timing, and the input signal converting section 34b detects the illuminance of 2 The detection signals are input.

편광 특성 연산부(34c)는, 입력 신호 변환부(34b)로부터 입력된 조도 정보에 의거하여, 광 조사부(10A, 10B)로부터 조사되는 편광광의 편광 특성을 연산한다. 본 실시 형태에서는, 편광 특성 연산부(34c)는, 상기 편광 특성으로서 편광축 각도와 소광비를 측정한다.The polarization characteristic calculation unit 34c calculates the polarization characteristics of the polarized light emitted from the light irradiation units 10A and 10B based on the illumination information input from the input signal conversion unit 34b. In this embodiment, the polarization characteristic calculator 34c measures the polarization axis angle and the extinction ratio as the polarization characteristics.

화상 표시부(34d)는, 편광 특성 연산부(34c)에서 연산한 편광 특성을 모니터(35)에 출력한다.The image display unit 34d outputs the polarization characteristic calculated by the polarization characteristic calculation unit 34c to the monitor 35. [

반송 제어부(34e)는, X방향 반송부(32) 및 Y방향 반송부(33)를 구동 제어하고, 편광축 검출기(31)를 XY 방향으로 이동하여 소정의 편광 측정 위치로 이동한다.The transport control section 34e drives and controls the X-direction transport section 32 and the Y-direction transport section 33 to move the polarization axis detector 31 in the X and Y directions to move to the predetermined polarization measurement position.

제어부(34) 및 모니터(35)는, 방전 램프(11)로부터 방사되는 자외광의 영향(주로 열의 영향)을 받지 않도록, 편광축 검출기(31), X 방향 반송부(32) 및 Y 방향 반송부(33)와는 떨어진 위치에 설치되어 있다. 제어부(34)는, 편광축 검출기(31)로의 구동 지령의 출력이나 편광축 검출기(31)로부터의 검출 신호의 취득 등을, 도시하지 않은 케이블을 통하여 행한다.The control unit 34 and the monitor 35 are connected to the polarization axis detector 31, the X-direction transport unit 32 and the Y-direction transport unit 32 so as not to be affected by the influence of ultraviolet light (33). The control unit 34 outputs the drive command to the polarization axis detector 31 and the detection signal from the polarization axis detector 31 through a cable (not shown).

도 9는, 제어부(34)에서 실행하는 편광 측정 처리 순서의 일례를 나타내는 플로우차트이다. 이 편광 측정 처리는, 소정의 편광 측정 위치에 있어서의 편광광의 측정 순서를 나타내는 것이다. 9 is a flowchart showing an example of a polarization measurement processing procedure executed by the control unit 34. In Fig. This polarized light measurement processing shows a measurement order of the polarized light at a predetermined polarized measurement position.

먼저 단계 S1에서, 제어부(34)는, 회전자 제어부(34a)로부터 로터리 액츄에이터(311d)에 대하여 구동 지령을 출력하여, 검광자(311a)를 지정 각도까지 회전한다. 여기서, 지정 각도의 초기치는 θ=θ1로 한다.First, in step S1, the control unit 34 outputs a drive command to the rotary actuator 311d from the rotor control unit 34a, and rotates the analyzer 311a to a specified angle. Here, the initial value of the designated angle is θ = θ1.

다음에 단계 S2에서, 제어부(34)는, 제1의 조도 센서(311b)로부터 검출 조도치(Cd), 제2의 조도 센서(312a)로부터 참조 조도치(Cr)를 취득하여, 단계 S3으로 이행한다.Next, in step S2, the control unit 34 acquires the reference roughness value Cr from the first roughness sensor 311b and the detection roughness value Cd from the second roughness sensor 312a, and proceeds to step S3 .

단계 S3에서는, 상기 단계 S2에서 취득한 검출 조도치(Cd)로 참조 조도치(Cr)를 나누어, 보정 후 조도치(Cc)를 산출한다(Cc＝Cr/Cd). 이 보정 후 조도치(Cc)는, 검출 조도치(Cd)에 포함되는 방전 램프(11)로부터의 광의 시간마다의 조도 변동에 의한 오차를, 참조 조도치(Cr)로 보정한 것이다.In step S3, the reference roughness value Cr is divided by the detected roughness value Cd obtained in step S2 to calculate the corrected roughness value Cc (Cc = Cr / Cd). The post-correction roughness Cc is obtained by correcting the error caused by the variation in illuminance of the light from the discharge lamp 11 included in the detected roughness value Cd with respect to time by the reference roughness value Cr.

다음에 단계 S4에서, 제어부(34)는, 미리 설정한 모든 각도 위치에서 조도 측정이 완료되었는지 여부를 판정한다. 그리고 조도 측정이 완료하지 않았다고 판단한 경우에는, 지정 각도를 새롭게 설정하여 상기 단계 S1로 이행하고, 조도 측정이 완료했다고 판단한 경우에는 단계 S5로 이행한다.Next, in step S4, the control unit 34 determines whether or not illumination measurement is completed at all preset angular positions. If it is determined that the illumination measurement has not been completed, the designated angle is newly set and the process moves to step S1. When it is determined that the illumination measurement is completed, the process moves to step S5.

단계 S5에서, 제어부(34)는, 상기 단계 S3에서 산출한 각 각도 위치에 있어서의 보정 후 조도치(Cc)에 의거하여, 편광광의 편광축을 산출한다.In step S5, the control unit 34 calculates the polarization axis of the polarized light based on the post-correction roughness value Cc at each angular position calculated in step S3.

본 실시 형태에서는, 각 보정 후 조도치(Cc)를 기초로 커브 피팅을 행하여, 검광자(311a)의 회전 각도와 보정 후 조도치(Cc)의 관계를 나타내는 편광광 각도 특성(이하, 간단히 「각도 특성」이라고도 한다)을 구한다. 이 편광광 각도 특성은, 검광자(311a)를 회전시켰을 때의 검광자(311a)를 통과한 편광광 조도의 주기적인 변화를 나타내는 것이며, 상술한 조도 변동에 의한 오차가 보정된 적절한 특성이다. 그리고 구한 각도 특성으로부터 편광축 각도를 산출한다.In this embodiment, curve fitting is performed on the basis of the post-correction roughness values Cc to determine a polarized light angle characteristic (hereinafter simply referred to as "Quot; angle characteristic "). This polarized light angle characteristic indicates a periodic change in the polarized light intensity that has passed through the analyzer 311a when the analyzer 311a is rotated, and is an appropriate characteristic in which the error due to the above-described fluctuation in the illuminance is corrected. Then, the angle of the polarization axis is calculated from the obtained angle characteristics.

여기서는, 피팅 함수로서, 예를 들면 Acos2(θ＋B)＋C의 함수를 이용한다. 또한, 피팅 함수로는, 다른 함수를 이용할 수도 있다.Here, as a fitting function, for example, a function of Acos 2 (? + B) + C is used. Further, another function may be used as the fitting function.

도 10은, 상기 각도 특성의 일례를 나타내는 도면이다. 여기서, 편광광을 측정하는 각도 위치는 θ＝120°±10°, θ＝120°±20°의 4점으로 하고 있다.10 is a diagram showing an example of the angle characteristic. Here, the angular position at which the polarized light is measured has four points of? = 120 占 占 and? = 120 占 占 占.

이 도 10에 있어서, 세로축은 모니터 조도 카운트치［%］, 가로축은 검광자(311a)의 회전 각도 θ［도］이다. 도면 중 파선은 참조 조도치(Cr)이며, 점 a~d는, 각 각도 위치에서 산출한 보정 후 조도치(Cc)를 플롯한 것이다. 또한, 곡선 F는, 이들 4개의 측정점(a~d)의 값을 기초로, 최소 이승법 및 뉴턴법에 의해 커브 피팅을 행하여 정수 A, B, C를 구함으로써 얻어진 곡선이며, 상기 편광광 각도 특성에 상당한다.10, the ordinate axis indicates the monitor illuminance count value [%] and the abscissa axis indicates the rotation angle [theta] of the analyzer 311a. The dashed line in the figure is the reference roughness value (Cr), and the points a to d are obtained by plotting the corrected roughness value Cc calculated at each angular position. The curve F is a curve obtained by performing curve fitting based on the values of these four measurement points (a to d) by the minimum likelihood method and the Newton method to obtain constants A, B and C, .

이 각도 특성(F)에 있어서, 모니터 조도 카운트치가 최소가 되는 각도가, 검광자(311a)의 투과축이 편광자(13Aa)(또는 13Ba)의 투과축과 실제로 직교하는 검광자(311a)의 회전 각도이다. 또한, 모니터 조도 카운트치가 최소가 되는 각도로부터 90°를 뺀 각도가, 모니터 조도 카운트치가 최대가 되는 각도이며, 검광자(311a)의 투과축이 편광자(13Aa)(또는 13Ba)의 투과축과 실제로 일치하는 검광자(311a)의 회전 각도이다.In this angular characteristic F, the angle at which the monitor illuminance count value becomes minimum is determined by the rotation of the analyzer 311a whose transmission axis of the analyzer 311a is orthogonal to the transmission axis of the polarizer 13Aa (or 13Ba) It is an angle. The angle obtained by subtracting 90 DEG from the angle at which the monitor illuminance count value becomes the minimum is an angle at which the monitor illuminance count value becomes the maximum and the transmission axis of the analyzer 311a is substantially equal to the transmission axis of the polarizer 13Aa Is the rotation angle of the matching analyzer 311a.

여기서, 모니터 조도 카운트치가 최소가 되는 각도는, 상술한 커브 피팅에 의해 구한 파라미터(B)이며, 설정 기준치(θa)에 대하여 소정의 어긋남각(θb)을 포함하는 것이 된다(B＝θa＋θb). 여기서, 제어부(34)는, 각도(θa＋θb)를 기초로, 실제의 편광축 각도(편광자(13Aa, 13Ba)의 투과축의 방향)를 출력한다.Here, the angle at which the monitor illuminance count value becomes minimum is the parameter B obtained by the curve fitting described above, and includes a predetermined deviation angle? B with respect to the setting reference value? A (B =? A +? B). Here, the control unit 34 outputs the actual polarization axis angle (the direction of the transmission axis of the polarizers 13Aa and 13Ba) based on the angle? A +? B.

검광자(311a)의 회전 각도는, 상술한 것처럼, 기준 위치(PO)에 대한 각도(θ)에 의해서 규정되어 있다. 여기서, 편광축 각도가, 검광자(311a)와 마찬가지로 기준 위치(P0)에 대한 각도에 의해서 규정되어 있는 경우에는, 제어부(34)는, 각도(θa＋θb)로부터 90°를 뺀 각도를 실제의 편광축 각도로서 출력한다. 또한, 편광축 각도가, 기준 위치(P0)로부터 90° 어긋난 위치에 대한 각도에 의해서 규정되어 있는 경우에는, 제어부(34)는, 각도(θa＋θb)를 그대로 실제의 편광축 각도로서 출력한다.The rotation angle of the analyzer 311a is defined by the angle? With respect to the reference position PO as described above. Here, when the angle of the polarization axis is defined by the angle with respect to the reference position P0 in the same manner as the analyzer 311a, the control unit 34 sets the angle obtained by subtracting 90 degrees from the angle? A + . Further, when the angle of the polarization axis is defined by the angle with respect to the position shifted by 90 from the reference position P0, the control section 34 outputs the angle? A +? B as it is as the actual polarization axis angle.

다음에 단계 S6에서, 제어부(34)는, 상기 단계 S5에서 산출한, 모니터 조도 카운트치가 최소가 되는 각도(θa＋θb)까지 검광자(311a)를 회전하여, 단계 S7로 이행한다.Next, in step S6, the control unit 34 rotates the analyzer 311a to the angle (? A +? B) calculated in step S5 to minimize the monitor illuminance count value, and the process proceeds to step S7.

단계 S7에서는, 제어부(34)는, 제1의 조도 센서(311b)로부터 검출 조도치(Cd)를 취득하고(도 10의 측정점 e), 이를 편광광의 최소 조도로서 단계 S8로 이행한다.In step S7, the control unit 34 acquires the detection roughness value Cd from the first roughness sensor 311b (measurement point e in Fig. 10) and shifts it to step S8 as the minimum roughness of the polarized light.

단계 S8에서는, 제어부(34)는, 상기 단계 S5에서 산출한, 모니터 조도 카운트치가 최소가 되는 각도(θa＋θb－90°)까지 검광자(311a)를 회전하여, 단계 S9로 이행한다.In step S8, the control unit 34 rotates the analyzer 311a to the angle (? A +? B-90) at which the monitor illuminance count value calculated in step S5 becomes the minimum, and shifts to step S9.

단계 S9에서는, 제어부(34)는, 제1의 조도 센서(311b)로부터 검출 조도치(Cd)를 취득하고(도 10의 측정점 f), 이를 편광광의 최대 조도로서 단계 S10로 이행한다.In step S9, the control unit 34 acquires the detection roughness value Cd from the first roughness sensor 311b (measurement point f in FIG. 10) and shifts it to step S10 as the maximum roughness of the polarized light.

단계 S10에서는, 제어부(34)는, 상기 단계 S7에서 취득한 최소 조도와, 상기 단계 S9에서 취득한 최대 조도의 비(최대 조도/최소 조도)에 의거하여 소광비를 산출한다.In step S10, the controller 34 calculates the extinction ratio based on the ratio of the minimum illuminance acquired in step S7 to the maximum illuminance acquired in step S9 (maximum illuminance / minimum illuminance).

단계 S11에서는, 제어부(34)는, 화상 표시부(34d)로부터 모니터(35)에 대하여, 상기 단계 S5에서 연산한 편광축 각도와 상기 단계 S10에서 연산한 소광비를 출력한다. 이에 따라, 모니터(35)에 편광 특성의 측정 결과가 표시된다.In step S11, the control unit 34 outputs, to the monitor 35 from the image display unit 34d, the angle of the polarization axis calculated in step S5 and the extinction ratio calculated in step S10. Thus, the result of measurement of the polarization characteristic is displayed on the monitor 35. Fig.

또한, 도 9의 단계 S1~S4가 회전 제어부에 대응하여, 단계 S5~S10이 편광 특성 연산부에 대응하고 있다. 또한, 단계 S5가 편광축 각도 연산부에 대응하고, 단계 S6~S10이 소광비 연산부에 대응하고 있다.Steps S 1 to S 4 in FIG. 9 correspond to the rotation control unit, and steps S 5 to S 10 correspond to the polarization characteristic calculation unit. Step S5 corresponds to the polarization axis angle calculation unit, and steps S6 to S10 correspond to the extinction ratio calculation unit.

다음에, 본 실시 형태의 동작 및 효과에 대하여 설명한다. Next, the operation and effects of the present embodiment will be described.

먼저, 제어부(34)는, X방향 반송부(32) 및 Y방향 반송부(33)를 구동 제어하고, 편광광 검출기(31)를, 편광자 유닛(13A)의 복수의 편광자(13Aa) 중 Y방향의 최단에 위치하는 편광자(13Aa)의 바로 아래에 배치한다. 이와 같이, 제어부(34)는, 편광광 검출기(31)를, 편광 특성의 측정 대상인 편광자(13Aa)를 통과한 편광광의 조사 영역에 배치한다.First, the control unit 34 drives and controls the X-direction carry unit 32 and the Y-direction carry unit 33 to drive the polarized light detector 31 to move the polarizing plate 13A in the Y Direction of the polarizer 13Aa. In this way, the control unit 34 places the polarized light detector 31 in the irradiation region of the polarized light that has passed through the polarizer 13Aa, which is the measurement target of the polarization property.

설정 기준치 θa＝120°인 경우, 검광자(311a)가 θ＝120°일 때, 제1의 조도 센서(311b)가 검출하는 편광광의 조도가 최소가 될 것이다. 이 때문에, 처음에, 제어부(34)는, 로터리 액추에이터(311d)를 구동 제어하고, 검광자(311a)를 θ＝θa－20°＝100°가 되도록 회전한다.When the setting reference value θa is 120 °, the illuminance of the polarized light detected by the first illuminance sensor 311b will be minimum when the analyzer 311a is at θ = 120 °. Therefore, at first, the control unit 34 drives and controls the rotary actuator 311d and rotates the analyzer 311a so that? =? A-20 占 = 100 占.

그리고 이 상태에서, 제1의 조도 센서(311b)와 제2의 조도 센서(312a)에서, 동시에 편광광의 조도를 측정하고, 제어부(34)는 이들 2개의 센서에서 측정한 조도 정보를 취득한다. 즉, 제어부(34)는, 제1의 조도 센서(311b)로부터, 검광자(311a)를 통과한 편광광의 조도 정보인 검출 조도치(Cd)를 취득하고, 제2의 조도 센서(312a)로부터, 검광자(311a)를 통과하지 않는 편광광의 조도 정보인 참조 조도치(Cr)를 취득한다.In this state, the illuminance of the polarized light is measured simultaneously by the first illuminance sensor 311b and the second illuminance sensor 312a, and the controller 34 acquires the illuminance information measured by these two sensors. That is, the control unit 34 acquires, from the first roughness sensor 311b, the detected roughness value Cd, which is the roughness information of the polarized light having passed through the analyzer 311a, , And acquires a reference roughness value Cr which is roughness information of the polarized light not passing through the analyzer 311a.

다음에, 제어부(34)는, 로터리 액추에이터(311d)를 구동 제어하고, 검광자(311a)를 θ＝100°의 위치로부터 θ＝110°가 되도록 회전한다. 그리고 이 위치에서, 제어부(34)는, 제1의 조도 센서(311b)와 제2의 조도 센서(312a)로 측정한 검출 조도치(Cd)와 참조 조도치(Cr)를 취득한다.Next, the control unit 34 drives and controls the rotary actuator 311d and rotates the analyzer 311a so that? = 110 占 from? = 100 占. At this position, the control unit 34 acquires the detection roughness value Cd and the reference roughness value Cr measured by the first roughness sensor 311b and the second roughness sensor 312a.

그 후는, 제어부(34)는, 검광자(311a)를 θ＝130°와 θ＝140°로 각각 회전하고, 동일하게 제1의 조도 센서(311b)와 제2의 조도 센서(312a)로 측정한 검출 조도치(Cd)와 참조 조도치(Cr)를 취득한다.Thereafter, the control unit 34 rotates the analyzer 311a at? = 130 ° and? = 140 °, respectively, and rotates the first illuminance sensor 311b and the second illuminance sensor 312a And obtains the measured detection roughness value Cd and reference roughness value Cr.

그리고 제어부(34)는, 각 각도 위치에서 얻어진 검출 조도치(Cd)와 참조 조도치(Cr)에 의거하여, 도 10에 나타내는 각도 특성을 산출한다.Then, the control unit 34 calculates the angle characteristics shown in Fig. 10 based on the detected roughness value Cd obtained at each angular position and the reference roughness value Cr.

검출 조도치(Cd)는, 검광자(311a)를 통과한 편광광의 조도치이므로, 편광자(13Aa)의 투과축과 검광자(311a)의 투과축이 이루는 각에 따라 값이 변동한다. 따라서, 검광자(311a)의 회전 각도(θ)를 변화시키면서 검출 조도치(Cd)의 변동을 감시함으로써, 검광자(311a)의 회전 각도와 검광자(311a)를 통과한 편광광의 조도 정보의 관계를 나타내는 각도 특성을 산출할 수 있다.The value of the detection roughness value Cd varies depending on the angle formed by the transmission axis of the polarizer 13Aa and the transmission axis of the analyzer 311a since it is the roughness value of the polarized light that has passed through the analyzer 311a. Therefore, by monitoring the fluctuation of the detection roughness value Cd while changing the rotation angle [theta] of the analyzer 311a, it is possible to detect the fluctuation of the rotation angle of the analyzer 311a and the roughness information of the polarized light passing through the analyzer 311a It is possible to calculate the angle characteristic indicating the relationship.

그러나 광원인 방전 램프(11)는, 아크의 흔들림에 의해 광량이 시시 각각으로 변화하고 있어, 검광자(311a)의 회전 각도(θ)가 변화하고 있는 동안에 방전 램프(11)로부터의 방사광의 광량이 변화한다고 하는 현상이 생긴다.However, in the discharge lamp 11 as a light source, the quantity of light changes by each time due to the fluctuation of the arc, and while the rotational angle [theta] of the analyzer 311a is changing, the quantity of emitted light from the discharge lamp 11 There is a phenomenon that the change occurs.

이 때문에, 이 방전 램프의 아크의 흔들림을 고려하지 않고, 검출 조도치(Cd)를 그대로 이용하여 각도 특성을 산출하면, 방전 램프(11)로부터 조사되는 광의 시간마다의 조도 변동에 의한 오차를 포함한 각도 특성이 산출되어 버려, 편광 측정 정밀도가 현저하게 저하한다.Therefore, when the angular characteristic is calculated using the detected roughness value Cd as it is without considering the fluctuation of the arc of the discharge lamp, the error caused by the fluctuation of the luminance of the light emitted from the discharge lamp 11 The angular characteristic is calculated, and the polarization measurement precision remarkably decreases.

여기서, 본 실시 형태에서는, 제1의 조도 센서(311b)에서 검광자(311a)를 통한 광 조사부로부터의 편광광의 조도를 측정하고, 이에 동기하여, 제2의 조도 센서(312a)에서 검광자(311a)를 통하지 않은 광 조사부로부터의 편광광의 조도를 측정한다. 즉, 양자에서 동일한 아크의 흔들림을 봄으로써, 제2의 조도 센서(312a)에서 얻어진 참조 조도치(Cr)를, 제1의 조도 센서(311b)에서 얻어진 검출 조도치(Cd)의 기준치로서 이용하도록 한다.Here, in the present embodiment, the illuminance of the polarized light from the light irradiating unit through the analyzer 311a is measured by the first illuminance sensor 311b, and the illuminance of the polarized light from the second illuminance sensor 312a is measured The illuminance of the polarized light from the light irradiating unit not passing through the light emitting units 311a is measured. The reference roughness value Cr obtained by the second roughness sensor 312a is used as a reference value of the detected roughness value Cd obtained by the first roughness sensor 311b .

제어부(34)는, 제1의 조도 센서(311b)로부터 얻어진 검출 조도치(Cd)를, 제2의 조도 센서(312a)로부터 얻어진 참조 조도치(Cr)로 나눔으로써, 검출 조도치(Cd)에 포함되는 아크의 흔들림에 기인하는 조도 변동에 의한 오차를 보정한다. 그리고 보정 후의 조도치(보정 후 조도치(Cc))를 기초로 커브 피팅의 수법을 이용해 도 10에 나타내는 각도 특성(F)을 산출한다.The control unit 34 divides the detected roughness value Cd obtained from the first roughness sensor 311b by the reference roughness value Cr obtained from the second roughness sensor 312a, Thereby correcting the error caused by the fluctuation of the illumination caused by the fluctuation of the arc included in the arc. Then, the angular characteristic F shown in Fig. 10 is calculated by using the technique of curve fitting based on the corrected roughness value (corrected roughness value Cc).

상술한 것처럼, 동시에 측정한 검출 조도치(Cd) 및 참조 조도치(Cr)는, 아크의 흔들림 조건이 같다. 따라서, 보정 후 조도치(Cc)를 이용함으로써, 검광자(311a)를 회전시키고 있는 중에 아크가 변화했다고 해도 좋은 정밀도로 각도 특성을 산출할 수 있다.As described above, the detection roughness value Cd and the reference roughness value Cr measured at the same time have the same shaking condition of the arc. Therefore, by using the post-correction roughness Cc, the angular characteristic can be calculated with good accuracy even if the arc changes while the analyzer 311a is rotating.

제어부(34)는, 도 10에 나타내는 각도 특성(F)을 산출하면, 해당 각도 특성(F)에 의거하여 편광축 각도를 산출한다. 구체적으로는, 각도 특성(F)을 기초로, 검광자(311a)를 통과한 편광광의 조도가 최소가 되는 검광자(311a)의 회전 각도(θa＋θb)를 특정하고, 이를 기초로 실제의 편광축 각도를 출력한다.When the angle characteristic F shown in Fig. 10 is calculated, the control section 34 calculates the angle of the polarization axis on the basis of the angular characteristic F. Fig. Specifically, on the basis of the angular characteristic F, the rotation angle? A +? B of the analyzer 311a that minimizes the intensity of the polarized light having passed through the analyzer 311a is specified, and based on this, .

다음에, 제어부(34)는, 각도 특성(F)을 이용하여, 편광광의 소광비를 산출한다. 먼저, 제어부(34)는, 편광광의 최소 조도를 검출하기 위해서, 로터리 액추에이터(311d)를 구동 제어하여 검광자(311a)를 θ＝(θa＋θb)로 회전한다. 그 상태에서, 제어부(34)는, 제1의 조도 센서(311b)로부터 최소 조도치인 검출 조도치(Cd)를 취득한다(도 10의 측정점 e).Next, the control section 34 calculates the extinction ratio of the polarized light using the angular characteristic F. First, the control unit 34 drives the rotary actuator 311d to rotate the analyzer 311a at? = (? A +? B) to detect the minimum illuminance of the polarized light. In this state, the control unit 34 acquires the detection roughness value Cd as the minimum roughness value from the first roughness sensor 311b (measurement point e in FIG. 10).

이어서, 제어부(34)는, 편광광의 최대 조도를 검출하기 위해서, 로터리 액추에이터(311d)를 구동 제어하여 검광자(311a)를 θ=(θa＋θb－90°)로 회전한다. 그 상태에서, 제어부(34)는, 제1의 조도 센서(311b)로부터 최대 조도치인 검출 조도치(Cd)를 취득한다(도 10의 측정점 f).Subsequently, the control unit 34 drives the rotary actuator 311d to rotate the analyzer 311a by? = (? A +? B-90) to detect the maximum illuminance of the polarized light. In this state, the control unit 34 obtains the detection roughness value Cd as the maximum illuminance value from the first roughness sensor 311b (the measurement point f in FIG. 10).

그리고 제어부(34)는, 최소 조도치와 최대 조도치의 비(최대 조도치/최소 조도치)에 의거하여 소광비를 산출한다.Then, the controller 34 calculates the extinction ratio based on the ratio of the minimum roughness value to the maximum roughness value (maximum roughness value / minimum roughness value).

이상에 의해, 편광자 유닛(13A)의 복수의 편광자(13Aa) 중 Y방향의 최단에 위치하는 편광자(13Aa)를 통과한 편광광의 편광 특성이 얻어진다. 다음에, 제어부(34)는, Y방향 반송부(33)를 구동 제어하여, 편광광 검출기(31)를 직전에 편광 특성을 측정한 편광자(13Aa)에 인접하는 편광자(13Aa)의 바로 아래에 배치한다. 이와 같이, 편광 특성의 측정 대상을 순차적으로 전환하여 편광 특성을 측정한다.Thus, the polarization characteristic of the polarized light having passed through the polarizer 13Aa positioned at the shortest end in the Y direction among the plurality of polarizers 13Aa of the polarizer unit 13A is obtained. Next, the control unit 34 drives and controls the Y-direction conveying unit 33 so that the polarized light is incident on the polarized light detector 31 immediately below the polarizer 13Aa adjacent to the polarizer 13Aa, . In this way, the polarization characteristic is measured by sequentially switching the measurement target of the polarization characteristic.

편광자 유닛(13A)의 모든 편광자(13Aa)에 대한 편광 특성 측정이 완료하면, 제어부(34)는, X방향 반송부(33) 및 Y방향 반송부(33)를 구동 제어하고, 편광광 검출기(31)를, 편광자 유닛(13B)의 복수의 편광자(13Ba) 중 Y방향의 최단에 위치하는 편광자(13Ba)의 바로 아래에 배치한다. 그리고 편광자 유닛(13A)의 경우와 마찬가지로, 각 편광자(13Ba)에 대하여 각각 편광 특성을 측정한다.After completion of the measurement of the polarization characteristics of all the polarizers 13Aa of the polarizer unit 13A, the control unit 34 drives and controls the X-direction carry unit 33 and the Y-direction carry unit 33, 31 are disposed immediately below the polarizer 13Ba positioned at the shortest end in the Y direction among the plurality of polarizers 13Ba of the polarizer unit 13B. Similarly to the case of the polarizer unit 13A, the polarization characteristics are measured for each of the polarizers 13Ba.

정점에 있어서, 이상과 같이 검출 조도치(Cd)와 참조 조도치(Cr)를 검출하고, 참조 조도치(Cr)를 검출 조도치(Cd)로 보정한 데이터를 기초로 편광축 각도를 측정한 결과를 도 11의 α에 나타낸다. 여기서, 도 11의 세로축은 편광축 각도, 가로축은 편광축 각도의 측정 회수이다. 실험 결과 α에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 측정된 편광축 각도에 거의 편차가 없고, 표준 편차 3σ은 0.004였다. 즉, 측정된 편광축 각도는, ±0.004°라는 매우 편차가 적은 범위에 99.7%가 포함된다는 것이다.As described above, the angle of the polarization axis was measured on the basis of the data obtained by detecting the detection roughness value Cd and the reference roughness value Cr and correcting the reference roughness value Cr with the detection roughness value Cd as described above Is shown by? In Fig. In Fig. 11, the ordinate axis indicates the polarization axis angle, and the abscissa axis indicates the number of measurements of the polarization axis angle. As shown in the experimental results?, In this embodiment, there is almost no deviation in the measured angle of the polarization axis, and the standard deviation 3? Was 0.004. That is, the measured angle of the polarization axis includes 99.7% in a range of very small deviation of +/- 0.004 degrees.

비교예로서, 본 실시 형태와 같이 참조 조도치(Cr)에 의한 보정을 행하지 않고, 검출 조도치(Cd)만을 이용하여 편광축 각도를 측정했다. 그 결과를 도 11의 β에 나타낸다.As a comparative example, the angle of the polarization axis was measured using only the detected roughness value Cd without performing correction by the reference roughness value Cr as in the present embodiment. The result is shown as? In Fig.

실험 결과 β에 나타내는 바와 같이, 비교예에서는 항상 측정 결과가 변동하고 있고, 때때로 강한 돌출치도 곳곳에 보여진다. 이는, 검광자(311a)를 회전시켜 각도가 상이한 4점에서 편광광을 측정하고 있는 동안에 아크의 흔들림이 생겨, 편광축 각도를 안정되게 측정할 수 없기 때문이다. 이와 같이, 아크의 흔들림에 의해서 측정 결과가 달라지는 것을 시각적으로도 이해할 수 있다.As a result of the experiment, as shown in?, In the comparative example, the measurement result always fluctuates, and sometimes a strong protruding portion is also seen everywhere. This is because arc oscillation occurs while measuring the polarized light at four points having different angles by rotating the analyzer 311a, and the angle of the polarization axis can not be stably measured. Thus, it can be visually understood that the measurement result is changed by the fluctuation of the arc.

또한, 비교예의 측정 결과를 통계한 결과, 측정된 편광축 각도의 표준 편차 3σ은 0.035였다. 즉, 측정된 편광축 각도는, ±0.035°라고 하는 편차를 갖는 것이다. In addition, as a result of measurement of the measurement results of the comparative example, the measured standard deviation 3σ of the angle of the polarization axis was 0.035. That is, the measured angle of the polarization axis has a deviation of ± 0.035 °.

편광광 조사 장치(100)에 있어서는, 광 배광 처리의 요구 정밀도의 관점에서, 편광축 각도를 설정치에 대하여 ±0.05°이내로 조정하는 것이 바람직하다. 즉, 편광 측정의 요구 정밀도는 ±0.01°정도인 것이 바람직하다. 그러나 상기 비교예에서는, 편광 측정의 요구 정밀도를 만족할 수 없다.In the polarized light irradiating apparatus 100, it is preferable to adjust the angle of the polarization axis within ± 0.05 degrees with respect to the set value, from the viewpoint of the required accuracy of the light distribution processing. That is, the required accuracy of the polarimetric measurement is preferably about 占 0 °. However, in the above comparative example, the required accuracy of the polarization measurement can not be satisfied.

본 실시 형태에서는, 검광자를 가지는 제1의 편광광 검출부(311)와는 별도로, 검광자를 통하지 않고 직접 편광광을 검출하는 제2의 편광광 검출부(312)를 구비하고, 제1의 편광광 검출부(311)와 제2의 편광광 검출부(312)에서, 동시에 동일한 편광광을 검출한다.In this embodiment, in addition to the first polarized light detecting portion 311 having an analyzer, there is provided a second polarized light detecting portion 312 for directly detecting polarized light without passing through the analyzer, and the first polarized light detecting portion 311 and the second polarized light detecting unit 312 detect the same polarized light at the same time.

따라서, 제2의 편광광 검출부(312)에서 검출한 조도 정보를 편광광의 기준 조도 정보로 하여, 제1의 편광광 검출부(311)에서 검출한 조도 정보에 포함되는 방전 램프(11)의 아크의 흔들림에 기인하는 시간마다의 조도 변동에 의한 오차를 보정할 수 있다. 이 때문에, 제1의 편광광 검출부(311)의 검광자(311a)를 회전시켰을 때의 검출광의 조도의 주기적인 변화를 나타내는 각도 특성을 좋은 정밀도로 산출할 수 있어, 편광축 각도 및 소광비를 좋은 정밀도로 산출할 수 있다.Therefore, the illuminance information detected by the second polarized light detecting section 312 is used as the reference illuminance information of the polarized light, and the luminance of the arc of the discharge lamp 11 included in the illuminance information detected by the first polarized light detecting section 311 It is possible to correct an error caused by fluctuation of illuminance for each time caused by shaking. Therefore, it is possible to calculate the angle characteristic showing the periodic change of the illuminance of the detection light when the analyzer 311a of the first polarized light detecting portion 311 is rotated with good precision, and to adjust the angle of polarization axis and the extinction ratio to good accuracy .

또한, 제1의 편광광 검출부(311)와 제2의 편광광 검출부(312)는, 방전 램프(11)의 길이 방향으로 나란히 배치한다. 이와 같이, 방전 램프(11)의 조도 변화가 적은 방향으로 나란히 배치하므로, 장소마다의 의존성을 줄일 수 있어, 신뢰성이 있는 측정 결과가 얻어진다.The first polarized light detecting portion 311 and the second polarized light detecting portion 312 are arranged side by side in the longitudinal direction of the discharge lamp 11. As described above, since the discharge lamps 11 are arranged side by side in the direction in which the variation in the illuminance is small, dependence on each place can be reduced, and a reliable measurement result can be obtained.

특히, 광원으로서 2등식 이상의 램프를 적용한 경우, 제1의 편광광 검출부(311)와 제2의 편광광 검출부(312)가 램프의 관경 방향으로 나란히 배치되어 있으면, 측정 대상의 램프에 인접하는 램프로부터 방사되는 광의 영향을 받기 쉬워져 버려, 신뢰성이 있는 측정 결과를 얻을 수 없다. 본 실시 형태에서는, 제1의 편광광 검출부(311)와 제2의 편광광 검출부(312)를 방전 램프(11)의 길이 방향으로 나란히 배치하므로, 광원으로서 2등식 이상의 램프를 적용한 경우에도, 신뢰성이 있는 측정 결과를 얻을 수 있다.Particularly, when a lamp of two or more types is used as a light source, if the first polarized light detecting portion 311 and the second polarized light detecting portion 312 are arranged side by side in the radial direction of the lamp, It is likely to be affected by the light emitted from the light source, and reliable measurement results can not be obtained. Since the first polarized light detecting portion 311 and the second polarized light detecting portion 312 are arranged side by side in the longitudinal direction of the discharge lamp 11 in the present embodiment, Can be obtained.

또한, 제1의 편광광 검출부(311)와 제2의 편광광 검출부(312)는, 방전 램프(11)의 바로 아래에 배치된 상태로 사용되어, 열적인 조건이 엄격하다. 예를 들면, 검광자(311a)를 유지하는 유지 부재를 알루미늄 등으로 형성한 경우, 방전 램프(11)에서 방사되는 자외광(열)의 영향에 의해 상기 유지 부재가 열 팽창하여, 검광자(311a)와 수광부(311c)의 상대 위치가 어긋나, 수광부(311c)에서 검출하는 광의 조도가 변화할 우려가 있다.Further, the first polarized light detecting portion 311 and the second polarized light detecting portion 312 are used in a state in which the first polarized light detecting portion 311 and the second polarized light detecting portion 312 are disposed directly below the discharge lamp 11, and the thermal condition is strict. For example, when the holding member for holding the analyzer 311a is formed of aluminum or the like, the holding member thermally expands due to the influence of the ultraviolet light (heat) radiated from the discharge lamp 11, 311a and the light receiving portion 311c are shifted from each other, the light intensity of the light detected by the light receiving portion 311c may change.

본 실시 형태에서는, 제1의 편광광 검출부(311)와 제2의 편광광 검출부(312)에, 각각 제1의 조도 센서(311b), 제2의 조도 센서(312a)를 냉각하기 위한 냉각 기구를 설치하므로, 안정되게 편광광을 검출할 수 있다.The first illuminance sensor 311b and the second illuminance sensor 312a are provided with a cooling mechanism for cooling the first and second polarized light detection sections 311 and 312, It is possible to stably detect the polarized light.

또한, 제2의 편광광 검출부(312)에서 검출한 조도 정보(참조 조도치(Cr))를 기초로, 제1의 편광광 검출부(311)에서 검출한 조도 정보(검출 조도치(Cd))를 보정할 때, 검출 조도치(Cd)를 참조 조도치(Cr)로 나눔으로써, 방전 램프(11)의 아크의 흔들림에 기인하는 시간마다의 조도 변동에 의한 오차를 보정한 보정 후 조도치(Cc)를 산출한다. 이와 같이, 비교적 용이한 수법으로, 상기 오차를 보정할 수 있다.The illuminance information (detection reference value Cd) detected by the first polarized light detecting portion 311 is converted based on the illuminance information (reference illuminance value Cr) detected by the second polarized light detecting portion 312, The corrected roughness value Cd obtained by correcting the error caused by the fluctuation of the illuminance for each time due to the fluctuation of the arc of the discharge lamp 11 is obtained by dividing the detected roughness value Cd by the reference roughness value Cr Cc). In this manner, the error can be corrected by a relatively easy method.

또한, 편광광의 측정점은, 제1의 편광광 검출부(311)의 검광자(311a)를 회전시켰을 때의 검출광의 조도가 최소가 되도록 설정된 설정 기준치(θa)를 넘은 소정의 회전 각도 범위 내의 4점으로 한다. 그리고 이들 4점의 측정점에서의 조도 정보에 의거하여, 제1의 편광광 검출부(311)의 검광자(311a)를 회전시켰을 때의 검출광의 조도의 주기적인 변화를 나타내는 각도 특성을 산출한다.The measurement point of the polarized light is set to a point within a predetermined rotation angle range exceeding the set reference value? A set so that the illuminance of the detection light when the analyzer 311a of the first polarized light detecting portion 311 is rotated is minimized, . Based on the illuminance information at the measurement points of these four points, an angular characteristic indicating a periodic change in illuminance of the detection light when the analyzer 311a of the first polarized light detecting portion 311 is rotated is calculated.

이와 같이, 검출광의 조도가 최소가 되는 각도의 근방에서 측정한 조도 정보를 각도 특성의 산출에 이용하므로, 노이즈 성분의 영향을 억제한 각도 특성을 산출할 수 있다.Thus, the illuminance information measured in the vicinity of the angle at which the illuminance of the detection light is minimized is used for calculation of the angle characteristic, so that the angle characteristic suppressing the influence of the noise component can be calculated.

또한, 광 조사부(10A, 10B)로부터의 편광광을 직접 검출하는 제2의 편광광 검출부를 설치하므로, 편광광의 편광축 각도 및 소광비를 측정하면서, 편광광의 조도를 측정할 수도 있다. 이와 같이, 편광광의 편광 특성의 측정과 편광광의 조도의 측정을 동시에 행할 수 있어, 효율이 좋다.Further, since the second polarized light detecting portion for directly detecting the polarized light from the light irradiating portions 10A and 10B is provided, the illuminance of the polarized light can be measured while measuring the angle of polarization axis of the polarized light and the extinction ratio. In this manner, the measurement of the polarization characteristics of the polarized light and the measurement of the illuminance of the polarized light can be performed at the same time, and the efficiency is good.

이상과 같이, 본 실시 형태에서는, 시간마다의 조도 변동을 가지는 광원을 이용한 경우에도, 해당 조도 변동의 영향을 받지 않고 편광광의 편광축 각도 및 소광비를 간편하고 또한 고정밀도로 측정할 수 있다.As described above, according to the present embodiment, even when a light source having a variation in illuminance for each time is used, the angle of polarization axis of the polarized light and the extinction ratio can be measured easily and with high accuracy without being affected by the fluctuation of the illuminance.

따라서, 광 조사부로부터 조사되는 편광광의 편광축이 원하는 편광축으로 되어 있는지 여부 등을 적절히 판단할 수 있다. 그리고 원하는 편광축으로 되어 있지 않은 경우에는, 원하는 편광축으로 할 수 있도록 광 조사부의 편광자의 배치 각도를 조정하는 등의 처리가 가능하여, 적절한 광 배향 처리를 행할 수 있다.Therefore, it is possible to appropriately determine whether or not the polarization axis of the polarized light emitted from the light irradiating unit is a desired polarization axis. If it is not the desired polarization axis, it is possible to perform processing such as adjusting the arrangement angle of the polarizer of the light irradiating part so that the desired polarization axis can be achieved, and appropriate optical alignment processing can be performed.

(변형예)(Modified example)

상기 실시 형태에 있어서는, 검출 조도치(Cd)를 참조 조도치(Cr)로 나눔으로써 보정 후 조도치(Cc)를 산출하는 경우에 대하여 설명했는데, 예를 들면, 다른 방식을 적용할 수도 있다.In the above embodiment, the case where the corrected roughness value Cc is calculated by dividing the detected roughness value Cd by the reference roughness value Cr has been described, but another method can be applied, for example.

이하, 다른 방식으로서, 뺄셈과 평균치를 이용하여 보정하는 방식에 대하여 설명한다.Hereinafter, as another method, a method of performing correction using subtraction and an average value will be described.

먼저, θ＝θa±20°, θ＝θa±10°의 합계 4점에서, 제1의 편광광 검출부(311) 및 제2의 편광광 검출부(312)는 검출 조도치(Cd) 및 참조 조도치(Cr)를 각각 측정한다. 여기서, 각 지정 각도로 측정한 검출 조도치(Cd)를 Cd1, Cd2, Cd3, Cd4로 하고, 각 지정 각도로 측정한 참조 조도치(Cr)를 Cr1, Cr2, Cr3, Cr4로 한다.First, the first polarized light detecting portion 311 and the second polarized light detecting portion 312 detect the detected roughness value Cd and the reference reference value Cd at four points in total of? =? A ± 20 ° and? =? (Cr) are measured. Here, Cd1, Cd2, Cd3, and Cd4 are the detected roughness values Cd measured at the respective specified angles, and the reference roughness values Cr measured at the respective specified angles are Cr1, Cr2, Cr3, and Cr4.

그리고 제어부(34)는, 각 지정 각도로 측정한 참조 조도치(Cr1~Cr4)의 평균치(Cra)를 산출하고, 검출 조도치(Cdn)로부터 평균치(Cra)와 참조 조도치(Crn)의 차분을 뺀 값을 보정 후 조도치(Cc)로서 산출한다. 즉, 보정 후 조도치(Cc)는, Cc1＝Cd1－(Cra－Cr1), Cc2＝Cd2－(Cra－Cr2), Cc3＝Cd3－(Cra－Cr3), Cc4＝Cd4－(Cra－Cr4)이다.The control unit 34 calculates an average value Cra of the reference roughness values Cr1 to Cr4 measured at the respective specified angles and calculates a difference between the average value Cra and the reference roughness value Crn from the detected roughness value Cdn Is calculated as the corrected post-correction value Cc. (Cra-Cr1), Cc2 = Cd2- (Cra-Cr2), Cc3 = Cd3- (Cra-Cr3), Cc4 = Cd4- to be.

이후의 처리는, 도 9의 단계 S5 이후의 처리와 동일하다. 즉, 제어부(34)는, 보정 후 조도치(Cc1~Cc4)를 기초로, 최소 이승법 및 뉴턴법에 의해 커브 피팅을 행하여 피팅 함수 Acos2(θ＋B)＋C의 정수 A, B, C를 구한다. 제어부(34)는, 이와 같이 하여 편광광 각도 특성을 산출한다.The subsequent processing is the same as the processing after step S5 in Fig. That is, the control unit 34, based on the crude lightness (Cc1 ~ Cc4) after the correction, by performing the curve fitting by the least square method and the Newton's method calculates the constants A, B, C of the fitting function Acos 2 (θ + B) + C . The control section 34 calculates the polarized light angle characteristic in this way.

이 경우에도, 검출 조도치(Cd)에 포함되는 방전 램프(11)의 아크의 흔들림에 기인하는 시간마다의 조도 변동에 의한 오차를 보정한 조도치를 기초로, 편광광 각도 특성을 구할 수 있어, 좋은 정밀도로 편광축 각도 및 소광비를 측정할 수 있다.In this case also, the polarized light angle characteristic can be obtained on the basis of the roughness value corrected for the error caused by the variation in illuminance for each time caused by the fluctuation of the arc of the discharge lamp 11 included in the detection roughness value Cd, The angle of polarization axis and the extinction ratio can be measured with good precision.

또한, 상기 실시 형태에 있어서는, θ＝θa±20°와 θ＝θa±10°에서 각각 1회씩 계 4회, 제1의 편광광 검출부(311)에서 조도를 측정하는 경우에 대하여 설명했는데, 측정 회수는 허용 측정 시간에 따라서 적절히 설정 가능하다. 최소 이승법에 의한 산출은 측정점이 3점에서도 행할 수 있으므로, 측정 회수는 3회여도 된다. 4점 측정한 경우는, 3점의 조합을 4개 이용하여, 각각에 대하여 각도 특성을 산출하는 등에 의해, 측정 결과의 정밀도를 높이도록 해도 된다. 또한, 당연히, 측정 회수는 5회 이상이어도 된다.In the above embodiment, the case in which the illuminance is measured by the first polarized light detecting portion 311 four times in total at one time at? =? A +/- 20 占 and? =? A 占 10 占 is described, The number of times can be set appropriately according to the allowable measuring time. Since the calculation by the least squares method can be performed at three points of measurement, the number of measurements may be three times. When four points are measured, the precision of the measurement result may be increased by using four combinations of three points and calculating the angular characteristic for each. Naturally, the number of measurements may be five or more.

또한, 상기 실시 형태에서는, 조도 측정에 있어, 10°씩 검광자(311a)를 회전시키는 경우에 대하여 설명했는데, 피치 각도도 적절히 설정 가능하다.In the above embodiment, the case where the analyzer 311a is rotated by 10 degrees in the illuminance measurement has been described, but the pitch angle can also be set appropriately.

또한, 상기 실시 형태에 있어서, 편광 측정 위치를 각 편광자(13Aa, 13Ba)의 중앙의 1개소에만 설정하는 경우에 대하여 설명했는데, 1매의 편광자 내에서 편광축 각도의 편차가 있는 것을 고려하여, 각 편광자에 대하여 편광 측정 위치를 복수 개소 설정할 수도 있다. 이 경우, 각 편광 측정 위치에 있어서의 측정 결과를 가중 평균하는 등에 의해, 최종적인 편광 특성을 산출하면 된다.In the above embodiment, the case where the polarization measurement position is set to only one place in the center of each of the polarizers 13Aa and 13Ba has been described. However, considering that there is a deviation in the angle of the polarization axis within one polarizer, A plurality of polarization measurement positions may be set for the polarizer. In this case, the final polarization characteristic may be calculated by performing weighted average of the measurement results at the respective polarization measurement positions.

또한, 상기 실시 형태에 있어서는, 편광 측정 장치(30)에서 측정한 편광축 각도를 기초로, 편광자(13Aa)나 편광자(13Ba)의 편광축 각도가 원하는 편광축 각도가 되도록, 편광자(13Aa)나 편광자(13Ba)의 각도를 자동적으로 조정하는 기구를 설치해도 된다. 또한, 편광자(13Aa)나 편광자(13Ba)의 각도 조정은, 작업자가 수동으로 행해도 된다.In the above embodiment, the polarizer 13Aa and the polarizer 13Ba are arranged so that the polarization axis angle of the polarizer 13Aa and the polarizer 13Ba is a desired polarization axis angle, based on the polarization axis angle measured by the polarization measurement device 30. [ May be provided. The angle adjustment of the polarizer 13Aa and the polarizer 13Ba may be manually performed by an operator.

또한, 상기 실시 형태에 있어서는, 제1의 조도 센서(311b)의 수광부(311c)를, 지지 부재(311d)에 의해서 편광축 검출기(31)의 케이스에 고정하는 경우에 대하여 설명했는데, 수광부(311c)는 검광자(311a)와 함께 회전 가능한 구성이어도 된다. 다만, 조도를 안정되게 측정하기 위해서는, 상기 실시 형태와 같이 수광부(311c)를 고정하고, 검광자(311a)와 수광부(311c)를 상대적으로 회전시키는 구성인 것이 바람직하다.In the above embodiment, the case where the light receiving section 311c of the first illuminance sensor 311b is fixed to the case of the polarization axis detector 31 by the support member 311d has been described. The light receiving section 311c, May be rotatable together with the analyzer 311a. However, in order to stably measure the illuminance, it is preferable that the light-receiving unit 311c is fixed and the analyzer 311a and the light-receiving unit 311c are relatively rotated as in the above embodiment.

또한, 상기 실시 형태에 있어서는, 광원으로서 2등식의 방전 램프(11)를 적용하는 경우에 대하여 설명했는데, 1등식이어도 되고, 3등식 이상이어도 된다.Further, in the above-described embodiment, the description has been given of the case of applying the two-type discharge lamp 11 as the light source, but it may be one-type or three-type or more.

또한, 상기 실시 형태에 있어서는, 워크(W)로서 광 배향막이 형성된 액정 패널을 이용하는 경우에 대하여 설명했는데, 예를 들면, 시야각 보상 필름과 같은, 롤에 감겨진 장척 띠형상의 워크여도 된다.Further, in the above-described embodiment, the case where the liquid crystal panel having the photo alignment film is used as the work W has been described. However, it may be a work such as a view angle compensation film,

10A, 10B: 광 조사부 11: 방전 램프
12: 미러 13A, 13B: 편광자 유닛
13Aa, 13Ba: 편광자 13Ab, 13Bb: 프레임
14: 램프 하우스 20: 반송부
21: 워크 스테이지 22: 가이드
23: 전자석 30: 편광 측정 장치
31: 편광축 검출기 311: 제1의 편광광 검출부
311a: 검출용 편광자(검광자) 311b: 제1의 조도 센서
311c: 수광부 311d: 지지 부재
311e: 로터리 액추에이터 311f: 회전자
311g: 개구부 311h: 냉기 공급부
312: 제2의 편광광 검출부 312a: 제2의 조도 센서
312b: 수광부 312c: 지지 부재
312d: 개구부 312e: 냉기 공급부
32: X 방향 반송부 33: Y방향 반송부
34: 제어부 34a: 회전자 제어부
34b: 입력 신호 변환부 34c: 편광 특성 연산부
34d: 화상 표시부 34e: 반송 제어부
35: 모니터 100: 편광광 조사 장치10A, 10B: light irradiation part 11: discharge lamp
12: Mirror 13A, 13B: Polarizer unit
13Aa and 13Ba: Polarizers 13Ab and 13Bb: Frame
14: lamp house 20:
21: workstage 22: guide
23: Electromagnet 30: Polarization measuring device
31: polarizing axis detector 311: first polarized light detecting unit
311a: Detecting polarizer (analyzer) 311b: First illuminance sensor
311c: light receiving section 311d:
311e: Rotary actuator 311f: Rotor
311g: opening 311h: cold air supply part
312: Second polarized light detecting unit 312a: Second illuminance sensor
312b: light receiving unit 312c:
312d: opening 312e: cold air supply part
32: X-direction transport section 33: Y-direction transport section
34: Control section 34a:
34b: input signal conversion section 34c: polarization characteristic operation section
34d: image display section 34e:
35: Monitor 100: Polarized light irradiation device

Claims (10)

광원으로부터 조사되는 편광광의 편광축을 검출하는 편광축 검출기로서,
상기 편광축을 검출하기 위한 회전 가능한 검출용 편광자와, 상기 검출용 편광자를 통과한 상기 광원으로부터의 편광광의 조도 정보를 검출하는 제1의 조도 센서를 가지는 제1의 편광광 검출부와,
상기 광원으로부터의 편광광의 조도 정보를 직접 검출하는 제2의 조도 센서를 가지고, 상기 제1의 편광광 검출부에 병설되는 제2의 편광광 검출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 편광축 검출기.A polarization axis detector for detecting a polarization axis of polarized light irradiated from a light source,
A first polarized light detecting unit having a rotatable detecting polarizer for detecting the polarization axis and a first illuminance sensor for detecting illuminance information of the polarized light from the light source that has passed through the detecting polarizer;
And a second illuminance sensor for directly detecting illuminance information of the polarized light from the light source, and a second polarized light detecting portion provided in parallel with the first polarized light detecting portion. 청구항 1에 있어서,
상기 광원은 선형 광원이며,
상기 제1의 조도 센서와 상기 제2의 조도 센서는, 상기 선형 광원이 연장되는 방향을 따라서 나란히 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 편광축 검출기.The method according to claim 1,
Wherein the light source is a linear light source,
Wherein the first illuminance sensor and the second illuminance sensor are provided along a direction in which the linear light source extends. 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 편광축 검출기와,
상기 편광축 검출기로 검출한 조도 정보에 의거하여 상기 편광광을 측정하는 편광광 측정부를 구비하고,
상기 편광광 측정부는,
상기 검출용 편광자를 복수의 지정 각도로 회전시키는 회전 제어부와,
상기 복수의 지정 각도에 있어서 상기 제1의 조도 센서로 검출한 조도 정보인 검출 조도치와, 상기 제1의 조도 센서에 의한 상기 검출 조도치의 검출에 동기하여 상기 제2의 조도 센서로 검출한 조도 정보인 참조 조도치에 의거하여, 상기 검출 조도치에 포함되는 상기 광원으로부터 조사되는 편광광의 시간마다의 조도 변동에 의한 오차를 보정한 보정 후 조도치를 연산하는 조도 정보 보정부와,
상기 검출용 편광자의 회전 각도와 상기 조도 정보 보정부에서 연산한 보정 후 조도치의 관계를 나타내는 편광광 각도 특성을 연산하고, 상기 편광광 각도 특성을 기초로 상기 광원으로부터의 편광광의 편광 특성을 연산하는 편광 특성 연산부를 구비하는 것을 특징으로 하는 편광 측정 장치.A polarization axis detector according to claim 1 or 2,
And a polarized light measuring unit for measuring the polarized light based on the illuminance information detected by the polarization axis detector,
Wherein the polarized-
A rotation control unit for rotating the detection polarizer at a plurality of specified angles,
A detection roughness value that is the roughness information detected by the first roughness sensor at the plurality of specified angles; and a roughness degree detected by the second roughness sensor in synchronization with the detection of the roughness value detected by the first roughness sensor. An illuminance information correcting section for calculating an after-correction illuminance value, which is included in the detected illuminance in-correction value and which corrects an error caused by illuminance variation of polarized light irradiated from the light source for each time,
Calculating a polarized light angle characteristic indicating a relationship between a rotation angle of the detection polarizer and a corrected illuminance value calculated by the illumination information correction section, and calculating a polarization characteristic of the polarized light from the light source based on the polarized light angle characteristic And a polarization characteristic calculation unit. 청구항 3에 있어서,
상기 조도 정보 보정부는,
상기 제1의 조도 센서로 검출한 상기 검출 조도치를, 상기 검출 조도치의 검출에 동기하여 상기 제2의 조도 센서로 검출한 상기 참조 조도치로 나눔으로써, 상기 보정 후 조도치를 연산하는 것을 특징으로 하는 편광 측정 장치.The method of claim 3,
The illumination information correction unit may include:
And calculating the corrected illuminance value by dividing the detected illuminance value detected by the first illuminance sensor into the reference illuminance value detected by the second illuminance sensor in synchronization with the detection of the detected illuminance value Measuring device. 청구항 3에 있어서,
상기 조도 정보 보정부는,
상기 제1의 조도 센서로 검출한 상기 검출 조도치로부터, 상기 복수의 지정 각도에 있어서 상기 제2의 조도 센서로 검출한 각 참조 조도치의 평균치와 상기 검출 조도치의 검출에 동기하여 상기 제2의 조도 센서로 검출한 상기 참조 조도치의 차분을 감산함으로써, 상기 보정 후 조도치를 연산하는 것을 특징으로 하는 편광 측정 장치.The method of claim 3,
The illumination information correction unit may include:
And an average value of the reference illuminance values detected by the second illuminance sensor at the plurality of specified angles from the detected illuminated attitude detected by the first illuminance sensor and the average illuminance value detected by the second illuminance sensor in synchronization with the detection of the detected illuminance value. And calculates the corrected illuminance value by subtracting a difference between the reference illuminance values detected by the sensor. 청구항 3 내지 청구항 5중 어느 한 항에 있어서,
상기 편광 특성 연산부는,
상기 편광광 각도 특성을 기초로, 상기 검출용 편광자를 통과한 상기 광원으로부터의 편광광의 조도가 극치로 되는 상기 검출용 편광자의 회전 각도를 특정하고, 특정한 회전 각도에 의거하여 상기 편광 특성으로서 상기 편광광의 편광축 각도를 연산하는 편광축 각도 연산부를 구비하는 것을 특징으로 하는 편광 측정 장치.The method according to any one of claims 3 to 5,
Wherein the polarization characteristic calculation unit comprises:
The polarization angle of the polarized light from the light source having passed through the detection polarizer is determined to be the polar angle of the polarized light, And a polarization axis angle arithmetic unit for calculating an angle of polarization axis of light. 청구항 3 내지 청구항 6중 어느 한 항에 있어서,
상기 편광 특성 연산부는,
상기 편광광 각도 특성을 기초로, 상기 검출용 편광자를 통과한 상기 광원으로부터의 편광광의 조도의 최대치와 최소치를 특정하고, 특정한 최대치와 최소치에 의거하여 상기 편광 특성으로서 상기 편광광의 소광비를 연산하는 소광비 연산부를 구비하는 것을 특징으로 하는 편광 측정 장치.The method according to any one of claims 3 to 6,
Wherein the polarization characteristic calculation unit comprises:
An extinction ratio for calculating the extinction ratio of the polarized light as the polarization characteristic based on the maximum and minimum values of the intensity of the polarized light from the light source that has passed through the detection polarizer, And a calculation unit. 광원으로부터 조사되는 편광광을 측정하는 편광 측정 방법으로서,
상기 편광축을 검출하기 위한 검출용 편광자를 복수의 지정 각도로 회전시키고, 각 지정 각도에 있어서 상기 검출용 편광자를 통과한 상기 광원으로부터의 편광광의 조도 정보인 검출 조도치를 검출하는 단계와,
상기 검출용 편광자를 통과한 상기 광원으로부터의 편광광의 조도 정보를 검출하는 타이밍과 동기하여, 상기 검출용 편광자를 통과하지 않는 상기 광원으로부터의 편광광의 조도 정보인 참조 조도치를 직접 검출하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 편광 측정 방법.A polarimetry measurement method for measuring polarized light emitted from a light source,
Detecting a detection illuminance value, which is illuminance information of the polarized light from the light source that has passed through the detection polarizer at each specified angle, by rotating the detection polarizer for detecting the polarization axis at a plurality of specified angles;
And directly detecting a reference illuminance value which is illuminance information of the polarized light from the light source that does not pass through the detection polarizer, in synchronization with the timing of detecting illuminance information of the polarized light from the light source that has passed through the detection polarizer Wherein the polarized light is polarized. 청구항 8에 있어서,
상기 복수의 지정 각도에 있어서 검출한 상기 검출 조도치와 상기 참조 조도치에 의거하여, 상기 검출 조도치에 포함되는 상기 광원으로부터 조사되는 편광광의 시간마다의 조도 변동에 의한 오차를 보정한 보정 후 조도치를 연산하는 단계와,
상기 검출용 편광자의 회전 각도와 상기 보정 후 조도치의 관계를 나타내는 편광광 각도 특성을 연산하는 단계와,
상기 편광광 각도 특성을 기초로 상기 광원으로부터의 편광광의 편광 특성을 연산하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 편광 측정 방법.The method of claim 8,
And a correction roughness correction unit that corrects an error caused by variation in illuminance of the polarized light irradiated from the light source included in the detected roughness value at each time based on the detected roughness value and the reference roughness value detected at the plurality of specified angles, Calculating a value,
Calculating a polarized light angle characteristic indicating a relationship between a rotation angle of the detection polarizer and a post-correction roughness value;
And calculating a polarization characteristic of the polarized light from the light source based on the polarized light angle characteristic. 배향막에 편광광을 조사하여 광 배향을 행하는 편광광 조사 장치로서,
선형 광원과, 상기 선형 광원이 연장되는 방향을 따라서 설치된 복수의 편광자를 가지고, 상기 선형 광원의 광을 상기 편광자에 의해서 편광한 편광광을 조사하는 광 조사부와,
상기 광 조사부가 조사하는 편광광을 측정하는 청구항 3 내지 청구항 7중 어느 한 항에 기재된 편광 측정 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 편광광 조사 장치.A polarized light irradiating device for irradiating polarized light to an alignment film to perform photo alignment,
A light irradiation unit having a linear light source and a plurality of polarizers provided along a direction in which the linear light source extends, the polarized light polarized by the polarizer,
The polarized light irradiating apparatus according to any one of claims 3 to 7, which measures the polarized light irradiated by the light irradiating unit.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6729026B2 (en) * 2016-06-15 2020-07-22 ウシオ電機株式会社 Micro channel chip and sample concentration measuring device
CN110132420B (en) * 2018-02-09 2020-11-27 上海微电子装备（集团）股份有限公司 Polarization measuring device, polarization measuring method, and optical alignment method
CN112763069B (en) * 2019-11-01 2023-08-29 锐光凯奇(镇江)光电科技有限公司 Polarized light direction detector
CN115164872B (en) * 2022-06-20 2024-04-12 北京航空航天大学 Autonomous positioning method based on time sequence polarized light field

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006098087A (en) * 2004-09-28 2006-04-13 Hitachi Displays Ltd Optically anisotropic axis measuring instrument and liquid crystal panel manufacturing method
JP2014020890A (en) 2012-07-18 2014-02-03 Iwasaki Electric Co Ltd Polarization measurement method, polarization measurement device, and polarization measurement system

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2228566A (en) * 1988-12-16 1990-08-29 Marconi Gec Ltd Infra-red sensors
JP3518313B2 (en) * 1998-01-28 2004-04-12 王子製紙株式会社 Method and apparatus for measuring retardation
TWI585387B (en) * 2012-07-18 2017-06-01 岩崎電氣股份有限公司 Polarization measuring process, polarization measuring apparatus, polarization measuring system and photo-alignment irradiation apparatus

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006098087A (en) * 2004-09-28 2006-04-13 Hitachi Displays Ltd Optically anisotropic axis measuring instrument and liquid crystal panel manufacturing method
JP2014020890A (en) 2012-07-18 2014-02-03 Iwasaki Electric Co Ltd Polarization measurement method, polarization measurement device, and polarization measurement system

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CN105300524A (en) 2016-02-03

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